JP2003115425A - Semiconductor production system and method of simulating production of semiconductor - Google Patents

Semiconductor production system and method of simulating production of semiconductor

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor production system and a method of simulating the production of a semiconductor that can flexibly cope with a change in kind of products or in state of facilities. SOLUTION: A transporter T1 transporting a product PI specifies a treating device M1 that can become a transporting destination of a product PI from process information of the product 1, receives the positional information and status information transmitted from the device M1, and moves in accordance with a vector V-T1 indicating the moving direction and distance of the transporter PI itself by generating the vector V-T1 any time based on its own positional information and status information. On the other hand, when another transporter T3 not mounted with any product receives a transport request signal transmitted from a treating device M2, the transporter T3 receives the positional information and status information of the device M2 which transmits the transport request syal and moves in accordance with a vector V-T3 indicating the moving direction and distance of the transporter T3 itself by generating the vector V-T3 any time based on its own positional information and status information.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、生産エリア内にお
ける複数の処理装置および複数の自走式搬送装置を用い
た半導体生産システムおよび計算上の生産エリア内にお
ける複数の処理装置および複数の自走式搬送装置および
半導体製品の各種情報を用いた半導体生産シミュレーシ
ョン方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor production system using a plurality of processing devices in a production area and a plurality of self-propelled transfer devices, and a plurality of processing devices in a production area and a plurality of self-propelled devices. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a semiconductor production simulation method using various types of information on a transfer apparatus and semiconductor products.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、半導体装置の生産ラインは、多品
種少量生産への対応が強く要求されているのに加え、半
導体製品のライフサイクル自体もますます短くなってき
ており、固定的な生産ラインよりも柔軟な生産ラインの
構築が必要となってきている。2. Description of the Related Art In recent years, semiconductor device production lines have been strongly required to support high-mix low-volume production, and the life cycle itself of semiconductor products has become shorter and shorter. It is necessary to build a more flexible production line than the production line.

【０００３】このような状況に対応して、生産ラインに
おける生産効率を向上させるためには、一般に以下の手
法が必要とされる。 （１）製品の品種数／生産量、設備の故障／メンテナン
ス／段取り替え等の生産における環境変動に柔軟に対応
できる生産システム設計手法 （２）製品の流れを制御し、リアルタイムにスケジュー
リングできる計画手法 （３）上記（２）のスケジューリングを受けて、仕掛か
り量を適正にコントロールするディスパッチ手法In order to cope with such a situation and improve the production efficiency in the production line, the following method is generally required. (1) Production system design method that can flexibly cope with environmental changes in production such as the number of product types / production volume, equipment failure / maintenance / setup, etc. (2) Planning method that can control product flow and schedule in real time (3) A dispatch method for appropriately controlling the amount of work in progress in response to the scheduling in (2) above.

【０００４】また、半導体装置においては、一般に大規
模で処理工程数が多く、さらに同じ工程を繰り返す複合
プロセスであることが特徴となっており、特に上記各手
法の実現が難しく、たとえ製造する製品が１種類であっ
ても製品の流し方の制御は非常に難解である。Further, a semiconductor device is generally characterized in that it is a large scale, has a large number of processing steps, and is a complex process in which the same steps are repeated. Even if there is only one type, it is very difficult to control the flow of products.

【０００５】このような問題を解決する観点から、特開
平７−２３７０９５号公報では、類似の品種を集約下降
するために類似の加工順序を持つ品種を集約し、これに
対応した処理設備をモジュール（グループ）化して生産
ラインを構成する生産システム設計手法が開示されてい
る。From the viewpoint of solving such a problem, in Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-237095, in order to collectively descend similar products, products having a similar processing order are integrated, and a processing facility corresponding thereto is modularized. A production system design method is disclosed in which a production line is formed by grouping.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、処理工
程数が多く、品種ごとに工程順序も異なる半導体装置の
製造においては、上記手法によるモジュール数が膨大と
なり、効率の良い生産ラインの設計を行うのは非常に困
難である。さらに、モジュールを構成するために専門家
の知識と経験が必要となり、膨大な時間と工数を要する
という問題がある。However, in manufacturing a semiconductor device having a large number of processing steps and different process orders for each product type, the number of modules by the above method becomes enormous, and an efficient production line is designed. Is very difficult. Further, there is a problem that expert knowledge and experience are required to configure the module, which requires a huge amount of time and man-hours.

【０００７】また、上記（２）（３）の手法に関しては
市販のソフトウェアが存在するが、リスケジューリング
のリアルタイム性に乏しく、また、故障やメンテナンス
状況に対応するリアルタイム性は備えておらず、生産効
率を向上させるには不十分である。Regarding the methods (2) and (3), commercially available software exists, but the real-time property of the rescheduling is poor, and the real-time property corresponding to the failure or the maintenance situation is not provided. Not enough to improve efficiency.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成されたものである。すなわち、本
発明は、生産エリア内における複数の処理装置および複
数の自走式搬送装置を用いた半導体生産システムであ
る。The present invention has been made to solve the above problems. That is, the present invention is a semiconductor production system using a plurality of processing devices and a plurality of self-propelled transfer devices in a production area.

【０００９】この半導体生産システムにおける処理装置
として、自走式搬送装置から発信される情報を受信する
処理装置受信手段と、生産エリア内での自身の位置情報
および自身の状態情報を発信する処理装置発信手段とを
備え、自走式搬送装置として、搬送する半導体製品の工
程情報および処理装置発信手段から発信される情報を受
信する搬送装置受信手段と、生産エリア内の自身の位置
情報および自身の状態情報を発信する搬送装置発信手段
とを備えている。As a processing device in this semiconductor production system, a processing device receiving means for receiving the information transmitted from the self-propelled carrier device, and a processing device for transmitting the position information and the status information of itself in the production area. As a self-propelled carrying device, the carrying device receiving means for receiving the process information of the semiconductor product to be carried and the information sent from the processing device sending means, the own position information in the production area and the own And a carrier device transmitting means for transmitting the status information.

【００１０】しかも、自走式搬送装置が半導体製品を搬
送している場合、搬送装置受信手段にて受信した半導体
製品の工程情報から搬送先となり得る処理装置を特定
し、その処理装置から発信される位置情報および状態情
報を受信して、自身の位置情報および状態情報に基づき
移動方向および移動距離を示すベクトルを随時生成する
ことでそのベクトルに応じた移動を行い、自走式搬送装
置が半導体製品を搭載していない場合、処理装置発信手
段から発信される搬送要求信号を搬送装置受信手段にて
受信し、その搬送要求信号を発信した処理装置の位置情
報および状態情報を受信して、自身の位置情報および状
態情報に基づき移動方向および移動距離を示すベクトル
を随時生成することでそのベクトルに応じた移動を行っ
ている。Further, when the self-propelled carrier is carrying the semiconductor product, the processor which can be the carrier is specified from the process information of the semiconductor product received by the carrier receiving means, and the processor sends the signal. The self-propelled carrier device performs a movement according to the vector by receiving the position information and the state information about the moving direction and the vector indicating the moving direction and the moving distance based on the position information and the state information. When the product is not installed, the carrier request signal transmitted from the processor transmitting means is received by the carrier receiving means, and the position information and the status information of the processor that transmitted the carrier request signal are received, A vector indicating the moving direction and the moving distance is generated at any time based on the position information and the state information of the, and the movement is performed according to the vector.

【００１１】また、本発明は、計算上の生産エリア内に
おける複数の処理装置の位置情報、状態情報および複数
の自走式搬送装置の位置情報、状態情報および半導体製
品の工程情報を用いた半導体生産シミュレーション方法
であり、自走式搬送装置が半導体製品を搬送している場
合、その半導体製品の工程情報から搬送先となり得る処
理装置を特定し、その処理装置の位置情報および状態情
報と、自身の位置情報および状態情報とに基づき移動方
向および移動距離を示すベクトルを随時生成し、そのベ
クトルに応じて生産エリア内を移動し、自走式搬送装置
が半導体製品を搭載していない場合、処理装置からの搬
送要求があるか否かを判断し、搬送要求のある処理装置
の位置情報および状態情報と、自身の位置情報および状
態情報とに基づき移動方向および移動距離を示すベクト
ルを随時生成し、そのベクトルに応じて生産エリア内を
移動する。Further, according to the present invention, a semiconductor using position information, status information of a plurality of processing devices in a calculated production area, position information of a plurality of self-propelled transfer devices, status information and process information of a semiconductor product. This is a production simulation method, and when a self-propelled carrier conveys a semiconductor product, the processor that can be the destination of the conveyance is specified from the process information of the semiconductor product, and the position information and the status information of the processor and the self Generates a vector indicating the moving direction and moving distance at any time based on the position information and the state information of the, moves in the production area according to the vector, and when the self-propelled carrier does not have a semiconductor product, Determines whether or not there is a transfer request from the device, and based on the position information and status information of the processing device that requested transfer, and its own position information and status information The vector indicating the moving direction and a moving distance generated at any time, to move the production area in accordance with the vector.

【００１２】このように本発明では、生産エリア内にお
ける複数の処理装置および複数の自走式搬送装置が各々
の位置と状態とに基づき、移動すべき方向および量を示
すベクトルを生成して移動するため、生産エリア内で移
動できる処理装置や自走式搬送装置が自律的にレイアウ
トを生成し、製品の仕掛かり状態をリアルタイムに把握
できるようになる。As described above, according to the present invention, the plurality of processing devices and the plurality of self-propelled transfer devices in the production area are moved based on their respective positions and states by generating a vector indicating the direction and amount to be moved. Therefore, the processing device and the self-propelled transfer device that can move in the production area autonomously generate the layout, and the in-process state of the product can be grasped in real time.

【００１３】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づいて説明する。図１は、本実施形態に係る半導体生
産システムの概要を説明する模式図である。すなわち、
本実施形態の半導体生産システムは、生産エリア内にお
ける複数の処理装置（図１ではＭ１、Ｍ２）および複数
の自走式の搬送装置（図１ではＴ１〜Ｔ４）を用いて半
導体製品（図１ではＰ１〜Ｐ４）を生産するシステムで
ある。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram for explaining the outline of the semiconductor production system according to this embodiment. That is,
The semiconductor production system of the present embodiment uses a plurality of processing devices (M1, M2 in FIG. 1) and a plurality of self-propelled transfer devices (T1 to T4 in FIG. 1) in a production area to manufacture semiconductor products (FIG. 1). Is a system for producing P1 to P4).

【００１４】処理装置Ｍ１、Ｍ２としては、半導体製品
Ｐ１〜Ｐ４の生産における各工程で必要な装置であり、
洗浄装置、レジスト塗布装置、加熱炉、露光装置、エッ
チング装置等である。The processing devices M1 and M2 are devices required in each step in the production of the semiconductor products P1 to P4,
A cleaning device, a resist coating device, a heating furnace, an exposure device, an etching device, and the like.

【００１５】また、搬送装置Ｔ１〜Ｔ４は、各々生産エ
リア内を自走して製品Ｐ１〜Ｐ４を製品投入口ＳＧから
必要な処理装置Ｍ１、Ｍ２へ搬送したり、処理済みの製
品Ｐ１〜Ｐ４を次ぎの処理装置Ｍ１、Ｍ２へ搬送した
り、完成した製品Ｐ１〜Ｐ４を製品払い出し口ＥＧへ搬
送したりする。Further, the transfer devices T1 to T4 are each self-propelled in the production area to transfer the products P1 to P4 from the product inlet SG to the required processing devices M1 and M2, or the processed products P1 to P4. To the next processing device M1 or M2, or the completed products P1 to P4 to the product delivery port EG.

【００１６】このような半導体生産システムにおいて、
製品Ｐ１〜Ｐ４は、自らの工程情報（全プロセスフロー
データおよび現在仕掛かっている工程のフロー上の位
置）と投入されてからの時系列情報（処理履歴）とを保
有している。なお、工程情報や時系列情報の保有の仕方
は、製品Ｐ１〜Ｐ４を各々収納するマガジンに取り付け
られたＩＣカードなどの記録媒体に記録しておく方法
と、バーコードなどの読み取り媒体を介してホストコン
ピュータで集中管理する方法等があるが、いずれでもよ
い。In such a semiconductor production system,
The products P1 to P4 have their own process information (all process flow data and the position in the flow of the process that is currently in process) and time-series information (processing history) since they were input. The process information and time-series information can be held by recording them on a recording medium such as an IC card attached to a magazine that stores each of the products P1 to P4, or by using a reading medium such as a bar code. There is a method such as centralized management by the host computer, but either method is acceptable.

【００１７】処理装置Ｍ１、Ｍ２は、自らの状態である
処理中、待機中、故障中、メンテナンス中などの状態情
報（ステータス情報）を保有するとともに、生産エリア
内における自身の位置情報を保有している。これらの情
報の保有の仕方は、自身の持つ記憶手段に記憶しても、
外部のデータベース等に記憶しておいてもよい。The processing devices M1 and M2 hold status information (status information) such as processing status, standby status, failure status, and maintenance status, which are the statuses of the processing equipment M1 and M2, as well as their position information in the production area. ing. Even if you store it in your own storage,
It may be stored in an external database or the like.

【００１８】また、処理装置Ｍ１、Ｍ２は、搬送装置Ｔ
１〜Ｔ４から発信される情報を受信する処理装置受信手
段（図示せず）と、自身のステータス情報や位置情報を
発信する処理装置送信手段（図示せず）とを備えてい
る。なお、本実施形態における半導体生産システムで
は、処理装置Ｍ１、Ｍ２として配置が固定のものと、配
置を自由に移動できる移動手段を備えているものとの両
方を含む。The processing devices M1 and M2 are the transfer device T.
1 to T4 are provided with processing device receiving means (not shown) and processing device transmitting means (not shown) for sending status information and position information of itself. The semiconductor production system according to the present embodiment includes both of the processing devices M1 and M2 that are fixedly arranged and that is provided with a moving unit that can freely move the arrangement.

【００１９】搬送装置Ｔ１〜Ｔ４は、自身の状態である
製品搬送中、待機中、故障中、メンテナンス中などの状
態情報（ステータス情報）を保有するとともに、生産エ
リア内における自身の位置情報を保有している。これら
の情報の保有の仕方は、自身の持つ記憶手段に記憶して
も、外部のデータベース等に記憶しておいてもよい。The transfer devices T1 to T4 hold status information (status information) of their own status such as product transfer, standby, failure, and maintenance, and position information of their own position in the production area. is doing. The method of holding such information may be stored in its own storage means or in an external database or the like.

【００２０】また、搬送装置Ｔ１〜Ｔ４は、搬送する製
品Ｐ１〜Ｐ４の保有する工程情報および処理装置Ｍ１、
Ｍ２、Ｍ３の処理装置発信手段から発信される情報を受
信する搬送装置受信手段（図示せず）と、生産エリア内
の自身の位置情報および自身の状態情報を発信する搬送
装置発信手段（図示せず）とを備えている。The transfer devices T1 to T4 are provided with the process information and the processing device M1 of the products P1 to P4 to be transferred.
Conveying device receiving means (not shown) for receiving information transmitted from the processing device transmitting means of M2 and M3, and conveying device transmitting means (not shown) for transmitting position information and status information of itself in the production area. And).

【００２１】ここで、図１の処理装置Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３
および搬送装置Ｔ１〜Ｔ４に付随する（）内の文字は各
々の状態情報を示し、製品Ｐ１〜Ｐ４に付随する（）内
の文字は各々の時系列情報を示している。また、図１の
＜＞内の文字は、処理装置Ｍ１、Ｍ２および搬送装置Ｔ
１〜Ｔ４の各々が発信する情報の種類を示している。Here, the processing devices M1, M2, M3 of FIG.
The characters in parentheses () attached to the transport devices T1 to T4 indicate the respective status information, and the characters in parentheses () attached to the products P1 to P4 indicate the time series information. In addition, the characters in <> in FIG. 1 indicate the processing devices M1 and M2 and the transport device T.
The types of information transmitted by each of 1 to T4 are shown.

【００２２】このような半導体生産システムにおいて、
搬送装置が製品を搬送している場合には、搬送装置受信
手段にて受信した製品の工程情報から搬送先となり得る
処理装置を特定し、その処理装置から発信される位置情
報およびステータス情報を受信して、自身の位置情報お
よびステータス情報に基づき移動方向および移動距離を
示すベクトルを随時生成する。そして、この生成された
ベクトルに従い移動を行う。In such a semiconductor production system,
When the carrier is transporting the product, the processing device that can be the destination of the transport is specified from the process information of the product received by the carrier receiving means, and the position information and the status information transmitted from the processor are received. Then, based on its own position information and status information, a vector indicating a moving direction and a moving distance is generated at any time. Then, the movement is performed according to the generated vector.

【００２３】一方、搬送装置が製品を搭載していない場
合には、製品投入口からの搬送要求信号および処理装置
発信手段から発信される処理装置の製品投入口（処理装
置自体の投入口もしくは処理装置から離れた位置にある
投入口）および製品払出口（処理装置自体の投入口もし
くは処理装置から離れた位置にある投入口）への搬送要
求信号を搬送装置受信手段にて受信し、その搬送要求信
号を発信した処理装置の位置情報および状態情報を受信
して、自身の位置情報および状態情報に基づき移動方向
および移動距離を示すベクトルを随時生成する。そし
て、生成されたベクトルに従い移動を行う。On the other hand, when the product is not loaded in the carrier device, the product request port from the product input port and the product input port of the processing device transmitted from the processing device transmitting means (the input port or the processing port of the processing device itself). The carrier device receiving means receives a carrier request signal to a loading port located away from the device) and a product dispensing port (the loading port of the processing device itself or the loading port located away from the processing device), and carries the product. The position information and the state information of the processing device that has transmitted the request signal are received, and a vector indicating the moving direction and the moving distance is generated at any time based on the position information and the state information of the processing device. Then, the movement is performed according to the generated vector.

【００２４】このようなベクトルに基づく移動によっ
て、処理装置Ｍ１、Ｍ２や搬送装置Ｔ１〜Ｔ４は自律的
にレイアウトを変化させてリアルタイムで効率の良い生
産を行うことができるようになる。By such vector-based movement, the processing devices M1 and M2 and the transfer devices T1 to T4 can autonomously change the layout and perform efficient production in real time.

【００２５】ここで、各装置の具体的な動作を説明す
る。処理装置Ｍ１は、自身のステータス情報が（待機
中）であるので、処理可能信号＜Ｂ１＞を発信する。一
方、搬送装置Ｔ１は、製品Ｐ１を搬送中であるが、取得
した製品Ｐ１の工程情報から次工程を実行できる処理装
置Ｍ１の発信している処理可能信号＜Ｂ１＞を受信し、
自身の移動方向および移動距離を示すベクトルＶ−Ｔ１
を生成する。Here, the specific operation of each device will be described. Since the status information of the processing device M1 is (standby), the processing device M1 transmits the process enable signal <B1>. On the other hand, the transporting device T1 receives the processable signal <B1> transmitted from the processing device M1 capable of executing the next process based on the acquired process information of the product P1 while transporting the product P1.
A vector V-T1 indicating the moving direction and moving distance of itself
To generate.

【００２６】なお、処理装置Ｍ１に移動手段が設けられ
ている場合には、搬送装置Ｔ１から発信される製品Ｐ１
に関する処理要求信号＜Ａ１＞を受信して、自身の位置
情報およびステータス情報に基づき移動手段の移動方向
および移動距離を示すベクトルＶ−Ｍ１を生成する。When the processing device M1 is provided with a moving means, the product P1 transmitted from the transfer device T1.
A processing request signal <A1> is received and a vector V-M1 indicating the moving direction and the moving distance of the moving means is generated based on the position information and the status information of itself.

【００２７】搬送装置Ｔ１および処理装置Ｍ１の各々が
生成するベクトルＶ−Ｔ１、Ｖ−Ｍ１は随時変化してい
き、各ベクトルＶ−Ｔ１、Ｖ−Ｍ１に基づき移動する搬
送装置Ｔ１および処理装置Ｍ１の距離が近づくほど、ベ
クトルが大きくなって移動距離が増していく。やがて搬
送装置Ｔ１は処理装置Ｍ１に対する製品Ｐ１の搬送を完
了する。The vectors V-T1 and V-M1 generated by the transporting device T1 and the processing device M1 change from time to time, and the transporting device T1 and the processing device M1 move based on the vectors V-T1 and V-M1. The closer the distance is, the larger the vector and the greater the moving distance. Eventually, the transfer device T1 completes the transfer of the product P1 to the processing device M1.

【００２８】搬送装置Ｔ１が処理装置Ｍ１に到達して、
製品Ｐ１を渡した段階で処理装置Ｍ１による製品Ｐ１の
処理が開始される。その時点で処理装置Ｍ１のステータ
ス情報は（処理中）、搬送装置Ｔ１のステータス情報は
（待機中）となる。When the transfer device T1 reaches the processing device M1,
When the product P1 is delivered, the processing device M1 starts processing the product P1. At that time, the status information of the processing apparatus M1 becomes (processing) and the status information of the transport apparatus T1 becomes (standby).

【００２９】ここで処理装置が発信する各種信号につい
て説明する。図２は距離に対する信号の強さを示す図で
ある。本実施形態では、処理装置Ｍ１から発信する信号
として、距離が離れるほど信号の強さが弱くなる電波等
を利用している。つまり、処理装置から遠い位置にある
搬送装置等では信号の強さが弱いため、この信号に基づ
き生成されるベクトルの大きさは小さくなる。一方、処
理装置から近いほど信号が強くなるため、生成されるベ
クトルの大きさは大きくなる。Here, various signals transmitted from the processing device will be described. FIG. 2 is a diagram showing signal strength with respect to distance. In the present embodiment, as a signal transmitted from the processing device M1, a radio wave or the like whose signal strength becomes weaker as the distance increases, is used. In other words, the strength of the signal is weak in the carrier device or the like located far from the processing device, and the magnitude of the vector generated based on this signal is small. On the other hand, since the signal becomes stronger as it gets closer to the processing device, the size of the generated vector becomes larger.

【００３０】これにより、処理装置からの要求を受ける
ことができ複数の搬送装置のうち、処理装置から最も近
い位置にある搬送装置がいち早く要求元の処理装置へ向
かうようになる。なお、図２に示す関係は、処理装置と
搬送装置との位置関係のみならず、製品投入口や製品払
出口など信号を発信する全ての物と信号を受ける全ての
物との２者間の関係に適用される。As a result, the request from the processing apparatus can be received, and the transfer apparatus located closest to the processing apparatus out of the plurality of transfer apparatuses moves toward the requesting processing apparatus as soon as possible. Note that the relationship shown in FIG. 2 is not limited to the positional relationship between the processing device and the transport device, but also between two objects such as product input ports and product output ports and all those that receive signals. Applied to relationships.

【００３１】また、図２は２者間を近づけるための関係
を示しているが、図３は距離に対する信号のマイナス側
の強さを示す図である。つまり、２者間を遠ざけるため
の関係を示している。これは、生産エリア内で搬送装置
等が移動できない場所、例えば壁や固定の処理装置があ
る部分に適用される関係で、その物との距離が近づくほ
どマイナスの信号が強くなり、衝突を避けることができ
る。例えば、搬送装置が壁に近づくと、マイナスの信号
が強くなって壁から遠ざける方向のベクトルが大きく生
成される。マイナスの信号は斥力フィールド（Repulsio
n field）と呼ばれ、例えば、図中に示す式によって求
められる。Further, while FIG. 2 shows the relationship for bringing the two closer together, FIG. 3 is a diagram showing the minus-side strength of the signal with respect to the distance. That is, it shows the relationship for keeping the two away from each other. This is because it applies to places in the production area where transport devices cannot move, such as walls and parts with fixed processing devices. As the distance from the product gets closer, the negative signal becomes stronger and collisions are avoided. be able to. For example, when the transport device approaches the wall, the negative signal becomes strong, and a large vector in the direction of moving away from the wall is generated. The negative signal is the repulsive force field (Repulsio
n field), which is obtained, for example, by the formula shown in the figure.

【００３２】このような図２、図３に示す関係から、障
害物を避けながら適切な動線となるベクトルが随時生成
される。したがって、搬送装置Ｔ１で搬送中の製品Ｐ１
を処理することができる処理装置としてＭ１、Ｍ２の複
数が存在し、各々から処理可能信号＜Ｂ１＞が発信され
ている場合、搬送装置Ｔ１で生成されるベクトルとして
は処理装置Ｍ１と処理装置Ｍ２との両方に向けたもの生
成されるが、最終的にはこれらのベクトルの合力である
ベクトルＶ−Ｔ１によって移動方向が決まる。図１に示
す例では搬送装置Ｔ１から近い位置にある処理装置Ｍ１
へのベクトルが大きいため、処理装置Ｍ１へ近づくよう
搬送されることになる。From the relations shown in FIGS. 2 and 3, a vector which becomes an appropriate flow line while avoiding an obstacle is generated at any time. Therefore, the product P1 being transported by the transport device T1
When there are a plurality of processing devices M1 and M2 capable of processing the above, and a processable signal <B1> is transmitted from each of them, the vector generated by the transfer device T1 is the processing device M1 and the processing device M2. , But the moving direction is finally determined by the vector V-T1 which is the resultant force of these vectors. In the example shown in FIG. 1, the processing device M1 located near the transport device T1.
Since the vector to (2) is large, it is conveyed so as to approach the processing device M1.

【００３３】次に、製品投入口ＳＧから搬送要求信号＜
Ｂ２＞が発信されている場合を説明する。この場合、ス
テータス情報が（待機中）となっている搬送装置Ｔ２、
Ｔ３で搬送要求信号＜Ｂ２＞を受信できる位置にある搬
送装置Ｔ２によりベクトルＶ−Ｔ２が生成され、このベ
クトルＶ−Ｔ２に従って搬送装置Ｔ２が移動していく。Next, a conveyance request signal <from the product inlet SG
The case where B2> is transmitted will be described. In this case, the transport device T2 whose status information is (standby),
The vector V-T2 is generated by the carrier device T2 at the position where the carrier request signal <B2> can be received at T3, and the carrier device T2 moves according to the vector V-T2.

【００３４】なお、図１に示すように、製品投入口ＳＧ
から発信される搬送要求信号＜Ｂ２＞を受信する搬送装
置がＴ２のみである場合、搬送装置Ｔ２で生成されるベ
クトルＶ−Ｔ２は製品投入口ＳＧの重心方向へ真っ直ぐ
向くことになる。また、製品投入口ＳＧ自身に移動手段
が設けられている場合には、製品投入口ＳＧでもベクト
ルＶ−ＳＧが生成され、搬送装置Ｔ２の方向へ向けて移
動していくことになる。As shown in FIG. 1, the product inlet SG
When the transport device that receives the transport request signal <B2> transmitted from T2 is T2 only, the vector V-T2 generated by the transport device T2 is directed straight toward the center of gravity of the product inlet SG. Further, when the moving means is provided in the product input port SG itself, the vector V-SG is also generated in the product input port SG, and the vector V-SG is moved toward the transport device T2.

【００３５】処理装置Ｍ２は、自身のステータス情報が
（待機中）であるが、処理済みの製品Ｐ３を保持してい
る状態であるため、搬送要求信号＜Ｂ２＞を発信してい
る。この搬送要求信号＜Ｂ２＞を受信できるのは（待機
中）の搬送装置Ｔ３であり、＜Ｂ２＞を受信した後に搬
送装置Ｔ３は自らの移動方向を決定するベクトルＶ−Ｔ
３を生成する。Although the status information of the processing apparatus M2 is (standby), the processing apparatus M2 is in a state of holding the processed product P3, and therefore, the processing requesting signal <B2> is transmitted. The carrier request signal <B2> can be received by the carrier device T3 (standby), and after receiving <B2>, the carrier device T3 is a vector V-T that determines its own moving direction.
3 is generated.

【００３６】なお、処理装置Ｍ２に移動手段が設けられ
ている場合には、次工程の処理装置Ｍ３から発信される
位置情報およびステータス情報を受信して、自身の位置
情報およびステータス情報に基づき移動手段の移動方向
および移動距離を示すベクトルＶ−Ｍ２を随時生成し、
これに従い移動する。When the processing device M2 is provided with a moving means, it receives position information and status information transmitted from the processing device M3 in the next step, and moves based on its own position information and status information. A vector V-M2 indicating the moving direction and moving distance of the means is generated at any time,
Move according to this.

【００３７】搬送装置Ｔ３が処理装置Ｍ２まで到達して
製品Ｐ３を受け取ると、搬送装置Ｔ３はその製品Ｐ３の
工程情報を読み取り、次工程の処理を行うための処理装
置へ向かって移動する。When the transport device T3 reaches the processing device M2 and receives the product P3, the transport device T3 reads the process information of the product P3 and moves toward the processing device for performing the process of the next process.

【００３８】製品Ｐ４は時系列情報が（終了）であり、
この生産エリアでの処理が完了した状態となっている。
これを搬送する搬送装置Ｔ４は、製品払出口ＥＧの発信
する処理可能信号＜Ｂ１＞を受信してベクトルＶ−Ｔ４
を生成し、このベクトルＶ−Ｔ４に従い移動する。The time series information of the product P4 is (end),
The processing in this production area has been completed.
The transport device T4 that transports this receives the processable signal <B1> transmitted from the product dispensing outlet EG and receives the vector V-T4.
Is generated and moves according to this vector V-T4.

【００３９】なお、製品払出口ＥＧ自身に移動手段が設
けられている場合には、製品払出口ＥＧでもベクトルＶ
−ＥＧが生成され、搬送装置Ｔ４の方向へ向けて移動し
ていくことになる。If the product dispensing outlet EG itself is provided with a moving means, the product dispensing outlet EG also has the vector V.
-EG is generated and moves toward the transport device T4.

【００４０】このように、各処理装置Ｍ１、Ｍ２、搬送
装置Ｔ１〜Ｔ４、製品投入口ＳＧ、製品払出口ＥＧでは
移動のためのベクトルを随時生成し、このベクトルに従
い移動することで、リアルタイムに最適なレイアウト、
搬送経路を決定し、自律的に効率の良い生産を行うこと
が可能となる。As described above, the processing devices M1 and M2, the transport devices T1 to T4, the product inlet SG, and the product outlet EG generate a vector for movement at any time, and the vector is moved according to the vector, so that the vector is moved in real time. Optimal layout,
It is possible to determine a transport route and autonomously perform efficient production.

【００４１】次に、処理装置が処理済みの製品を一時保
管できるバッファを備えている場合の移動について説明
する。図４は、処理装置がバッファを備えている場合の
移動を説明する模式図である。図４に示す例では、処理
装置Ｍ２にバッファＢＦが設けられており、処理済みの
製品Ｐ３がバッファＢＦに保管されている。Next, the movement when the processing device has a buffer capable of temporarily storing the processed products will be described. FIG. 4 is a schematic diagram illustrating movement when the processing device includes a buffer. In the example shown in FIG. 4, the processing device M2 is provided with the buffer BF, and the processed product P3 is stored in the buffer BF.

【００４２】処理装置Ｍ２は、その製品Ｐ３の工程情報
を読み取り、次工程を実行できる処理装置への搬送要求
信号＜Ｂ２＞を発信する。さらに、バッファＢＦを備え
る処理装置Ｍ２では、製品Ｐ３の処理が終了してバッフ
ァＢＦへ保管した時点から処理が可能となることから、
処理可能信号＜Ｂ１＞を発信することができる。The processing device M2 reads the process information of the product P3, and sends a conveyance request signal <B2> to the processing device capable of executing the next process. Further, in the processing device M2 including the buffer BF, the processing can be performed from the time when the processing of the product P3 is completed and the product P3 is stored in the buffer BF.
A processable signal <B1> can be emitted.

【００４３】処理装置Ｍ２のステータス情報は（待機
中）となり、処理可能信号＜Ｂ１＞と搬送要求信号＜Ｂ
２＞との両方を発信している状態となる。ここで、搬送
装置Ｔ２は製品Ｐ２を搬送中であるが、製品Ｐ２の次の
処理を行うために工程情報を取得し、処理要求信号＜Ａ
１＞を発信している。また、ステータス情報が（待機
中）となっている空の搬送装置Ｔ３は、処理装置Ｍ２が
発信する搬送要求信号＜Ｂ２＞を受信して、バッファＢ
Ｆの重心に向けたベクトルＶ−Ｔ３を随時生成し、これ
に従い移動していく。The status information of the processing device M2 becomes (standby), and the processable signal <B1> and the transport request signal <B
2> and both are being transmitted. Here, although the transporting device T2 is transporting the product P2, the transporting device T2 acquires process information for performing the next process of the product P2, and the process request signal <A.
1> is transmitted. Further, the empty transport device T3 whose status information is (standby) receives the transport request signal <B2> transmitted from the processing device M2, and then the buffer B
A vector V-T3 directed to the center of gravity of F is generated at any time, and the vector is moved accordingly.

【００４４】また、搬送装置Ｔ２は、処理装置Ｍ２から
発信される処理可能信号＜Ｂ１＞を受信して、ベクトル
Ｖ−Ｔ２を随時生成し、これに従い移動していく。Further, the transfer device T2 receives the processable signal <B1> transmitted from the processing device M2, generates the vector V-T2 at any time, and moves accordingly.

【００４５】ここで、処理装置Ｍ２に移動手段が設けら
れている場合、処理装置Ｍ２は搬送装置Ｔ２が搬送する
製品Ｐ２の処理要求信号＜Ａ１＞を受信してベクトルＶ
−Ｍ２ａを随時生成する。これとともにバッファＢＦを
備える処理装置Ｍ２は、次工程の処理装置Ｍ３に向けて
ベクトルＶ−Ｍ２ｂを随時生成する。When the processing device M2 is provided with a moving means, the processing device M2 receives the processing request signal <A1> of the product P2 carried by the carrying device T2 and receives the vector V.
-M2a is generated at any time. Along with this, the processing device M2 including the buffer BF always generates the vector V-M2b toward the processing device M3 of the next process.

【００４６】図５は、バッファを備えた処理装置のベク
トルによる移動を説明する模式図である。処理装置Ｍ２
では、先に説明したように搬送装置Ｔ２に向けたベクト
ルＶ−Ｍ２ａと次工程の処理装置Ｍ３に向けたベクトル
Ｖ−Ｍ２ｂとを生成している。このように複数のベクト
ルが生成された場合には、これらを合成して成るベクト
ルＶ−Ｍ２ａｂに向けて処理装置Ｍ２は移動していくこ
とになる。FIG. 5 is a schematic diagram for explaining movement by a vector of a processing device having a buffer. Processing device M2
Then, as described above, the vector V-M2a directed to the transfer device T2 and the vector V-M2b directed to the processing device M3 of the next process are generated. When a plurality of vectors are generated in this manner, the processing device M2 moves toward the vector V-M2ab formed by combining these.

【００４７】なお、上記説明ではバッファＢＦが処理装
置Ｍ２に設けられている例を示したが、例えば生産エリ
ア内に独立した一時保管装置を有する場合でも、保管装
置から発信される搬送要求信号や処理可能信号に基づき
搬送装置がベクトルを生成して移動する。もしくは自走
可能な保管装置であれば自身の移動方向を決定するベク
トルを生成し、移動するようになる。In the above description, the example in which the buffer BF is provided in the processing device M2 is shown. However, even if an independent temporary storage device is provided in the production area, for example, a transfer request signal transmitted from the storage device or The transport device generates and moves a vector based on the processable signal. Alternatively, if it is a self-propelled storage device, a vector for determining the moving direction of itself is generated and moved.

【００４８】ここで、図６の模式図に基づいて生産シス
テム全体の移動について説明する。なお、図６では、生
産エリア内に５台の処理装置Ｍ１〜Ｍ５があり、全て自
走可能となっている。また、各処理装置Ｍ１〜Ｍ５には
バッファＢＦが設けられている。搬送装置はＴ１〜Ｔ３
の３台があり、搬送装置Ｔ１、Ｔ２が各々製品種Ａ、Ｂ
の製品を搬送中、搬送装置Ｔ３が待機中となっている。
生産エリアには製品の搬入口、搬出口が設けられてお
り、ここでは生産エリアの隅に設定されている。また、
図６に示す各処理装置の（）内は処理可能工程を示して
いる。Now, the movement of the entire production system will be described with reference to the schematic view of FIG. In FIG. 6, there are five processing devices M1 to M5 in the production area, all of which are self-propelled. A buffer BF is provided in each of the processing devices M1 to M5. Transport devices are T1 to T3
There are three units, and the transport devices T1 and T2 are product types A and B, respectively.
While the product is being transported, the transport device T3 is on standby.
The production area is provided with a product inlet and a product outlet, which are set in the corners of the production area here. Also,
Processable steps are shown in parentheses of each processing apparatus shown in FIG.

【００４９】製品種Ａは、工程情報ａ、ｂ、ｃ、Ｅ（Ｅ
ＮＤの意味）を保有し、製品種Ｂは、工程情報ａ、ｂ、
Ｅを保有している。図中処理装置Ｍ１〜Ｍ５、搬送装置
Ｔ１〜Ｔ３の各要素から延出する矢印は生成されるベク
トルを示しており、一つの要素から複数のベクトルが生
成されている場合にはそれらの合成ベクトルに従って移
動することになる。The product type A includes process information a, b, c, E (E
(Meaning ND), product type B has process information a, b,
Owns E. In the figure, the arrows extending from the respective elements of the processing devices M1 to M5 and the transport devices T1 to T3 indicate the generated vector, and when a plurality of vectors are generated from one element, their combined vector Will move according to.

【００５０】例えば、搬送装置Ｔ１は製品種Ａの製品を
搬送中であり、この製品の工程情報から（ａ）の処理を
実行できる処理装置Ｍ１、Ｍ２の両方に対してベクトル
が生成される。各ベクトルの大きさは搬送装置Ｔ１と各
処理装置Ｍ１、Ｍ２との距離に応じて決まる。搬送装置
Ｔ１は、処理装置Ｍ１、Ｍ２に向かう各ベクトルの合成
ベクトルに従って移動する。For example, the transport device T1 is transporting a product of the product type A, and a vector is generated for both the processing devices M1 and M2 capable of executing the process (a) from the process information of this product. The size of each vector is determined according to the distance between the transport device T1 and each of the processing devices M1 and M2. The transport device T1 moves in accordance with the combined vector of the vectors toward the processing devices M1 and M2.

【００５１】一方、処理装置Ｍ１は、搬送装置Ｔ１が搬
送している製品種Ａの製品の処理を実行可能であるた
め、搬送装置Ｔ１に向けてベクトルが生成される。これ
とともに製品種Ｂの製品を搬送中の搬送装置Ｔ２につい
ても、その製品に対する（ａ）の処理が可能であるた
め、搬送装置Ｔ２に向けてのベクトルも生成される。処
理装置Ｍ１は、搬送装置Ｔ１、Ｔ２に向けて各々生成さ
れるベクトルの合成ベクトルに従い移動する。On the other hand, since the processing device M1 can execute the processing of the product of the product type A which is being carried by the carrying device T1, a vector is generated toward the carrying device T1. At the same time, the transfer device T2 that is transferring the product of the product type B can also perform the process (a) for the product, so that a vector for the transfer device T2 is also generated. The processing device M1 moves toward the transport devices T1 and T2 in accordance with a combined vector of the generated vectors.

【００５２】さらに、処理装置Ｍ１のバッファＢＦには
処理済みの製品種Ａの製品が一時格納されている。この
製品の次の処理は（ｂ）であるため、処理（ｂ）を実行
できる処理装置Ｍ４へ向けてベクトルが生成される。な
お、処理装置Ｍ３も処理（ｂ）を実行できるが、現段階
では他の製品の処理中であるので処理可能信号は発信さ
れておらず、処理装置Ｍ１のバッファＢＦから処理装置
Ｍ２へ向けたベクトルは生成されない。Further, the processed product of the product type A is temporarily stored in the buffer BF of the processing device M1. Since the next process of this product is (b), a vector is generated toward the processing device M4 capable of executing the process (b). Note that the processing device M3 can also execute the process (b), but since a processable signal is not transmitted because another product is being processed at this stage, the buffer BF of the processing device M1 directed to the processing device M2. No vector is generated.

【００５３】結局、処理装置Ｍ１は、処理装置Ｍ１から
搬送装置Ｔ１、Ｔ２へ向けて生成される各ベクトルの合
成ベクトルと、バッファＢＦから処理装置Ｍ４へ向けて
生成されるベクトルとの合成ベクトルによって移動方向
および移動距離が決定されることになる。After all, the processing device M1 uses the composite vector of the composite vector of each vector generated from the processing device M1 toward the transport devices T1 and T2 and the vector generated from the buffer BF toward the processing device M4. The moving direction and moving distance will be determined.

【００５４】他の搬送装置および処理装置についても、
搬送装置Ｔ１や処理装置Ｍ１と同様にベクトルを生成
し、複数のベクトルが生成された場合にはそれらの合成
ベクトルに従って移動方向および移動距離を決定する。
また、搬入口や搬出口からも搬送要求信号が発信され、
ベクトル生成のために使用される。通常は、搬送装置Ｔ
１〜Ｔ３のうち製品を搭載していないものが搬入口から
の搬送要求信号を受信することで、それに向けてのベク
トルを生成して移動し、製品を搭載しているものが搬出
口からの搬送要求信号を受信することで、それに向けて
ベクトルを生成して移動するが、処理装置Ｍ１〜Ｍ５自
身が搬入口、搬出口からの搬送要求信号を受信して搬入
口、搬出口へ移動するようにしてもよい。With respect to other transfer devices and processing devices,
Similar to the transport device T1 and the processing device M1, a vector is generated, and when a plurality of vectors are generated, the moving direction and the moving distance are determined according to the combined vector.
In addition, a transport request signal is sent from the carry-in entrance and the carry-out exit.
Used for vector generation. Usually, the transport device T
1 to T3, which does not have a product installed, receives a transport request signal from the carry-in port, generates a vector for it, and moves, and the product carrying a product does not come from the carry-out port. By receiving the transport request signal, a vector is generated and moved toward it, but the processing devices M1 to M5 themselves receive the transport request signal from the carry-in port and the carry-out port and move to the carry-in port and the carry-out port. You may do it.

【００５５】このように生産エリア内で移動できる搬送
装置Ｔ１〜Ｔ３や処理装置Ｍ１〜Ｍ５が自律的に移動方
向および移動距離をリアルタイムで生成することで、常
に良好な条件で生産を行うことが可能となる。In this way, the transporting devices T1 to T3 and the processing devices M1 to M5 that can move within the production area autonomously generate the moving direction and the moving distance in real time, so that the production can always be performed under favorable conditions. It will be possible.

【００５６】次に、本実施形態に係る半導体生産シミュ
レーション方法を説明する。この半導体生産シミュレー
ション方法は、先に説明した自律型の半導体生産システ
ムを計算上の生産エリア内、および計算上の搬送装置、
処理装置等で実現するためのものである。つまり、コン
ピュータによるシミュレーションによって最適な半導体
生産システムを構築するための方法であり、入力情報と
して、例えば生産エリアであるフロアサイズ、処理装置
等の設備仕様、生産する製品の仕様、搬送装置の仕様、
搬送装置の数、生産計画、ディスパッチルールがある。Next, a semiconductor production simulation method according to this embodiment will be described. This semiconductor production simulation method uses the above-described autonomous semiconductor production system in a computational production area and in a computational transport device,
It is intended to be realized by a processing device or the like. In other words, it is a method for constructing an optimum semiconductor production system by computer simulation, and as input information, for example, floor size that is a production area, equipment specifications such as processing equipment, specifications of products to be produced, specifications of transfer equipment,
There are number of transfer devices, production plan, dispatch rules.

【００５７】また、これらの入力情報を基にしてシミュ
レーションを行い、例えば、所定のステップ時間毎のフ
ロアレイアウト、ジョブ毎の動線長さ、ジョブ毎のリー
ドタイム、スループットを計算して出力する。以下、入
力された情報を基に搬送装置、処理装置の各動作をシミ
ュレーションする処理を順に説明する。A simulation is performed based on these input information, and for example, the floor layout for each predetermined step time, the flow line length for each job, the lead time for each job, and the throughput are calculated and output. Hereinafter, a process of simulating each operation of the transport device and the processing device based on the input information will be described in order.

【００５８】図７、図８は、搬送装置の移動についての
シミュレーション方法を説明するフローチャートであ
る。先ず、図７に示すように、製品を搭載しているか否
かを判断する（ステップＳ１）。搭載していない場合に
は図８に示すステップＳ１０以降の処理へ進む（後
述）。FIG. 7 and FIG. 8 are flow charts for explaining the simulation method for the movement of the carrying device. First, as shown in FIG. 7, it is determined whether or not the product is mounted (step S1). If not installed, the process proceeds to step S10 and subsequent steps shown in FIG. 8 (described later).

【００５９】搬送装置が製品を搭載している場合には、
その製品の工程情報（次工程の情報）を読み取る（ステ
ップＳ２）。次に、読み取った工程情報から最終工程が
終了しているか否かを判断し（ステップＳ３）、終了し
ている場合には払出口からの信号を受信して移動方向、
移動距離を示すベクトルを計算し、払出口へ製品を搬送
する（ステップＳ４）。When the carrier is equipped with a product,
The process information (information on the next process) of the product is read (step S2). Next, it is judged from the read process information whether or not the final process is completed (step S3), and if it is completed, a signal from the payout outlet is received to determine the moving direction,
A vector indicating the movement distance is calculated, and the product is conveyed to the payout opening (step S4).

【００６０】終了工程でない場合には、次工程の処理が
可能な処理装置からの信号を受信したか否かを判断する
（ステップＳ５）。受信していない場合には現在位置で
搬送要求信号を必要に応じて回転しながらセンシングす
る（ステップＳ６）。一方、処理装置からの信号を受信
した場合には、受信した信号に基づいて処理装置への移
動方向、移動距離を示すベクトルを計算して移動すると
ともに、処理要求信号を発信する（ステップＳ７）。If it is not the end step, it is judged whether or not a signal from a processing device capable of processing the next step is received (step S5). If not received, the conveyance request signal is sensed while rotating as required at the current position (step S6). On the other hand, when a signal from the processing device is received, a vector indicating a moving direction and a moving distance to the processing device is calculated based on the received signal to move and a processing request signal is transmitted (step S7). .

【００６１】次に、処理可能な装置に到着したか否かを
判断し（ステップＳ８）、到着していない場合にはステ
ップＳ５〜Ｓ７を繰り返す。搬送装置が処理可能な装置
に到着した場合には製品の引き渡しを行う（ステップＳ
９）。Next, it is judged whether or not the apparatus has arrived at a processable apparatus (step S8), and if it has not arrived, steps S5 to S7 are repeated. When the transport device arrives at a processable device, the product is delivered (step S).
9).

【００６２】次に、図８に示すステップＳ１０以降の処
理へ移る。この状態では搬送装置に製品が搭載されてい
ないため、先ず、投入口または処理装置からの搬送要求
信号を受信したか否かを判断する（ステップＳ１０）。Then, the process proceeds to step S10 and thereafter shown in FIG. In this state, since the product is not mounted on the carrier device, first, it is determined whether or not a carrier request signal from the input port or the processing device is received (step S10).

【００６３】受信していない場合には、現在位置で搬送
要求信号を必要に応じて回転しながらセンシングする
（ステップＳ１１）。一方、搬送要求信号を受信した場
合には、その信号を基に移動方向、移動距離を示すベク
トルを計算して移動を行う（ステップＳ１２）。If it has not been received, the conveyance request signal is sensed while rotating at the present position as required (step S11). On the other hand, when the conveyance request signal is received, the vector indicating the movement direction and the movement distance is calculated based on the signal and the movement is performed (step S12).

【００６４】次に、投入口または目標となる処理装置に
到達したか否かを判断し（ステップＳ１３）、到達して
いない場合にはステップＳ１２〜Ｓ１３を繰り返す。一
方、到達した場合には製品を搭載し（ステップＳ１
４）、図７に示すステップＳ２へ戻って搭載後の処理を
行う。Next, it is judged whether or not the input port or the target processing device has been reached (step S13), and if not reached, steps S12 to S13 are repeated. On the other hand, when it arrives, the product is mounted (step S1
4) and returns to step S2 shown in FIG. 7 to perform post-mounting processing.

【００６５】次に、処理装置の移動についてのシミュレ
ーション方法を図９〜図１３のフローチャートに基づい
て説明する。先ず、図９に示すように、処理装置のステ
ータス情報によって処理が分かれる。すなわち、処理装
置がアイドル状態であれば図１０に示す処理、故障中で
あれば図１１に示す処理、メンテナンス中であれば図１
２に示す処理、処理中であれば図１３に示す処理を行
う。Next, a method of simulating the movement of the processing device will be described with reference to the flowcharts of FIGS. First, as shown in FIG. 9, the processing is divided according to the status information of the processing device. That is, if the processing device is in an idle state, the process shown in FIG. 10 is performed, if it is in failure, the process shown in FIG.
If the process shown in FIG. 2 and the process are in progress, the process shown in FIG. 13 is performed.

【００６６】はじめにアイドル状態の場合の処理を説明
する（図１０参照）。先ず、処理可能信号をＯＮにする
（ステップＳ１０１）。次に、Ａ：バッファに製品が有
るか否か、Ｂ：搬送装置からの処理要求が有るか否かの
各々によって処理を分ける。First, the processing in the idle state will be described (see FIG. 10). First, the processable signal is turned on (step S101). Next, processing is divided according to A: whether or not there is a product in the buffer and B: whether or not there is a processing request from the transport device.

【００６７】Ａ：バッファに製品が有り（Ｙｅｓ）、
Ｂ：搬送装置からの処理要求有り（Ｙｅｓ）の場合、搬
送要求信号をＯＮにして（ステップＳ１０３）、搬送装
置に搭載されている製品の工程情報を読み取る（ステッ
プＳ１０４）。A: There is a product in the buffer (Yes),
B: When there is a processing request from the transport device (Yes), the transport request signal is turned on (step S103), and the process information of the product mounted on the transport device is read (step S104).

【００６８】次いで、バッファに格納されている製品の
工程情報から次工程の処理が可能か否かを判断し（ステ
ップＳ１０５）、不可能な場合には処理要求を出してい
る搬送装置に向けてのベクトルを計算して移動を行い
（ステップＳ１０６）、次工程の処理が可能な場合には
搬送装置および次工程処理可能な装置に対するベクトル
を計算して移動を行う（ステップＳ１０７）。Then, it is judged from the process information of the product stored in the buffer whether or not the next process can be processed (step S105). The vector is calculated and moved (step S106), and when the process of the next process can be performed, the vector for the transport device and the device that can process the next process is calculated and moved (step S107).

【００６９】そして、製品が到着したか否かを判断し
（ステップＳ１０８）、到着した場合には処理可能信号
をＯＦＦにして（ステップＳ１０９）、ステップＳ４０
０の処理中における処理へ移行する。Then, it is judged whether or not the product arrives (step S108), and when it arrives, the processable signal is turned off (step S109), and step S40.
The processing shifts to the processing during the processing of 0.

【００７０】一方、製品が到着していない場合には搬送
が完了したか否かを判断し、していない場合にはステッ
プＳ１０５へ戻る。搬送装置の搬送が完了している場合
には搬送要求信号をＯＦＦにしてステップＳ１１８へ進
む。On the other hand, if the product has not arrived, it is determined whether the conveyance is completed, and if not, the process returns to step S105. When the transportation of the transportation device is completed, the transportation request signal is turned off and the process proceeds to step S118.

【００７１】また、ステップＳ１０２の判断で、Ａ：バ
ッファに製品が有り（Ｙｅｓ）で、Ｂ：搬送装置からの
処理要求がない（Ｎｏ）の場合には、搬送要求信号をＯ
Ｎにして（ステップＳ１１２）、バッファに格納されて
いる製品の工程情報を読み取り（ステップＳ１１３）、
次工程の処理が可能か否かを判断する（ステップＳ１１
４）。If it is determined in step S102 that A: there is a product in the buffer (Yes), and B: there is no processing request from the carrier (No), the carrier request signal is set to O.
N (step S112), the process information of the product stored in the buffer is read (step S113),
It is determined whether the process of the next process can be performed (step S11).
4).

【００７２】そして、次工程の処理が可能になった段階
で次工程の処理を実行する処理装置に向けてのベクトル
を計算し、そのベクトルに従って移動を行う（ステップ
Ｓ１１５）。その後、搬送が完了したか否かを判断し
（ステップＳ１１６）、完了していないばあいにはステ
ップＳ１１４〜Ｓ１１５を繰り返し、新たなベクトルの
計算および移動を順次行っていく。搬送が完了した場合
には搬送要求信号をＯＦＦにして（ステップＳ１１
７）、ステップＳ１１８へ進む。Then, when the processing of the next step becomes possible, a vector for the processing device that executes the processing of the next step is calculated, and the vector is moved according to the vector (step S115). After that, it is determined whether or not the transportation is completed (step S116), and if it is not completed, steps S114 to S115 are repeated to sequentially calculate and move a new vector. When the transportation is completed, the transportation request signal is turned off (step S11).
7) and proceeds to step S118.

【００７３】また、Ａ：バッファに製品がなく（Ｎ
ｏ）、Ｂ：搬送装置からの処理要求があり（Ｙｅｓ）の
場合もステップＳ１１８へ進む。ここでは搬送装置に向
けてベクトル計算を行い、そのベクトルに従った移動を
行う（ステップＳ１１８）。A: There is no product in the buffer (N
o), B: If there is a processing request from the transport device (Yes), the process proceeds to step S118. Here, vector calculation is performed toward the transport device, and movement is performed according to the vector (step S118).

【００７４】次に、製品が到着したか否かを判断し（ス
テップＳ１１９）、到着していない場合にはステップＳ
１１８へ戻る。一方、到着している場合には、処理可能
信号をＯＦＦにして（ステップＳ１２０）、ステップＳ
４００の処理中における処理へ移行する。Next, it is judged whether or not the product arrives (step S119), and if not, step S
Return to 118. On the other hand, if it has arrived, the processable signal is turned off (step S120), and step S
The processing shifts to the processing during the processing of 400.

【００７５】次に、処理装置のステータス情報が故障中
の場合（ステップＳ２００）の処理について説明する
（図１１参照）。先ず、処理可能信号をＯＦＦにする
（ステップＳ２０１）。その後、バッファに製品が格納
されているか否かを判断し（ステップＳ２０２）、格納
されている場合にはステップＳ２０３〜Ｓ２０９の処
理、格納されていない場合にはステップＳ２１０〜ステ
ップＳ２１２の処理を行う。Next, the processing when the status information of the processing device is out of order (step S200) will be described (see FIG. 11). First, the processable signal is turned off (step S201). Then, it is determined whether or not the product is stored in the buffer (step S202). If the product is stored, the processes of steps S203 to S209 are performed, and if the product is not stored, the processes of steps S210 to S212 are performed. .

【００７６】先ず、バッファに製品が格納されている場
合には、搬送要求信号をＯＮにして（ステップＳ２０
３）、その製品の工程情報を読み取り（ステップＳ２０
４）、次工程が処理可能か否かを判断する（ステップＳ
２０５）。処理可能になった段階で次工程の処理を実行
する処理装置へのベクトルを計算し、移動を行う（ステ
ップＳ２０６）。First, when the product is stored in the buffer, the conveyance request signal is turned on (step S20).
3) Read the process information of the product (step S20)
4) Determine whether the next process can be processed (step S)
205). When processing becomes possible, a vector to the processing device that executes the processing of the next process is calculated and moved (step S206).

【００７７】次いで、次工程の処理装置への搬送が完了
したか否か判断し（ステップＳ２０７）、完了した場合
には搬送要求信号をＯＦＦにして（ステップＳ２０
８）、ステップＳ２０２へ戻る。Then, it is judged whether or not the conveyance to the processing device of the next step is completed (step S207), and when it is completed, the conveyance request signal is turned off (step S20).
8) and returns to step S202.

【００７８】一方、搬送が完了していない場合には修理
が完了したか否かを判断し（ステップＳ２０９）、完了
していない場合にはステップＳ２０４へ戻る。また、修
理が完了している場合には図９に示すルートへ戻る。On the other hand, if the transportation is not completed, it is judged whether or not the repair is completed (step S209), and if not completed, the process returns to step S204. When the repair is completed, the process returns to the route shown in FIG.

【００７９】また、バッファに製品が格納されていない
場合には、修理が完了したか否かを判断し（ステップＳ
２１０）、修理が完了した段階で処理中の製品があるか
否かを判断する（ステップＳ２１１）。処理中の製品が
ない場合には図９に示すルートのへ戻る。一方、処理
中の製品がある場合には最初から処理をやり直し（ステ
ップＳ２１２）、図９の処理中（ステップＳ４００）の
処理へ進む。When the product is not stored in the buffer, it is judged whether the repair is completed (step S
210), it is determined whether or not there is a product being processed when the repair is completed (step S211). If there is no product being processed, the process returns to the route shown in FIG. On the other hand, if there is a product being processed, the process is restarted from the beginning (step S212), and the process proceeds to the process in process (step S400) in FIG.

【００８０】次に、処理装置のステータス情報がメンテ
ナンス中の場合（ステップＳ３００）の処理について説
明する（図１２参照）。先ず、処理可能信号をＯＦＦに
して（ステップＳ３０１）、バッファに製品が格納され
ているか否かを判断する（ステップＳ３０２）。格納さ
れていない場合にはメンテナンスが完了したか否かを判
断し（ステップＳ３０３）、完了したら図９に示すルー
トのへ戻る。Next, the processing when the status information of the processing device is under maintenance (step S300) will be described (see FIG. 12). First, the processable signal is turned off (step S301), and it is determined whether or not the product is stored in the buffer (step S302). If it is not stored, it is judged whether or not the maintenance is completed (step S303), and when the maintenance is completed, the process returns to the route shown in FIG.

【００８１】一方、バッファに製品が格納されている場
合には、搬送要求信号をＯＮにして（ステップＳ３０
４）、その製品の工程情報を読み取り（ステップＳ３０
５）、次工程の処理が可能か否かを判断する（ステップ
Ｓ３０６）。次工程の処理に可能になった段階で、その
処理を実行する処理装置へ向けてのベクトルを計算し、
移動を行う（ステップＳ３０７）。On the other hand, when the product is stored in the buffer, the conveyance request signal is turned on (step S30).
4) Read the process information of the product (step S30
5) Then, it is determined whether or not the next process can be processed (step S306). When it becomes possible to process the next process, calculate the vector toward the processing device that executes the process,
It moves (step S307).

【００８２】そして、製品の搬送が完了したか否かを判
断し（ステップＳ３０８）、完了した場合には搬送要求
信号をＯＦＦにして（ステップＳ３０９）、ステップＳ
３０２へ戻る。一方、搬送が完了していない場合にはメ
ンテナンスが完了したか否かを判断し（ステップＳ３１
０）、完了していない場合にはステップＳ３０５へ戻
り、完了している場合には図９に示すルートのへ戻
る。Then, it is judged whether or not the product conveyance is completed (step S308), and when it is completed, the conveyance request signal is turned off (step S309), and step S309 is performed.
Return to 302. On the other hand, if the transportation is not completed, it is determined whether the maintenance is completed (step S31).
0), if not completed, the process returns to step S305, and if completed, the process returns to the route shown in FIG.

【００８３】次に、処理装置のステータス情報が処理中
の場合（ステップＳ４００）の処理について説明する
（図１３参照）。先ず、バッファに製品が格納されてい
るか否かを判断し（ステップＳ４０１）、格納されてい
る場合にはステップＳ４０２〜Ｓ４０８の処理、格納さ
れていない場合にはステップＳ４０９〜Ｓ４１６の処理
を行う。Next, the processing when the status information of the processing device is being processed (step S400) will be described (see FIG. 13). First, it is determined whether or not the product is stored in the buffer (step S401). If the product is stored, the processes of steps S402 to S408 are performed, and if the product is not stored, the processes of steps S409 to S416 are performed.

【００８４】先ず、バッファに製品が格納されている場
合には、搬送要求信号をＯＮにして（ステップＳ４０
２）、その製品の工程情報を読み取り（ステップＳ４０
３）、次工程が処理可能か否かを判断する（ステップＳ
４０４）。処理可能になった段階で次工程の処理を実行
する処理装置へのベクトルを計算し、移動を行う（ステ
ップＳ４０５）。First, when the product is stored in the buffer, the conveyance request signal is turned on (step S40).
2) Read the process information of the product (step S40)
3), it is determined whether the next process can be processed (step S)
404). When processing becomes possible, a vector to the processing device that executes the processing of the next process is calculated and movement is performed (step S405).

【００８５】次いで、次工程の処理装置への搬送が完了
したか否か判断し（ステップＳ４０６）、完了した場合
には搬送要求信号をＯＦＦにして（ステップＳ４０
７）、図９に示すルートのへ戻る。Then, it is judged whether or not the conveyance to the processing device of the next process is completed (step S406), and when it is completed, the conveyance request signal is turned off (step S40).
7) and return to the route shown in FIG.

【００８６】一方、搬送が完了していない場合には処理
が完了したか否かを判断し（ステップＳ４０８）、完了
していない場合にはステップＳ４０３へ戻る。また、処
理が完了している場合には図９に示すルートへ戻る。On the other hand, if the conveyance is not completed, it is judged whether the processing is completed (step S408), and if not completed, the process returns to step S403. When the processing is completed, the process returns to the route shown in FIG.

【００８７】また、バッファに製品が格納されていない
場合には、処理が終了したか否かを判断し（ステップＳ
４０９）、処理が終了した段階でバッファに空きがある
か否かを判断する（ステップＳ４１０）。そして、バッ
ファに空きができた段階で処理済みの製品をバッファに
移し、搬送要求信号をＯＮにする（ステップＳ４１
１）。If the product is not stored in the buffer, it is determined whether the processing is completed (step S
409), and at the stage when the processing is completed, it is determined whether or not the buffer has a free space (step S410). When the buffer becomes empty, the processed product is transferred to the buffer, and the transport request signal is turned on (step S41).
1).

【００８８】次に、バッファに移した製品の工程情報を
読み取り（ステップＳ４１２）、次工程の処理が可能か
否かを判断し、（ステップＳ４１３）、可能になった段
階で次工程の処理を実行する処理装置に向けてベクトル
を計算し、そのベクトルに従った移動を行う（ステップ
Ｓ４１４）。Next, the process information of the product transferred to the buffer is read (step S412), it is judged whether or not the next process can be processed (step S413), and the process of the next process is performed when it becomes possible. A vector is calculated for the processing device to be executed, and movement is performed according to the vector (step S414).

【００８９】この移動の結果、製品の搬送が完了したか
否かを判断し（ステップＳ４１５）、完了していない場
合にはステップＳ４１３〜Ｓ４１４の処理を繰り返して
随時ベクトルの計算および移動を行う。また、搬送が完
了した場合には、搬送要求信号をＯＦＦにして（ステッ
プＳ４１６）、図９に示すルートのへ戻る。As a result of this movement, it is judged whether or not the product conveyance is completed (step S415), and if it is not completed, the processes of steps S413 to S414 are repeated to calculate and move the vector at any time. When the conveyance is completed, the conveyance request signal is turned off (step S416), and the process returns to the route shown in FIG.

【００９０】以上説明した搬送装置および処理装置の移
動におけるシミュレーションを自律的に行うと、予め設
定した生産エリア内で所定のステップ毎に搬送装置と処
理装置とが逐次移動していくことになる。When the above-described simulation of the movement of the transfer device and the processing device is autonomously performed, the transfer device and the processing device are sequentially moved in the preset production area at each predetermined step.

【００９１】図１４は、出力結果の一つであるシミュレ
ーション後のレイアウトを示す模式図である。すなわ
ち、初期値では生産エリア内に配置された各搬送装置、
各処理装置（いずれも図中ドットで示す）が、上記のシ
ミュレーション方法によって所定のステップ毎に最適な
レイアウトへ自律的に移動する。シミュレーション後に
は、各ステップＴｉｍｅ１〜５…毎に最適なレイアウト
が表示され、その後もステップ毎に各搬送装置、各処理
装置が順次移動していく様子が分かるようになる。FIG. 14 is a schematic diagram showing a layout after simulation, which is one of the output results. That is, in the initial value, each transfer device arranged in the production area,
Each processing device (each shown by a dot in the figure) autonomously moves to an optimal layout for each predetermined step by the above-described simulation method. After the simulation, the optimum layout is displayed for each step Time1-5, and after that, it is possible to understand how the transport devices and the processing devices are sequentially moved at each step.

【００９２】次に、本実施形態の半導体生産シミュレー
ション方法における具体例を説明する。先ず、半導体生
産シミュレーション方法を行うための入力情報を設定す
る。設定する入力情報には、フロアサイズ、設備仕様、
製品仕様、搬送仕様、生産計画、ディスパッチルールが
ある。Next, a specific example of the semiconductor production simulation method of this embodiment will be described. First, input information for performing the semiconductor production simulation method is set. The input information to be set includes floor size, equipment specifications,
There are product specifications, transportation specifications, production plans, and dispatch rules.

【００９３】フロアサイズとしては、生産エリアとなる
フロアの縦、横の長さ、投入口、払出口の位置などがあ
る。なお、一つの生産エリア内でサブエリアを設定し
て、そこから処理装置や搬送装置が外へ出ないように設
定することもできる。The floor size includes the length and width of the floor, which is the production area, and the positions of the inlet and outlet. It should be noted that it is also possible to set a sub-area within one production area so that the processing device and the transfer device do not go out from there.

【００９４】また、設備仕様としては、処理装置の種
類、台数、１台のみの処理装置の台数、バッチ処理を行
うことができる処理装置の台数、代替可能な処理装置
（サブエリア間でも代替可能なもの。但し、サブエリア
専属の処理装置は各サブエリアから外へ出ない。）など
である。The equipment specifications include the type and number of processing devices, the number of processing devices of only one, the number of processing devices capable of batch processing, and the processing devices that can be replaced (can be replaced between sub-areas). However, the processing device dedicated to the sub-area does not go out from each sub-area.) Etc.

【００９５】さらに、設備仕様として、各処理装置の大
きさ（例えば、長方形で表現）、各処理装置の故障頻度
と停止時間（故障頻度としては例えばＭＴＴＦ（Mean T
imeTo Failures）、停止時間としては例えばＭＴＴＲ
（Mean Time To Repair））を設定する。Further, as the equipment specifications, the size of each processing device (for example, represented by a rectangle), the failure frequency and the stop time of each processing device (the failure frequency is, for example, MTTF (Mean T)).
imeTo Failures), as the stop time, for example, MTTR
(Mean Time To Repair).

【００９６】また、各処理装置のメンテナンスについて
は、処理中の場合は処理終了後に行い、代替可能装置は
複数同時にメンテナンスしないというルールを設ける。
さらに、処理装置がバッファを備えている場合には、バ
ッファの大きさ、最大格納数を設定する。Further, regarding the maintenance of each processing apparatus, a rule is provided that, when the processing is in progress, it is performed after the processing is completed, and a plurality of replaceable apparatuses are not maintained at the same time.
Further, when the processing device has a buffer, the size of the buffer and the maximum storage number are set.

【００９７】処理装置については、各処理装置毎の処理
時間（段取り時間を含む）、ジョブ投入口（通常は正面
中央、洗浄装置のみ左側など）、初期レイアウト、シミ
ュレーション上の移動速度（例えば、搬送車の１／１０
程度）を設定する。Regarding the processing devices, the processing time (including the setup time) for each processing device, the job input port (usually the front center, the cleaning device only on the left side, etc.), the initial layout, and the moving speed in simulation (for example, transfer 1/10 of a car
Degree).

【００９８】また、生産エリア内に製品のストッカがあ
る場合には、その位置、台数、バッファの位置を設定す
る。さらに、処理装置がバッチ処理可能な場合には、最
大処理ロット数を設定する。If there is a product stocker in the production area, its position, number of units, and buffer position are set. Further, when the processing apparatus can perform batch processing, the maximum number of processing lots is set.

【００９９】製品仕様および生産計画としては、対象製
品の種類、オーダ（ロット数）、投入エリア（投入サブ
エリア）、納期、各商品に対する工程情報などを設定す
る。As the product specifications and production plan, the type of target product, order (number of lots), input area (input sub area), delivery date, process information for each product, etc. are set.

【０１００】搬送仕様としては、搬送車の台数、各搬送
車の移動速度などを設定する。ディスパッチルールとし
ては、クリティカル・レシオ（納期優先・工程進捗を考
慮など）を設定する。As the transport specifications, the number of transport vehicles and the moving speed of each transport vehicle are set. As a dispatch rule, set a critical ratio (priority on delivery date, considering process progress, etc.).

【０１０１】これらの入力情報を設定し、上記説明した
本実施形態の半導体生産シミュレーション方法を実行す
ると、出力情報として所定ステップ毎のフロアレイアウ
ト、ジョブ毎の動線長さ、ジョブ毎のリードタイム、ス
ループット等が表示される。When these input information are set and the semiconductor production simulation method of this embodiment described above is executed, the floor layout for each predetermined step, the flow line length for each job, the lead time for each job, as output information, Throughput etc. are displayed.

【０１０２】図１５は、あるステップでのフロアレイア
ウトの表示例を示す図で、（ａ）は処理装置に故障がな
い状況（全て正常に稼働している場合）でのレイアウ
ト、（ｂ）は処理装置に故障が発生している状況でのレ
イアウトとなっている。FIG. 15 is a diagram showing a display example of a floor layout at a certain step. (A) is a layout in a situation in which there is no failure in the processing device (when everything is operating normally), (b) is The layout is for a situation where a processing device has a failure.

【０１０３】また、図１６は、ジョブ毎の動線の長さを
示す図で、（ａ）は処理装置に故障がない状況、（ｂ）
は処理装置に故障がある状況での動線長さである。この
図では、横軸がジョブ番号、縦軸が動線である。ディス
プレイ等の表示装置には、ジョブ毎の動線の長さを示す
グラフと平均値とが、所定ステップ毎に逐次変化して表
示される。FIG. 16 is a diagram showing the length of the flow line for each job. (A) shows a situation in which there is no failure in the processing device, (b) shows
Is the length of the flow line in the case where the processing device has a failure. In this figure, the horizontal axis is the job number and the vertical axis is the flow line. On a display device such as a display, a graph showing the length of the flow line for each job and an average value are sequentially changed and displayed for each predetermined step.

【０１０４】図１７は、ジョブ毎のリードタイムを示す
図で、（ａ）は処理装置に故障がない状況、（ｂ）は処
理装置に故障がある状況でのリードタイムである。この
図では、横軸がジョブ番号、縦軸がリードタイムであ
る。ディスプレイ等の表示装置には、ジョブ毎のリード
タイムを示すグラフと平均値とが、所定ステップ毎に逐
次変化して表示される。FIG. 17 is a diagram showing the lead time for each job. FIG. 17 (a) shows the lead time when there is no failure in the processing device, and (b) shows the lead time when there is a failure in the processing device. In this figure, the horizontal axis is the job number and the vertical axis is the lead time. On a display device such as a display, a graph showing a lead time for each job and an average value are sequentially changed and displayed at predetermined steps.

【０１０５】図１８は、スループットを示す図で、
（ａ）は処理装置に故障がない状況、（ｂ）は処理装置
に故障がある状況でのスループットである。この図で
は、横軸が日数、縦軸がスループット（ジョブ数）であ
る。ディスプレイ等の表示装置には、スループットが所
定ステップ毎に逐次変化して表示される。FIG. 18 shows the throughput.
(A) is the throughput in the case where the processing device has no failure, and (b) is the throughput in the situation where the processing device has the failure. In this figure, the horizontal axis is the number of days, and the vertical axis is the throughput (the number of jobs). On a display device such as a display, the throughput is sequentially changed and displayed at each predetermined step.

【０１０６】このように、本実施形態の半導体生産シミ
ュレーション方法を用いることで、所定ステップでの最
適レイアウトや、処理装置の故障の有無によるレイアウ
ト、動線長さ、リードタイム、スループットの差を的確
に把握でき、最適な生産システムを容易に構築できるよ
うになる。As described above, by using the semiconductor production simulation method according to the present embodiment, it is possible to accurately determine the optimum layout in predetermined steps and the difference in layout, flow line length, lead time, and throughput depending on the presence / absence of a processor failure. Therefore, you can easily build the optimum production system.

【０１０７】[0107]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
のような効果がある。すなわち、生産における環境の変
動（製品の品種数、生産量、設備の故障、メンテナン
ス、段取り替え等）に柔軟に対応することができ、各処
理装置の位置や状態情報をリアルタイムに把握すること
が可能となる。しかも、このような半導体生産システム
を、専門知識を必要としないで構築できるとともに、シ
ミュレーションでも容易に算出することが可能となる。
これによって、生産向上の設備計画、レイアウト策定、
スケジューリング／レイアウト／設備計画案の評価等を
容易に行うことが可能となる。特に、半導体装置のよう
な大規模で処理工程数が多く、さらに同じ工程を繰り返
す複合プロセスを必要とする場合では本発明が有効とな
り、リードタイムの短縮による省エネルギー化および動
線長さの短縮による品質向上等を実現することが可能と
なる。As described above, the present invention has the following effects. That is, it is possible to flexibly cope with environmental changes in production (number of product types, production amount, equipment failure, maintenance, setup change, etc.), and to grasp the position and status information of each processing device in real time. It will be possible. Moreover, such a semiconductor production system can be constructed without requiring specialized knowledge, and can be easily calculated by simulation.
With this, equipment planning for improving production, layout formulation,
It is possible to easily perform scheduling / layout / evaluation of equipment plan. In particular, the present invention is effective when a large-scale semiconductor device has a large number of processing steps and further requires a composite process in which the same steps are repeated, which leads to energy saving due to shortening of lead time and shortening of flow line length. It is possible to improve quality and so on.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本実施形態に係る半導体生産システムの概要を
説明する模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an outline of a semiconductor production system according to this embodiment.

【図２】距離に対する信号の強さを示す図である。FIG. 2 is a diagram showing signal strength with respect to distance.

【図３】距離に対する信号のマイナス側の強さを示す図
である。FIG. 3 is a diagram showing the minus-side strength of a signal with respect to distance.

【図４】処理装置がバッファを備えている場合の移動を
説明する模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram illustrating movement when the processing device includes a buffer.

【図５】バッファを備えた処理装置のベクトルによる移
動を説明する模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram illustrating vector-based movement of a processing device including a buffer.

【図６】生産システム全体の移動について説明する模式
図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating movement of the entire production system.

【図７】搬送装置の移動についてのシミュレーション方
法を説明するフローチャート（その１）である。FIG. 7 is a flowchart (No. 1) for explaining a simulation method for moving the transport device.

【図８】搬送装置の移動についてのシミュレーション方
法を説明するフローチャート（その２）である。FIG. 8 is a flowchart (No. 2) explaining the simulation method for the movement of the transport device.

【図９】処理装置の移動についてのシミュレーション方
法を説明するフローチャート（その１）である。FIG. 9 is a flowchart (No. 1) for explaining the simulation method for the movement of the processing device.

【図１０】処理装置の移動についてのシミュレーション
方法を説明するフローチャート（その２）である。FIG. 10 is a flowchart (part 2) explaining a simulation method for movement of a processing device.

【図１１】処理装置の移動についてのシミュレーション
方法を説明するフローチャート（その３）である。FIG. 11 is a flowchart (No. 3) explaining the simulation method for the movement of the processing device.

【図１２】処理装置の移動についてのシミュレーション
方法を説明するフローチャート（その４）である。FIG. 12 is a flowchart (No. 4) explaining the simulation method for the movement of the processing device.

【図１３】処理装置の移動についてのシミュレーション
方法を説明するフローチャート（その５）である。FIG. 13 is a flowchart (No. 5) for explaining the simulation method for the movement of the processing device.

【図１４】出力結果の一つであるシミュレーション後の
レイアウトを示す模式図である。FIG. 14 is a schematic diagram showing a layout after simulation which is one of output results.

【図１５】あるステップでのフロアレイアウトの表示例
を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a display example of a floor layout at a certain step.

【図１６】ジョブ毎の動線の長さを示す図である。FIG. 16 is a diagram showing the length of a flow line for each job.

【図１７】ジョブ毎のリードタイムを示す図である。FIG. 17 is a diagram showing a lead time for each job.

【図１８】スループットを示す図である。FIG. 18 is a diagram showing throughput.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

Ｍ１〜Ｍ５…処理装置、Ｐ１〜Ｐ４…製品、Ｔ１〜Ｔ４
…搬送装置M1 to M5 ... Processing device, P1 to P4 ... Product, T1 to T4
... Conveyor

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【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成１３年１０月１５日（２００１．１０．
１５）[Submission date] October 15, 2001 (2001.10.
15)

【手続補正１】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing

【補正対象項目名】図１６[Correction target item name] Fig. 16

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図１６】 FIG. 16

【手続補正２】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing

【補正対象項目名】図１７[Name of item to be corrected] Fig. 17

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図１７】 FIG. 17

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧田 敏之 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 小林 元宏 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 上田 完次 大阪府八尾市清水町２−２−12 (72)発明者 藤井 信忠 兵庫県神戸市東灘区御影町郡家馬場添116 −303 Ｆターム(参考） 3C100 AA48 BB24 BB25 DD05 DD14 DD22 DD32 DD33 EE06 5F031 CA02 DA01 FA01 GA59 PA03 PA04    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Toshiyuki Makita             6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Soni             -Inside the corporation (72) Inventor Motohiro Kobayashi             6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Soni             -Inside the corporation (72) Inventor Kanji Ueda             2-2-12 Shimizu-cho, Yao-shi, Osaka (72) Inventor Nobutada Fujii             116 Iebabazo, Mikage-cho, Higashinada-ku, Kobe-shi, Hyogo             −303 F-term (reference) 3C100 AA48 BB24 BB25 DD05 DD14                       DD22 DD32 DD33 EE06                 5F031 CA02 DA01 FA01 GA59 PA03                       PA04

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 生産エリア内における複数の処理装置お
よび複数の自走式搬送装置を用いた半導体生産システム
において、 前記処理装置は、前記自走式搬送装置から発信される情
報を受信する処理装置受信手段と、前記生産エリア内で
の自身の位置情報および自身の状態情報を発信する処理
装置発信手段とを備え、 前記自走式搬送装置は、搬送する半導体製品の工程情報
および前記処理装置発信手段から発信される情報を受信
する搬送装置受信手段と、前記生産エリア内での自身の
位置情報および自身の状態情報を発信する搬送装置発信
手段とを備えており、 前記自走式搬送装置が半導体製品を搬送している場合、
前記搬送装置受信手段にて受信した前記半導体製品の工
程情報から搬送先となり得る処理装置を特定し、その処
理装置から発信される位置情報および状態情報を受信し
て、自身の位置情報および状態情報に基づき移動方向お
よび移動距離を示すベクトルを随時生成することでその
ベクトルに応じた移動を行い、 前記自走式搬送装置が半導体製品を搭載していない場
合、前記処理装置発信手段から発信されている搬送要求
信号を前記搬送装置受信手段にて受信し、その搬送要求
信号を発信している処理装置の位置情報および状態情報
を受信して、自身の位置情報および状態情報に基づき移
動方向および移動距離を示すベクトルを随時生成するこ
とでそのベクトルに応じた移動を行うことを特徴とする
半導体生産システム。1. A semiconductor production system using a plurality of processing devices and a plurality of self-propelled transfer devices in a production area, wherein the processing device receives information transmitted from the self-propelled transfer devices. The self-propelled carrier comprises process information of the semiconductor product to be transported and the processor transmitting means, which comprises a receiving means and a processor transmitting means for transmitting the position information of itself and the status information of itself in the production area. A carrier device receiving means for receiving information transmitted from the means, and a carrier device transmitting means for transmitting position information and status information of the carrier itself in the production area, wherein the self-propelled carrier device is If you are transporting semiconductor products,
From the process information of the semiconductor product received by the carrying device receiving means, a processing device which can be a carrying destination is specified, and the position information and the status information transmitted from the processing device are received, and the own position information and the status information are received. Based on the above, a vector indicating a moving direction and a moving distance is generated at any time to perform a movement according to the vector, and when the self-propelled carrier does not have a semiconductor product, it is transmitted from the processing device transmitter. Receiving the transport request signal by the transport device receiving means, receiving the position information and the state information of the processing device that is transmitting the transport request signal, and moving direction and movement based on the own position information and state information. A semiconductor production system characterized in that a vector indicating a distance is generated at any time to perform movement according to the vector. 【請求項２】 前記処理装置が移動手段を備えている場
合、前記自走式搬送装置から発信される位置情報および
状態情報を前記処理装置受信手段にて受信して、前記生
産エリア内での自身の位置情報および状態情報に基づき
前記移動手段の移動方向および移動距離を示すベクトル
を随時生成することでそのベクトルに応じた移動を行う
ことを特徴とする請求項１記載の半導体生産システム。2. When the processing device is provided with a moving means, the processing device receiving means receives the position information and the status information transmitted from the self-propelled carrying device, and the position information and the status information are received in the production area. 2. The semiconductor production system according to claim 1, wherein a vector indicating a moving direction and a moving distance of the moving means is generated at any time based on the position information and the state information of the own device to perform the movement according to the vector. 【請求項３】 前記処理装置発信手段および前記搬送装
置発信手段は、各々の位置情報として各装置から距離が
遠くなるほど弱くなる信号を発信することを特徴とする
請求項１記載の半導体生産システム。3. The semiconductor production system according to claim 1, wherein the processing device transmission means and the conveyance device transmission means transmit signals that become weaker as the distance from each device increases as position information of each. 【請求項４】 前記処理装置に、処理済みの半導体製品
を保管するバッファが設けられている場合、前記処理装
置受信手段は、前記バッファに保管されている半導体製
品の工程情報を受信して、次の工程で用いられる処理装
置の処理装置発信手段から発信される情報に基づき、自
身の前記ベクトルを随時生成することでそのベクトルに
応じた移動を行うことを特徴とする請求項２記載の半導
体生産システム。4. When the processing device is provided with a buffer for storing processed semiconductor products, the processing device receiving means receives the process information of the semiconductor products stored in the buffer, 3. The semiconductor according to claim 2, wherein the vector of the processing apparatus is generated at any time based on information transmitted from the processing apparatus transmission unit of the processing apparatus used in the next step, so that the vector moves according to the vector. Production system. 【請求項５】 前記生産エリア内に製品投入口および製
品払出口が設けられている場合、前記搬送装置は前記製
品投入口もしくは前記製品払出口から発信される搬送要
求信号を前記搬送装置受信手段で受信し、自身の前記ベ
クトルを随時生成することでそのベクトルに応じた移動
を行うことを特徴とする請求項１記載の半導体生産シス
テム。5. When a product input port and a product payout port are provided in the production area, the transfer device sends a transfer request signal transmitted from the product input port or the product transfer port to the transfer device receiving means. 2. The semiconductor production system according to claim 1, wherein the semiconductor production system is received by the above-mentioned method, and the vector of itself is generated at any time to perform movement according to the vector. 【請求項６】 計算上の生産エリア内における複数の処
理装置の位置情報、状態情報および複数の自走式搬送装
置の位置情報、状態情報および半導体製品の工程情報を
用いた半導体生産シミュレーション方法において、 前記自走式搬送装置が半導体製品を搬送している場合、
その半導体製品の工程情報から搬送先となり得る処理装
置を特定し、その処理装置の位置情報および状態情報
と、自身の位置情報および状態情報とに基づき移動方向
および移動距離を示すベクトルを随時生成し、そのベク
トルに応じた前記生産エリア内での移動を行い、 前記自走式搬送装置が半導体製品を搭載していない場
合、前記処理装置からの搬送要求があるか否かを判断
し、搬送要求のある処理装置の位置情報および状態情報
と、自身の位置情報および状態情報とに基づき移動方向
および移動距離を示すベクトルを随時生成し、そのベク
トルに応じた前記生産エリア内での移動を行うことを特
徴とする半導体生産シミュレーション方法。6. A semiconductor production simulation method using position information, status information of a plurality of processing devices in a calculated production area, position information of a plurality of self-propelled transfer devices, status information, and process information of a semiconductor product. , When the self-propelled carrier is carrying semiconductor products,
From the process information of the semiconductor product, a processing device that can be a destination is specified, and a vector indicating the moving direction and moving distance is generated at any time based on the position information and status information of the processing device and the position information and status information of the processing device itself. , Moving within the production area according to the vector, and if the self-propelled carrier does not carry a semiconductor product, it is determined whether or not there is a carrier request from the processing device, and a carrier request is made. A vector indicating a moving direction and a moving distance is generated at any time based on the position information and the state information of a certain processing device and the position information and the state information of itself, and the movement in the production area according to the vector is performed. A semiconductor production simulation method characterized by the above. 【請求項７】 前記処理装置が移動手段を備えている場
合、前記自走式搬送装置の位置情報および状態情報と、
前記処理装置の位置情報および状態情報とに基づき前記
移動手段の移動方向および移動距離を示すベクトルを随
時生成し、そのベクトルに応じた前記生産エリア内での
移動を行うことを特徴とする請求項６記載の半導体生産
シミュレーション方法。7. When the processing device includes a moving means, position information and status information of the self-propelled transfer device,
7. A vector which indicates a moving direction and a moving distance of the moving means is generated at any time based on the position information and the state information of the processing device, and the movement within the production area according to the vector is performed. 6. The semiconductor production simulation method according to 6. 【請求項８】 前記処理装置および前記搬送装置の各々
の位置情報は、各装置からの距離が遠くなるほど弱くな
る関係を用いることを特徴とする請求項６記載の半導体
生産シミュレーション方法。8. The semiconductor production simulation method according to claim 6, wherein the positional information of each of the processing device and the transfer device uses a relationship that weakens as the distance from each device increases. 【請求項９】 前記処理装置に、処理済みの半導体製品
を保管するバッファが設けられている場合、前記バッフ
ァに保管されている半導体製品の工程情報から次の工程
で用いられる処理装置を判断し、その処理装置の位置情
報および状態情報に基づき、自身の前記ベクトルを随時
生成し、そのベクトルに応じた前記生産エリア内での移
動を行うことを特徴とする請求項７記載の半導体生産シ
ミュレーション方法。9. When the processing apparatus is provided with a buffer for storing processed semiconductor products, the processing apparatus used in the next step is determined from the process information of the semiconductor products stored in the buffer. 8. The semiconductor production simulation method according to claim 7, wherein the vector of the processing apparatus is generated at any time based on the position information and the state information of the processing apparatus, and the vector is moved within the production area according to the vector. . 【請求項１０】 前記生産エリア内に製品投入口および
製品払出口が設けられている場合、前記搬送装置は前記
製品投入口もしくは前記製品払出口からの搬送要求を受
信して、自身の前記ベクトルを随時生成し、そのベクト
ルに応じた前記生産エリア内での移動を行うことを特徴
とする請求項６記載の半導体生産シミュレーション方
法。10. When a product input port and a product output port are provided in the production area, the transfer device receives a transfer request from the product input port or the product output port, and uses the vector of itself. 7. The semiconductor production simulation method according to claim 6, further comprising the step of:
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