JP2003113537A - 窒化ホウ素層を繊維表面に有する炭化珪素繊維及びその製造方法 - Google Patents

窒化ホウ素層を繊維表面に有する炭化珪素繊維及びその製造方法

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JP2003113537A
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polycarbosilane
boron
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裕幸 山岡
Yoshikatsu Harada
義勝 原田
Teruaki Fujii
輝昭 藤井
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 セラミックス基複合材料のインターフェース
としての機能を持つ窒化ホウ素を繊維表面に有する炭化
珪素繊維及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 窒化ホウ素層を繊維表面に有する炭化珪
素繊維であって、繊維の表層に向かってホウ素の存在割
合が傾斜的に増大しており、かつ窒化ホウ素層が繊維表
面に平行な層状構造を有することを特徴とする炭化珪素
繊維、及び主として一般式 【化１】 （但し、式中のＲは水素原子、低級アルキル基又はフェ
ニル基を示す。）で表される主鎖骨格を有する数平均分
子量が２００〜７，０００のポリカルボシランを、有機
ホウ素化合物で修飾した構造を有する変性ポリカルボシ
ラン、或いは変性ポリカルボシランと有機ホウ素化合物
との混合物を溶融紡糸し、不融化処理後、窒素を含む雰
囲気中で焼成することを特徴とする炭化珪素繊維の製造
方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックス基複
合材料のインターフェースとしての機能を持つ窒化ホウ
素を繊維表面に有する炭化珪素繊維及びその製造方法に
関する。詳しくは、繊維の表層に向かってホウ素の存在
割合が傾斜的に増大する傾斜組成を有し、かつ窒化ホウ
素層が繊維表面に平行な層状構造を有する炭化珪素繊維
及びその製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】セラミックスを無機繊維で強化したセラ
ミックス基複合材料は、高靭性・高強度であり、耐熱性
に優れていることから開発が盛んに行われている。炭化
珪素マトリックスを炭化珪素繊維で強化したＳｉＣ／Ｓ
ｉＣ複合材料は高温用途において最も有望視されている
材料の一つである。
【０００３】ＳｉＣ／ＳｉＣ複合材料の力学的特性をコ
ントロールする上で、繊維とマトリックスとの界面の特
性が非常に重要であることが広く知られている。すなわ
ち、繊維とマトリックスとの界面結合の強さの違いが、
複合材料の力学的特性に大きな影響を及ぼす。繊維とマ
トリックスの界面結合が強すぎる場合、マトリックスに
発生したクラックは、容易に繊維を伝播し、材料は非常
に脆性的な破壊挙動を示し、強度・靭性ともに非常に低
くなる。一方、繊維とマトリックスとの界面結合の強さ
が適切である場合、材料の破壊において繊維のブリッジ
ングや引き抜けが生じ、良好な強度・靭性を示す。この
ように、繊維とマトリックスとの界面結合の強さをコン
トロールするために、通常、繊維表面にインターフェー
ス層を形成させることが行われている。
【０００４】インターフェース材としては、炭素、窒化
ホウ素などが挙げられる。これらのインターフェース材
の中で、窒化ホウ素は最も耐酸化性に優れており、注目
されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】窒化ホウ素をセラミッ
クス基複合材料のインターフェース材として用いる場
合、強化繊維の表面に窒化ホウ素層を何らかの方法で形
成させる必要がある。一般的には、例えば、Ceramic En
gineering Science Proceedings 16 (4) (1995) p409-4
16に示されているように、通常原料ガスとして三塩化ホ
ウ素あるいは三フッ化ホウ素とアンモニアを用いて化学
的気相蒸着法（ＣＶＤ法）で行われている。しかしなが
らＣＶＤ法は、特殊なＣＶＤ装置を必要とし、原料ガス
は高価であり、また危険なことから非常に高コストなプ
ロセスである。また、例えば、Journal of American Ce
ramic Society vol.77 No.4 p1011-1016に示されている
ように、ホウ酸溶液に繊維を浸漬した後、アンモニア雰
囲気中で焼成することにより繊維表面に窒化ホウ素層を
形成する方法も行われている。しかしながら、このよう
な溶液浸漬法は、繊維束中の繊維一本一本の表面に均一
な厚みの窒化ホウ素層を形成させることは非常に難し
く、多くの場合、繊維同士が窒化ホウ素層で接着すると
いうブリッジングを生じてしまう。さらに、Ｍ．Ｄ．Ｓ
ａｃｋｓらは、米国特許第６０４０００８号及びCerami
cEngineering and Science Proceedings Volume 21, Is
sue 4 (2000) p275-281に炭化珪素繊維表面に窒化ホウ
素層を形成させる方法を示している。この方法は、重量
平均分子量が７，０００〜１６，０００という高分子量
のポリカルボシランにホウ素化合物を添加し、これを乾
式紡糸した後、アルゴンガス中で焼成することにより、
炭化珪素繊維中にホウ素を均一に導入し、さらにこの繊
維を窒素を含む雰囲気中で再度焼成することにより、炭
化珪素繊維表面に窒化ホウ素層を形成させている。しか
しながらこの方法のように、炭化珪素繊維中に均一分散
したホウ素を熱処理により繊維表面へと移動させるのは
非常に難しく、そのために繊維表面にインターフェース
層として十分な厚みの窒化ホウ素層を形成させるために
は、炭化珪素繊維中に導入するホウ素量を多くせざるを
得ないが、炭化珪素繊維中のホウ素量の増大に伴い繊維
の耐酸化性は悪くなる。また、上記文献によれば、この
方法により形成される窒化ホウ素層は、繊維軸方向に対
して直角方向に配向しており、このような構造の窒化ホ
ウ素層ではセラミックス基複合材料のインターフェース
層としては大きな効果は期待できない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、セラミックス
基複合材料用強化繊維として有用な窒化ホウ素層を繊維
表面に有する炭化珪素繊維及びその製造方法に関するも
のである。力学的特性を負担する中心部（炭化珪素質
相）とインターフェース機能を負担する表層並びにその
近傍相の窒化ホウ素相からなり、さらにホウ素が表層に
向かった傾斜組成を有し、かつ窒化ホウ素層が繊維表面
に平行な層状構造を有する繊維構造とすることにより、
耐酸化性に優れたインターフェース機能を有する繊維が
得られる。本発明では、上記Ｓａｃｋｓらの方法と異な
り、図１に示すように前駆体の段階でホウ素高濃度表面
層を形成しており、繊維表面から均一に拡散してくる窒
素含有物質（例えば、窒素、アンモニアなど）と反応さ
せるため、繊維表面に平行な窒化ホウ素の層状構造を形
成すると考えられる。
【０００７】この窒化ホウ素層を繊維表面に有する炭化
珪素繊維において、炭化珪素質相とは、非晶質であって
も結晶質であっても良い。
【０００８】すなわち、本発明は、炭化珪素質相（第１
相）と窒化ホウ素相（第２相）との複合相からなる繊維
であって、繊維の表層に向かってホウ素の存在割合が傾
斜的に増大していることを特徴とする炭化珪素繊維に関
するものである。
【０００９】炭化珪素質相（第１相）は、本発明で得ら
れる繊維の内部相を形成しており、力学的特性を負担す
る重要な役割を演じている。繊維全体に対する第１相の
存在割合は９７重量％以上であることが好ましく、目的
とする第２相の機能を十分に発現させ、なお且つ高い力
学的特性をも発現させるためには、第１相の存在割合を
９８〜９９重量％の範囲内に制御することが好ましい。
【００１０】一方、第２相を構成する窒化ホウ素は、本
発明では目的とする機能を発現させる上で重要な役割を
演じるものであるが、非晶質でも結晶質でも良い。ま
た、第２相を構成する窒化ホウ素のうち、一部は炭化ホ
ウ素などであってもよい。この繊維の表層部を構成する
第２相の存在割合は、０．５〜３．５重量％（ホウ素含
量０．２〜１．５重量％）が好ましく、その機能を十分
に発現させ、また高強度をも同時に発現させるには０．
７〜２．０重量％（ホウ素含量０．３〜０．９重量％）
の範囲内に制御することが好ましい。この第２相のホウ
素の存在割合は、繊維の表面に向かって傾斜的に増大し
ており、その組成の傾斜が明らかに認められる領域の厚
さは５〜５００ｎｍの範囲に制御することが好ましい。
尚、上記第２相の「存在割合」とは、繊維全体に含有さ
れている割合を意味している。
【００１１】次に、本発明で得られる窒化ホウ素を繊維
表面に有する炭化珪素繊維の製法について説明する。本
発明においては、主として一般式
【化２】 （但し、式中のＲは水素原子、低級アルキル基又はフェ
ニル基を示す。）で表される主鎖骨格を有する数平均分
子量が２００〜１０，０００のポリカルボシランを有機
ホウ素化合物で修飾した構造を有する変性ポリカルボシ
ラン、或いは変性ポリカルボシランと有機ホウ素化合物
との混合物を溶融紡糸し、不融化処理後、窒素を含む雰
囲気中で焼成することにより窒化ホウ素を繊維表面に有
する炭化珪素繊維が得られる。
【００１２】本発明の方法の第１工程は、窒化ホウ素を
繊維表面に有する炭化珪素繊維を製造するための出発原
料として使用する数平均分子量が１，０００〜５０，０
００の変性ポリカルボシランを製造する工程である。上
記変性ポリカルボシランの基本的な製造方法は、特開昭
５６−７４１２６号に極めて類似しているが、本発明で
は、その中に記載されている官能基の結合状態を注意深
く制御する必要がある。これについて以下に概説する。
【００１３】出発原料である変性ポリカルボシランは、
主として一般式 （但し、式中のＲは水素原子、低級アルキル基又はフェ
ニル基を示す。）で表される主鎖骨格を有する数平均分
子量が２００〜１０，０００のポリカルボシランと、一
般式、Ｂ（ＯＲ’）ｎ或いはＢＲ”ｍ（Ｍは金属元素、
Ｒ’は炭素原子数１〜２０個を有するアルキル基または
フェニル基、Ｒ”はアセチルアセトナート、ｍとｎは１
より大きい整数）を基本構造とする有機ホウ素化合物と
から誘導されるものである。
【００１４】本発明においては、前記ポリカルボシラン
として、ケイ素原子の少なくとも一部が、Ｔｉ、Ｚｒ、
Ｈｆ、Ａｌ、Ｖ、Ｍｇ、Ｙ等の金属原子と直接あるいは
酸素原子を介して結合しているものを使用することもで
きる。
【００１５】ここで、本発明の傾斜組成を有する繊維を
製造するには、上記有機ホウ素化合物の一部のみがポリ
カルボシランと結合を形成する緩慢な反応条件を選択す
る必要がある。その為には２８０℃以下、好ましくは２
５０℃以下の温度で不活性ガス中で反応させる必要があ
る。この反応条件では、上記有機ホウ素化合物はポリカ
ルボシランと反応したとしても、１官能性重合体として
結合（即ちペンダント状に結合）しており、大幅な分子
量の増大は起こらない。この有機ホウ素化合物が一部結
合した変性ポリカルボシランは、ポリカルボシランと有
機ホウ素化合物の相溶性を向上させる上で重要な役割を
演じる。
【００１６】尚、２官能以上の多くの官能基が結合した
場合は、ポリカルボシランの橋掛け構造が形成されると
共に顕著な分子量の増大が認められる。この場合は、反
応中に急激な発熱と溶融粘度の上昇が起こる。一方、上
記１官能しか反応せず未反応の有機ホウ素化合物が残存
している場合は、逆に溶融粘度の低下が観察される。
【００１７】本発明では、未反応の有機ホウ素化合物を
意図的に残存させる条件を選択することが望ましい。本
発明では、主として上記変性ポリカルボシランと未反応
状態の有機ホウ素化合物或いは２〜３量体程度の有機ホ
ウ素化合物が共存したものを出発原料として用いるが、
変性ポリカルボシランのみでも、極めて低分子量の変性
ポリカルボシラン成分が含まれる場合は、同様に本発明
の出発原料として使用できる。
【００１８】本発明の方法の第２工程においては、前記
第１工程で得られた変性ポリカルボシラン、或いは変性
ポリカルボシランと低分子量の有機ホウ素化合物の混合
物を溶融させて紡糸原液を造り、場合によってはこれを
ろ過してミクロゲル、不純物等の紡糸に際して有害とな
る物質を除去し、これを通常用いられる合成繊維紡糸用
装置により紡糸する。紡糸する際の紡糸原液の温度は原
料の変性ポリカルボシランの軟化温度によって異なる
が、５０〜２００℃の温度範囲が有利である。上記紡糸
装置において、必要に応じてノズル下部に加湿加熱筒を
設けても良い。尚、繊維径は、ノズルからの吐出量と紡
糸機下部に設置された高速巻き取り装置の巻き取り速度
を変えることにより調整される。
【００１９】本発明の方法の第２工程は、前記溶融紡糸
の他に、前記第１工程で得られた変性ポリカルボシラ
ン、或いは変性ポリカルボシランと低分子量の有機ホウ
素化合物の混合物を、例えばベンゼン、トルエン、キシ
レンあるいはその他該変性ポリカルボシランと低分子量
有機ホウ素化合物を溶融することのできる溶媒に溶解さ
せ、紡糸原液を造り、場合によってはこれをろ過してマ
クロゲル、不純物等紡糸に際して有害な物質を除去した
後、前記紡糸原液を通常用いられる合成繊維紡糸装置に
より乾式紡糸法により紡糸し、巻き取り速度を制御して
目的とする繊維を得ることができる。
【００２０】これらの紡糸工程において、必用ならば、
紡糸装置に紡糸筒を取り付け、その筒内の雰囲気を前記
溶媒のうち少なくとも１つの気体との混合雰囲気とする
か、或いは空気、不活性ガス、熱空気、熱不活性ガス、
スチーム、アンモニアガス、炭化水素ガス、有機ケイ素
化合物ガスの雰囲気とすることにより、紡糸筒中の繊維
の固化を制御することができる。
【００２１】次に本発明の方法の第３工程においては、
前記紡糸繊維を酸化雰囲気中で、張力または無張力の作
用の下で予備加熱を行い、前記紡糸繊維の不融化を行
う。この工程は、後工程の焼成の際に繊維が溶融せず、
且つ隣接繊維と接着しないことを目的として行うもので
ある。処理温度並びに処理時間は、組成により異なり、
特に規定しないが、一般に５０〜４００℃の範囲内で、
数時間〜３０時間の処理上条件が選択される。また、上
記酸化雰囲気中には、水分、窒素酸化物、オゾン等、紡
糸繊維の酸化力を高めるものが含まれていても良く、酸
素分圧を意図的に変えても良い。
【００２２】ところで、原料中に含まれる低分子量物の
割合によっては、紡糸繊維の軟化温度が５０℃を下回る
場合もあり、その場合は、あらかじめ上記処理温度より
も低い温度で、繊維表面の酸化を促進する処理を施す場
合もある。尚、同第３工程並びに第２工程の際に、原料
中に含まれている低分子量化合物の繊維表面へのブリー
ドアウトが進行し、目的とする傾斜組成の下地が形成さ
れるものと考えている。
【００２３】次に本発明の方法の第４工程においては、
前記不融化した繊維を、張力または無張力下で、５００
〜２０００℃の温度範囲で窒素を含む雰囲気中において
焼成し、目的とする、炭化珪素質相（第１相）と窒化ホ
ウ素相（第２相）との複合相からなり、表層に向かって
ホウ素の存在割合が傾斜的に増大する炭化珪素繊維を得
る。
【００２４】本発明により、目的とする傾斜組成からな
る炭化珪素繊維の生成過程を、図２に模式的に示す。
【００２５】
【実施例】以下、本発明を実施例により説明する。 参考例１ ５リットルの三口フラスコに無水トルエン２．５リット
ルと金属ナトリウム４００ｇとを入れ窒素ガス気流下で
トルエンの沸点まで加熱し、ジメチルジクロロシラン１
リットルを１時間かけて滴下した。滴下終了後、１０時
間加熱還流し沈殿物を生成させた。この沈殿をろ過し、
まずメタノールで洗浄した後、水で洗浄して、白色粉末
のポリジメチルシラン４２０ｇを得た。ポリジメチルシ
ラン２５０ｇを水冷還流器を備えた三口フラスコ中に仕
込み、窒素気流下、４２０℃で３０時間加熱反応させて
数平均分子量が１２００のポリカルボシランを得た。
【００２６】実施例１ 参考例１の方法により合成されたポリカルボシラン１０
０ｇにトルエン１００ｇとトリブチルボレート１００ｇ
を加え、１００℃で１時間予備加熱させた後、１５０℃
までゆっくり昇温してトルエンを留去させてそのまま５
時間反応させ、更に２５０℃まで昇温して５時間反応し
て変性ポリカルボシランを合成した。この変性ポリカル
ボシランに意図的に低分子量の有機金属化合物を共存さ
せる目的で１０ｇのトリブチルボレートを加えて、変性
ポリカルボシランと低分子量有機ホウ素化合物の混合物
を得た。
【００２７】この変性ポリカルボシランと低分子量有機
ホウ素化合物の混合物をトルエンに溶解させたのちガラ
ス製の紡糸装置に仕込み、内部を十分に窒素置換してか
ら昇温してトルエンを留去させて、１８０℃で溶融紡糸
を行った。紡糸繊維を、空気中、段階的に１５０℃まで
加熱し不融化させた後、１５００℃の窒素中で１時間焼
成を行い、窒化ホウ素層を繊維表面に有する炭化珪素繊
維を得た。
【００２８】得られた炭化珪素繊維（平均直径：１０μ
ｍ）は、ＴＥＭ観察の結果、繊維表面に窒化ホウ素層が
繊維表面に平行な層状構造で形成されていることが確認
され、内部の炭化珪素相は非晶質であった。また、元素
分析の結果、繊維中のホウ素含有量は０．５ｗｔ％であ
った。また、オージェにより構成原子の分布状態を調べ
たところ、最表面から５０ｎｍの領域でＢ／Ｓｉ（モル
比）＝０．８５、最表面から１００〜２００ｎｍの領域
でＢ／Ｓｉ（モル比）＝０．２０、中心部でＢ／Ｓｉ＝
０と、表面に向かってホウ素が増大する傾斜組成になっ
ていることを確認した。この繊維の引張強度は３．０Ｇ
Ｐａであった。この繊維を空気中、１０００℃で１００
時間熱処理し、室温で引張強度を測定したところ、熱処
理前の９０％以上の強度を維持していた。また、この繊
維をＸ：Ｙ：Ｚ＝１：１：０．１の繊維比となるような
三次元織物に加工し、この織物をポリチタノカルボシラ
ン（５０％キシレン溶液）に含浸し、乾燥後、窒素中１
２００℃で１時間焼成した。さらにこの材料を緻密化さ
せるために、上記の含浸−乾燥−焼成を８回繰り返し、
ＳｉＣ／ＳｉＣ複合材料を得た。このＳｉＣ／ＳｉＣ複
合材料の三点曲げ強度を室温で測定したところ、４５０
ＭＰａであり、破面を観察したところ多数の繊維の引き
抜けが観察された。
【００２９】実施例２ 参考例１の方法により合成されたポリカルボシラン１０
０ｇを溶解したトルエン溶液にアルミニウムアセチルア
セトナート１０ｇを加え、窒素ガス気流下に３２０℃で
架橋反応させることによって、数平均分子量が２０００
のポリアルミノカルボシランを調製した。得られたポリ
アルミノカルボシラン１００ｇにトルエン１００ｇとト
リブチルボレート１００ｇを加え、１００℃で１時間予
備加熱させた後、１５０℃までゆっくり昇温してトルエ
ンを留去させてそのまま５時間反応させ、更に２５０℃
まで昇温して５時間反応して変性ポリカルボシランを合
成した。この変性ポリカルボシランに意図的に低分子量
の有機ホウ素化合物を共存させる目的で１０ｇのトリブ
チルボレートを加えて、変性ポリカルボシランと低分子
量有機ホウ素化合物の混合物を得た。
【００３０】この変性ポリカルボシランと低分子量有機
ホウ素化合物の混合物をトルエンに溶解させたのちガラ
ス製の紡糸装置に仕込み、内部を十分に窒素置換してか
ら昇温してトルエンを留去させて、１８０℃で溶融紡糸
を行った。紡糸繊維を、空気中、段階的に１５０℃まで
加熱し不融化させた後、１９００℃の窒素中で１時間焼
成を行い、窒化ホウ素層を繊維表面に有する炭化珪素繊
維を得た。
【００３１】得られた炭化珪素繊維（平均直径：１０μ
ｍ）は、ＴＥＭ観察の結果、繊維表面に窒化ホウ素層の
形成が確認され、内部の炭化珪素相は結晶質であった。
また、元素分析の結果、繊維中のホウ素含有量は０．５
ｗｔ％であった。また、オージェにより構成原子の分布
状態を調べたところ、最表面から５０ｎｍの領域でＢ／
Ｓｉ（モル比）＝０．８５、最表面から１００〜２００
ｎｍの領域でＢ／Ｓｉ（モル比）＝０．１６、中心部で
Ｂ／Ｓｉ＝０と、表面に向かってホウ素が増大する傾斜
組成になっていることを確認した。この繊維の引張強度
は２．８ＧＰａであった。この繊維を空気中、１０００
℃で１００時間熱処理し、室温で引張強度を測定したと
ころ、熱処理前の９０％以上の強度を維持していた。ま
た、この繊維をＸ：Ｙ：Ｚ＝１：１：０．１の繊維比と
なるような三次元織物に加工し、この織物をポリチタノ
カルボシラン（５０％キシレン溶液）に含浸し、乾燥
後、窒素中１２００℃で１時間焼成した。さらにこの材
料を緻密化させるために、上記の含浸−乾燥−焼成を８
回繰り返し、ＳｉＣ／ＳｉＣ複合材料を得た。このＳｉ
Ｃ／ＳｉＣ複合材料の三点曲げ強度を室温で測定したと
ころ、４００ＭＰａであり、破面を観察したところ多数
の繊維の引き抜けが観察された。
【００３２】比較例１ 米国特許第６，０４０，００８記載の方法で繊維表面に
窒化ホウ素層を有する炭化珪素繊維を合成した。得られ
た炭化珪素繊維（平均直径：１０μｍ）は、ＴＥＭ観察
の結果、繊維表面に窒化ホウ素層が繊維軸方向に対して
直角方向に配向して形成されていることが確認され、内
部の炭化珪素相は結晶質であった。また、元素分析の結
果、繊維中のホウ素含有量は２ｗｔ％であった。また、
オージェにより構成原子の分布状態を調べたところ、最
表面から５０ｎｍの領域でＢ／Ｓｉ（モル比）＝０．８
５、最表面から１００〜２００ｎｍの領域でＢ／Ｓｉ
（モル比）＝０．２５、中心部でＢ／Ｓｉ＝０．１と、
表面に向かってホウ素が増大する傾斜組成になっている
が、繊維内部までホウ素の存在が確認された。この繊維
の引張強度は２．８ＧＰａであった。この繊維を空気
中、１０００℃で１００時間熱処理し、室温で引張強度
を測定したところ、熱処理前の７０％以下まで強度が低
下していた。また、この繊維をＸ：Ｙ：Ｚ＝１：１：
０．１の繊維比となるような三次元織物に加工し、この
織物をポリチタノカルボシラン（５０％キシレン溶液）
に含浸し、乾燥後、窒素中１２００℃で１時間焼成し
た。さらにこの材料を緻密化させるために、上記の含浸
−乾燥−焼成を８回繰り返し、ＳｉＣ／ＳｉＣ複合材料
を得た。このＳｉＣ／ＳｉＣ複合材料の三点曲げ強度を
室温で測定したところ、１００ＭＰａであり、脆性的な
破壊挙動をしめした。破面を観察したところ繊維の引き
抜けは全く観察されなかった。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は、前駆体繊維の表面から内部に向って
のホウ素濃度の変化をオージェ電子分光スペクトルによ
り調べた結果を示す図である。
【図２】 図２は、本発明の窒化ホウ素層を繊維表面に
有する炭化珪素繊維の生成過程を模式的に示す図であ
る。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年９月１９日（２００２．９．１
９）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】出発原料である変性ポリカルボシランは、
主として一般式
【化３】 （但し、式中のＲは水素原子、低級アルキル基又はフェ
ニル基を示す。）で表される主鎖骨格を有する数平均分
子量が２００〜１０，０００のポリカルボシランと、一
般式、Ｂ（ＯＲ’）ｎ或いはＢＲ”ｍ（Ｒ’は炭素原子
数１〜２０個を有するアルキル基またはフェニル基、
Ｒ”はアセチルアセトナート、ｍとｎは１より大きい整
数）を基本構造とする有機ホウ素化合物とから誘導され
るものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4L037 AT05 CS30 CS38 FA06 FA20 PA31 PA49 PC11 PS12 UA20

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】窒化ホウ素層を繊維表面に有する炭化珪素
    繊維であって、繊維の表層に向かってホウ素の存在割合
    が傾斜的に増大しており、かつ窒化ホウ素層が繊維表面
    に平行な層状構造を有することを特徴とする炭化珪素繊
    維。
  2. 【請求項２】繊維全体に対するホウ素の存在割合が０．
    ２〜１．５重量％である請求項１記載の炭化珪素繊維。
  3. 【請求項３】主として一般式 【化１】 （但し、式中のＲは水素原子、低級アルキル基又はフェ
    ニル基を示す。）で表される主鎖骨格を有する数平均分
    子量が２００〜７，０００のポリカルボシランを、有機
    ホウ素化合物で修飾した構造を有する変性ポリカルボシ
    ラン、或いは変性ポリカルボシランと有機ホウ素化合物
    との混合物を溶融紡糸し、不融化処理後、窒素を含む雰
    囲気中で焼成することを特徴とする請求項１〜２記載の
    炭化珪素繊維の製造方法。
  4. 【請求項４】有機ホウ素化合物が、一般式、Ｂ（Ｏ
    Ｒ’）ｎ或いはＢＲ”ｍ（Ｒ’は炭素原子数１〜２０個
    を有するアルキル基またはフェニル基、Ｒ”はアセチル
    アセトナート、ｍとｎは１より大きい整数）を基本構造
    とする化合物である請求項３記載の炭化珪素繊維の製造
    方法。
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