JP2003106289A - 多段式遠心ファン - Google Patents

多段式遠心ファン

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JP2003106289A
JP2003106289A JP2001304985A JP2001304985A JP2003106289A JP 2003106289 A JP2003106289 A JP 2003106289A JP 2001304985 A JP2001304985 A JP 2001304985A JP 2001304985 A JP2001304985 A JP 2001304985A JP 2003106289 A JP2003106289 A JP 2003106289A
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Japan
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chamber
stage
rotors
rotor
centrifugal fan
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JP2001304985A
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Toshiro Kizakihara
稔郎 木崎原
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Cambridge Filter Japan Ltd
Kondo Kogyo Co Ltd
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Cambridge Filter Japan Ltd
Kondo Kogyo Co Ltd
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08Centrifugal pumps
    • F04D17/10Centrifugal pumps for compressing or evacuating
    • F04D17/12Multi-stage pumps
    • F04D17/127Multi-stage pumps with radially spaced stages, e.g. for contrarotating type
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/26Rotors specially for elastic fluids
    • F04D29/28Rotors specially for elastic fluids for centrifugal or helico-centrifugal pumps for radial-flow or helico-centrifugal pumps
    • F04D29/281Rotors specially for elastic fluids for centrifugal or helico-centrifugal pumps for radial-flow or helico-centrifugal pumps for fans or blowers

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  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】高静圧の排気が得られる多段式遠心ファンを提
供する。 【解決手段】複数個のロータ19a〜19cおよびチャ
ンバー20a〜20cから構成される多段式遠心ファン
であって、後段チャンバーの容積が後段チャンバーの容
積以下に形成されたファンケース4に、複数のロータ1
9a〜19cがロータ駆動軸9に同軸円状に内側から外
側に向ってチャンバー20a〜20cを備えて連結さ
れ、且つ前記複数のロータ19a〜19cが前記ロータ
駆動軸9と共に協動すると共に、前記複数のロータ19
a〜19c間のチャンバー20a〜20cにおいて、チ
ャンバー隔壁がファンケース4に固定される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、小型で低騒音、且
つ高い静圧の排気が得られる多段式遠心ファンに関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来、各家庭や事業所等で各種のユニッ
ト型空気清浄器が使われている。これはタバコの煙除去
用空気清浄器に代表されるように、部分的な発塵に対し
ては部分的空気清浄設備で対処して、省エネを図ろうと
いうものである。
【0003】また、半導体製造ライン、医療、食品製
造、その他の分野においては、従来は大空間を清浄・無
菌状態に保つクリーンルームが設置されていた。しか
し、各分野の技術が進歩し、今まで以上の清浄・無菌環
境が要求されるようになり、このような要求に応える方
法として、局所的清浄・無菌環境空間が要求されるよう
になってきた。この技術の適用で、局所的に極めて高品
質の清浄・無菌環境空間を容易に実現できるだけでな
く、大幅な省エネも図られた。そして、局所をクリーン
にするための実現には、用途に応じていろいろなコンセ
プト・方式の装置、設備があり、ユニット型空気清浄器
もその中の一つである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の局所クリーン装置、設備はいまだ性能的に充分とは
言いがたい。その原因はファンの性能不足にある。例と
して下記にユニット型空気清浄器を挙げる。
【0005】すなわち、前記従来の各種ユニット型空気
清浄器が性能が不充分な原因は、内蔵されているファン
の性能不足にある。従来、空気清浄器に使用されている
ファンには、低騒音、低価格の要求により遠心ファンが
採用されているが、該遠心ファンは、その構造上高い静
圧の排気が得られないという課題があった。また、従来
の空気清浄器に、空気中にある塵、煙、その他を除去す
るために取付けられた各種フィルターは、圧力損失が大
きく、従来の遠心ファンでは高い排気圧を得られないた
め、充分に塵、煙、その他を除去できないという課題が
あった。
【0006】一方、高い排気圧の得られるファンには軸
流ファンがあるが、騒音が大きく、大きさも大きく、ま
た価格も高く、空気清浄器用ファンには適さないという
課題があった。
【0007】本発明は前記課題を解決すべくなされたも
ので、小型で低騒音、且つ高い静圧の排気が得られ、特
に半導体製造ライン、医療、食品製造、その他の分野に
おいて、必要な個所だけ部分的に清浄・無菌環境を実現
する局所クリーン機器の用途として最適な多段式遠心フ
ァンに関するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数個のロー
タおよびチャンバーから構成される多段式遠心ファンで
あって、後段チャンバーの容積が前段チャンバーの容積
以下に形成されたファンケースに、複数のロータがロー
タ駆動軸に同軸円状に内側から外側に向ってチャンバー
を備えて連結され、且つ前記複数のロータが前記ロータ
駆動軸と共に協動すると共に、前記複数のロータ間のチ
ャンバーにおいて、チャンバー隔壁がファンケースに固
定されるという手段を採用することにより、上記課題を
解決した。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明多段式遠心ファンの実施の
形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明の
第1の実施の形態を示す縦断面図、図2は同一部を切り
欠いて示す平面図である。本発明多段式遠心ファンは、
上部に空気の吸気口1を開口すると共に、周壁2の適位
置に排気口3を開口して形成されたファンケース4内に
装置されている。
【0010】前記ファンケース4は、吸気口1部分が高
く周壁2方向側に行くに従い、低くなるよう水平面5と
傾斜面6とを複数段に亘って連設して形成されており、
図1の実施の形態においては、水平面5が初段水平面5
a、2段目水平面5b、3段目水平面5cと3段に亘っ
て、また傾斜面6が初段傾斜面6a、2段目傾斜面6b
と2段に亘って設けられている。
【0011】前記ファンケース4の底板7の中央に設け
られた軸受8にロータ駆動軸9が挿通されると共に、該
ロータ駆動軸9の下方部は駆動モータ10を駆動源とす
るモータ駆動軸11に連結され、前記ロータ駆動軸9は
駆動モータ10により回転自在である。
【0012】前記駆動モータ10は、前記モータ駆動軸
11の基部外周に、駆動モータロータ12を周設すると
共に、該駆動モータロータ12の外方に間隔を有して対
面するよう駆動モータステータ13を、前記ファンケー
ス4の底板7下面に垂設された匡体14の内周壁面に周
設して形成されている。
【0013】前記駆動モータ10は、回転数を自由に設
定することができる主回転数設定可変抵抗器15を備え
たモータ電源16に接続されている。
【0014】前記ファンケース4内の初段水平面5aの
下方部に、円盤状回転板17aの外周縁部に立設された
円筒状のブレード保持体18aが位置するようにして形
成された初段ロータ19aが、前記円盤状回転板17a
の中央を前記ロータ駆動軸9の上方部に連結固定され、
且つ2段目水平面5bの下方部に、円盤状回転板17b
の外周縁部に立設された円筒状のブレード保持体18b
が位置するようにして形成された2段目ロータ19b
が、前記円盤状回転板17bの中央を前記ロータ駆動軸
9の中間部に連結固定されると共に、3段目水平面5c
の下方部に、円盤状回転板17cの外周縁部に立設され
た円筒状のブレード保持体18cが位置するようにして
形成された3段目ロータ19cが、前記円盤状回転板1
7cの中央を前記ロータ駆動軸9の下方部に連結固定さ
れている。これにより、前記各ロータ19a〜19c
は、ロータ駆動軸9の回転により、該ロータ駆動軸9と
共に回転する。
【0015】そして、前記構成より成る初段ロータ19
aと2段目ロータ19b間に初段チャンバー20aが、
また2段目ロータ19bと3段目ロータ19c間に2段
目チャンバー20bが、更に3段目ロータ19cと周壁
2間に3段目チャンバー20cがそれぞれ形成される。
前記各チャンバー20a〜20cの容積は前記ファンケ
ース4の形状から、後段チャンバーの容積が、前段チャ
ンバーの容積以下になっている。
【0016】前記初段チャンバー20aを構成する初段
ロータ19aと2段目ロータ19b間の初段傾斜面6a
の下面に、円盤状基板21aの外周縁部に立設された円
筒状の初段チャンバー隔壁22aの上端面が固定される
と共に、前記円盤状基板21aの中央は、ロータ駆動軸
9に連結固定された前記初段ロータ19aと2段目ロー
タ19b間の前記ロータ駆動軸9に、該ロータ駆動軸9
と協動しないように軸受23aを介して保持されてい
る。
【0017】また、前記2段目チャンバー20bを構成
する2段目ロータ19bと3段目ロータ19c間の2段
目傾斜面6bの下面に、円盤状基板21bの外周縁部に
立設された円筒状の2段目チャンバー隔壁22bの上端
面が固定されると共に、前記円盤状基板21bの中央
は、ロータ駆動軸9に連結固定された前記2段目ロータ
19bと3段目ロータ19c間の前記ロータ駆動軸9
に、該ロータ駆動軸9と協動しないように軸受23bを
介して保持されている。
【0018】すなわち、前記本発明の第1の実施の形態
においては、説明の都合上、ファンケース4は、水平面
が3段、傾斜面が2段に亘って交互に連設して形成され
ると共に、ロータは3段、隔壁は2段に亘ってそれぞれ
形成されているが、本発明多段式遠心ファンはこれに限
定されるものではなく、それ以上であってもよく、複数
の水平面と傾斜面を連設して、外方に行くに従い薄くな
るように形成されたファンケース内に、複数のロータお
よびチャンバー隔壁が交互にロータ駆動軸に同軸円状に
内側から外側に向って多段に亘って配設されている。
【0019】前記各ロータ19a〜19cを構成する各
円盤状回転板17a〜17cの外周縁に突設された各ブ
レード保持体18a〜18cは、環状の上・下部固定板
24・25間に、多数のブレード26が該各ブレード2
6間にそれぞれ通気開口27を設けると共に、所定角度
に傾斜して立設されて形成されている。そして、前記各
ブレード保持体18a〜18cを、それぞれ前記各円盤
状回転板17a〜17cの外周縁部に載置固定して各ロ
ータ19a〜19cが形成されている。
【0020】前記各円盤状基板21a〜21bの外周縁
に突設された各チャンバー隔壁22a〜22bは、図1
〜図5に示すように、環状の上・下部固定板28・29
間に、多数の気流方向変換用のブレード30が該各ブレ
ード30間にそれぞれ通気開口31を設けると共に、所
定角度に傾斜して立設されて形成されている。そして、
前記各チャンバー隔壁22a〜22bは、それぞれ前記
各円盤状基板21a〜21bの外周縁部に載置固定され
ている。
【0021】前記本発明の第1の実施の形態による多段
式遠心ファンの作用について説明する。モータ電源16
を投入して駆動モータ10に電源が供給されると、モー
タ駆動軸11およびこれに連結されたロータ駆動軸9が
回転して、各ロータ19a〜19cも共に回転する。前
記駆動モータ10の回転数は、主回転数設定可変抵抗器
15により任意に設定することができる。
【0022】前記各ロータ19a〜19cの回転によ
り、吸気口1から吸い込まれた空気は、回転している初
段ロータ19aの各ブレード26に接触して遠心力で加
圧されて、該各ブレード26の間の通気開口27を経
て、初段チャンバー20aに排出される。前記初段チャ
ンバー20a内に排出された空気は、ファンケース4に
固定されている初段チャンバー隔壁22aに設けられた
気流方向変換用の各ブレード30によって、気流方向を
径方向の気流に転換し、該各ブレード30間の通気開口
31を経て、2段目ロ―タ19bに排出される。
【0023】前記2段目ロ―タ19bへ排出された空気
は、回転している2段目ロ―タ19bの各ブレード26
に接触して更に遠心力が加圧されて、該各ブレード26
間の通気開口27を経て、2段目チャンバー20bに排
出される。前記2段目チャンバー20b内に排出された
空気は、ファンケース4に固定されている2段目チャン
バー隔壁22bに設けられた気流方向変換用の各ブレー
ド30によって、気流方向を径方向の気流に転換し、該
各ブレード30間の通気開口31を経て、3段目ロ―タ
19cへ排出される。
【0024】前記各ブレード26は、ロータで加圧され
た空気の気流を径方向の気流に転換し、後段ロータに供
給するための気流のガイドの役目を果たす。
【0025】前記3段目ロ―タ19cへ排出された空気
は、回転している3段目ロ―タ19cの各ブレード26
に接触してまた更に遠心力が加圧されて、該各ブレード
26間の通気開口27を経て、また再び3段目チャンバ
ー20cに排出され、その後排気口3より外部へ高圧排
気として排出される。
【0026】すなわち、本発明の第1の実施の形態によ
る多段式遠心ファンによれば、前記各ブレード26を取
付けた通気開口27により、前段チャンバーから後段チ
ャンバーへの排気の円周方向成分に方向転換され、ロー
タ方向成分排気および静圧だけが後段チャンバーへ排気
されるのである。
【0027】更に、後段のロータブレードが前段からの
気流を効率よく捕えられるように、通気開口27を形成
する各ブレード26の角度は調整可能である。このブレ
ード26を取付けられた通気開口27により圧力損失を
最小限に抑え、ロータの加圧効率を上げ、高効率の多段
式遠心ファンが実現できるのである。
【0028】また、前段のロータで加圧された空気が、
チャンバー隔壁の通気開口を介して後段チャンバーへ流
れ込むとき、後段チャンバーで体積が膨張して圧力が低
下しないようにするため、後段チャンバーの容積が、前
段チャンバーの容積以下となっていると共に、各チャン
バー間の距離が短く形成されているので、圧損が少な
く、高静圧の排気が得られ、小型で、ファンの厚みを薄
くすることが可能である。
【0029】図6は、前記本発明の第1の実施の形態に
示す多段式遠心ファンにおいて、遠心ファンの吸気口1
から吸い込まれた空気が、各段のロータで加圧されてい
く状態を示す説明図である。グラフの横軸が、遠心ファ
ンの径方向を示し、縦軸が各チャンバー内の空気圧力を
示す。グラフの斜線部分は、各ロータにより、空気が加
圧される領域である。グラフの点線は大気圧を示し、P
−20a、P−20b、P−20cは、それぞれチャン
バー20a〜20c内の圧力を示す。すなわち、図3か
ら吸気口1から.吸い込まれた空気が、初段ロータ19
aから2段目ロータ19bを経て、3段目ロータ19c
へ送気されるに従い加圧されて行く状況が確認できる。
【0030】図7〜図9は、チャンバー隔壁22a〜2
2bの他の実施の形態を示す斜視図、平面図および断面
図である。前記図1〜図5に示すチャンバー隔壁22a
〜22bが、多数のブレード30を備えて形成されてい
るが、図7〜図9に示すチャンバー隔壁22a〜22b
は、環状の上・下固定板28・29間に多数の孔32を
有し、且つ該孔32の径と同程度の厚みを有する多孔状
帯体33を備えて形成されている。前記多孔状帯体33
とすることにより、前段チャンバーから後段チャンバー
への排気の気流の円周方向成分がロータ径方向成分に方
向転換され、加圧されたロータ径方向成分排気の気流が
後段チャンバーへ流入され、後段のロータのブレードが
効率よく気流を捕えることができるのである。そして、
このチャンバー隔壁は、前記図1〜図5に示すチャンバ
ー隔壁より製作も容易で、コストダウンを図ることがで
きる。
【0031】また、図10〜図12は、チャンバー隔壁
22a〜22bの更に他の実施の形態を示す斜視図、平
面図および断面図である。そして、図10〜図12に示
すチャンバー隔壁22a〜22bは、環状の上・下固定
板28・29間に厚みのある網状体34を備えて形成さ
れている。前記網状体34とすることにより、前段チャ
ンバーから後段チャンバーへの排気の気流の円周方向成
分がなくなり、径方向成分の排気となり、後段チャンバ
ーへ流入される。そして、このチャンバー隔壁は、前記
図1〜図5に示すチャンバー隔壁より製作も容易で、コ
ストダウンを図ることができる。
【0032】図13は、本発明の第2の実施の形態を示
す一部切欠断面図である。図13における多段式遠心フ
ァンは、各段のロータ19a〜19cのブレード保持体
18a〜18cが、ロータ駆動軸11の上方部に固定さ
れた1枚の円盤状回転板35に、それぞれ階段状に3段
に亘って固定され、前記各ロータ19a〜19c間にそ
れぞれ初段チャンバー20a、2段目チャンバー20b
が形成されている。そして、初段および2段目のブレー
ド保持体18a・18bは、初段および2段目チャンバ
ー隔壁22a・22bをそれぞれ外周縁部に突設した円
盤状基板36a・36bを前記ブレード保持体18a・
18bの下方部に、該ブレード保持体18a・18bと
協動しないように軸受37a・37bで支持するため、
前記ブレード保持体18a・18bの下方部には凹状部
38a・38bが形成されている。
【0033】前記本発明の第2の実施の形態における多
段式遠心ファンは、各段のロータが個別にロータ駆動軸
9に連結固定されているのではなく、各段のロータ19
a〜19cのブレード保持体18a〜18cが、一枚の
円盤状回転板35に固定されているため、ファンの厚み
を薄くすることができ、小型化が可能で、また部品点数
が削減できると共に、コストダウンを図ることができ
る。そして、その他の作用は、前記第1の実施の形態の
ものと同一であるので、説明を省略する。
【0034】図14は、本発明の第3の実施の形態を示
す一部切欠断面図である。図14における多段式遠心フ
ァンは、各段のロータ19a〜19cをそれぞれ個々に
固定できるよう、それぞれのロータ駆動軸9a〜9cを
同軸円筒状に分離して設置し、個々のロータ駆動軸9a
〜9cに連結された駆動モータ10a〜10cで、前記
各ロータ19a〜19cの回転数を各ロータ19a〜1
9cごとに設定できるようにしたものである。
【0035】すなわち、図14に示すように、初段ロー
タ19a、2段目ロータ19bおよび3段目ロータ19
cは、それぞれ同軸円筒状に配置された初段ロータ駆動
軸9a、2段目ロータ駆動軸9bおよび3段目ロータ駆
動軸9cに連結固定されている。前記初段ロータ駆動軸
9a、2段目ロータ駆動軸9bおよび3段目ロータ駆動
軸9cは、それぞれ初段駆動モータ10a、2段目駆動
モータ10bおよび3段目駆動モータ10cの初段モー
タ駆動軸11a、2段目モータ駆動軸11bおよび3段
目モータ駆動軸11cにそれぞれ連結固定されている。
【0036】前記各駆動モータ10a〜10cは、電源
16a〜16cにそれぞれ連結され、初段主回転数設定
可変抵抗器15a、2段目主回転数設定可変抵抗器15
bおよび3段目主回転数設定可変抵抗器15cにより、
初段ロータ19aの回転数および初段ロータ19aに対
する2段目ロータ19b、2段目ロータ19bに対する
3段目ロータ19cの回転数比が設定できる。
【0037】前記本発明の第3の実施の形態による多段
式遠心ファンは、各ロータが個別の駆動モータに連結さ
れ、前段チャンバーからの排気を圧力損失を最小限に留
め、後段チャンバーのロータに渡せるように、各ロータ
はマスターとなるロータ、およびその他の各ロータ間の
回転数比率を自由に設定でき、ファン全体の効率を最適
に設定された各ロータの回転数比を維持したまま、ファ
ン出力を調整できるのである。なお、その他の作用につ
いては、前記第1の実施の形態のものと同一であるの
で、説明を省略する。
【0038】
【発明の効果】本発明は上述のように、後段チャンバー
の容積が前段チャンバーの容積以下に形成されたファン
ケース内に、複数のロータが内側から外側に向ってチャ
ンバーを備えて設けられると共に、該複数のロータ間の
チャンバーにおいて、チャンバー隔壁が配設されている
ので、各段のチャンバー間の距離が短く、その結果圧損
が少なく、高静圧の排気が得られ、小型で低騒音、且つ
ファンの厚みを薄くすることができる。そして、特に半
導体製造ライン、医療、食品製造、その他の分野におい
て、必要な個所だけ部分的に清浄・無菌環境を実現する
局所クリーン機器の用途として最適な多段式遠心ファン
である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明第1の実施の形態による多段式遠心ファ
ンの縦断面図である。
【図2】同一部を切り欠いて示す平面図である。
【図3】同多段式遠心ファンを構成する隔壁の要部の斜
視図である。
【図4】同平面図である。
【図5】同断面図である。
【図6】本発明の第1の実施の形態による多段式遠心フ
ァン内部で空気が加圧されて行く状態を示す説明図であ
る。
【図7】本発明多段式遠心ファンを構成する隔壁の他の
実施の形態を示す要部の斜視図である。
【図8】同平面図である。
【図9】同断面図である。
【図10】本発明多段式遠心ファンを構成する隔壁の要
部の更に他の実施の形態を示す斜視図である。
【図11】同平面図である。
【図12】同断面図である。
【図13】本発明多段式遠心ファンの第2の実施の形態
を示す一部を省略した断面図である。
【図14】本発明多段式遠心ファンの第3の実施の形態
を示す一部を省略した断面図である。
【符号の説明】
4 ファンケース、 9 ロータ駆動軸、 19a 初段
ロータ、 19b 2段目ロータ、 19c 3段目ロ
ータ、 20a 初段チャンバー、 20b2段目チャ
ンバー、 20c 3段目チャンバー、 22a 初段
チャンバー隔壁、 22b 2段目チャンバー隔壁、
30 ブレード、 31 通気開口、32 孔、 33
多孔状帯、 34 網状体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F04D 29/44 F04D 29/44 X Fターム(参考) 3H033 AA02 BB02 BB06 BB17 CC01 CC03 DD04 EE06 EE19 3H034 AA02 BB02 BB06 BB17 BB19 CC01 CC03 DD01 DD06 DD07 EE06 EE12 EE18

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数個のロータおよびチャンバーから構成
    される多段式遠心ファンであって、後段チャンバーの容
    積が前段チャンバーの容積以下に形成されたファンケー
    スに、複数のロータがロータ駆動軸に同軸円状に内側か
    ら外側に向ってチャンバーを備えて連結され、且つ前記
    複数のロータが前記ロータ駆動軸と共に協動すると共
    に、前記複数のロータ間のチャンバーにおいて、チャン
    バー隔壁がファンケースに固定されたことを特徴とする
    多段式遠心ファン。
  2. 【請求項2】複数個のロータおよびチャンバーから構成
    される多段式遠心ファンであって、後段チャンバーの容
    積が前段チャンバーの容積以下に形成されたファンケー
    スに、複数のロータがロータ駆動軸と共に協動する1枚
    の円盤状回転板に内側から外側に向ってチャンバーを備
    えて連結されると共に、前記複数のロータ間のチャンバ
    ーにおいて、チャンバー隔壁がファンケースに固定され
    たことを特徴とする多段式遠心ファン。
  3. 【請求項3】複数個のロータおよびチャンバーから構成
    される多段式遠心ファンであって、後段チャンバーの容
    積が前段チャンバーの容積以下に形成されたファンケー
    スに、複数のロータが、それぞれ個別のロータ駆動軸に
    内側から外側に向ってチャンバーを備えて連結され、且
    つ該各ロータはマスターとなるロータおよびその他の各
    ロータ間の回転数比率を設定できるようにすると共に、
    複数のロータ間のチャンバーにおいて、チャンバー隔壁
    がファンケースに固定されたことを特徴とする多段式遠
    心ファン。
  4. 【請求項4】チャンバー隔壁が、多数のブレードと通気
    開口が設けられたものである請求項1〜請求項3のいず
    れかに記載の多段式遠心ファン。
  5. 【請求項5】チャンバー隔壁が、多数の孔を有し、且つ
    該孔の径と同程度の厚みを持った多孔状帯体である請求
    項1〜請求項3のいずれかに記載の多段式遠心ファン。
  6. 【請求項6】チャンバー隔壁が、厚みのある網状体であ
    る請求項1〜請求項3のいずれかに記載の多段式遠心フ
    ァン。
  7. 【請求項7】請求項4において、チャンバー隔壁に複数
    のブレードが円周状に取付けられ、該ブレードの取付け
    られた通気開口より、前段チャンバーから後段チャンバ
    ーへの排気の円周方向成分がロータ径方向成分に方向転
    換され、ロータ径方向成分排気および静圧だけが後段チ
    ャンバーへ排気されることを特徴とする多段式遠心ファ
    ン。
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