JP2003093816A - Air filter material, air filter unit, method for manufacturing the material and package for the material - Google Patents

Air filter material, air filter unit, method for manufacturing the material and package for the material

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JP2003093816A
JP2003093816A JP2001291154A JP2001291154A JP2003093816A JP 2003093816 A JP2003093816 A JP 2003093816A JP 2001291154 A JP2001291154 A JP 2001291154A JP 2001291154 A JP2001291154 A JP 2001291154A JP 2003093816 A JP2003093816 A JP 2003093816A
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filter
air
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Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Kumagai
聡士 熊谷
Toshio Aikawa
登志夫 相川
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Japan Vilene Co Ltd
Original Assignee
Japan Vilene Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an air filter material for a neutralization filter or an HEPA filter for use in a clean room, or the like, which alleviates the entrance of polluted gas into the clean room, or the like, and prolongs the life of a chemical filter as to filtration of dust and removal of polluted gas when the air filter material is used for the neutralization filter in a stage before the chemical filter, thus contributing to reduction in operation and maintenance costs for a filter system. SOLUTION: The air filter material is composed of fibers fabricated by the melt blow method, and has an average particle collection efficiency of 20% or greater as measured by colorimetry, and the amount of total organic material released therefrom is in the range of from 1.0 (pg/cm<2> .hr) to 10 (μg/m<2> .hr) in terms of a converted value equivalent to the surface density of the air filter material. For obtaining the air filter material releasing a reduced amount of gas, fibers fabricated by the melt blow method are heat-treated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶の生
産施設などのクリーンルームなどにおいて、主に該クリ
ーンルーム内に流入する外気中に含まれる粉塵を除去す
るエアフィルタ用濾材であり、主としてＨＥＰＡフィル
タ（高性能フィルタ）用や、該ＨＥＰＡフィルタの前段
や該クリーンルーム内のガス状汚染物質を除去するケミ
カルフィルタの前段で用いる中性能フィルタ用として用
いる、アウトガス発生の少ないエアフィルタ用濾材及び
エアフィルタユニット、及びその製造方法、並びにその
包装体に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a filter material for an air filter, which is mainly used in a clean room such as a semiconductor or liquid crystal production facility, for removing dust contained in the outside air flowing into the clean room, and is mainly a HEPA filter. (High-performance filter), medium-performance filter used before the HEPA filter or before the chemical filter for removing gaseous pollutants in the clean room, and a filter material for an air filter and an air filter unit with less outgas generation , Its manufacturing method, and its package.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体や液晶の生産施設、または半導体
や液晶の周辺技術関連で用いるクリーンルーム等におい
ては、該生産施設内または該クリーンルーム内の空気や
雰囲気に対して高い清浄度が要求される。しかし、これ
ら空気や雰囲気中には粉塵や有機系ガス状汚染物質や無
機系ガス状汚染物質が含まれているのみならず、クリー
ンルーム構成部材や作業員等からも粉塵や有機系ガス状
汚染物質や無機系ガス状汚染物質が発生する。そのた
め、このような粉塵やガス状汚染物質を除去するフィル
タシステムが図１に例示するように設置されている。外
気空気は外調機１の粗塵除去用のプレフィルタ２、中性
能フィルタ３、エアワッシャー４、ＨＥＰＡフィルタ
（高性能フィルタ）６の順に通過した後、さらに循環系
のＨＥＰＡフィルタ８を通過して、空気中の塵埃が除去
される。また、クリーンルーム内に流入するガス状汚染
物質は必要に応じて循環系に設置されたケミカルフィル
タ７によって除去される。特に、外気中にガス状汚染物
質が多く含まれる場合は、外調機１のＨＥＰＡフィルタ
６と中性能フィルタ３の間に更にケミカルフィルタ５が
設置されている。2. Description of the Related Art In a semiconductor or liquid crystal production facility, or in a clean room used for semiconductor or liquid crystal peripheral technology, a high degree of cleanliness is required for the air or atmosphere in the production facility or the clean room. However, not only dust and organic gaseous pollutants and inorganic gaseous pollutants are contained in these air and atmosphere, but also dust and organic gaseous pollutants from clean room components and workers. And inorganic gaseous pollutants are generated. Therefore, a filter system for removing such dust and gaseous pollutants is installed as illustrated in FIG. The outside air passes through the pre-filter 2 for removing coarse dust of the external conditioner 1, the medium performance filter 3, the air washer 4, the HEPA filter (high performance filter) 6 in this order, and then the HEPA filter 8 of the circulation system. Thus, dust in the air is removed. Further, the gaseous pollutants that flow into the clean room are removed by the chemical filter 7 installed in the circulation system as needed. In particular, when a large amount of gaseous pollutants is contained in the outside air, the chemical filter 5 is further installed between the HEPA filter 6 and the medium performance filter 3 of the external conditioner 1.

【0003】前記ガス状汚染物質には、有機系ガス状汚染物
質や、無機系ガス状汚染物質が含まれるが、特に有機系
ガス状汚染物質は、半導体基板であるシリコンウェハ表
面上に付着すると、シリコンウェハ表面上に形成される
絶縁酸化膜の絶縁耐圧が低下したり、空気中に浮遊する
微粒子が静電吸着し易くなったり、絶縁破壊が起こり易
くなったりする等、半導体や液晶の製造に悪影響を及ぼ
す。これら、有機系ガス状汚染物質のウェハ表面への吸
着を防止するには、クリーンルーム雰囲気中の該有機物
質の濃度をできるだけ低いレベルで管理しなければなら
ない。このような管理濃度は次のようにして求めること
ができる。すなわち、１９９９年版ＳＩＡ（Ｓｅｍｉｃ
ｏｎｄｕｃｔｏｒ ｌｎｄｕｓｔｒｙ Ａｓｓｏｃｉａ
ｔｉｏｎ）ロードマップによれば、西暦２０００年のウ
エハ表面上での有機物質管理レベルは６．６×１０１３
Ｃａｔｏｍｓ／ｃｍ２と言われている。これをトルエン
換算すると１４．４４μｇ／ｍ２となる。これらウェハ
表面上での管理レベルの値と、一般に知られている付着
確率から、下記の算出式１によりクリーンルーム空気中
での管理レベルの推定値を算出すると、総有機物質は４
１．７μｇ／ｍ ３の管理濃度となる。 算出式１：Ｎ＝Ａｓ／（ｖ・ｔ・γ） Ｎ；空気申の汚染物質濃度（空気中の管埋濃度）（μｇ
／ｍ３） Ａｓ；ウェハ表面の汚染物質濃度（ウェハ表面上での管
理レベル）（μｇ／ｍ２） ｖ；クリーンルーム空気の流速（０．４ｍ／ｓｅｃ） ｔ；ウェハの空気中暴露時間（８６４００ｓｅｃ） γ；付着確率 （芳香族炭化水素類の付着確率１×１０
−５）[0003] The gaseous pollutants include organic gaseous pollutants.
Quality and inorganic gaseous pollutants are included, but especially organic
Gaseous pollutants are generated on the silicon wafer surface, which is a semiconductor substrate.
When deposited on a surface, it forms on the silicon wafer surface
The insulation breakdown voltage of the insulating oxide film is lowered or it floats in the air
Particles are more likely to be electrostatically adsorbed, and dielectric breakdown easily occurs
Adversely affect semiconductor and liquid crystal manufacturing.
You Adsorption of these organic gaseous pollutants on the wafer surface
To prevent wearing, the organic matter in a clean room atmosphere
Quality levels must be controlled at the lowest possible level
Absent. Obtain such control concentration as follows:
You can That is, the 1999 version of SIA (Semi
onductor lndustry Associa
according to the road map of the year 2000.
Organic substance control level on the roof surface is 6.6 × 10.Thirteen
Catms / cmTwoIs said. This is toluene
Converted to 14.44 μg / mTwoBecomes These wafers
Control level values on the surface and commonly known adhesion
From the probability, in the clean room air by the following calculation formula 1
Estimated control level in
1.7 μg / m ThreeIt becomes the control concentration of. Calculation formula 1: N = As / (v · t · γ) N; Air pollutant concentration (buried concentration in air) (μg
/ MThree) As: Contaminant concentration on wafer surface (tube on wafer surface
Processing level) (μg / mTwo) v; Flow velocity of clean room air (0.4 m / sec) t: exposure time of wafer in air (86400 sec) γ: Adhesion probability (Aromatic hydrocarbon adhesion probability 1 × 10
-5)

【0004】このような汚染物質を吸着除去するケミカルフ
ィルタには、例えば活性炭、活性炭繊維、ゼオライト、
イオン交換樹脂、その他化学吸着材等の吸着材が利用さ
れており、これら吸着材が単独で用いられたり、ネット
状物や不織布等の基材に吸着材等が担持されたりしてい
る。そして該ケミカルフィルタは前記フィルタシステム
中の循環系に設置され、また必要に応じて外調機にも設
置されている。[0004] Chemical filters that adsorb and remove such pollutants include, for example, activated carbon, activated carbon fibers, zeolite,
Ion exchange resins and other adsorbents such as chemical adsorbents are used, and these adsorbents are used alone, or adsorbents are carried on a base material such as a net-like material or a nonwoven fabric. The chemical filter is installed in the circulation system in the filter system and, if necessary, also installed in the external air conditioner.

【0005】一方、中性能用フィルタ用の濾材としては、比
色法による粒子捕集平均効率が２０％以上の性能が要求
される。また、ＨＥＰＡフィルタ用の濾材としては、計
数法によるＤＯＰ０．３μｍ粒子の粒子捕集効率が９
９．９７％以上の性能が要求される。このため従来、こ
れらのフィルタ用の濾材として直径０．１〜１μｍのガ
ラス繊維フィルタが使用されていたが、繊維が折れやす
く、脱落しやすいため加工時や使用時に間題があった。
また、ガラス繊維製フィルタは焼却ができないため、廃
棄処理の点でも間題があった。更にガラス繊維製フィル
タはホウ素を含むことが多いので、無機系ガス状汚染物
質が発生するという間題があった。一方、ガラス繊維を
使用しない、中性能フィルタ用の濾材やＨＥＰＡフィル
タ用の濾材として、ポリテトラフルオロエチレンの微孔
膜を利用したフィルタが知られているが、このフィルタ
は高価であるため広く利用されていない。そこで、有機
材料だけを利用した中性能フィルタやＨＥＰＡフィルタ
用の濾材として、メルトブロー法等により得られる平均
繊維径数μｍ以下のフィルタが検討されてきた。また、
このようなメルトブロー法等により得られるフィルタで
は、繊維は加熱溶融されて繊維化されている。そのた
め、繊維にもしガス状汚染物質があったとしても、繊維
化の時点で揮発して飛散してしまうので、メルトブロー
法等により得られる繊維からは、ほとんどガス状汚染物
質が発生しないものと考えられていた。[0005] On the other hand, a filter medium for a medium-performance filter is required to have a performance of 20% or more in average particle collection efficiency by a colorimetric method. Further, as a filter medium for the HEPA filter, the particle collection efficiency of DOP 0.3 μm particles by the counting method is 9
A performance of 9.97% or higher is required. For this reason, glass fiber filters having a diameter of 0.1 to 1 μm have been conventionally used as a filter medium for these filters, but the fibers are easily broken and easily fallen off, which causes problems during processing and use.
Moreover, since the glass fiber filter cannot be incinerated, there was a problem in terms of disposal. Further, since glass fiber filters often contain boron, there was a problem that inorganic gaseous pollutants are generated. On the other hand, a filter using a microporous membrane of polytetrafluoroethylene is known as a filter material for medium-performance filters and HEPA filter that does not use glass fiber, but this filter is widely used because it is expensive. It has not been. Therefore, a filter having an average fiber diameter of several μm or less obtained by a melt blow method or the like has been studied as a filter medium for a medium performance filter or a HEPA filter using only an organic material. Also,
In the filter obtained by such a melt blow method, the fibers are heated and melted to form fibers. Therefore, even if there is a gaseous pollutant in the fiber, it is volatilized and scattered at the time of fiberization, so it is considered that almost no gaseous pollutant is generated from the fiber obtained by the melt blow method or the like. It was being done.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、本発明者によ
って、メルトブロー法等により得られるフィルタであっ
ても多量の有機系のガス状汚染物質が発生していること
が判ってきた。そこで、本発明において実験によりその
原因を追求したところ、以下のことが判明した。すなわ
ち、有機系のガス状汚染物質の発生原因が、メルトブロ
ー法による繊維形成時の繊維の分解生成物による影響が
大きいことを見出した。また、高性能の捕集効率を得る
には平均繊維径数μｍ以下の極細の繊維が必要とされる
が繊維径が細くなるにつれ有機系のガス状汚染物質が多
くなることを見出した。このように、ケミカルフィルタ
の下流位置に配置されるメルトブロー法等により得られ
るＨＥＰＡフィルタ自体から有機系のガス状汚染物質が
発生すると、前述のように、クリーンルーム内に有機質
のガス状汚染物質が多量に進入して、半導体や液晶の製
造に悪影響を及ぼす。しかも、ＨＥＰＡフィルタはクリ
ーンルームでは多用され、濾材の使用面積が非常に多い
ため、ＨＥＰＡフィルタからの発生ガスの悪影響が大き
な間題となることを見出した。また、中性能フィルタか
ら有機系のガス状汚染物質が多量に発生すると、クリー
ンルーム内に有機質のガス状汚染物質が多量に進入した
り、その後段にケミカルフィルタが設置されている場合
はケミカルフィルタの寿命を縮めてしまい、クリーンル
ーム等のフィルタシステムの運転経費が大きくかかって
しまうという問題があることを見出した。そこで、有機
質のガス状汚染物質の発生量が少ない中性能フィルタや
ＨＥＰＡフィルタとしてのエアフィルタ用濾材や、その
エアフィルタ用濾材を成型してフィルタ枠に装着したエ
アフィルタユニットを検討することを課題とした。However, it has been found by the present inventor that a large amount of organic gaseous pollutants are generated even in the filter obtained by the melt blow method or the like. Then, when the cause was pursued by experiments in the present invention, the following was found. That is, it has been found that the cause of generation of organic gaseous pollutants is greatly influenced by the decomposition products of the fibers at the time of fiber formation by the melt blow method. Further, it has been found that ultrafine fibers having an average fiber diameter of several μm or less are required to obtain high-performance collection efficiency, but the organic gaseous pollutants increase as the fiber diameter becomes smaller. In this way, when organic gaseous pollutants are generated from the HEPA filter itself obtained by the melt blow method or the like arranged at the downstream position of the chemical filter, as described above, a large amount of organic gaseous pollutants are present in the clean room. To adversely affect the manufacturing of semiconductors and liquid crystals. Moreover, it has been found that the HEPA filter is frequently used in a clean room, and the filter material is used in a very large area, so that the adverse effect of the gas generated from the HEPA filter is a serious problem. In addition, if a large amount of organic gaseous pollutants are generated from the medium performance filter, a large amount of organic gaseous pollutants may enter the clean room, or if a chemical filter is installed in the subsequent stage, It has been found that there is a problem that the life of the filter system is shortened and the operating cost of a filter system such as a clean room is greatly increased. Therefore, it is an object to study a filter medium for an air filter as a medium-performance filter or a HEPA filter that produces a small amount of organic gaseous pollutants, and an air filter unit in which the filter medium for an air filter is molded and attached to a filter frame. And

【0007】すなわち、本発明は、クリーンルーム等で使用
される中性能フィルタや高性能フィルタ用のエアフィル
タ用濾材に関し、主としてＨＥＰＡフィルタ（高性能フ
ィルタ）用や、該ＨＥＰＡフィルタの前段や該クリーン
ルーム内のガス状汚染物質を除去するケミカルフィルタ
の前段で用いる中性能フィルタ用として用いる、エアフ
ィルタ用濾材、エアフィルタユニット、及びその製造方
法、並びにその包装体を提供することよって、クリーン
ルーム内に有機質のガス状汚染物質が多量に進入して、
半導体や液晶の製造に悪影響を軽減することを課題とす
る。また、該ケミカルフィルタの汚染ガス除去に関する
負担を少なくして寿命を延ばし、クリーンルームなどの
フィルタシステムの運転維持経費の削減に寄与すること
を課題とする。[0007] That is, the present invention relates to a filter medium for an air filter for a medium-performance filter or a high-performance filter used in a clean room or the like, mainly for a HEPA filter (high-performance filter), a stage before the HEPA filter, or in the clean room. Used as a medium-performance filter used in the preceding stage of the chemical filter for removing the gaseous pollutants of the present invention, by providing a filter medium for an air filter, an air filter unit, a method for producing the same, and a packaged body thereof, an organic substance in a clean room is provided. A large amount of gaseous pollutants entered,
It is an object to reduce adverse effects on semiconductor and liquid crystal manufacturing. Another object of the present invention is to reduce the burden of removing pollutant gas on the chemical filter, extend its life, and contribute to the reduction of operation and maintenance costs of a filter system such as a clean room.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段は、請求項１の発明では、比色法による粒子捕集
平均効率が２０％以上であるエアフィルタ用濾材であっ
て、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による繊維
のみからなり、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊
維が熱接着性繊維を含まず、該エアフィルタ用濾材から
発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガ
ス推測法により２３℃において算出して、該エアフィル
タ用濾材の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、
単位時間における、該総有機物質の量を算出すると、
１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０（μｇ／ｍ２・ｈ
ｒ）以下であることを特徴とするエアフィルタ用濾材で
あり、中性能用フィルタまたはＨＥＰＡフィルタとして
用いることができる。Means for Solving the Problems The means for solving the above problems is, in the invention of claim 1, an air filter medium having an average particle collection efficiency of 20% or more by a colorimetric method. The filter material for the air filter consists only of fibers obtained by the melt blow method, and the fibers contained in the filter material for the air filter do not contain heat-adhesive fibers, and the amount of total organic substances generated from the filter material for the air filter (toluene equivalent weight). Is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, and the surface density of the air filter medium is generated per 100 g / m 2 .
When the amount of the total organic substance in a unit time is calculated,
1.0 (pg / m 2 · hr) or more 10 (μg / m 2 · h)
r) or less, which is a filter material for an air filter and can be used as a medium performance filter or a HEPA filter.

【0009】また、請求項２の発明では、前記エアフィルタ
用濾材が計数法による粒子捕集効率が９９．９７％以上
であることを特徴とする請求項１に記載のエアフィルタ
用濾材であり、ＨＥＰＡフィルタとして用いることがで
きる。[0009] Further, in the invention of claim 2, the filter medium for an air filter has a particle collection efficiency of 99.97% or more by a counting method, which is the filter medium for an air filter according to claim 1. , HEPA filter.

【0010】また、請求項３の発明では、請求項１または２
に記載のエアフィルタ用濾材がフィルタ枠に装着されて
いることを特徴とするエアフィルタユニットである。[0010] In the invention of claim 3, claim 1 or 2
An air filter unit characterized in that the filter material for an air filter according to (1) is mounted on a filter frame.

【0011】また、請求項４の発明では、エアフィルタ用濾
材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を
発生ガス推測法により２３℃において算出すると、エア
フィルタユニットの間口面積の単位面積あたりから発生
する、単位時間における、該総有機物質の量が１．０
（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）
以下であることを特徴とする請求項３に記載のエアフィ
ルタユニットである。[0011] In the invention of claim 4, when the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter material for the air filter is calculated at 23 ° C by the generated gas estimation method, the unit area of the front area of the air filter unit is calculated. The amount of the total organic substance generated per unit time is 1.0
(Pg / m 2 · hr) or more 500 (μg / m 2 · hr)
The air filter unit according to claim 3, wherein:

【0012】また、請求項５の発明では、メルトブロー法に
よる繊維のみからなり、且つ該繊維が熱接着性繊維を含
まない繊維ウェブを８０℃以上で、且つ該繊維の融点未
満の温度の気体中で加熱処理することを特徴とするエア
フィルタ用濾材の製造方法である。[0012] In the invention of claim 5, a fiber web consisting of only fibers produced by a melt-blowing method and containing no heat-adhesive fibers is used in a gas at a temperature of 80 ° C or higher and lower than the melting point of the fibers. The method for producing a filter medium for an air filter is characterized in that the heat treatment is carried out with.

【0013】また、請求項６の発明では、請求項５に記載の
製造方法によって得られたエアフィルタ用濾材をフィル
タ枠に装着してエアフィルタユニットとすることを特徴
とするエアフィルタユニットの製造方法である。[0013] Further, in the invention of claim 6, the filter medium for an air filter obtained by the manufacturing method according to claim 5 is attached to a filter frame to form an air filter unit. Is the way.

【0014】また、請求項７の発明では、メルトブロー法に
よる繊維のみからなり、且つ該繊維が熱接着性繊維を含
まないエアフィルタ用素材を用いてエアフィルタユニッ
ト中間体とし、該エアフィルタユニット中間体を８０℃
以上で、且つ該繊維の融点未満の温度の気体中で加熱処
理することを特徴とするエアフィルタユニットの製造方
法である。[0014] According to the invention of claim 7, an air filter unit intermediate body is formed by using a material for an air filter, which is made of only fibers obtained by a melt-blowing method and does not contain heat-adhesive fibers. 80 ℃
The method for manufacturing an air filter unit is characterized in that the heat treatment is performed in a gas having a temperature below the melting point of the fiber.

【0015】また、請求項８の発明では、比色法による粒子
捕集平均効率が２０％以上であるエアフィルタ用濾材で
あって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による
繊維のみからなり、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれ
る繊維が熱接着性繊維を含まないエアフィルタ用濾材
が、通気性を有しないシート状物によって包装されてな
る包装体であって、該シート状物から発生する総有機物
質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２
３℃において算出すると、該シート状物の単位面積あた
り（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）
における、該総有機物質の量が、該エアフィルタ用濾材
から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発
生ガス推測法により２３℃において算出すると、該エア
フィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から
発生する、単位時間（１ｈｒ）における、総有機物質の
量より少ないことを特徴とするエアフィルタ用濾材包装
体であり、該エアフィルタ用濾材を使用するまでに、該
エアフィルタ用濾材にガス状汚染物質が付着するのを防
ぐことができる。尚、該エアフィルタ用濾材の単位面積
とは、該エアフィルタ用濾材を使用する場合の通風面の
見かけの表面の単位面積（１ｍ２）のことをいう。[0015] According to the invention of claim 8, there is provided a filter medium for an air filter having an average particle collection efficiency of 20% or more by a colorimetric method, wherein the filter medium for an air filter comprises only fibers by a melt blow method, and A filter body for an air filter, wherein the fibers contained in the filter medium for an air filter do not contain a heat-adhesive fiber, is a package formed by packaging a sheet-shaped product having no air permeability, and a total amount generated from the sheet-shaped product. Determine the amount of organic substance (toluene equivalent weight) by the estimated gas generation method 2
Unit time (1 hr) generated from per unit area (per 1 m 2 ) of the sheet material when calculated at 3 ° C.
In the above, when the amount of the total organic substance generated from the air filter medium (toluene equivalent weight) is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, the amount of the total organic substance per unit area of the air filter medium ( A filter medium packing material for an air filter, characterized in that it is less than the total amount of organic substances per unit time (1 hr) generated from 1 m 2 ) and the air filter is used before the filter material is used. It is possible to prevent gaseous pollutants from adhering to the filter medium. The unit area of the filter material for the air filter means the unit area (1 m 2 ) of the apparent surface of the ventilation surface when the filter material for the air filter is used.

【0016】また、請求項９の発明では、比色法による粒子
捕集平均効率が２０％以上であるエアフィルタ用濾材で
あって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による
繊維のみからなり、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれ
る繊維が熱接着性繊維を含まないエアフィルタ用濾材
が、フィルタ枠に装着されたエアフィルタユニットが、
通気性を有しないシート状物によって包装されてなる包
装体であって、該シート状物から発生する総有機物質の
量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃
において算出すると、該シート状物の単位面積あたり
（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）に
おける、該総有機物質の量が、該エアフィル夕用濾材か
ら発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生
ガス推測法により２３℃において算出すると、該エアフ
ィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発
生する、単位時間（１ｈｒ）における、総有機物質の量
より少ないことを特徴とするエアフィルタユニット包装
体であり、該エアフィルタユニットを使用するまでに、
該エアフィルタユニットにガス状汚染物質が付着するの
を防ぐことができる。[0016] Further, in the invention of claim 9, the filter medium for an air filter has a particle collection average efficiency of 20% or more by a colorimetric method, and the filter medium for an air filter is made of only fibers by a melt blow method, and An air filter unit in which the fibers included in the filter material for an air filter do not include a heat-adhesive fiber, and an air filter unit mounted on a filter frame,
A packaging body, which is packaged with a sheet-like material having no air permeability, and the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the sheet-like material is determined to be 23 ° C. by a generated gas estimation method.
The amount of the total organic substance generated per unit area (per 1 m 2 ) of the sheet-like material per unit time (1 hr) is calculated as the amount of the total organic substance generated from the air-fill evening filter medium ( When the (toluene equivalent weight) is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, it is found that the amount is less than the total amount of organic substances generated per unit area (per 1 m 2 ) of the air filter medium per unit time (1 hr). A characteristic air filter unit package, before using the air filter unit,
It is possible to prevent gaseous pollutants from adhering to the air filter unit.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかるエアフィル
タ用濾材、エアフィルタユニット及びその製造方法、並
びにその包装体の好ましい実施の形態について詳細に説
明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of a filter medium for an air filter, an air filter unit and a method for manufacturing the same, and a package thereof according to the present invention will be described in detail below.

【0018】本発明のエアフィルタ用濾材は、比色法による
粒子捕集平均効率が２０％以上であるエアフィルタ用濾
材であって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法に
よる繊維のみからなり、且つ該エアフィルタ用濾材に含
まれる繊維が熱接着性繊維を含まず、該エアフィルタ用
濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）
を発生ガス推測法により２３℃において算出して、該エ
アフィルタ用濾材の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発
生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出す
ると、１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０（μｇ／ｍ
２・ｈｒ）以下であることを特徴とするエアフィルタ用
濾材である。[0018] The filter material for an air filter of the present invention is a filter material for an air filter having a particle collection average efficiency of 20% or more by a colorimetric method, and the filter material for an air filter is composed only of fibers by a melt blow method, and The fibers contained in the filter material for the air filter do not include heat-adhesive fibers, and the amount of total organic substances generated from the filter material for the air filter (weight in toluene)
Is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, and the amount of the total organic substance generated per unit time of the surface density of the air filter medium of 100 g / m 2 is calculated to be 1.0 (pg / pg / m 2 · hr) or more 10 (μg / m
The filter material for an air filter is characterized in that it is 2 · hr) or less.

【0019】また、本発明のエアフィルタ用濾材がフィルタ
枠に装着されている本発明のエアフィルタユニットは、
図１に例示するように、半導体や液晶の生産施設などの
クリーンルーム９などにおいて、該クリーンルーム内に
流入する外気中に含まれる粉塵を除去するＨＥＰＡフィ
ルタ（高性能フィルタ）６や、クリーンルーム内に流入
する空気中に含まれる粉塵を除去するＨＥＰＡフィルタ
（高性能フィルタ）８として用いられるエアフィルタユ
ニットである。或いは、主として外調機に設置される、
ＨＥＰＡフィルタ６の前段や、外気中のガス状汚染物質
を除去するケミカルフィルタ５の前段で用いられ、中性
能フィルタ３として用いられるエアフィルタユニットで
ある。[0019] Further, the air filter unit of the present invention in which the filter material for an air filter of the present invention is attached to a filter frame,
As illustrated in FIG. 1, in a clean room 9 such as a semiconductor or liquid crystal production facility, a HEPA filter (high-performance filter) 6 for removing dust contained in the outside air flowing into the clean room, or a clean room 9 flowing into the clean room. The air filter unit is used as a HEPA filter (high-performance filter) 8 for removing dust contained in the air. Or, it is mainly installed in the external conditioner,
It is an air filter unit that is used before the HEPA filter 6 and before the chemical filter 5 that removes gaseous pollutants in the outside air, and is used as the medium-performance filter 3.

【0020】上記エアフィルタユニットは比色法や計数法に
よって測定評価される濾過性能を有するエアフィルタ用
濾材を、ジグザグ状の形状にプリーツ加工して通風面積
を増やしてからフィルタ枠に装着したり、又は袋状に加
工して通風面積を増やしてからフィルタ枠に装着したも
のであり、外気中又は室内空気中の微塵を捕捉して、ク
リーンルーム等の塵埃濃度を低く保つことを主目的とす
る。[0020] The air filter unit is mounted on a filter frame after pleating a filter material for an air filter having a filtering performance measured and evaluated by a colorimetric method or a counting method to increase a ventilation area by pleating in a zigzag shape. Or, it is attached to the filter frame after being processed into a bag shape to increase the ventilation area, and its main purpose is to capture fine dust in the outside air or indoor air to keep the dust concentration in a clean room or the like low. .

【0021】本発明のエアフィルタ用濾材は中性能フィルタ
用またはＨＥＰＡフィルタ用のエアフィルタ用濾材であ
り、中性能フィルタ用としてはＡＳＨＲＡＥ ５２.１
−１９９２に準じた試験方法において、比色法による粒
子捕集平均効率が２０％以上であり、好ましくは粒子捕
集平均効率が６０％以上である。粒子捕集平均効率が２
０％未満である場合は微塵除去が不十分であり、下流位
置に配置されるＨＥＰＡフィルタやケミカルフィルタの
寿命を延ばすにしては設置の費用が掛かり過ぎるため使
用できない。また、比色法による粒子捕集平均効率が９
９％を超える場合はＨＥＰＡフィルタ用として用いるこ
とができる場合があり、ＨＥＰＡフィルタ用としては計
数法によるＤＯＰ０．３μｍ粒子の粒子捕集効率が９
９．９７％以上である。[0021] The filter material for an air filter of the present invention is a filter material for an air filter for a medium-performance filter or a HEPA filter, and for a medium-performance filter, ASHRAE 52.1.
In the test method according to -1992, the particle collection average efficiency by the colorimetric method is 20% or more, and preferably the particle collection average efficiency is 60% or more. Particle collection average efficiency is 2
If it is less than 0%, the removal of fine dust is insufficient, and if the life of the HEPA filter or the chemical filter disposed at the downstream position is extended, the cost of installation is too high and it cannot be used. In addition, the average particle collection efficiency by the colorimetric method is 9
If it exceeds 9%, it may be used for a HEPA filter, and for a HEPA filter, the particle collection efficiency of DOP 0.3 μm particles by a counting method is 9%.
It is 9.97% or more.

【0022】本発明のエアフィルタ用濾材の構造はメルトブ
ロー法のみによって得られた不織布であり、このように
メルトブロー法によって形成された不織布であるため、
繊維は極細繊維となり、微塵に対する捕集効率が高い。
本発明のエアフィルタ用濾材では、繊維の平均径は０．
ｌ〜１０μｍが好ましく、０．ｌ〜３μｍがより好まし
く、特に高性能が要求される場合は０．ｌ〜１μｍがさ
らに好ましい。また、本発明のエアフィルタ用濾材はメ
ルトブロー法のみによって得られた不織布に更に帯電処
理によりエレクトレット加工された不織布であってもよ
い。エレクトレット加工すれば捕集効率をより高くする
ことができる。尚、帯電処理を行う場合は後述の加熱処
理後にエレクトレット加工を行うのがより好ましい。[0022] The structure of the filter material for an air filter of the present invention is a nonwoven fabric obtained only by the melt blow method, and is a nonwoven fabric thus formed by the melt blow method.
The fibers become ultrafine fibers and have high collection efficiency for fine dust.
In the filter material for an air filter of the present invention, the average fiber diameter is 0.
1 to 10 μm is preferable, and 0. 1 to 3 μm is more preferable, and particularly when high performance is required, 0. 1 to 1 μm is more preferable. Further, the filter medium for an air filter of the present invention may be a nonwoven fabric obtained by only the melt blow method and further electret processed by an electrification treatment. Electret processing can increase the collection efficiency. When the charging process is performed, it is more preferable to perform the electret processing after the heating process described below.

【0023】本発明のエアフィルタ用濾材の繊維は、単一樹
脂成分一成分の繊維形成性重合体からなる繊維であるこ
とも、二成分以上の繊維形成性重合体からなる複合繊維
であることもできる。このような複合繊維には、その横
断面形状が例えば、芯鞘型やサイドバイサイド型等の複
合繊維や、分割可能な複合繊維があり、またその材質は
例えば、共重合ポリエステル／ポリエステル、共重合ポ
リプロピレン／ポリプロピレン、ポリプロピレン／ポリ
アミド、ポリエチレン／ポリプロピレン、ポリプロピレ
ン／ポリエステル、ポリエチレン／ポリエステルなどの
繊維形成性重合体の組み合わせからなる複合繊維があ
る。しかし、本発明のエアフィルタ用濾材の繊維は、他
の繊維よりも融点が低く他の繊維を熱接着することので
きる単一樹脂成分からなる繊維や、他の繊維よりも融点
が低く他の繊維を熱接着することのできる低融点成分を
繊維表面に有する複合繊維のような熱接着性繊維は除く
ものとする。[0023] The fibers of the filter medium for an air filter of the present invention may be fibers composed of a single resin component and one component of a fiber-forming polymer, or may be composite fibers composed of two or more components of a fiber-forming polymer. You can also Such composite fibers include, for example, core-sheath type and side-by-side type composite fibers having a cross-sectional shape, and dividable composite fibers, and the material thereof is, for example, copolyester / polyester, copolypropylene. There are conjugate fibers composed of a combination of fiber-forming polymers such as / polypropylene, polypropylene / polyamide, polyethylene / polypropylene, polypropylene / polyester, polyethylene / polyester. However, the fiber of the filter medium for an air filter of the present invention has a melting point lower than that of other fibers and is composed of a single resin component capable of thermally bonding the other fibers, or has a lower melting point than the other fibers. Heat-adhesive fibers such as conjugate fibers having a low melting point component capable of heat-bonding the fibers on the fiber surface are excluded.

【0024】本発明のエアフィルタ用濾材の面密度は２０〜
２００ｇ／ｍ２の面密度が好ましく、３０〜１００ｇ／
ｍ２が更に好ましい。また、本発明のエアフィルタ用濾
材の厚さは、袋状に加工する場合は５〜５０ｍｍである
ことが好ましく、１０〜３０ｍｍが更に好ましい。ま
た、プリーツ加工する場合は０．ｌ〜５ｍｍであること
が好ましく、０．３〜３ｍｍが更に好ましく、０．４〜
１ｍｍが最も好ましい。The areal density of the filter material for an air filter of the present invention is 20 to
An areal density of 200 g / m 2 is preferable, and 30 to 100 g /
m 2 is more preferred. Further, the thickness of the filter material for an air filter of the present invention is preferably 5 to 50 mm, more preferably 10 to 30 mm when processed into a bag shape. Further, when pleating, it is 0. It is preferably 1 to 5 mm, more preferably 0.3 to 3 mm, and 0.4 to
Most preferred is 1 mm.

【0025】本発明のエアフィルタ用濾材は、該エアフィル
タ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重
量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、
該エアフィルタ用濾材の面密度１００ｇ／ｍ２あたりか
ら発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算
出すると、１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０（μｇ
／ｍ２・ｈｒ）以下であり、好ましくは該総有機物質の
量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５（μｇ／ｍ２・
ｈｒ）以下であり、より好ましくは該総有機物質の量が
１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１（μｇ／ｍ２・ｈ
ｒ）以下であり、更に好ましくは該総有機物質の量が
１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上０．５（μｇ／ｍ２・
ｈｒ）以下である。このように、エアフィルタ用濾材か
ら発生する総有機物質の量を少なくするには、例えば８
０℃以上で、且つ前記繊維の融点未満の温度の気体中で
加熱処理して得ることができる。この加熱処理には、例
えば熱風吹き出し型乾燥機を用いるか、エアスルー型の
乾燥機を用いる方法がある。[0025] The filter medium for an air filter of the present invention calculates the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter medium for an air filter at 23 ° C by a generated gas estimation method,
When the amount of the total organic substance generated per unit time of the surface density of the air filter medium of 100 g / m 2 is calculated, it is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 10 (μg
/ M 2 · hr) or less, preferably the amount of the total organic substance is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 5 (μg / m 2 ·
hr) or less, and more preferably the amount of the total organic substance is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 1 (μg / m 2 · h).
r) or less, more preferably 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 0.5 (μg / m 2 · hr) or more.
hr) or less. Thus, in order to reduce the amount of total organic substances generated from the air filter medium, for example, 8
It can be obtained by heat treatment in a gas at a temperature of 0 ° C. or higher and lower than the melting point of the fiber. For this heat treatment, for example, there is a method of using a hot air blowing type dryer or an air through type dryer.

【0026】本発明では、有機質ガス状汚染物質の定量に
は、ダイナミックヘッドスペース法によって、加熱状態
で促進試験を行ない、発生ガス量を定量した後、その値
を発生ガス推測法によって、室温時の値に換算した値を
使用している。[0026] In the present invention, in order to quantify the organic gaseous pollutants, an accelerated test is performed in a heated state by a dynamic headspace method, the amount of generated gas is quantified, and then the value is determined by the evolved gas estimation method at room temperature. The value converted to the value of is used.

【0027】次に、ダイナミックヘッドスペース法を説明す
る。図２はこの方法に用いる発生ガス捕集装置（ジーエ
ルサイエンス（株）製ＭＳＴＤ−２５８Ｍ）の説明図で
ある。まず、測定したい素材を直径７ｃｍの円形に切
り、試料１４を作成する。試料１４をチャンバー１０内
の中央のガス吹き出し口１３の上に設置する。次に、清
浄なヘリウムガス１１をチャンバー内に流速１２０ｍｌ
／ｍｉｎで連続的に流通させながら所定の温度（６０℃
または８０℃）で加熱する。ヘリウムガス１１は試料１
４と接触する際、試料１４から発生する汚染物質がヘリ
ウムガス中に混入するので、気体濃度が平衡になった
後、捕集速度１００ｍｌ／ｍｉｎで固体吸着材１２（成
分；2,6-diphenylene oxide）に捕集する。次いで、固
体吸着材１２に捕集した物質をガスクロマトグラフ質量
分析計で分析する。（（株）島津製作所製ＱＰ−５０５
０を使用）加熱の温度は６０℃と８０℃の２条件で測定
する。[0027] Next, the dynamic headspace method will be described. FIG. 2 is an explanatory diagram of an evolved gas collecting device (MSTD-258M manufactured by GL Sciences Inc.) used in this method. First, the material to be measured is cut into a circle having a diameter of 7 cm to prepare a sample 14. The sample 14 is placed on the central gas outlet 13 in the chamber 10. Next, clean helium gas 11 is introduced into the chamber at a flow rate of 120 ml.
At a predetermined temperature (60 ° C
Or heat at 80 ° C.). Helium gas 11 is sample 1
4. When contacting the solid adsorbent 12 (component: 2,6-diphenylene) at a collection rate of 100 ml / min, since the pollutant generated from the sample 14 is mixed into the helium gas when contacting oxide). Then, the substance collected on the solid adsorbent 12 is analyzed by a gas chromatograph mass spectrometer. (QP-505 manufactured by Shimadzu Corporation)
(0 is used) The heating temperature is measured under two conditions of 60 ° C. and 80 ° C.

【0028】次に、発生ガス推測法とは、高温下で発生ガス
の促進試験を行ない、実験式を用いて、室温での結果を
推測する方法であり、以下、発生ガス推測法について具
体的に説明する。実際のクリーンルームの室温２３℃で
の発生ガスは極微量なので実測では分析感度の点で長時
間の測定が必要になるなど、現実的には測定困難なた
め、前述のダイナミックヘッドスペース法により、試験
条件を例えば６０℃、８０℃の高温下に設定して、試料
から発生する有機物質の量を定性定量的に測定した結果
から下記の式を用いて室温２３℃での結果を推測する。
（株）住化分析センターの竹田らによれば、試験温度と
発生ガスの関係については、経験則として下記の式が成
り立つことがわかっている。（平成１１年第１７回コン
タミネーションコントロール研究大会予稿集などに記
載） ｌｎ（M/A・h）＝−C１／T＋C２ M；トルエン換算の発生ガス量（μｇ） A；測定試料面積（ｍ２） h；捕集に要した時間（ｈ） T；試験温度（絶対温度K） C１およびC２；定数[0028] Next, the evolved gas estimation method is a method of performing an accelerated test of the evolved gas under high temperature and estimating the result at room temperature by using an empirical formula. Explained. Since the amount of gas generated at room temperature of 23 ° C in an actual clean room is extremely small, it is difficult to actually measure it in actual measurement because it requires measurement for a long time. Therefore, the dynamic headspace method described above was used for testing. The conditions at a high temperature of 60 ° C. and 80 ° C. are set, and the results at room temperature of 23 ° C. are estimated from the results of qualitatively and quantitatively measuring the amount of organic substances generated from the sample.
According to Takeda et al. Of Sumika Chemical Analysis Service Co., Ltd., regarding the relationship between the test temperature and the generated gas, the following formula is established as an empirical rule. (Listed in Proceedings of the 17th 1999 Contamination Control Research Conference) ln (M / A · h) =-C1 / T + C2 M; Toluene-equivalent gas amount (μg) A; Measurement sample area (m 2 ) H; time required for collection (h) T; test temperature (absolute temperature K) C1 and C2; constant

【0029】また、本発明のエアフィルタ用濾材は上記のエ
アフィルタ用濾材と同じもの又は異なるものが複数積層
していても構わない。また、上記のエアフィルタ用濾材
と他の通気性を有するシート状物が積層していても構わ
ない。このような通気性を有するシート状物には、例え
ば織物、編物、ネット、不織布、ろ紙等があるが、ガス
状汚染物質を多く発生しないものが好ましい。[0029] In addition, the filter material for an air filter of the present invention may be the same as or different from the above-described filter material for an air filter, and may be laminated in plural. Further, the above-mentioned filter material for an air filter and another sheet material having air permeability may be laminated. Such air-permeable sheet-like materials include, for example, woven fabrics, knitted fabrics, nets, non-woven fabrics, filter papers and the like, but those which do not generate a large amount of gaseous pollutants are preferable.

【0030】本発明のエアフィルタユニットは、本発明のエ
アフィルタ用濾材がフィルタ枠に装着されていることを
特徴とするエアフィルタユニットである。このようなエ
アフィルタユニットの形態には、エアフィルタ用濾材が
プリーツ折の型、エアフィルタ用濾材が袋形状の型等が
ある。プリーツ折の型の場合、エアフィルタ用濾材の面
積はユニットの間口面積あたり最大１００倍程度まで、
また袋形状の型の場合、エアフィルタ用濾材の面積は最
大３０倍程度まで増加できる。また、エアフィルタユニ
ットに用いる枠体としては、有機質ガス状汚染物質の発
生が少ない合成樹脂の板や、該汚染物質の発生がほとん
ど無いアルミ等の金属であることが好ましい。[0030] An air filter unit of the present invention is an air filter unit in which the filter material for an air filter of the present invention is attached to a filter frame. Examples of the form of such an air filter unit include a pleated type filter medium for the air filter, and a bag-shaped type filter medium for the air filter. In the case of pleated fold type, the area of the filter medium for air filter is up to about 100 times per opening area of the unit,
In the case of the bag-shaped mold, the area of the filter material for the air filter can be increased up to about 30 times. Further, the frame used for the air filter unit is preferably a synthetic resin plate in which the generation of organic gaseous pollutants is small, or a metal such as aluminum in which the pollutants are hardly generated.

【0031】本発明のエアフィルタユニットは、前述のよう
な本発明のエアフィルタ用濾材を用いているため、要求
される塵埃に関する濾過性能に応じて適宜使用面積を変
えたとしても、該エアフィルタ用濾材から発生する総有
機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法によ
り２３℃において算出すると、エアフィルタユニットの
間口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間にお
ける、該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）
以上５００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、好ましく
は該総有機物物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以
上５０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、更に好ましく
は該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上
２０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であるエアフィルタユニ
ットとすることができる。[0031] Since the air filter unit of the present invention uses the above-described filter material for an air filter of the present invention, even if the use area is appropriately changed according to the required filtering performance for dust, the air filter When the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter medium is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, the total amount of organic substances generated per unit area of the front area of the air filter unit per unit time is calculated. The amount is 1.0 (pg / m 2 · hr)
Or more and 500 (μg / m 2 · hr) or less, preferably the amount of the total organic substance is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 50 (μg / m 2 · hr) or less, and more preferably Can be an air filter unit in which the amount of the total organic substances is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 20 (μg / m 2 · hr) or less.

【0032】次に、本発明の請求項３に係るエアフィルタユ
ニットを例えば中性能用フィルタとしてクリーンルーム
に使用した場合の効果を示す。例えば、エアフィルタユ
ニットをケミカルフィルタを有しない外調機に設置し
て、その時のユニット間口を通過する風速を２．５ｍ／
ｓｅｃに設定したとすると、エアフィルタ用濾材から発
生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス
推測法により２３℃において算出すると、エアフィルタ
ユニットの間口面積の単位面積あたりから発生する、単
位時間における、該総有機物質の量が５００（μｇ／ｍ
２・ｈｒ）である場合、空気中の汚染物質濃度は５００
μｇ／ｍ２・ｈｒ÷２．５ｍ／ｓｅｃ＝０．０５５μｇ
／ｍ３となり、前述の管理基準値の４１．７μｇ／ｍ３
を十分に満足できる。また、本発明のエアフィルタユニ
ットを、ケミカルフィルタの前に設置する場合はエアフ
ィルタ用濾材から発生する有機物質は、該ケミカルフィ
ルタによって除去されるので、クリーンルーム中の空気
中の汚染物質濃度は実質的に０μｇ／ｍ３に近い値であ
るが、後述の実施例で示すように、本発明によるエアフ
ィルタ用濾材からの発生ガス量は、従来タイプのエアフ
ィルタ用濾材からの発生ガス量と比較して、極めて少な
く、ケミカルフィルタへの負担を格段に軽減して、ケミ
カルフィルタの寿命を大きく延ばすことができる。尚、
このように本発明のエアフィルタ用濾材またはエアフィ
ルタユニットからの発生ガスは従来タイプより極めて少
ないため、例えばケミカルフィルタ等を配置しなくても
良いような管理基準のあまり厳しくない室内用途にも用
いることができる。[0032] Next, an effect when the air filter unit according to claim 3 of the present invention is used as a medium performance filter in a clean room will be shown. For example, an air filter unit is installed in an external air conditioner that does not have a chemical filter, and the wind velocity passing through the front of the unit at that time is 2.5 m /
If it is set to sec, if the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter material for the air filter is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, it is generated per unit area of the frontage area of the air filter unit, The amount of the total organic substance per unit time is 500 (μg / m
2 · hr), the pollutant concentration in the air is 500
μg / m 2 · hr ÷ 2.5 m / sec = 0.055 μg
/ M 3 next, 41.7Myug / m 3 of the management reference values of the aforementioned
Can be fully satisfied. Further, when the air filter unit of the present invention is installed in front of a chemical filter, organic substances generated from the filter material for the air filter are removed by the chemical filter, so that the concentration of pollutants in the air in the clean room is substantially reduced. Although it is a value close to 0 μg / m 3 , the amount of gas generated from the filter medium for an air filter according to the present invention is compared with the amount of gas generated from a conventional filter medium for an air filter, as will be shown in Examples described later. As a result, the load on the chemical filter is extremely reduced, and the life of the chemical filter can be greatly extended. still,
As described above, since the amount of gas generated from the filter material for an air filter or the air filter unit of the present invention is much smaller than that of the conventional type, it is also used for indoor applications in which the management standard is not so strict that a chemical filter or the like need not be arranged. be able to.

【0033】次に、本発明の請求項３に係るエアフィルタユ
ニットを例えばクリーンルームのＨＥＰＡフィルタに使
用した場合の効果を示す。例えば、エアフィルタユニッ
トのユニット間口を通過する風速を０．３ｍ／ｓｅｃに
設定したとすると、エアフィルタ用濾材から発生する総
有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法に
より２３℃において算出すると、エアフィルタユニット
の間口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間に
おける、該総有機物質の量が５００（μｇ／ｍ２・ｈ
ｒ）である場合、空気中の汚染物質濃度は５００μｇ／
ｍ２・ｈｒ÷０．３ｍ／ｓｅｃ＝０．４６μｇ／ｍ３と
なり、前述の管理基準値の４１．７μｇ／ｍ３を十分に
満足できる。特にＨＥＰＡフィルタはケミカルフィルタ
の後に配置されるので発生する総有機物質の量は本来０
であることが望ましく、後述の実施例で示すように、本
発明によるエアフィルタ用濾材からの発生ガス量は、従
来タイプのエアフィルタ用濾材からの発生ガス量と比較
して、極めて少なく、クリーンルーム等のＨＥＰＡフィ
ルタとして設置するのに好適であり、クリーンルーム等
への汚染ガスの進入を大幅に削減することができる。[0033] Next, an effect when the air filter unit according to claim 3 of the present invention is used for a HEPA filter in a clean room will be shown. For example, assuming that the wind velocity passing through the front of the air filter unit is set to 0.3 m / sec, the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter material for the air filter is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method. When calculated, the amount of the total organic substance generated per unit area of the front area of the air filter unit is 500 (μg / m 2 · h)
r), the pollutant concentration in the air is 500 μg /
m 2 · hr ÷ 0.3 m / sec = 0.46 μg / m 3 , which satisfies the above-mentioned control reference value of 41.7 μg / m 3 sufficiently. Especially, since the HEPA filter is arranged after the chemical filter, the amount of total organic substances generated is essentially 0.
Desirably, as shown in the examples below, the amount of gas generated from the filter material for an air filter according to the present invention is extremely small as compared with the amount of gas generated from a filter material for a conventional type air filter, and a clean room It is suitable to be installed as a HEPA filter such as, and it is possible to greatly reduce the invasion of pollutant gas into a clean room or the like.

【0034】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法は、メ
ルトブロー法による繊維のみからなり、且つ該繊維が熱
接着性繊維を含まない繊維ウェブを８０℃以上で、且つ
該繊維の融点未満の温度の気体中で加熱処理することを
特徴とするエアフィルタ用濾材の製造方法である。[0034] The method for producing a filter medium for an air filter of the present invention is a fiber web which is composed of only fibers by a melt blow method and which does not contain heat-adhesive fibers at a temperature of 80 ° C or higher and lower than the melting point of the fibers. The method for producing a filter medium for an air filter is characterized in that the heat treatment is performed in the gas.

【0035】上記ウエブの形成法は不織布の製法のうちメル
トブロー法に準じて行えばよい。メルトブロー法によれ
ば繊維を極細繊維とすることができ、微塵に対する捕集
効率が向上する。繊維ウェブの形成に際しては、繊維ウ
ェブに含まれるメルトブロー法による繊維の平均径は
０．１〜１０μｍが好ましく、０．１〜３μｍがより好
ましく、特に高性能が要求される場合は０．１〜１μｍ
がさらに好ましい。また、前記繊維ウェブの形成の後に
更に帯電処理によりエレクトレット加工することもでき
る。エレクトレット加工すればエアフィルタ用濾材の捕
集効率をより高くすることができる。尚、帯電処理を行
う場合は前記加熱処理後にエレクトレット加工を行うの
がより好ましい。[0035] The method for forming the web may be performed according to the melt blow method among the methods for producing the nonwoven fabric. According to the melt blow method, the fibers can be made into ultrafine fibers, and the collection efficiency for fine dust is improved. In forming the fibrous web, the average diameter of the fibers contained in the fibrous web by the melt-blowing method is preferably 0.1 to 10 μm, more preferably 0.1 to 3 μm, and especially 0.1 to 3 when high performance is required. 1 μm
Is more preferable. Further, after the formation of the fibrous web, electret processing may be further performed by a charging treatment. By performing electret processing, the collection efficiency of the filter material for air filters can be further increased. When the charging process is performed, it is more preferable to perform the electret processing after the heat treatment.

【0036】本発明のエアフィルタ用濾材の製造法で形成す
る繊維は、一成分の繊維形成性重合体からなる繊維であ
ることも、二成分以上の繊維形成性重合体からなる複合
繊維であることもできる。このような複合繊維には、そ
の横断面形状が例えば、芯鞘型やサイドバイサイド型等
の複合繊維や、分割可能な複合繊維があり、またその材
質は例えば、共重合ポリエステル／ポリエステル、共重
合ポリプロピレン／ポリプロピレン、ポリプロピレン／
ポリアミド、ポリエチレン／ポリプロピレン、ポリプロ
ピレン／ポリエステル、ポリエチレン／ポリエステルな
どの繊維形成性重合体の組み合わせからなる複合繊維が
ある。しかし、本発明のエアフィルタ用濾材の繊維は、
他の繊維よりも融点が低く他の繊維を熱接着することの
できる単一樹脂成分からなる繊維や、他の繊維よりも融
点が低く他の繊維を熱接着することのできる低融点成分
を繊維表面に有する複合繊維のような熱接着性繊維は除
くものとする。[0036] The fiber formed by the method for producing a filter medium for an air filter of the present invention may be a fiber made of a fiber-forming polymer of one component or a composite fiber made of a fiber-forming polymer of two or more components. You can also Such composite fibers include, for example, core-sheath type and side-by-side type composite fibers having a cross-sectional shape, and dividable composite fibers, and the material thereof is, for example, copolyester / polyester, copolypropylene. / Polypropylene, polypropylene /
There are conjugate fibers made of combinations of fiber-forming polymers such as polyamide, polyethylene / polypropylene, polypropylene / polyester, polyethylene / polyester. However, the fiber of the filter medium for the air filter of the present invention,
Fibers composed of a single resin component having a lower melting point than other fibers and capable of thermally adhering other fibers, and low melting point components having a lower melting point than other fibers and capable of thermally adhering other fibers. Heat-adhesive fibers such as conjugate fibers on the surface are excluded.

【0037】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法では、
繊維はメルトブロー法により加熱溶融されて繊維化され
ている。このため、繊維にもしガス状汚染物質があった
としても、繊維化の時点で揮発して飛散してしまうの
で、メルトブロー法等により得られる繊維からは、ほと
んどガス状汚染物質が発生しないものと従来考えられて
いた。[0037] In the method for producing an air filter medium according to the present invention,
The fibers are heated and melted by the melt blow method to be made into fibers. For this reason, even if there is a gaseous pollutant in the fiber, it is volatilized and scattered at the time of fiberization, so that almost no gaseous pollutant is generated from the fiber obtained by the melt blow method or the like. It used to be considered.

【0038】しかし、上記の加熱溶融温度から室温まで徐々
に温度が降下しても、その間の加熱状態においては、生
成した該有機物質が除去されないことが判った。そこで
本発明による製造方法では、メルトブロー法により加熱
溶融されて繊維化された繊維ウェブを８０℃以上の温度
で、且つ該繊維の融点未満の温度の気体中で再度加熱処
理を行う。この加熱処理は、例えば上記熱風吹き出し型
乾燥機を用いて、コンベアー上にある繊維ウエブの上か
ら熱風を吹きつける方法によって行うことができる。そ
して、この加熱処理によって該繊維の表面に生成した該
有機物質を除去することができる。この加熱処埋に要す
る時間は１分間以上が好ましく、３分間以上がより好ま
しい。また、この加熱処理温度が８０℃未満であるなら
ば、該有機物質を十分に除去することができない。ま
た、上記繊維の融点よりも高い温度である場合には繊維
形状が維持できなる場合がある。また、上記繊維の融点
よりも高い温度である場合には、メルトブロー法によっ
て形成された繊維の表面から該有機物質を除去するどこ
ろか、かえって繊維表面に新たにガス状汚染物質となる
有機物質を生成してしまい、有機物質の発生量が少ない
エアフィルタ用濾材を得ることはできない。[0038] However, it was found that even if the temperature was gradually lowered from the above heating and melting temperature to room temperature, the produced organic substance was not removed in the heating state during that time. Therefore, in the production method according to the present invention, the fibrous web, which is heated and melted by the melt blow method to be fibrous, is heat-treated again in a gas at a temperature of 80 ° C. or higher and a temperature lower than the melting point of the fibers. This heat treatment can be performed by a method of blowing hot air from above the fiber web on the conveyor using, for example, the hot air blowing type dryer. Then, the organic substance generated on the surface of the fiber can be removed by this heat treatment. The time required for this heat treatment is preferably 1 minute or longer, more preferably 3 minutes or longer. Further, if the heat treatment temperature is lower than 80 ° C., the organic substance cannot be sufficiently removed. If the temperature is higher than the melting point of the fiber, the fiber shape may not be maintained. Further, when the temperature is higher than the melting point of the fiber, instead of removing the organic substance from the surface of the fiber formed by the melt-blowing method, an organic substance newly becomes a gaseous pollutant on the surface of the fiber. As a result, it is impossible to obtain a filter medium for an air filter that produces a small amount of organic substances.

【0039】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法では、
加熱処理を行なう時点は、上記のようにメルトブロー法
により繊維が形成された直後に行うことができるが、加
熱処理を行わないでエアフィルタ用素材とした後、該エ
アフィルタ用素材にプリーツ加工やユニット加工を行い
一且エアフィルタ中間体として、その後に該エアフィル
タユニット中間体を８０℃以上で、且つ該繊維の融点以
下の温度の気体中で加熱処理することもできる。プリー
ツ加工やユニット加工した後に加熱処理する場合は、加
熱処理対象全体を上記所定の温度の乾燥機中に放置する
か、ユニットに上記所定の温度の熱風を通過させる等の
方法で行うことができる。このように、プリーツ加工や
ユニット加工した後に加熱処理した場合は、繊維表面に
生成した有機物質のみならず、該プリーツ加工や該ユニ
ット加工までに、大気中よりエアフィルタ用素材やエア
フィルタユニット中間体に付着した有機物質をも除去す
ることができる。[0039] In the method for producing a filter medium for an air filter of the present invention,
The heat treatment can be carried out immediately after the fibers are formed by the melt-blowing method as described above, but after the heat treatment is carried out to prepare an air filter material, the air filter material is pleated or It is also possible to carry out a unit processing and once as an air filter intermediate, and thereafter heat-treat the air filter unit intermediate in a gas at a temperature of 80 ° C. or higher and a melting point of the fiber or lower. When heat treatment is performed after pleating or unit processing, it can be carried out by a method of leaving the whole heat treatment target in the dryer of the above-mentioned predetermined temperature, or by passing hot air of the above-mentioned predetermined temperature through the unit. . In this way, when heat treatment is performed after pleating or unit processing, not only the organic substances generated on the fiber surface but also the air filter material or the air filter unit intermediate from the atmosphere until the pleating or unit processing. It can also remove organic substances attached to the body.

【0040】このようにして得られるエアフィルタ用濾材の
厚さは、袋状に加工する場合は５〜５０ｍｍとすること
が好ましく、１０〜３０ｍｍが更に好ましい。また、プ
リーツ加工する場合は０．１〜５ｍｍとすることが好ま
しく、０．３〜３ｍｍが更に好ましく、０．４〜１ｍｍ
が最も好ましい。[0040] The thickness of the filter material for an air filter thus obtained is preferably 5 to 50 mm, more preferably 10 to 30 mm when processed into a bag shape. When pleating, it is preferably 0.1 to 5 mm, more preferably 0.3 to 3 mm, and 0.4 to 1 mm.
Is most preferred.

【0041】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法では、
上記のように加熱処理を行うことによって、該エアフィ
ルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算
重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出し
て、該エアフィルタ用濾材の面密度１００ｇ／ｍ２あた
りから発生する、単位時間における、該総有機物質の量
を算出すると、１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０
（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であり、好ましくは該総有機
物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５（μｇ／
ｍ２・ｈｒ）以下であり、より好ましくは該総有機物質
の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１（μｇ／ｍ２
・ｈｒ）以下であり、更に好ましくは該総有機物質の量
が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上０．５（μｇ／ｍ２
・ｈｒ）以下である、エアフィルタ用濾材を得ることが
できる。[0041] In the method for producing a filter medium for an air filter of the present invention,
By performing the heat treatment as described above, the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the air filter medium is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, and the areal density of the air filter medium is calculated. When the amount of the total organic substance generated per 100 g / m 2 per unit time is calculated, it is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more 10
(Μg / m 2 · hr) or less, and preferably the amount of the total organic substance is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 5 (μg / m 2 ).
m 2 · hr) or less, and more preferably the amount of the total organic substance is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 1 (μg / m 2).
· Hr) or less, more preferably 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 0.5 (μg / m 2)
It is possible to obtain a filter material for an air filter having a particle size of not more than hr.

【0042】本発明のエアフィルタユニットの製造方法は、
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法によって得られ
たエアフィルタ用濾材をフィルタ枠に装着してエアフィ
ルタユニットとすることを特徴とするエアフィルタユニ
ットの製造方法である。或いは、本発明のエアフィルタ
ユニットの製造方法は、メルトブロー法による繊維のみ
からなり、且つ該繊維が熱接着性繊維を含まないエアフ
ィルタ用素材を用いてエアフィルタユニット中間体と
し、該エアフィルタユニット中間体を８０℃以上で、且
つ該繊維の融点未満の温度の気体中で加熱処理すること
を特徴とするエアフィルタユニットの製造方法である。[0042] The method for manufacturing an air filter unit of the present invention comprises:
A method for manufacturing an air filter unit, comprising mounting the filter material for an air filter obtained by the method for manufacturing a filter material for an air filter of the present invention on a filter frame to form an air filter unit. Alternatively, in the method for manufacturing an air filter unit of the present invention, an air filter unit intermediate is formed by using an air filter material that is made of only fibers by a melt blow method, and the fibers do not contain heat-adhesive fibers, A method for producing an air filter unit, which comprises heat-treating the intermediate in a gas at a temperature of 80 ° C. or higher and lower than the melting point of the fiber.

【0043】本発明のエアフィルタユニットの製造方法は、
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法によって得られ
たエアフィルタ用濾材をプリーツ状に多数折り曲げてか
らフィルタ枠に装着することによって、或いはメルトブ
ロー法による繊維のみからなり、且つ該繊維が熱接着性
繊維を含まないようにして得られた前記エアフィルタ用
素材をプリーツ状に多数折り曲げてからフィルタ枠に装
着してから前述の加熱処理を行うことにより、プリーツ
折型の本発明のエアフィルタユニットとすることができ
る。エアフィルタユニットの形態には、プリーツ折型の
他に、濾材を袋形状に形成してフィルタ枠に装着した袋
形状型等がある。このようにして、エアフィルタ用濾材
の面積はユニットの間口面積あたり最大１００倍程度ま
で、また袋形状に加工するとエアフィルタ用濾材の面積
は最大３０倍程度まで増加することができる。また、エ
アフィルタユニットに用いる枠体としては、有機質ガス
状汚染物質の発生が少ない合成樹脂の板や、該汚染物質
の発生がほとんど無いアルミ等の金属を用いることが好
ましい。また、本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法
で得られたエアフィルタ用濾材を、要求される塵埃に関
する濾過性能に応じて適宜使用面積を定めて用いること
により、エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の
量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃
において算出すると、エアフィルタユニットの間口面積
の単位面積あたりから発生する、単位時間における、該
総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５０
０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、好ましくは総有機
物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１００（μ
ｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、更に好ましくは総有機物
質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５０（μｇ／
ｍ２・ｈｒ）以下であるエアフィルタユニットを得るこ
とができる。[0043] The method for manufacturing an air filter unit of the present invention comprises:
The filter material for an air filter obtained by the method for producing a filter material for an air filter of the present invention is folded into a large number of pleats and then mounted on a filter frame, or is made of only fibers by a melt blow method, and the fibers have a thermal adhesive property. The air filter material of the present invention of a pleated fold type, by performing the above-mentioned heat treatment after bending a large number of the material for an air filter obtained by not containing fibers into a pleat shape and then mounting the material on a filter frame. can do. In addition to the pleat folding type, the form of the air filter unit includes a bag-shaped type in which a filter material is formed in a bag shape and attached to a filter frame. In this way, the area of the filter medium for the air filter can be increased up to about 100 times per frontage area of the unit, and the area of the filter medium for the air filter can be increased up to about 30 times when processed into a bag shape. Further, as the frame body used for the air filter unit, it is preferable to use a synthetic resin plate that hardly generates organic gaseous pollutants, or a metal such as aluminum that hardly generates the pollutants. Further, by using the air filter medium obtained by the method for producing an air filter medium of the present invention, by appropriately determining the use area according to the required filtering performance for dust, the total amount generated from the air filter medium is obtained. Determine the amount of organic substances (toluene equivalent weight) by the estimated gas generation method at 23 ℃
The total amount of organic substances generated per unit area of the front area of the air filter unit is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more 50
0 (μg / m 2 · hr) or less, preferably the total amount of organic substances is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 100 (μ
g / m 2 · hr) or less, more preferably the amount of total organic substances is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 50 (μg /
An air filter unit having m 2 · hr) or less can be obtained.

【0044】本発明のエアフィルタ用濾材包装体は、比色法
による粒子捕集平均効率が２０％以上であるエアフィル
タ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロ
ー法による繊維のみからなり、且つ該エアフィルタ用濾
材に含まれる繊維が熱接着性繊維を含まないエアフィル
タ用濾材が、通気性を有しないシート状物によって包装
されてなる包装体であって、該シート状物から発生する
総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法
により２３℃において算出すると、該シート状物の単位
面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間
（１ｈｒ）における、該総有機物質の量が、該エアフィ
ルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算
重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出する
と、該エアフィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ２あ
たり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、総
有機物質の量より少ないことを特徴とするエアフィルタ
用濾材包装体であり、該エアフィルタ用濾材を使用する
までに、該エアフィルタ用濾材にガス状汚染物質が付着
するのを防ぐことができる。尚、該エアフィルタ用濾材
の単位面積とは、該エアフィルタ用濾材を使用する場合
の通風面の見かけの表面の単位面積（１ｍ２）のことを
いう。[0044] The filter medium package for an air filter of the present invention is a filter medium for an air filter having an average particle collection efficiency of 20% or more by a colorimetric method, and the filter medium for an air filter comprises only fibers by a melt blow method. And a filter material for an air filter in which the fibers contained in the filter material for an air filter do not contain a heat-adhesive fiber, and a package formed by wrapping it with a sheet material having no air permeability, which is generated from the sheet material. When the amount of the total organic substances (toluene equivalent weight) is calculated at 23 ° C. by the evolved gas estimation method, the total organic matter generated per unit area (per 1 m 2 ) of the sheet-shaped product per unit time (1 hr) The amount of the substance is calculated by calculating the amount of the total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter material for the air filter at 23 ° C. by the generated gas estimation method. Generated from a unit area of the filter medium (2 per 1 m), in the unit time (1hr), a filter medium packaging for an air filter, characterized in that less than the amount of total organic substance, using a filter medium for the air filter By the way, it is possible to prevent the gaseous pollutants from adhering to the air filter medium. The unit area of the filter material for the air filter means the unit area (1 m 2 ) of the apparent surface of the ventilation surface when the filter material for the air filter is used.

【0045】また、本発明のエアフィルタユニット包装体
は、比色法による粒子捕集平均効率が２０％以上である
エアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材は
メルトブロー法による繊維のみからなり、且つ該エアフ
ィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維を含まない
エアフィルタ用濾材が、フィルタ枠に装着されたエアフ
ィルタユニットが、通気性を有しないシート状物によっ
て包装されてなる包装体であって、該シート状物から発
生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス
推測法により２３℃において算出すると、該シート状物
の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位
時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量が、該エア
フィル夕用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン
換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出
すると、該エアフィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ
２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）におけ
る、総有機物質の量より少ないことを特徴とするエアフ
ィルタユニット包装体であり、該エアフィルタユニット
を使用するまでに、該エアフィルタユニットにガス状汚
染物質が付着するのを防ぐことができる。このような包
装体としては、例えば、該エアフィルタユニットのエア
フィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン
換算重量）が、１（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である場合、該
シート状物から発生する総有機物質の量（トルエン換算
重量）が１（μｇ／ｍ２・ｈｒ）未満の該シート状物に
よって、該エアフィルタユニットが包装されているエア
フィルタユニット包装体がある。[0045] Further, the air filter unit package of the present invention is a filter medium for an air filter having a particle collection average efficiency of 20% or more by a colorimetric method, and the filter medium for an air filter is made of only fibers by a melt blow method. And a fiber contained in the filter material for the air filter, wherein the filter material for the air filter does not contain a heat-adhesive fiber, and the air filter unit mounted on the filter frame is wrapped with a sheet-like material having no air permeability. In a package, when the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the sheet-like material was calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, the amount was generated per unit area (per 1 m 2 ) of the sheet-like material. The amount of the total organic substance per unit time (1 hr) is the amount of the total organic substance (toluene equivalent weight) generated from the air filter medium. After calculating at 23 ° C. by guessing method, per unit area of the filter medium for the air filter (1m
The air filter unit package is characterized in that it is less than the amount of total organic substances per unit time (1 hr), which is generated from (per 2 ), and gas is supplied to the air filter unit before the air filter unit is used. It is possible to prevent adherence of particulate contaminants. As such a package, for example, when the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter material for an air filter of the air filter unit is 1 (μg / m 2 · hr), the sheet form There is an air filter unit package in which the air filter unit is packaged by the sheet-like material in which the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the product is less than 1 (μg / m 2 · hr).

【0046】本発明で用いられるシート状物としては、アル
ミ箔等の金属箔、ポリエステル樹脂等の樹脂フィルム、
アルミ蒸着樹脂フィルム等があり、通気性を有しないシ
ート状のものが適している。また、包装体の形態として
は、対象となるエアフィルタ用濾材やエアフィルタユニ
ットをシート状物で包みこんだ形態や、シート状物から
なる袋に対象となるエアフィルタ用濾材やエアフィルタ
ユニットを入れて、袋の口を止める形態など、該エアフ
ィルタ用濾材や該エアフィルタユニットが直接外気に触
れないようにすればよい。また、必ずしも密封している
必要はないが、密封すれば該エアフィルタ用濾材や該エ
アフィルタユニットに大気中のガス状汚染物質が付着す
るのをより効果的に防ぐことができる。また、該シート
状物の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、
単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量（トル
エン換算重量）が、該エアフィルタ用濾材の単位面積あ
たり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈ
ｒ）における、総有機物質の量（トルエン換算重量）よ
り少ないので、該シート状物によって包装されている該
エアフィルタ用濾材や該エアフィルタユニットに対し
て、該シート状物から発生するガス状汚染物質が付着す
ることがないか、又は付着することがあっても、その量
は極めて少ない。[0046] Examples of the sheet-like material used in the present invention include metal foil such as aluminum foil, resin film such as polyester resin,
A sheet-like material that does not have air permeability, such as an aluminum-deposited resin film, is suitable. In addition, as the form of the package, a target air filter medium or an air filter unit is wrapped in a sheet-shaped product, or a target air filter medium or an air filter unit in a bag made of a sheet-shaped product. The filter medium for the air filter and the air filter unit may be prevented from coming into direct contact with the outside air by, for example, inserting the bag and stopping the mouth of the bag. Further, although it is not necessarily sealed, it is possible to more effectively prevent the gaseous pollutants in the atmosphere from adhering to the filter medium for the air filter and the air filter unit. In addition, it is generated per unit area (per 1 m 2 ) of the sheet material,
A unit time (1 h) in which the amount of the total organic substance (toluene equivalent weight) per unit time (1 hr) is generated from the unit area (per 1 m 2 ) of the air filter medium
Since the amount is less than the total amount of organic substances (toluene equivalent weight) in r), the gaseous state generated from the sheet-shaped material with respect to the filter medium for the air filter or the air filter unit packaged with the sheet-shaped material. Contaminants do not adhere, or even if they do, the amount is very small.

【0047】[0047]

【実施例】以下、本発明の実施例につき説明するが、こ
れは発明の理解を容易とするための好適例に過ぎず、本
願発明はこれら実施例の内容に限定されるものではな
い。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below, but these are only preferred examples for facilitating the understanding of the invention, and the present invention is not limited to the contents of these examples.

【0048】（実施例ｌ）融点１６０℃のポリプロピレン樹
脂を原料として、紡糸温度３５０℃にて、メルトブロー
の繊維ウエブを形成した。この繊維ウエブに含まれる繊
維の平均繊維径は３μｍであった。次に、この繊維ウエ
ブに８０℃の乾燥機で１０分間加熱処理を行ない、面密
度６０ｇ／ｍ２、厚さ０．７ｍｍのエアフィルタ用濾材
を得た。このエアフィルタ用濾材から発生する総有機物
質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２
３℃において算出して、該エアフィルタ用濾材の面密度
１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間におけ
る、該総有機物質の量を算出すると、８．７（μｇ／ｍ
２・ｈｒ）であり、得られたエアフィルタ用濾材はアウ
トガス発生の少なく、クリーンルーム等で用いるアウト
ガス発生の少ない中性能フィルタとして好適であった。Example 1 A polypropylene resin having a melting point of 160 ° C. was used as a raw material at a spinning temperature of 350 ° C. to form a melt-blown fiber web. The average fiber diameter of the fibers contained in this fiber web was 3 μm. Next, this fiber web was heat-treated at 80 ° C. for 10 minutes to obtain an air filter medium having an areal density of 60 g / m 2 and a thickness of 0.7 mm. The amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from this filter material for air filter was determined by the generated gas estimation method to be 2
8.7 (μg / m 2) was calculated at 3 ° C., and the amount of the total organic substances generated per unit time of the surface density of the air filter medium of 100 g / m 2 was calculated.
2 · hr), and the obtained filter material for an air filter generated little outgas, and was suitable as a medium performance filter used in a clean room or the like with little outgas generation.

【0049】（実施例２）実施例１で得られたエアフィルタ
用濾材をポリエステルのスパンボンドで面密度１００ｇ
／ｍ２の補強材（発生する総有機物質の量はスパンボン
ドの面密度１００ｇ／ｍ２当たり０．０５μｇ／ｍ２・
ｈｒ）と重ねたもの１５ｍ２を用いてプリーツ折りを行
い、外寸法が６１０ｍｍ×６１０ｍｍの間口で奥行きが
２９０ｍｍのフィルタ枠に装着して、エアフィルタユニ
ットを得た。このエアフィルタユニットは、ＡＳＨＲＡ
Ｅ５２．１−１９９２に準じた試験方法によると風量５
６ｍ３／ｍｉｎの試験条件で、比色法による粒子捕集平
均効率が９１％であり、中性能フィルタとしての性能を
満足するものであった。また、補強材と複合したエアフ
ィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換
算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出す
ると、エアフィルタユニットの間口面積の単位面積あた
りから発生する、単位時間における、該総有機物質の量
は２１２（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であり、アウトガス発生
が少なく、クリーンルーム用フィルタシステムの外調機
に取り付ける中性能フィルタとして好適であった。(Example 2) The filter medium for the air filter obtained in Example 1 was spun-bonded with polyester to have an areal density of 100 g.
/ M 2 of reinforcing material (amount of total organic substances generated in a surface density of 100 g / m 2 per spunbond 0.05 [mu] g / m 2 ·
Pleated folding was performed using 15 m 2 that was overlapped with hr), and the air filter unit was obtained by mounting it on a filter frame having an outer dimension of 610 mm × 610 mm and a depth of 290 mm. This air filter unit is
According to the test method according to E52.1-1992, the air volume is 5
Under the test condition of 6 m 3 / min, the particle collection average efficiency by the colorimetric method was 91%, which satisfied the performance as the medium performance filter. Further, when the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter medium for an air filter combined with the reinforcing material is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, it is generated per unit area of the frontage area of the air filter unit, The amount of the total organic substance per unit time was 212 (μg / m 2 · hr), the outgas generation was small, and it was suitable as a medium-performance filter to be attached to the external conditioner of the filter system for a clean room.

【0050】（実施例３）融点１６０℃のポリプロピレン樹
脂を原料として、紡糸温度４００℃にて、メルトブロー
の繊維ウエブを形成した。この繊維ウエブに含まれる繊
維の平均繊維径は０．７μｍであった。次に、この繊維
ウエブに１２０℃の乾燥機で１０分間加熱処理を行な
い、面密度６０ｇ／ｍ２、厚さ０．７ｍｍのエアフィル
タ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材から発生する
総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法
により２３℃において算出して、該エアフィルタ用濾材
の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間
における、該総有機物質の量を算出すると、０．２０
（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であり、得られたエアフィルタ用
濾材はアウトガス発生の少なく、クリーンルーム等で用
いるアウトガス発生の少ないＨＥＰＡフィルタとして好
適であった。(Example 3) A polypropylene resin having a melting point of 160 ° C was used as a raw material at a spinning temperature of 400 ° C to form a melt-blown fiber web. The average fiber diameter of the fibers contained in this fiber web was 0.7 μm. Next, this fiber web was heat-treated at 120 ° C. for 10 minutes to obtain an air filter medium having an areal density of 60 g / m 2 and a thickness of 0.7 mm. The amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from this air filter medium is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, and the unit time is generated from the surface density of the air filter medium of 100 g / m 2. When the amount of the total organic substance in
(Μg / m 2 · hr), and the obtained filter material for an air filter generated little outgas, and was suitable as a HEPA filter used in a clean room or the like with little outgas generation.

【0051】（実施例４）実施例３で得られたエアフィルタ
用濾材をポリエステルのスパンボンドで面密度１００ｇ
／ｍ２の補強材（発生する総有機物質の量はスパンボン
ドの面密度１００ｇ／ｍ２当たり０．０５μｇ／ｍ２・
ｈｒ）と重ねたもの１５ｍ２を用いてプリーツ折りを行
い、外寸法が６１０ｍｍ×６１０ｍｍの間口で奥行きが
２９０ｍｍのフィルタ枠に装着して、エアフィルタユニ
ットを得た。このエアフィルタユニットは、風量３１．
２ｍ３／ｍｉｎの試験条件で、計数法によるＤＯＰ０．
３μｍ粒子の粒子捕集効率は９９．９８％であり、ＨＥ
ＰＡフィルタとしての性能を満足するものであった。ま
た、補強材と複合したエアフィルタ用濾材から発生する
総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法
により２３℃において算出すると、エアフィルタユニッ
トの間口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間
における、該総有機物質の量は７．０（μｇ／ｍ２・ｈ
ｒ）であり、アウトガス発生が少なく、クリーンルーム
用フィルタシステムに取り付けるＨＥＰＡフィルタとし
て好適であった。(Example 4) The filter medium for an air filter obtained in Example 3 was spun-bonded with polyester to have an areal density of 100 g.
/ M 2 of reinforcing material (amount of total organic substances generated in a surface density of 100 g / m 2 per spunbond 0.05 [mu] g / m 2 ·
Pleated folding was performed using 15 m 2 that was overlapped with hr), and the air filter unit was obtained by mounting it on a filter frame having an outer dimension of 610 mm × 610 mm and a depth of 290 mm. This air filter unit has an air flow of 31.
Under the test condition of 2 m 3 / min, DOP0.
The particle collection efficiency of 3 μm particles is 99.98%,
The performance as a PA filter was satisfied. Further, when the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter medium for an air filter combined with the reinforcing material is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, it is generated per unit area of the frontage area of the air filter unit, The amount of the total organic substance per unit time is 7.0 (μg / m 2 · h
r), less outgassing was generated, and it was suitable as a HEPA filter to be attached to a clean room filter system.

【0052】（比較例ｌ）実施例１で、繊維ウエブに８０℃
の乾燥機で１０分間加熱処理を行なわなかった以外は実
施例１と同様にして、面密度６０ｇ／ｍ２、厚さ０．７
ｍｍのエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用
濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）
を発生ガス推測法により２３℃において算出して、該エ
アフィルタ用濾材の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発
生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出す
ると、２７．４（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であり、得られた
エアフィルタ用濾材はアウトガス発生が多く、クリーン
ルーム等で用いるアウトガス発生の少ない中性能フィル
タとして不適であった。(Comparative Example l) In Example 1, the fiber web was 80 ° C.
The areal density of 60 g / m 2 and the thickness of 0.7 were obtained in the same manner as in Example 1 except that the heat treatment was not performed for 10 minutes with the drier.
A mm filter material for air filters was obtained. Amount of total organic substances generated from this air filter media (toluene equivalent weight)
Is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, and the amount of the total organic substance generated per unit time of the surface density of the air filter medium of 100 g / m 2 is calculated to be 27.4 (μg / m 2 · hr), and the obtained filter medium for an air filter generated a large amount of outgas, and was not suitable as a medium performance filter used in a clean room or the like with a small amount of generated outgas.

【0053】（比較例２）実施例２で、実施例１で得られた
エアフィルタ用濾材のかわりに比較例１で得られたエア
フィルタ用濾材を用いたこと以外は実施例２と同様にし
て、エアフィルタユニットを得た。このエアフィルタユ
ニットは、ＡＳＨＲＡＥ５２．１−１９９２に準じた試
験方法によると風量５６ｍ３／ｍｉｎの試験条件で、比
色法による粒子捕集平均効率が９１％であり、中性能フ
ィルタとしての性能を満足するものであった。しかし、
補強材と複合したエアフィルタ用濾材から発生する総有
機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法によ
り２３℃において算出すると、エアフィルタユニットの
間口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間にお
ける、該総有機物質の量は６６４（μｇ／ｍ２・ｈｒ）
であり、アウトガス発生が多く、クリーンルーム用フィ
ルタシステムに取り付ける中性能フィルタとして不適で
あった。Comparative Example 2 The same as Example 2 except that the air filter medium obtained in Comparative Example 1 was used instead of the air filter medium obtained in Example 1. Then, the air filter unit was obtained. According to the test method according to ASHRAE 52.1-1992, this air filter unit has a particle collection average efficiency of 91% by the colorimetric method under the test condition of an air volume of 56 m 3 / min, and has a performance as a medium performance filter. I was satisfied. But,
When the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter material for the air filter combined with the reinforcing material is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, it is generated per unit area of the front area of the air filter unit. , The total amount of organic substances is 664 (μg / m 2 · hr)
However, the amount of outgas generated was large, and it was not suitable as a medium-performance filter to be attached to a clean room filter system.

【0054】（比較例３）実施例３で、繊維ウエブに１２０
℃の乾燥機で１０分間加熱処理を行なわなかった以外は
実施例３と同様にして、面密度６０ｇ／ｍ２、厚さ０．
７ｍｍのエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ
用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重
量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、
該エアフィルタ用濾材の面密度１００ｇ／ｍ２あたりか
ら発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算
出すると、５４．７（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であり、得ら
れたエアフィルタ用濾材はアウトガス発生が多く、クリ
ーンルーム等で用いるアウトガス発生の少ないＨＥＰＡ
フィルタとして不適であった。(Comparative Example 3) In Example 3, the fiber web 120
The surface density was 60 g / m 2 and the thickness was 0.1 g in the same manner as in Example 3 except that the heat treatment was not performed in the dryer at 10 ° C. for 10 minutes.
A 7 mm filter medium for air filters was obtained. The amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter material for the air filter was calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method,
When the amount of the total organic substances generated per unit time of the surface density of the filter material for an air filter of 100 g / m 2 was calculated, it was 54.7 (μg / m 2 · hr), and the obtained air filter was obtained. HEPA used for clean rooms etc. with little outgas generation
It was unsuitable as a filter.

【0055】（比較例４）実施例４で、実施例３で得られた
エアフィルタ用濾材のかわりに比較例３で得られたエア
フィルタ用濾材を用いたこと以外は実施例４と同様にし
て、エアフィルタユニットを得た。このエアフィルタユ
ニットは、風量３１．２ｍ３／ｍｉｎの試験条件で、計
数法によるＤＯＰ０．３μｍ粒子の粒子捕集効率は９
９．９８％であり、ＨＥＰＡフィルタとしての性能を満
足するものであった。しかし、補強材と複合したエアフ
ィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換
算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出す
ると、エアフィルタユニットの間口面積の単位面積あた
りから発生する、単位時間における、該総有機物質の量
は１３２５（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であり、アウトガス発
生が多く、クリーンルーム用フィルタシステムに取り付
けるＨＥＰＡフィルタとして不適であった。(Comparative Example 4) In the same manner as in Example 4 except that the air filter medium obtained in Comparative Example 3 was used in place of the air filter medium obtained in Example 3. Then, the air filter unit was obtained. This air filter unit has a particle collection efficiency of 9 μm for DOP 0.3 μm measured by a counting method under test conditions of an air volume of 31.2 m 3 / min.
It was 9.98%, which satisfied the performance as a HEPA filter. However, when the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter medium for an air filter combined with the reinforcing material is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, it is generated per unit area of the front area of the air filter unit, The amount of the total organic substance per unit time was 1325 (μg / m 2 · hr), and a large amount of outgas was generated, which was not suitable as a HEPA filter to be attached to a clean room filter system.

【0056】実施例１〜４及び比較例１〜４の結果を表ｌ〜
２に示す。実施例１と実施例３では、本発明による加熱
処理を行うことによって得られたエアフィルタ用濾材か
ら発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生
ガス推測法により２３℃において算出して、該エアフィ
ルタ用濾材の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生す
る、単位時間における、該総有機物質の量を算出する
と、８．７（μｇ／ｍ ２・ｈｒ）と０．２０（μｇ／ｍ
２・ｈｒ）である。これに対して、加熱処埋を行わなか
った従来タイプの比較例１と比較例３では２７．４（μ
ｇ／ｍ２・ｈｒ）と５４．７（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であ
る。このように本発明のエアフィルタ用濾材は該総有機
物質の発生量が従来タイプのエアフィルタ用濾材の約３
分の１及び約２７４分の１と極めて少ない。従って、本
発明のエアフィルタ用濾材によって、クリーンルーム等
への汚染ガスの進入を大幅に軽減することができる。ま
た、実施例１に対して実施例３は紡糸温度が高くなって
おり、繊維径が細くなり、高性能の粒子捕集効率が得ら
れた。その反面発生する有機物質の量は多くなったが、
これはメルトブロー法による繊維形成時の樹脂成分の分
解生成物による影響と考えられる。しかし、本発明で開
示する加熱処理によりこのようなガス状汚染物質を除去
して、アウトガスの発生の少ないエアフィルタ用濾材を
得ることができる。The results of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4 are shown in Table 1 to Table 1.
2 shows. In Examples 1 and 3, heating according to the present invention
Is the filter material for the air filter obtained by performing the treatment?
Generates the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from
Calculated at 23 ° C by gas estimation method,
Areal density of the filter material for filter 100 g / mTwoOccurs from around
Calculate the amount of the total organic substance per unit time
And 8.7 (μg / m Two・ Hr and 0.20 (μg / m
Two・ Hr). On the other hand, heat treatment is not performed.
In the conventional type comparative example 1 and comparative example 3 which are different from each other, 27.4 (μ
g / mTwo・ Hr) and 54.7 (μg / mTwo・ Hr)
It Thus, the filter material for an air filter of the present invention is
The amount of substances generated is about 3 times that of the conventional filter media for air filters.
It is extremely small, which is one-half and about one-274th. Therefore, the book
The filter material for the air filter of the invention can be used for clean rooms, etc.
The ingress of pollutant gas into the can be significantly reduced. Well
In addition, the spinning temperature in Example 3 was higher than that in Example 1.
And the fiber diameter is reduced, resulting in high-performance particle collection efficiency.
It was On the other hand, the amount of organic substances generated increased,
This is the amount of resin component during fiber formation by the melt blow method.
It is thought that this is an effect of the solution products. However, with the present invention,
Removal of such gaseous pollutants by the heat treatment shown
The filter material for the air filter that produces less outgas.
Obtainable.

【0057】[0057]

【表１】 [Table 1]

【0058】[0058]

【表２】 [Table 2]

【0059】[0059]

【発明の効果】本発明によるエアフィルタ用濾材、エア
フィルタユニット、及びその製造方法によって、アウト
ガス発生量の少ないエアフィルタ用濾材を提供すること
ができ、このエアフィルタ用濾材又はエアフィルタユニ
ットをクリーンルームなどで使用される中性能フィルタ
やＨＥＰＡフィルタとして用いることにより、クリーン
ルーム等への汚染ガスの進入を軽減することができる。
また、ケミカルフィルタの汚染ガス除去に関する負担を
少なくして寿命を延ばし、クリーンルームなどのフィル
タシステムの運転維持経費の削減に寄与することができ
る。また、本発明によるエアフィルタ用濾材包装体によ
り、エアフィルタ用濾材を使用するまでに、該エアフィ
ルタ用濾材にガス状汚染物質が付着するのを防ぐことが
できる。更にまた、本発明によるエアフィルタユニット
包装体により、エアフィルタユニットを使用するまで
に、該エアフィルタユニットにガス状汚染物質が付着す
るのを防ぐことができる。The filter material for an air filter, the air filter unit, and the method for manufacturing the same according to the present invention can provide a filter material for an air filter with a small amount of outgas generation, and the filter material for an air filter or an air filter unit can be provided in a clean room. By using it as a medium-performance filter or a HEPA filter used in, for example, it is possible to reduce the ingress of pollutant gas into a clean room or the like.
Further, it is possible to reduce the burden of removing the pollutant gas of the chemical filter to extend the life thereof, and contribute to the reduction of the operation and maintenance cost of the filter system such as the clean room. In addition, the air filter medium packing material according to the present invention can prevent gaseous pollutants from adhering to the air filter medium before the air filter medium is used. Furthermore, the air filter unit package according to the present invention can prevent gaseous pollutants from adhering to the air filter unit before the air filter unit is used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】クリーンルームなどのフィルタシステム[Figure 1] Filter system for clean rooms

【図２】ダイナミックヘッドスペース法に用いる発生ガ
ス捕集装置の説明図FIG. 2 is an explanatory diagram of a generated gas collector used in the dynamic headspace method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 外調機 ２ プレフィルタ ３ 中性能フィルタ ４ エアワツシヤー ５ ケミカルフィルタ ６ ＨＥＰＡフィルタ７ケミカルフィルタ ８ ＨＥＰＡフィルタ ９ クリーンルーム １０ チヤンバー １１ ヘリウムガス １２ 固体吸着剤 １３ ガス吹出し口 １４ 試料 1 External conditioner 2 pre-filter 3 Medium performance filter 4 Air Washer 5 Chemical filter 6 HEPA filter 7 Chemical filter 8 HEPA filter 9 clean room 10 Chamber 11 Helium gas 12 Solid adsorbent 13 Gas outlet 14 samples

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ２４Ｆ 7/00 Ｆ２４Ｆ 7/00 Ａ Ｆターム(参考） 3E067 AA24 AB99 AC01 BA18A BB12A BB14A BC06A CA04 FA01 FC01 GD10 4D019 AA01 BA13 BB03 CA02 CB04 CB06 4D058 JA14 JB14 JB25 KA01 KA06 KA13 SA04 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) F24F 7/00 F24F 7/00 AF term (reference) 3E067 AA24 AB99 AC01 BA18A BB12A BB14A BC06A CA04 FA01 FC01 GD10 4D019 AA01 BA13 BB03 CA02 CB04 CB06 4D058 JA14 JB14 JB25 KA01 KA06 KA13 SA04

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 比色法による粒子捕集平均効率が２０％
以上であるエアフィルタ用濾材であって、該エアフィル
タ用濾材はメルトブロー法による繊維のみからなり、且
つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維
を含まず、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物
質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２
３℃において算出して、該エアフィルタ用濾材の面密度
１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間におけ
る、該総有機物質の量を算出すると、１．０（ｐｇ／ｍ
２・ｈｒ）以上１０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であるこ
とを特徴とするエアフィルタ用濾材。1. The average efficiency of collecting particles by a colorimetric method is 20%.
The filter material for an air filter as described above, wherein the filter material for an air filter is made of only fibers obtained by a melt blow method, and the fibers contained in the filter material for an air filter do not contain a heat-adhesive fiber, and the filter material for an air filter is Determine the amount of total organic substances generated (toluene equivalent weight) by the estimated gas generation method 2
Calculated at 3 ° C., the amount of the total organic substances generated per unit time of the surface density of the air filter medium of 100 g / m 2 was calculated to be 1.0 (pg / m 2).
A filter material for an air filter, characterized in that it is not less than 2 · hr) and not more than 10 (μg / m 2 · hr). 【請求項2】 前記エアフィルタ用濾材が計数法による
粒子捕集効率が９９．９７％以上であることを特徴とす
る請求項１に記載のエアフィルタ用濾材。2. The filter medium for an air filter according to claim 1, wherein the filter medium for an air filter has a particle collection efficiency of 99.97% or more by a counting method. 【請求項3】 請求項１または２に記載のエアフィルタ
用濾材がフィルタ枠に装着されていることを特徴とする
エアフィルタユニット。3. An air filter unit, wherein the filter material for an air filter according to claim 1 is attached to a filter frame. 【請求項4】 エアフィルタ用濾材から発生する総有機
物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により
２３℃において算出すると、エアフィルタユニットの間
口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間におけ
る、該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以
上５００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴と
する請求項３に記載のエアフィルタユニット。4. When the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the filter material for an air filter is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, the unit time generated per unit area of the front area of the air filter unit is calculated. 4. The air filter unit according to claim 3, wherein the amount of the total organic substance is 1.0 (pg / m 2 · hr) or more and 500 (μg / m 2 · hr) or less. 【請求項5】 メルトブロー法による繊維のみからな
り、且つ該繊維が熱接着性繊維を含まない繊維ウェブを
８０℃以上で、且つ該繊維の融点未満の温度の気体中で
加熱処理することを特徴とするエアフィルタ用濾材の製
造方法。5. A fiber web comprising only fibers obtained by a melt-blowing method and containing no heat-adhesive fibers, which is heat-treated in a gas at a temperature of 80 ° C. or higher and lower than the melting point of the fibers. And a method for producing a filter medium for an air filter. 【請求項6】 請求項５に記載の製造方法によって得ら
れたエアフィルタ用濾材をフィルタ枠に装着してエアフ
ィルタユニットとすることを特徴とするエアフィルタユ
ニットの製造方法。6. A method for manufacturing an air filter unit, comprising mounting the filter material for an air filter obtained by the manufacturing method according to claim 5 on a filter frame to form an air filter unit. 【請求項7】 メルトブロー法による繊維のみからな
り、且つ該繊維が熱接着性繊維を含まないエアフィルタ
用素材を用いてエアフィルタユニット中間体とし、該エ
アフィルタユニット中間体を８０℃以上で、且つ該繊維
の融点未満の温度の気体中で加熱処理することを特徴と
するエアフィルタユニットの製造方法。7. An air filter unit intermediate body comprising an air filter material comprising only fibers obtained by a melt blow method and containing no heat-adhesive fibers, wherein the air filter unit intermediate body is at 80 ° C. or higher, A method for manufacturing an air filter unit, which comprises heat-treating in a gas having a temperature lower than the melting point of the fiber. 【請求項8】 比色法による粒子捕集平均効率が２０％
以上であるエアフィルタ用濾材であって、該エアフィル
タ用濾材はメルトブロー法による繊維のみからなり、且
つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維
を含まないエアフィルタ用濾材が、通気性を有しないシ
ート状物によって包装されてなる包装体であって、該シ
ート状物から発生する総有機物質の量（トルエン換算重
量）を発生ガス推測法により２３℃において算出する
と、該シート状物の単位面積あたり（１ｍ２あたり）か
ら発生する、単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物
質の量が、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物
質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２
３℃において算出すると、該エアフィルタ用濾材の単位
面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間
（１ｈｒ）における、総有機物質の量より少ないことを
特徴とするエアフィルタ用濾材包装体。8. The average efficiency of collecting particles by a colorimetric method is 20%.
The filter material for an air filter as described above, wherein the filter material for an air filter is made of only fibers by a melt blow method, and the fiber contained in the filter material for an air filter is a filter material for an air filter which does not contain a heat-adhesive fiber, and is aerated. It is a package formed by packaging a sheet-like material having no property, and the amount of total organic substances (toluene equivalent weight) generated from the sheet-like material is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method. The amount of the total organic substance generated per unit area (per 1 m 2 ) of the object per unit time (1 hr) is the amount of the total organic substance generated from the air filter material (equivalent weight in toluene). 2 by guessing method
An air filter medium packaging material characterized by being less than the total amount of organic substances per unit time (1 hr) generated per unit area (per 1 m 2 ) of the air filter medium when calculated at 3 ° C. 【請求項9】 比色法による粒子捕集平均効率が２０％
以上であるエアフィルタ用濾材であって、該エアフィル
タ用濾材はメルトブロー法による繊維のみからなり、且
つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維
を含まないエアフィルタ用濾材が、フィルタ枠に装着さ
れたエアフィルタユニットが、通気性を有しないシート
状物によって包装されてなる包装体であって、該シート
状物から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）
を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該
シート状物の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生
する、単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量
が、該エアフィル夕用濾材から発生する総有機物質の量
（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃に
おいて算出すると、該エアフィルタ用濾材の単位面積あ
たり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈ
ｒ）における、総有機物質の量より少ないことを特徴と
するエアフィルタユニット包装体。9. The average efficiency of collecting particles by a colorimetric method is 20%.
The above-mentioned filter material for an air filter, wherein the filter material for an air filter is made of only fibers by a melt blow method, and the fiber contained in the filter material for an air filter is a filter material for an air filter not containing a heat-adhesive fiber, An air filter unit attached to a frame is a package formed by packaging a sheet-like material having no air permeability, and the amount of total organic substances generated from the sheet-like material (toluene equivalent weight).
Is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, the amount of the total organic substances generated per unit area (per 1 m 2 ) of the sheet material per unit time (1 hr) is calculated from the air-fill evening filter medium. When the amount of total organic substances generated (toluene equivalent weight) is calculated at 23 ° C. by the generated gas estimation method, the unit time (1 h) generated from the unit area (per 1 m 2 ) of the air filter medium is calculated.
An air filter unit package which is less than the total amount of organic substances in r).
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008238109A (en) * 2007-03-28 2008-10-09 Nippon Muki Co Ltd Filter medium for air filters, and air filter
KR102264924B1 (en) * 2021-01-18 2021-06-14 주식회사 대운 Anti-virus filter manufacturing method and filter manufactured thereby

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10286415A (en) * 1997-04-11 1998-10-27 Daikin Ind Ltd Air filter unit and its production
JP2001179028A (en) * 1999-12-27 2001-07-03 Tokyo Electric Power Co Inc:The Air filter of washing regeneration type for gas turbine

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10286415A (en) * 1997-04-11 1998-10-27 Daikin Ind Ltd Air filter unit and its production
JP2001179028A (en) * 1999-12-27 2001-07-03 Tokyo Electric Power Co Inc:The Air filter of washing regeneration type for gas turbine

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008238109A (en) * 2007-03-28 2008-10-09 Nippon Muki Co Ltd Filter medium for air filters, and air filter
KR102264924B1 (en) * 2021-01-18 2021-06-14 주식회사 대운 Anti-virus filter manufacturing method and filter manufactured thereby

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