JP2003091905A - Disk chuck mechanism - Google Patents
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- disk
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ディスクのチャ
ック機構に関し、詳しくは、磁気ディスク、光ディスク
等の検査装置のディスク駆動機構として、径が小さく厚
さが薄い高速回転のディスクをチャックするのに適し、
かつ、ディスク面に歪みが発生し難く、スムースなチャ
ック,アンチャック動作が可能なディスクチャック機構
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disk chucking mechanism, and more particularly to a disk driving mechanism for a magnetic disk, optical disk, or other inspection device for chucking a disk having a small diameter and a small thickness and rotating at a high speed. Suitable for
In addition, the present invention relates to a disc chuck mechanism in which distortion is unlikely to occur on the disc surface and which enables smooth chucking and unchucking operations.
【0002】[0002]
【従来の技術】情報記憶に使用される磁気ディスクや光
ディスクなどは、記憶媒体の物理的欠陥と、その電気的
な記憶性能の良否が、ディスク検査装置により検査され
る。この種の検査装置にはスピンドルとその回転機構が
設けられていて、検査対象となるディスクは、スピンド
ルの頭部に設けたチャック機構によりチャックされて回
転する。ディスクは、ロボットハンドによりスピンドル
の頭部に自動装着されるが、ディスクの径は、現在で
は、磁気ディスクでは1.8インチから1インチ程度ま
で縮小化され、光ディスクにあっても3.5インチと小
型化されてきている。しかも、これらディスクの回転速
度は、より高速化される方向にあって、これに適応する
小型のディスクチャック機構が開発され、使用されてい
る。2. Description of the Related Art A magnetic disk, an optical disk, or the like used for information storage is inspected by a disk inspection device for physical defects of a storage medium and whether or not its electric storage performance is good. This type of inspection apparatus is provided with a spindle and a rotating mechanism thereof, and a disk to be inspected is chucked and rotated by a chuck mechanism provided on the head of the spindle. The disk is automatically attached to the head of the spindle by the robot hand, but the diameter of the disk is currently reduced from 1.8 inches to 1 inch for magnetic disks and 3.5 inches for optical disks. And has been miniaturized. Moreover, the rotational speed of these disks tends to be further increased, and a small-sized disk chuck mechanism adapted to this has been developed and used.
【0003】図5は、径の小さい厚さの薄いディスクを
チャックするのに適するC字のラジアルチャックリング
を用いたディスクチャック機構であり、これは、出願人
により特開平11−273206号「ディスクチャック
機構」として出願されたものである。図5は、中央部よ
り左側が断面図となっていて、その内部構造を示してい
る。この図5において、ディスクチャック機構10は、
ヘッド円板11と、結合ロッド12、円形の一部が切断
された弾性体のチャックリング13(いわゆるCリング
で図6参照)、シリンダ14、コイルスプリング16、
押圧円板17、ダイアフラム18、そして、当てリング
19よりなる。一点鎖線で示すディスク1をこれの先端
部で受け、ディスク1の内径側面をチャックリング13
の外側面により押圧してディスク1をチャックする。FIG. 5 shows a disk chuck mechanism using a C-shaped radial chuck ring suitable for chucking a disk having a small diameter and a small thickness, which is disclosed by the applicant in Japanese Patent Laid-Open No. 11-273206. It was filed as a "chuck mechanism". In FIG. 5, the left side of the central portion is a cross-sectional view showing the internal structure thereof. In FIG. 5, the disc chuck mechanism 10 is
A head disk 11, a connecting rod 12, an elastic chuck ring 13 (a so-called C-ring, see FIG. 6) in which a circular part is cut, a cylinder 14, a coil spring 16,
It is composed of a pressing disk 17, a diaphragm 18, and a contact ring 19. The disk 1 indicated by the alternate long and short dash line is received by the tip of the disk 1, and the inner diameter side surface of the disk 1 is chucked by the chuck ring 13.
The disk 1 is chucked by being pressed by the outer surface of the disk.
【0004】シリンダ14は、内部が空洞のシリンダ本
体14aと、このシリンダ本体14aの内壁から2段に
順次突出したフランジ部14b、14c、シリンダ本体
14aの前側の空洞に配置されフランジ部14bに係合
して装填されたコーンボス15a、コーンボス15aと
は反対側において同様に空洞に配置されフランジ部14
cに係合し、シリンダ本体14に装填された円筒ブロッ
ク15bとからなる。なお、前記の当てリング19の外
形は、シリンダ本体14aの後端部の内径と一致してい
て、ダイアフラム18を均一に保持する役割を果たす。
また、シリンダ14は、後端部においてスピンドルに結
合される。これによりディスクチャック機構10は高速
回転させられる。The cylinder 14 has a hollow inside, a cylinder body 14a, flange portions 14b and 14c which sequentially project from the inner wall of the cylinder body 14a in two steps, and a flange portion 14b which is arranged in the front cavity of the cylinder body 14a. The cone boss 15a loaded together and the flange portion 14 which is similarly arranged in the cavity on the side opposite to the cone boss 15a
It is composed of a cylindrical block 15b which is engaged with c and is loaded in the cylinder body 14. The outer shape of the contact ring 19 matches the inner diameter of the rear end portion of the cylinder body 14a, and plays a role of holding the diaphragm 18 uniformly.
The cylinder 14 is also coupled to the spindle at the rear end. As a result, the disc chuck mechanism 10 is rotated at high speed.
【0005】ここで、コーンボス15aは、円錐状に突
出した傾斜面15を有していて、図7に示すように、チ
ャックリング13の先端部24の内側面に形成された傾
斜面13aが傾斜面15に接触する。図5に戻り、結合
ロッド12は、シリンダ14の後部に装着されている圧
縮状態のコイルスプリング16により下側に付勢されて
いて、このコイルスプリング16の押下げ付勢力により
ヘッド円板11が下側に押下げられ、これによりチャッ
クリング13が下側に押下げられて傾斜面15を下るこ
とでその径が拡大し、ディスク1の内径側面1b(図7
参照)をチャックリング13の外周側面が押圧してディ
スク1がチャックされる。ディスク1のチャック解除
は、結合ロッド12が上へと押上げられることで行われ
る。この押上げは、エアを供給することによりダイアフ
ラム18を押し上げることで、ダイアフラム18を介し
て結合ロッド12が押し上げられることによる。そこ
で、ディスク1をチャックするときには、エアを供給を
断てばよい。Here, the cone boss 15a has an inclined surface 15 protruding in a conical shape. As shown in FIG. 7, the inclined surface 13a formed on the inner side surface of the tip portion 24 of the chuck ring 13 is inclined. Contact surface 15. Returning to FIG. 5, the connecting rod 12 is urged downward by the coil spring 16 in a compressed state mounted on the rear portion of the cylinder 14, and the head disc 11 is pushed by the pressing urging force of the coil spring 16. When the chuck ring 13 is pushed downward, the chuck ring 13 is pushed downward and goes down the inclined surface 15 to increase its diameter, and the inner diameter side surface 1b of the disc 1 (see FIG.
The outer peripheral side surface of the chuck ring 13 is pressed against the disk 1 and the disk 1 is chucked. The chuck release of the disc 1 is performed by pushing the connecting rod 12 upward. This push-up is because the diaphragm 18 is pushed up by supplying air, and the coupling rod 12 is pushed up via the diaphragm 18. Therefore, when chucking the disk 1, the air supply may be cut off.
【0006】チャックリング13は、図6,図7に示す
ように、一部に開口21を有するナイロン等,合成樹脂
製のリング部20とスプリング25とからなる。このリ
ング部20は、その周面において縦方向に3ヶ所に縦溝
22が形成され、その部分が切り取られ、チャックリン
グ13のこの部分の厚さが薄くなっている。さらに、チ
ャックリング13は、図7の部分断面を示すように、高
さ方向のほぼ中央部分で内側において円周方向に沿って
横溝23が形成されていて、この部分の厚さも薄くなっ
ている。図7に一点鎖線で示すように、ディスク1に対
しては、横溝23の下側にある先端部24の外側の側面
がディスク1の内径側面1bに係合する押圧面となって
おり、先端部24の内側にはコーンボス15aの傾斜面
15に対応する傾斜の傾斜面13aが形成されている。
またさらに、上面にもスプリング収納溝26が円周方向
に沿って形成され、C型のスチールリングのスプリング
25がこれに挿着されるている。As shown in FIGS. 6 and 7, the chuck ring 13 comprises a ring portion 20 made of synthetic resin such as nylon having an opening 21 in a part thereof and a spring 25. The ring portion 20 has vertical grooves 22 formed at three locations in the vertical direction on the circumferential surface thereof, and the portion is cut off, so that the thickness of this portion of the chuck ring 13 is reduced. Further, as shown in the partial cross section of FIG. 7, the chuck ring 13 has a lateral groove 23 formed along the circumferential direction on the inner side at a substantially central portion in the height direction, and the thickness of this portion is also thin. . As shown by the alternate long and short dash line in FIG. 7, with respect to the disc 1, the outer side surface of the tip portion 24 below the lateral groove 23 is a pressing surface that engages with the inner diameter side surface 1 b of the disc 1, An inclined surface 13a having an inclination corresponding to the inclined surface 15 of the cone boss 15a is formed inside the portion 24.
Furthermore, a spring storage groove 26 is also formed on the upper surface along the circumferential direction, and a C-shaped steel ring spring 25 is inserted and attached thereto.
【0007】チャックリング13とコーンボス15aと
シリンダ14との関係について、図5、図7を参照して
説明すると、シリンダ本体14は、ディスク1を受ける
先端側の表面周辺部に段差部140が設けられている。
この段差部140がコーンボス15aの側面との間でデ
ィスク1の内径と実質的に等しいかこれより少し大きい
円形溝141を形成する。さらに、段差部140の奥に
は内壁から内側に突出しているフランジ部14bが設け
られている。そして、ディスクチャック状態では、前記
の円形溝141にチャックリング13の先端部24が嵌
合する状態においてその先端部24によりディスク1の
内径側面1bを押圧する。The relationship among the chuck ring 13, the cone boss 15a, and the cylinder 14 will be described with reference to FIGS. 5 and 7. The cylinder body 14 has a stepped portion 140 in the peripheral portion of the surface on the tip side for receiving the disk 1. Has been.
The stepped portion 140 forms a circular groove 141 with the side surface of the cone boss 15a, which is substantially equal to or slightly larger than the inner diameter of the disc 1. Further, a flange portion 14b protruding inward from the inner wall is provided at the back of the step portion 140. Then, in the disc chuck state, the inner diameter side surface 1b of the disc 1 is pressed by the tip portion 24 in a state where the tip portion 24 of the chuck ring 13 is fitted in the circular groove 141.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】さて、図6に示すよう
な一カ所が開放しているC字型のチャックリングでディ
スク1をチャックするには、アンチャック時の径の縮小
が1〜2mm程度は必要である。先に説明したように、
チャックする媒体の外径の縮小化に伴い、その内径もま
すます小さくなってきている。しかし、内径が小さくな
ればなるほど、縮小時の曲げ応力が増加してチャックリ
ングがクリープを起こし、正常なチャックができなくな
る問題がある。また、チャックリングを縮小させるばね
リング(タイトナ)の縮小力は、逆に大きくなって、チ
ャック,アンチャック動作がスムースに行えない問題が
発生する。このような問題を回避するために、チャック
リングを複数のチャックピースに分割配置することが考
えられるが、分割したチャックピースに位置ずれが生じ
低チャックピースの空間配置がアンバランスとなる。そ
の上、ばねリングの縮小力が大きいので、その分、ディ
スク内周側面への押圧力が不均一となる問題を生じる。
これによりチャックされた径が小さく厚さが薄いディス
クは、表面に歪みが発生してテストに悪影響を与える。
この発明の目的は、このような問題点を解決したもので
あって、径が小さく厚さが薄い高速回転のディスクをチ
ャックするのに適し、かつ、ディスク面に歪みが発生し
難く、スムースなチャック,アンチャック動作が可能な
ディスクチャック機構を提供することにある。Now, in order to chuck the disk 1 with a C-shaped chuck ring having one open position as shown in FIG. 6, the diameter reduction during uncucking is 1-2 mm. Degree is necessary. As I explained earlier,
With the reduction of the outer diameter of the medium to be chucked, the inner diameter of the medium is becoming smaller and smaller. However, as the inner diameter becomes smaller, the bending stress at the time of contraction increases and the chuck ring creeps, which causes a problem that a normal chuck cannot be performed. Further, the contracting force of the spring ring (tightener) for contracting the chuck ring becomes large on the contrary, which causes a problem that the chucking and uncucking operations cannot be smoothly performed. In order to avoid such a problem, it is conceivable to divide the chuck ring into a plurality of chuck pieces, but the divided chuck pieces are misaligned and the spatial arrangement of the low chuck pieces becomes unbalanced. Moreover, since the contraction force of the spring ring is large, the pressing force applied to the inner peripheral side surface of the disk becomes uneven accordingly.
As a result, a disk chucked with a small diameter and a small thickness has a surface distortion, which adversely affects the test.
An object of the present invention is to solve such a problem, and is suitable for chucking a high-speed rotating disk having a small diameter and a small thickness, and the surface of the disk is less likely to be distorted and smooth. It is to provide a disc chuck mechanism capable of chucking and uncucking operations.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るためのこの発明のディスクチャック機構の特徴は、そ
の内側に設けられた傾斜面にリング部材を係合させて傾
斜面に沿わせることでリング部材の径を拡大してディス
クの中央開口部側面あるいはその周面を押圧してディス
クをチャックし、傾斜面に沿わせてリング部材の径を縮
小することでディスクを開放するディスクチャック機構
において、リング部材が分割されリング状に配置された
複数の独立のピースにより構成されるものであって、各
ピースに係合して各ピースにより形成されるリングの径
を縮小させる方向に付勢する弾性リングと、形成される
リングの径の拡大縮小に従って中央開口部に対して進退
する各ピースの進退を形成されるリングの半径方向に放
射状に延びる複数のフィンによりガイドするガイド部材
とを備えるものである。The features of the disk chuck mechanism of the present invention for attaining the above object are that a ring member is engaged with an inclined surface provided inside the disk chuck mechanism so as to follow the inclined surface. A disk chuck mechanism that enlarges the diameter of the ring member to press the side surface of the central opening of the disk or its peripheral surface to chuck the disk, and reduces the diameter of the ring member along the inclined surface to release the disk. In which the ring member is divided into a plurality of independent pieces arranged in a ring shape, and is urged in a direction to reduce the diameter of the ring formed by each piece by engaging each piece. Elastic ring and a plurality of pieces that extend and retract with respect to the central opening as the diameter of the formed ring expands and contracts, and that extend radially in the radial direction of the formed ring. It is intended and a guide member for guiding the fins.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】このように、この発明は、ディス
クチャック用のリング部材が複数のチャックピースに分
割されて構成され、これに対して各ピースの間の空間あ
るいはチャックピースに形成されたガイド溝に挿入され
る、ラジアル方向に配置されたフィン(鍔)を有するガ
イド部材を設けることで、ディスクの中央開口部に対し
て進退する各ピースの進退をガイド部材でガイドするよ
うにする。このことにより、各ピースの位置ずれがほと
んどなく、ディスク内径が小さい径のディスクに対して
弾性リングの縮小力を大きくしなくてもディスクに対し
て均等に内径側面を押圧してディスクをチャックするこ
とができる。その結果、ディスクをチャックしたときに
ディスク面に歪みが発生し難く、厚さが薄い小さい径で
高速回転のディスクをチャックするのに適し、かつ、ス
ムースなチャック,アンチャック動作が可能なディスク
チャック機構を容易に実現できる。As described above, according to the present invention, the ring member for the disc chuck is divided into a plurality of chuck pieces, and the space between the pieces or the chuck pieces is formed. By providing a guide member having fins (collars) that are inserted in the guide groove and arranged in the radial direction, the guide member guides the forward and backward movement of each piece that moves forward and backward with respect to the central opening of the disc. As a result, there is almost no displacement of each piece, and the disk is chucked by uniformly pressing the inner diameter side surface against the disk without increasing the contraction force of the elastic ring with respect to the disk having a small disk inner diameter. be able to. As a result, when the disc is chucked, the disc surface is less likely to be distorted, and it is suitable for chucking a thin disc with a small diameter and high speed rotation, and a disc chuck capable of smooth chucking and uncucking. The mechanism can be easily realized.
【0011】[0011]
【実施例】図1は、この発明を適用した一実施例のディ
スクチャック機構のディスクチャック状態とアンチャッ
ク状態の部分拡大断面図であり、図2は、チャックピー
スとガイド部材の斜視図、図3は、ヘッド板を外して内
部状態を見えるようにしたディスクチャック機構の平面
図、図4は、他の実施例のディスクチャック機構のガイ
ド部材とラジアルチャックピースとの関係の説明図であ
る。なお、図5〜図7と同一の構成要素は、同一の符号
で示し、それらの説明を割愛する。図1において、ディ
スクチャック機構2は、図5のヘッド円板11とコーン
ボス15aとの間にガイド部材3が挿着されているもの
である。そして、図6,図7のC型のスチールリングの
スプリング25が挿着されるているチャックリング13
は、ここでは、これに換えて、4つのチャックピース4
a、4b、4c、4dに4分割されたピースからなるラ
ジアルチャック4で構成されている。また、図2(a)
に示すように、C型のスチールリングのスプリング25
に換えて合成ゴム等のOリングの弾性リング5がチャッ
クピース4a、4b、4c、4dの各外周側面の挿着溝
6を介してこれらに挿着されている。挿着溝6は、各チ
ャックピース4a、4b、4c、4dの外周側面のほぼ
中間部分に設けられている。1 is a partially enlarged sectional view of a disc chuck mechanism and an uncuck state of a disc chuck mechanism according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of a chuck piece and a guide member. 3 is a plan view of a disc chuck mechanism in which a head plate is removed so that an internal state can be seen, and FIG. 4 is an explanatory diagram of a relationship between a guide member and a radial chuck piece of the disc chuck mechanism of another embodiment. In addition, the same components as those in FIGS. 5 to 7 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. In FIG. 1, the disc chuck mechanism 2 has a guide member 3 inserted between the head disk 11 and the cone boss 15a of FIG. Then, the chuck ring 13 to which the spring 25 of the C-shaped steel ring of FIGS.
Here, instead of this, four chuck pieces 4
The radial chuck 4 is composed of four pieces a, 4b, 4c, and 4d. In addition, FIG.
As shown in, C-shaped steel ring spring 25
Instead, an elastic ring 5 such as an O-ring made of synthetic rubber or the like is attached to the chuck pieces 4a, 4b, 4c, and 4d through insertion grooves 6 on the outer peripheral side surfaces thereof. The insertion groove 6 is provided in a substantially middle portion of the outer peripheral side surface of each chuck piece 4a, 4b, 4c, 4d.
【0012】図1に示されるディスクチャック機構2
は、図5に示すディスクチャック機構10に対してさら
に小径のディスクに対応するために、シリンダ14の先
端側が絞り込まれている。すなわち、図1、図3に示す
ように、図5のシリンダ本体14aに対応する外径の胴
部144に対してその先端部の外径が絞り込まれた胴部
143を有している。これにより、ディスク1を受ける
先端側の表面周辺部に形成される段差部140と、円形
溝141の径をさらに小さなものとしている。その結
果、ディスク1の内周面を受ける周面142がより小さ
な径となっている。また、より高速回転のスピンドルに
結合するために、胴部144の後部には大きな径のフラ
ンジ部145(図3参照)が形成されている。The disc chuck mechanism 2 shown in FIG.
In the disk chuck mechanism 10 shown in FIG. 5, the front end side of the cylinder 14 is narrowed down in order to accommodate a disk having a smaller diameter. That is, as shown in FIG. 1 and FIG. 3, the body portion 143 having the outer diameter of the tip end thereof is narrowed with respect to the body portion 144 having the outer diameter corresponding to the cylinder body 14a of FIG. As a result, the diameter of the stepped portion 140 formed in the peripheral portion of the surface on the tip side for receiving the disk 1 and the diameter of the circular groove 141 are further reduced. As a result, the peripheral surface 142 that receives the inner peripheral surface of the disk 1 has a smaller diameter. Further, a large diameter flange portion 145 (see FIG. 3) is formed in the rear portion of the body portion 144 in order to be coupled to a spindle rotating at a higher speed.
【0013】ここで、ガイド部材3は、図2(b)に示
すように、基部が矩形のブロック30の周囲に4辺の側
面中央において外側に向かって横方向に十字に突出した
板状の4個のフィン31、32、33、34を有してい
る。これらフィン31、32、33、34は、板面は図
示するように垂直になっていて、ガイド部材3の中央部
には結合ロッド12が貫通する遊嵌孔35が開けられて
いる。このガイド部材3は、図3のようにヘッド円板1
1とコーンボス15aとの間でラジアルチャック4の上
に挿着される。このとき、各フィン31、32、33、
34は、分割された4つのチャックピース4a、4b、
4c、4dの間の空間40に配置される。なお、図3
は、中央部から左側は、ディスクをチャックした状態の
断面図であり、右側は、ディスクを開放した状態の断面
図である。点線で示す円が弾性リング5であり、図1,
図2(a)に示すように、弾性リング5は、ガイド部材
3の下側に位置する。Here, as shown in FIG. 2 (b), the guide member 3 has a plate-like shape which laterally projects in a cross shape outwardly at the center of the side surface of the four sides around the rectangular block 30. It has four fins 31, 32, 33, 34. The plate surfaces of these fins 31, 32, 33, 34 are vertical as shown in the drawing, and a loose fitting hole 35 through which the connecting rod 12 penetrates is formed in the central portion of the guide member 3. This guide member 3 is, as shown in FIG.
1 and the cone boss 15a are mounted on the radial chuck 4. At this time, the fins 31, 32, 33,
34 is the four divided chuck pieces 4a, 4b,
It is arranged in the space 40 between 4c and 4d. Note that FIG.
Is a sectional view of the state where the disc is chucked, and a right side is a sectional view of the state where the disc is opened. The circle indicated by the dotted line is the elastic ring 5, and
As shown in FIG. 2A, the elastic ring 5 is located below the guide member 3.
【0014】図2(a)に示す各チャックピース4a、
4b、4c、4dは、図6の3ヶ所の縦溝22の部分を
形成せずに、この溝部分を切断して排除して切り離した
ものと実質的に同様な形態をしている。ただし、チャッ
クリング13の横溝23は、これには形成されておら
ず、その背面は、一様の傾斜面13aとなっている。こ
れにより、図3に示すように、各フィン31、32、3
3、34が挿着される分割空間40ができる。このよう
に、ラジアルチャック4(リング部材)を4つのチャッ
クピース4a、4b、4c、4dに分割して構成するこ
とで、弾性リング5による圧縮力が各チャックピースに
均等に加わり、かつ、各ピースは小さく、分割空間が作
用してあまり大きな収縮力を必要としないで各チャック
ピースを後退させることができる。一方、各チャックピ
ースがディスク1の内径側面1bに対して前進したとき
には、大きな力を均等に発揮して内径側面1bを押圧す
る。その結果、弾性リング5に大きな収縮力が要求され
ないで済む。さらに、ガイド部材3を設けてそのフィン
31、32、33、34をチャックピース4a、4b、
4c、4dの分割空間40に配置することで、チャック
ピース4a、4b、4c、4dの進退をフィン31、3
2、33、34によりガイドさせることができる。これ
により、ディスクチャック状態においてはチャックピー
ス4a、4b、4c、4dに位置ずれがほとんどなく、
ディスク内周側面に対して均等な押圧力を発生させるこ
とができる。ディスクが高速回転してもチャック状態が
外れることもない。Each chuck piece 4a shown in FIG.
4b, 4c, and 4d have substantially the same form as the ones in which the vertical groove 22 at three places in FIG. 6 is not formed, but the groove portions are cut and eliminated. However, the lateral groove 23 of the chuck ring 13 is not formed in this, and the back surface thereof has a uniform inclined surface 13a. As a result, as shown in FIG. 3, each fin 31, 32, 3
A divided space 40 into which 3, 34 are inserted is created. As described above, the radial chuck 4 (ring member) is divided into the four chuck pieces 4a, 4b, 4c, and 4d, so that the compression force of the elastic ring 5 is evenly applied to each chuck piece, and The pieces are small and each chuck piece can be retracted without requiring too much contraction force due to the effect of the dividing space. On the other hand, when each chuck piece advances toward the inner diameter side surface 1b of the disk 1, a large force is uniformly exerted to press the inner diameter side surface 1b. As a result, a large contraction force is not required for the elastic ring 5. Further, a guide member 3 is provided, and the fins 31, 32, 33, 34 are attached to the chuck pieces 4a, 4b,
By arranging the chuck pieces 4a, 4b, 4c, 4d in the divided spaces 40 of 4c, 4d, the fins 31, 3,
It can be guided by 2, 33, 34. Accordingly, in the disc chuck state, the chuck pieces 4a, 4b, 4c, 4d have almost no displacement,
A uniform pressing force can be generated on the inner peripheral surface of the disc. Even if the disc rotates at high speed, the chucked state does not come off.
【0015】図4は、他の実施例のディスクチャック機
構のガイド部材とラジアルチャックピースとの関係の説
明図である。図1のチャックピース4a、4b、4c、
4dは、チャックピース41として示すように、外周の
中央部に弾性リング5より上で底面となる深さのガイド
溝42がそれぞれ設けられていて、ガイド部材43は、
基部が円板44となっていて、90°間隔で均等に配置
されたフィン45がガイド溝42に遊嵌する構造となっ
ている。他の構成は、図1と同様である。なお、図4に
おいて、46は、結合ロッド12が貫通する遊嵌孔であ
り、47は、弾性リング5が挿着される挿着溝である。
そこで、この実施例では、チャックピース4a、4b、
4c、4dに換えて、4個のチャックピース41がガイ
ド部材43の下側に設けられ、各フィン45が各チャッ
クピース41のガイド溝42に遊嵌してこれにより各チ
ャックピース41の進退がガイドされる。FIG. 4 is an explanatory view of the relationship between the guide member and the radial chuck piece of the disc chuck mechanism of another embodiment. The chuck pieces 4a, 4b, 4c of FIG.
4d, as shown as a chuck piece 41, a guide groove 42 having a depth that serves as a bottom surface above the elastic ring 5 is provided in the central portion of the outer periphery, and the guide member 43 is
The base portion is a disc 44, and the fins 45, which are evenly arranged at 90 ° intervals, are loosely fitted in the guide grooves 42. Other configurations are the same as those in FIG. In FIG. 4, 46 is a loose fitting hole through which the connecting rod 12 penetrates, and 47 is an insertion groove into which the elastic ring 5 is inserted.
Therefore, in this embodiment, the chuck pieces 4a, 4b,
Instead of 4c and 4d, four chuck pieces 41 are provided on the lower side of the guide member 43, and each fin 45 is loosely fitted in the guide groove 42 of each chuck piece 41. Be guided.
【0016】以上説明してきたが、実施例では、ラジア
ルチャック4を4つのチャックピース4a、4b、4
c、4dに分割した例を示しているが、その分割数は2
以上であればよい。また、実施例では、ディスクの中央
開口部の側面を押圧することでディスクをチャックして
いるが、チャックは、中央開口部の周面を押圧するもの
であってもよく、さらにチャックされるディスクは、磁
気ディスクや光ディスクに限定されるものではなく、例
えば、これらのサブストレートであってもよい。As described above, in the embodiment, the radial chuck 4 is composed of four chuck pieces 4a, 4b, 4
An example of division into c and 4d is shown, but the number of divisions is 2
The above is sufficient. Further, in the embodiment, the disk is chucked by pressing the side surface of the central opening of the disk, but the chuck may be one that presses the peripheral surface of the central opening, and the disk to be chucked further. Is not limited to a magnetic disk or an optical disk, and may be a substrate of these, for example.
【0017】[0017]
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明にあって
は、ディスクチャック用のリング部材が複数のチャック
ピースに分割されて構成され、これに対して各ピースの
間の空間あるいはチャックピースに形成されたガイド溝
に挿入される、ラジアル方向に配置されたフィン(鍔)
を有するガイド部材を設けることで、ディスクの中央開
口部に対して進退する各ピースの進退をガイド部材でガ
イドするようにする。その結果、ディスクをチャックし
たときにディスク面に歪みが発生し難く、厚さが薄い小
さい径で高速回転のディスクをチャックするのに適し、
かつ、スムースなチャック,アンチャック動作が可能な
ディスクチャック機構を容易に実現できる。As described above, according to the present invention, the ring member for disc chuck is configured by being divided into a plurality of chuck pieces, while the space between the pieces or the chuck piece is divided. Radially arranged fins (collars) that are inserted into the formed guide grooves
By providing the guide member having the above, the guide member guides the forward and backward movement of each piece that moves forward and backward with respect to the central opening of the disc. As a result, when the disc is chucked, the disc surface is less likely to be distorted, and is suitable for chucking a thin disc with a small diameter and high speed rotation,
In addition, it is possible to easily realize a disc chuck mechanism that can perform a smooth chucking / unchucking operation.
【図1】図1は、この発明を適用した一実施例のディス
クチャック機構のディスクチャック状態とアンチャック
状態の部分拡大断面図である。FIG. 1 is a partial enlarged cross-sectional view of a disc chuck mechanism and an uncucked state of a disc chuck mechanism according to an embodiment of the present invention.
【図2】図2は、チャックピースとガイド部材の説明図
であって、(a)は、チャックピースの斜視図、(b)
は、ガイド部材の斜視図である。図2は、ガイド部材の
斜視図である。2A and 2B are explanatory views of a chuck piece and a guide member, FIG. 2A is a perspective view of the chuck piece, and FIG.
[Fig. 4] is a perspective view of a guide member. FIG. 2 is a perspective view of the guide member.
【図3】図3は、ヘッド板を外して内部状態を見えるよ
うにしたディスクチャック機構の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a disk chuck mechanism with a head plate removed so that an internal state can be seen.
【図4】図4は、他の実施例のディスクチャック機構の
ガイド部材とラジアルチャックピースとの関係の説明図
である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a relationship between a guide member and a radial chuck piece of a disc chuck mechanism of another embodiment.
【図5】図5は、従来のディスクチャック機構の一部断
面説明図である。FIG. 5 is a partial cross-sectional explanatory view of a conventional disc chuck mechanism.
【図6】図6は、ディスクチャック機構のチャックリン
グの説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a chuck ring of a disc chuck mechanism.
【図7】図7は、ディスクチャック機構のチャック部分
の拡大説明図である。FIG. 7 is an enlarged explanatory view of a chuck portion of the disc chuck mechanism.
1…ディスク、2,10…ディスクチャック機構、3,
43…ガイド部材、4…ラジアルチャック、4a,4
b,4c,4d,41…チャックピース、5…O型の弾
性リング、6…挿着溝、11…ヘッド円板、12…結合
ロッド、13…チャックリング、14…シリンダ、13
a,15…傾斜面、14a…シリンダ本体、14b,1
4c…フランジ部、15a…コーンボス、15b…円筒
ブロック、16…コイルスプリング、17…押圧円板、
18…ダイヤフラム、19…当てリング、20…リング
部、21…開口、22…縦溝、23…横溝、24…先端
部、25…スプリング、26…スプリング収納溝、30
…ブロック、31,32,33,34,45…フィン、
40…分割空間、42…ガイド溝、44…円板。1 ... Disc, 2, 10 ... Disc chuck mechanism, 3,
43 ... Guide member, 4 ... Radial chuck, 4a, 4
b, 4c, 4d, 41 ... Chuck piece, 5 ... O type elastic ring, 6 ... Insertion groove, 11 ... Head disc, 12 ... Coupling rod, 13 ... Chuck ring, 14 ... Cylinder, 13
a, 15 ... Inclined surface, 14a ... Cylinder body, 14b, 1
4c ... Flange portion, 15a ... Cone boss, 15b ... Cylindrical block, 16 ... Coil spring, 17 ... Pressing disc,
18 ... Diaphragm, 19 ... Abutment ring, 20 ... Ring part, 21 ... Opening, 22 ... Vertical groove, 23 ... Horizontal groove, 24 ... Tip part, 25 ... Spring, 26 ... Spring storage groove, 30
... Blocks, 31, 32, 33, 34, 45 ... Fins,
40 ... Divided space, 42 ... Guide groove, 44 ... Disc.
Claims (4)
を係合させて傾斜面に沿わせることで前記リング部材の
径を拡大してディスクの中央開口部側面あるいはその周
面を押圧して前記ディスクをチャックし、前記傾斜面に
沿わせて前記リング部材の径を縮小することで前記ディ
スクを開放するディスクチャック機構において、 前記リング部材が分割されリング状に配置された複数の
独立のピースにより構成されるものであって、各前記ピ
ースに係合して各前記ピースにより形成されるリングの
径を縮小させる方向に付勢する弾性リングと、前記形成
されるリングの径の拡大縮小に従って前記中央開口部に
対して進退する各前記ピースの進退を前記形成されるリ
ングの半径方向に放射状に延びる複数のフィンによりガ
イドするガイド部材とを備えることを特徴とするディス
クチャック機構。1. A ring member is engaged with an inclined surface provided on the inner side of the ring member to extend along the inclined surface to increase the diameter of the ring member and press the side surface of the central opening of the disk or its peripheral surface. In the disc chuck mechanism for chucking the disc by means of reducing the diameter of the ring member along the inclined surface to release the disc, the ring member is divided into a plurality of independent ring-shaped members. An elastic ring that is configured by a piece and is urged in a direction to reduce the diameter of the ring formed by each piece by engaging with each piece, and enlarging or reducing the diameter of the formed ring. A guide member that guides the advance / retreat of each piece advancing / retreating with respect to the central opening by a plurality of fins extending radially in the radial direction of the formed ring. A disc chuck mechanism comprising.
の空間において前記弾性リングの上側に配置される請求
項1記載のディスクチャック機構。2. The disc chuck mechanism according to claim 1, wherein the fin is arranged above the elastic ring in a space between the divided pieces.
が前記弾性リングの上側に設けられている請求項1記載
のディスクチャック機構。3. The disc chuck mechanism according to claim 1, wherein a groove in which the fin is loosely fitted is provided on the piece above the elastic ring.
られた前記ディスクの中央開口部の径である内径と実質
的に等しいかこれより少し大きい円形溝、この円形溝の
内側に設けられた円錐状の凸部、そして中心部に設けら
れた貫通孔とを有するするシリンダと、前記貫通孔を貫
通しこの貫通孔に沿ってスライドするロッドと、このロ
ッドの前記円錐状の凸部側に突出する側の先端に設けら
れ前記ディスクの内径に対応する径の円板と、前記円板
と前記円錐状の凸部との間に設けられ前記円錐状の凸部
の傾斜面に背面が係合して径が拡大し前記ディスクの中
央開口部側面あるいはその周面を押圧して前記ディスク
をチャックし、前記傾斜面に沿って径が縮小することで
前記ディスクを開放するリング部材と、前記ロッドを前
記シリンダの後部から引き出す方向に付勢する付勢部材
とを備えるディスクチャック機構において、 前記リング部材が分割されリング状に配置された複数の
独立のピースにより構成されるものであって、各前記ピ
ースに係合して各前記ピースにより形成されるリングの
径を縮小させる方向に付勢する弾性リングと、前記形成
されるリングの径の拡大縮小に従って前記中央開口部に
対して進退する各前記ピースの進退を前記形成されるリ
ングの半径方向に放射状に延びる複数のフィンによりガ
イドするガイド部材とを備えることを特徴とするディス
クチャック機構。4. A circular groove which is substantially equal to or slightly larger than the inner diameter which is the diameter of the central opening of the disk provided in the peripheral portion of the tip surface for receiving the disk, and which is provided inside the circular groove. A cylinder having a conical convex portion and a through hole provided in the center, a rod penetrating the through hole and sliding along the through hole, and a rod on the conical convex portion side of the rod. A disc having a diameter corresponding to the inner diameter of the disc, which is provided at the tip of the protruding side, and a back surface is attached to an inclined surface of the conical convex portion provided between the disc and the conical convex portion. And a ring member that expands in diameter and presses the side surface of the central opening of the disk or its peripheral surface to chuck the disk, and reduces the diameter along the inclined surface to open the disk, The rod at the rear of the cylinder In a disc chuck mechanism including a biasing member that biases the ring member in a pulling direction, the ring member is divided into a plurality of independent pieces arranged in a ring shape, and the ring member is engaged with each of the pieces. Then, an elastic ring that urges the ring formed by each piece in a direction to reduce the diameter of the ring, and an advance and retreat of each piece that moves back and forth with respect to the central opening according to the expansion and contraction of the diameter of the formed ring. A disc chuck mechanism comprising: a guide member that is guided by a plurality of fins that radially extend in a radial direction of the formed ring.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011192368A (en) * | 2010-03-17 | 2011-09-29 | Hitachi High-Technologies Corp | Disk clamp mechanism, magnetic head, and magnetic disk checker |
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- 2001-09-19 JP JP2001284501A patent/JP4018891B2/en not_active Expired - Fee Related
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