JP2003057846A - Method for forming color pattern - Google Patents

Method for forming color pattern

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JP2003057846A
JP2003057846A JP2001246981A JP2001246981A JP2003057846A JP 2003057846 A JP2003057846 A JP 2003057846A JP 2001246981 A JP2001246981 A JP 2001246981A JP 2001246981 A JP2001246981 A JP 2001246981A JP 2003057846 A JP2003057846 A JP 2003057846A
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JP
Japan
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pigment
acid
resin composition
photosensitive resin
colored photosensitive
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Application number
JP2001246981A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideyuki Nakai
英之 中井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for forming a color pattern (5) having a square or forward tapered cross section with stable sensitivity. SOLUTION: The method for forming the pattern is carried out by irradiating a layer (1) made of a color photosensitive resin composition containing (A) a pigment, (B) a binder resin, (C) addition polymerizable compound having an ethylenic unsaturated bond and (D) a photopolymerization initiator with rays (4) through a photomask (3) and then dissolving the region (11) not irradiated with rays in the layer (1) in a developer at >=60 nm/sec dissolving rate.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、着色パターンの形
成方法に関し、詳しくはカラーフィルターを構成する着
色パターン、特にはブラックマトリックスの形成方法に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a colored pattern, and more particularly to a method for forming a colored pattern constituting a color filter, particularly a black matrix.

【０００２】[0002]

【従来の技術】カラーフィルター（６）は、例えば液晶
表示装置に組み込まれて該装置の表示画像をカラー化す
るために用いられたり、固体撮像素子に組み込まれてカ
ラー画像を得るために用いられる光学素子であって、基
板（２）上の同一平面上に互いに隣接して形成された着
色パターン（５）からなるものが知られている。ここ
で、着色パターンは、例えば赤色画素（５Ｒ）、緑色画
素（５Ｇ）および青色画素（５Ｂ）の３原色の色画素
と、各色画素の境界に形成されたブラックマトリックス
（５ＢＭ）とが挙げられる。ここで、各色の色画素は各
色に着色された透明な層であり、ブラックマトリックス
は黒色で可視光を実質的に透過しない層である（図
１）。2. Description of the Related Art A color filter (6) is used, for example, in a liquid crystal display device to colorize a display image of the device, or in a solid-state image pickup device to obtain a color image. Optical elements are known which consist of colored patterns (5) formed adjacent to each other on the same plane on a substrate (2). Here, examples of the colored pattern include color pixels of three primary colors of a red pixel (5R), a green pixel (5G) and a blue pixel (5B), and a black matrix (5BM) formed at the boundary of each color pixel. . Here, the color pixel of each color is a transparent layer colored in each color, and the black matrix is a layer that is black and does not substantially transmit visible light (FIG. 1).

【０００３】かかるカラーフィルター（６）の製造方法
としては、着色感光性樹脂組成物の固形分からなる着色
感光性樹脂組成物層（１）を基板（２）の上に形成し
（図２(a)）、該層（１）にフォトマスク（３）を介し
て光線（４）を照射して露光したのち（図２(b)）、光
線未照射領域（１１）を現像液に溶解させて着色パター
ン（５）を形成する方法が知られている（図２(c)）。
かかる方法において、光線照射領域（１２）は現像液に
溶解することなく残って着色パターン（５）を構成す
る。着色感光性樹脂組成物に含まれる顔料の色を替えな
がら上記操作を繰返し行い、各色の着色パターンを順次
形成することによって（図３〜図４）、カラーフィルタ
ー（６）を形成することができる。得られた着色パター
ン（５）の上には、蒸着法などの方法により、インジウ
ムースズ複合酸化物（ＩＴＯ）などからなる透明導電膜
が形成される。As a method for producing such a color filter (6), a colored photosensitive resin composition layer (1) composed of solid components of a colored photosensitive resin composition is formed on a substrate (2) (see FIG. 2 (a)). )), After irradiating the layer (1) with a light beam (4) through a photomask (3) (FIG. 2 (b)), the unirradiated region (11) is dissolved in a developing solution. A method of forming a colored pattern (5) is known (FIG. 2 (c)).
In such a method, the light-irradiated area (12) remains without being dissolved in the developer to form the colored pattern (5). The color filter (6) can be formed by repeating the above operation while changing the color of the pigment contained in the colored photosensitive resin composition to sequentially form the colored pattern of each color (FIGS. 3 to 4). . A transparent conductive film made of indium tin oxide composite oxide (ITO) or the like is formed on the obtained colored pattern (5) by a method such as a vapor deposition method.

【０００４】ここで、露光時間を短くするために、露光
における光線（４）の照射量が少なくても安定して着色
パターンが形成されることが好ましい。また、欠陥の少
ない透明導電膜を形成するために、該着色パターンの断
面形状は基板（２）側の幅（Ｗ 0）がその反対側の幅
（Ｗ1）と概ね等しい（Ｗ0＝Ｗ1）矩形状（図５(a)）で
あるか、または基板側の幅（Ｗ0）がその反対側の幅
（Ｗ1）よりも広い（Ｗ0＞Ｗ1）順テーパー状（図５
(b)）であることが好ましい。Here, in order to shorten the exposure time, the exposure
Stable coloring even with a small amount of light (4)
It is preferable that a pattern is formed. Also, there are few defects
In order to form a transparent conductive film,
The surface shape is the width (W 0) Is the width on the other side
(W1) Is almost equal (W0= W1) With a rectangular shape (Fig. 5 (a))
Yes, or width on the substrate side (W0) Is the width on the other side
(W1Wider than ()0> W1) Forward taper shape (Fig. 5)
(b)) is preferred.

【０００５】しかし、かかる従来の方法では、光線照射
量を少なくすると、目的とする着色パターン（５）が形
成し難い場合があるという問題や、形成される着色パタ
ーンは基板側の幅（Ｗ0）がその反対側の幅（Ｗ1）より
も狭い（Ｗ0＜Ｗ1）、逆テーパー状（図５(c)）になり
易いという問題があった。However, in such a conventional method, when the light irradiation amount is reduced, it may be difficult to form the desired colored pattern (5), and the formed colored pattern has a width (W 0 on the substrate side). ) Is narrower than the width (W 1 ) on the opposite side (W 0 <W 1 ), and there is a problem that it tends to have an inverse taper shape (FIG. 5C).

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明者は、少
ない光線照射量でも、断面形状が矩形ないし順テーパー
状の着色パターンを安定して形成し得る方法を開発する
べく鋭意検討した結果、光線未照射領域の現像液への溶
解速度を特定の範囲とすれば、露光における光線照射量
を少なくしても、断面形状が矩形ないし順テーパー状の
着色パターンを安定して形成し得ることを見出し、本発
明に至った。Therefore, the present inventor has made earnest studies as a result of developing a method capable of stably forming a colored pattern having a rectangular cross section or a forward tapered shape even with a small light irradiation amount. It has been found that if the dissolution rate of the unirradiated area in the developing solution is set within a specific range, a colored pattern having a rectangular or forward-tapered cross-sectional shape can be stably formed even if the light irradiation amount in exposure is reduced. The present invention has been reached.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、
（Ａ）顔料、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）エチレン性
不飽和結合を有し付加重合可能な化合物および（Ｄ）光
重合開始剤を含む着色感光性樹脂組成物からなる層にフ
ォトマスクを介して光線を照射したのち、該層の光線未
照射領域を６０ｎｍ／秒以上の溶解速度で現像液に溶解
させることを特徴とする着色パターンの形成方法を提供
するものである。That is, the present invention is as follows.
A photomask is provided on a layer composed of a pigmented photosensitive resin composition containing (A) a pigment, (B) a binder resin, (C) a compound having an ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization, and (D) a photopolymerization initiator. The present invention provides a method for forming a colored pattern, which comprises irradiating a light beam through the layer and then dissolving the unirradiated region of the layer in a developing solution at a dissolution rate of 60 nm / sec or more.

【０００８】[0008]

【発明の実施の形態】本発明の形成方法において使用さ
れる着色感光性樹脂組成物に含まれる（Ａ）顔料は、無
機顔料であってもよいし、有機顔料であってもよい。無
機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩のような金属化
合物が挙げられ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニ
ウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、ク
ロム、亜鉛、アンチモンなどの金属の酸化物または複合
金属酸化物が挙げられる。また、有機顔料として具体的
には、カラーインデックス（Colour Index）（ザ・ソサ
イアティ・オブ・ダイヤーズ・アンド・カラーリスツ
（The Society of Dyers andColourists ）出版）で、
ピグメント（Pigment）に分類されている化合物が挙げ
られる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The pigment (A) contained in the colored photosensitive resin composition used in the forming method of the present invention may be an inorganic pigment or an organic pigment. Examples of the inorganic pigment include metal compounds such as metal oxides and metal complex salts. Examples thereof include oxides and mixed metal oxides. In addition, as an organic pigment, specifically, in the Color Index (published by The Society of Dyers and Colourists),
Examples thereof include compounds classified as Pigment.

【０００９】ブラックマトリックスを形成するには、黒
色顔料を含有して黒色に着色された着色感光性樹脂組成
物を用いる。赤色画素、緑色画素、青色画素などの色画
素を形成するには、目的とする色画素に対応する色の顔
料を含有して各色に着色された着色感光性樹脂組成物を
用いる。To form a black matrix, a colored photosensitive resin composition containing a black pigment and colored black is used. In order to form color pixels such as red pixels, green pixels, and blue pixels, a colored photosensitive resin composition containing a pigment of a color corresponding to the intended color pixel and colored in each color is used.

【００１０】黒色顔料としては、例えばカーボンブラッ
ク、特開平５−３１１１０９号公報、特開平６−１１６
１３号公報等に記載の黒鉛、特開平４−３２２２１９号
公報、特開平３−２７４５０３号公報等に記載の無機黒
色顔料、特開平２−２１６１０２号公報等に記載のアゾ
系ブラック色素、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．
Ｉ．ピグメントブラック７などの有機黒色顔料などを用
いることができる。黒色に着色された着色感光性樹脂組
成物は、顔料として、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、
黄色顔料、シアン色顔料、マゼンタ色顔料などを含有し
ていてもよい。As the black pigment, for example, carbon black, JP-A-5-311109 and JP-A-6-116 can be used.
No. 13 and the like, inorganic black pigments such as JP-A-4-322219 and JP-A-3-274503, azo black dyes such as JP-A-2-216102, C.I. I. Pigment Black 1, C.I.
I. Pigment Black 7 and other organic black pigments can be used. The colored photosensitive resin composition colored in black, as a pigment, a red pigment, a green pigment, a blue pigment,
It may contain a yellow pigment, a cyan pigment, a magenta pigment, and the like.

【００１１】各色に着色された着色感光性樹脂組成物
は、各色の顔料を含有する。各色の含量として１種の顔
料を含有していてもよいし、２種以上の顔料を含有して
いてもよい。かかる顔料としては、例えばＣ．Ｉ．ピグ
メントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメント
イエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエ
ロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．
ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー
２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントイエロー５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー６
０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー６１、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントイエロー６５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー７１、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー７３、Ｃ．Ｉ．ピグメント
イエロー７４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８１、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエ
ロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９５、Ｃ．Ｉ．
ピグメントイエロー９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー
９８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１００、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントイエロー１０１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー
１０４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０６、Ｃ．Ｉ．
ピグメントイエロー１０８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロ
ー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー１１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイ
エロー１１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１６、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トイエロー１１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２
０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２６、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントイエロー１２７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１
２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２９、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー
１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．
ピグメントイエロー１５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロ
ー１５２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイ
エロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５６、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トイエロー１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７
５、The colored photosensitive resin composition colored in each color contains the pigment of each color. As the content of each color, one kind of pigment may be contained, or two or more kinds of pigment may be contained. Examples of such pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1, C.I. I. Pigment Yellow 3,
C. I. Pigment Yellow 12, C.I. I. Pigment Yellow 13, C.I. I. Pigment Yellow 14, C.I.
I. Pigment Yellow 15, C.I. I. Pigment Yellow 16, C.I. I. Pigment Yellow 17, C.I. I.
Pigment Yellow 20, C.I. I. Pigment Yellow 24, C.I. I. Pigment Yellow 31, C.I. I. Pigment Yellow 55, C.I. I. Pigment Yellow 6
0, C.I. I. Pigment Yellow 61, C.I. I. Pigment Yellow 65, C.I. I. Pigment Yellow 71,
C. I. Pigment Yellow 73, C.I. I. Pigment Yellow 74, C.I. I. Pigment Yellow 81, C.I.
I. Pigment Yellow 83, C.I. I. Pigment Yellow 93, C.I. I. Pigment Yellow 95, C.I. I.
Pigment Yellow 97, C.I. I. Pigment Yellow 98, C.I. I. Pigment Yellow 100, C.I. I. Pigment Yellow 101, C.I. I. Pigment Yellow 104, C.I. I. Pigment Yellow 106, C.I. I.
Pigment Yellow 108, C.I. I. Pigment Yellow 109, C.I. I. Pigment Yellow 110, C.I.
I. Pigment Yellow 113, C.I. I. Pigment Yellow 114, C.I. I. Pigment Yellow 116,
C. I. Pigment Yellow 117, C.I. I. Pigment Yellow 119, C.I. I. Pigment Yellow 12
0, C.I. I. Pigment Yellow 126, C.I. I. Pigment Yellow 127, C.I. I. Pigment Yellow 1
28, C.I. I. Pigment Yellow 129, C.I. I. Pigment Yellow 138, C.I. I. Pigment Yellow 139, C.I. I. Pigment Yellow 150, C.I. I.
Pigment Yellow 151, C.I. I. Pigment Yellow 152, C.I. I. Pigment Yellow 153, C.I.
I. Pigment Yellow 154, C.I. I. Pigment Yellow 155, C.I. I. Pigment Yellow 156,
C. I. Pigment Yellow 166, C.I. I. Pigment Yellow 168, C.I. I. Pigment Yellow 17
5,

【００１２】Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１、Ｃ．Ｉ．
ピグメントオレンジ５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１
３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１４、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントオレンジ１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１７、
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２４、Ｃ．Ｉ．ピグメント
オレンジ３４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．
Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレ
ンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．
ピグメントオレンジ４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ
４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６
３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３、C. I. Pigment Orange 1, C.I. I.
Pigment Orange 5, C.I. I. Pigment Orange 1
3, C.I. I. Pigment Orange 14, C.I. I. Pigment Orange 16, C.I. I. Pigment Orange 17,
C. I. Pigment Orange 24, C.I. I. Pigment Orange 34, C.I. I. Pigment Orange 36, C.I.
I. Pigment Orange 38, C.I. I. Pigment Orange 40, C.I. I. Pigment Orange 43, C.I. I.
Pigment Orange 46, C.I. I. Pigment Orange 49, C.I. I. Pigment Orange 51, C.I. I. Pigment Orange 61, C.I. I. Pigment Orange 6
3, C.I. I. Pigment Orange 64, C.I. I. Pigment Orange 71, C.I. I. Pigment Orange 73,

【００１３】Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．
Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメント
バイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２
９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオ
レット３８、C. I. Pigment Violet 1, C.I.
I. Pigment violet 19, C.I. I. Pigment Violet 23, C.I. I. Pigment Violet 2
9, C.I. I. Pigment Violet 32, C.I. I. Pigment Violet 36, C.I. I. Pigment Violet 38,

【００１４】Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントレッド２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド
５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６、Ｃ．Ｉ．ピグメント
レッド７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントレッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド１１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド
１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド
１８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド２１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド
３０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３１、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３７、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド
４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４１、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：１、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：２、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トレッド４８：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：
４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４９：１、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントレッド４９：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５
０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５２：１、Ｃ．Ｉ．
ピグメントレッド５３：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド
５７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５７：１、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントレッド５８：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５
８：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６０：１、Ｃ．Ｉ．
ピグメントレッド６３：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド
６３：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６４：１、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド８１：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレ
ッド８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８８、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントレッド９０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９
７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０１、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド１０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０４、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメント
レッド１０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０８、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド１１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッ
ド１１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１４、Ｃ．Ｉ．
ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１
２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントレッド１４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４
９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド１５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント
レッド１７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７１、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド１７２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッ
ド１７４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７５、Ｃ．Ｉ．
ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１
７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７８、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントレッド１７９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８
０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド１８７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８８、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９０、Ｃ．Ｉ．ピグメント
レッド１９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９４、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド２０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッ
ド２０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０７、Ｃ．Ｉ．
ピグメントレッド２０８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２
０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２
０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド２２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４３、Ｃ．Ｉ．ピグメント
レッド２４５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド２５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッ
ド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５、C. I. Pigment Red 1, C.I. I. Pigment Red 2, C.I. I. Pigment Red 3, C.I.
I. Pigment Red 4, C.I. I. Pigment Red 5, C.I. I. Pigment Red 6, C.I. I. Pigment Red 7, C.I. I. Pigment Red 8, C.I. I. Pigment Red 9, C.I. I. Pigment Red 10, C.I.
I. Pigment Red 11, C.I. I. Pigment Red 12, C.I. I. Pigment Red 14, C.I. I. Pigment Red 15, C.I. I. Pigment Red 16, C.I.
I. Pigment Red 17, C.I. I. Pigment Red 18, C.I. I. Pigment Red 19, C.I. I. Pigment Red 21, C.I. I. Pigment Red 22, C.I.
I. Pigment Red 23, C.I. I. Pigment Red 30, C.I. I. Pigment Red 31, C.I. I. Pigment Red 32, C.I. I. Pigment Red 37, C.I.
I. Pigment Red 38, C.I. I. Pigment Red 40, C.I. I. Pigment Red 41, C.I. I. Pigment Red 42, C.I. I. Pigment Red 48: 1,
C. I. Pigment Red 48: 2, C.I. I. Pigment Red 48: 3, C.I. I. Pigment Red 48:
4, C.I. I. Pigment Red 49: 1, C.I. I. Pigment Red 49: 2, C.I. I. Pigment Red 5
0: 1, C.I. I. Pigment Red 52: 1, C.I. I.
Pigment Red 53: 1, C.I. I. Pigment Red 57, C.I. I. Pigment Red 57: 1, C.I. I. Pigment Red 58: 2, C.I. I. Pigment Red 5
8: 4, C.I. I. Pigment Red 60: 1, C.I. I.
Pigment Red 63: 1, C.I. I. Pigment Red 63: 2, C.I. I. Pigment Red 64: 1, C.I.
I. Pigment Red 81: 1, C.I. I. Pigment Red 83, C.I. I. Pigment Red 88, C.I. I. Pigment Red 90: 1, C.I. I. Pigment Red 9
7, C.I. I. Pigment Red 101, C.I. I. Pigment Red 102, C.I. I. Pigment Red 104,
C. I. Pigment Red 105, C.I. I. Pigment Red 106, C.I. I. Pigment Red 108, C.I.
I. Pigment Red 112, C.I. I. Pigment Red 113, C.I. I. Pigment Red 114, C.I. I.
Pigment Red 122, C.I. I. Pigment Red 1
23, C.I. I. Pigment Red 144, C.I. I. Pigment Red 146, C.I. I. Pigment Red 14
9, C.I. I. Pigment Red 150, C.I. I. Pigment Red 151, C.I. I. Pigment Red 166,
C. I. Pigment Red 168, C.I. I. Pigment Red 170, C.I. I. Pigment Red 171, C.I.
I. Pigment Red 172, C.I. I. Pigment Red 174, C.I. I. Pigment Red 175, C.I. I.
Pigment Red 176, C.I. I. Pigment Red 1
77, C.I. I. Pigment Red 178, C.I. I. Pigment Red 179, C.I. I. Pigment Red 18
0, C.I. I. Pigment Red 185, C.I. I. Pigment Red 187, C.I. I. Pigment Red 188,
C. I. Pigment Red 190, C.I. I. Pigment Red 193, C.I. I. Pigment Red 194, C.I.
I. Pigment Red 202, C.I. I. Pigment Red 206, C.I. I. Pigment Red 207, C.I. I.
Pigment Red 208, C.I. I. Pigment Red 2
09, C.I. I. Pigment Red 215, C.I. I. Pigment Red 216, C.I. I. Pigment Red 22
0, C.I. I. Pigment Red 224, C.I. I. Pigment Red 226, C.I. I. Pigment Red 242,
C. I. Pigment Red 243, C.I. I. Pigment Red 245, C.I. I. Pigment Red 254, C.I.
I. Pigment Red 255, C.I. I. Pigment Red 264, C.I. I. Pigment Red 265,

【００１５】Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．
ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー
１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．
Ｉ．ピグメントブルー６０、C. I. Pigment Blue 15, C.I. I.
Pigment Blue 15: 3, C.I. I. Pigment Blue 15: 4, C.I. I. Pigment Blue 15: 6, C.I.
I. Pigment Blue 60,

【００１６】Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．
ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン
２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５などが挙げられ
る。C. I. Pigment Green 7, C.I. I.
Pigment Green 36, C.I. I. Pigment Brown 23, C.I. I. Pigment Brown 25 and the like.

【００１７】かかる顔料の中でも、好ましい顔料として
は、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１
２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントイエロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー
１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５
４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、ピグメントブラッ
ク７などが挙げられ、特に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメン
トイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、ピグメントブラック７
である。Among these pigments, preferred pigments include C.I. I. Pigment Yellow 117, C.I. I. Pigment Yellow 128, C.I. I. Pigment Yellow 1
29, C.I. I. Pigment Yellow 150, C.I. I. Pigment Yellow 155, C.I. I. Pigment Yellow 185, C.I. I. Pigment Red 209, C.I. I. Pigment Red 242, C.I. I. Pigment Red 25
4, C.I. I. Pigment Black 1, Pigment Black 7 and the like, and particularly preferably C.I. I. Pigment Yellow 150, C.I. I. Pigment Red 254,
C. I. Pigment Black 1 and Pigment Black 7
Is.

【００１８】顔料の粒径は、平均粒径で０．００５μｍ
〜０．２μｍであることが好ましく、より好ましくは
０．０１μｍ〜０．１μｍである。かかる粒径の顔料
は、例えばニーダー法、硫酸法、アルカリ還元溶解法な
どの公知の方法により製造することができる。The average particle size of the pigment is 0.005 μm.
˜0.2 μm, more preferably 0.01 μm to 0.1 μm. The pigment having such a particle size can be produced by a known method such as a kneader method, a sulfuric acid method, or an alkali reduction dissolution method.

【００１９】顔料は、その表面がポリマーなどで改質さ
れていてもよい。ポリマーとしては、例えば特開平８−
２５９８７６号公報等に記載されたポリマーや、市販の
各種の顔料分散用ポリマーなどを挙げることができる。
具体的にはアクリル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル樹
脂、マレイン酸樹脂、エチルセルロース樹脂、ニトロセ
ルロース樹脂などを挙げることができる。樹脂で処理さ
れた加工顔料の形態としては、樹脂と顔料が均一に分散
している粉末、ペースト状、ペレット状が好ましい。The surface of the pigment may be modified with a polymer or the like. As the polymer, for example, JP-A-8-
Examples thereof include polymers described in JP-A-259876 and various commercially available pigment dispersion polymers.
Specific examples thereof include acrylic resin, vinyl chloride-vinyl acetate resin, maleic acid resin, ethyl cellulose resin, nitrocellulose resin and the like. The form of the processed pigment treated with the resin is preferably powder, paste or pellet in which the resin and the pigment are uniformly dispersed.

【００２０】着色感光性樹脂組成物における顔料の含有
量は、揮発成分が揮発した後の固形分に対して質量分率
で、通常２０％以上６０％以下、好ましくは３０％以上
６０％以下である。The content of the pigment in the colored photosensitive resin composition is usually 20% or more and 60% or less, preferably 30% or more and 60% or less in terms of mass fraction with respect to the solid content after the volatile components are volatilized. is there.

【００２１】（Ｂ）バインダー樹脂は、着色感光性樹脂
組成物層に、その光線未照射領域が現像液に溶解する性
質を付与する成分であり、また着色感光性樹脂組成物層
や形成された着色パターンにおいて顔料を分散させる分
散媒として機能するものである。The binder resin (B) is a component that imparts to the colored photosensitive resin composition layer a property that the unirradiated region of the colored resin dissolves in a developing solution, and the colored photosensitive resin composition layer or the formed layer. It functions as a dispersion medium for dispersing the pigment in the coloring pattern.

【００２２】かかるバインダー樹脂としては、例えばア
クリル系共重合体であってもよいし、式（Ｉ） 〔式中、Ｒ1およびＲ2はそれぞれ独立に水素原子、炭素
数１〜５のアルキル基またはハロゲン原子を示し、Ｒ4
は水素原子またはメチル基を示し、Ｘは式（Ｉ−１）〜
（Ｉ−６） のいずれかで示される２価の残基を示し、Ｒ3は置換基
を有していてもよい炭素数１〜１０のアルキレン基を示
し、ｍは０〜５の整数を示し、ｎは１〜１０の整数を示
す。〕で示される化合物と多塩基酸との縮重合物（特開
平４−３５５４５０号公報、特開平９−４０７４５号公
報、特開平０９−３２５４９４号公報、特開２０００−
２８１７３８公報）であってもよい。The binder resin may be, for example, an acrylic copolymer, or may be of the formula (I) Wherein, R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group or a halogen atom having 1 to 5 carbon atoms, R 4
Represents a hydrogen atom or a methyl group, and X represents formula (I-1) to
(I-6) Represents a divalent residue represented by any of the following, R 3 represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms which may have a substituent, m represents an integer of 0 to 5, and n represents 1 Indicates an integer of -10. ] A polycondensation product of a compound represented by the formula with a polybasic acid (JP-A-4-355450, JP-A-9-40745, JP-A-09-325494, JP-A-2000-
281738).

【００２３】アクリル系共重合体としては、例えばカル
ボキシル基含有モノマーおよびこれと共重合可能な他の
モノマーとの共重合体が挙げられる。カルボキシル基含
有モノマーとしては、例えば不飽和モノカルボン酸や、
不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの不飽
和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも１個のカル
ボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。こ
こで、不飽和モノカルボン酸としては、例えばアクリル
酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル
酸、けい皮酸などが挙げられる。不飽和ジカルボン酸と
しては、例えばマレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シ
トラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。不飽和多価
カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン
酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などであっても
よい。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ（２−
メタクリロイロキシアルキル）エステルであってもよ
く、具体的には、例えばこはく酸モノ（２−アクリロイ
ロキシエチル）、こはく酸モノ（２−メタクリロイロキ
シエチル）、フタル酸モノ（２−アクリロイロキシエチ
ル）、フタル酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）
などであってもよい。不飽和多価カルボン酸は、その両
末端ジカルボキシポリマーのモノ（メタ）アクリレート
であってもよく、具体的にはω−カルボキシポリカプロ
ラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロ
ラクトンモノメタクリレートなどであってもよい。かか
るカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独でまた
は２種以上を混合して用いることができる。The acrylic copolymer includes, for example, a carboxyl group-containing monomer and a copolymer with another monomer copolymerizable therewith. Examples of the carboxyl group-containing monomer include unsaturated monocarboxylic acid and
Unsaturated carboxylic acids having at least one carboxyl group in the molecule such as unsaturated polycarboxylic acids such as unsaturated dicarboxylic acids and unsaturated tricarboxylic acids are mentioned. Here, examples of the unsaturated monocarboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, and cinnamic acid. Examples of unsaturated dicarboxylic acids include maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid, mesaconic acid and the like. The unsaturated polycarboxylic acid may be an acid anhydride thereof, specifically maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, or the like. Further, the unsaturated polycarboxylic acid is the mono (2-
Methacryloyloxyalkyl) ester may be used, and specifically, for example, mono (2-acryloyloxyethyl) succinate, mono (2-methacryloyloxyethyl) succinate, mono (2-acryloylphthalate). Roxyethyl), mono (2-methacryloyloxyethyl) phthalate
And so on. The unsaturated polycarboxylic acid may be a mono (meth) acrylate of a dicarboxy polymer at both ends thereof, specifically, ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate or ω-carboxypolycaprolactone monomethacrylate. Good. These carboxyl group-containing monomers can be used alone or in admixture of two or more.

【００２４】かかるカルボキシル基含有モノマーと共重
合可能な他のモノマーとしては、例えばスチレン、α−
メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトル
エン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−
メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキ
シスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−
ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメ
チルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテ
ル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニ
ルベンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族
ビニル化合物、Other monomers copolymerizable with the carboxyl group-containing monomer include, for example, styrene and α-
Methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-
Methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzyl methyl ether, m-
Aromatic vinyl compounds such as vinylbenzyl methyl ether, p-vinylbenzyl methyl ether, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether and indene,

【００２５】メチルアクリレート、メチルメタクリレー
ト、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−
プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、
ｉ−プロピルアクリレート、ｉ−プロピルメタクリレー
ト、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレー
ト、ｉ−ブチルアクリレート、ｉ−ブチルメタクリレー
ト、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタ
クリレート、ｔ−ブチルアクリレート、ｔ−ブチルメタ
クリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−
ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレ
ート、３−ヒドロキシプロピルアクリレート、３−ヒド
ロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチル
アクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、
３−ヒドロキシブチルアクリレート、３−ヒドロキシブ
チルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレー
ト、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアク
リレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレ
ート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリ
レート、フェニルメタクリレート、２−メトキシエチル
アクリレート、２−メトキシエチルメタクリレート、２
−フェノキシエチルアクリレート、２−フェノキシエチ
ルメタクリレート、メトキシジエチレングルコールアク
リレート、メトキシジエチレングルコールメタクリレー
ト、メトキシトリエチレングルコールアクリレート、メ
トキシトリエチレングルコールメタクリレート、メトキ
シプロピレングルコールアクリレート、メトキシプロピ
レングルコールメタクリレート、メトキシジプロピレン
グルコールアクリレート、メトキシジプロピレングルコ
ールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソ
ボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアク
リレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、２
−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、
２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルメタクリレー
ト、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノ
メタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類、Methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-
Propyl acrylate, n-propyl methacrylate,
i-propyl acrylate, i-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, i-butyl acrylate, i-butyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl acrylate, t-butyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-
Hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxybutyl methacrylate,
3-hydroxybutyl acrylate, 3-hydroxybutyl methacrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, allyl acrylate, allyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, 2- Methoxyethyl acrylate, 2-methoxyethyl methacrylate, 2
-Phenoxyethyl acrylate, 2-phenoxyethyl methacrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol methacrylate, methoxypropylene glycol acrylate, methoxypropylene glycol methacrylate, methoxy Dipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, isobornyl acrylate, isobornyl methacrylate, dicyclopentadienyl acrylate, dicyclopentadienyl methacrylate, 2
-Hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate,
Unsaturated carboxylic acid esters such as 2-hydroxy-3-phenoxypropyl methacrylate, glycerol monoacrylate, glycerol monomethacrylate,

【００２６】２−アミノエチルアクリレート、２−アミ
ノエチルメタクリレート、２−ジメチルアミノエチルア
クリレート、２−ジメチルアミノエチルメタクリレー
ト、２−アミノプロピルアクリレート、２−アミノプロ
ピルメタクリレート、２−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、２−ジメチルアミノプロピルメタクリレー
ト、３−アミノプロピルアクリレート、３−アミノプロ
ピルメタクリレート、３−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、３−ジメチルアミノプロピルメタクリレート
などの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、2-aminoethyl acrylate, 2-aminoethyl methacrylate, 2-dimethylaminoethyl acrylate, 2-dimethylaminoethyl methacrylate, 2-aminopropyl acrylate, 2-aminopropyl methacrylate, 2-dimethylaminopropyl acrylate, 2- Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as dimethylaminopropyl methacrylate, 3-aminopropyl acrylate, 3-aminopropyl methacrylate, 3-dimethylaminopropyl acrylate and 3-dimethylaminopropyl methacrylate,

【００２７】グリシジルアクリレート、グリシジルメタ
クリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル
類、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安
息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類、Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate, vinyl carboxylic acid esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate and vinyl benzoate,

【００２８】ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエー
テル、アリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル
類、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロ
ロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン
化ビニル化合物、Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether and allyl glycidyl ether, vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile, α-chloroacrylonitrile and vinylidene cyanide,

【００２９】アクリルアミド、メタクリルアミド、α−
クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルアク
リルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルメタクリルアミ
ドなどの不飽和アミド類、Acrylamide, methacrylamide, α-
Unsaturated amides such as chloroacrylamide, N-2-hydroxyethylacrylamide, N-2-hydroxyethylmethacrylamide,

【００３０】マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ
−シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類、
１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの
脂肪族共役ジエン類、Maleimide, N-phenylmaleimide, N
-Unsaturated imides such as cyclohexylmaleimide,
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene,

【００３１】ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、
ポリメチルメタクリレート、ポリ−ｎ−ブチルアクリレ
ート、ポリ−ｎ−ブチルメタクリレート、ポリシロキサ
ンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基あるいは
モノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類などを
挙げることができる。これらのモノマーは、それぞれ単
独でまたは２種以上を混合して使用することができる。Polystyrene, polymethyl acrylate,
Examples thereof include macromonomers having a monoacryloyl group or a monomethacryloyl group at the terminal of the polymer molecular chain of polymethylmethacrylate, poly-n-butylacrylate, poly-n-butylmethacrylate, polysiloxane. These monomers can be used alone or in admixture of two or more.

【００３２】かかる共重合体におけるカルボキシル基含
有モノマー単位の含有量は、質量分率で通常１０〜５０
％程度、好ましくは１５〜４０％程度である。The content of the carboxyl group-containing monomer unit in such a copolymer is usually 10 to 50 in terms of mass fraction.
%, Preferably about 15-40%.

【００３３】かかるアクリル系重合体としては、例えば
（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重
合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレ
ート共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエ
チル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレ
ート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）ア
クリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポ
リメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、（メ
タ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリ
スチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸
／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチルメタクリ
レートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／
２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル
（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共
重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート
／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
メタクリル酸／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレー
ト／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリ
ル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／
スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニ
ルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸
モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／アリ
ル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重
合体（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレー
ト／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／グリセロール
モノ（メタ）アクリレート共重合体などが挙げられる。
なお、（メタ）アクリレートとは、アクリレートまたは
メタクリレートであることを示す。Examples of such acrylic polymers include (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymers, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymers, (meth) acrylic acid / 2- Hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polymethylmethacrylate macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) Acrylate / polymethylmethacrylate macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid /
2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethylmethacrylate macromonomer copolymer Coalescing,
Methacrylic acid / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / mono (2-acryloyloxyethyl) succinate /
Styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / mono (2-acryloyloxyethyl) succinate / styrene / allyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer ( Examples thereof include (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide / styrene / glycerol mono (meth) acrylate copolymer.
In addition, (meth) acrylate shows that it is an acrylate or a methacrylate.

【００３４】中でもベンジルメタクリレート／メタクリ
ル酸共重合体、ベンジルメタクリレート／メタクリル酸
／スチレン共重合体、メチルメタクリレート／メタクリ
ル酸共重合体、メチルメタクリレート／メタクリル酸／
スチレン共重合体などが好ましい。Among them, benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, benzyl methacrylate / methacrylic acid / styrene copolymer, methyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, methyl methacrylate / methacrylic acid /
A styrene copolymer and the like are preferable.

【００３５】かかるアクリル系重合体は、そのポリスチ
レン換算重量平均分子量が３，０００〜４００，０００
の範囲であることが好ましく、より好ましくは５，００
０〜１００，０００の範囲である。また、酸価は３０〜
２５０が好ましく、より好ましくは６０〜１８０の範囲
である。ここで酸価は重合体１ｇを中和するに必要な水
酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、
通常は水酸化カリウム水溶液を用いた滴定荷より求める
ことができる値である。The acrylic polymer has a polystyrene-reduced weight average molecular weight of 3,000 to 400,000.
The range is preferably, and more preferably 5,000
It is in the range of 0 to 100,000. The acid value is 30 to
It is preferably 250, more preferably 60 to 180. Here, the acid value is a value measured as the amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of the polymer,
Usually, it is a value that can be obtained by titration using an aqueous potassium hydroxide solution.

【００３６】バインダー樹脂として使用し得る式（Ｉ）
で示される化合物と多塩基酸との縮重合物は、式（Ｉ）
で示される化合物と多塩基酸とを縮重合させて得られる
生成物または式（Ｉ）で示される化合物と多塩基酸無水
物とを縮重合させて得られる生成物である。多塩基酸と
しては、例えばマレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フ
タル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル
酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロ
レンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリメリット
酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン
酸、４，４’−ジフタル酸をはじめとするビフェニルテ
トラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸
などが挙げられる。多塩基酸無水物としては、上記多塩
基酸の無水物などが挙げられる。かかる多塩基酸または
多塩基酸無水物はそれぞれ単独でまたは２種以上を混合
して用いることができる。Formula (I) that can be used as a binder resin
The polycondensation product of the compound represented by
It is a product obtained by polycondensing a compound represented by and a polybasic acid, or a product obtained by polycondensing a compound represented by the formula (I) and a polybasic acid anhydride. Examples of the polybasic acid include maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, methylendomethylenetetrahydrophthalic acid, chlorendic acid, methyltetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, and pyromellitic acid. , Benzophenone tetracarboxylic acid, biphenyl tetracarboxylic acid such as 4,4′-diphthalic acid, and biphenyl ether tetracarboxylic acid. Examples of polybasic acid anhydrides include anhydrides of the above polybasic acids. These polybasic acids or polybasic acid anhydrides can be used alone or in admixture of two or more.

【００３７】多塩基酸または多塩基酸無水物の使用量
は、式（Ｉ）で示される化合物と多塩基酸または多塩基
酸無水物との合計量に対して物質量比（モル比）で５％
以上９５％以下、さらには１０％以上９０％以下程度で
あることが好ましい。縮重合物の酸価は７０〜１７０程
度、さらには８０〜１４０程度であることが好ましい。
ここで酸価は縮重合物１ｇを中和するに必要な水酸化カ
リウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は
水酸化カリウム水溶液を用いた滴定荷より求めることが
できる値である。The amount of the polybasic acid or polybasic acid anhydride used is a substance amount ratio (molar ratio) with respect to the total amount of the compound represented by the formula (I) and the polybasic acid or polybasic acid anhydride. 5%
It is preferably not less than 95% and not more than 10%, more preferably not less than 10% and not more than 90%. The acid value of the polycondensation product is preferably about 70 to 170, and more preferably about 80 to 140.
Here, the acid value is a value measured as an amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of a polycondensation product, and is usually a value that can be obtained by titration using an aqueous potassium hydroxide solution. is there.

【００３８】かかるバインダー樹脂の中でも、式（Ｉ）
で示される化合物と多塩基酸との縮重合物または式
（Ｉ）で示される化合物と多塩基酸無水物との縮重合物
が好ましく、さらには式（Ｉ）におけるＸが式（Ｉ−
１）で示される２価の残基である化合物と多塩基酸との
縮重合物または式（Ｉ）におけるＸが式（Ｉ−１）で示
される２価の残基である化合物と多塩基酸無水物との縮
重合物が好ましい。Among such binder resins, among formula (I)
A polycondensation product of the compound represented by the formula (I) with a polybasic acid or a polycondensation product of the compound represented by the formula (I) and a polybasic acid anhydride is preferable, and X in the formula (I) is represented by the formula (I-
1) A polycondensation product of a compound which is a divalent residue represented by 1) and a polybasic acid, or a compound where X in the formula (I) is a divalent residue represented by the formula (I-1) and a polybase A polycondensation product with an acid anhydride is preferred.

【００３９】かかるバインダー樹脂は、着色感光性樹脂
組成物の固形分に対して質量分率で通常５％以上９０％
以下、好ましくは１０％以上６０％以下の範囲で用いら
れる。The binder resin is usually 5% or more and 90% by mass fraction based on the solid content of the colored photosensitive resin composition.
Below, it is preferably used in the range of 10% to 60%.

【００４０】（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重
合可能な化合物としては、例えば末端にエチレン性不飽
和結合を少なくとも１個、好ましくは２個以上有する化
合物から選ばれ、モノマーであってもよいし、２量体、
３量体およびオリゴマーなどのプレポリマーであっても
よいし、それらの混合物やそれらの共重合体などであっ
てもよい。The compound (C) having an ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization is, for example, selected from compounds having at least one, and preferably two or more ethylenically unsaturated bonds at the terminal, and is a monomer. Good, dimer,
It may be a prepolymer such as a trimer or an oligomer, a mixture thereof or a copolymer thereof.

【００４１】モノマーとしては、例えばアクリル酸、メ
タクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン
酸、マレイン酸などの不飽和カルボン酸と脂肪族多価ア
ルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪
族多価アミン化合物とのアミドなどがあげられる。Examples of the monomer include esters of unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid and maleic acid with aliphatic polyhydric alcohol compounds, unsaturated carboxylic acids and aliphatic polycarboxylic acids. Examples thereof include amides with divalent amine compounds.

【００４２】不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール
化合物とのエステルとしては、例えばエチレングリコー
ルジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレ
ート、１，３−ブタンジオールジアクリレート、テトラ
メチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコ
ールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリ
レート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ト
リメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピ
ル）エ一テル、トリメチロールエタントリアクリレー
ト、へキサンジオールジアクリレート、１，４−シクロ
ヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリ
コールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリ
レート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペン
タエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリス
リトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソル
ビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアク
リレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（ア
クリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ポリエス
テルアクリレートオリゴマーなどのアクリル酸エステ
ル、Examples of the ester of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyhydric alcohol compound include ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, tetramethylene glycol diacrylate and propylene glycol diacrylate. Acrylate, neopentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, hexanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate, tetraethylene Glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol te La acrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, acrylic acid esters such as polyester acrylate oligomer,

【００４３】テトラメチレングリコールジメタクリレー
ト、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペ
ンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプ
ロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリ
メタクリレート、エチレングリコールジメタクリレー
ト、１，３−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサ
ンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジ
メタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレ
ート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジ
ペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメ
タクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビ
ス〔ｐ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロ
ポキシ）フェニル〕ジメチルメタン、ビスー〔ｐ−（メ
タクリルオキシエトキシ）フェニル〕ジメチルメタンな
どのメタクリル酸エステル、Tetramethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol dimethacrylate, hexanediol dimethacrylate. Methacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol dimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, sorbitol trimethacrylate, sorbitol tetramethacrylate, bis [p- (3-methacryloxy-2-hydroxy Propoxy) phenyl] Methacrylic acid esters such as methyl methanesulfonate, bis- [p- (methacryloxyethoxy) phenyl] dimethyl methane,

【００４４】エチレングリコールジイタコネート、プロ
ピレングリコールジイタコネート、１，３−ブタンジオ
ールジイタコネート、１，４ーブタンジオールジイタコ
ネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペ
ンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテト
ライタコネートなどのイタコン酸エステル、Ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate, sorbitol tetra Itaconic acid esters such as itaconate,

【００４５】エチレングリコールジクロトネート、テト
ラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリ
トールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネ
ートのクロトン酸エステルなど、Crotonic acid esters of ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, sorbitol tetradicrotonate, etc.,

【００４６】エチレングリコールジイソクロトネート、
ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトー
ルテトライソクロトネートなどのイソクロトン酸エステ
ル、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリ
コールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、
ソルビトールテトラマレートなどのマレイン酸エステル
などが挙げられる。Ethylene glycol diisocrotonate,
Pentaerythritol diisocrotonate, isocrotonic acid ester such as sorbitol tetraisocrotonate, ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate,
Examples thereof include maleic acid esters such as sorbitol tetramaleate.

【００４７】不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合
物とのアミドとしては、例えばメチレンビス−アクリル
アミド、メチレンビス−メタクリルアミド、１，６−ヘ
キサメチレンビス−アクリルアミド、１，６−ヘキサメ
チレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミン
トリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミ
ド、キシリレンビスメタクリルアミドなどが挙げられ
る。Examples of the amide of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyvalent amine compound include methylenebis-acrylamide, methylenebis-methacrylamide, 1,6-hexamethylenebis-acrylamide and 1,6-hexamethylenebis-methacrylamide. , Diethylenetriamine trisacrylamide, xylylenebisacrylamide, xylylenebismethacrylamide and the like.

【００４８】モノマーの他の例としては、例えば１分子
に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネ
ート化合物に式（II） 〔式中、Ｒ21およびＲ22はそれぞれ独立に水素原子また
はメチル基を示す。〕で示されるビニルモノマーを付加
させて得られるビニルウレタン化合物などが挙げられ
る。かかるビニルウレタン化合物は、１分子中に２個以
上の重合性ビニル基を含有する化合物である（特公昭４
８−４１７０８号公報）。特開昭５１−３７１９３号に
記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭
４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公
昭５２−３０４９０号各公報に記載されているようなポ
リエステルアクリレート類等の多官能のアクリレートや
メタクリレートも挙げられる。日本接着協会誌Ｖｏｌ．
２０、Ｎo．７、３００〜３０８ページ（１９８４年）
に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されて
いるものも使用することができる。As another example of the monomer, for example, a polyisocyanate compound having two or more isocyanate groups in one molecule is represented by the formula (II). [In the formula, R 21 and R 22 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group. ] The vinyl urethane compound etc. which are obtained by adding the vinyl monomer shown by these are mentioned. Such a vinyl urethane compound is a compound containing two or more polymerizable vinyl groups in one molecule (Japanese Patent Publication No. 4).
8-41708). Urethane acrylates as described in JP-A-51-37193, polyester acrylates as described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191 and JP-B-52-30490. Examples include polyfunctional acrylates and methacrylates such as the class. Japan Adhesive Association Magazine Vol.
20, No. 7, pages 300-308 (1984)
Those introduced as photo-curable monomers and oligomers can also be used.

【００４９】かかるエチレン性不飽和結合を有し付加重
合可能な化合物の使用量は、組成物の固形分に対して質
量分率で通常０．５％以上５０％以下、好ましくは１％
以上４０％以下である。The amount of the compound having an ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization is usually 0.5% or more and 50% or less, preferably 1% by mass fraction with respect to the solid content of the composition.
It is above 40%.

【００５０】（Ｄ）光重合開始剤としては、エチレン性
不飽和結合を有し付加重合可能な化合物の重合を開始さ
せうる化合物であれば、特に限定されるものではなく、
アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開
始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン
系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、オキサジ
アゾール系光重合開始剤などを用いることができる。The photopolymerization initiator (D) is not particularly limited as long as it is a compound having an ethylenically unsaturated bond and capable of initiating polymerization of a compound capable of addition polymerization.
An acetophenone photopolymerization initiator, a benzoin photopolymerization initiator, a benzophenone photopolymerization initiator, a thioxanthone photopolymerization initiator, a triazine photopolymerization initiator, an oxadiazole photopolymerization initiator, or the like can be used.

【００５１】アセトフェノン系光重合開始剤としては、
例えばジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２
−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジル
ジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−
〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン
−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、２−メチル−（４−メチルチオフェニル）−２−
モルフォリノ−１−プロパン−１−オン、２−メチル−
２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロ
パン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−
１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２
−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビ
ニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなど
が挙げられる。As the acetophenone-based photopolymerization initiator,
For example, diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2
-Methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethylketal, 2-hydroxy-2-methyl-1-
[4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl- (4-methylthiophenyl) -2-
Morpholino-1-propan-1-one, 2-methyl-
2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-
1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2
Examples thereof include an oligomer of -hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one.

【００５２】ベンゾイン系光重合開始剤としては、例え
ばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン
エチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベ
ンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。Examples of the benzoin-based photopolymerization initiator include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether and the like.

【００５３】ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、
例えばベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチ
ル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−
４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，
４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニ
ル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフ
ェノンなどが挙げられる。As the benzophenone type photopolymerization initiator,
For example, benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-
4'-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ', 4
4′-Tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone and the like can be mentioned.

【００５４】チオキサントン系光重合開始剤としては、
例えば２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロ
ピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサント
ン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４
−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。As the thioxanthone photopolymerization initiator,
For example, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4
-Propoxythioxanthone and the like.

【００５５】トリアジン系光重合開始剤としては、例え
ば２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキ
シスチリル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロ
ロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−
１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリアジン、２−トリク
ロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−
ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−
ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−
メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリク
ロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナ
フト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−
ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキシ−ナフト−１−イ
ル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジ
ン、２−〔４−（２−メトキシエチル）−ナフト−１−
イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリア
ジン、２−〔４−（２−エトキシエチル）−ナフト−１
−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリ
アジン、２−〔４−（２−ブトキシエチル）−ナフト−
１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−ト
リアジン、２−（２−メトキシ−ナフト−１−イル）−
４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２
−（６−メトキシ−５−メチル−ナフト−２−イル）−
４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２
−（６−メトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス
−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（５−メト
キシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロ
メチル−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシ−
ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル
−ｓ−トリアジン、２−（６−エトキシ−ナフト−２−
イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリア
ジン、２−（４，５−ジメトキシ−ナフト−１−イル）
−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、
４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）ア
ミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ
−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エ
トキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−
ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−
Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６
−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ
−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェ
ニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリア
ジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−
２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４
−（ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニ
ル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（フェニル）アミノフェニ
ル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルカルボニルアミノフェ
ニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリア
ジン、４−〔ｐ−Ｎ−（ｐ−メトキシフェニル）カルボ
ニルアミノフェニル〕２，６−ジ（トリクロロメチル）
−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカ
ルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリ
クロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−
ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフ
ェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリ
アジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシ
カルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（ト
リクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ
−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノ
フェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−ト
リアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキ
シカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ
（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ク
ロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）ア
ミノフェニル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−
トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エト
キシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ
（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブ
ロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニ
ル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチ
ル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチ
ル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ
−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ
（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブ
ロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニ
ル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチ
ル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチ
ル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ
−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ
（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブ
ロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニ
ル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメ
チルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチ
ル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−エ
トキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ
（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブ
ロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニ
ル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメ
チルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチ
ル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−エ
トキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ
（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブ
ロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６
−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ
−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−
２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４
−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニ
ル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフ
ェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリ
アジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミ
ノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−
トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチル
アミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−
ｓ−トリアジンなどが挙げられる。Examples of the triazine-based photopolymerization initiator include 2,4-bis (trichloromethyl) -6-p-methoxystyryl-s-triazine and 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (1-p -Dimethylaminophenyl-
1,3-Butadienyl) -s-triazine, 2-trichloromethyl-4-amino-6-p-methoxystyryl-
s-triazine, 2- (naphth-1-yl) -4,6-
Bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-
Methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-ethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-
s-Triazine, 2- (4-butoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-methoxyethyl) -naphth-1-
Il] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-ethoxyethyl) -naphtho-1
-Yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-butoxyethyl) -naphtho-
1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (2-methoxy-naphth-1-yl)-
4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2
-(6-Methoxy-5-methyl-naphth-2-yl)-
4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2
-(6-Methoxy-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (5-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s -Triazine, 2- (4,7-dimethoxy-
Naphtho-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-ethoxy-naphth-2-
Yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,5-dimethoxy-naphth-1-yl)
-4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine,
4- [p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s
-Triazine, 4- [o-methyl-p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-
Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [p-
N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6
-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o
-Methyl-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (p-N-chloroethylaminophenyl)-
2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4
-(P-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [p-N, N-di (phenyl) aminophenyl] -2,6-di ( Trichloromethyl) -s-triazine, 4- (p-N-chloroethylcarbonylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [p-N- (p-methoxyphenyl) carbonyl Aminophenyl] 2,6-di (trichloromethyl)
-S-triazine, 4- [m-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-
p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-chloro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) amino Phenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-fluoro-p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl)- s-triazine, 4- [o-bromo-p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-p- N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl-2,6-di (trichloromethyl) -s-
Triazine, 4- [o-fluoro-p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (Trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-fluoro-p-N, N
-Di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di ( Trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-chloro-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-fluoro- p-N, N
-Di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -S-triazine, 4- (m-chloro-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-fluoro-p-N-ethoxycarbonyl) Methylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine 4- (o-chloro-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, -(O-fluoro-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-p-N-chloroethylaminophenyl) -2, 6
-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m
-Chloro-p-N-chloroethylaminophenyl)-
2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4
-(M-Fluoro-p-N-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-p-N-chloroethylaminophenyl) -2,6 -Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-chloro-p-N-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-
Triazine, 4- (o-fluoro-p-N-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl)-
Examples thereof include s-triazine.

【００５６】オキサジアゾール系光重合開始剤として
は、例えば２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，
３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５
−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾ
ール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチ
リル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロ
ロメチル−５−（ｐ−ブトキシスチリル）−１，３，４
−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ
−ヒドロキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾー
ル、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−クロロスチリ
ル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロ
メチル−５−（ｐ−メトキシフェニル）−１，３，４−
オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−
ブトキシフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、
２−トリクロロメチル−５−（２−ナフチル）−１，
３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５
−（β−（２−ベンゾフリル）ビニル）−１，３，４−
オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（β−
（６−メトキシ−２−ベンゾフリル）ビニル）−１，
３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５
−（２−ベンゾフリル）−１，３，４−オキサジアゾー
ルなどが挙げられる。Examples of the oxadiazole photopolymerization initiator include 2-trichloromethyl-5-styryl-1,
3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5
-(P-Cyanostyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxystyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- ( p-butoxystyryl) -1,3,4
-Oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p
-Hydroxystyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-chlorostyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxy) Phenyl) -1,3,4-
Oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-
Butoxyphenyl) -1,3,4-oxadiazole,
2-trichloromethyl-5- (2-naphthyl) -1,
3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5
-(Β- (2-benzofuryl) vinyl) -1,3,4-
Oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (β-
(6-Methoxy-2-benzofuryl) vinyl) -1,
3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5
Examples include-(2-benzofuryl) -1,3,4-oxadiazole and the like.

【００５７】また、光重合開始剤として、例えば２，
４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオ
キサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−
４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイ
ミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２
−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナ
ンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキ
シル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもで
きる。As the photopolymerization initiator, for example, 2,
4,6-Trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,2'-bis (o-chlorophenyl)-
4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 10-butyl-2-chloroacridone, 2
-Ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate, titanocene compounds and the like can also be used.

【００５８】かかる光重合開始剤の中でも、トリクロロ
メチル基が導入されているトリアジン系光重合開始剤、
トリクロロメチル基が導入されているオキサジアゾール
系光重合開始剤が好ましく用いられる。Among such photopolymerization initiators, a triazine-based photopolymerization initiator having a trichloromethyl group introduced,
An oxadiazole photopolymerization initiator having a trichloromethyl group introduced therein is preferably used.

【００５９】トリクロロメチル基が導入されているトリ
アジン系光重合開始剤としては、例えば２，４−ビス
（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）
−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロ
メチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５
−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６
−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス
（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）
−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロ
メチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）
エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス
（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イ
ル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビ
ス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルア
ミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−
トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−
〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−
１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。Examples of the triazine-based photopolymerization initiator having a trichloromethyl group introduced therein include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl).
-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxynaphthyl) -1,3,5
-Triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6
-Piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl)
-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl)
Ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis ( Trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-
Triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-
[2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl]-
1,3,5-triazine and the like can be mentioned.

【００６０】トリクロロメチル基が導入されているオキ
サジアゾール系光重合開始剤としては、例えば２−トリ
クロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジア
ゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチ
リル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロ
ロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４
−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ
−ブトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾー
ル、、２−トリクロロメチル−５−（β−（２−ベンゾ
フリル）ビニル）−１，３，４−オキサジアゾールなど
が挙げられる。Examples of the oxadiazole photopolymerization initiator having a trichloromethyl group introduced therein include 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole and 2-trichloromethyl-5- (. p-cyanostyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxystyryl) -1,3,4
-Oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p
-Butoxystyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (β- (2-benzofuryl) vinyl) -1,3,4-oxadiazole and the like.

【００６１】かかる光重合開始剤は、それぞれ単独でま
たは２種以上組み合わせて使用することができる。These photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more kinds.

【００６２】着色感光性樹脂組成物は、光重合開始助剤
を含有していてもよい。光重合開始助剤としては、例え
ばトリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、
トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息
香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−
ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミ
ノ安息香酸２−エチルヘキシル、安息香酸２−ジメチル
アミノエチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，
４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミ
ヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）
ベンゾフェノン、９，１０−ジメトキシアントラセン、
２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，
１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０
−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。これら光
重合開始助剤はそれぞれ単独でまたは２種以上組み合わ
せて用いることができる。The colored photosensitive resin composition may contain a photopolymerization initiation auxiliary agent. As the photopolymerization initiation aid, for example, triethanolamine, methyldiethanolamine,
Triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-
Isoamyl dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,
4'-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly called Michler's ketone), 4,4'-bis (diethylamino)
Benzophenone, 9,10-dimethoxyanthracene,
2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,
10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10
-Diethoxyanthracene and the like. These photopolymerization initiation assistants can be used alone or in combination of two or more kinds.

【００６３】かかる光重合開始助剤を用いる場合、その
使用量は光重合開始剤１モルに対して通常は０．０１モ
ル以上１０モル以下である。When such a photopolymerization initiator auxiliary agent is used, the amount thereof is usually 0.01 mol or more and 10 mol or less with respect to 1 mol of the photopolymerization initiator.

【００６４】光重合開始剤および光重合開始助剤の合計
使用量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量
分率で通常１％以上５０％以下、好ましくは３％以上３
０％以下である。The total amount of the photopolymerization initiator and the photopolymerization initiation aid used is usually 1% or more and 50% or less, preferably 3% or more 3 in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
It is 0% or less.

【００６５】着色感光性樹脂組成物は、熱重合防止剤、
充填剤、バインダー樹脂以外の高分子化合物、界面活性
剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止
剤などの添加剤を含有していてもよい。The colored photosensitive resin composition comprises a thermal polymerization inhibitor,
It may contain additives such as a filler, a polymer compound other than the binder resin, a surfactant, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber and an anticoagulant.

【００６６】熱重合防止剤は、例えば着色感光性樹脂組
成物の保存中に（Ｃ）１個以上のエチレン性不飽和結合
を有し付加重合可能な化合物が熱重合を開始してしまう
ことを防止するために含有される。かかる熱重合防止剤
としては、例えばハロイドキノン、ｐ−メトキシフェノ
ール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロー
ル、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−
チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、
２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチル
フェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン
第一セリウム塩等が挙げられる。熱重合防止剤を含有す
る場合、その含有量は、着色感光性樹脂組成物の全量に
対して質量分率で通常０．０１％以上５％以下程度であ
る。The thermal polymerization inhibitor is, for example, (C) a compound which has one or more ethylenically unsaturated bonds and is capable of addition polymerization during the storage of the colored photosensitive resin composition, may initiate thermal polymerization. Included to prevent. Examples of the thermal polymerization inhibitor include haloid quinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-.
Thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol),
2,2′-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine primary cerium salt and the like can be mentioned. When the thermal polymerization inhibitor is contained, its content is usually 0.01% or more and 5% or less by mass fraction with respect to the total amount of the colored photosensitive resin composition.

【００６７】充填剤としては、例えばガラス、アルミナ
などが挙げられる。バインダー樹脂以外の高分子化合物
としては、例えばポリビニルアルコール、ポリアクリル
酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポ
リフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。Examples of the filler include glass and alumina. Examples of the polymer compound other than the binder resin include polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate.

【００６８】界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、カ
チオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤のいずれで
あってもよい。密着促進剤としては、例えばビニルトリ
メトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルト
リス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミ
ノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラ
ン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルト
リメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシ
ラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、
３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２
−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメト
キシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラ
ン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタ
クリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプ
トプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。The surface active agent may be any of nonionic surface active agents, cationic surface active agents and anionic surface active agents. Examples of the adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, and N- (2-aminoethyl). ) -3-Aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane,
3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2
-(3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane and the like can be mentioned. .

【００６９】酸化防止剤としては、例えば２，２−チオ
ビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，
６−ジ−ｔ−ブチルフェノールなどが挙げられる。紫外
線吸収剤としては、例えば２−（３−ｔ−ブチル−５−
メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾ
トリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げら
れる。凝集防止剤としては、例えばポリアクリル酸ナト
リウムなどが挙げられる。Examples of the antioxidant include 2,2-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2,2
6-di-t-butylphenol and the like can be mentioned. Examples of the ultraviolet absorber include 2- (3-t-butyl-5-
Examples include methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenone. Examples of the aggregation preventing agent include sodium polyacrylate.

【００７０】着色感光性樹脂組成物は、有機カルボン
酸、有機アミノ化合物などを含有していてもよい。有機
カルボン酸としては、例えばギ酸、酢酸、プロピオン
酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢
酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン
酸、The colored photosensitive resin composition may contain an organic carboxylic acid, an organic amino compound or the like. As the organic carboxylic acid, for example, formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, aliphatic monocarboxylic acid such as caprylic acid,

【００７１】シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル
酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン
酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチル
マロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラ
メチルコハク酸、シトラコン酸などの脂肪族ジカルボン
酸、Oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethyl Aliphatic dicarboxylic acids such as succinic acid and citraconic acid,

【００７２】トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホ
ロン酸などの脂肪族トリカルボン酸、安息香酸、トルイ
ル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香
族モノカルボン酸、Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid and camphoronic acid, aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid and mesitylene acid,

【００７３】フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、
トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリ
ト酸などの芳香族ポリカルボン酸、フェニル酢酸、ヒド
ロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニル
コハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケ
イ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウン
ベル酸などの分子量１０００以下の低分子量有機カルボ
ン酸などが挙げられる。Phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid,
Aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, melophanoic acid and pyromellitic acid, phenylacetic acid, hydroatropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atropic acid, cinnamic acid, methyl cinnamate, cinnamic acid Examples thereof include low molecular weight organic carboxylic acids having a molecular weight of 1000 or less, such as benzyl acid, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, and umbellic acid.

【００７４】有機アミノ化合物としては通常、分子量１
０００以下の低分子量有機アミノ化合物が用いられ、例
えばｎ−プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｎ−ブ
チルアミン、イソブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ
−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチル
アミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−
デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルア
ミン、シクロヘキシルアミン、ｏ−メチルシクロヘキシ
ルアミン、ｍ−メチルシクロヘキシルアミン、ｐ−メチ
ルシクロヘキシルアミン、ｏ−エチルシクロヘキシルア
ミン、ｍ−エチルシクロヘキシルアミン、ｐ−エチルシ
クロヘキシルアミンなどのモノ（シクロ）アルキルアミ
ン類、The organic amino compound usually has a molecular weight of 1
000 or less low molecular weight organic amino compounds are used, for example, n-propylamine, isopropylamine, n-butylamine, isobutylamine, t-butylamine, n.
-Pentylamine, n-hexylamine, n-heptylamine, n-octylamine, n-nonylamine, n-
Decylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine, cyclohexylamine, o-methylcyclohexylamine, m-methylcyclohexylamine, p-methylcyclohexylamine, o-ethylcyclohexylamine, m-ethylcyclohexylamine, p-ethylcyclohexyl Mono (cyclo) alkylamines such as amines,

【００７５】メチル・エチルアミン、ジエチルアミン、
メチル・ｎ−プロピルアミン、エチル・ｎ−プロピルア
ミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、ジイソプロピルアミ
ン、ジ−ｎ−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジ−
ｔ−ブチルアミン、ジ−ｎ−ペンチルアミン、ジ−ｎ−
ヘキシルアミン、メチル・シクロヘキシルアミン、エチ
ル・シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミンな
どのジ（シクロ）アルキルアミン類、Methyl-ethylamine, diethylamine,
Methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, diisopropylamine, di-n-butylamine, diisobutylamine, di-
t-butylamine, di-n-pentylamine, di-n-
Di (cyclo) alkylamines such as hexylamine, methyl cyclohexylamine, ethyl cyclohexylamine, dicyclohexylamine,

【００７６】ジメチル・エチルアミン、メチル・ジエチ
ルアミン、トリエチルアミン、ジメチル・ｎ−プロピル
アミン、ジエチル・ｎ−プロピルアミン、メチル・ジ−
ｎ−プロピルアミン、エチル・ジ−ｎ−プロピルアミ
ン、トリ−ｎ−プロピルアミン、トリイソプロピルアミ
ン、トリ−ｎ−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、
トリ−ｔ−ブチルアミン、トリ−ｎ−ペンチルアミン、
トリ−ｎ−ヘキシルアミン、ジメチル・シクロヘキシル
アミン、ジエチル・シクロヘキシルアミン、メチル・ジ
シクロヘキシルアミン、エチル・ジシクロヘキシルアミ
ン、トリシクロヘキシルアミンなどのトリ（シクロ）ア
ルキルアミン類、Dimethyl ethylamine, methyl diethylamine, triethylamine, dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyl di-
n-propylamine, ethyl di-n-propylamine, tri-n-propylamine, triisopropylamine, tri-n-butylamine, triisobutylamine,
Tri-t-butylamine, tri-n-pentylamine,
Tri (cyclo) alkylamines such as tri-n-hexylamine, dimethyl cyclohexylamine, diethyl cyclohexylamine, methyl dicyclohexylamine, ethyl dicyclohexylamine and tricyclohexylamine,

【００７７】２−アミノエタノール、３−アミノ−１−
プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−ア
ミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノー
ル、６−アミノ−１−ヘキサノール、４−アミノ−１−
シクロヘキサノールなどのモノ（シクロ）アルカノール
アミン類、2-aminoethanol, 3-amino-1-
Propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, 6-amino-1-hexanol, 4-amino-1-
Mono (cyclo) alkanolamines such as cyclohexanol,

【００７８】ジエタノールアミン、ジ−ｎ−プロパノー
ルアミン、ジイソプロパノールアミン、ジ−ｎ−ブタノ
ールアミン、ジイソブタノールアミン、ジ−ｎ−ペンタ
ノールアミン、ジ−ｎ−ヘキサノールアミン、ジ（４−
シクロヘキサノール）アミンなどのジ（シクロ）アルカ
ノールアミン類、Diethanolamine, di-n-propanolamine, diisopropanolamine, di-n-butanolamine, diisobutanolamine, di-n-pentanolamine, di-n-hexanolamine, di (4-
Di (cyclo) alkanolamines such as cyclohexanol) amine,

【００７９】トリエタノールアミン、トリ−ｎ−プロパ
ノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリ−ｎ
−ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、トリ
−ｎ−ペンタノールアミン、トリ−ｎ−ヘキサノールア
ミン、トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのト
リ（シクロ）アルカノールアミン、Triethanolamine, tri-n-propanolamine, triisopropanolamine, tri-n
-Tri (cyclo) alkanolamines such as butanolamine, triisobutanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine, tri (4-cyclohexanol) amine,

【００８０】３−アミノ−１，２−プロパンジオール、
２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−
１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタン
ジオール、４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオー
ル、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオール、３
−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジ
エチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチ
ルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルア
ミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノ（シク
ロ）アルカンジオール類、3-amino-1,2-propanediol,
2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-
1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 4-amino-1,2-cyclohexanediol, 4-amino-1,3-cyclohexanediol, 3
-Amino (cyclo) such as dimethylamino-1,2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3-propanediol, 2-diethylamino-1,3-propanediol Alkanediols,

【００８１】１−アミノシクロペンタンメタノール、４
−アミノシクロペンタンメタノール、１−アミノシクロ
ヘキサンメタノール、４−アミノシクロヘキサンメタノ
ール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、
４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジ
メチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチル
アミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シ
クロアルカンメタノール類、1-aminocyclopentanemethanol, 4
-Aminocyclopentanemethanol, 1-aminocyclohexanemethanol, 4-aminocyclohexanemethanol, 4-dimethylaminocyclopentanemethanol,
Amino group-containing cycloalkanemethanols such as 4-diethylaminocyclopentanemethanol, 4-dimethylaminocyclohexanemethanol and 4-diethylaminocyclohexanemethanol,

【００８２】β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミ
ノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酪酸、３−ア
ミノイソ酪酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、
６―アミノカプロン酸、１―アミノシクロプロパンカル
ボン酸、１―アミノシクロヘキサンカルボン酸、４―ア
ミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸
類などが挙げられる。Β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisobutyric acid, 3-aminoisobutyric acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid,
Examples thereof include aminocarboxylic acids such as 6-aminocaproic acid, 1-aminocyclopropanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid and 4-aminocyclohexanecarboxylic acid.

【００８３】また、例えば、アミノ基が直接フェニル基
に結合した化合物、アミノ基が炭素鎖を介してフェニル
基に結合した化合物なども挙げられる。アミノ基が直接
フェニル基に結合した化合物としては、例えばアニリ
ン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メ
チルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピル
アニリン、ｐ−イソプロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチル
アニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミ
ン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、
Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメ
チルアニリンなどの芳香族アミン類、Further, for example, a compound in which an amino group is directly bonded to a phenyl group, a compound in which an amino group is bonded to a phenyl group through a carbon chain, and the like can be mentioned. Examples of the compound having an amino group directly bonded to a phenyl group include aniline, o-methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, pn-propylaniline, p-isopropylaniline, p- n-butylaniline, pt-butylaniline, 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline,
Aromatic amines such as N, N-diethylaniline and p-methyl-N, N-dimethylaniline,

【００８４】ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミ
ノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコー
ル、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエ
チルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルア
ルコール類、Aminobenzyl alcohols such as o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol and p-diethylaminobenzyl alcohol,

【００８５】ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノ
ール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェ
ノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフ
ェノール類、Aminophenols such as o-aminophenol, m-aminophenol, p-aminophenol, p-dimethylaminophenol and p-diethylaminophenol,

【００８６】ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香
酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ
安息香酸などのアミノ安息香酸（誘導体）類などが挙げ
られる。Examples thereof include aminobenzoic acids (derivatives) such as m-aminobenzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid and p-diethylaminobenzoic acid.

【００８７】かかる有機カルボン酸、有機アミノ化合物
は、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して使用され
る。かかる有機カルボン酸、有機アミノ化合物を用いる
場合、着色感光性樹脂組成物におけるその含有量は通
常、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で通常０．
００１％以上１５％以下、好ましくは０．０１％以上１
０％以下である。These organic carboxylic acids and organic amino compounds may be used alone or in admixture of two or more. When such an organic carboxylic acid or an organic amino compound is used, its content in the colored photosensitive resin composition is usually 0.
001% or more and 15% or less, preferably 0.01% or more 1
It is 0% or less.

【００８８】かかる着色感光性樹脂組成物は、通常、溶
剤で希釈された状態で基板（２）上に塗布される（図２
(a)）。溶剤としては、例えばエステル類、エーテル
類、ケトン類、芳香族炭化水素類などが挙げられる。Such a colored photosensitive resin composition is usually applied onto the substrate (2) diluted with a solvent (FIG. 2).
(a)). Examples of the solvent include esters, ethers, ketones, aromatic hydrocarbons and the like.

【００８９】エステル類としては、例えば酢酸エチル、
酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸
イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪
酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエ
ステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチ
ル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢
酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、
エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシ
プロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチルな
どの３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、Examples of the esters include ethyl acetate,
-N-Butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, oxy Butyl acetate, Methyl methoxyacetate, Ethyl methoxyacetate, Butyl methoxyacetate,
3-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate and ethyl 3-oxypropionate,

【００９０】３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メ
トキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸
メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ
プロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、
２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピ
オン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−
メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオ
ン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オ
キシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２
−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチ
ルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロ
ピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチ
ル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢
酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタ
ン酸エチルなどが挙げられる。Methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate,
Propyl 2-oxypropionate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, 2-
Propyl methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-oxy-2
-Ethyl methylpropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, 2- Examples thereof include methyl oxobutanoate and ethyl 2-oxobutanoate.

【００９１】エーテル類としては、例えばジエチレング
リコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチ
レングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコー
ルモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、
エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモ
ノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プ
ロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピ
レングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレン
グリコールプロピルエーテルアセテートなどが挙げられ
る。Examples of the ethers include diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate,
Examples thereof include ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate and propylene glycol propyl ether acetate.

【００９２】ケトン類としては、例えばメチルエチルケ
トン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタ
ノンなどが挙げられる。芳香族炭化水素類としては、例
えばトルエン、キシレンなどが挙げられる。Examples of the ketones include methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone and 3-heptanone. Examples of aromatic hydrocarbons include toluene and xylene.

【００９３】かかる溶剤の中でも、３−エトキシプロピ
オン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチ
ルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリ
コールジメテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプ
ロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノ
ン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトー
ルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルア
セテートなどが好ましく用いられる。Among these solvents, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimeter ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, Ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether acetate and the like are preferably used.

【００９４】かかる溶剤は、それぞれ単独でまたは２種
以上を混合して用いられ、その使用量は、着色感光性樹
脂組成物における固形分の濃度が質量分率で通常２％以
上５０％以下の範囲となるように選択される。These solvents are used alone or in admixture of two or more, and the amount of the solvent used is such that the concentration of the solid content in the colored photosensitive resin composition is usually 2% or more and 50% or less by mass fraction. Selected to be a range.

【００９５】かかる着色感光性樹脂組成物は、例えば回
転塗布法（スピンコート法）、流延塗布法、ロール塗布
法などの通常の塗布方法で、基板（２）上に塗布するこ
とができる。The colored photosensitive resin composition can be coated on the substrate (2) by a usual coating method such as a spin coating method (spin coating method), a cast coating method and a roll coating method.

【００９６】基板（２）としては、例えばガラス基板、
シリコン基板などのほか、ポリカーボネート基板、ポリ
エステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミ
ド基板、ポリイミド基板などの樹脂基板を用いることが
できる。かかる基板は、シランカップリング剤などの薬
品による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティン
グ処理、スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着
処理などの前処理が施されていてもよい。As the substrate (2), for example, a glass substrate,
Besides a silicon substrate, a resin substrate such as a polycarbonate substrate, a polyester substrate, an aromatic polyamide substrate, a polyamideimide substrate, or a polyimide substrate can be used. Such a substrate may be subjected to a pretreatment such as a chemical treatment with a chemical such as a silane coupling agent, a plasma treatment, an ion plating treatment, a sputtering treatment, a vapor phase reaction treatment, or a vacuum vapor deposition treatment.

【００９７】着色感光性樹脂組成物を基板（２）上に塗
布後、乾燥して溶剤を揮発させることで、基板上に着色
感光性樹脂組成物層（１）を形成することができる（図
２(a)）。該層は、着色感光性樹脂組成物の固形分から
なる層であり、その厚さは、通常０．１μｍ〜１０μ
ｍ、好ましくは０．２μｍ〜５．０μｍ、特に好ましく
は０．２μｍ〜３．０μｍである。The colored photosensitive resin composition layer (1) can be formed on the substrate by applying the colored photosensitive resin composition onto the substrate (2) and then drying it to evaporate the solvent (see FIG. 2 (a)). The layer is a layer composed of the solid content of the colored photosensitive resin composition, and the thickness thereof is usually 0.1 μm to 10 μm.
m, preferably 0.2 μm to 5.0 μm, particularly preferably 0.2 μm to 3.0 μm.

【００９８】次いで着色感光性樹脂組成物層（１）にフ
ォトマスク（３）を介して光線（４）を照射する（図２
(b)）。Then, the colored photosensitive resin composition layer (1) is irradiated with a light beam (4) through a photomask (3) (FIG. 2).
(b)).

【００９９】フォトマスク（３）は、例えばガラス板
（３１）などの表面に遮光層（３２）が設けられたもの
である。遮光層によって光線（４）は遮蔽される。ガラ
ス板のうちの遮光層が遮光層が設けられていない部分は
透光部（３３）であって、光線は該透光部を透過して着
色感光性樹脂組成物層（１）に照射され、該層（１）
は、該透光部のパターンしたがって露光される。The photomask (3) is provided with a light shielding layer (32) on the surface of, for example, a glass plate (31). The light ray (4) is blocked by the light blocking layer. A portion of the glass plate where the light-shielding layer is not provided with the light-shielding layer is a light-transmitting portion (33), and light rays are transmitted through the light-transmitting portion to irradiate the colored photosensitive resin composition layer (1). , The layer (1)
Are exposed according to the pattern of the translucent portion.

【０１００】光線（４）としては通常、ｇ線（波長４３
６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）などの紫外線が用い
られる。光線は平行光となって着色感光性樹脂組成物層
（１）に照射されることが好ましく、通常はマスクアラ
イナー（図示せず）などを介して照射される。本発明の
形成方法によれば、解像度よく着色パターンを形成する
ので、例えば幅が２０μｍ程度以下、さらには１０μｍ
程度以下、特には５μｍ以下の着色パターンを容易に安
定して形成することができる。The ray (4) is usually a g-ray (wavelength 43
6 nm), i-line (wavelength 365 nm) and other ultraviolet rays are used. It is preferable that the light rays are converted into parallel light rays and applied to the colored photosensitive resin composition layer (1), which is usually applied through a mask aligner (not shown) or the like. According to the forming method of the present invention, since the colored pattern is formed with high resolution, for example, the width is about 20 μm or less, and further 10 μm.
It is possible to easily and stably form a colored pattern having a thickness of about 5 μm or less.

【０１０１】光線の照射量は、用いた（Ａ）顔料の色や
含有量、（Ｂ）バインダー樹脂の種類や含有量、（Ｃ）
１個以上のエチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な
化合物の種類や含有量、（Ｄ）光重合開始剤の種類や含
有量などに応じて適宜選択されるが、本発明の形成方法
によれば、感度よく着色パターン（５）を形成するでき
るので、通常の着色パターンの形成方法と比較して短時
間の照射量でもよい。The irradiation amount of the light rays includes the color and content of the (A) pigment used, (B) the type and content of the binder resin, and (C).
The formation method of the present invention is selected appropriately according to the type and content of the compound having one or more ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization, and the type and content of (D) photopolymerization initiator. According to the method, since the colored pattern (5) can be formed with high sensitivity, the irradiation amount may be shorter than that in the usual method for forming a colored pattern.

【０１０２】露光後、現像する（図２(c)）。現像する
には、露光後の着色感光性樹脂組成物層（１）を現像液
に接触させればよい。現像液に接触することによって、
着色感光性樹脂組成物層のうちで光線が照射されなかっ
た光線未照射領域（１１）が現像液に溶解する。After exposure, development is performed (FIG. 2 (c)). For development, the colored photosensitive resin composition layer (1) after exposure may be brought into contact with a developing solution. By contacting the developer,
The non-light-irradiated region (11) of the colored photosensitive resin composition layer which is not irradiated with light is dissolved in the developing solution.

【０１０３】現像液としては、例えばアルカリ性水溶液
を用いることができる。アルカリ性水溶液としては、例
えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウ
ム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア
水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノー
ルアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テ
トラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロー
ル、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５，４，
０〕−７−ウンデセンなどの水溶性のアルカリ化合物の
水溶液が用いられ、その濃度はアルカリ性水溶液に対し
て質量分率で通常０．００１％以上１０％以下、好まし
くは０．０１％以上１％以下程度である。かかるアルカ
リ性水溶液は、メタノール、エタノールなどの水溶性の
有機溶剤、界面活性剤などを含有していてもよい。現像
液として有機溶剤を用いることもでき、例えば着色感光
性樹脂組成物を希釈するに用いる溶剤として前記したと
同様の有機溶剤を適宜組合わせて用いてもよい。As the developing solution, for example, an alkaline aqueous solution can be used. Examples of the alkaline aqueous solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, Pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5,4,
0] -7-undecene and the like, an aqueous solution of a water-soluble alkaline compound is used, and the concentration thereof is usually 0.001% or more and 10% or less, preferably 0.01% or more and 1% by mass fraction with respect to the alkaline aqueous solution. It is about the following. Such an alkaline aqueous solution may contain a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a surfactant and the like. An organic solvent may be used as the developing solution, and for example, the same organic solvent as described above may be appropriately combined and used as a solvent used for diluting the colored photosensitive resin composition.

【０１０４】現像方法は、特に限定されるものではな
く、例えばディップ現像法（浸漬現像法）、シャワー現
像法、スプレー現像法、パドル現像法（液盛り現像法）
などの方法で現像することができる。現像温度は通常１
０℃〜４０℃の範囲であり、現像時間は通常１０秒〜３
００秒である。The developing method is not particularly limited. For example, dip developing method (immersion developing method), shower developing method, spray developing method, paddle developing method (liquid development method).
And the like. Development temperature is usually 1
The temperature is in the range of 0 ° C to 40 ° C, and the developing time is usually 10 seconds to 3
00 seconds.

【０１０５】現像によって、着色感光性樹脂組成物層の
うちの光線が照射されなかった光線未照射領域（１１）
は現像液に溶解して除去される。その一方で光線が照射
された光線照射領域（１２）は残って着色パターン
（５）を構成する。A non-irradiated region (11) of the colored photosensitive resin composition layer which was not irradiated with light by development.
Are dissolved in the developer and removed. On the other hand, the light beam irradiation region (12) irradiated with the light beam remains to form the colored pattern (5).

【０１０６】本発明の形成方法では、かかる現像におい
て着色感光性樹脂組成物層の未照射領域（１１）を６０
ｎｍ／秒を以上、好ましくは８０ｎｍ／秒以上、さらに
好ましくは１００ｎｍ／秒以上の溶解速度で現像液に溶
解させる。ここで溶解速度（ｒ）は、着色感光性樹脂組
成物層（１）の厚み（ｔ）と該層を現像液に溶解するの
に要する時間（Ｔ）とから式（III） ｒ＝ｔ／Ｔ （III） によって求められる速度である。According to the forming method of the present invention, the unirradiated area (11) of the colored photosensitive resin composition layer is treated with 60 in such development.
nm / sec or more, preferably 80 nm / sec or more, more preferably 100 nm / sec or more in the developing solution. Here, the dissolution rate (r) is calculated from the thickness (t) of the colored photosensitive resin composition layer (1) and the time (T) required to dissolve the layer in a developing solution, and is represented by the formula (III) r = t / It is the velocity determined by T (III).

【０１０７】かかる溶解速度で現像液に溶解させるに
は、現像液としてアルカリ性水溶液を用いる場合には、
該水溶液のアルカリ化合物の濃度、現像液の温度などを
適宜選択すればよい。具体的にはアルカリ化合物の濃度
を濃くすることで溶解速度を大きくすることができ、現
像温度を高くすることで溶解速度を大きくすることがで
きる。溶解速度は、通常１０００ｎｍ／秒以下である。In order to dissolve in a developing solution at such a dissolution rate, when an alkaline aqueous solution is used as the developing solution,
The concentration of the alkaline compound in the aqueous solution, the temperature of the developing solution, etc. may be appropriately selected. Specifically, the dissolution rate can be increased by increasing the concentration of the alkali compound, and the dissolution rate can be increased by increasing the development temperature. The dissolution rate is usually 1000 nm / sec or less.

【０１０８】また、現像液として通常は質量分率で０．
０５％程度の水酸カリウムを含む水酸化カリウム水溶液
が２３℃で用いられる場合が多いので、基板上に形成さ
れた着色感光性樹脂組成物層が、該水酸化カリウム水溶
液に対し２３℃で６０ｎｍ／秒を超え、１０００ｎｍ／
秒以下の溶解速度、好ましくは８０ｎｍ／秒以上、さら
に好ましくは１００ｎｍ／秒以上の溶解速度で溶解する
着色感光性樹脂組成物を用いてもよい。かかる溶解速度
で溶解可能な着色感光性樹脂組成物は、例えば（Ｂ）バ
インダー樹脂の使用量（着色感光性樹脂組成物における
含有量）を適宜選択することにより調製でき、例えば
（Ｂ）バインダー樹脂の使用量（着色感光性樹脂組成物
における含有量）を（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し
付加重合可能な化合物に対して０．５質量倍以上１．５
質量倍以下、好ましくは０．６質量倍以上１．２質量倍
以下とすることによって調製することもできる。Further, as a developing solution, it is usually 0.
Since an aqueous potassium hydroxide solution containing about 05% potassium hydroxide is often used at 23 ° C., the colored photosensitive resin composition layer formed on the substrate has a thickness of 60 nm at 23 ° C. with respect to the aqueous potassium hydroxide solution. / Sec, 1000 nm /
A colored photosensitive resin composition that dissolves at a dissolution rate of not more than seconds, preferably not less than 80 nm / second, more preferably not less than 100 nm / second may be used. The colored photosensitive resin composition that can be dissolved at such a dissolution rate can be prepared, for example, by appropriately selecting the amount of the (B) binder resin used (content in the colored photosensitive resin composition). The amount used (content in the colored photosensitive resin composition) is 0.5 times by mass or more and 1.5 times or more with respect to the compound (C) having an ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization.
It can also be prepared by adjusting the amount by mass times or less, preferably 0.6 times by mass or more and 1.2 times by mass or less.

【０１０９】現像後、乾燥することで、着色パターン
（５）を得るが（図２(c)）、現像液としてアルカリ性
水溶液を用いた場合には通常、現像後水洗したのちに、
乾燥する。乾燥後、さらに加熱処理する。かくして形成
される着色パターンは、その断面形状が矩形ないし順テ
ーパー状である。After development, a colored pattern (5) is obtained by drying (FIG. 2 (c)), but when an alkaline aqueous solution is used as the developer, it is usually washed with water after development,
dry. After drying, heat treatment is further performed. The colored pattern thus formed has a rectangular or forward tapered cross-sectional shape.

【０１１０】さらに、着色感光性樹脂組成物に含まれる
（Ａ）顔料の色を替えて基板（２）の上に着色感光性樹
脂組成物層（１’）を再び形成し（図３(a)）、該層
（１’）にフォトマスク（３）を介して光線（４）を照
射して露光したのち（図３(b)）、現像することによっ
て、さらに他の色の着色パターン（５’）を形成するこ
ともできる。着色感光性樹脂組成物に含まれる（Ａ）顔
料の色を替えながら上記操作を繰り返し行うことによっ
て（図４）、さらに他の色の画素（５”）を形成するこ
とができ、目的とするカラーフィルター（６）を得るこ
とができる。Further, the color of the (A) pigment contained in the colored photosensitive resin composition is changed, and the colored photosensitive resin composition layer (1 ') is formed again on the substrate (2) (see FIG. 3 (a)). )), The layer (1 ′) is exposed to a light beam (4) through a photomask (3) to be exposed (FIG. 3B), and then developed to develop a coloring pattern of another color ( 5 ') can also be formed. By repeating the above operation while changing the color of the (A) pigment contained in the colored photosensitive resin composition (FIG. 4), it is possible to form pixels (5 ″) of another color, which is the object. A color filter (6) can be obtained.

【０１１１】[0111]

【発明の効果】本発明の製造方法によれば、安定した感
度で、断面形状が矩形ないし順テーパー状の着色パター
ンを形成することができる。According to the manufacturing method of the present invention, it is possible to form a colored pattern having a rectangular cross section or a forward tapered shape with stable sensitivity.

【０１１２】[0112]

【実施例】以下、実施例によって本発明をより詳細に説
明するが、本発明はかかる実施例によって限定されるも
のではない。EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to examples below, but the present invention is not limited to these examples.

【０１１３】実施例１ 〔着色感光性樹脂組成物の製造〕 （Ａ）顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕４．５
０質量部、（Ａ）顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１
５０〕２．２６質量部、（Ｂ）バインダー樹脂〔ベンジ
ルメタクリレートとメタクリル酸との共重合体、ベンジ
ルメタクリレート単位とメタクリル酸単位との物質量比
（モル比）は６５／３５、重量平均分子量は２６，００
０〕５．００質量部、（Ｃ）ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート〔「ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ」、日
本化薬(株)製〕５．００質量部、（Ｄ）光重合開始剤
〔２−メチル−（４−メチルチオフェニル）−２−モル
フォリノ−１−プロパン−１−オン〕０．７７質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２，４-ジエチルチオキサント
ン、「ＫＡＹＡＣＵＲＥＤＥＴＸ−Ｓ」、日本化薬(株)
製〕０．３８質量部、高分子系顔料分散剤２．０９質量
部および溶剤〔プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート〕８０質量部を混合して着色感光性樹脂組
成物（緑色）を得た。Example 1 [Production of Colored Photosensitive Resin Composition] (A) Pigment [C. I. Pigment Green 36] 4.5
0 parts by mass of (A) pigment [C. I. Pigment Yellow 1
50] 2.26 parts by mass, (B) binder resin [copolymer of benzyl methacrylate and methacrylic acid, substance ratio (molar ratio) of benzyl methacrylate unit and methacrylic acid unit is 65/35, weight average molecular weight is 26,000
0] 5.00 parts by mass, (C) dipentaerythritol hexaacrylate [“KAYARAD DPHA”, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.] 5.00 parts by mass, (D) photopolymerization initiator [2-methyl- (4 -Methylthiophenyl) -2-morpholino-1-propan-1-one] 0.77 parts by mass,
(D) Photopolymerization initiator [2,4-diethylthioxanthone, "KAYACUREDETX-S", Nippon Kayaku Co., Ltd.
Production] 0.38 parts by weight, 2.09 parts by weight of the polymeric pigment dispersant and 80 parts by weight of the solvent [propylene glycol monomethyl ether acetate] were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition (green).

【０１１４】〔着色感光性樹脂組成物層の形成〕上記で
得た着色感光性樹脂組成物をガラス基板〔「＃７０５
９」コーニング社製〕（２）の表面にスピンコート法で
塗布し、７０℃で３分間加熱して乾燥させて、着色感光
性樹脂組成物層（１）を基板（２）上に形成した。この
乾燥後の着色感光性樹脂組成物層の厚みは１．６μｍで
あった。[Formation of Colored Photosensitive Resin Composition Layer] The colored photosensitive resin composition obtained above was applied to a glass substrate [“# 705
9 "manufactured by Corning Incorporated] (2) was applied on the surface by spin coating, heated at 70 ° C. for 3 minutes and dried to form a colored photosensitive resin composition layer (1) on the substrate (2). . The thickness of the colored photosensitive resin composition layer after drying was 1.6 μm.

【０１１５】〔着色パターンの形成（断面形状の評
価）〕上記で着色感光性樹脂組成物層（１）を形成した
基板（２）にフォトマスク（３）を介して超高圧水銀灯
で紫外線を照射して（照射量は２００ｍＪ／ｃｍ2）、
露光した。フォトマスク（３）としては、線幅が線幅５
０μｍの線状の着色パターン（２）を形成するためのフ
ォトマスクを用いた。露光後の着色感光性樹脂組成物層
を現像液〔水酸化カリウムを質量分率で０．０５％含
み、ノニオン系界面活性剤を含む水溶液、２３℃〕に８
０秒間浸漬して現像した。現像後、水洗し、２３０℃で
２０分間加熱して、基板（２）上に緑色の着色パターン
（緑色画素）を形成した。この緑色画素の断面形状を走
査型電子顕微鏡（観察倍率１０万倍）で観察したとこ
ろ、該緑色画素はその基板（２）側の幅（Ｗ0）がその
反対側の幅（Ｗ1）よりも広いが順テーパー状であった
（図５(a)）。結果を表１に示す。[Formation of Colored Pattern (Evaluation of Cross-sectional Shape)] The substrate (2) on which the colored photosensitive resin composition layer (1) was formed as described above was irradiated with ultraviolet rays through a photomask (3) with an ultrahigh pressure mercury lamp. (Irradiation dose is 200 mJ / cm 2 ),
Exposed. The line width of the photomask (3) is 5
A photomask for forming a 0 μm linear colored pattern (2) was used. The colored photosensitive resin composition layer after exposure was placed in a developing solution [aqueous solution containing 0.05% of potassium hydroxide in a mass fraction and containing a nonionic surfactant, 23 ° C.].
It was immersed for 0 second and developed. After development, it was washed with water and heated at 230 ° C. for 20 minutes to form a green colored pattern (green pixel) on the substrate (2). When the cross-sectional shape of the green pixel was observed with a scanning electron microscope (observation magnification: 100,000 times), the width (W 0 ) of the green pixel on the substrate (2) side was larger than that on the opposite side (W 1 ). It was wide but had a forward taper shape (Fig. 5 (a)). The results are shown in Table 1.

【０１１６】〔感度の評価〕光線照射領域の厚みが現像
において変化しない最低の光線照射量を感度として、以
下の方法で評価した。上記と同様にして基板上に形成し
た着色感光性樹脂組成物層（１）にフォトマスク（３）
を介して超高圧水銀灯で紫外線を照射して露光した。露
光では、フォトマスク（３）として透光部のみからなり
その透過率がステップ状に変化したものを用いて、４〜
４００ｍＪ／ｃｍ2の範囲で光線（４）を照射した。次
いで上記で露光した着色感光性樹脂組成物層を、上記で
用いたと同じ現像液に９０秒間浸漬して現像し、その厚
みが変化することなく現像された光線照射領域（１２）
の最低光線照射量（５０ｍＪ／ｃｍ2）を感度とした。
最低光線照射量が小さいほど、感度が良好であり、少な
い光線照射量でも目的の着色パターン（５）を形成し得
ることを示す。結果を表１に示す。[Evaluation of Sensitivity] The minimum light irradiation amount at which the thickness of the light-irradiated region did not change during development was taken as the sensitivity and evaluated by the following method. A photomask (3) is formed on the colored photosensitive resin composition layer (1) formed on the substrate in the same manner as above.
It was exposed by irradiating ultraviolet rays with an ultra-high pressure mercury lamp. In the exposure, a photomask (3) having a translucent portion only and having a transmittance changed stepwise is used to
The light (4) was irradiated in the range of 400 mJ / cm 2 . Then, the colored photosensitive resin composition layer exposed above is immersed in the same developer as used above for 90 seconds to develop, and the light irradiation region (12) developed without changing its thickness.
The lowest light irradiation amount (50 mJ / cm 2 ) was defined as the sensitivity.
It is shown that the smaller the minimum light irradiation amount is, the better the sensitivity is, and that the desired colored pattern (5) can be formed even with a small light irradiation amount. The results are shown in Table 1.

【０１１７】〔着色感光性樹脂組成物層の溶解速度の評
価〕上記と同様にして基板（２）上に形成した着色感光
性樹脂組成物層（１）を現像液〔水酸化カリウムを質量
分率で０．０５％含み、ノニオン系界面活性剤を含む水
溶液、２３℃〕に浸漬して現像した。浸漬時間は０秒か
ら１２０秒まで１秒刻みとして、着色感光性樹脂組成物
層が完全に消失するまでの時間を溶出時間とし、この溶
出時間と着色感光性樹脂組成物層の厚みとから、溶解速
度を算出したところ、１４０ｎｍ／秒であった。結果を
表１に示す。[Evaluation of Dissolution Rate of Colored Photosensitive Resin Composition Layer] A colored photosensitive resin composition layer (1) formed on the substrate (2) in the same manner as above was developed with a developing solution [mass fraction of potassium hydroxide was used. At a rate of 0.05% and an aqueous solution containing a nonionic surfactant at 23 ° C.] for development. The dipping time is from 0 to 120 seconds in 1 second increments, and the time until the colored photosensitive resin composition layer completely disappears is the elution time. From this elution time and the thickness of the colored photosensitive resin composition layer, When the dissolution rate was calculated, it was 140 nm / sec. The results are shown in Table 1.

【０１１８】実施例２ （Ｂ）バインダー樹脂をベンジルメタクリレートとメタ
クリル酸との共重合体（ベンジルメタクリレート単位と
メタクリル酸単位との物質量比（モル比）は ７０／３
０、重量平均分子量は１５，０００）とし、その使用量
を５．７７質量部とする以外は実施例１と同様に操作し
て、緑色の着色感光性樹脂組成物を得、着色パターンを
形成し、評価した。結果を表１に示す。Example 2 (B) Copolymer of benzyl methacrylate and methacrylic acid as a binder resin (substance ratio (molar ratio) of benzyl methacrylate unit and methacrylic acid unit is 70/3)
0, the weight average molecular weight is 15,000) and the same procedure as in Example 1 is performed except that the amount used is 5.77 parts by mass to obtain a green colored photosensitive resin composition and form a colored pattern. And evaluated. The results are shown in Table 1.

【０１１９】実施例３ （Ｂ）バインダー樹脂をベンジルメタクリレートとメタ
クリル酸との共重合体（ベンジルメタクリレート単位と
メタクリル酸単位との物質量比（モル比）は ７０／３
０、重量平均分子量は２０，０００）とし、その使用量
を５．７７質量部とする以外は実施例１と同様に操作し
て、緑色の着色感光性樹脂組成物を得、着色パターンを
形成し、評価した。結果を表１に示す。Example 3 (B) Copolymer of benzyl methacrylate and methacrylic acid as a binder resin (substance ratio (molar ratio) of benzyl methacrylate unit and methacrylic acid unit is 70/3)
0, the weight average molecular weight is 20,000) and the same procedure as in Example 1 is performed except that the amount used is 5.77 parts by mass to obtain a green colored photosensitive resin composition and form a colored pattern. And evaluated. The results are shown in Table 1.

【０１２０】実施例４ （Ａ）顔料であるＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６およ
びＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０に代えて、（Ａ）
顔料〔Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド２５４〕２．４７質量
部、（Ａ）顔料〔Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１７７〕２．
５１質量部および（Ａ）顔料〔Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ
ー１３９〕１．７８質量部を用いる以外は、実施例１と
同様に操作して、赤色の着色感光性樹脂組成物を得、着
色パターンを形成し、評価した。結果を表１に示す。Example 4 (A) Pigment C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. (A) instead of Pigment Yellow 150
1.47 parts by weight of pigment [CI Pigment Red 254], (A) pigment [CI Pigment Red 177] 2.
A red colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that 51 parts by mass and (A) pigment [CI Pigment Yellow 139] 1.78 parts by mass were used. Were formed and evaluated. The results are shown in Table 1.

【０１２１】比較例１ （Ｂ）バインダー樹脂の使用量を７．０質量部とし、
（Ｃ）ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの使
用量を３．０質量部とする以外は、実施例１と同様に操
作して、緑色の着色感光性樹脂組成物を得、着色パター
ンを形成し、評価した。結果を表１に示す。Comparative Example 1 (B) The amount of the binder resin used was 7.0 parts by mass,
(C) A green colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the amount of dipentaerythritol hexaacrylate used was 3.0 parts by mass, and a colored pattern was formed and evaluated. did. The results are shown in Table 1.

【０１２２】[0122]

【表１】 [Table 1]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】カラーフィルターの一例を部分的に示す模式図
である。FIG. 1 is a schematic view partially showing an example of a color filter.

【図２】着色感光性樹脂組成物を用いて基板上に着色パ
ターンを形成する工程を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing a step of forming a colored pattern on a substrate using a colored photosensitive resin composition.

【図３】着色感光性樹脂組成物を用いて基板上に着色パ
ターンを形成する工程を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic view showing a step of forming a colored pattern on a substrate using a colored photosensitive resin composition.

【図４】着色感光性樹脂組成物を用いて基板上に着色パ
ターンを形成する工程を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic view showing a step of forming a colored pattern on a substrate using a colored photosensitive resin composition.

【図５】着色パターンの断面形状を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing a cross-sectional shape of a colored pattern.

【符号の簡単な説明】[Simple explanation of symbols]

１ ：着色感光性樹脂組成物層 １１：光線未照
射領域 １２：光線照射領域 ２ ：基板 ３ ：フォトマスク ３１：ガラス板 ３２：遮光層 ３３：透光部 ４ ：光線 ５ ：着色パターン ５Ｒ：赤色画素 ５Ｇ：緑色画素 ５Ｂ：青色画素 ５BM：ブラックマトリックス ６ ：カラーフィルター1: Colored photosensitive resin composition layer 11: Light unirradiated region 12: Light irradiated region 2: Substrate 3: Photomask 31: Glass plate 32: Light-shielding layer 33: Light transmitting part 4: Light ray 5: Colored pattern 5R: Red Pixel 5G: Green pixel 5B: Blue pixel 5BM: Black matrix 6: Color filter

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０３Ｆ 7/033 Ｇ０３Ｆ 7/033 ４Ｊ０２６ Ｆターム(参考） 2H025 AA03 AA04 AB13 AC01 AD01 BC13 BC42 CA00 CB13 CB14 CB52 CC11 FA17 2H042 AA09 AA15 AA26 2H048 BA02 BA11 BA45 BA48 BB02 BB14 BB32 BB44 2H096 AA30 BA05 EA02 GA08 4J011 PA69 PC02 PC08 4J026 AA43 AA45 AA46 AA53 BA28 BA38 CA09 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G03F 7/033 G03F 7/033 4J026 F term (reference) 2H025 AA03 AA04 AB13 AC01 AD01 BC13 BC42 CA00 CB13 CB14 CB52 CC11 FA17 2H042 AA09 AA15 AA26 2H048 BA02 BA11 BA45 BA48 BB02 BB14 BB32 BB44 2H096 AA30 BA05 EA02 GA08 4J011 PA69 PC02 PC08 4J026 AA43 AA45 AA46 AA53 BA28 BA38 CA09

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】（Ａ）顔料、（Ｂ）バインダー樹脂、
（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合
物および（Ｄ）光重合開始剤を含む着色感光性樹脂組成
物からなる層にフォトマスクを介して光線を照射したの
ち、該層の光線未照射領域を６０ｎｍ／秒以上の溶解速
度で現像液に溶解させることを特徴とする着色パターン
の形成方法。1. A pigment (A), a binder resin (B),
After irradiating a layer composed of a colored photosensitive resin composition containing (C) a compound having an ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization and (D) a photopolymerization initiator through a photomask, the layer is irradiated. A method for forming a colored pattern, which comprises dissolving the unirradiated region in a developing solution at a dissolution rate of 60 nm / sec or more. 【請求項２】着色感光性樹脂組成物の（Ａ）顔料の含有
量が、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率
で３０％以上である請求項１に記載の形成方法。2. The method according to claim 1, wherein the content of the pigment (A) in the colored photosensitive resin composition is 30% or more by mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition. . 【請求項３】（Ｂ）バインダー樹脂が、アクリル系重合
体である請求項１または請求項２に記載の形成方法。3. The method according to claim 1, wherein the binder resin (B) is an acrylic polymer. 【請求項４】（Ｂ）バインダー樹脂の使用量が（Ｃ）エ
チレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物の使用
量に対して０．５質量倍以上１．４質量倍以下である請
求項１〜請求項３のいずれかに記載の形成方法。4. The amount of the binder resin (B) used is 0.5 to 1.4 times the mass of the compound (C) having an ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization. The forming method according to claim 1. 【請求項５】請求項１〜請求項４のいずれかに記載の方
法で着色パターンを形成するカラーフィルターの製造方
法。5. A method for producing a color filter, which comprises forming a colored pattern by the method according to claim 1. 【請求項６】（Ａ）顔料、（Ｂ）バインダー樹脂、
（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合
物および（Ｄ）光重合開始剤を含む着色感光性樹脂組成
物であり、その固形分からなる層が、質量分率で０．０
５％の水酸カリウムを含む水酸化カリウム水溶液に２３
℃で６０ｎｍ／秒以上の溶解速度で溶解する、着色感光
性樹脂組成物。6. (A) pigment, (B) binder resin,
A colored photosensitive resin composition comprising (C) a compound having an ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization, and (D) a photopolymerization initiator, wherein a layer composed of the solid content thereof has a mass fraction of 0.0
23% in an aqueous solution of potassium hydroxide containing 5% potassium hydroxide
A colored photosensitive resin composition which dissolves at a dissolution rate of 60 nm / sec or more at 0 ° C. 【請求項７】着色感光性樹脂組成物の（Ａ）顔料の含有
量が、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率
で３０％以上である請求項６に記載の着色感光性樹脂組
成物。7. The colored photosensitive material according to claim 6, wherein the content of the pigment (A) in the colored photosensitive resin composition is 30% or more by mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition. Resin composition. 【請求項８】（Ｂ）バインダー樹脂の含有量が（Ｃ）エ
チレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物の使用
量に対して０．５質量倍以上１．５質量倍以下である請
求項８〜請求項１２のいずれかに記載の着色感光性樹脂
組成物。8. The content of the binder resin (B) is 0.5 mass times or more and 1.5 mass times or less with respect to the amount of the (C) compound having an ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization. The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 8 to 12.
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