JP2003057552A - 共焦点走査型顕微鏡、その位置合わせ方法、プログラム及び記憶媒体 - Google Patents
共焦点走査型顕微鏡、その位置合わせ方法、プログラム及び記憶媒体Info
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Abstract
取得可能で、また観察画像を用いた計測での再現性を向
上させた共焦点走査型顕微鏡を提供することを課題とす
る。 【解決手段】 低倍率の対物レンズによってオートフォ
ーカスを実行して合焦点位置を検出する。観察試料の観
察対象部を検索し、その検索結果に基いて、観察対象部
を移動する。次に高倍率の対物レンズによってオートフ
ォーカスを実行して合焦点位置を検出し、観察試料の観
察対象部を検索する。そして検索結果に基いて、観察対
象部を移動した後画像を取り込む。
Description
鏡に関し、特に自動焦点検出機能を備えた共焦点走査型
顕微鏡に関する。
試料面の特定の観察対象部をピンポイントに照射しなが
ら走査し、この試料面からの反射光のうちピンホールを
通過した光のみを電気信号に変換して、この検出信号か
ら試料面の光の濃淡情報を得るもので、更には焦点の合
った位置の情報を深さ方向に複数得ることにより試料面
の三次元情報を得ることが出来るようにしたものであ
る。
光源と光検出器の前面に設けたピンホールを組み合わ
せ、試料面をピンポイントで照明すると共に、測定点以
外からの散乱光をピンホールで抑制する。すなわち共焦
点走査型顕微鏡では、測定点近傍からのノイズ光をピン
ホール周辺に結像させ、また、光軸方向にずれた面から
の光を対物レンズによってピンホールの前で広げてピン
ホールで抑制する。これにより、測定点以外からの反射
光をカットし、焦点が合った高さ位置の反射光のみを光
電変換器によって変換して、三次元空間中の一点だけを
測定できるようにしている。
点検出方法には、様々な方式のものが提案されている。
例えば、試料面での反射光を受光素子で検出して得た輝
度データをコントラスト量として扱い、コントラスト量
が最も高くなるようにステージまたは対物レンズをZ軸
方向に移動させ合焦させる、いわゆる山登りサーボ方式
によるオートフォーカス(以下、AFと略す)制御を行
うものがある。
動焦点検出方法の一例を説明するものである。まず、不
図示の対物レンズをZ軸方向(光軸方向)で試料から離
れる方向(図8中左方向)に第1ピッチ(同図中白丸
印)で移動させながら試料面からの反射光の輝度データ
を得てゆき、輝度値がしきい値TH以上になるのを監視
する。そしてしきい値THを越える輝度値を検出する
と、今度は第1ピッチより細かい第2ピッチ(同図中黒
三角)で、Z軸方向において輝度値が増す方向(同図中
左方向)に対物レンズを移動させながら最高輝度値Hと
なるのを監視する。そして、最高輝度値Hを検出した後
も第2ピッチのままで同方向に対物レンズを移動させ、
輝度値が最高輝度値Hの50%になる点Mを探し、その
位置で対物レンズの移動を一時停止させる。
(図8中右方向)、今度は、第2ピッチより細かい第3
ピッチ(同図中白三角印)で最高輝度値Hとなる位置を
通過するまで移動させる。そして輝度値が3回続けて直
前に取り込んだ輝度値より小さい点を見つけたなら、真
の最高輝度の合焦点を過ぎたものと判断して、最高輝度
位置Fに対物レンズを移動させて合焦を完了する。
AF制御においては、合焦点の位置の補足範囲は、対物
レンズの倍率に影響される。5倍乃至10倍程度の低倍
率の対物レンズを用いる場合は、焦点深度が大きい為補
足範囲は広く、また50倍以上の対物レンズを用いる場
合は焦点深度が小さい為補足範囲は狭い。よって、高倍
率の対物レンズで観察するときは、まず低倍率の対物レ
ンズで大まかに合焦点位置を検出した後、高倍率の対物
レンズで微調節して合焦点位置を求める。
和しない範囲内で輝度値の変化が大きいと検出しやす
い。よって、観察対象部分の輝度値が低い場合、合焦点
位置の検出は試料(面)の輝度が高い部分で行い、合焦
点位置を検出した後に観察対象部を観察画像中央などの
所望の位置へ移動するという作業を行うことが多い。そ
して高倍率の対物レンズで観察する時は、この合焦点位
置の検出と観察対象部への移動という作業を低倍率の対
物レンズと高倍率の対物レンズのそれぞれにおいて行う
ことになる。
みなどが存在した為にAF制御に失敗した場合、手動で
検出位置を変更してから再びAF制御を行う必要があ
る。AF制御に失敗すると、実際に試料の観察を開始す
るまでにAF制御及び観察位置への移動の作業を繰り返
すこととなるが、観察位置など所望の位置へ移動するの
は、対物レンズの倍率が高いほど困難なので、非常に手
間がかかる作業となる。
要求される場合には、合焦点位置を安定して検出したい
ので、一般的に合焦点位置の検出位置を一定にした方が
よい。しかし、対物レンズの光軸は対物レンズ毎に誤差
があるので、対物レンズを切り換えたときに検出位置が
変わってしまうことがある。
で焦点の合った観察画像を容易に取得可能な共焦点走査
型顕微鏡を提供することを課題とする。また、観察画像
を用いた計測での再現性を向上させた共焦点走査型顕微
鏡を提供することを課題とする。
カスを行う共焦点走査型顕微鏡を行なう装置または方法
を前提とする。そして、上記課題を解決する為、本発明
のよる共焦点走査型顕微鏡は、第1の合焦点検出手段、
第1の観察対象部検索手段及び第1の移動手段を備え
る。
ズによってオートフォーカスを実行して合焦点位置を検
出する。第1の観察対象部検索手段は、上記第1の合焦
点検出手段による合焦点位置の検出後、観察試料の予め
定められた位置を検索する。
検索手段による検索結果に基いて上記観察試料と上記第
1の対物レンズとの相対位置を移動する。この構成によ
り、第1の観察対象部検索手段が検索した検索結果に基
いて、位置合わせが行われるので、合焦点位置が安定し
た観察画像が得られ、また計測での再現性を向上させる
ことができる。
の移動手段による移動後、第2の対物レンズによってオ
ートフォーカスを実行して合焦点位置を検出する第2の
合焦点検出手段と、上記第2の合焦点検出手段による合
焦点位置の検出後、上記観察試料の予め定められた位置
を検索する第2の観察対象部検索手段と、上記第2の観
察対象部検索手段による検索結果に基いて上記観察試料
と上記第2の対物レンズとの相対位置を移動する第2の
移動手段と、を更に備える構成とすることもできる。
レンズを第1の対物レンズより倍率が高いものとするこ
とにより、第1の対物レンズを用いて大よその位置を合
わせた後、第2の対物レンズでより詳細な位置合わせを
行うことが出来る。更に、例えば、上記第1の観察対象
部検索手段及び第2の観察対象部検索手段が、上記予め
定められた位置から複数ライン分走査して得られた輝度
データの平均値を求め、該平均値から検索を行う構成と
することによって観察試料上の異物やノイズにも対処す
ることができる。
焦点走査型顕微鏡における位置合わせ方法では、第1の
対物レンズによってオートフォーカスを実行して合焦点
位置を検出し、上記合焦点位置の検出後、観察試料の予
め定められた位置を検索し、上記検索結果に基いて上記
観察試料と上記第1の対物レンズとの相対位置を移動す
るようにすることにより、前述した第一の態様の装置と
同様の作用・効果が得られる。
われる機能と同様の制御を情報処理装置に行なわせるプ
ログラムを記憶した情報処理装置読み取り可能な記憶媒
体から、そのプログラムを情報処理装置に読み出させて
実行させることによっても、前述した課題を解決するこ
とができる。
に基づいて説明する。図1は、本実施形態における共焦
点走査型顕微鏡のシステムの概略構成を示す図である。
走査用スキャナ2、対物レンズ3、ステージ5、光検出
器6、A/D変換器7、移動駆動部8、CPU9、メモ
リ10、フレームメモリ11及び表示部12を備えてい
る。尚CPU9、メモリ10、フレームメモリ11及び
表示部12は、共焦点走査型顕微鏡とは別構成にし、共
焦点走査型顕微鏡に接続されたパソコン等の汎用の情報
処理装置とする構成としても良い。
っている。この光源1からのスポット光は二次元走査用
スキャナ2に導かれている。二次元走査用スキャナ2
は、光源1から入射されたスポット光を試料4上に二次
元走査する為のもので、例えばX軸方向走査用のXスキ
ャナとしてガルバノミラー又はレゾナンドスキャナとY
軸方向走査用のYスキャナとしてガルバノミラーを有
し、これらXスキャナとYスキャナをX軸方向とY軸方
向に振ることでスポット光を試料4上でXY軸方向(光
軸に垂直な方向)に振る。
駆動部8によりスポット光の光軸方向、つまりZ軸方向
に連続的に移動可能になっている。また二次元走査用ス
キャナ2によって二次元走査されたスポット光は、対物
レンズ3を透過してステージ5上の試料4に照射され
る。そして試料4からの反射光は、対物レンズ3を通し
て二次元走査用スキャナ2に戻り、この二次元走査用ス
キャナ2から光検出器6に導かれる。
基づいて、スポット光の光軸に対して垂直方向、つまり
XY軸方向に試料4を移動する。光検出器6は、受光面
の前面に不図示のピンホールを有し、二次元走査用スキ
ャナ2を通った反射光のうちこのピンホールを介して得
られる光情報を受光し、その光量に対応した輝度信号を
出力する。光検出器6は、A/D変換器7を介してCP
U9に接続されており、輝度信号はデジタル値に変換さ
れてCPU9に出力される。
を出して動作制御を行うもので、移動駆動部8に対して
は対物レンズ3のZ軸方向の連続移動速度の設定、移動
開始/停止の指示及び停止位置の読み込みなどを行う。
また、二次元走査用スキャナ2に対しては、スポット光
の走査を指示し、この走査により得られる光検出器6の
輝度信号から共焦点観察像を生成する。そしてステージ
5に対しては、試料4のXY方向の移動開始/停止指示
などを行う。
基づいて、輝度検出手段901及び合焦点判断手段90
2を実現する。輝度検出手段901は、対物レンズ3の
Z軸方向の連続移動に伴い、所定のサンプリング周波
数、例えば1KHzで光検出器6からの輝度信号を検出
する。そして合焦点判断手段902は、この輝度検出手
段901により検出された輝度値の変化から合焦点を判
断する。またCPU9は、後述する観察像からの観察対
象部の検索処理及び検索結果に基いたステージ5への位
置の移動の指示を行う。
グラムを記憶したり、CPU9が処理を行う為のワーク
エリアとして用いられる。また、後述するCPU9が行
う観察対象部の検索で、検索に使用される画像データや
平均断面データなどを作成、記憶する際に使用される。
タに基づいてCPU9が生成した観察画像を、フレーム
メモリ11を介して表示するものである。次に上記構成
による顕微鏡装置の本実施形態での観察時の処理動作に
ついて説明する。
示すような輝度が高い部分と低い部分が連続するライン
アンドスペース形状を観察する場合を例としている。こ
の試料は、予め大まかに形状が判っており、輝度が高い
部分の幅が約30μm、輝度が低い部分の幅が約5μm
であるとする。そして本実施形態では、この試料の輝度
が低い部分の線幅を観察する場合を例にして説明する。
点位置を検出する為、顕微鏡に低倍率の対物レンズを設
定し、AF制御を実行する。このAFの実行位置には観
察像の中央位置を用い、この位置での輝度値を使用して
AFを実行するものとする。尚、本発明はAFの方式に
は依存しない。よって、ここで行うAFの方式は、上述
した山登りサーボ方式等一般的に行われているどのよう
な方式で行っても良いので、AFに対する詳細な説明は
省略する。
満たすならばAFを実行する位置を移動して、AFが成
功するか再実行条件を満たさなくなるまでAFの実行を
繰り返す。この時、AFの再実行条件と失敗したときの
AFの実行位置の移動量は試料の形状等から予め算出し
て設定しておく。例えば、AFの実行位置の移動を水平
方向に左に10μm移動するものとし、再実行条件を輝
度が高い範囲内のみ移動可能とすれば、AFは最大3回
実行されることになる。
と、次に観察対象部の検索を行う。ここで観察対象部の
検索について図3を用いて説明する。図3は、本実施形
態による観察対象部の検索動作とステージの移動動作を
説明する図である。
た位置で、試料4を走査し、走査画像を得る。そしてこ
の走査画像から画像の水平方向の中心付近の数ライン分
の輝度データを取得する。このとき取得するライン数と
取得位置は試料形状に合わせて予め設定しておく。図3
では同図(b)のW部分から水平方向に数ライン分の輝
度データを取得するものとする。
じ位置の輝度値を加算平均して、図3(a)のような1
ラインの平均輝度データを作成する。同図の場合、試料
がラインアンドスペース形状なので、1ライン分の輝度
データは輝度が高い部分と低い部分が同じ間隔で順番に
繰り返される値となっている。本実施形態では、この平
均輝度データを用いることによって、観察対象部にごみ
等の異物が存在したり、ノイズのために検索が失敗する
のを防止する。
幅を観察するので、作成した図3(a)のような平均輝
度データから試料の輝度の高い部分と低い部分の境界で
あるエッジの位置を検索する。ここでのエッジ位置と
は、図3(a)の平均輝度データIを左側から(Xが大
きくなる方向へ)検索した時に、あらかじめ設定してお
いたしきい値Tiより輝度が小さくなる方向に初めて横
切る位置(同図のE部分)とする。そしてこのエッジ位
置を、観察対象部の検索結果とする。エッジ位置の検索
に失敗したときは、観察位置を変更して再度AFの実行
からやり直す。
たエッジの位置から微小量離れた位置(図3(c)のF
の位置)がAFを実行する位置となるようにステージを
移動する。観察対象部として検索されたエッジ位置は輝
度が低くなる途中の位置であり、その位置でAFを行う
と失敗する可能性が高いので、検索されたエッジ位置か
ら予め定められた求め方で求まる位置、例えばエッジ位
置より微小量(−αμm)離した位置をAFを実行する
位置に設定する。尚、このエッジ位置から離す長さαの
大きさは試料の形状やAFに使用する領域サイズ等から
予め計算し、設定しておく。
合焦点位置を検出する為に、観察に用いる高倍率の対物
レンズに切り換える。このときの対物レンズの位置Z
は、低倍率の対物レンズでAFが成功した位置から変化
していない。そしてこの状態から高倍率の対物レンズを
用いてAFを実行する。
ズでAFを失敗した場合と同様、AFが成功するか再実
行条件を満たさなくなるまで位置を移動してAFの実行
を繰り返す。尚この時の移動量と再実行条件は高倍率対
物レンズ用の設定とし、移動量は低倍率対物レンズでの
値より通常小さくなる。
索を行う。この検索方法は低倍率対物レンズの時と基本
的には同様であるが、検索に失敗した時は、表示部12
に表示される観察画像の水平方向の大きさ分右へステー
ジを移動して再度検索する。そして再検索でも失敗した
時は、観察位置を変更して、対物レンズを低倍率の対物
レンズに切り換えてAFの実行からやり直す。
対象部が画像中央になるようにステージを移動する。こ
れにより観察対象部が中央に位置しているので、そのま
ま観察像を取り込むと、所望の観察象が得られる。この
ように本実施形態による共焦点走査型顕微鏡では、合焦
点位置の検出位置が安定し、所望の画像を得るまでに手
間がかからない。
また共焦点走査型顕微鏡で計測精度が良い画像中央付近
に常に計測対象部が位置するので、画像を用いた計測で
再現性を向上する。図4は、本実施形態における共焦点
走査型顕微鏡による試料観察時の動作処理を示すフロー
チャートである。同図の処理は、CPU9がメモリ10
内のプログラムに基いて共焦点走査型顕微鏡を制御して
実現される。
としてまず大まかな合焦点位置を検出する為、低倍率の
対物レンズを設定して、ステップS102としてAFを
実行する。ステップS102でのAFが失敗した場合
(ステップS103、No)、予めメモリに設定記憶さ
れているAFの再実行条件を満たすならば(ステップS
121、Yes)、ステップS122としてAFを実行
する位置を移動した後、ステップS102に処理を戻し
て再度AFを実行する。そして、再実行条件を満たす間
は、ステップS102でAFが成功するまでステップS
102、S103、S121及びS122の処理を繰り
返す。
(ステップS103、Yes)、次にステップS104
として観察対象部の検索処理を行う。図5は、ステップ
S104、S110及びS116で行われる観察対象部
の検索処理を示すフローチャートである。
から画像の水平方向の中心付近の予め定められている位
置から数ライン分の輝度データを取得する(ステップS
201)。次にステップS201で取得した輝度データ
を、垂直方向において同じ位置の輝度値を加算平均し
て、1ラインの平均輝度データを作成する(ステップS
202)。そして、ステップS203としてステップS
202で作成した平均輝度データからエッジ位置を検索
した後、検索処理を終了して処理を図3に戻す。
位置を得ることが出来ず、観察対象部の検索に失敗した
ときは(ステップS105、No)、ステップS114
として観察位置を移動して変更した後、処理をステップ
S102に戻し、別の観察位置で再度低倍率の対物レン
ズによるAFを実行する。
成功した場合は(ステップS105、Yes)、ステッ
プS104で観察対象部から検索した位置を基にして予
め定められた求め方で求まる位置をAFを実行する位置
とし、その位置が観察画像の中央にくるようにステージ
を移動する(ステップS106)。
点位置を検出する為に、実際に観測に用いる高倍率の対
物レンズに切り替え(ステップS107)、AFを実行
する(ステップS108)。ステップS108でAFが
失敗した時は(ステップS109、No)、低倍率の対
物レンズでのAF失敗と同様、予めメモリに設定記憶さ
れている高倍率の対物レンズ用のAFの再実行条件を満
たすようであれば(ステップS119、Yes)、ステ
ップS120として高倍率対物レンズ用に設定された長
さ分の位置移動をしてAFを実行する位置を変更した
後、ステップS108に処理を戻して再度AFを実行す
る。そして、再実行条件を満たす間は、ステップS10
8でAFが成功するまでステップS108、S109、
S119及びS120の処理を繰り返す。また再実行条
件を満たさなかったら(ステップS119、No)、処
理を終了する。
(ステップS109、Yes)、ステップS110とし
て図5に示した処理によって観察対象部の検索を行う。
ステップS110での検索が失敗した時は(ステップS
111、No)、観察画像の水平方向サイズ分ステージ
を右へ移動して(ステップS115)、図5の観察対象
部の検索処理を再度行う(ステップS116)。そして
ステップS116の再度の検索処理でもAFに失敗した
時は(ステップS117、No)、ステップS118と
して観察位置を移動して変更した後、処理をステップS
101に戻し、別の観察位置で再度低倍率の対物レンズ
によるAFから処理をやり直す。
6で観察対象部の検索が成功したときは(ステップS1
11若しくはS117、Yes)、観察対象部が観察画
像の中央になるようにステージを移動する(ステップS
112)。そしてこの状態で試料を走査して観察像を取
り込むと(ステップS113)、所望の観察画像が得ら
れる。
レームメモリ11及び表示部12を、共焦点走査型顕微
鏡に接続するパソコン等の汎用の情報処理装置を用いる
構成とした場合の、上記汎用の情報処理装置のシステム
の環境を示す図である。この情報処理装置は、図6の様
にCPU21、主記憶装置22、ハードディスク等によ
る補助記憶装置23、ディスプレイ、キーボード等の入
出力装置(I/O)24、モデム等のネットワーク接続
装置25及びディスク、磁気テープなどの可搬記憶媒体
から記憶内容を読み出す媒体読取り装置26を有し、こ
れらが互いにバス28により接続される構成を備えてい
る。
れたプログラムに基づいて、補助記憶装置23内に事前
に記録・設定されている、観察試料の種類、対物レンズ
の種類や倍率に依存する、AFの再実行条件や観察対象
部の検索処理に用いる種々の条件等を参照して図4の処
理を実現する。
装置26により磁気テープ、フレキシブルディスク、C
D−ROM、MO等の記憶媒体27に記憶されているプ
ログラム、データを読み出し、これを主記憶装置22ま
たは補助記憶装置23にダウンロードする。そして本実
施形態による各処理は、CPU21がこのプログラムや
データを実行することにより、ソフトウエア的に実現す
ることも可能である。
シブルディスク等の記憶媒体27を用いてアプリケーシ
ョンソフトの交換が行われる場合がある。よって、本発
明は、共焦点走査型顕微鏡やその位置合わせ方法に限ら
ず、コンピュータにより使用されたときに、上述の本発
明の実施の形態の機能をコンピュータに行わせるための
コンピュータ読み取り可能な記憶媒体27として構成す
ることもできる。
に示されるように、CD−ROM、フレキシブルディス
ク(あるいはMO、DVD、リムーバブルハードディス
ク等であってもよい)等の媒体駆動装置37に脱着可能
な可搬記憶媒体36や、ネットワーク回線33経由で送
信される外部の装置(サーバ等)内の記憶手段(データ
ベース等)32、あるいは情報処理装置31の本体34
内のメモリ(RAM又はROM、ハードディスク等)3
5等が含まれる。可搬記憶媒体36や記憶手段(データ
ベース等)32に記憶されているプログラムは、本体3
4内のメモリ(RAM又はROM、ハードディスク等)
35にロードされて、実行される。
ズを移動していたが、試料を載せたステージを光軸方向
に移動する構成としても良い。またAFを実行する位置
の移動を行う際、ステージを用いて試料を移動していた
が、試料を移動させず二次元走査用スキャナ2による走
査位置を制御することで、AFを実行する位置を移動し
ても良い。
いて立下りエッジの位置を検索して行っていたが、この
方式に限定されるものではなく、一般的に用いられる画
像認識方式の中から試料の形状に合わせて適宜なものを
選択して用いても良い。またAFを実行する位置を観察
画像の中央としていたが、この限りではなく、観察画像
内のどの位置でも良い。
検索して検索結果に基いて移動する時に、移動量は予め
指定してあるものを用いているが、検索時に求めた平均
輝度データ情報から、続いて行う高倍率対物レンズでの
AFの実行において、AFが必ず成功する位置を検索し
てその位置へ移動するようにしても良い。
時に移動する方向のライン分のデータをメモリに保持し
ておき、AFに失敗した時には保持しておいた輝度デー
タを用いて次にAFが必ず成功する位置を検索し、その
位置へ移動してAFを実行する構成としても良い。
倍率の対物レンズを用いて位置合わせを行っているが、
試料の状態や観察部の精度等によっては、同じ倍率の対
物レンズを用いて位置合わせを行っても良い。また本実
施形態では、実際に低倍率の対物レンズと、観察に用い
る高倍率の対物レンズとで2度位置合わせを行っている
が、観察に用いる対物レンズのみで1度だけ位置合わせ
を行っても良い。
れば、所望の画像を得るまでに手間がかからない共焦点
走査型顕微鏡を実現することができる。また、画像を用
いた計測で再現性を向上した共焦点走査型顕微鏡実現す
ることができる。
テムの概略構成を示す図である。
る。
試料観察時の動作処理を示すフローチャートである。
ある。
る。
説明するものである。
Claims (7)
- 【請求項1】 オートフォーカス機能を備えた共焦点
走査型顕微鏡において、 第1の対物レンズによってオートフォーカスを実行して
合焦点位置を検出する第1の合焦点検出手段と、 前記第1の合焦点検出手段による合焦点位置の検出後、
観察試料の予め定められた位置を検索する第1の観察対
象部検索手段と、 前記第1の観察対象部検索手段による検索結果に基いて
前記観察試料と前記第1の対物レンズとの相対位置を移
動する第1の移動手段と、 を備えたことを特徴とする共焦点走査型顕微鏡。 - 【請求項2】 前記第1の移動手段による移動後、第2
の対物レンズによってオートフォーカスを実行して合焦
点位置を検出する第2の合焦点検出手段と、 前記第2の合焦点検出手段による合焦点位置の検出後、
前記観察試料の予め定められた位置を検索する第2の観
察対象部検索手段と、 前記第2の観察対象部検索手段による検索結果に基いて
前記観察試料と前記第2の対物レンズとの相対位置を移
動する第2の移動手段と、 を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の共焦点
走査型顕微鏡。 - 【請求項3】 前記第2の対物レンズは、前記第1の対
物レンズより倍率が高いことを特徴とする請求項2に記
載の共焦点走査型顕微鏡。 - 【請求項4】 前記第1の観察対象部検索手段及び第2
の観察対象部検索手段の少なくとも一方は、前記予め定
められた位置から複数ライン分走査して得られた輝度デ
ータの平均値を求め、該平均値から検索を行うことを特
徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の共焦点走
査型顕微鏡。 - 【請求項5】 オートフォーカス機能を備えた共焦点
走査型顕微鏡における位置合わせ方法であって、 第1の対物レンズによってオートフォーカスを実行して
合焦点位置を検出し、前記合焦点位置の検出後、観察試
料の予め定められた位置を検索し、 前記検索結果に基いて前記観察試料と前記第1の対物レ
ンズとの相対位置を移動することを特徴とする共焦点走
査型顕微鏡における位置合わせ方法。 - 【請求項6】 オートフォーカス機能を備えた合焦点
走査型顕微鏡と接続された情報処理装置によって使用さ
れた時、 第1の対物レンズによってオートフォーカスを実行させ
て合焦点位置を検出し、 前記合焦点位置検出後、観察試料の予め定められた位置
を検索し、 前記検索結果に基いて前記観察試料と前記第1の対物レ
ンズとの相対位置を移動させることを前記情報処理装置
に行わせるプログラム。 - 【請求項7】 オートフォーカス機能を備えた共焦点
走査型顕微鏡と接続された情報処理装置によって使用さ
れた時、 第1の対物レンズによってオートフォーカスを実行させ
て合焦点位置を検出し、 前記合焦点位置検出後、観察試料の予め定められた位置
を検索し、 前記検索結果に基いて前記観察試料と前記第1の対物レ
ンズとの相対位置を移動させることを前記情報処理装置
に行わせるためのプログラムを記憶した前記情報処理装
置が読み取り可能な記憶媒体。
Priority Applications (1)
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