JP2003056562A - リニアガイド装置及びその調整方法 - Google Patents
リニアガイド装置及びその調整方法Info
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- JP2003056562A JP2003056562A JP2001243291A JP2001243291A JP2003056562A JP 2003056562 A JP2003056562 A JP 2003056562A JP 2001243291 A JP2001243291 A JP 2001243291A JP 2001243291 A JP2001243291 A JP 2001243291A JP 2003056562 A JP2003056562 A JP 2003056562A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造が簡単になるとともに、ワークテーブル
の水平度を維持して高精度加工を達成することができる
ようにすること。 【解決手段】 ワークテーブル５のそれぞれ両側下面に
は複数のリニアガイド３が前記リニアガイドレール２の
長手方向に沿って配列されている。前記第１リニアガイ
ド片８及び第２リニアガイド片９の内側面には凹部１４
ａ〜１４ｃ，１５がそれぞれ形成さている。各凹部１４
ａ〜１４ｃ、１５には摩擦係数が極めて小さい例えばフ
ッ素樹脂等からなる板状の補助部材１６ａ〜１６ｄがそ
れぞれ嵌着されている。そして、前記補助部材１６ａ〜
１６ｄにはそれぞれ静圧ランド１８ａ〜１８ｄが透設さ
れ、これらの静圧ランド１８ａ〜１８ｄには潤滑油が導
入される。そして、潤滑油による静圧によりリニアガイ
ド３がリニアガイドレール２に対して半浮上し、ワーク
テーブル５をリニアガイドレール２に沿って往復動させ
ることができる。ワークテーブル５に傾斜力が作用した
場合には、水平状態が維持されるように、両端のリニア
ガイド３部の油圧が調整される。
の水平度を維持して高精度加工を達成することができる
ようにすること。 【解決手段】 ワークテーブル５のそれぞれ両側下面に
は複数のリニアガイド３が前記リニアガイドレール２の
長手方向に沿って配列されている。前記第１リニアガイ
ド片８及び第２リニアガイド片９の内側面には凹部１４
ａ〜１４ｃ，１５がそれぞれ形成さている。各凹部１４
ａ〜１４ｃ、１５には摩擦係数が極めて小さい例えばフ
ッ素樹脂等からなる板状の補助部材１６ａ〜１６ｄがそ
れぞれ嵌着されている。そして、前記補助部材１６ａ〜
１６ｄにはそれぞれ静圧ランド１８ａ〜１８ｄが透設さ
れ、これらの静圧ランド１８ａ〜１８ｄには潤滑油が導
入される。そして、潤滑油による静圧によりリニアガイ
ド３がリニアガイドレール２に対して半浮上し、ワーク
テーブル５をリニアガイドレール２に沿って往復動させ
ることができる。ワークテーブル５に傾斜力が作用した
場合には、水平状態が維持されるように、両端のリニア
ガイド３部の油圧が調整される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガイドレールに
対してテーブル等の移動体を案内するためのリニアガイ
ド装置及びその調整方法に関するものである。
対してテーブル等の移動体を案内するためのリニアガイ
ド装置及びその調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種のリニアガイド装置は、移動体を
少ない抵抗で、かつ高精度に案内できる機能を有し、工
作機械において多く採用されている。
少ない抵抗で、かつ高精度に案内できる機能を有し、工
作機械において多く採用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなリニアガイド装置においては、移動体の重心が変位
した場合等には、水平バランスが崩れるおそれがあり、
このような場合には大幅に加工精度が低下することにな
る。
うなリニアガイド装置においては、移動体の重心が変位
した場合等には、水平バランスが崩れるおそれがあり、
このような場合には大幅に加工精度が低下することにな
る。
【０００４】この発明の目的は、このような問題を解消
することができるリニアガイド装置及びその調整方法を
提供することにある。
することができるリニアガイド装置及びその調整方法を
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明においては、装置本体上に
設けられ、一方向に延在するガイドレールと、移動体の
下面に設けられるとともに、ガイドレールに支持され、
油静圧を介して前記ガイドレールの長手方向に沿って案
内されるリニアガイドとを備えたリニアガイド装置にお
いて、前記ガイドレールの長手方向に沿うリニアガイド
の長さを前記移動体のそれよりも短くするとともに、複
数のリニアガイドを移動体の両端部と、それらの間の位
置とに配置したことを特徴とする。
めに、請求項１に記載の発明においては、装置本体上に
設けられ、一方向に延在するガイドレールと、移動体の
下面に設けられるとともに、ガイドレールに支持され、
油静圧を介して前記ガイドレールの長手方向に沿って案
内されるリニアガイドとを備えたリニアガイド装置にお
いて、前記ガイドレールの長手方向に沿うリニアガイド
の長さを前記移動体のそれよりも短くするとともに、複
数のリニアガイドを移動体の両端部と、それらの間の位
置とに配置したことを特徴とする。
【０００６】従って、リニアガイドレールの長手方向に
沿って長いリニアガイドを製造する必要がなく、製造が
簡単である。しかも、各リニアガイド部において圧力調
整できるため、移動体の水平度を維持できて、高精度加
工が可能になる。
沿って長いリニアガイドを製造する必要がなく、製造が
簡単である。しかも、各リニアガイド部において圧力調
整できるため、移動体の水平度を維持できて、高精度加
工が可能になる。
【０００７】請求項２に記載の発明においては、請求項
１において、両端部のリニアガイドを支持点としたこと
を特徴とする。従って、一方の支持点のリニアガイドの
静圧を調整すれば、移動体の水平度を確実に保持でき
る。
１において、両端部のリニアガイドを支持点としたこと
を特徴とする。従って、一方の支持点のリニアガイドの
静圧を調整すれば、移動体の水平度を確実に保持でき
る。
【０００８】請求項３に記載の発明においては、請求項
１または２において、リニアガイドとガイドレールとの
間の静圧圧力を検出するための検出手段を設けたことを
特徴とする。
１または２において、リニアガイドとガイドレールとの
間の静圧圧力を検出するための検出手段を設けたことを
特徴とする。
【０００９】従って、検出手段の検出結果に基づいて、
静圧の圧力調整を的確に行うことができる。請求項４に
記載の発明においては、請求項１〜３のいずれかにおい
て、両端部のリニアガイド間に位置する他のリニアガイ
ドを油以外の静圧を介してガイドレールに支持したこと
を特徴とする。
静圧の圧力調整を的確に行うことができる。請求項４に
記載の発明においては、請求項１〜３のいずれかにおい
て、両端部のリニアガイド間に位置する他のリニアガイ
ドを油以外の静圧を介してガイドレールに支持したこと
を特徴とする。
【００１０】このようにすれば、要求に応じて、リニア
ガイド全体と、リニアガイドレールとの間の摩擦係数を
変更できる。請求項５に記載の発明は、リニアガイド装
置に調整方法に関するものであり、請求項１〜４のいず
れかに記載のリニアガイド装置において、少なくとも１
箇所のリニアガイドとガイドレールとの間の静圧圧力を
調整することを特徴とした。
ガイド全体と、リニアガイドレールとの間の摩擦係数を
変更できる。請求項５に記載の発明は、リニアガイド装
置に調整方法に関するものであり、請求項１〜４のいず
れかに記載のリニアガイド装置において、少なくとも１
箇所のリニアガイドとガイドレールとの間の静圧圧力を
調整することを特徴とした。
【００１１】従って、前述と同様に、移動体の水平度を
的確に維持できる。
的確に維持できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下、この発
明を具体化した第１の実施形態を図１〜図３に基づいて
説明する。
明を具体化した第１の実施形態を図１〜図３に基づいて
説明する。
【００１３】図１及び図２に示すように、工作機械の本
体１には一対の平行なリニアガイドレール２がボルト７
により固定されている。このリニアガイドレール２の上
端部には突部２ａが外方を向くように形成されている。
体１には一対の平行なリニアガイドレール２がボルト７
により固定されている。このリニアガイドレール２の上
端部には突部２ａが外方を向くように形成されている。
【００１４】移動体としてのワークテーブル５のそれぞ
れ両側下面には複数（この実施形態では３）のリニアガ
イド３が前記リニアガイドレール２の長手方向に沿って
配列され、それぞれボルト１２，１３により固定されて
いる。これらのリニアガイド３は、後述する油静圧を介
して前記リニアガイドレール２にその長手方向に沿って
摺動可能に支持されている。従って、ワークテーブル５
がリニアガイドレール２の長手方向に沿って移動され
る。
れ両側下面には複数（この実施形態では３）のリニアガ
イド３が前記リニアガイドレール２の長手方向に沿って
配列され、それぞれボルト１２，１３により固定されて
いる。これらのリニアガイド３は、後述する油静圧を介
して前記リニアガイドレール２にその長手方向に沿って
摺動可能に支持されている。従って、ワークテーブル５
がリニアガイドレール２の長手方向に沿って移動され
る。
【００１５】当然、各リニアガイド３は、ワークテーブ
ル５のリニアガイドレール２の長手方向の長さより短
い。このリニアガイド３は前記リニアガイドレール２の
側面、上面、突部２ａの上面および側面を覆う断面コ字
状に形成された第１リニアガイド片８と、前記リニアガ
イドレール２における突部２ａの下面を覆う第２リニア
ガイド片９とにより構成されている。
ル５のリニアガイドレール２の長手方向の長さより短
い。このリニアガイド３は前記リニアガイドレール２の
側面、上面、突部２ａの上面および側面を覆う断面コ字
状に形成された第１リニアガイド片８と、前記リニアガ
イドレール２における突部２ａの下面を覆う第２リニア
ガイド片９とにより構成されている。
【００１６】前記第１リニアガイド片８及び第２リニア
ガイド片９の内側面には凹部１４ａ〜１４ｃ，１５がそ
れぞれ形成さている。そして、前記各凹部１４ａ〜１４
ｃ、１５には摩擦係数が極めて小さい例えばフッ素樹脂
等からなる板状の補助部材１６ａ〜１６ｄがそれぞれ嵌
着されている。そして、前記補助部材１６ａ〜１６ｄに
はそれぞれ静圧ランド１８ａ〜１８ｄが透設され、これ
らの静圧ランド１８ａ〜１８ｄには静圧媒体としての潤
滑油が導入されるようになっている。そして、それぞれ
リニアガイドレール２を挟んで対向する静圧ランド１８
ａ及び１８ｃ，静圧ランド１８ｂ及び１８ｄは、同じ面
積になっている。静圧ランド１８ａ〜１８ｄに供給され
る潤滑油により、リニアガイドレール２と第１，第２リ
ニアガイド片８，９との間の静圧が形成される。
ガイド片９の内側面には凹部１４ａ〜１４ｃ，１５がそ
れぞれ形成さている。そして、前記各凹部１４ａ〜１４
ｃ、１５には摩擦係数が極めて小さい例えばフッ素樹脂
等からなる板状の補助部材１６ａ〜１６ｄがそれぞれ嵌
着されている。そして、前記補助部材１６ａ〜１６ｄに
はそれぞれ静圧ランド１８ａ〜１８ｄが透設され、これ
らの静圧ランド１８ａ〜１８ｄには静圧媒体としての潤
滑油が導入されるようになっている。そして、それぞれ
リニアガイドレール２を挟んで対向する静圧ランド１８
ａ及び１８ｃ，静圧ランド１８ｂ及び１８ｄは、同じ面
積になっている。静圧ランド１８ａ〜１８ｄに供給され
る潤滑油により、リニアガイドレール２と第１，第２リ
ニアガイド片８，９との間の静圧が形成される。
【００１７】すなわち、前記補助部材１６ａ〜１６ｄと
リニアガイドレール２との間には若干（数μ程度）のク
リアランスが設けられるように静圧となる圧油が供給さ
れ、リニアガイド３がリニアガイドレール２に対して半
浮上するようになっている。従って、この状態でワーク
テーブル５を図示しない駆動シリンダによりリニアガイ
ドレール２に沿って往復動させることができる。
リニアガイドレール２との間には若干（数μ程度）のク
リアランスが設けられるように静圧となる圧油が供給さ
れ、リニアガイド３がリニアガイドレール２に対して半
浮上するようになっている。従って、この状態でワーク
テーブル５を図示しない駆動シリンダによりリニアガイ
ドレール２に沿って往復動させることができる。
【００１８】前記第１，２リニアガイド片８，９には潤
滑油を図示しない油圧制御装置から各静圧ランド１８ａ
〜１８ｄに導入するための流通路１９ａ〜１９ｄが形成
されている。
滑油を図示しない油圧制御装置から各静圧ランド１８ａ
〜１８ｄに導入するための流通路１９ａ〜１９ｄが形成
されている。
【００１９】図２及び図３に示すように、前記第１，２
リニアガイド片８，９には複数の検出孔２０がそれぞれ
設けられている。各検出孔２０は、それぞれ前記各静圧
ランド１８ａ〜１８ｄに対応して配置されている。そし
て、これらの検出孔２０に接続された図示しない監視装
置により各静圧ランド１８ａ〜１８ｄ内における潤滑油
の圧力が検出されるようになっている。この検出孔２０
及び監視装置等により検出手段が構成されている。この
検出手段の検出に基づいて、各リニアガイド３部の静圧
が高くあるいは低く調整される。
リニアガイド片８，９には複数の検出孔２０がそれぞれ
設けられている。各検出孔２０は、それぞれ前記各静圧
ランド１８ａ〜１８ｄに対応して配置されている。そし
て、これらの検出孔２０に接続された図示しない監視装
置により各静圧ランド１８ａ〜１８ｄ内における潤滑油
の圧力が検出されるようになっている。この検出孔２０
及び監視装置等により検出手段が構成されている。この
検出手段の検出に基づいて、各リニアガイド３部の静圧
が高くあるいは低く調整される。
【００２０】この実施形態において、通常はリニアガイ
ドレール２の両端部における一対のリニアガイド３（図
３の３Ａ）部分の油圧が高くなるように制御される。従
って、両端部の一対のリニアガイド３がワークテーブル
５の支持点になる。また、何らかの原因により、重心が
変位したりして、ワークテーブル５に傾斜力が作用した
場合には、水平状態が維持されるように、一方の支持点
のリニアガイド３部の油圧が調整される。
ドレール２の両端部における一対のリニアガイド３（図
３の３Ａ）部分の油圧が高くなるように制御される。従
って、両端部の一対のリニアガイド３がワークテーブル
５の支持点になる。また、何らかの原因により、重心が
変位したりして、ワークテーブル５に傾斜力が作用した
場合には、水平状態が維持されるように、一方の支持点
のリニアガイド３部の油圧が調整される。
【００２１】以上のように構成されたこの実施形態にお
いては、以下のような作用を有する。 ・ リニアガイド３をワークテーブル５より短くして、
複数設けたため、大きさの異なるワークテーブル５に簡
単に対応できる。すなわち、大きなワークテーブル５の
場合には、リニアガイド３の数を増やせばよく、ワーク
テーブル５が大きくても、大きなリニアガイドを用いる
必要がない。従って、製造が簡単になるばかりでなく、
大きなリニアガイドにつきものの精度管理の難しさもな
い。逆に、ワークテーブル５が小さい場合には、リニア
ガイド３の数を一対までに減らせばよい。
いては、以下のような作用を有する。 ・ リニアガイド３をワークテーブル５より短くして、
複数設けたため、大きさの異なるワークテーブル５に簡
単に対応できる。すなわち、大きなワークテーブル５の
場合には、リニアガイド３の数を増やせばよく、ワーク
テーブル５が大きくても、大きなリニアガイドを用いる
必要がない。従って、製造が簡単になるばかりでなく、
大きなリニアガイドにつきものの精度管理の難しさもな
い。逆に、ワークテーブル５が小さい場合には、リニア
ガイド３の数を一対までに減らせばよい。
【００２２】・ ワークテーブル５の両端部のリニアガ
イド３がワークテーブル５の支持点を構成しているた
め、支持点が３箇所以上存在する場合に比較して、ワー
クテーブル５の水平度を簡単に得ることができる。
イド３がワークテーブル５の支持点を構成しているた
め、支持点が３箇所以上存在する場合に比較して、ワー
クテーブル５の水平度を簡単に得ることができる。
【００２３】・ しかも、重心移動等によりワークテー
ブル５に対して傾斜力が作用した場合には、一方の支持
点におけるリニアガイド３とリニアガイドレール２との
間の油圧を調整すればよいため、その調整が簡単で、常
に高精度加工を達成できる。すなわち、第１，２リニア
ガイド片８，９には各静圧ランド１８ａ〜１８ｄからの
油圧を検出する検出孔２０を設けている。この結果、油
圧の変動によりリニアガイド３の重心がどちらの方向に
変位しているかを検出することができ、この油圧の変動
に基づいて図示しない油圧制御装置により各静圧ランド
１８ａ〜１８ｄからの油圧を制御することができる。こ
の結果、ワークテーブル５の傾きを補正して、ワーク加
工の精度を安定させることができる。
ブル５に対して傾斜力が作用した場合には、一方の支持
点におけるリニアガイド３とリニアガイドレール２との
間の油圧を調整すればよいため、その調整が簡単で、常
に高精度加工を達成できる。すなわち、第１，２リニア
ガイド片８，９には各静圧ランド１８ａ〜１８ｄからの
油圧を検出する検出孔２０を設けている。この結果、油
圧の変動によりリニアガイド３の重心がどちらの方向に
変位しているかを検出することができ、この油圧の変動
に基づいて図示しない油圧制御装置により各静圧ランド
１８ａ〜１８ｄからの油圧を制御することができる。こ
の結果、ワークテーブル５の傾きを補正して、ワーク加
工の精度を安定させることができる。
【００２４】・ リニアガイド３を第１，２リニアガイ
ド片８，９により分割構成したことにより、個々の第
１，２リニアガイド片８，９の形状が単純化されて、製
作が容易になる。このため、製作時における第１，２リ
ニアガイド片８，９の製作ミスを少なくすることがで
き、第１，２リニアガイド８，９の製作効率を向上させ
ることができる。
ド片８，９により分割構成したことにより、個々の第
１，２リニアガイド片８，９の形状が単純化されて、製
作が容易になる。このため、製作時における第１，２リ
ニアガイド片８，９の製作ミスを少なくすることがで
き、第１，２リニアガイド８，９の製作効率を向上させ
ることができる。
【００２５】・ 第１，２リニアガイド片８，９の内側
面に摩擦係数の小さい補助部材１６ａ〜１６ｄを設けた
ので、仮に補助部材１６ａ〜１６ｄとリニアガイド３と
が摺接してもリニアガイド３をスムーズに摺動させるこ
とができる。
面に摩擦係数の小さい補助部材１６ａ〜１６ｄを設けた
ので、仮に補助部材１６ａ〜１６ｄとリニアガイド３と
が摺接してもリニアガイド３をスムーズに摺動させるこ
とができる。
【００２６】（第２の実施形態）次に、この発明の第２
の実施形態について、前記第１の実施形態と異なる部分
を中心にして図４を参照しながら説明する。
の実施形態について、前記第１の実施形態と異なる部分
を中心にして図４を参照しながら説明する。
【００２７】この第２実施形態においては、前記第１の
実施形態と同様に、一対の平行なリニアガイドレール２
が本体１上に配置され、ボルト７により固定されてい
る。また、リニアガイド３は、ワークテーブル５の下面
に、例えば３個が前記第１の実施形態と同様な配置で設
けられている。
実施形態と同様に、一対の平行なリニアガイドレール２
が本体１上に配置され、ボルト７により固定されてい
る。また、リニアガイド３は、ワークテーブル５の下面
に、例えば３個が前記第１の実施形態と同様な配置で設
けられている。
【００２８】リニアガイド３は、ボルト３１によりワー
クテーブル５に固定された１つの第１リニアガイド片８
と、その下面にボルト３２により固定された一対の第２
リニアガイド片９とにより構成されている。
クテーブル５に固定された１つの第１リニアガイド片８
と、その下面にボルト３２により固定された一対の第２
リニアガイド片９とにより構成されている。
【００２９】リニアガイドレール２の上部には両側面に
は突部２ａが一体形成され、それらの下面には斜面２ｄ
が形成されている。両第２リニアガイド片９には前記リ
ニアガイドレール２の側面に沿う斜状部２３ａが形成さ
れている。
は突部２ａが一体形成され、それらの下面には斜面２ｄ
が形成されている。両第２リニアガイド片９には前記リ
ニアガイドレール２の側面に沿う斜状部２３ａが形成さ
れている。
【００３０】前記第２リニアガイド片９の斜状部２３ａ
および第２リニアガイド片９の下面には静圧ランド１８
ａ〜１８ｄがそれぞれ凹設されている。そして、第２リ
ニアガイド片９には前記各静圧ランド１８ａ〜１８ｄに
接続される流通路１９ａ〜１９ｄが設けられている。従
って、図示しない油圧制御装置から各流通路１９ａ〜１
９ｄを介して静圧ランド１８ａ〜１８ｄに潤滑油を供給
することにより、リニアガイド３を半浮上させることが
でき、ワークテーブル５をリニアガイドレール２に沿っ
てスムーズに摺動させることができる。
および第２リニアガイド片９の下面には静圧ランド１８
ａ〜１８ｄがそれぞれ凹設されている。そして、第２リ
ニアガイド片９には前記各静圧ランド１８ａ〜１８ｄに
接続される流通路１９ａ〜１９ｄが設けられている。従
って、図示しない油圧制御装置から各流通路１９ａ〜１
９ｄを介して静圧ランド１８ａ〜１８ｄに潤滑油を供給
することにより、リニアガイド３を半浮上させることが
でき、ワークテーブル５をリニアガイドレール２に沿っ
てスムーズに摺動させることができる。
【００３１】なお、図示はしないが、前記各静圧ランド
１８ａ〜１８ｄのそれぞれ近傍に、監視装置に接続され
た検出孔が設けられている。従って、この第２の実施形
態においても検出手段が設けられている。
１８ａ〜１８ｄのそれぞれ近傍に、監視装置に接続され
た検出孔が設けられている。従って、この第２の実施形
態においても検出手段が設けられている。
【００３２】・ リニアガイド３をワークテーブル５よ
り短くして、複数設けたため、大きさの異なるワークテ
ーブル５に簡単に対応できる。すなわち、大きなワーク
テーブル５の場合には、リニアガイド３の数を増やせば
よく、ワークテーブル５が大きくても、大きなリニアガ
イドを用いる必要がない。従って、製造が簡単になるば
かりでなく、大きなリニアガイドにつきものの精度管理
の難しさもない。逆に、ワークテーブル５が小さい場合
には、リニアガイド３の数を一対までに減らせばよい。
り短くして、複数設けたため、大きさの異なるワークテ
ーブル５に簡単に対応できる。すなわち、大きなワーク
テーブル５の場合には、リニアガイド３の数を増やせば
よく、ワークテーブル５が大きくても、大きなリニアガ
イドを用いる必要がない。従って、製造が簡単になるば
かりでなく、大きなリニアガイドにつきものの精度管理
の難しさもない。逆に、ワークテーブル５が小さい場合
には、リニアガイド３の数を一対までに減らせばよい。
【００３３】・ ワークテーブル５の両端部のリニアガ
イド３がワークテーブル５の支持点を構成しているた
め、支持点が３箇所以上存在する場合に比較して、ワー
クテーブル５の水平度を簡単に得ることができる。
イド３がワークテーブル５の支持点を構成しているた
め、支持点が３箇所以上存在する場合に比較して、ワー
クテーブル５の水平度を簡単に得ることができる。
【００３４】この第２の実施形態においても、重心移動
等によりワークテーブル５に対して傾斜力が作用した場
合には、一方の支持点におけるリニアガイド３とリニア
ガイドレール２との間の油圧を調整すればよい。また、
検出孔を介して、油圧の変動によりリニアガイド３の重
心がどちらの方向に変位しているかを検出することがで
きる。従って、ワークテーブル５の傾きを補正して、ワ
ーク加工の精度を安定させることができる。また、この
第２の実施形態においてもリニアガイド３を第１，２リ
ニアガイド片８，９によって分割構成したので、個々の
リニアガイド片８，９の形状を簡素化することができ
て、製造が容易となる。
等によりワークテーブル５に対して傾斜力が作用した場
合には、一方の支持点におけるリニアガイド３とリニア
ガイドレール２との間の油圧を調整すればよい。また、
検出孔を介して、油圧の変動によりリニアガイド３の重
心がどちらの方向に変位しているかを検出することがで
きる。従って、ワークテーブル５の傾きを補正して、ワ
ーク加工の精度を安定させることができる。また、この
第２の実施形態においてもリニアガイド３を第１，２リ
ニアガイド片８，９によって分割構成したので、個々の
リニアガイド片８，９の形状を簡素化することができ
て、製造が容易となる。
【００３５】（変更例）この発明は、前記第１，第２実
施形態に限定されるものではなく、以下のように具体化
することも可能である。
施形態に限定されるものではなく、以下のように具体化
することも可能である。
【００３６】・ 前記第１の実施形態においては、補助
部材１６ａ〜１６ｄに静圧ランド１８ａ〜１８ｄを形成
したが、補助部材１６ａ〜１６ｄを無くし、直接第１，
２リニアガイド片８，９に静圧ランド１８ａ〜１８ｄを
形成すること。このようにすれば、部品点数が少なくな
る。
部材１６ａ〜１６ｄに静圧ランド１８ａ〜１８ｄを形成
したが、補助部材１６ａ〜１６ｄを無くし、直接第１，
２リニアガイド片８，９に静圧ランド１８ａ〜１８ｄを
形成すること。このようにすれば、部品点数が少なくな
る。
【００３７】・ 図５に示すように、リニアガイドレー
ル２を支持部２ｂと断面Ｔ字状に形成した突部２ｃとに
分割構成し、突部２ａが嵌め込まれる凹部２２をワーク
テーブル５の裏面に直接形成する。そして、前記リニア
ガイドレール２の突部２ｃを挟んでリニアガイド３を構
成する四角形状の一対のリニアガイド片２３をボルト１
２，１３によりワークテーブル５の裏面に対し締付固定
すること。また、前記一対のリニアガイド片２３の上面
および下面に静圧ランド１８ａ〜１８ｄを設け、流通路
１９ａ，１９ｂにより静圧ランド１８ａ〜１９ｄに潤滑
油を図示しない油圧制御装置により供給できるようにす
る。この結果、さらにリニアガイド３の形状を簡素化す
ることができ、製造を容易にすることができる。
ル２を支持部２ｂと断面Ｔ字状に形成した突部２ｃとに
分割構成し、突部２ａが嵌め込まれる凹部２２をワーク
テーブル５の裏面に直接形成する。そして、前記リニア
ガイドレール２の突部２ｃを挟んでリニアガイド３を構
成する四角形状の一対のリニアガイド片２３をボルト１
２，１３によりワークテーブル５の裏面に対し締付固定
すること。また、前記一対のリニアガイド片２３の上面
および下面に静圧ランド１８ａ〜１８ｄを設け、流通路
１９ａ，１９ｂにより静圧ランド１８ａ〜１９ｄに潤滑
油を図示しない油圧制御装置により供給できるようにす
る。この結果、さらにリニアガイド３の形状を簡素化す
ることができ、製造を容易にすることができる。
【００３８】・ ワークテーブル５の両端部のリニアガ
イド３（図３の３Ａ）間における他のリニアガイド３と
リニアガイドレール２との間の静圧を、油以外の静圧媒
体である圧縮空気の供給による空気静圧とすること。あ
るいは、静圧媒体として磁性流体を用いること。
イド３（図３の３Ａ）間における他のリニアガイド３と
リニアガイドレール２との間の静圧を、油以外の静圧媒
体である圧縮空気の供給による空気静圧とすること。あ
るいは、静圧媒体として磁性流体を用いること。
【００３９】・ 前記各実施形態においては、検出手段
により全てのリニアガイド３部の静圧を調整するように
構成したが、少なくともワークテーブル５の移動方向に
おける端部のリニアガイド３部の静圧を調整するように
構成すること。このように構成しても、ワークテーブル
の水平バランスを調整できる。
により全てのリニアガイド３部の静圧を調整するように
構成したが、少なくともワークテーブル５の移動方向に
おける端部のリニアガイド３部の静圧を調整するように
構成すること。このように構成しても、ワークテーブル
の水平バランスを調整できる。
【００４０】
【発明の効果】以上、詳述したように、この発明におい
ては、製造が簡単になるとともに、ワークテーブルの水
平度を維持して高精度加工を達成することができるとい
う優れた効果を発揮する。
ては、製造が簡単になるとともに、ワークテーブルの水
平度を維持して高精度加工を達成することができるとい
う優れた効果を発揮する。
【図１】 第１の実施形態におけるリニアガイド装置を
示す正面図。
示す正面図。
【図２】 同じく断面図。
【図３】 同じく側面図。
【図４】 第２の実施形態におけるリニアガイド装置を
示す断面図。
示す断面図。
【図５】 変更例を示す断面図。
２…リニアガイドレール、３…リニアガイド、５…移動
体を構成するワークテーブル、２０…検出手段を構成す
る検出孔
体を構成するワークテーブル、２０…検出手段を構成す
る検出孔
Claims (5)
- 【請求項１】 装置本体（１）上に設けられ、一方向に
延在するガイドレール（２）と、 移動体（５）の下面に設けられるとともに、ガイドレー
ル（２）に支持され、油静圧を介して前記ガイドレール
（２）の長手方向に沿って案内されるリニアガイド
（３）とを備えたリニアガイド装置において、 前記ガイドレール（２）の長手方向に沿うリニアガイド
（３）の長さを前記移動体（５）のそれよりも短くする
とともに、複数のリニアガイド（３）を移動体（５）の
両端部と、それらの間の位置とに配置したことを特徴と
するリニアガイド装置。 - 【請求項２】 請求項１において、 両端部のリニアガイド（３）を支持点としたことを特徴
とするリニアガイド装置。 - 【請求項３】 請求項１または２において、 リニアガイド（３）とガイドレール（２）との間の静圧
圧力を検出するための検出手段を設けたことを特徴とす
るリニアガイド装置。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、 両端部のリニアガイド（３）間に位置する他のリニアガ
イド（３）を油以外の静圧を介してガイドレール（２）
に支持したことを特徴とするリニアガイド装置。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載のリニア
ガイド装置において、少なくとも１箇所のリニアガイド
（３）とガイドレール（２）との間の静圧圧力を調整す
ることを特徴としたリニアガイド装置の調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001243291A JP2003056562A (ja) | 2001-08-10 | 2001-08-10 | リニアガイド装置及びその調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001243291A JP2003056562A (ja) | 2001-08-10 | 2001-08-10 | リニアガイド装置及びその調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003056562A true JP2003056562A (ja) | 2003-02-26 |
Family
ID=19073414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001243291A Pending JP2003056562A (ja) | 2001-08-10 | 2001-08-10 | リニアガイド装置及びその調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003056562A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100372646C (zh) * | 2006-03-21 | 2008-03-05 | 潘旭华 | 一种静压导轨及其装配方法 |
| JP2008215439A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Jtekt Corp | すべり案内装置 |
| KR200468162Y1 (ko) * | 2012-03-20 | 2013-07-26 | 주식회사 에스엔엠 | 유정압 부상을 이용한 이송 테이블 장치 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS603316U (ja) * | 1983-06-21 | 1985-01-11 | 横河電機株式会社 | 直線移動機構 |
| JPH0235U (ja) * | 1988-06-02 | 1990-01-05 | ||
| JPH027931U (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-18 | ||
| JPH02120513A (ja) * | 1988-09-17 | 1990-05-08 | Ina Linear Technik Ohg | 油圧式の支承装置 |
| JPH04125313A (ja) * | 1990-09-12 | 1992-04-24 | Taisei Corp | 滑り支承装置 |
| JPH04201035A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-22 | Nagase Iron Works Co Ltd | リニアガイドの取付構造 |
| JPH0563737U (ja) * | 1992-02-05 | 1993-08-24 | 豊田工機株式会社 | 静圧滑り案内装置 |
| JPH05296245A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-09 | Nippon Seiko Kk | 流体リニアガイド装置 |
-
2001
- 2001-08-10 JP JP2001243291A patent/JP2003056562A/ja active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS603316U (ja) * | 1983-06-21 | 1985-01-11 | 横河電機株式会社 | 直線移動機構 |
| JPH0235U (ja) * | 1988-06-02 | 1990-01-05 | ||
| JPH027931U (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-18 | ||
| JPH02120513A (ja) * | 1988-09-17 | 1990-05-08 | Ina Linear Technik Ohg | 油圧式の支承装置 |
| JPH04125313A (ja) * | 1990-09-12 | 1992-04-24 | Taisei Corp | 滑り支承装置 |
| JPH04201035A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-22 | Nagase Iron Works Co Ltd | リニアガイドの取付構造 |
| JPH0563737U (ja) * | 1992-02-05 | 1993-08-24 | 豊田工機株式会社 | 静圧滑り案内装置 |
| JPH05296245A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-09 | Nippon Seiko Kk | 流体リニアガイド装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100372646C (zh) * | 2006-03-21 | 2008-03-05 | 潘旭华 | 一种静压导轨及其装配方法 |
| JP2008215439A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Jtekt Corp | すべり案内装置 |
| KR200468162Y1 (ko) * | 2012-03-20 | 2013-07-26 | 주식회사 에스엔엠 | 유정압 부상을 이용한 이송 테이블 장치 |
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