JP2003046050A - リードフレーム自動検査機の校正用リードフレーム - Google Patents
リードフレーム自動検査機の校正用リードフレームInfo
- Publication number
- JP2003046050A JP2003046050A JP2001233727A JP2001233727A JP2003046050A JP 2003046050 A JP2003046050 A JP 2003046050A JP 2001233727 A JP2001233727 A JP 2001233727A JP 2001233727 A JP2001233727 A JP 2001233727A JP 2003046050 A JP2003046050 A JP 2003046050A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead frame
- calibration
- piece
- lead
- defective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】リードフレーム自動検査機の点検、校正の作業
を容易に、所要時間を短縮するリードフレーム自動検査
機の校正用リードフレーム１０を提供すること。傷みを
少なくして狂いの発生を防止し、耐久性のある校正用リ
ードフレームを提供すること。 【解決手段】一個の基準ピースＳと複数個の欠陥ピース
１、２、３、４とで構成され、複数個の欠陥ピースの各
々には各種欠陥が作りこまれ、作りこまれた各種欠陥の
度合い（水準）が欠陥ピース毎に異なること。インナー
リードの各先端部２３が連結部で相互に連結され、更に
ダイパッド２１或いは吊りリード２２に連結されている
こと。
を容易に、所要時間を短縮するリードフレーム自動検査
機の校正用リードフレーム１０を提供すること。傷みを
少なくして狂いの発生を防止し、耐久性のある校正用リ
ードフレームを提供すること。 【解決手段】一個の基準ピースＳと複数個の欠陥ピース
１、２、３、４とで構成され、複数個の欠陥ピースの各
々には各種欠陥が作りこまれ、作りこまれた各種欠陥の
度合い（水準）が欠陥ピース毎に異なること。インナー
リードの各先端部２３が連結部で相互に連結され、更に
ダイパッド２１或いは吊りリード２２に連結されている
こと。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属薄板を用いて
製造されたリードフレームの自動検査機に関するもので
あり、特に、リードフレーム自動検査機の精度点検、校
正を効率よく行うことのできる校正用リードフレームに
関する。
製造されたリードフレームの自動検査機に関するもので
あり、特に、リードフレーム自動検査機の精度点検、校
正を効率よく行うことのできる校正用リードフレームに
関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、金属薄板を用いてフォトエッチ
ング法によりリードフレームを製造する際には、エッチ
ング後にリードフレームの検査が行われるが、この検査
はリードフレームの比較検査や測長などによって、その
良否判定が行われる。そして、この際の検査にはリード
フレーム自動検査機が多く用いられている。このリード
フレーム自動検査機の精度を維持するために、既存のリ
ードフレーム自動検査機には定期的に欠陥の検出精度の
点検、校正が行われ、また、リードフレーム自動検査機
を新設する場合には、その検出精度の確認、設定が行わ
れる。
ング法によりリードフレームを製造する際には、エッチ
ング後にリードフレームの検査が行われるが、この検査
はリードフレームの比較検査や測長などによって、その
良否判定が行われる。そして、この際の検査にはリード
フレーム自動検査機が多く用いられている。このリード
フレーム自動検査機の精度を維持するために、既存のリ
ードフレーム自動検査機には定期的に欠陥の検出精度の
点検、校正が行われ、また、リードフレーム自動検査機
を新設する場合には、その検出精度の確認、設定が行わ
れる。
【０００３】この際に使用する校正用リードフレームと
しては、予め検査項目毎に所定の欠陥を作りこんだ校正
用リードフレームを用い、各欠陥の検出精度の点検、校
正を行っていた。しかし、各検査項目毎にその項目に対
応した欠陥を有する校正用リードフレームにて点検、校
正を行うため複数枚の校正用リードフレームを必要と
し、それら複数枚を取り扱うことになるので、点検、校
正の作業は煩雑なものとなり、所要時間も長いものとな
る。また、この際に使用する校正用リードフレームは傷
みやすく、例えば、リード先端部に曲がりが発生した
り、校正用リードフレームに変形が生じたりして校正用
リードフレームに狂いが発生し、点検、校正の作業に支
障をきたすことがある。また、検査機に頻繁に出し入れ
を行うため使用する校正用リードフレームの消耗を招く
ことになる。
しては、予め検査項目毎に所定の欠陥を作りこんだ校正
用リードフレームを用い、各欠陥の検出精度の点検、校
正を行っていた。しかし、各検査項目毎にその項目に対
応した欠陥を有する校正用リードフレームにて点検、校
正を行うため複数枚の校正用リードフレームを必要と
し、それら複数枚を取り扱うことになるので、点検、校
正の作業は煩雑なものとなり、所要時間も長いものとな
る。また、この際に使用する校正用リードフレームは傷
みやすく、例えば、リード先端部に曲がりが発生した
り、校正用リードフレームに変形が生じたりして校正用
リードフレームに狂いが発生し、点検、校正の作業に支
障をきたすことがある。また、検査機に頻繁に出し入れ
を行うため使用する校正用リードフレームの消耗を招く
ことになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題を
解決するためになされたものであり、リードフレーム自
動検査機を点検、校正する際に、リードフレーム自動検
査機の点検、校正の作業を容易なものとし、所要時間を
短縮することができるリードフレーム自動検査機の校正
用リードフレームを提供することを課題とするものであ
る。また、校正用リードフレームの傷みを少なくして狂
いの発生を防止し、耐久性のあるリードフレーム自動検
査機の校正用リードフレームを提供することを課題とす
る。
解決するためになされたものであり、リードフレーム自
動検査機を点検、校正する際に、リードフレーム自動検
査機の点検、校正の作業を容易なものとし、所要時間を
短縮することができるリードフレーム自動検査機の校正
用リードフレームを提供することを課題とするものであ
る。また、校正用リードフレームの傷みを少なくして狂
いの発生を防止し、耐久性のあるリードフレーム自動検
査機の校正用リードフレームを提供することを課題とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、リードフレー
ム自動検査機の校正用リードフレームにおいて、一個の
基準リードフレームピース（基準ピース）と複数個の欠
陥リードフレームピース（欠陥ピース）とが面付状態で
構成され、各リードフレームピースがダイパッドを有
し、且つ該複数個の欠陥リードフレームピース（欠陥ピ
ース）の各々には各種欠陥が作りこまれ、作りこまれた
該各種欠陥の度合い（水準）が欠陥リードフレームピー
ス（欠陥ピース）毎に異なることを特徴とするリードフ
レーム自動検査機の校正用リードフレームである。
ム自動検査機の校正用リードフレームにおいて、一個の
基準リードフレームピース（基準ピース）と複数個の欠
陥リードフレームピース（欠陥ピース）とが面付状態で
構成され、各リードフレームピースがダイパッドを有
し、且つ該複数個の欠陥リードフレームピース（欠陥ピ
ース）の各々には各種欠陥が作りこまれ、作りこまれた
該各種欠陥の度合い（水準）が欠陥リードフレームピー
ス（欠陥ピース）毎に異なることを特徴とするリードフ
レーム自動検査機の校正用リードフレームである。
【０００６】また、本発明は、上記発明によるリードフ
レーム自動検査機の校正用リードフレームにおいて、前
記一個の基準リードフレームピース（基準ピース）と複
数個の欠陥リードフレームピース（欠陥ピース）の各々
において、そのインナーリードの各先端部が相互に連結
部にて連結され、更に該連結部はダイパッド或いは吊り
リードに連結されていることを特徴とするリードフレー
ム自動検査機の校正用リードフレームである。
レーム自動検査機の校正用リードフレームにおいて、前
記一個の基準リードフレームピース（基準ピース）と複
数個の欠陥リードフレームピース（欠陥ピース）の各々
において、そのインナーリードの各先端部が相互に連結
部にて連結され、更に該連結部はダイパッド或いは吊り
リードに連結されていることを特徴とするリードフレー
ム自動検査機の校正用リードフレームである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。図１は、本発明によるリードフレーム自動
検査機の校正用リードフレームの一実施例を模式的に示
す平面図である。図１に示すように、リードフレーム自
動検査機の校正用リードフレーム（１０）は、一個の基
準リードフレームピース（以下基準ピースと称す）
（Ｓ）と、複数個の欠陥リードフレームピース（以下欠
陥ピースと称す）（１）、（２）、（３）、（４）とが
面付けして構成されているものであり、中央の位置に基
準ピース（Ｓ）が配置され、基準ピース（Ｓ）の左側に
欠陥ピース（１）、欠陥ピース（２）、及び右側に欠陥
ピース（３）、欠陥ピース（４）が配置されている。
に説明する。図１は、本発明によるリードフレーム自動
検査機の校正用リードフレームの一実施例を模式的に示
す平面図である。図１に示すように、リードフレーム自
動検査機の校正用リードフレーム（１０）は、一個の基
準リードフレームピース（以下基準ピースと称す）
（Ｓ）と、複数個の欠陥リードフレームピース（以下欠
陥ピースと称す）（１）、（２）、（３）、（４）とが
面付けして構成されているものであり、中央の位置に基
準ピース（Ｓ）が配置され、基準ピース（Ｓ）の左側に
欠陥ピース（１）、欠陥ピース（２）、及び右側に欠陥
ピース（３）、欠陥ピース（４）が配置されている。
【０００８】図２は、図１に示す欠陥ピース（１）を拡
大して示す平面図である。図１、及び図２に示すよう
に、欠陥ピース（１）〜欠陥ピース（４）は各種欠陥が
作りこまれた、各々一個（ピース）の欠陥ピースであ
り、本発明においては欠陥ピースと称している。欠陥ピ
ース（１）は、作りこまれた各種欠陥の度合い（水準）
が軽度、低水準のものであり、欠陥ピース（１）、欠陥
ピース（２）、欠陥ピース（３）、欠陥ピース（４）の
順に、その度合い（水準）が順次重度、高水準のものと
なっている。
大して示す平面図である。図１、及び図２に示すよう
に、欠陥ピース（１）〜欠陥ピース（４）は各種欠陥が
作りこまれた、各々一個（ピース）の欠陥ピースであ
り、本発明においては欠陥ピースと称している。欠陥ピ
ース（１）は、作りこまれた各種欠陥の度合い（水準）
が軽度、低水準のものであり、欠陥ピース（１）、欠陥
ピース（２）、欠陥ピース（３）、欠陥ピース（４）の
順に、その度合い（水準）が順次重度、高水準のものと
なっている。
【０００９】また、基準ピース（Ｓ）は、リードフレー
ム製品として、欠陥のない一個（ピース）の完全良品で
あり、欠陥検出の際の基準となるもので、本発明におい
ては基準ピースと称している。図２に示す欠陥ピース
（１）のパターンは、一例として示すものであり、ダイ
パッド（２１）を有するＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ
Ｐａｃｋａｇｅ）用のリードフレームが示されている。
尚、基準ピース（Ｓ）及び欠陥ピース（１）〜欠陥ピー
ス（４）のリードフレームとしての原パターンは同一の
ものが用いられている。
ム製品として、欠陥のない一個（ピース）の完全良品で
あり、欠陥検出の際の基準となるもので、本発明におい
ては基準ピースと称している。図２に示す欠陥ピース
（１）のパターンは、一例として示すものであり、ダイ
パッド（２１）を有するＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ
Ｐａｃｋａｇｅ）用のリードフレームが示されている。
尚、基準ピース（Ｓ）及び欠陥ピース（１）〜欠陥ピー
ス（４）のリードフレームとしての原パターンは同一の
ものが用いられている。
【００１０】図２においては、欠陥ピース（１）に作り
こまれた各種欠陥の位置の例が示されている。具体的に
は、Ｂ１〜Ｂ４には検査項目の一つであるリード間ショ
ートの欠陥が作りこまれている。Ｃ１及びＣ２にはアウ
ターリードシフト、Ｄ１及びＤ２にはエッチング欠け、
Ｅ１及びＥ２にはリード切れ、Ｆ１及びＦ２にはアウタ
ーリードのリード幅、リードピッチのズレの各々の欠陥
が作りこまれている。
こまれた各種欠陥の位置の例が示されている。具体的に
は、Ｂ１〜Ｂ４には検査項目の一つであるリード間ショ
ートの欠陥が作りこまれている。Ｃ１及びＣ２にはアウ
ターリードシフト、Ｄ１及びＤ２にはエッチング欠け、
Ｅ１及びＥ２にはリード切れ、Ｆ１及びＦ２にはアウタ
ーリードのリード幅、リードピッチのズレの各々の欠陥
が作りこまれている。
【００１１】図４は、検査項目の一つであるリード間シ
ョートのＢ１部分を拡大し、作りこまれた欠陥の形状を
示す説明図である。図４に示すように、斜線で示すイン
ナーリード（４２）間に、ｄで表す幅のショート部（４
１）が作りこまれている。そして、このようなショート
部（４１）の幅（ｄ）に大小をもたせ、欠陥として軽重
をつけたショート部の欠陥がＢ２〜Ｂ４の位置に作りこ
まれている。
ョートのＢ１部分を拡大し、作りこまれた欠陥の形状を
示す説明図である。図４に示すように、斜線で示すイン
ナーリード（４２）間に、ｄで表す幅のショート部（４
１）が作りこまれている。そして、このようなショート
部（４１）の幅（ｄ）に大小をもたせ、欠陥として軽重
をつけたショート部の欠陥がＢ２〜Ｂ４の位置に作りこ
まれている。
【００１２】図５は、検査項目、アウターリードシフト
のＣ１部分を拡大し、作りこまれた欠陥の形状を示す説
明図である。図５に示すように、斜線で示すアウターリ
ード（５２）が、矢印方向へ変位した状態に作りこまれ
ている。また、同様のものがＣ２の位置にも作りこまれ
ている。これは、被検査体であるリードフレームのアウ
ターリードの変形などによる矢印方向への変位を検出す
るためのものである。
のＣ１部分を拡大し、作りこまれた欠陥の形状を示す説
明図である。図５に示すように、斜線で示すアウターリ
ード（５２）が、矢印方向へ変位した状態に作りこまれ
ている。また、同様のものがＣ２の位置にも作りこまれ
ている。これは、被検査体であるリードフレームのアウ
ターリードの変形などによる矢印方向への変位を検出す
るためのものである。
【００１３】図６は、検査項目、エッチング欠けのＤ１
部分及びＤ２部分を拡大し、作りこまれた欠陥の形状を
示す説明図である。図６に示すように、斜線で示すダイ
パッド（２１）上のＤ１部分には丸点で表す、欠陥とし
て軽重をつけたエッチング欠け（６２）が作りこまれて
いる。このエッチング欠けに、更に欠陥としての軽重を
つけたエッチング欠け（６２’）が、Ｄ２の位置にも作
りこまれている。これは、例えば、エッチングレジスト
にピンホールが存在していた際にダイパッド、インナー
リードなどに発生する表面の欠けを検出するためのもの
である。尚、ダイパッドは面積が広いため各種欠陥の作
りこみが容易である。
部分及びＤ２部分を拡大し、作りこまれた欠陥の形状を
示す説明図である。図６に示すように、斜線で示すダイ
パッド（２１）上のＤ１部分には丸点で表す、欠陥とし
て軽重をつけたエッチング欠け（６２）が作りこまれて
いる。このエッチング欠けに、更に欠陥としての軽重を
つけたエッチング欠け（６２’）が、Ｄ２の位置にも作
りこまれている。これは、例えば、エッチングレジスト
にピンホールが存在していた際にダイパッド、インナー
リードなどに発生する表面の欠けを検出するためのもの
である。尚、ダイパッドは面積が広いため各種欠陥の作
りこみが容易である。
【００１４】Ｅ１及びＥ２の位置には、インナーリー
ド、アウターリードなどのリード切れの欠陥を検出する
ために、リード切れの欠陥として軽重をつけたものが作
りこまれている。また、Ｆ１及びＦ２の位置には、Ｘ及
びＹ方向のアウターリードを測長するための、アウター
リードの幅、ピッチを各リード毎に変えたものが作りこ
まれている。上記作りこまれ各種欠陥は、欠陥ピース
（１）においては、その度合い（水準）が軽度、低水準
のものであり、欠陥ピース（１）、欠陥ピース（２）、
欠陥ピース（３）、欠陥ピース（４）の順に、その度合
い（水準）が重度、高水準のものとなっている。
ド、アウターリードなどのリード切れの欠陥を検出する
ために、リード切れの欠陥として軽重をつけたものが作
りこまれている。また、Ｆ１及びＦ２の位置には、Ｘ及
びＹ方向のアウターリードを測長するための、アウター
リードの幅、ピッチを各リード毎に変えたものが作りこ
まれている。上記作りこまれ各種欠陥は、欠陥ピース
（１）においては、その度合い（水準）が軽度、低水準
のものであり、欠陥ピース（１）、欠陥ピース（２）、
欠陥ピース（３）、欠陥ピース（４）の順に、その度合
い（水準）が重度、高水準のものとなっている。
【００１５】本発明によるリードフレーム自動検査機の
校正用リードフレームは、上記のように、一個の基準ピ
ース（Ｓ）と複数個の欠陥ピース（１）〜（４）とで構
成され、一枚の校正用リードフレームとなっているの
で、リードフレーム自動検査機の点検、校正の作業を容
易なものとし、所要時間を短縮することができる。例え
ば、既存のリードフレーム自動検査機の定期的な検出精
度の点検、校正においては、従来の複数枚の校正用リー
ドフレームを用いた際の所要時間、約３０分に対し、本
発明による校正用リードフレームを用いることにより約
１０分となり、検査機一台当たり約２０分の時間が短縮
されたものとなる。
校正用リードフレームは、上記のように、一個の基準ピ
ース（Ｓ）と複数個の欠陥ピース（１）〜（４）とで構
成され、一枚の校正用リードフレームとなっているの
で、リードフレーム自動検査機の点検、校正の作業を容
易なものとし、所要時間を短縮することができる。例え
ば、既存のリードフレーム自動検査機の定期的な検出精
度の点検、校正においては、従来の複数枚の校正用リー
ドフレームを用いた際の所要時間、約３０分に対し、本
発明による校正用リードフレームを用いることにより約
１０分となり、検査機一台当たり約２０分の時間が短縮
されたものとなる。
【００１６】また、例えば、リードフレーム自動検査機
を新設した際の、その検出精度の確認、設定において
は、従来の複数枚の校正用リードフレームを用いた際の
所要日数、約２日間に対し、本発明による校正用リード
フレームを用いることにより約半日間となり所要日数が
大幅に短縮されたものとなる。
を新設した際の、その検出精度の確認、設定において
は、従来の複数枚の校正用リードフレームを用いた際の
所要日数、約２日間に対し、本発明による校正用リード
フレームを用いることにより約半日間となり所要日数が
大幅に短縮されたものとなる。
【００１７】図３（ａ）は、図２のＡ部分を拡大して示
す説明図である。図３（ａ）において、斜線部分はエッ
チングによって形成されたダイパッド（２１）、吊りリ
ード（２２）、インナーリードの各先端部（２３）など
を示すが、図３（ａ）示すように、欠陥ピース（１）の
インナーリードの各先端部（２３）は連結部（２４）に
て相互に連結され、連結部（２４）は吊りリード（２
２）に連結されている。このように、金属薄板がこの部
分ではエッチングされずに残され、インナーリードの各
先端部（２３）が連結部（２４）を介して相互に連結さ
れ、更に連結部（２４）は吊りリード（２２）に連結さ
れていることによって、リード部の強度を増している。
これにより、校正用リードフレームがリードフレーム自
動検査機の点検、校正に使用される際の取扱によって、
例えば、リード先端部に曲がりが発生したり、校正用リ
ードフレームに変形が生じたりして校正用リードフレー
ムに狂いが発生することがなくなり、点検、校正の作業
に支障をきたすことがなくなる。
す説明図である。図３（ａ）において、斜線部分はエッ
チングによって形成されたダイパッド（２１）、吊りリ
ード（２２）、インナーリードの各先端部（２３）など
を示すが、図３（ａ）示すように、欠陥ピース（１）の
インナーリードの各先端部（２３）は連結部（２４）に
て相互に連結され、連結部（２４）は吊りリード（２
２）に連結されている。このように、金属薄板がこの部
分ではエッチングされずに残され、インナーリードの各
先端部（２３）が連結部（２４）を介して相互に連結さ
れ、更に連結部（２４）は吊りリード（２２）に連結さ
れていることによって、リード部の強度を増している。
これにより、校正用リードフレームがリードフレーム自
動検査機の点検、校正に使用される際の取扱によって、
例えば、リード先端部に曲がりが発生したり、校正用リ
ードフレームに変形が生じたりして校正用リードフレー
ムに狂いが発生することがなくなり、点検、校正の作業
に支障をきたすことがなくなる。
【００１８】尚、この連結は、欠陥ピース（１）の、他
の位置のインナーリードの各先端部（２３）においても
同様になっている。また、このような連結は、校正用リ
ードフレーム（１０）を構成する他の欠陥ピース（２）
〜（４）及び基準ピース（Ｓ）においても同様になって
いる。また、吊りリード（２２）への連結に代わり、ダ
イパッド（２１）への連結によっても同様の効果がえら
れるものである。
の位置のインナーリードの各先端部（２３）においても
同様になっている。また、このような連結は、校正用リ
ードフレーム（１０）を構成する他の欠陥ピース（２）
〜（４）及び基準ピース（Ｓ）においても同様になって
いる。また、吊りリード（２２）への連結に代わり、ダ
イパッド（２１）への連結によっても同様の効果がえら
れるものである。
【００１９】図３（ｂ）は、従来法における校正用リー
ドフレームの同一部分を拡大して示す説明図である。図
３（ｂ）に示すように、インナーリードの各先端部（３
３）は相互に連結されておらず、また、吊りリード（３
２）或いはダイパッド（３１）に連結されていない。従
って、その校正に使用される際の取扱によって、校正用
リードフレームに狂いが発生し、点検、校正の作業に支
障をきたすことがある。
ドフレームの同一部分を拡大して示す説明図である。図
３（ｂ）に示すように、インナーリードの各先端部（３
３）は相互に連結されておらず、また、吊りリード（３
２）或いはダイパッド（３１）に連結されていない。従
って、その校正に使用される際の取扱によって、校正用
リードフレームに狂いが発生し、点検、校正の作業に支
障をきたすことがある。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、一個の基準ピースと複数個の
欠陥ピースとで構成され、複数個の欠陥ピースの各々に
は各種欠陥が作りこまれ、作りこまれた該各種欠陥の度
合い（水準）が欠陥ピース毎に異なるリードフレーム自
動検査機の校正用リードフレームであるので、リードフ
レーム自動検査機の点検、校正の作業を容易なものと
し、所要時間を短縮することができるリードフレーム自
動検査機の校正用リードフレームとなる。
欠陥ピースとで構成され、複数個の欠陥ピースの各々に
は各種欠陥が作りこまれ、作りこまれた該各種欠陥の度
合い（水準）が欠陥ピース毎に異なるリードフレーム自
動検査機の校正用リードフレームであるので、リードフ
レーム自動検査機の点検、校正の作業を容易なものと
し、所要時間を短縮することができるリードフレーム自
動検査機の校正用リードフレームとなる。
【００２１】また、本発明は、一個の基準ピースと複数
個の欠陥ピースの各々において、そのインナーリードの
各先端部が連結部を介し相互に連結され、更に連結部が
ダイパッド或いは吊りリードに連結されているので、リ
ードフレームの強度が向上し、校正用リードフレームの
傷みを少なくして狂いの発生を防止し、耐久性のあるリ
ードフレーム自動検査機の校正用リードフレームとな
る。
個の欠陥ピースの各々において、そのインナーリードの
各先端部が連結部を介し相互に連結され、更に連結部が
ダイパッド或いは吊りリードに連結されているので、リ
ードフレームの強度が向上し、校正用リードフレームの
傷みを少なくして狂いの発生を防止し、耐久性のあるリ
ードフレーム自動検査機の校正用リードフレームとな
る。
【図１】本発明によるリードフレーム自動検査機の校正
用リードフレームの一実施例を模式的に示す平面図であ
る。
用リードフレームの一実施例を模式的に示す平面図であ
る。
【図２】図１に示す欠陥ピースを拡大して示す平面図で
ある。
ある。
【図３】（ａ）は、図２のＡ部分を拡大して示す説明図
である。（ｂ）は、従来法における校正用リードフレー
ムの同一部分を拡大して示す説明図である。
である。（ｂ）は、従来法における校正用リードフレー
ムの同一部分を拡大して示す説明図である。
【図４】検査項目リード間ショートのＢ１部分を拡大
し、作りこまれた欠陥の形状を示す説明図である。
し、作りこまれた欠陥の形状を示す説明図である。
【図５】検査項目アウターリードシフトのＣ１部分を拡
大し、作りこまれた欠陥の形状を示す説明図である。
大し、作りこまれた欠陥の形状を示す説明図である。
【図６】検査項目エッチング欠けのＤ１部分及びＤ２部
分を拡大し、作りこまれた欠陥の形状を示す説明図であ
る。
分を拡大し、作りこまれた欠陥の形状を示す説明図であ
る。
１０……本発明によるリードフレーム自動検査機の校正
用リードフレーム １、２、３、４……欠陥ピース Ｓ……基準ピース ２１、３１……ダイパッド ２２、３２……吊りリード ２３、３３……インナーリードの先端部 ２４……連結部 ４１……ショート部 ４２……インナーリード ５２……アウターリード ｄ……ショート部の幅 ６２、６２’……エッチング欠け
用リードフレーム １、２、３、４……欠陥ピース Ｓ……基準ピース ２１、３１……ダイパッド ２２、３２……吊りリード ２３、３３……インナーリードの先端部 ２４……連結部 ４１……ショート部 ４２……インナーリード ５２……アウターリード ｄ……ショート部の幅 ６２、６２’……エッチング欠け
Claims (2)
- 【請求項１】リードフレーム自動検査機の校正用リード
フレームにおいて、一個の基準リードフレームピース
（基準ピース）と複数個の欠陥リードフレームピース
（欠陥ピース）とが面付状態で構成され、各リードフレ
ームピースがダイパッドを有し、且つ該複数個の欠陥リ
ードフレームピース（欠陥ピース）の各々には各種欠陥
が作りこまれ、作りこまれた該各種欠陥の度合い（水
準）が欠陥リードフレームピース（欠陥ピース）毎に異
なることを特徴とするリードフレーム自動検査機の校正
用リードフレーム。 - 【請求項２】前記一個の基準リードフレームピース（基
準ピース）と複数個の欠陥リードフレームピース（欠陥
ピース）の各々において、そのインナーリードの各先端
部が相互に連結部にて連結され、更に該連結部はダイパ
ッド或いは吊りリードに連結されていることを特徴とす
る請求項１記載のリードフレーム自動検査機の校正用リ
ードフレーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001233727A JP2003046050A (ja) | 2001-08-01 | 2001-08-01 | リードフレーム自動検査機の校正用リードフレーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001233727A JP2003046050A (ja) | 2001-08-01 | 2001-08-01 | リードフレーム自動検査機の校正用リードフレーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003046050A true JP2003046050A (ja) | 2003-02-14 |
Family
ID=19065468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001233727A Pending JP2003046050A (ja) | 2001-08-01 | 2001-08-01 | リードフレーム自動検査機の校正用リードフレーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003046050A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033284A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 筒状物品の検査方法およびその検査装置 |
-
2001
- 2001-08-01 JP JP2001233727A patent/JP2003046050A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033284A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 筒状物品の検査方法およびその検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6482557B1 (en) | Method and apparatus for evaluating the runability of a photomask inspection tool | |
| JP2824351B2 (ja) | プリント回路基板に形成されたパターンの位置ずれを分析する装置とその方法 | |
| US20060279001A1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method therefor | |
| JP2002328459A (ja) | ウエーハ転写検証方法 | |
| US10061209B2 (en) | Method for verifying a pattern of features printed by a lithography process | |
| JP2003303763A (ja) | 画像処理アライメント用ウェハアライメントマーク及び画像処理アライメント方法並びに半導体装置の製造方法 | |
| CN113515007B (zh) | 掩膜版及掩膜版质量测试方法 | |
| KR100257167B1 (ko) | 반도체 소자의 제조방법 | |
| US6536130B1 (en) | Overlay mark for concurrently monitoring alignment accuracy, focus, leveling and astigmatism and method of application thereof | |
| US7037627B2 (en) | Photomask defect testing method, photomask manufacturing method and semiconductor integrated circuit manufacturing method | |
| JP4972278B2 (ja) | レチクル及び半導体装置の製造方法 | |
| JP2003046050A (ja) | リードフレーム自動検査機の校正用リードフレーム | |
| US20110156285A1 (en) | Integrated alignment and overlay mark, and method for detecting errors of exposed positions thereof | |
| US20060206853A1 (en) | Method of producing mask inspection data, method of manufacturing a photo mask and method of manufacturing a semiconductor device | |
| JPH04127551A (ja) | 露光パターンの検査方法 | |
| CN117276105B (zh) | 半导体套准误差的量测方法 | |
| JPH0794855A (ja) | プリント配線板及びその検査方法 | |
| JP2008083652A (ja) | フォトマスクの線幅検査方法 | |
| JP3007771B2 (ja) | リードフレーム | |
| JP3178002B2 (ja) | 部品リード変形検出方法 | |
| JP2007201103A (ja) | 実装位置検査方法 | |
| KR20030056361A (ko) | 반도체 소자의 위치 검출 패턴 형성 방법 | |
| JP2844827B2 (ja) | タイバー切断装置 | |
| CN118295201A (zh) | 光学邻近修正方法 | |
| JP4738643B2 (ja) | 合わせずれ測定方法 |