JP2003042737A - 切削加工品の検査方法 - Google Patents
切削加工品の検査方法Info
- Publication number
- JP2003042737A JP2003042737A JP2001225766A JP2001225766A JP2003042737A JP 2003042737 A JP2003042737 A JP 2003042737A JP 2001225766 A JP2001225766 A JP 2001225766A JP 2001225766 A JP2001225766 A JP 2001225766A JP 2003042737 A JP2003042737 A JP 2003042737A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spatial frequency
- image
- cut
- data
- product
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Eyeglasses (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本来検出したい螺旋状の溝以外の凹凸部分が
あっても、螺旋状の溝だけを精度良く検出可能にする切
削加工品の検査方法及び装置を提供する。 【解決手段】 連続螺旋状の円形に切削加工された切削
加工品１の切削面を画像入力手段４に入力し、その画像
データの濃淡変化を画像強調手段５１により特定の周波
数成分で強調し、２次元直交変換手段５２により２次元
直交変換を行い空間周波数データに変換した後、周波数
解析手段５３により該空間周波数データを空間周波数解
析により特定のピッチで形成された螺旋状パターンを検
知し、該螺旋状パターンから切削加工品１の切削表面の
異常の有無を判別する。
あっても、螺旋状の溝だけを精度良く検出可能にする切
削加工品の検査方法及び装置を提供する。 【解決手段】 連続螺旋状の円形に切削加工された切削
加工品１の切削面を画像入力手段４に入力し、その画像
データの濃淡変化を画像強調手段５１により特定の周波
数成分で強調し、２次元直交変換手段５２により２次元
直交変換を行い空間周波数データに変換した後、周波数
解析手段５３により該空間周波数データを空間周波数解
析により特定のピッチで形成された螺旋状パターンを検
知し、該螺旋状パターンから切削加工品１の切削表面の
異常の有無を判別する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は切削加工品の検査方
法及び装置に関し、さらに詳しくは、特にコンタクトレ
ンズの製造工程で発生する切削異常を検出する切削加工
品の検査方法及び装置に関する。
法及び装置に関し、さらに詳しくは、特にコンタクトレ
ンズの製造工程で発生する切削異常を検出する切削加工
品の検査方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンタクトレンズの製造は、先ず円柱状
のプラスチック原料の表面を切削機で切削し、次いで、
切削後の表面を研磨機で研磨して所定の湾曲面形状に成
形するように行われる。切削加工は円柱状プラスチック
を回転させながら切削工具の刃先を表面に当て、外周か
ら半径方向中心に移動させるようにして行われる。この
切削加工では、切削表面に螺旋状の凹凸溝が生じるが、
この溝は切削表面を研磨することによって除去される。
しかし、この切削加工において刃先に何らかの異常があ
ると、切削表面の螺旋状の凹凸が大きくなって研磨後に
も螺旋状の溝が残るため、そのコンタクトレンズは不良
品となる。
のプラスチック原料の表面を切削機で切削し、次いで、
切削後の表面を研磨機で研磨して所定の湾曲面形状に成
形するように行われる。切削加工は円柱状プラスチック
を回転させながら切削工具の刃先を表面に当て、外周か
ら半径方向中心に移動させるようにして行われる。この
切削加工では、切削表面に螺旋状の凹凸溝が生じるが、
この溝は切削表面を研磨することによって除去される。
しかし、この切削加工において刃先に何らかの異常があ
ると、切削表面の螺旋状の凹凸が大きくなって研磨後に
も螺旋状の溝が残るため、そのコンタクトレンズは不良
品となる。
【０００３】従来、加工後のコンタクトレンズの異常を
調べる検査方法としては、切削・研磨後の表面を微分干
渉顕微鏡で撮像し、螺旋状の溝を明暗変化として映像化
することにより検査していた。すなわち、映像化した画
像データをフィルタ処理して溝部分の暗部を強調した後
に２値化し、その暗部の面積を測定して、その面積の大
小により異常の有無を判別するようにしていた。
調べる検査方法としては、切削・研磨後の表面を微分干
渉顕微鏡で撮像し、螺旋状の溝を明暗変化として映像化
することにより検査していた。すなわち、映像化した画
像データをフィルタ処理して溝部分の暗部を強調した後
に２値化し、その暗部の面積を測定して、その面積の大
小により異常の有無を判別するようにしていた。
【０００４】しかし、微分干渉顕微鏡で映像化した画像
には、本来検出したい螺旋状の溝以外の凹凸部分も包含
されている。例えば、コンタクトレンズ自体の曲面形状
や塵の付着などによる凹凸部分が含まれているため、こ
れら凹凸部分も明暗変化になって映像化されている。こ
のようなコンタクトレンズ自体の形状や塵によって生ず
る明暗変化は、フィルタ処理するだけでは除去されない
ため、２値化し面積を測定すると、その測定面積内に含
まれることによって誤差を生ずる要因になっていた。
には、本来検出したい螺旋状の溝以外の凹凸部分も包含
されている。例えば、コンタクトレンズ自体の曲面形状
や塵の付着などによる凹凸部分が含まれているため、こ
れら凹凸部分も明暗変化になって映像化されている。こ
のようなコンタクトレンズ自体の形状や塵によって生ず
る明暗変化は、フィルタ処理するだけでは除去されない
ため、２値化し面積を測定すると、その測定面積内に含
まれることによって誤差を生ずる要因になっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
のような従来技術の問題を解消し、本来検出したい螺旋
状の溝（切削傷）以外の凹凸部分が存在しても、実質的
に螺旋状の溝だけを精度良く検出可能にする切削加工品
の検査方法及び装置を提供することにある。
のような従来技術の問題を解消し、本来検出したい螺旋
状の溝（切削傷）以外の凹凸部分が存在しても、実質的
に螺旋状の溝だけを精度良く検出可能にする切削加工品
の検査方法及び装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の切削加工品の検査方法は、螺旋状に切削された
加工品の切削表面を撮像し、その画像データの濃淡変化
を特定の周波数成分で強調し、２次元直交変換を行い空
間周波数データに変換した後、該空間周波数データを空
間周波数解析により特定のピッチで形成してなる螺旋状
パターンとして検知し、該螺旋状パターンから前記切削
表面の異常の有無を判別することを特徴とするものであ
る。
本発明の切削加工品の検査方法は、螺旋状に切削された
加工品の切削表面を撮像し、その画像データの濃淡変化
を特定の周波数成分で強調し、２次元直交変換を行い空
間周波数データに変換した後、該空間周波数データを空
間周波数解析により特定のピッチで形成してなる螺旋状
パターンとして検知し、該螺旋状パターンから前記切削
表面の異常の有無を判別することを特徴とするものであ
る。
【０００７】また、本発明の切削加工品の検査装置は、
螺旋状に切削加工された加工品の切削表面を撮像する画
像入力手段と、該画像入力手段から入力した画像データ
を処理する画像処理手段を有し、該画像処理手段が画像
強調手段と２次元直交変換手段と空間周波数解析手段と
から構成されることを特徴とするものである。
螺旋状に切削加工された加工品の切削表面を撮像する画
像入力手段と、該画像入力手段から入力した画像データ
を処理する画像処理手段を有し、該画像処理手段が画像
強調手段と２次元直交変換手段と空間周波数解析手段と
から構成されることを特徴とするものである。
【０００８】このように切削加工品の表面の画像データ
に対し、特定の周波数成分の濃淡変化を強調し、２次元
直交変換を行い画像データを空間周波数データに変換し
た後、空間周波数解析によって切削加工時に出来る螺旋
状溝に基づく特定ピッチの螺旋状パターンを検知するよ
うにしたので、螺旋状パターン以外の画像の影響を受け
にくくすることができ、切削工具の不具合から生ずる研
磨後の螺旋状の溝の有無を精度良く検知することができ
る。
に対し、特定の周波数成分の濃淡変化を強調し、２次元
直交変換を行い画像データを空間周波数データに変換し
た後、空間周波数解析によって切削加工時に出来る螺旋
状溝に基づく特定ピッチの螺旋状パターンを検知するよ
うにしたので、螺旋状パターン以外の画像の影響を受け
にくくすることができ、切削工具の不具合から生ずる研
磨後の螺旋状の溝の有無を精度良く検知することができ
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、加工後のコンタクトレン
ズに対して本発明の検査方法を実施する装置を例示す
る。
ズに対して本発明の検査方法を実施する装置を例示す
る。
【００１０】１は検査に供される加工後のコンタクトレ
ンズを示す。このコンタクトレンズ１は、円柱状プラス
チック原料を切削機で切削し、研磨機で研磨することに
より所定の曲面形状に成形されたものである。
ンズを示す。このコンタクトレンズ１は、円柱状プラス
チック原料を切削機で切削し、研磨機で研磨することに
より所定の曲面形状に成形されたものである。
【００１１】上記切削加工は、円柱状プラスチックを回
転させながら切削工具の刃先を表面に当て、外周から中
心に向けて移動させるるように行われているため、連続
螺旋状に切削されながら円形湾曲面になる。もし、この
切削加工において、切削工具の刃先に何らかの異常があ
ると、切削加工面に大きな螺旋状の溝（切削傷）が生
じ、研磨工程で研磨しても除去されずに残るため、その
コンタクトレンズは不良品にされる。
転させながら切削工具の刃先を表面に当て、外周から中
心に向けて移動させるるように行われているため、連続
螺旋状に切削されながら円形湾曲面になる。もし、この
切削加工において、切削工具の刃先に何らかの異常があ
ると、切削加工面に大きな螺旋状の溝（切削傷）が生
じ、研磨工程で研磨しても除去されずに残るため、その
コンタクトレンズは不良品にされる。
【００１２】加工後のコンタクトレンズ１は保持手段２
に支持され、上方にセットした高さ測定手段３により切
削加工面が測定される。高さ測定手段３が測定した切削
加工面の映像は画像入力手段４により電気信号に変換さ
れ、画像処理手段５へ入力される。画像処理手段５は、
以下に説明するような処理を行って、コンタクトレンズ
１の切削加工面に螺旋状の溝（傷）が残っているか否か
を検知する。
に支持され、上方にセットした高さ測定手段３により切
削加工面が測定される。高さ測定手段３が測定した切削
加工面の映像は画像入力手段４により電気信号に変換さ
れ、画像処理手段５へ入力される。画像処理手段５は、
以下に説明するような処理を行って、コンタクトレンズ
１の切削加工面に螺旋状の溝（傷）が残っているか否か
を検知する。
【００１３】高さ測定手段３は、表面形状が測定できる
手段であれば特に限定されるものではなく、例えば微分
干渉顕微鏡、干渉式高さ計、共焦点式高さ計などの光学
検出手段が使用される。これらの中でも特に微分干渉顕
微鏡が好ましい。微分干渉顕微鏡は、切削加工表面の高
さ変化を明暗変化に変換して映像化する。
手段であれば特に限定されるものではなく、例えば微分
干渉顕微鏡、干渉式高さ計、共焦点式高さ計などの光学
検出手段が使用される。これらの中でも特に微分干渉顕
微鏡が好ましい。微分干渉顕微鏡は、切削加工表面の高
さ変化を明暗変化に変換して映像化する。
【００１４】画像入力手段４は、高さ測定手段３で得ら
れた映像を電気信号に変換し、画像処理手段５に入力す
るためのもので、撮像手段とＡ／Ｄ変換手段から構成さ
れている。撮像手段としては、撮像管、ＣＣＤカメラな
ど映像を電気信号に変換するものであればよく、またＡ
／Ｄ変換手段は、撮像手段の電気信号をＡ／Ｄ変換し、
画像処理手段５のメモリ内に画像データとして書き込
む。
れた映像を電気信号に変換し、画像処理手段５に入力す
るためのもので、撮像手段とＡ／Ｄ変換手段から構成さ
れている。撮像手段としては、撮像管、ＣＣＤカメラな
ど映像を電気信号に変換するものであればよく、またＡ
／Ｄ変換手段は、撮像手段の電気信号をＡ／Ｄ変換し、
画像処理手段５のメモリ内に画像データとして書き込
む。
【００１５】画像処理手段５は、画像強調手段５１と２
次元直交変換手段５２と空間周波数解析手段５３とから
なる。画像処理手段５による画像データの処理結果、す
なわちコンタクトレンズ１の切削加工面に螺旋状の溝
（欠陥）が存在するか否かの結果は、表示手段６に表示
される。
次元直交変換手段５２と空間周波数解析手段５３とから
なる。画像処理手段５による画像データの処理結果、す
なわちコンタクトレンズ１の切削加工面に螺旋状の溝
（欠陥）が存在するか否かの結果は、表示手段６に表示
される。
【００１６】もし、画像入力手段４から得られた画像デ
ータに切削不具合による螺旋状の溝が含まれていると、
その画像データに暗い螺旋状の線が現れる。その溝が深
いほど濃淡の変化が大きくなる。画像データには、この
螺旋状の線のほか、コンタクトレンズ１の形状変化に基
づく大きな暗い部分と、さらに塵などの異物が付着して
いる場合細かな黒い点が現れる。
ータに切削不具合による螺旋状の溝が含まれていると、
その画像データに暗い螺旋状の線が現れる。その溝が深
いほど濃淡の変化が大きくなる。画像データには、この
螺旋状の線のほか、コンタクトレンズ１の形状変化に基
づく大きな暗い部分と、さらに塵などの異物が付着して
いる場合細かな黒い点が現れる。
【００１７】上記画像処理手段５による画像処理は、次
のように行われる。
のように行われる。
【００１８】まず、画像入力手段４から得た画像データ
に螺旋状の溝が含まれていると、その螺旋状の溝の濃淡
変化が、画像強調手段５１により地合が除去されること
により強調される。このような画像強調手段５１として
は、特定の周波数を除去する機能を有する周波数フィル
タであれば、特に限定されない。例えば、ロバーツフィ
ルタ、ラブラシアンフィルタ、微分フィルタなどを使用
することができる。
に螺旋状の溝が含まれていると、その螺旋状の溝の濃淡
変化が、画像強調手段５１により地合が除去されること
により強調される。このような画像強調手段５１として
は、特定の周波数を除去する機能を有する周波数フィル
タであれば、特に限定されない。例えば、ロバーツフィ
ルタ、ラブラシアンフィルタ、微分フィルタなどを使用
することができる。
【００１９】このように画像強調手段５１の特定の周波
数のフィルタ作用により、画像データから地合の変化が
除去される一方、切削工具の不具合により生じた螺旋状
の溝が強調される。しかし、この画像強調処理では、コ
ンタクトレンズ表面の形状による濃淡変化の濃淡境界部
分や、異物付着による黒点も強調される。これはコンタ
クトレンズの湾曲形状や付着した異物が、螺旋状の溝と
同様の周波数成分を持っているからである。したがっ
て、強調処理後の画像データをそのまま２値化して面積
計測を行っても、コンタクトレンズの形状や異物に基づ
く面積がノイズとなって誤差の原因になる。
数のフィルタ作用により、画像データから地合の変化が
除去される一方、切削工具の不具合により生じた螺旋状
の溝が強調される。しかし、この画像強調処理では、コ
ンタクトレンズ表面の形状による濃淡変化の濃淡境界部
分や、異物付着による黒点も強調される。これはコンタ
クトレンズの湾曲形状や付着した異物が、螺旋状の溝と
同様の周波数成分を持っているからである。したがっ
て、強調処理後の画像データをそのまま２値化して面積
計測を行っても、コンタクトレンズの形状や異物に基づ
く面積がノイズとなって誤差の原因になる。
【００２０】本発明は、このようなコンタクトレンズの
形状や付着した異物に基づくノイズの影響を無くすた
め、画像強調手段５１で強調した画像データを、２次元
直交変換手段５２により２次元直交変換を行い、画像デ
ータに含まれる周波数成分をＸ軸とＹ軸との各軸ごとに
計算し、リング状領域の空間周波数データに変換する。
このような作用を行う２次元直交変換手段としては、例
えばＦＦＴ（高速フーリエ変換）、フーリエ変換、コサ
イン変換などがある。中でもＦＦＴは計算時間が短くな
るので特に好ましい。
形状や付着した異物に基づくノイズの影響を無くすた
め、画像強調手段５１で強調した画像データを、２次元
直交変換手段５２により２次元直交変換を行い、画像デ
ータに含まれる周波数成分をＸ軸とＹ軸との各軸ごとに
計算し、リング状領域の空間周波数データに変換する。
このような作用を行う２次元直交変換手段としては、例
えばＦＦＴ（高速フーリエ変換）、フーリエ変換、コサ
イン変換などがある。中でもＦＦＴは計算時間が短くな
るので特に好ましい。
【００２１】切削工具の不具合から生じた螺旋状の溝
は、コンタクトレンズの切削加工法の性質上等ピッチで
あるから、濃淡変化を強調後の画像データを２次元直交
変換した空間周波数データにも、螺旋状の溝の繰り返し
ピッチの周波数に対応してリング状領域部分の周波数成
分が強く現れる。この溝部分の濃淡変化が大きいほど、
このリング状領域部分の周波数成分も強くなる。
は、コンタクトレンズの切削加工法の性質上等ピッチで
あるから、濃淡変化を強調後の画像データを２次元直交
変換した空間周波数データにも、螺旋状の溝の繰り返し
ピッチの周波数に対応してリング状領域部分の周波数成
分が強く現れる。この溝部分の濃淡変化が大きいほど、
このリング状領域部分の周波数成分も強くなる。
【００２２】上記２次元直交変換（ＦＦＴ）を施す際、
コンタクトレンズの中心を画像データの中央に対応させ
るようにすると、２次元ＦＦＴを施して得た画像データ
（空間周波数データ）に示されるリング状領域部分を一
層明確に現すことができる。したがって、２次元直交変
換（ＦＦＴ）を施す際に、コンタクトレンズの保持手段
２を制御することにより、コンタクトレンズ１の中心を
画像データの中央に対応させるように操作するとよい。
コンタクトレンズの中心を画像データの中央に対応させ
るようにすると、２次元ＦＦＴを施して得た画像データ
（空間周波数データ）に示されるリング状領域部分を一
層明確に現すことができる。したがって、２次元直交変
換（ＦＦＴ）を施す際に、コンタクトレンズの保持手段
２を制御することにより、コンタクトレンズ１の中心を
画像データの中央に対応させるように操作するとよい。
【００２３】次いで、図２に示すように、空間周波数解
析手段５３により上記２次元ＦＦＴを施して得た画像デ
ータ（空間周波数データ）を、２値化手段５０１により
特定のしきい値により２値化する。さらに面積測定手段
５０２により、この２値化後の画像に対して面積計測を
行い、さらに良否判定手段５０３により、その計測後の
面積が特定のしきい値を越えている場合は、切削工具の
不具合により螺旋状の溝が発生していると判定する。
析手段５３により上記２次元ＦＦＴを施して得た画像デ
ータ（空間周波数データ）を、２値化手段５０１により
特定のしきい値により２値化する。さらに面積測定手段
５０２により、この２値化後の画像に対して面積計測を
行い、さらに良否判定手段５０３により、その計測後の
面積が特定のしきい値を越えている場合は、切削工具の
不具合により螺旋状の溝が発生していると判定する。
【００２４】図３は、別の実施形態からなる周波数解析
手段５３を示す。この図３の周波数解析手段５３は、２
次元直交変換手段５２で変換した空間周波数データ（画
像データ）を、座標変換手段５０５を使用して、図４に
示すように周波数ｆ１から周波数ｆ２までのリング状領
域で、角度θについて極座標変換を行い、図５に示すよ
うなグラフを得る。さらに図５のグラフについて、積算
処理手段５０６により角度θ方向に積算処理することに
より、図６のグラフのように、ピーク認識手段５０７に
より周波数ピーク部分ｆを認識する。
手段５３を示す。この図３の周波数解析手段５３は、２
次元直交変換手段５２で変換した空間周波数データ（画
像データ）を、座標変換手段５０５を使用して、図４に
示すように周波数ｆ１から周波数ｆ２までのリング状領
域で、角度θについて極座標変換を行い、図５に示すよ
うなグラフを得る。さらに図５のグラフについて、積算
処理手段５０６により角度θ方向に積算処理することに
より、図６のグラフのように、ピーク認識手段５０７に
より周波数ピーク部分ｆを認識する。
【００２５】図６において、周波数のピーク部分ｆは螺
旋状の溝のピッチを表し、Ｓは溝部分の濃淡変化、つま
り高さ変化の度合いを表す。この濃淡変化Ｓに対して、
良否判定手段５０８により特定のしきい値を設け、この
しきい値を越えている場合に、切削工具の不具合による
螺旋状の溝が発生していると判定する。
旋状の溝のピッチを表し、Ｓは溝部分の濃淡変化、つま
り高さ変化の度合いを表す。この濃淡変化Ｓに対して、
良否判定手段５０８により特定のしきい値を設け、この
しきい値を越えている場合に、切削工具の不具合による
螺旋状の溝が発生していると判定する。
【００２６】上述のように画像強調手段で強調した画像
データに対し、２次元直交変換を行うことでリング状の
空間周波数データに変換し、２次元直交変換後の画像デ
ータに螺旋状の溝の繰り返しピッチの周波数に対応する
リング状領域の周波数成分を強く現すようにする。した
がって、この空間周波数データのリング状領域を空間周
波数解析することで、螺旋状の溝部分以外のコンタクト
レンズの形状や異物に基づくノイズ成分の影響を無く
し、一層高精度に螺旋状の溝を検出することが可能にな
る。
データに対し、２次元直交変換を行うことでリング状の
空間周波数データに変換し、２次元直交変換後の画像デ
ータに螺旋状の溝の繰り返しピッチの周波数に対応する
リング状領域の周波数成分を強く現すようにする。した
がって、この空間周波数データのリング状領域を空間周
波数解析することで、螺旋状の溝部分以外のコンタクト
レンズの形状や異物に基づくノイズ成分の影響を無く
し、一層高精度に螺旋状の溝を検出することが可能にな
る。
【００２７】本発明による切削加工品の検査方法は、コ
ンタクトレンズのみならず、切削機の切削加工により得
られる加工品、例えばプラスチック製の凹面鏡、凸面
鏡、光学レンズなどに対する検査にも適用することがで
きる。
ンタクトレンズのみならず、切削機の切削加工により得
られる加工品、例えばプラスチック製の凹面鏡、凸面
鏡、光学レンズなどに対する検査にも適用することがで
きる。
【００２８】
【実施例】図１の装置を用いて、加工後のコンタクトレ
ンズを検査した。
ンズを検査した。
【００２９】高さ測定手段３には微分干渉顕微鏡（ニコ
ン社製）を用い、対物レンズは ＣＦ ＩＣ ＢＤ Ｐ
ｌａｎ ＥＬＷＤ ＤＩＣ １００倍を使用した。画像
入力手段４としては、２次元ＣＣＤカメラ（ＮＥＣ社
製，ＴＩ−３２４Ａ）を使用して、微分干渉顕微鏡で得
られた映像を電気信号に変換し、アパール社製画像取り
込みボードＦＨＣ３３０Ａにて画像処理手段５（ファー
スト社製画像処理装置９０２Ｌ）に画像データを取り込
んで画像処理を行った。周波数解析手段５３としては、
図３に示す手順に従って処理を行った。その結果、精度
よく良品と不良品との判別をすることができた。
ン社製）を用い、対物レンズは ＣＦ ＩＣ ＢＤ Ｐ
ｌａｎ ＥＬＷＤ ＤＩＣ １００倍を使用した。画像
入力手段４としては、２次元ＣＣＤカメラ（ＮＥＣ社
製，ＴＩ−３２４Ａ）を使用して、微分干渉顕微鏡で得
られた映像を電気信号に変換し、アパール社製画像取り
込みボードＦＨＣ３３０Ａにて画像処理手段５（ファー
スト社製画像処理装置９０２Ｌ）に画像データを取り込
んで画像処理を行った。周波数解析手段５３としては、
図３に示す手順に従って処理を行った。その結果、精度
よく良品と不良品との判別をすることができた。
【００３０】
【発明の効果】上述したように本発明によれば、連続螺
旋状の円形に切削加工された切削加工品の表面の画像デ
ータに対し、特定の周波数成分で濃淡変化を強調し、２
次元直交変換を行い画像データを空間周波数データに変
換した後、これを空間周波数解析により切削加工時の螺
旋状溝に基づく特定のピッチで形成される螺旋状パター
ンを検知するようにしたので、その螺旋状パターン以外
の画像の影響を受けにくくし、切削工具の不具合から生
ずる螺旋状の溝（傷）の有無を精度良く検知することが
できる。
旋状の円形に切削加工された切削加工品の表面の画像デ
ータに対し、特定の周波数成分で濃淡変化を強調し、２
次元直交変換を行い画像データを空間周波数データに変
換した後、これを空間周波数解析により切削加工時の螺
旋状溝に基づく特定のピッチで形成される螺旋状パター
ンを検知するようにしたので、その螺旋状パターン以外
の画像の影響を受けにくくし、切削工具の不具合から生
ずる螺旋状の溝（傷）の有無を精度良く検知することが
できる。
【図１】本発明の検査方法を実施する装置の一例を示す
概略図である。
概略図である。
【図２】本発明に使用される周波数解析手段を例示する
ブロック図である。
ブロック図である。
【図３】本発明に使用される周波数解析手段の他の例を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図４】本発明において直交変換後の画像データを２値
化した例を示す図である。
化した例を示す図である。
【図５】本発明において座標変換後の画像データを例示
する図である。
する図である。
【図６】本発明において図５から積算処理後の画像デー
タを例示する図である。
タを例示する図である。
１ コンタクトレンズ（切削加工品）
２（コンタクトレンズの）保持手段
３ 高さ測定手段
４ 画像入力手段
５ 画像処理手段
６ 表示手段
５１ 画像強調手段
５２ ２次元直交変換手段
５３ 空間周波数解析手段
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 倉敷 俊
滋賀県大津市園山１丁目１番１号 東レ株
式会社滋賀事業場内
(72)発明者 中村 勝幸
滋賀県大津市園山１丁目１番１号 東レ株
式会社滋賀事業場内
Ｆターム(参考） 2F065 AA49 AA58 BB22 CC22 DD03
JJ03 JJ26 QQ04 QQ08 QQ16
QQ24
2G051 AA90 AB07 CA04 ED30
2G086 FF01 FF05
2H006 DA05
Claims (6)
- 【請求項１】 螺旋状に切削された加工品の切削表面を
撮像し、その画像データの濃淡変化を特定の周波数成分
で強調し、２次元直交変換を行い空間周波数データに変
換した後、該空間周波数データを空間周波数解析により
特定のピッチで形成してなる螺旋状パターンとして検知
し、該螺旋状パターンから前記切削表面の異常の有無を
判別する切削加工品の検査方法。 - 【請求項２】 前記空間周波数解析が、前記空間周波数
データのリング状領域に対して２値計測を行い、得られ
た面積から螺旋状パターンを検知する請求項１に記載の
切削加工品の検査方法。 - 【請求項３】 前記空間周波数解析が、前記空間周波数
データのリング状領域を極座標変換した後、角度軸に対
して周波数データを積算し、得られた周波数成分の強度
から螺旋状パターンを検知する請求項１に記載の切削加
工品の検査方法。 - 【請求項４】 前記加工品がコンタクトレンズである請
求項１，２又は３に記載の切削加工品の検査方法。 - 【請求項５】 螺旋状に切削加工された加工品の切削表
面を撮像する画像入力手段と、該画像入力手段から入力
した画像データを処理する画像処理手段を有し、該画像
処理手段が画像強調手段と２次元直交変換手段と空間周
波数解析手段とから構成される切削加工品の検査装置。 - 【請求項６】 前記加工品がコンタクトレンズである請
求項５に記載の切削加工品の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001225766A JP2003042737A (ja) | 2001-07-26 | 2001-07-26 | 切削加工品の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001225766A JP2003042737A (ja) | 2001-07-26 | 2001-07-26 | 切削加工品の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003042737A true JP2003042737A (ja) | 2003-02-13 |
Family
ID=19058703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001225766A Pending JP2003042737A (ja) | 2001-07-26 | 2001-07-26 | 切削加工品の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003042737A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004302074A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Toray Ind Inc | コンタクトレンズの製造方法 |
| JP2011117824A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 強度評価装置及び強度評価方法 |
| US8908234B2 (en) | 2012-04-27 | 2014-12-09 | Ricoh Company, Limited | Image capture apparatus, image capture system, and image capture method |
| JP2017097264A (ja) * | 2015-11-27 | 2017-06-01 | Hoya株式会社 | 欠陥評価方法、マスクブランクの製造方法、マスクブランク、マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランク用基板、転写用マスクの製造方法、転写用マスクおよび半導体デバイスの製造方法 |
| JP2018155646A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 三菱ケミカル株式会社 | 表面測定装置及び表面測定方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0319091A (ja) * | 1989-06-16 | 1991-01-28 | Ricoh Co Ltd | 画質評価方法 |
| JPH04321186A (ja) * | 1990-12-19 | 1992-11-11 | Ciba Geigy Ag | 光学部品、特に目に関する光学部品を検査するためのプロセスおよび装置、および透明被検体を照明する装置 |
| JPH05169355A (ja) * | 1991-12-17 | 1993-07-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 工具異常検出装置 |
-
2001
- 2001-07-26 JP JP2001225766A patent/JP2003042737A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0319091A (ja) * | 1989-06-16 | 1991-01-28 | Ricoh Co Ltd | 画質評価方法 |
| JPH04321186A (ja) * | 1990-12-19 | 1992-11-11 | Ciba Geigy Ag | 光学部品、特に目に関する光学部品を検査するためのプロセスおよび装置、および透明被検体を照明する装置 |
| JPH05169355A (ja) * | 1991-12-17 | 1993-07-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 工具異常検出装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004302074A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Toray Ind Inc | コンタクトレンズの製造方法 |
| JP2011117824A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 強度評価装置及び強度評価方法 |
| US8908234B2 (en) | 2012-04-27 | 2014-12-09 | Ricoh Company, Limited | Image capture apparatus, image capture system, and image capture method |
| JP2017097264A (ja) * | 2015-11-27 | 2017-06-01 | Hoya株式会社 | 欠陥評価方法、マスクブランクの製造方法、マスクブランク、マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランク用基板、転写用マスクの製造方法、転写用マスクおよび半導体デバイスの製造方法 |
| JP2018155646A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 三菱ケミカル株式会社 | 表面測定装置及び表面測定方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6983065B1 (en) | Method for extracting features from an image using oriented filters | |
| CN109490316B (zh) | 一种基于机器视觉的表面缺陷检测算法 | |
| US6941016B1 (en) | Method for finding contours in an image of an object | |
| US8761488B2 (en) | Image data processing method and image creating method | |
| JP4864504B2 (ja) | シリコンウェーハの結晶欠陥検査方法及び装置 | |
| US20010030296A1 (en) | Surface inspection apparatus and method thereof | |
| US20070081154A1 (en) | System and method for conducting adaptive fourier filtering to detect defects in dense logic areas of an inspection surface | |
| JP5302701B2 (ja) | タイヤ形状検査方法，タイヤ形状検査装置 | |
| EP1639342A2 (en) | Apparatus and methods for enabling robust separation between signals of interest and noise | |
| CN111879789A (zh) | 金属表面缺陷检测方法及*** | |
| JPH06294749A (ja) | 板ガラスの欠点検査方法 | |
| JP5564807B2 (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
| CN108956618B (zh) | 一种基于频域视觉的圆锥滚子轴承表面检测方法 | |
| JP2003042737A (ja) | 切削加工品の検査方法 | |
| CN110618140A (zh) | 一种轴承套圈磨削振纹的机器视觉检测***和方法 | |
| JP2008249413A (ja) | 欠陥検出方法および装置 | |
| JP3160743B2 (ja) | 液晶パネル欠陥検査装置 | |
| JP4369276B2 (ja) | 円板形状部品の欠け検査装置及び欠け検査方法 | |
| CN110530800B (zh) | 玻璃应力缺陷的检测方法和装置 | |
| JP2012008018A (ja) | 表面検査方法 | |
| JP2009300287A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP2006112890A (ja) | 切削加工品の検査方法および切削加工品の検査装置 | |
| Li et al. | A stereo optical comparison method for detection of metallic surface defects based on machine vision and laser triangulation | |
| JP2006135700A (ja) | 画像検査装置、画像検査方法、制御プログラムおよび可読記憶媒体 | |
| JPS63284455A (ja) | 表面欠陥検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080723 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101221 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110104 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110303 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110531 |