JP2003028671A - 光学式エンコーダ - Google Patents
光学式エンコーダInfo
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- JP2003028671A JP2003028671A JP2001213651A JP2001213651A JP2003028671A JP 2003028671 A JP2003028671 A JP 2003028671A JP 2001213651 A JP2001213651 A JP 2001213651A JP 2001213651 A JP2001213651 A JP 2001213651A JP 2003028671 A JP2003028671 A JP 2003028671A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コード板におけるコードパターン等の微細化
には限度があるため、高分解能化は困難であった。 【解決手段】 光源部と、受光部および、両者の光路間
に位置する可動のコード板４からなる光学式エンコーダ
において、コード板４の外側のトラックＴ２に、当該コ
ード板の絶対位置情報を知るための周知の絶対位置検出
用パターンを形成し、そして内側のトラックＴ１に、位
相型光回折格子を形成し、その位相型回折格子で回折し
た２つの回折光の干渉光に基づき、当該コード板の相対
位置情報を検出し、両情報の組み合わせから高分解能の
検出を可能にする。
には限度があるため、高分解能化は困難であった。 【解決手段】 光源部と、受光部および、両者の光路間
に位置する可動のコード板４からなる光学式エンコーダ
において、コード板４の外側のトラックＴ２に、当該コ
ード板の絶対位置情報を知るための周知の絶対位置検出
用パターンを形成し、そして内側のトラックＴ１に、位
相型光回折格子を形成し、その位相型回折格子で回折し
た２つの回折光の干渉光に基づき、当該コード板の相対
位置情報を検出し、両情報の組み合わせから高分解能の
検出を可能にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、モータ等の回転や
直線運動を行う物体の位置や速度を検出するために用い
る光学式エンコーダに関する。
直線運動を行う物体の位置や速度を検出するために用い
る光学式エンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１に特開平11-287671号の「光学式エ
ンコーダ」における光学部を示し、光源部１と、受光部
２と、それらの光路間に設けた可動のコード板３から成
る。コード板３には、移動情報を検出するパターンとし
て、光路を遮るためにＶ字状の凹凸を設けた領域(全反
射領域)と、そうでない領域(光透過領域)がある。そし
て受光部２にある２つの受光素子２１、２２が、前記２
つの領域に対応して位置するとき、前記全反射領域に向
かった光束はそこで全反射するため受光素子２１には入
光しないのに対し、前記光透過領域に向かった光束はそ
のまま透過して受光素子２２に入光する。コード板３の
位置によって、２つの受光素子での受光パターンが変化
するため、その変化からコード板３の位置を知ることが
できる。
ンコーダ」における光学部を示し、光源部１と、受光部
２と、それらの光路間に設けた可動のコード板３から成
る。コード板３には、移動情報を検出するパターンとし
て、光路を遮るためにＶ字状の凹凸を設けた領域(全反
射領域)と、そうでない領域(光透過領域)がある。そし
て受光部２にある２つの受光素子２１、２２が、前記２
つの領域に対応して位置するとき、前記全反射領域に向
かった光束はそこで全反射するため受光素子２１には入
光しないのに対し、前記光透過領域に向かった光束はそ
のまま透過して受光素子２２に入光する。コード板３の
位置によって、２つの受光素子での受光パターンが変化
するため、その変化からコード板３の位置を知ることが
できる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高分解
能化するためには、コード板３に設ける各領域の幅や凹
凸によるコードパターンの間隔を小さく配置する必要が
あるが、製造上の問題により小さくできる限界がある。
したがって、高分解能化を行うには可動コード板の大型
化が必要であった。
能化するためには、コード板３に設ける各領域の幅や凹
凸によるコードパターンの間隔を小さく配置する必要が
あるが、製造上の問題により小さくできる限界がある。
したがって、高分解能化を行うには可動コード板の大型
化が必要であった。
【０００４】本発明は、上述した課題を解決するために
なされたものであり、従来機構の光学式エンコーダを元
に分解能を飛躍的に向上させた光学式エンコーダを提供
することを目的とする。
なされたものであり、従来機構の光学式エンコーダを元
に分解能を飛躍的に向上させた光学式エンコーダを提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の光学式エンコー
ダは、光源部、受光部および、両者の光路間に位置し、
光路を選択的に遮るための絶対位置検出用パターンを形
成した可動のコード板からなる光学式エンコーダにおい
て、前記コード板に、位相型光回折格子を別途形成する
と共に、その位相型回折格子で回折した２つの回折光の
干渉光を受光するようにし、絶対位置検出用パターンか
らわかる絶対位置情報と、干渉光からわかる相対位置情
報とを組み合わせて高分解能の位置情報を得ることを特
徴とする。
ダは、光源部、受光部および、両者の光路間に位置し、
光路を選択的に遮るための絶対位置検出用パターンを形
成した可動のコード板からなる光学式エンコーダにおい
て、前記コード板に、位相型光回折格子を別途形成する
と共に、その位相型回折格子で回折した２つの回折光の
干渉光を受光するようにし、絶対位置検出用パターンか
らわかる絶対位置情報と、干渉光からわかる相対位置情
報とを組み合わせて高分解能の位置情報を得ることを特
徴とする。
【０００６】本発明のコード板は、光源部と受光部との
光路間に位置する可動のコード板であって、光路を選択
的に遮るための絶対位置検出用パターンとは別に、位相
型光回折格子を形成したことを特徴とする。
光路間に位置する可動のコード板であって、光路を選択
的に遮るための絶対位置検出用パターンとは別に、位相
型光回折格子を形成したことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】実施形態１
図２は本発明の第１実施形態に係わる光学検出部の構成
図を示す。コード板４には、リング状の２つのトラック
Ｔ１、Ｔ２の領域がある。図３は、内側のトラックＴ１
における周回方向でのコード板４の断面を示し、一方の
面に“位相型回折格子”として矩形の凹凸を有する。図
４は、外側のトラックＴ２における周回方向でのコード
板４の断面を示し、絶対位置検出用パターンとして、一
方の面に光路を遮るためのＶ字状の凹凸による全反射領
域(領域１)とそうでない光透過領域(領域２)を交互に設
けている。光源部１はレーザやＬＥＤなどの可干渉光源
とする。受光部５、６、７はＰＤなどの半導体受光素子
とする。
図を示す。コード板４には、リング状の２つのトラック
Ｔ１、Ｔ２の領域がある。図３は、内側のトラックＴ１
における周回方向でのコード板４の断面を示し、一方の
面に“位相型回折格子”として矩形の凹凸を有する。図
４は、外側のトラックＴ２における周回方向でのコード
板４の断面を示し、絶対位置検出用パターンとして、一
方の面に光路を遮るためのＶ字状の凹凸による全反射領
域(領域１)とそうでない光透過領域(領域２)を交互に設
けている。光源部１はレーザやＬＥＤなどの可干渉光源
とする。受光部５、６、７はＰＤなどの半導体受光素子
とする。
【０００８】図３の凹凸は、コード板４の移動方向(図
２のようにロータリーエンコーダ用のコード板では周回
方向)に沿って、ピッチＰ、深さＨの矩形断面形状を有
し、これらのサイズが微細な場合には周知のごとく位相
型回折格子を形成し、そのため、その凹凸部に波長λの
可干渉光を入射させると回折作用が生じて回折光が発生
する。回折光の方向はピッチＰと波長λにより数式１で
算出できる。数式１においてｍ＝１に該当する回折光
を、＋１次回折光、ｍ＝−１に該当する回折光を、−１
次回折光と呼ぶ。
２のようにロータリーエンコーダ用のコード板では周回
方向)に沿って、ピッチＰ、深さＨの矩形断面形状を有
し、これらのサイズが微細な場合には周知のごとく位相
型回折格子を形成し、そのため、その凹凸部に波長λの
可干渉光を入射させると回折作用が生じて回折光が発生
する。回折光の方向はピッチＰと波長λにより数式１で
算出できる。数式１においてｍ＝１に該当する回折光
を、＋１次回折光、ｍ＝−１に該当する回折光を、−１
次回折光と呼ぶ。
【０００９】
【数１】θｍ＝ arcsin（ｍ・λ／Ｐ） ただし、ｍ＝
０，±１，±２…
０，±１，±２…
【００１０】図３のコード板４が図中に示す方向に移動
すると、回折光の強度は一定で、位相が変化する。ｍ次
回折光の位相変化Δφと移動量ΔＬの関係は数式２で算
出できる。数式２より、コード板がピッチＰに相当する
距離を移動したとき、＋１次回折光の位相変化Δφ＝２
π、同様に−１次回折光の位相変化Δφ＝−２πとな
る。
すると、回折光の強度は一定で、位相が変化する。ｍ次
回折光の位相変化Δφと移動量ΔＬの関係は数式２で算
出できる。数式２より、コード板がピッチＰに相当する
距離を移動したとき、＋１次回折光の位相変化Δφ＝２
π、同様に−１次回折光の位相変化Δφ＝−２πとな
る。
【００１１】
【数２】Δφ＝２・ｍ・π・ΔＬ／Ｐ
【００１２】＋１次回折光、−１次回折光を１つの受光
部で受光すると、両回折光の干渉光が受光部に入光する
ことになる。既述したようにコード板４を移動させたと
きに生じる回折光は個々に位相が変化するため、このと
きの受光部の出力特性は図５に示されるように、コード
板４の１ピッチ分の移動量Ｐに対して、受光部から２周
期の正弦波出力として得られる。
部で受光すると、両回折光の干渉光が受光部に入光する
ことになる。既述したようにコード板４を移動させたと
きに生じる回折光は個々に位相が変化するため、このと
きの受光部の出力特性は図５に示されるように、コード
板４の１ピッチ分の移動量Ｐに対して、受光部から２周
期の正弦波出力として得られる。
【００１３】本発明は、図６に示す干渉領域Ｓに受光部
５を配置することで、＋１次回折光、−１次回折光によ
る干渉光を得るようにしている。
５を配置することで、＋１次回折光、−１次回折光によ
る干渉光を得るようにしている。
【００１４】格子断面形状を適性にすることで、０次回
折光を、入射光の５％以下に小さくすれば信号のＳ／Ｎ
比を上げることができる。０次回折光の強度は数式３に
て算出できる。
折光を、入射光の５％以下に小さくすれば信号のＳ／Ｎ
比を上げることができる。０次回折光の強度は数式３に
て算出できる。
【００１５】
【数３】η０＝１−４・ｄ（１−ｄ）ｓｉｎ＾２（π
（ｎ−１）・Ｈ／λ） λ：波長、ｎ：コード板材料の屈折率、ｄ：格子の幅デ
ューティ
（ｎ−１）・Ｈ／λ） λ：波長、ｎ：コード板材料の屈折率、ｄ：格子の幅デ
ューティ
【００１６】例えば、λ＝０．７８μｍ、ｎ＝１．５３
の場合、ｄ＝０．５とすると０．６４μｍ＜Ｈ＜０．８
４μｍであれば、η０＜０．０５と入射光強度の５％よ
り小さくできる。
の場合、ｄ＝０．５とすると０．６４μｍ＜Ｈ＜０．８
４μｍであれば、η０＜０．０５と入射光強度の５％よ
り小さくできる。
【００１７】図２に示したコード板４のトラックＴ１に
図３の凹凸による光回折領域を形成するには、放射方向
に延在する凹面、凸面を交互にＮ回繰り返し配置する。
これにより、コード４板が一回転することで２×Ｎ周期
の正弦波出力が得られる。移動方向の情報を得るため
に、同一周期で異る位相Δφの正弦波出力が必要な時
は、コード板の移動方向に対し、数式４に示す位置に受
光部６を設ける。
図３の凹凸による光回折領域を形成するには、放射方向
に延在する凹面、凸面を交互にＮ回繰り返し配置する。
これにより、コード４板が一回転することで２×Ｎ周期
の正弦波出力が得られる。移動方向の情報を得るため
に、同一周期で異る位相Δφの正弦波出力が必要な時
は、コード板の移動方向に対し、数式４に示す位置に受
光部６を設ける。
【００１８】
【数４】受光部配置位置(受光部５との距離)＝Ｐ／２・
（Ｘ＋Δφ／２π） （Ｘは整数）
（Ｘ＋Δφ／２π） （Ｘは整数）
【００１９】本発明では更に、図５の受光出力に対しπ
／２位相のずれた正弦波を得るため、コード板４の移動
方向に対してＰ／２・（Ｘ＋１／４）ずれた位置に受光
部６を配置した光学系を構成する。受光部５を基準とす
ると、受光部６からの出力はコード板の移動方向により
異った位相を持った出力が得られる。
／２位相のずれた正弦波を得るため、コード板４の移動
方向に対してＰ／２・（Ｘ＋１／４）ずれた位置に受光
部６を配置した光学系を構成する。受光部５を基準とす
ると、受光部６からの出力はコード板の移動方向により
異った位相を持った出力が得られる。
【００２０】次に、図４のコード板４について説明す
る。領域１には面２側にＶ字形状の凹凸を１組以上形成
しており、その凹凸を形成する傾斜面１、傾斜面２は、
それぞれ全反射面として機能する角度に傾斜させてい
る。
る。領域１には面２側にＶ字形状の凹凸を１組以上形成
しており、その凹凸を形成する傾斜面１、傾斜面２は、
それぞれ全反射面として機能する角度に傾斜させてい
る。
【００２１】これにより、光源部１からの光束をコード
板４の面１に入射したとき、その入射した光束は傾斜面
１で全反射して他方の傾斜面２に導かれ、ここでも全反
射することにより、光束は、光源１の方に向かい、受光
部へは進まない。一方、領域２に入射した光束は、コー
ド板内部を透過して、受光部に到達する。このように、
可干渉光源部と受光部の光路内に配置した領域１、領域
２を有するコード板の位置により、受光部に光束が到達
しない状態と、到達する状態が得られる。
板４の面１に入射したとき、その入射した光束は傾斜面
１で全反射して他方の傾斜面２に導かれ、ここでも全反
射することにより、光束は、光源１の方に向かい、受光
部へは進まない。一方、領域２に入射した光束は、コー
ド板内部を透過して、受光部に到達する。このように、
可干渉光源部と受光部の光路内に配置した領域１、領域
２を有するコード板の位置により、受光部に光束が到達
しない状態と、到達する状態が得られる。
【００２２】図２のコード板４のトラックＴ２に図４の
Ｖ字状の凹凸を形成するときは、図７の斜視図に示すよ
うにそれらの凹凸は放射方向に延在するようにして配置
する。または、図８に示すように、それらの凹凸は異る
半径方向に延在させてもよい。いずれの場合も受光部７
はコード板を透過した光束が照射される位置に設置す
る。
Ｖ字状の凹凸を形成するときは、図７の斜視図に示すよ
うにそれらの凹凸は放射方向に延在するようにして配置
する。または、図８に示すように、それらの凹凸は異る
半径方向に延在させてもよい。いずれの場合も受光部７
はコード板を透過した光束が照射される位置に設置す
る。
【００２３】図４のＶ字状の凹凸を有するコード板で構
成した光学系により、１回転中の絶対位置の情報を知る
ことができる。一方、図３の矩形の凹凸を有するコード
板で構成した光学系は光干渉を利用するので絶対位置は
得られないが(１ピッチ分移動する毎に２周期分の正弦
波が繰返し出力)、１ピッチ分以内の移動量に対し高分
解能の相対移動情報を得ることができる。従って両者の
情報を組み合わせることにより、高分解能絶対値エンコ
ーダを得ることができる。
成した光学系により、１回転中の絶対位置の情報を知る
ことができる。一方、図３の矩形の凹凸を有するコード
板で構成した光学系は光干渉を利用するので絶対位置は
得られないが(１ピッチ分移動する毎に２周期分の正弦
波が繰返し出力)、１ピッチ分以内の移動量に対し高分
解能の相対移動情報を得ることができる。従って両者の
情報を組み合わせることにより、高分解能絶対値エンコ
ーダを得ることができる。
【００２４】実施形態２
上記トラックＴ２に形成した図４のＶ字状凹凸による領
域１は全反射領域としたものであったが、図９に示す第
２の実施形態では、凹凸を形成する傾斜面１、２を、屈
折面として機能する角度に傾斜させることで、領域１を
屈折領域としている。領域２およびトラックＴ１に形成
した図３の矩形の凹凸は前実施形態のものと同じであ
る。
域１は全反射領域としたものであったが、図９に示す第
２の実施形態では、凹凸を形成する傾斜面１、２を、屈
折面として機能する角度に傾斜させることで、領域１を
屈折領域としている。領域２およびトラックＴ１に形成
した図３の矩形の凹凸は前実施形態のものと同じであ
る。
【００２５】光源部１からの光束をコード板４’の面１
から入射させ、Ｖ字形状の傾斜面１に導かれた光束は、
この傾斜面１で図中右側に屈折しながらもコード板４を
透過する。又、傾斜面２に導かれた光束も図中左側に屈
折しながらもコード板４を透過する。このように光束は
左右に光路を変更するため、光源部１の直下に位置する
受光部(不図示)には入光せず、一方、コード板４’の移
動により、入射した光束が領域２に導かれたときは、そ
のまま透過して受光部に入光する。このようにコード板
４’の位置により、図４のものと同様に受光部出力が変
化する。
から入射させ、Ｖ字形状の傾斜面１に導かれた光束は、
この傾斜面１で図中右側に屈折しながらもコード板４を
透過する。又、傾斜面２に導かれた光束も図中左側に屈
折しながらもコード板４を透過する。このように光束は
左右に光路を変更するため、光源部１の直下に位置する
受光部(不図示)には入光せず、一方、コード板４’の移
動により、入射した光束が領域２に導かれたときは、そ
のまま透過して受光部に入光する。このようにコード板
４’の位置により、図４のものと同様に受光部出力が変
化する。
【００２６】実施形態３
上記の２つの実施形態で示したコード板４、４’はロー
タリーエンコーダに用いるためディスク状のものであっ
たが、図１０に示したリニアエンコード用コード板１０
は、直線状の２つのトラックＴ１１、Ｔ１２を持ち、ト
ラックＴ１１には、図３に図示の矩形状の凹凸を形成
し、トラックＴ１２には、図４もしくは図９に図示のＶ
字状の凹凸を形成した領域１とそうでない領域２とを交
互に配列している。
タリーエンコーダに用いるためディスク状のものであっ
たが、図１０に示したリニアエンコード用コード板１０
は、直線状の２つのトラックＴ１１、Ｔ１２を持ち、ト
ラックＴ１１には、図３に図示の矩形状の凹凸を形成
し、トラックＴ１２には、図４もしくは図９に図示のＶ
字状の凹凸を形成した領域１とそうでない領域２とを交
互に配列している。
【００２７】実施形態４
トラックＴ１に本発明に係わる矩形の凹凸(光回折格子)
を形成したコード板４を得るには、透明プラスチックの
成型により行えるが、その際、トラックＴ２に対しても
同時に絶対位置検出用パターンを形成できれば、低コス
トかつ低慣性となるため都合が良い。そのため上記実施
形態ではトラックＴ２にＶ字状の凹凸を形成したが、絶
対位置検出用パターンはこれに限定されることはなく周
知のものを採用できる。
を形成したコード板４を得るには、透明プラスチックの
成型により行えるが、その際、トラックＴ２に対しても
同時に絶対位置検出用パターンを形成できれば、低コス
トかつ低慣性となるため都合が良い。そのため上記実施
形態ではトラックＴ２にＶ字状の凹凸を形成したが、絶
対位置検出用パターンはこれに限定されることはなく周
知のものを採用できる。
【００２８】即ち、図１１に示すように、トラックＴ２
部を不透光性とし、そこに放射状に多数のスリットＸを
形成するか、あるいは図１１のようなパターンを不透光
性のフィルムで作り、それをトラックＴ２に貼り付けて
もよい。
部を不透光性とし、そこに放射状に多数のスリットＸを
形成するか、あるいは図１１のようなパターンを不透光
性のフィルムで作り、それをトラックＴ２に貼り付けて
もよい。
【００２９】実施形態５
以上の説明からわかるように、本発明はコード板に特徴
を持つものであるため、請求項９にてコード板を請求し
ている。
を持つものであるため、請求項９にてコード板を請求し
ている。
【００３０】実施形態６
実施形態１〜５で説明した絶対位置検出用トラック及び
受光部はそれぞれ１個で構成されているが、検出用トラ
ック及び受光部をそれぞれ複数個用いて構成してもよ
い。高分解能検出についてもトラック１個、受光素子２
個で構成しているが、トラックを複数、受光部を異なる
数としてもよい。
受光部はそれぞれ１個で構成されているが、検出用トラ
ック及び受光部をそれぞれ複数個用いて構成してもよ
い。高分解能検出についてもトラック１個、受光素子２
個で構成しているが、トラックを複数、受光部を異なる
数としてもよい。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、コード
パターンを有する従来のコード板に対し、位相型光回折
格子を形成し、その位相型回折格子で得られる回折光の
干渉光に基づき、当該コード板の相対位置情報を検出
し、その相対位置情報と、絶対位置検出用パターンで検
出できる絶対位置情報とを組み合わせることにより、大
型化させることなく、従来の光学式エンコーダに比べ分
解能を飛躍的に向上させた光学式エンコーダを提供でき
る。
パターンを有する従来のコード板に対し、位相型光回折
格子を形成し、その位相型回折格子で得られる回折光の
干渉光に基づき、当該コード板の相対位置情報を検出
し、その相対位置情報と、絶対位置検出用パターンで検
出できる絶対位置情報とを組み合わせることにより、大
型化させることなく、従来の光学式エンコーダに比べ分
解能を飛躍的に向上させた光学式エンコーダを提供でき
る。
【図１】 従来の光学式エンコーダにおける光学部を示
した図
した図
【図２】 本発明に係わる光学式エンコーダにおける光
学部を示した図
学部を示した図
【図３】 図２のコード板に形成される矩形の凹凸形状
部を示した図
部を示した図
【図４】 図２のコード板に形成されるＶ字状の凹凸形
状部を示した図
状部を示した図
【図５】 図２の受光部で検出した干渉光に対する受光
部出力のグラフ
部出力のグラフ
【図６】 図３のコード板で生じる回折光を示した図
【図７】 図４のＶ字状の凹凸形状部の形成法を示した
斜視図
斜視図
【図８】 図４のＶ字状の凹凸形状部の別の形成法を示
した斜視図
した斜視図
【図９】 図４のＶ字状の凹凸形状部の別の形態を示し
た図
た図
【図１０】 リニアエンコーダ用として形成した本発明
のコード板の平面図
のコード板の平面図
【図１１】 図４のＶ字状の凹凸形状部に替わる別の形
態を示した図
態を示した図
１ 光源部、４ コード板、５、６、７ 受光部、１０
リニアエンコード用コード板、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ１１、
Ｔ１２ トラック、Ｘ スリット
リニアエンコード用コード板、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ１１、
Ｔ１２ トラック、Ｘ スリット
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 小原 隆雄
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 仲嶋 一
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 佐久間 浩和
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 岡室 貴士
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 青木 幸男
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 岡 徹
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 大村 陽一
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
Ｆターム(参考） 2F103 BA37 CA01 CA02 CA04 CA08
DA01 DA05 DA11 DA12 DA13
EA05 EA12 EA15 EB02 EB06
EB08 EB12 EB16 EB33 EC04
Claims (9)
- 【請求項１】 光源部、受光部および、両者の光路間に
位置し、光路を選択的に遮るための絶対位置検出用パタ
ーンを形成した可動のコード板からなる光学式エンコー
ダにおいて、 前記コード板に、位相型光回折格子を別途形成すると共
に、その位相型回折格子で回折した２つの回折光の干渉
光を受光するようにし、絶対位置検出用パターンからわ
かる絶対位置情報と、干渉光からわかる相対位置情報と
を組み合わせて高分解能の位置情報を得ることを特徴と
する光学式エンコーダ。 - 【請求項２】 上記位相型回折格子は、コード板の移動
方向に凹凸による矩形断面形状を連続して形成したもの
である請求項１記載の光学式エンコーダ。 - 【請求項３】 上記２つの回折光は、＋１次回折光と、
−１次回折光である請求項１記載の光学式エンコーダ。 - 【請求項４】 ０次回折光を入射光の５％未満となるよ
う、上記矩形断面形状を選定する請求項１〜３のいずれ
かに記載の光学式エンコーダ。 - 【請求項５】 上記絶対位置検出用パターンは、コード
板の少なくとも一方の面に全反射させるＶ字状の凹凸を
形成したものである請求項１〜４のいずれかに記載の光
学式エンコーダ。 - 【請求項６】 上記絶対位置検出用パターンは、コード
板の少なくとも一方の面に屈折させるＶ字状の凹凸を形
成したものである請求項１〜４のいずれかに記載の光学
式エンコーダ。 - 【請求項７】 上記絶対位置検出用パターンは、不透光
性のコード板に対し、複数のスリットを形成したもので
ある請求項１〜４のいずれかに記載の光学式エンコー
ダ。 - 【請求項８】 リニアエンコーダにあっては、上記絶対
位置検出用パターンおよび位相型回折格子は、直線状の
２つのトラックに沿って形成される請求項１〜７のいず
れかに記載の光学式エンコーダ。 - 【請求項９】 光源部と受光部との光路間に位置する可
動のコード板であって、光路を選択的に遮るための絶対
位置検出用パターンとは別に、位相型光回折格子を形成
したことを特徴とするコード板。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001213651A JP2003028671A (ja) | 2001-07-13 | 2001-07-13 | 光学式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001213651A JP2003028671A (ja) | 2001-07-13 | 2001-07-13 | 光学式エンコーダ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004014387A Division JP2004125812A (ja) | 2004-01-22 | 2004-01-22 | 光学式ロータリエンコーダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003028671A true JP2003028671A (ja) | 2003-01-29 |
| JP2003028671A5 JP2003028671A5 (ja) | 2004-12-24 |
Family
ID=19048588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001213651A Pending JP2003028671A (ja) | 2001-07-13 | 2001-07-13 | 光学式エンコーダ |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003028671A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018100958A (ja) * | 2016-12-20 | 2018-06-28 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ | 光学式エンコーダ |
-
2001
- 2001-07-13 JP JP2001213651A patent/JP2003028671A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20180071934A (ko) * | 2016-12-20 | 2018-06-28 | 덕터 요한네스 하이덴하인 게엠베하 | 광학적 위치 측정 장치 |
| KR102425154B1 (ko) | 2016-12-20 | 2022-07-26 | 덕터 요한네스 하이덴하인 게엠베하 | 광학적 위치 측정 장치 |
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