JP2003021658A - 電子部品の電気特性検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送時の位置ずれ，チップ部品の寸法誤差あ
るいは電極ピッチ，電極幅のばらつきが生じた場合にも
測定端子を確実に電極に接触させることができる電子部
品の電気検査測定装置を提供する。 【解決手段】 特性測定位置Ｂに配置され、電気的絶縁
状態で対向する一対の測定端子１５，１５を、上記特性
測定位置Ｂに搬送された電子部品２０の電極２２，２３
に当接させることにより電気的特性を測定するようにし
た電子部品の電気特性検査装置において、上記各測定端
子１５の当接面１５ａを、上記電子部品２０の電極２
２，２３の長辺Ｙ１又は短辺Ｘ１と斜めに交差するよう
に傾斜させて配置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばチップ型の
電子部品（以下チップ部品と略記する）の電極に測定端
子を接触させることにより電気的特性を測定するように
した電気特性検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】チップ部品の電気的特性を測定して良品
を選別するようにした電気特性検査装置として、図１５
に示すように、固定ベース５０上に円板状の搬送ロータ
５１を回転可能に配置し、該搬送ロータ５１の外周部に
チップ部品５２が収納される収納凹部５１ａを周方向に
所定間隔あけて形成した概略構造のものがある。

【０００３】この電気特性検査装置では、搬送ロータ５
１を回転させつつ各収納凹部５１ａにチップ部品５２を
順次供給し、該チップ部品５２を特性測定位置Ｓに搬送
する。この特性測定位置Ｓには固定テーブル５０の上
方，下方にそれぞれ測定端子が昇降可能に配設されてい
る。そして上記チップ部品５２が検査位置Ｓに搬送され
ると測定端子が移動してチップ部品５２の電極５３，５
４に接触し、該チップ部品５２の電気的特性を測定す
る。

【０００４】上記測定端子は、従来、図１１に示すよう
に、チップ部品５２の一方の上，下電極５３，５３´に
それぞれ対向するように配設された上下一対の帯板状端
子５７と、他方の上，下電極５４，５４´にそれぞれ対
向するように配設された上下一対の帯板状端子５８で構
成されている。そしてこれらの測定端子５７，５８は、
その長辺部５７ａ，５８ａがチップ部品５２のＸ軸方向
辺（長辺部）５２ａと平行となるように配置した構造の
もの、あるいは図１３に示すように、各端子５７，５８
を長辺部５７ａ，５８ａがチップ部品５２のＹ軸方向辺
（短辺部）５２ｂと平行となるように配置した構造のも
のが一般的である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の各板状端子５７，５８の長辺部５７ａ，５８ａをチ
ップ部品５２の長辺部５２ａと平行に向けて配置した構
造では、図１２に示すように、チップ部品５２の短辺部
５２ｂの寸法Ｗのばらつきや特性測定位置Ｓに対する搬
送時の位置ずれＳ１が生じた場合、一方側の測定端子５
７´，５８´が電極５３，５４から外れたり，接触不良
を起こしたりするおそれがあり、測定精度に対する信頼
性が低いという問題がある。

【０００６】このような電子部品と測定端子との間に位
置ズレが生じると、測定端子が電子部品の測定面（上
面）の端縁上に沿って当接してしまうことがある。この
端縁を覆うように電極が形成されている電子部品の場
合、測定端子が電子部品の端縁上に形成された電極の一
部を削り、傷をつけてしまうという問題がある。

【０００７】一方、従来の各板状端子５７，５８の長辺
部５７ａ，５８ａを短辺部５２ｂと平行に向けて配置し
た構造を採用すると、図１４に示すように、両電極５
３，５４の電極ピッチｐや電極幅ｗにばらつきが生じた
場合、測定端子５８´が電極５４から外れてしまうおそ
れがあり、上記同様に測定精度に対する信頼性が低いと
いう問題がある。

【０００８】本発明は上記従来の状況に鑑みてなされた
もので、搬送時の位置ずれ，チップ部品の寸法誤差ある
いは電極ピッチ，電極幅のばらつきが生じた場合にも測
定端子を確実に電極に接触させることができ、測定精度
に対する信頼性を向上できる電子部品の電気検査測定装
置を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、長辺
を有する当接面を備えた上下一対の測定端子を特性測定
位置に対向配置し、該各測定端子の当接面を、上記特性
測定位置に搬送された電子部品の長辺を有する電極に当
接させることにより電気的特性を測定するようにした電
子部品の電気特性検査装置において、上記測定端子を上
記当接面の長辺が上記電子部品の電極の長辺と斜めに交
差するよう傾斜させて配置したことを特徴としている。

【００１０】請求項２の発明は、請求項１において、上
記測定端子が、上記電子部品の特性測定位置への搬送誤
差及び該搬送方向における電子部品の寸法誤差を吸収す
る方向に傾斜していることを特徴としている。

【００１１】請求項３の発明は、請求項１において、上
記測定端子が、上記電子部品の搬送方向と直交する方向
における電極の外形寸法の誤差及び電極ピッチの誤差を
吸収する方向に傾斜していることを特徴としている。

【００１２】請求項４の発明は、請求項１ないし３の何
れかにおいて、上記測定端子の当接面の長辺と上記電子
部品の電極の長辺とが３０〜６０度をなしていることを
特徴としている。

【００１３】請求項５の発明は、請求項１ないし４の何
れかにおいて、上記測定端子が電気的に独立した２箇所
の当接面及び電気的に独立した２本の導電経路を有する
ことを特徴としている。

【００１４】請求項６の発明は、請求項５において、横
断面形状が略半円形状をなす棒体で、かつ該半円形状の
平坦面部分に絶縁処理が施された２本の測定端子を上記
平坦面同士を対向させて配置することにより略円柱状の
端子ユニットを形成し、該端子ユニットをガイド部材に
形成されたガイド孔により軸方向に移動可能にかつ軸直
角方向に移動不能に支持したことを特徴としている。

【００１５】請求項７の発明は、請求項６において、上
記各測定端子の電極への当接面はナイフエッジ形状をな
すように形成されていることを特徴としている。

【００１６】請求項８の発明は、請求項６又は７におい
て、上記端子ユニットが２本組で１つの端子ブロックに
取付けられており、該端子ブロックはそれぞれ上記特性
測定位置にて電子部品を挟んで対向するように、かつ該
電子部品の電極に当接する測定位置と待機位置との間で
昇降可能に支持されていることを特徴としている。

【００１７】

【発明の作用効果】請求項１の発明にかかる電気特性検
査装置によれば、測定端子をこれの当接面の長辺が電子
部品の電極の長辺と斜めに交差するように傾斜させて配
置したので、特性測定位置から電極がずれた場合にも、
測定端子の当接面を確実に電極に接触させることができ
る。特に、上述の部品素子の端縁を覆うように電極が形
成されている電子部品の場合に、電極の一部を削り、傷
をつけてしまうという問題を解消でき、測定端子を確実
に電子部品の測定面（上面）に当接させることができ、
上記のような不具合が生じることはない。これにより接
触ミスを防止でき、測定精度に対する信頼性を向上でき
る。

【００１８】請求項２の発明では、測定端子を特性測定
位置に対する電子部品の搬送誤差及び電子部品の寸法誤
差を吸収する方向に傾斜させたので、搬送時の位置ずれ
や電子部品の寸法誤差が生じた場合にも測定端子を確実
に電極に接触させることができ、測定精度に対する信頼
性を向上できる。

【００１９】請求項３の発明では、測定端子を電極の外
形寸法の誤差及び電極ピッチの誤差を吸収する方向に傾
斜させたので、電極幅や電極ピッチのばらつきが生じた
場合にも測定端子を確実に電極に接触させることがで、
上記同様に測定精度に対する信頼性を向上できる。

【００２０】請求項４の発明では、測定端子の当接面の
長辺と電極の長辺との交差角度を３０〜６０度としたの
で、搬送時の位置ずれ，チップ部品の寸法誤差あるいは
電極ピッチ，電極幅のばらつきが生じた場合にも測定端
子を確実に電極に接触させることができ、安定した測定
精度を得ることができる。

【００２１】請求項５の発明では、上記測定端子を電気
的に独立した２箇所の当接面及び２本の導電経路を有す
るものとしたので、測定端子を電子部品の電極に確実に
当接させることができる。即ち、正確な測定を行うため
には、一対の電極にそれぞれ２つの測定端子を確実に当
接させる必要のある４端子測定の場合、測定端子と電子
部品との僅かな位置ズレで、測定端子のいずれかが電極
に当接できない不具合が生じる。本発明は、測定端子と
電子部品との間に位置ズレが生じたとしても、測定端子
を電子部品の上下電極面に確実に当接させることができ
るため、このような４端子測定に特に有効である。

【００２２】請求項６の発明では、横断面半円形状の測
定端子の平坦面同士を電気的絶縁状態で対向させること
により円柱状の端子ユニットを形成し、該端子ユニット
をガイド部材のガイド孔により軸方向に移動可能にかつ
軸直角方向に移動不能に支持したので、２本の測定端子
を組み合わせて端子ユニットを形成する場合の両者の合
わせ精度を確保でき、しかも電極面積が極めて小さい場
合にも２本の測定端子を電極に確実に接触させることが
でき、４端子測定を行なう場合の測定精度をさらに向上
できる。

【００２３】請求項７の発明では、測定端子の電極当接
面をナイフエッジ形状としたので、電極との電気的接触
を良好に行なうことができるとともに、電極ずれの許容
範囲を広げることが可能となる。

【００２４】請求項８の発明では、２本の端子ユニット
を１つの端子ブロックに取付け、該端子ブロックを測定
位置と待機位置との間で昇降可能に支持したので、複数
の電極を有する電子部品を測定する場合の端子ユニット
間の位置精度を確保することができるとともに、装置全
体をコンパクトにできる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。

【００２６】図１ないし図８は、本発明の一実施形態に
よる電子部品の電気特性検査装置を説明するための図で
あり、図１は電気特性検査装置の全体斜視図、図２は電
気特性検査装置の特性測定部の概略斜視図、図３は端子
ブロックの分解斜視図、図４は端子ユニットの斜視図、
図５は端子ブロックの断面図、図６は測定端子の平面
図、図７は測定端子の斜視図、図８（ａ）（ｂ）は測定
端子の先端部を示す図である。

【００２７】図１において、１は電気特性検査装置を示
しており、これはチップ部品２０の電気的特性を測定検
査して良品の選別を自動的に連続して行なうものであ
り、主として部品供給部２，特性測定部３，測定表示部
４及び部品回収部５を備えている。

【００２８】上記チップ部品２０は直方体状のセラミッ
ク素子２１のＸ軸方向両端部に該素子２１を挟んで対向
するように外部電極２２，２３を形成した構造のもので
ある。なお、上記各外部電極２２，２３はセラミック素
子２１のＹ軸方向両端に渡って形成され、長方形状をな
している。また上記チップ部品２０はＸ軸方向辺が長辺
部２０ａに、Ｙ軸方向辺が短辺部２０ｂになっている。

【００２９】上記部品供給部２は多数のチップ部品２０
が収納された収納ホッパ２ａと該収納ホッパ２ａ内のチ
ップ部品２０を取り出して上記特性測定部３に順次供給
する供給部２ｂとを備えており、該特性測定部３にて測
定検査したチップ部品２０を上記部品回収部５で回収す
るようになっている。

【００３０】上記特性測定部３は、架台６上に固定され
た固定ベース７の上面に歯車状の搬送ロータ８を回転可
能に配置し、該搬送ロータ８を不図示の駆動モータによ
り部品供給位置Ａ，特性測定位置Ｂ，部品回収位置Ｃ等
を通るよう回転駆動するように構成されている。

【００３１】上記搬送ロータ８の外周部には収納凹部８
ａが回転中心側にへこむように形成されており、また各
収納凹部８ａ，８ａ間には周方向に所定の間隔が設けら
れている。この収納凹部８ａ内にチップ部品２０がこれ
のＸ軸方向辺（長辺部）２０ａを半径方向に向け、Ｙ軸
方向辺（短辺部）２０ｂを搬送方向に向けて収納されて
いる。

【００３２】上記固定ベース７の特性測定位置Ｂには端
子機器１０が配設されている。この端子機器１０は、上
記特性測定位置Ｂにてチップ部品２０を挟んで対向する
ように配設された箱状の上側，下側端子ブロック１１，
１２と、該各端子ブロック１１，１２に配設された２組
の端子ユニット１３とを備えている。なお、上側、下側
端子ブロック１１，１２は同様の構造であり、また上記
各端子ユニット１３，１３は同様の構造となっている。

【００３３】上記上側，下側端子ブロック１１，１２は
不図示の昇降駆動機構によりチップ部品２０の電気的特
性を測定する測定位置と該チップ部品２０から離れて待
機する待機位置との間で昇降可能に支持されている。ま
た各端子ブロック１１，１２には挿入孔１１ａ，１２ａ
が形成されており、この各挿入孔１１ａ，１２ａ内に上
記端子ユニット１３が進退可能に挿入されている。

【００３４】上記各端子ユニット１３は、一対の測定端
子１５，１５を電気的絶縁状態で対向配置した構造であ
り、詳細には以下の構造となっている。

【００３５】上記各測定端子１５は直方体状の端子部材
１６の一主面のコーナ部に溶接により接合されており、
また該端子部材１６の他主面には上記測定端子１５の反
対側に延びる支持棒１７が接続固定されており、またこ
の支持棒１７にはコイルスプリング１８が装着されてい
る。

【００３６】そして上記端子ユニット１３は端子ブロッ
ク１２の挿入孔１２ａ内に上記端子部材１６が位置する
よう、かつ進退可能に挿入されており、上記コイルスプ
リング１８により測定端子１５は突出方向に付勢されて
いる。またこの各測定端子１５は配線により計測器２６
に接続されている。

【００３７】上記端子ブロック１２には平板状のガイド
部材２５が配置固定されている。このガイド部材２５に
はガイド孔２５ａが形成されており、該ガイド孔２５ａ
内に上記端子ユニット１３の測定端子１５が軸方向に摺
動可能にかつ軸直角方向に移動不能に挿入されている。

【００３８】上記各測定端子１５は電気的導電性に優れ
た超硬材からなる横断面半円形状の棒体であり、該半円
形の中心を通る平坦面１５ｂには絶縁膜１５ｃがコーテ
ィングされている。なお上記端子部材１６，１６の対向
面にも絶縁膜（不図示）がコーティングされている。

【００３９】また上記各測定端子１５の先端面にはナイ
フエッジ状の当接面１５ａが円弧側を削ることにより上
記平坦面１５ｂに続くように形成されている。この当接
面１５ａは幅０．０５ｍｍ×長さ４ｍｍ程度の長方形状
のもので、外部電極２２，２３の長辺と略同じ長さとな
っている。

【００４０】そして、図６に示すように、上記端子ユニ
ット１３の各測定端子１５はこれの当接面１５ａが上記
外部電極２２，２３の長辺Ｙ１又は短辺Ｘ１と斜めに交
差するよう傾斜させて配置されている。この測定端子１
５の傾斜角度θは３０〜６０度の範囲となっており、具
体的には４５度に設定されている。

【００４１】このようにして上記各測定端子１５は、チ
ップ部品２０の特性測定位置Ｂへの搬送誤差及び該搬送
方向におけるチップ部品２０の寸法誤差を吸収する方向
に傾斜しており、また上記チップ部品２０の搬送方向と
直交する方向における電極の外形寸法の誤差及び電極ピ
ッチの誤差を吸収する方向に傾斜している。

【００４２】上記電気特性検査装置１を用いてチップ部
品２０の電気的特性を測定して良品を選別するには、部
品供給位置Ａにてチップ部品２０を搬送ロータ８の各収
納凹部８ａに順次供給し、該チップ部品２０を特性測定
位置Ｂに搬送する。すると上側端子ブロック１１が下降
するとともに、下側端子ブロック１２が上昇し、各測定
端子１５の当接面１５ａがそれぞれ外部電極２２，２３
に当接する。この状態で電気的特性，検査等が行われ、
しかる後部品回収位置Ｃに搬送され、部品回収部５にて
回収される。

【００４３】この場合、チップ部品２０の搬送時の搬送
誤差，及び外形寸法の誤差あるいは電極ピッチ，電極幅
の誤差が生じた場合には、従来では測定端子が電極から
外れて接触ミスを起こすおそれがあった。これに対し
て、本実施形態では、各測定端子１５は搬送誤差，外形
寸法誤差及び電極のばらつきを吸収する方向に傾斜して
延びており、各測定端子１５は外部電極２２，２３に確
実に接触することとなる。

【００４４】ここで、図９は、測定端子１５の傾斜角度
を４５度とした場合の、特性測定位置に対する外部電極
のずれと測定端子との位置関係を模式的に示している。
これはセラミック素子の長辺部２０ａ寸法が１２５０±
５０μｍで、短辺部２０ｂ寸法が５００±５０μｍで、
また電極幅（短辺部）が３５０±１００μｍの場合であ
る（図９（ａ）参照）。ちなみに、この種のチップ部品
の素子寸法，電極寸法，電極ピッチは±５０μｍ程度の
誤差が許容範囲となっている。また特性測定位置への搬
送時の搬送誤差は±７０μｍが許容範囲となっている。

【００４５】例えば、特性測定位置Ｂに対してチップ部
品２０が７０μｍほど位置ずれした場合にも、測定端子
１５はその当接面１５ａの略全面が外部電極２２，２３
に当接している（図９（ｂ）参照）。また特性測定位置
Ｂに対してチップ部品２０が許容範囲を越える９５μｍ
ほど位置ずれし、かつ幅寸法が５０μｍ小さい場合に
は、一方の測定端子の当接面１５ａ´の一部が電極２
２，２３から若干外れるものの、電気的接触は確実に確
保できている（図９（ｃ）参照）。

【００４６】一方、チップ部品２０の電極幅が２５０μ
ｍと小さく形成され、電極ピッチに１００μｍのばらつ
きが生じた場合には、一方の測定端子１５´の当接面１
５ａ´の略半分ほどが電極２３から外れるものの、電気
的接触は確実に得られている（図９（ｄ）参照）。

【００４７】さらにチップ部品２０の電極幅が２５０μ
ｍと小さく形成され、電極ピッチに１００μｍのばらつ
きが生じ、しかもチップ部品２０の幅寸法が５０μｍ小
さく形成された場合で、かつ特性測定位置Ｂに対してチ
ップ部品２０が許容範囲を越える９５μｍほど位置ずれ
した場合には、従来は電極から外れるおそれがあったが
本実施形態では、一方の測定端子１５´の当接面１５´
の略半分が電極２２，２３が外れるものの、電気的接触
は確保できている（図９（ｅ）参照）。

【００４８】図１０（ａ）〜図１０（ｅ）は、それぞれ
は測定端子の傾斜角度を３０度とした場合の、特性測定
位置に対する外部電極のずれと測定端子との関係を模式
的に示す図である。この場合においても上記同様に測定
端子１５が電極２２，２３から外れることはなく、電気
的接触は確保できている。

【００４９】このように本実施形態によれば、端子ユニ
ット１３の各測定端子１５を、これの当接面１５ａがチ
ップ部品２０の外部電極２２，２３の長辺Ｙ１又は短辺
Ｘ１と斜めに交差するように傾斜させて配置したので、
具体的には、上記測定端子１５の傾斜角度θを３０〜６
０度としたので、特性測定位置Ｂに対するチップ部品２
０の搬送誤差及びチップ部品２０の寸法誤差を吸収する
ことができるとともに、外部電極２２，２３の外形寸法
の誤差及び電極ピッチの誤差を吸収することができ、特
性測定位置Ｂから外部電極２２，２３がずれた場合に
も、測定端子１５の当接面１５ａを確実に外部電極２
２，２３に接触させることができる。これにより接触ミ
スを防止でき、測定精度に対する信頼性を向上できる。

【００５０】本実施形態では、横断面半円形状に形成し
た一対の測定端子１５の平坦面１５ｂ同士を絶縁膜１６
を介在させて対向させることにより円柱状の端子ユニッ
ト１３を形成し、該端子ユニット１３をガイド部材２５
のガイド孔２５ａにより軸方向に可能可能にかつ軸直角
方向に移動不能に支持したので、２本の測定端子１５を
組み合わせて端子ユニット１３を形成する場合の両者１
５，１５の合わせ精度を確保でき、しかも電極面積が極
めて小さい場合にも各測定端子１５を確実に接触させる
ことができ、測定精度をさらに向上できる。

【００５１】上記測定端子１５の当接面１５ａをナイフ
エッジ形状としたので、外部電極２２，２３との電気的
接触を良好に行なうことができるとともに、電極ずれの
許容範囲を広げることが可能となる。

【００５２】本実施形態では、２本の端子ユニット１３
を１つの端子ブロック１１，１２に取付け、各端子ブロ
ック１１，１２を測定位置と待機位置との間で昇降可能
に支持したので、一対の対向する外部電極２２，２３を
有するチップ部品２０を測定する場合の端子ユニット１
３間の位置精度を確保することができるとともに、装置
全体をコンパクトにできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態による電子部品の電気特性
検査装置の全体斜視図である。

【図２】上記電気特性検査装置の特性測定部の概略斜視
図である。

【図３】上記電気特性検査装置の端子ブロックの分解斜
視図である。

【図４】上記端子ブロックに配設された端子ユニットの
斜視図である。

【図５】上記端子ブロックの断面図である。

【図６】上記端子ユニットを構成する測定端子の平面図
である。

【図７】上記測定端子の斜視図である。

【図８】上記測定端子の先端部を示す図である。

【図９】上記実施形態の測定端子の傾斜角度を４５度と
した場合の接触状態を示す図である。

【図１０】上記実施形態の測定端子の傾斜角度を３０度
とした場合の接触状態を示す図である。

【図１１】従来の一般的な測定端子の配置構造を示す斜
視図である。

【図１２】上記配置構造の問題点を示す図である。

【図１３】従来の一般的な測定端子の配置構造を示す斜
視図である。

【図１４】上記配置構造の問題点を示す図である。

【図１５】一般的な電気特性検査装置の特性検査部の斜
視図である。

【符号の説明】

１ 電気特性検査装置 １１，１２ 端子ブロック １３ 端子ユニット １５ 測定端子 １５ａ 当接面 １５ｂ 平坦面 ２０ チップ部品（電子部品） ２２，２３ 外部電極 ２５ ガイド部材 ２５ａ ガイド孔 Ｂ 特性測定位置 Ｘ１ 電極の短辺 Ｙ１ 電極の長辺

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AA00 AB00 AG03 AG10 AG11 AG12 AG16 AH05 AH07 2G011 AA02 AC14 AD01 AE00 2G036 AA00 BA00 BB00 CA02 CA03 2G132 AA00 AD01 AE01 AE04 AE22 AF06 AF07 AF08 AL03 AL11 AL35

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 長辺を有する当接面を備えた上下一対の
   測定端子を特性測定位置に対向配置し、該各測定端子の
   当接面を、上記特性測定位置に搬送された電子部品の長
   辺を有する電極に当接させることにより電気的特性を測
   定するようにした電子部品の電気特性検査装置におい
   て、上記測定端子を上記当接面の長辺が上記電子部品の
   電極の長辺と斜めに交差するよう傾斜させて配置したこ
   とを特徴とする電子部品の電気特性検査装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、上記測定端子が、上
   記電子部品の特性測定位置への搬送誤差及び該搬送方向
   における電子部品の寸法誤差を吸収する方向に傾斜して
   いることを特徴とする電子部品の電気特性検査装置。
3. 【請求項３】 請求項１において、上記測定端子が、上
   記電子部品の搬送方向と直交する方向における電極の外
   形寸法の誤差及び電極ピッチの誤差を吸収する方向に傾
   斜していることを特徴とする電子部品の電気特性検査装
   置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３の何れかにおいて、上
   記測定端子の当接面の長辺と上記電子部品の電極の長辺
   とが３０〜６０度をなしていることを特徴とする電子部
   品の電気特性検査装置。
5. 【請求項５】 請求項１ないし４の何れかにおいて、上
   記測定端子が電気的に独立した２箇所の当接面及び電気
   的に独立した２本の導電経路を有することを特徴とする
   電子部品の電気特性検査装置。
6. 【請求項６】 請求項５において、横断面形状が略半円
   形状をなす棒体で、かつ該半円形状の平坦面部分に絶縁
   処理が施された２本の測定端子を上記平坦面同士を対向
   させて配置することにより略円柱状の端子ユニットを形
   成し、該端子ユニットをガイド部材に形成されたガイド
   孔により軸方向に移動可能にかつ軸直角方向に移動不能
   に支持したことを特徴とする電子部品の電気特性検査装
   置。
7. 【請求項７】 請求項６において、上記各測定端子の電
   極への当接面はナイフエッジ形状をなすように形成され
   ていることを特徴とする電子部品の電気特性検査装置。
8. 【請求項８】 請求項６又は７において、上記端子ユニ
   ットが２本組で１つの端子ブロックに取付けられてお
   り、該端子ブロックはそれぞれ上記特性測定位置にて電
   子部品を挟んで対向するように、かつ該電子部品の電極
   に当接する測定位置と待機位置との間で昇降可能に支持
   されていることを特徴とする電子部品の電気特性検査装
   置。