JP2003021613A - ガスセンサ素子 - Google Patents

ガスセンサ素子

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JP2003021613A
JP2003021613A JP2001205260A JP2001205260A JP2003021613A JP 2003021613 A JP2003021613 A JP 2003021613A JP 2001205260 A JP2001205260 A JP 2001205260A JP 2001205260 A JP2001205260 A JP 2001205260A JP 2003021613 A JP2003021613 A JP 2003021613A
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JP
Japan
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sensor element
unit
gas
gas sensor
heater unit
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JP2001205260A
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English (en)
Inventor
Hiroyuki Shinmon
宏之 新門
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Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 早期活性に優れたガスセンサ素子を提供する
こと。 【解決手段】 被測定ガス中の特定ガス濃度を検出する
よう構成されたセンサユニット2と,該センサユニット
2を加熱するよう構成されたヒータユニット3とがクリ
アランス10をあけて対向して配置され,上記センサユ
ニット2と上記ヒータユニット3とが対向する対向面2
51,351のいずれか一方の少なくとも一部分に対
し,高放射率層11が設けてある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は,内燃機関の排気系等に設置して
排ガス中の特定ガス濃度等を検出するよう構成されたガ
スセンサ素子に関する。
【0002】
【従来技術】自動車エンジンの排気系に設置され,排ガ
ス中の酸素濃度等から空燃比を測定し,エンジンの燃焼
制御に利用されるガスセンサが知られている。このガス
センサに内蔵されるガスセンサ素子としては,積層型で
電極を設けた酸素イオン導電性の固体電解質板と絶縁板
とを交互に積層した積層型の素子等が知られている。ガ
スセンサ素子は活性温度に達しないと正確なガス濃度の
検知ができないため,一体的にヒータを設けることがあ
る。または,別体的にヒータを設ける(特開平11−8
3795号)ことがある。
【0003】
【解決しようとする課題】近年は厳しい排ガス規制を満
たすために精度高い空燃比制御が自動車エンジンにおい
て必要となることがある。そのため,エンジン始動直後
の早い時期からガスセンサ素子が正しく空燃比を検出で
きる,つまりガスセンサ素子が早期活性に優れることが
要求される。また,エンジンの空燃比測定を行うガスセ
ンサ素子の他,例えば排ガス中の大気汚染物質濃度を直
接測定して,エンジンの燃焼制御を行うよう構成された
ガスセンサ素子であっても,同様の早期活性が必要であ
る。
【0004】本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので,早期活性に優れたガスセンサ素子を提供
しようとするものである。
【0005】
【課題の解決手段】第1の発明は,被測定ガス中の特定
ガス濃度を検出するよう構成されたセンサユニットと,
該センサユニットを加熱するよう構成されたヒータユニ
ットとがクリアランスをあけて対向して配置され,上記
センサユニットと上記ヒータユニットとが対向する対向
面のいずれか一方の少なくとも一部分に対し,高放射率
層が設けてあることを特徴とするガスセンサ素子にある
(請求項1)。
【0006】センサユニットとヒータユニットとがクリ
アランスをあけて配置されたガスセンサ素子において,
ヒータユニットからの熱はクリアランスを経由してセン
サユニットに伝達される。両者の対向面に高放射率層を
設けることで,対向面における放射率が改善される。よ
って,熱の伝達が速やかに行われるようになり,ヒータ
ユニットによるセンサユニットの効率よい加熱が可能と
なる。
【0007】したがって,常温から速やかにガス濃度検
出可能な活性温度までヒータユニットがセンサユニット
を昇温することができ,早期活性に優れたガスセンサ素
子を得ることができる。なお,放射率とは,物体の熱放
射の輝度と同温度の黒体放射の輝度との比である。物体
が黒体に類似するほどその物体の放射率は高くなる。
【0008】以上,第1の発明によれば,早期活性に優
れたガスセンサ素子を提供することができる。
【0009】第2の発明は,被測定ガス中の特定ガス濃
度を検出するよう構成されたセンサユニットと,該セン
サユニットを加熱するよう構成されたヒータユニットと
がクリアランスをあけて対向して配置され,上記センサ
ユニットは電極を有し,該電極が高放射率材料で構成さ
れている及び/または上記ヒータユニットが高放射率材
料で構成されていることを特徴とするガスセンサ素子に
ある(請求項10)。
【0010】第2の発明において,電極を高放射率材料
で構成することで,ヒータユニットによる電極の効率よ
い加熱が実現できる。また,ガスセンサ素子の活性温度
は電極の活性温度に大きく依存するため,電極の放射率
改善が早期活性につながる。また,ヒータユニットその
ものを高放射率材料とすることで,ヒータユニットによ
るセンサユニット加熱の効率を高めることができる。
【0011】以上,第2の発明によれば,早期活性に優
れたガスセンサ素子を提供することができる。
【0012】第3の発明は,被測定ガス中の特定ガス濃
度を検出するよう構成されたセンサユニットと,該セン
サユニットを加熱するよう構成されたヒータユニットと
がクリアランスをあけて対向して配置され,上記センサ
ユニットと上記ヒータユニットとが対向する対向面の双
方に対し少なくとも部分的に接するように充填材がクリ
アランス中に配置されていることを特徴とするガスセン
サ素子にある(請求項15)。
【0013】充填材によりクリアランスが少なくとも部
分的に塞がれるため,ヒータユニットとセンサユニット
との間に固体間伝導可能な熱の通路が形成される。この
ため,ヒータユニットによるセンサユニットの効率よい
加熱を可能とすることができる。
【0014】以上,第3の発明によれば,早期活性に優
れたガスセンサ素子を提供することができる。
【0015】第4の発明は,被測定ガス中の特定ガス濃
度を検出するよう構成されたセンサユニットと,該セン
サユニットを加熱するよう構成されたヒータユニットと
がクリアランスをあけて対向して配置され,上記センサ
ユニットと上記ヒータユニットとが対向する対向面の少
なくとも一方に対し凸部を設けてあることを特徴とする
ガスセンサ素子にある(請求項18)。
【0016】凸部を設けた部分において対向面との間の
距離をより短くすることができため,ヒータユニットか
らセンサユニットへの効率よい熱の伝達が可能となる。
このため,ヒータユニットによるセンサユニットの効率
よい加熱を可能とすることができる。
【0017】以上,第4の発明によれば,早期活性に優
れたガスセンサ素子を提供することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】上記第1の発明(請求項1)にお
いて,センサユニットは,例えば固体電解質板に設けた
一対の電極よりなる構造を有する電気化学的セルを少な
くとも1つ含むことができる。上記電気化学的セルは,
例えば特定ガス濃度を検出するセンサセルや,センサユ
ニット内部に設けた被測定ガス室内の酸素濃度を調整す
るポンプセル,被測定ガス室内の特定ガス濃度を監視す
るモニタセル等,さまざまな機能を有し,その機能に応
じた構成を有する。また,第1の発明におけるヒータユ
ニットは,例えば通電により発熱する発熱体を内蔵した
構成を有する。なお,第2〜第4の発明におけるセンサ
ユニットやヒータユニットも,第1の発明と同様の構成
をとることができる。
【0019】また,上記センサユニットと上記ヒータユ
ニットとのクリアランスは0.1〜1mmであることが
好ましい(請求項2)。この場合には,センサの活性時
間が速く,かつガスセンサ素子の信頼性を高めることが
できる。クリアランスとしては,センサユニットとヒー
タユニットとが対向する際に向かい合う対向面間の距離
でもっとも狭い部分を採用する。クリアランスが0.1
mm未満である場合は,熱膨張の影響でセンサユニット
とヒータユニットとが干渉し,応力が加わり,破断する
おそれがあり,1mmより広い場合は,熱が充分に伝わ
らず,活性時間が遅くなるおそれがある。
【0020】また,上記センサユニットにおける上記ヒ
ータユニットとの対向面の少なくとも一部分を覆うよう
に高放射率層が設けてあることが好ましい(請求項
3)。また,上記ヒータユニットにおける上記センサユ
ニットとの対向面の少なくとも一部分を覆うように高放
射率層が設けてあることが好ましい(請求項4)。ま
た,上記センサユニットにおける上記ヒータユニットと
の対向面と,上記ヒータユニットにおける上記センサユ
ニットとの対向面との少なくとも一部分を覆うように高
放射率層が設けてあることが好ましい(請求項5)。ま
た,上記ヒータユニット及び上記センサユニットの全表
面を覆うように高放射率層が設けてあることが好ましい
(請求項6)。上記いずれの場合においても,高放射率
層によって,ヒータユニットからセンサユニットへの伝
熱の効率が向上し,ガスセンサ素子の活性時間を早くす
ることができる。
【0021】また,上記高放射率層は,アルミナ,酸化
チタン,酸化ジルコニウム,酸化鉄,酸化ニッケル,酸
化マンガン,酸化銅,酸化コバルト,酸化クロム,酸化
トリウム,コージェライト,窒化珪素,窒化アルミニウ
ムより選択される一種以上よりなることが好ましい(請
求項7)。これにより,放射率0.3以上となる高放射
率層を容易に得ることができる。
【0022】また,上記高放射率層はセラミック粉体7
0〜90重量部に酸化鉄,酸化ニッケル,酸化マンガ
ン,酸化コバルトのいずれか一種以上を合計10〜30
重量部,混合してなる材料粉末を焼結した焼結材料より
なることが好ましい(請求項8)。これにより,高放射
率層の熱膨張率がセンサユニット,ヒータユニットの間
において同等となり,良好な密着性を得ることができ
る。
【0023】酸化鉄等の含有量が10重量部未満である
場合は,放射率が低下して0.3以下となり,伝熱が不
十分となるおそれがある。30重量部を越えた場合は,
高放射率層とセンサユニット,ヒータユニットの間の密
着性が低下するおそれがある。
【0024】また,上記高放射率層は5〜20μmの厚
みを有することが好ましい(請求項9)。これにより,
高い放射率と高い強度を確保することができる。高放射
率層が5μm未満である場合は,放射率が低下するおそ
れがある。20μmを越えた場合は,膜付着力低下に伴
う剥離が生じるおそれがある。
【0025】第2の発明(請求項10)では,センサユ
ニットの電極が高放射率材料で構成されている。また
は,ヒータユニットが高放射率材料で構成されている。
または,電極及びヒータユニットの双方が高放射率材料
で構成されている。これらの場合,電極を構成する高放
射率材料としては電極として機能可能な導電性を有する
高放射材料を用いることができる。また,ヒータユニッ
トを構成する高放射率材料は絶縁性の高放射率材料を用
いることができる。
【0026】また,上記電極を構成する高放射率材料は
Ptブラックよりなること(請求項11)が好ましい。
これにより,センサ素子が早く加熱され,活性時間を早
くすることができる。また,Ptブラックとは,塩化白
金酸塩を還元した物質である。
【0027】また,上記ヒータユニットを構成する高放
射率材料は窒化珪素であることが好ましい(請求項1
2)。これにより,活性時間を早くすることができる。
【0028】また,上記高放射率層または上記高放射率
材料の気孔率は10%以上であることが好ましい(請求
項13)。これにより,被測定ガスをセンサユニット内
の被測定ガス室等に導入することができる。気孔率が1
0%未満である場合は,被測定ガスを充分に導入するこ
とができないおそれがある。また,気孔率は50%以上
とすることがさらに好ましい。
【0029】また,上記高放射率層及び上記高放射率材
料の放射率は0.3以上であることが好ましい(請求項
14)。これにより,活性時間を早くすることができ
る。放射率が0.3未満である場合は,活性時間が遅く
なるおそれがある。
【0030】また,第3の発明(請求項15)では,充
填材をクリアランスに配置するが,クリアランスは少な
くとも部分的に充填され,ヒータユニット及びセンサユ
ニットに対し上記充填材が接触した部分が少なくとも一
ヶ所存在すればよい。また,充填材はヒータユニットと
センサユニットとの間の熱的通路として機能するため,
ヒータユニットの一部とセンサユニットの一部とに接触
していることが好ましい。もっとも好ましいのはヒータ
ユニットやセンサユニットの対向面の全面と充填材が接
触している場合である。また,クリアランスの全てを充
填するように充填材を配置することもできるし,クリア
ランスの一部を充填するように充填材を配置することも
できる。
【0031】また,上記上記充填材は無機接着材である
ことが好ましい(請求項16)。または,上記充填材は
ガラス材であることが好ましい(請求項17)。これに
より,センサユニットとヒータユニットとの伝熱性能が
向上し,活性時間を早くすることができる。上記無機接
着剤としては,アルミナ等の耐火性セラミックや無機ポ
リマーからなるものを用いることができる。また,ガラ
ス材としては,結晶化ガラスよりなるものを用いること
ができる。
【0032】また,第4の発明で設ける凸部は,ヒータ
ユニットにのみ,センサユニットのみ,またはヒータユ
ニットとセンサユニットの双方に対し設けることができ
る。この凸部はヒータユニットやセンサユニットにおけ
る一方の対向面に設けられ,他方の対向面に対面するよ
うに設けることができる。また,凸部は一つだけ設ける
こともできるし,複数個設けることもできる。
【0033】また,上記凸部は上記センサユニット及び
/または上記ヒータユニットに対し一体的または別体的
に設けてあることが好ましい(請求項19)。これによ
り,センサユニットとヒータユニットとの伝熱が向上
し,活性時間を早くすることができる。
【0034】また,上記凸部は該凸部を設けた対向面に
対向するもう一方の対向面に対し当接していることが好
ましい(請求項20)。凸部が自分を設けた対向面に対
応するもう一方の対向面に対し接触している場合は,ヒ
ータユニットからの熱は凸部を経由した固体間伝導によ
ってセンサユニットに伝導する。そのため,ヒータユニ
ットのセンサユニットの効率よい加熱が可能となる。
【0035】なお,凸部が対向面に対し接触していない
場合でも,凸部と対向面とのクリアランス距離が短くな
るため,ヒータユニットのセンサユニットに対する効率
よい加熱が長くなる
【0036】また,上記凸部は,常温では向かい合う対
向面と分離した状態にあり,使用環境下での熱膨張で大
きさが変動した時に,上記対向面と接触する状態となる
ような構成でもよい。
【0037】また,上記凸部を設けた部分におけるクリ
アランスがヒータユニット,センサユニットの最短距離
となる。ガスセンサ素子においてもっとも加熱したい部
分は,ガスセンサ素子におけるガス濃度の検出にかかわ
る部分である。凸部を設けることで,特定の部分に対す
る優先的な加熱を行うことが可能となる。この場合,よ
り効率高い早期活性を実現することができる。
【0038】以上の第1〜第4にかかるガスセンサ素子
としては,被測定ガス中の酸素濃度を検出するタイプの
他,NOx,HC,CO等の他の成分ガスを測定する素
子として用いることができる。また,エンジンの空燃比
制御用として使用される場合には空燃比検出素子として
用いることができる。その他の用途であっても,早期活
性が必要とされる場合は,本発明にかかるガスセンサ素
子を用いることができる。
【0039】
【実施例】以下に,図面を用いて本発明の実施例につい
て説明する。 (実施例1)本例のガスセンサ素子について,図1〜図
6を用いて説明する。図1に示すごとく,本例のガスセ
ンサ素子1は,被測定ガス中の特定ガス濃度を検出する
よう構成されたセンサユニット2と,該センサユニット
2を加熱するよう構成されたヒータユニット3とがクリ
アランスをあけて対向して配置された構成を有する。そ
して,上記センサユニット2と上記ヒータユニット3と
が対向する対向面251,351のうち,ヒータユニッ
ト3の対向面351の全面に高放射率層11が設けてあ
る。
【0040】以下,詳細に説明する。本例のガスセンサ
素子1は自動車エンジンの排気系に設置するガスセンサ
に内蔵されて使用される。また,本例のガスセンサ素子
1は自動車エンジンの空燃比を検出可能な空燃比センサ
素子として機能する。
【0041】図1,図2に示すごとく,ガスセンサ素子
1は別体のセンサユニット2とヒータユニット3とより
なる。センサユニット2は,酸素イオン導電性ジルコニ
ア製の固体電解質板21,アルミナセラミック製のスペ
ーサー23とよりなる。
【0042】固体電解質板21の両面には被測定ガス側
の電極211,基準ガス室210と対面する基準電極2
12とが設けてある。上記電極211,基準電極212
は図示を略したリード部や端子部を介して素子出力が取
り出されたりするよう構成されている。
【0043】被測定ガス側の電極211を設けた側は拡
散抵抗層241でおおわれ,さらにその上はガス遮蔽層
242で被われる。拡散抵抗層241及びガス遮蔽層2
42の側面は被毒物のトラップ層243で被われてい
る。本例のガスセンサ素子1において,被測定ガスは側
面のトラップ層243から入り,拡散抵抗層241を経
由して,電極211に到達する。
【0044】また,スペーサー23の固体電解質板21
と対面する側には一端が閉塞,他端が解放された溝部が
設けてあり,このスペーサー23が固体電解質板21に
積層されることで基準ガス室210が構成される。溝部
が解放された端部から,基準ガスとしての大気が導入さ
れる。
【0045】また,ヒータユニット3は,3枚のセラミ
ック板31〜33が積層され,これらのセラミック板3
1〜33の間に設けた発熱体30よりなる。なお,発熱
体30からリード部301が延設され,該リード部30
1は図示を略した端子部に電気的に接続されている。
【0046】センサユニット2とヒータユニット3はク
リアランス10をあけて対向配置されている。クリアラ
ンス10の距離Dはセンサユニット2の対向面251,
ヒータユニット3の対向面351との間の長さでもっと
も小さい部分を採用し,本例のガスセンサ素子1では,
0.5mmである。
【0047】上記ヒータユニット3の対向面351に厚
さ10μmの高放射率層11が設けてある。高放射率層
11は幅方向については図1に示すごとく全面に,幅方
向と直交する方向については,図2(b)に示すごと
く,電極211が設けてある箇所のみに形成されてい
る。また,高放射率層11は酸化鉄とセラミック粉体よ
りなる混合材料よりなり,気孔率は20%,放射率は
0.3%である。
【0048】本例にかかるガスセンサ素子1は,センサ
ユニット2とヒータユニット3とが対向する,対向面3
51に対し高放射率層11を設けてある。このため,対
向面351における放射率が高くなり,熱の伝達が速や
かに行われるようになる。よって,ヒータユニット3に
よるセンサユニット2の効率よい加熱が可能となる。し
たがって,センサユニット2を常温から速やかにガス濃
度検出可能な活性温度まで昇温することができ,早期活
性に優れたガスセンサ素子1を得ることができる。
【0049】以上,本例によれば,早期活性に優れたガ
スセンサ素子を得ることができる。
【0050】また,本例は空燃比センサ素子として機能
するガスセンサ素子1について説明した。同じような構
成で,図3に示すごとく,酸素センサ素子として機能す
るガスセンサ素子4について,本例にかかる高放射率層
11を設けて,早期活性の改善を図ることができる。
【0051】図3に示すガスセンサ素子1は,センサユ
ニット2とヒータユニット3とよりなり,ヒータユニッ
ト3は図1に示すガスセンサ素子1と同様の構成であ
る。センサユニット2は固体電解質板21とスペーサー
23とよりなり,固体電解質板21には電極211,2
12が設けてある。
【0052】電極212は基準ガス室210と対面し,
電極211を設けた固体電界質板21の表面全体が保護
層261により被覆されている。保護層261はトラッ
プ層262によって被覆される。トラップ層262及び
保護層261はいずれも通気性のある多孔質セラミック
よりなる。以上の構成のガスセンサ素子1についても,
ヒータユニット3の対向面351に高放射率層11を設
けることで,上述と同様に優れた早期活性を得ることが
できる。
【0053】なお,上述したガスセンサ素子1は対向面
351に高放射率層11を設けたが,図4に示すごと
く,対向面251に高放射率層11を設けることもでき
る。図5に示すごとく,対向面251,351の両方に
高放射率層11を設けることもできる。
【0054】図6に示すごとく,センサユニット2,ヒ
ータユニット3の全表面を高放射率層11で覆うことも
できる。なお,全表面を覆う場合は,高放射率層11が
上述した被毒物のトラップ層243と同じ役割を果たせ
るように多孔質に構成する。これにより,被測定ガスは
センサユニット2の側部において高放射率層11を経由
して拡散抵抗層241に入る。その他,詳細は上述の図
1,図2にかかるガスセンサ素子と同様の構成と,作用
効果を有する。
【0055】(実施例2)本例は,実施例1における図
1及び図3にかかるガスセンサ素子と,これらと同じ形
状であるが,高放射率層11を持たないガスセンサ素子
と,活性時間を比較試験した。まず,酸素センサ素子と
して機能する図3にかかるガスセンサ素子1と,これか
ら高放射率層11をのぞいた素子との比較について説明
する。比較試験に用いた装置について説明する。図7に
示すごとく,6気筒のエンジン8の排気管800が二方
へ分岐し,一方はバイパス管801,他方は計測部管8
02である。双方分岐の近傍にバルブ803,804が
設けてある。計測部管802に対し試験したいガスセン
サ素子を内蔵したガスセンサ81が差し込まれている。
【0056】ここでエンジン8における空燃比を,符号
82を付した線図に示すように,0.95〜1.05ま
で周期P=2秒で変更する。このA/Fサイクルの環境
下で,エンジン始動直後からガスセンサ素子の出力がA
/Fサイクルに追随し始める,図7(b)に示すmの値
を測定する。
【0057】エンジン始動直後はガスセンサ素子の温度
が高くないため,図7(b)に示すごとく,A/Fに対
応した出力をガスセンサ素子が出すことができない。時
間が経過して活性化温度以上に達した状態で,A/Fに
対応した出力をガスセンサ素子は出すことができる。本
例のようにA/Fが変動する場合は,ガスセンサ素子の
出力もA/Fの変動に呼応して変化する。
【0058】以上の測定結果を図8に記載した。高放射
率層11を設けたガスセンサ素子のほうが比較例(高放
射率層11がないガスセンサ素子)よりも活性時間が短
くなっていることが同図より確認された。
【0059】また,同様にして,図1にかかるガスセン
サ素子1について,大気中,常温(20℃)の雰囲気に
てヒータユニット3に12.5Vの電圧を印加して内部
に内蔵された発熱体を発熱させた。この状態でガスセン
サ素子1全体の電気抵抗値(これは交流のインピーダン
ス測定で測定する)が150Ω以下となる時間を測定
し,150Ω以下となるまでの時刻を早期活性時間とし
た。
【0060】以上の測定結果を図9に記載した。高放射
率層11を設けたガスセンサ素子のほうが比較例(高放
射率層11がないガスセンサ素子)よりも活性時間が短
くなっていることが同図より確認された。
【0061】(実施例3)本例にかかるガスセンサ素子
1は,図10にしめすごとく,高放射率層をもたないガ
スセンサ素子1で,構造的には従来品と殆ど同じであ
る。図10に示される,ヒータユニット3を構成するセ
ラミック板31〜33は窒化珪素という高放射率材料で
構成されており,センサユニット2における電極211
及び212は白金ブラックという高放射率材料で構成さ
れている。これらの高放射率材料の放射率はそれぞれ
0.3(セラミック板31〜33),0.6(電極21
1,212)である。また,セラミック板31〜33の
気孔率は1%以下,電極211,212の気孔率は5%
である。その他,構造的には実施例1と同様である。
【0062】本例にかかるガスセンサ素子1は,高放射
率層こそ持たないもの,ヒータユニット3を構成するセ
ラミック板31〜33が窒化珪素よりなり,固体電解質
板21に設けた電極211,212が白金ブラックより
なる。このため,ヒータユニット3からの熱が効率よく
電極211,212に伝えられる。また,ガスセンサ素
子の活性温度は電極211,212の活性温度に大きく
依存するため,電極211,212の放射率改善が早期
活性につながる。よって,本例によれば早期活性に優れ
たガスセンサ素子を提供することができる。
【0063】(実施例4)本例は,図11に示されるご
とく,センサユニット4とヒータユニット2との間が充
填材で充填され,かつセンサユニット4が2セルタイプ
で被測定ガスを側面より導入するタイプのガスセンサ素
子1である。図11に示すごとく,ガスセンサ素子1
は,センサセル41とポンプセル42を有するセンサユ
ニット4と,充填材15を介して配置されたヒータユニ
ット3とよりなる。上記センサユニット4は,固体電解
質体板43,45,47とその間に設けた多孔性の拡散
層44,46とよりなる。拡散層46は内室460を構
成するための窓部が設けてある。また,電極422を覆
う拡散層48が設けてある。
【0064】このガスセンサ素子1において,被測定ガ
スとなる排ガスはガスセンサ素子1の側面に露出した拡
散層44の側面から入って,センサセル41の電極41
1に達する。センサセル41のもう一方の電極412と
対面する内室460は,拡散層46の側面から入った被
測定ガスが溜められている。また,内室460にはポン
プセル42の電極421が対面する。電極422はセン
サユニット4とヒータユニット3との間のクリアランス
に対面する位置にあり,拡散層48で覆われている。上
記クリアランスに充填材15が充填されている。なお,
上記充填材15としては,耐熱無機充填材のアロンセラ
ミック(東亜合成株式会社製品)を用いた。
【0065】本例にかかるガスセンサ素子1では,ヒー
タユニット3からの熱は充填材15を介した固体間伝導
によってセンサユニット4に到達する。このため,ヒー
タユニット3によるセンサユニット4の効率よい加熱を
可能とすることができ,早期活性に優れたガスセンサ素
子を得ることができる。
【0066】また,本例は充填材15としてアロンセラ
ミックを用いている。アロンセラミックは耐熱性に優
れ,冷熱サイクルにおける高い接着強さを有し,さらに
異種材料間でも剥離などが生じ難い優れた接着剤であ
る。このような材料を充填材15として用いているた
め,温度差の大きな冷熱サイクルに晒されて使用される
ガスセンサ素子1として充分な耐久性を得ることができ
る。
【0067】また,本例における充填材15として,ガ
ラス材を用いることができる。このガラス材は結晶化ガ
ラスである。上記ガラス材を用いることで,伝熱性を上
昇させ,活性時間を早くすることができる。その他詳細
は上記アロンセラミックを用いたガスセンサ素子1と同
様である。
【0068】(実施例5)本例のガスセンサ素子は,図
12,図13に示されるごとく,センサユニット2とヒ
ータユニット5とよりなり,ヒータユニット5における
対向面541に凸部530,55が設けてある。
【0069】図12に示すごとく,本例のガスセンサ素
子1は,図3に示すガスセンサ素子1と同様の構成のセ
ンサユニット2を持つ。また,本例のヒータユニット5
はセラミック板51〜53よりなる。上記セラミック板
53は,センサユニット2に向かう凸部530を三ヶ所
に一体的に設けてある。なお,上記凸部530の先端面
531は,センサユニット2の対向面251と当接した
状態にある。上記凸部530はセラミック板53と一体
成形されており,同じ材質である。その他詳細は実施例
1と同様である。
【0070】また,図13に示すごとく,ヒータユニッ
ト5に対し,別体としての凸部55をヒータユニット5
を構成するセラミック板54に設けることもできる。こ
の場合,センサユニット2の対向面251と向かい合う
対向面541に対し,セラミック板54,52,51と
同じ材質で別体の凸部55が設けてあり,対向面541
に対し凸部55の先端面551が隙間をおいて設けてあ
る。この隙間は,ガスセンサ素子1の使用環境となる高
温雰囲気等で,ヒータユニット5とセンサユニット2が
膨張した際に,対向面251と551とが接触可能とな
る程度の距離である。その他詳細は実施例1と同様であ
る。
【0071】本例にかかるガスセンサ素子1のように,
凸部530,55を設けることで,ヒータユニット5と
センサユニット2との間で固体間伝導を通じて熱を伝え
ることができるため,センサユニット2を効率よく加熱
することができる。そのため,優れた早期活性を得るこ
とができる。
【0072】また,本例のガスセンサ素子1では,凸部
530,55を設けた部分がもっとも熱が伝わりやす
い。従って,本例の図12,図13にかかるガスセンサ
素子1では,もっとも効率よく加熱したい電極212の
近傍に対して凸部530,55を当接させる,または近
づけることで,効率よい加熱が実現できる。従って,優
れた早期活性を得ることができる。その他詳細は実施例
1と同様の作用効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1にかかる,ガスセンサ素子の断面説明
図。
【図2】実施例1にかかる,ガスセンサ素子の(a)斜
視図,(b)断面説明図。
【図3】実施例1にかかる,酸素センサ素子として機能
するガスセンサ素子の断面説明図。
【図4】実施例1にかかる,センサユニット側に高放射
率層を設けたガスセンサ素子の断面説明図。
【図5】実施例1にかかる,センサユニット及びヒータ
ユニットの双方に高放射率層を設けたガスセンサ素子の
断面説明図。
【図6】実施例1にかかる,センサユニット及びヒータ
ユニットの全表面に高放射率層を設けたガスセンサ素子
の断面説明図。
【図7】実施例2にかかる,ガスセンサ素子の活性時間
について測定する装置についての説明図。
【図8】実施例2にかかる,高放射率層を有するガスセ
ンサ素子ともたない比較例のガスセンサ素子との活性時
間を比較する線図。
【図9】実施例2にかかる,高放射率層を有するガスセ
ンサ素子ともたない比較例のガスセンサ素子との活性時
間を比較する線図。
【図10】実施例3にかかる,高放射率材料よりなる電
極と,高放射率材料よりなるヒータユニットを有するガ
スセンサ素子の断面説明図。
【図11】実施例4にかかる,2セルのガスセンサ素子
の断面説明図。
【図12】実施例5にかかる,ヒータユニットのセラミ
ック板と一体の凸部を有するガスセンサ素子の断面説明
図。
【図13】実施例5にかかる,ヒータユニットのセラミ
ック板と別体の凸部を有するガスセンサ素子の断面説明
図。
【符号の説明】
1...ガスセンサ素子, 10...クリアランス, 11...高放射率層, 15...充填材, 2,4...センサユニット, 251,351...対向面, 3,5...ヒータユニット,
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01N 27/02 G01N 27/46 325H 27/416 331 311G Fターム(参考) 2G060 AA03 AD01 AD04 AE40 AF03 AF06 AF07 AG05 AG11 EB04 EB07 GA01 HB06 HC09 HD03 HE03 3G084 BA09 BA24 CA01 CA02 DA10 FA28 3G091 AA02 BA27 EA33

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定ガス中の特定ガス濃度を検出する
    よう構成されたセンサユニットと,該センサユニットを
    加熱するよう構成されたヒータユニットとがクリアラン
    スをあけて対向して配置され,上記センサユニットと上
    記ヒータユニットとが対向する対向面のいずれか一方の
    少なくとも一部分に対し,高放射率層が設けてあること
    を特徴とするガスセンサ素子。
  2. 【請求項2】 請求項1において,上記センサユニット
    と上記ヒータユニットとのクリアランスは0.1〜1m
    mであることを特徴とするガスセンサ素子。
  3. 【請求項3】 請求項1または2において,上記センサ
    ユニットにおける上記ヒータユニットとの対向面の少な
    くとも一部分を覆うように高放射率層が設けてあること
    を特徴とするガスセンサ素子。
  4. 【請求項4】 請求項1または2において,上記ヒータ
    ユニットにおける上記センサユニットとの対向面の少な
    くとも一部分を覆うように高放射率層が設けてあること
    を特徴とするガスセンサ素子。
  5. 【請求項5】 請求項1または2において,上記センサ
    ユニットにおける上記ヒータユニットとの対向面と,上
    記ヒータユニットにおける上記センサユニットとの対向
    面との少なくとも一部分を覆うように高放射率層が設け
    てあることを特徴とするガスセンサ素子。
  6. 【請求項6】 請求項1または2において,上記ヒータ
    ユニット及び上記センサユニットの全表面を覆うように
    高放射率層が設けてあることを特徴とするガスセンサ素
    子。
  7. 【請求項7】 請求項1〜6のいずれか一項において,
    上記高放射率層は,アルミナ,酸化チタン,酸化ジルコ
    ニウム,酸化鉄,酸化ニッケル,酸化マンガン,酸化
    銅,酸化コバルト,酸化クロム,酸化トリウム,コージ
    ェライト,窒化珪素,窒化アルミニウムより選択される
    一種以上よりなることを特徴とするガスセンサ素子。
  8. 【請求項8】 請求項1〜7のいずれか一項において,
    上記高放射率層はセラミック粉体70〜90重量部に酸
    化鉄,酸化ニッケル,酸化マンガン,酸化コバルトのい
    ずれか一種以上を合計10〜30重量部,混合してなる
    材料粉末を焼結した焼結材料よりなることを特徴とする
    ガスセンサ素子。
  9. 【請求項9】 請求項1〜8のいずれか一項において,
    上記高放射率層は5〜20μmの厚みを有することを特
    徴とするガスセンサ素子。
  10. 【請求項10】 被測定ガス中の特定ガス濃度を検出す
    るよう構成されたセンサユニットと,該センサユニット
    を加熱するよう構成されたヒータユニットとがクリアラ
    ンスをあけて対向して配置され,上記センサユニットは
    電極を有し,該電極が高放射率材料で構成されている及
    び/または上記ヒータユニットが高放射率材料で構成さ
    れていることを特徴とするガスセンサ素子。
  11. 【請求項11】 請求項10において,上記電極を構成
    する高放射率材料はPtブラックであることを特徴とす
    るガスセンサ素子。
  12. 【請求項12】 請求項10において,上記ヒータユニ
    ットを構成する高放射率材料は窒化珪素であることを特
    徴とするガスセンサ素子。
  13. 【請求項13】 請求項1〜12のいずれか一項におい
    て,上記高放射率層または上記高放射率材料の気孔率は
    10%以上であることを特徴とするガスセンサ素子。
  14. 【請求項14】 請求項1〜13のいずれか一項におい
    て,上記高放射率層及び上記高放射率材料の放射率は
    0.3以上であることを特徴とするガスセンサ素子。
  15. 【請求項15】 被測定ガス中の特定ガス濃度を検出す
    るよう構成されたセンサユニットと,該センサユニット
    を加熱するよう構成されたヒータユニットとがクリアラ
    ンスをあけて対向して配置され,上記センサユニットと
    上記ヒータユニットとが対向する対向面の双方に対し少
    なくとも部分的に接するように充填材がクリアランス中
    に配置されていることを特徴とするガスセンサ素子。
  16. 【請求項16】 請求項15において,上記充填材は無
    機接着材であることを特徴とするガスセンサ素子。
  17. 【請求項17】 請求項15において,上記充填材はガ
    ラス材であることを特徴とするガスセンサ素子。
  18. 【請求項18】 被測定ガス中の特定ガス濃度を検出す
    るよう構成されたセンサユニットと,該センサユニット
    を加熱するよう構成されたヒータユニットとがクリアラ
    ンスをあけて対向して配置され,上記センサユニットと
    上記ヒータユニットとが対向する対向面の少なくとも一
    方に対し凸部を設けてあることを特徴とするガスセンサ
    素子。
  19. 【請求項19】 請求項18において,上記凸部は上記
    センサユニット及び/または上記ヒータユニットに対し
    一体的または別体的に設けてあることを特徴とするガス
    センサ素子。
  20. 【請求項20】 請求項18または19において,上記
    凸部は該凸部を設けた対向面に対向するもう一方の対向
    面に対し当接していることを特徴とするガスセンサ素
    子。
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