JP2003021092A - 真空ポンプ - Google Patents
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
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- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
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- F04D29/023—Selection of particular materials especially adapted for elastic fluid pumps
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-
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-
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 腐食による回転体破壊を防止でき、かつ、生
成物の堆積を減少させ回転体と固定側との接触による損
傷を防止することができる真空ポンプを提供する。 【解決手段】 上面にガス吸気口を開口したポンプケー
ス１と、ポンプケース１内に回転可能に支持されたロー
タ軸５と、ポンプケース１内に収容され、ロータ軸５に
固定されたロータ８の外周面８ａに設けられた複数枚の
ロータ翼１０，１０，…と、複数枚のロータ翼１０，１
０，…間に交互に位置決めされ、ポンプケース１内に固
定された複数枚のステータ翼１１，１１，…と、ロータ
軸５を回転させるための駆動モータ９とを具備し、ロー
タ８の内周面８ｂおよび外周面８ａに腐食防止皮膜層１
５を形成し、かつ、ロータ８の内周面８ｂまたは外周面
８ａの一部を削り取ることによりバランス取り穴１６を
形成し、バランス取り穴１６表面に耐腐食処理として、
熱硬化性樹脂皮膜層１７を形成する。
成物の堆積を減少させ回転体と固定側との接触による損
傷を防止することができる真空ポンプを提供する。 【解決手段】 上面にガス吸気口を開口したポンプケー
ス１と、ポンプケース１内に回転可能に支持されたロー
タ軸５と、ポンプケース１内に収容され、ロータ軸５に
固定されたロータ８の外周面８ａに設けられた複数枚の
ロータ翼１０，１０，…と、複数枚のロータ翼１０，１
０，…間に交互に位置決めされ、ポンプケース１内に固
定された複数枚のステータ翼１１，１１，…と、ロータ
軸５を回転させるための駆動モータ９とを具備し、ロー
タ８の内周面８ｂおよび外周面８ａに腐食防止皮膜層１
５を形成し、かつ、ロータ８の内周面８ｂまたは外周面
８ａの一部を削り取ることによりバランス取り穴１６を
形成し、バランス取り穴１６表面に耐腐食処理として、
熱硬化性樹脂皮膜層１７を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置、
電子顕微鏡、表面分析装置、質量分析装置、粒子加速
器、核融合実験装置等に用いられる真空ポンプに関し、
特に、半導体製造装置のように耐腐食処理が必要となる
真空ポンプに関する。
電子顕微鏡、表面分析装置、質量分析装置、粒子加速
器、核融合実験装置等に用いられる真空ポンプに関し、
特に、半導体製造装置のように耐腐食処理が必要となる
真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工程におけるドライエ
ッチングやＣＶＤ等のプロセスのように、高真空のプロ
セスチャンバ内で処理を行なう工程では、プロセスチャ
ンバ内のガスを排気して一定の高真空度を形成する手段
として、例えばターボ分子ポンプのような真空ポンプが
用いられている。
ッチングやＣＶＤ等のプロセスのように、高真空のプロ
セスチャンバ内で処理を行なう工程では、プロセスチャ
ンバ内のガスを排気して一定の高真空度を形成する手段
として、例えばターボ分子ポンプのような真空ポンプが
用いられている。
【０００３】この種の真空ポンプの回転体は、通常アル
ミ合金で形成されているが、半導体製造工程のように塩
素や硫化フッ素系の腐食性ガスにさらされる過酷な環境
下で使用される真空ポンプの場合、アルミ合金で形成さ
れている回転体の表面に、ニッケルりん合金めっきのよ
うな腐食防止皮膜をコーティングして耐腐食処理を施し
ている。
ミ合金で形成されているが、半導体製造工程のように塩
素や硫化フッ素系の腐食性ガスにさらされる過酷な環境
下で使用される真空ポンプの場合、アルミ合金で形成さ
れている回転体の表面に、ニッケルりん合金めっきのよ
うな腐食防止皮膜をコーティングして耐腐食処理を施し
ている。
【０００４】一方、上記のような回転体を有する真空ポ
ンプにおいては、ポンプ組立製造段階で、回転体の高速
回転時のバランス取りを行なう必要が生じる。このよう
なバランス取りの手段としては、一般に、ドリルやリュ
ータ等の加工刃具を用いて回転体の外周面や内周面を一
部削り取ることによって回転体の質量を変化させてバラ
ンスの微調整を行なう方法が知られている。
ンプにおいては、ポンプ組立製造段階で、回転体の高速
回転時のバランス取りを行なう必要が生じる。このよう
なバランス取りの手段としては、一般に、ドリルやリュ
ータ等の加工刃具を用いて回転体の外周面や内周面を一
部削り取ることによって回転体の質量を変化させてバラ
ンスの微調整を行なう方法が知られている。
【０００５】しかしながら、上記のような削り取りによ
るバランス取りは、耐腐食処理後に行なわれており、ド
リルやリュータ等の加工刃具によって回転体の表面にコ
ーティングされた腐食防止皮膜の一部が削り取られてし
まうため、回転体本体のアルミ合金が露出した削り取り
部分に腐食性ガスによる腐食が発生し、回転体の高速回
転により削り取り部分の応力腐食亀裂が進行し、最悪の
場合、回転体破壊に繋がり、真空ポンプ外部にも影響を
及ぼすことがある。
るバランス取りは、耐腐食処理後に行なわれており、ド
リルやリュータ等の加工刃具によって回転体の表面にコ
ーティングされた腐食防止皮膜の一部が削り取られてし
まうため、回転体本体のアルミ合金が露出した削り取り
部分に腐食性ガスによる腐食が発生し、回転体の高速回
転により削り取り部分の応力腐食亀裂が進行し、最悪の
場合、回転体破壊に繋がり、真空ポンプ外部にも影響を
及ぼすことがある。
【０００６】また、バランス取りした削り取り部分は、
上記のように回転体本体のアルミ合金が露出しており、
半導体製造工程におけるウエハ表面をエッチングした削
りカス等が真空ポンプ内に混入すると、この削りカスが
削り取り部分のアルミ表面に付着し、生成物として堆積
する。
上記のように回転体本体のアルミ合金が露出しており、
半導体製造工程におけるウエハ表面をエッチングした削
りカス等が真空ポンプ内に混入すると、この削りカスが
削り取り部分のアルミ表面に付着し、生成物として堆積
する。
【０００７】堆積した生成物の表面にはさらに削りカス
が堆積し易く、このように回転体表面に生成物の堆積の
連鎖が進行すると、真空ポンプの固定側と回転体との隙
間が狭くなり、回転体に堆積した生成物と固定側とが接
触すると固定側に致命的な損傷を与える恐れがある。
が堆積し易く、このように回転体表面に生成物の堆積の
連鎖が進行すると、真空ポンプの固定側と回転体との隙
間が狭くなり、回転体に堆積した生成物と固定側とが接
触すると固定側に致命的な損傷を与える恐れがある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とする
ところは、腐食による回転体破壊を防止でき、かつ、生
成物の堆積を減少させ回転体と固定側との接触による損
傷を防止することができる真空ポンプを提供することに
ある。
な問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とする
ところは、腐食による回転体破壊を防止でき、かつ、生
成物の堆積を減少させ回転体と固定側との接触による損
傷を防止することができる真空ポンプを提供することに
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る真空ポンプは、上面にガス吸気口を開
口したポンプケースと、上記ポンプケース内に回転可能
に支持されたロータ軸と、上記ポンプケース内に収容さ
れ、上記ロータ軸に固定されたロータの外周面に設けら
れた複数枚のロータ翼と、上記複数枚のロータ翼間に交
互に位置決めされ、上記ポンプケース内に固定された複
数枚のステータ翼と、上記ロータ軸を回転させるための
駆動モータと、上記ロータ表面に腐食防止皮膜層が形成
され、かつ、上記ロータの内周面または外周面の一部を
削り取ることにより形成されたバランス取り穴と、を具
備し、上記バランス取り穴に耐腐食処理が施されている
ことを特徴とするものである。
に、本発明に係る真空ポンプは、上面にガス吸気口を開
口したポンプケースと、上記ポンプケース内に回転可能
に支持されたロータ軸と、上記ポンプケース内に収容さ
れ、上記ロータ軸に固定されたロータの外周面に設けら
れた複数枚のロータ翼と、上記複数枚のロータ翼間に交
互に位置決めされ、上記ポンプケース内に固定された複
数枚のステータ翼と、上記ロータ軸を回転させるための
駆動モータと、上記ロータ表面に腐食防止皮膜層が形成
され、かつ、上記ロータの内周面または外周面の一部を
削り取ることにより形成されたバランス取り穴と、を具
備し、上記バランス取り穴に耐腐食処理が施されている
ことを特徴とするものである。
【００１０】ここで、耐腐食処理とは、上記バランス取
り穴表面に、熱硬化性樹脂皮膜層を形成するものであ
る。熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂やフ
ッ素樹脂等の耐熱性および耐腐食性に優れた合成樹脂を
用いることができる。
り穴表面に、熱硬化性樹脂皮膜層を形成するものであ
る。熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂やフ
ッ素樹脂等の耐熱性および耐腐食性に優れた合成樹脂を
用いることができる。
【００１１】また、本発明に係る真空ポンプは、上面に
ガス吸気口を開口したポンプケースと、上記ポンプケー
ス内に回転可能に支持されたロータ軸と、上記ポンプケ
ース内に収容され、上記ロータ軸に固定されたロータの
外周面に設けられた複数枚のロータ翼と、上記複数枚の
ロータ翼間に交互に位置決めされ、上記ポンプケース内
に固定された複数枚のステータ翼と、上記ロータ軸を回
転させるための駆動モータと、上記ロータの内周面また
は外周面の一部を削り取ることにより形成されたバラン
ス取り穴と、を具備し、上記ロータ内周面および外周面
に腐食防止皮膜層が形成されていることを特徴とするも
のである。
ガス吸気口を開口したポンプケースと、上記ポンプケー
ス内に回転可能に支持されたロータ軸と、上記ポンプケ
ース内に収容され、上記ロータ軸に固定されたロータの
外周面に設けられた複数枚のロータ翼と、上記複数枚の
ロータ翼間に交互に位置決めされ、上記ポンプケース内
に固定された複数枚のステータ翼と、上記ロータ軸を回
転させるための駆動モータと、上記ロータの内周面また
は外周面の一部を削り取ることにより形成されたバラン
ス取り穴と、を具備し、上記ロータ内周面および外周面
に腐食防止皮膜層が形成されていることを特徴とするも
のである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る真空ポンプの
実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明
する。
実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明
する。
【００１３】図１は本発明に係る真空ポンプの第１の実
施形態の構成を示す縦断面図である。
施形態の構成を示す縦断面図である。
【００１４】同図に示すように、本実施形態における真
空ポンプＰは、円筒部１−１とその下端に取り付けられ
たベース１−２とからなるポンプケース１と、ポンプケ
ース１内部に収容されたポンプ機構部とから大略構成さ
れている。
空ポンプＰは、円筒部１−１とその下端に取り付けられ
たベース１−２とからなるポンプケース１と、ポンプケ
ース１内部に収容されたポンプ機構部とから大略構成さ
れている。
【００１５】ポンプケース１の上面は開口されていて、
ガス吸気口２となっており、ガス吸気口２には図示しな
いプロセスチャンバ等の真空容器がボルトによりネジ止
め固定され、ポンプケース１の下部一側面にはガス排気
口３となる排気パイプが設けられている。
ガス吸気口２となっており、ガス吸気口２には図示しな
いプロセスチャンバ等の真空容器がボルトによりネジ止
め固定され、ポンプケース１の下部一側面にはガス排気
口３となる排気パイプが設けられている。
【００１６】ポンプケース１の下部底面は裏蓋１−３で
蓋されており、裏蓋１−３上方には、ポンプケース１内
部に向かって立設するステータコラム４がベース１−２
にネジ止め固定されている。
蓋されており、裏蓋１−３上方には、ポンプケース１内
部に向かって立設するステータコラム４がベース１−２
にネジ止め固定されている。
【００１７】ステータコラム４には、その端面間を貫通
するロータ軸５が回転可能となるように、ステータコラ
ム４内部に設けられたラジアル方向電磁石６−１，軸方
向電磁石６−２により、ロータ軸５のラジアル方向およ
び軸方向にそれぞれ軸受支持されている。なお、符号７
はドライ潤滑剤が塗布されたボールベアリングであり、
上記磁気軸受の電源異常時に、ロータ軸５と電磁石６−
１，６−２とが接触するのを保護し、ロータ軸５を支持
するためのものであり、通常運転時にはロータ軸５には
接触していない。
するロータ軸５が回転可能となるように、ステータコラ
ム４内部に設けられたラジアル方向電磁石６−１，軸方
向電磁石６−２により、ロータ軸５のラジアル方向およ
び軸方向にそれぞれ軸受支持されている。なお、符号７
はドライ潤滑剤が塗布されたボールベアリングであり、
上記磁気軸受の電源異常時に、ロータ軸５と電磁石６−
１，６−２とが接触するのを保護し、ロータ軸５を支持
するためのものであり、通常運転時にはロータ軸５には
接触していない。
【００１８】ポンプケース１内部には、円筒型に成形さ
れたロータ８がステータコラム４を包囲するように配置
され、ロータ８上端はガス吸気口２付近まで延長されて
おり、ボルトによりロータ軸５にネジ止め固定されてい
る。
れたロータ８がステータコラム４を包囲するように配置
され、ロータ８上端はガス吸気口２付近まで延長されて
おり、ボルトによりロータ軸５にネジ止め固定されてい
る。
【００１９】ロータ軸５の軸方向略中央部には、ロータ
軸５とステータコラム４との間に、高周波モータ等から
なる駆動モータ９が配設されており、ロータ軸５とロー
タ８とは駆動モータ９により高速回転するように構成さ
れている。
軸５とステータコラム４との間に、高周波モータ等から
なる駆動モータ９が配設されており、ロータ軸５とロー
タ８とは駆動モータ９により高速回転するように構成さ
れている。
【００２０】また、本実施形態における真空ポンプＰの
ポンプ機構部は、ポンプケース１内部に収容され、ロー
タ８外周面とポンプケース１内周面との間における上方
半分のターボ分子ポンプ機構部ＰA と、下方半分のネジ
溝ポンプ機構部ＰB とから構成された複合型のポンプ機
構を採用している。
ポンプ機構部は、ポンプケース１内部に収容され、ロー
タ８外周面とポンプケース１内周面との間における上方
半分のターボ分子ポンプ機構部ＰA と、下方半分のネジ
溝ポンプ機構部ＰB とから構成された複合型のポンプ機
構を採用している。
【００２１】ターボ分子機構部ＰA は、高速回転するロ
ータ翼１０と、固定され、静止しているステータ翼１１
とにより構成されている。
ータ翼１０と、固定され、静止しているステータ翼１１
とにより構成されている。
【００２２】すなわち、ロータ８の上方半分の外周面に
は、ガス吸気口２側からロータ８の回転中心軸線Ｌ方向
にかけて加工された複数枚のブレード状のロータ翼１
０，１０，…が設けられており、ポンプケース１の上方
半分の内周面には、複数枚のロータ翼１０，１０，…間
に交互に配設された複数枚のステータ翼１１，１１，…
が形成され、スペーサ１２，１２，…を介して固定され
ている。
は、ガス吸気口２側からロータ８の回転中心軸線Ｌ方向
にかけて加工された複数枚のブレード状のロータ翼１
０，１０，…が設けられており、ポンプケース１の上方
半分の内周面には、複数枚のロータ翼１０，１０，…間
に交互に配設された複数枚のステータ翼１１，１１，…
が形成され、スペーサ１２，１２，…を介して固定され
ている。
【００２３】一方、ネジ溝ポンプ機構部ＰB は、高速回
転するロータ８の円筒面８ａと、静止しているネジ溝１
３とにより構成されている。
転するロータ８の円筒面８ａと、静止しているネジ溝１
３とにより構成されている。
【００２４】すなわち、ロータ８の下方半分の外周面は
平坦な円筒面８ａとなっており、ポンプケース１の下方
半分の内周面には、ロータ８外周の円筒面８ａと狭い間
隔で対向する円筒型のネジステータ１４が配設され、ネ
ジステータ１４にネジ溝１３が刻設されている。
平坦な円筒面８ａとなっており、ポンプケース１の下方
半分の内周面には、ロータ８外周の円筒面８ａと狭い間
隔で対向する円筒型のネジステータ１４が配設され、ネ
ジステータ１４にネジ溝１３が刻設されている。
【００２５】なお、ロータ８の下方半分の外周面にネジ
溝１３を刻設し、ポンプケース１の下方半分の内周に配
設されたネジステータ１４のロータ８対向面を平坦な円
筒面に形成することもできる。
溝１３を刻設し、ポンプケース１の下方半分の内周に配
設されたネジステータ１４のロータ８対向面を平坦な円
筒面に形成することもできる。
【００２６】ところで、本実施形態における真空ポンプ
Ｐは、半導体製造工程のように塩素や硫化フッ素系の腐
食性ガスにさらされる過酷な環境下で使用されることを
想定し、図２に示すように、アルミ合金等により形成さ
れたロータ８の外周面８ａおよび内周面８ｂに、ニッケ
ルりん合金めっき等のめっきによる腐食防止皮膜層１５
を１０〜２０μｍ程度の厚みで均一にコーティングする
耐腐食処理が施されている。
Ｐは、半導体製造工程のように塩素や硫化フッ素系の腐
食性ガスにさらされる過酷な環境下で使用されることを
想定し、図２に示すように、アルミ合金等により形成さ
れたロータ８の外周面８ａおよび内周面８ｂに、ニッケ
ルりん合金めっき等のめっきによる腐食防止皮膜層１５
を１０〜２０μｍ程度の厚みで均一にコーティングする
耐腐食処理が施されている。
【００２７】また、真空ポンプＰにおけるロータ軸５、
ロータ８、ロータ翼１０からなる回転体の高速回転時の
バランス取りを行なうための手段として、ポンプケース
１の円筒部１−１に固定されたステータ翼１１，および
ネジステータ１４を一旦取り外し、図２に示すように、
ドリルやリュータ等の加工刃具２０を用いてロータ８の
外周面８ａまたは内周面８ｂに形成された腐食防止皮膜
層１５の表面を一部削り取ることによりバランス取り穴
１６，１６，…を形成し、ロータ８の質量を変化させて
回転体のバランス取りの微調整を行なった後に、このバ
ランス取り穴１６の表面に耐腐食処理を施すことを特徴
とする。
ロータ８、ロータ翼１０からなる回転体の高速回転時の
バランス取りを行なうための手段として、ポンプケース
１の円筒部１−１に固定されたステータ翼１１，および
ネジステータ１４を一旦取り外し、図２に示すように、
ドリルやリュータ等の加工刃具２０を用いてロータ８の
外周面８ａまたは内周面８ｂに形成された腐食防止皮膜
層１５の表面を一部削り取ることによりバランス取り穴
１６，１６，…を形成し、ロータ８の質量を変化させて
回転体のバランス取りの微調整を行なった後に、このバ
ランス取り穴１６の表面に耐腐食処理を施すことを特徴
とする。
【００２８】回転体のバランス取りを行なった後のバラ
ンス取り穴１６の表面は、同図に示すように、ロータ８
の外周面８ａまたは内周面８ｂ表面にコーティングされ
た腐食防止皮膜層１５の一部が削り取られ、ロータ８本
体のアルミ合金の一部が露出した状態である。
ンス取り穴１６の表面は、同図に示すように、ロータ８
の外周面８ａまたは内周面８ｂ表面にコーティングされ
た腐食防止皮膜層１５の一部が削り取られ、ロータ８本
体のアルミ合金の一部が露出した状態である。
【００２９】したがって、このバランス取り穴１６のア
ルミ合金表面の応力腐食亀裂および生成物の堆積を防止
するために、図３に示すように、バランス取り穴１６の
表面には、エポキシ樹脂またはフッ素樹脂等の耐熱性お
よび耐腐食性に優れた熱硬化性樹脂皮膜層１７を形成す
る。
ルミ合金表面の応力腐食亀裂および生成物の堆積を防止
するために、図３に示すように、バランス取り穴１６の
表面には、エポキシ樹脂またはフッ素樹脂等の耐熱性お
よび耐腐食性に優れた熱硬化性樹脂皮膜層１７を形成す
る。
【００３０】上記のような熱硬化性樹脂は、金属材に対
する接着性が良好で、ロータ８の内周面８ｂや外周面８
ａのような曲面に対しても強度な接着力を有しているた
め、回転体の遠心力によって剥がれることはなく、ま
た、優れた酸素遮断性を有しているため、熱硬化性樹脂
皮膜層１７をバランス取り穴１６の表面に形成するだけ
の比較的簡単な方法で耐腐食処理を行なうことができ
る。
する接着性が良好で、ロータ８の内周面８ｂや外周面８
ａのような曲面に対しても強度な接着力を有しているた
め、回転体の遠心力によって剥がれることはなく、ま
た、優れた酸素遮断性を有しているため、熱硬化性樹脂
皮膜層１７をバランス取り穴１６の表面に形成するだけ
の比較的簡単な方法で耐腐食処理を行なうことができ
る。
【００３１】熱硬化性樹脂皮膜層１７の形成方法として
は、公知のスプレーガン等により吹付塗工し、ロータ８
を常温または所要温度に加熱して経時硬化させることに
より、少なくともバランス取り穴１６のアルミ合金表面
に１０〜２０μｍの厚みで均一に塗膜する。
は、公知のスプレーガン等により吹付塗工し、ロータ８
を常温または所要温度に加熱して経時硬化させることに
より、少なくともバランス取り穴１６のアルミ合金表面
に１０〜２０μｍの厚みで均一に塗膜する。
【００３２】熱硬化性樹脂皮膜層１７を厚膜に形成すれ
ば、耐腐食性能は向上し、長期に亘りバランス取り穴１
６の腐食を防止することができるが、製造コストが嵩む
上に、ロータ８の外周面８ａとネジステータ１４間の隙
間が狭くなり、真空ポンプの回転体と固定側とが接触
し、固定側が損傷してしまうという理由から、上記範囲
内の膜厚が適切である。
ば、耐腐食性能は向上し、長期に亘りバランス取り穴１
６の腐食を防止することができるが、製造コストが嵩む
上に、ロータ８の外周面８ａとネジステータ１４間の隙
間が狭くなり、真空ポンプの回転体と固定側とが接触
し、固定側が損傷してしまうという理由から、上記範囲
内の膜厚が適切である。
【００３３】また、硬化乾燥後の熱硬化性樹脂皮膜層１
７の重量は、バランス取り穴１６数個に対して１〜１０
ｍｇ程度に設定され、この熱硬化性樹脂皮膜層１７の重
量の増加分を考慮して、バランス取りのための削り取り
を若干量余分に行なった後に合成樹脂皮膜層１７を形成
する必要がある。
７の重量は、バランス取り穴１６数個に対して１〜１０
ｍｇ程度に設定され、この熱硬化性樹脂皮膜層１７の重
量の増加分を考慮して、バランス取りのための削り取り
を若干量余分に行なった後に合成樹脂皮膜層１７を形成
する必要がある。
【００３４】このように、本実施形態における真空ポン
プによれば、ロータ８の外周面８ａまたは内周面８ｂ表
面に形成されたバランス取り穴１６のアルミ合金表面
は、耐腐食処理として熱硬化性樹脂皮膜層１７により被
覆されているため、バランス取り穴１６のアルミ合金表
面に腐食性ガスによる腐食が発生せず、回転体の高速回
転によるバランス穴の応力腐食亀裂を防止でき、腐食に
よるロータ破壊を未然に防止することができる。
プによれば、ロータ８の外周面８ａまたは内周面８ｂ表
面に形成されたバランス取り穴１６のアルミ合金表面
は、耐腐食処理として熱硬化性樹脂皮膜層１７により被
覆されているため、バランス取り穴１６のアルミ合金表
面に腐食性ガスによる腐食が発生せず、回転体の高速回
転によるバランス穴の応力腐食亀裂を防止でき、腐食に
よるロータ破壊を未然に防止することができる。
【００３５】また、上記のように、バランス取り穴１６
のアルミ合金表面は、耐腐食処理として、熱硬化性樹脂
皮膜層１７を薄膜に形成でき、かつ、アルミ合金に付着
する生成物の堆積を減少させることができるため、回転
体と固定側との接触による損傷を防止することができ
る。
のアルミ合金表面は、耐腐食処理として、熱硬化性樹脂
皮膜層１７を薄膜に形成でき、かつ、アルミ合金に付着
する生成物の堆積を減少させることができるため、回転
体と固定側との接触による損傷を防止することができ
る。
【００３６】次に、本発明に係る真空ポンプの第２の実
施形態について図４に基づき説明する。
施形態について図４に基づき説明する。
【００３７】本実施形態における真空ポンプの基本的な
構成については、図１に示した真空ポンプと同様である
ので、同一部材には同一符号を付してその詳細な説明は
省略する。
構成については、図１に示した真空ポンプと同様である
ので、同一部材には同一符号を付してその詳細な説明は
省略する。
【００３８】本実施形態における真空ポンプは、図４に
示すように、ロータ８の内周面８ｂまたは外周面８ａの
一部を削り取ることにより形成されたバランス取り穴１
６と、ロータ８の内周面８ｂおよび外周面８ａに腐食防
止皮膜層１５が形成されていることを特徴とするもので
ある。
示すように、ロータ８の内周面８ｂまたは外周面８ａの
一部を削り取ることにより形成されたバランス取り穴１
６と、ロータ８の内周面８ｂおよび外周面８ａに腐食防
止皮膜層１５が形成されていることを特徴とするもので
ある。
【００３９】すなわち、本実施形態では、アルミ合金等
により形成されたロータ８の外周面８ａまたは内周面８
ｂの一部をドリルやリュータ等の加工刃具２０を用いて
削り取り、ロータ８の質量を変化させて回転体のバラン
ス取りの微調整を行なった後に、ニッケルりん合金めっ
き等のめっきによる腐食防止皮膜層１５を１０〜２０μ
ｍ程度の厚みで均一にコーティングし、ロータ８および
バランス取り穴１６に同時に耐腐食処理を施すこととし
たものである。
により形成されたロータ８の外周面８ａまたは内周面８
ｂの一部をドリルやリュータ等の加工刃具２０を用いて
削り取り、ロータ８の質量を変化させて回転体のバラン
ス取りの微調整を行なった後に、ニッケルりん合金めっ
き等のめっきによる腐食防止皮膜層１５を１０〜２０μ
ｍ程度の厚みで均一にコーティングし、ロータ８および
バランス取り穴１６に同時に耐腐食処理を施すこととし
たものである。
【００４０】このように、本実施形態における真空ポン
プによれば、上述した第１の実施形態における効果に加
え、バランス取り穴１６の耐腐食処理のために、熱硬化
性樹脂皮膜層１７を形成するための工程を省略すること
ができ、バランス取り穴１６の耐腐食処理を簡素化する
ことができるとともに、耐腐食処理における真空ポンプ
の製造コストの低減を図ることができる。
プによれば、上述した第１の実施形態における効果に加
え、バランス取り穴１６の耐腐食処理のために、熱硬化
性樹脂皮膜層１７を形成するための工程を省略すること
ができ、バランス取り穴１６の耐腐食処理を簡素化する
ことができるとともに、耐腐食処理における真空ポンプ
の製造コストの低減を図ることができる。
【００４１】また、上記のようにバランス取りを行なっ
た後に腐食防止皮膜層１５をロータ８表面全体に均一に
形成することになるため、バランス取りの調整のための
余分な削り取りは必要ない。
た後に腐食防止皮膜層１５をロータ８表面全体に均一に
形成することになるため、バランス取りの調整のための
余分な削り取りは必要ない。
【００４２】なお、上述した実施形態においては、本発
明をターボ分子ポンプに適用した例について説明した
が、ドラックポンプ等、回転体の回転を利用したその他
のポンプにも適用できることは勿論、バランス取り穴の
形成箇所についても、設計上、適宜変更が可能である。
明をターボ分子ポンプに適用した例について説明した
が、ドラックポンプ等、回転体の回転を利用したその他
のポンプにも適用できることは勿論、バランス取り穴の
形成箇所についても、設計上、適宜変更が可能である。
【００４３】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る真空ポンプによれば、以下のような効果を奏する。
係る真空ポンプによれば、以下のような効果を奏する。
【００４４】（１）ロータ表面に形成されたバランス取
り穴のアルミ合金表面に腐食性ガスによる腐食が発生せ
ず、回転体の高速回転によるバランス取り穴の応力腐食
亀裂を防止でき、腐食によるロータ破壊を未然に防止す
ることができるという効果を奏する。
り穴のアルミ合金表面に腐食性ガスによる腐食が発生せ
ず、回転体の高速回転によるバランス取り穴の応力腐食
亀裂を防止でき、腐食によるロータ破壊を未然に防止す
ることができるという効果を奏する。
【００４５】（２）バランス取り穴のアルミ合金表面
は、耐腐食処理として、熱硬化性樹脂皮膜層を薄膜に形
成でき、かつ、アルミ合金に付着する生成物の堆積を減
少させることができるため、回転体と固定側との接触に
よる損傷を防止することができるという効果を奏する。
は、耐腐食処理として、熱硬化性樹脂皮膜層を薄膜に形
成でき、かつ、アルミ合金に付着する生成物の堆積を減
少させることができるため、回転体と固定側との接触に
よる損傷を防止することができるという効果を奏する。
【００４６】（３）バランス取りを行なった後に、腐食
防止皮膜をロータ表面全体に均一に形成する構成を採用
すれば、バランス取り穴の耐腐食処理を簡素化すること
ができるとともに、耐腐食処理における真空ポンプの製
造コストの低減を図ることができるという効果を奏す
る。
防止皮膜をロータ表面全体に均一に形成する構成を採用
すれば、バランス取り穴の耐腐食処理を簡素化すること
ができるとともに、耐腐食処理における真空ポンプの製
造コストの低減を図ることができるという効果を奏す
る。
【図１】本発明に係る真空ポンプの第１の実施形態の構
成を示す縦断面図である。
成を示す縦断面図である。
【図２】図１に示した真空ポンプの要部拡大断面図であ
り、ロータに加工刃具を用いてバランス取り穴を形成す
る例を説明する図である。
り、ロータに加工刃具を用いてバランス取り穴を形成す
る例を説明する図である。
【図３】図１に示した真空ポンプの要部拡大断面図であ
り、ロータのバランス取り穴に耐腐食処理を施した後の
状態を示す図である。
り、ロータのバランス取り穴に耐腐食処理を施した後の
状態を示す図である。
【図４】図１に示した真空ポンプの要部拡大断面図であ
り、ロータのバランス取り穴に施す耐腐食処理の第２の
実施形態を示す図である。
り、ロータのバランス取り穴に施す耐腐食処理の第２の
実施形態を示す図である。
１ ポンプケース
１−１ 円筒部
１−２ ベース
１−３ 裏蓋
２ ガス吸気口
３ ガス排気口
４ ステータコラム
５ ロータ軸
６−１ ラジアル方向電磁石（磁気軸受）
６−２ 軸方向電磁石（磁気軸受）
７ ボールベアリング（保護用軸受）
８ ロータ
８ａ ロータ外周面（円筒面）
８ｂ ロータ内周面
９ 駆動モータ
１０ ロータ翼
１１ ステータ翼
１２ スペーサ
１３ ネジ溝
１４ ネジステータ
１５ 腐食防止皮膜層
１６ バランス取り穴
１７ 熱硬化性樹脂皮膜層
２０ 加工刃具
Ｐ 真空ポンプ
ＰA ターボ分子機構部
ＰB ネジ溝ポンプ機構部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3H022 AA01 BA04 CA54 CA55 DA14
3H031 AA06 BA01 CA01 DA02 EA09
FA01
Claims (3)
- 【請求項１】 上面にガス吸気口を開口したポンプケー
スと、 上記ポンプケース内に回転可能に支持されたロータ軸
と、 上記ポンプケース内に収容され、上記ロータ軸に固定さ
れたロータの外周面に設けられた複数枚のロータ翼と、 上記複数枚のロータ翼間に交互に位置決めされ、上記ポ
ンプケース内に固定された複数枚のステータ翼と、 上記ロータ軸を回転させるための駆動モータと、 上記ロータ表面に腐食防止皮膜層が形成され、かつ、上
記ロータの内周面または外周面の一部を削り取ることに
より形成されたバランス取り穴と、を具備し、上記バラ
ンス取り穴に耐腐食処理が施されていることを特徴とす
る真空ポンプ。 - 【請求項２】 上記耐腐食処理は、上記バランス取り穴
表面に、熱硬化性樹脂皮膜層が形成されていることを特
徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。 - 【請求項３】 上面にガス吸気口を開口したポンプケー
スと、 上記ポンプケース内に回転可能に支持されたロータ軸
と、 上記ポンプケース内に収容され、上記ロータ軸に固定さ
れたロータの外周面に設けられた複数枚のロータ翼と、 上記複数枚のロータ翼間に交互に位置決めされ、上記ポ
ンプケース内に固定された複数枚のステータ翼と、 上記ロータ軸を回転させるための駆動モータと、 上記ロータの内周面または外周面の一部を削り取ること
により形成されたバランス取り穴と、を具備し、 上記ロータ表面に腐食防止皮膜層が形成されていること
を特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001202297A JP2003021092A (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | 真空ポンプ |
| EP02254522A EP1273802A1 (en) | 2001-07-03 | 2002-06-27 | Vacuum pump |
| KR1020020037959A KR20030004118A (ko) | 2001-07-03 | 2002-07-02 | 진공 펌프 |
| US10/187,566 US20030021672A1 (en) | 2001-07-03 | 2002-07-03 | Vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001202297A JP2003021092A (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003021092A true JP2003021092A (ja) | 2003-01-24 |
Family
ID=19039128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001202297A Withdrawn JP2003021092A (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | 真空ポンプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030021672A1 (ja) |
| EP (1) | EP1273802A1 (ja) |
| JP (1) | JP2003021092A (ja) |
| KR (1) | KR20030004118A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012233477A (ja) * | 2011-05-05 | 2012-11-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ロータを有する真空ポンプ |
| JP2018127950A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、真空ポンプに備わる回転部、およびアンバランス修正方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| JP2005320905A (ja) * | 2004-05-10 | 2005-11-17 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ |
| US20130129482A1 (en) * | 2010-08-06 | 2013-05-23 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump |
| US20140127031A1 (en) * | 2011-07-21 | 2014-05-08 | Tohoku University | Screw rotor for exhaust pump, method for manufacturing the same, gas exhaust pump having screw rotor, and manufacturing method and assembly method of the same |
| DE102014103060B4 (de) * | 2014-03-07 | 2019-01-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Wuchten eines Rotors einer Vakuumpumpe oder eines Rotors einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe |
| US10585291B2 (en) | 2017-04-28 | 2020-03-10 | Yonatan Gerlitz | Eye safety system for lasers |
| JP6973348B2 (ja) * | 2018-10-15 | 2021-11-24 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB687976A (en) * | 1949-12-23 | 1953-02-25 | Vickers Electrical Co Ltd | Improved curing process for thermosetting resinous coatings |
| DE4239391C2 (de) * | 1991-11-27 | 1996-11-21 | Electro Chem Eng Gmbh | Gegenstände aus Aluminium, Magnesium oder Titan mit einer mit Fluorpolymeren gefüllten Oxidkeramikschicht und Verfahren zu ihrer Herstellung |
| JP2527398B2 (ja) * | 1992-06-05 | 1996-08-21 | 財団法人真空科学研究所 | タ―ボ分子ポンプ |
| JPH0783189A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-03-28 | Hitachi Ltd | ターボ真空ポンプ |
| IT1296155B1 (it) * | 1996-04-05 | 1999-06-09 | Varian Spa | Rotore di pompa turbomolecolare |
| US5938406A (en) * | 1997-04-18 | 1999-08-17 | Varian, Inc. | Rotor for turbomolecular pump |
| KR100534532B1 (ko) * | 1998-02-13 | 2005-12-07 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 진공펌프 로터 및 그 제작방법 |
-
2001
- 2001-07-03 JP JP2001202297A patent/JP2003021092A/ja not_active Withdrawn
-
2002
- 2002-06-27 EP EP02254522A patent/EP1273802A1/en not_active Withdrawn
- 2002-07-02 KR KR1020020037959A patent/KR20030004118A/ko not_active Application Discontinuation
- 2002-07-03 US US10/187,566 patent/US20030021672A1/en not_active Abandoned
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|---|---|---|---|---|
| JP2012233477A (ja) * | 2011-05-05 | 2012-11-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ロータを有する真空ポンプ |
| JP2018127950A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、真空ポンプに備わる回転部、およびアンバランス修正方法 |
| US11168697B2 (en) | 2017-02-08 | 2021-11-09 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump, rotating portion included in vacuum pump, and imbalance correction method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20030021672A1 (en) | 2003-01-30 |
| KR20030004118A (ko) | 2003-01-14 |
| EP1273802A1 (en) | 2003-01-08 |
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