JP2003015055A - 検査装置、プログラムを記録した記録媒体、プログラム - Google Patents

検査装置、プログラムを記録した記録媒体、プログラム

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JP2003015055A
JP2003015055A JP2001197001A JP2001197001A JP2003015055A JP 2003015055 A JP2003015055 A JP 2003015055A JP 2001197001 A JP2001197001 A JP 2001197001A JP 2001197001 A JP2001197001 A JP 2001197001A JP 2003015055 A JP2003015055 A JP 2003015055A
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Shigeyuki Mano
繁行 眞野
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 構成部品の変更によって検査条件が変えられ
る検査装置と、該検査装置に対する制御をコンピュータ
で実現するためのプログラムを記録した記録媒体と、該
検査装置に対する制御をコンピュータで実現するための
プログラムとに関し、所望の検査条件による検査を容
易、かつ、速やかに開始させることを目的とする。 【解決手段】 所望の検査条件を実現するために利用者
によって予め選択された構成部品を示す希望構成部品I
D情報を記録し、現状の検査装置を構成する構成部品を
示す現状構成部品ID情報を取得し、希望構成部品ID
情報と現状構成部品ID情報とを比較して、構成部品に
相違があれば、その相違を表示する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、構成部品の変更に
よって検査条件が変えられる検査装置と、該検査装置に
対する制御をコンピュータで実現するためのプログラム
を記録した記録媒体と、該検査装置に対する制御をコン
ピュータで実現するためのプログラムとに関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、着脱可能な複数の構成部品か
ら成る検査装置では、構成部品を交換したり、追加した
り、取り外したりすることによって、異なる条件の検査
が実現されている。例えば、このような検査装置の一例
である顕微鏡装置では、倍率の異なる対物レンズ、接眼
レンズ、コンデンサレンズや、波長の異なる光を照射す
るランプなどの構成部品が、検鏡条件に応じて変更され
る。
【0003】このような構成部品の変更は、通常、利用
者自身によって行われており、利用者は、検査を開始す
る前に、所望の検査条件を実現するための構成部品が検
査装置の本体に装着されているか否かを確認し、必要に
応じて構成部品の変更を行っている。特に、複数の利用
者によって共用される検査装置では、他の利用者が構成
部品を変更する可能性が高いため、このような確認は不
可欠である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、検査装置の本
体に装着されている構成部品の各々を、目視によって確
認することは、容易ではない。また、交換すべき構成部
品が分かっても、交換の方法が分からない場合、利用者
は、その構成部品の交換方法を取扱説明書などによって
調べなければならない。
【0005】すなわち、従来の検査装置は、所望の検査
条件による検査を開始するまでに、多大な手間を利用者
に強いていた。そこで、請求項1ないし請求項4に記載
の発明は、所望の検査条件による検査を容易に、かつ、
速やかに開始することができる検査装置を提供すること
を目的とする。また、請求項5に記載の発明は、所望の
検査条件による検査を容易に、かつ、速やかに開始する
ことができる制御をコンピュータで実現するためのプロ
グラムを記録した記録媒体を提供することを目的とす
る。さらに、請求項6に記載の発明は、所望の検査条件
による検査を容易に、かつ、速やかに開始することがで
きる制御をコンピュータで実現するためのプログラムを
提供することを目的とする。
【0006】ところで、構成部品の交換などによって検
査条件が変えられる検査装置では、構成部品を新製品に
交換することによって、所望の条件による検査を高精度
で行うことが可能となったり、新たな条件による検査の
実現などによって多機能化が可能となる。そのため、高
精度化や多機能化を図るためには、構成部品の新製品の
情報は重要である。
【0007】そこで、請求項7に記載の発明は、利用者
の手を煩わせることなく、構成部品に対する新製品の情
報を呈示することができる検査装置を提供することを目
的とする。また、請求項8に記載の発明は、構成部品に
対する新製品の情報の呈示をコンピュータで実現するた
めのプログラムを記録した記録媒体を提供することを目
的とする。さらに、請求項9に記載の発明は、構成部品
に対する新製品の情報の呈示をコンピュータで実現する
ためのプログラムを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】ここでは、後述する実施
形態に対応する内容を括弧内に示しているが、このよう
な括弧内の記載は、発明を限定するものではない。請求
項1に記載の検査装置(第1の実施形態における顕微鏡
システム10)は、複数の構成部品(対物レンズ10
2、接眼レンズ103、コンデンサーレンズ104、ラ
ンプ105、フィルタ106)を有し、前記構成部品の
変更によって検査条件が変えられる検査装置において、
所望の検査条件を実現するために利用者によって予め選
択された構成部品を示す希望構成部品ID情報を記録す
る記録手段(CPU201、ハードディスク204)
と、現状の検査装置を構成する構成部品を示す現状構成
部品ID情報を取得するID情報取得手段(顕微鏡本体
101、CPU201、外部インタフェース部203)
と、前記希望構成部品ID情報と前記現状構成部品ID
情報とを比較して、前記構成部品に相違があれば、その
相違を表示する表示手段(CPU201、表示制御部2
06、ディスプレイ210)とを備えたことを特徴とす
る。
【0009】なお、請求項1に記載の検査装置におい
て、表示手段は、希望構成部品ID情報と現状構成部品
ID情報との相違として、ID情報を示す文字情報や、
構成部品の名称を示す文字情報などを表示しても良い
し、構成部品の色が他の構成部品の色と異なるように表
された検査装置の外観を示す画像などを表示しても良
い。請求項2に記載の検査装置は、請求項1に記載の検
査装置において、前記記録手段に前記希望構成部品ID
情報の記録を指示する記録指示手段(CPU201、入
力機器用インタフェース部205、マウス208、キー
ボード209)を備え、前記記録手段は、前記記録指示
手段で前記希望構成部品ID情報の記録が指示される
と、前記ID情報取得手段を介して前記現状構成部品I
D情報を取得し、該現状構成部品ID情報を前記希望構
成部品ID情報として記録することを特徴とする。
【0010】請求項3に記載の検査装置は、請求項1ま
たは請求項2に記載の検査装置において、前記記録手段
は、前記検査装置の本体(顕微鏡本体101)に装着さ
れ得る前記構成部品の交換方法を示す交換方法情報を、
前記希望構成部品ID情報に対応付けて記録し、前記表
示手段は、前記希望構成部品ID情報と前記現状構成部
品ID情報とで異なる構成部品の交換方法を、前記交換
方法情報に基づいて表示することを特徴とする。
【0011】請求項4に記載の検査装置は、請求項1な
いし請求項3の何れか1項に記載の検査装置において、
種類が同一であるが機能が異なる複数の構成部品を切り
換える切換手段(顕微鏡本体101)と、前記希望構成
部品ID情報と前記現状構成部品ID情報とで異なる構
成部品が前記切換手段によって切り換え可能である場
合、該切換手段に対して、該構成部品の切り換えを指示
する切換制御手段(CPU201、外部インタフェース
部203)とを備えていることを特徴とする。
【0012】請求項5に記載のプログラムを記録した記
録媒体は、複数の構成部品を有し、前記構成部品の変更
によって検査条件が変えられる検査装置に対する制御を
コンピュータで実現するためのプログラムを記録した記
録媒体において、所望の検査条件を実現するために利用
者によって予め選択された構成部品を示す希望構成部品
ID情報を記録する記録手順と、現状の検査装置を構成
する構成部品を示す現状構成部品ID情報を取得するI
D情報取得手順と、前記希望構成部品ID情報と前記現
状構成部品ID情報とを比較して、前記構成部品に相違
があれば、その相違を表示する表示手順とをコンピュー
タで実現させることを特徴とする。
【0013】請求項7に記載のプログラムを記録した記
録媒体は、利用者によって予め決められた検査条件を実
現するための構成部品の識別子を示す希望構成情報を記
録する記録手順と、現状の検査装置を構成する構成部品
の識別子を示す現状構成情報を取得する現状構成取得手
順と、希望構成情報と現状構成情報とを比較して、異な
る識別子に対応する構成部品を指摘する情報を表示する
表示手順とをコンピュータで実現させることを特徴とす
る。
【0014】請求項8に記載のプログラムは、構成部品
の変更によって検査条件が変えられる検査装置に対する
制御をコンピュータで実現するためのプログラムにおい
て、利用者によって予め決められた検査条件を実現する
ための構成部品の識別子を示す希望構成情報を記録する
記録手順と、現状の検査装置を構成する構成部品の識別
子を示す現状構成情報を取得する現状構成取得手順と、
希望構成情報と現状構成情報とを比較して、異なる識別
子に対応する構成部品を指摘する情報を表示する表示手
順とをコンピュータで実現させることを特徴とする。
【0015】請求項7に記載の検査装置(第2の実施形
態における顕微鏡システム10)は、複数の構成部品を
有し、前記構成部品の変更によって検査条件が変えられ
る検査装置において、検査装置の本体に装着され得る全
ての構成部品に関連する製品情報を記録している外部装
置にネットワークを介して接続され、該製品情報を取得
する外部情報取得手段と、検査装置の本体に装着されて
いる少なくとも1つの構成部品を選択する部品選択手段
(CPU201、入力機器用インタフェース部205、
マウス208、キーボード209)と、前記部品選択手
段で前記構成部品が選択されると、前記情報取得手段を
介して前記外部装置から前記製品情報を取得し、該製品
情報に基づき、前記選択された構成部品が新製品である
か否かを判定し、該構成部品が新製品でない場合、新製
品の情報を表示する表示手段とを備えたことを特徴とす
る。
【0016】なお、請求項7に記載の検査装置におい
て、表示手段は、外部装置に記録されている製品情報の
うち、部品選択手段で選択された構成部品に対する製品
情報のみを取得しても良いし、検査装置の本体に装着さ
れている構成部品に対する製品情報のみを取得しても良
い。請求項8に記載のプログラムを記録した記録媒体
は、複数の構成部品を有し、前記構成部品の変更によっ
て検査条件が変えられる検査装置に対する制御をコンピ
ュータで実現するためのプログラムを記録した記録媒体
において、検査装置の本体に装着され得る全ての構成部
品に関連する製品情報を記録している外部装置にネット
ワークを介して接続され、該製品情報を取得する外部情
報取得手順と、検査装置の本体に装着されている少なく
とも1つの構成部品を選択する部品選択手順と、前記部
品選択手順で前記構成部品が選択されると、前記情報取
得手順を介して前記外部装置から前記製品情報を取得
し、該製品情報に基づき、前記選択された構成部品が新
製品であるか否かを判定し、該構成部品が新製品でない
場合、新製品の情報を表示する表示手順とをコンピュー
タで実現させることを特徴とする。
【0017】請求項9に記載のプログラムは、複数の構
成部品を有し、前記構成部品の変更によって検査条件が
変えられる検査装置に対する制御をコンピュータで実現
するためのプログラムにおいて、検査装置の本体に装着
され得る全ての構成部品に関連する製品情報を記録して
いる外部装置にネットワークを介して接続され、該製品
情報を取得する外部情報取得手順と、検査装置の本体に
装着されている少なくとも1つの構成部品を選択する部
品選択手順と、前記部品選択手順で前記構成部品が選択
されると、前記情報取得手順を介して前記外部装置から
前記製品情報を取得し、該製品情報に基づき、前記選択
された構成部品が新製品であるか否かを判定し、該構成
部品が新製品でない場合、新製品の情報を表示する表示
手順とをコンピュータで実現させることを特徴とする。
【0018】なお、上述した請求項1ないし請求項9に
記載の発明において、検査装置としては、例えば、パー
ソナルコンピュータと顕微鏡装置とから成る顕微鏡シス
テムや、パーソナルコンピュータと外観検査装置(半導
体ウエハや液晶基板などの外観検査を行う検査装置)と
から成る外観検査システムなどが挙げられる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
実施形態について詳細な説明を行うが、以下では、本発
明の検査装置の一例として、パーソナルコンピュータを
備えた顕微鏡システムの説明を行う。ただし、以下の各
実施形態において、パーソナルコンピュータには、本発
明の記録媒体に記録されたプログラムまたは本発明のプ
ログラムが予めインストールされているものとする。
【0020】図1は、第1の実施形態および第2の実施
形態における顕微鏡システムの構成図である。図1にお
いて、顕微鏡システム10は、顕微鏡装置100とパー
ソナルコンピュータ200とを有している。
【0021】顕微鏡装置100は、顕微鏡本体101を
備えており、顕微鏡本体101には、不図示の電動レボ
ルバを介して対物レンズ102が装着されている他に、
接眼レンズ103、コンデンサーレンズ104、ランプ
105、フィルタ106などが装着されている。なお、
顕微鏡本体101には、これらの他にも、着脱可能な様
々な構成部品が装着されているものとする。
【0022】このような構成の顕微鏡装置100におい
て、対物レンズ102、接眼レンズ103、コンデンサ
ーレンズ104、ランプ105、フィルタ106などの
着脱可能な構成部品には、個体毎の識別が可能な構成部
品ID情報(以下、「ID情報」と称する。例えば、製
品番号、製造日時、シリアル番号など)が記録されたI
Cチップが貼り付けられている。顕微鏡本体101は、
このようなICチップに記録されているID情報を読み
出し、現状の顕微鏡装置100を構成する各々の構成部
品のID情報の一覧(以下、「現状構成部品ID一覧」
と称する)を生成し、その「現状構成部品ID一覧」を
パーソナルコンピュータ200に供給する機能を有して
いる。
【0023】パーソナルコンピュータ200は、CPU
201と、バス202を介してCPU201に接続され
た外部インタフェース部203とハードディスク204
と入力機器用インタフェース部205と表示制御部20
6と通信制御部207とを備えている。外部インタフェ
ース部203は、顕微鏡装置100内の顕微鏡本体10
1に接続される。また、入力機器用インタフェース部2
05は、マウス208とキーボード209とに接続さ
れ、表示制御部206は、ディスプレイ210に接続さ
れ、通信制御部207は、ネットワークを介して外部の
サーバ装置300に接続される。
【0024】以上説明したような構成の顕微鏡システム
10では、顕微鏡装置100に対するGUI(Graphica
l User Interface)がパーソナルコンピュータ200に
よって実現される。
【0025】また、サーバ装置300には、顕微鏡本体
101に装着され得る全ての構成部品に対するID情報
や、各々の構成部品に関連する関連情報(例えば、構成
部品の特徴、構成部品の交換方法、構成部品の価格など
を示す情報)などを含む製品情報が予め記録されてい
る。パーソナルコンピュータ200は、ネットワークお
よび通信制御部207を介して、サーバ装置300に記
録されている製品情報からID情報と関連情報とを取得
することができ、後述する第1の実施形態および第2の
実施形態では、このようにして取得されるID情報の一
覧(以下、「全部品ID一覧」と称する)と、その「全
部品ID一覧」の各々のID情報に対応付けられた関連
情報とが、ハードディスク204に予め記録されている
ものとする。
【0026】なお、サーバ装置300に記録されている
製品情報からID情報と関連情報とを取得する処理は、
例えば、インターネットを介して顕微鏡メーカのホーム
ページにアクセスし、そのホームページからID情報と
関連情報とをダウンロードすることに相当する。 《第1の実施形態の説明》図2ないし図5は、第1の実
施形態における顕微鏡システム10の動作フローチャー
トである。特に、図2は、現状の顕微鏡装置100の構
成を視覚的に示す表示(以下、「現状構成部品表示」と
称する)を行うための処理(以下、「現状構成部品表示
処理」と称する)を示し、図4および図5は、「現状構
成部品表示処理」を行う際に用いられる「希望構成部品
ID一覧」を登録する処理(以下、「希望構成部品ID
一覧登録処理」と称する)を示している。ただし、「希
望構成部品ID一覧」とは、ユーザが希望する検鏡条件
を実現するために必要な構成部品のID情報の一覧であ
る。
【0027】以下、第1の実施形態における顕微鏡シス
テム10の動作を説明するが、以下では、顕微鏡システ
ム10の動作のうち、CPU201によって行われる
「現状構成部品表示処理」や現状構成部品表示後の処理
の動作を図2および図3に基づいて説明し、その後、
「希望構成部品ID一覧登録処理」の動作を図4および
図5に基づいて説明し、他の処理の動作については説明
を省略する。
【0028】CPU201は、パーソナルコンピュータ
200の電源が投入された際や、システム設定用のメニ
ュー画面からユーザによって「現状構成部品表示処理」
が選択された際、ユーザID情報の入力画面を表示制御
部206を介してディスプレイ210に表示し、キーボ
ード209でユーザによって入力されたユーザID情報
を入力機器用インタフェース部205を介して取得する
(図2S1)。
【0029】CPU201は、このようにして取得した
ユーザID情報に対応する「希望構成部品ID一覧」を
ハードディスク204から読み出す(図2S2)。ただ
し、ここで読み出される「希望構成部品ID一覧」は、
後述する「希望構成部品ID一覧登録処理」によって予
めハードディスク204に記録されているものとする。
次に、CPU201は、顕微鏡本体101から「現状構
成部品ID一覧」を取得する(図2S3)。
【0030】そして、CPU201は、「希望構成部品
ID一覧」と「現状構成部品ID一覧」とに違いがある
か否かを判定する(図2S4)。「希望構成部品ID一
覧」と「現状構成部品ID一覧」とに違いがある場合、
CPU201は、「全部品ID一覧」をハードディスク
204から読み出し(図2S5)、「全部品ID一覧」
に存在しないID情報が「現状構成部品ID一覧」に存
在するか否かを判定する(図2S6)。
【0031】ここで、「全部品ID一覧」に存在しない
ID情報が「現状構成部品ID一覧」に存在する場合と
は、新製品の構成部品が顕微鏡本体101に装着された
場合などに相当する。CPU201は、「全部品ID一
覧」に存在しないID情報が「現状構成部品ID一覧」
に存在する場合、顕微鏡本体101に装着され得る全て
の構成部品に対するID情報と関連情報とを含む製品情
報を、ネットワークおよび通信制御部207を介してサ
ーバ装置300から取得し(図2S7)、このように取
得したID情報と関連情報とに基づき、ハードディスク
204に記録されている「全部品ID一覧」と関連情報
とを更新する(図2S8)。
【0032】次に、CPU201は、表示制御部20
6、ディスプレイ210を介し、「希望構成部品ID一
覧」と「現状構成部品ID一覧」とで違いが生じている
ID情報に対応する構成部品の色を変えた現状構成部品
表示を行う(図2S9)。図6は、このようにして行わ
れる現状構成部品表示の例を示す図である。ただし、図
6では、「希望構成部品ID一覧」における対物レンズ
のID情報が「T00010」であるのに対し、「現状
構成部品ID一覧」における対物レンズのID情報が
「T00020」であり、「希望構成部品ID一覧」に
おける接眼レンズのID情報が「S00001」である
のに対し、「現状構成部品ID一覧」における接眼レン
ズのID情報が「S00002」である場合の現状構成
部品表示を示している。また、図6では、現状構成部品
表示と共に「希望構成部品ID一覧」の表示も行われて
いる。
【0033】一方、図2S4の判定の結果、「希望構成
部品ID一覧」と「現状構成部品ID一覧」とが同じで
ある場合、CPU201は、構成部品の色を変えずに現
状構成部品表示を行う(図2S10)。以上説明したよ
うにして現状構成部品表示(特定の構成部品の色が変え
られた現状構成部品表示を含む)が行われている状態で
は、CPU201は、入力機器用インタフェース部20
5、マウス208やキーボード209を介し、現状構成
部品表示で色が変わっている構成部品への選択操作がユ
ーザによって行われたか否かを判定する(図3S1
1)。
【0034】そして、CPU201は、このような選択
操作が行われた場合に限り、以下に示す処理(図3S1
2〜S17)を行う。先ず、CPU201は、ユーザに
よって選択された構成部品のID情報と、ユーザが使用
を希望する構成部品のID情報(「希望構成部品ID一
覧」に存在するID情報のうち、ユーザによって選択さ
れた構成部品と同種類の構成部品のID情報)とに対応
する関連情報を、ハードディスク204から読み出す
(図3S12)。
【0035】次に、CPU201は、読み出した関連情
報に基づいて、ユーザによって選択された構成部品の自
動交換が可能であるか否かを判定する(図3S13)。
ここで、自動交換とは、顕微鏡本体101に装着されて
いる構成部品をユーザが使用を希望する構成部品に交換
する動作を、顕微鏡本体101自身が行うことを意味
し、自動交換が可能な構成部品としては、例えば、フィ
ルタ106などが挙げられる。
【0036】そして、CPU201は、ユーザによって
選択された構成部品の自動交換が可能である場合、表示
制御部206を介して、自動交換の実行を行うか否かの
選択が可能なメニュー画面をディスプレイ210に表示
し(図3S14)、入力機器用インタフェース部20
5、マウス208やキーボード209を介し、ユーザに
よって「自動交換の実行」が選択されたかを判定する
(図3S15)。そして、ユーザによって「自動交換の
実行」が選択された場合、CPU201は、外部インタ
フェース部203、顕微鏡本体101を介して、現在装
着されている構成部品をユーザが使用を希望する構成部
品に自動交換する(図3S16)。
【0037】一方、ユーザによって選択された構成部品
の自動交換が不可能である場合(図3S13のNO
側)、または、ユーザによって「自動交換の実行」が選
択されなかった場合(図3S15のNO側)、CPU2
01は、関連情報に基づいて、表示制御部206を介
し、手動による構成部品の交換方法をディスプレイ21
0に表示する(図3S17)。
【0038】図7は、手動による構成部品の交換方法の
表示の例を示す図である。ただし、図7では、図6のよ
うに現状構成部品表示が行われている状態において、色
が変えられている対物レンズがユーザによって選択され
た場合の表示の例を示している。
【0039】以下、図4および図5に基づいて、「希望
構成部品ID一覧登録処理」の動作を説明する。ただ
し、図4は、検鏡が行われている状態で「希望構成部品
ID一覧登録処理」が要求された場合の処理を示し、図
5は、システム設定用のメニュー画面から、「希望構成
部品ID一覧登録処理」が選択された場合の処理を示し
ている。
【0040】先ず、図4に基づいて、「希望構成部品I
D一覧登録処理」の動作を説明する。検鏡が行われてい
る状態で「希望構成部品ID一覧登録処理」が要求され
た際、CPU201は、ユーザID情報の入力画面を表
示制御部206を介してディスプレイ210に表示し、
キーボード209でユーザによって入力されたユーザI
D情報を入力機器用インタフェース部205を介して取
得する(図4S21)。
【0041】なお、検鏡が行われている状態における
「希望構成部品ID一覧登録処理」の要求は、「希望構
成部品ID一覧登録処理」の選択が可能なメニュー画面
を、マウス208が右クリックされた際などに表示し、
そのメニュー画面に対するユーザの選択操作などによっ
て実現することができる。次に、CPU201は、顕微
鏡本体101から「現状構成部品ID一覧」を取得し
(図4S22)、「全部品ID一覧」をハードディスク
204から読み出す(図4S23)。
【0042】そして、CPU201は、「全部品ID一
覧」に存在しないID情報が「現状構成部品ID一覧」
に存在するか否かを判定する(図4S24)。ここで、
「全部品ID一覧」に存在しないID情報が「現状構成
部品ID一覧」に存在する場合とは、新製品の構成部品
が顕微鏡本体101に装着された場合などに相当する。
【0043】CPU201は、「全部品ID一覧」に存
在しないID情報が「現状構成部品ID一覧」に存在す
る場合、顕微鏡本体101に装着され得る全ての構成部
品に対するID情報と関連情報とを含む製品情報を、ネ
ットワークおよび通信制御部207を介してサーバ装置
300から取得し(図4S25)、このように取得した
ID情報と関連情報とに基づき、ハードディスク204
に記録されている「全部品ID一覧」と関連情報とを更
新する(図4S26)。
【0044】次に、CPU201は、「現状構成部品I
D一覧」を参照して「希望構成部品ID一覧」を生成し
(図4S27)、その「希望構成部品ID一覧」をユー
ザID情報に対応付けてハードディスク204に記録す
る(図4S28)。ところで、顕微鏡本体101に装着
される構成部品のID情報や関連情報は、CD−ROM
やフロッピー(登録商標)ディスクなどの記録媒体に記
録することができ、パーソナルコンピュータ200は、
このような関連情報を構成部品のID情報に対応付けて
読み出すことが可能である。また、ID情報や関連情報
を記録した記録媒体は、顕微鏡本体101に装着され得
る各々の構成部品に付属させて、ユーザに提供すること
が可能である。
【0045】図5に示す「希望構成部品ID一覧登録処
理」では、ユーザが所有する構成部品に付属する記録媒
体から、ID情報や関連情報が読み出され、このように
して読み出されたID情報の一覧(以下、「所有部品I
D一覧」と称する)と、その「所有部品ID一覧」の各
々のID情報に対応付けられた関連情報とが、ハードデ
ィスク204に予め記録されているものとする。なお、
新たに構成部品が購入された際などには、「所有部品I
D一覧」の更新が行われるものとする。
【0046】以下、図5に基づいて、「希望構成部品I
D一覧登録処理」の動作を説明する。システム設定用の
メニュー画面からユーザによって「希望構成部品ID一
覧登録処理」が選択された際、CPU201は、ユーザ
ID情報の入力画面を表示制御部206を介してディス
プレイ210に表示し、キーボード209などでユーザ
によって入力されたユーザID情報を入力機器用インタ
フェース部205介して取得する(図5S31)。
【0047】なお、「希望構成部品ID一覧登録処理」
以外の処理によって既にユーザID情報が取得されてい
る場合には、そのユーザID情報を取得しても良い。次
に、CPU201は、「所有部品ID一覧」をハードデ
ィスク204から読み出し(図5S32)、表示制御部
206を介して、「所有部品ID一覧」からの構成部品
の選択が可能なメニュー画面をディスプレイ210に表
示する(図5S33)。
【0048】次に、CPU201は、このように表示し
たメニュー画面からユーザによって選択された構成部品
のID情報を用いて、「希望構成部品ID一覧」を生成
し(図5S34)、その「希望構成部品ID一覧」をユ
ーザID情報に対応付けてハードディスク204に記録
する(図5S35)。以上説明したように、第1の実施
形態における顕微鏡システム10では、「希望構成部品
ID一覧」と「現状構成部品ID一覧」とで違いが生じ
ているID情報に対応する構成部品の色が変えられた現
状構成部品表示を行うことができる。
【0049】したがって、ユーザは、予め「希望構成部
品ID一覧」を登録しておけば、所望の検鏡条件を実現
するための構成部品が顕微鏡本体101に装着されてい
るか否かを容易に確認することが可能である。また、第
1の実施形態における顕微鏡システム10では、図4に
示す「希望構成部品ID一覧登録処理」によって「希望
構成部品ID一覧」の登録を行う場合、ユーザは、検鏡
を行っている状態で「希望構成部品ID一覧登録処理」
を要求するための操作を行うだけで良い。一方、図5に
示す「希望構成部品ID一覧登録処理」によって「希望
構成部品ID一覧」の登録を行う場合、ユーザは、メニ
ュー画面から所望の構成部品を選択する操作を行うだけ
で良い。
【0050】すなわち、第1の実施形態における顕微鏡
システム10では、「希望構成部品ID一覧」の登録時
のユーザの負担を軽減できる。さらに、第1の実施形態
における顕微鏡システム10では、「希望構成部品ID
一覧」と「現状構成部品ID一覧」とで違いが生じてい
るID情報に対応する構成部品の交換方法を、ハードデ
ィスク204に記録されている関連情報に基づき表示す
ることができる。特に、第1の実施形態における顕微鏡
システム10では、関連情報が記録されていない構成部
品(例えば、新製品の構成部品など)が顕微鏡本体10
1に装着された場合には、サーバ装置300から取得し
た製品情報によって関連情報を更新することができるた
め、如何なる構成部品の交換方法であっても確実に表示
することができる。
【0051】したがって、ユーザは、所望の検鏡条件を
実現するために交換を必要とする構成部品の交換方法を
容易に理解することが可能である。また、第1の実施形
態における顕微鏡システム10では、顕微鏡本体101
によって自動交換が可能な構成部品については、ユーザ
の手を煩わせることなく交換することができる。
【0052】なお、第1の実施形態では、「現状構成部
品表示処理」において、ユーザによって入力されたユー
ザID情報に対応する「希望構成部品ID一覧」が利用
されるが、同一のユーザによって複数の「希望構成部品
ID一覧」が登録されている場合には、これらの「希望
構成部品ID一覧」から、所望の検鏡条件を実現するた
めの構成部品を示す「希望構成部品ID一覧」を選択で
きるメニュー画面を表示し、ユーザによって選択された
「希望構成部品ID一覧」を用いて「現状構成部品表示
処理」を行っても良い。
【0053】また、第1の実施形態では、図4および図
5に示す「希望構成部品ID一覧登録処理」において、
ユーザID情報に対応付けて「希望構成部品ID一覧」
が登録されるが、例えば、一人のユーザが複数の「希望
構成部品ID一覧」を登録する場合には、ユーザID情
報にシリアル番号を付加した情報に対応付けて「希望構
成部品ID一覧」を登録するなど、「希望構成部品ID
一覧」は、如何なる情報に対応付けて登録しても良い。
【0054】さらに、第1の実施形態では、サーバ装置
300からのID情報と関連情報との取得は、「全部品
ID一覧」に存在しないID情報が「現状構成部品ID
一覧」に存在する場合に行われるが、以下に示すような
場合などに行っても良い。 1:パーソナルコンピュータ200の電源が投入された
場合。 2:サーバ装置300に記録されている製品情報が更新
された場合。
【0055】3:ユーザによって決められた期間(例え
ば、一ヶ月毎など)が経過した場合。また、第1の実施
形態では、「現状構成部品表示処理」および図4に示す
「希望構成部品ID一覧登録処理」において、「全部品
ID一覧」に存在しないID情報が「現状構成部品ID
一覧」に存在する場合、顕微鏡本体101に装着され得
る全ての構成部品に対するID情報と関連情報とがサー
バ装置300から取得されるが、「全部品ID一覧」に
存在せず「現状構成部品ID一覧」に存在するID情報
に対する関連情報のみを取得しても良い。
【0056】さらに、第1の実施形態では、「現状構成
部品表示処理」および図4に示す「希望構成部品ID一
覧登録処理」において、「全部品ID一覧」が利用され
るが、「全部品ID一覧」に代えて「所有部品ID一
覧」が利用されても良い。また、第1の実施形態では、
図5に示す「希望構成部品ID一覧登録処理」におい
て、「所有部品ID一覧」からユーザによって選択され
た構成部品のID情報を用いて、「希望構成部品ID一
覧」が生成されるが、「所有部品ID一覧」を用いず、
ユーザが直接ID情報を入力するようにしても良い。
【0057】《第2の実施形態の説明》図8は、第2の
実施形態における顕微鏡システム10の動作フローチャ
ートである。ただし、第2の実施形態における「現状構
成部品表示処理」は、上述した第1の実施形態と同様の
処理(図1S1〜S9に相当する)によって実現される
ため、図8では、「現状構成部品表示処理」に対する図
示を簡略化して示している。
【0058】以下、第2の実施形態における顕微鏡シス
テム10の動作を説明するが、以下では、顕微鏡システ
ム10の動作のうち、CPU201によって行われる本
発明に関連する処理の動作を図8に基づいて説明し、他
の処理の動作については説明を省略する。先ず、CPU
201は、第1の実施形態と同様に、「現状構成部品表
示処理」を行う(図8S41)。
【0059】CPU201は、現状構成部品表示(特定
の構成部品の色が変えられた現状構成部品表示を含む)
が行われている状態において、入力機器用インタフェー
ス部205、マウス208やキーボード209を介し、
現状構成部品表示上の構成部品への選択操作がユーザに
よって行われたか否かを判定する(図8S42)。そし
て、CPU201は、このような選択操作が行われた場
合に限り、以下に示す処理(図8S43〜S48)を行
う。
【0060】CPU201は、表示制御部206を介
し、ユーザによって選択された構成部品に対応する新製
品の情報の表示処理が選択可能なメニュー画面をディス
プレイ210に表示する(図8S43)。ここで、新製
品の情報とは、サーバ装置300に記録されている製品
情報のうち、ユーザによって選択された構成部品と同種
類の構成部品であって、かつ、上述した「所有部品ID
一覧」に存在するID情報に対応する構成部品よりも後
に発売された構成部品に対する製品情報である。
【0061】次に、CPU201は、入力機器用インタ
フェース部205、マウス208やキーボード209を
介し、ユーザによって「新製品情報の表示処理」が選択
されたか否かを判定する(図8S44)。そして、CP
U201は、ユーザによって「新製品情報の表示処理」
が選択された場合に限り、以下に示す処理(図8S45
〜S48)を行う。
【0062】CPU201は、顕微鏡本体101に装着
され得る全ての構成部品に対する製品情報をサーバ装置
300から取得する(図8S45)。CPU201は、
このように取得した製品情報に、ユーザに選択された構
成部品に対する新製品の情報が含まれているか否かを判
定する(図8S46)。そして、サーバ装置300から
取得した製品情報に新製品の情報が含まれている場合、
CPU201は、その製品情報に基づき「全部品ID一
覧」を更新し(図8S47)、新製品の情報を表示制御
部206を介してディスプレイ210に表示する(図8
S48)。
【0063】一方、サーバ装置300から取得した製品
情報に新製品の情報が含まれていない場合、CPU20
1は、ユーザの所有する構成部品が最新であることを表
示制御部206を介してディスプレイ210に表示する
(図8S49)。以上説明したように、第2の実施形態
では、ユーザによって選択された構成部品に対する新製
品の情報を確実に表示することができる。
【0064】なお、第2の実施形態では、顕微鏡本体1
01に装着され得る全ての構成部品に対する製品情報が
サーバ装置300から取得されるが、サーバ装置300
から取得される情報は、ユーザによって選択された構成
部品に対する新製品の情報のみであっても良い。また、
第2の実施形態では、ユーザによって選択された構成部
品に対する新製品の情報が表示されるが、例えば、現状
構成部品表示上の顕微鏡本体への選択操作が行われた場
合には、顕微鏡本体101に装着され得る全ての構成部
品に対する新製品の情報を表示させるようにしても良
い。さらに、顕微鏡本体101に装着され得る全ての構
成部品に対する新製品の情報の表示処理が選択可能なメ
ニュー画面を、例えば、マウス208が右クリックされ
た際などに表示すれば、顕微鏡本体101に装着され得
る全ての構成部品に対する新製品の情報の表示は、現状
構成部品表示に関係なく行うことが可能となる。
【0065】
【発明の効果】上述したように、請求項1、請求項2、
請求項5、請求項6に記載の発明によれば、所望の検査
条件の検査を実現するための構成部品とは異なる構成部
品が検査装置の本体に装着されていることを、利用者に
対して指摘することができる。特に、請求項2に記載の
発明では、このような指摘を行う際に用いる希望構成部
品ID情報を確実に記録することができる。
【0066】したがって、請求項1、請求項2、請求項
5、請求項6に記載の発明によれば、検査装置の利用者
は、構成部品の交換の作業に速やかに取り掛かることが
可能である。また、請求項3に記載の発明は、交換を必
要とする構成部品の交換方法を利用者に呈示することが
でき、請求項4に記載の発明では、構成部品の交換の作
業を検査装置の利用者に強いることがない。
【0067】すなわち、請求項3、請求項4に記載の発
明によれば、構成部品の交換に要する利用者の負担を軽
減することができる。したがって、請求項1ないし請求
項6に記載の発明によれば、検査装置の利用者は、所望
の条件による検査を容易に、かつ、速やかに開始するこ
とができる。また、請求項7ないし請求項9に記載の発
明によれば、構成部品に対する新製品の情報を検査装置
の利用者に確実に呈示することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】顕微鏡システムの構成図である。
【図2】第1の実施形態における顕微鏡システムの動作
フローチャートである。
【図3】第1の実施形態における顕微鏡システムの動作
フローチャートである。
【図4】第1の実施形態における顕微鏡システムの動作
フローチャートである。
【図5】第1の実施形態における顕微鏡システムの動作
フローチャートである。
【図6】現状構成部品表示の例を示す図である。
【図7】手動による構成部品の交換方法の表示の例を示
す図である。
【図8】第2の実施形態における顕微鏡システムの動作
フローチャートである。
【符号の説明】
10 顕微鏡システム 100 顕微鏡装置 101 顕微鏡本体 102 対物レンズ 103 接眼レンズ 104 コンデンサーレンズ 105 ランプ 106 フィルタ 200 パーソナルコンピュータ 201 CPU 202 バス 203 外部インタフェース部 204 ハードディスク 205 入力機器用インタフェース部 206 表示制御部 207 通信制御部 208 マウス 209 キーボード 210 ディスプレイ 300 サーバ装置

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の構成部品を有し、前記構成部品の
    変更によって検査条件が変えられる検査装置において、 所望の検査条件を実現するために利用者によって予め選
    択された構成部品を示す希望構成部品ID情報を記録す
    る記録手段と、 現状の検査装置を構成する構成部品を示す現状構成部品
    ID情報を取得するID情報取得手段と、 前記希望構成部品ID情報と前記現状構成部品ID情報
    とを比較して、前記構成部品に相違があれば、その相違
    を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする検査装
    置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の検査装置において、 前記記録手段に前記希望構成部品ID情報の記録を指示
    する記録指示手段を備え、 前記記録手段は、前記記録指示手段で前記希望構成部品
    ID情報の記録が指示されると、前記ID情報取得手段
    を介して前記現状構成部品ID情報を取得し、該現状構
    成部品ID情報を前記希望構成部品ID情報として記録
    することを特徴とする検査装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の検査装
    置において、 前記記録手段は、前記検査装置の本体に装着され得る前
    記構成部品の交換方法を示す交換方法情報を、前記希望
    構成部品ID情報に対応付けて記録し、 前記表示手段は、前記希望構成部品ID情報と前記現状
    構成部品ID情報とで異なる構成部品の交換方法を、前
    記交換方法情報に基づいて表示することを特徴とする検
    査装置。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし請求項3の何れか1項に
    記載の検査装置において、 種類が同一であるが機能が異なる複数の構成部品を切り
    換える切換手段と、 前記希望構成部品ID情報と前記現状構成部品ID情報
    とで異なる構成部品が前記切換手段によって切り換え可
    能である場合、該切換手段に対して、該構成部品の切り
    換えを指示する切換制御手段とを備えていることを特徴
    とする検査装置。
  5. 【請求項5】 複数の構成部品を有し、前記構成部品の
    変更によって検査条件が変えられる検査装置に対する制
    御をコンピュータで実現するためのプログラムを記録し
    た記録媒体において、 所望の検査条件を実現するために利用者によって予め選
    択された構成部品を示す希望構成部品ID情報を記録す
    る記録手順と、 現状の検査装置を構成する構成部品を示す現状構成部品
    ID情報を取得するID情報取得手順と、 前記希望構成部品ID情報と前記現状構成部品ID情報
    とを比較して、前記構成部品に相違があれば、その相違
    を表示する表示手順とをコンピュータで実現させること
    を特徴とするプログラムを記録した記録媒体。
  6. 【請求項6】 複数の構成部品を有し、前記構成部品の
    変更によって検査条件が変えられる検査装置に対する制
    御をコンピュータで実現するためのプログラムにおい
    て、 所望の検査条件を実現するために利用者によって予め選
    択された構成部品を示す希望構成部品ID情報を記録す
    る記録手順と、 現状の検査装置を構成する構成部品を示す現状構成部品
    ID情報を取得するID情報取得手順と、 前記希望構成部品ID情報と前記現状構成部品ID情報
    とを比較して、前記構成部品に相違があれば、その相違
    を表示する表示手順とをコンピュータで実現させること
    を特徴とするプログラム。
  7. 【請求項7】 複数の構成部品を有し、前記構成部品の
    変更によって検査条件が変えられる検査装置において、 検査装置の本体に装着され得る全ての構成部品に関連す
    る製品情報を記録している外部装置にネットワークを介
    して接続され、該製品情報を取得する外部情報取得手段
    と、 検査装置の本体に装着されている少なくとも1つの構成
    部品を選択する部品選択手段と、 前記部品選択手段で前記構成部品が選択されると、前記
    情報取得手段を介して前記外部装置から前記製品情報を
    取得し、該製品情報に基づき、前記選択された構成部品
    が新製品であるか否かを判定し、該構成部品が新製品で
    ない場合、新製品の情報を表示する表示手段とを備えた
    ことを特徴とする検査装置。
  8. 【請求項8】 複数の構成部品を有し、前記構成部品の
    変更によって検査条件が変えられる検査装置に対する制
    御をコンピュータで実現するためのプログラムを記録し
    た記録媒体において、 検査装置の本体に装着され得る全ての構成部品に関連す
    る製品情報を記録している外部装置にネットワークを介
    して接続され、該製品情報を取得する外部情報取得手順
    と、 検査装置の本体に装着されている少なくとも1つの構成
    部品を選択する部品選択手順と、 前記部品選択手順で前記構成部品が選択されると、前記
    情報取得手順を介して前記外部装置から前記製品情報を
    取得し、該製品情報に基づき、前記選択された構成部品
    が新製品であるか否かを判定し、該構成部品が新製品で
    ない場合、新製品の情報を表示する表示手順とをコンピ
    ュータで実現させることを特徴とするプログラムを記録
    した記録媒体。
  9. 【請求項9】 複数の構成部品を有し、前記構成部品の
    変更によって検査条件が変えられる検査装置に対する制
    御をコンピュータで実現するためのプログラムにおい
    て、 検査装置の本体に装着され得る全ての構成部品に関連す
    る製品情報を記録している外部装置にネットワークを介
    して接続され、該製品情報を取得する外部情報取得手順
    と、 検査装置の本体に装着されている少なくとも1つの構成
    部品を選択する部品選択手順と、 前記部品選択手順で前記構成部品が選択されると、前記
    情報取得手順を介して前記外部装置から前記製品情報を
    取得し、該製品情報に基づき、前記選択された構成部品
    が新製品であるか否かを判定し、該構成部品が新製品で
    ない場合、新製品の情報を表示する表示手順とをコンピ
    ュータで実現させることを特徴とするプログラム。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07281096A (ja) * 1994-04-11 1995-10-27 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡システム
JPH0868946A (ja) * 1994-08-31 1996-03-12 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡システム

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