JP2003007216A - プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 - Google Patents

プラズマディスプレイパネル及びその製造方法

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JP2003007216A JP2001191765A JP2001191765A JP2003007216A JP 2003007216 A JP2003007216 A JP 2003007216A JP 2001191765 A JP2001191765 A JP 2001191765A JP 2001191765 A JP2001191765 A JP 2001191765A JP 2003007216 A JP2003007216 A JP 2003007216A
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Masashi Okikawa
昌史 沖川
Toshihiro Yoshioka
俊博 吉岡
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高画質化と低消費電力化とを実現する。 【解決手段】 開示されるプラズマディスプレイパネル
は、放電ギャップ３４を隔てて行方向に延びる一対の維
持電極に３３ａ，３３ｂより構成され、列方向に所定間
隔で形成された複数の面放電電極対３３を備え、各維持
電極３３ａ，３３ ｂは、透明導電性薄膜からなり、放電
ギャップ３４に面して形成されたストライプ状の主電極
部３５ａ，３５ｂと、主電極部３５ａ，３５ｂより幅の
狭い金属膜からなり、対応する主電極部３５ａ，３５ｂ
の放電ギャップ３４側と反対側に形成された従電極部３
６ａ，３６ｂとから構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、テレビ受像機や
コンピュータ等の平面型表示装置として利用されるプラ
ズマディスプレイパネル（ＰＤＰ；Plasma Display Pan
el）及びその製造方法に関し、詳しくは、交流（ＡＣ；
Alternating Current）駆動面放電型のプラズマディス
プレイパネル及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７は、従来のＡＣ駆動面放電型のＰＤ
Ｐ１の概略構成を分解し、かつ、前面絶縁基板２の一部
を切り欠いて示す分解斜視図である。図８は、同ＰＤＰ
１の前面絶縁基板２を取り除いた状態での上面図であ
る。また、図９は、図８のＡ−Ａ'断面を拡大して示す
拡大断面図である。この例のＰＤＰ１は、例えば、特許
第３０３６４９６号公報や特開平１１−２０２８３１号
公報に開示されている。
【０００３】この例のＰＤＰ１においては、図７〜図９
に示すように、前面絶縁基板２の下面に、行方向（図８
において左右方向）に延びるストライプ状の維持電極３
ａ及び３ｂが放電ギャップ４を隔てて列方向（図８にお
いて上下方向）に所定間隔で交互に各々複数形成されて
いる。前面絶縁基板２は、後述する背面絶縁基板８と同
様、例えば、厚さ２〜５mmのソーダライムガラスからな
る。維持電極３ａ及び３ｂは、いずれも酸化錫、酸化イ
ンジウム、あるいは錫ドープ酸化インジウム（ＩＴＯ：
Indium Tin Oxide）等の透明導電性薄膜からなり、面放
電電極対３を構成している。
【０００４】維持電極３ａ及び３ｂの下面の一端側に
は、行方向に延びるバス電極５ａ及び５ｂが各々複数形
成されている。バス電極５ａ及び５ｂは、銀の厚膜、あ
るいはアルミニウムや銅などの薄膜等の金属膜からな
り、導電率の低い維持電極３ａ及び３ｂの抵抗値を小さ
くするために形成されている。維持電極３ａ及び３ｂ、
バス電極５ａ及び５ｂ並びにこれらが形成されていない
前面絶縁基板２の各下面は、透明な誘電体層６によって
被覆されている。誘電体層６は、厚さ１０〜４０μmの
低融点ガラスからなる。誘電体層６の下面には、誘電体
層６を放電時のイオン衝撃から保護するために、保護層
７が形成されている。保護層７は、二次電子放出係数が
大きく、耐スパッタ性に優れた酸化マグネシウム等から
なり、厚さ０．５〜２．０μm程度真空蒸着などにより
形成されている。
【０００５】一方、背面絶縁基板８の上面には、列方
向、すなわち、維持電極３ａ及び３ｂの形成方向と直交
する方向に延びるストライプ状のデータ電極９が行方向
に所定間隔で複数形成されている。データ電極９は、銀
膜等からなる。データ電極９及びこれが形成されていな
い背面絶縁基板８の各上面は、白色の誘電体層１０によ
って被覆されている。また、データ電極９の上方以外の
誘電体層１０の上面に、表示セル１２を区切るためのス
トライプ状の隔壁１３が列方向に延びるように形成され
ている。表示セル１２は、表示画面を構成する最小の単
位である。図８に破線で囲まれた領域は、１個の表示セ
ル１２を示している。
【０００６】データ電極９の上方の誘電体層８の上面
と、隔壁１３の側面とには、放電ガスの放電により発生
する紫外線を赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色の
可視光に変換する３種類の蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１
４Ｂが形成されている。蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１４
Ｂは、蛍光体層１４Ｒ、蛍光体層１４Ｇ、蛍光体層１４
Ｂの順序で行方向に順次繰り返して形成されているとと
もに、列方向には紫外線を同一色の可視光に変換する蛍
光体層１４が連続して形成されている。
【０００７】保護層７の下面と、蛍光体層１４Ｒ、１４
Ｇ、１４Ｂの各上面と、隣接する２個の隔壁１３の各側
壁とにより形成される各空間には、放電ガス空間１５が
各々確保されている。この放電ガス空間１５内には、キ
セノン、ヘリウム若しくはネオン等又はこれらの混合ガ
スからなる放電ガスが２０〜８０ｋＰａの圧力で充填さ
れている。維持電極３ａ及び３ｂ、バス電極５ａ及び５
ｂ、データ電極９、蛍光体層１４及び放電ガス空間１５
から構成される領域が上記表示セル１２となる。表示セ
ル１２の大きさが、例えば、縦（列方向）が１．０５m
m、横（行方向）が０．３５５mmである場合には、幅が
３００〜４５０μmであり、厚さが０．１〜２．０μmで
ある維持電極３ａ及び３ｂが５０〜３００μmの放電ギ
ャップ４を隔てて形成される。
【０００８】次に、上記ＰＤＰ１を構成する維持電極３
ａ及び３ｂ並びにバス電極５ａ及び５ｂの形成方法につ
いて図１０を参照して説明する。維持電極３ａ及び３ｂ
は図１０に示すリフトオフ法によって形成される。図１
０は、図８のＡ−Ａ'断面のうち、前面絶縁基板２側を
拡大し、かつ、上下を逆転して示す拡大断面図である。
まず、図１０（ａ）に示すように、前面絶縁基板２上に
感光性のドライフィルム２１を積層する。ドライフィル
ム２１は、支持体フィルムと、支持体フィルム上に形成
された感光性樹脂とからなる。次に、図１０（ｂ）に示
すように、ドライフィルム２１を露光及び現像し、ドラ
イフィルム２１をパターニングする。次に、図１０
（ｃ）に示すように、パターニングされたドライフィル
ム２１上に透明導電性薄膜２２を積層する。次に、図１
０（ｄ）に示すように、ドライフィルム２１を除去する
ことによって所定の形状の維持電極３ａ及び３ｂを得
る。次に、図１０（ｅ）に示すように、維持電極３ａ及
び３ｂ上に銀ペーストをパターン印刷した後、焼成（例
えば、５６０℃で３０分間保持）することによって所定
の形状のバス電極５ａ及び５ｂを得る。
【０００９】次に、上記ＰＤＰ１において、１個の表示
セル１２が発光する原理の概略について説明する。ま
ず、放電を維持するための電圧信号が維持電極３ａ及び
３ｂに印加されると、放電ガス空間１５内において放電
が発生する。この放電によって発生する電子は、キセノ
ン原子、ヘリウム原子若しくはネオン原子等（以下、キ
セノン原子等と略する。）と衝突し、キセノン原子等を
励起又は電離させる。例えば、励起したキセノン原子
は、１４７〜１９０nmの真空紫外域の紫外線を発生させ
る。発生した紫外線は、蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１４
Ｂに照射される。紫外線を照射された蛍光体層１４Ｒ、
１４Ｇ、１４Ｂは、各々赤、青、緑の可視光を発する。
各赤、青、緑の可視光は、直接に、あるいは誘電体層１
０に反射された後、保護層７、誘電体層６、維持電極３
ａ及び３ｂ並びに前面絶縁基板２を透過して外部に出射
される。
【００１０】一方、放電ガス空間１５内において発生し
た放電は、誘電体層６の下面に電荷が蓄積された後、自
動的に停止する。例えば、上記電圧信号として、維持電
極３ ａに正のパルス電圧、維持電極３ｂに負のパルス電
圧を印加した場合、放電ガス空間１５内における放電に
よって発生した電子は維持電極３ａへ移動し、一方、キ
セノン原子等の正イオンは維持電極３ｂへ移動する。こ
れにより、維持電極３ ａの下面に形成された誘電体層６
の下面が負極性に帯電し、維持電極３ｂの下面に形成さ
れた誘電体層６の下面が正極性に帯電した後、放電が停
止する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】近年では、表示装置全
般にいえることではあるが、ＡＣ駆動面放電型のＰＤＰ
についても、高画質化とともに、低消費電力化の要求が
高まってきている。ところが、上記した従来のＰＤＰ１
では、画質を改善するために、維持電極３ ａ及び３ｂに
印加する電圧を上昇させて輝度を高めた場合、放電によ
り消費される電力が増大してしまう。そこで、高画質化
と低消費電力化とをともに実現するために、以下に示す
第１〜第３の手法が考えられるが、以下に示すような新
たな問題が発生してしまう。
【００１２】第１に、ＡＣ駆動面放電型のＰＤＰの消費
電力を低減するためには、表示セルの発光効率を向上さ
せ、放電により消費される電力を減少させる必要があ
る。一般に、ＡＣ駆動面放電型のＰＤＰにおいては、放
電電流密度が低いほど、紫外線の放射効率が高まり、そ
の結果、可視光の発光効率が高くなる傾向がある。そこ
で、維持電極に印加する電圧を低下させ、放電電流を減
少させれば、放電電流密度が低くなるため、表示セルの
発光効率を高くすることができる。ところが、維持電極
に印加する電圧を低下させると、放電が不安定となり、
安定な表示動作ができなくなってしまう。
【００１３】第２に、維持電極３ａ及び３ｂの幅を狭く
し、維持電極３ａ及び３ｂの面積を減少させると、誘電
体層６の下面と維持電極３ａ及び３ｂとの間の静電容量
を減少させることができる。そして、維持電極３ａ及び
３ｂに印加する電圧が同一である場合、放電が停止する
際に誘電体層６の下面に蓄積される電荷量が減少するた
め、放電電流を減少させることができる。ところが、こ
の第２の手法では、上記したように、維持電極３ａ及び
３ｂの面積も減少させるため、結局表示セル１２自体の
放電電流密度は変化せず、これに伴い発光効率もほとん
ど変化しない。また、維持電極３ａ及び３ｂの面積を減
少させると、放電が維持電極３ａ及び３ ｂ全体に拡散し
なくなり、蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂの一部だけ
が発光するようになる。その結果、表示セル１２の輝度
が低下し、十分な画質を得ることができない。
【００１４】第３に、特開平８−２２７７２号公報には
以下に示す技術が開示されている。すなわち、この技術
においては、透明導電性薄膜からなる維持電極を、行方
向に延びる本体部と、表示セルごとにこの本体部から隣
接する維持電極に向けて突出する突出部とによって構成
している。そして、突出部は、行方向における幅がその
先端部の行方向における幅よりも狭い狭小部を備えてい
る。この技術によれば、狭小部を設けることによって１
個の表示セル当たりの放電電流を低減させて低消費電力
化を図り、その結果、発光効率を向上させている。とこ
ろが、この技術においては、放電が狭小部近傍に集中し
て表示セル全体に拡散しないため、輝度の減少を招くお
それがある。また、この技術においては、透明導電性薄
膜からなる維持電極を複雑な形状にパターニングしてい
るので、狭小部にクラックが入りやすく、断線のおそれ
がある。
【００１５】この発明は、上述の事情に鑑みてなされた
もので、高画質化と低消費電力化とをともに実現するこ
とができるプラズマディスプレイパネル及びその製造方
法を提供することを目的としている。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明に係るプラズマディスプレイパ
ネルは、放電ギャップを隔てて行方向に延びる一対の維
持電極により構成され、列方向に所定間隔で形成された
複数の面放電電極対を備え、上記各維持電極は、透明導
電性薄膜からなり、上記放電ギャップに面して形成され
た略ストライプ状の主電極部と、上記主電極部より幅の
狭い金属膜からなり、対応する上記主電極部の上記放電
ギャップ側と反対側に形成された従電極部とから構成さ
れていることを特徴としている。
【００１７】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記従電極部
は、上記維持電極と所定の距離を隔てて行方向に延びて
形成された第１平行部と、上記維持電極と上記第１平行
部との間で上記第１平行部と所定の距離を隔てて行方向
に延びて形成された第２平行部とを有することを特徴と
している。
【００１８】また、請求項３記載の発明は、請求項２記
載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記従電極部
は、各表示セルを区切るために列方向に延びる隣接する
隔壁からほぼ等距離となる位置で列方向に上記維持電極
に向かって延びて先端部が上記維持電極に電気的に接触
するように上記第１平行部及び上記第２平行部と一体と
なって形成された垂直部を有することを特徴としてい
る。
【００１９】また、請求項４記載の発明は、請求項２記
載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記従電極部
は、各表示セルを区切るために列方向に延びる隣接する
隔壁からほぼ等距離となる位置で列方向に上記維持電極
に向かって延びて先端部が上記維持電極に電気的に接触
するように上記第１平行部及び上記第２平行部と一体と
なって形成された第１垂直部と、上記隔壁の上方で、列
方向に上記維持電極に向かって延びて先端部が上記維持
電極に電気的に接触するように上記第１水平部及び上記
第２水平部と一体となって形成された第２垂直部とを有
することを特徴としている。
【００２０】また、請求項５記載の発明は、請求項４記
載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記第２垂直
部の幅は、上記隔壁の幅と同一であるか、あるいはそれ
よりも狭いことを特徴としている。
【００２１】また、請求項６記載の発明は、請求項４記
載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記第２垂直
部の幅は、上記隔壁の幅の１／２以下であることを特徴
としている。
【００２２】また、請求項７記載の発明は、請求項２乃
至６のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル
に係り、上記第２平行部の幅は、１〜５０μmであるこ
とを特徴としている。
【００２３】また、請求項８記載の発明は、請求項２乃
至６のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル
に係り、上記第２平行部の幅は、１〜３０μmであるこ
とを特徴としている。
【００２４】また、請求項９記載の発明は、請求項４乃
至８のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル
に係り、上記第１垂直部の幅は、１〜５０μmであるこ
とを特徴としている。
【００２５】また、請求項１０記載の発明は、請求項４
乃至８のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネ
ルに係り、上記第１垂直部の幅は、１〜３０μmである
ことを特徴としている。
【００２６】また、請求項１１記載の発明は、請求項４
乃至１０のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパ
ネルに係り、上記主電極部は、行方向に延びて形成され
た主電極平行部と、各表示セルを区切るために列方向に
延びる隣接する隔壁からほぼ等距離となる位置で上記主
電極平行部の放電ギャップ側と反対側に上記主電極平行
部から突出して形成された主電極突起部とからなり、上
記第１垂直部は、上記第１平行部及び上記第２平行部と
直交する列方向に上記主電極部に向かって延びて先端部
が対応する上記主電極突起部に電気的に接触するように
上記第１平行部及び上記第２平行部と一体となって形成
されていることを特徴としている。
【００２７】また、請求項１２記載の発明は、請求項１
１記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記主電
極突起部は、行方向及び列方向の長さは、とも３０〜６
０μmであることを特徴としている。
【００２８】また、請求項１３記載の発明は、請求項１
記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記従電極
部は、上記維持電極と所定の距離を隔てて行方向に延び
て形成された第１平行部と、各表示セルを区切るために
列方向に延びる各隔壁の上方で、列方向に上記維持電極
に向かって延びて先端部が上記主電極部に電気的に接触
するように上記第１平行部と一体となって形成された第
１垂直部と、隣接する隔壁からほぼ等距離となる位置に
おいて、列方向に上記維持電極に向かって延び、先端部
が上記維持電極の側面近傍に達する第２垂直部と、上記
第２垂直部の略中央部から行方向に隣接する上記第１垂
直部に向かって各々延び、各先端部が隣接する上記第１
垂直部の側面近傍に達する第２平行部とからなり、上記
第１水平部と一体となって形成された十字状部とを有す
ることを特徴としている。
【００２９】また、請求項１４記載の発明は、請求項１
３記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記第１
垂直部の幅は、上記隔壁の幅と同一であるか、あるいは
それよりも狭いことを特徴としている。
【００３０】また、請求項１５記載の発明は、請求項１
３記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記第１
垂直部の幅は、上記隔壁の幅の１／２以下であることを
特徴としている。
【００３１】また、請求項１６記載の発明は、請求項２
乃至１５のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパ
ネルに係り、上記第１平行部と平行に、上記第１平行部
からは放電が及ばない程度の所定の距離を隔てて行方向
に延びて形成されたバス電極水平部と、上記第１平行部
及び上記バス電極平行部と直交する列方向に上記第１平
行部に向かって延びて先端部が上記第１水平部に電気的
に接触して形成されたバス電極垂直部とからなり、上記
従電極部と一体となって形成されたバス電極部を有する
ことを特徴としている。
【００３２】また、請求項１７記載の発明は、請求項
１、２、３、４、５、６、８、９、１０、１１、１２、
１３、１４、１５又は１６のいずれか１に記載のプラズ
マディスプレイパネルに係り、上記主電極部の幅は、３
０〜１００μmであることを特徴としている。
【００３３】また、請求項１８記載の発明は、請求項
１、２、３、４、５、６、８、９、１０、１１、１２、
１３、１４、１５又は１６のいずれか１に記載のプラズ
マディスプレイパネルに係り、上記主電極部の幅は、４
０〜８０μmであることを特徴としている。
【００３４】また、請求項１９記載の発明は、請求項１
１、１２又は１６記載のプラズマディスプレイパネルに
係り、上記第１及び第２の平行部の幅は、３０〜１００
μmであることを特徴としている。
【００３５】また、請求項２０記載の発明は、請求項１
１、１２又は１６記載のプラズマディスプレイパネルに
係り、上記第１及び第２の平行部の幅は、４０〜８０μ
mであることを特徴としている。
【００３６】また、請求項２１記載の発明は、請求項２
乃至２０のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパ
ネル上記第１平行部の幅は、３０〜６０μmであること
を特徴としている。
【００３７】また、請求項２２記載の発明は、請求項２
乃至２１のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパ
ネルに係り、上記主電極部と上記第２平行部との間隔及
び、上記第２平行部と上記第１平行部との間隔は、いず
れも３０〜１４０μmであることを特徴としている。
【００３８】また、請求項２３記載の発明は、請求項１
乃至２２のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパ
ネルを製造するプラズマディスプレイパネルの製造方法
に係り、前面絶縁基板上又は上記複数の面放電電極対が
形成された後の前面絶縁基板上に感光性銀ペーストを積
層する第１の工程と、上記感光性銀ペーストを露光及び
現像し、上記感光性銀ペーストをパターニングした後、
焼成することにより、上記従電極部を形成する第２の工
程とを有することを特徴としている。
【００３９】また、請求項２４記載の発明は、請求項１
乃至２２のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパ
ネルを製造するプラズマディスプレイパネルの製造方法
に係り、前面絶縁基板上又は上記複数の面放電電極対が
形成された後の前面絶縁基板上に銀ペーストを積層する
第１の工程と、上記銀ペーストをパターニングした後、
焼成することにより、上記従電極部を形成する第２の工
程とを有することを特徴としている。
【００４０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態について説明する。説明は、実施例を用い
て具体的に行う。 Ａ．第１の実施例 まず、この発明の第１の実施例について説明する。図１
は、この発明の第１の実施例であるＰＤＰ３１の前面絶
縁基板３２を取り除いた状態での上面図である。この例
のＰＤＰ３１においては、図示せぬ前面絶縁基板３２の
下面に、図１に示すように、全体として行方向（図１に
おいて左右方向）に延びる維持電極３３ ａ及び３３ｂが
放電ギャップ３４を隔てて列方向（図１において上下方
向）に所定間隔で交互に各々複数形成されている。前面
絶縁基板３２は、例えば、厚さ２〜５mmのソーダライム
ガラスからなる。維持電極３３ａ及び３３ｂは、面放電
電極対３３を構成している。維持電極３３ａは、主電極
部３５ａと、従電極部３６ ａとから構成されている。同
様に、維持電極３３ｂは、主電極部３５ｂと、従電極部
３６ｂとから構成されている。
【００４１】主電極部３５ａ及び３５ｂは、いずれも酸
化錫、酸化インジウム、あるいはＩＴＯ等のストライプ
状の透明導電性薄膜からなり、主電極部３５ａ及び３５
ｂの幅は、３０〜１００μm、好ましくは、４０〜８０
μmとする。主電極部３５ａ及び３５ｂの下層には、主
電極部３５ａ及び３５ｂに対応して、従電極部３６ａ及
び３６ｂが各々複数形成されている。従電極部３６
ａは、銀の厚膜、あるいはアルミニウムや銅などの薄膜
等の金属膜からなり、第１平行部３７１と、第２平行部
３７２と、表示セル１２ごとに設けられた複数の垂直部
３７３とから構成されている。第１平行部３７１は、主
電極部３５ａと平行に主電極部３５ａと所定の距離を隔
てて行方向に延びて形成されている。第２平行部３７２
は、主電極部３５ａと第１平行部３７１との間で、主電
極部３５ａと平行に主電極部３５ａと所定の距離を隔て
て行方向に延びて形成されている。各垂直部３７３は、
第１平行部３７１及び第２平行部３７２と一体となって
形成されており、第１平行部３７ １及び第２平行部３７
２と直交する列方向に主電極部３５ａに向かって延びて
各先端部の上面が主電極部３５ａの下面に電気的に接触
している。各垂直部３７は、図１に破線で囲まれた領域
で示す表示セル１２内において隣接する隔壁１３からほ
ぼ等距離となる位置の上方に形成されている。同様に、
従電極部３６ｂは、銀の厚膜、あるいはアルミニウムや
銅などの薄膜等の金属膜からなり、第１平行部３８
１と、第２平行部３８２と、表示セル１２ごとに設けら
れた複数の垂直部３８３とから構成されている。従電極
部３６ａと従電極部３６ｂとは、放電ギャップ３４の行
方向の中心軸を対称線とした線対称の関係にあるので、
従電極部３６ｂの詳細な構成については説明しない。
【００４２】第１平行部３７１及び３８１の幅は、導電
率の低い主電極部３５ａ及び３５ｂの抵抗値を小さくす
るために、好ましくは、３０〜６０μm程度とする。す
なわち、第１平行部３７１及び３８１は、従来のバス電
極と同様の機能を有している。第２平行部３７２及び３
８２、垂直部３７３及び３８３の幅は、１〜５０μm、
好ましくは、１〜３０μmとする。また、この例におい
ては、主電極部３５ａと第２平行部３７２との間隔及
び、第２平行部３７２と第１平行部３７１との間隔は、
いずれも３０〜１４０μmとしている。同様に、主電極
部３５ｂと第２平行部３８２との間隔及び、第２平行部
３８２と第１平行部３８１との間隔は、いずれも３０〜
１４０μmとしている。なお、主電極部３５ａ及び３５
ｂ、従電極部３６ａ及び３６ｂ並びにこれらが形成され
ていない前面絶縁基板３２の各下面に順次形成されるべ
き誘電体層及び保護層については、従来と同様であるの
で、その説明を省略する。また、背面絶縁基板の上面に
順次形成されるべきデータ電極、誘電体層、隔壁、３種
類の蛍光体層及び放電ガス空間に充填される放電ガスに
ついても、従来と同様であるので、その説明を省略す
る。
【００４３】次に、上記ＰＤＰ３１を構成する維持電極
３３ａ及び３３ｂの形成方法について図２を参照して説
明する。主電極部３５ａ及び３５ｂは図２に示すリフト
オフ法によって形成される。図２は、図１のＢ−Ｂ'断
面のうち、前面絶縁基板３２側を拡大し、かつ、上下を
逆転して示す拡大断面図である。まず、図２（ａ）に示
すように、前面絶縁基板３２上に感光性のドライフィル
ム４１を積層する。ドライフィルム４１は、支持体フィ
ルムと、支持体フィルム上に形成された感光性樹脂とか
らなる。次に、図２（ｂ）に示すように、ドライフィル
ム４１を露光及び現像し、ドライフィルム４１をパター
ニングする。
【００４４】次に、図２（ｃ）に示すように、パターニ
ングされたドライフィルム４１上に透明導電性薄膜４２
を積層する。次に、図２（ｄ）に示すように、ドライフ
ィルム４１を除去することによって所定の形状の主電極
部３５ａ及び３５ｂを形成する。次に、図２（ｅ）に示
すように、感光性銀ペースト４３を積層する。次に、図
２（ｆ）に示すように、感光性銀ペースト４３を露光及
び現像し、感光性銀ペースト４３をパターニングした
後、焼成（例えば、５５０℃で１０分間保持）し、第１
平行部３７１と第２平行部３７２と垂直部３７３とから
構成される従電極部３６ａと、第１平行部３８１と第２
平行部３８２と垂直部３８３とから構成される従電極部
３６ｂとを形成する。上記焼成条件により形成された従
電極部３６ ａ及び３６ｂのシート抵抗は、３〜４mΩ／
□であった。なお、図２（ｆ）には、垂直部３７３及び
３８３は図示していない。
【００４５】このように、この例の構成によれば、スト
ライプ状の主電極部３５ａ及び３５ ｂを放電ギャップ３
４を隔てて行方向に延びるように形成しているので、放
電が安定し、放電電圧を低く抑えることができる。ま
た、主電極部３５ａ及び３５ｂは、透明導電性薄膜によ
り形成されているので、放電ギャップ３４近傍の強い発
光を透過させることができ、高輝度の表示が得られる。
実験によれば、主電極部３５ａ及び３５ｂの幅を３０〜
１００μmとすることにより、放電の安定性と同時に高
輝度の表示が得られた。特に、主電極部３５ａ及び３５
ｂの幅を４０〜８０μmとした場合に放電電圧を低く抑
えることができ、高輝度の表示が得られた。
【００４６】また、主電極部３５ａと第１平行部３７１
との間に第２平行部３７２及び垂直部３７３を形成する
とともに、主電極部３５ｂと第１平行部３８１との間に
第２平行部３８２及び垂直部３８３を形成している。第
２平行部３７２及び３８２並びに垂直部３７３及び３８
３は、金属膜からなり、その幅は１〜５０μmである。
したがって、表示セルの発光効率を従来に比べて１０〜
４０％程度向上させることができる。このように、この
例の構成によれば、表示セルの発光効率を従来に比べて
１０〜４０％程度向上させることができるのは、以下に
示す理由によると考えられる。
【００４７】すなわち、上記したように、一般に、ＡＣ
駆動面放電型のＰＤＰにおいては、放電電流密度が低い
ほど紫外線の放射効率が高まり、その結果、可視光の発
光効率が高くなる傾向がある。この例の構成において
は、第２平行部３７２及び３８ ２並びに垂直部３７３及
び３８３の幅を１〜５０μmとするとともに、従電極部
３６ａ及び３６ｂを構成する各電極部間に開口部を設け
ることにより、それらの領域では、放電電流密度が高く
ならないように制限されている。このように、放電電流
密度が制限されるため、表示セルの発光効率を向上させ
ることができていると推察される。金属膜は可視光を遮
蔽するが、第２平行部３７２及び３８２並びに垂直部３
７３及び３８３の幅は１〜５０μmであるため、遮蔽さ
れる可視光の量は発生する全可視光量に対してごくわず
かであり、輝度に影響を与えるまでには至らない。
【００４８】実験によれば、第２平行部３７２及び３８
２並びに垂直部３７３及び３８３の幅を１〜３０μmと
した場合に高輝度の表示が得られた。なお、この例の構
成によれば、維持電極３３ａ及び３３ｂに印加する電圧
を低下させていないので、「発明が解決しようとする課
題」において第１の問題点として述べたような放電が不
安定となり、安定な表示動作ができなくなってしまうと
いうことはない。
【００４９】また、この例の構成によれば、第２平行部
３７２及び３８２並びに垂直部３７ ３及び３８３を設け
るとともに、それらの幅を１〜５０μmとしている。ま
た、主電極部３５ａ及び３５ｂの面積を減少させること
なく、その形状もストライプ状であって、特開平８−２
２７７２号公報に開示された技術のように突出部を設け
ていない。このような構成であるため、放電電流密度が
制限されるとともに、放電が維持電極３３ａ及び３３ｂ
全体に拡散する。これにより、蛍光体層１４Ｒ、１
４Ｇ、１４Ｂのすべての領域を紫外線で励起することが
できるので、表示セル１２の輝度が高まり、十分な画質
を得ることができる。したがって、この例の構成によれ
ば、高画質化と低消費電力化とをともに実現することが
できる。
【００５０】また、この例の構成によれば、感光性銀ペ
ースト４３を露光及び現像してパターニングした後、焼
成し、高いパターニング精度が要求される、第１平行部
３７ １と第２平行部３７２と垂直部３７３とから構成さ
れる従電極部３６ａと、第１平行部３８１と第２平行部
３８２と垂直部３８３とから構成される従電極部３６ ｂ
とを形成している。したがって、露光時の解像度が膜厚
に左右され、パターニング精度が不充分なドライフィル
ムを用いて透明導電膜をパターニングする従来の場合に
比べて、従電極部３６ａ及び３６ｂを容易にかつパター
ニング精度良く形成することができる。一方、この例の
構成によれば、主電極部３５ａ及び３５ｂについては、
プロセスコストが安価なドライフィルムを用いてパター
ニングをしている。しかし、主電極部３５ａ及び３５ｂ
は、その幅が３０〜１００μmであり、パターニング精
度は従電極部３６ａ及び３６ｂほど必要ないため、安価
かつ容易にパターニングすることができる。また、この
例の構成によれば、従電極部３６ａ及び３６ｂを金属膜
で形成しているので、その焼成過程において、例えば、
主電極部３５ａと垂直部３７３とのつなぎ目や第１平行
部３７１と垂直部３７３との交差部などにクラックが入
りにくく、断線しにくい。
【００５１】Ｂ．第２の実施例 次に、この発明の第２の実施例について説明する。図３
は、この発明の第２の実施例であるＰＤＰ５１の前面絶
縁基板５２（図示略）を取り除いた状態での上面図であ
る。この例のＰＤＰ５１においては、図示せぬ前面絶縁
基板５２の下面に、図３に示すように、全体として行方
向（図３において左右方向）に延びる維持電極５３ ａ及
び５３ｂが放電ギャップ５４を隔てて列方向（図３にお
いて上下方向）に所定間隔で交互に各々複数形成されて
いる。前面絶縁基板５２は、例えば、厚さ２〜５mmのソ
ーダライムガラスからなる。維持電極５３ａ及び５３ｂ
は、面放電電極対５３を構成している。維持電極５３ａ
は、主電極部５５ａと、従電極部５６ ａとから構成され
ている。同様に、維持電極５３ｂは、主電極部５５
ｂと、従電極部５６ｂとから構成されている。
【００５２】主電極部５５ａ及び５５ｂは、いずれも酸
化錫、酸化インジウム、あるいはＩＴＯ等のストライプ
状の透明導電性薄膜からなり、主電極部５５ａ及び５５
ｂの幅は、３０〜１００μm、好ましくは、４０〜８０
μmとする。主電極部５５ａ及び５５ｂの下層には、主
電極部５５ａ及び５５ｂに対応して、従電極部５６ａ及
び５６ｂが各々複数形成されている。従電極部５６
ａは、銀の厚膜、あるいはアルミニウムや銅などの薄膜
等の金属膜からなり、第１平行部５７１と、第２平行部
５７２と、表示セル１２ごとに設けられた複数の第１垂
直部５７３と、隔壁１３の上方に設けられた複数の第２
垂直部５７４とから構成されている。第１平行部５７１
は、主電極部５５ａと平行に主電極部５５ａと所定の距
離を隔てて行方向に延びて形成されている。第２平行部
５７２は、主電極部５５ａと第１平行部５７１との間
で、主電極部５５ａと平行に主電極部５５ａと所定の距
離を隔てて行方向に延びて形成されている。各第１垂直
部５７３は、第１平行部５７１及び第２平行部５７２と
一体となって形成されており、第１平行部５７１及び第
２平行部５７２と直交する列方向に主電極部５５ａに向
かって延びて各先端部の上面が主電極部５５ａの下面に
電気的に接触している。各第１垂直部５７は、図３に破
線で囲まれた領域で示す表示セル１２内において隣接す
る隔壁１３からほぼ等距離となる位置の上方に形成され
ている。また、各第２垂直部５７４は、第１平行部５７
１及び第２平行部５７２と一体となって形成されてお
り、第１平行部５７１及び第２平行部５７２と直交する
列方向に主電極部５５ａに向かって延びて各先端部の上
面が主電極部５５ａの下面に電気的に接触している。各
第２垂直部５７４は、隣接する第１垂直部５７３とほぼ
同じ長さで隔壁１３の上方に形成されている。同様に、
従電極部５６ｂは、銀の厚膜、あるいはアルミニウムや
銅などの薄膜等の金属膜からなり、第１平行部５８
１と、第２平行部５８２と、表示セル１２ごとに設けら
れた複数の第１垂直部５８３と、隔壁１３の上方に設け
られた複数の第２垂直部５８４とから構成されている。
従電極部５６ａと従電極部５６ｂとは、放電ギャップ５
４の行方向の中心軸を対称線とした線対称の関係にある
ので、従電極部５６ｂの詳細な構成については説明しな
い。
【００５３】第１平行部５７１及び５８１の幅は、導電
率の低い主電極部５５ａ及び５５ｂの抵抗値を小さくす
るために、好ましくは、３０〜６０μm程度とする。す
なわち、第１平行部５７１及び５８１は、従来のバス電
極と同様の機能を有している。第２平行部５７２及び５
８２、第１垂直部５７３及び５８３、第２垂直部５７ ４
及び５８４の幅は、１〜５０μm、好ましくは、１〜３
０μmとする。また、この例においては、主電極部５５
ａと第２平行部５７２との間隔及び、第２平行部５７２
と第１平行部５７１との間隔は、いずれも３０〜１４０
μmとしている。同様に、主電極部５５ｂと第２平行部
５８２との間隔及び、第２平行部５８２と第１平行部５
８１との間隔は、いずれも３０〜１４０μmとしてい
る。第２垂直部５７４及び５８４の幅は、隔壁１３の幅
と同一であるか、あるいはそれよりも狭いことが発光効
率及び輝度の点で好ましい。
【００５４】なお、主電極部５５ａ及び５５ｂ、従電極
部５６ａ及び５６ｂ並びにこれらが形成されていない前
面絶縁基板５２の各下面に順次形成されるべき誘電体層
及び保護層については、従来と同様であるので、その説
明を省略する。また、背面絶縁基板の上面に順次形成さ
れるべきデータ電極、誘電体層、隔壁、３種類の蛍光体
層及び放電ガス空間に充填される放電ガスについても、
従来と同様であるので、その説明を省略する。また、上
記ＰＤＰ５１を構成する維持電極５３ａ及び５３ｂの形
成方法については、従電極部５６ａ及び５６ｂの形状が
従電極部３６ａ及び３６ｂの形状と異なるために、感光
性銀ペースト４３をパターニングする際のパターンの形
状が異なる以外は、上記第１の実施例の場合と略同様で
あるので、その説明を省略する。
【００５５】このように、この例の構成によれば、隔壁
１３上にも第２垂直部５７４及び５８４を設けたので、
上記した第１の実施例によって得られる効果に加えて以
下に示す効果が得られる。すなわち、隔壁１３上に第２
垂直部５７４及び５８４を設けたので、隔壁１３近傍に
も放電が拡散し、放電により励起したキセノン原子等が
紫外線を発生させ、発生した紫外線が隔壁１３の側面及
びその近傍に塗布されている蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、
１４Ｂに効率的に照射される。これにより、上記した第
１の実施例に比べて表示セル１２の輝度をより高めるこ
とができる。
【００５６】上記したように、発光効率及び輝度の観点
からいえば、第２垂直部５７４及び５８４の幅は、隔壁
１３の幅と同一であるか、あるいはそれよりも狭いこと
が好ましい。隔壁１３の幅は、その底部と頂部とでは異
なるが、ここでいう隔壁１３の幅とは、前面絶縁基板３
２に接している隔壁１３の頂部の幅である。以下におい
ても、同様である。一方、製造上の観点からいえば、第
２垂直部５７４及び５８４の幅は、隔壁１３の幅の１／
２以下であることが好ましい。この理由を以下に述べ
る。前面絶縁基板および背面絶縁基板には維持電極５３
ａ及び５３ｂを形成した後に焼成工程を経ることにより
歪みが生じる。このため、前面絶縁基板側と背面絶縁基
板側とを貼り合わせ際に、前面絶縁基板側と背面絶縁基
板側との位置関係がずれる場合がある。この位置ずれが
生じ、本来、隔壁１３の上方に形成されているはずの第
２垂直部５７４及び５８４が隔壁１３の上方に存在しな
い場合には、放電の状態が変化してしまい、ＰＤＰ５１
ごとに特性がばらついてしまう。また、上記位置ずれが
生じていると、隔壁１３の近傍に強い放電が発生した場
合、放電により励起したキセノン原子等が紫外線を効率
良く発生させないため、発光効率が低下してしまう。そ
こで、第２垂直部５７４及び５８４の幅を隔壁１３の幅
の１／２以下とすることにより、前面絶縁基板と背面絶
縁基板のとの位置ずれが生じた場合でも、その位置ずれ
が行方向に対して隔壁１３の幅の１／２以内であれば、
第２垂直部５７４及び５８４の幅が隔壁１３の上方から
はずれることはない。これにより、上記位置ずれによる
影響を低減することができる。
【００５７】Ｃ．第３の実施例 次に、この発明の第３の実施例について説明する。図４
は、この発明の第３の実施例であるＰＤＰ６１の前面絶
縁基板６２（図示略）を取り除いた状態での上面図であ
る。この例のＰＤＰ６１においては、図示せぬ前面絶縁
基板６２の下面に、図４に示すように、全体として行方
向（図４において左右方向）に延びる維持電極６３ ａ及
び６３ｂが放電ギャップ６４を隔てて列方向（図４にお
いて上下方向）に所定間隔で交互に各々複数形成されて
いる。前面絶縁基板６２は、例えば、厚さ２〜５mmのソ
ーダライムガラスからなる。維持電極６３ａ及び６３ｂ
は、面放電電極対６３を構成している。維持電極６３ａ
は、主電極部６５ａと、従電極部６６ ａとから構成され
ている。同様に、維持電極６３ｂは、主電極部６５
ｂと、従電極部６６ｂとから構成されている。
【００５８】主電極部６５ａ及び６５ｂは、いずれも酸
化錫、酸化インジウム、あるいはＩＴＯ等の透明導電性
薄膜からなる。主電極部６５ａは、平行部６９１と、突
起部６９２とから構成され、主電極部６５ｂは、平行部
７０１と、突起部７０２とから構成されている。平行部
６９１及び７０１は、行方向に延びて形成されており、
その幅は、３０〜１００μm、好ましくは、４０〜８０
μmとする。突起部６９ ２は、図４に破線で囲まれた領
域で示す表示セル１２内において隣接する隔壁１３から
ほぼ等距離となる位置の上方であって、平行部６９１の
放電ギャップ６４に対向する側面と反対側の側面に平行
部６９１から突出して形成されている。同様に、突起部
７０２は、図４に破線で囲まれた領域で示す表示セル１
２内において隣接する隔壁１３からほぼ等距離となる位
置の上方であって、平行部７０１の放電ギャップ６４に
対向する側面と反対側の側面に平行部７０１から突出し
て形成されている。突起部６９２及び７０２の形状は、
行方向及び列方向の長さをとも３０〜６０μm、例え
ば、５０μmとする。この条件によれば、突起部６９２
及び７０２と後述する垂直部６７３及び６８３との電気
的接触を十分にとることができる。なお、主電極部６５
ａ及び６５ｂに突起部６９２及び７０２を設けても、上
記した第１の実施例においてストライプ状の主電極部３
５ａ及び３５ｂをパターニングする場合と同様の歩留ま
りが得られる。
【００５９】主電極部６５ａ及び６５ｂの下層には、主
電極部６５ａ及び６５ｂに対応して、従電極部６６ａ及
び６６ｂが各々複数形成されている。従電極部６６
ａは、銀の厚膜、あるいはアルミニウムや銅などの薄膜
等の金属膜からなり、第１平行部６７１と、第２平行部
６７２と、表示セル１２ごとに設けられた複数の垂直部
６７３とから構成されている。第１平行部６７１は、主
電極部６５ａと平行に主電極部６５ａと所定の距離を隔
てて行方向に延びて形成されている。第２平行部６７２
は、主電極部６５ａと第１平行部６７１との間で、主電
極部６５ａと平行に主電極部６５ａと所定の距離を隔て
て行方向に延びて形成されている。各垂直部６７３は、
第１平行部６７１及び第２平行部６７２と一体となって
形成されており、第１平行部６７１及び第２平行部６７
２と直交する列方向に主電極部６５ａに向かって延びて
各先端部の上面が主電極部６５ａの対応する突起部６９
２の下面に電気的に接触している。各垂直部６７３は、
図４に破線で囲まれた領域で示す表示セル１２内におい
て隣接する隔壁１３からほぼ等距離となる位置の上方に
形成されている。同様に、従電極部６６ｂは、銀の厚
膜、あるいはアルミニウムや銅などの薄膜等の金属膜か
らなり、第１平行部６８１と、第２平行部６８２と、表
示セル１２ごとに設けられた複数の垂直部６８３とから
構成されている。従電極部６６ａと従電極部６６ｂと
は、放電ギャップ６４の行方向の中心軸を対称線とした
線対称の関係にあるので、従電極部６６ｂの詳細な構成
については説明しない。
【００６０】第１平行部６７１及び６８１の幅は、導電
率の低い主電極部６５ａ及び６５ｂの抵抗値を小さくす
るために、好ましくは、３０〜６０μm程度とする。す
なわち、第１平行部６７１及び６８１は、従来のバス電
極と同様の機能を有している。第２平行部６７２及び６
８２、垂直部６７３及び６８３の幅は、１〜５０μm、
好ましくは、１〜３０μmとする。また、この例におい
ては、主電極部６５ａの平行部６９１と第２平行部６７
２との間隔及び、第２平行部６７２と第１平行部６７１
との間隔は、いずれも３０〜１４０μmとしている。同
様に、主電極部６５ｂの平行部７０１と第２平行部６８
２との間隔及び、第２平行部６８２と第１平行部６８１
との間隔は、いずれも３０〜１４０μmとしている。
【００６１】なお、主電極部６５ａ及び６５ｂ、従電極
部６６ａ及び６６ｂ並びにこれらが形成されていない前
面絶縁基板６２の各下面に順次形成されるべき誘電体層
及び保護層については、従来と同様であるので、その説
明を省略する。また、背面絶縁基板の上面に順次形成さ
れるべきデータ電極、誘電体層、隔壁、３種類の蛍光体
層及び放電ガス空間に充填される放電ガスについても、
従来と同様であるので、その説明を省略する。また、上
記ＰＤＰ６１を構成する維持電極６３ａ及び６３ｂの形
成方法については、主電極部６５ａ及び６５ｂ並びに従
電極部６６ａ及び６６ｂの形状が主電極部３５ａ及び３
５ｂ並びに従電極部３６ａ及び３６ｂの形状と異なるた
めに、ドライフィルム４１及び感光性銀ペースト４３を
パターニングする際のパターンの形状が異なる以外は、
上記第１の実施例の場合と略同様であるので、その説明
を省略する。
【００６２】このように、この例の構成によれば、主電
極部６５ａに突起部６９２が形成されており、金属膜か
らなる従電極部６６ａを構成する垂直部６７３の各先端
部は対応する突起部６９２の下面とのみ電気的に接触し
ている。同様に、主電極部６５ｂに突起部７０２が形成
されており、金属膜からなる従電極部６６ｂを構成する
垂直部６８３の各先端部は対応する突起部７０２の下面
とのみ電気的に接触している。したがって、この例の構
成によれば、上記した第１の実施例と比べて、可視光を
遮蔽する不透明な金属膜の面積を減らすことができるの
で、輝度をより高めることができるとともに、発光効率
もより向上させることができる。
【００６３】Ｄ．第４の実施例 次に、この発明の第４の実施例について説明する。図５
は、この発明の第４の実施例であるＰＤＰ８１の前面絶
縁基板８２（図示略）を取り除いた状態での上面図であ
る。この例のＰＤＰ８１においては、図示せぬ前面絶縁
基板８２の下面に、図５に示すように、全体として行方
向（図５において左右方向）に延びる維持電極８３ ａ及
び８３ｂが放電ギャップ８４を隔てて列方向（図５にお
いて上下方向）に所定間隔で交互に各々複数形成されて
いる。前面絶縁基板８２は、例えば、厚さ２〜５mmのソ
ーダライムガラスからなる。維持電極８３ａ及び８３ｂ
は、面放電電極対８３を構成している。維持電極８３ａ
は、主電極部８５ａと、従電極部８６ ａとから構成され
ている。同様に、維持電極８３ｂは、主電極部８５
ｂと、従電極部８６ｂとから構成されている。
【００６４】主電極部８５ａ及び８５ｂは、いずれも酸
化錫、酸化インジウム、あるいはＩＴＯ等のストライプ
状の透明導電性薄膜からなり、主電極部８５ａ及び８５
ｂの幅は、３０〜１００μm、好ましくは、４０〜８０
μmとする。主電極部８５ａ及び８５ｂの下層には、主
電極部８５ａ及び８５ｂに対応して、従電極部８６ａ及
び８６ｂが各々複数形成されている。従電極部８６
ａは、銀の厚膜、あるいはアルミニウムや銅などの薄膜
等の金属膜からなり、平行部８７１と、隔壁１３上に設
けられた複数の垂直部８７２と、表示セル１２ごとに設
けられた複数の十字状部８７３とから構成されている。
平行部８７１は、主電極部８５ａと平行に主電極部８５
ａと所定の距離を隔てて行方向に延びて形成されてい
る。各垂直部８７ ２は、平行部８７１と一体となって形
成されており、平行部８７１と直交する列方向であって
隔壁１３の上方において、主電極部８５ａに向かって延
びて各先端部の上面が主電極部８５ａの下面に電気的に
接触している。各十字状部８７３は、平行部８７１と一
体となって、図５に破線で囲まれた領域で示す表示セル
１２内において隣接する隔壁１３からほぼ等距離となる
位置の上方に形成されている。各十字状部８７３は、垂
直部８７３ａと平行部８７３ｂとから構成されている。
垂直部８７３ａは、平行部８７１と直交する列方向に主
電極部８５ａに向かって延び、先端部が主電極部８５ａ
の放電ギャップ８４に対向する側面と反対側の側面近傍
に達している。一方、平行部８７３ｂは、垂直部８７
３ａの略中央部から行方向に隣接する２本の垂直部８７
２に向かって各々延び、先端部が垂直部８７２の側面近
傍に達している。同様に、従電極部８６ｂは、銀の厚
膜、あるいはアルミニウムや銅などの薄膜等の金属膜か
らなり、平行部８８１と、隔壁１３上に設けられた複数
の垂直部８８２と、表示セル１２ごとに設けられた複数
の十字状部８８３とから構成されている。従電極部８６
ａと従電極部８６ｂとは、放電ギャップ８４の行方向の
中心軸を対称線とした線対称の関係にあるので、従電極
部８６ｂの詳細な構成については説明しない。
【００６５】平行部８７１及び８８１の幅は、導電率の
低い主電極部８５ａ及び８５ｂの抵抗値を小さくするた
めに、好ましくは、３０〜６０μm程度とする。すなわ
ち、平行部８７１及び８８１は、従来のバス電極と同様
の機能を有している。垂直部８７２及び８８２の幅は、
発光効率及び輝度の観点からいえば、隔壁１３の幅と同
一であるか、あるいはそれよりも狭いことが好ましく、
製造上の観点からいえば、隔壁１３の幅の１／２以下で
あることが好ましい。十字状部８７３及び８８ ３の幅
は、１〜５０μm、好ましくは、１〜３０μmとする。ま
た、この例においては、主電極部８５ａと平行部８７１
との間隔及び、主電極部８５ｂと平行部８８１との間隔
は、いずれも６０〜２８０μmとしている。
【００６６】なお、主電極部８５ａ及び８５ｂ、従電極
部８６ａ及び８６ｂ並びにこれらが形成されていない前
面絶縁基板８２の各下面に順次形成されるべき誘電体層
及び保護層については、従来と同様であるので、その説
明を省略する。また、背面絶縁基板の上面に順次形成さ
れるべきデータ電極、誘電体層、隔壁、３種類の蛍光体
層及び放電ガス空間に充填される放電ガスについても、
従来と同様であるので、その説明を省略する。また、上
記ＰＤＰ８１を構成する維持電極８３ａ及び８３ｂの形
成方法については、従電極部８６ａ及び８６ｂの形状が
従電極部３６ａ及び３６ｂの形状と異なるために、感光
性銀ペースト４３をパターニングする際のパターンの形
状が異なる以外は、上記第１の実施例の場合と略同様で
あるので、その説明を省略する。
【００６７】このように、この例の構成によれば、上記
した第２の実施例とは異なり、十字状部８７３は、垂直
部８７３ａの先端部の上面が主電極部８５ａの下面に電
気的に接触せず、平行部８７３ｂの先端部が隣接する垂
直部８７２の側面に電気的に接触していない。同様に、
十字状部８８３は、垂直部８８３ａの先端部の上面は主
電極部８５ｂの下面に電気的に接触せず、平行部８８
３ｂの先端部が隣接する垂直部８８２の側面に電気的に
接触していない。したがって、この例の構成によれば、
上記した第２の実施例と比べて、可視光を遮蔽する不透
明な金属膜の面積を減らすことができるので、輝度をよ
り高めることができるとともに、発光効率もより向上さ
せることができる。
【００６８】Ｅ．第５の実施例 次に、この発明の第５の実施例について説明する。図６
は、この発明の第５の実施例であるＰＤＰ９１の前面絶
縁基板９２（図示略）を取り除いた状態での上面図であ
る。この例のＰＤＰ９１においては、図示せぬ前面絶縁
基板３２の下面に、図１に示すように、全体として行方
向（図６において左右方向）に延びる維持電極９３ ａ及
び９３ｂが放電ギャップ９４を隔てて列方向（図６にお
いて上下方向）に所定間隔で交互に各々複数形成されて
いる。前面絶縁基板９２は、例えば、厚さ２〜５mmのソ
ーダライムガラスからなる。維持電極９３ａ及び９３ｂ
は、面放電電極対９３を構成している。維持電極９３ａ
は、主電極部９５ａと、従電極部９６ ａとから構成され
ている。同様に、維持電極９３ｂは、主電極部９５
ｂと、従電極部９６ｂとから構成されている。
【００６９】主電極部９５ａ及び９５ｂは、いずれも酸
化錫、酸化インジウム、あるいはＩＴＯ等のストライプ
状の透明導電性薄膜からなり、主電極部９５ａ及び９５
ｂの幅は、３０〜１００μm、好ましくは、４０〜８０
μmとする。主電極部９５ａ及び９５ｂの下層には、主
電極部９５ａ及び９５ｂに対応して、従電極部９６ａ及
び９６ｂ並びにバス電極部９８ａ及び９８ｂが各々複数
形成されている。従電極部９６ａは、銀の厚膜、あるい
はアルミニウムや銅などの薄膜等の金属膜からなり、第
１平行部９７１と、第２平行部９７２と、表示セル１２
ごとに設けられた複数の垂直部９７３とから構成されて
いる。第１平行部９７１は、主電極部９５ ａと平行に主
電極部９５ａと所定の距離を隔てて行方向に延びて形成
されている。第２平行部９７２は、主電極部９５ａと第
１平行部９７１との間で、主電極部９５ａと平行に主電
極部９５ａと所定の距離を隔てて行方向に延びて形成さ
れている。各垂直部９７３は、第１平行部９７１及び第
２平行部９７２と一体となって形成されており、第１平
行部９７１及び第２平行部９７２と直交する列方向に主
電極部９５ａに向かって延びて各先端部の上面が主電極
部９５ａの下面に電気的に接触している。各垂直部９７
は、図６に破線で囲まれた領域で示す表示セル１２内に
おいて隣接する隔壁１３からほぼ等距離となる位置の上
方に形成されている。また、バス電極部９８ａは、銀の
厚膜、あるいはアルミニウムや銅などの薄膜等の金属膜
からなり、従電極部９６ａと一体となって形成されてお
り、平行部９９１と、隔壁１３の上方に設けられた複数
の垂直部９９２とから構成されている。平行部９９
１は、第１平行部９７１と平行に、第１平行部９７１か
らは放電が及ばない程度の所定の距離を隔てて行方向に
延びて形成されている。各垂直部９９２は、第１平行部
９７１、第２平行部９７２及び平行部９９１と一体とな
って形成されており、第１平行部９７１、第２平行部９
７２及び平行部９９１と直交する列方向に第１平行部９
７１に向かって延びて先端部が第１平行部９７１に電気
的に接触している。同様に、従電極部９６ｂは、銀の厚
膜、あるいはアルミニウムや銅などの薄膜等の金属膜か
らなり、第１平行部１００１と、第２平行部１００
２と、表示セル１２ごとに設けられた複数の垂直部１０
０３とから構成されている。さらに、バス電極部９８ｂ
は、銀の厚膜、あるいはアルミニウムや銅などの薄膜等
の金属膜からなり、従電極部９６ｂと一体となって形成
されており、平行部１０１１と、隔壁１３の上方に設け
られた複数の垂直部１０１２とから構成されている。従
電極部９６ａと従電極部９６ｂとは、放電ギャップ９４
の行方向の中心軸を対称線とした線対称の関係にあるの
で、従電極部９６ｂの詳細な構成については説明しな
い。同様に、バス電極部９８ａとバス電極部９８ｂと
は、放電ギャップ９４の行方向の中心軸を対称線とした
線対称の関係にあるので、バス電極部９８ｂの詳細な構
成については説明しない。
【００７０】第１平行部９７１及び１００１、第２平行
部９７２及び１００２、垂直部９７ ３及び１００３の幅
は、１〜５０μm、好ましくは、１〜３０μmとする。ま
た、この例においては、主電極部９５ａと第２平行部９
７２との間隔及び、第２平行部９７２と第１平行部９７
１との間隔は、いずれも３０〜１４０μmとしている。
同様に、主電極部９５ｂと第２平行部１００２との間隔
及び、第２平行部１００２と第１平行部１００１との間
隔は、いずれも３０〜１４０μmとしている。一方、バ
ス電極部９８ａ及び９８ｂを構成する平行部９９１及び
１０１１の幅は、導電率の低い主電極部９５ａ及び９５
ｂの抵抗値を小さくするために、好ましくは、３０〜６
０μm程度とする。
【００７１】なお、主電極部９５ａ及び９５ｂ、従電極
部９６ａ及び９６ｂ、バス電極部９８ａ及び９８ｂ並び
にこれらが形成されていない前面絶縁基板９２の各下面
に順次形成されるべき誘電体層及び保護層については、
従来と同様であるので、その説明を省略する。また、背
面絶縁基板の上面に順次形成されるべきデータ電極、誘
電体層、隔壁、３種類の蛍光体層及び放電ガス空間に充
填される放電ガスについても、従来と同様であるので、
その説明を省略する。また、上記ＰＤＰ９１を構成する
維持電極８３ａ及び８３ｂ並びにバス電極部９８ａ及び
９８ｂの形成方法については、従電極部８６ａ及び８６
ｂの形状が従電極部３６ａ及び３６ｂの形状と異なると
ともに、バス電極部９８ａ及び９８ｂが設けられている
ために、感光性銀ペースト４３をパターニングする際の
パターンの形状が異なる以外は、上記第１の実施例の場
合と略同様であるので、その説明を省略する。
【００７２】このように、この例の構成によれば、バス
電極部９８ａ及び９８ｂを設けたので、上記した第１の
実施例によって得られる効果に加えて以下に示す効果が
得られる。すなわち、バス電極部９８ａ及び９８ｂを構
成する平行部９９１及び１０１１によって導伝率の低い
主電極部９５ａ及び９５ｂの抵抗値を小さくしているた
め、第１平行部９７１及び１００１によって抵抗値を下
げる必要がなくなる。これにより、第１平行部９７１及
び１００１の幅を放電が第１平行部９７１及び１００１
まで拡散するために必要な幅以上に大きくする必要がな
くなる。したがって、この例の構成によれば、上記した
第１の実施例と比べて、可視光を遮蔽する不透明な金属
膜の面積を減らすことができるので、輝度をより高める
ことができるとともに、発光効率もより向上させること
ができる。
【００７３】以上、この発明の実施例を図面を参照して
詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られる
ものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計
の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば、上述
の第１の実施例においては、図２に示すように、主電極
部３５ａ及び３５ｂを形成した後に従電極部３６ａ及び
３６ｂを形成する例を示したが、これに限定されず、従
電極部３６ａ及び３６ｂを形成した後に主電極部３５ａ
及び３５ｂを形成するようにしても良い。他の実施例に
おいても同様である。また、上述の第１の実施例におい
ては、従電極部３６ａ及び３６ｂを感光性銀ペーストを
パターニングして形成する例を示したが、これに限定さ
れず、銀ペーストをパターニングした後、焼成すること
により形成しても良い。他の実施例においても同様であ
る。従電極部３６ａ及び３６ｂを銀ペーストをパターニ
ングして形成した場合には、従電極部３６ａ及び３６ｂ
を感光性銀ペーストをパターニングして形成する場合に
比べて、工程が簡略化される、材料の利用率が向上する
といった利点がある。また、上述の各実施例は、その目
的及び構成等に特に矛盾や問題がない限り、互いの技術
を流用することができる。例えば、第５の実施例におけ
るバス電極部９８ａ及び９８ｂは、他の実施例の従電極
部と一体に形成しても良い。
【００７４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の構成に
よれば、高画質化と低消費電力化とをともに実現するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施例であるＡＣ駆動面放電
型のＰＤＰ３１の前面絶縁基板３２を取り除いた状態で
の上面図である。
【図２】同ＰＤＰ３１を構成する維持電極３３ａ及び３
３ｂの形成方法を説明するための工程図である。
【図３】この発明の第２の実施例であるＡＣ駆動面放電
型のＰＤＰ５１の前面絶縁基板５２を取り除いた状態で
の上面図である。
【図４】この発明の第３の実施例であるＡＣ駆動面放電
型のＰＤＰ６１の前面絶縁基板６２を取り除いた状態で
の上面図である。
【図５】この発明の第４の実施例であるＡＣ駆動面放電
型のＰＤＰ８１の前面絶縁基板８２を取り除いた状態で
の上面図である。
【図６】この発明の第５の実施例であるＡＣ駆動面放電
型のＰＤＰ９１の前面絶縁基板９２を取り除いた状態で
の上面図である。
【図７】従来のＡＣ駆動面放電型のＰＤＰ１の概略構成
を分解し、かつ、前面絶縁基板２の一部を切り欠いて示
す分解斜視図である。
【図８】同ＰＤＰ１の前面絶縁基板２を取り除いた状態
での上面図である。
【図９】図８のＡ−Ａ'断面を拡大して示す拡大断面図
である。
【図１０】同ＰＤＰ１を構成する維持電極３ａ及び３ｂ
並びにバス電極５ａ及び５ｂの形成方法を説明するため
の工程図である。
【符号の説明】
１２ 表示セル １３ 隔壁 ３１，５１，６１，８１，９１ ＰＤＰ ３２，５２，６２，８２，９２ 前面絶縁基板 ３３，５３，６３，８３，９３ 面放電電極対 ３３ａ，３３ｂ，５３ａ，５３ｂ，６３ａ，６３ｂ，８
３ａ，８３ｂ，９３ａ，９３ｂ 維持電極 ３４，５４，６４，８４，９４ 放電ギャップ ３５ａ，３５ｂ，５５ａ，５５ｂ，６５ａ，６５ｂ，８
５ａ，８５ｂ，９５ａ，９５ｂ 主電極部 ３６ａ，３６ｂ，５６ａ，５６ｂ，６６ａ，６６ｂ，８
６ａ，８６ｂ，９６ａ，９６ｂ 従電極部 ３７１，３８１，５７１，５８１，６７１，６８１，９
７１，１００１ 第１平行部 ３７２，３８２，５７２，５８２，６７２，６８２，９
７２，１００２ 第２平行部 ３７３，３８３，６７３，６８３，８７２，８８２，９
７３，９９２，１００ ３，１０１２ 垂直部 ４１ ドライフィルム ４２ 透明導電性薄膜 ４３ 感光性銀ペースト ５７３，５８３ 第１垂直部 ５７４，５８４ 第２垂直部 ６９１，７０１，８７１，８８１，９９１，１０１１
平行部 ６９２，７０２ 突起部 ８７３，８８３ 十字状部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5C027 AA01 AA02 5C040 FA01 FA04 GB03 GB11 GB14 GC02 GC06 GC11 GC19 JA15 JA21 KA16 LA10 LA12 LA14 MA03 MA12

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 放電ギャップを隔てて行方向に延びる一
    対の維持電極により構成され、列方向に所定間隔で形成
    された複数の面放電電極対を備え、 前記各維持電極は、透明導電性薄膜からなり、前記放電
    ギャップに面して形成された略ストライプ状の主電極部
    と、前記主電極部より幅の狭い金属膜からなり、対応す
    る前記主電極部の前記放電ギャップ側と反対側に形成さ
    れた従電極部とから構成されていることを特徴とするプ
    ラズマディスプレイパネル。
  2. 【請求項２】 前記従電極部は、前記維持電極と所定の
    距離を隔てて行方向に延びて形成された第１平行部と、
    前記維持電極と前記第１平行部との間で前記第１平行部
    と所定の距離を隔てて行方向に延びて形成された第２平
    行部とを有することを特徴とする請求項１記載のプラズ
    マディスプレイパネル。
  3. 【請求項３】 前記従電極部は、各表示セルを区切るた
    めに列方向に延びる隣接する隔壁からほぼ等距離となる
    位置で列方向に前記維持電極に向かって延びて先端部が
    前記維持電極に電気的に接触するように前記第１平行部
    及び前記第２平行部と一体となって形成された垂直部を
    有することを特徴とする請求項２記載のプラズマディス
    プレイパネル。
  4. 【請求項４】 前記従電極部は、各表示セルを区切るた
    めに列方向に延びる隣接する隔壁からほぼ等距離となる
    位置で列方向に前記維持電極に向かって延びて先端部が
    前記維持電極に電気的に接触するように前記第１平行部
    及び前記第２平行部と一体となって形成された第１垂直
    部と、前記隔壁の上方で、列方向に前記維持電極に向か
    って延びて先端部が前記維持電極に電気的に接触するよ
    うに前記第１水平部及び前記第２水平部と一体となって
    形成された第２垂直部とを有することを特徴とする請求
    項２記載のプラズマディスプレイパネル。
  5. 【請求項５】 前記第２垂直部の幅は、前記隔壁の幅と
    同一であるか、あるいはそれよりも狭いことを特徴とす
    る請求項４記載のプラズマディスプレイパネル。
  6. 【請求項６】 前記第２垂直部の幅は、前記隔壁の幅の
    １／２以下であることを特徴とする請求項４記載のプラ
    ズマディスプレイパネル。
  7. 【請求項７】 前記第２平行部の幅は、１〜５０μmで
    あることを特徴とする請求項２乃至６のいずれか１に記
    載のプラズマディスプレイパネル。
  8. 【請求項８】 前記第２平行部の幅は、１〜３０μmで
    あることを特徴とする請求項２乃至６のいずれか１に記
    載のプラズマディスプレイパネル。
  9. 【請求項９】 前記第１垂直部の幅は、１〜５０μmで
    あることを特徴とする請求項４乃至８のいずれか１に記
    載のプラズマディスプレイパネル。
  10. 【請求項１０】 前記第１垂直部の幅は、１〜３０μm
    であることを特徴とする請求項４乃至８のいずれか１に
    記載のプラズマディスプレイパネル。
  11. 【請求項１１】 前記主電極部は、行方向に延びて形成
    された主電極平行部と、各表示セルを区切るために列方
    向に延びる隣接する隔壁からほぼ等距離となる位置で前
    記主電極平行部の放電ギャップ側と反対側に前記主電極
    平行部から突出して形成された主電極突起部とからな
    り、 前記第１垂直部は、前記第１平行部及び前記第２平行部
    と直交する列方向に前記主電極部に向かって延びて先端
    部が対応する前記主電極突起部に電気的に接触するよう
    に前記第１平行部及び前記第２平行部と一体となって形
    成されていることを特徴とする請求項４乃至１０のいず
    れか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
  12. 【請求項１２】 前記主電極突起部は、行方向及び列方
    向の長さは、とも３０〜６０μmであることを特徴とす
    る請求項１１記載のプラズマディスプレイパネル。
  13. 【請求項１３】 前記従電極部は、 前記維持電極と所定の距離を隔てて行方向に延びて形成
    された第１平行部と、 各表示セルを区切るために列方向に延びる各隔壁の上方
    で、列方向に前記維持電極に向かって延びて先端部が前
    記主電極部に電気的に接触するように前記第１平行部と
    一体となって形成された第１垂直部と、 隣接する隔壁からほぼ等距離となる位置において、列方
    向に前記維持電極に向かって延び、先端部が前記維持電
    極の側面近傍に達する第２垂直部と、前記第２垂直部の
    略中央部から行方向に隣接する前記第１垂直部に向かっ
    て各々延び、各先端部が隣接する前記第１垂直部の側面
    近傍に達する第２平行部とからなり、前記第１水平部と
    一体となって形成された十字状部とを有することを特徴
    とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
  14. 【請求項１４】 前記第１垂直部の幅は、前記隔壁の幅
    と同一であるか、あるいはそれよりも狭いことを特徴と
    する請求項１３記載のプラズマディスプレイパネル。
  15. 【請求項１５】 前記第１垂直部の幅は、前記隔壁の幅
    の１／２以下であることを特徴とする請求項１３記載の
    プラズマディスプレイパネル。
  16. 【請求項１６】 前記第１平行部と平行に、前記第１平
    行部からは放電が及ばない程度の所定の距離を隔てて行
    方向に延びて形成されたバス電極水平部と、前記第１平
    行部及び前記バス電極平行部と直交する列方向に前記第
    １平行部に向かって延びて先端部が前記第１水平部に電
    気的に接触して形成されたバス電極垂直部とからなり、
    前記従電極部と一体となって形成されたバス電極部を有
    することを特徴とする請求項２乃至１５のいずれか１に
    記載のプラズマディスプレイパネル。
  17. 【請求項１７】 前記主電極部の幅は、３０〜１００μ
    mであることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、
    ６、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５又は
    １６のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネ
    ル。
  18. 【請求項１８】 前記主電極部の幅は、４０〜８０μm
    であることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、
    ６、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５又は
    １６のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネ
    ル。
  19. 【請求項１９】 前記第１及び第２の平行部の幅は、３
    ０〜１００μmであることを特徴とする請求項１１、１
    ２又は１６記載のプラズマディスプレイパネル。
  20. 【請求項２０】 前記第１及び第２の平行部の幅は、４
    ０〜８０μmであることを特徴とする請求項１１、１２
    又は１６記載のプラズマディスプレイパネル。
  21. 【請求項２１】 前記第１平行部の幅は、３０〜６０μ
    mであることを特徴とする請求項２乃至２０のいずれか
    １に記載のプラズマディスプレイパネル。
  22. 【請求項２２】 前記主電極部と前記第２平行部との間
    隔及び、前記第２平行部と前記第１平行部との間隔は、
    いずれも３０〜１４０μmであることを特徴とする請求
    項２乃至２１のいずれか１に記載のプラズマディスプレ
    イパネル。
  23. 【請求項２３】 請求項１乃至２２のいずれか１に記載
    のプラズマディスプレイパネルを製造するプラズマディ
    スプレイパネルの製造方法であって、 前面絶縁基板上又は前記複数の面放電電極対が形成され
    た後の前面絶縁基板上に感光性銀ペーストを積層する第
    １の工程と、 前記感光性銀ペーストを露光及び現像し、前記感光性銀
    ペーストをパターニングした後、焼成することにより、
    前記従電極部を形成する第２の工程とを有することを特
    徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
  24. 【請求項２４】 請求項１乃至２２のいずれか１に記載
    のプラズマディスプレイパネルを製造するプラズマディ
    スプレイパネルの製造方法であって、 前面絶縁基板上又は前記複数の面放電電極対が形成され
    た後の前面絶縁基板上に銀ペーストを積層する第１の工
    程と、 前記銀ペーストをパターニングした後、焼成することに
    より、前記従電極部を形成する第２の工程とを有するこ
    とを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方
    法。
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