JP2003004766A - Probe support and probe unit - Google Patents
Probe support and probe unitInfo
- Publication number
- JP2003004766A JP2003004766A JP2001191872A JP2001191872A JP2003004766A JP 2003004766 A JP2003004766 A JP 2003004766A JP 2001191872 A JP2001191872 A JP 2001191872A JP 2001191872 A JP2001191872 A JP 2001191872A JP 2003004766 A JP2003004766 A JP 2003004766A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- support
- support hole
- hole
- conductive contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はプローブ支持体及び
プローブユニットに係り、特に、検査対象に対して電気
的に接触すべきプローブ（探針）を備えた検査用プロー
ブユニット、或いは、プローブを支持するためのプロー
ブ支持体として好適な構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe support and a probe unit, and more particularly, to an inspection probe unit including a probe (probe) to be electrically contacted with an inspection target or a probe support. A structure suitable as a probe support for
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、各種電子部品や電子機器の電気
的試験等を行う検査装置には、検査対象に対して電気的
な接触を得るためのプローブ（探針）が用いられる。こ
の検査装置には１又は複数のプローブが所定の姿勢で取
り付けられ、このプローブには、電気信号を取り出した
り電力を供給したりするための電気配線が接続される。
上記検査装置は、検査対象上に形成された導電パッドや
配線ライン等に対して、プローブの先端を電気的に良好
なコンタクトを取ることが可能な所定圧力で圧接するよ
うに構成されている。2. Description of the Related Art Generally, a probe (probe) for making electrical contact with an object to be inspected is used in an inspection apparatus for conducting an electrical test of various electronic components and electronic devices. One or a plurality of probes are attached to the inspection device in a predetermined posture, and electric wires for extracting an electric signal and supplying electric power are connected to the probe.
The inspection device is configured to press the tip of the probe against a conductive pad, a wiring line, or the like formed on the inspection target with a predetermined pressure capable of making an electrically good contact.
【０００３】図６には、上記従来の検査装置に取り付け
られるプローブヘッド１０の構造の一例を示す。このプ
ローブヘッド１０は、支持ブロック１１の下部に一対の
取付板１２，１２が固定され、これらの取付板１２には
それぞれ樹脂製のホルダ１３，１３が取り付けられてい
る。ホルダ１３にはピン状のプローブ１５がボルト１４
を締め付けることによって挟持されている。FIG. 6 shows an example of the structure of the probe head 10 attached to the conventional inspection apparatus. In this probe head 10, a pair of mounting plates 12 and 12 are fixed to the lower portion of a support block 11, and resin holders 13 and 13 are mounted to these mounting plates 12, respectively. A pin-shaped probe 15 is attached to the holder 13 by a bolt 14
It is clamped by tightening.
【０００４】図７はホルダ１３の構造を示す概略斜視図
である。ホルダ１３は第１ホルダ部材１３Ａ及び第２ホ
ルダ部材１３Ｂからなり、第１ホルダ部材１３Ａの前面
にはＶ溝１３ａが形成され、第２ホルダ部材１３Ｂの背
面にもＶ溝１３ｂが形成されている。ここで、第２ホル
ダ部材１３Ｂは上記取付板１２に固定される。また、第
１ホルダ部材１３Ａには複数の貫通孔１３ｃが形成さ
れ、この貫通孔１３ｃに対応する第２ホルダ部材１３Ｂ
の位置に複数の貫通孔１３ｄが形成されている。プロー
ブ１５は上記Ｖ溝１３ａ，１３ｂ内を通過するように配
置され、ボルト１４を貫通孔１３ｃ及び１３ｄに挿通さ
せて上記取付板に形成されたネジ穴にねじ込んでいくこ
とによりプローブ１５が第１ホルダ部材１３Ａと第２ホ
ルダ部材１３Ｂとの間に挟持されるようになっている。FIG. 7 is a schematic perspective view showing the structure of the holder 13. The holder 13 includes a first holder member 13A and a second holder member 13B, a V groove 13a is formed on the front surface of the first holder member 13A, and a V groove 13b is formed on the back surface of the second holder member 13B. . Here, the second holder member 13B is fixed to the mounting plate 12. Further, a plurality of through holes 13c are formed in the first holder member 13A, and the second holder member 13B corresponding to the through holes 13c.
A plurality of through holes 13d are formed at the positions. The probe 15 is arranged so as to pass through the V grooves 13a and 13b, and the bolt 15 is inserted into the through holes 13c and 13d and screwed into the screw hole formed in the mounting plate, whereby the probe 15 is moved to the first position. It is designed to be sandwiched between the holder member 13A and the second holder member 13B.
【０００５】図８は、上記とは別のプローブ構造を有す
る従来のプローブ体２０の構造を示す断面図である。こ
のプローブ体２０は、プローブ２１と、このプローブ２
１の基部を軸線方向に出し入れ自在に受け入れたシリン
ダ２２と、シリンダ２２内においてプローブ２１の基部
に当接するように収容されたコイルバネ２３と、コイル
バネ２３のもう一方の端部に当接する導電ボール２４と
を備えている。プローブ２１の先端２１ａは導電パッド
などに対する電気コンタクト性に適した形状（例えば尖
鋭形状）を備えている。プローブ２１はコイルバネ２３
の弾性力によって常にシリンダ２２から突出するように
付勢され、この弾性力によって検査対象の導電パッドに
先端２１ａが圧接するようになっている。導電ボール２
４はコイルバネ２３を介してプローブ２１に導電接続さ
れているので、導電ボール２４に図示しない端子を接触
させることによって電気信号を取り出し、或いは、電力
をプローブ２１に供給することができるように構成され
ている。FIG. 8 is a sectional view showing the structure of a conventional probe body 20 having a probe structure different from that described above. This probe body 20 includes a probe 21 and this probe 2
Cylinder 22 that receives the base of No. 1 so as to be freely taken out and put in the axial direction, coil spring 23 accommodated in cylinder 22 so as to abut on the base of probe 21, and conductive ball 24 that abuts on the other end of coil spring 23. It has and. The tip 21a of the probe 21 has a shape (for example, a sharp shape) suitable for electrical contact with a conductive pad or the like. The probe 21 is a coil spring 23.
Is always urged to protrude from the cylinder 22, and the elastic force causes the tip 21a to come into pressure contact with the conductive pad to be inspected. Conductive ball 2
Since 4 is conductively connected to the probe 21 via the coil spring 23, it is configured so that an electric signal can be taken out or electric power can be supplied to the probe 21 by bringing a terminal (not shown) into contact with the conductive ball 24. ing.
【０００６】図９は、従来のさらに別のプローブ体３０
の構造を示す部分斜視図である。このプローブ体３０
は、絶縁板３１と導電材からなる板状のプローブ３２と
を交互に重ねるように固定したものであり、各プローブ
３２の先端３２ａが検査対象に導電接触するようになっ
ている。FIG. 9 shows another conventional probe body 30.
3 is a partial perspective view showing the structure of FIG. This probe body 30
Is a structure in which insulating plates 31 and plate-shaped probes 32 made of a conductive material are fixed so as to be alternately stacked, and the tips 32a of the probes 32 are brought into conductive contact with an inspection target.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
各プローブにおいては、以下のような問題点がある。However, each of the above probes has the following problems.
【０００８】（１）図６及び図７に示すプローブヘッド
１０においては、第１ホルダ部材１３Ａと第２ホルダ部
材１３Ｂとによって挟持されたプローブ１５の位置及び
方向を調整する場合には、ボルト１４の締付具合を調節
しながらプローブ１５の位置及び方向を変え、プローブ
１５の位置及び方向が良好になったところでボルト１４
を締め付けるという作業が必要であり、プローブ１５の
先端１５ａを精度良く位置決めすることが難しい。ま
た、プローブ１５を交換する場合にはボルト１４を取り
外して元のプローブ１５を除去し、新たなプローブ１５
を第１ホルダ部材１３Ａと第２ホルダ部材１３Ｂとの間
に挟持した状態でボルト１４を締め付け直す必要がある
ため、プローブ１５の着脱作業が煩雑で、位置調整もや
り直さなければならない。(1) In the probe head 10 shown in FIGS. 6 and 7, when adjusting the position and direction of the probe 15 sandwiched between the first holder member 13A and the second holder member 13B, the bolt 14 is used. The position and direction of the probe 15 are changed while adjusting the tightening degree of the bolt 15, and when the position and direction of the probe 15 are improved, the bolt 14
The work of tightening is required, and it is difficult to position the tip 15a of the probe 15 with high accuracy. When replacing the probe 15, the bolt 14 is removed to remove the original probe 15, and a new probe 15
Since it is necessary to re-tighten the bolt 14 while sandwiching between the first holder member 13A and the second holder member 13B, the work of attaching and detaching the probe 15 is complicated and the position adjustment must be redone.
【０００９】（２）図８に示すプローブ体２０において
は、プローブ２１が摺動するシリンダ構造を有するため
に、構造が複雑でコスト高であるとともにシリンダ構造
の耐久性に難があり、さらに、コイルバネ等を介して配
線を接続するのでノイズが重畳しやすく電気信号の検出
精度が低い。(2) Since the probe body 20 shown in FIG. 8 has a cylinder structure in which the probe 21 slides, the structure is complicated and the cost is high, and the durability of the cylinder structure is poor. Since the wiring is connected via a coil spring or the like, noise is likely to be superimposed and the detection accuracy of the electric signal is low.
【００１０】（３）図９に示す板状のプローブを用いる
場合には、絶縁板３１の厚さによって各プローブの先端
の間隔や位置が定まるので、プローブ位置の調整を行う
ことは実質的に不可能であり、検査対象毎に絶縁板３１
の厚さやプローブ３２の形状などを設計し、プローブ体
を新たに製作し直す必要がある。(3) When the plate-shaped probe shown in FIG. 9 is used, the distance and position of the tip of each probe are determined by the thickness of the insulating plate 31, so it is practical to adjust the probe position. Insulation plate 31 for each inspection target
It is necessary to design the thickness of the probe and the shape of the probe 32 and remanufacture the probe body.
【００１１】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、プローブの位置調整作業を容易に
行うことができる新たなプローブユニット構造を提供す
ることにある。また、プローブを容易に交換可能な構造
を提供することにある。Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide a new probe unit structure capable of easily performing the position adjustment work of the probe. Another object is to provide a structure in which the probe can be easily replaced.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のプローブ支持体は、プローブの押圧方向に対
して斜めにプローブを取り付けるためのプローブ支持体
であって、前記プローブを挿入可能な支持孔（貫通した
孔）若しくは支持穴（底のある穴、止め穴）が形成され
てなることを特徴とする。In order to solve the above problems, a probe support of the present invention is a probe support for mounting a probe obliquely with respect to the pressing direction of the probe, and the probe can be inserted therein. Or a supporting hole (a hole having a bottom or a stop hole) is formed.
【００１３】この発明によれば、支持孔若しくは支持穴
にプローブを挿入した状態で、プローブ先端位置や方向
を調整することができるので、支持孔若しくは支持穴に
支持されたプローブに対して作業を行えばよいから、調
整作業を容易に行うことが可能になる。この場合、支持
孔若しくは支持穴にプローブを挿入し、その位置や方向
を調整した後、このプローブ支持体とプローブとを溶
着、接着、ボルト締めなどの任意の手段によって固定す
ることが可能である。According to the present invention, since the position and direction of the probe tip can be adjusted while the probe is inserted into the support hole or the support hole, work can be performed on the support hole or the probe supported by the support hole. Since it suffices to perform it, the adjustment work can be easily performed. In this case, it is possible to insert the probe into the support hole or the support hole, adjust the position and the direction thereof, and then fix the probe support and the probe by any means such as welding, adhesion, and bolting. .
【００１４】本発明において、前記支持孔若しくは前記
支持穴の開口外側に、前記支持孔若しくは前記支持穴の
軸線方向に沿った支持面が設けられていることが好まし
い。支持孔若しくは支持穴の開口外側にその軸線方向に
沿った支持面が設けられていることにより、プローブを
支持孔若しくは支持穴に挿入した後に、プローブの軸部
を支持面上で移動させることによりプローブの位置や方
向の調整作業を容易に行うことができるとともに、調整
作業後にプローブを支持面に対して容易かつ強固に固定
することができるようになる。In the present invention, it is preferable that a support surface is provided outside the opening of the support hole or the support hole and along the axial direction of the support hole or the support hole. By providing the support hole or the support surface along the axial direction on the outside of the opening of the support hole, by inserting the probe into the support hole or the support hole, the shaft portion of the probe can be moved on the support surface. The position and direction of the probe can be easily adjusted, and the probe can be easily and firmly fixed to the support surface after the adjustment.
【００１５】本発明において、前記支持面上には、前記
プローブが配置されるべき部位に隣接した位置に突起部
が設けられていることが好ましい。プローブ支持体にプ
ローブを装着すると、支持面上のプローブに隣接した位
置に突起部が配置されていることにより、突起部によっ
てプローブの概略の方向を規制することが可能であり、
或いは、半田や接着剤等の硬化材によってプローブを固
着させる場合に、硬化材をプローブと突起部の双方にか
かるように塗布することにより、プローブの固着強度を
高めることが可能になる。In the present invention, it is preferable that a protrusion is provided on the support surface at a position adjacent to a portion where the probe is to be arranged. When the probe is mounted on the probe support, since the protrusion is arranged at a position adjacent to the probe on the support surface, it is possible to regulate the approximate direction of the probe by the protrusion,
Alternatively, when the probe is fixed with a hardening material such as solder or an adhesive, the hardening strength of the probe can be increased by applying the hardening material to both the probe and the protrusion.
【００１６】本発明において、前記支持面は、前記支持
孔若しくは前記支持穴が設けられた支持基材の表面上に
取り付けられたスペーサの表面により構成されているこ
とが好ましい。支持面がスペーサにより構成されている
ことにより、支持基材における支持孔若しくは支持穴を
設けるべき部分と、スペーサが取り付けられる支持基材
の表面との間に十分な段差量を形成することが可能にな
るので、この段差量によりドリルなどの穿孔工具を接近
させるための空間を確保できるから、支持孔若しくは支
持穴を容易に加工することができるようになる。In the present invention, it is preferable that the supporting surface is constituted by the supporting hole or the surface of a spacer attached on the surface of the supporting base material provided with the supporting hole. Since the supporting surface is composed of the spacer, it is possible to form a sufficient step difference between the portion of the supporting base material where the supporting hole or the supporting hole is to be provided and the surface of the supporting base material to which the spacer is attached. Therefore, a space for approaching a drilling tool such as a drill can be secured by this step difference amount, so that the support hole or the support hole can be easily processed.
【００１７】本発明において、前記支持孔若しくは支持
穴に挿入された前記プローブに対して接触可能な位置に
臨む導電接触部が設けられていることが好ましい。この
手段によれば、支持孔若しくは支持穴にプローブを挿入
した状態で導電接触部をプローブに接触させることがで
きるように構成されているので、プローブ支持体にプロ
ーブを装着させた後に、プローブと導電接触部とを半田
等によって固着させるだけで取り付け作業を完了させる
ことができる。In the present invention, it is preferable that a conductive contact portion is provided which faces a position capable of contacting the support hole or the probe inserted in the support hole. According to this means, since the conductive contact portion can be brought into contact with the probe in a state where the probe is inserted into the support hole or the support hole, after the probe is mounted on the probe support, The attachment work can be completed only by fixing the conductive contact portion with solder or the like.
【００１８】本発明において、前記導電接触部が、前記
支持孔若しくは前記支持穴よりも、前記プローブが前記
支持孔若しくは前記支持穴に挿入された場合における前
記プローブの先端の側に配置されていることが好まし
い。この手段によれば、支持孔若しくは支持穴よりもプ
ローブの先端の側において導電接触部がプローブに接触
するように構成されていることにより、プローブ電位を
導電接触部から取り出す場合に、プローブの先端から導
電接触部までの距離を短くすることができるので、プロ
ーブのアンテナ効果によって検出信号に重畳するノイズ
を低減することができる。In the present invention, the conductive contact portion is arranged on the side of the tip of the probe when the probe is inserted into the support hole or the support hole, rather than the support hole or the support hole. It is preferable. According to this means, the conductive contact portion is configured to come into contact with the probe on the side of the support hole or the tip of the probe with respect to the support hole. Therefore, when the probe potential is taken out from the conductive contact portion, the tip of the probe is Since it is possible to shorten the distance from to the conductive contact portion, it is possible to reduce noise superimposed on the detection signal due to the antenna effect of the probe.
【００１９】次に、本発明のプローブユニットは、プロ
ーブの押圧方向に対して斜めにプローブを取り付けたプ
ローブユニットであって、プローブ支持体に支持孔若し
くは支持穴が形成され、前記支持孔若しくは支持穴に対
して前記プローブがその先端を突出させた状態で導入さ
れ、前記プローブ支持体と前記プローブとが固定されて
なることを特徴とする。Next, the probe unit of the present invention is a probe unit in which the probe is attached obliquely to the pressing direction of the probe, and the support hole or the support hole is formed in the probe support, and the support hole or the support hole is formed. The probe is introduced into the hole with its tip protruding, and the probe support and the probe are fixed.
【００２０】本発明において、前記プローブ支持体と前
記プローブとが、流動状態から硬化されてなる硬化物質
により固着されていることが好ましい。硬化物質により
プローブ支持体とプローブとが固着されることにより、
プローブの位置及び方向を調整した状態のまま流動状態
の硬化物質を塗布し、硬化させることによって精度良く
プローブを固定することができる。In the present invention, it is preferable that the probe support and the probe are fixed to each other by a curable substance that is cured from a fluid state. By fixing the probe support and the probe with the curing substance,
The probe can be fixed with high accuracy by applying a curable substance in a fluid state and curing it while the position and direction of the probe are adjusted.
【００２１】本発明において、前記硬化物質が樹脂であ
る場合がある。また、前記硬化物質が低融点合金（半
田、鉛フリー半田など）である場合もある。In the present invention, the curable substance may be a resin. Further, the hardened material may be a low melting point alloy (solder, lead-free solder, etc.).
【００２２】本発明において、前記プローブが前記支持
孔を貫通した状態とされ、前記プローブが前記支持孔の
軸線方向両側において共に前記プローブ支持体に固着さ
れていることが好ましい。プローブが支持孔を貫通した
状態で、支持孔の軸線方向両側で共にプローブ支持体に
固着されていることにより、プローブの固着強度を高め
ることができるので、プローブの位置及び方向の変動を
防止できる。In the present invention, it is preferable that the probe penetrates the support hole, and that the probe is fixed to the probe support on both sides of the support hole in the axial direction. Since the probe penetrates the supporting hole and is fixed to the probe supporting body on both sides of the supporting hole in the axial direction, the fixing strength of the probe can be increased, so that the variation of the position and direction of the probe can be prevented. .
【００２３】本発明において、前記プローブ支持体に
は、前記支持孔若しくは前記支持穴の開口外側に、前記
支持孔若しくは前記支持穴の軸線方向に沿った支持面が
設けられ、該支持面により前記プローブが直接若しくは
間接的に支持されていることが好ましい。ここで、プロ
ーブが直接に支持面に支持されているとは、プローブが
支持面に当接している場合を言い、プローブが間接的に
支持面に支持されているとは、プローブが接着材その他
の樹脂材や低融点合金などの硬化物質を介して、或い
は、プローブ支持体上に取り付けられた他部材を介して
支持面に支持されている場合を含む。In the present invention, the probe support is provided with a support surface outside the opening of the support hole or the support hole along the axial direction of the support hole or the support hole. It is preferred that the probe is directly or indirectly supported. Here, the term that the probe is directly supported by the supporting surface means that the probe is in contact with the supporting surface, and the term that the probe is indirectly supported by the supporting surface means that the probe is an adhesive or other material. The case of being supported on the support surface via a cured material such as the resin material or the low melting point alloy, or via another member mounted on the probe support is included.
【００２４】本発明において、前記支持面上には、前記
プローブに隣接した位置に突起部が設けられていること
が好ましい。In the present invention, it is preferable that a protrusion is provided on the support surface at a position adjacent to the probe.
【００２５】本発明において、前記支持面は、前記プロ
ーブ支持体の表面上に取り付けられたスペーサの表面に
より構成されていることが好ましい。In the present invention, it is preferable that the support surface is constituted by a surface of a spacer attached on the surface of the probe support.
【００２６】本発明において、前記プローブに対して導
電接触した導電接触部が設けられていることが好まし
い。In the present invention, it is preferable that a conductive contact portion that is in conductive contact with the probe is provided.
【００２７】本発明において、前記導電接触部が前記支
持孔若しくは前記支持穴と前記プローブの先端との間に
設けられていることが好ましい。In the present invention, it is preferable that the conductive contact portion is provided between the support hole or the support hole and the tip of the probe.
【００２８】なお、本発明においては、前記プローブの
押圧方向に対して前記プローブが斜めに取り付けられて
いるので、前記押圧方向に対して前記支持孔若しくは前
記支持穴の軸線方向が傾斜していることとなる。このよ
うにすると、プローブを検査対象の導電パッドなどに対
して所定圧力で接触させた場合に、その反力のうち支持
孔若しくは支持穴の軸線方向の応力成分を小さくするこ
とができるので、プローブの実質的な固定強度を高める
ことが可能になるとともに、プローブ自体の弾性力をコ
ンタクトに必要な押圧力として用いることが可能にな
る。さらに、プローブが傾斜していることによって密集
した導電パッドに対しても対応可能な密度で複数のプロ
ーブを取付配置することが可能になる。In the present invention, since the probe is attached obliquely to the pressing direction of the probe, the supporting hole or the axial direction of the supporting hole is inclined with respect to the pressing direction. It will be. With this configuration, when the probe is brought into contact with the conductive pad to be inspected at a predetermined pressure, the stress component in the axial direction of the support hole or the support hole can be reduced in the reaction force. It is possible to increase the substantial fixing strength of the probe and to use the elastic force of the probe itself as the pressing force required for the contact. Further, since the probes are inclined, it is possible to mount and arrange a plurality of probes with a density that is compatible with dense conductive pads.
【００２９】本発明のプローブ支持体及びプローブユニ
ットは種々の検査装置において用いられることが好まし
い。これらの検査装置には、プローブを通して検査対象
から信号を取り出して測定するように構成されたものに
限らず、プローブを通して電力を供給するように構成さ
れたものも含まれる。これらの検査装置においては、プ
ローブユニットにおいて予めプローブの位置及び方向を
調整してプローブ支持体に固着させておくことにより、
検査装置にプローブユニットを装着した後にプローブの
位置及び方向に関する調整作業を行う必要がなくなる。The probe support and probe unit of the present invention are preferably used in various inspection devices. These inspection devices are not limited to those configured to extract and measure a signal from the inspection target through the probe, but also include those configured to supply power through the probe. In these inspection devices, by adjusting the position and direction of the probe in advance in the probe unit and fixing it to the probe support,
After mounting the probe unit on the inspection device, there is no need to perform adjustment work regarding the position and direction of the probe.
【００３０】[0030]
【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係るプローブ支持体及びプローブユニットの実施形態
について詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, embodiments of a probe support and a probe unit according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
【００３１】図１は、本発明に係るプローブユニット５
０の実施形態を示す正面図であり、図２はプローブユニ
ット５０のプローブ取付部分の拡大部分断面図であり、
図３はプローブユニット５０の拡大側面図である。この
プローブユニット５０は、合成樹脂等の絶縁体からなる
支持基材５１と、この支持基材５１の上部に取り付けら
れた金属等からなる取付部材５２と、取付部材５２に対
して取り付けられた接続端子５３と、接続端子５３に接
続された同軸配線５４と、支持基材５１の下部に取り付
けられたスペーサ５５とを備えている。なお、上記の支
持基材５１、取付部材５２、接続端子５３、同軸配線５
４及びスペーサ５５はプローブ支持体を構成するもので
ある。FIG. 1 shows a probe unit 5 according to the present invention.
2 is a front view showing an embodiment of No. 0, FIG. 2 is an enlarged partial sectional view of a probe mounting portion of the probe unit 50,
FIG. 3 is an enlarged side view of the probe unit 50. The probe unit 50 includes a supporting base material 51 made of an insulating material such as synthetic resin, a mounting member 52 made of metal or the like mounted on an upper portion of the supporting base material 51, and a connection mounted to the mounting member 52. The terminal 53, the coaxial wiring 54 connected to the connection terminal 53, and the spacer 55 attached to the lower portion of the support base 51 are provided. In addition, the supporting base material 51, the mounting member 52, the connection terminal 53, and the coaxial wiring 5 described above.
4 and the spacer 55 constitute a probe support.
【００３２】支持基材５１には、その下端部にて垂直方
向に対し傾斜した軸線方向を備えた一対の支持孔５１ａ
が相互に対向姿勢で設けられ、これらの支持孔５１ａの
上部開口に隣接した位置に、支持孔５１ａの軸線方向に
沿った一対の段差面５１ｂがそれぞれ形成されている。
これらの段差面５１ｂは、支持孔５１ａの軸線に対して
所定距離だけ上方に配置され、支持孔５１ａと段差面５
１ｂとの間に段差が形成されている。これによって、支
持基材５１に支持孔５１ａを形成する際に、ドリルのチ
ャック部等が支持基材５１に抵触しないように構成され
ている。The support base 51 has a pair of support holes 51a provided at the lower end thereof with an axial direction inclined with respect to the vertical direction.
Are provided so as to face each other, and a pair of step surfaces 51b along the axial direction of the support holes 51a are formed at positions adjacent to the upper openings of the support holes 51a.
These step surfaces 51b are disposed above the axis of the support hole 51a by a predetermined distance, and the support hole 51a and the step surface 5 are provided.
A step is formed between 1b and 1b. Thereby, when the support hole 51a is formed in the support base 51, the chuck portion of the drill or the like does not come into contact with the support base 51.
【００３３】また、支持基材５１には、図１の紙面と直
交する方向に貫通した一対の取付孔５１ｃ，５１ｃが設
けられ、これらの取付孔５１ｃにボルトなどを通して図
示しない検査装置のプローブヘッド取付部などに固定す
ることができるようになっている。Further, the support base 51 is provided with a pair of mounting holes 51c, 51c penetrating in a direction orthogonal to the paper surface of FIG. 1, and a bolt or the like is passed through these mounting holes 51c to provide a probe head for an inspection device (not shown). It can be fixed to the mounting part.
【００３４】接続端子５３の下部に設けられた第１接続
部５３ａには、同軸ケーブルと同様の同軸構造を有する
同軸配線５４が接続されており、同軸配線５４には、中
心導体５４ａと、この中心導体５４ａに対して絶縁体を
介して同軸に構成されたシールド導体５４ｂとが設けら
れている。中心導体５４ａ及びシールド導体５４ｂは接
続端子５３の第１接続部５３ａから接続端子５３の上部
に設けられた第２接続部５３ｂの図示しない一対の接続
端子にそれぞれ導電接続されている。同軸配線５４の中
心導体５４ａは、上記支持基材５１の支持孔５１ａの側
方位置まで突出するように伸びている。A coaxial wiring 54 having a coaxial structure similar to that of a coaxial cable is connected to a first connecting portion 53a provided below the connection terminal 53, and the coaxial wiring 54 has a central conductor 54a and a central conductor 54a. A shield conductor 54b coaxially arranged with respect to the central conductor 54a is provided. The central conductor 54a and the shield conductor 54b are conductively connected from the first connecting portion 53a of the connecting terminal 53 to a pair of connecting terminals (not shown) of the second connecting portion 53b provided above the connecting terminal 53. The central conductor 54a of the coaxial wiring 54 extends so as to project to a side position of the support hole 51a of the support base material 51.
【００３５】支持基材５１の上記段差面５１ｂ上には、
合成樹脂等の絶縁体からなる板状のスペーサ５５が一対
の固定ネジ５６によってそれぞれネジ止めされている。
また、支持孔５１ａにはピン状の導電体（金属）からな
るプローブ５７が挿通され、その先端５７ａは支持基材
５１の斜め下方に伸びている。プローブ５７の軸部は支
持孔５１ａを通過した後に、その上部開口の上方に伸び
るスペーサ５５の表面からなる支持面５５ａ上に沿って
その基端５７ｂまで伸びている。On the step surface 51b of the supporting base material 51,
A plate-like spacer 55 made of an insulating material such as synthetic resin is screwed by a pair of fixing screws 56.
A probe 57 made of a pin-shaped conductor (metal) is inserted into the support hole 51a, and its tip 57a extends obliquely below the support base 51. After passing through the support hole 51a, the shaft portion of the probe 57 extends to the base end 57b along the support surface 55a formed of the surface of the spacer 55 extending above the upper opening.
【００３６】プローブ５７の軸部は、上記支持孔５１ａ
の上部開口及び下部開口の近傍において塗布され、硬化
された接着剤５８によって支持基材５１に対して固着さ
れている。また、プローブ５７の軸部は、スペーサ５５
の支持面５５ａ上において、半田５９を当該軸部とその
両側に配置された固定ネジ５６の頭部とにかかるように
塗布することによって固定され、さらにその上に上記と
同様の接着剤５８を塗布することによって固着されてい
る。プローブ５７の軸部が支持面５５ａ上に突出した固
定ネジ５６の頭部との間に上記接着剤５８や半田５９等
の硬化物質を設けることによって固着されることによ
り、プローブ５７の固着強度を高めることができ、プロ
ーブ５７の位置や方向のずれなどを防止することができ
る。The shaft portion of the probe 57 has the support hole 51a.
The adhesive 58, which is applied and hardened in the vicinity of the upper opening and the lower opening, is fixed to the supporting base material 51. Further, the shaft portion of the probe 57 has a spacer 55.
On the support surface 55a of the above, the solder 59 is fixed by applying it so as to cover the shaft portion and the heads of the fixing screws 56 arranged on both sides thereof, and further, the adhesive 58 similar to the above is applied thereon. It is fixed by applying it. By fixing the shaft portion of the probe 57 to the head of the fixing screw 56 protruding above the support surface 55a by providing a hardening substance such as the adhesive 58 or the solder 59, the fixing strength of the probe 57 can be improved. It is possible to increase the height and prevent the position and direction of the probe 57 from shifting.
【００３７】上述したように、本実施形態においては、
プローブ５７を支持孔５１ａに挿通した後に、支持孔５
１ａの開口近傍や、支持面５５ａ上においてプローブ５
７を固定することによってプローブユニットが構成され
る。したがって、プローブ５７の位置や方向を調整する
場合、プローブ５７が支持孔５１ａに挿通された状態と
なっているので、プローブ５７が支持孔５１ａに支持さ
れていることにより容易に調整作業を行うことができ
る。特に、支持孔５１ａの開口の外側に支持面５５ａが
形成されているので、この支持面５５ａによってもプロ
ーブ５７を支持した状態となっているから、なおさらプ
ローブの調整作業が容易になる。As described above, in this embodiment,
After inserting the probe 57 into the support hole 51a, the support hole 5a
1a in the vicinity of the opening and on the support surface 55a.
A probe unit is constructed by fixing 7 together. Therefore, when the position and direction of the probe 57 are adjusted, the probe 57 is in a state of being inserted into the support hole 51a, so that the adjustment work can be easily performed by the probe 57 being supported by the support hole 51a. You can In particular, since the support surface 55a is formed outside the opening of the support hole 51a, the probe 57 is also supported by this support surface 55a, which facilitates the adjustment work of the probe.
【００３８】ここで、支持孔５１ａの内径は、プローブ
５７を容易に挿通できる範囲内でプローブ５７の軸部の
外径とほぼ同様に構成されていればよいが、特に、プロ
ーブ５７の方向に対して必要な所定の調整範囲を確保で
きる程度に、プローブ５７の外径よりもやや大きく形成
されていることが望ましい。Here, the inner diameter of the support hole 51a may be configured to be substantially the same as the outer diameter of the shaft portion of the probe 57 within a range where the probe 57 can be easily inserted, but particularly in the direction of the probe 57. On the other hand, it is preferable that the outer diameter of the probe 57 is set to be slightly larger than the outer diameter of the probe 57 so that a required predetermined adjustment range can be secured.
【００３９】プローブ５７における支持孔５１ａと先端
５７ａとの間には、上記同軸配線５４の中心導体５４ａ
が半田５９によって導電接触した状態で固着されてい
る。このように同軸配線５４の中心導体５４ａが支持孔
５１ａと先端５７ａとの間においてプローブ５７に導電
接続されていることにより、プローブ５７の先端５７ａ
から中心導体５４ａまでの軸線距離を短縮することがで
きるので、プローブ５７のアンテナ効果による検出信号
へのノイズ重畳を低減することができ、検出精度を高め
ることができる。また、プローブ５７の上方から中心導
体５４ａが当接していることにより、プローブ５７を上
方から支持する効果も多少得られるように構成されてい
る。The center conductor 54a of the coaxial wiring 54 is provided between the support hole 51a and the tip 57a of the probe 57.
Are fixed in a conductive contact state with solder 59. Since the central conductor 54a of the coaxial wiring 54 is conductively connected to the probe 57 between the support hole 51a and the tip 57a in this manner, the tip 57a of the probe 57 is formed.
Since the axial distance from the center conductor 54a to the central conductor 54a can be shortened, noise superposition on the detection signal due to the antenna effect of the probe 57 can be reduced and the detection accuracy can be improved. Further, since the central conductor 54a is in contact with the probe 57 from above, the effect of supporting the probe 57 from above is somewhat obtained.
【００４０】図４は、上記プローブユニット５０の変形
例である別のプローブユニット５０’の一部を示す部分
側面図である。このプローブユニット５０’は、上記図
１とほぼ同様の平面形状を有する支持基材５１’を有
し、また、上記とほぼ同様の取付部材５２、接続端子５
３、同軸配線５４を備えている。このプローブユニット
５０’が上記実施形態と異なる点は、左右にそれぞれ一
対の支持孔５１ａ’が形成され、この支持孔５１ａ’の
それぞれに上記と同様のプローブ５７が挿通されている
点である。したがって、プローブ５７はこのプローブユ
ニット５０’において計４本装着されていることとな
る。また、各支持孔５１ａ’に挿通された各プローブ５
７のスペーサ５５’上において隣接する部分には、それ
ぞれ上記と同様の固定ネジ５６の頭部が突出している。
なお、図４において図示を省略しているが、このプロー
ブユニット５０’においても、図３と同様に、接着剤５
８や半田５９を用いてプローブ５７と支持基材５１’と
の固着及びプローブ５７と中心導体５４との固着がなさ
れている。FIG. 4 is a partial side view showing a part of another probe unit 50 'which is a modification of the probe unit 50. As shown in FIG. This probe unit 50 'has a supporting base material 51' having a plane shape substantially similar to that shown in FIG.
3, the coaxial wiring 54 is provided. This probe unit 50 'is different from the above embodiment in that a pair of support holes 51a' are formed on the left and right sides, and a probe 57 similar to the above is inserted into each of the support holes 51a '. Therefore, a total of four probes 57 are mounted in this probe unit 50 '. In addition, each probe 5 inserted into each support hole 51a '
The heads of the fixing screws 56 similar to the above project from the adjacent portions on the spacer 55 ′ of No. 7 respectively.
Although not shown in FIG. 4, in this probe unit 50 ′ as well, as in FIG.
The probe 57 and the supporting base material 51 ′ are fixed to each other and the probe 57 and the central conductor 54 are fixed to each other by using 8 or solder 59.
【００４１】図４に示すように左右それぞれ複数本のプ
ローブ５７を装着したプローブユニットを用いることに
より、図５に示すように、複数のプローブ５７を回路基
板６０上に配列形成された導電パッド６１にそれぞれ当
接させることが可能になる。ここで、図１や図４に示す
プローブユニットに装着された左右のプローブ５７の前
後方向（図１の紙面と直交する方向）の位置を、左右に
おいて相互にずらして取り付けることにより、図５に示
すように互い違いに配列された導電パッド６１に対して
プローブ５７を当接させることが可能になる。なお、図
５は、プローブ５７の先端部と回路基板６０の表面とを
示す平面図となっている。By using a probe unit in which a plurality of probes 57 are mounted on each of the left and right sides as shown in FIG. 4, a plurality of probes 57 are arranged on a circuit board 60 as shown in FIG. Can be brought into contact with each other. Here, by mounting the left and right probes 57 mounted on the probe unit shown in FIGS. 1 and 4 in the front-rear direction (the direction orthogonal to the paper surface of FIG. 1) so that they are displaced from each other on the left and right sides, As shown in the drawing, the probes 57 can be brought into contact with the conductive pads 61 arranged alternately. Note that FIG. 5 is a plan view showing the tip portion of the probe 57 and the surface of the circuit board 60.
【００４２】尚、本発明のプローブ支持体及びプローブ
ユニットは、上述の図示例にのみ限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更
を加え得ることは勿論である。例えば、上記プローブ５
７は支持基材５１に設けられた支持孔５１ａ（すなわち
貫通孔）に挿通され、その両開口の両側において支持基
材５１やスペーサ５５に対して固着されているが、その
代わりに、プローブ支持体に貫通していない支持穴（す
なわち止め穴）を形成し、この支持穴に対してプローブ
の基部を挿入した上で、このプローブをプローブ支持体
に対して固着しても構わない。The probe support and the probe unit of the present invention are not limited to the above-mentioned illustrated examples, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, the probe 5
7 is inserted into a support hole 51a (that is, a through hole) provided in the support base material 51 and fixed to the support base material 51 and the spacer 55 on both sides of both openings, but instead of this, a probe support is used. It is also possible to form a support hole (that is, a stop hole) that does not penetrate the body, insert the base of the probe into the support hole, and then fix the probe to the probe support.
【００４３】また、上記プローブ５７は支持孔５１ａよ
りも基端５７ｂ側において支持面５５ａ上に固定されて
いるが、プローブが、支持孔や支持穴よりもプローブの
先端側において支持面上に支持されていてもよい。Although the probe 57 is fixed on the support surface 55a on the base end 57b side of the support hole 51a, the probe is supported on the support surface on the probe tip side of the support hole and the support hole. It may have been done.
【００４４】さらに、上記支持面５５ａは支持基材５１
に取り付けられたスペーサ５５の表面で構成されている
が、スペーサを用いることなく、支持基材５１の表面に
よって支持面が構成されていても構わない。Further, the supporting surface 55a is the supporting base material 51.
Although it is configured by the surface of the spacer 55 attached to, the supporting surface may be configured by the surface of the supporting base material 51 without using the spacer.
【００４５】また、上記実施形態ではプローブ５７を接
着剤５８や半田５９を用いて固着しているが、その他の
固定手段、例えば、溶着、溶接、ネジ固定などの種々の
固定手段を用いても構わない。これらの各種固定手段を
用いた場合でも、本発明の支持孔若しくは支持穴による
支持作用に変わりは無く、調整作業を容易にすることが
できる点で同様の顕著な効果を得ることができる。Further, although the probe 57 is fixed by using the adhesive 58 or the solder 59 in the above embodiment, other fixing means, for example, various fixing means such as welding, welding and screw fixing may be used. I do not care. Even when these various fixing means are used, the supporting hole or the supporting function of the present invention does not change, and the same remarkable effect can be obtained in that the adjustment work can be facilitated.
【００４６】[0046]
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
支持孔や支持穴にプローブを挿通した後にプローブ支持
体に固定可能にプローブユニットが構成されているの
で、プローブの位置や方向に対する調整作業を容易に行
うことができる。また、プローブを予めプローブ支持体
に固定したプローブユニットを形成しておくことによ
り、プローブユニットを交換するだけで交換作業を完了
させることができるので、交換作業をきわめて容易に行
うことができる。As described above, according to the present invention,
Since the probe unit is configured so that it can be fixed to the probe support after inserting the probe into the support hole or the support hole, adjustment work for the position and direction of the probe can be easily performed. Further, by forming the probe unit in which the probe is fixed to the probe support in advance, the replacement work can be completed only by replacing the probe unit, and therefore the replacement work can be performed very easily.
【図１】本発明に係るプローブユニットの実施形態の構
造を示す正面図である。FIG. 1 is a front view showing a structure of an embodiment of a probe unit according to the present invention.
【図２】同実施形態におけるプローブ取付部分の拡大部
分断面図である。FIG. 2 is an enlarged partial sectional view of a probe mounting portion in the same embodiment.
【図３】同実施形態の拡大側面図である。FIG. 3 is an enlarged side view of the same embodiment.
【図４】同実施形態の変形例の構造を示す拡大部分側面
図である。FIG. 4 is an enlarged partial side view showing the structure of a modified example of the same embodiment.
【図５】同実施形態を用いて検査を行う様子を示す部分
平面図である。FIG. 5 is a partial plan view showing how an inspection is performed using the same embodiment.
【図６】従来のプローブヘッドの構造を示す正面図であ
る。FIG. 6 is a front view showing the structure of a conventional probe head.
【図７】図６に示したプローブヘッドに取り付けるため
のプローブ冶具の構造を示す分解斜視図である。7 is an exploded perspective view showing a structure of a probe jig for attaching to the probe head shown in FIG.
【図８】従来のシリンダ構造を有するプローブ体の断面
図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a probe body having a conventional cylinder structure.
【図９】従来の板状のプローブを有するプローブ体の構
造を示す部分斜視図である。FIG. 9 is a partial perspective view showing a structure of a probe body having a conventional plate-shaped probe.
５０ プローブユニット ５１ 支持基材 ５１ａ 支持孔 ５１ｂ 段差面 ５２ 取付部材 ５３ 接続端子 ５４ 同軸配線 ５５ スペーサ ５５ａ 支持面 ５６ 固定ネジ ５７ プローブ ５７ａ 先端 ５８ 接着剤 ５９ 半田 50 probe units 51 Supporting substrate 51a Support hole 51b Step surface 52 Mounting member 53 Connection terminal 54 coaxial wiring 55 Spacer 55a support surface 56 fixing screw 57 probes 57a tip 58 adhesive 59 Solder
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 智 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2G003 AG03 AG12 AG20 2G011 AA02 AA17 AB06 AC05 AC06 AC14 AC33 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Satoshi Hayashi Seiko, 3-3-3 Yamato, Suwa City, Nagano Prefecture -In Epson Corporation F-term (reference) 2G003 AG03 AG12 AG20 2G011 AA02 AA17 AB06 AC05 AC06 AC14 AC33
Claims (15)
ーブを取り付けるためのプローブ支持体であって、前記
プローブを挿入可能な支持孔若しくは支持穴が形成され
てなることを特徴とするプローブ支持体。1. A probe support for mounting a probe obliquely with respect to a pressing direction of the probe, wherein a support hole or a support hole into which the probe can be inserted is formed. .
側に、前記支持孔若しくは前記支持穴の軸線方向に沿っ
た支持面が設けられていることを特徴とする請求項１に
記載のプローブ支持体。2. The probe support according to claim 1, wherein a support surface is provided outside the opening of the support hole or the support hole and along the axial direction of the support hole or the support hole. body.
されるべき部位に隣接した位置に突起部が設けられてい
ることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のプロ
ーブ支持体。3. The probe support according to claim 1, wherein a protrusion is provided on the support surface at a position adjacent to a portion where the probe is to be arranged. .
支持穴が設けられた支持基材の表面上に取り付けられた
スペーサの表面により構成されていることを特徴とする
請求項２又は請求項３に記載のプローブ支持体。4. The support surface is constituted by a surface of a spacer attached on the surface of the support hole or the support base material provided with the support hole. The probe support according to item 3.
前記プローブに対して接触可能な位置に臨む導電接触部
が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項
４のいずれか１項に記載のプローブ支持体。5. The conductive contact portion facing a position capable of contacting the support hole or the probe inserted in the support hole is provided. Item 6. A probe support according to item.
前記支持穴よりも、前記プローブが前記支持孔若しくは
前記支持穴に挿入された場合における前記プローブの先
端の側に配置されていることを特徴とする請求項５に記
載のプローブ支持体。6. The conductive contact portion is arranged closer to the tip side of the probe than the support hole or the support hole when the probe is inserted into the support hole or the support hole. The probe support according to claim 5, which is characterized in that:
ーブを取り付けたプローブユニットであって、プローブ
支持体に支持孔若しくは支持穴が形成され、前記支持孔
若しくは支持穴に対して前記プローブがその先端を突出
させた状態で導入され、前記プローブ支持体と前記プロ
ーブとが固着されてなることを特徴とするプローブユニ
ット。7. A probe unit having a probe attached obliquely to the pressing direction of the probe, wherein a support hole or a support hole is formed in the probe support, and the probe is attached to the support hole or the support hole. A probe unit, which is introduced with its tip protruding, wherein the probe support and the probe are fixed to each other.
が、流動状態から硬化されてなる硬化物質により固着さ
れていることを特徴とする請求項７に記載のプローブユ
ニット。8. The probe unit according to claim 7, wherein the probe support and the probe are fixed to each other by a hardening substance which is hardened from a fluid state.
する請求項８に記載のプローブユニット。9. The probe unit according to claim 8, wherein the curable substance is a resin.
状態とされ、前記プローブが前記支持孔の軸線方向両側
において共に前記プローブ支持体に固着されていること
を特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記
載のプローブユニット。10. The method according to claim 7, wherein the probe is in a state of penetrating the support hole, and the probe is fixed to the probe support both on both sides in the axial direction of the support hole. 9. The probe unit according to any one of 9 above.
若しくは前記支持穴の開口外側に、前記支持孔若しくは
前記支持穴の軸線方向に沿った支持面が設けられ、該支
持面により前記プローブが直接若しくは間接的に支持さ
れていることを特徴とする請求項７乃至請求項１０のい
ずれか１項に記載のプローブユニット。11. The probe support is provided with a support surface outside the opening of the support hole or the support hole along the axial direction of the support hole or the support hole, and the support surface allows the probe to be supported. The probe unit according to any one of claims 7 to 10, which is directly or indirectly supported.
接した位置に突起部が設けられていることを特徴とする
請求項１１に記載のプローブユニット。12. The probe unit according to claim 11, wherein a protrusion is provided on the support surface at a position adjacent to the probe.
表面上に取り付けられたスペーサの表面により構成され
ていることを特徴とする請求項１１又は請求項１２に記
載のプローブユニット。13. The probe unit according to claim 11, wherein the support surface is constituted by a surface of a spacer attached on a surface of the probe support.
電接触部が設けられていることを特徴とする請求項７乃
至請求項１３のいずれか１項に記載のプローブ支持体。14. The probe support according to any one of claims 7 to 13, further comprising a conductive contact portion that is in conductive contact with the probe.
前記支持穴と前記プローブの先端との間に設けられてい
ることを特徴とする請求項７乃至請求項１４のいずれか
１項に記載のプローブユニット。15. The conductive contact portion is provided in the support hole or between the support hole and the tip of the probe, according to claim 7. Probe unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001191872A JP2003004766A (en) | 2001-06-25 | 2001-06-25 | Probe support and probe unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001191872A JP2003004766A (en) | 2001-06-25 | 2001-06-25 | Probe support and probe unit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003004766A true JP2003004766A (en) | 2003-01-08 |
Family
ID=19030421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001191872A Withdrawn JP2003004766A (en) | 2001-06-25 | 2001-06-25 | Probe support and probe unit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003004766A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011226833A (en) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Micronics Japan Co Ltd | Pressure sensor and probe card inspection apparatus using the same |
| JP2014228284A (en) * | 2013-05-17 | 2014-12-08 | 日本メクトロン株式会社 | Coaxial probe holding mechanism and electric characteristic inspection device |
| WO2023248595A1 (en) * | 2022-06-22 | 2023-12-28 | ヤマハファインテック株式会社 | Method for manufacturing probe unit, probe unit, probe mounting body, and electrical inspection device |
-
2001
- 2001-06-25 JP JP2001191872A patent/JP2003004766A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011226833A (en) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Micronics Japan Co Ltd | Pressure sensor and probe card inspection apparatus using the same |
| JP2014228284A (en) * | 2013-05-17 | 2014-12-08 | 日本メクトロン株式会社 | Coaxial probe holding mechanism and electric characteristic inspection device |
| WO2023248595A1 (en) * | 2022-06-22 | 2023-12-28 | ヤマハファインテック株式会社 | Method for manufacturing probe unit, probe unit, probe mounting body, and electrical inspection device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6160412A (en) | Impedance-matched interconnection device for connecting a vertical-pin integrated circuit probing device to integrated circuit test equipment | |
| US8456184B2 (en) | Probe card for a semiconductor wafer | |
| US20160187378A1 (en) | Exchangeable contact unit and inspection jig | |
| US7586316B2 (en) | Probe board mounting apparatus | |
| WO2005106504A1 (en) | Electric connecting device | |
| JP3087965B2 (en) | Test socket | |
| JP2004138452A (en) | Probe card | |
| JP2003004766A (en) | Probe support and probe unit | |
| US20060240581A1 (en) | Method for assembling testing equipment for semiconductor substrate | |
| JP3154264U (en) | Probe unit for probe pin and board inspection | |
| TWI401437B (en) | Probe card | |
| TWI635281B (en) | Contact unit and inspection fixture | |
| US20030071643A1 (en) | High-density PCB test jack | |
| JPH11108954A (en) | Contact probe | |
| JP2005337904A (en) | Fixture and method for measuring semiconductor device characteristics | |
| JP2002055118A (en) | Prober | |
| JP2674781B2 (en) | Jig connection device and connection means | |
| CN218847569U (en) | Fixing mechanism and testing device | |
| US11933837B2 (en) | Inspection jig, and inspection device | |
| US20080297187A1 (en) | Location device for contact probes | |
| JP4864961B2 (en) | IC package jig | |
| JPH09246800A (en) | Substrate for semiconductor device measurement use | |
| JP2002333453A (en) | Probe contactor | |
| JP2010276359A (en) | Inspection jig for board inspection device | |
| US5095268A (en) | Tool for tuning microwave circuit within a closed housing |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040315 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060329 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060404 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20060524 |