JP2002370804A - 物品移送設備 - Google Patents
物品移送設備Info
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- JP2002370804A JP2002370804A JP2001177838A JP2001177838A JP2002370804A JP 2002370804 A JP2002370804 A JP 2002370804A JP 2001177838 A JP2001177838 A JP 2001177838A JP 2001177838 A JP2001177838 A JP 2001177838A JP 2002370804 A JP2002370804 A JP 2002370804A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 一方の物品処理部と他方の物品処理部との間
で物品を移送する物品移送設備の前後の大きさを小型縮
小化する。 【解決手段】 一対の棚4a,4b間に、一方の棚4a
に対してカセット5を出し入れする一方の出し入れ手段
7aと、他方の棚4bに対してカセット5を出し入れす
る他方の出し入れ手段7bとが配置され、一方の棚4a
と一方の物品処理部2aとの間でカセット5を搬送する
一方の搬送手段14a,15aおよび他方の棚4bと他
方の物品処理部2bとの間でカセット5を搬送する他方
の搬送手段14b,15bが設けられ、両出し入れ手段
7a,7b間でカセット5を移載する移載手段25が設
けられ、移載手段25は、両出し入れ手段7a,7b間
を移動する台車装置と、台車装置に設けられかつカセッ
ト5の向きを反転させるターンテーブルとで構成されて
いる。
で物品を移送する物品移送設備の前後の大きさを小型縮
小化する。 【解決手段】 一対の棚4a,4b間に、一方の棚4a
に対してカセット5を出し入れする一方の出し入れ手段
7aと、他方の棚4bに対してカセット5を出し入れす
る他方の出し入れ手段7bとが配置され、一方の棚4a
と一方の物品処理部2aとの間でカセット5を搬送する
一方の搬送手段14a,15aおよび他方の棚4bと他
方の物品処理部2bとの間でカセット5を搬送する他方
の搬送手段14b,15bが設けられ、両出し入れ手段
7a,7b間でカセット5を移載する移載手段25が設
けられ、移載手段25は、両出し入れ手段7a,7b間
を移動する台車装置と、台車装置に設けられかつカセッ
ト5の向きを反転させるターンテーブルとで構成されて
いる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一方の物品処理部
で処理した物品を他方の物品処理部まで移送して他方の
物品処理部で処理したり、或いは、他方の物品処理部で
処理した物品を一方の物品処理部まで移送して一方の物
品処理部で処理する物品移送設備に関する。
で処理した物品を他方の物品処理部まで移送して他方の
物品処理部で処理したり、或いは、他方の物品処理部で
処理した物品を一方の物品処理部まで移送して一方の物
品処理部で処理する物品移送設備に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の物品移送設備としては、
例えば図14に示すように、物品処理部101a,10
1bで処理される板状のガラス基板を一時保管しかつ物
品処理部101a,101b間で移送するものがある。
すなわち、上記ガラス基板の表面に研磨等の特殊な加工
を施す一方の物品処理部101aと、ガラス基板の表面
にコーティング等の特殊な加工を施す他方の物品処理部
101bとが形成されている。上記一方の物品処理部1
01aと他方の物品処理部101bとは前後に並んで配
置されており、これら一方および他方の物品処理部10
1a,101bの一側方には、上記複数のガラス基板が
収納されたカセット102を一時保管するための棚10
3が設置されている。
例えば図14に示すように、物品処理部101a,10
1bで処理される板状のガラス基板を一時保管しかつ物
品処理部101a,101b間で移送するものがある。
すなわち、上記ガラス基板の表面に研磨等の特殊な加工
を施す一方の物品処理部101aと、ガラス基板の表面
にコーティング等の特殊な加工を施す他方の物品処理部
101bとが形成されている。上記一方の物品処理部1
01aと他方の物品処理部101bとは前後に並んで配
置されており、これら一方および他方の物品処理部10
1a,101bの一側方には、上記複数のガラス基板が
収納されたカセット102を一時保管するための棚10
3が設置されている。
【0003】上記棚103には、複数の収納部104
と、入庫部105a,105bと、出庫部106a,1
06bとが設けられている。また、物品移送設備100
には、一方の物品処理部101aから一方の入庫部10
5aへカセット102を搬送する一方の入庫用コンベヤ
107aと、一方の出庫部106aから一方の物品処理
部101aへカセット102を搬送する一方の出庫用コ
ンベヤ108aと、他方の物品処理部101bから他方
の入庫部105bへカセット102を搬送する他方の入
庫用コンベヤ107bと、他方の出庫部106bから他
方の物品処理部101bへカセット102を搬送する他
方の出庫用コンベヤ108bとが設置されている。
と、入庫部105a,105bと、出庫部106a,1
06bとが設けられている。また、物品移送設備100
には、一方の物品処理部101aから一方の入庫部10
5aへカセット102を搬送する一方の入庫用コンベヤ
107aと、一方の出庫部106aから一方の物品処理
部101aへカセット102を搬送する一方の出庫用コ
ンベヤ108aと、他方の物品処理部101bから他方
の入庫部105bへカセット102を搬送する他方の入
庫用コンベヤ107bと、他方の出庫部106bから他
方の物品処理部101bへカセット102を搬送する他
方の出庫用コンベヤ108bとが設置されている。
【0004】また、上記棚103に対して上記物品処理
部101a,101bとは反対側には、棚103に対し
てカセット102を出し入れする出し入れ手段110が
設けられている。この出し入れ手段110は、棚103
に沿って前後方向へ設定された走行経路111上を走行
する走行体112と、この走行体112に設けられかつ
走行体112に対して昇降する荷台113と、この荷台
113に設けられかつ上記棚103に対して出入りする
伸縮自在なフォーク装置114とで構成されている。
部101a,101bとは反対側には、棚103に対し
てカセット102を出し入れする出し入れ手段110が
設けられている。この出し入れ手段110は、棚103
に沿って前後方向へ設定された走行経路111上を走行
する走行体112と、この走行体112に設けられかつ
走行体112に対して昇降する荷台113と、この荷台
113に設けられかつ上記棚103に対して出入りする
伸縮自在なフォーク装置114とで構成されている。
【0005】これによると、一方の物品処理部101a
においてガラス基板を処理した後、他方の物品処理部1
01bにおいて処理する場合、先ず、一方の物品処理部
101aにおいて処理されたガラス基板を収納したカセ
ット102が一方の入庫用コンベヤ107aによって一
方の入庫部105aに入庫される。その後、出し入れ手
段110の走行体112の走行と荷台113の昇降とフ
ォーク装置114の伸縮とによって、上記カセット10
2は、一方の入庫部105aから特定の収納部104に
移され、この収納部104で所定期間保管される。
においてガラス基板を処理した後、他方の物品処理部1
01bにおいて処理する場合、先ず、一方の物品処理部
101aにおいて処理されたガラス基板を収納したカセ
ット102が一方の入庫用コンベヤ107aによって一
方の入庫部105aに入庫される。その後、出し入れ手
段110の走行体112の走行と荷台113の昇降とフ
ォーク装置114の伸縮とによって、上記カセット10
2は、一方の入庫部105aから特定の収納部104に
移され、この収納部104で所定期間保管される。
【0006】その後、上記カセット102は、出し入れ
手段110によって上記特定の収納部104から取り出
され他方の出庫部106bへ移され、他方の出庫部10
6bから他方の出庫用コンベヤ108bによって他方の
物品処理部101bへ搬送される。
手段110によって上記特定の収納部104から取り出
され他方の出庫部106bへ移され、他方の出庫部10
6bから他方の出庫用コンベヤ108bによって他方の
物品処理部101bへ搬送される。
【0007】また、上記とは反対に、他方の物品処理部
101bにおいてガラス基板を処理した後、一方の物品
処理部101aにおいて処理する場合、先ず、他方の物
品処理部101bにおいて処理されたガラス基板を収納
したカセット102が他方の入庫用コンベヤ107bに
よって他方の入庫部105bに入庫される。その後、出
し入れ手段110の走行体112の走行と荷台113の
昇降とフォーク装置114の伸縮とによって、上記カセ
ット102は、他方の入庫部105bから特定の収納部
104に移され、この収納部104で所定期間保管され
る。
101bにおいてガラス基板を処理した後、一方の物品
処理部101aにおいて処理する場合、先ず、他方の物
品処理部101bにおいて処理されたガラス基板を収納
したカセット102が他方の入庫用コンベヤ107bに
よって他方の入庫部105bに入庫される。その後、出
し入れ手段110の走行体112の走行と荷台113の
昇降とフォーク装置114の伸縮とによって、上記カセ
ット102は、他方の入庫部105bから特定の収納部
104に移され、この収納部104で所定期間保管され
る。
【0008】その後、上記カセット102は、出し入れ
手段110によって上記特定の収納部104から取り出
され一方の出庫部106aへ移され、一方の出庫部10
6aから一方の出庫用コンベヤ108aによって一方の
物品処理部101aへ搬送される。
手段110によって上記特定の収納部104から取り出
され一方の出庫部106aへ移され、一方の出庫部10
6aから一方の出庫用コンベヤ108aによって一方の
物品処理部101aへ搬送される。
【0009】尚、上記のようにカセット102を一方の
物品処理部101aと他方の物品処理部101bとの間
で移送する際、カセット102を一方および他方の物品
処理部101a,101bに対して常に同じ向き関係で
移送している。また、移送過程で、カセット102を棚
103の収納部104に所定期間保管しているが、カセ
ット102を収納部104に保管することなく移送する
場合もある。
物品処理部101aと他方の物品処理部101bとの間
で移送する際、カセット102を一方および他方の物品
処理部101a,101bに対して常に同じ向き関係で
移送している。また、移送過程で、カセット102を棚
103の収納部104に所定期間保管しているが、カセ
ット102を収納部104に保管することなく移送する
場合もある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来形式では、一方の物品処理部101aと他方の物品処
理部101bとが前後に並べられているため、物品移送
設備100全体の前後の大きさSが非常に大型化すると
いった問題がある。
来形式では、一方の物品処理部101aと他方の物品処
理部101bとが前後に並べられているため、物品移送
設備100全体の前後の大きさSが非常に大型化すると
いった問題がある。
【0011】本発明は、前後の大きさを小型縮小化する
ことが可能な物品移送設備を提供することを目的とす
る。
ことが可能な物品移送設備を提供することを目的とす
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本第1発明における物品移送設備は、相対向する棚
と、上記一方の棚に対して物品を出し入れする一方の出
し入れ手段と、上記他方の棚に対して物品を出し入れす
る他方の出し入れ手段とが設けられ、上記一方および他
方の出し入れ手段は一方の棚と他方の棚との間に配置さ
れ、上記一方の棚に対して一方の出し入れ手段とは反対
側に一方の物品処理部が設けられ、上記一方の棚と一方
の物品処理部との間で物品を搬送する一方の搬送手段が
設けられ、上記他方の棚に対して他方の出し入れ手段と
は反対側に他方の物品処理部が設けられ、上記他方の棚
と他方の物品処理部との間で物品を搬送する他方の搬送
手段が設けられ、上記一方の出し入れ手段と他方の出し
入れ手段との間で物品を移載する移載手段が設けられ、
上記移載手段は、一方の出し入れ手段と他方の出し入れ
手段との間を移動する移動体と、この移動体に設けられ
かつ一方の出し入れ手段と他方の出し入れ手段との間で
物品の向きを反転させる向き反転装置とで構成されてい
るものである。
に本第1発明における物品移送設備は、相対向する棚
と、上記一方の棚に対して物品を出し入れする一方の出
し入れ手段と、上記他方の棚に対して物品を出し入れす
る他方の出し入れ手段とが設けられ、上記一方および他
方の出し入れ手段は一方の棚と他方の棚との間に配置さ
れ、上記一方の棚に対して一方の出し入れ手段とは反対
側に一方の物品処理部が設けられ、上記一方の棚と一方
の物品処理部との間で物品を搬送する一方の搬送手段が
設けられ、上記他方の棚に対して他方の出し入れ手段と
は反対側に他方の物品処理部が設けられ、上記他方の棚
と他方の物品処理部との間で物品を搬送する他方の搬送
手段が設けられ、上記一方の出し入れ手段と他方の出し
入れ手段との間で物品を移載する移載手段が設けられ、
上記移載手段は、一方の出し入れ手段と他方の出し入れ
手段との間を移動する移動体と、この移動体に設けられ
かつ一方の出し入れ手段と他方の出し入れ手段との間で
物品の向きを反転させる向き反転装置とで構成されてい
るものである。
【0013】これによると、一方の物品処理部において
物品を処理した後、他方の物品処理部において処理する
場合、先ず、一方の物品処理部において処理された物品
は一方の搬送手段によって搬送され一方の棚に一旦入庫
される。その後、上記物品は、一方の出し入れ手段によ
って一方の棚から取り出され、さらに、移載手段によっ
て一方の出し入れ手段から他方の出し入れ手段へ移載さ
れる。
物品を処理した後、他方の物品処理部において処理する
場合、先ず、一方の物品処理部において処理された物品
は一方の搬送手段によって搬送され一方の棚に一旦入庫
される。その後、上記物品は、一方の出し入れ手段によ
って一方の棚から取り出され、さらに、移載手段によっ
て一方の出し入れ手段から他方の出し入れ手段へ移載さ
れる。
【0014】そして、上記物品は、他方の出し入れ手段
によって他方の棚に一旦入庫された後、他方の搬送手段
によって上記他方の棚から出庫され他方の物品処理部へ
搬送され、他方の物品処理部において処理される。
によって他方の棚に一旦入庫された後、他方の搬送手段
によって上記他方の棚から出庫され他方の物品処理部へ
搬送され、他方の物品処理部において処理される。
【0015】尚、上記のように物品が移載手段によって
一方の出し入れ手段から他方の出し入れ手段へ移載され
る際、物品を積んだ移動体が一方の出し入れ手段側から
他方の出し入れ手段側へ移動するとともに、向き反転装
置が物品の向きを反転させる。
一方の出し入れ手段から他方の出し入れ手段へ移載され
る際、物品を積んだ移動体が一方の出し入れ手段側から
他方の出し入れ手段側へ移動するとともに、向き反転装
置が物品の向きを反転させる。
【0016】また、上記とは反対に、他方の物品処理部
において物品を処理した後、一方の物品処理部において
処理する場合、先ず、他方の物品処理部において処理さ
れた物品は他方の搬送手段によって搬送され他方の棚に
一旦入庫される。その後、上記物品は、他方の出し入れ
手段によって他方の棚から取り出され、さらに、移載手
段によって他方の出し入れ手段から一方の出し入れ手段
へ移載される。
において物品を処理した後、一方の物品処理部において
処理する場合、先ず、他方の物品処理部において処理さ
れた物品は他方の搬送手段によって搬送され他方の棚に
一旦入庫される。その後、上記物品は、他方の出し入れ
手段によって他方の棚から取り出され、さらに、移載手
段によって他方の出し入れ手段から一方の出し入れ手段
へ移載される。
【0017】そして、上記物品は、一方の出し入れ手段
によって一方の棚に一旦入庫された後、一方の搬送手段
によって上記一方の棚から出庫され一方の物品処理部へ
搬送され、一方の物品処理部において処理される。
によって一方の棚に一旦入庫された後、一方の搬送手段
によって上記一方の棚から出庫され一方の物品処理部へ
搬送され、一方の物品処理部において処理される。
【0018】尚、上記のように物品が移載手段によって
他方の出し入れ手段から一方の出し入れ手段へ移載され
る際、物品を積んだ移動体が他方の出し入れ手段から一
方の出し入れ手段へ移動するとともに、向き反転装置が
物品の向きを反転させる。
他方の出し入れ手段から一方の出し入れ手段へ移載され
る際、物品を積んだ移動体が他方の出し入れ手段から一
方の出し入れ手段へ移動するとともに、向き反転装置が
物品の向きを反転させる。
【0019】上記のように相対向する一方および他方の
棚の間に、一方および他方の出し入れ手段と移載手段と
を設け、一方の棚に対して一方の出し入れ手段とは反対
側に一方の物品処理部を設け、他方の棚に対して他方の
出し入れ手段とは反対側に他方の物品処理部を設けた配
置にしているため、従来に比べて、物品移送設備の前後
の大きさが小型縮小化される。
棚の間に、一方および他方の出し入れ手段と移載手段と
を設け、一方の棚に対して一方の出し入れ手段とは反対
側に一方の物品処理部を設け、他方の棚に対して他方の
出し入れ手段とは反対側に他方の物品処理部を設けた配
置にしているため、従来に比べて、物品移送設備の前後
の大きさが小型縮小化される。
【0020】また、上記のような配置であっても、移載
手段によって物品を一方の出し入れ手段と他方の出し入
れ手段との間で移載する際、向き反転装置で物品の向き
を反転させているため、一方の物品処理部に対する物品
の向き関係と他方の物品処理部に対する物品の向き関係
とを同じにして、物品を移送することができる。
手段によって物品を一方の出し入れ手段と他方の出し入
れ手段との間で移載する際、向き反転装置で物品の向き
を反転させているため、一方の物品処理部に対する物品
の向き関係と他方の物品処理部に対する物品の向き関係
とを同じにして、物品を移送することができる。
【0021】本第2発明における物品移送設備は、向き
反転装置として、物品を支持しかつ縦軸心周りに旋回自
在な旋回部が用いられ、移動体が移動経路の一端部に位
置している場合、上記旋回部と一方の出し入れ手段との
間で物品の受け渡しが可能となり、移動体が移動経路の
他端部に位置している場合、上記旋回部と他方の出し入
れ手段との間で物品の受け渡しが可能となるものであ
る。
反転装置として、物品を支持しかつ縦軸心周りに旋回自
在な旋回部が用いられ、移動体が移動経路の一端部に位
置している場合、上記旋回部と一方の出し入れ手段との
間で物品の受け渡しが可能となり、移動体が移動経路の
他端部に位置している場合、上記旋回部と他方の出し入
れ手段との間で物品の受け渡しが可能となるものであ
る。
【0022】これによると、物品を一方の出し入れ手段
から他方の出し入れ手段に移載する場合、移動体が移動
経路の一端部に位置した状態で、一方の出し入れ手段が
物品を旋回部に渡すことにより、物品が旋回部に支持さ
れる。その後、移動体が移動経路の一端部から他端部ま
で移動するとともに、旋回部が縦軸心周りに旋回し、こ
れにより上記物品の向きが反転する。
から他方の出し入れ手段に移載する場合、移動体が移動
経路の一端部に位置した状態で、一方の出し入れ手段が
物品を旋回部に渡すことにより、物品が旋回部に支持さ
れる。その後、移動体が移動経路の一端部から他端部ま
で移動するとともに、旋回部が縦軸心周りに旋回し、こ
れにより上記物品の向きが反転する。
【0023】そして、上記移動体が移動経路の他端部に
達した後、他方の出し入れ手段が物品を旋回部から受け
取ることにより、物品が一方の出し入れ手段から他方の
出し入れ手段に移載される。
達した後、他方の出し入れ手段が物品を旋回部から受け
取ることにより、物品が一方の出し入れ手段から他方の
出し入れ手段に移載される。
【0024】また、上記とは反対に、物品を他方の出し
入れ手段から一方の出し入れ手段に移載する場合、移動
体が移動経路の他端部に位置した状態で、他方の出し入
れ手段が物品を旋回部に渡すことにより、物品が旋回部
に支持される。その後、移動体が移動経路の他端部から
一端部まで移動するとともに、旋回部が縦軸心周りに旋
回し、これにより上記物品の向きが反転する。
入れ手段から一方の出し入れ手段に移載する場合、移動
体が移動経路の他端部に位置した状態で、他方の出し入
れ手段が物品を旋回部に渡すことにより、物品が旋回部
に支持される。その後、移動体が移動経路の他端部から
一端部まで移動するとともに、旋回部が縦軸心周りに旋
回し、これにより上記物品の向きが反転する。
【0025】そして、上記移動体が移動経路の一端部に
達した後、一方の出し入れ手段が物品を旋回部から受け
取ることにより、物品が他方の出し入れ手段から一方の
出し入れ手段に移載される。
達した後、一方の出し入れ手段が物品を旋回部から受け
取ることにより、物品が他方の出し入れ手段から一方の
出し入れ手段に移載される。
【0026】本第3発明における物品移送設備は、一方
の出し入れ手段と他方の出し入れ手段との間で物品を移
載する際、移動体が移動しながら旋回部が旋回するもの
である。
の出し入れ手段と他方の出し入れ手段との間で物品を移
載する際、移動体が移動しながら旋回部が旋回するもの
である。
【0027】これによると、移動体の移動と旋回部の旋
回とが同時に行われることで、一方の出し入れ手段と他
方の出し入れ手段との間で物品を移載する際に要する移
載時間を短縮することができる。
回とが同時に行われることで、一方の出し入れ手段と他
方の出し入れ手段との間で物品を移載する際に要する移
載時間を短縮することができる。
【0028】本第4発明における物品移送設備は、物品
を一方の出し入れ手段から他方の出し入れ手段へ移載す
る際、移載手段が一方の出し入れ手段側に待機して一方
の出し入れ手段から物品を受け取り、物品を他方の出し
入れ手段から一方の出し入れ手段へ移載する際、移載手
段が他方の出し入れ手段側に待機して他方の出し入れ手
段から物品を受け取るものである。
を一方の出し入れ手段から他方の出し入れ手段へ移載す
る際、移載手段が一方の出し入れ手段側に待機して一方
の出し入れ手段から物品を受け取り、物品を他方の出し
入れ手段から一方の出し入れ手段へ移載する際、移載手
段が他方の出し入れ手段側に待機して他方の出し入れ手
段から物品を受け取るものである。
【0029】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図1〜図1
3に基づいて説明する。図1,図2に示すように、1は
物品移送設備であり、両物品処理部2a,2bで処理さ
れる板状のガラス基板3をカセット5に収納した状態で
一時保管しかつ上記両物品処理部2a,2b間で移送す
るものである。上記物品移送設備1は相対向する一対の
棚4a,4bを有しており、両棚4a,4bには、上記
複数のガラス基板3が収納されたカセット5を収納保管
するための収納部6が上下方向に複数かつ間口方向(前
後方向)に複数形成されている。尚、この場合、上記ガ
ラス基板3とカセット5とで物品を構成している。
3に基づいて説明する。図1,図2に示すように、1は
物品移送設備であり、両物品処理部2a,2bで処理さ
れる板状のガラス基板3をカセット5に収納した状態で
一時保管しかつ上記両物品処理部2a,2b間で移送す
るものである。上記物品移送設備1は相対向する一対の
棚4a,4bを有しており、両棚4a,4bには、上記
複数のガラス基板3が収納されたカセット5を収納保管
するための収納部6が上下方向に複数かつ間口方向(前
後方向)に複数形成されている。尚、この場合、上記ガ
ラス基板3とカセット5とで物品を構成している。
【0030】上記両棚4a,4b間には、上記一方の棚
4aに対してカセット5を出し入れする一方の出し入れ
手段7aと、上記他方の棚4bに対してカセット5を出
し入れする他方の出し入れ手段7bとが設けられてい
る。
4aに対してカセット5を出し入れする一方の出し入れ
手段7aと、上記他方の棚4bに対してカセット5を出
し入れする他方の出し入れ手段7bとが設けられてい
る。
【0031】上記一方の出し入れ手段7aは、走行レー
ル8に支持案内されかつ一方の棚4aに沿って前後方向
に形成された一方の走行経路9a上を走行する走行体1
0と、この走行体10に立設されたマスト11と、この
マスト11に支持案内されて昇降する昇降体12と、こ
の昇降体12に設けられかつ上記一方の棚4aの収納部
6に対して出入りする伸縮自在なフォーク装置13とで
構成されている。
ル8に支持案内されかつ一方の棚4aに沿って前後方向
に形成された一方の走行経路9a上を走行する走行体1
0と、この走行体10に立設されたマスト11と、この
マスト11に支持案内されて昇降する昇降体12と、こ
の昇降体12に設けられかつ上記一方の棚4aの収納部
6に対して出入りする伸縮自在なフォーク装置13とで
構成されている。
【0032】また、上記他方の出し入れ手段7bは一方
の出し入れ手段7aと同様に構成されており、走行体1
0は他方の棚4bに沿って前後方向に形成された他方の
走行経路9b上を走行する。
の出し入れ手段7aと同様に構成されており、走行体1
0は他方の棚4bに沿って前後方向に形成された他方の
走行経路9b上を走行する。
【0033】上記一方の物品処理部2aは、ガラス基板
3に対して特殊な加工処理を行うものであり、一方の棚
4aに対して一方の出し入れ手段7aとは反対側に設け
られている。また、上記他方の物品処理部2bは、ガラ
ス基板3に対して一方の物品処理部2aとは異なる特殊
な加工処理を行うものであり、他方の棚4bに対して他
方の出し入れ手段7bとは反対側に設けられている。
3に対して特殊な加工処理を行うものであり、一方の棚
4aに対して一方の出し入れ手段7aとは反対側に設け
られている。また、上記他方の物品処理部2bは、ガラ
ス基板3に対して一方の物品処理部2aとは異なる特殊
な加工処理を行うものであり、他方の棚4bに対して他
方の出し入れ手段7bとは反対側に設けられている。
【0034】また、上記物品移送設備1には、カセット
5を一方の物品処理部2aから一方の棚4aへ搬送する
一方の入庫用搬送手段14aと、カセット5を一方の棚
4aから一方の物品処理部2aへ搬送する一方の出庫用
搬送手段15aと、カセット5を他方の物品処理部2b
から他方の棚4bへ搬送する他方の入庫用搬送手段14
bと、カセット5を他方の棚4bから他方の物品処理部
2bへ搬送する他方の出庫用搬送手段15bとが設けら
れている。
5を一方の物品処理部2aから一方の棚4aへ搬送する
一方の入庫用搬送手段14aと、カセット5を一方の棚
4aから一方の物品処理部2aへ搬送する一方の出庫用
搬送手段15aと、カセット5を他方の物品処理部2b
から他方の棚4bへ搬送する他方の入庫用搬送手段14
bと、カセット5を他方の棚4bから他方の物品処理部
2bへ搬送する他方の出庫用搬送手段15bとが設けら
れている。
【0035】尚、上記一方の入庫用搬送手段14aは、
トラバーサー16(横移載機)を介して、一方の棚4a
の最上段に形成された2ヶ所の入庫部17aへカセット
5を搬送するものである。また、上記一方の出庫用搬送
手段15aは、一方の棚4aの最上段に形成された2ヶ
所の出庫部18aから、トラバーサー16を介して、カ
セット5を一方の物品処理部2aへ搬送するものであ
る。同様に、上記他方の入庫用搬送手段14bは、トラ
バーサー16を介して、他方の棚4bの最上段に形成さ
れた2ヶ所の入庫部17bへカセット5を搬送するもの
である。また、上記他方の出庫用搬送手段15bは、他
方の棚4bの最上段に形成された2ヶ所の出庫部18b
から、トラバーサー16を介して、カセット5を他方の
物品処理部2bへ搬送するものである。
トラバーサー16(横移載機)を介して、一方の棚4a
の最上段に形成された2ヶ所の入庫部17aへカセット
5を搬送するものである。また、上記一方の出庫用搬送
手段15aは、一方の棚4aの最上段に形成された2ヶ
所の出庫部18aから、トラバーサー16を介して、カ
セット5を一方の物品処理部2aへ搬送するものであ
る。同様に、上記他方の入庫用搬送手段14bは、トラ
バーサー16を介して、他方の棚4bの最上段に形成さ
れた2ヶ所の入庫部17bへカセット5を搬送するもの
である。また、上記他方の出庫用搬送手段15bは、他
方の棚4bの最上段に形成された2ヶ所の出庫部18b
から、トラバーサー16を介して、カセット5を他方の
物品処理部2bへ搬送するものである。
【0036】上記一方の走行経路9aと他方の走行経路
9bとの間には、上記一方の出し入れ手段7aと他方の
出し入れ手段7bとの間でカセット5を移載する移載手
段25が複数台設けられている。
9bとの間には、上記一方の出し入れ手段7aと他方の
出し入れ手段7bとの間でカセット5を移載する移載手
段25が複数台設けられている。
【0037】図3,図4に示すように、上記各移載手段
25はそれぞれ、床上に敷設された前後一対のレール3
3に支持案内されて一方の出し入れ手段7aと他方の出
し入れ手段7bとの間を往復移動する台車装置26(移
動体の一例)と、この台車装置26の上部に設けられか
つ一方の出し入れ手段7aと他方の出し入れ手段7bと
の間でカセット5の向きを180°反転させる向き反転
装置27とで構成されている。
25はそれぞれ、床上に敷設された前後一対のレール3
3に支持案内されて一方の出し入れ手段7aと他方の出
し入れ手段7bとの間を往復移動する台車装置26(移
動体の一例)と、この台車装置26の上部に設けられか
つ一方の出し入れ手段7aと他方の出し入れ手段7bと
の間でカセット5の向きを180°反転させる向き反転
装置27とで構成されている。
【0038】上記台車装置26は、台車本体28と、こ
の台車本体28に設けられた複数の走行用駆動車輪29
と、台車本体28に設けられた複数の走行用従動車輪3
0と、上記走行用駆動車輪29を回転駆動させる走行駆
動装置31(モータ等)と、複数のガイドローラ32と
で構成されている。このうち、上記走行用駆動車輪29
と走行用従動車輪30とが上記レール33上を転動する
ことによって、台車装置26は移動経路34の一端部A
(一方の出し入れ手段7a側)と他端部B(他方の出し
入れ手段7b側)との間を往復移動する。
の台車本体28に設けられた複数の走行用駆動車輪29
と、台車本体28に設けられた複数の走行用従動車輪3
0と、上記走行用駆動車輪29を回転駆動させる走行駆
動装置31(モータ等)と、複数のガイドローラ32と
で構成されている。このうち、上記走行用駆動車輪29
と走行用従動車輪30とが上記レール33上を転動する
ことによって、台車装置26は移動経路34の一端部A
(一方の出し入れ手段7a側)と他端部B(他方の出し
入れ手段7b側)との間を往復移動する。
【0039】また、上記ガイドローラ32は上記いずれ
か片方のレール33の両側面を挟んだ状態で転動し、こ
れにより、走行用駆動車輪29と走行用従動車輪30と
がレール33の側方へ脱落することを防止している。さ
らに、上記レール33の両端には脱落防止用のストッパ
35が設けられている。
か片方のレール33の両側面を挟んだ状態で転動し、こ
れにより、走行用駆動車輪29と走行用従動車輪30と
がレール33の側方へ脱落することを防止している。さ
らに、上記レール33の両端には脱落防止用のストッパ
35が設けられている。
【0040】上記向き反転装置27は、カセット5を支
持しかつ縦軸心40周りに旋回自在なターンテーブル4
1(旋回部の一例)と、このターンテーブル41を18
0°の範囲で正方向C(図11参照)および逆方向D
(図13参照)へ旋回させる回転駆動装置42(モータ
等)とで構成されている。上記ターンテーブル41には
カセット5の底面を支持する一対の支持部43が形成さ
れ、これら支持部43間にはフォーク差込用スペース4
4が形成されており、上記出し入れ手段7a,7bのフ
ォーク装置13は上記フォーク差込用スペース44に対
して挿脱自在に構成されている。尚、上記ターンテーブ
ル41は、ベアリング等の軸受装置45を介して、旋回
自在に台車本体28の上部に支持されている。また、タ
ーンテーブル41の下端に設けられた円筒状のカップリ
ング46に上記回転駆動装置42の出力軸47が差し込
まれて連結されている。
持しかつ縦軸心40周りに旋回自在なターンテーブル4
1(旋回部の一例)と、このターンテーブル41を18
0°の範囲で正方向C(図11参照)および逆方向D
(図13参照)へ旋回させる回転駆動装置42(モータ
等)とで構成されている。上記ターンテーブル41には
カセット5の底面を支持する一対の支持部43が形成さ
れ、これら支持部43間にはフォーク差込用スペース4
4が形成されており、上記出し入れ手段7a,7bのフ
ォーク装置13は上記フォーク差込用スペース44に対
して挿脱自在に構成されている。尚、上記ターンテーブ
ル41は、ベアリング等の軸受装置45を介して、旋回
自在に台車本体28の上部に支持されている。また、タ
ーンテーブル41の下端に設けられた円筒状のカップリ
ング46に上記回転駆動装置42の出力軸47が差し込
まれて連結されている。
【0041】尚、図3,図5,図6に示すように、移載
手段25には、上記ターンテーブル41の旋回角度を1
80°に規制する規制装置48が設けられている。この
規制装置48は、台車本体28に180°振り分けられ
て設けられた固定ストッパ49,50と、ターンテーブ
ル41の下端に設けられた可動ストッパ51とで構成さ
れている。図5に示すように、上記ターンテーブル41
が180°正方向Cへ旋回した場合、上記可動ストッパ
51は、一方の固定ストッパ49に当接して、これ以上
正方向Cへ旋回するのを規制される。また、図6に示す
ように、ターンテーブル41が180°逆方向Dへ旋回
した場合、上記可動ストッパ51は、他方の固定ストッ
パ50に当接して、これ以上逆方向Dへ旋回するのを規
制される。
手段25には、上記ターンテーブル41の旋回角度を1
80°に規制する規制装置48が設けられている。この
規制装置48は、台車本体28に180°振り分けられ
て設けられた固定ストッパ49,50と、ターンテーブ
ル41の下端に設けられた可動ストッパ51とで構成さ
れている。図5に示すように、上記ターンテーブル41
が180°正方向Cへ旋回した場合、上記可動ストッパ
51は、一方の固定ストッパ49に当接して、これ以上
正方向Cへ旋回するのを規制される。また、図6に示す
ように、ターンテーブル41が180°逆方向Dへ旋回
した場合、上記可動ストッパ51は、他方の固定ストッ
パ50に当接して、これ以上逆方向Dへ旋回するのを規
制される。
【0042】さらに、移載手段25には、上記ターンテ
ーブル41が180°正方向Cおよび逆方向Dへ旋回し
たことを検出する旋回位置検出手段53が設けられてい
る。この旋回位置検出手段53は、台車本体28に設け
られて3本の光軸を上下方向に形成する第1〜第3の光
電スイッチ54a,54b,54cと、ターンテーブル
41の下端に設けられた一対の検出体55,56とで構
成されている。図5に示すように、上記ターンテーブル
41が180°正方向Cへ旋回した場合、一方の検出体
55が第1および第2の光電スイッチ54a,54bの
光軸を遮断し、これにより、ターンテーブル41が18
0°正方向Cへ旋回したことが検出される。また、図6
に示すように、上記ターンテーブル41が180°逆方
向Dへ旋回した場合、他方の検出体56が第2および第
3の光電スイッチ54b,54cの光軸を遮断し、これ
により、ターンテーブル41が180°逆方向Dへ旋回
したことが検出される。
ーブル41が180°正方向Cおよび逆方向Dへ旋回し
たことを検出する旋回位置検出手段53が設けられてい
る。この旋回位置検出手段53は、台車本体28に設け
られて3本の光軸を上下方向に形成する第1〜第3の光
電スイッチ54a,54b,54cと、ターンテーブル
41の下端に設けられた一対の検出体55,56とで構
成されている。図5に示すように、上記ターンテーブル
41が180°正方向Cへ旋回した場合、一方の検出体
55が第1および第2の光電スイッチ54a,54bの
光軸を遮断し、これにより、ターンテーブル41が18
0°正方向Cへ旋回したことが検出される。また、図6
に示すように、上記ターンテーブル41が180°逆方
向Dへ旋回した場合、他方の検出体56が第2および第
3の光電スイッチ54b,54cの光軸を遮断し、これ
により、ターンテーブル41が180°逆方向Dへ旋回
したことが検出される。
【0043】また、図3に示すように、上記レール33
には、台車装置26が移動経路34の一端部Aまで移動
したことを検出する一方の検出器57aと他端部Bまで
移動したことを検出する他方の検出器57bとが設けら
れている。
には、台車装置26が移動経路34の一端部Aまで移動
したことを検出する一方の検出器57aと他端部Bまで
移動したことを検出する他方の検出器57bとが設けら
れている。
【0044】また、図1,図2に示すように、上記棚4
a,4bと出し入れ手段7a,7bと移載手段25とは
クリーンルーム60内に設置されている。このクリーン
ルーム60には、複数のフィルター61と換気用のファ
ン62とが設けられている。
a,4bと出し入れ手段7a,7bと移載手段25とは
クリーンルーム60内に設置されている。このクリーン
ルーム60には、複数のフィルター61と換気用のファ
ン62とが設けられている。
【0045】以下、上記構成における作用を説明する。
一方の物品処理部2aにおいてガラス基板3に加工処
理を施した後、他方の物品処理部2bにおいて加工処理
する場合、先ず、上記一方の物品処理部2aで処理され
たガラス基板3がカセット5に収納され、図1,図2に
示すように、このカセット5が、一方の入庫用搬送手段
14aによって搬送され、トラバーサー16を介して一
方の棚4aのいずれか片方の入庫部17aへ一旦入庫さ
れる。
一方の物品処理部2aにおいてガラス基板3に加工処
理を施した後、他方の物品処理部2bにおいて加工処理
する場合、先ず、上記一方の物品処理部2aで処理され
たガラス基板3がカセット5に収納され、図1,図2に
示すように、このカセット5が、一方の入庫用搬送手段
14aによって搬送され、トラバーサー16を介して一
方の棚4aのいずれか片方の入庫部17aへ一旦入庫さ
れる。
【0046】その後、一方の出し入れ手段7aの走行体
10の走行と昇降体12の昇降とフォーク装置13の伸
縮とによって、上記カセット5は、入庫部17aから取
り出され、一方の棚4aの収納部6に収納されて一時保
管される。
10の走行と昇降体12の昇降とフォーク装置13の伸
縮とによって、上記カセット5は、入庫部17aから取
り出され、一方の棚4aの収納部6に収納されて一時保
管される。
【0047】一時保管後、上記カセット5は、一方の出
し入れ手段7aによって一方の棚4aの収納部6から取
り出され、一方の出し入れ手段7aに保持される。そし
て、図7に示すように、一方の出し入れ手段7aの走行
体10が移動経路34の一端部Aに待機している移載手
段25の隣まで走行し、昇降体12の昇降とフォーク装
置13の伸縮とによって、図8の実線および図10に示
すように、上記カセット5が上記移載手段25のターン
テーブル41上に渡されて支持部43で支持される。
尚、図4に示すように、カセット5が支持部43で支持
された状態で、上記フォーク装置13が短縮してフォー
ク差込用スペース44内から脱抜される。
し入れ手段7aによって一方の棚4aの収納部6から取
り出され、一方の出し入れ手段7aに保持される。そし
て、図7に示すように、一方の出し入れ手段7aの走行
体10が移動経路34の一端部Aに待機している移載手
段25の隣まで走行し、昇降体12の昇降とフォーク装
置13の伸縮とによって、図8の実線および図10に示
すように、上記カセット5が上記移載手段25のターン
テーブル41上に渡されて支持部43で支持される。
尚、図4に示すように、カセット5が支持部43で支持
された状態で、上記フォーク装置13が短縮してフォー
ク差込用スペース44内から脱抜される。
【0048】上記のようにして一方の出し入れ手段7a
からカセット5を受け取った移載手段25の台車装置2
6が移動経路34の一端部Aから他端部Bへ向けて移動
する。
からカセット5を受け取った移載手段25の台車装置2
6が移動経路34の一端部Aから他端部Bへ向けて移動
する。
【0049】この際、図11に示すように、上記移載手
段25が一方の出し入れ手段7aから一定距離Lだけ離
れた時点で、引き続き台車装置26が移動しながら、回
転駆動装置42が作動してターンテーブル41が縦軸心
40周りに180°正方向Cへ旋回するため、図12に
示すように、カセット5の向きが180°反転する。こ
のように、一定距離Lだけ離れた時点でターンテーブル
41の旋回が始まることによって、ターンテーブル41
やカセット5が旋回中に一方の出し入れ手段7aに干渉
することを防止し得る。
段25が一方の出し入れ手段7aから一定距離Lだけ離
れた時点で、引き続き台車装置26が移動しながら、回
転駆動装置42が作動してターンテーブル41が縦軸心
40周りに180°正方向Cへ旋回するため、図12に
示すように、カセット5の向きが180°反転する。こ
のように、一定距離Lだけ離れた時点でターンテーブル
41の旋回が始まることによって、ターンテーブル41
やカセット5が旋回中に一方の出し入れ手段7aに干渉
することを防止し得る。
【0050】そして、図8の仮想線および図12に示す
ように、上記台車装置26が移動経路34の他端部Bに
到達すると停止し、他方の出し入れ手段7bが、他方の
走行経路9b上を走行して、上記他端部Bの移載手段2
5の隣に停止する。
ように、上記台車装置26が移動経路34の他端部Bに
到達すると停止し、他方の出し入れ手段7bが、他方の
走行経路9b上を走行して、上記他端部Bの移載手段2
5の隣に停止する。
【0051】そして、図9に示すように、他方の出し入
れ手段7bのフォーク装置13が伸長してフォーク差込
用スペース44内に差し込まれ、昇降体12の昇降と上
記フォーク装置13の短縮とによって、カセット5がタ
ーンテーブル41から掬い取られて他方の出し入れ手段
7bに移載される。
れ手段7bのフォーク装置13が伸長してフォーク差込
用スペース44内に差し込まれ、昇降体12の昇降と上
記フォーク装置13の短縮とによって、カセット5がタ
ーンテーブル41から掬い取られて他方の出し入れ手段
7bに移載される。
【0052】その後、上記カセット5は、図1に示すよ
うに、他方の出し入れ手段7bによって他方の棚4bの
出庫部18bへ収納され、その後、他方の出庫用搬送手
段15bによって出庫部18bから出庫され他方の物品
処理部2bへ搬送される。そして、他方の物品処理部2
bにおいて、カセット5内に収納されたガラス基板3が
処理される。
うに、他方の出し入れ手段7bによって他方の棚4bの
出庫部18bへ収納され、その後、他方の出庫用搬送手
段15bによって出庫部18bから出庫され他方の物品
処理部2bへ搬送される。そして、他方の物品処理部2
bにおいて、カセット5内に収納されたガラス基板3が
処理される。
【0053】上記において、図10〜図12に示すよ
うに、移載手段25によってカセット5を一方の出し入
れ手段7aから他方の出し入れ手段7bに移載する際、
ターンテーブル41を正方向Cへ180°旋回させて、
カセット5の向きをイ方向(図10参照)からロ方向
(図12参照)へ反転させているため、一方の物品処理
部2aに対するカセット5の向き(=イ方向)関係と他
方の物品処理部2bに対するカセット5の向き(=ロ方
向)関係とを同じにして、カセット5を移送することが
できる。
うに、移載手段25によってカセット5を一方の出し入
れ手段7aから他方の出し入れ手段7bに移載する際、
ターンテーブル41を正方向Cへ180°旋回させて、
カセット5の向きをイ方向(図10参照)からロ方向
(図12参照)へ反転させているため、一方の物品処理
部2aに対するカセット5の向き(=イ方向)関係と他
方の物品処理部2bに対するカセット5の向き(=ロ方
向)関係とを同じにして、カセット5を移送することが
できる。
【0054】上記とは反対に、他方の物品処理部2
bにおいてガラス基板3に加工処理を施した後、一方の
物品処理部2aにおいて加工処理する場合、先ず、上記
他方の物品処理部2bで処理されたガラス基板3がカセ
ット5に収納され、図1,図2に示すように、このカセ
ット5が、他方の入庫用搬送手段14bによって搬送さ
れ、トラバーサー16を介して他方の棚4bのいずれか
片方の入庫部17bへ一旦入庫される。
bにおいてガラス基板3に加工処理を施した後、一方の
物品処理部2aにおいて加工処理する場合、先ず、上記
他方の物品処理部2bで処理されたガラス基板3がカセ
ット5に収納され、図1,図2に示すように、このカセ
ット5が、他方の入庫用搬送手段14bによって搬送さ
れ、トラバーサー16を介して他方の棚4bのいずれか
片方の入庫部17bへ一旦入庫される。
【0055】その後、他方の出し入れ手段7bの走行体
10の走行と昇降体12の昇降とフォーク装置13の伸
縮とによって、上記カセット5は、入庫部17bから取
り出され、他方の棚4bの収納部6に収納されて一時保
管される。
10の走行と昇降体12の昇降とフォーク装置13の伸
縮とによって、上記カセット5は、入庫部17bから取
り出され、他方の棚4bの収納部6に収納されて一時保
管される。
【0056】一時保管後、上記カセット5は、他方の出
し入れ手段7bによって他方の棚4bの収納部6から取
り出され、他方の出し入れ手段7bに保持される。そし
て、図9に示すように、他方の出し入れ手段7bの走行
体10が移動経路34の他端部Bに待機している移載手
段25の隣まで走行し、昇降体12の昇降とフォーク装
置13の伸縮とによって、図8の仮想線および図12で
示すように、上記カセット5が上記移載手段25のター
ンテーブル41上に渡されて支持部43で支持される。
尚、カセット5が支持部43で支持された状態で、上記
フォーク装置13が短縮してフォーク差込用スペース4
4内から脱抜される。
し入れ手段7bによって他方の棚4bの収納部6から取
り出され、他方の出し入れ手段7bに保持される。そし
て、図9に示すように、他方の出し入れ手段7bの走行
体10が移動経路34の他端部Bに待機している移載手
段25の隣まで走行し、昇降体12の昇降とフォーク装
置13の伸縮とによって、図8の仮想線および図12で
示すように、上記カセット5が上記移載手段25のター
ンテーブル41上に渡されて支持部43で支持される。
尚、カセット5が支持部43で支持された状態で、上記
フォーク装置13が短縮してフォーク差込用スペース4
4内から脱抜される。
【0057】上記のようにして他方の出し入れ手段7b
からカセット5を受け取った移載手段25の台車装置2
6が移動経路34の他端部Bから一端部Aへ向けて移動
する。
からカセット5を受け取った移載手段25の台車装置2
6が移動経路34の他端部Bから一端部Aへ向けて移動
する。
【0058】この際、図13に示すように、上記移載手
段25が他方の出し入れ手段7bから一定距離Lだけ離
れた時点で、引き続き台車装置26が移動しながら、回
転駆動装置42が作動してターンテーブル41が縦軸心
40周りに180°逆方向Dへ旋回するため、図10に
示すように、カセット5の向きが180°反転する。こ
のように、一定距離Lだけ離れた時点でターンテーブル
41の旋回が始まることによって、ターンテーブル41
やカセット5が旋回中に他方の出し入れ手段7bに干渉
することを防止し得る。
段25が他方の出し入れ手段7bから一定距離Lだけ離
れた時点で、引き続き台車装置26が移動しながら、回
転駆動装置42が作動してターンテーブル41が縦軸心
40周りに180°逆方向Dへ旋回するため、図10に
示すように、カセット5の向きが180°反転する。こ
のように、一定距離Lだけ離れた時点でターンテーブル
41の旋回が始まることによって、ターンテーブル41
やカセット5が旋回中に他方の出し入れ手段7bに干渉
することを防止し得る。
【0059】そして、図8の実線および図10で示すよ
うに、上記台車装置26が移動経路34の一端部Aに到
達すると停止し、一方の出し入れ手段7aが、一方の走
行経路9a上を走行して、上記一端部Aの移載手段25
の隣に停止する。
うに、上記台車装置26が移動経路34の一端部Aに到
達すると停止し、一方の出し入れ手段7aが、一方の走
行経路9a上を走行して、上記一端部Aの移載手段25
の隣に停止する。
【0060】そして、図7に示すように、一方の出し入
れ手段7aのフォーク装置13が伸長してフォーク差込
用スペース44内に差し込まれ、昇降体12の昇降と上
記フォーク装置13の短縮とによって、カセット5がタ
ーンテーブル41から掬い取られて一方の出し入れ手段
7aに移載される。
れ手段7aのフォーク装置13が伸長してフォーク差込
用スペース44内に差し込まれ、昇降体12の昇降と上
記フォーク装置13の短縮とによって、カセット5がタ
ーンテーブル41から掬い取られて一方の出し入れ手段
7aに移載される。
【0061】その後、上記カセット5は、図1に示すよ
うに、一方の出し入れ手段7aによって一方の棚4aの
出庫部18aへ収納され、その後、一方の出庫用搬送手
段15aによって出庫部18aから出庫され一方の物品
処理部2aへ搬送される。そして、一方の物品処理部2
aにおいて、カセット5内に収納されたガラス基板3が
処理される。
うに、一方の出し入れ手段7aによって一方の棚4aの
出庫部18aへ収納され、その後、一方の出庫用搬送手
段15aによって出庫部18aから出庫され一方の物品
処理部2aへ搬送される。そして、一方の物品処理部2
aにおいて、カセット5内に収納されたガラス基板3が
処理される。
【0062】上記において、図13に示すように、移
載手段25によってカセット5を他方の出し入れ手段7
bから一方の出し入れ手段7aに移載する際、ターンテ
ーブル41を逆方向Dへ180°旋回させて、カセット
5の向きをロ方向(図12参照)からイ方向(図10参
照)へ反転させているため、他方の物品処理部2bに対
するカセット5の向き(=ロ方向)関係と一方の物品処
理部2aに対するカセット5の向き(=イ方向)関係と
を同じにして、カセット5を移送することができる。
載手段25によってカセット5を他方の出し入れ手段7
bから一方の出し入れ手段7aに移載する際、ターンテ
ーブル41を逆方向Dへ180°旋回させて、カセット
5の向きをロ方向(図12参照)からイ方向(図10参
照)へ反転させているため、他方の物品処理部2bに対
するカセット5の向き(=ロ方向)関係と一方の物品処
理部2aに対するカセット5の向き(=イ方向)関係と
を同じにして、カセット5を移送することができる。
【0063】上記のような物品移送設備1において、図
1に示すように、相対向する一方および他方の棚4a,
4b間に、一方および他方の出し入れ手段7a,7bと
移載手段25とを設け、一方の棚4aに対して一方の出
し入れ手段7aとは反対側に一方の物品処理部2aを設
け、他方の棚4bに対して他方の出し入れ手段7bとは
反対側に他方の物品処理部2bを設けた配置にしている
ため、従来に比べて、物品移送設備1の前後の大きさS
が小型縮小化される。
1に示すように、相対向する一方および他方の棚4a,
4b間に、一方および他方の出し入れ手段7a,7bと
移載手段25とを設け、一方の棚4aに対して一方の出
し入れ手段7aとは反対側に一方の物品処理部2aを設
け、他方の棚4bに対して他方の出し入れ手段7bとは
反対側に他方の物品処理部2bを設けた配置にしている
ため、従来に比べて、物品移送設備1の前後の大きさS
が小型縮小化される。
【0064】また、上記のような配置であっても、上記
,のように、移載手段25によってカセット5を一
方の出し入れ手段7aと他方の出し入れ手段7bとの間
で移載する際、向き反転装置27でカセット5の向きを
180°反転させているため、一方の物品処理部2aに
対するカセット5の向き関係と他方の物品処理部2bに
対するカセット5の向き関係とを同じにして、カセット
5を移送することができる。
,のように、移載手段25によってカセット5を一
方の出し入れ手段7aと他方の出し入れ手段7bとの間
で移載する際、向き反転装置27でカセット5の向きを
180°反転させているため、一方の物品処理部2aに
対するカセット5の向き関係と他方の物品処理部2bに
対するカセット5の向き関係とを同じにして、カセット
5を移送することができる。
【0065】さらに、一方の出し入れ手段7aと他方の
出し入れ手段7bとの間でカセット5を移載する際、移
載手段25の台車装置26の移動とターンテーブル41
の旋回とが同時に行われるため、移載時間を短縮するこ
とができ、作業効率が向上する。
出し入れ手段7bとの間でカセット5を移載する際、移
載手段25の台車装置26の移動とターンテーブル41
の旋回とが同時に行われるため、移載時間を短縮するこ
とができ、作業効率が向上する。
【0066】上記実施の形態では、物品の一例として、
ガラス基板3を収納したカセット5を移送しているが、
ガラス基板3やカセット5に限定されるものではなく、
例えば、部品をバケット等に収納したものなどを移送し
たり、或いは、カセットやバケット等に収納しない状態
で物品を移送してもよい。
ガラス基板3を収納したカセット5を移送しているが、
ガラス基板3やカセット5に限定されるものではなく、
例えば、部品をバケット等に収納したものなどを移送し
たり、或いは、カセットやバケット等に収納しない状態
で物品を移送してもよい。
【0067】上記実施の形態では、図1に示すように、
一方の走行経路9a上に一方の出し入れ手段7aを1台
配置しているが、複数台配置してもよい。また、他方の
走行経路9b上に他方の出し入れ手段7bを1台配置し
ているが、複数台配置してもよい。
一方の走行経路9a上に一方の出し入れ手段7aを1台
配置しているが、複数台配置してもよい。また、他方の
走行経路9b上に他方の出し入れ手段7bを1台配置し
ているが、複数台配置してもよい。
【0068】上記実施の形態では、出し入れ手段7a,
7bを、走行レール8に支持案内されて走行する走行体
10と、この走行体10に立設されたマスト11に支持
案内されて昇降する昇降体12と、この昇降体12に設
けられたフォーク装置13とで構成しているが、走行経
路9a,9bにわたって配設された昇降自在な走行レー
ルと、この走行レールに支持案内されて走行する移載機
と、この移載機に設けられたフォーク装置とで構成して
もよい。
7bを、走行レール8に支持案内されて走行する走行体
10と、この走行体10に立設されたマスト11に支持
案内されて昇降する昇降体12と、この昇降体12に設
けられたフォーク装置13とで構成しているが、走行経
路9a,9bにわたって配設された昇降自在な走行レー
ルと、この走行レールに支持案内されて走行する移載機
と、この移載機に設けられたフォーク装置とで構成して
もよい。
【0069】上記実施の形態では、出し入れ手段7a,
7bのフォーク装置13を用いて、カセット5を移載手
段25のターンテーブル41に受け渡ししているが、上
記フォーク装置13の代わりにローラコンベヤ等の搬送
装置を用いて、カセット5を移載手段25との間で受け
渡し(搬送)してもよい。
7bのフォーク装置13を用いて、カセット5を移載手
段25のターンテーブル41に受け渡ししているが、上
記フォーク装置13の代わりにローラコンベヤ等の搬送
装置を用いて、カセット5を移載手段25との間で受け
渡し(搬送)してもよい。
【0070】上記実施の形態では、物品処理部2a,2
bにおいて、ガラス基板3に対する加工を行っている
が、処理とは加工に限定されるものではなく、例えば、
ガラス基板3をカセット5に収納する等の積み付けなど
を行ってもよい。
bにおいて、ガラス基板3に対する加工を行っている
が、処理とは加工に限定されるものではなく、例えば、
ガラス基板3をカセット5に収納する等の積み付けなど
を行ってもよい。
【0071】
【発明の効果】以上のように、本第1発明によると、相
対向する一方および他方の棚の間に、一方および他方の
出し入れ手段と移載手段とを設け、一方の棚に対して一
方の出し入れ手段とは反対側に一方の物品処理部を設
け、他方の棚に対して他方の出し入れ手段とは反対側に
他方の物品処理部を設けた配置にしているため、従来に
比べて、物品移送設備の前後の大きさが小型縮小化され
る。
対向する一方および他方の棚の間に、一方および他方の
出し入れ手段と移載手段とを設け、一方の棚に対して一
方の出し入れ手段とは反対側に一方の物品処理部を設
け、他方の棚に対して他方の出し入れ手段とは反対側に
他方の物品処理部を設けた配置にしているため、従来に
比べて、物品移送設備の前後の大きさが小型縮小化され
る。
【0072】また、上記のような配置であっても、移載
手段によって物品を一方の出し入れ手段と他方の出し入
れ手段との間で移載する際、向き反転装置で物品の向き
を反転させているため、一方の物品処理部に対する物品
の向き関係と他方の物品処理部に対する物品の向き関係
とを同じにして、物品を移送することができる。
手段によって物品を一方の出し入れ手段と他方の出し入
れ手段との間で移載する際、向き反転装置で物品の向き
を反転させているため、一方の物品処理部に対する物品
の向き関係と他方の物品処理部に対する物品の向き関係
とを同じにして、物品を移送することができる。
【0073】また、本第3発明によると、移動体の移動
と旋回部の旋回とが同時に行われることで、一方の出し
入れ手段と他方の出し入れ手段との間で物品を移載する
際に要する移載時間を短縮することができる。
と旋回部の旋回とが同時に行われることで、一方の出し
入れ手段と他方の出し入れ手段との間で物品を移載する
際に要する移載時間を短縮することができる。
【図1】本発明の実施の形態における物品移送設備の平
面図である。
面図である。
【図2】同、物品移送設備の正面図である。
【図3】同、物品移送設備の移載手段の正面図である。
【図4】図3におけるX−X矢視図である。
【図5】同、物品移送設備の移載手段に設けられた規制
装置と旋回位置検出手段との平面図であり、ターンテー
ブルを正方向へ旋回させた場合を示す。
装置と旋回位置検出手段との平面図であり、ターンテー
ブルを正方向へ旋回させた場合を示す。
【図6】同、物品移送設備の移載手段に設けられた規制
装置と旋回位置検出手段との平面図であり、ターンテー
ブルを逆方向へ旋回させた場合を示す。
装置と旋回位置検出手段との平面図であり、ターンテー
ブルを逆方向へ旋回させた場合を示す。
【図7】同、物品移送設備の一方の出し入れ手段と移載
手段との間でカセットを受け渡しする際の図である。
手段との間でカセットを受け渡しする際の図である。
【図8】同、物品移送設備の移載手段を移動経路に沿っ
て移動させている際の図である。
て移動させている際の図である。
【図9】同、物品移送設備の他方の出し入れ手段と移載
手段との間でカセットを受け渡しする際の図である。
手段との間でカセットを受け渡しする際の図である。
【図10】同、物品移送設備の移載手段の平面図であ
り、移載手段が移動経路の一端部に位置している状態を
示す。
り、移載手段が移動経路の一端部に位置している状態を
示す。
【図11】同、物品移送設備の移載手段の平面図であ
り、ターンテーブルが正方向へ旋回している状態を示
す。
り、ターンテーブルが正方向へ旋回している状態を示
す。
【図12】同、物品移送設備の移載手段の平面図であ
り、移載手段が移動経路の他端部に位置している状態を
示す。
り、移載手段が移動経路の他端部に位置している状態を
示す。
【図13】同、物品移送設備の移載手段の平面図であ
り、ターンテーブルが逆方向へ旋回している状態を示
す。
り、ターンテーブルが逆方向へ旋回している状態を示
す。
【図14】従来の物品移送設備の平面図である。
1 物品移送設備 2a,2b 物品処理部 3 ガラス基板(物品) 4a,4b 棚 5 カセット(物品) 7a,7b 出し入れ手段 14a,15a 一方の搬送手段 14b,15b 他方の搬送手段 25 移載手段 26 台車装置(移動体) 27 向き反転装置 34 移動経路 41 ターンテーブル(旋回部) A 一端部 B 他端部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/68 H01L 21/68 A Fターム(参考) 3F022 AA08 BB09 CC02 DD01 EE05 FF02 JJ12 KK01 LL12 NN02 QQ11 5F031 CA05 DA17 FA02 FA15 FA20 GA49 GA51 GA58 MA06 NA02 PA30
Claims (4)
- 【請求項1】 相対向する棚と、上記一方の棚に対して
物品を出し入れする一方の出し入れ手段と、上記他方の
棚に対して物品を出し入れする他方の出し入れ手段とが
設けられ、上記一方および他方の出し入れ手段は一方の
棚と他方の棚との間に配置され、上記一方の棚に対して
一方の出し入れ手段とは反対側に一方の物品処理部が設
けられ、上記一方の棚と一方の物品処理部との間で物品
を搬送する一方の搬送手段が設けられ、上記他方の棚に
対して他方の出し入れ手段とは反対側に他方の物品処理
部が設けられ、上記他方の棚と他方の物品処理部との間
で物品を搬送する他方の搬送手段が設けられ、上記一方
の出し入れ手段と他方の出し入れ手段との間で物品を移
載する移載手段が設けられ、上記移載手段は、一方の出
し入れ手段と他方の出し入れ手段との間を移動する移動
体と、この移動体に設けられかつ一方の出し入れ手段と
他方の出し入れ手段との間で物品の向きを反転させる向
き反転装置とで構成されていることを特徴とする物品移
送設備。 - 【請求項2】 向き反転装置として、物品を支持しかつ
縦軸心周りに旋回自在な旋回部が用いられ、移動体が移
動経路の一端部に位置している場合、上記旋回部と一方
の出し入れ手段との間で物品の受け渡しが可能となり、
移動体が移動経路の他端部に位置している場合、上記旋
回部と他方の出し入れ手段との間で物品の受け渡しが可
能となることを特徴とする請求項1記載の物品移送設
備。 - 【請求項3】 一方の出し入れ手段と他方の出し入れ手
段との間で物品を移載する際、移動体が移動しながら旋
回部が旋回することを特徴とする請求項2記載の物品移
送設備。 - 【請求項4】 物品を一方の出し入れ手段から他方の出
し入れ手段へ移載する際、移載手段が一方の出し入れ手
段側に待機して一方の出し入れ手段から物品を受け取
り、物品を他方の出し入れ手段から一方の出し入れ手段
へ移載する際、移載手段が他方の出し入れ手段側に待機
して他方の出し入れ手段から物品を受け取ることを特徴
とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の物品移
送設備。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001177838A JP2002370804A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | 物品移送設備 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001177838A JP2002370804A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | 物品移送設備 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002370804A true JP2002370804A (ja) | 2002-12-24 |
Family
ID=19018623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001177838A Pending JP2002370804A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | 物品移送設備 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002370804A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008007225A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Daifuku Co Ltd | 物品収納設備 |
JP2008162795A (ja) * | 2007-01-04 | 2008-07-17 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫システム |
-
2001
- 2001-06-13 JP JP2001177838A patent/JP2002370804A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008007225A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Daifuku Co Ltd | 物品収納設備 |
JP4623381B2 (ja) * | 2006-06-27 | 2011-02-02 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
JP2008162795A (ja) * | 2007-01-04 | 2008-07-17 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫システム |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040116 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20051202 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20051220 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060509 |