JP2002357821A - 多角傾斜状反射板及びその製造方法 - Google Patents
多角傾斜状反射板及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 反射光線を特定の範囲内に効率よく反射し、
反射強度が均一に分散して好ましい視野角と輝度が得ら
れるとともに、従来の拡散板構造を省くことのできる液
晶表示装置の傾斜状反射板、製造方法、及び該傾斜状反
射板を用いた液晶表示装置を提供する。 【解決手段】 基材と、該基材上に薄膜トランジスタを
形成させると同時に形成され、かつ二種類以上の異なる
傾斜角度を具える傾斜状積層構造と、該薄膜トランジス
タと該傾斜状積層構造上に塗布され、加熱されて表面が
平滑化する有機層と該有機層上に形成される第１金属層
とによって多角度傾斜状反射板を構成し、該傾斜角度を
該第１金属層の表面と該基材の表面との夾角とする。
反射強度が均一に分散して好ましい視野角と輝度が得ら
れるとともに、従来の拡散板構造を省くことのできる液
晶表示装置の傾斜状反射板、製造方法、及び該傾斜状反
射板を用いた液晶表示装置を提供する。 【解決手段】 基材と、該基材上に薄膜トランジスタを
形成させると同時に形成され、かつ二種類以上の異なる
傾斜角度を具える傾斜状積層構造と、該薄膜トランジス
タと該傾斜状積層構造上に塗布され、加熱されて表面が
平滑化する有機層と該有機層上に形成される第１金属層
とによって多角度傾斜状反射板を構成し、該傾斜角度を
該第１金属層の表面と該基材の表面との夾角とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示板に関し、
特に多角傾斜状の反射板(Multi−Slants Reflector)及
びその製造方法に関する。
特に多角傾斜状の反射板(Multi−Slants Reflector)及
びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置は、１９７０年に初めて電
子卓上計算機とデジタル表示の時計に応用された。目下
ノートブックタイプのコンピュータ、テレビ、ワードプ
ロセッサなどに応用されていて、急速に普及している、
目下ノートブックタイプのコンピュータ、テレビジョ
ン、もしくはワードプロセッサなどに応用され、かつ急
速に普及している。現在、モニターとして最も広く使用
されているのがＣＲＴと称するブラウン管を利用した表
示装置であるが、これは重量が重く、体積が大きすぎ、
消費電力も大きく、設置のスペースを取るなどの欠点を
有する。
子卓上計算機とデジタル表示の時計に応用された。目下
ノートブックタイプのコンピュータ、テレビ、ワードプ
ロセッサなどに応用されていて、急速に普及している、
目下ノートブックタイプのコンピュータ、テレビジョ
ン、もしくはワードプロセッサなどに応用され、かつ急
速に普及している。現在、モニターとして最も広く使用
されているのがＣＲＴと称するブラウン管を利用した表
示装置であるが、これは重量が重く、体積が大きすぎ、
消費電力も大きく、設置のスペースを取るなどの欠点を
有する。
【０００３】液晶表示装置には反射率（Reflectivity）
が低すぎるという問題がある。一般の新聞紙の反射率は
標準の白色で５５％になる、ツイストネマティック・タ
イプの白黒液晶表示装置の反射率は、通常２５％を下回
る。コントラストは５：１以上を達成することができる
が、反射率が低いことから反射光線の明るさが弱すぎ、
また視野角が狭いなどの欠点を具え、使用者にとって甚
だ不便である。
が低すぎるという問題がある。一般の新聞紙の反射率は
標準の白色で５５％になる、ツイストネマティック・タ
イプの白黒液晶表示装置の反射率は、通常２５％を下回
る。コントラストは５：１以上を達成することができる
が、反射率が低いことから反射光線の明るさが弱すぎ、
また視野角が狭いなどの欠点を具え、使用者にとって甚
だ不便である。
【０００４】図１にミラー反射板構造における入射、反
射光線の反射に係る説明を示す。入射光線３２と垂直法
線３０とによって形成される夾角を形成する角度θで照
射されると、基材３６上の反射板３８の表面と垂直法線
３０が垂直になる状態において、反射光線３４と垂直法
線３０との間で形成される角度ａ１は、角度θと同一の
角度になる。
射光線の反射に係る説明を示す。入射光線３２と垂直法
線３０とによって形成される夾角を形成する角度θで照
射されると、基材３６上の反射板３８の表面と垂直法線
３０が垂直になる状態において、反射光線３４と垂直法
線３０との間で形成される角度ａ１は、角度θと同一の
角度になる。
【０００５】図２に従来のミラー反射板と、拡散板を具
える液晶表示装置の構造を示す。該液晶表示装置は反射
強度（intensity）が分散して弱くなる点を改善してい
る。即ち、図示による従来の液晶表示装置は、液晶層５
８の下方にミラー反射板５６を設け、金属ミラーを利用
して入射光線５０を反射光線５２の方向に反射する。但
し、前述の光線反射の原理から分かるように、光線の入
射角度は反射角度と等しいため、ミラー反射板５６を具
える構造にのみ頼っていたのでは、反射光線が特定の角
度に集中し、その他角度は反射光線が弱すぎるという欠
点が発生する。図３に、かかる従来の装置の反射強度と
反射角度の関数を示す。図示における曲線Ａは、液晶表
示装置にミラー反射板を設けた構造において出現する反
射強度と反射関数を表わす。入射光線が−３０度の角度
で入射した場合、反射角度も３０度に集中する。ここか
ら明らかなように、液晶表示装置にミラー反射板を設け
ただけでは、反射角度は確かに特定の角度に集中するの
みであって、その他角度においては明るさが低すぎるこ
とになり視野角が狭くなるという欠点を具える。
える液晶表示装置の構造を示す。該液晶表示装置は反射
強度（intensity）が分散して弱くなる点を改善してい
る。即ち、図示による従来の液晶表示装置は、液晶層５
８の下方にミラー反射板５６を設け、金属ミラーを利用
して入射光線５０を反射光線５２の方向に反射する。但
し、前述の光線反射の原理から分かるように、光線の入
射角度は反射角度と等しいため、ミラー反射板５６を具
える構造にのみ頼っていたのでは、反射光線が特定の角
度に集中し、その他角度は反射光線が弱すぎるという欠
点が発生する。図３に、かかる従来の装置の反射強度と
反射角度の関数を示す。図示における曲線Ａは、液晶表
示装置にミラー反射板を設けた構造において出現する反
射強度と反射関数を表わす。入射光線が−３０度の角度
で入射した場合、反射角度も３０度に集中する。ここか
ら明らかなように、液晶表示装置にミラー反射板を設け
ただけでは、反射角度は確かに特定の角度に集中するの
みであって、その他角度においては明るさが低すぎるこ
とになり視野角が狭くなるという欠点を具える。
【０００６】そこで、従来の技術の延長線上において、
偏光フィルタ(polarizer)６８と位相板（retadation）
６４の下方拡散板（diffuser）６４を設ける技術が開発
された。拡散板６４は、図３に示すように反射強度をや
や緩和する作用を具える。図３における曲線Ｂは拡散板
６４を設けた後の反射強度と反射角度の関数を表わす曲
線である。拡散板６４は光線の強度を分散する作用を具
えるので、かかる拡散板を具える構造は反射強度が約３
０度の角度に集中する欠点を改善することができ、反射
強度と反射角度の関数曲線も緩和する傾向にある。
偏光フィルタ(polarizer)６８と位相板（retadation）
６４の下方拡散板（diffuser）６４を設ける技術が開発
された。拡散板６４は、図３に示すように反射強度をや
や緩和する作用を具える。図３における曲線Ｂは拡散板
６４を設けた後の反射強度と反射角度の関数を表わす曲
線である。拡散板６４は光線の強度を分散する作用を具
えるので、かかる拡散板を具える構造は反射強度が約３
０度の角度に集中する欠点を改善することができ、反射
強度と反射角度の関数曲線も緩和する傾向にある。
【０００７】液晶表示装置モバイルタイプのコンピュー
タ、パーソナル・ディジタルアシスト（ＰＤＡ）などの
所謂ディジタル化情報製品にも広く応用されている。仮
に液晶表示装置がミラー反射板を設けただけの構造であ
れば、使用者は装置を操作する場合、視線を反射光線の
角度に向けなければ、液晶表示装置に表示される内容を
はっきり見ることができない。これは装置を操作する上
で極めて不便である。使用者が実際にモバイルタイプの
コンピュータ、もしくはＰＤＡなどの装置を使用する場
合、視線の方向は液晶表示装置の表示面に対して垂直に
近くなり、この状態を保持する。即ち、視線の角度は反
射光線角度と垂直法線とによって形成される夾角の間に
あることになる。このような欠点を改善するために、単
一角度の傾斜状反射板によって反射光線の角度を変化さ
せ、反射光線を垂直法線の方向に偏らせる技術が開発さ
れた。
タ、パーソナル・ディジタルアシスト（ＰＤＡ）などの
所謂ディジタル化情報製品にも広く応用されている。仮
に液晶表示装置がミラー反射板を設けただけの構造であ
れば、使用者は装置を操作する場合、視線を反射光線の
角度に向けなければ、液晶表示装置に表示される内容を
はっきり見ることができない。これは装置を操作する上
で極めて不便である。使用者が実際にモバイルタイプの
コンピュータ、もしくはＰＤＡなどの装置を使用する場
合、視線の方向は液晶表示装置の表示面に対して垂直に
近くなり、この状態を保持する。即ち、視線の角度は反
射光線角度と垂直法線とによって形成される夾角の間に
あることになる。このような欠点を改善するために、単
一角度の傾斜状反射板によって反射光線の角度を変化さ
せ、反射光線を垂直法線の方向に偏らせる技術が開発さ
れた。
【０００８】図４は、傾斜状反射板を具える構造におけ
る入射、反射光線の反射の原理を表わす説明図である。
入射光線４２が垂直法線４０との夾角θの角度で照射さ
れる場合、基材４６上の反射板４８の平面と垂直法線４
０とによって形成される夾角φは、単一角度による傾斜
状反射板の具える傾斜角度φである。即ち、反射光線４
４と垂直法４０とによって形成される夾角α２は“θ−
２φ”によって得られ、反射光線は垂直法線４０に偏っ
た方向に反射される。
る入射、反射光線の反射の原理を表わす説明図である。
入射光線４２が垂直法線４０との夾角θの角度で照射さ
れる場合、基材４６上の反射板４８の平面と垂直法線４
０とによって形成される夾角φは、単一角度による傾斜
状反射板の具える傾斜角度φである。即ち、反射光線４
４と垂直法４０とによって形成される夾角α２は“θ−
２φ”によって得られ、反射光線は垂直法線４０に偏っ
た方向に反射される。
【０００９】上述の反射原理に基づいて製造された液晶
表示装置の構造を図５に示す。図示による構造は本来の
液晶表示装置の構造以外に、単一角度の傾斜状反射板７
６を含む。該単一角度の傾斜状反射板７６は図２に示す
構造に比して、反射光線５２の方向を垂直法線寄りに偏
らせることができ、この点が傾斜状反射板の機能とな
る。
表示装置の構造を図５に示す。図示による構造は本来の
液晶表示装置の構造以外に、単一角度の傾斜状反射板７
６を含む。該単一角度の傾斜状反射板７６は図２に示す
構造に比して、反射光線５２の方向を垂直法線寄りに偏
らせることができ、この点が傾斜状反射板の機能とな
る。
【００１０】従来の構造においては拡散板の構造を保留
している。これは特定の角度の反射強度を分散して異な
る視野角における差を明らかにさせないためである。仮
に拡散板を設けなければ、その反射強度と反射角度の関
数は図９に示すとおりになる。図９には、従来の液晶表
示装置であって、異なる単一角度傾斜状反射板の反射強
度と反射角度の関数を表わす。図示における曲線Ｇは液
晶表示装置にミラー反射板を設け、但し拡散板を設けな
い構造である。曲線Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４は、単独の
それぞれ異なる単一角度傾斜状反射板構造を設けた構造
である。光線が−３０℃度で入射すると、ミラー反射板
を具える液晶表示装置が反射する光線は、曲線Ｇのよう
に曲線の上端が尖った形状になり、かつ３０度に集中す
る。また、曲線Ｈ１のように反射板が微小な角度で傾斜
していれば、反射光は垂直法線にやや偏る。さらに、Ｈ
４に示すように、反射板の傾斜角度が増大すれば、反射
光線が垂直法線に偏る現象が明らかになる。即ち、曲線
Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４は傾斜状反射板の角度が順次増
大した場合の反射強度と反射角度の関数を表わした曲線
である。但し、曲線Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４は、いずれ
も反射強度が集中する現象が発生する。ここから分かる
ように、拡散板を設けない構造は光線が特定の角度に集
中して視野角の差さが明らかとなる欠点を有する。これ
は、如何なる角度であろうと、単一角度の傾斜状反射板
では改善できない。よって、従来の液晶表示装置の構造
は、液晶表示装置における反射板の特性を変換させるた
めに拡散板構造を加えなければならない。
している。これは特定の角度の反射強度を分散して異な
る視野角における差を明らかにさせないためである。仮
に拡散板を設けなければ、その反射強度と反射角度の関
数は図９に示すとおりになる。図９には、従来の液晶表
示装置であって、異なる単一角度傾斜状反射板の反射強
度と反射角度の関数を表わす。図示における曲線Ｇは液
晶表示装置にミラー反射板を設け、但し拡散板を設けな
い構造である。曲線Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４は、単独の
それぞれ異なる単一角度傾斜状反射板構造を設けた構造
である。光線が−３０℃度で入射すると、ミラー反射板
を具える液晶表示装置が反射する光線は、曲線Ｇのよう
に曲線の上端が尖った形状になり、かつ３０度に集中す
る。また、曲線Ｈ１のように反射板が微小な角度で傾斜
していれば、反射光は垂直法線にやや偏る。さらに、Ｈ
４に示すように、反射板の傾斜角度が増大すれば、反射
光線が垂直法線に偏る現象が明らかになる。即ち、曲線
Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４は傾斜状反射板の角度が順次増
大した場合の反射強度と反射角度の関数を表わした曲線
である。但し、曲線Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４は、いずれ
も反射強度が集中する現象が発生する。ここから分かる
ように、拡散板を設けない構造は光線が特定の角度に集
中して視野角の差さが明らかとなる欠点を有する。これ
は、如何なる角度であろうと、単一角度の傾斜状反射板
では改善できない。よって、従来の液晶表示装置の構造
は、液晶表示装置における反射板の特性を変換させるた
めに拡散板構造を加えなければならない。
【００１１】単一角度反射板の光線反射に対する影響を
図６において説明する。図６は、従来の拡散板を備える
液晶表示装置であって、ミラー反射板を具える構造と、
単一角度の傾斜状反射板を具える構造の両者における反
射強度と反射角度の関数に係る説明図である。図示にお
ける曲線Ｂは液晶表示装置にミラー反射板を拡散板とを
設けた構造に於いて現れる光線強度と光線角度の関数を
表わす。曲線Ｆｈａ液晶表示装置において単一角度の傾
斜状反射板と拡散板とを設けた構造において現れる光線
強度と光線角度の関数を表わす。両曲線を比較すると、
単一角度の反射板は反射角度を縮小し、垂直法線に近づ
けることがわかる。
図６において説明する。図６は、従来の拡散板を備える
液晶表示装置であって、ミラー反射板を具える構造と、
単一角度の傾斜状反射板を具える構造の両者における反
射強度と反射角度の関数に係る説明図である。図示にお
ける曲線Ｂは液晶表示装置にミラー反射板を拡散板とを
設けた構造に於いて現れる光線強度と光線角度の関数を
表わす。曲線Ｆｈａ液晶表示装置において単一角度の傾
斜状反射板と拡散板とを設けた構造において現れる光線
強度と光線角度の関数を表わす。両曲線を比較すると、
単一角度の反射板は反射角度を縮小し、垂直法線に近づ
けることがわかる。
【００１２】従来の単一角度傾斜状反射板の製造方法は
フォトマスクを利用した製造方法が多く採用されてい
る。例えば図７に示すようにハーフトーン・フォトマス
クを利用して塗布した反射板層に異なる深さのエッチン
グを行なう。またマスクシフトの位置を制御することに
よって異なる深さのエッチング効果を得ることが出来
る。フォトマスクによって傾斜状反射板のパターンを形
成する場合、傾斜角度の訂正を正確に行うために露光と
マイクロフォト最小ピッチとの距離に注意しなければな
らない。言い換えれば該フォトマスクの製造工程は単一
傾斜角度の傾斜状反射板にしか応用できない。
フォトマスクを利用した製造方法が多く採用されてい
る。例えば図７に示すようにハーフトーン・フォトマス
クを利用して塗布した反射板層に異なる深さのエッチン
グを行なう。またマスクシフトの位置を制御することに
よって異なる深さのエッチング効果を得ることが出来
る。フォトマスクによって傾斜状反射板のパターンを形
成する場合、傾斜角度の訂正を正確に行うために露光と
マイクロフォト最小ピッチとの距離に注意しなければな
らない。言い換えれば該フォトマスクの製造工程は単一
傾斜角度の傾斜状反射板にしか応用できない。
【００１３】従来の液晶表示装置の構造に単一角度の傾
斜状反射板を設けた場合、拡散板を利用することによっ
て反射強度を緩和し分布させることが出来るが、但しそ
の反射角度がほとんど単一の角度で集中し、かつ拡散板
が光線を分散させるため反射強度範囲が狭くなり、明る
さが不均一になる欠点を有する。図６に示す曲線Ｆから
分かるように、反射強度は約20度に集中する。よって係
る構造による装置は使用者が液晶表示装置のパネル面と
視線とを特定の角度に保って、初めて好ましい視覚効果
を得ることが出来る。
斜状反射板を設けた場合、拡散板を利用することによっ
て反射強度を緩和し分布させることが出来るが、但しそ
の反射角度がほとんど単一の角度で集中し、かつ拡散板
が光線を分散させるため反射強度範囲が狭くなり、明る
さが不均一になる欠点を有する。図６に示す曲線Ｆから
分かるように、反射強度は約20度に集中する。よって係
る構造による装置は使用者が液晶表示装置のパネル面と
視線とを特定の角度に保って、初めて好ましい視覚効果
を得ることが出来る。
【００１４】標準白板についてはその反射強度と反射角
度の関係は図８における曲線Ｃのとおりである。即ち全
ての反射角度と反射強度とがいずれも同一である。理想
的な反射板は、曲線Ｄ、Ｅに示すように入射光線を特定
範囲内に反射することができ、かつ該範囲内の反射光線
の強度が充分に均一であることが望まれる。このような
特性を具えることによって、液晶表示装置は、さらに好
ましい視野角と輝度を具えることになる。
度の関係は図８における曲線Ｃのとおりである。即ち全
ての反射角度と反射強度とがいずれも同一である。理想
的な反射板は、曲線Ｄ、Ｅに示すように入射光線を特定
範囲内に反射することができ、かつ該範囲内の反射光線
の強度が充分に均一であることが望まれる。このような
特性を具えることによって、液晶表示装置は、さらに好
ましい視野角と輝度を具えることになる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、反射光線を
特定の範囲内に効率よく反射し、反射強度が均一に分散
して好ましい視野角と輝度が得られるとともに、従来の
拡散板構造を省くことのできる液晶表示装置の傾斜状反
射板、その製造方法、及び該傾斜状反射板を用いた液晶
表示装置を提供することを課題とする。
特定の範囲内に効率よく反射し、反射強度が均一に分散
して好ましい視野角と輝度が得られるとともに、従来の
拡散板構造を省くことのできる液晶表示装置の傾斜状反
射板、その製造方法、及び該傾斜状反射板を用いた液晶
表示装置を提供することを課題とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は、基
材と、該基材上に薄膜トランジスタを形成させると同時
に形成され、かつ二種類以上の異なる傾斜角度を具える
傾斜状積層構造と、該薄膜トランジスタと該傾斜状積層
構造上に塗布され、加熱されて表面が平滑化する有機層
と該有機層上に形成される第１金属層とによって多角度
傾斜状反射板を構成し、該傾斜角度を該第１金属層の表
面と該基材の表面との夾角とする構造によって課題を解
決できることに着目し、かかる知見に基づき本発明を完
成させた。
材と、該基材上に薄膜トランジスタを形成させると同時
に形成され、かつ二種類以上の異なる傾斜角度を具える
傾斜状積層構造と、該薄膜トランジスタと該傾斜状積層
構造上に塗布され、加熱されて表面が平滑化する有機層
と該有機層上に形成される第１金属層とによって多角度
傾斜状反射板を構成し、該傾斜角度を該第１金属層の表
面と該基材の表面との夾角とする構造によって課題を解
決できることに着目し、かかる知見に基づき本発明を完
成させた。
【００１７】請求項１に記載する多角傾斜状反射板の製
造方法は、基材を製造に供し、該基材上に薄膜トランジ
スタを形成させると同時に複数の傾斜状積層構造を形成
し、該傾斜状積層構造は二種類以上の異なる傾斜角度を
具え、該薄膜トランジスタ該傾斜状積層構造上に有機層
を塗布し、加熱して該有機層を平滑化し、第１金属層を
該有機層上に形成し、該傾斜角度は該第１金属層の表面
と該基材の表面との夾角とする。
造方法は、基材を製造に供し、該基材上に薄膜トランジ
スタを形成させると同時に複数の傾斜状積層構造を形成
し、該傾斜状積層構造は二種類以上の異なる傾斜角度を
具え、該薄膜トランジスタ該傾斜状積層構造上に有機層
を塗布し、加熱して該有機層を平滑化し、第１金属層を
該有機層上に形成し、該傾斜角度は該第１金属層の表面
と該基材の表面との夾角とする。
【００１８】請求項２に記載する多角傾斜状反射板の製
造方法は、請求項１における複数の傾斜状積層構造が、
それぞれ二種類以上の異なる構造高度と底辺の幅を具え
る。
造方法は、請求項１における複数の傾斜状積層構造が、
それぞれ二種類以上の異なる構造高度と底辺の幅を具え
る。
【００１９】請求項３に記載する多角傾斜状反射板の製
造方法は、請求項１における複数の傾斜状積層構造が、
さらに複数の二次的な積層を具え、該二次的な積層は、
少なくと二種類以上の異なる幅を具える。
造方法は、請求項１における複数の傾斜状積層構造が、
さらに複数の二次的な積層を具え、該二次的な積層は、
少なくと二種類以上の異なる幅を具える。
【００２０】請求項４に記載する多角傾斜状反射板の製
造方法は、請求項３における二次的な積層が、絶縁層
か、ゲート電極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素
か、もしくは第２金属層によってなる組み合わせを任意
に選択する。
造方法は、請求項３における二次的な積層が、絶縁層
か、ゲート電極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素
か、もしくは第２金属層によってなる組み合わせを任意
に選択する。
【００２１】請求項５に記載する多角傾斜状反射板の製
造方法は、請求項１における二次的な積層が、ゲートラ
イかン、共通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、
Ｎ＋ケイ素層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン
層か、もしくは保護層と有機層によってなるグループを
選択し、任意に組み合わせる。
造方法は、請求項１における二次的な積層が、ゲートラ
イかン、共通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、
Ｎ＋ケイ素層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン
層か、もしくは保護層と有機層によってなるグループを
選択し、任意に組み合わせる。
【００２２】請求項６に記載する多角傾斜状反射板の製
造方法は、請求項１における複数の傾斜状積層構造の傾
斜角度が０度から１０度である。
造方法は、請求項１における複数の傾斜状積層構造の傾
斜角度が０度から１０度である。
【００２３】請求項７に記載する傾斜状反射板は、液晶
表示装置に用いられる傾斜状反射板であって、少なくと
も複数の傾斜状積層構造と、有機層と、第１金属層とを
含み、該傾斜状積層は、少なくとも二種類以上の異なる
傾斜角度を具える。
表示装置に用いられる傾斜状反射板であって、少なくと
も複数の傾斜状積層構造と、有機層と、第１金属層とを
含み、該傾斜状積層は、少なくとも二種類以上の異なる
傾斜角度を具える。
【００２４】請求項８に記載する傾斜状反射板は、請求
項７における複数の傾斜状積層構造が、薄膜トランジス
タと同時に形成される。
項７における複数の傾斜状積層構造が、薄膜トランジス
タと同時に形成される。
【００２５】請求項９に記載する傾斜状反射板は、請求
項７における傾斜角度が０度から１０度である。
項７における傾斜角度が０度から１０度である。
【００２６】請求項１０に記載する傾斜状反射板は、請
求項７における複数の傾斜状積層構造が、それぞれ二種
類以上の異なる構造高度と底辺の幅を具える。
求項７における複数の傾斜状積層構造が、それぞれ二種
類以上の異なる構造高度と底辺の幅を具える。
【００２７】請求項１１に記載する傾斜状反射板は、請
求項７における複数の傾斜状積層構造が、さらに複数の
二次的な積層を具え、該二次的な積層は、少なくと二種
類以上の異なる幅を具える。
求項７における複数の傾斜状積層構造が、さらに複数の
二次的な積層を具え、該二次的な積層は、少なくと二種
類以上の異なる幅を具える。
【００２８】請求項１２に記載する傾斜状反射板は、請
求項１１における二次的な積層が、絶縁層か、ゲート電
極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素か、もしくは第
２金属層によってなる組み合わせを任意に選択する。
求項１１における二次的な積層が、絶縁層か、ゲート電
極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素か、もしくは第
２金属層によってなる組み合わせを任意に選択する。
【００２９】請求項１３に記載する傾斜状反射板は、請
求項１１における前記二次的な積層が、ゲートライか
ン、共通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋
ケイ素層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン層
か、もしくは保護層と有機層によってなるグループを選
択し、任意に組み合わせる。
求項１１における前記二次的な積層が、ゲートライか
ン、共通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋
ケイ素層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン層
か、もしくは保護層と有機層によってなるグループを選
択し、任意に組み合わせる。
【００３０】請求項１４に記載する液晶表示装置は、第
１基材と、該第１基材上に形成され、複数の傾斜状積層
構造を具え、かつ該傾斜状積層構造は二種類以上の異な
る傾斜角度を具える反射板と、該反射板上に位置する液
晶と、該液晶上に位置し、透明材料によってなる第２基
材と、カラーフィルタ上に形成される位相板と、該位相
板の上に位置する偏光フィルタとによってなる。
１基材と、該第１基材上に形成され、複数の傾斜状積層
構造を具え、かつ該傾斜状積層構造は二種類以上の異な
る傾斜角度を具える反射板と、該反射板上に位置する液
晶と、該液晶上に位置し、透明材料によってなる第２基
材と、カラーフィルタ上に形成される位相板と、該位相
板の上に位置する偏光フィルタとによってなる。
【００３１】請求項１５に記載する液晶表示装置は、さ
らに該第２基材上で、該位相板と透明導電膜がそれぞれ
該第２基材の異なる側に設けられ。
らに該第２基材上で、該位相板と透明導電膜がそれぞれ
該第２基材の異なる側に設けられ。
【００３２】請求項１６に記載する液晶表示装置は、さ
らに該位相板上に位置する偏光フィルタを含む。
らに該位相板上に位置する偏光フィルタを含む。
【００３３】請求項１７に記載する液晶表示装置は、請
求項１４における傾斜角度が０度から１０度である。
求項１４における傾斜角度が０度から１０度である。
【００３４】請求項１８に記載する液晶表示装置は、請
求項１４における複数の傾斜状積層構造が、それぞれ二
種類以上の異なる構造高度と底辺の幅を具える。
求項１４における複数の傾斜状積層構造が、それぞれ二
種類以上の異なる構造高度と底辺の幅を具える。
【００３５】請求項１９に記載する液晶表示装置は、請
求項１４における複数の傾斜状積層構造が、さらに複数
の二次的な積層を具え、該二次的な積層は、少なくと二
種類以上の異なる幅を具える。
求項１４における複数の傾斜状積層構造が、さらに複数
の二次的な積層を具え、該二次的な積層は、少なくと二
種類以上の異なる幅を具える。
【００３６】請求項２０に記載する液晶表示装置は、請
求項１４における二次的な積層が、絶縁層か、ゲート電
極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素か、もしくは第
２金属層によってなる組み合わせを任意に選択する。
求項１４における二次的な積層が、絶縁層か、ゲート電
極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素か、もしくは第
２金属層によってなる組み合わせを任意に選択する。
【００３７】請求項２１に記載する液晶表示装置は、請
求項１４における二次的な積層が、ゲートライかン、共
通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素
層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン層か、もし
くは保護層と有機層によってなるグループを選択し、任
意に組み合わせる。
求項１４における二次的な積層が、ゲートライかン、共
通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素
層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン層か、もし
くは保護層と有機層によってなるグループを選択し、任
意に組み合わせる。
【００３８】請求項２２に記載する多角度傾斜状反射板
は、入射光線を反射するための多角度傾斜状反射板であ
って、その構造は、互いに重なり合わない第１領域と、
第２領域を含むベースと、該第１領域に形成される複数
の薄膜トランジスタと、第２領域に形成される複数の同
一形状にならない傾斜状積層構造であって、該傾斜状積
層構造は該薄膜トランジスタと同時に形成され、該薄膜
トランジスタと該傾斜状積層構造上に設けられる有機層
と、該有機層上に設けられる反射金属層とによってな
る。
は、入射光線を反射するための多角度傾斜状反射板であ
って、その構造は、互いに重なり合わない第１領域と、
第２領域を含むベースと、該第１領域に形成される複数
の薄膜トランジスタと、第２領域に形成される複数の同
一形状にならない傾斜状積層構造であって、該傾斜状積
層構造は該薄膜トランジスタと同時に形成され、該薄膜
トランジスタと該傾斜状積層構造上に設けられる有機層
と、該有機層上に設けられる反射金属層とによってな
る。
【００３９】請求項２３に記載する多角度傾斜状反射板
は、請求項２２における傾斜状積層構造の上部表面と、
該ベースの表面とによって夾角を形成し、かつ該傾斜状
積層構造は二種類以上の異なる夾角を具える。
は、請求項２２における傾斜状積層構造の上部表面と、
該ベースの表面とによって夾角を形成し、かつ該傾斜状
積層構造は二種類以上の異なる夾角を具える。
【００４０】請求項２４に記載する多角度傾斜状反射板
は、請求項２２における複数の傾斜状積層構造の傾斜角
度が０度から１０度である。
は、請求項２２における複数の傾斜状積層構造の傾斜角
度が０度から１０度である。
【００４１】請求項２５に記載する多角度傾斜状反射板
は、請求項２２における記傾斜状積層構想が、二種類以
上の異なる幅と高さを有する。
は、請求項２２における記傾斜状積層構想が、二種類以
上の異なる幅と高さを有する。
【００４２】請求項２６に記載する多角度傾斜状反射板
は、請求項２２における有機層が該傾斜状積層構造に平
滑な表面を形成するために溶融特性を具えた有機層であ
る。
は、請求項２２における有機層が該傾斜状積層構造に平
滑な表面を形成するために溶融特性を具えた有機層であ
る。
【００４３】請求項２７に記載する多角度傾斜状反射板
は、請求項２２における薄膜トランジスタが絶縁層か、
ゲート電極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素か、も
しくは第２金属層によってなる組み合わせによってな
る。
は、請求項２２における薄膜トランジスタが絶縁層か、
ゲート電極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素か、も
しくは第２金属層によってなる組み合わせによってな
る。
【００４４】請求項２８に記載する多角度傾斜状反射板
は、請求項２２における傾斜状積層構造が、ゲートライ
かン、共通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、Ｎ
＋ケイ素層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン層
か、もしくは保護層と有機層によってなるグループから
選択される。
は、請求項２２における傾斜状積層構造が、ゲートライ
かン、共通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、Ｎ
＋ケイ素層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン層
か、もしくは保護層と有機層によってなるグループから
選択される。
【００４５】
【発明の実施の形態】本発明は、液晶表示装置に用いら
れる傾斜状反射板、その製造方法、及び該傾斜状反射板
を用いた液晶表示装置に関し、基材と、該基材上に薄膜
トランジスタを形成させると同時に形成され、かつ二種
類以上の異なる傾斜角度を具える傾斜状積層構造と、該
薄膜トランジスタと該傾斜状積層構造上に塗布され、加
熱されて表面が平滑化する有機層と該有機層上に形成さ
れる第１金属層とによって多角度傾斜状反射板を構成
し、該傾斜角度を該第１金属層の表面と該基材の表面と
の夾角とし、反射光線を特定の範囲内に効率よく反射
し、反射強度が均一に分散して好ましい視野角と輝度が
得られるとともに、従来の拡散板構造を省くものであ
る。
れる傾斜状反射板、その製造方法、及び該傾斜状反射板
を用いた液晶表示装置に関し、基材と、該基材上に薄膜
トランジスタを形成させると同時に形成され、かつ二種
類以上の異なる傾斜角度を具える傾斜状積層構造と、該
薄膜トランジスタと該傾斜状積層構造上に塗布され、加
熱されて表面が平滑化する有機層と該有機層上に形成さ
れる第１金属層とによって多角度傾斜状反射板を構成
し、該傾斜角度を該第１金属層の表面と該基材の表面と
の夾角とし、反射光線を特定の範囲内に効率よく反射
し、反射強度が均一に分散して好ましい視野角と輝度が
得られるとともに、従来の拡散板構造を省くものであ
る。
【００４６】かかる傾斜状反射板について、具体的な例
を挙げ、図示を参照にして以下に説明する。
を挙げ、図示を参照にして以下に説明する。
【００４７】
【実施例】本発明による多角度傾斜状反射板を具える液
晶表示装置の構造を図１０に示す。図示によれば、例え
ばガラスなどの材質による基材９４と、基材９４の表面
に形成され多角度傾斜状反射板９６と、液晶層９８と、
透明導電膜１００と、カラーフィルタ素子１０２位相板
１０４と、偏光フィルタ１０６とによって液晶表示装置
を構成する。多角度傾斜状反射板９６は異なる角度であ
るφ１、φ２、φ３の３種類を有し、かつそれぞれの傾
斜角度は０から１０度の範囲内で形成される。但し、本
発明の多角度傾斜状反射板の傾斜角度は、φ１、φ２、
φ３の３種類に限定するものではない。この傾斜角度
は、さらに変化させ、角度とその範囲を多様化させても
よく、即ち実際の必要に応じて決めることができる。
晶表示装置の構造を図１０に示す。図示によれば、例え
ばガラスなどの材質による基材９４と、基材９４の表面
に形成され多角度傾斜状反射板９６と、液晶層９８と、
透明導電膜１００と、カラーフィルタ素子１０２位相板
１０４と、偏光フィルタ１０６とによって液晶表示装置
を構成する。多角度傾斜状反射板９６は異なる角度であ
るφ１、φ２、φ３の３種類を有し、かつそれぞれの傾
斜角度は０から１０度の範囲内で形成される。但し、本
発明の多角度傾斜状反射板の傾斜角度は、φ１、φ２、
φ３の３種類に限定するものではない。この傾斜角度
は、さらに変化させ、角度とその範囲を多様化させても
よく、即ち実際の必要に応じて決めることができる。
【００４８】本発明の特徴は、多角度傾斜状反射板９６
にあり、薄膜トランジスタの製造工程において同時に沈
降して傾斜状構造を形成し、それぞれ異なる高度と傾斜
角度φ１、φ２、φ３を形成することにある。入射光線
９０が多角度傾斜状反射板９６に照射されると、反射光
線９２の本来の反射角度を改善するのみならず、反射光
線を垂直法線方向に偏らせることができ、かつ異なる傾
斜角度によって反射角度をさらに多様化させる効果を具
える。
にあり、薄膜トランジスタの製造工程において同時に沈
降して傾斜状構造を形成し、それぞれ異なる高度と傾斜
角度φ１、φ２、φ３を形成することにある。入射光線
９０が多角度傾斜状反射板９６に照射されると、反射光
線９２の本来の反射角度を改善するのみならず、反射光
線を垂直法線方向に偏らせることができ、かつ異なる傾
斜角度によって反射角度をさらに多様化させる効果を具
える。
【００４９】また、従来の技術においては、拡散層の構
造を加える。このため光線の反射強度を分散させるとと
もに、光線の反射強度を低減させ、また強度の分布が不
均一になる。本発明においては、多角度傾斜状反射板９
６の平滑な表面を利用してそれぞれの反射角度と反射強
度を平均させる目的を達成し、拡散板の構造を省く。但
し、本体の反射強度は低減しない。この点も本発明の特
徴である。図１０に示す反射光線９２と、図５に示す反
射光線７２とを比較すると明らかなように、本発明によ
る多角度傾斜状反射板構造は、反射強度を平均させるこ
とができる。
造を加える。このため光線の反射強度を分散させるとと
もに、光線の反射強度を低減させ、また強度の分布が不
均一になる。本発明においては、多角度傾斜状反射板９
６の平滑な表面を利用してそれぞれの反射角度と反射強
度を平均させる目的を達成し、拡散板の構造を省く。但
し、本体の反射強度は低減しない。この点も本発明の特
徴である。図１０に示す反射光線９２と、図５に示す反
射光線７２とを比較すると明らかなように、本発明によ
る多角度傾斜状反射板構造は、反射強度を平均させるこ
とができる。
【００５０】本発明は、多角度傾斜状反射板構造を提供
するものであって、該多角傾斜状反射板構造は、液晶表
示装置の製造工程において、薄膜トランジスタを製造す
るために必要とするゲートライン、共通ライン、絶縁
層、無定形ケイ素層、Ｎ＋ケイ素層、ソース層、ドレイ
ン層、もしくは保護層などによってなるグループを選択
し、任意に組み合わせて傾斜構造の一部を形成する。つ
いで、スパッタリングによって反射金属層を形成し、本
発明による多角度傾斜状反射板構造を得る。該多角傾斜
状反射板の構造は、異なる傾斜角度を具え、反射光線が
垂直法線に偏る程度を変化させ、同一液晶表示装置にお
いて多様化された反射強度の分布を達成する。その結果
は図１１に示すとおりである。図１１は本実施例におけ
る多角度傾斜状反射板を具える液晶表示装置の光線強度
と光線角度にかかる関数を表わす。反射角度は３０度内
の強度で規律的に分布し単一の角度に限定されることが
ない。
するものであって、該多角傾斜状反射板構造は、液晶表
示装置の製造工程において、薄膜トランジスタを製造す
るために必要とするゲートライン、共通ライン、絶縁
層、無定形ケイ素層、Ｎ＋ケイ素層、ソース層、ドレイ
ン層、もしくは保護層などによってなるグループを選択
し、任意に組み合わせて傾斜構造の一部を形成する。つ
いで、スパッタリングによって反射金属層を形成し、本
発明による多角度傾斜状反射板構造を得る。該多角傾斜
状反射板の構造は、異なる傾斜角度を具え、反射光線が
垂直法線に偏る程度を変化させ、同一液晶表示装置にお
いて多様化された反射強度の分布を達成する。その結果
は図１１に示すとおりである。図１１は本実施例におけ
る多角度傾斜状反射板を具える液晶表示装置の光線強度
と光線角度にかかる関数を表わす。反射角度は３０度内
の強度で規律的に分布し単一の角度に限定されることが
ない。
【００５１】本発明はまた、別の態様として、平滑化し
た多角度傾斜状反射板の構造を提供する。この構造は第
一の実施例と同様に液晶表示装置の製造工程において薄
膜トランジスタを製造するために必要とするゲートライ
ン、共通ライン、絶縁層、無定形ケイ素層、Ｎ＋ケイ素
層、ソース層、ドレイン層、もしくは保護層などによっ
てなるグループを選択し、任意に組み合わせて傾斜構造
の一部を形成する。ついで溶融特性を有する有機層を塗
布し、ベーキングによって溶融させた後平滑な多角度傾
斜状反射板の表面を得る。平滑化によって傾斜状反射板
の表面は異なる角度の反射平面を具える。光線が照射さ
れると反射する角度がさらに多様化し、かつ角度の大き
い反射を減少させ反射光線の強度を増加させる。本発明
による多角度傾斜状反射板は液晶表示装置における反射
強度の分布が図１２に示すように理想的になる。図１２
は本発明における多角度傾斜状反射板の液晶表示装置の
反射強度と反射角度の関数を表わす図である。図示のよ
うに反射角度は30度内において増加され、かつ均一とな
り、本発明が従来の構造における欠点を改善することが
明らかである。
た多角度傾斜状反射板の構造を提供する。この構造は第
一の実施例と同様に液晶表示装置の製造工程において薄
膜トランジスタを製造するために必要とするゲートライ
ン、共通ライン、絶縁層、無定形ケイ素層、Ｎ＋ケイ素
層、ソース層、ドレイン層、もしくは保護層などによっ
てなるグループを選択し、任意に組み合わせて傾斜構造
の一部を形成する。ついで溶融特性を有する有機層を塗
布し、ベーキングによって溶融させた後平滑な多角度傾
斜状反射板の表面を得る。平滑化によって傾斜状反射板
の表面は異なる角度の反射平面を具える。光線が照射さ
れると反射する角度がさらに多様化し、かつ角度の大き
い反射を減少させ反射光線の強度を増加させる。本発明
による多角度傾斜状反射板は液晶表示装置における反射
強度の分布が図１２に示すように理想的になる。図１２
は本発明における多角度傾斜状反射板の液晶表示装置の
反射強度と反射角度の関数を表わす図である。図示のよ
うに反射角度は30度内において増加され、かつ均一とな
り、本発明が従来の構造における欠点を改善することが
明らかである。
【００５２】図１２における反射強度曲線Ｊは、本発明
における実施例によって得られた曲線であって図８にお
ける曲線Ｅと比較した場合本発明の多角度傾斜状反射板
を利用した液晶表示装置によって得られる反射強度と反
射角度の関数は理想の状態に近いものでありかつ周知の
拡散板構造を設ける必要がない。
における実施例によって得られた曲線であって図８にお
ける曲線Ｅと比較した場合本発明の多角度傾斜状反射板
を利用した液晶表示装置によって得られる反射強度と反
射角度の関数は理想の状態に近いものでありかつ周知の
拡散板構造を設ける必要がない。
【００５３】本発明は、さらに多角度傾斜状反射板の製
造方法を提供する。図１３から１８に一般的な液晶表示
装置の薄膜トランジスタの製造工程を利用して同時に本
発明による多角度傾斜状反射板を製造する工程を示す。
図１３において、基材２００上にゲート電極層を進行さ
せ、さらにマイクロフォトによって薄膜トランジスタ素
子のゲート電極層２０２を形成すると共に、隣り合う薄
膜トランジスタユニットの間に本発明による反射板の傾
斜構造となるゲート電極２０４、２０６、２０８を形成
する。該同時に形成するゲート電極層２０４、２０６、
２０８は本発明の反射板の傾斜構造を構成する層であ
る。実施例においてはマイクロフォトの工程によってゲ
ート電極２０４の幅をゲート電極２０６より広くし、か
つゲート電極２０８の広さをゲート電極２０４より広く
し、異なる幅の傾斜状反射板を形成する。かかる広さと
位置の順序は一例であって実際の製造工程の必要に応じ
て、マイクロフォトの工程において選択的な幅と位置に
することができる。
造方法を提供する。図１３から１８に一般的な液晶表示
装置の薄膜トランジスタの製造工程を利用して同時に本
発明による多角度傾斜状反射板を製造する工程を示す。
図１３において、基材２００上にゲート電極層を進行さ
せ、さらにマイクロフォトによって薄膜トランジスタ素
子のゲート電極層２０２を形成すると共に、隣り合う薄
膜トランジスタユニットの間に本発明による反射板の傾
斜構造となるゲート電極２０４、２０６、２０８を形成
する。該同時に形成するゲート電極層２０４、２０６、
２０８は本発明の反射板の傾斜構造を構成する層であ
る。実施例においてはマイクロフォトの工程によってゲ
ート電極２０４の幅をゲート電極２０６より広くし、か
つゲート電極２０８の広さをゲート電極２０４より広く
し、異なる幅の傾斜状反射板を形成する。かかる広さと
位置の順序は一例であって実際の製造工程の必要に応じ
て、マイクロフォトの工程において選択的な幅と位置に
することができる。
【００５４】ついで図１４に示すように絶縁層２１０を
塗布して図１３に示す構造を被覆する。絶縁層２１０は
薄膜トランジスタ素子においてゲート電極層２０２の上
方に位置する絶縁材料であり、同時に本発明の反射板の
傾斜状構造を構成する層の一つである。絶縁層２１０の
材料に関しては当業者の熟知するところであり、本発明
の重点ではないので、ここでは詳述しない。
塗布して図１３に示す構造を被覆する。絶縁層２１０は
薄膜トランジスタ素子においてゲート電極層２０２の上
方に位置する絶縁材料であり、同時に本発明の反射板の
傾斜状構造を構成する層の一つである。絶縁層２１０の
材料に関しては当業者の熟知するところであり、本発明
の重点ではないので、ここでは詳述しない。
【００５５】ついで図１５に示すように薄膜トランジス
タ素子を製造する上で必要な無定形ケイ素材料とＮ＋ケ
イ素材料によって図１４に示す構造を被覆する。さらに
マイクロフォトの工程によって薄膜トランジスタ素子の
無定型ケイ素層２１２とＮ＋ケイ素層２１３を形成する
とともに、本発明による反射板の傾斜構造となる無定形
ケイ素層２１４、２１６、２１８及びＮ＋ケイ素層２１
５、２１７、２１９を形成する。実施例においては該傾
斜構造となる無定形ケイ素層とＮ＋ケイ素層がゲート電
極層を被覆する幅は、ゲート電極層の幅の約3分の２で
あり、同一の厚さに沈降させる条件で異なる傾斜状積層
構造を形成する。かかる幅と位置は一例であって実際の
製造工程と必要に応じて無定形ケイ素層とＮ＋ケイ素層
の幅と位置を選択することができる。
タ素子を製造する上で必要な無定形ケイ素材料とＮ＋ケ
イ素材料によって図１４に示す構造を被覆する。さらに
マイクロフォトの工程によって薄膜トランジスタ素子の
無定型ケイ素層２１２とＮ＋ケイ素層２１３を形成する
とともに、本発明による反射板の傾斜構造となる無定形
ケイ素層２１４、２１６、２１８及びＮ＋ケイ素層２１
５、２１７、２１９を形成する。実施例においては該傾
斜構造となる無定形ケイ素層とＮ＋ケイ素層がゲート電
極層を被覆する幅は、ゲート電極層の幅の約3分の２で
あり、同一の厚さに沈降させる条件で異なる傾斜状積層
構造を形成する。かかる幅と位置は一例であって実際の
製造工程と必要に応じて無定形ケイ素層とＮ＋ケイ素層
の幅と位置を選択することができる。
【００５６】ついで図１６に示すように、さらに金属材
料を塗布しマイクロフォトによって薄膜トランジスタ素
子の金属層２２０、２２２を形成する。金属層２２０、
２２２は薄膜トランジスタ素子のソースとドレインであ
って同時に本発明による反射板の傾斜構造となる金造層
２２４を形成する。実施例においては異なる角度の傾斜
構造を形成する。よってＮ＋ケイ素層２１９のみを選択
して金造層２２４で被覆する。金属層２２４の幅はＮ＋
ケイ素層２１９の幅の3分の２として異なる高さの傾斜
状積層構造を形成する。かかる広さと位置は一例であっ
て、実際の製造工程と必要に応じて金属層の幅と位置を
選択することができる。
料を塗布しマイクロフォトによって薄膜トランジスタ素
子の金属層２２０、２２２を形成する。金属層２２０、
２２２は薄膜トランジスタ素子のソースとドレインであ
って同時に本発明による反射板の傾斜構造となる金造層
２２４を形成する。実施例においては異なる角度の傾斜
構造を形成する。よってＮ＋ケイ素層２１９のみを選択
して金造層２２４で被覆する。金属層２２４の幅はＮ＋
ケイ素層２１９の幅の3分の２として異なる高さの傾斜
状積層構造を形成する。かかる広さと位置は一例であっ
て、実際の製造工程と必要に応じて金属層の幅と位置を
選択することができる。
【００５７】ついで図１７に示すように金属層２２０、
２２２であるソースとドレインをフォトマスクとし、一
部のＮ＋ケイ素層２１３無定形ケイ素層２１２にエッチ
ング領域２２６を形成する。エッチングを行なう場合、
金属層２２４に被覆されないＮ＋ケイ素層２１５、２１
７と、Ｎ＋ケイ素層２１９の一部と、無定形ケイ素層２
１４、２１６及び無定形ケイ素２１８の一部も同時にエ
ッチングされ、異なる角度の傾斜状反射板となる傾斜状
積層構図雄が形成される。これら傾斜状積層構造は互い
に高度が異なる。
２２２であるソースとドレインをフォトマスクとし、一
部のＮ＋ケイ素層２１３無定形ケイ素層２１２にエッチ
ング領域２２６を形成する。エッチングを行なう場合、
金属層２２４に被覆されないＮ＋ケイ素層２１５、２１
７と、Ｎ＋ケイ素層２１９の一部と、無定形ケイ素層２
１４、２１６及び無定形ケイ素２１８の一部も同時にエ
ッチングされ、異なる角度の傾斜状反射板となる傾斜状
積層構図雄が形成される。これら傾斜状積層構造は互い
に高度が異なる。
【００５８】この段階において本発明による傾斜状反射
板の傾斜状積層構造はほぼ完成する。その特徴は、薄膜
トランジスタの塗布と、マイクロフォトの工程を利用し
該傾斜状積層構造を同時に形成することにある。それぞ
れの層の幅と位置は一例であって、実際の製造工程と必
要に応じて、金属層の幅と位置を選択することができ
る。傾斜状構造を構成するゲート電極層、無定形ケイ素
層、Ｎ＋ケイ素層、若しくは金属層を沈降させるか否か
を選択すると共に、マイクロフォトの工程によってその
位置と幅を形成し、多様化された傾斜状積層構造を得
る。
板の傾斜状積層構造はほぼ完成する。その特徴は、薄膜
トランジスタの塗布と、マイクロフォトの工程を利用し
該傾斜状積層構造を同時に形成することにある。それぞ
れの層の幅と位置は一例であって、実際の製造工程と必
要に応じて、金属層の幅と位置を選択することができ
る。傾斜状構造を構成するゲート電極層、無定形ケイ素
層、Ｎ＋ケイ素層、若しくは金属層を沈降させるか否か
を選択すると共に、マイクロフォトの工程によってその
位置と幅を形成し、多様化された傾斜状積層構造を得
る。
【００５９】図１８に示すように薄膜トランジスタ素子
及び異なる角度の傾斜状反射板４６の傾斜状積層構造を
完成させた後溶融特性を具える有機層２２８を塗布し、
さらに加熱して平滑な傾斜状積載構造を得る。ついでマ
イクロフォトを利用してコンタクトホール開口２３２を
形成する。次に、例えばスパッタリングなどによって反
射金属層２３０を形成し、本発明による多角度傾斜状反
射板２４２、２４４及び２４６を得る。また別途エッチ
ングの工程を行ない反射金属層開口２３４を形成し、画
素を形成する。これら工程は当業者の熟知する技術であ
るため、ここでは詳述しない。
及び異なる角度の傾斜状反射板４６の傾斜状積層構造を
完成させた後溶融特性を具える有機層２２８を塗布し、
さらに加熱して平滑な傾斜状積載構造を得る。ついでマ
イクロフォトを利用してコンタクトホール開口２３２を
形成する。次に、例えばスパッタリングなどによって反
射金属層２３０を形成し、本発明による多角度傾斜状反
射板２４２、２４４及び２４６を得る。また別途エッチ
ングの工程を行ない反射金属層開口２３４を形成し、画
素を形成する。これら工程は当業者の熟知する技術であ
るため、ここでは詳述しない。
【００６０】前述の工程において、溶融特性を有する有
機層を塗布する目的は、有機層を加熱して溶融し、異な
る角度の傾斜状反射板２４２、２４４、２４６に平滑な
表面を与える、光線を反射しやすくするためである。こ
の加熱とコンタクトホールを得るためのエッチングの工
程は、順序を入れ替えてもよい。但し、これは当業者の
熟知する技術であるので、ここでは詳述しない。
機層を塗布する目的は、有機層を加熱して溶融し、異な
る角度の傾斜状反射板２４２、２４４、２４６に平滑な
表面を与える、光線を反射しやすくするためである。こ
の加熱とコンタクトホールを得るためのエッチングの工
程は、順序を入れ替えてもよい。但し、これは当業者の
熟知する技術であるので、ここでは詳述しない。
【００６１】注目すべきは、実施例において隣り合う薄
膜トランジスタの間に３つの傾斜状積層構造を形成する
が、但しこれに限られることなく、実際の工程と要求に
合わせて、さらに異なる高さと幅の傾斜状積層構造を追
加してもよい。よって実施例における異なる角度の傾斜
状反射板２４２、２４４、２４６の傾斜状積層構造も、
本発明の好ましい一実施例である。
膜トランジスタの間に３つの傾斜状積層構造を形成する
が、但しこれに限られることなく、実際の工程と要求に
合わせて、さらに異なる高さと幅の傾斜状積層構造を追
加してもよい。よって実施例における異なる角度の傾斜
状反射板２４２、２４４、２４６の傾斜状積層構造も、
本発明の好ましい一実施例である。
【００６２】以上は本発明の好ましい実施例であって、
本発明の実施の範囲を限定するものではない。よって、
当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、本発明
に対して均等の効果を有し、かつ本発明の精神の下にお
いてなされた変更、修正などは、いずれも本発明の実施
の範囲に属するものとする。
本発明の実施の範囲を限定するものではない。よって、
当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、本発明
に対して均等の効果を有し、かつ本発明の精神の下にお
いてなされた変更、修正などは、いずれも本発明の実施
の範囲に属するものとする。
【００６３】
【発明の効果】本発明による傾斜状反射板は、反射光線
を特定の範囲内に効率よく反射し、反射強度が均一に分
散して好ましい視野角と輝度が得られる。かかる傾斜状
反射板を応用した液晶表示装置は、従来の拡散板構造を
設ける必要がなくなり、製造コストとを低減させること
ができるとともに、薄膜トラジスタを製造すると同時
に、同一工程によって傾斜状積層構造を作成することが
できるので、工程を簡略化し、製造コストを低減させる
効果を具える。
を特定の範囲内に効率よく反射し、反射強度が均一に分
散して好ましい視野角と輝度が得られる。かかる傾斜状
反射板を応用した液晶表示装置は、従来の拡散板構造を
設ける必要がなくなり、製造コストとを低減させること
ができるとともに、薄膜トラジスタを製造すると同時
に、同一工程によって傾斜状積層構造を作成することが
できるので、工程を簡略化し、製造コストを低減させる
効果を具える。
【図１】従来のミラー反射板における光線の入射と反射
の関係を表わす説明図である。
の関係を表わす説明図である。
【図２】図１に示すミラー反射板を応用した液晶表示装
置の構造を表わす説明図である。
置の構造を表わす説明図である。
【図３】図２に示す液晶表示装置における反射強度と反
射角度の関数を表わす説明図である。
射角度の関数を表わす説明図である。
【図４】従来の傾斜状反射板おける光線の入射と反射の
関係を表わす説明図である。
関係を表わす説明図である。
【図５】図４に示す傾斜状反射板を応用した液晶表示装
置の構造を表わす説明図である。
置の構造を表わす説明図である。
【図６】図５に示す液晶表示装置における反射強度と反
射角度の関数を表わす説明図である。
射角度の関数を表わす説明図である。
【図７】従来の傾斜状反射板の製造工程の一状態を表わ
す説明図である。
す説明図である。
【図８】液晶表示装置の理想の傾斜反射板と標準白板の
反射強度と反射角度の関数を表わす説明図である。
反射強度と反射角度の関数を表わす説明図である。
【図９】従来の異なる構造ミラー反射板の反射強度と反
射角度の関数を表わす説明図である。
射角度の関数を表わす説明図である。
【図１０】本発明による多角度傾斜板を用いた液晶表示
装置の構造を表わす説明図である。
装置の構造を表わす説明図である。
【図１１】図１０に示す液晶表示装置における反射強度
と反射角度の関数を表わす説明図である。
と反射角度の関数を表わす説明図である。
【図１２】図１０に示す液晶表示装置における反射強度
と反射角度の実例の関数を表わす説明図である。
と反射角度の実例の関数を表わす説明図である。
【図１３】本発明による多角度傾斜状反射板の製造工程
を表すわす説明図である。
を表すわす説明図である。
【図１４】本発明による多角度傾斜状反射板の製造工程
を表すわす説明図である。
を表すわす説明図である。
【図１５】本発明による多角度傾斜状反射板の製造工程
を表すわす説明図である。
を表すわす説明図である。
【図１６】本発明による多角度傾斜状反射板の製造工程
を表すわす説明図である。
を表すわす説明図である。
【図１７】本発明による多角度傾斜状反射板の製造工程
を表すわす説明図である。
を表すわす説明図である。
【図１８】本発明による多角度傾斜状反射板の製造工程
を表すわす説明図である。
を表すわす説明図である。
９０ 入射光線 ９２ 反射光線 ９４ 基材 ９６、２４２、２４４ 多角度傾斜状反射板 ９８ 液晶層 １００ 透明導電膜 １０２ カラーフィルタ素子 １０４ 位相板 １０６ 偏光フィルタ ２００ 基板 ２０２ ゲート電極層 ２０４、２０６、２０８ ゲート電極 ２１０ 絶縁層 ２１２、２１４、２１６、２１８ 無定形ケイ素層 ２１３、２１５、２１７、２１９ Ｎ＋ケイ素層 ２２０、２２２、２２４ 金属層 ２２６ エッチング領域 ２２８ 有機層 ２３０ 反射金属層 ２３２ コンタクトホール開口 ２３４ 反射金属層開口 ２４６ 傾斜状反射板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｆ 1/13363 Ｇ０２Ｆ 1/13363 1/1368 1/1368 Ｆターム(参考） 2H042 AA02 AA26 BA03 BA12 BA15 BA20 CA12 DA11 DA21 2H091 FA08X FA08Z FA11X FA11Z FA14Z FD06 GA13 LA16 2H092 GA29 JA24 JA37 JA46 NA25 PA10 PA11
Claims (28)
- 【請求項１】 液晶表示装置における多角傾斜状反射板
の製造方法であって、 基材を製造に供し、 該基材上に薄膜トランジスタを形成させると同時に複数
の傾斜状積層構造を形成し、 該傾斜状積層構造は二種類以上の異なる傾斜角度を具
え、 該薄膜トランジスタと該傾斜状積層構造上に有機層を塗
布し、 加熱して該有機層を平滑化し、 第１金属層を該有機層上に形成し、該傾斜角度は該第１
金属層の表面と該基材の表面との夾角とすることを特徴
とする多角傾斜状反射板の製造方法。 - 【請求項２】 前記複数の傾斜状積層構造は、それぞれ
二種類以上の異なる構造高度と底辺の幅を具えることを
特徴とする請求項１に記載の多角傾斜状反射板の製造方
法。 - 【請求項３】 前記複数の傾斜状積層構造は、さらに複
数の二次的な積層を具え、該二次的な積層は、少なくと
二種類以上の異なる幅を具えることを特徴とする請求項
１に記載の多角傾斜状反射板の製造方法。 - 【請求項４】 前記二次的な積層が、絶縁層か、ゲート
電極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素か、もしくは
第２金属層によってなる組み合わせを任意に選択するこ
とを特徴とする請求項３に記載の多角傾斜状反射板の製
造方法。 - 【請求項５】 前記二次的な積層が、ゲートライかン、
共通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ
素層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン層か、も
しくは保護層と有機層によってなるグループを選択し、
任意に組み合わせることを特徴とする請求項１に記載の
多角傾斜状反射板の製造方法。 - 【請求項６】 前記複数の傾斜状積層構造の傾斜角度が
０度から１０度であることを特徴とする請求項１に記載
の複数の傾斜状積層構造。 - 【請求項７】 液晶表示装置に用いられる傾斜状反射板
の構造において、少なくとも複数の傾斜状積層構造と、
有機層と、第１金属層とを含み、該傾斜状積層は、少な
くとも二種類以上の異なる傾斜角度を具えることを特徴
とする傾斜状反射板。 - 【請求項８】 前記複数の傾斜状積層構造は、薄膜トラ
ンジスタと同時に形成されることを特徴とする請求項７
に記載の傾斜状反射板。 - 【請求項９】 前記傾斜角度が０度から１０度であるこ
とを特徴とする請求項７に記載の傾斜状反射板。 - 【請求項１０】 前記複数の傾斜状積層構造は、それぞ
れ二種類以上の異なる構造高度と底辺の幅を具えること
を特徴とする請求項７に記載の傾斜状反射板。 - 【請求項１１】 前記複数の傾斜状積層構造は、さらに
複数の二次的な積層を具え、該二次的な積層は、少なく
とも二種類以上の異なる幅を具えることを特徴とする請
求項７に記載の傾斜状反射板。 - 【請求項１２】 前記二次的な積層が、絶縁層か、ゲー
ト電極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素か、もしく
は第２金属層によってなる組み合わせを任意に選択する
ことを特徴とする請求項１１に記載の傾斜状反射板。 - 【請求項１３】 前記二次的な積層が、ゲートライン
か、共通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋
ケイ素層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン層
か、もしくは保護層と有機層によってなるグループを選
択し、任意に組み合わせることを特徴とする請求項１１
に記載の多角傾斜状反射板の製造方法。 - 【請求項１４】 液晶表示装置の構造において、 第１基材と、 該第１基材上に形成され、複数の傾斜状積層構造を具
え、かつ該傾斜状積層構造は二種類以上の異なる傾斜角
度を具える反射板と、 該反射板上に位置する液晶と、 該液晶上に位置し、透明材料によってなる第２基材と、 カラーフィルタ上に形成される位相板と、 該位相板の上に位置する偏光フィルタとによってなるこ
とを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項１５】 前記液晶表示装置は、さらに該第２基
材上で、該位相板と透明導電膜がそれぞれ該第２基材の
異なる側に設けられることを特徴とする請求項１４に記
載の液晶表示装置。 - 【請求項１６】 前前記液晶表示装置は、さらに該位相
板上に位置する偏光フィルタを含むことを特徴とする請
求項１５に記載の液晶表示装置。 - 【請求項１７】 前記傾斜角度が０度から１０度である
ことを特徴とする請求項１４に記載の液晶表示装置。 - 【請求項１８】 前記複数の傾斜状積層構造は、それぞ
れ二種類以上の異なる構造高度と底辺の幅を具えること
を特徴とする請求項１４に記載の液晶表示装置。 - 【請求項１９】 前記複数の傾斜状積層構造は、さらに
複数の二次的な積層を具え、該二次的な積層は、少なく
と二種類以上の異なる幅を具えることを特徴とする請求
項１４に記載の液晶表示装置。 - 【請求項２０】 前記二次的な積層が、絶縁層か、ゲー
ト電極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素か、もしく
は第２金属層によってなる組み合わせを任意に選択する
ことを特徴とする請求項１４に記載の液晶表示装置。 - 【請求項２１】 前記二次的な積層が、ゲートライか
ン、共通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋
ケイ素層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン層
か、もしくは保護層と有機層によってなるグループを選
択し、任意に組み合わせることを特徴とする請求項１４
に記載の液晶表示装置。 - 【請求項２２】 入射光線を反射する多角度傾斜状反射
板の構造において、 互いに重なり合わない第１領域と、第２領域を含むベー
スと、 該第１領域に形成される複数の薄膜トランジスタと、 第２領域に形成される複数の同一形状にならない傾斜状
積層構造であって、該傾斜状積層構造は該薄膜トランジ
スタと同時に形成され、 該薄膜トランジスタと該傾斜状積層構造上に設けられる
有機層と、 該有機層上に設けられる反射金属層とによってなること
を特徴とする多角度傾斜状反射板。 - 【請求項２３】 前記傾斜状積層構造の上部表面と、該
ベースの表面とによって夾角を形成し、かつ該傾斜状積
層構造は二種類以上の異なる夾角を具えることを特徴と
する請求項２２に記載の多角度傾斜状反射板。 - 【請求項２４】 前記複数の傾斜状積層構造の傾斜角度
が０度から１０度であることを特徴とする請求項２２に
記載の多角度傾斜状反射板。 - 【請求項２５】 前記傾斜状積層構想は、二種類以上の
異なる幅と高さを有することを特徴とする請求項２２に
記載の多角度傾斜状反射板。 - 【請求項２６】 前記有機層は該傾斜状積層構造に平滑
な表面を形成するために溶融特性を具えた有機層である
ことを特徴とする請求項２２に記載の多角度傾斜状反射
板。 - 【請求項２７】 前記薄膜トランジスタが絶縁層か、ゲ
ート電極層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋ケイ素か、もし
くは第２金属層によってなる組み合わせによってなるこ
とを特徴とする請求項２２に記載の多角度傾斜状反射
板。 - 【請求項２８】 前記傾斜状積層構造が、ゲートライか
ン、共通ラインか、絶縁層か、無定形ケイ素層か、Ｎ＋
ケイ素層か、第２金属層か、ソース層か、ドレイン層
か、もしくは保護層と有機層によってなるグループから
選択されることを特徴とする請求項２２に記載の多角度
傾斜状反射板。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW090106525 | 2001-03-20 | ||
| TW090106525A TWI292066B (ja) | 2001-03-20 | 2001-03-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002357821A true JP2002357821A (ja) | 2002-12-13 |
Family
ID=21677696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002079010A Pending JP2002357821A (ja) | 2001-03-20 | 2002-03-20 | 多角傾斜状反射板及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP2002357821A (ja) |
| KR (1) | KR20020075243A (ja) |
| TW (1) | TWI292066B (ja) |
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2001
- 2001-03-20 TW TW090106525A patent/TWI292066B/zh not_active IP Right Cessation
-
2002
- 2002-03-18 US US10/063,086 patent/US20020135717A1/en not_active Abandoned
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- 2002-03-20 JP JP2002079010A patent/JP2002357821A/ja active Pending
Also Published As
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