JP2002334863A - Method and apparatus for cleaning and drying door shell for foup - Google Patents
Method and apparatus for cleaning and drying door shell for foupInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、前面に開口部を有
して半導体ウェハ（以下、ウェハ）等の基板を内部に水
平状態で収納する容器本体であるポッドシェルと、前記
開口部をシール可能に閉鎖する蓋体であるドアシェルを
備えたＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉ
ｆｉｅｄ Ｐｏｄ）の前記ドアシェルの洗浄乾燥方法及
び装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pod shell, which is a container body having an opening on the front surface for housing a substrate such as a semiconductor wafer (hereinafter referred to as "wafer") in a horizontal state, and sealing the opening. FOUP (Front Opening Uni) provided with a door shell which is a lid that is closed as much as possible.
Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for cleaning and drying the door shell of the present invention.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体の製造に使用されるウェハなどの
基板は、基板収納容器であるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏ
ｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）に収納され
て、輸送されたり、基板を加工、処理する加工装置に対
して位置決めされたり、加工装置間で搬送されたり、貯
蔵されたりする。特に、クリーン化された局所環境間で
基板を自動で搬送でき、しかも蓋体が自動開閉可能なも
のが必要であることから、図８に示すように、ＦＯＵＰ
８０は、その前面に開口部８１を有して基板を水平状態
で収納する容器本体であるポッドシェル８２と、開口部
８１をシール可能に閉鎖してポッドシェル８２に係合す
る蓋体であるドアシェル８３を備えたものである。尚、
ドアシェル８３は、開口部８１をシール可能に閉鎖する
ためのパッキン８４を備えている。2. Description of the Related Art Substrates such as wafers used in the manufacture of semiconductors are housed in FOUPs (Front O.O.
It is stored in a Penning Unified Pod), transported, positioned with respect to a processing apparatus for processing and processing a substrate, transported between processing apparatuses, or stored. In particular, since a substrate that can automatically transfer a substrate between clean local environments and that can automatically open and close the lid is required, as shown in FIG.
Reference numeral 80 denotes a pod shell 82 which is a container body having an opening 81 on the front surface thereof for storing a substrate in a horizontal state, and a lid body which closes the opening 81 in a sealable manner and engages with the pod shell 82. A door shell 83 is provided. still,
The door shell 83 includes a packing 84 for sealingly closing the opening 81.
【０００３】ＦＯＵＰ８０は必要に応じて、ポッドシェ
ル８２とドアシェル８３に分解されて、それぞれ別々に
洗浄される。ポッドシェル８２は、例えば、超音波洗浄
方法を用いた洗浄槽内にポッドシェル８２全体が浸漬さ
れて洗浄される。また、ドアシェル８３は、例えば、図
９に示す噴流洗浄方法あるいは図１０に示すスプレー洗
浄方法を用いて洗浄される。[0003] The FOUP 80 is disassembled into a pod shell 82 and a door shell 83 as needed, and each is washed separately. The pod shell 82 is cleaned by, for example, immersing the entire pod shell 82 in a cleaning tank using an ultrasonic cleaning method. The door shell 83 is cleaned using, for example, the jet cleaning method shown in FIG. 9 or the spray cleaning method shown in FIG.
【０００４】前記噴流洗浄方法では、洗浄槽９１に入れ
られた洗浄液９２にドアシェル８３全体を浸漬するとと
もに、洗浄槽９１から洗浄液９２を洗浄液の流れ方向９
６にポンプ９３で循環させ、フィルター９４を通過させ
た後に、複数のノズル９５から、洗浄液の噴流９７をド
アシェル８３に浴びせて洗浄する。また、前記スプレー
洗浄方法では、洗浄槽１０１内に固定したドアシェル８
３全体に、複数のノズル１０２から洗浄液１０３を噴霧
（スプレー）して洗浄する。尚、複数のノズル１０２
は、ドアシェル８３の片面側のみ又は両面側に配置され
ている。洗浄液１０３は、洗浄液供給口１０４から供給
され、余分な洗浄液１０５は、洗浄槽１０１の排液口１
０６から排出される。In the jet cleaning method, the entire door shell 83 is immersed in a cleaning liquid 92 placed in a cleaning tank 91 and the cleaning liquid 92 flows from the cleaning tank 91 in the direction 9 of the cleaning liquid.
After being circulated through the pump 94 through the filter 94 and passed through the filter 94, the door shell 83 is washed with a jet of cleaning liquid 97 from a plurality of nozzles 95. In the spray cleaning method, the door shell 8 fixed in the cleaning tank 101 is used.
The cleaning liquid 103 is sprayed (sprayed) from a plurality of nozzles 102 onto the entirety of the cleaning liquid 3 to clean it. The plurality of nozzles 102
Are arranged only on one side or both sides of the door shell 83. The cleaning liquid 103 is supplied from a cleaning liquid supply port 104, and excess cleaning liquid 105 is supplied from a drain port 1 of the cleaning tank 101.
06.
【０００５】ドアシェル８３の洗浄においては、ドアシ
ェル８３の内面８５とパッキン８４の洗浄が必須である
が、そのためにドアシェル８３全体を洗浄液に浸漬した
り、全体に洗浄液を噴霧（スプレー）すると、ドアシェ
ル８３が二重構造で、内部が外部と通じた空洞になって
いるため、洗浄液やリンス液がドアシェルの前記空洞内
に入り込むので、洗浄後に、ドアシェルを高速回転させ
て、空洞内に残った洗浄液あるいはリンス液を飛び散ら
せて除去したり、温風の吹き付けによって空洞内部を乾
燥していた。In cleaning the door shell 83, it is essential to clean the inner surface 85 of the door shell 83 and the packing 84. For this purpose, when the entire door shell 83 is immersed in a cleaning liquid or the cleaning liquid is sprayed (sprayed) on the entire door shell 83, the door shell 83 is cleaned. Is a double structure, the inside of which is a cavity communicating with the outside, so that the cleaning liquid and the rinsing liquid enter the cavity of the door shell.After cleaning, the door shell is rotated at a high speed, and the cleaning liquid remaining in the cavity or The rinsing liquid was scattered and removed, or the inside of the cavity was dried by blowing hot air.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ドアシ
ェルの空洞内に残った洗浄液等を高速回転で除去しよう
としたり、温風により空洞内部を乾燥しようとしても、
ドアシェルの空洞内に入り込んだ洗浄液等は容易に外部
に排出されないので、ドアシェルを完全に乾燥するのに
数時間を要するために作業効率が悪く、また乾燥しても
ドアシェルの空洞内に乾燥しみあるいは洗浄に洗剤を使
用した場合には洗剤残り等が発生するという問題点があ
った。However, even if an attempt is made to remove the cleaning liquid or the like remaining in the cavity of the door shell by high-speed rotation or to dry the interior of the cavity with warm air,
Since the cleaning liquid or the like that has entered the cavity of the door shell is not easily discharged to the outside, it takes several hours to completely dry the door shell, resulting in poor work efficiency. When a detergent is used for washing, there is a problem that detergent remains and the like occur.
【０００７】本発明は前記問題点を解決するためになさ
れたもので、作業効率が良く、且つドアシェルの空洞内
に乾燥しみなどが発生しないＦＯＵＰ用ドアシェルの洗
浄乾燥方法及び装置を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and provides a method and an apparatus for cleaning and drying a FOUP door shell which has high working efficiency and does not cause drying or the like in a cavity of the door shell. is there.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、内部に水平状
態で半導体ウェハ等の基板を収納し前面に開口部を有す
るポッドシェルと、前記開口部をシール可能に閉鎖する
ドアシェルとからなるＦＯＵＰの前記ドアシェルの洗浄
乾燥方法であって、気体を吹き付ける機構と液体を吹き
付ける機構とを内部に備え、かつ開口した取付口部を有
する容器本体の該取付口部の外側近傍に、前記ドアシェ
ルの内面を前記容器本体側に向けて保持し、前記気体を
吹き付ける機構から、該ドアシェルに備えられているパ
ッキンの近辺に気体を吹きつけて、該パッキン近辺に付
着している不要物を除去する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a FOUP comprising a pod shell which houses a substrate such as a semiconductor wafer or the like in a horizontal state and has an opening at a front surface thereof, and a door shell which sealably closes the opening. The method of washing and drying the door shell according to claim 1, further comprising a mechanism for blowing gas and a mechanism for spraying liquid, wherein an inner surface of the door shell is provided near an outer side of the mounting opening of the container body having an open mounting opening. Is held toward the container body side, and a gas is blown from a mechanism for blowing the gas to a vicinity of a packing provided in the door shell, thereby removing unnecessary substances attached to the vicinity of the packing.
【０００９】次に、前記パッキンを挟んで該ドアシェル
を前記取付口部に密着固定させ、前記液体を吹き付ける
機構から、該ドアシェルの内面に洗浄用の液体を吹き付
けて、該ドアシェルの内面を洗浄する。Next, the door shell is tightly fixed to the mounting opening with the packing interposed therebetween, and a cleaning liquid is sprayed on the inner surface of the door shell from a mechanism for spraying the liquid to wash the inner surface of the door shell. .
【００１０】次に、前記気体を吹き付ける機構から、前
記取付口部に密着固定されている該ドアシェルの内面に
気体を吹き付けて、該ドアシェルの内面を乾燥するもの
である。Next, gas is blown from the mechanism for blowing gas to the inner surface of the door shell which is tightly fixed to the mounting opening to dry the inner surface of the door shell.
【００１１】また、本発明は、内部に水平状態で半導体
ウェハ等の基板を収納し前面に開口部を有するポッドシ
ェルと、前記開口部をシール可能に閉鎖するドアシェル
とからなるＦＯＵＰの前記ドアシェルの洗浄乾燥方法で
あって、気体を吹き付ける機構と液体を吹き付ける機構
とを内部に備え、かつ開口した取付口部を有する第１の
容器本体の該取付口部の外側近傍に、前記ドアシェルの
内面を前記第１の容器本体側に向けて該ドアシェルを保
持し、前記気体を吹き付ける機構から、該ドアシェルに
備えられているパッキンの近辺に気体を吹き付けて、該
パッキン近辺に付着している不要物を除去する。The present invention also provides a door shell for a FOUP comprising: a pod shell which accommodates a substrate such as a semiconductor wafer or the like in a horizontal state and has an opening at the front surface; and a door shell which sealably closes the opening. A washing and drying method, comprising a mechanism for spraying a gas and a mechanism for spraying a liquid therein, and an inner surface of the door shell near the outside of the mounting port of a first container body having an open mounting port. By holding the door shell toward the first container main body side, a gas is blown from a mechanism for blowing the gas to a vicinity of a packing provided on the door shell, and unnecessary matter attached to the packing is removed. Remove.
【００１２】次に、前記パッキンを挟んで該ドアシェル
を前記取付口部に密着固定させ、前記液体を吹き付ける
機構から、該ドアシェルの内面に洗浄用の液体を吹き付
けて、該ドアシェルの内面を洗浄する。Next, the door shell is tightly fixed to the mounting opening with the packing therebetween, and a cleaning liquid is sprayed on the inner surface of the door shell from a mechanism for spraying the liquid to wash the inner surface of the door shell. .
【００１３】次に、前記気体を吹き付ける機構から、前
記ドアシェルの内面に気体を吹き付けて、該ドアシェル
の内面に付着した前記液体が垂れない程度に除去する。Next, a gas is blown from the gas blowing mechanism to the inner surface of the door shell to remove the liquid adhering to the inner surface of the door shell to such an extent that the liquid does not drip.
【００１４】次に、気体を吹き付ける機構を内部に備
え、かつ開口した取付口部を有する第２の容器本体の該
取付口部に、前記液体が垂れない程度に除去されたドア
シェルの内面を前記第２の容器本体側に向けて、前記パ
ッキンを挟んで該ドアシェルを前記取付口部に密着固定
し、前記気体を吹き付ける機構から、該ドアシェルの内
面に気体を吹き付けて、ドアシェルの内面を乾燥するも
のである。Next, a mechanism for spraying gas is provided inside, and the inner surface of the door shell from which the liquid has been removed to the extent that the liquid does not drip is attached to the mounting port of the second container body having an open mounting port. Toward the second container body side, the door shell is tightly fixed to the mounting opening with the packing interposed, and a gas is blown from the mechanism for blowing the gas to the inner surface of the door shell to dry the inner surface of the door shell. Things.
【００１５】また、本発明は、内部に水平状態で半導体
ウェハ等の基板を収納し前面に開口部を有するポッドシ
ェルと、前記開口部をシール可能に閉鎖するドアシェル
とからなるＦＯＵＰの前記ドアシェルの洗浄乾燥方法で
あって、気体を吹き付ける機構と液体を吹き付ける機構
とを内部に備え、かつ開口した取付口部を有する第１の
容器本体の該取付口部の外側近傍に、前記ドアシェルの
内面を前記第１の容器本体側に向けて該ドアシェルを保
持し、前記気体を吹き付ける機構から、該ドアシェルに
備えられているパッキンの近辺に気体を吹き付けて、該
パッキン近辺に付着している不要物を除去する。The present invention also provides a door shell for a FOUP comprising: a pod shell which houses a substrate such as a semiconductor wafer or the like in a horizontal state and has an opening at the front surface; and a door shell which sealably closes the opening. A washing and drying method, comprising a mechanism for spraying a gas and a mechanism for spraying a liquid therein, and an inner surface of the door shell near the outside of the mounting port of a first container body having an open mounting port. By holding the door shell toward the first container main body side, a gas is blown from a mechanism for blowing the gas to a vicinity of a packing provided on the door shell, and unnecessary matter attached to the packing is removed. Remove.
【００１６】次に、前記パッキンを挟んで該ドアシェル
を前記取付口部に密着固定させ、前記液体を吹き付ける
機構から、該ドアシェルの内面に洗浄用の液体を吹き付
けて、該ドアシェルの内面を洗浄する。Next, the inner surface of the door shell is cleaned by spraying a liquid for cleaning onto the inner surface of the door shell from a mechanism for spraying the liquid by tightly fixing the door shell to the mounting opening with the packing interposed therebetween. .
【００１７】次に、前記気体を吹き付ける機構から、前
記ドアシェルの内面に気体を吹き付けて、該ドアシェル
の内面に付着した前記液体が垂れない程度に除去する。Next, gas is blown from the mechanism for blowing gas to the inner surface of the door shell to remove the liquid adhering to the inner surface of the door shell to such an extent that the liquid does not drip.
【００１８】次に、気体を吹き付ける機構を内部に備
え、かつ開口した取付口部を有する第２の容器本体の該
取付口部の外側近傍に、前記ドアシェルの内面を前記第
２の容器本体側に向けて該ドアシェルを保持し、前記気
体を吹き付ける機構から、該ドアシェルに備えられてい
るパッキンの近辺に気体を吹き付けて、該パッキン近辺
に付着した前記液体を除去する。Next, an inner surface of the door shell is provided near the outside of the second container body near the outside of the second container body having an opening for opening and having a mechanism for blowing gas therein. A gas is blown from a mechanism that holds the door shell toward the packing and blows the gas around the packing provided on the door shell, thereby removing the liquid attached to the packing near the packing.
【００１９】次に、前記第２の容器本体の該取付口部
に、前記ドアシェルの内面を前記第２の容器本体側に向
けて、前記パッキンを挟んで該ドアシェルを前記取付口
部に密着固定し、前記気体を吹き付ける機構から、該ド
アシェルの内面に気体を吹き付けて、ドアシェルの内面
を乾燥するものである。Next, the door shell is tightly fixed to the mounting opening with the packing interposed between the mounting opening of the second container main body and the inner surface of the door shell facing the second container main body. Then, a gas is blown from the mechanism for blowing gas to the inner surface of the door shell to dry the inner surface of the door shell.
【００２０】また、前記気体を吹き付ける機構から、前
記取付口部に密着されている前記ドアシェル内面に吹き
付ける気体が、加温されているが好ましく、前記ドアシ
ェルの内面に気体を吹き付ける際に、該ドアシェルの上
部側から下部側に向かってのみ繰り返し前記気体を吹き
付けるものが好ましい。It is preferable that the gas to be blown from the mechanism for blowing the gas to the inner surface of the door shell that is in close contact with the mounting opening is heated, and when the gas is blown to the inner surface of the door shell, It is preferable that the gas is repeatedly sprayed only from the upper side to the lower side.
【００２１】また、本発明は、内部に水平状態で半導体
ウェハ等の基板を収納する前面に開口部を有するポッド
シェルと、前記開口部をシール可能に閉鎖するドアシェ
ルとからなるＦＯＵＰの前記ドアシェルの洗浄乾燥装置
であって、開口した取付口部を有する容器本体と、前記
取付口部外側近傍に前記ドアシェルの内面を該容器本体
側に向けて前記ドアシェルを保持する保持機構と、前記
ドアシェルに備えられているパッキンを挟んで前記取付
口部外側に前記ドアシェルの内面を密着固定させる固定
機構と、該容器本体の内部に気体の吹き付け機構及び液
体の吹き付け機構とを備えたものである。According to the present invention, there is provided a door shell of a FOUP comprising a pod shell having an opening at a front surface for accommodating a substrate such as a semiconductor wafer or the like in a horizontal state, and a door shell closing the opening so as to be sealable. A washing / drying apparatus, comprising: a container body having an open attachment port; a holding mechanism for holding the door shell near the outside of the attachment port with the inner surface of the door shell facing the container body; and a door shell. A fixing mechanism for tightly fixing the inner surface of the door shell to the outside of the mounting opening with the packing therebetween, and a gas blowing mechanism and a liquid blowing mechanism inside the container body.
【００２２】また、本発明は、内部に水平状態で半導体
ウェハ等の基板を収納する前面に開口部を有するポッド
シェルと、前記開口部をシール可能に閉鎖するドアシェ
ルとからなるＦＯＵＰの前記ドアシェルの洗浄乾燥装置
であって、開口した取付口部を有する第１の容器本体
と、開口した取付口部を有する第２の容器本体とを備
え、前記第１の容器本体は、該第１の容器本体の取付口
部外側近傍に、前記ドアシェルの内面を該第１の容器本
体側に向けて保持する保持機構と、前記ドアシェルに備
えられているパッキンを挟んで、前記取付口部外側に前
記ドアシェルの内面を密着固定させる固定機構と、該第
１の容器本体内部に気体の吹き付け機構及び液体の吹き
付け機構とを備え、前記第２の容器本体は、前記ドアシ
ェルに備えられているパッキンを挟んで、前記取付口部
外側に前記ドアシェルの内面を密着固定させる固定機構
と、該第２の容器本体の内部に気体の吹き付け機構とを
備えたものである。The present invention also relates to a door shell for a FOUP comprising: a pod shell having an opening at a front surface for storing a substrate such as a semiconductor wafer in a horizontal state therein; and a door shell closing the opening so as to be sealable. A washing and drying apparatus, comprising: a first container main body having an open mounting opening; and a second container main body having an open mounting opening, wherein the first container main body includes the first container. A holding mechanism for holding the inner surface of the door shell toward the first container body near the outside of the mounting opening of the main body; and a door shell on the outside of the mounting opening with a packing provided in the door shell interposed therebetween. A fixing mechanism for tightly fixing the inner surface of the first container body, a gas blowing mechanism and a liquid blowing mechanism inside the first container body, and the second container body is provided in the door shell. Across Kkin, a fixing mechanism for tightly fixed to the inner surface of the door shell outside the mounting opening, in which a gas blowing system inside of the second container body.
【００２３】また、本発明は、内部に水平状態で半導体
ウェハ等の基板を収納する前面に開口部を有するポッド
シェルと、前記開口部をシール可能に閉鎖するドアシェ
ルとからなるＦＯＵＰの前記ドアシェルの洗浄乾燥装置
であって、開口した取付口部を有する第１の容器本体
と、開口した取付口部を有する第２の容器本体とを備
え、前記第１の容器本体は、該第１の容器本体の取付口
部外側近傍に、前記ドアシェルの内面を該第１の容器本
体側に向けて保持する保持機構と、前記ドアシェルに備
えられているパッキンを挟んで、前記取付口部外側に前
記ドアシェルの内面を密着固定させる固定機構と、該第
１の容器本体内部に気体の吹き付け機構及び液体の吹き
付け機構とを備え、前記第２の容器本体は、該第２の容
器本体の取付口部外側近傍に、前記ドアシェルの内面を
該第１の容器本体側に向けて保持する保持機構と、前記
ドアシェルに備えられているパッキンを挟んで前記第２
の容器本体の取付口部外側に、前記ドアシェルの内面を
密着固定させる固定機構と、該第２の容器本体の内部に
気体の吹き付け機構とを備えたものである。The present invention also relates to a door shell for a FOUP comprising: a pod shell having an opening at a front surface for storing a substrate such as a semiconductor wafer in a horizontal state therein; and a door shell closing the opening so as to be sealable. A washing and drying apparatus, comprising: a first container main body having an open mounting opening; and a second container main body having an open mounting opening, wherein the first container main body includes the first container. A holding mechanism for holding the inner surface of the door shell toward the first container body near the outside of the mounting opening of the main body; and a door shell on the outside of the mounting opening with a packing provided in the door shell interposed therebetween. A fixing mechanism for tightly fixing the inner surface of the first container body, and a gas blowing mechanism and a liquid blowing mechanism inside the first container body, wherein the second container body is outside a mounting opening of the second container body. Near, a holding mechanism for holding toward the inner surface of the door shell to the first container body side, the second sandwiching a packing provided in the said door shell
A fixing mechanism for tightly fixing the inner surface of the door shell outside the mounting opening of the container body, and a gas blowing mechanism for blowing gas into the inside of the second container body.
【００２４】また、前記気体の吹き付け機構は、前記ド
アシェルの内面の上部側から下部側へ向かってのみ繰り
返し気体を吹き付ける構成であるものが好ましい。Preferably, the gas blowing mechanism is configured to repeatedly blow gas only from the upper side to the lower side of the inner surface of the door shell.
【００２５】[0025]
【発明の実施の形態】以下、図面等を参照して、本発明
の実施形態について説明する。図１は、本発明によるＦ
ＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥方法の第１実施形態を示
し、ドアシェルに備えられたパッキン近辺を清掃してい
るところを示す断面模式図である。図２は、図１に示す
工程の次ぎの工程を示し、ドアシェルの内面を洗浄して
いるところを示す断面模式図である。図３は、図２に示
す工程の次ぎの工程を示し、ドアシェルの内面を乾燥し
ているところを示す断面模式図である。図４は、本発明
によるＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥装置の第１実施
形態を示す断面模式図である。図５は、本発明によるＦ
ＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥装置の第２実施形態を示
す断面模式図である。図６は、液体用あるいは気体用ノ
ズルの別の形態を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面
図である。図７は、図４又は図５に示すＦＯＵＰ用ドア
シェルの洗浄乾燥装置を用いたＦＯＵＰ自動洗浄装置の
説明図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the F according to the invention.
It is a cross section showing the 1st embodiment of the washing and drying method of the OUP door shell, and showing the place where packing near the door shell is cleaned. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a step subsequent to the step shown in FIG. 1 and showing a state where the inner surface of the door shell is being cleaned. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a step subsequent to the step shown in FIG. 2 and showing a state where the inner surface of the door shell is being dried. FIG. 4 is a schematic sectional view showing a first embodiment of the FOUP door shell cleaning / drying apparatus according to the present invention. FIG. 5 shows the F according to the invention.
It is a cross-sectional schematic diagram which shows 2nd Embodiment of the washing and drying apparatus of the OUP door shell. 6A and 6B show another embodiment of the liquid or gas nozzle, wherein FIG. 6A is a front view and FIG. 6B is a side view. FIG. 7 is an explanatory view of a FOUP automatic cleaning device using the FOUP door shell cleaning / drying device shown in FIG. 4 or FIG.
【００２６】本発明の第１実施形態のＦＯＵＰ用ドアシ
ェルの洗浄乾燥方法は、先ず、図１に示すように、気体
を吹き付ける機構である気体用ノズル１１と液体を吹き
付ける機構である液体用ノズル１２とを内部に備え、か
つ開口した取付口部１４を有する容器本体１３の取付口
部１４の外側近傍、例えば、取付口部１４から数ｍｍ外
側の位置に、ドアシェル８３の内面８５を容器本体１３
側に向けてドアシェル８３を保持し、気体を吹き付ける
機構である気体用ノズル１１から、ドアシェル８３に備
えられているパッキン８４の近辺に気体、例えば、清浄
な高圧空気１５を吹き付ける。尚、前記気体は、清浄な
高圧窒素などでもよく、それら気体の圧力は０．３〜
０．４ＭＰａ（ゲージ圧）程度が好ましい。In the method of cleaning and drying a FOUP door shell according to the first embodiment of the present invention, first, as shown in FIG. 1, a gas nozzle 11 which is a mechanism for blowing gas and a nozzle 12 for liquid which is a mechanism for spraying liquid. The inner surface 85 of the door shell 83 is placed near the outside of the mounting opening 14 of the container body 13 having the mounting opening 14 that is open, for example, at a position several mm outside the mounting opening 14.
A gas, for example, clean high-pressure air 15 is blown from the gas nozzle 11, which is a mechanism for holding the door shell 83 toward the side and blowing gas, to the vicinity of the packing 84 provided in the door shell 83. The gas may be clean high-pressure nitrogen or the like, and the pressure of the gas is 0.3 to
A pressure of about 0.4 MPa (gauge pressure) is preferable.
【００２７】高圧空気１５は、ガイド部１６に沿った高
圧空気の流れ方向１７に流れ、取付口部１１とドアシェ
ル８３との隙間から容器本体１３外部に勢い良く吹き出
す。これにより、パッキン８４近辺に付着していた不要
物であるゴミなどが除去される。The high-pressure air 15 flows in the flow direction 17 of the high-pressure air along the guide portion 16, and blows out to the outside of the container body 13 from the gap between the mounting opening 11 and the door shell 83. As a result, dust and the like, which are unnecessary substances, attached to the vicinity of the packing 84 are removed.
【００２８】次に、図２に示すように、ドアシェル８３
の内面８５を容器本体１３側に向け、パッキン８４を挟
んでドアシェル８３を取付口部１４に密着固定させ、液
体を吹き付ける機構である液体用ノズル１２から、ドア
シェル８３の内面８５に洗浄用の液体である洗浄液２１
ａを吹き付ける。尚、洗浄液２１ａを吹き付けた後、リ
ンス液２１ｂを吹き付ける場合もある。前記洗浄液２１
ａとリンス液２１ｂは、それぞれ洗浄とリンスのために
用いることができる液体、例えば、純水でもよく、前記
液体を吹き付ける機構は、液体を吹き付けて洗浄及び／
又はリンスできるものであれば、ノズルに限らない。
尚、ドアシェル８３の内面８５の洗浄は、パッキン８４
及びその近傍が洗浄できる状態であればそれも含む（以
下、同様）。Next, as shown in FIG.
The inner surface 85 of the door shell 83 is directed toward the container body 13, the door shell 83 is tightly fixed to the mounting opening portion 14 with the packing 84 interposed therebetween, and the liquid for cleaning is applied to the inner surface 85 of the door shell 83 from the liquid nozzle 12 which is a mechanism for spraying liquid. Cleaning liquid 21
spray a. In some cases, after the cleaning liquid 21a is sprayed, the rinsing liquid 21b is sprayed. The cleaning liquid 21
The a and the rinsing liquid 21b may be liquids that can be used for cleaning and rinsing, for example, pure water, and the mechanism for spraying the liquid may be used for cleaning and / or spraying the liquid.
Alternatively, the nozzle is not limited to a nozzle that can be rinsed.
The inner surface 85 of the door shell 83 is cleaned by the packing 84.
And if the vicinity thereof can be cleaned, this is included (hereinafter the same).
【００２９】ドアシェル８３は取付口部１４にパッキン
８４を挟んで密着しているので、ドアシェル８３の内面
８５に洗浄液２１ａ及び／又はリンス液２１ｂを吹き付
けても、洗浄液２１ａあるいはリンス液２１ｂはパッキ
ン８４より外側には漏れ出ない。また、パッキン８４に
囲まれたドアシェル８３の内面８５には、ドアシェル８
３の空洞内に通じる孔などがないので、洗浄液２１ａあ
るいはリンス液２１ｂは、ドアシェル８３の空洞内に入
り込まない。Since the door shell 83 is in close contact with the mounting opening 14 with the packing 84 interposed therebetween, even if the cleaning liquid 21 a and / or the rinsing liquid 21 b is sprayed on the inner surface 85 of the door shell 83, the cleaning liquid 21 a or the rinsing liquid 21 b is not filled. It does not leak outside. In addition, an inner surface 85 of the door shell 83 surrounded by the packing 84 has a door shell 8.
The cleaning liquid 21a or the rinsing liquid 21b does not enter the cavity of the door shell 83 because there is no hole communicating with the cavity of the third shell.
【００３０】次に、図３に示すように、気体を吹き付け
る機構である気体用ノズル１１から、取付口部１４に密
着固定されているドアシェル８３の内面８５に気体、例
えば、清浄な高圧空気３１を吹き付け、ドアシェル８３
の内面８５に付着して残っていた洗浄液２１ａあるいは
リンス液２１ｂを吹き飛ばして除去する。尚、前記ドア
シェル８３の乾燥は、パッキン８４及びその近傍に洗浄
液等が残っている場合は、それらの除去も含む（以下、
同様）。Next, as shown in FIG. 3, a gas, such as clean high-pressure air 31, is applied from a gas nozzle 11, which is a mechanism for blowing the gas, to an inner surface 85 of a door shell 83 which is tightly fixed to the mounting opening 14. Spray the door shell 83
The cleaning liquid 21a or the rinsing liquid 21b remaining on the inner surface 85 is blown off and removed. Note that the drying of the door shell 83 includes the removal of the cleaning liquid and the like in the packing 84 and the vicinity thereof in the case where the cleaning liquid and the like remain in the packing 84 (hereinafter, referred to as the cleaning liquid).
Similar).
【００３１】また、パッキン８４近辺を清掃するため及
び洗浄後にドアシェル８３の内面を乾燥させるために、
それぞれ別々に設けられている気体用ノズルを用いても
よい。尚、前記気体は、清浄な高圧窒素などでもよく、
前記気体の圧力は０．３〜０．４ＭＰａ（ゲージ圧）程
度が好ましく、また前記気体は加温されていることが好
ましい。In order to clean the vicinity of the packing 84 and to dry the inner surface of the door shell 83 after the cleaning,
Gas nozzles provided separately from each other may be used. Incidentally, the gas may be clean high-pressure nitrogen or the like,
The pressure of the gas is preferably about 0.3 to 0.4 MPa (gauge pressure), and the gas is preferably heated.
【００３２】ドアシェル８３の空洞内に洗浄液２１ａあ
るいはリンス液２１ｂが入り込まないので、ドアシェル
８３の内面８５に付着して残っていた洗浄液２１ａ及び
／又はリンス液２１ｂの乾燥に要する時間は数分と短時
間である。Since the cleaning liquid 21a or the rinsing liquid 21b does not enter the cavity of the door shell 83, the time required for drying the cleaning liquid 21a and / or the rinsing liquid 21b remaining on the inner surface 85 of the door shell 83 is as short as several minutes. Time.
【００３３】尚、前記気体を吹き付ける機構は、気体を
吹き付けて清掃あるいは乾燥できるものであれば、ノズ
ルに限らない。図中、１８は受部（洗浄液等が誤って外
部に漏れ出た場合に、洗浄液等を受けるもの）、１９は
開閉バルブ、２０は排液用配管、２２は排気孔である。The mechanism for blowing the gas is not limited to a nozzle as long as it can clean or dry by blowing the gas. In the figure, reference numeral 18 denotes a receiving portion (for receiving a cleaning liquid or the like when the cleaning liquid or the like leaks to the outside by mistake), 19 denotes an open / close valve, 20 denotes a drain pipe, and 22 denotes an exhaust hole.
【００３４】次に、本発明によるＦＯＵＰ用ドアシェル
の洗浄乾燥方法の第２実施形態について説明する。図５
に示すＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥装置５０におけ
る洗浄乾燥機５０ａと乾燥機５０ｂを用い、先ず、洗浄
乾燥機５０ａにおいて、気体を吹き付ける機構である気
体用ノズル５１と液体を吹き付ける機構である液体用ノ
ズル５２とを内部に備え、かつ開口した取付口部５４を
有する第１の容器本体５３の取付口部５４の外側近傍、
例えば、取付口部５４から数ｍｍ外側の位置に、ドアシ
ェル８３の内面８５を第１の容器本体５３側に向けてド
アシェル８３を保持し、気体を吹き付ける機構である気
体用ノズル５１から、ドアシェル８３に備えられている
パッキン８４の近辺に気体、例えば、清浄な高圧空気５
５を吹き付けて、パッキン８４近辺に付着している不要
物であるゴミなどを除去する。尚、前記気体は、清浄な
高圧窒素などでもよく、それら気体の圧力は０．３〜
０．４ＭＰａ（ゲージ圧）程度が好ましい。Next, a description will be given of a second embodiment of the method of cleaning and drying the FOUP door shell according to the present invention. FIG.
First, in the washing and drying device 50a of the FOUP door shell washing and drying device 50 shown in FIG. 52, inside thereof, and near the outside of the mounting port 54 of the first container body 53 having the open mounting port 54,
For example, the door shell 83 is held at a position several mm outside the mounting opening 54 with the inner surface 85 of the door shell 83 facing the first container main body 53 side, and the door shell 83 is moved from the gas nozzle 51 which is a mechanism for blowing gas. A gas, for example, clean high-pressure air 5
5 is sprayed to remove unnecessary dust and the like adhering to the vicinity of the packing 84. The gas may be clean high-pressure nitrogen or the like, and the pressure of the gas is 0.3 to
A pressure of about 0.4 MPa (gauge pressure) is preferable.
【００３５】次に、ドアシェル８３の内面８５を第１の
容器本体５３側に向け、パッキン８４を挟んでドアシェ
ル８３を取付口部５４に密着固定させ、液体用ノズル５
２から、ドアシェル８３の内面８５に洗浄用の液体であ
る洗浄液を吹き付けて、ドアシェル８３の内面を洗浄す
る。尚、洗浄液を吹き付けた後、リンス液を吹き付ける
場合もある。前記洗浄液あるいはリンス液は、それぞれ
洗浄とリンスのために用いることができる液体、例え
ば、純水でもよく、前記液体を吹き付ける機構は、液体
を吹き付けて洗浄及び／又はリンスできるものであれ
ば、ノズルに限らない。Next, the inner surface 85 of the door shell 83 faces the first container main body 53 side, and the door shell 83 is tightly fixed to the mounting opening 54 with the packing 84 interposed therebetween.
From 2, a cleaning liquid, which is a cleaning liquid, is sprayed on the inner surface 85 of the door shell 83 to clean the inner surface of the door shell 83. After the cleaning liquid is sprayed, the rinsing liquid may be sprayed. The cleaning liquid or the rinsing liquid may be a liquid that can be used for cleaning and rinsing, for example, pure water, and the mechanism for spraying the liquid may be any nozzle that can wash and / or rinse by spraying the liquid. Not limited to
【００３６】次に、気体用ノズル５１から、ドアシェル
８３の内面８５に気体、例えば、清浄な高圧空気５１を
吹き付けて、ドアシェル８３の内面８５に付着して残っ
ていた洗浄液及び／又はリンス液が垂れない程度に吹き
飛ばして除去する（以下、粗い乾燥という）。前記気体
は、清浄な高圧窒素などでもよく、前記気体の圧力は
０．３〜０．４ＭＰａ（ゲージ圧）程度が好ましく、ま
た前記気体は加温されていることが好ましい。Next, a gas, for example, clean high-pressure air 51 is blown from the gas nozzle 51 to the inner surface 85 of the door shell 83 to remove the cleaning liquid and / or rinsing liquid remaining on the inner surface 85 of the door shell 83. It is blown away to the extent that it does not drip and removed (hereinafter referred to as coarse drying). The gas may be clean high-pressure nitrogen or the like, the pressure of the gas is preferably about 0.3 to 0.4 MPa (gauge pressure), and the gas is preferably heated.
【００３７】次に、ドアシェル８３を第１の容器本体５
３から外し、乾燥機５０ｂの第２の容器本体５６の取付
口部５７に、ドアシェル８３をパッキン８４を挟んで密
着固定し、気体を吹き付ける機構である気体用ノズル５
８から、ドアシェル８３の内面８５に気体、例えば、清
浄な高圧空気５５を吹き付けて、ドアシェル８３の内面
８５に付着して残っていた洗浄液あるいはリンス液を吹
き飛ばして除去し、ドアシェル８３の内面８５及びパッ
キン８４を完全に乾燥するものである。Next, the door shell 83 is connected to the first container body 5.
3, a door shell 83 is tightly fixed to the mounting opening 57 of the second container body 56 of the dryer 50 b with a packing 84 interposed therebetween, and a gas nozzle 5 is a mechanism for blowing gas.
8, a gas, for example, clean high-pressure air 55 is blown onto the inner surface 85 of the door shell 83 to blow off and remove the cleaning liquid or the rinsing liquid remaining on the inner surface 85 of the door shell 83. The packing 84 is completely dried.
【００３８】尚、前記第１の容器本体５３におけるドア
シェル８３の粗い乾燥後、ドアシェル８３を第１の容器
本体５３から外し、乾燥機５０ｂの第２の容器本体５６
の取付口部５７近傍、例えば、取付口部５７から数ｍｍ
外側の位置に、ドアシェル８３の内面８５を第２の容器
本体５６側に向けてドアシェル８３を保持し、気体を吹
き付ける機構である気体用ノズル５８から、ドアシェル
８３に備えられているパッキン８４の近辺に気体、例え
ば、清浄な高圧空気５５を吹き付けて、パッキン８４近
辺に付着している液体を完全に除去した後、第２の容器
本体５６の取付口部５７に、ドアシェル８３をパッキン
８４を挟んで密着固定し、気体を吹き付ける機構である
気体用ノズル５８から、ドアシェル８３の内面８５に気
体、例えば、清浄な高圧空気５５を吹き付けて、ドアシ
ェル８３の内面８５に付着して残っていた洗浄液あるい
はリンス液を吹き飛ばして除去し、ドアシェル８３の内
面８５及びパッキン８４を完全に乾燥するものでもよ
い。このようにすることにより、よりクリーンな乾燥が
できる。After the door shell 83 in the first container body 53 is roughly dried, the door shell 83 is removed from the first container body 53, and the second container body 56 of the dryer 50b is dried.
Near the mounting port 57, for example, several mm from the mounting port 57.
At the outer position, the inner surface 85 of the door shell 83 is oriented toward the second container body 56 to hold the door shell 83, and a gas nozzle 58, which is a mechanism for blowing gas, is used to move the gas container 58 near the packing 84 provided on the door shell 83. Gas, for example, clean high-pressure air 55, is blown to completely remove the liquid adhering in the vicinity of the packing 84, and then the door shell 83 is sandwiched by the packing 84 in the mounting opening 57 of the second container body 56. A gas, for example, clean high-pressure air 55 is blown onto the inner surface 85 of the door shell 83 from a gas nozzle 58, which is a mechanism for spraying a gas, and the cleaning liquid remaining on the inner surface 85 of the door shell 83 or The rinsing liquid may be blown off and removed, and the inner surface 85 of the door shell 83 and the packing 84 may be completely dried. By doing so, cleaner drying can be achieved.
【００３９】尚、前記気体は、清浄な高圧窒素などでも
よく、それら気体の圧力は０．３〜０．４ＭＰａ（ゲー
ジ圧）程度が好ましく、またそれら気体は加温されてい
ることが好ましい。The gas may be clean high-pressure nitrogen or the like. The pressure of the gas is preferably about 0.3 to 0.4 MPa (gauge pressure), and the gas is preferably heated.
【００４０】ドアシェル８３の空洞内に洗浄液あるいは
リンス液が入り込んでいないので、ドアシェル８３の内
面８５に付着して残っていた洗浄液及び／又はリンス液
の乾燥に要する時間は数分と短時間である。また、第１
の容器本体５３及び第２の容器本体５６を用いるので、
複数個のドアシェル８３の洗浄工程と完全乾燥工程とを
平行して行うことができるので、作業効率が良い。尚、
図中、５９ａ、５９ｂ、５９ｃ、５９ｄ、５９ｅは、開
閉バルブである。Since the cleaning liquid or the rinsing liquid does not enter into the cavity of the door shell 83, the time required for drying the cleaning liquid and / or the rinsing liquid remaining on the inner surface 85 of the door shell 83 is as short as several minutes. . Also, the first
Since the container body 53 and the second container body 56 are used,
Since the washing process and the complete drying process of the plurality of door shells 83 can be performed in parallel, the working efficiency is good. still,
In the figure, 59a, 59b, 59c, 59d, 59e are open / close valves.
【００４１】尚、前記本発明の第１及び第２実施形態の
ＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥方法において、洗浄や
乾燥あるいは粗い乾燥のための液体用あるいは気体用ノ
ズル１１、５８として、図６に示す側面に複数の気体あ
るいは液体の吹き出し孔６１が設けられた両端部が閉塞
された管６２を有し、管６２の両端部に設けられた軸６
３が支持枠６４で支持され、管６２が軸６３に対して正
逆軸回転するものを用いてもよい。In the method of cleaning and drying the FOUP door shell according to the first and second embodiments of the present invention, nozzles 11 and 58 for liquid or gas for cleaning, drying or coarse drying are shown in FIG. A tube 62 having a plurality of gas or liquid blowing holes 61 provided on the side surface and having both ends closed is provided. A shaft 6 provided at both ends of the tube 62 is provided.
3 may be supported by a support frame 64, and the tube 62 may be rotated in the forward and reverse directions with respect to the shaft 63.
【００４２】管６２が図６（ｂ）中で時計回りに回転す
る時のみ気体、例えば、高圧空気６５をドアシェル８３
の内面８５に吹き付け、管６２が反時計回りに回転する
時は、高圧空気６５を吹き付けないことを繰り返し行う
のが好ましく、このような高圧空気６５の吹き付け方法
であると、ドアシェル８３の内面８５に付着した洗浄液
及び／又はリンス液を下側に落とすのみであるので、高
圧空気６５吹き付け時に、無闇に洗浄液及び／又はリン
ス液が飛び散らないのでよい。Only when the pipe 62 rotates clockwise in FIG. 6B, gas, for example, high-pressure air 65 is supplied to the door shell 83.
When the pipe 62 rotates counterclockwise, it is preferable that the high-pressure air 65 is not blown repeatedly. When such a high-pressure air 65 is blown, the inner surface 85 of the door shell 83 may be blown. Since the cleaning liquid and / or the rinsing liquid attached to the surface is only dropped to the lower side, the cleaning liquid and / or the rinsing liquid may not be scattered in the dark when the high-pressure air 65 is blown.
【００４３】また、パッキン８４のゴミ等除去あるいは
ドアシェル８３の内面８５の洗浄のための気体用ノズル
１１、１２、５１、５２として、常時気体あるいは液体
を吹き出す管６２が正逆軸回転するようにした前記気体
用ノズル６０を用いてもよい。Also, as gas nozzles 11, 12, 51, 52 for removing dust from the packing 84 or cleaning the inner surface 85 of the door shell 83, the pipe 62 for constantly blowing gas or liquid rotates forward and backward. The gas nozzle 60 described above may be used.
【００４４】次に、本発明の第１実施形態のＦＯＵＰ用
ドアシェルの洗浄乾燥装置４０を図４に示す。ＦＯＵＰ
用ドアシェルの洗浄乾燥装置４０は、開口した取付口部
４１を有する容器本体４２と、取付口部４１外側近傍、
例えば、取付口部４１の数ｍｍ外側の位置にドアシェル
８３の内面８５を容器本体４２側に向けてドアシェル８
３を保持する保持機構、例えば、真空吸着盤４３ａを有
する圧空シリンダ４３ｂと、ドアシェル８３に備えられ
ているパッキン８４を挟んで取付口部４１外側にドアシ
ェル８３の内面８５を密着固定させる固定機構、例え
ば、ロック部材４３ｃと、容器本体４２の内部に気体の
吹き付け機構である気体用ノズル４４及び液体の吹き付
け機構である液体用ノズル４５とを備えている。Next, FIG. 4 shows a FOUP door shell cleaning / drying apparatus 40 according to the first embodiment of the present invention. FOUP
The door shell cleaning / drying device 40 includes a container body 42 having an open mounting port 41, and a vicinity of the outside of the mounting port 41,
For example, the inner surface 85 of the door shell 83 may be located at a position several mm outside the mounting opening 41 with the inner surface 85 facing the container body 42.
3, a fixing mechanism for tightly fixing the inner surface 85 of the door shell 83 to the outside of the mounting opening 41 with the packing 84 provided on the door shell 83 interposed therebetween, for example, For example, a lock member 43c, a gas nozzle 44 as a gas blowing mechanism and a liquid nozzle 45 as a liquid blowing mechanism inside the container body 42 are provided.
【００４５】圧空シリンダ４３ｂは、例えば、ドアシェ
ル８３の外側面の対角線上２箇所を吸着して保持し、ま
た図中で左右にドアシェル８３を移動して、ドアシェル
８３を取付口部４１から外側に少し離れた位置に保持し
たり、またドアシェル８３を取付口部４１にパッキン８
４を挟んで密着固定するものである。尚、圧空シリンダ
４３ｂは、ドアシェル８３を前記保持する箇所と固定す
る個所の２箇所に２段階に停止させるように設定されて
いるのが好ましい。尚、前記保持機構は、ドアシェル８
３を移動して保持できれば、真空吸着盤４３ａと圧空シ
リンダー４３ｂに限らない。The compressed air cylinder 43b sucks and holds, for example, two locations on the outer surface of the door shell 83 on a diagonal line, and moves the door shell 83 left and right in the figure to move the door shell 83 outward from the mounting opening 41. The door shell 83 can be held at a slightly distant position,
4 and is fixed closely. The compressed air cylinder 43b is preferably set so as to be stopped in two stages at two places, that is, a place where the door shell 83 is held and a place where the door shell 83 is fixed. The holding mechanism is a door shell 8.
3 is not limited to the vacuum suction disk 43a and the compressed air cylinder 43b as long as it can be moved and held.
【００４６】また、ロック部材４３ｃは、その先端部が
必要な時に図８に示すドアシェル８３のロック部８６に
嵌合してロックするものであり、圧空シリンダ４３ｂが
ドアシェル８３を取付口部４１に密着させた後、ドアシ
ェル８３をロックして固定する。尚、ロック部材４３ｃ
は、ドアシェル８３をロック後、そのままドアシェル８
３を保持したり、ドアシェル８３から外れて待避した
り、あるいはその先端部がロック部８６に嵌合したまま
ドアシェル８３をロックしないで密着保持したりする。The lock member 43c fits and locks the lock portion 86 of the door shell 83 shown in FIG. 8 when its tip is required. The compressed air cylinder 43b connects the door shell 83 to the mounting opening 41. After the close contact, the door shell 83 is locked and fixed. The lock member 43c
Locks the door shell 83 and then leaves the door shell 8
3, the door shell 83 is detached from the door shell 83 and retracted, or the door shell 83 is tightly held without being locked while the front end thereof is fitted to the lock portion 86.
【００４７】気体用ノズル４４は、パッキン８４近辺及
びドアシェル８３の内面８５全体に気体、例えば、清浄
な高圧空気あるいは清浄な高圧窒素を吹き付けられるよ
うに、本数、設置場所、向きが適宜選択されて備えられ
ている。また、開閉バルブ４４ａの数あるいは設置場所
は適宜選択されて設けられ、複数の気体用ノズル４４の
内、必要に応じて所望のノズルから気体を吹き付けるこ
とができるように、例えば、それぞれの気体用ノズル４
４に開閉バルブが設けられていてもよい。The number, location, and orientation of the gas nozzles 44 are appropriately selected so that gas, for example, clean high-pressure air or clean high-pressure nitrogen can be blown around the packing 84 and the entire inner surface 85 of the door shell 83. Provided. In addition, the number or the installation location of the open / close valve 44a is appropriately selected and provided, and, for example, for each gas, a desired one of the plurality of gas nozzles 44 can be blown from a desired nozzle. Nozzle 4
4 may be provided with an open / close valve.
【００４８】尚、気体用ノズル４４には、吹き付ける気
体を加温する機構が設けられていることが好ましい。ま
た、パッキン８４近辺を清掃するための気体用ノズルと
洗浄後にドアシェル８３の内面８５を乾燥するための気
体用ノズルは、別々に設けられていてもよい。The gas nozzle 44 is preferably provided with a mechanism for heating the gas to be blown. Further, a gas nozzle for cleaning the vicinity of the packing 84 and a gas nozzle for drying the inner surface 85 of the door shell 83 after the cleaning may be separately provided.
【００４９】液体用ノズル４５は、パッキン８４で囲ま
れたドアシェル８３の内面８５に洗浄液及び／又はリン
ス液、例えば、純水を吹き付けられるように、本数、設
置場所、向きが適宜選択されて設けられている。尚、開
閉バルブ４５ａの数あるいは設置場所は適宜選択されて
設けられ、複数の液体用ノズル４５それぞれに開閉バル
ブが設けられていてもよい。また、洗浄液とリンス液な
どのような異なる種類の洗浄用の液体は、それぞれの供
給源からバルブ操作などで選択されて液体用ノズル４５
に供給されるように構成されている。The number, location, and orientation of the liquid nozzles 45 are appropriately selected so that a cleaning liquid and / or a rinsing liquid, for example, pure water can be sprayed on the inner surface 85 of the door shell 83 surrounded by the packing 84. Have been. The number or the installation location of the opening / closing valves 45a may be appropriately selected and provided, and the opening / closing valves may be provided for each of the plurality of liquid nozzles 45. In addition, different types of cleaning liquids such as a cleaning liquid and a rinsing liquid are selected from respective supply sources by a valve operation or the like, and are supplied to the liquid nozzle 45.
Is configured to be supplied.
【００５０】尚、気体の吹き付け機構と液体の吹き付け
機構は、それぞれ気体を吹き付けて清掃あるいは乾燥で
きるものと液体を吹き付けて洗浄できるものであれば、
ノズルに限らない。例えば、図６に示す複数の吹き付け
孔６１を有し、軸６３に対して正逆軸回転する気体用ノ
ズル６０が、図４中で吹き付け孔６１をドアシェル８３
側に向けて上下２〜３段に配備されたものが好ましい。
更に、液体の吹き付け機構も、気体用ノズル６０と同様
の構成のものが好ましい。尚、乾燥用の気体用ノズル６
０は、図６（ｂ）に示すように、管６２が時計回りに回
転する時に気体、例えば、清浄な高圧空気６５を吹き付
け、反時計回りに回転する時は高圧空気６５を吹き付け
ないようにして、高圧空気６５を上から下に向かっての
み吹き付けるようにしたものが好ましい。The gas spraying mechanism and the liquid spraying mechanism may be any of those which can be cleaned or dried by blowing gas and those which can be cleaned by spraying liquid.
Not limited to nozzles. For example, the gas nozzle 60 having a plurality of spray holes 61 shown in FIG.
Those arranged in two or three stages above and below toward the side are preferred.
Further, the liquid spraying mechanism preferably has the same configuration as the gas nozzle 60. The gas nozzle 6 for drying is used.
0 indicates that, as shown in FIG. 6 (b), when the pipe 62 rotates clockwise, a gas, for example, clean high-pressure air 65 is blown, and when the pipe 62 rotates counterclockwise, the high-pressure air 65 is not blown. Preferably, the high-pressure air 65 is blown only from the top to the bottom.
【００５１】また、容器本体４２の取付口部４１の外側
近傍に、パッキン８４近辺の清掃のために吹き付けられ
た気体を容器本体４２の外部に誘導するガイド部４６、
洗浄液等が誤って漏れ出た場合に洗浄液等を受ける受部
４７、容器本体４２と受部４６の下部に排液用配管４８
が設けられ、そこに開閉バルブ４８ａが設けられる。
尚、配管４８には、その数あるいは設置場所が適宜選択
されて開閉バルブが設けられていればよい。また、気体
を吹き付ける時間及び／又は液体を吹き付ける時間を設
定するためのタイマーを備えていることが好ましい。A guide 46 for guiding the gas blown for cleaning the vicinity of the packing 84 to the outside of the container body 42 is provided near the outside of the mounting opening 41 of the container body 42.
A receiving part 47 for receiving the cleaning liquid or the like when the cleaning liquid or the like leaks out by mistake, and a drainage pipe 48 at a lower portion of the container body 42 and the receiving part 46.
Is provided, and an open / close valve 48a is provided therein.
The pipe 48 may be provided with an opening / closing valve by appropriately selecting the number or the installation location. Further, it is preferable that a timer for setting a time for blowing gas and / or a time for blowing liquid is provided.
【００５２】尚、前記気体は、清浄な高圧窒素などでも
よく、それら気体の圧力は０．３〜０．４ＭＰａ（ゲー
ジ圧）程度が好ましい。また、前記気体の吹き付け機構
には、気体を加温する機構が備えられていることが好ま
しい。The gas may be clean high-pressure nitrogen or the like, and the pressure of the gas is preferably about 0.3 to 0.4 MPa (gauge pressure). Further, it is preferable that the gas blowing mechanism includes a mechanism for heating the gas.
【００５３】次に、本発明の第２実施形態のＦＯＵＰ用
ドアシェルの洗浄乾燥装置５０を図５に示す。ＦＯＵＰ
用ドアシェルの洗浄乾燥装置５０は、洗浄乾燥機５０ａ
と乾燥機５０ｂを有する。Next, FIG. 5 shows a FOUP door shell cleaning / drying apparatus 50 according to a second embodiment of the present invention. FOUP
Door shell cleaning and drying device 50 includes a cleaning and drying machine 50a.
And a dryer 50b.
【００５４】洗浄乾燥機５０ａは、開口した取付口部５
４を有する第１の容器本体５３と、取付口部５４外側近
傍、例えば、４ｍｍ外側にドアシェル８３の内面８５を
第１の容器本体５３側に向けてドアシェル８３を保持す
る保持機構、例えば、図４で示した２個の真空吸着盤４
３ａを有する圧空シリンダ４３ｂと、ドアシェル８３に
備えられているパッキン８４を挟んで取付口部５４外側
にドアシェル８３の内面８５を密着固定させる固定機
構、例えば、ロック部材４３ｃと、第１の容器本体５３
の内部に気体の吹き付け機構である気体用ノズル５１及
び液体の吹き付け機構である液体用ノズル５２とを備え
ている。尚、前記保持機構は、ドアシェル８３を移動し
て保持できれば、真空吸着盤４３ａと圧空シリンダー４
３ｂに限らない。The washing and drying machine 50a is provided with
4 and a holding mechanism for holding the door shell 83 with the inner surface 85 of the door shell 83 facing the first container body 53 near the outside of the mounting opening 54, for example, 4 mm outside. Two vacuum suction disks 4 indicated by 4
A pressurized air cylinder 43b having an opening 3a, a fixing mechanism for tightly fixing the inner surface 85 of the door shell 83 to the outside of the mounting opening 54 with a packing 84 provided in the door shell 83 therebetween, for example, a lock member 43c, and a first container body 53
A gas nozzle 51 serving as a gas blowing mechanism and a liquid nozzle 52 serving as a liquid blowing mechanism are provided in the inside. Incidentally, if the holding mechanism can move and hold the door shell 83, the vacuum suction disk 43a and the pneumatic cylinder 4
It is not limited to 3b.
【００５５】圧空シリンダ４３ｂは、例えば、ドアシェ
ル８３の外側面の対角線上２箇所を吸着して保持し、ま
た図中で左右にドアシェル８３を移動して、ドアシェル
８３を取付口部５４から外側に少し離れた位置に保持し
たり、またドアシェル８３を取付口部５４にパッキン８
４を挟んで密着固定することができるものである。尚、
圧空シリンダ４３ｂは、ドアシェル８３を前記保持する
箇所と固定する個所の２箇所に２段階で停止させるよう
に設定されているのが好ましい。The compressed air cylinder 43b sucks and holds, for example, two diagonal lines on the outer surface of the door shell 83, and moves the door shell 83 left and right in the figure to move the door shell 83 outward from the mounting opening 54. The door shell 83 can be held at a slightly distant position, and the packing 8 can be
4 can be tightly fixed. still,
The compressed air cylinder 43b is preferably set so as to stop in two stages at two positions, that is, a position where the door shell 83 is held and a position where the door shell 83 is fixed.
【００５６】また、ロック部材４３ｃは、その先端部が
必要な時に図８に示すドアシェル８３のロック部８６に
嵌合してロックするものであり、圧空シリンダ４３ｂが
ドアシェル８３を取付口部５４に密着させた後、ドアシ
ェル８３をロックして固定する。尚、ロック部材４３ｃ
は、ドアシェル８３をロック後、そのままドアシェル８
３を保持したり、ドアシェル８３から外れて待避した
り、あるいはその先端部をロック部８６に嵌合したまま
ドアシェル８３をロックしないで密着保持したりする。The lock member 43c is adapted to fit and lock the lock portion 86 of the door shell 83 shown in FIG. 8 when its tip end is required, and the compressed air cylinder 43b connects the door shell 83 to the mounting opening 54. After the close contact, the door shell 83 is locked and fixed. The lock member 43c
Locks the door shell 83 and then leaves the door shell 8
3, the door shell 83 is detached from the door shell 83 and retracted, or the door shell 83 is tightly held without being locked while the front end thereof is fitted to the lock portion 86.
【００５７】気体用ノズル５１は、パッキン８４近辺及
びドアシェル８３の内面８５全体に気体、例えば、清浄
な高圧空気を吹き付けられるように、本数、設置場所、
向きが適宜選択されて備えられている。また、開閉バル
ブ５９ａの数あるいは設置場所は適宜選択されて設けら
れ、複数の気体用ノズル５１の内、必要に応じて所望の
ノズルから気体を吹き付けることができるように、例え
ば、それぞれの気体用ノズル５１に開閉バルブが設けら
れていてもよい。The number of gas nozzles 51, the number of installation locations, and the number of installation nozzles are set so that gas, for example, clean high-pressure air can be blown around the packing 84 and the entire inner surface 85 of the door shell 83.
The orientation is appropriately selected and provided. Further, the number or the installation location of the opening / closing valve 59a is appropriately selected and provided, and, for example, for each gas, a desired one of the plurality of gas nozzles 51 can be blown from a desired nozzle. The nozzle 51 may be provided with an open / close valve.
【００５８】尚、パッキン８４近辺を清掃するための気
体用ノズルと洗浄後にドアシェル８３の内面８５を粗い
乾燥を行うための気体用ノズルは、別々に設けられてい
てもよい。The gas nozzle for cleaning the vicinity of the packing 84 and the gas nozzle for coarsely drying the inner surface 85 of the door shell 83 after cleaning may be provided separately.
【００５９】液体用ノズル５２は、パッキン８４で囲ま
れたドアシェル８３の内面８５に洗浄液及び／又はリン
ス液を吹き付けられるように、本数、設置場所、向きが
適宜選択されて設けられている。尚、開閉バルブ５９ｂ
の数あるいは設置場所は適宜選択されて設けられ、複数
の液体用ノズル５２それぞれに開閉バルブが設けられて
いてもよい。また、洗浄液とリンス液などのような異な
る種類の洗浄用の液体は、それぞれの供給源からバルブ
操作などで選択されて液体用ノズル５２に供給されるよ
うに構成されている。The number, location and orientation of the liquid nozzles 52 are appropriately selected so that the cleaning liquid and / or the rinsing liquid can be sprayed on the inner surface 85 of the door shell 83 surrounded by the packing 84. In addition, the open / close valve 59b
The number or location of the liquid nozzles may be appropriately selected and provided, and an opening / closing valve may be provided for each of the plurality of liquid nozzles 52. Further, different types of cleaning liquids such as a cleaning liquid and a rinsing liquid are selected from respective supply sources by a valve operation or the like and supplied to the liquid nozzle 52.
【００６０】尚、気体の吹き付け機構と液体の吹き付け
機構は、それぞれ気体を吹き付けて清掃あるいは粗い乾
燥ができるものと液体を吹き付けて洗浄できるものであ
れば、ノズルに限らない。例えば、図６に示す複数の吹
き付け口６１を有し、軸６３に対して正逆軸回転する気
体用ノズル６０が、図５中で吹き付け口６１をドアシェ
ル８３側に向けて上下２〜３段に配備されたものが好ま
しい。更に、液体の吹き付け機構も、気体用ノズル６０
と同様の構成のものが好ましい。尚、粗い乾燥用の気体
用ノズル６０は、図６（ｂ）に示すように、管６２が時
計回りに回転する時に気体、例えば、清浄な高圧空気６
５を吹き付け、反時計回りに回転する時は高圧空気６５
を吹き付けないようにして、高圧空気６５を上から下に
向かってのみ吹き付けるようにしたものが好ましい。
尚、図中、６６ａ、６６ｂは管６２の回転方向である。The gas spraying mechanism and the liquid spraying mechanism are not limited to nozzles as long as they can perform cleaning or coarse drying by blowing gas and can be cleaned by spraying liquid. For example, the gas nozzle 60 having a plurality of spray ports 61 shown in FIG. 6 and rotating in the forward and reverse directions with respect to the shaft 63 has two to three steps in FIG. Are preferably deployed. Further, the liquid spraying mechanism is also provided by the gas nozzle 60.
The same configuration as that described above is preferable. As shown in FIG. 6B, when the pipe 62 rotates clockwise, the coarse drying gas nozzle 60, for example, clean high-pressure air 6
5 and high pressure air 65 when rotating counterclockwise.
Is preferably not blown, and the high-pressure air 65 is blown only from top to bottom.
In the drawing, reference numerals 66a and 66b denote rotation directions of the tube 62.
【００６１】また、第１の容器本体５３の取付口部５４
の外側近傍に、パッキン８４近辺の清掃のために吹き付
けられた高圧空気５５を第１の容器本体５３の外部に誘
導するガイド部５３ｂ、洗浄液等が誤って漏れ出た場合
に洗浄液等を受ける受部５３ｃ、容器本体５３と受部５
３ｃの下部に排液用配管５３ｄが設けられ、そこに開閉
バルブ５９ｃが設けられる。尚、排液用配管５３ｄに
は、その数あるいは設置場所が適宜選択されて開閉バル
ブが設けられていればよい。また、前記気体を吹き付け
る時間及び／又は前記液体を吹き付ける時間を設定する
ためのタイマーを備えていることが好ましい。The mounting opening 54 of the first container body 53
A guide portion 53b for guiding the high-pressure air 55 blown for cleaning the vicinity of the packing 84 to the outside of the first container body 53 near the outside of the first container body 53. Part 53c, container body 53 and receiving part 5
A drain pipe 53d is provided below 3c, and an open / close valve 59c is provided there. The drain pipe 53d may be provided with an opening / closing valve by appropriately selecting the number or the installation location. Further, it is preferable that a timer for setting the time for spraying the gas and / or the time for spraying the liquid is provided.
【００６２】また、第１の容器本体５３は、洗浄後にド
アシェル８３の内面８５の粗い乾燥を行うために高圧空
気５５を吹き付けた時に、高圧空気５５が適当に第１の
容器本体５３外部に排出されて、第１の容器本体５３の
内圧が高くなり過ぎないように構成されており、適当な
大きさの排気孔５３ａが適当な場所に設けられているこ
とが好ましい。When the first container body 53 is blown with high-pressure air 55 to clean the inner surface 85 of the door shell 83 after cleaning, the high-pressure air 55 is appropriately discharged to the outside of the first container body 53. It is preferable that the internal pressure of the first container main body 53 is not excessively increased, and that an exhaust hole 53a of an appropriate size is provided at an appropriate place.
【００６３】尚、前記気体は、清浄な高圧窒素などでも
よく、それら気体の圧力は０．３〜０．４ＭＰａ（ゲー
ジ圧）程度が好ましい。また、前記気体の吹き付け機構
には、気体を加温する機構が備えられていてもよい。The gas may be clean high-pressure nitrogen or the like, and the pressure of the gas is preferably about 0.3 to 0.4 MPa (gauge pressure). Further, the gas blowing mechanism may include a mechanism for heating the gas.
【００６４】乾燥機５１ｂは、ドアシェル８３に備えら
れているパッキン８４を挟んで第２の容器本体５６の取
付口部５７外側に、ドアシェル８３の内面８５を密着固
定させる固定機構、例えば、ロック部材４３ｃと、第２
の容器本体５６の内部に気体の吹き付け機構である気体
用ノズル５８とを備えている。更に、ドアシェル８３の
保持機構、例えば、真空吸着盤４３ａと圧空シリンダー
４３ｂも備えていることが好ましい。尚、前記保持機構
は、ドアシェル８３を移動して保持できれば、真空吸着
盤４３ａと圧空シリンダー４３ｂに限らない。The dryer 51b is provided with a fixing mechanism for tightly fixing the inner surface 85 of the door shell 83 to the outside of the mounting opening 57 of the second container body 56 with a packing 84 provided in the door shell 83 therebetween, for example, a lock member. 43c and the second
And a gas nozzle 58 as a gas blowing mechanism inside the container main body 56. Further, it is preferable that a holding mechanism for the door shell 83, for example, a vacuum suction disk 43a and a compressed air cylinder 43b is also provided. The holding mechanism is not limited to the vacuum suction plate 43a and the compressed air cylinder 43b as long as the door shell 83 can be moved and held.
【００６５】尚、乾燥機５１ｂは、第２の容器本体５６
の取付口部５７外側近傍、例えば、４ｍｍ外側にドアシ
ェル８３の内面８５を第２の容器本体５６側に向けてド
アシェル８３を保持する保持機構、例えば、２個の真空
吸着盤４３ａを有する圧空シリンダ４３ｂとを有する形
態でもよい。The dryer 51b is provided with a second container body 56.
A holding mechanism for holding the door shell 83 with the inner surface 85 of the door shell 83 facing the second container body 56 near the outside of the mounting opening 57, for example, 4 mm outside, for example, a pneumatic cylinder having two vacuum suction disks 43a 43b.
【００６６】圧空シリンダ４３ｂは、例えば、ドアシェ
ル８３の外側面の対角線上２箇所を吸着して保持し、ま
た図中で左右にドアシェル８３を移動して、ドアシェル
８３を取付口部５４から外側に少し離れた位置に保持し
たり、またドアシェル８３を取付口部５４にパッキン８
４を挟んで密着固定することができるものである。尚、
圧空シリンダ４３ｂは、ドアシェル８３を前記保持する
箇所と固定する個所の２箇所に２段階で停止させるよう
に設定されているのが好ましい。The compressed air cylinder 43b sucks and holds, for example, two diagonal lines on the outer surface of the door shell 83, and moves the door shell 83 left and right in the drawing to move the door shell 83 outward from the mounting opening 54. The door shell 83 can be held at a slightly distant position, and the packing 8 can be
4 can be tightly fixed. still,
The compressed air cylinder 43b is preferably set so as to stop in two stages at two positions, that is, a position where the door shell 83 is held and a position where the door shell 83 is fixed.
【００６７】また、ロック部材４３ｃは、その先端部が
必要な時に図８に示すドアシェル８３のロック部８６に
嵌合してロックするものであり、圧空シリンダ４３ｂが
ドアシェル８３を取付口部５７に密着させた後、ドアシ
ェル８３をロックして固定する。尚、ロック部材４３ｃ
は、ドアシェル８３をロック後、そのままドアシェル８
３を保持したり、ドアシェル８３から外れて待避した
り、あるいはその先端部がロック部８６に嵌合したまま
ドアシェル８３をロックしないで密着保持したりする。The lock member 43c fits and locks the lock portion 86 of the door shell 83 shown in FIG. 8 when its tip end is necessary. The compressed air cylinder 43b connects the door shell 83 to the mounting opening 57. After the close contact, the door shell 83 is locked and fixed. The lock member 43c
Locks the door shell 83 and then leaves the door shell 8
3, the door shell 83 is detached from the door shell 83 and retracted, or the door shell 83 is tightly held without being locked while the front end thereof is fitted to the lock portion 86.
【００６８】気体用ノズル５８は、パッキン８４近辺及
びドアシェル８３の内面８５全体に気体、例えば、清浄
な高圧空気５５吹き付けられるように、本数、設置場
所、向きが適宜選択されて備えられている。また、開閉
バルブ５９ｄの数あるいは設置場所は適宜選択されて設
けられ、複数の気体用ノズル５８の内、必要に応じて所
望のノズルから気体を吹き付けることができるように、
例えば、それぞれの気体用ノズル５８に開閉バルブが設
けられていてもよい。The number, location, and orientation of the gas nozzles 58 are appropriately selected so that gas, for example, clean high-pressure air 55 is blown around the packing 84 and the entire inner surface 85 of the door shell 83. In addition, the number or the installation location of the open / close valve 59d is appropriately selected and provided, and a gas can be blown from a desired nozzle as needed among the plurality of gas nozzles 58.
For example, an opening / closing valve may be provided for each gas nozzle 58.
【００６９】尚、気体の吹き付け機構は、気体を吹き付
けて乾燥できるものであれば、ノズルに限らない。例え
ば、図６に示す複数の吹き付け孔６１を有し、軸６３に
対して正逆軸回転する気体用ノズル６０が、図４中で吹
き付け孔６１をドアシェル８３側に向けて上下２〜３段
に配備され、図６（ｂ）に示すように、管６２が時計回
りに回転する時に気体、例えば、清浄な高圧空気６５を
吹き付け、反時計回りに回転する時は高圧空気６５を吹
き付けないようにして、高圧空気６５を上から下に向か
ってのみ吹き付けるようにしたものが好ましい。尚、図
中、６６ａ、６６ｂは管６２の回転方向である。The gas blowing mechanism is not limited to a nozzle as long as it can blow and dry the gas. For example, the gas nozzle 60 having a plurality of spray holes 61 shown in FIG. 6 and rotating in the forward and reverse directions with respect to the shaft 63 is configured such that the spray holes 61 face the door shell 83 side in FIG. As shown in FIG. 6B, when the pipe 62 rotates clockwise, a gas such as clean high-pressure air 65 is blown, and when the pipe 62 rotates counterclockwise, the high-pressure air 65 is not blown. It is preferable that the high-pressure air 65 is blown only from top to bottom. In the drawing, reference numerals 66a and 66b denote rotation directions of the tube 62.
【００７０】また、第２の容器本体５６には排液用配管
５３ｅが設けられ、そこに開閉バルブ５９ｄが設けられ
る。尚、排液用配管５３ｅには、その数あるいは設置場
所が適宜選択されて開閉バルブが設けられていればよ
い。また、前記気体を吹き付ける時間を設定するための
タイマーを備えていることが好ましい。The second container body 56 is provided with a drainage pipe 53e, and an open / close valve 59d is provided therein. The drain pipe 53e may be provided with an opening / closing valve by appropriately selecting the number or the installation location. Further, it is preferable that a timer for setting the time for blowing the gas is provided.
【００７１】尚、前記気体は、清浄な高圧窒素などでも
よく、それら気体の圧力は０．３〜０．４ＭＰａ（ゲー
ジ圧）程度が好ましい。また、前記気体の吹き付け機構
には、気体を加温する機構が備えられていることが好ま
しい。The gas may be clean high-pressure nitrogen or the like, and the pressure of the gas is preferably about 0.3 to 0.4 MPa (gauge pressure). Further, it is preferable that the gas blowing mechanism includes a mechanism for heating the gas.
【００７２】図４又は図５に示す本発明の実施形態のよ
うなＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥装置を有するドア
シェル洗浄乾燥槽としたＦＯＵＰ自動洗浄装置７０を図
７に示す。取入／取出口７１から入れられたＦＯＵＰ８
０は、ＦＯＵＰ分解／組立部７２においてポッドシェル
８２とドアシェル８３に分解されて、ポッドシェル８２
は、搬送機ユニット７３により搬送され、ポッドシェル
反転部７４において、その内面が次ぎのポッドシェル超
音波洗浄槽７５における超音波発振源方向を向くように
反転された後、ポッドシェル超音波洗浄槽７５で洗浄さ
れ、次に、ポッドシェル減圧乾燥槽７６で乾燥される。
尚、前記のポッドシェル８２の洗浄乾燥装置部分は、従
来のものを用いて構成したものでよい。FIG. 7 shows a FOUP automatic cleaning apparatus 70 as a door shell cleaning / drying tank having a FOUP door shell cleaning / drying apparatus as in the embodiment of the present invention shown in FIG. 4 or FIG. FOUP8 entered from intake / exit 71
0 is disassembled into a pod shell 82 and a door shell 83 in the FOUP disassembly / assembly section 72, and the pod shell 82
Is transported by the transport unit 73 and is reversed in the pod shell reversing section 74 so that the inner surface thereof faces the ultrasonic oscillation source direction in the next pod shell ultrasonic cleaning tank 75, and then the pod shell ultrasonic cleaning tank Washed at 75 and then dried in a pod shell vacuum drying bath 76.
The cleaning and drying device of the pod shell 82 may be a conventional one.
【００７３】一方、ドアシェル８３は、ドアシェル洗浄
乾燥槽７７において洗浄乾燥される。ドアシェル洗浄乾
燥槽７７には、図４又は図５に示すような構成のＦＯＵ
Ｐ用ドアシェルの洗浄乾燥装置が配置されており、前記
ＦＯＵＰ用ドアシェル洗浄乾燥装置を囲うように壁面が
設けられ、パッキン８４の清掃時に用いられる高圧空気
が、ＦＯＵＰ自動洗浄乾燥装置内に無闇に噴出するのを
防止するような構成とされている。尚、ドアシェル８３
の移動時には、前記壁面に設けられたドアが開閉する。On the other hand, the door shell 83 is washed and dried in the door shell washing and drying tank 77. The door shell cleaning / drying tank 77 has an FOU having a configuration as shown in FIG. 4 or FIG.
A cleaning and drying device for the door shell for P is disposed, a wall surface is provided so as to surround the cleaning and drying device for the FOUP door shell, and high-pressure air used for cleaning the packing 84 squirts into the FOUP automatic cleaning and drying device. It is configured to prevent the user from doing so. The door shell 83
At the time of movement, the door provided on the wall opens and closes.
【００７４】洗浄乾燥が終了したポッドシェル８２とド
アシェル８３は、ＦＯＵＰ分解／組立部７２に移動され
て組み立てられ、取入／取出口７１からＦＯＵＰとして
取り出される。尚、前記工程は自動で行われ、全体及び
それぞれの工程の設定はタッチパネル７８で設定され
る。The pod shell 82 and the door shell 83 which have been washed and dried are moved to the FOUP disassembling / assembling section 72 and assembled, and are taken out from the inlet / outlet 71 as a FOUP. Note that the above steps are performed automatically, and the settings of the whole and each step are set on the touch panel 78.
【００７５】以上示したように、本発明の実施形態のＦ
ＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥方法及び装置を用いる
と、ドアシェルの洗浄時間が短時間であり、またドアシ
ェルの空洞内に洗浄用の液体である洗浄液あるいはリン
ス液などが入り込まないので、ドアシェルの洗浄後、例
えば、洗浄液による洗浄後とリンス液によるリンス後
に、それぞれ数分でドアシェルを乾燥でき、更にドアシ
ェルの空洞内に乾燥しみなどが発生しない。As described above, the F of the embodiment of the present invention is
When the method and apparatus for cleaning and drying the OUP door shell are used, the cleaning time of the door shell is short, and the cleaning liquid or the rinsing liquid as the cleaning liquid does not enter into the cavity of the door shell. For example, the door shell can be dried in several minutes after each of the cleaning with the cleaning liquid and the rinsing with the rinsing liquid, and further, the drying of the inside of the cavity of the door shell does not occur.
【００７６】[0076]
【発明の効果】本発明によれば、ドアシェルの洗浄及び
洗浄後の乾燥に要する時間が短時間であるので洗浄乾燥
の作業効率が良く、且つドアシェルの空洞内に乾燥しみ
などが発生しないＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥方法
及び装置を提供することができる。According to the present invention, since the time required for cleaning and drying after cleaning the door shell is short, the work efficiency of the cleaning and drying is good, and the FOUP for which the drying does not occur in the cavity of the door shell is generated. A method and apparatus for cleaning and drying a door shell can be provided.
【図１】本発明によるＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥
方法の第１実施形態を示し、ドアシェルに備えられたパ
ッキン近辺を清掃しているところを示す断面模式図であ
る。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a first embodiment of a method for cleaning and drying a door shell for a FOUP according to the present invention, in which the vicinity of a packing provided on a door shell is cleaned.
【図２】図１に示す工程の次ぎの工程を示し、ドアシェ
ルの内面を洗浄しているところを示す断面模式図であ
る。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a step subsequent to the step shown in FIG. 1 and showing a state where the inner surface of the door shell is being cleaned.
【図３】図２に示す工程の次ぎの工程を示し、ドアシェ
ルの内面を乾燥しているところを示す断面模式図であ
る。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a step subsequent to the step shown in FIG. 2 and showing a state where the inner surface of the door shell is being dried.
【図４】本発明によるＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥
装置の第１実施形態を示す断面模式図である。FIG. 4 is a schematic sectional view showing a first embodiment of a cleaning and drying apparatus for a FOUP door shell according to the present invention.
【図５】本発明によるＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥
装置の第２実施形態を示す断面模式図である。FIG. 5 is a schematic sectional view showing a second embodiment of the cleaning and drying device for a FOUP door shell according to the present invention.
【図６】液体用あるいは気体用ノズルの別の形態を示
し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。6A and 6B show another embodiment of a liquid or gas nozzle, wherein FIG. 6A is a front view and FIG. 6B is a side view.
【図７】図４又は図５に示すＦＯＵＰ用ドアシェルの洗
浄乾燥装置を用いたＦＯＵＰ自動洗浄装置の説明図であ
る。FIG. 7 is an explanatory view of a FOUP automatic cleaning apparatus using the FOUP door shell cleaning / drying apparatus shown in FIG. 4 or FIG. 5;
【図８】ＦＯＵＰの分解概略図である。FIG. 8 is an exploded schematic view of the FOUP.
【図９】従来のドアシェルの噴流洗浄方法の説明図であ
る。FIG. 9 is an explanatory view of a conventional door shell jet cleaning method.
【図１０】従来のドアシェルのスプレー洗浄方法の説明
図である。FIG. 10 is an explanatory view of a conventional door shell spray cleaning method.
１１、４４、５１、５８ 気体用ノズル １２、４５、５２ 液体用ノズル １３、４２ 容器本体 １４、４１、５４、５７ 取付口部 １５、３１、５５ 高圧空気 １６、４６、５３ｂ ガイド部 １７ 高圧空気の流れ方向 １８、４７、５３ｃ 受部 １９、４４ａ、４５ａ、４８ａ、５９ａ、５９ｂ、５９
ｃ、５９ｄ、５９ｅ開閉バルブ ２０、４８、５３ｄ、５３ｅ 排液用配管 ２１ａ 洗浄液 ２１ｂ リンス液 ２２、４９、５３ａ、５６ａ 排気孔 ４０、５０ ＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥装置 ４３ａ 真空吸着盤 ４３ｂ 圧空シリンダー ４３ｃ ロック部材 ５０ ＦＯＵＰ自動洗浄乾燥装置 ５０ａ 洗浄乾燥機 ５０ｂ 乾燥機 ５３ 第１の容器本体 ５６ 第２の容器本体 ６０ 気体用ノズル ６１ 吹き出し孔 ６２ 管 ６３ 軸 ６４ 支持枠 ６５ 高圧空気 ６６ａ、６６ｂ 管の回転方向 ７０ ＦＯＵＰ自動洗浄装置 ７１ 取入／取出口 ７２ ＦＯＵＰ分解／組立部 ７３ 搬送機ユニット ７４ ポッドシェル反転部 ７５ ポッドシェル超音波洗浄槽 ７６ ポッドシェル減圧乾燥槽 ７７ ドアシェル洗浄乾燥槽 ８０ ＦＯＵＰ ８１ 開口部 ８２ ポッドシェル ８３ ドアシェル ８４ パッキン ８５ 内面 ８６ ロック部 ９１、１０１ 洗浄槽 ９２、１０３ 洗浄液 ９３ ポンプ ９４ フィルター ９５、１０２ ノズル ９６ 洗浄液の流れ方向 ９７ 洗浄液の噴流 １０４ 洗浄液供給口 １０５ 余分な洗浄液 １０６ 排液口11, 44, 51, 58 Gas nozzle 12, 45, 52 Liquid nozzle 13, 42 Container body 14, 41, 54, 57 Mounting port 15, 31, 55 High-pressure air 16, 46, 53b Guide 17 High-pressure air Flow direction 18, 47, 53c Receiving part 19, 44a, 45a, 48a, 59a, 59b, 59
c, 59d, 59e opening / closing valve 20, 48, 53d, 53e Drainage pipe 21a Cleaning liquid 21b Rinse liquid 22, 49, 53a, 56a Exhaust hole 40, 50 FOUP door shell cleaning / drying device 43a Vacuum suction disk 43b Compressed air cylinder 43c Lock member 50 FOUP automatic cleaning / drying device 50a Cleaning / drying device 50b Dryer 53 First container main body 56 Second container main body 60 Gas nozzle 61 Blow-out hole 62 Tube 63 Shaft 64 Support frame 65 High pressure air 66a, 66b Rotation of tube Direction 70 FOUP automatic cleaning device 71 Inlet / outlet 72 FOUP disassembly / assembly unit 73 Carrier unit 74 Pod shell reversing unit 75 Pod shell ultrasonic cleaning tank 76 Pod shell reduced pressure drying tank 77 Door shell cleaning and drying tank 80 FOUP 81 Opening 82 Podshell 83 Door shell 84 Packing 85 Inner surface 86 Lock section 91, 101 Cleaning tank 92, 103 Cleaning liquid 93 Pump 94 Filter 95, 102 Nozzle 96 Cleaning liquid flow direction 97 Cleaning liquid jet 104 Cleaning liquid supply port 105 Extra cleaning liquid 106 Drainage port
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B116 AA46 AB02 AB47 BB21 BB88 BB90 CC03 CD31 3B201 AA46 AB02 AB47 BB21 BB88 BB90 BB92 BB98 CC12 CD36 4F033 AA04 AA14 BA01 BA03 CA01 DA01 EA02 EA05 GA01 GA11 LA04 5F031 CA02 CA05 DA08 PA24 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 3B116 AA46 AB02 AB47 BB21 BB88 BB90 CC03 CD31 3B201 AA46 AB02 AB47 BB21 BB88 BB90 BB92 BB98 CC12 CD36 4F033 AA04 AA14 BA01 BA03 CA01 DA01 EA02 EA05 GA03 GA04
Claims (9)
を収納し前面に開口部を有するポッドシェルと、前記開
口部をシール可能に閉鎖するドアシェルとからなるＦＯ
ＵＰの前記ドアシェルの洗浄乾燥方法であって、 気体を吹き付ける機構と液体を吹き付ける機構とを内部
に備え、かつ開口した取付口部を有する容器本体の該取
付口部の外側近傍に、前記ドアシェルの内面を前記容器
本体側に向けて保持し、前記気体を吹き付ける機構か
ら、該ドアシェルに備えられているパッキンの近辺に気
体を吹きつけて、該パッキン近辺に付着している不要物
を除去し、 次に、前記パッキンを挟んで該ドアシェルを前記取付口
部に密着固定させ、前記液体を吹き付ける機構から、該
ドアシェルの内面に洗浄用の液体を吹き付けて、該ドア
シェルの内面を洗浄し、 次に、前記気体を吹き付ける機構から、前記取付口部に
密着固定されている該ドアシェルの内面に気体を吹き付
けて、該ドアシェルの内面を乾燥する、 ことを特徴とするＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥方
法。1. An FO comprising a pod shell for housing a substrate such as a semiconductor wafer therein in a horizontal state and having an opening on a front surface thereof, and a door shell for sealingly closing the opening.
A method of cleaning and drying the door shell of the UP, comprising a mechanism for blowing gas and a mechanism for blowing liquid inside, and near the outside of the mounting port of the container body having an open mounting port. Holding the inner surface toward the container body side, from the mechanism that blows the gas, blows a gas near the packing provided on the door shell to remove unnecessary substances attached to the vicinity of the packing, Next, the door shell is tightly fixed to the mounting opening with the packing therebetween, and a cleaning liquid is sprayed on an inner surface of the door shell from a mechanism for spraying the liquid to wash the inner surface of the door shell. Gas is blown from the mechanism that blows the gas to the inner surface of the door shell that is tightly fixed to the mounting opening, and the inner surface of the door shell is dried. A method for cleaning and drying a door shell for a FOUP.
を収納し前面に開口部を有するポッドシェルと、前記開
口部をシール可能に閉鎖するドアシェルとからなるＦＯ
ＵＰの前記ドアシェルの洗浄乾燥方法であって、 気体を吹き付ける機構と液体を吹き付ける機構とを内部
に備え、かつ開口した取付口部を有する第１の容器本体
の該取付口部の外側近傍に、前記ドアシェルの内面を前
記第１の容器本体側に向けて該ドアシェルを保持し、前
記気体を吹き付ける機構から、該ドアシェルに備えられ
ているパッキンの近辺に気体を吹き付けて、該パッキン
近辺に付着している不要物を除去し、 次に、前記パッキンを挟んで該ドアシェルを前記取付口
部に密着固定させ、前記液体を吹き付ける機構から、該
ドアシェルの内面に洗浄用の液体を吹き付けて、該ドア
シェルの内面を洗浄し、 次に、前記気体を吹き付ける機構から、前記ドアシェル
の内面に気体を吹き付けて、該ドアシェルの内面に付着
した前記液体が垂れない程度に除去し、 次に、気体を吹き付ける機構を内部に備え、かつ開口し
た取付口部を有する第２の容器本体の該取付口部に、前
記液体が垂れない程度に除去されたドアシェルの内面を
前記第２の容器本体側に向けて、前記パッキンを挟んで
該ドアシェルを前記取付口部に密着固定し、前記気体を
吹き付ける機構から、該ドアシェルの内面に気体を吹き
付けて、ドアシェルの内面を乾燥する、 ことを特徴とするＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥方
法。2. An FO comprising: a pod shell for housing a substrate such as a semiconductor wafer in a horizontal state therein and having an opening in a front surface thereof; and a door shell for sealingly closing the opening.
A method of cleaning and drying the door shell of the UP, comprising a mechanism for blowing gas and a mechanism for blowing liquid inside, and near the outside of the mounting port of the first container body having an open mounting port, By holding the door shell with the inner surface of the door shell facing the first container body side, from the mechanism that blows the gas, the gas is blown to the vicinity of the packing provided in the door shell, and adheres to the vicinity of the packing. Next, the door shell is tightly fixed to the mounting opening portion with the packing interposed therebetween, and a cleaning liquid is sprayed on an inner surface of the door shell from a mechanism for spraying the liquid. Next, from the mechanism for blowing the gas, a gas is blown to the inner surface of the door shell, and the liquid attached to the inner surface of the door shell is removed. Next, a door shell provided with a mechanism for blowing a gas therein and having the liquid attached to the mounting opening of the second container body having an open mounting opening so that the liquid does not drip. With the inner surface of the door shell facing the second container main body, the door shell is tightly fixed to the mounting opening with the packing interposed therebetween, and a gas is blown from the mechanism for blowing the gas to the inner surface of the door shell. A method for cleaning and drying a door shell for a FOUP, comprising drying an inner surface.
を収納し前面に開口部を有するポッドシェルと、前記開
口部をシール可能に閉鎖するドアシェルとからなるＦＯ
ＵＰの前記ドアシェルの洗浄乾燥方法であって、 気体を吹き付ける機構と液体を吹き付ける機構とを内部
に備え、かつ開口した取付口部を有する第１の容器本体
の該取付口部の外側近傍に、前記ドアシェルの内面を前
記第１の容器本体側に向けて該ドアシェルを保持し、前
記気体を吹き付ける機構から、該ドアシェルに備えられ
ているパッキンの近辺に気体を吹き付けて、該パッキン
近辺に付着している不要物を除去し、 次に、前記パッキンを挟んで該ドアシェルを前記取付口
部に密着固定させ、前記液体を吹き付ける機構から、該
ドアシェルの内面に洗浄用の液体を吹き付けて、該ドア
シェルの内面を洗浄し、 次に、前記気体を吹き付ける機構から、前記ドアシェル
の内面に気体を吹き付けて、該ドアシェルの内面に付着
した前記液体が垂れない程度に除去し、 次に、気体を吹き付ける機構を内部に備え、かつ開口し
た取付口部を有する第２の容器本体の該取付口部の外側
近傍に、前記ドアシェルの内面を前記第２の容器本体側
に向けて該ドアシェルを保持し、前記気体を吹き付ける
機構から、該ドアシェルに備えられているパッキンの近
辺に気体を吹き付けて、該パッキン近辺に付着した前記
液体を除去し、 次に、前記第２の容器本体の該取付口部に、前記ドアシ
ェルの内面を前記第２の容器本体側に向けて、前記パッ
キンを挟んで該ドアシェルを前記取付口部に密着固定
し、前記気体を吹き付ける機構から、該ドアシェルの内
面に気体を吹き付けて、ドアシェルの内面を乾燥する、 ことを特徴とするＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥方
法。3. An FO comprising: a pod shell which accommodates a substrate such as a semiconductor wafer or the like in a horizontal state and has an opening at a front surface; and a door shell which sealably closes the opening.
A method of cleaning and drying the door shell of the UP, comprising a mechanism for blowing gas and a mechanism for blowing liquid inside, and near the outside of the mounting port of the first container body having an open mounting port, By holding the door shell with the inner surface of the door shell facing the first container body side, and blowing gas from a mechanism for blowing the gas, the gas is blown to the vicinity of a packing provided in the door shell and adhered to the vicinity of the packing. Next, the door shell is tightly fixed to the mounting opening portion with the packing interposed therebetween, and a cleaning liquid is sprayed on an inner surface of the door shell from a mechanism for spraying the liquid. Next, from the mechanism for blowing the gas, a gas is blown to the inner surface of the door shell, and the liquid attached to the inner surface of the door shell is removed. Then, a mechanism for spraying gas is provided inside, and the inner surface of the door shell is placed in the second container body near the outside of the mounting port of the second container body having an open mounting port. Holding the door shell toward the container body side, and blowing a gas from a mechanism for blowing the gas to a vicinity of a packing provided in the door shell to remove the liquid attached to the vicinity of the packing; The inner surface of the door shell faces the second container main body, and the door shell is tightly fixed to the mounting opening with the packing interposed therebetween, so that the gas is removed. A method for cleaning and drying a door shell for a FOUP, wherein a gas is blown from a spraying mechanism to an inner surface of the door shell to dry the inner surface of the door shell.
付口部に密着されている前記ドアシェル内面に吹き付け
る気体が、加温されていることを特徴とする請求項１か
ら請求項３のいずれか１項に記載のＦＯＵＰ用ドアシェ
ルの洗浄乾燥方法。4. The apparatus according to claim 1, wherein the gas that blows from the mechanism that blows the gas onto the inner surface of the door shell that is in close contact with the mounting opening is heated. 3. The method for cleaning and drying a door shell for FOUP according to item 4.
る際に、該ドアシェルの上部側から下部側に向かっての
み繰り返し前記気体を吹き付けることを特徴とする請求
項１から請求項４のいずれか１項に記載のＦＯＵＰ用ド
アシェルの洗浄乾燥方法。5. The door shell according to claim 1, wherein when the gas is blown to the inner surface of the door shell, the gas is repeatedly blown only from the upper side to the lower side of the door shell. 3. The method for cleaning and drying a door shell for FOUP according to item 1.
を収納する前面に開口部を有するポッドシェルと、前記
開口部をシール可能に閉鎖するドアシェルとからなるＦ
ＯＵＰの前記ドアシェルの洗浄乾燥装置であって、 開口した取付口部を有する容器本体と、 前記取付口部外側近傍に前記ドアシェルの内面を該容器
本体側に向けて前記ドアシェルを保持する保持機構と、 前記ドアシェルに備えられているパッキンを挟んで前記
取付口部外側に前記ドアシェルの内面を密着固定させる
固定機構と、 該容器本体の内部に気体の吹き付け機構及び液体の吹き
付け機構と、 を備えたことを特徴とするＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄
乾燥装置。6. A pod shell having an opening at a front surface for storing a substrate such as a semiconductor wafer in a horizontal state therein, and a door shell closing the opening so as to be sealable.
An OUP cleaning and drying apparatus for the door shell, comprising: a container body having an open mounting opening; and a holding mechanism for holding the door shell near the outside of the mounting opening with the inner surface of the door shell facing the container main body. A fixing mechanism for tightly fixing the inner surface of the door shell to the outside of the mounting opening with a packing provided in the door shell; and a gas blowing mechanism and a liquid blowing mechanism inside the container body. A washing and drying device for a door shell for a FOUP.
を収納する前面に開口部を有するポッドシェルと、前記
開口部をシール可能に閉鎖するドアシェルとからなるＦ
ＯＵＰの前記ドアシェルの洗浄乾燥装置であって、 開口した取付口部を有する第１の容器本体と、開口した
取付口部を有する第２の容器本体とを備え、 前記第１の容器本体は、該第１の容器本体の取付口部外
側近傍に、前記ドアシェルの内面を該第１の容器本体側
に向けて保持する保持機構と、前記ドアシェルに備えら
れているパッキンを挟んで、前記取付口部外側に前記ド
アシェルの内面を密着固定させる固定機構と、該第１の
容器本体内部に気体の吹き付け機構及び液体の吹き付け
機構とを備え、 前記第２の容器本体は、前記ドアシェルに備えられてい
るパッキンを挟んで、前記取付口部外側に前記ドアシェ
ルの内面を密着固定させる固定機構と、該第２の容器本
体の内部に気体の吹き付け機構とを備え、 たことを特徴とするＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥装
置。7. An F shell comprising a pod shell having an opening at a front surface for housing a substrate such as a semiconductor wafer or the like in a horizontal state therein, and a door shell for sealingly closing the opening.
An OUP cleaning and drying apparatus for a door shell, comprising: a first container main body having an open mounting opening; and a second container main body having an open mounting opening, wherein the first container main body comprises: A holding mechanism for holding the inner surface of the door shell toward the first container body near an outer side of the mounting opening of the first container main body; A fixing mechanism for closely fixing the inner surface of the door shell to the outside, a gas spraying mechanism and a liquid spraying mechanism inside the first container main body, wherein the second container main body is provided in the door shell. A fixing mechanism for tightly fixing the inner surface of the door shell to the outside of the mounting opening portion with a gasket therebetween, and a gas blowing mechanism inside the second container body. Door shell cleaning and drying equipment.
を収納する前面に開口部を有するポッドシェルと、前記
開口部をシール可能に閉鎖するドアシェルとからなるＦ
ＯＵＰの前記ドアシェルの洗浄乾燥装置であって、 開口した取付口部を有する第１の容器本体と、開口した
取付口部を有する第２の容器本体とを備え、 前記第１の容器本体は、該第１の容器本体の取付口部外
側近傍に、前記ドアシェルの内面を該第１の容器本体側
に向けて保持する保持機構と、前記ドアシェルに備えら
れているパッキンを挟んで、前記取付口部外側に前記ド
アシェルの内面を密着固定させる固定機構と、該第１の
容器本体内部に気体の吹き付け機構及び液体の吹き付け
機構とを備え、 前記第２の容器本体は、該第２の容器本体の取付口部外
側近傍に、前記ドアシェルの内面を該第２の容器本体側
に向けて保持する保持機構と、前記ドアシェルに備えら
れているパッキンを挟んで、前記取付口部外側に前記ド
アシェルの内面を密着固定させる固定機構と、該第２の
容器本体の内部に気体の吹き付け機構とを備え、 たことを特徴とするＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥装
置。8. A pod shell having an opening at a front surface for housing a substrate such as a semiconductor wafer or the like in a horizontal state therein, and a door shell closing the opening in a sealable manner.
An OUP cleaning / drying apparatus for a door shell, comprising: a first container body having an open attachment port; and a second container body having an open attachment port. A holding mechanism for holding the inner surface of the door shell toward the first container body near an outer side of the mounting opening of the first container main body; A fixing mechanism for tightly fixing the inner surface of the door shell to the outside, a gas blowing mechanism and a liquid blowing mechanism inside the first container main body, wherein the second container main body is the second container main body. And a holding mechanism for holding the inner surface of the door shell toward the second container body, and a packing provided on the door shell. Inside A fixing mechanism for closely fixed, and a gas blowing system inside of the second container body, cleaning and drying apparatus of the FOUP for door shell, characterized in that was.
ェルの内面の上部側から下部側へ向かってのみ繰り返し
気体を吹き付ける構成であることを特徴とする請求項６
から請求項８のいずれか１項に記載のＦＯＵＰ用ドアシ
ェルの洗浄乾燥装置。9. The gas blowing mechanism according to claim 6, wherein the gas is repeatedly blown only from the upper side to the lower side of the inner surface of the door shell.
The FOUP door shell cleaning / drying apparatus according to any one of claims 1 to 8.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001140196A JP2002334863A (en) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | Method and apparatus for cleaning and drying door shell for foup |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001140196A JP2002334863A (en) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | Method and apparatus for cleaning and drying door shell for foup |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002334863A true JP2002334863A (en) | 2002-11-22 |
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ID=18986841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001140196A Pending JP2002334863A (en) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | Method and apparatus for cleaning and drying door shell for foup |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002334863A (en) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104823271A (en) * | 2012-11-30 | 2015-08-05 | 阿迪克森真空产品公司 | Station and method for measuring the particulate contamination of a transport chamber for conveying and atmospherically storing semiconductor substrates |
| JP2017104826A (en) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | 株式会社デンソー | Washing nozzle |
| KR101790512B1 (en) * | 2015-04-10 | 2017-10-27 | 한국항공우주산업 주식회사 | Apparatus for cleaning automatic |
| WO2018037834A1 (en) * | 2016-08-23 | 2018-03-01 | 株式会社滋賀山下 | Cleaning device |
| CN110115911A (en) * | 2019-06-25 | 2019-08-13 | 重庆永信科技有限公司 | A kind of exhaust gas tower packing cleaning device and exhaust gas tower packing cleaning method |
| CN110125087A (en) * | 2019-05-24 | 2019-08-16 | 浙江明度智控科技有限公司 | A kind of volute places pedestal and volute cleaning device |
| JP2020072215A (en) * | 2018-11-01 | 2020-05-07 | 信越半導体株式会社 | Cleaning method of wafer container and cleaning apparatus therefor |
| CN111940375A (en) * | 2020-07-17 | 2020-11-17 | 路智中 | High-efficient hydraulic system shell belt cleaning device |
| TWI769557B (en) * | 2019-10-17 | 2022-07-01 | 南韓商系統科技公司 | Foup cleaning device |
| WO2023284018A1 (en) * | 2021-07-16 | 2023-01-19 | 长鑫存储技术有限公司 | Gate valve device, cleaning method, and mechanical equipment |
| US11933416B2 (en) | 2021-07-16 | 2024-03-19 | Changxin Memory Technologies, Inc. | Gate valve device, cleaning method and mechanical apparatus |
-
2001
- 2001-05-10 JP JP2001140196A patent/JP2002334863A/en active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104823271A (en) * | 2012-11-30 | 2015-08-05 | 阿迪克森真空产品公司 | Station and method for measuring the particulate contamination of a transport chamber for conveying and atmospherically storing semiconductor substrates |
| KR101790512B1 (en) * | 2015-04-10 | 2017-10-27 | 한국항공우주산업 주식회사 | Apparatus for cleaning automatic |
| JP2017104826A (en) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | 株式会社デンソー | Washing nozzle |
| WO2018037834A1 (en) * | 2016-08-23 | 2018-03-01 | 株式会社滋賀山下 | Cleaning device |
| JPWO2018037834A1 (en) * | 2016-08-23 | 2018-08-30 | 株式会社滋賀山下 | Cleaning device |
| WO2020090308A1 (en) * | 2018-11-01 | 2020-05-07 | 信越半導体株式会社 | Method for cleansing wafer-accommodating container, and cleansing device for same |
| JP6996475B2 (en) | 2018-11-01 | 2022-01-17 | 信越半導体株式会社 | Wafer storage container cleaning method and its cleaning equipment |
| JP2020072215A (en) * | 2018-11-01 | 2020-05-07 | 信越半導体株式会社 | Cleaning method of wafer container and cleaning apparatus therefor |
| CN110125087A (en) * | 2019-05-24 | 2019-08-16 | 浙江明度智控科技有限公司 | A kind of volute places pedestal and volute cleaning device |
| CN110125087B (en) * | 2019-05-24 | 2024-01-30 | 明度智云(浙江)科技有限公司 | Base and volute belt cleaning device are placed to volute |
| CN110115911A (en) * | 2019-06-25 | 2019-08-13 | 重庆永信科技有限公司 | A kind of exhaust gas tower packing cleaning device and exhaust gas tower packing cleaning method |
| TWI769557B (en) * | 2019-10-17 | 2022-07-01 | 南韓商系統科技公司 | Foup cleaning device |
| CN111940375A (en) * | 2020-07-17 | 2020-11-17 | 路智中 | High-efficient hydraulic system shell belt cleaning device |
| WO2023284018A1 (en) * | 2021-07-16 | 2023-01-19 | 长鑫存储技术有限公司 | Gate valve device, cleaning method, and mechanical equipment |
| US11933416B2 (en) | 2021-07-16 | 2024-03-19 | Changxin Memory Technologies, Inc. | Gate valve device, cleaning method and mechanical apparatus |
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