JP2002323662A - 光フィルタの角度調整装置、角度調整方法及び光モジュール - Google Patents

光フィルタの角度調整装置、角度調整方法及び光モジュール

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JP2002323662A JP2001126750A JP2001126750A JP2002323662A JP 2002323662 A JP2002323662 A JP 2002323662A JP 2001126750 A JP2001126750 A JP 2001126750A JP 2001126750 A JP2001126750 A JP 2001126750A JP 2002323662 A JP2002323662 A JP 2002323662A
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optical
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Hideyuki Nasu
秀行 那須
Takehiko Nomura
剛彦 野村
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Furukawa Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】光フィルタへの光入射角度を変えるために、光
フィルタを安定した状態で回転させることができる光フ
ィルタの角度調整装置を提供する。 【解決手段】本発明の光フィルタの角度調整装置は、光
フィルタ7の一方の端部に固定される嵌合部材26と、
光フィルタ7の他方の端部に固定され、基台上に回転可
能に支持される支持部材27と、嵌合部材26及び/又
は支持部材27に嵌合され、光フィルタ7を基台上で回
転させる角度調整部材28と、光フィルタ7への光入射
角度を所望の角度になるように、角度調整部材28の回
転角度を制御する角度制御部29とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光フィルタを回転
させて光フィルタへの光入射角度を調整するための角度
調整装置、角度調整方法及び光モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、高密度WDM(Wavelength Div
ision multiplexing)の分野では、光信号の波長が長期
に渡って安定していることが要求される。そのため波長
モニタの機能を光モジュールのパッケージ内に設けた波
長モニタ内蔵型光モジュールが開発されており、例えば
特開平2000−56185号公報に開示されている。
【0003】図7(A)は波長モニタ内蔵型光モジュー
ルの構成を示す説明図である。図7(A)に示すよう
に、波長モニタ内蔵型光モジュールは、所定の発振波長
のレーザ光を出力するレーザダイオード50と、レーザ
ダイオード50に光結合され、レーザダイオード50の
前側(図7(A)では右側)端面から出力されたレーザ
光を外部に送出する光ファイバ51と、レーザダイオー
ド50の発振波長とほぼ同じカットオフ波長を持つ光フ
ィルタ52と、レーザダイオード50の後側(図7
(A)では左側)端面から出力されたレーザ光を2つに
分光するハーフミラーからなるビームスプリッタ53
と、ビームスプリッタ53によって分光された一方のレ
ーザ光を光フィルタ52に透過させた後に受光する第1
のフォトダイオード54と、ビームスプリッタ53によ
って分光された他方のレーザ光を受光する第2のフォト
ダイオード55と、レーザダイオード50の温度を調整
するペルチェモジュール56と、第1のフォトダイオー
ド54及び第2のフォトダイオード55から出力される
PD電流に基づいて、レーザダイオード50の波長を制
御するように、ペルチェモジュール50を制御する制御
部57とを有する。
【0004】レーザダイオード50と光ファイバ51と
の間には、レーザダイオード50の前側端面から出力さ
れたレーザ光を光ファイバ51に結合する集光レンズ5
8が配置されている。また、レーザダイオード50とビ
ームスプリッタ53との間には、レーザダイオード50
の後側端面から出力されたレーザ光を平行にする平行レ
ンズ59が配置されている。
【0005】レーザダイオード50、集光レンズ58及
び平行レンズ59は、LDキャリア60上に固定されて
いる。第1のフォトダイオード54及び第2のフォトダ
イオード55は、それぞれ第1のPDキャリア61及び
第2のPDキャリア62に固定されている。
【0006】ビームスプリッタ53、光フィルタ52、
第1のPDキャリア61及び第2のPDキャリア62
は、金属基板63上に固定されている。金属基板63
は、LDキャリア60の表面に固定され、LDキャリア
60は、ペルチェモジュール56上に固定されている。
【0007】レーザダイオード50、ビームスプリッタ
53、光フィルタ52、集光レンズ58、平行レンズ5
9、LDキャリア60、第1のPDキャリア61、第2
のPDキャリア62、金属基板63及びペルチェモジュ
ール56は、パッケージ64内に設けられている。ま
た、光ファイバ51の先端部を保持するフェルール65
は、パッケージ64の側部にスリーブ66を介して固定
されている。
【0008】レーザダイオード50の前側端面から出力
されたレーザ光は、集光レンズ58によって集光され、
フェルール65によって保持された光ファイバ51に入
射され外部に送出される。
【0009】一方、レーザダイオード50の後側端面か
ら出力されたレーザ光は、平行レンズ59によって平行
になり、ビームスプリッタ53によってZ軸方向(透過
方向)と、Z軸方向に垂直なX軸方向(反射方向)との
2つの方向に分岐される。Z軸方向に分岐されたレーザ
光は、第1のフォトダイオード54によって受光され、
X軸方向に分岐されたレーザ光は、第2のフォトダイオ
ード55によって受光される。第1のフォトダイオード
54及び第2のフォトダイオード55から出力されるP
D電流は制御部57に入力され、制御部57は、入力さ
れたPD電流の値に基づいて、レーザダイオード50の
波長を制御するように、ペルチェモジュール56の調整
温度を制御する。
【0010】従来の光フィルタ52は、図7(B)及び
(C)に示すように、その下端部が円板状のステージ6
7上に固定されており、ステージ67を回転させること
により、光フィルタ52への光入射角度を変えて、広帯
域の波長モニタを可能にしている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】従来のステージ67で
は、光フィルタ52の下端部だけを支持し、上端部をフ
リーの状態で回転させていたので、光フィルタ52の回
転動作が不安定になりやすく、角度調整の自動化が困難
であるという課題があった。
【0012】本発明は、光フィルタへの光入射角度を変
えるために、光フィルタを安定した状態で回転させるこ
とができる光フィルタの角度調整装置、角度調整方法及
び光モジュールを提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の光フィルタの角
度調整装置は、光フィルタの一方の端部に固定される嵌
合部材と、前記光フィルタの他方の端部に固定され、基
台上に回転可能に支持される支持部材と、前記嵌合部材
及び/又は支持部材に嵌合され、光フィルタを基台上で
回転させる角度調整部材と、前記光フィルタへの光入射
角度を所望の角度になるように、前記角度調整部材の回
転角度を制御する角度制御手段とを有することを特徴と
するものである。
【0014】前記光フィルタは、前記基台と天板により
挟着保持されてもよい。
【0015】前記光フィルタを通過した光を受光する受
光素子が配置され、前記角度制御手段は、前記受光素子
から出力される電流に基づいて波長特性を測定し、所望
の波長特性が得られる位置まで前記光フィルタを回転さ
せるように前記角度調整部材を制御してもよい。
【0016】光フィルタの角度調整方法は、一方の端部
に支持部材が、他方の端部に嵌合部材が固定された光フ
ィルタを前記支持部材を介して基台上に支持し、前記嵌
合部材に角度調整部材を嵌合し、その角度調整部材を回
転させることによって前記光フィルタを基台上で回転さ
せることを特徴とするものである。
【0017】前記光フィルタは、前記基台と天板により
挟着保持された状態で回転されてもよい。
【0018】前記光フィルタを透過した光の波長特性が
所定状態となるように光フィルタを回転させてもよい。
【0019】前記光フィルタを回転させた後、その角度
を保ったまま光フィルタを前記基台に固定してもよい。
【0020】本発明の光モジュールは、光を透過する光
フィルタと、その光フィルタを搭載する基台とを有する
光モジュールであって、前記光フィルタの一方の端部に
は支持部材が固定され、前記光フィルタの他方の端部に
は嵌合部材が固定され、前記光フィルタは前記支持部材
を介して基台上に固定され、前記嵌合部材には光フィル
タ角度調整部材を嵌合可能な嵌合機構が設けられてい
る、ことを特徴とするものである。
【0021】本発明の光モジュールは又、前記光を出射
する半導体レーザ素子と、前記光フィルタを透過した光
を受光する受光素子とを有してもよい。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。図1(A)は本発明の実施形
態例に係る光フィルタの角度調整装置を示す側面断面
図、(B)はホルダ部材を示す平面図、図2はホルダ部
材の内部を示す平面断面図、図3(A)〜(C)は角度
調整部材と嵌合部材との結合形態の例を示す説明図であ
る。
【0023】図1(A)及び(B)に示すように、本発
明の実施形態例に係る光フィルタの角度調整装置は、中
空の筐体からなるホルダ部材20の内部に配置される光
フィルタ7の上端部に固定され、ホルダ部材20の天板
20aの支持孔に回転可能に支持される円板状の嵌合部
材26と、ホルダ部材20の内部に配置される光フィル
タ7の下端部に固定され、ホルダ部材20の底板20b
(基台の一例)の凹部20dに回転可能に支持される円
板状の支持部材27と、嵌合部材26を回転させる角度
調整部材28と、光フィルタ7への光入射角度を所望の
角度になるように、角度調整部材28の回転角度を制御
する角度制御部29とを有する。
【0024】角度調整部材28は、長手方向中心軸を中
心に回転可能な棒状部材であり、その先端部28aは凸
状に形成されている。
【0025】ホルダ部材20は、図2に示すように、天
板20a、底板20b及び側板20cとを有し、内部に
は、半導体レーザ素子等の発光素子の後側端面から出力
されたモニタ用のレーザ光を光軸方向に対して90度未
満の所定角度θ1,θ2に傾斜した2つの方向に分岐す
るプリズム4と、プリズム4によって分岐された一方の
レーザ光を受光する第1のフォトダイオード5と、プリ
ズム4によって分岐された他方のレーザ光を受光する第
2のフォトダイオード6と、第1のフォトダイオード5
及び第2のフォトダイオード6を同一平面(ここでは同
一の取付面8a)上に取り付けるPDキャリア8とが位
置決め固定されている。
【0026】光フィルタ7は、例えばエタロン等で作ら
れ、第1のフォトダイオード5とプリズム4との間に配
置され、所定の波長帯のレーザ光だけを透過させる。
【0027】光フィルタ7と、嵌合部材26、支持部材
27とは、例えば低融点ガラスにより固定されている。
光フィルタ7はこの状態で、支持部材27側が底板20
bと側板20cだけが固定された状態のホルダ部材20
の底板20bの凹部20d上に固定される。その後、ホ
ルダ部材20の天板20aが側板20c上に固定される
ことで、光フィルタ11が天板20aと底板20bの間
に回転可能に挟着固定される。
【0028】プリズム4の全面には、レーザ光の反射を
抑制するためにAR膜がコーティングされている。プリ
ズム4によって分岐されるレーザ光の傾斜角度θ1,θ
2は、略同一の角度(例えば15〜45度)であるのが
好ましい。これは、第1のフォトダイオード5及び第2
のフォトダイオード6の受光位置を決めるのが容易にな
るからである。
【0029】PDキャリア8における第1のフォトダイ
オード5及び第2のフォトダイオード6の取付面8a
は、レーザ光の入射方向に対して90度を超える角度θ
3(図1参照)で傾斜している。取付面8aの傾斜角度
θ3については、反射戻り光を低減し良好な特性を得る
ために傾斜角度θ3を95度以上とすることが好まし
い。また、レーザ光の入射方向に対して取付面8aが大
きく傾いているとフォトダイオードに結合可能なPD電
流が十分得られなくなるので、傾斜角度θ3を少なくと
も135度以下にして結合効率劣化を3dB以内に抑え
ることが好ましい。従って、取付面8aの傾斜角度θ3
は、95度以上135度以下とするのが好ましい。
【0030】ホルダ部材20の上面には、図1(B)に
示すように、嵌合部材26の上面が外側に露出してい
る。嵌合部材26の露出した上面には凹状の嵌合溝26
aが形成され、図3(A)に示すように、嵌合溝26a
に角度調整部材28の先端部28aを嵌合することによ
り、角度調整部材28と嵌合部材26とを着脱可能に結
合している。
【0031】なお、符号31は、光フィルタ11をホル
ダ部材20に固定するためのYAGレーザ照射器、符号
32はYAGレーザ照射器31の先端に設けられたYA
Gレーザヘッドである。
【0032】本発明の実施形態例に係る光フィルタ7の
角度調整装置によれば、角度制御部29は角度調整部材
28を回転させて光フィルタ7への光入射角度を変えな
がら、光フィルタ7を透過した光を第1のフォトダイオ
ード5に入射させ、第1のフォトダイオード5から出力
されるPD電流値に基づいて波長特性を測定し、所望の
波長特性が得られる位置まで光フィルタ7を回転させる
ように角度調整部材28を制御する。
【0033】光フィルタ7は、角度調整部材28と底板
20bとの間に光フィルタ7を挟み込み、角度調整部材
28を用いて一定の中心軸で光フィルタ7を回転させる
ことにより、光フィルタ7の回転動作が安定し、光フィ
ルタ7を所望の角度で位置決めできる。その結果、光フ
ィルタの角度調整の作業性と信頼性を向上させることが
できる。
【0034】なお、ここでは光フィルタ7は、ホルダ部
材20の底板20bと天板20aの間に回転可能に挟み
込まれているので、光フィルタ7の回転動作はさらに安
定する。
【0035】また、ホルダ部材20の外部から光フィル
タ7の角度調整を行うことができるので、狭い設置容積
内での光フィルタ7の角度調整が容易となる。
【0036】角度調整部材28と嵌合部材26との結合
形態の他の例としては、図3(B)に示すように、嵌合
部材26の露出した上面に突出部26bを設け、その突
出部26bに嵌合する嵌合溝を角度調整部材28の先端
部28aに形成してもよい。また、図3(C)に示すよ
うに、角度調整部材28の先端面とフィルタホルダ30
の上面とが面接触して、角度調整部材28の先端部28
aに電流を流して磁気化させ、磁力で嵌合部材26を回
動させて、光フィルタ7の角度調整を行ってもよい。嵌
合部材26を六角ナット状に形成し、角度調整部材28
に、これに合う凹部を形成してもよい。
【0037】なお、角度調整部材28は、支持部材27
を回転させてもよく、また、角度調整部材28を2つ設
けて、嵌合部材26及び支持部材27の両方をそれぞれ
同時に回転させてもよい。
【0038】図4は本発明の実施形態例に係る光フィル
タの角度調整装置を用いて製造される光モジュールの例
を示す平面断面図、図5は図4に示す光モジュールを示
す側面断面図、図6(A)はホルダ部材20をベース上
に固定する前の状態を示す平面図、(B)はホルダ部材
20をベース上に固定した後の状態を示す平面図であ
る。
【0039】図4及び図5に示すように、この光モジュ
ールは、内部を気密封止したパッケージ1と、そのパッ
ケージ1内に設けられ、レーザ光を出力する半導体レー
ザ素子(発光素子)2と、半導体レーザ素子2の前側
(図4では右側)端面から出力されたレーザ光を入射し
て外部に送出する光ファイバ3と、前述したプリズム
4、光フィルタ7及びPDキャリア8を収納したホルダ
部材20とを有する。
【0040】半導体レーザ素子2は、LDキャリア9上
に固定されている。半導体レーザ素子2と光ファイバ3
との間には、半導体レーザ素子2の前側端面から出力さ
れたレーザ光を光ファイバ3に結合する集光レンズ10
と、光ファイバ3側からの反射戻り光を阻止するための
光アイソレータ11が設けられている。集光レンズ10
は、第1のレンズホルダ12によって保持されている。
【0041】半導体レーザ素子2とホルダ部材20内の
プリズム4との間には、半導体レーザ素子2の後側端面
から出力されたモニタ用のレーザ光を平行にする平行レ
ンズ13が配置されている。平行レンズ13は、第2の
レンズホルダ14によって保持されている。
【0042】LDキャリア9、光アイソレータ11、第
1のレンズホルダ12及び第2のレンズホルダ14は、
第1のベース15上に固定されている。第1のベース1
5は、半導体レーザ素子2によって発生した熱を冷却す
るためにペルチェモジュールからなる第1の冷却装置1
6上に固定されている(図2参照)。
【0043】第1のフォトダイオード5及び第2のフォ
トダイオード6から出力されるPD電流は、制御部17
に入力され、その制御部17は、入力されたPD電流の
値に基づいて、半導体レーザ素子2から出力されるレー
ザ光の波長を制御するように、第1の冷却装置16の調
整温度を制御する。
【0044】ホルダ部材20は、第2のベース19上に
固定されている。第2のベース19は、ペルチェモジュ
ールからなる第2の冷却装置21上に固定されている。
第2の冷却装置21は、ホルダ部材20内に設けられた
サーミスタ(図示せず)により検出された温度が一定温
度になるように制御される。
【0045】パッケージ1の側部には、光アイソレータ
11を通過した光が入射する窓部22が設けられてい
る。また、パッケージ1の側部に形成されたフランジ部
1aの端面には、金属製のスリーブ23がYAGレーザ
溶接により固定されている。
【0046】光ファイバ3の先端部はフェルール24に
よって保持され、そのフェルール24は、スリーブ23
の内部にYAGレーザ溶接により固定されている。
【0047】パッケージ1の上部には蓋部25(図5参
照)が被せられ、その周縁部をレーザ溶接することによ
り、パッケージ1の内部が気密封止される。
【0048】半導体レーザ素子2の前側端面から出力さ
れたレーザ光は、集光レンズ10によって集光され、光
アイソレータ11、窓部22を介して、フェルール24
によって保持された光ファイバ3に入射され外部に送出
される。
【0049】一方、半導体レーザ素子2の後側端面から
出力されたモニタ用のレーザ光は、平行レンズ13によ
って平行になり、ホルダ部材20内のプリズム4によっ
て光軸方向に対して所定角度θ1、θ2に傾斜し、かつ
該光軸方向を挟む2つの方向に分岐される。
【0050】プリズム4によって分岐された一方のレー
ザ光は、光フィルタ7に入射され、所定の波長帯のレー
ザ光だけ透過されて、第1のフォトダイオード5によっ
て受光される。また、他方のレーザ光は、第2のフォト
ダイオード6によって受光される。第1のフォトダイオ
ード5及び第2のフォトダイオード6から出力されるP
D電流は制御部17に入力され、制御部17は、入力さ
れた2つのPD電流の差電圧に基づいて、半導体レーザ
素子2の波長を制御するように、第1の冷却装置16の
調整温度を制御する。
【0051】次に、この光モジュールの製造方法を説明
する。まず、半導体レーザ素子2を取り付けたLDキャ
リア9、光アイソレータ11、第1のレンズホルダ12
及び第2のレンズホルダ14を第1のベース15上に半
田付けして固定する。
【0052】次いで、半導体レーザ素子2の後側端面か
ら出力されたモニタ用のレーザ光がホルダ部材20内の
プリズム4に所望の角度で入射するように、ホルダ部材
20を第2のベース19上に半田付けして固定する。
【0053】次いで、図1に示すように、角度制御部2
9は、角度調整部材28を回転させて、光フィルタ7を
レーザ光の光入射角度が変わるように移動させながら、
半導体レーザ素子2の後側端面から出力されたモニタ用
のレーザ光を受光した第1のフォトダイオード5から出
力されるPD電流値に基づいて波長特性を測定する。
【0054】次いで、角度制御部29による測定の結
果、所望の波長特性が得られる位置(波長のロックポイ
ント)で光フィルタ7をホルダ部材20にYAGレーザ
溶接で固定する。このときの溶接点は、支持部材27及
び/又は嵌合部材26とホルダ部材20との境界部分で
ある。YAGレーザ溶接性の観点から嵌合部材26、支
持部材27は熱伝導率の良好なコバール(商標)等の材
質で作られるのが好ましい。
【0055】次いで、図4に示すように、半導体レーザ
素子2の前側端面から出力されたレーザ光の出力が最大
になるように、光ファイバ3のXYZ軸の調整を行い、
光ファイバ3の先端部を保持するフェルール24をスリ
ーブ23の内部にYAGレーザ溶接により固定した後、
パッケージ1の側部に形成されたフランジ部1aの端面
に金属製のスリーブ23をYAGレーザ溶接により固定
する。
【0056】最後に、パッケージ1の上部に蓋部25を
被せて、その周縁部をYAGレーザ溶接してパッケージ
1内部を気密封止する。
【0057】なお、図6(A)に示すように、ベース1
9には、ホルダ部材20をパッシプアライメントで調芯
できるように溝部30が形成され、ホルダ部材20は、
溝部30に側面を合わせながら挿入するようにしてもよ
い。これによって調芯工程を簡便にすることができる。
ホルダ部材20をベース19の溝部30に挿入した後
は、図6(B)に示すように、接触部分にYAGレーザ
光を照射しレーザ溶接を行って固定する。なお、レーザ
による溶接以外にもハンダによる固定や接着剤による固
定も可能である。
【0058】本発明は、上記実施の形態に限定されるこ
とはなく、特許請求の範囲に記載された技術的事項の範
囲内において、種々の変更が可能である。例えば、プリ
ズム4と第2のフォトダイオード6との間にも光フィル
タ7を配置して、角度調整装置を2つ設けてもよい。ま
た、本発明の実施形態例に係る光フィルタの角度調整装
置は、光信号の波長モニタの用途以外でも使用すること
ができ、また、図4及び図5に示す光モジュール以外の
光モジュールの製造工程にも使用することができる。
【0059】また、基台は第2のベース19であっても
よい。基台には、必ずしも支持部材27を嵌合する凹部
20dは必要ではなく、例えば単なる平坦面上に支持部
材27を載置する構造であってもよい。また、天板20
aは必ずしも必要ではない。嵌合部材26と支持部材2
7は一体化されていてもよい。
【0060】
【発明の効果】本発明によれば、角度調整部材と基台と
の間に光フィルタを挟み込み、角度調整部材を用いて一
定の中心軸で光フィルタを回転させることにより、光フ
ィルタの回転動作が安定し、光フィルタを所望の角度で
位置決めできる。その結果、光フィルタの角度調整の作
業性と信頼性を向上させることができる。
【0061】また、ホルダ部材の外部から光フィルタの
角度調整を行うことができるので、狭い設置容積内での
光フィルタの角度調整が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は本発明の実施形態例に係る光フィルタ
の角度調整装置を示す側面断面図、(B)はホルダ部材
を示す平面図である。
【図2】ホルダ部材の内部を示す平面断面図である。
【図3】(A)〜(C)は角度調整部材と嵌合部材との
結合形態の例を示す説明図である。
【図4】本発明の実施形態例に係る光フィルタの角度調
整装置を用いて製造される光モジュールの例を示す平面
断面図である。
【図5】図4に示す光モジュールを示す側面断面図であ
る。
【図6】(A)はホルダ部材をベース上に固定する前の
状態を示す平面図、(B)はホルダ部材をベース上に固
定した後の状態を示す平面図である。
【図7】(A)は波長モニタ内蔵型光モジュールの構成
を示す説明図、(B)は従来の角度調整装置を示す平面
図、(C)は(B)の側面図である。
【符号の説明】
1:パッケージ 2:半導体レーザ素子 3:光ファイバ 4:プリズム 5:第1のフォトダイオード 6:第2のフォトダイオード 7:光フィルタ 8:PDキャリア 9:LDキャリア 10:集光レンズ 11:光アイソレータ 12:第1のレンズホルダ 13:平行レンズ 14:第2のレンズホルダ 15:第1のベース 16:第1の冷却装置 17:制御部 18:フィルタホルダ 19:第2のベース 20:ホルダ部材 20a:天板 20b:底板(基台) 21:第2の冷却装置 22:窓部 23:スリーブ 24:フェルール 25:蓋部 26:嵌合部材 27:支持部材 28:角度調整部材 29:角度制御部 30:溝部 31:YAGレーザ照射器 32:YAGレーザヘッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H037 BA03 CA00 CA10 DA03 DA06 DA15 DA17 DA36 DA38 2H041 AA21 AB10 AC01 AZ02 AZ03 AZ06 2H048 GA01 GA13 GA25 GA26 GA48 GA51 GA62 GA66 5F073 AB27 AB28 BA02 EA03 FA05 FA06 FA25 GA13 HA08

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光フィルタの一方の端部に固定される嵌合
    部材と、 前記光フィルタの他方の端部に固定され、基台上に回転
    可能に支持される支持部材と、 前記嵌合部材及び/又は支持部材に嵌合され、光フィル
    タを基台上で回転させる角度調整部材と、 前記光フィルタへの光入射角度を所望の角度になるよう
    に、前記角度調整部材の回転角度を制御する角度制御手
    段と、 を有することを特徴とする光フィルタの角度調整装置。
  2. 【請求項2】前記光フィルタは、前記基台と天板により
    挟着保持されることを特徴とする請求項1に記載の光フ
    ィルタの角度調整装置。
  3. 【請求項3】前記光フィルタを通過した光を受光する受
    光素子が配置され、 前記角度制御手段は、前記受光素子から出力される電流
    に基づいて波長特性を測定し、所望の波長特性が得られ
    る位置まで前記光フィルタを回転させるように前記角度
    調整部材を制御する、 ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光フィルタの
    角度調整装置。
  4. 【請求項4】一方の端部に支持部材が、他方の端部に嵌
    合部材が固定された光フィルタを前記支持部材を介して
    基台上に支持し、 前記嵌合部材に角度調整部材を嵌合し、その角度調整部
    材を回転させることによって前記光フィルタを基台上で
    回転させることを特徴とする光フィルタの角度調整方
    法。
  5. 【請求項5】前記光フィルタは、前記基台と天板により
    挟着保持された状態で回転されることを特徴とする請求
    項4に記載の光フィルタの角度調整方法。
  6. 【請求項6】前記光フィルタを透過した光の波長特性が
    所定状態となるように光フィルタを回転させることを特
    徴とする請求項4又は5に記載の光フィルタの角度調整
    方法。
  7. 【請求項7】前記光フィルタを回転させた後、その角度
    を保ったまま光フィルタを前記基台に固定することを特
    徴とする請求項4乃至6のいずれか1つの項に記載の光
    フィルタの角度調整方法。
  8. 【請求項8】光を透過する光フィルタと、その光フィル
    タを搭載する基台とを有する光モジュールであって、 前記光フィルタの一方の端部には支持部材が固定され、 前記光フィルタの他方の端部には嵌合部材が固定され、 前記光フィルタは前記支持部材を介して基台上に固定さ
    れ、 前記嵌合部材には光フィルタ角度調整部材を嵌合可能な
    嵌合機構が設けられている、 ことを特徴とする光モジュール。
  9. 【請求項9】前記光を出射する半導体レーザ素子と、前
    記光フィルタを透過した光を受光する受光素子とを有す
    ることを特徴とする請求項8に記載の光モジュール。
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