JP2002323612A - コーナーキューブアレイなどの光学素子及びそれを備える反射型表示装置 - Google Patents

コーナーキューブアレイなどの光学素子及びそれを備える反射型表示装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 比較的容易な方法で作製することができる微
細な光学素子を提供する。 【解決手段】 光学素子は、凹部が複数形成された第１
の基材４と、凹部が複数形成された光透過性の第２の基
材２とを備え、これらは凹部が形成された面が対向する
ように配置される。各基板２，４の凹部には反射領域３
がそれぞれ形成されており、第２の基材を透過した光の
うちの少なくとも一部は、少なくとも一方の基板におけ
る反射領域３において反射される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、反射機能を備える
光学部材及びこれを用いた反射型表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、レンズ径が極めて小さいマイクロ
レンズやマイクロレンズアレイが開発されており、光通
信や表示装置の分野での利用が進められている。また、
このようなマイクロレンズやマイクロレンズアレイとと
もに、マイクロミラーやマイクロプリズム等のマイクロ
光学素子の開発も進められており、これらのマイクロ光
学素子の実現によって、光学技術及びディスプレイ技術
の分野が一段と発展・充実することが期待されている。
【０００３】このようなマイクロ光学素子として形成さ
れた再帰性反射板を備える反射型液晶表示装置が、例え
ば、特開平１１−７００８号公報や特開２０００−１９
４９０号公報などに記載されている。再帰性反射板を用
いれば、光の入射方向と同じ方向に光を反射（すなわち
再帰反射）させることができる。このため、上記反射型
液晶表示装置では、使用者の目には、使用者の近傍から
発せられた光の反射光が選択的に届き、外部のライトや
太陽などの光源から発せられる光の反射光が届くことは
防止される。これにより、外光の映り込みを抑えること
ができ、視認性を向上させることができる。また、この
反射型液晶表示装置ではこのような再帰性反射板を用い
て外光の映り込みを低減しているので、反射板の反射率
を敢えて低下させるなどの方法によって反射光の強度を
低下させる必要がない。これにより、明るくコントラス
トの高い表示を実現することが可能である。
【０００４】反射型液晶表示装置で用いられる再帰性反
射板は、例えば、コーナーキューブアレイなどのマイク
ロ光学素子によって形成される。コーナーキューブは立
方体の一隅を形成する形状を有し、典型的には、互いに
直交する３つの反射面を有し、入射された光を複数の反
射面で反射することによって、入射方向にかかわらず光
を元の方向に反射させることができる光学素子である。
以下、図１を参照しながら、コーナーキューブアレイを
用いて形成された再帰性反射板を備える従来の反射型液
晶表示装置８０の構成を説明する。
【０００５】反射型液晶表示装置８０は、コーナーキュ
ーブアレイ８３が設けられた基板８２と、観察者側に位
置する透明基板８１と、これらの基板８１，８２の間に
挟持された高分子散乱型液晶層８４とを備える。コーナ
ーキューブアレイ８３上には金属反射膜８５が形成され
ており、黒表示時において、透明基板８１および光透過
状態に制御された高分子散乱型液晶層８４を透過してき
た光を、その入射方向と同じ方向に反射することができ
る。コーナーキューブアレイ８３の凹部は、透明平坦化
部材８６によって埋められており、この平坦化部材８６
の上に透明電極８７が形成されている。また、透明基板
８１の液晶層側には、カラーフィルタ層８８および透明
電極８９が設けられている。反射型液晶表示装置８０で
は、透明電極８７，８９間に印加する電圧を制御するこ
とによって、高分子散乱型液晶層８４の光透過性（また
は散乱状態）を制御し、これにより、画像の表示を行な
う。
【０００６】表示装置８０において用いられるコーナー
キューブのサイズＬ１は、画素サイズＬ２以下であるこ
とが好ましい。このため、画素サイズＬ２が１００μｍ
程度の表示装置に対して用いる場合、コーナーキューブ
のサイズＬ１は数十μｍ以下であることが望ましい。例
えば、特開平１１−７００８号公報において、四角錐形
状の凹部のアレイを形成する場合において、最小サイズ
で、上縁部の一辺が５μｍ程度の四角錐状凹部を形成す
ることが記載されている。
【０００７】従来の反射型液晶表示装置において採用さ
れる再帰性反射板の形状は、三角錐状凹部、四角錐状凹
部、または球状凹部などであることが多い。上述のよう
な数十μｍ以下というようなサイズで且つ形状精度高く
作製することができる光学素子の形状には限りがあっ
た。凹部のみまたは凸部のみからなる形状の光学素子で
あれば、形成することは比較的容易である。また、高解
像度を実現するために画素サイズの微細化が進められて
いる表示装置の分野においては、サイズが非常に小さ
く、かつ、形状精度の高いマイクロコーナーキューブを
作製することが求められるが、このような微細なコーナ
ーキューブとして複雑な形状を有するものを作製するこ
とは困難であった。
【０００８】一方、道路標識などにおいて用いられる比
較的サイズの大きい再帰性反射板としては、より複雑な
形状を有するコーナーキューブを用いたものが知られて
いる。以下、図２（ａ）〜（ｃ）を参照しながら、この
ようなより複雑な形状を有するコーナーキューブの構成
を説明する。
【０００９】図に示すように、コーナーキューブ９０
は、実質的に互いに直交する３つの略正方形の反射面Ｓ
１，Ｓ２，Ｓ３を備えた構造を有する。コーナーキュー
ブ９０に入射された光は、図２（ｃ）に示すように、例
えば３面Ｓ２，Ｓ３，Ｓ１で反射され、入射方向と同一
の方向に反射される。なお、コーナーキューブ９０にお
いて、略正方形である各反射面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３は、立
方体の６面における共通する頂点を有する３面に対応し
ている。図２（ａ）に示すように、コーナーキューブ９
０は、○で示す最頂点を有する凸部９２（×で示す中位
点によって規定されるレベルよりも上側にある部分）
と、●で示す最底点を有する凹部９４（×で示す中位点
によって規定されるレベルよりも下側にある部分）とに
よって構成されている。
【００１０】このようなコーナーキューブ９０（以下、
立方体型コーナーキューブと称する）は、凸部９２と凹
部９４とを備えた形状を有しているため、特開平１１−
７００８号公報等で記載されている三角錐状などの凹部
もしくは凸部のみから形成される光学素子に比べて、作
製することがより困難である。以下、図２に示した立方
体型コーナーキューブアレイの従来の製造方法を説明す
る。
【００１１】（ピン結束法）ピン結束法では、六角柱形
状を有する金属のピンの先端に、互いに直交する正方形
の３面を有するプリズムを設け、それらを何本も束ねて
プリズム集合体を作製する。近接する３つのピンのそれ
ぞれに設けられたプリズムの各１面ずつを用いて立方体
型コーナーキューブが形成される。
【００１２】ただし、この方法では、別々のピンに形成
されたプリズムを集めてコーナーキューブアレイを形成
するため、サイズの小さいコーナーキューブを作製する
ことは実際には困難である。この方法を用いて作製でき
るコーナーキューブの寸法（図２（ｂ）に示すＬ３に相
当する寸法）は１ｍｍ程度が限界であり、数十μｍサイ
ズの立方体型コーナーキューブを形成することは困難で
ある。
【００１３】（プレート法）プレート法では、互いに平
行な二平面を持つ平板を複数枚重ねあわせ、この重ね合
わせた平板の端面において、平面に対して直角な方向に
等しいピッチでＶ溝を切削して頂角が約９０°の連続す
る屋根型の突起群を形成する。次に、各々の平板上に形
成された屋根型突起群の屋根の頂部を、隣接する平板上
に形成されたＶ溝の底部に一致させるように移動させる
ことによって立方体型コーナーキューブアレイ用の金型
を作製する。
【００１４】ただし、この方法では、屋根型の突起が形
成された平板を隣接する平板に対して適切な位置関係を
有するように精度良く並べ換えて固定する必要がある。
以上のように、１００μｍ以下のサイズを有する微細な
立方体型コーナーキューブを形成することは困難であっ
た。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、反射型
液晶表示装置の再帰性反射板において用いられるコーナ
ーキューブは、画素サイズ以下のサイズを有する必要が
あるため、比較的容易に作製できる三角錐状の凹部のみ
または凸部のみなどから形成されていた。しかしなが
ら、このような三角錐状の凹部のみあるいは凸部のみか
ら形成されるコーナーキューブ（以下、三角錐型コーナ
ーキューブと称する）を用いる場合、上述した立方体型
コーナーキューブを用いる場合に比べて、入射光を再帰
反射させる効率が低くなる。以下、図３（ａ）〜（ｄ）
を参照しながら、三角錐型コーナーキューブおよび立方
体型コーナーキューブのそれぞれを用いた場合における
光の反射について説明する。
【００１６】図３（ａ）および（ｂ）は、三角錐型コー
ナーキューブ９６を示し、図３（ｃ）および（ｄ）は、
立方体型コーナーキューブ９８を示す。図３（ｂ）に示
すように、三角錐型コーナーキューブ９６では、コーナ
ーキューブの中央部に入射した光Ａは図において点線で
示すように再帰反射されるが、開口部を規定する三角形
の頂点付近（角部）に入射した光Ｂは再帰反射されな
い。このため、三角錐型コーナーキューブ９６では、図
３（ａ）に示すように、その角部において非再帰領域９
６ａが形成される。これに対し、図３（ｄ）に示すよう
に、立方体型コーナーキューブ９８では、角部に入射し
た光であっても、再帰反射される。従って、立方体型コ
ーナーキューブ９８では、反射面における再帰反射可能
領域が広く、入射される光のより多くを適切に再帰反射
することが可能である。
【００１７】このように三角錐型コーナーキューブには
非再帰領域が存在するため、反射型表示装置において三
角錐型コーナーキューブの再帰性反射板を用いた場合、
黒表示時に液晶層を透過した光の一部は再帰反射され
ず、入射方向と異なる方向に反射されることがあった。
このことにより、使用者から離れたところから発せられ
る光の反射光の一部が使用者の目に届くことになり、こ
れによってコントラストの低下が観察されるという問題
が生じる。
【００１８】このような問題は、外光の映り込みを防止
することを目的として再帰性反射板を用いている場合、
特に大きな問題にはされていなかったことである。なぜ
なら、三角錐型コーナーキューブから形成される再帰性
反射板であっても、コーナーキューブの大部分において
入射光は再帰反射されるため、外光の正反射光が使用者
の目に届くことを防止するという効果は十分に得られた
からである。
【００１９】反射型表示装置においてコントラストの低
下を防ぐためには、立方体型コーナーキューブによって
形成された再帰性反射板を用いて、より高い効率で入射
光を再帰反射させることが望ましい。しかし、上述した
従来の立方体型コーナーキューブの製造方法では、比較
的サイズの大きい立方体型コーナーキューブを作製する
ことは可能であるが、１００μｍ以下の微細な立方体型
コーナーキューブを作製することは実際には不可能であ
る。このことから、液晶表示装置に用いる再帰性反射板
として立方体型コーナーキューブアレイを利用すること
は困難であった。
【００２０】また、立方体型コーナーキューブアレイ以
外の他のマイクロ光学素子を作製する場合においても、
複雑な形状を有する光学素子を微小なサイズで、かつ、
形状精度高く作製することは非常に困難であるという問
題があった。
【００２１】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、所望の機能を実現できるとともに微細
なサイズで作製することができる光学素子およびこれを
用いた反射型表示装置を提供することをその目的とす
る。
【００２２】
【課題を解決するための手段】本発明の光学素子は、第
１の凹部が複数形成された第１の面を有する第１の基材
と、第２の凹部が複数形成された第２の面を有する光透
過性の第２の基材とを備え、前記第１の面と前記第２の
面とが対向するように前記第１の基材と前記第２の基材
とが配置されている光学部材であって、前記第１の凹部
において第１の反射領域が形成され、且つ、前記第２の
凹部において第２の反射領域が形成されており、前記第
２の基材を透過した光のうちの少なくとも一部は、前記
第１の反射領域および前記第２の反射領域のうちの少な
くとも一方の反射領域において反射される。
【００２３】好ましい実施形態において、前記第１の面
には前記第１の凹部と平坦部とが形成されており、前記
第２の面には前記第２の凹部と平坦部とが形成されてお
り、前記第１の凹部と前記第２の凹部とは互いに対して
対向しないように配置されている。
【００２４】好ましい実施形態において、前記第１の凹
部と前記第２の凹部とは、実質的に同一形状を有してい
る。
【００２５】好ましい実施形態において、前記第１の凹
部および前記第２の凹部は三角錐形状を有し、前記第１
の凹部および前記第２の凹部によってコーナーキューブ
が形成されている。
【００２６】好ましい実施形態において、前記第２の基
材を透過した光のうちの少なくとも一部は、前記第１の
反射領域と前記第２の反射領域との両方において反射さ
れ、これにより、前記反射された光は入射方向と実質的
に同一の方向に進む。
【００２７】好ましい実施形態において、前記第１の反
射領域および第２の反射領域は、金属膜によって形成さ
れている。
【００２８】好ましい実施形態において、前記第２の反
射領域は、前記第２の基材よりも屈折率が低い材料を用
いて形成されている。
【００２９】好ましい実施形態において、前記第１の凹
部に形成された第１の反射領域上において前記第１の凹
部を埋める部材を備え、前記第１の反射領域は、前記第
１の凹部を埋める部材よりも屈折率が低い材料を用いて
形成されている。
【００３０】本発明の反射型表示装置は、上記いずれか
の光学素子を備える反射型表示装置であって、前記第１
の基材と前記第２の基材との間に挟持される光変調層を
有する。
【００３１】好ましい実施形態において、前記光変調層
は、散乱型液晶から形成される。
【００３２】好ましい実施形態において、前記第１の基
材の第１の凹部を埋める第１の平坦化部材と、前記第２
の基材の第２の凹部を埋める第２の平坦化部材とをさら
に有し、前記散乱型液晶が前記第１の平坦化部材によっ
て平坦化された面と第２の平坦化部材によって平坦化さ
れた面との間に挟持される。
【００３３】好ましい実施形態において、前記散乱型液
晶は、前記第１の基材に形成された前記第１の凹部に充
填されている。
【００３４】本発明の反射型表示装置は、上記第１の凹
部および第２の凹部によってコーナーキューブが形成さ
れている光学素子と、前記光学素子と対向するように設
けられた透明基板と、前記光学素子と前記透明基板との
間に挟持され、光散乱状態または光透過状態に制御され
る光変調層とを備える。
【００３５】本発明のコーナーキューブのアレイは、互
いに略直交する３つの表面を有し、前記コーナーキュー
ブの前記３つの表面のそれぞれは、基材に形成された凹
部が有する第１の面と、前記凹部に隣接するように前記
基材上に設けられた凸部が有する第２の面とを含む。
【００３６】好ましい実施形態において、前記基材は、
前記凹部と、前記凹部に隣接する平坦部とを有し、前記
凸部は前記平坦部上に固定されている。
【００３７】好ましい実施形態において、前記凹部が有
する前記第１の面および前記凸部が有する前記第２の面
のそれぞれは略直角二等辺三角形の平面形状を有し、前
記コーナーキューブの前記３つの表面のそれぞれは略正
方形である。
【００３８】本発明の光学素子の製造方法は、第１の基
材に所定のパターンで第１の凹部を複数形成し、かつ、
前記第１の凹部に第１の反射領域を形成する工程と、第
２の基材に、前記所定のパターンに対応するパターンで
第２の凹部を複数形成し、かつ、前記第２の凹部に第２
の反射領域を形成する工程と、前記第１の凹部が形成さ
れた面と前記第２の凹部が形成された面とが向き合うよ
うに前記第１の基材と前記第２の基材とを配置させる工
程とを包含する。
【００３９】本発明のコーナーキューブアレイの製造方
法は、実質的に互いに直交する三角形の３面から形成さ
れる三角錐形状の第１の凹部が複数形成された第１の基
材を用意する工程と、実質的に互いに直交する三角形の
３面から形成される三角錐形状の第２の凹部が複数形成
された第２の基材を用意する工程と、前記複数の第１の
凹部が形成された面と前記複数の第２の凹部が形成され
た面とが向き合うように、前記第１の基材と前記第２の
基材とを配置させる工程とを包含し、前記複数の第１の
凹部によって規定される複数の第１の三角形の面と、前
記複数の第２の凹部によって規定される複数の第２の三
角形の面とによって構成される複数の立方体型コーナー
キューブ形状に対応したコーナーキューブのアレイを作
製することを特徴とする。
【００４０】好ましい実施形態において、前記第１の凹
部の前記直交する三角形の３面のそれぞれに反射領域を
形成する工程と、前記第２の凹部の前記直交する三角形
の３面のそれぞれに反射領域を形成する工程とをさらに
包含し、前記第１の凹部に設けられた反射領域と前記第
２の凹部に設けられた反射領域とのうち、一方が凹型反
射領域として用いられ、他方が凸型反射領域として用い
られるように、前記第１の凹部に設けられた反射領域と
前記第２の凹部に設けられた反射領域とを実質的に連続
するように位置させる。
【００４１】好ましい実施形態において、前記第１の基
材と前記第２の基材とを配置させる工程の前に、前記第
１の基材の前記三角錐形状の第１の凹部を、前記第１の
凹部の形状に対応した形状を有する三角錐状の凸部で埋
める工程と、前記第１の基材と前記第２の基材とを配置
させる工程の後に、前記三角錐状の凸部を前記第１の基
材上に固定する工程とをさらに包含する。
【００４２】本発明のコーナーキューブアレイの製造方
法は、互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角
錐形状の複数の凹部を所定の面において有する基材を用
意する工程と、前記基材の所定の面上に、互いに直交す
る二等辺三角形の３面を有する三角錐形状の複数の凸部
を設ける工程とを包含し、前記三角錐状の複数の凸部を
設ける工程は、前記複数の凸部を保持する保持部材を前
記基材の所定の面上に配置させる工程と、前記保持部材
から前記基材の所定の面上に前記複数の凸部を転写する
工程とを包含する。
【００４３】本発明のコーナーキューブアレイの製造方
法は、互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角
錐形状の複数の凹部を有する基材を用意する工程と、前
記基材の所定の面上に、互いに直交する二等辺三角形の
３面を有する三角錐形状の複数の凸部を設ける工程とを
包含し、前記三角錐状の複数の凸部を設ける工程は、前
記複数の凸部を保持する保持部材を前記基材の所定の面
上に配置させる工程と、前記保持部材を溶かすことによ
って前記複数の凸部を基材の所定の面上に残す工程とを
包含する。
【００４４】好ましい実施形態において、前記基材を用
意する工程は、母材の３方向に溝を形成する工程と、前
記溝が形成された母材の凹凸形状を転写材に転写する工
程と、前記転写材に形成された凹部を１つおきに埋める
工程とを包含する。
【００４５】好ましい実施形態において、前記基材を用
意する工程は、立方晶単結晶基板の｛１１１｝面を異方
性エッチングする工程を包含する。
【００４６】好ましい実施形態において、前記基材を用
意する工程は、母材に対して、互いに直交する２等辺３
角形３面からなる３角錐状の凸部を有したピンを押し付
ける工程を包含する。
【００４７】本発明のマイクロコーナーキューブアレイ
またはマイクロコーナーキューブアレイの金型は、上記
いずれかの方法を用いて作製されている。
【００４８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施形態を説明する。なお、図面を通じて同様の機能
を有する部材には同一の参照符号を付している。
【００４９】（実施形態１）本実施形態では、微細な立
方体型コーナーキューブのアレイによって構成される再
帰性反射板について説明する。
【００５０】図４（ａ）および（ｂ）は、本実施形態の
再帰性反射板を作製するために用いられる金型４０を示
す。この金型４０は、三角錐の凸部を有する高硬度のピ
ンを切削加工によって作製し、このピンを金属板に対し
て所定のピッチで多数回型押しした後、この金属板を用
いて電鋳法によって凹部と凸部とを反転させることによ
り形成されている。図４（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、金型４０の表面には、複数の微細な三角錐状凸部４
２（三角錐の底面の一辺が例えば５０μｍ程度）が平坦
部４４と交互に配置するように形成されている。この三
角錐状凸部４２は、好ましくは、互いに直交する３面を
備える形状（三角錐型コーナーキューブ）とされる。
【００５１】図５は、図４に示した金型を用いて作製さ
れる再帰性反射板５０を示す。本実施形態の再帰性反射
板５０は、図５（ａ）および（ｂ）に示す上側部分５０
ａと、図５（ｃ）および（ｄ）に示す下側部分５０ｂと
を、図５（ｅ）および（ｆ）に示すように貼り合わせる
ことによって形成されている。以下、再帰性反射板５０
の構成を説明する。
【００５２】図５（ａ）および（ｂ）に示すように、上
側部分５０ａは、ガラスなどから形成される透明基板１
と、この透明基板１の一方の面上において設けられた透
明樹脂層２とを有している。透明樹脂層２の表面には、
微細な三角錐状凹部５２のアレイが形成されている。な
お、三角錐状凹部５２が並んだ方向において、透明樹脂
層２の表面には三角錐状凹部５２と平坦部５４とが交互
に配置されている。
【００５３】このような三角錐状凹部５２を有する透明
樹脂層２は、透明基板１上に紫外線硬化性の透明樹脂材
料を設け、この透明樹脂材料に対して図４に示した金型
を用いて型押しを行ない、その後、紫外線を照射して透
明樹脂材料を硬化させることによって形成される。透明
樹脂材料としては、例えば、株式会社アーデル製の商品
名Ｖ３００（屈折率１．５２）を使用することができ
る。硬化条件は、例えば、露光温度が５０℃で、紫外線
露光量は５０ｍＷ／ｃｍ2×６０秒である。
【００５４】次に、このようにして形成された透明樹脂
層２の平坦部分５４上をマスクで覆い、三角錐状凹部５
２のみに金属反射膜３を形成する。金属反射膜３は、例
えば、アルミニウム膜を真空蒸着装置にて１００ｎｍの
厚さで堆積させることによって形成される。金属反射膜
３は、銀等の他の金属によって形成されていてもよい。
なお、この反射膜の凹凸の程度は、光を鏡面反射させる
ことができる程度に小さいことが望ましい。
【００５５】一方、下側部分５０ｂもまた、基板５の片
面に、複数の三角錐状凹部５２が配列された樹脂層４が
設けられた構成を有しており、上側部分５０ａと同様の
方法によって作製することができる。本実施形態では、
上側部分５０ａに形成される三角錐状凹部の形状と下側
部分５０ｂに形成される三角錐状凹部の形状とは実質的
に同じである。ただし、下側部分５０ｂを構成する基板
５および樹脂層４は、上側部分５０ａを構成する基板１
および樹脂層４のように透明である必要はない。再帰性
反射板５０では、再帰反射させるべき光が入射する側の
部材（この例では上側部分５０ａ）が透明であればよ
い。
【００５６】また、下側部分５０ｂの樹脂層４の三角錐
状凹部５２にも金属反射膜３を形成するが、この金属反
射膜３も上側部分５０ａに設けた金属反射膜３と同様に
して形成することができる。ただし、下側部分５０ｂで
は、樹脂層４の三角錐状凹部５２に金属反射膜３が設け
られている限り、樹脂層４の平坦部５４には、金属反射
膜３が設けられていてもいなくても何れでもよい。
【００５７】次に、上側部分５０ａおよび下側部分５０
ｂにおける反射膜３が形成された凹部５２を透明平坦化
部材６によって埋め、樹脂が設けられた側の表面を平坦
化する。この透明平坦化部材６は、凹部５２に塗布され
た紫外線硬化樹脂を紫外線照射によって硬化させること
によって形成される。なお、この平坦化部材６は、例え
ば、上記透明樹脂層２と同じ材料から形成される。
【００５８】こうして形成した上側部分５０ａと下側部
分５０ｂとを、樹脂が設けられた側が対向するように貼
り合せる（図５（ｅ）および（ｆ）参照）。このとき、
上側部分５０ａの凹部５２（または平坦化部材６）と下
側部分５０ｂの平坦部５４とが対向し、かつ、上側部分
５０ａの平坦部５４と下側部分５０ｂの凹部５２（また
は平坦化部材６）とが対向するように両部分５０ａ，５
０ｂを位置合わせした状態で貼り合わせる。これによ
り、各部分５０ａ，５０ｂにおける凹部５２は、基板面
に垂直な方向において互いに重ならないように配置され
る。なお、貼り合せ方法としては、上側部分５０ａの表
面に紫外線硬化接着剤を塗布し、ＵＶ（紫外線）プレス
機を用いて接着剤に紫外線を照射しながら両部分５０
ａ，５０ｂを加圧することによって貼り合せる方法を採
用することができる。接着剤としては、株式会社アーデ
ル製の商品名オプトクレーブＭＯ５を使用することがで
きる。貼り合せ条件は、例えば、圧力が０．９Ｋｇ／ｃ
ｍ2で、紫外線露光量は８ｍＷ／ｃｍ2×６００秒であ
る。
【００５９】このようにして、上側部分５０ａと下側部
分５０ｂとから構成される再帰性反射板５０が形成され
る。再帰性反射板５０において、上側部分５０ａにおい
て設けられた反射領域Ｒ１（図５（ａ）および（ｂ）参
照）と、下側部分５０ｂにおいて設けられ、反射領域Ｒ
１に対向しないように配置された反射領域Ｒ２（図５
（ｃ）および（ｄ）参照）とによって、立方体型コーナ
ーキューブの一つの反射領域Ｒ３（図５（ｅ）および
（ｆ）参照）が形成されている。このように、本実施形
態では、上側部分５０ａの凹部に設けられた反射領域を
立方体型コーナーキューブの凸部における反射領域とし
て利用し、下側部分５０ｂの凹部に設けられた反射領域
を立方体型コーナーキューブの凹部における反射領域と
して利用しており、これによって、凹凸が組み合わせら
れた複雑な形状を有する立方体型コーナーキューブを実
現している。
【００６０】このようにして形成された再帰性反射板５
０では、透明基板１および透明樹脂層２を透過してきた
入射光を、その入射方向と同じ方向に反射させることが
できる。なお、入射光を金属反射膜３によって適切に再
帰反射させるためには、透明樹脂層２と透明平坦化部材
６との境界面において光がなるべく反射しないことが望
ましい。このような境界面での反射は、透明樹脂層２お
よび透明平坦化部材６の材料を適切に選択することによ
って抑制され得る。例えば、透明樹脂層２の屈折率に対
する透明平坦化部材６の屈折率の大きさを所定のレベル
以上に設定すれば、広い角度範囲で入射する光について
境界面での全反射を防止することが可能になる。また、
透明樹脂層２の屈折率と透明平坦化部材６の屈折率との
差が小さいことが望ましいため、好適には、透明樹脂層
２と透明平坦化部材６とは同じ材料から形成される。
【００６１】以上説明した本実施形態の再帰性反射板５
０を用いれば、三角錐型コーナーキューブを用いて形成
される従来の再帰性反射板を用いた場合に比べて、より
高い効率で入射光を再帰反射させることが可能である。
また、再帰性反射板５０における立方体型コーナーキュ
ーブは、三角錐型コーナーキューブを作製するのと同様
の形状精度で作製され得、また、サイズも２倍程度で作
製され得る。従って、微細で高精度な立方体型コーナー
キューブアレイを作製することが可能である。
【００６２】（実施形態２）本実施形態では、立方体型
コーナーキューブのアレイによって構成される再帰性反
射板を実施形態１と異なる方法によって作製する場合を
説明する。
【００６３】図６（ａ）および（ｂ）は、本実施形態の
再帰性反射板を作製するために用いられる金型６０を示
す。金型６０の表面には、複数の微細な三角錐状凸部６
２（三角錐の底面の一辺が例えば５０μｍ程度）が一面
に形成されている。この三角錐状凹部６２は、好ましく
は、互いに直交する３面を備える形状を有している。
【００６４】このような金型６０は、次のようにして作
製することができる。まず、図７（ａ）に示すような切
削工具を用いて、図７（ｂ）に示すように、金属板等の
平板の表面において三方向に複数のＶ溝を形成すること
によって、○で示す最頂点を有する複数の三角錐状凸部
を形成する。この方法によれば、底面の一辺が数十μｍ
程度の微細な三角錐状凸部を作製することができる。こ
れにより、図６（ａ）および（ｂ）に示すような金型６
０を作製することができる。
【００６５】以下、このような金型６０を用いて、立方
体型コーナーキューブアレイを作製する場合を説明す
る。
【００６６】まず、実施形態１と同様に、少なくとも一
方が透明の一対の基板を用意し、各基板の一方の面に紫
外線硬化性の透明樹脂を設け、凸型三角錘が複数形成さ
れた金型６０にて型押し後、紫外線を照射することによ
って樹脂を硬化させる。次に、一方の基板は、樹脂面に
形成された複数の三角錐状凹部において同じ向きの三角
形の底面を有する第１の部分（図６（ｂ）において斜線
を引いた領域に対応する部分）にマスクを設け、第１の
部分とは逆向きの三角形の底面を有する第２の部分（図
６（ｂ）において斜線を引いていない領域に対応する部
分）のみに金属反射膜を形成する。また、他方の基板
は、それとは逆に、樹脂面の第２の部分にマスクを設
け、第１の部分のみに金属反射膜を形成する。次に、実
施形態１と同様に、金属反射膜が形成された凹部を透明
樹脂材料で埋めることによって平坦化した後、一方の基
板の樹脂層における第１の部分および第２の部分が、他
方の基板の樹脂層における第１の部分および第２の部分
とそれぞれ重なるようにこれらを貼り合せる。これによ
り、実施形態１と同様の立方体型コーナーキューブアレ
イを形成することができる。
【００６７】（実施形態３）本実施形態では、実施形態
１の再帰性反射板５０のように金属反射膜３を用いて反
射領域を形成するのではなく、他の方法によって反射領
域を形成した再帰性反射板について説明する。
【００６８】図８は、本実施形態の再帰性反射板６４の
構成を示す。本実施形態では、各基板１，５上に設けら
れた樹脂層２，４のそれぞれの凹部において、反射領域
を形成するために低屈折率材料膜７が設けられている。
その他の構成は、実施形態１の反射板と同様である。
【００６９】以下、再帰性反射板６４の製造工程を説明
する。まず、実施形態１と同様に、金型４０（図４参
照）を用いて、表面に複数の三角錐状凹部が設けられた
樹脂層２，４を各基板１，５上に形成する。なお、本実
施形態では、透明樹脂層２，４を可視光硬化型の樹脂材
料（株式会社アーデル製の商品名オプトクレーブＨＶ１
６）から形成し、可視光照射にて硬化させた。この樹脂
層の屈折率ｎ1は１．６０である。
【００７０】次に、これらの樹脂層２，４上に、これよ
り屈折率の低い樹脂材料を塗布し、凸型三角錘の金型に
て型押し後、紫外線照射にて硬化させることによって低
屈折率材料膜７を形成する。低屈折率材料膜７として
は、ＪＳＲ社製の商品名オプスターＪＭ５０１０を使用
した。この低屈折率材料膜７の屈折率ｎ2は１．４１で
ある。また、硬化条件を、紫外線露光３０ｍＷ／ｃｍ2
×１０秒として硬化を行なった。
【００７１】なお、低屈折率材料膜７は、他の形態で形
成されていてもよい。例えば、空隙部分のサイズが光の
波長よりも十分に短い多孔質の物質であるエアロゲル
（例えば、シリカエアロゲル）を用いて、低屈折率材料
膜７を形成してもよい。エアロゲルは、通常、透明性が
極めて高く、かつ、屈折率が１．１程度と非常に低い個
体である。このため、本実施形態の低屈折率材料膜７と
して用いるのに適切な材料である。また、低屈折率材料
膜７の代わりに空気層を形成してもよい。この場合、例
えば、揮発性の液体などを用いて空気層を形成すべき空
隙を埋めておき、樹脂などによってこの空隙の周囲を固
めれば、液体が揮発した後において樹脂に囲まれた空気
の層を形成する。
【００７２】次に、樹脂層２，４のそれぞれにおいて、
低屈折率材料膜７が形成された凹部に、樹脂層２，４を
形成するために用いたのと同じ樹脂材料を塗布し、光照
射にて硬化させることによって透明平坦化部材６を形成
する。透明平坦化部材の屈折率は、低屈折率材料膜７の
屈折率よりも大きい。このようにして形成された上側部
分と下側部分とを実施形態１において説明したのと同様
の方法で貼り合わせることによって、立方体型コーナー
キューブアレイが形成された再帰性反射板６４を作製す
ることができる。
【００７３】このように実施形態１で示した金属反射膜
３に代えて、低屈折率材料膜７を用いることによって
も、透明基板および透明樹脂層を透過した光を反射させ
ることが可能である。低屈折率材料膜７の屈折率は、透
明樹脂層２の屈折率よりも大きく、透明平坦化部材６の
屈折率よりも大きい。このため、透明樹脂層２と低屈折
率材料膜７との境界面および透明平坦化部材６と低屈折
率材料膜７との境界面において所定の角度以上の入射角
で入射した光は全反射される。従って、入射光が反射面
において吸収されることがなく、光利用効率の高い全反
射タイプのマイクロコーナーキューブアレイを得ること
ができる。
【００７４】（実施形態４）本実施形態では、上記実施
形態１で説明した立方体型コーナーキューブアレイを有
する再帰性反射板５０を用いた液晶表示装置を説明す
る。
【００７５】図９は、本実施形態の反射型液晶表示装置
７０を示す。反射型液晶表示装置７０は、実施形態１で
示した再帰性反射板５０と、この再帰性反射板５０に対
向するように設けられた透明基板２０と、これらの間に
挟持される散乱型液晶層８とを有している。
【００７６】ガラス板などから形成される透明基板２０
の液晶層側表面上にはカラーフィルタ層９および透明電
極１０が設けられており、再帰性反射板５０の液晶層側
表面上には透明電極１０が設けられている。このように
構成された反射型液晶表示装置７０では、対向して配置
された透明電極１０を用いて散乱型液晶層８に所定の電
圧を印加することによって、散乱型液晶層８を画素領域
Ｒｐ毎に光散乱状態または光透過状態のいずれかに制御
することができる。散乱型液晶層８は、例えば、高分子
分散型液晶、ネマティック−コレステリック相転移型液
晶、液晶ゲルなどによって形成される。
【００７７】なお、本実施形態の反射型液晶表示装置７
０は、液晶層を挟持する一方の基板として再帰性反射板
５０を用いるようにすれば、従来の反射型液晶表示装置
を作製する方法と同様の方法で作製され得る。
【００７８】以下、反射型液晶表示装置７０の表示動作
について説明する。
【００７９】まず、白表示の動作について説明する。白
表示では、液晶層８が散乱状態に制御されており、透明
基板２０およびカラーフィルタ９を透過した外部からの
光は液晶層８において散乱される。このとき、液晶層８
において後方散乱された光が観察者側に戻る。また、本
実施形態の表示装置７０では、液晶層８を透過した直進
光および前方散乱された光の多くが再帰性反射板５０の
反射膜３によって反射され、再び散乱状態の液晶層８を
通って観察者側に戻る。このため、後方散乱された光の
みでなく、より多くの光が観察者側に戻る。従って、入
射光を効率良く利用し明度の高い表示を実現することが
できる。
【００８０】次に、黒表示の動作について説明する。黒
表示では、液晶層８が透過状態に制御されており、透明
基板２０およびカラーフィルタ９を透過した外部からの
光は液晶層８を透過する。液晶層８を透過した光は、再
帰性反射板５０の反射膜３で再帰反射され、元の方向に
戻る。このため、外光の正反射光が観察者の眼に届くこ
とは防止され、観察者の眼に届く光の多くは観察者の眼
の近傍から発せられた光の反射光である。また、再帰性
反射板５０におけるコーナーキューブの最小単位構造の
サイズは画素サイズ（例えば１００μｍ）以下と非常に
小さいため、観察者の眼には、観察者の黒い瞳の像が映
ることになる。このため、良好な黒表示を実現すること
ができる。
【００８１】また、本実施形態の反射型表示装置７０で
は、立方体型コーナーキューブアレイから構成した再帰
性反射板５０を用いているので、三角錐型コーナーキュ
ーブアレイから構成した反射板を用いる場合に比べて、
観察者の周囲から発せられた外光をより高い効率で元の
方向へと再帰反射させることができる。このため、黒表
示時に観察者の眼に届き得る所望でない光の量を低減す
ることができ、これによって、高いコントラスト比を得
ることができる。
【００８２】（実施形態５）実施形態５では、実施形態
４とは別の形態の液晶表示装置を説明する。
【００８３】図１０は、本実施形態の反射型液晶表示装
置７２を示す。反射型液晶表示装置７２は、図５に示し
た再帰性反射板５０の上側部分５０ａと類似した構成を
有する観察者側基板７２ａと、下側部分５０ｂと類似し
た構成を有する非観察者側基板７２ｂとの間に散乱型液
晶層８が挟持された構成を有している。観察者側基板７
２ａおよび非観察者側基板７２ｂのそれぞれの液晶層側
表面上において、散乱型液晶層８の散乱状態（または透
過状態）を制御する電圧を印加するための透明電極１０
が設けられている。また、観察者側基板７２ａには、透
明基板１と透明樹脂層２との間にカラーフィルター層９
が設けられている。
【００８４】以下、反射型液晶表示装置７２の製造方法
を説明する。まず、観察者側基板７２ａを作製するため
に、ガラスなどから形成される透明基板１の一方の面に
公知の方法を用いてカラーフィルター層９を形成し、そ
の上に設けた紫外線硬化性の透明樹脂材料に対して図４
に示した金型を用いて型押した後、紫外線を照射して透
明樹脂材料を硬化させる。これにより、複数の三角錐状
の凹部が形成された表面を有する透明樹脂層２が形成さ
れる。透明樹脂材料としては、日本科薬社製の商品名Ｓ
Ｒ３５を使用した。硬化条件は、例えば、露光温度が５
０℃で、紫外線露光量は５０ｍＷ／ｃｍ2×６０秒であ
る。
【００８５】次に、この透明樹脂層２の全面に対して真
空蒸着装置を用いてアルミニウム膜を１００ｎｍの厚さ
で形成した後、エッチングプロセス（エッチング液：硝
酸＋リン酸＋酢酸＋水の混合液）によって三角錐状凹部
以外の平坦部に設けられたアルミニウム膜を除去し、三
角錐状凹部のみに選択的に金属反射膜３を形成する。次
に、金属反射膜３が形成された三角錐状凹部において、
平坦化を目的として紫外線硬化樹脂材料を塗布し、これ
を紫外線照射にて硬化させることによって透明平坦化部
材６を形成する。このようにして平坦化された樹脂層の
表面上にＩＴＯ（インジウム錫酸化物）から形成される
導電膜をスパッタ装置にて形成し、所望の形状にパター
ニングすることによって透明電極１０を形成する。これ
により、観察者側基板７２ａが作製される。
【００８６】一方、非観察者側基板７２ｂを作製するた
めに、基板５上に樹脂材料を設け、凸型三角錘の金型に
て型押し後、これを紫外線照射にて硬化させることによ
って複数の三角錐状の凹部が形成された表面を有する樹
脂層４が形成される。これ以降は観察者側基板７２ａと
同様にして、金属反射膜３および透明電極１０を形成す
ることによって非観察者側基板７２ｂが作製される。
【００８７】次に、観察者側基板７２ａと非観察者側基
板７２ｂとを、樹脂が設けられた側を内側にして約１０
μｍのギャップを設けて貼り合せる。このとき、各基板
７２ａ，７２ｂに設けられた反射膜３によって実質的な
立方体型コーナーキューブアレイが形成されるように、
各基板７２ａ，７２ｂの凹部同士が対向しないようにこ
れらを配置させる。このようにして貼り合わせられた基
板間に設けられた間隙に散乱型液晶材料を注入すること
によって、散乱型液晶層８が形成される。なお、上記基
板の貼り合わせ工程および液晶注入工程は、従来の液晶
表示装置を作製するために用いられる方法と同様の方法
によって行なうことができる。このようにして、実質的
に立方体型コーナーキューブアレイが設けられた反射型
液晶表示装置７２を作製することができる。
【００８８】上述のように、反射型液晶表示装置７２で
は、観察者側基板７２ａに設けられた反射領域Ｒ１と非
観察者側基板７２ｂに設けられた反射領域Ｒ２との間に
は液晶層８が介在されており、これらの反射領域Ｒ１，
Ｒ２は連続していない。しかし、各反射領域Ｒ１，Ｒ２
の法線方向が同じ方向になるようにしておけば、外部か
ら入射された光を適切に再帰反射させることが可能であ
り、反射領域Ｒ１，Ｒ２は、実質的に立方体型コーナー
キューブを形成する反射面の１つとして機能し得る。
【００８９】以下、図１１および図１２を参照しなが
ら、上述のように構成された反射型表示装置における、
コーナーキューブの最小単位構造に対応するサイズＳ
１，Ｓ２と、カラーフィルタにおいてＲ（赤）、Ｇ
（緑）、Ｂ（青）の各色を示す領域（ドット）のサイズ
Ｓ０との関係を説明する。
【００９０】図１１に示す表示装置では、コーナーキュ
ーブアレイの最小単位構造のサイズＳ１は、各色を示す
ドットサイズＳ０以下（図では略同サイズ）であり、図
１２の表示装置では、コーナーキューブアレイの最小単
位構造のサイズＳ２は、各色を示すドットサイズＳ０よ
りも大きい。より具体的には、本実施形態では、各色を
示すドットが１００μｍピッチとなるように作製してお
り、前者のコーナーキューブアレイの最小単位構造は１
００μｍ、後者のコーナーキューブアレイの最小単位構
造は２００μｍとなるよう作製した。
【００９１】コーナーキューブアレイは入射光を再帰反
射し、入射光方向へと反射するという特性を有している
が、その際同時に光線を中心軸１６に対して対称位置に
並進移動させるという特性も有している。
【００９２】図１１に示す表示装置では、赤色（Ｒ）の
カラーフィルター層９を透過した入射光１４に対する反
射光１５も同様に赤色のカラーフィルター層９を透過す
るが、図１２に示す表示装置では、赤色のカラーフィル
ター層９を透過した入射光１４に対する反射光１５が緑
色のカラーフィルター層９を透過するため、異なる色の
カラーフィルター層を透過した光が出射される。
【００９３】従って、再帰性反射板を構成する光学部材
の最小単位構造が各色を示すドットサイズ以下となるよ
うにすることで、入射光と出射光とが異なる色を示すカ
ラーフィルター層を通過することを防止することができ
る。これにより、混色を防ぎ、輝度および色度の低下を
避けることができる。
【００９４】（実施形態６）実施形態６では、実施形態
４および５とは別の形態の液晶表示装置を説明する。
【００９５】図１３は、本実施形態の反射型液晶表示装
置７４を示す。図示するように、反射型液晶表示装置７
４は、観察者基板７４ａと非観察者側基板７４ｂとが貼
り合わせられた構成を有している。観察者基板７４ａ
は、実施形態５において説明した観察者側基板７２ａと
同様の構成を有しており、観察者側基板７２ａと同様の
方法で作製することができる。
【００９６】一方、非観察者側基板７４ｂの樹脂層４に
形成された三角錐状凹部には、散乱型液晶８が充填され
ている。また、この三角錐状凹部において金属反射電極
膜１１が形成されている。本実施形態の反射型液晶表示
装置７４では、金属反射電極膜１１は、入射光を反射す
る機能を有するとともに、散乱型液晶８に電圧を印加す
る電極としての機能をも有する。金属反射電極膜１１
は、実施形態５における非観察者側基板７２ｂの金属反
射膜３と同様の方法によって形成することができる。
【００９７】このような構成によれば、観察者側基板７
４ａと非観察者側基板７４ｂとの間にギャップを設ける
ことなく液晶層を配置させることができるため、より再
帰性が高く、光の利用効率の向上した立方体型コーナー
キューブアレイを形成することができる。これにより、
明るい視認性の良い表示を実現することが可能になる。
【００９８】（実施形態７）実施形態７では、それぞれ
において複数の凹部が形成された２枚の基板を貼り合わ
せることによって、立方体型コーナーキューブとは異な
る形態の光学素子を作製する場合を説明する。
【００９９】図１４および図１５は、所定の方向から入
射された光を正反射方向とは異なる方向に選択的に反射
させるための反射板を示す。このような反射板を用いた
反射型液晶表示装置は、例えば、特開２０００−２２１
４９７号公報において記載されている。
【０１００】図１４（ａ）および図１５（ａ）に示す反
射板７６は、図１４（ｂ）および図１５（ｂ）に示す透
明な観察者側基板７６ａと、図１４（ｃ）および図１５
（ｃ）に示す非観察者側基板７６ｂとが重ねられた構成
を有している。
【０１０１】観察者側基板７６ａおよび非観察者側基板
７６ｂのそれぞれにおいて、互いに対して対向する面に
複数の三角錐状凹部が設けられている。各基板の凹部に
は、反射面Ｒ４，Ｒ５と光吸収面Ｒ６，Ｒ７が設けられ
ており、基板が貼り合わされた状態（図１４（ａ））に
おいて、各反射面Ｒ４，Ｒ５が連続するように配置され
ることで１つの反射領域が形成され、各光吸収面Ｒ６，
Ｒ７が連続して配置されることで１つの光吸収領域が形
成されている。このようにして形成された反射板７６
は、主要な入射光を正反射方向ではない方向へ選択的に
反射するように機能する。
【０１０２】また、他の反射板を図１６および図１７に
示す。これらの図に示される反射板も、所定の角度を有
する入射光を所望の角度に選択的に反射させるために用
いることができる。図１６および図１７からわかるよう
に、反射板７８は、基板７８ａと基板７８ｂとを貼り合
わせることで形成されており、基板７８ａの凹部におい
て設けられた反射面Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３および光吸
収面Ｒ２１と、基板７８ｂの凹部において設けられた反
射面Ｒ１４，Ｒ１５，Ｒ１６および光吸収面Ｒ２２とを
利用して複雑な凹凸形状を有する反射板が実現される。
【０１０３】（実施形態８）実施形態８では、複数の凹
部が設けられた基板上に複数の凸部を設け、これらの凹
部と凸部とによって立方体型コーナーキューブを作製す
る場合について説明する。
【０１０４】まず、実施形態２（図７（ａ））で説明し
たような切削工具を用いて、真鍮やニッケルなどから形
成される金属板（母材）の表面において、３方向にそれ
ぞれ複数のＶ溝を形成する。この切削方向は、図１８
（ａ）に示すように、ある１つの切削方向Ｄ１を基準と
して＋６０度方向Ｄ２および−６０度方向Ｄ３の３方向
としている。また、切削バイトの刃の角度は約７０．５
度とし（図１８（ｂ））、同じ方向に延びる溝のピッチ
が１０μｍとなるように切削する。
【０１０５】その結果、金属板の表面には各方向に延び
る溝の内面によって構成される三角錐状の凸部が複数隙
間なく形成される。図２０（ａ）は、このようにして形
成された三角錐状の凸部の斜視図である。上述のように
切削バイトの刃の角度を調節しているので、三角錐の凸
部を構成する三角形の３面は直角二等辺三角形をなし、
互いに直交する。なお、各三角錐状の凸部の底面は正三
角形をなす。
【０１０６】また、図１９（ａ）に示すように、これら
複数の三角錐の凸部が形成された領域１０６の外側に、
アライメントマーカー用の切削溝１０４を設ける。この
際、アライメントマーカー用の切削溝１０４の底が、上
記複数の三角錐の凸部の底面と同じ水平位置となるよう
に切削溝１０４を形成する。これにより、金型１０２が
完成する。
【０１０７】次に、図１９（ｂ１）に示しているよう
に、作製した金型１０２からアクリル材（例えば、三菱
レイヨン社製のアクリペット（商品名））などによって
反転型１１０を作製する。この反転型１１０には、図２
０（ｂ）に示すように、金型１０６の三角錐状の凸部に
対応した形状を有する多数の三角錐状の凹部が形成され
る。すなわち、この三角錐状の凹部を形成する３つの直
角二等辺三角形の面も、互いに略直交する関係を持って
いる。
【０１０８】さらに、図１９（ｃ１）に示しているよう
に、この反転型１１０の凹部は、例えば、光硬化性の樹
脂材料１１２によって埋められる。本実施形態では、樹
脂材料１１２として、ネガ型のフォトレジスト（東京応
化社製のＯＮＮＲ−２２（商品名））を用いている。こ
れにより、反転型１１０の凹部は平坦化される。なお、
この平坦化する工程の詳細については後述する。
【０１０９】一方、図１９（ｂ２）に示しているよう
に、上記の金型１０２からニッケルなどの材料を用いて
別の反転型１２０を作製する。この反転型１２０も、図
２０（ｂ）に示すように、互いに略直交する３つの二等
辺三角形の面によって構成される多数の三角錐状の凹部
が形成される。
【０１１０】さらに、図１９（ｃ２）に示しているよう
に、この反転型１２０の凹部は、例えば、光硬化性の樹
脂材料１２２で埋められる。本実施形態では、樹脂材料
１２２として、ネガ型のフォトレジスト（東京応化社製
のＯＮＮＲ−２２（商品名））を用いている。これによ
り、反転型１２０の凹部は平坦化される。なお、この平
坦化する工程の詳細については以下に述べる。
【０１１１】本実施形態では、反転型１１０および１２
０の凹部を樹脂材料１１２および１２２で埋めることに
よって平坦化するときに、図２１に示すような装置２１
０を用いている。この平坦化装置２１０では、基板２１
２（ここでは反転型１１０および１２０）の表面に塗布
すべき液体２１４（硬化前の光硬化性樹脂材料１１２，
１２２）を液だめに溜め、毛細管現象を利用してノズル
２１６の先端部から液体２１４を供給する。そして、ノ
ズル２１６の先端部に接するように配置された基板２１
２を、ノズル２１６と接した状態を保ったままで水平方
向に移動させることによって、液体２１４を基板２１２
の全体にわたって塗布することができる。このようにす
れば、液体２１４が塗布された後の基板面を平坦化する
ことができる。ただし、より平坦化することが望ましい
場合には、反転型１１０および１２０の凹部を樹脂材料
１１２および１２２で埋め、この樹脂材料１１２および
１２２を硬化させた後で、基板面を研磨するようにして
もよい。
【０１１２】次に、図１９（ｄ１）および（ｄ２）に示
すように、遮光部１１４ａと透過部１１４ｂとを有する
フォトマスク１１４、および、遮光部１２４ａと透過部
１２４ｂとを有するフォトマスク１２４のそれぞれを用
いて樹脂材料１１２および１２２をそれぞれ露光する。
このフォトマスク１１４および１２４における遮光部１
１４ａ，１２４ａおよび透過部１１４ｂ，１２４ｂの平
面形状は、樹脂材料１１２および１２２によって埋めら
れた三角錐状の凹部に対応する正三角形である。各フォ
トマスク１１４および１２４において、遮光部１１４
ａ，１２４ａと透過部１１４ｂ，１２４ｂとは交互に設
けられる。ただし、フォトマスク１１４とフォトマスク
１２４とでは、遮光部の位置と透過部の位置とが逆にな
っている。
【０１１３】本実施例では、ネガ型レジストを用いてい
るため、透過部を通過した光によって露光された部分が
硬化する。従って、図１９（ｅ１）および（ｅ２）に示
すようにフォトマスクの透過部に対応する凹部に設けら
れた樹脂材料が選択的に硬化され、この部分のみが平坦
化部材１１６，１２６として残るように現像される。図
２０（ｅ１）および（ｅ２）は、このようにして所定の
凹部が選択的に埋められ、平坦化された反転型１１０お
よび１２０をそれぞれ示す。
【０１１４】次に、図１９（ｆ１）に示しているよう
に、アクリル材を用いて形成された反転型１１０では、
平坦化部材１１６で埋められていない、残された凹部１
１７に対して、離形材（例えば、ダイキン工業社製のダ
イフリー（商品名））を塗布した後に、光硬化性のアク
リレートモノマーを充填し、これを露光して重合させる
ことによって硬化させ、三角錐状の固体１１８を形成す
る。なお、この固体１１８の露出面は平坦であることが
望ましいことから、図２１に示した平坦化装置２１０を
用いてモノマーなどを充填したり、モノマーを硬化後に
その露出面を研磨するようにしてもよい。
【０１１５】また、もう一方のニッケルから形成される
反転型１２０では、平坦化部材（ネガ型フォトレジス
ト）１２６上に接着剤１２８（例えば、三井化学社製の
ストラクトボンド（商品名））を塗布する。塗布する手
法としては、ディスペンサーを使用する方法や、スクリ
ーン印刷法を用いることができる。なお、接着剤１２８
に粒径１μｍ程度のプラスティックビーズを混入させる
ことで、接着剤１２８の厚みをより適切に制御すること
ができる。
【０１１６】次に、図１９（ｇ）に示すように、図５
（ｆ１）に示した反転型１１０と、図５（ｆ２）に示し
た反転型１２０とを密着させるが、反転型１１０に保持
されている固体１１８と、反転型１２０の凹部を埋める
平坦化部材１２６とが対向し、これらが接着剤１２８に
よって互いに対して固定されるように反転型１１０およ
び１２０を対峙させる。この際、各反転型１１０および
１２０に設けられたアライメントマーカー１１５を用い
ることで、精度の高い貼り合わせが可能である。これに
より、立方体型コーナーキューブを構成する略正方形の
各面の面精度（平坦度）を良好にすることができる。
【０１１７】次に、図１９（ｈ）に示すように、反転型
１１０を剥離する。これによって、図２０（ｈ）に示す
ように、反転型１１０に保持されていた固体１１８が反
転型１２０状に転写され、立方体型のマイクロコーナー
キューブアレイが形成される。なお、このようにして表
面にマイクロコーナーキューブアレイ形状を有する反転
型１２０を、樹脂層などの表面にマイクロコーナーキュ
ーブアレイを作製するための型として用いることもでき
る。この場合、上述の反転型１２０から電鋳法によって
表面がニッケルなどの材料で覆われた型を作製し、作製
された型の表面の凹凸形状を他の樹脂膜などに転写する
ことでマイクロコーナーキューブアレイを作製すること
ができる。
【０１１８】（実施形態９）実施形態９では、上記実施
形態８とは異なる方法によって、複数の凹部が設けられ
た基板上に複数の凸部を設け、これらの凹部と凸部とに
よって立方体型コーナーキューブを作製する場合につい
て説明する。本実施形態では、その表面が単結晶の｛１
１１｝面に平行な立方晶単結晶基板を用意し、この基板
表面に対して異方性エッチングを行なうことによって得
られる凹凸形状を利用して立方体型コーナーキューブを
作製する。
【０１１９】まず、図２２（ａ）に示しているように、
表面が結晶の｛１１１｝面に平行なゲルマニウム単結晶
基板１３０を２枚用意する。次に、図２２（ｂ１）およ
び（ｂ２）に示すように、それぞれの基板１３０に、平
面形状が正三角形のレジストマスク１３２および１３４
を形成する。図２２（ｂ１’）および２２（ｂ２’は、
それぞれ図２２（ｂ１）および（ｂ２）の基板１３０お
よびレジストマスク１３２および１３４の斜視図であ
る。
【０１２０】このとき、レジストマスク１３２および１
３４の正三角形の１辺の長さは１１．５μｍとし、正三
角形の１辺がゲルマニウム単結晶の｛１００｝面に平行
になるように配置する。なお、図２２（ｂ１’）と図２
２（ｂ２’）とでは、レジストマスクが設けられる場所
と開口部の場所とが反対のように示されているが、基板
の向き（オリエンテーションフラット）を互いに対して
１８０°逆になるように図示してあり、これらの基板上
に設けられたレジストマスクのパターンは実際には同様
である。例えば、図２２（ｂ１’）と図２２（ｂ２’）
のそれぞれにおいて、単結晶の｛１００｝面に平行な方
向を矢印１３５で示しているが、この方向を基準として
見た場合、各基板上のレジストマスクのパターンは同様
であることがわかる。
【０１２１】次に、これらの基板に対してエッチングを
行う。このとき、エッチング液としては、ふっ酸と過酸
化水素水と水（５０ｗｔ％ＨＦ：３０ｗｔ％Ｈ2Ｏ2：Ｈ
2Ｏ＝１：１：４）の混合溶液を用い、エッチング温度
は１度とし、エッチング時間は１５分とする。これによ
って、図２２（ｃ１）および図２２（ｃ２）にそれぞれ
示しているような凹部が形成される。
【０１２２】このエッチング工程において、｛１１１｝
面からエッチングが進行するが、この｛１１１｝面に対
するエッチング速度に対して、互いに直交する｛１０
０｝面に対するエッチング速度が遅いため、この｛１０
０｝面が露出するように異方性のエッチングが進行す
る。
【０１２３】その後、図２３（ｄ１）および図２３（ｄ
２）に示すように、レジストマスク１３２，１３４を、
基板の表面から剥離する。レジストマスク１３２，１３
４が剥離された状態を図２３（ｄ１’）および図２３
（ｄ２’）に示す。図からわかるように、各基板には、
互いに略直交する直角二等辺三角形の３面から形成され
る三角錐状の凹部１３６が複数形成される。なお、凹部
１３６と凹部１３６との間には、平坦部１３８が形成さ
れている。
【０１２４】次に、図２３（ｅ２）に示すように、一方
の基板の凹部１３６に、光硬化性のアクリレートモノマ
ーを充填し、これを露光して重合させることによって硬
化させ、三角錐状の固体１４０を形成する。なお、この
固体１４０の露出面は平坦であることが望ましいことか
ら、図２１に示した平坦化装置２１０を用いてモノマー
などを充填したり、モノマーを硬化後にその露出面を研
磨するようにしてもよい。
【０１２５】次に、図２３（ｆ）に示すように、図２３
（ｄ１）に示した基板と、図２３（ｄ２）に示した基板
とを密着させるが、一方の基板に保持されている固体１
４０と、他方の基板の平坦部１３８とが対向し、これら
が接着剤によって互いに対して固定されるように基板同
士を対峙させる。
【０１２６】次に、図２３（ｇ）に示すように、図２３
（ｅ２）に示した側の基板を剥離する。これによって、
固体１４０が他方の基板の平坦部上に転写され、図２３
（ｇ’）に示すような立方体型のマイクロコーナーキュ
ーブアレイが形成される。
【０１２７】なお、図２３（ｄ１）、（ｄ１’）および
図２３（ｄ２）、（ｄ２’）に示すような凹部１３６と
平坦部１３８とを表面部に有する基材は、他の方法によ
っても作製され得る。例えば、実施形態１においても説
明したように、ニッケルなどの母材に、互いに直交する
２等辺３角形３面からなる３角錐状の凸部を有したピン
を直接押し付けることによっても得られる。このように
して得られた基材を用いた場合にも、図２３（ｅ２）、
（ｆ）、（ｇ）に示したような工程を経て、マイクロコ
ーナーキューブアレイを作製することができる。
【０１２８】なお、このようにして表面にマイクロコー
ナーキューブアレイ形状を有する基板１３０を、樹脂層
などの表面にマイクロコーナーキューブアレイを作製す
るための型として用いることもできる。この場合、上述
の基板１３０から電鋳法によって表面がニッケルなどの
材料で覆われた型を作製し、作製された型の表面の凹凸
形状を他の樹脂膜などに転写することでマイクロコーナ
ーキューブアレイを作製することができる。
【０１２９】（実施形態１０）本実施形態においても、
表面が｛１１１｝面に平行な立方晶単結晶基板を用意
し、この基板表面に対して異方性エッチングを行なうこ
とで得られる凹凸形状を利用して立方体型コーナーキュ
ーブを作製する。
【０１３０】まず、図２４（ａ）および（ａ’）に示す
ように、表面が結晶の｛１１１｝Ｂ面に平行なガリウム
砒素単結晶基板１５０を用意する。なお、ガリウム砒素
単結晶の｛１１１｝Ｂ面とは、砒素が形成する｛１１
１｝面を言う。
【０１３１】次に、図２４（ｂ）および（ｂ’）に示す
ように、基板１５０上に、平面形状が正三角形のレジス
トマスク１５２を形成する。このとき、正三角形の１辺
の長さは１１．５μｍとし、正三角形の１辺がガリウム
砒素単結晶の｛１００｝面に平行になるように配置す
る。
【０１３２】次に、これらの基板に対してエッチングを
行う。このとき、エッチング液としては、アンモニア水
と過酸化水素水と水（２８ｗｔ％ＮＨ4ＯＨ：３０ｗｔ
％Ｈ2Ｏ2：Ｈ2Ｏ＝８：２：５）の混合溶液を用い、エ
ッチング温度は１７度とし、エッチング時間は２分とす
る。これによって、図２４（ｃ）および（ｃ’）に示す
ような凸部が形成される。
【０１３３】本実施形態では、図２４（ｃ）および
（ｃ’）に示すように、レジストマスク１５２で覆われ
る基板部分にまでエッチングが進行するとともに、マス
ク開口部１５４に対応する基板部分には平坦な面が形成
される。これは、上述のようなエッチング条件では、ガ
リウム砒素単結晶の｛１１１｝Ｂ面に対するエッチング
速度が、結晶の｛１００｝面に対するエッチング速度に
対して十分に大きくないためである。
【０１３４】すなわち、上述のようなエッチング条件で
は、結晶の｛１００｝面のエッチング速度が遅いために
｛１００｝面が露出するようにエッチングが進行すると
ともに、基板厚さ方向（すなわち｛１１１｝Ｂ面の法線
方向）へのエッチングが十分速く進行しないために、凹
部の底の面が小さくなっていかない。このように、異方
性のエッチングによって形成される基板表面の形状は、
｛１１１｝Ｂ面に対するエッチング速度と｛１００｝面
に対するエッチング速度との比を適切に選択することで
調節することができる。
【０１３５】なお、本実施形態では、図２４（ｃ）およ
び（ｃ’）に示すように、エッチングの進行するにつ
れ、レジストマスク１５２と基板表面との接触部の面積
が減少して行き、所望のエッチングが完了したときに
は、これらがほとんど接触されなくなるので、実施形態
９の場合のようにレジスト剥離工程を行わずとも、図２
４（ｄ）および（ｄ’）に示すような、互いに略直交す
る直角二等辺三角形の３面から形成される三角錐状の凸
部１５６が複数形成された基板を得ることができる。
【０１３６】次に、図２５（ｅ）に示すように、図２４
（ｄ）および（ｄ’）に示した基板上に、アルミニウム
膜１６０を、例えば、スパッタ装置によって約２０μｍ
の厚さで形成する。その後、アルミニウム膜１６０を基
板１５０から剥離する。この剥離されたアルミニウム膜
１６０には、基板１５０の凸部１５６に対応した形状を
有する三角錐状の凹部が複数形成されている。
【０１３７】次に、図２５（ｆ）に示すように、アルミ
ニウム膜１６０に形成された凹部に、光硬化性のアクリ
レートモノマーを充填し、これを露光して重合させるこ
とによって硬化させ、三角錐状の固体１６２を形成す
る。
【０１３８】次に、図２５（ｈ）に示すように、図２５
（ｆ）に示したアルミニウム膜１６０と、図２５（ｇ）
で示す実施形態８の基板１３０（図２３（ｄ１）参照）
とを密着させるが、アルミニウム膜１６０に保持されて
いる固体１６２と、基板１３０の平坦部１３８とが対向
するように基板同士を対峙させ、これらを固定する。
【０１３９】次に、この固定されたアルミニウム膜１６
０および基板１３０をアルカリ溶液につけ、アルミニウ
ム部１６０のみを選択的に溶解することによって、図２
５（ｉ）および（ｉ’）に示すような立方体型のマイク
ロコーナーキューブアレイが形成される。
【０１４０】なお、このようにして形成されたマイクロ
コーナーキューブアレイから電鋳法によって型を作製
し、この型を用いて樹脂膜などにマイクロコーナーキュ
ーブアレイを作製することもできる。
【０１４１】（実施例および比較例）本発明の２枚の基
板を用いて形成される立方体型コーナーキューブアレイ
を用いた反射型液晶表示装置（実施例）と、１枚の基板
上に形成された三角錘型コーナーキューブアレイを用い
た従来の反射型液晶表示装置（比較例）とにおける表示
特性の違いを調べた。
【０１４２】下記、表１は、拡散光照明下における、法
線方向の反射率を測定した結果である。
【０１４３】
【表１】
【０１４４】表１からわかるように、実施例の表示装置
は、比較例の表示装置に比べて、黒表示の際の反射率が
低く、良好な黒表示を行なうことができた。これは、実
施例の表示装置の反射板は、立方体型コーナーキューブ
から形成されているため、周囲からの光をより効率よく
再帰反射させることができるのに対し、比較例の表示装
置では、周囲からの光の一部が再帰反射されずに観察さ
れるからである。この結果、コントラスト比において、
実施例の表示装置の方が比較例の表示装置よりも良い結
果を示した。
【０１４５】
【発明の効果】本発明によれば、表示装置などにおいて
適切に用いられる微細な光学素子を比較的容易に作製す
ることが可能になる。例えば、入射光を効率よく再帰反
射させることができるマイクロコーナーキューブアレイ
を容易に作製することができる。このように微細なマイ
クロコーナーキューブアレイを用いた表示装置では、明
るく、コントラストが高く、色純度が高く、視認性の良
い表示が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の反射型液晶表示装置の構成を示す断面図
である。
【図２】立方体型コーナーキューブアレイを示す図であ
り、（ａ）は平面図、（ｂ）は中位点よりも高い部分を
示す側面図、（ｃ）は斜視図である。
【図３】 三角錐型コーナーキューブと立方体型コーナ
ーキューブとを比較して示す図であり、（ａ）は三角錐
型コーナーキューブの平面図、（ｂ）は三角錐型コーナ
ーキューブの斜視図、（ｃ）は立方体型コーナーキュー
ブの平面図、（ｄ）は立方体型コーナーキューブの斜視
図を示す。
【図４】本発明の実施形態１による再帰性反射板を作成
するために用いる金型を示す図であり、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は平面図である。
【図５】本発明の実施形態１による再帰性反射板の構成
を示す図であり、（ａ）は上側部分の平面図、（ｂ）は
（ａ）のＡ−Ａ’線断面図、（ｃ）は下側部分の平面
図、（ｄ）は（ｃ）のＢ−Ｂ’線断面図、（ｅ）は、上
側部分と下側部分とを重ね合わせた状態を示す平面図、
（ｆ）は（ｅ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
【図６】本発明の実施形態２による再帰性反射板を作成
するために用いる金型を示す図であり、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は平面図である。
【図７】図６に示す金型の作製方法を説明するための図
であり、（ａ）は切削工具、（ｂ）は切削工具を用いた
切削方法を示す平面図である。
【図８】本発明の実施形態３による再帰性反射板の構成
を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態４による反射型液晶表示装置
の構成を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施形態５による反射型液晶表示装
置の構成を示す断面図である。
【図１１】図１０に示す反射型液晶表示装置において、
コーナーキューブアレイの最小単位構造のサイズをカラ
ーフィルタのドットサイズ以下にした場合を示す断面図
である。
【図１２】図１０に示す反射型液晶表示装置において、
コーナーキューブアレイの最小単位構造のサイズをカラ
ーフィルタのドットサイズより大きくした場合を示す断
面図である。
【図１３】本発明の実施形態６による反射型液晶表示装
置の構成を示す断面図である。
【図１４】本発明の実施形態７による光学素子を示す斜
視図であり、（ａ）は基板を貼り合わせた状態を示し、
（ｂ）は一方の基板を示し、（ｃ）は他方の基板を示
す。
【図１５】図１４に示した光学素子の平面図であり、
（ａ）は基板を貼り合わせた状態を示し、（ｂ）は一方
の基板を示し、（ｃ）は他方の基板を示す。
【図１６】本発明の実施形態７による別の光学素子を示
す斜視図であり、（ａ）は基板を貼り合わせた状態を示
し、（ｂ）は一方の基板を示し、（ｃ）は他方の基板を
示す。
【図１７】図１６に示した光学素子の平面図であり、
（ａ）は基板を貼り合わせた状態を示し、（ｂ）は一方
の基板を示し、（ｃ）は他方の基板を示す。
【図１８】本発明の実施形態８によるコーナーキューブ
アレイを作製するために用いられる金型の作製方法を説
明するための図であり、（ａ）は溝の切削方向、（ｂ）
はバイト（切削工具）の先端角度を示す。
【図１９】本発明の実施形態８によるコーナーキューブ
アレイの作製工程の各々を示す図である。
【図２０】本発明の実施形態８によるコーナーキューブ
アレイの作製工程の各々を示す図である。
【図２１】本発明の実施形態８によるコーナーキューブ
アレイの作製工程に用いられる液体を塗布する装置を示
す断面図である。
【図２２】本発明の実施形態９によるコーナーキューブ
アレイの作製工程の各々を示す図である。
【図２３】本発明の実施形態９によるコーナーキューブ
アレイの作製工程の各々を示す図である。
【図２４】本発明の実施形態１０によるコーナーキュー
ブアレイの作製工程の各々を示す図である。
【図２５】本発明の実施形態１０によるコーナーキュー
ブアレイの作製工程の各々を示す図である。
【符号の説明】
１ 透明基板 ２ 透明樹脂層 ３ 金属反射膜 ４ 樹脂層 ５ 基板 ６ 透明平坦化部材 ５０ 再帰性反射板 ５０ａ 上側部分 ５０ｂ 下側部分 ５２ 三角錐状凹部 ５４ 平坦部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 富川 昌彦 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Ｆターム(参考） 2H042 EA03 EA05 EA14 EA15 2H091 FA14Y FB09 FB13 FC02 FC10 FC19 FC24 FC25 FC26 FC29 FC30

Claims (27)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第１の凹部が複数形成された第１の面を
    有する第１の基材と、第２の凹部が複数形成された第２
    の面を有する光透過性の第２の基材とを備え、前記第１
    の面と前記第２の面とが対向するように前記第１の基材
    と前記第２の基材とが配置されている光学素子であっ
    て、 前記第１の凹部において第１の反射領域が形成され、且
    つ、前記第２の凹部において第２の反射領域が形成され
    ており、 前記第２の基材を透過した光のうちの少なくとも一部
    は、前記第１の反射領域および前記第２の反射領域のう
    ちの少なくとも一方の反射領域において反射される光学
    素子。
  2. 【請求項２】 前記第１の面には前記第１の凹部と平坦
    部とが形成されており、前記第２の面には前記第２の凹
    部と平坦部とが形成されており、前記第１の凹部と前記
    第２の凹部とは互いに対して対向しないように配置され
    ている請求項１に記載の光学素子。
  3. 【請求項３】 前記第１の凹部と前記第２の凹部とは、
    実質的に同一形状を有している請求項１または２に記載
    の光学素子。
  4. 【請求項４】 前記第１の凹部および前記第２の凹部は
    三角錐形状を有し、前記第１の凹部および前記第２の凹
    部によってコーナーキューブが形成されている請求項１
    から３のいずれかに記載の光学素子。
  5. 【請求項５】 前記第２の基材を透過した光のうちの少
    なくとも一部は、前記第１の反射領域と前記第２の反射
    領域との両方において反射され、これにより、前記反射
    された光は入射方向と実質的に同一の方向に進む請求項
    ４に記載の光学素子。
  6. 【請求項６】 前記第１の反射領域および第２の反射領
    域は、金属膜によって形成されている請求項１から５の
    いずれかに記載の光学素子。
  7. 【請求項７】 前記第２の反射領域は、前記第２の基材
    よりも屈折率が低い材料を用いて形成されている請求項
    １から５のいずれかに記載の光学素子。
  8. 【請求項８】 前記第１の凹部に形成された第１の反射
    領域上において前記第１の凹部を埋める部材を備え、前
    記第１の反射領域は、前記第１の凹部を埋める部材より
    も屈折率が低い材料を用いて形成されている請求項７に
    記載の光学素子。
  9. 【請求項９】 請求項１から８のいずれかに記載の光学
    素子を備える反射型表示装置であって、 前記第１の基材と前記第２の基材との間に挟持される光
    変調層を有する反射型表示装置。
  10. 【請求項１０】 前記光変調層は、散乱型液晶から形成
    される請求項９に記載の反射型表示装置。
  11. 【請求項１１】 前記第１の基材の第１の凹部を埋める
    第１の平坦化部材と、前記第２の基材の第２の凹部を埋
    める第２の平坦化部材とをさらに有し、前記散乱型液晶
    が前記第１の平坦化部材によって平坦化された面と第２
    の平坦化部材によって平坦化された面との間に挟持され
    る請求項１０に記載の反射型表示装置。
  12. 【請求項１２】 前記散乱型液晶は、前記第１の基材に
    形成された前記第１の凹部に充填されている請求項１０
    に記載の反射型表示装置。
  13. 【請求項１３】 請求項４または５に記載の光学素子
    と、 前記光学素子と対向するように設けられた透明基板と、 前記光学素子と前記透明基板との間に挟持され、光散乱
    状態または光透過状態に制御される光変調層とを備え
    る、反射型表示装置。
  14. 【請求項１４】 互いに略直交する３つの表面を有する
    コーナーキューブのアレイであって、 前記コーナーキューブの前記３つの表面のそれぞれは、
    基材に形成された凹部が有する第１の面と、前記凹部に
    隣接するように前記基材上に設けられた凸部が有する第
    ２の面とを含むコーナーキューブアレイ。
  15. 【請求項１５】 前記基材は、前記凹部と、前記凹部に
    隣接する平坦部とを有し、前記凸部は前記平坦部上に固
    定されている請求項１４に記載のコーナーキューブアレ
    イ。
  16. 【請求項１６】 前記凹部が有する前記第１の面および
    前記凸部が有する前記第２の面のそれぞれは略直角二等
    辺三角形の平面形状を有し、前記コーナーキューブの前
    記３つの表面のそれぞれは略正方形である請求項１４ま
    たは１５に記載のコーナーキューブアレイ。
  17. 【請求項１７】 光学素子の製造方法であって、 第１の基材に第１の凹部を複数形成し、かつ、前記第１
    の凹部に第１の反射領域を形成する工程と、 第２の基材に第２の凹部を複数形成し、かつ、前記第２
    の凹部に第２の反射領域を形成する工程と、 前記第１の凹部が形成された面と前記第２の凹部が形成
    された面とが向き合うように前記第１の基材と前記第２
    の基材とを配置させる工程とを包含する光学素子の製造
    方法。
  18. 【請求項１８】 実質的に互いに直交する三角形の３面
    から形成される三角錐形状の第１の凹部が複数形成され
    た第１の基材を用意する工程と、 実質的に互いに直交する三角形の３面から形成される三
    角錐形状の第２の凹部が複数形成された第２の基材を用
    意する工程と、 前記複数の第１の凹部が形成された面と前記複数の第２
    の凹部が形成された面とが向き合うように、前記第１の
    基材と前記第２の基材とを配置させる工程とを包含し、 前記複数の第１の凹部によって規定される複数の第１の
    三角形の面と、前記複数の第２の凹部によって規定され
    る複数の第２の三角形の面とによって構成される複数の
    立方体型コーナーキューブ形状に対応したコーナーキュ
    ーブのアレイを作製することを特徴とするコーナーキュ
    ーブアレイの製造方法。
  19. 【請求項１９】 前記第１の凹部の前記直交する三角形
    の３面のそれぞれに反射領域を形成する工程と、 前記第２の凹部の前記直交する三角形の３面のそれぞれ
    に反射領域を形成する工程とをさらに包含し、 前記第１の凹部に設けられた反射領域と前記第２の凹部
    に設けられた反射領域とのうち、一方が凹型反射領域と
    して用いられ、他方が凸型反射領域として用いられるよ
    うに、前記第１の凹部に設けられた反射領域と前記第２
    の凹部に設けられた反射領域とを実質的に連続するよう
    に位置させる請求項１８に記載のコーナーキューブアレ
    イの作製方法。
  20. 【請求項２０】 前記第１の基材と前記第２の基材とを
    配置させる工程の前に、前記第１の基材の前記三角錐形
    状の第１の凹部を、前記第１の凹部の形状に対応した形
    状を有する三角錐状の凸部で埋める工程と、 前記第１の基材と前記第２の基材とを配置させる工程の
    後に、前記三角錐状の凸部を前記第１の基材上に固定す
    る工程とをさらに包含する請求項１８に記載のコーナー
    キューブアレイの作製方法。
  21. 【請求項２１】 コーナーキューブアレイの作製方法で
    あって、 互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角錐形状
    の複数の凹部を所定の面において有する基材を用意する
    工程と、 前記基材の所定の面上に、互いに直交する二等辺三角形
    の３面を有する三角錐形状の複数の凸部を設ける工程と
    を包含し、 前記三角錐状の複数の凸部を設ける工程は、前記複数の
    凸部を保持する保持部材を前記基材の所定の面上に配置
    させる工程と、前記保持部材から前記基材の所定の面上
    に前記複数の凸部を転写する工程とを包含するコーナー
    キューブアレイの作製方法。
  22. 【請求項２２】 コーナーキューブアレイの作製方法で
    あって、 互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角錐形状
    の複数の凹部を有する基材を用意する工程と、 前記基材の所定の面上に、互いに直交する二等辺三角形
    の３面を有する三角錐形状の複数の凸部を設ける工程と
    を包含し、 前記三角錐状の複数の凸部を設ける工程は、前記複数の
    凸部を保持する保持部材を前記基材の所定の面上に配置
    させる工程と、前記保持部材を溶かすことによって前記
    複数の凸部を基材の所定の面上に残す工程とを包含する
    コーナーキューブアレイの作製方法。
  23. 【請求項２３】 前記基材を用意する工程は、 母材の３方向に溝を形成する工程と、 前記溝が形成された母材の凹凸形状を転写材に転写する
    工程と、 前記転写材に形成された凹部を１つおきに埋める工程と
    を包含する請求項２１または２２に記載のコーナーキュ
    ーブアレイの作製方法。
  24. 【請求項２４】 前記基材を用意する工程は、 立方晶単結晶基板の｛１１１｝面を異方性エッチングす
    る工程を包含する請求項２１または２２に記載のマイク
    ロコーナーキューブアレイ作製方法。
  25. 【請求項２５】 前記基材を用意する工程は、 母材に対して、互いに直交する２等辺３角形３面からな
    る３角錐状の凸部を有したピンを押し付ける工程を包含
    する請求項２１または２２に記載のマイクロコーナーキ
    ューブアレイ作製方法。
  26. 【請求項２６】 請求項２１から２５のいずれかの方法
    を用いて作製されたマイクロコーナーキューブアレイ。
  27. 【請求項２７】 請求項２１から２５のいずれかの方法
    を用いて作製されたマイクロコーナーキューブアレイ金
    型。
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