JP2002310940A - 物品検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【解決手段】 ＣＣＤカメラ４で撮影した水晶板２の画
像をもとに第１ヒストグラム（図３）を作成する。次
に、処理装置６は、第１ヒストグラムにおける最頻値Ｍ
ａｘの前後の極小輝度Ｓから極大輝度Ｌの範囲の輝度が
０から２５５の階調となるように、輝度に関するコント
ラストとブライトネスのパラメータを変更する。この
後、ＣＣＤカメラ４で水晶板２を再度撮影し、処理装置
６は、このＣＣＤカメラ４の画像データをもとに第２ヒ
ストグラム（図５）を作成する。この第２ヒストグラム
をもとにしきい値を設定し、画像データを基に上記しき
い値により水晶板２の良否を判定する。 【効果】 水晶板２の良否を的確に判定することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は物品検査方法に関
し、より詳しくは、例えば水晶板の表面検査に用いて好
適な物品検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、板状物品の表面検査方法において
は、次のようにして物品の良否を検査していたものであ
る。すなわち、先ず、検査対象となる物品に光を照射し
て、該物品から反射される反射光を撮影手段で撮影す
る。次に、この撮影手段で撮影した反射光を画像取り込
み手段に取り込んで、この画像取り込み手段に取り込ん
だ反射光の画像について輝度と画素数との関係で表現さ
れるヒストグラムを作成する。その後、上記ヒストグラ
ムにおける画素数の変化率が切り換わる位置の輝度をし
きい値として設定し、そのしきい値を超えた不良品側と
なる画素数が所定画素数よりも多い場合に検査対象であ
る物品が不良品であると判定していたものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
検査方法において、撮影手段が撮影した物品の画像をＡ
／Ｄ変換器（アナログ／デジタル変換器）により、アナ
ログ信号からデジタル信号に変換する際には、輝度に関
するコントラストおよびブライトネスのパラメータを所
定の固定値で行っていたものである。しかも、個々の物
品の表面の平滑さにばらつきがあり、検査位置に位置さ
せた際には個々の物品の支持状態などにより傾斜角度が
異なることがある。したがって、上記物品の画像をＡ／
Ｄ変換器で変換した画像データを基にヒストグラムを作
成しても、物品の検査対象領域である最頻値の前後とな
る範囲の輝度について画素数の変化を詳細に把握しにく
いという欠点があった。そのため、従来では、上記ヒス
トグラムにおいて、物品の良否を判定する規準となるし
きい値を決めるに際して、的確な値をしきい値と設定す
るのが困難であった。また、上記物品の画像をＡ／Ｄ変
換器で変換して取り込んだ画像データを基に物品の傷や
しみの有無を判別しようとしても、互いの輝度の差が小
さいため、判別しにくいという欠点もあった。したがっ
て、従来の物品検査方法においては、物品の良否を的確
に判定しにくいという欠点が指摘されていたものであ
る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上述した事情に鑑み、本
発明は、検査対象となる物品を撮影手段で撮影し、この
撮影手段で撮影した物品の画像をもとに最小輝度から最
大輝度まで所定数の階調における輝度の違いに応じた画
素数で表現される第１ヒストグラムを作成し、上記第１
ヒストグラムにおける物品領域の最頻値または平均値と
なる輝度の前後における極小輝度及び極大輝度を求め
て、これら極小輝度から極大輝度となった範囲の輝度を
所定数の階調とする輝度の違いに応じた画素数で表現さ
れる第２ヒストグラムを作成し、上記第２ヒストグラム
における輝度の違いに応じた画素数の変化を基にしきい
値を求めて、このしきい値により物品の良否を判定する
ようにした物品検査方法を提供するものである。このよ
うな構成によれば、第１ヒストグラムにおける極小輝度
から極大輝度に至る範囲について第２ヒストグラムを作
成する。そのため、第２ヒストグラムにおいては、輝度
の違いに応じた画素数の変化を詳細かつ的確に把握する
ことができる。そのため、この第２ヒストグラムにおい
てしきい値を的確に設定することができる。したがっ
て、従来に比較して物品の良否を的確に判定することが
できる。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下図示実施例について本発明を
説明すると、図１において、１は水晶板の品質検査を行
う物品検査装置である。この物品検査装置１による品質
検査の対象となる物品は、略正方形をした薄板状の水晶
板２である（図２参照）。この水晶板２は、縦横それぞ
れ１０ｍｍ未満で厚さも１ｍｍ未満の薄板であり、想像
線で示した円の内方側を有効領域（検査対象領域）２’
としている。そして、本実施例の検査装置はこの水晶板
２における有効領域２’に付いて、傷があるか否か及び
表面にしみがあるか否かを検査するようにしている。な
お、検査対象となる水晶板２の形状は略矩形であっても
良く、水晶板２の寸法は例示であっても、上記寸法の水
晶板２に限定されるものではない。また、水晶板２の有
効領域２’の形状は楕円あるいは矩形であっても良い。
図１に示すように、水晶板２はインデックステーブルの
供給ポジションに供給される。インデックステーブルの
グリッパ３は供給された水晶板２を把持して所定の角度
づつ回転し、各ポジションごとに所定の処理を行う。供
給ポジションに供給された水晶板２はグリッパ３により
把持され、所定のポジションで位置補正などの所定の処
理がなされた後、順次検査位置Ａに供給されて水平に支
持されるようになっている。検査位置Ａにおいて、グリ
ッパ３は、先ず水晶板２をその表面が上方に位置するよ
うに水平に支持するようにしてあり、この状態で物品検
査装置１によって水晶板２の表面の検査を行う。その
後、次の位置にグリッパ３が移動して水晶板２を反転さ
せた後、さらに検査位置Ｂにおいて裏面が上方となるよ
うに水晶板２を水平に支持した状態で、物品検査装置１
によって水晶板２の裏面の検査を行うようにしている。
上記検査位置Ａ、Ｂにおいて、水晶板２の表面及び裏面
について物品検査装置１による品質検査が終了したら、
グリッパ３は検査終了後の水晶板２を検査位置Ｂから次
の位置に移動し、所定の処理を行った後で排出ポジショ
ンで離すようになっている。グリッパ３から離された水
晶板２は別体のロボットハンドによって次の工程へ搬送
される。その間にも新たな水晶板２がグリッパ３によっ
て検査位置Ａ、Ｂに順次供給されるようになっている。

【０００６】本実施例の物品検査装置１は、検査位置Ａ
の上方に撮影手段としてのＣＣＤカメラ４を備えてい
る。このＣＣＤカメラ４には光ファイバを介して光源５
を接続してあり、この光源５から光ファイバと上記ＣＣ
Ｄカメラ４を介して上記検査位置Ａに供給された水晶板
２に向けて同軸落射照明により光を照射するようにして
いる。検査位置Ａの水晶板２に光が照射されると、水晶
板２によって反射された反射光がＣＣＤカメラ４によっ
て撮影されるようになっている。物品検査装置１は判定
手段としての処理装置６を備えている。処理装置６とし
ては、ＦＡパソコンやパソコンなどを使用できるが、本
実施例ではパソコンを使用している。上記ＣＣＤカメラ
４によって撮影された画像は、処理装置６のＡ／Ｄ変換
器６Ａによってアナログ信号をデジタル信号に変換され
て取り込み部６Ｂに取り込まれるようになっている。こ
の取り込み部６Ｂに取り込まれた画像は、画像処理部６
Ｃに読み込まれる。画像処理部６Ｃは、読み込んだ画像
データに基づいて縦軸を画素数とし、横軸を０から２５
５の２５６階調の輝度（明るさ）として表現した第１ヒ
ストグラムを作成するようにしている（図３参照）。こ
の時、本実施例では、上記ＣＣＤカメラ４によって撮影
された画像を取り込むのに際して、輝度に関するコント
ラストとブライトネスのパラメータを０．５：０．５の
設定で行うようにしている。

【０００７】ここで、上述したように、検査対象となる
物品は半透明の水晶板２である。そのため、水晶板２の
表面及び裏面はほぼ均一な平坦面となっている。したが
って、図３に示すように、先ず水晶板２の周囲となる背
景部分について輝度３８前後に画素数のピークが見られ
るとともに輝度１１２で水晶板２について最頻値が見ら
れるようになっている。判定手段としての処理装置６
は、しきい値設定部６Ｄを備えており、後に詳述するよ
うに、このしきい値設定部６Ｄは、例えば図５に示した
ヒストグラムにおける所要箇所の輝度をしきい値Ｍ１お
よびＭ２として設定するようにしている。輝度が最頻値
より小さい側（左方側）となるしきい値Ｍ１は、水晶板
２の表面に傷があるか否かの判定の基となるしきい値と
している。他方、輝度が最頻値より大きい側（右方側）
のしきい値Ｍ２は、水晶板２の表面にしみがあるか否か
の判定の基となるしきい値としている。なお、しきい値
設定部６Ｄは、図３に示す第１ヒストグラムが得られた
際に、上記最頻値Ｍａｘが得られた画素数のブロックを
検査対象となる水晶板２の領域であると判断して、上記
しきい値の設定を行うようにしている。

【０００８】そして、図４に例示したように、水晶板２
が傷やしみのない良品の場合には、この図４の最も左方
側に示すように、最頻値Ｘの左右両側となる輝度（大き
い側及び小さい側の輝度）の分布が少なく表れるように
なっている。これに対して、水晶板２に傷がある不良品
の場合には、図４の右方側に示すように最頻値Ｙに隣接
する左方側（小さい側）の輝度の分布が多く表れるよう
になっている。また、水晶板２にしみがある不良品の場
合には、この図４の中央側に示すように最頻値Ｚに隣接
する右方側（大きい側）の輝度の分布が多く表れるよう
になっている。ところで、この図４に示したヒストグラ
ムにおいては、輝度の違いによる画素数の変化がわかり
にくくなっている。そこで本実施例では、後述するよう
に、第１ヒストグラムを作成した後に再度ＣＣＤカメラ
に４によって水晶板２を撮影して、再度取り込み部６Ｂ
に取り込んだ画像から図５に示した第２ヒストグラムを
作成した後、その第２ヒストグラムにおける最頻値の前
後となる所要の輝度を上記しきい値Ｍ１およびＭ２とし
て設定するようにしている。また、処理装置６は判定部
６Ｅを備えており、後述するように、再度水晶板２をＣ
ＣＤカメラで撮影して取り込んだ画像を基にして判定部
６Ｅは、次のようにして水晶板２の良否を判定するよう
になっている。すなわち、判定部６Ｅは、先ず検査対象
領域（図２の有効領域２’）におけるしきい値Ｍ１より
も輝度の小さい画素の総画素数（総面積に相当する）を
求める。また、それと同時に、しきい値Ｍ１よりも輝度
が小さいもので一塊にまとまった箇所の画素数も求め
る。そして、そのようにして求めた画素数がそれぞれ予
め設定した所定の画素数よりもどちらか一方でも多い場
合には、その検査対象となった水晶板２の表面に傷があ
り不良品であると判定するようにしている。それに対し
て、その求めた画素数がそれぞれ予め設定した所定の画
素数よりもどちらも少ない場合には、判定部６Ｅは検査
対象となった水晶板２には傷がなく、良品である判定す
るようにしている。

【０００９】また、判定部６Ｅは、検査対象領域（図２
の有効領域２’）について、もう一方のしきい値Ｍ２よ
りも輝度の大きい画素の総画素数を求める。またそれと
同時に、しきい値Ｍ２よりも輝度が大きいもので一塊に
まとまった箇所の画素数も求める。そして、そのように
して求めた画素数がそれぞれ予め設定した所定の画素数
よりもどちらか一方でも多い場合には、検査対象となる
水晶板２の表面にしみがあり不良品であると判定するよ
うにしている。これに対して、検査対象領域におけるそ
の求めた画素数が、それぞれ予め設定した所定画素数よ
りもどちらも少ない場合には、判定部６Ｅは検査対象と
なった水晶板２にはしみがなく良品であると判定するよ
うになっている。さらに、処理装置６は、表示部６Ｆを
備えており、上記判定部６Ｅによる判定結果は、この表
示部６Ｆに表示されるようになっている。

【００１０】しかして、本実施例は、上記画像処理部６
Ｃによって上記第１ヒストグラムを作成した後に、輝度
に関するコントラストとブライトネスのパラメータの設
定を変更した後、再度、ＣＣＤカメラ４によって水晶板
２を撮影するようにしたものである。すなわち、画像処
理部６Ｃは、上記図３に示す第１ヒストグラムを作成し
た後に、この第１ヒストグラムにおける極小輝度Ｓの輝
度が０となり、かつ第１ヒストグラムの極大輝度Ｌの輝
度が２５５となるように、輝度に関するコントラストと
ブライトネスのパラメータの設定を変更する。例えば、
当初は輝度に関するコントラストとブライトネスのパラ
メータを０．５：０．５としていたものを、０．９：
０．７となるように変更する。そして、このように画像
処理部６Ｃが輝度に関するコントラストとブライトネス
のパラメータの設定を変更したら、その後、再度ＣＣＤ
カメラ４で水晶板２を撮影する。このＣＣＤカメラ４に
よって撮影された画像は、処理装置６のＡ／Ｄ変換器６
Ａによってアナログ信号からデジタル信号に変換されて
取り込み部６Ｂに取り込まれる。そして、取り込み部６
Ｂに取り込まれた画像は、画像処理部６Ｃに読み込ま
れ、画像処理部６Ｃは、読み込んだ画像データに基づい
て０から２５５の２５６階調の輝度として表現した第２
ヒストグラムを作成するようにしている（図５参照）。

【００１１】上述したように、ＣＣＤカメラ４による水
晶板２の再度の撮影前に、画像処理部６Ｃは輝度に関す
るコントラストとブライトネスのパラメータの設定を変
更してある。そのため、この図５に示した第２ヒストグ
ラムにおいては、上記図３の第１ヒストグラムにおける
最頻値Ｍａｘの前後の極小輝度Ｓから極大輝度Ｌまでの
範囲の画素数の変化をより詳細に表示することができ
る。つまり、この図５に示した第２ヒストグラムによれ
ば、最頻値Ｍａｘの前後の極小輝度Ｓから極大輝度Ｌま
での画素数の変化をより詳細に表示することができる。
なお、上記第１ヒストグラムと第２ヒストグラムに対応
する画像イメージで比較すると図６と図７のとおりであ
る。つまり、第１ヒストグラムに対応する図６の画像イ
メージを基に水晶板２の良否を判定する場合と、第２ヒ
ストグラムに対応する図７の画像イメージを基に水晶板
２の良否を判定する場合とでは、図７を基に良否を判定
した方が的確に行うことができることは明らかである。
そして、本実施例では、上述のようにして画像処理部６
Ｃが第２ヒストグラムを作成したら、上記しきい値設定
部６Ｄは第の第２ヒストグラムをもとにしきい値Ｍ１、
Ｍ２を設定する。この後、判定部６Ｅは画像取り込み部
６Ｂに取り込んだ画像に対して、そのしきい値Ｍ１、Ｍ
２をもとに画素数の計算を行って水晶板２に傷があるか
否かを判定するとともに、水晶板２にしみがあるか否か
を判定するようにしている。この判定部６Ｅによる判定
結果は６Ｆに表示される。

【００１２】このように、本実施例は、最初に水晶板２
をＣＣＤカメラ４で撮影した後に、輝度に関するコント
ラストとブライトネスのパラメータの設定を変更するよ
うにしてあり、その後にＣＣＤカメラ４によって水晶板
２を再度撮影して画像を取り込み、取り込んだ画像にお
ける第２ヒストグラムを作成してしきい値を設定すると
ともに、取り込んだ画像を基に水晶板３の良否を判定す
るようにしている。図３の第１ヒストグラムと図５の第
２ヒストグラムを比較すれば理解できるように、第２ヒ
ストグラムによれば、最頻値Ｍａｘの前後の極小輝度Ｓ
から極大輝度Ｌにわたる画素数の変動をより詳細に表現
することができる。そのため、上記しきい値Ｍ１、Ｍ２
の設定を的確な輝度に設定することができる。また、図
３に示した第１のヒストグラムに対応する図６の画像イ
メージと図５の第２ヒストグラムに対応する図７の画像
イメージを比較すれば明らかなように、再度取り込んだ
画像に対して、判定部６Ｅによる画素数のカウントをよ
り的確に行うことができる。したがって、従来に比較し
て水晶板２の良否を的確に判定することが可能となる。

【００１３】また、上記実施例は、ＣＣＤカメラ４で水
晶板２を撮影した際に、水晶板２だけでなくその周囲の
背景部分も撮影されることを前提として上述した処理を
行っているが、つぎのような処理を行っても良い。すな
わち、水晶板２の面積は予め定められているので、ＣＣ
Ｄカメラ４によって水晶板２を撮影する際に、その水晶
板２だけが撮影されて背景部分が撮影されないようにし
ても良い。このようにして、ＣＣＤカメラ４で撮影した
水晶板２の画像データを基に図３に対応する第１ヒスト
グラムを作成すれば、図３における背景部分に相当する
部分は表示されないで最頻値Ｍａｘとその前後のブロッ
クの画素数の変化だけが表示された第１ヒストグラムを
得ることができる。このような第１ヒストグラムを得た
ら、その後は上述した実施例と同様に第２ヒストグラム
を作成して上述した実施例と同様の処理を行えばよい。
このような実施例であっても上記実施例と同様の作用効
果を得ることができる。

【００１４】さらに、次のような処理を行っても良い。
すなわち、ＣＣＤカメラ４で水晶板２を撮影した際に、
水晶板２の画像データを基に水晶板２における有効領域
２’に外接する正方形を想定し、その想定した正方形の
内部領域だけのヒストグラムを作成しても良い。このよ
うにすれば、図３における背景部分に相当する部分は表
示されないで最頻値Ｍａｘとその前後のブロックの画素
数の変化だけが表示された第１ヒストグラムを得ること
ができる。このような第１ヒストグラムを得たら、その
後は上述した第１実施例と同様に第２ヒストグラムを作
成して上述した実施例と同様の処理を行えばよい。この
ような実施例であっても上記実施例と同様の作用効果を
得ることができる。また、上記実施例においては、上記
図３の第１ヒストグラムにおける最頻値Ｍａｘのある画
素数のブロックを水晶板２の領域であるとして、上記最
頻値Ｍａｘをもとに上記第２ヒストグラムを作成してい
る。しかしながら、上記最頻値Ｍａｘの代わりに水晶板
２の領域である輝度の平均値を用いて、上述した処理を
行ってもよい。なお、上記第２ヒストグラムを作成し
て、その第２ヒストグラム上でしきい値Ｍ１、Ｍ２を設
定した後に、この第２ヒストグラム上において、上記し
きい値Ｍ１、Ｍ２を超えた不良領域となる輝度の画素数
をカウントすることによって水晶板２の良否を判定する
ようにしても良い。つまり、しきい値Ｍ１、Ｍ２の設定
および画素数のカウントと良否の判定を第２ヒストグラ
ムをもとに行なっても良い。

【００１５】--------（第２実施例） 上記第１実施例においては、画像処理部６Ｃによって輝
度に関するコントラストとブライトネスのパラメータの
設定を変更しなおしてから再度ＣＣＤカメラ４によって
水晶板２を撮影するようにしている。これに対して、処
理装置６内のＡ／Ｄ変換器６Ａの前に上記ＣＣＤカメラ
４で水晶板２を撮影した画像をほぼそのまま保存するメ
モリを設ければ、ＣＣＤカメラ４での水晶板２の撮影は
１回だけでよい。すなわち、この場合には、最初にＣＣ
Ｄカメラ４で撮影した水晶板２の画像データがメモリに
記憶されＡ／Ｄ変換器６Ａによってデジタル信号に変換
されて取り込み部６Ｂに取り込まれ、水晶板２に関する
デジタル信号が記憶される。次に、画像処理部６Ｃは上
記取り込み部６Ｂから読み込んだ画像データをもとに、
上記図３に示した第１ヒストグラムを作成する。次に、
画像処理部６Ｃは、図３に示す第１ヒストグラムに極小
輝度Ｓの輝度が０となり第１ヒストグラムの極大輝度Ｌ
の輝度が２５５となるように、輝度に関するコントラス
トとブライトネスのパラメータの設定を変更する。この
後、メモリに記憶した画像データは再度Ａ／Ｄ変換器６
Ａによりアナログ信号からデジタル信号に変換されて取
り込み部６Ｂに取り込まれ、取り込み部６Ｂに取り込ま
れた画像データを画像処理部６Ｃが読み込み、画像処理
部６Ｃは、図５に示す第２ヒストグラムを作成する。

【００１６】そして、この後は、上記第１実施例と同様
に、図５の第２ヒストグラムにおいてしきい値設定部６
Ｄがしいき値Ｍ１、Ｍ２の設定を行い、次に、取り込み
部６Ｂに取り込まれた画像データを基に上記しきい値Ｍ
１、Ｍ２で判定部６Ｅによって水晶板２に傷があるか否
か及びしみがあるか否かを判定するようにしている。こ
の判定部６Ｅによる判定結果は、表示部６Ｆに表示され
る。この第２実施例においては、Ａ／Ｄ変換器６Ａより
前に画像データを記憶するメモリを設けているので、Ｃ
ＣＤカメラ４による水晶板２の撮影は１回行うだけでよ
い。このような第２実施例においても、上述した第１実
施例と同様に、水晶板２の良否を的確に判定することが
できる。そして、この第２実施例では水晶板２の撮影は
１回だけでよいので、上記第１実施例に比較して水晶板
２の良否判定に要する時間を短縮することができる。な
お、上記各実施例においては、第１ヒストグラムにおけ
る輝度の階調数と第２ヒストグラムにおける輝度の階調
数を同一にしていたが、第２ヒストグラムにおける輝度
の階調数を第１ヒストグラムにおける輝度の階調数と異
ならせても良い。要は、第２ヒストグラムを作成した際
に輝度の違いに応じた画素数の変化をより的確に把握で
きれば良く、すなわち第１ヒストグラムに比較して第２
ヒストグラムにおける１階調当りの輝度を小さくしても
よい。また、上記各実施例によれば、水晶板２の表面の
割れや欠け、コートずれなどの有無を検査することも可
能である。さらに、上記各実施例は本発明を水晶板２の
表面検査装置に用いた場合を説明したが、反射光の他に
透過光を用いて水晶板２の内部の傷や空洞の有無を検査
する検査に用いても良い。さらに、水晶板だけではな
く、ガラス、金属、鏡面体などの表面検査装置としても
本発明を用いることができる。

【００１７】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、従来に
比較して物品の良否を的確に判定することができるとい
う効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す概略の構成図。

【図２】水晶板を示す平面図。

【図３】図１に示した画像処理部６Ｃによって作成した
第１ヒストグラムを示す図。

【図４】ヒストグラム上で表示される良品、不良品の区
別を示す図。

【図５】第２ヒストグラムを示す図。

【図６】第１ヒストグラムに対応する水晶板２の画像イ
メージ。

【図７】第２ヒストグラムに対応する水晶板２の画像イ
メージ。

【符号の説明】

１…物品検査装置 ２…水晶板（物品） ４…ＣＣＤカメラ（撮影手段） ５…光源 ６…処理装置 ６Ｄ…しきい値設定部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB02 CA04 CB01 DA08 EA11 EA16 EB01 EC02 EC03 5B057 AA01 BA02 DA03 DB02 DB09 DC23 DC36 5C082 AA01 AA11 AA27 BA16 BA35 CB05 MM01 MM10

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象となる物品を撮影手段で撮影
   し、この撮影手段で撮影した物品の画像をもとに最小輝
   度から最大輝度まで所定数の階調における輝度の違いに
   応じた画素数で表現される第１ヒストグラムを作成し、 上記第１ヒストグラムにおける物品領域の最頻値または
   平均値となる輝度の前後における極小輝度及び極大輝度
   を求めて、 これら極小輝度から極大輝度となった範囲の輝度を所定
   数の階調とする輝度の違いに応じた画素数で表現される
   第２ヒストグラムを作成し、 上記第２ヒストグラムにおける輝度の違いに応じた画素
   数の変化を基にしきい値を求めて、このしきい値により
   物品の良否を判定することを特徴とする物品検査方法。
2. 【請求項２】 上記第１ヒストグラムにおける極小輝度
   および極大輝度を求めた後に、これら極小輝度から極大
   輝度となった範囲の輝度を上記所定の階調の輝度の違い
   として認識できるようにした後に、上記撮影手段によっ
   て上記物品を再度撮影し、 この撮影手段で撮影した物品の画像をもとに輝度の違い
   に応じた画素数で表現される上記第２ヒストグラムを作
   成することを特徴とする請求項１に記載の物品検査方
   法。
3. 【請求項３】 上記第２ヒストグラムにおける輝度の違
   いに応じた画素数の変化を基に特定の輝度をしきい値と
   して設定し、このしきい値を超えた不良領域の輝度に応
   じた画素数を求めて、該画素数を基に物品の良否を判定
   することを特徴とする請求項１及び請求項２に記載の物
   品検査方法。
4. 【請求項４】 上記検査対象となる物品は、水晶板ある
   いはガラス製品であることを特徴とする請求項１から請
   求項３のそれぞれに記載の物品検査方法。