JP2002305894A - Mover system - Google Patents
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- JP2002305894A JP2002305894A JP2001101179A JP2001101179A JP2002305894A JP 2002305894 A JP2002305894 A JP 2002305894A JP 2001101179 A JP2001101179 A JP 2001101179A JP 2001101179 A JP2001101179 A JP 2001101179A JP 2002305894 A JP2002305894 A JP 2002305894A
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、移動体を所定の経
路に沿って移動させる移動体システムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a moving body system for moving a moving body along a predetermined route.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、半導体工場などにおいては、
半導体部品を搬送したり、作業ロボットを移動させる移
動体システムが用いられている。このような移動体シス
テムしては、リニアモータ方式やボールスクリュー方式
などがある。リニアモータを利用した方式は、ほこり等
の発生が少なくクリーンであり、また静粛性にも優れて
いおり、さらに移動体の位置決め精度も高いといった利
点がある。この他にも、１つの軌道上に複数の移動体を
配置するが可能であるといった利点や、摩耗部分が少な
く耐久性に優れるといった利点など様々な利点がある。
したがって、半導体製造装置（特にステッパーや露光機
等）においては、リニアモータ方式の移動体システムが
広く用いられるようになっている。2. Description of the Related Art Conventionally, in semiconductor factories and the like,
2. Description of the Related Art A mobile body system that transports semiconductor parts and moves a work robot is used. Examples of such a moving body system include a linear motor system and a ball screw system. The method using the linear motor has advantages that it is clean with little generation of dust and the like, is excellent in quietness, and has high positioning accuracy of the moving body. In addition to this, there are various advantages such as an advantage that a plurality of moving bodies can be arranged on one track and an advantage that the wear portion is small and the durability is excellent.
Therefore, in a semiconductor manufacturing apparatus (particularly, a stepper, an exposure machine, and the like), a linear motor type moving body system has been widely used.
【０００３】ここで、図１５に従来のリニアモータ方式
を用いた移動体システムの構成を示す。同図に示すよう
に、このシステムでは、移動体３は、図の紙面垂直方向
に敷設された断面コ字状の軌道レール構造体１に沿って
直線ガイド部２により移動可能に案内支持されている。
移動体３は、コア４と、コア４に券回されるコイル５
と、コア４を支持する支持部材９とを備える磁界発生機
構８を備えている。この磁界発生機構８では、コイル５
に電流を供給することにより、軌道レール構造体１にお
けるコア４と対向する位置に配置された二次側コア６と
の間に磁界を発生し、これにより推力を発生して移動体
３を移動させる。FIG. 15 shows a configuration of a moving body system using a conventional linear motor system. As shown in the figure, in this system, a moving body 3 is movably guided and supported by a linear guide section 2 along a track rail structure 1 having a U-shaped cross section laid in a direction perpendicular to the plane of the drawing. I have.
The moving body 3 includes a core 4 and a coil 5 wound around the core 4.
And a support member 9 for supporting the core 4. In this magnetic field generating mechanism 8, the coil 5
, A magnetic field is generated between the core 4 of the track rail structure 1 and the secondary core 6 disposed at a position facing the core 4, thereby generating a thrust and moving the moving body 3. Let it.
【０００４】このような移動体３には、上述した推力を
発生する磁界発生機構８に加え、半導体部品を吸着する
する部品吸着ヘッドなどが搭載される搭載部７が設けら
れている。ここで、搭載部７と上記磁界発生機構８の支
持部材９とがボルト１０により固定されている。従っ
て、搭載部７に実装ヘッド等を搭載すれば、この部品吸
着ヘッドを軌道レール構造体１中の任意の位置に移動さ
せることができるようになっている。[0004] In addition to the above-described magnetic field generating mechanism 8 for generating thrust, the moving body 3 is provided with a mounting section 7 on which a component suction head for sucking semiconductor components and the like are mounted. Here, the mounting portion 7 and the support member 9 of the magnetic field generating mechanism 8 are fixed by bolts 10. Therefore, if a mounting head or the like is mounted on the mounting section 7, this component suction head can be moved to an arbitrary position in the track rail structure 1.
【０００５】ところで、移動体システムにおいては、上
述した移動体３に搭載したロボットなどをある直線上だ
けでなく、所定範囲内で平面的（Ｘ方向、Ｙ方向）に任
意に移動させるために、図１６に示すようなシステムが
用いられることがある。同図に示すように、このシステ
ムでは、Ｘ軸方向に敷設される軌道レール構造体１およ
び移動体３などを含む上記のリニアモータシステム１６
（図１５参照）自体をボールスクリュー方式でＹ軸方向
に移動できるようにしている。具体的には、リニアモー
タシステム１６をボールスクリュー１５によって駆動さ
れる架台に固定し、ボールスクリュー１５をモータ１７
で駆動することにより、リニアモータシステム１６全体
をＹ軸方向に移動させることができるようになってい
る。このシステムによれば、ボールスクリュー１５およ
びリニアモータの両者の駆動を制御することにより、移
動体３をＸＹ平面の任意の位置に移動させることができ
る。In the mobile system, the robot mounted on the mobile body 3 is moved not only on a certain straight line but also arbitrarily in a predetermined range in a plane (X direction, Y direction). A system as shown in FIG. 16 may be used. As shown in the figure, in this system, the linear motor system 16 including the track rail structure 1 and the moving body 3 laid in the X-axis direction is used.
(Refer to FIG. 15) The ball screw itself can be moved in the Y-axis direction. Specifically, the linear motor system 16 is fixed to a mount driven by the ball screw 15 and the ball screw 15 is
, The entire linear motor system 16 can be moved in the Y-axis direction. According to this system, the moving body 3 can be moved to an arbitrary position on the XY plane by controlling the driving of both the ball screw 15 and the linear motor.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、リニアモー
タ方式の移動体システムは、上述したような様々な利点
を有しているものの、動作時の発熱量がボールスクリュ
ー方式等と比較して大きい。また、リニアモータ方式の
移動体システムは、主な発熱源が移動体３である、すな
わち発熱源が移動する構成である。したがって、リニア
モータ方式の移動体システムは、発熱によってその性能
が劣化する等の影響を受けやすく、現状のリニアモータ
方式の移動体システムでは、水冷等の冷却方式によって
発熱による影響を低減している。The linear motor type moving body system has various advantages as described above, but generates a large amount of heat during operation as compared with the ball screw type. Further, the moving body system of the linear motor system has a structure in which the main heat source is the moving body 3, that is, the heat source moves. Therefore, the moving body system of the linear motor system is easily affected by deterioration of its performance due to heat generation. In the current moving body system of the linear motor system, the influence of heat generation is reduced by a cooling method such as water cooling. .
【０００７】しかしながら、半導体製造装置におけるチ
ップ実装装置では、上記のような水冷方式の冷却を行う
ことができず、発熱による温度上昇に伴って移動体シス
テムを構成する部材が変形し、システムとしての精度が
低下してしまうといった問題が生じる。However, in a chip mounting apparatus in a semiconductor manufacturing apparatus, the above-described water-cooling type cooling cannot be performed, and members constituting the moving body system are deformed as the temperature rises due to heat generation. There is a problem that the accuracy is reduced.
【０００８】特に、上記のような移動体システムでは、
軌道レール構造体１や直線ガイド部２といった複複雑な
形状の部材が複数組み合わされて構成されており、また
主な発熱源である磁界発生機構８や直線ガイド部２と移
動体３の摺動部分がこの構造体の中立軸からずれた位置
にある。このため、バイメタル効果によって図１７に示
すようにＸ軸方向に移動体３を案内する軌道レール構造
体１が湾曲してしまい、移動体３のＹ軸方向の位置がず
れてしまうといった位置精度不良を招くことになる。例
えば、チップ実装装置に当該移動体システムを適用した
場合には、Ｘ軸方向の軌道レール構造体１が１．５ｍ程
度の長さであり、このような長さの軌道レール構造体１
がバイメタル効果によって湾曲して移動体３がＹ軸方向
に０．１ｍｍ程度ずれてしまうこともある。移動体シス
テムをチップ実装装置等を移動させるために使用する場
合等には、上記のような位置ずれはきわめて大きな問題
となる。[0008] In particular, in the mobile system as described above,
It is constituted by combining a plurality of members of complex shapes such as the track rail structure 1 and the linear guide 2, and slides the moving body 3 with the magnetic field generating mechanism 8 and the linear guide 2, which are main heat sources. The portion is offset from the neutral axis of the structure. As a result, the track rail structure 1 that guides the moving body 3 in the X-axis direction is curved as shown in FIG. 17 due to the bimetal effect, and the position of the moving body 3 in the Y-axis direction is deviated. Will be invited. For example, when the moving body system is applied to a chip mounting device, the track rail structure 1 in the X-axis direction has a length of about 1.5 m, and the track rail structure 1 having such a length is used.
However, the moving body 3 may be displaced by about 0.1 mm in the Y-axis direction due to bending due to the bimetal effect. When the mobile system is used to move a chip mounting device or the like, the above-described positional shift becomes a very serious problem.
【０００９】ここで、バイメタル効果は、以下のような
要因で発生することになる。 （１）構造体の形状が複雑であり、温度分布が不均一と
なる。 （２）構造体を構成する部材の熱膨張係数が異なってい
る。 （３）冷却条件等によって構造体の温度分布が不均一で
ある。 （４）中立軸上に発熱源がない。Here, the bimetal effect occurs due to the following factors. (1) The shape of the structure is complicated, and the temperature distribution becomes non-uniform. (2) The members constituting the structure have different thermal expansion coefficients. (3) The temperature distribution of the structure is not uniform due to cooling conditions and the like. (4) There is no heat source on the neutral axis.
【００１０】したがって、上記のような要因がない構造
の移動体システムを設計すれば、発熱によるバイメタル
効果を抑制することができ、上記の位置精度不良といっ
た問題を低減することができるが、そのシステムの構造
上、上記の各要因を含まない構造の移動体システムを設
計するのは実質的に困難である。Therefore, if a moving body system having a structure free from the above factors is designed, the bimetal effect due to heat generation can be suppressed, and the above problem of poor position accuracy can be reduced. Due to the above structure, it is substantially difficult to design a mobile system having a structure that does not include the above factors.
【００１１】また、上記のようなリニアモータ方式以外
の方式の移動体システムであっても、発熱に伴うバイメ
タル効果によって上記のリニアモータ方式と同様に位置
精度不良が生じる虞もある。また、発熱に起因するもの
に限らず、移動体３が搭載する重量負荷変動や移動体３
の位置変動によって構造体の変形が生じ、位置精度不良
を招くこともあり得る。[0011] Further, even in the case of a moving body system other than the above-mentioned linear motor system, there is a possibility that poor positional accuracy may occur as in the above-described linear motor system due to a bimetal effect accompanying heat generation. Further, the present invention is not limited to the one caused by the heat generation.
The positional change may cause deformation of the structure, which may cause poor positional accuracy.
【００１２】本発明は、上記の事情を考慮してなされた
ものであり、優れた位置決め精度で移動体を移動させる
ことが可能な移動体システムを提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a moving body system capable of moving a moving body with excellent positioning accuracy.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る移動体システムは、所定の経路に沿っ
て敷設される経路構造体と、前記経路構造体によって案
内され、前記経路構造体に沿って移動可能に設けられる
移動体とを備えた移動体システムであって、前記経路構
造体の変形状態を検出する変形検出手段と、前記経路構
造体に対して加熱もしくは吸熱する加熱／吸熱手段と、
前記変形検出手段の検出結果に基づいて、前記加熱／吸
熱手段を制御する熱量制御手段とを具備することを特徴
としている。In order to solve the above-mentioned problems, a mobile body system according to the present invention comprises a route structure laid along a predetermined route, and a route structure guided by the route structure. What is claimed is: 1. A moving body system comprising a moving body movably provided along a body, comprising: a deformation detecting unit configured to detect a deformation state of the path structure; Heat absorbing means;
And a calorie control means for controlling the heating / heat absorbing means based on a detection result of the deformation detecting means.
【００１４】この構成によれば、移動体を案内する経路
構造体が何らかの要因によって変形した場合にも、その
変形状態が変形検出手段によって検出され、この検出結
果に応じて加熱／吸熱手段が経路構造体に対して加熱も
しくは吸熱が行われる。したがって、例えば、経路構造
体が膨張している場合には、その部分から吸熱して膨張
を抑制し、経路構造体が縮んでいる場合にはその部分に
加熱して膨張させるといったことが可能となり、これに
より移動体の位置決め精度に大きな影響を及ぼす経路構
造体の変形を抑制することができる。According to this configuration, even when the route structure for guiding the moving body is deformed by some factor, the deformation state is detected by the deformation detecting means, and the heating / heat absorbing means is switched according to the detection result. The structure is heated or absorbed. Therefore, for example, when the path structure is expanded, it is possible to absorb heat from that part to suppress expansion, and when the path structure is contracted, it is possible to heat and expand that part. Accordingly, it is possible to suppress the deformation of the path structure that greatly affects the positioning accuracy of the moving body.
【００１５】また、本発明の別態様に係る移動体システ
ムは、第１の直線経路に沿って敷設される経路構造体
と、前記経路構造体によって案内され、前記経路構造体
に沿って移動可能に設けられる移動体を有する第１移動
体機構と、前記第１の移動体機構を前記第１の直線経路
と直交する方向に移動させる第２の移動体機構とを備え
る移動体システムであって、前記経路構造体の変形状態
を検出する変形検出手段と、前記経路構造体に対して加
熱もしくは吸熱する加熱／吸熱手段と、前記変形検出手
段の検出結果に基づいて、前記加熱／吸熱手段を制御す
る熱量制御手段とを具備することを特徴としている。Further, a mobile system according to another aspect of the present invention is a route structure laid along a first linear route, and is guided by the route structure and is movable along the route structure. A moving body system comprising: a first moving body mechanism having a moving body provided in the first moving body mechanism; and a second moving body mechanism moving the first moving body mechanism in a direction orthogonal to the first linear path. A deformation detecting means for detecting a deformation state of the path structure; a heating / heat absorbing means for heating or absorbing heat to the path structure; and a heating / heat absorbing means based on a detection result of the deformation detecting means. And a control unit for controlling the amount of heat.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。 Ａ．実施形態 まず、図１は本発明の一実施形態に係る移動体システム
の主要部の外観を示す斜視図である。同図に示すよう
に、この移動体システムは、Ｘ軸方向に伸びる直線状に
敷設された軌道レール構造体（経路構造体）３０と、軌
道レール構造体３０に沿って移動可能に設けられる移動
体３１とを有する第１移動体機構３２と、第１移動体機
構３２をＸ軸と直交するＹ軸方向に移動させる第２移動
体機構３３とを備えている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A. Embodiment First, FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a main part of a mobile system according to an embodiment of the present invention. As shown in the figure, this moving body system includes a track rail structure (path structure) 30 laid in a straight line extending in the X-axis direction, and a movement provided movably along the track rail structure 30. A first moving body mechanism 32 having a body 31 and a second moving body mechanism 33 for moving the first moving body mechanism 32 in a Y axis direction orthogonal to the X axis are provided.
【００１７】第２移動体機構３３は、Ｘ軸方向に伸びる
軌道レール構造体３０の両端側に固定される移動架台３
３０，３４０を有しており、当該移動架台３３０，３４
０は各々Ｙ軸方向に直線状に敷設された軌道レール３３
１，３４１に沿って移動可能になされている。これによ
り、軌道レール構造体３０はＸ軸方向に延在した状態を
維持したまま移動架台３３０，３４０の移動に伴ってＹ
軸方向に移動させられるようになっている。The second moving body mechanism 33 includes a movable gantry 3 fixed to both ends of a track rail structure 30 extending in the X-axis direction.
30 and 340, and the movable frames 330 and 34
0 is a track rail 33 laid linearly in the Y-axis direction.
1,341. As a result, the track rail structure 30 is maintained in a state of extending in the X-axis direction, and the track rail structure 30 is moved along with the movement of the movable frames 330 and 340.
It can be moved in the axial direction.
【００１８】この移動体システムでは、ある座標位置
（Ｘ１，Ｙ１）に移動体３１を移動させる場合には、Ｙ
軸方向の位置情報（Ｙ１）に示される位置に、第２移動
体機構３３の移動架台３３０，３４０を軌道レール３３
１，３４１に沿って移動させる。このように第２移動体
機構３３によってＹ軸方向の位置決めが行われるととも
に、第１移動体機構３２は、Ｘ軸方向の位置情報（Ｘ
１）に示される位置に移動体３１を移動させる。このよ
うにして第１移動体機構３２および移動体３１を、目標
位置のＸ座標およびＹ座標にしたがって制御することに
より、移動体３１をＸＹ平面内の任意の位置に移動させ
ることができるようになっている。In this moving body system, when moving the moving body 31 to a certain coordinate position (X1, Y1), Y
The movable frames 330 and 340 of the second movable body mechanism 33 are moved to the positions indicated by the axial position information (Y1).
1,341. As described above, the positioning in the Y-axis direction is performed by the second moving body mechanism 33, and the first moving body mechanism 32 performs position information (X
The moving body 31 is moved to the position shown in 1). By controlling the first moving body mechanism 32 and the moving body 31 in accordance with the X and Y coordinates of the target position in this manner, the moving body 31 can be moved to an arbitrary position in the XY plane. Has become.
【００１９】次に、第１移動体機構３２の詳細について
図２および図３を参照しながら説明する。図２に示すよ
うに、この移動体システムは、所定の軌道に沿って敷設
された軌道レール構造体３０に沿って移動体２１が移動
可能になされている。図３に示すように、軌道レール構
造体３０は、側方が開放した断面コ字状の部材であり、
その上下の内側面に沿って二次側コア２２が設けられて
いる。また、軌道レール構造体３０の上下両端部２０ａ
には、それぞれリニアガイド２３が設けられており、こ
のリニアガイド２３に移動体３１が摺動可能に支持され
ている。これにより、移動体３１は軌道レール構造体３
０に沿って移動することができるようになっている。Next, details of the first moving body mechanism 32 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 2, in this moving body system, a moving body 21 is movable along a track rail structure 30 laid along a predetermined track. As shown in FIG. 3, the track rail structure 30 is a member having a U-shaped cross section open on the side,
A secondary core 22 is provided along the upper and lower inner surfaces. The upper and lower ends 20a of the track rail structure 30
, A linear guide 23 is provided, and the moving body 31 is slidably supported by the linear guide 23. As a result, the moving body 31 becomes the track rail structure 3
It can move along zero.
【００２０】移動体３１は、箱状の軌道レール構造体３
０の内部に配置され、上記二次側コア２２とともに磁界
を発生してこの移動体３１に推力を付与する磁界発生機
構２４と、磁界発生機構２４の側方に配置され、半導体
部品実装ヘッドなど所定の作業を実行する機器などを搭
載する作業用保持部材２５と、磁界発生機構２４とを備
えている。The moving body 31 is a box-shaped track rail structure 3
0, and a magnetic field generating mechanism 24 that generates a magnetic field together with the secondary core 22 to apply a thrust to the moving body 31, and is disposed beside the magnetic field generating mechanism 24 and includes a semiconductor component mounting head and the like. A work holding member 25 on which a device for performing a predetermined work is mounted and a magnetic field generating mechanism 24 are provided.
【００２１】磁界発生機構２４は、上述した軌道レール
構造体３０に沿って設けられる各二次側コア２２に対向
する位置に設けられる一次側コア２７と、各一次側コア
２７に券回されるコイル２８と、一次側コア２７および
これに券回されるコイル２８を支持する支持部材２９と
を備えている。ここで、図４を参照しながら、磁界発生
機構２４と軌道レール構造体３０に設けられた二次側コ
ア２２とによる移動体３１の具体的な駆動構成例につい
て説明する。本実施形態では、二次側コア２２と、一次
側コア２７およびコイル２８とは、支持部材２９を挟ん
で２組設けられているが、両者は同一の原理で動作する
ため、一方のみを図示してその動作原理について説明す
る。The magnetic field generating mechanism 24 includes a primary core 27 provided at a position facing each of the secondary cores 22 provided along the above-mentioned track rail structure 30, and is wound around each of the primary cores 27. A coil 28 and a support member 29 that supports the primary side core 27 and the coil 28 wound around the primary side core 27 are provided. Here, a specific driving configuration example of the moving body 31 by the magnetic field generating mechanism 24 and the secondary core 22 provided in the track rail structure 30 will be described with reference to FIG. In the present embodiment, the secondary core 22, the primary core 27, and the coil 28 are provided in two sets with the support member 29 interposed therebetween. However, since both operate on the same principle, only one of them is illustrated. The operation principle will be described below.
【００２２】図４に示すように、軌道レール構造体３０
に設けられた二次側コア２２の一次側コア２７と対向す
る面には、歯部２２ａが長手方向に沿って等間隔に形成
されている。移動体３１の一次側コア５７は、コ字状の
Ａ相鉄心７０およびＢ相鉄心７１と、Ａ相鉄心７０のＡ
相磁極７０ａおよび相磁極７０ｂに券回されるコイル２
８ａ，２８ｂと、Ｂ相鉄心７１のＢ相磁極７１ａおよび
相磁極７１ｂに券回されるコイル２８ｃ，２８ｄと、Ａ
相鉄心７０およびＢ相鉄心７１の二次側コア５２と反対
側の面に設けられた永久磁石７２，７３と、永久磁石７
２，７３に取り付けられた板状の磁性体によって構成さ
れるバックプレート７４とから構成されている。Ａ相磁
極７０ａの二次側コア２２と対向する面には、歯部２２
ａのピッチＰと同一ピッチで３個の極歯７５ａが形成さ
れており、その他の磁極７０ｂ，７１ａ，７１ｂにも同
様に３個の極歯７６ｂ，７７ａ，７７ｂが形成されてい
る。また、各磁極７０ｂ，７１ａ，７１ｂはＡ相磁極７
０ａに対して順次Ｐ／４ずつずらして配置され、これに
より各磁極７０ｂ，７１ａ，７１ｂは互いに位相が９０
°ずつ異なった位置関係となっている。このような構成
の下、コイル２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄに一相励
磁方式等によりパルス信号を供給することにより、コイ
ル２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄに順次発生する磁束
と、永久磁石７２，７３が発生する磁束とが各磁極７０
ａ，７０ｂ，７１ａ，７１ｂにおいて順次加減され、二
次側コア２２に対する移動体３１の磁気的安定位置が順
次移動し、これにより移動体３１が二次側コア２２に沿
った方向、つまり軌道レール構造体３０に沿って移動さ
せられる。これは、一般的なリニアパルスモータの構成
であるが、この他にも、例えば特開平３−１２４２５９
号公報に記載されたリニアパルスモータ方式などを用い
るようにしてもよい。As shown in FIG. 4, the track rail structure 30
The teeth 22a are formed at regular intervals along the longitudinal direction on the surface of the secondary core 22 provided on the side facing the primary core 27. The primary core 57 of the moving body 31 includes a U-shaped A-phase iron core 70 and a B-phase iron core 71, and an A-phase iron core 70
Coil 2 wound around phase magnetic pole 70a and phase magnetic pole 70b
8a and 28b, coils 28c and 28d wound around the B-phase magnetic pole 71a and the phase magnetic pole 71b of the B-phase iron core 71, and A
Permanent magnets 72 and 73 provided on the surface of the phase core 70 and the phase B core 71 opposite to the secondary core 52;
And a back plate 74 made of a plate-like magnetic material attached to the first and second magnetic plates 73. The surface of the A-phase magnetic pole 70a facing the secondary core 22 has
Three pole teeth 75a are formed at the same pitch as the pitch P of a, and three pole teeth 76b, 77a, 77b are similarly formed on the other magnetic poles 70b, 71a, 71b. Further, each magnetic pole 70b, 71a, 71b is an A-phase magnetic pole 7
0a, the magnetic poles 70b, 71a, 71b are mutually shifted in phase by 90%.
The positions are different by degrees. In such a configuration, by supplying a pulse signal to the coils 28a, 28b, 28c, 28d by a one-phase excitation method or the like, the magnetic flux sequentially generated in the coils 28a, 28b, 28c, 28d and the permanent magnets 72, 73 The magnetic flux generated by each magnetic pole 70
a, 70b, 71a, 71b, the magnetically stable position of the moving body 31 with respect to the secondary core 22 sequentially moves. It is moved along the structure 30. This is a general configuration of a linear pulse motor.
For example, a linear pulse motor system described in Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. H10-208 may be used.
【００２３】図３に戻り、作業用保持部材２５は、略板
状の部材であり、その図の左右両端側において上述した
リニアガイド２３に支持されている。また、作業用保持
部材２５の磁界発生機構２４と反対側の面（図３の右側
面）には、所定の作業を実行するための装置等が取り付
けられている。例えば、半導体部品実装作業を実行する
場合には、半導体部品実装ヘッドや半導体部品搬送用ロ
ボットなどが搭載され、単に半導体部品を搬送する作業
を実行する場合には、半導体部品等を収容するラックな
どが搭載されることになる。なお、作業用保持部材２５
が搭載する作業用機器としては、上述した半導体製造に
関わるものに限定されるものではなく、他の用途に用い
られるロボット等であってもよい。Returning to FIG. 3, the work holding member 25 is a substantially plate-shaped member, and is supported by the above-described linear guide 23 on both left and right ends of the drawing. Further, a device or the like for performing a predetermined operation is attached to a surface of the operation holding member 25 opposite to the magnetic field generating mechanism 24 (the right side surface in FIG. 3). For example, when performing a semiconductor component mounting operation, a semiconductor component mounting head, a robot for transporting semiconductor components, etc. are mounted. Will be installed. The work holding member 25
The work equipment to be mounted is not limited to those related to the semiconductor manufacturing described above, and may be a robot or the like used for other purposes.
【００２４】作業用保持部材２５は、磁界発生機構２４
の支持部材２９とがボルト２９ａによって結合されてい
る。これにより、作業用保持部材２５およびこれに搭載
されるロボットや実装装置などは、軌道レール構造体３
０上の任意の位置に移動することができるようになって
いる。The work holding member 25 includes a magnetic field generating mechanism 24.
And the supporting member 29 are connected by bolts 29a. As a result, the work holding member 25 and the robots and mounting devices mounted on the work holding member 25 can be mounted on the track rail structure 3.
It is possible to move to any position on zero.
【００２５】以上がリニアモータ方式によって駆動され
る第１移動体機構３２の駆動に関わる構成である。第２
移動体機構３３も上述した第１移動体機構３２と同様の
駆動構成によって軌道レール構造体３０の両端を支持す
る移動架台３３０，３４０をＹ軸方向に駆動できるよう
になっているため、第２移動体機構３３についての詳細
な説明は割愛する。The above is the configuration relating to the driving of the first moving body mechanism 32 driven by the linear motor system. Second
The movable body mechanism 33 can also drive the movable frames 330 and 340 that support both ends of the track rail structure 30 in the Y-axis direction by the same driving configuration as the first movable body mechanism 32 described above. The detailed description of the moving body mechanism 33 is omitted.
【００２６】第１移動体機構３２は、磁界発生機構２４
の発生する磁界によって移動体３１を軌道レール構造体
３０に沿って移動させることができるが、移動体３１を
移動させると、磁界発生機構２４による発熱（銅損、鉄
損等による発熱）や、リニアガイド２３と移動体３１と
の間の摩擦による発熱が生じてしまう。このような発熱
に伴うバイメタル効果によって軌道レール構造体３０が
湾曲等すると、移動体３１の位置精度の悪化を招くこと
になるが、本実施形態に係る移動体システムは、このよ
うな位置精度の悪化を低減するための構成を有してお
り、以下当該構成について詳細に説明する。The first moving body mechanism 32 includes the magnetic field generating mechanism 24
The moving body 31 can be moved along the track rail structure 30 by the magnetic field generated by the magnetic field. However, when the moving body 31 is moved, heat generated by the magnetic field generating mechanism 24 (heat generated by copper loss, iron loss, etc.), Heat is generated due to friction between the linear guide 23 and the moving body 31. If the track rail structure 30 is curved or the like by the bimetal effect due to such heat generation, the positional accuracy of the moving body 31 will be deteriorated. However, the moving body system according to the present embodiment has such a positional accuracy. It has a configuration for reducing deterioration, and the configuration will be described in detail below.
【００２７】図５に示すように、第１移動体機構３２に
おける熱の発生源は主に磁界発生機構２４や、リニアガ
イド２３と移動体３１との摺動部分であり、発生した熱
は図中矢印で示すように、支持部材２９→作業用保持部
材２５→リニアガイド２３→軌道レール構造体３０の両
端部２０ａといった順序で伝達され、この伝達経路に伝
達されている間に作業用保持部材２５や軌道レール構造
体３０といった部分で発散されることになる。すなわ
ち、図５に示す右側の部分である移動体３１側の部分に
伝達される熱量が多く、伝達される途中の発散により図
の左側部分である軌道レール構造体３０の側面部３０ｃ
に伝達される熱量が少ない。したがって、図５に示す右
側部分の熱による膨張が、図の左側の部分の膨張より大
きく、その結果、軌道レール構造体３０は湾曲してしま
うことになる（図１７参照）。ここで、図中一点鎖線
は、このような熱変形が生じた場合に、変形が生じない
部分である中立軸を示す。このようなバイメタル効果に
よる軌道レール構造体３０の変形は、磁界発生機構２４
による発熱に起因するものは比較的長い時間をかけて変
形するのに対し、リニアガイド２３と移動体３１との摺
動摩擦によって生じる熱による変形は熱時定数が小さ
く、短時間で変形してしまうことになり、位置精度の悪
化に大きな影響を及ぼすことになるが、本実施形態では
以下のようにしてバイメタル効果による熱変形に起因す
る位置精度の悪化を抑制している。As shown in FIG. 5, the sources of heat in the first moving body mechanism 32 are mainly the magnetic field generating mechanism 24 and the sliding portion between the linear guide 23 and the moving body 31. As shown by the middle arrow, the transmission is performed in the order of the support member 29 → the work holding member 25 → the linear guide 23 → both ends 20 a of the track rail structure 30, and the work holding member is transmitted while being transmitted to this transmission path. It will be diverged at a portion such as 25 or the track rail structure 30. That is, a large amount of heat is transmitted to a portion on the moving body 31 side, which is a right portion shown in FIG. 5, and a side portion 30c of the track rail structure 30, which is a left portion in FIG.
The amount of heat transferred to the unit is small. Therefore, the thermal expansion of the right part shown in FIG. 5 is larger than that of the left part of the figure, and as a result, the track rail structure 30 is curved (see FIG. 17). Here, the alternate long and short dash line in the drawing indicates a neutral axis which is a portion where no deformation occurs when such thermal deformation occurs. The deformation of the track rail structure 30 due to such a bimetal effect is caused by the magnetic field generating mechanism 24.
Deformation due to heat generation due to heat takes a relatively long time, whereas deformation due to heat caused by sliding friction between the linear guide 23 and the moving body 31 has a small thermal time constant and deforms in a short time. This has a great effect on the deterioration of the position accuracy, but in the present embodiment, the deterioration of the position accuracy due to the thermal deformation due to the bimetal effect is suppressed as described below.
【００２８】本実施形態における移動体システムでは、
上述したような軌道レール構造体３０の湾曲を抑制する
ために、図３に示すように、軌道レール構造体３０の側
面部３０ｃの磁界発生機構２４側の面に歪みセンサ５０
を、側面部３０ｃにおける反対側の面にテープ状のヒー
タ５１を取り付けている。ここで、歪みセンサ５０およ
びヒータ５１は各々側面部３０ｃを挟んで対向する位置
に取り付けられており、このように対向配置される歪み
センサ５０およびヒータ５１の組が、軌道レール構造体
３０の延在方向（図３の紙面垂直方向であるＸ軸方向）
の複数箇所に所定の間隔を隔てて取り付けられている。In the mobile system according to the present embodiment,
As shown in FIG. 3, a strain sensor 50 is provided on the surface of the side surface portion 30c of the track rail structure 30 on the magnetic field generating mechanism 24 side to suppress the bending of the track rail structure 30 as described above.
The tape-like heater 51 is attached to the opposite surface of the side surface portion 30c. Here, the strain sensor 50 and the heater 51 are mounted at positions facing each other with the side surface 30c interposed therebetween. Direction (X-axis direction perpendicular to the plane of FIG. 3)
Are attached at predetermined intervals at a plurality of locations.
【００２９】歪みセンサ５０は、側面部３０ｃにおける
当該歪みセンサ５０が取り付けられた部分の歪みを検出
する。歪みセンサ５０としては、金属線の伸張によって
変動する抵抗変化を測定する一般的な歪みゲージを用い
ることができるが、歪みゲージは温度変化による影響を
受けやすい。上述したようにリニアモータ方式の移動体
システムの発熱量は大きいため、温度変化も大きくなる
虞があり、単純に歪みゲージを用いた場合にはその測定
精度が悪化してしまうことも考えられる。そこで、本実
施形態では、図６に示す温度補償機能付きの歪みセンサ
５０を採用している。同図に示すように、この歪みセン
サ５０は、歪み検出用ゲージ５０ａと、温度補償用のダ
ミーゲージ５０ｂと、抵抗Ｒ３，Ｒ４とを備えたホイー
トストーンブリッジ回路であり、歪み検出用ゲージ５０
ａの抵抗（歪み量に応じた値となる）が検出結果として
用いられるようになっている。The strain sensor 50 detects a strain in a portion of the side surface 30c to which the strain sensor 50 is attached. As the strain sensor 50, a general strain gauge that measures a resistance change that fluctuates due to the extension of a metal wire can be used, but the strain gauge is easily affected by a temperature change. As described above, since the heat generation amount of the linear motor type moving body system is large, there is a possibility that the temperature change may be large, and when a strain gauge is simply used, the measurement accuracy may be deteriorated. Therefore, in the present embodiment, the strain sensor 50 with a temperature compensation function shown in FIG. 6 is employed. As shown in the figure, the strain sensor 50 is a Wheatstone bridge circuit including a strain detection gauge 50a, a temperature compensation dummy gauge 50b, and resistors R3 and R4.
The resistance a (a value corresponding to the amount of distortion) is used as a detection result.
【００３０】次に、上述した発熱による軌道レール構造
体３０の湾曲を低減するための制御構成について図７を
参照しながら説明する。同図に示すように、軌道レール
構造体３０の側面部３０ｃの複数箇所に取り付けられた
各ヒータ５１は、熱量制御装置７０から供給される電流
によって発熱するようになっている。熱量制御装置７０
は、軌道レール構造体３０ｃの複数箇所に取り付けられ
た歪みセンサ５０から供給される検出結果に基づいて、
各々の歪みセンサ５０に対応するヒータ５１に供給すべ
き電流値を個別に決定し、決定した値の電流を各々のヒ
ータ５１に供給する。これにより各ヒータ５１は供給さ
れた電流値に応じて発熱し、側面部３０ｃにおける各ヒ
ータ５１が取り付けられた部分の近傍が加熱される。よ
り具体的には、熱量制御装置７０は、各歪みセンサ５０
の検出結果である歪み検出用ゲージ５０ａの抵抗値が予
め設定された値となるように対応するヒータ５１に対し
て電流を供給する。ここで、予め設定された値とは、軌
道レール構造体３０が湾曲しておらず、直線状になって
いる際の歪み検出用ゲージ５０ａによって測定される抵
抗値である。すなわち、歪み検出用ゲージ５０ａの抵抗
値が上記の設定値となるということは、軌道レール構造
体３０が湾曲しておらず、直線状になっている状態であ
る。このように熱量制御装置７０は、上述したように当
該移動体システムの発熱に伴うバイメタル効果によって
縮む部分である中立軸よりも図５の左側の部分をヒータ
５１によって加熱することで熱膨張させる。この際、上
述したように歪みセンサ５０の検出結果が設定値になる
ように、すなわち軌道レール構造体３０が直線状になる
ような値の電流を各ヒータ５１に供給し、側面部３０ｃ
を熱膨張させる。これにより、上記バイメタル効果によ
って湾曲しようとする軌道レール構造体３０を直線状に
維持することができる。Next, a control configuration for reducing the curvature of the track rail structure 30 due to the above-described heat generation will be described with reference to FIG. As shown in the figure, each heater 51 attached to a plurality of portions of the side surface portion 30c of the track rail structure 30 generates heat by a current supplied from the calorific value control device 70. Heat control device 70
Is based on the detection results supplied from the strain sensors 50 attached to a plurality of locations of the track rail structure 30c.
A current value to be supplied to the heater 51 corresponding to each distortion sensor 50 is individually determined, and a current having the determined value is supplied to each heater 51. As a result, each heater 51 generates heat in accordance with the supplied current value, and the vicinity of the portion of the side surface portion 30c where each heater 51 is attached is heated. More specifically, the calorific value control device 70
The current is supplied to the corresponding heater 51 such that the resistance value of the strain detection gauge 50a, which is the detection result of the above, becomes a preset value. Here, the preset value is a resistance value measured by the strain detection gauge 50a when the track rail structure 30 is not curved but is straight. That is, the fact that the resistance value of the strain detection gauge 50a becomes the above-mentioned set value means that the track rail structure 30 is not curved but is linear. As described above, the heat quantity control device 70 causes the heater 51 to expand the heat by heating the portion on the left side of FIG. At this time, a current is supplied to each heater 51 so that the detection result of the strain sensor 50 becomes a set value as described above, that is, a value such that the track rail structure 30 becomes linear, and the side surface portion 30c
Is thermally expanded. Thereby, the track rail structure 30 which is going to be curved by the bimetal effect can be maintained in a straight line.
【００３１】このように本実施形態に係る移動体システ
ムの第１移動体機構３２では、軌道レール構造体３０の
駆動によって発熱した場合にも、熱量制御装置７０が歪
みセンサ５０の検出結果に基づいてヒータ５１に電流を
供給することにより、軌道レール構造体３０が湾曲しな
いように側面部３０ｃの部分を膨張させることができ
る。したがって、第１移動体機構３２の使用状態（長時
間使用、短時間使用、移動体３１の累積移動量の大小
等）に関わらず、すなわち発熱量が変動した場合にも常
に軌道レール構造体３０が湾曲しないようにすることが
できる。したがって、移動体３１の駆動によって発熱し
た場合にも、移動体システムのＹ軸方向の位置決め精度
が悪化してしまうことを低減することができる。As described above, in the first moving body mechanism 32 of the moving body system according to the present embodiment, even when heat is generated by driving the track rail structure 30, the calorie control device 70 is based on the detection result of the strain sensor 50. By supplying a current to the heater 51 in this manner, the side surface portion 30c can be expanded so that the track rail structure 30 does not bend. Therefore, regardless of the use state of the first moving body mechanism 32 (long-time use, short-time use, the magnitude of the cumulative movement amount of the moving body 31, etc.), that is, even when the heat generation amount fluctuates, the track rail structure 30 is always maintained. Can be prevented from bending. Therefore, even when heat is generated by driving the moving body 31, it is possible to reduce the deterioration of the positioning accuracy of the moving body system in the Y-axis direction.
【００３２】また、本実施形態では、発熱に伴うバイメ
タル効果によって変形してしまう形状や材質の軌道レー
ル構造体３０を用いた場合にも、軌道レール構造体３０
の変形を抑制することができる。したがって、軌道レー
ル構造体３０の形状や材質を選択する際に、バイメタル
効果による変形を抑制することを考慮する必要がなく、
すなわちバイメタル効果が生じないような材質や形状を
採用するといった設計上の制限がなくなり、設計の自由
度が増す。したがって、他の設計条件（例えば、軽量
化、省エネルギー化、低振動、コスト等）を優先した設
計が可能となる。In the present embodiment, even when the track rail structure 30 having a shape or a material deformed by the bimetal effect due to heat generation is used, the track rail structure 30 is not used.
Can be suppressed. Therefore, when selecting the shape and material of the track rail structure 30, it is not necessary to consider suppressing the deformation due to the bimetal effect.
That is, there is no longer any restriction on design such as adopting a material or a shape that does not cause a bimetal effect, and the degree of freedom in design increases. Therefore, it is possible to design with priority given to other design conditions (for example, weight reduction, energy saving, low vibration, cost, etc.).
【００３３】Ｂ．変形例 なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものでは
なく、以下に例示するような種々の変形が可能である。B. Modifications The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications as exemplified below are possible.
【００３４】（変形例１）上述した実施形態では、軌道
レール構造体３０の側面部３０ｃのほぼ中央部分に歪み
センサ５０およびヒータ５１を取り付けるようにしてい
たが、その取り付け位置はこの位置に限らず、例えば図
８に示すように、側面部３０ｃの上端部３０ｄおよび下
端部３０ｅ近傍の各々に歪みセンサ５０およびヒータ５
１の組を取り付けるようにしてもよい。(Modification 1) In the above-described embodiment, the strain sensor 50 and the heater 51 are mounted almost at the center of the side surface portion 30c of the track rail structure 30, but the mounting positions are not limited to this position. For example, as shown in FIG. 8, the distortion sensor 50 and the heater 5 are provided near the upper end 30d and the lower end 30e of the side surface 30c, respectively.
One set may be attached.
【００３５】このように上端部３０ｄおよび下端部３０
ｅにヒータ５１を取り付ける場合には、上述した発熱に
よるバイメタル効果に起因する軌道レール構造体３０の
変形だけではなく、移動体３１や移動体３１が搭載する
実装ロボット等の重量に起因する軌道レール構造体３０
の変形を低減できるように上端部３０ｄおよび下端部３
０ｅに取り付けられた各ヒータ５１に供給する電流値を
制御するようにしてもよい。As described above, the upper end portion 30d and the lower end portion 30
When the heater 51 is attached to e, not only the deformation of the track rail structure 30 caused by the bimetal effect due to the above-mentioned heat generation but also the track rail caused by the weight of the moving body 31 and the mounting robot or the like mounted on the moving body 31. Structure 30
Upper end 30d and lower end 3
The current value supplied to each heater 51 attached to 0e may be controlled.
【００３６】すなわち、第１移動体機構３２において
は、移動体３１および移動体３１が搭載するロボット等
の重量によって符号Ｓで示す位置をせん断中心とした図
中時計回りの回転モーメントが作用する。このように作
用する回転モーメントによって軌道レール構造体３０の
上端側が伸びるような応力が加わる一方で、下端側は縮
むような応力が加わることになる。移動体３１が搭載す
るロボット等の重量が大きい場合には、この変形量によ
る高さ方向（Ｚ軸方向）の位置精度の悪化が無視できな
いほど大きくなることもある。そこで、上記のように上
端部３０ｄおよび下端部３０ｅにヒータ５１を取り付け
る場合には、予め上記のように作用する回転モーメント
による変形を是正するために上端部３０ｄおよび下端部
３０ｅに取り付けられたヒータ５１に供給すべき電流値
を求めておく。そして、上述した実施形態と同様に、歪
みセンサ５０の検出結果に応じて求めた電流値に、上記
電流値を加えた値の電流をヒータ５１に供給する。That is, in the first moving body mechanism 32, a clockwise rotational moment acts on the position indicated by the symbol S as a shear center due to the weight of the moving body 31 and the robot mounted on the moving body 31. Due to the rotational moment acting as described above, a stress is applied to the upper end of the track rail structure 30 so as to extend, while a stress is applied to the lower end to shrink. When the weight of the robot or the like mounted on the moving body 31 is large, the deterioration of the positional accuracy in the height direction (Z-axis direction) due to the amount of deformation may become so large that it cannot be ignored. Therefore, when the heater 51 is attached to the upper end portion 30d and the lower end portion 30e as described above, the heaters attached to the upper end portion 30d and the lower end portion 30e in advance to correct the deformation due to the rotational moment acting as described above. A current value to be supplied to 51 is obtained in advance. Then, similarly to the above-described embodiment, a current having a value obtained by adding the current value to a current value obtained according to the detection result of the strain sensor 50 is supplied to the heater 51.
【００３７】移動体３１や移動体３１の搭載する負荷重
量による変形では、下端部３０ｅ側が縮む部分となる
が、この負荷重量による縮みを抑制するためにヒータ５
１に供給すべき電流値がαであり（上端部３０ｄに取り
付けられたヒータ５１に供給すべき電流値は０とす
る）、上記実施形態と同様に歪みセンサ５０の検出結果
により求めた電流値がβである場合に、各ヒータ５１に
供給される電流値は次のようになる。すなわち、上端部
３０ｄに取り付けられたヒータ５１にはβの電流が供給
され、下端部３０ｅに取り付けられたヒータ５１には
（α＋β）の電流値が供給される。このようにすること
で、発熱に伴うバイメタル効果による軌道レール構造体
３０の変形に起因するＹ軸方向の位置精度の悪化と、移
動体３１や移動体３１が搭載する負荷の重量による変形
に起因するＺ軸方向の位置精度の悪化とを低減すること
ができる。In the deformation due to the moving body 31 or the load weight on which the moving body 31 is mounted, the lower end 30e side becomes a contracted portion.
The current value to be supplied to 1 is α (the current value to be supplied to the heater 51 attached to the upper end 30d is 0), and the current value obtained from the detection result of the strain sensor 50 as in the above embodiment. Is β, the current value supplied to each heater 51 is as follows. That is, a current of β is supplied to the heater 51 attached to the upper end 30d, and a current value of (α + β) is supplied to the heater 51 attached to the lower end 30e. By doing so, the position accuracy in the Y-axis direction is deteriorated due to the deformation of the track rail structure 30 due to the bimetal effect due to heat generation, and the deformation due to the weight of the moving body 31 and the load mounted on the moving body 31 is caused. And the deterioration of the positional accuracy in the Z-axis direction can be reduced.
【００３８】（変形例２）また、上述した実施形態にお
ける側面部３０ｃに取り付けられたヒータ５１に加え、
図９に示すように、中立軸よりも右側の部分であるバイ
メタル効果によって伸びる側の部位にヒータ９０を取り
付けるようにし、これらのヒータ９０を上記実施形態と
同様に対応する歪みセンサ５０の検出結果が予め設定さ
れた値となるような電流をヒータ５１およびヒータ９０
に供給するようにしてもよい。(Modification 2) In addition to the heater 51 attached to the side surface portion 30c in the above-described embodiment,
As shown in FIG. 9, heaters 90 are attached to a portion on the right side of the neutral axis, that is, a portion extending by the bimetal effect, and these heaters 90 are detected by the corresponding strain sensors 50 in the same manner as in the above embodiment. Is set to a preset value.
May be supplied.
【００３９】図９に示す例では、軌道レール構造体３０
における上下の両端部２０ａ近傍の各々にヒータ９０を
取り付けるようにしている。上述したように通常は、発
熱に伴うバイメタル効果によって中立軸よりも図の左側
の部分（側面部３０ｃ等）が縮み、中立軸よりも図の右
側の部分が伸びることになるが、その使用状況や使用環
境（時定数の異なる発熱源が複数ある場合、単純変形し
ない構造体である場合、近傍に当該システムとは別の発
熱源がある場合等）によっては、中立軸よりも図の右側
の部分が縮み、図の左側部分が伸びるといった現象が生
じ、これによって軌道レール構造体３０が湾曲してしま
うこともあり得る。このような場合には、歪みセンサ５
０の検出結果は、側面部３０ｃが伸びていることを表す
ものとなり、この検出結果が予め設定された値となるよ
うにヒータ９０に電流を供給する。これにより、軌道レ
ール構造体３０におけるヒータ９０が取り付けられた部
位の近傍が加熱され、この部分が熱膨張する。この熱膨
張によって、軌道レール構造体３０の湾曲を抑制するこ
とができる。In the example shown in FIG. 9, the track rail structure 30
The heater 90 is attached to each of the vicinity of the upper and lower ends 20a in the above. As described above, normally, the portion on the left side of the figure (such as the side surface portion 30c) shrinks due to the bimetal effect accompanying heat generation, and the part on the right side of the figure extends beyond the neutral axis. Depending on the operating environment (when there are multiple heat sources with different time constants, when the structure does not simply deform, when there is another heat source different from the system in the vicinity), the right side of the figure can be A phenomenon occurs in which the portion shrinks and the left portion in the drawing expands, which may cause the track rail structure 30 to bend. In such a case, the strain sensor 5
A detection result of 0 indicates that the side surface portion 30c is extended, and a current is supplied to the heater 90 so that the detection result becomes a preset value. Thereby, the vicinity of the portion of the track rail structure 30 where the heater 90 is attached is heated, and this portion thermally expands. Due to this thermal expansion, the curvature of the track rail structure 30 can be suppressed.
【００４０】（変形例３）また、上述した実施形態で
は、第１移動体機構３２の軌道レール構造体３０の両端
を移動架台３３０，３４０で支持し、移動架台３３０，
３４０を軌道レール３３１，３４１に沿って移動させる
第２移動体機構３３を備えた移動体システムを例に挙げ
て説明したが、これに限らず、例えば図１０に示すよう
な構成の移動体システムに本発明を適用することもでき
る。同図に示す移動体システムでは、上記実施形態の移
動システムと比較して軌道レール構造体３０の長さが小
さく、このような場合には図示のように軌道レール構造
体３０の一端側のみを移動架台３４０で支持し、当該移
動架台３４０を第２移動体機構３３’の軌道レール３４
１に沿ってＹ軸方向に移動させるような構成であっても
よい。(Modification 3) In the embodiment described above, both ends of the track rail structure 30 of the first moving body mechanism 32 are supported by the moving frames 330 and 340, and the moving frames 330 and 340 are supported.
The moving body system provided with the second moving body mechanism 33 for moving the 340 along the track rails 331 and 341 has been described as an example. However, the present invention is not limited to this. For example, the moving body system having a configuration as shown in FIG. The present invention can also be applied to. In the moving body system shown in the figure, the length of the track rail structure 30 is smaller than that of the moving system of the above embodiment, and in such a case, only one end of the track rail structure 30 is The moving frame 340 is supported by the moving frame 340, and the moving frame 340 is supported by the track rail 34 of the second moving body mechanism 33 ′.
It may be configured to move in the Y-axis direction along 1.
【００４１】また、上述した実施形態のようにＸ軸に沿
って移動体３１に移動させるさせるための第１移動体機
構３２と、Ｙ軸に沿って移動体３１を移動させるための
第２移動体機構３３といった２軸方向に移動体３１を移
動させるための移動体システムに限らず、一方向にのみ
移動体３１を移動させる移動体システムに本発明を適用
することも可能である。Further, as in the above-described embodiment, the first moving body mechanism 32 for moving the moving body 31 along the X axis and the second moving mechanism for moving the moving body 31 along the Y axis. The present invention is not limited to a moving body system such as the body mechanism 33 for moving the moving body 31 in two axial directions, but may be applied to a moving body system that moves the moving body 31 only in one direction.
【００４２】また、移動体システムの駆動方式として上
記実施形態で説明した方式に限らず、二次側に永久磁石
を設けたリニアモータ方式等の他のリニアモータ方式で
あってもよく、発熱に伴うレール軌道の変形によって位
置精度が悪化してしまう移動体システムであれば、リニ
アモータ方式以外の駆動方式（例えばボールスクリュー
方式等）の移動体システムであっても本発明を適用する
ことができる。The drive system of the mobile system is not limited to the system described in the above embodiment, but may be another linear motor system such as a linear motor system having a permanent magnet on the secondary side. The present invention can be applied to a moving body system of a driving method other than the linear motor method (for example, a ball screw method) as long as the moving body system deteriorates in position accuracy due to the deformation of the accompanying rail track. .
【００４３】（変形例４）上述した実施形態において
は、軌道レール構造体３０における発熱に伴うバイメタ
ル効果によって縮む部分にヒータ５１を取り付け、当該
部分をヒータ５１によって加熱することにより熱膨張さ
せて軌道レール構造体３０の湾曲を抑制するようにして
いたが、これに限らず、軌道レール構造体３０を部分的
に加熱することができるものであれば、ヒータ５１の代
わりに用いることができる。また、発熱および吸熱の両
者が可能なペルチェ素子を軌道レール構造体３０におけ
るバイメタル効果によって変形する部位（中立軸以外の
部位）に取り付けるようにしてもよい。ペルチェ素子
は、ｐ形とｎ形の熱電半導体を銅電極で接合し、ｎ形の
方から直流電流を流すと上側の接合面から下の接合面へ
熱を移動させ、直流電流の流す方向を逆にすることによ
り、逆方向に熱を移動させる素子である。すなわち、ペ
ルチェ素子に供給する電流の方向を切り換えることによ
り、加熱、吸熱の両者に利用することができるのであ
る。(Modification 4) In the above-described embodiment, the heater 51 is attached to a portion of the track rail structure 30 which contracts due to the bimetal effect caused by heat generation, and the portion is heated by the heater 51 to be thermally expanded so that the track is expanded. Although the curving of the rail structure 30 is suppressed, the present invention is not limited to this, and any heater that can partially heat the track rail structure 30 can be used instead of the heater 51. Further, a Peltier element capable of both heat generation and heat absorption may be attached to a part (part other than the neutral axis) of the track rail structure 30 that is deformed by the bimetal effect. The Peltier element joins p-type and n-type thermoelectric semiconductors with copper electrodes, and when a direct current is passed from the n-type, heat is transferred from the upper joint surface to the lower joint surface, and the direction of the direct current is changed. An element that transfers heat in the opposite direction when inverted. That is, by switching the direction of the current supplied to the Peltier element, it can be used for both heating and heat absorption.
【００４４】このようなペルチェ素子と歪みセンサ５０
との組を、軌道レール構造体３０におけるバイメタル効
果によって変形する部位（中立軸以外の部位）に１また
は複数箇所に取り付け、歪みセンサ５０による検出結果
が予め設定された値（軌道レール構造体３０が直線状態
にあるときのセンサの出力値）となるように各ペルチェ
素子に供給する電流値および方向を制御する。例えば、
歪みセンサ５０による検出結果が縮んでいることを表す
場合には、当該歪みセンサ５０に対応したペルチェ素子
に対しては、その縮みがなくなるような値であり、かつ
加熱する方向で電流を供給する。一方、歪みセンサ５０
による検出結果が膨張していることを表す場合には、当
該歪みセンサ５０に対応したペルチェ素子に対しては、
その膨張がなくなるような値であり、かつ吸熱する方向
で電流を供給する。このようにペルチェ素子を用いるこ
とで、軌道レール構造体３０における縮んでいる部位に
対して加熱し、膨張している部位に対しては吸熱すると
いったようにその変形を抑えるような熱量制御を行うこ
とができ、軌道レール構造体３０の変形の抑制をより高
精度で実現することができる。Such a Peltier element and the strain sensor 50
Is attached to one or a plurality of positions (parts other than the neutral axis) of the track rail structure 30 that are deformed by the bimetal effect, and the detection result of the strain sensor 50 is set to a preset value (the track rail structure 30). And the direction of the current supplied to each Peltier element is controlled so as to be the output value of the sensor when is in a linear state. For example,
When the result of the detection by the strain sensor 50 indicates that the contraction has occurred, the current is supplied to the Peltier element corresponding to the strain sensor 50 so that the contraction disappears, and the current is supplied in the heating direction. . On the other hand, the strain sensor 50
In the case where the detection result of the Peltier element corresponding to the strain sensor 50 indicates that the
The current is supplied in such a value that the expansion is eliminated and the heat is absorbed. By using the Peltier element in this manner, heat control is performed such that the contracted portion of the track rail structure 30 is heated and the expanded portion absorbs heat so as to suppress the deformation. Therefore, the deformation of the track rail structure 30 can be suppressed with higher accuracy.
【００４５】また、上記実施形態における軌道レール構
造体３０および移動体３１と形状の異なる軌道レール構
造体３０’および移動体３１’を備えた移動体システム
において、軌道レール構造体３０'にペルチェ素子を取
り付けた場合の一例を図１１に示す。同図に示すよう
に、移動体３１’は形状や各部の配置位置等は上記実施
形態における移動体３１と異なっているものの、移動体
３１と同様、磁界発生機構２４を構成する一次側コア２
７およびコイル２８を有しており、軌道レール構造体３
０’に保持部材１２０を介して保持された二次側コア２
２と協働して自身を駆動するための推力を発生する機能
を有している。Further, in the moving body system provided with the track rail structure 30 'and the moving body 31' having different shapes from the track rail structure 30 and the moving body 31 in the above embodiment, the Peltier element is added to the track rail structure 30 '. FIG. 11 shows an example in the case of attaching. As shown in the figure, the moving body 31 ′ is different from the moving body 31 in the above embodiment in the shape, the arrangement position of each part, and the like, but like the moving body 31, the primary core 2 constituting the magnetic field generating mechanism 24.
7 and the coil 28, the track rail structure 3
Secondary core 2 held at 0 ′ via holding member 120
2 has a function of generating a thrust for driving itself in cooperation with the control unit 2.
【００４６】軌道レール構造体３０’は、上記実施形態
における軌道レール構造体３０と同様に、移動体３１’
側（図の右側）の上下の部分にリニアガイド２３が設け
られており、リニアガイド２３に移動体３１’が摺動可
能になされている。図示のように軌道レール構造体３
０’は、Ｘ軸方向（図の紙面垂直方向）に延在する空洞
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４が形成されるとともに、複数の
凹溝１１０，１１１，１１２，１１３，１１４，１１
５，１１６が形成された複雑な断面形状の部材である。
このような複雑な形状とすることにより表面積を大きく
し、これにより放熱性を向上させて熱変形を抑制してい
る。軌道レール構造体３０’における移動体３１’と反
対側（図の左側）の上面１２５にはペルチェ素子１３０
が取り付けられており、その中央面１２６には歪みセン
サ５０が取り付けられており、その下面１２７にはペル
チェ素子１３０が取り付けられている。The track rail structure 30 'is similar to the track rail structure 30 in the above-described embodiment, and has a movable body 31'.
Linear guides 23 are provided at upper and lower portions on the side (right side in the figure), and a moving body 31 ′ is slidable on the linear guides 23. As shown, the track rail structure 3
0 ′ is formed with cavities S1, S2, S3, S4 extending in the X-axis direction (perpendicular to the plane of the drawing) and a plurality of concave grooves 110, 111, 112, 113, 114, 11
5, 116 are members having a complicated cross-sectional shape.
With such a complicated shape, the surface area is increased, thereby improving heat dissipation and suppressing thermal deformation. A Peltier element 130 is provided on the upper surface 125 of the track rail structure 30 'on the opposite side (left side in the figure) to the moving body 31'.
The strain sensor 50 is mounted on the central surface 126, and the Peltier element 130 is mounted on the lower surface 127.
【００４７】このような構成の下、歪みセンサ５０によ
る検出結果が予め設定された値（軌道レール構造体３
０’が直線状になっているときの歪みセンサ５０によっ
て検出される値）となるように、上部１２５および下面
１２７に取り付けられたペルチェ素子１３０への電流供
給を制御すればよい。Under such a configuration, the detection result of the strain sensor 50 is set to a predetermined value (the track rail structure 3).
The current supply to the Peltier element 130 attached to the upper part 125 and the lower part 127 may be controlled so that 0 ′ becomes a value detected by the distortion sensor 50 when it is linear.
【００４８】（変形例５）また、軌道レール構造体３０
の変形を抑制するための歪みセンサ５０、およびヒータ
５１やペルチェ素子の組を設ける個数は任意であり、形
状や材質といった軌道レール構造体３０の構成に応じて
適宜選択するようにすればよい。(Modification 5) The track rail structure 30
The number of the distortion sensors 50 for suppressing the deformation and the number of the sets of the heaters 51 and the Peltier elements may be arbitrarily determined, and may be appropriately selected according to the configuration of the track rail structure 30 such as the shape and the material.
【００４９】（変形例６）また、図１２に示すように、
軌道レール構造体３０の中立軸以外の部位（図示の例で
は側面部３０ｃ）に、ヒートパイプ１４０を取り付け、
当該ヒートパイプ１４０にペルチェ素子やヒータ５１と
いった加熱手段や吸熱手段（図示の例ではヒータ５１）
を取り付けるようにし、加熱や吸熱の能力を向上させる
ようにしてもよい。(Modification 6) As shown in FIG.
A heat pipe 140 is attached to a part other than the neutral axis of the track rail structure 30 (the side part 30c in the illustrated example),
Heating means such as a Peltier element and a heater 51 and a heat absorbing means (the heater 51 in the illustrated example) are provided in the heat pipe 140.
May be attached to improve the ability of heating and heat absorption.
【００５０】また、図１３に示すように、軌道レール構
造体３０の中立軸以外の部位（図示の例では、側面部３
０ｃ）にペルチェ素子１５０を取り付ける場合、ペルチ
ェ素子１５０の取り付け面１５０ａと反対側の面１５０
ｂにヒートシンク１５１を取り付け、吸熱能力を向上さ
せるようにしてもよい。Further, as shown in FIG. 13, a portion other than the neutral axis of the track rail structure 30 (in the illustrated example, the side surface portion 3).
In the case where the Peltier element 150 is attached to the Peltier element 150 in FIG.
The heat sink 151 may be attached to the “b” to improve the heat absorption capacity.
【００５１】また、軌道レール構造体３０側に送風する
ファン等を設けることにより、軌道レール構造体３０に
取り付けられたペルチェ素子等による吸熱能力を向上さ
せるようにしてもよい。また、軌道レール構造体３０の
熱膨張している部位から吸熱するための手段としては、
上記のようにペルチェ素子とファンを併用するといった
態様だけではなく、ファンのみで軌道レール構造体３０
の熱膨張している部位を冷却するようにしてもよい。Further, by providing a fan or the like for blowing air to the track rail structure 30 side, the heat absorbing ability of the Peltier element or the like attached to the track rail structure 30 may be improved. Means for absorbing heat from the thermally expanded portion of the track rail structure 30 include:
As described above, the track rail structure 30 is not limited to the mode in which the Peltier element and the fan are used together, but is used only with the fan.
May be cooled.
【００５２】（変形例７）また、上述した実施形態や様
々な変形例では、移動体システムの構成上、位置精度に
大きな影響を及ぼすバイメタル効果による軌道レール構
造体３０の湾曲を抑制することに注目しており、バイメ
タル効果による変形に対しては大きな効果を奏してい
る。しかしながら、温度上昇に伴って軌道レール構造体
３０自体が時間と共に単純に膨張している場合には、上
記実施形態の構成等では、以下のような不具合が生じる
こともあり得る。(Modification 7) In the above-described embodiment and various modifications, the bending of the track rail structure 30 due to the bimetal effect that greatly affects the position accuracy is suppressed in the structure of the moving body system. They are paying attention and have a great effect on the deformation due to the bimetal effect. However, when the track rail structure 30 itself simply expands with time with a rise in temperature, the configuration and the like of the above-described embodiment may cause the following problems.
【００５３】まず、軌道レール構造体３０が単純に膨張
している場合には、歪みセンサ５０の検出結果は膨張し
ていることを表すものとなる。このような膨張している
ことを検出結果として出力する歪みセンサ５０の近傍に
ペルチェ素子が取り付けられていた場合には、当該膨張
を抑制するための電流がペルチェ素子に供給され、この
結果その部位が冷却されて膨張が抑制される。このよう
にペルチェ素子近傍の膨張が抑制される一方で、軌道レ
ール構造体３０におけるペルチェ素子に冷却されない部
位は単純に膨張しているため、軌道レール構造体３０が
湾曲してしまう。すなわち、歪みセンサ５０の検出結果
が所定の値になるようにペルチェ素子を制御することに
より、単純に膨張している軌道レール構造体３０を湾曲
させてしまうこともあり得るのである。First, when the track rail structure 30 is simply expanded, the detection result of the strain sensor 50 indicates that it is expanded. If a Peltier element is attached near the strain sensor 50 that outputs such expansion as a detection result, a current for suppressing the expansion is supplied to the Peltier element, and as a result, Is cooled and expansion is suppressed. As described above, while expansion near the Peltier element is suppressed, a portion of the track rail structure 30 that is not cooled by the Peltier element is simply expanded, so that the track rail structure 30 is curved. That is, by controlling the Peltier element so that the detection result of the strain sensor 50 becomes a predetermined value, the expanding track rail structure 30 may be simply curved.
【００５４】次に、バイメタル効果による変形の中立軸
を境界として膨張する側と、縮む側との両者にヒータ等
の加熱手段を設けた場合（図９参照）に、軌道レール構
造体３０が単純に膨張すると、バイメタル効果による変
形では縮む側に設けられた歪みセンサ５０の検出結果は
膨張を表すものとなる。したがって、バイメタル効果に
よって膨張する側に設けられたヒータ９０（図９参照）
に電流が供給され、ヒータ９０の近傍が単純な膨張より
もさらに膨張することになる。この結果、軌道レール構
造体３０が湾曲してしまうこともあり得る。Next, when the heating means such as a heater is provided on both the expanding side and the contracting side with the neutral axis deformed by the bimetal effect as a boundary (see FIG. 9), the track rail structure 30 is simple. When the expansion is caused by the bimetal effect, the detection result of the strain sensor 50 provided on the side contracted by the deformation due to the bimetal effect indicates the expansion. Therefore, the heater 90 provided on the side expanded by the bimetal effect (see FIG. 9)
, The vicinity of the heater 90 expands more than simple expansion. As a result, the track rail structure 30 may be curved.
【００５５】このような単純な膨張の際に生じる虞のあ
る不具合を解消するために、以下のような手法を用いる
ことができる。図１４に示すように、バイメタル効果に
よる変形の中立軸の両側に、歪みセンサ５０，５０ａ，
５０ｂを設け、バイメタル効果によって膨張する部分
（上下両端部２０ａに設けられる歪みセンサ５０ａ，５
０ｂ）と縮む部分（歪みセンサ５０）との両者の歪みを
検出する。そして、中立軸の両側に設けられた歪みセン
サ５０，５０ａ，５０ｂによって検出された３つの歪み
を考慮し、ヒータ５１およびヒータ９０を制御するよう
にすればよい。具体的には、中立軸よりも膨張側に設け
られた歪みセンサ５０ａ，５０ｂにより検出される歪み
量の平均値と、縮む側に設けられた歪みセンサ５０によ
り検出された歪み量の差分を求め、当該差分に応じてヒ
ータ５０およびヒータ９０への電流供給を制御する。例
えば、膨張側の歪み量と、縮む側の歪み量が同じ場合に
は、軌道レール構造体３０が単純に膨張していると考え
られ、この場合にはヒータ５０およびヒータ９０への電
流供給を行わない。一方、膨張側の歪み量が縮む側の歪
み量よりも大きい場合には、バイメタル効果によって軌
道レール構造体３０が湾曲していると考えられるので、
縮む側に設けられたヒータ５０に対してのみ、両者の歪
み量の差分値に応じた電流を供給する。このようにする
ことで、単純な膨張が生じた場合の不具合を招くことな
く、バイメタル効果による熱変形を抑制することができ
る。The following method can be used to solve such a problem that may occur during the simple expansion. As shown in FIG. 14, the strain sensors 50, 50a,
50b, and the portions that expand by the bimetal effect (the strain sensors 50a, 5 provided at the upper and lower ends 20a).
0b) and the shrinking part (distortion sensor 50) are detected. Then, the heater 51 and the heater 90 may be controlled in consideration of the three strains detected by the strain sensors 50, 50a, 50b provided on both sides of the neutral shaft. Specifically, a difference between the average value of the strain amounts detected by the strain sensors 50a and 50b provided on the expansion side with respect to the neutral axis and the strain amount detected by the strain sensor 50 provided on the contraction side is calculated. The current supply to the heater 50 and the heater 90 is controlled according to the difference. For example, when the amount of strain on the expansion side and the amount of strain on the contraction side are the same, it is considered that the track rail structure 30 is simply expanded, and in this case, current supply to the heaters 50 and 90 is performed. Not performed. On the other hand, when the distortion amount on the expansion side is larger than the distortion amount on the contraction side, it is considered that the track rail structure 30 is curved due to the bimetal effect.
A current is supplied only to the heater 50 provided on the contracting side in accordance with the difference value between the two distortion amounts. By doing so, it is possible to suppress thermal deformation due to the bimetal effect without causing a problem when simple expansion occurs.
【００５６】（変形例８）また、上述した実施形態で
は、歪みセンサ５０を用いて軌道レール構造体３０の変
形状態を検出し、この検出結果に応じてヒータやペルチ
ェ素子といった加熱／吸熱手段を制御するようにしてい
たが、歪みセンサ５０以外にも軌道レール構造体３０の
変形状態を検出することができるものを用いることがで
きる。例えば、ディジタルビデオカメラ等で軌道レール
構造体３０を複数方向から撮影し、当該撮影画像を解析
することにより軌道レール構造体３０の変形状態を検出
するようにしてもよい。(Modification 8) In the above-described embodiment, the deformation state of the track rail structure 30 is detected by using the strain sensor 50, and heating / heat absorbing means such as a heater or a Peltier element is used in accordance with the detection result. Although the control is performed, a sensor that can detect the deformation state of the track rail structure 30 other than the strain sensor 50 can be used. For example, a deformation state of the track rail structure 30 may be detected by photographing the track rail structure 30 from a plurality of directions using a digital video camera or the like and analyzing the photographed image.
【００５７】[0057]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
優れた位置決め精度で移動体を移動させることが可能で
ある。As described above, according to the present invention,
The moving body can be moved with excellent positioning accuracy.
【図１】 本発明の一実施形態に係る移動体システムの
主要部の外観を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a main part of a mobile system according to an embodiment of the present invention.
【図２】 前記移動体システムの構成要素は、第１移動
体機構の主要部の外観を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view illustrating an appearance of a main part of a first moving body mechanism, which is a component of the moving body system.
【図３】 前記第１移動体機構の主要部を示す断面図で
ある。FIG. 3 is a sectional view showing a main part of the first moving body mechanism.
【図４】 前記第１移動体機構の動作原理を説明するた
めの図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the operation principle of the first moving body mechanism.
【図５】 前記第１移動体機構における熱の伝達経路を
説明するための図である。FIG. 5 is a view for explaining a heat transfer path in the first moving body mechanism.
【図６】 前記第１移動体機構の構成要素である歪みセ
ンサの構成を示す回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram showing a configuration of a distortion sensor which is a component of the first moving body mechanism.
【図７】 前記第１移動体機構における軌道レール構造
体の熱変形を抑制するための制御構成を示すブロック図
である。FIG. 7 is a block diagram showing a control configuration for suppressing thermal deformation of the track rail structure in the first moving body mechanism.
【図８】 前記移動体システムの変形例における第１移
動体機構の主要部を示す断面図である。FIG. 8 is a sectional view showing a main part of a first moving body mechanism in a modification of the moving body system.
【図９】 前記移動体システムの他の変形例における第
１移動体機構の主要部を示す断面図である。FIG. 9 is a sectional view showing a main part of a first moving body mechanism in another modified example of the moving body system.
【図１０】 前記移動体システムのその他の変形例の主
要部の外観を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing an appearance of a main part of another modification of the moving object system.
【図１１】 前記移動体システムのさらにその他の変形
例の第１移動体機構の主要部を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing a main part of a first moving body mechanism of still another modified example of the moving body system.
【図１２】 前記移動体システムの別の変形例の第１移
動体機構の軌道レール構造体の外観を示す斜視図であ
る。FIG. 12 is a perspective view showing an appearance of a track rail structure of a first moving body mechanism of another modified example of the moving body system.
【図１３】 前記移動体システムのさらに別の変形例の
第１移動体機構の主要部を示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view showing a main part of a first moving body mechanism of still another modified example of the moving body system.
【図１４】 前記移動体システムのさらにその別に変形
例の第１移動体機構の主要部を示す断面図である。FIG. 14 is a cross-sectional view showing a main part of a first moving body mechanism of still another modified example of the moving body system.
【図１５】 従来のリニアモータ方式の移動体システム
の主要部を示す断面図である。FIG. 15 is a sectional view showing a main part of a conventional linear motor type moving body system.
【図１６】 従来の移動体システムの主要部の外観を示
す斜視図である。FIG. 16 is a perspective view showing an appearance of a main part of a conventional mobile body system.
【図１７】 従来の移動体システムにおいて、発熱に伴
うバイメタル効果によって軌道レール構造体が変形する
様子を示す図である。FIG. 17 is a view showing a state in which a track rail structure is deformed by a bimetal effect accompanying heat generation in a conventional mobile body system.
２０ａ……両端部、２２……二次側コア、２３……リニ
アガイド、２４……磁界発生機構、２５……作業用保持
部材、２７……一次側コア、２８……コイル、２９……
支持部材、３０……軌道レール構造体、３０ｃ……側面
部、３１……移動体、５０，５０ａ，５０ｂ……歪みセ
ンサ（変形検出手段）、５１……ヒータ（加熱／吸熱手
段）、７０……熱量制御装置、９０……ヒータ（加熱／
吸熱手段）、１３０……ペルチェ素子（加熱／吸熱手
段）、１４０……ヒートパイプ、１５０……ペルチェ素
子（加熱／吸熱手段）、１５１……ヒートシンク20a Both ends, 22 Secondary core, 23 Linear guide, 24 Magnetic field generating mechanism, 25 Work holding member, 27 Primary core, 28 Coil, 29
Support member, 30 track rail structure, 30c side surface, 31 moving body, 50, 50a, 50b strain sensor (deformation detecting means), 51 heater (heating / heat absorbing means), 70 ... Calorific value control device, 90 heater (heating /
Heat absorbing means), 130 Peltier element (heating / heat absorbing means), 140 heat pipe, 150 Peltier element (heating / heat absorbing means), 151 heat sink
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０２Ｋ 41/03 Ｈ０２Ｋ 11/00 Ｕ Ｄ (72)発明者 前田 豊 三重県伊勢市竹ケ鼻町100 神鋼電機株式 会社伊勢事業所内 (72)発明者 中野 克好 三重県伊勢市竹ケ鼻町100 神鋼電機株式 会社伊勢事業所内 (72)発明者 塩崎 明 三重県伊勢市竹ケ鼻町100 神鋼電機株式 会社伊勢事業所内 (72)発明者 村口 洋介 三重県伊勢市竹ケ鼻町100 神鋼電機株式 会社伊勢事業所内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 FA01 FA11 FA12 GA60 JA01 JA10 JA21 JA45 JA46 LA01 LA08 LA12 PA11 5F046 CC01 CC02 CC17 5H540 AA01 AA06 BA07 BB06 BB07 EE08 FC07 FC10 5H611 AA01 BB01 BB09 PP01 QQ00 QQ03 UA01 5H641 BB10 GG03 GG04 GG12 HH03 HH08 HH10 JA09 JB01 JB04──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H02K 41/03 H02K 11/00 UD (72) Inventor Yutaka Maeda 100 Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Prefecture Shinko Electric Co., Ltd. (72) Inventor Katsuyoshi Nakano 100 Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Prefecture Shinko Electric Co., Ltd. (72) Inventor Akira Shiozaki 100 Takegahana-cho, Ise-shi, Mie 100 Shinko Electric Co., Ltd. Inventor Yosuke Muraguchi 100 Takegahana-cho, Ise City, Mie Prefecture F term in the Ise Works of Shinko Electric Co., Ltd. FC10 5H611 AA01 BB01 BB09 PP01 QQ00 QQ03 UA01 5H641 BB10 GG03 GG04 GG12 HH03 HH08 HH10 JA09 JB01 JB04
Claims (10)
体と、前記経路構造体によって案内され、前記経路構造
体に沿って移動可能に設けられる移動体とを備えた移動
体システムであって、 前記経路構造体の変形状態を検出する変形検出手段と、 前記経路構造体に対して加熱もしくは吸熱する加熱／吸
熱手段と、 前記変形検出手段の検出結果に基づいて、前記加熱／吸
熱手段を制御する熱量制御手段とを具備することを特徴
とする移動体システム。1. A mobile system comprising: a route structure laid along a predetermined route; and a moving body guided by the route structure and movably provided along the route structure. Deformation detecting means for detecting a deformation state of the path structure; heating / heat absorbing means for heating or absorbing heat to the path structure; and heating / heat absorbing means based on a detection result of the deformation detecting means. And a calorie control means for controlling the amount of heat.
動されていることを特徴とする請求項１に記載の移動体
システム。2. The moving body system according to claim 1, wherein the moving body is driven by a linear motor.
所定の部位の変形状態を検出し、 前記加熱／吸熱手段は、前記経路構造体における前記所
定の部位近傍に対して加熱もしくは吸熱することを特徴
とする請求項１または２に記載の移動体システム。3. The deformation detecting means detects a deformation state of a predetermined part of the path structure, and the heating / heat absorbing means heats or absorbs heat in the vicinity of the predetermined part in the path structure. The mobile system according to claim 1 or 2, wherein:
複数箇所の変形状態を検出し、前記熱量制御手段は、前
記複数箇所の近傍に各々に対して加熱もしくは吸熱する
前記加熱／吸熱手段を各々の箇所の変形状態の検出結果
に基づいて制御することを特徴とする請求項１または２
に記載の移動体システム。4. The deformation detecting means detects a deformation state of a plurality of portions of the path structure, and the calorie control means heats or absorbs heat in the vicinity of the plurality of portions, respectively. 3 is controlled based on a detection result of a deformation state of each portion.
A mobile system according to item 1.
の検出結果が予め設定された状態に近づくように前記経
路構造体に加える熱量を制御することを特徴とする請求
項１ないし４のいずれかに記載の移動体システム。5. The heat amount control means according to claim 1, wherein the heat amount control means controls the heat amount applied to the path structure so that the detection result of the deformation detection means approaches a preset state. A mobile system according to any one of the claims.
構造体と、前記経路構造体によって案内され、前記経路
構造体に沿って移動可能に設けられる移動体を有する第
１移動体機構と、 前記第１の移動体機構を前記第１の直線経路と直交する
方向に移動させる第２の移動体機構とを備える移動体シ
ステムであって、 前記経路構造体の変形状態を検出する変形検出手段と、 前記経路構造体に対して加熱もしくは吸熱する加熱／吸
熱手段と、 前記変形検出手段の検出結果に基づいて、前記加熱／吸
熱手段を制御する熱量制御手段とを具備することを特徴
とする移動体システム。6. A first moving body mechanism having a path structure laid along a first straight path, and a moving body guided by the path structure and movably provided along the path structure. And a second moving body mechanism for moving the first moving body mechanism in a direction orthogonal to the first linear path, wherein a deformation state of the path structure is detected. Detecting means, heating / heat absorbing means for heating or absorbing heat to the path structure, and calorie control means for controlling the heating / heat absorbing means based on the detection result of the deformation detecting means. And mobile system.
動されていることを特徴とする請求項６に記載の移動体
システム。7. The moving body system according to claim 6, wherein the moving body is driven by a linear motor.
所定の部位の変形状態を検出し、 前記加熱／吸熱手段は、前記経路構造体における前記所
定の部位近傍に対して加熱もしくは吸熱することを特徴
とする請求項６または７に記載の移動体システム。8. The deformation detecting means detects a deformation state of a predetermined part of the path structure, and the heating / heat absorbing means heats or absorbs heat in the vicinity of the predetermined part in the path structure. The mobile system according to claim 6 or 7, wherein:
複数箇所の変形状態を検出し、前記熱量制御手段は、前
記複数箇所の近傍に各々に対して加熱もしくは吸熱する
前記加熱／吸熱手段を各々の箇所の変形状態の検出結果
に基づいて制御することを特徴とする請求項６または７
に記載の移動体システム。9. The deformation / detection means detects a deformation state of a plurality of locations of the path structure, and the heat quantity control means heats / absorbs heat in the vicinity of the plurality of locations, respectively. And controlling based on the detection result of the deformation state of each part.
A mobile system according to item 1.
段の検出結果が予め設定された状態に近づくように前記
経路構造体に加える熱量を制御することを特徴とする請
求項６ないし９のいずれかに記載の移動体システム。10. The heat amount control means according to claim 6, wherein the heat amount control means controls the heat amount applied to the path structure so that the detection result of the deformation detection means approaches a preset state. A mobile system according to any one of the claims.
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008010633A (en) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Prober |
| JP2009205938A (en) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Hitachi High-Technologies Corp | Sample stage |
| JP2011124508A (en) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Nikon Corp | Substrate for deformation measurement, exposure device, exposure method, and method for manufacturing device |
| JP2018511950A (en) * | 2015-06-24 | 2018-04-26 | エスケイ・シルトロン・カンパニー・リミテッド | Scanning apparatus and scanning system for wafer polishing apparatus |
| CN113557205A (en) * | 2019-03-20 | 2021-10-26 | 雅马哈发动机株式会社 | Linear conveyor |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5182466A (en) * | 1975-01-17 | 1976-07-20 | Niigata Engineering Co Ltd | Kosakukikainiokeru netsuheni no hoshohoho |
| JPS59110364A (en) * | 1982-12-16 | 1984-06-26 | Amada Co Ltd | Method and device for removing thermal distortion for linear induction motor |
| JPS6155707A (en) * | 1984-08-27 | 1986-03-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Two-axes positioning device |
| JPH0265086A (en) * | 1988-08-30 | 1990-03-05 | Toshiba Lighting & Technol Corp | Heating element |
| JPH0453671A (en) * | 1990-06-19 | 1992-02-21 | Nkk Corp | Thermal deformation control type double face polishing device |
| JPH04135141A (en) * | 1990-09-26 | 1992-05-08 | Yotaro Hatamura | Work machine |
-
2001
- 2001-03-30 JP JP2001101179A patent/JP4770045B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5182466A (en) * | 1975-01-17 | 1976-07-20 | Niigata Engineering Co Ltd | Kosakukikainiokeru netsuheni no hoshohoho |
| JPS59110364A (en) * | 1982-12-16 | 1984-06-26 | Amada Co Ltd | Method and device for removing thermal distortion for linear induction motor |
| JPS6155707A (en) * | 1984-08-27 | 1986-03-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Two-axes positioning device |
| JPH0265086A (en) * | 1988-08-30 | 1990-03-05 | Toshiba Lighting & Technol Corp | Heating element |
| JPH0453671A (en) * | 1990-06-19 | 1992-02-21 | Nkk Corp | Thermal deformation control type double face polishing device |
| JPH04135141A (en) * | 1990-09-26 | 1992-05-08 | Yotaro Hatamura | Work machine |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008010633A (en) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Prober |
| JP2009205938A (en) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Hitachi High-Technologies Corp | Sample stage |
| JP2011124508A (en) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Nikon Corp | Substrate for deformation measurement, exposure device, exposure method, and method for manufacturing device |
| JP2018511950A (en) * | 2015-06-24 | 2018-04-26 | エスケイ・シルトロン・カンパニー・リミテッド | Scanning apparatus and scanning system for wafer polishing apparatus |
| CN113557205A (en) * | 2019-03-20 | 2021-10-26 | 雅马哈发动机株式会社 | Linear conveyor |
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