JP2002296518A - ガルバノミラーチップおよびその製造方法 - Google Patents
ガルバノミラーチップおよびその製造方法Info
- Publication number
- JP2002296518A JP2002296518A JP2001096588A JP2001096588A JP2002296518A JP 2002296518 A JP2002296518 A JP 2002296518A JP 2001096588 A JP2001096588 A JP 2001096588A JP 2001096588 A JP2001096588 A JP 2001096588A JP 2002296518 A JP2002296518 A JP 2002296518A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable plate
- torsion bar
- electrode
- conductive coil
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】露光、現像、エッチング精度を厳密に制御する
ことなく、絶縁層段差部における引出電極パターン間隔
が確保できるガルバノミラーチップ及びその製造方法を
提供する。 【解決手段】半導体基板に、枠状の外側可動板と該外側
可動板の内側に配置される内側可動板とからなる可動部
と、前記外側可動板を揺動可能に軸支する第１トーショ
ンバーと該第１トーションバーと軸方向が直交し前記内
側可動板を揺動可能に軸支する第２トーションバーとか
らなる軸支部とを一体に形成し、外側可動板及び内側可
動板の上面には絶縁層を介して平面コイルを設け、内側
可動板の下面には反射ミラーを設けたガルバノミラーチ
ップにおいて、前記平面電極コイルより第１トーション
バー上を経由してボンディングパッドに接続される引出
電極の絶縁層縁部における電極間隔が、第１トーション
バー上での電極間隔より広く形成したガルバノミラーチ
ップとする。
ことなく、絶縁層段差部における引出電極パターン間隔
が確保できるガルバノミラーチップ及びその製造方法を
提供する。 【解決手段】半導体基板に、枠状の外側可動板と該外側
可動板の内側に配置される内側可動板とからなる可動部
と、前記外側可動板を揺動可能に軸支する第１トーショ
ンバーと該第１トーションバーと軸方向が直交し前記内
側可動板を揺動可能に軸支する第２トーションバーとか
らなる軸支部とを一体に形成し、外側可動板及び内側可
動板の上面には絶縁層を介して平面コイルを設け、内側
可動板の下面には反射ミラーを設けたガルバノミラーチ
ップにおいて、前記平面電極コイルより第１トーション
バー上を経由してボンディングパッドに接続される引出
電極の絶縁層縁部における電極間隔が、第１トーション
バー上での電極間隔より広く形成したガルバノミラーチ
ップとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガルバノミラーチッ
プおよびその製造方法に関する。
プおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プレーナー型ガルバノミラーは、レーザ
ー光を偏向走査するレーザースキャナ等に利用されるも
ので、その原理は、磁界中に配置した可動コイルに電流
を流すと電流と磁束とに関連して電磁力が発生して電流
に比例した回転力が生じる。この回転力と可動コイル保
持部材のバネ力とが平衡する角度まで可動コイルが回転
し、この可動コイルを介して指針を振らせて電流の有無
や大小を検出するというガルバノメータを利用したもの
で、可動コイルと一体に回転する軸（可動コイル保持部
材）に、前記指針の代わりにミラー（反射鏡）を設けて
構成されるものである。小型のガルバノミラーとして、
半導体を使用したものが提案されている。
ー光を偏向走査するレーザースキャナ等に利用されるも
ので、その原理は、磁界中に配置した可動コイルに電流
を流すと電流と磁束とに関連して電磁力が発生して電流
に比例した回転力が生じる。この回転力と可動コイル保
持部材のバネ力とが平衡する角度まで可動コイルが回転
し、この可動コイルを介して指針を振らせて電流の有無
や大小を検出するというガルバノメータを利用したもの
で、可動コイルと一体に回転する軸（可動コイル保持部
材）に、前記指針の代わりにミラー（反射鏡）を設けて
構成されるものである。小型のガルバノミラーとして、
半導体を使用したものが提案されている。
【０００３】図１はプレーナー型２次元ガルバノミラー
を示す図で、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面断面図であ
る。図２はシリコン基板を台座基板に配置した状態を示
す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面断面図であ
る。図３は可動部はシリコン基板１に一体形成され、第
１のトーションバー４，４でシリコン基板１に軸支され
る枠状の外側可動板２と、該第１トーションバー４，４
と軸方向が直交する第２のトーションバー５，５で外側
可動板２の内側に軸支される内側可動板３とからなり、
外側可動板２及び内側可動板３の上面には平面コイル６
を設け、内側可動板３の下面には反射ミラー７を設けて
ある。シリコン基板１を凹形状の台座基板８に配置固定
し、シリコン基板１上にはパターン１ａが設けてあり、
該パターン１ａと台座基板８上の配線パターン８ａとは
ワイヤー９により接続されている。台座基板８の凹形状
の底部にはレーザーの入反射用の窓１０があけられてい
る。
を示す図で、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面断面図であ
る。図２はシリコン基板を台座基板に配置した状態を示
す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面断面図であ
る。図３は可動部はシリコン基板１に一体形成され、第
１のトーションバー４，４でシリコン基板１に軸支され
る枠状の外側可動板２と、該第１トーションバー４，４
と軸方向が直交する第２のトーションバー５，５で外側
可動板２の内側に軸支される内側可動板３とからなり、
外側可動板２及び内側可動板３の上面には平面コイル６
を設け、内側可動板３の下面には反射ミラー７を設けて
ある。シリコン基板１を凹形状の台座基板８に配置固定
し、シリコン基板１上にはパターン１ａが設けてあり、
該パターン１ａと台座基板８上の配線パターン８ａとは
ワイヤー９により接続されている。台座基板８の凹形状
の底部にはレーザーの入反射用の窓１０があけられてい
る。
【０００４】台座基板８には４箇所のサイドスルーホー
ル８ｂが設けてあり、各サイドスルーホール８ｂは前記
配線パターン８ａと接続している。台座基板８のベース
基板１１への配置固定及び接続はベース基板１１上に設
けた配線パターン１１ａと台座基板８のサイドスルーホ
ール８ｂを半田付けによって固定及び接続されている。
ベース基板１１上の配線パターン１１ａには外部入力さ
れるコネクター１２が接続されている。
ル８ｂが設けてあり、各サイドスルーホール８ｂは前記
配線パターン８ａと接続している。台座基板８のベース
基板１１への配置固定及び接続はベース基板１１上に設
けた配線パターン１１ａと台座基板８のサイドスルーホ
ール８ｂを半田付けによって固定及び接続されている。
ベース基板１１上の配線パターン１１ａには外部入力さ
れるコネクター１２が接続されている。
【０００５】可動部の平面コイル６に磁界を作用させる
ための対をなす永久磁石１３は第１及び第２トーション
バー４，４、５，５の軸方向と平行にベース基板１１の
上下面に接着剤等で配置固定され、角状に中抜き形成さ
れたヨーク１４の内壁に前記永久磁石１３をそれぞれ配
置固定した構造になっている。ベース基板１１上の２箇
所の丸穴１５はプレーナー型２次元ガルバノミラーのネ
ジ固定用として設けている。図３はプレーナー型２次元
ガルバノミラーの反射ミラー側からの斜視図である。
ための対をなす永久磁石１３は第１及び第２トーション
バー４，４、５，５の軸方向と平行にベース基板１１の
上下面に接着剤等で配置固定され、角状に中抜き形成さ
れたヨーク１４の内壁に前記永久磁石１３をそれぞれ配
置固定した構造になっている。ベース基板１１上の２箇
所の丸穴１５はプレーナー型２次元ガルバノミラーのネ
ジ固定用として設けている。図３はプレーナー型２次元
ガルバノミラーの反射ミラー側からの斜視図である。
【０００６】図４、図５、図６は本発明に係わる二次元
光偏向素子の導電コイルパターン形成を説明するための
図であり、平面図と断面図または平面図である。導電コ
イルパターンは基板にジンバル加工する前に形成される
が、説明の都合上ジンバル加工した基板に導電コイルパ
ターンを形成することにする。本例では導電コイルの巻
数を多くするために導電コイルを２層に形成する。
光偏向素子の導電コイルパターン形成を説明するための
図であり、平面図と断面図または平面図である。導電コ
イルパターンは基板にジンバル加工する前に形成される
が、説明の都合上ジンバル加工した基板に導電コイルパ
ターンを形成することにする。本例では導電コイルの巻
数を多くするために導電コイルを２層に形成する。
【０００７】単結晶シリコンの基板３３の表面にスパッ
タリング、蒸着等により金属薄膜（好ましくはアルミニ
ウム）を形成する。金属薄膜上面にレジストを塗布し、
第１層の導電コイルパターンを形成したマスクを重ねて
露光する。レジストの開口部となる部分を除去し、金属
薄膜をエッチングする。レジストを除去することによ
り、図４の第１層導電コイルパターンが形成できる。
タリング、蒸着等により金属薄膜（好ましくはアルミニ
ウム）を形成する。金属薄膜上面にレジストを塗布し、
第１層の導電コイルパターンを形成したマスクを重ねて
露光する。レジストの開口部となる部分を除去し、金属
薄膜をエッチングする。レジストを除去することによ
り、図４の第１層導電コイルパターンが形成できる。
【０００８】内側可動板３４には内側可動板第１層導電
コイル３６が形成され、外側可動板３５には外側可動板
第１層導電コイル３９が形成される。内側可動板第１層
導電コイル内端部３６ａは内側可動板の中央部に形成さ
れ、内側可動板第２層導電コイル内端部４１ａ（図５）
が直接積層される。内側可動板第１層導電コイル外端部
３６ｂは外側可動板の内端でジンバルバネ付近に形成さ
れている。３７は内側可動板第１層導電コイル補助電極
である。３８は接続用電極で外側可動板の内端でジンバ
ルバネ付近に形成され、外側可動板第２層導電コイル外
端部４１ｂが直接積層される。
コイル３６が形成され、外側可動板３５には外側可動板
第１層導電コイル３９が形成される。内側可動板第１層
導電コイル内端部３６ａは内側可動板の中央部に形成さ
れ、内側可動板第２層導電コイル内端部４１ａ（図５）
が直接積層される。内側可動板第１層導電コイル外端部
３６ｂは外側可動板の内端でジンバルバネ付近に形成さ
れている。３７は内側可動板第１層導電コイル補助電極
である。３８は接続用電極で外側可動板の内端でジンバ
ルバネ付近に形成され、外側可動板第２層導電コイル外
端部４１ｂが直接積層される。
【０００９】外側可動板第１層導電コイル内端部３９ａ
は外側可動板の内端に形成され、外側可動板第２層導電
コイル内端部４４ａ（図５）が直接積層される。外側可
動板第１層導電コイル外端部３９ｂは外側可動板の外端
でジンバルバネ付近に形成されている。４０は外側可動
板第２層導電コイル外端部４４ｂ（図５）への接続用電
極で外側可動板の内端でジンバルバネ付近に形成され、
外側可動板第２層導電コイル外端部４４ｂが直接積層さ
れる。
は外側可動板の内端に形成され、外側可動板第２層導電
コイル内端部４４ａ（図５）が直接積層される。外側可
動板第１層導電コイル外端部３９ｂは外側可動板の外端
でジンバルバネ付近に形成されている。４０は外側可動
板第２層導電コイル外端部４４ｂ（図５）への接続用電
極で外側可動板の内端でジンバルバネ付近に形成され、
外側可動板第２層導電コイル外端部４４ｂが直接積層さ
れる。
【００１０】次に表面に絶縁層（例えば感光性ポリイミ
ドまたはＳｉＯ２）を形成し、第１層導電コイルと第２
層導電コイルが直接積層される部分を除去する。その上
に金属薄膜を形成する。金属薄膜上面にレジストを塗布
し、第２層の導電コイルパターンを形成したマスクを重
ねて露光する。レジストの開口部となる部分を除去し、
金属薄膜をエッチングする。レジストを除去することに
より、図５の第２層の導電コイルパターンが形成でき
る。
ドまたはＳｉＯ２）を形成し、第１層導電コイルと第２
層導電コイルが直接積層される部分を除去する。その上
に金属薄膜を形成する。金属薄膜上面にレジストを塗布
し、第２層の導電コイルパターンを形成したマスクを重
ねて露光する。レジストの開口部となる部分を除去し、
金属薄膜をエッチングする。レジストを除去することに
より、図５の第２層の導電コイルパターンが形成でき
る。
【００１１】内側可動板３４には内側可動板第２層導電
コイル４１が形成され、外側可動板３５には外側可動板
第２層導電コイル４４が形成される。内側可動板第２層
導電コイル内端部４１ａは内側可動板の中央部に形成さ
れ、内側可動板第１層導電コイル内端部３６ａに直接積
層される。内側可動板第２層導電コイル外端部４１ｂは
外側可動板の内端でジンバルバネ付近に形成される。４
２は内側可動板第２層導電コイル補助電極である。４３
は接続用電極で外側可動板３５の内端でジンバルバネ付
近に形成され、外側可動板第１層導電コイル外端部３６
ｂに直接積層される。なお、補助電極３７、４２はジン
バルバネの強度を同じにするためのものである。
コイル４１が形成され、外側可動板３５には外側可動板
第２層導電コイル４４が形成される。内側可動板第２層
導電コイル内端部４１ａは内側可動板の中央部に形成さ
れ、内側可動板第１層導電コイル内端部３６ａに直接積
層される。内側可動板第２層導電コイル外端部４１ｂは
外側可動板の内端でジンバルバネ付近に形成される。４
２は内側可動板第２層導電コイル補助電極である。４３
は接続用電極で外側可動板３５の内端でジンバルバネ付
近に形成され、外側可動板第１層導電コイル外端部３６
ｂに直接積層される。なお、補助電極３７、４２はジン
バルバネの強度を同じにするためのものである。
【００１２】外側可動板第２層導電コイル内端部４４ａ
は外側可動部３５の内端に形成され、外側可動板第１層
導電コイル内端部３５ａに直接積層される。外側可動板
第２層導電コイル外端部４４ｂは外側可動板３５の外端
でジンバルバネ付近に形成される。４５は外側可動板第
１層導電コイル外端部３９ｂの接続用電極で外側可動板
３５の外端でジンバルバネ付近に形成され、外側可動板
第１層導電コイル外端部３９ｂに直接積層される。
は外側可動部３５の内端に形成され、外側可動板第１層
導電コイル内端部３５ａに直接積層される。外側可動板
第２層導電コイル外端部４４ｂは外側可動板３５の外端
でジンバルバネ付近に形成される。４５は外側可動板第
１層導電コイル外端部３９ｂの接続用電極で外側可動板
３５の外端でジンバルバネ付近に形成され、外側可動板
第１層導電コイル外端部３９ｂに直接積層される。
【００１３】次に表面に絶縁層を形成し、第２層コイル
と引出電極パターンが直接積層される部分を除去する。
その上に金属薄膜を形成する。金属薄膜上面にレジスト
を塗布し、引出電極パターンを形成したマスクを重ねて
露光する。レジストの開口部となる部分を除去し、金属
薄膜をエッチングする。レジストを除去することによ
り、図６の引出電極パターンが形成できる。図７は内側
駆動用導電コイル引出電極パターン付近の一部斜視図で
ある。内側可動板駆動用導電コイル引出電極４６、４７
は第１トーションバー上で平行に配置され、外側可動板
上の絶縁層縁部で外側に９０゜屈曲し、パターン幅を広
くして絶縁層上を通過し、接続用電極４３，内側可動板
第２層導電コイル外端部４１ｂに接続される。これは、
接続用電極４３、４１ｂとの接続面積を最大にすること
と、絶縁層上での断線を防止することを目的としてい
る。ボンディングパッド４６ａ、４７ａは内側可動板駆
動電源に接続される（図６）。図８は外側駆動用導電コ
イル引出電極パターン付近の一部斜視図でる。外側可動
板駆動用導電コイル引出電極４８、４９は第１トーショ
ンバー上で平行に配置され、外側可動板上の絶縁層縁部
でパターン幅を広くして外側可動板第２層導電コイル外
端部４４ｂ、接続用電極４５に接続される。ボンディン
グパッド４８ａ、４９ａは外側可動板駆動電源に接続さ
れる（図６）。
と引出電極パターンが直接積層される部分を除去する。
その上に金属薄膜を形成する。金属薄膜上面にレジスト
を塗布し、引出電極パターンを形成したマスクを重ねて
露光する。レジストの開口部となる部分を除去し、金属
薄膜をエッチングする。レジストを除去することによ
り、図６の引出電極パターンが形成できる。図７は内側
駆動用導電コイル引出電極パターン付近の一部斜視図で
ある。内側可動板駆動用導電コイル引出電極４６、４７
は第１トーションバー上で平行に配置され、外側可動板
上の絶縁層縁部で外側に９０゜屈曲し、パターン幅を広
くして絶縁層上を通過し、接続用電極４３，内側可動板
第２層導電コイル外端部４１ｂに接続される。これは、
接続用電極４３、４１ｂとの接続面積を最大にすること
と、絶縁層上での断線を防止することを目的としてい
る。ボンディングパッド４６ａ、４７ａは内側可動板駆
動電源に接続される（図６）。図８は外側駆動用導電コ
イル引出電極パターン付近の一部斜視図でる。外側可動
板駆動用導電コイル引出電極４８、４９は第１トーショ
ンバー上で平行に配置され、外側可動板上の絶縁層縁部
でパターン幅を広くして外側可動板第２層導電コイル外
端部４４ｂ、接続用電極４５に接続される。ボンディン
グパッド４８ａ、４９ａは外側可動板駆動電源に接続さ
れる（図６）。
【００１４】図９は完成したガルバノミラーチップの平
面図（ａ）とＡ−Ａ側面断面図（ｂ）である。図９
（ｂ）において外側可動板３５の右側では、基板３３上
に第１層導電コイル３９、絶縁層５０、第２層導電コイ
ル４４、絶縁層５０、引出電極４６が積層されている。
さらにその上に保護膜（不図示）が形成される。図では
大まかに表示されているが、実際にはそれぞれの膜厚は
１μｍ程度である。導電コイルの幅は４０μｍ程度であ
り、コイル間は１０μm程度、トーションバー上を通過
する引出電極幅は２０μm程度、電極間は１０μm程度、
巻数としては１５巻程度である。導電コイルに関しては
ガルバノミラーの振れ角や磁石の強度等により仕様が変
わることは言うまでもない。
面図（ａ）とＡ−Ａ側面断面図（ｂ）である。図９
（ｂ）において外側可動板３５の右側では、基板３３上
に第１層導電コイル３９、絶縁層５０、第２層導電コイ
ル４４、絶縁層５０、引出電極４６が積層されている。
さらにその上に保護膜（不図示）が形成される。図では
大まかに表示されているが、実際にはそれぞれの膜厚は
１μｍ程度である。導電コイルの幅は４０μｍ程度であ
り、コイル間は１０μm程度、トーションバー上を通過
する引出電極幅は２０μm程度、電極間は１０μm程度、
巻数としては１５巻程度である。導電コイルに関しては
ガルバノミラーの振れ角や磁石の強度等により仕様が変
わることは言うまでもない。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】図１０は内側駆動用導
電コイル引出電極形成のためのフォトマスクを配置した
外側可動板の一部断面図である。図１１は外側駆動用導
電コイル引出電極形成のためのフォトマスクを配置した
外側可動板の一部断面図である。コイル、絶縁層が積層
されることで形成されるシリコン基板との段差部の縁部
分は、構造上、光が入り込みにくい部位である。引出電
極はトーションバー上を平行に配置されるため、その電
極間隔は極力狭く形成されるが、引出電極パターン形成
のための露光の際、前記段差部縁部において生じる未露
光部により、電極パターン間が抜けずに繋がり、ショー
トすることで不良原因となってしまう。
電コイル引出電極形成のためのフォトマスクを配置した
外側可動板の一部断面図である。図１１は外側駆動用導
電コイル引出電極形成のためのフォトマスクを配置した
外側可動板の一部断面図である。コイル、絶縁層が積層
されることで形成されるシリコン基板との段差部の縁部
分は、構造上、光が入り込みにくい部位である。引出電
極はトーションバー上を平行に配置されるため、その電
極間隔は極力狭く形成されるが、引出電極パターン形成
のための露光の際、前記段差部縁部において生じる未露
光部により、電極パターン間が抜けずに繋がり、ショー
トすることで不良原因となってしまう。
【００１６】引出電極パターン形状を適正に形成するに
は、露光精度や現像、エッチング条件を厳密に制御しな
ければならず、管理を難しくしている。例えば引出電極
パターン間の繋がりを防止するために露光、現像、エッ
チング時間を過剰に増やすと、サイドエッチング量は大
きくなり、パターン幅が細くなることで抵抗値が上昇し
たり、最悪の場合断線する等、特性に多大な影響を及ぼ
す。
は、露光精度や現像、エッチング条件を厳密に制御しな
ければならず、管理を難しくしている。例えば引出電極
パターン間の繋がりを防止するために露光、現像、エッ
チング時間を過剰に増やすと、サイドエッチング量は大
きくなり、パターン幅が細くなることで抵抗値が上昇し
たり、最悪の場合断線する等、特性に多大な影響を及ぼ
す。
【００１７】本発明は上記問題点に鑑み、引出電極パタ
ーン形成時の厳密な精度を必要とせず、外側可動板の絶
縁層段差部での未露光による引出電極間の繋がりによる
ショートを防止するガルバノミラーチップ及びその製造
方法を提供するものである。
ーン形成時の厳密な精度を必要とせず、外側可動板の絶
縁層段差部での未露光による引出電極間の繋がりによる
ショートを防止するガルバノミラーチップ及びその製造
方法を提供するものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】半導体基板に、枠状の外
側可動板と該外側可動板の内側に配置される内側可動板
とからなる可動部と、前記外側可動板を揺動可能に軸支
する第１トーションバーと該第１トーションバーと軸方
向が直交し前記内側可動板を揺動可能に軸支する第２ト
ーションバーとからなる軸支部とを一体に形成し、外側
可動板及び内側可動板の上面には絶縁層を介して平面コ
イルを設け、内側可動板の下面には反射ミラーを設けた
ガルバノミラーチップにおいて、前記平面電極コイルよ
り第１トーションバー上を経由してボンディングパッド
に接続される引出電極の絶縁層縁部における電極間隔
が、第１トーションバー上での電極間隔より広く形成さ
れていることを特徴とするガルバノミラーチップとす
る。
側可動板と該外側可動板の内側に配置される内側可動板
とからなる可動部と、前記外側可動板を揺動可能に軸支
する第１トーションバーと該第１トーションバーと軸方
向が直交し前記内側可動板を揺動可能に軸支する第２ト
ーションバーとからなる軸支部とを一体に形成し、外側
可動板及び内側可動板の上面には絶縁層を介して平面コ
イルを設け、内側可動板の下面には反射ミラーを設けた
ガルバノミラーチップにおいて、前記平面電極コイルよ
り第１トーションバー上を経由してボンディングパッド
に接続される引出電極の絶縁層縁部における電極間隔
が、第１トーションバー上での電極間隔より広く形成さ
れていることを特徴とするガルバノミラーチップとす
る。
【００１９】半導体基板上に金属薄膜を形成し、フォト
マスクを用いて露光を繰り返して多層の平面電極コイル
及び絶縁層を形成するガルバノミラーチップの製造方法
において、前記平面電極コイルより第１トーションバー
を経由してボンディングパッドに接続される引出電極の
絶縁層縁部における電極間隔が、第１トーションバー上
での電極間隔より広く形成されたフォトマスクを用いる
ことを特徴とするガルバノミラーチップの製造方法とす
る。
マスクを用いて露光を繰り返して多層の平面電極コイル
及び絶縁層を形成するガルバノミラーチップの製造方法
において、前記平面電極コイルより第１トーションバー
を経由してボンディングパッドに接続される引出電極の
絶縁層縁部における電極間隔が、第１トーションバー上
での電極間隔より広く形成されたフォトマスクを用いる
ことを特徴とするガルバノミラーチップの製造方法とす
る。
【００２０】
【発明の実施の形態】図１２は本発明のガルバノミラー
チップの平面図（ａ）とＡ−Ａ側面断面図（ｂ）であ
る。図１３は絶縁層段差部付近の内側可動板駆動用導電
コイル引出電極の一部斜視図である。第１トーションバ
ー上で平行に配置された引出電極５４，５５の間隔は、
絶縁層段差部縁部で外側に斜め方向に広がり、絶縁層上
を通過し、接続用電極４３，内側可動板第２層導電コイ
ル外端部４１ｂに接続される。図１４は絶縁層段差部付
近の外側可動板駆動用導電コイル引出電極の一部斜視図
である。第１トーションバー上で平行に配置された引出
電極５６，５７は、絶縁膜縁部で外側に斜め方向に広が
り、外側可動板第２層導電コイル外端部４４ｂ、接続用
電極４５に接続される。
チップの平面図（ａ）とＡ−Ａ側面断面図（ｂ）であ
る。図１３は絶縁層段差部付近の内側可動板駆動用導電
コイル引出電極の一部斜視図である。第１トーションバ
ー上で平行に配置された引出電極５４，５５の間隔は、
絶縁層段差部縁部で外側に斜め方向に広がり、絶縁層上
を通過し、接続用電極４３，内側可動板第２層導電コイ
ル外端部４１ｂに接続される。図１４は絶縁層段差部付
近の外側可動板駆動用導電コイル引出電極の一部斜視図
である。第１トーションバー上で平行に配置された引出
電極５６，５７は、絶縁膜縁部で外側に斜め方向に広が
り、外側可動板第２層導電コイル外端部４４ｂ、接続用
電極４５に接続される。
【００２１】絶縁層段差部縁部での引出電極間隔は、内
側（外側）第２層導電コイル外端部及び接続電極との接
続面積を維持するため、外側に４５°屈曲させた形状と
する。この形状により、絶縁層縁部での引出電極間隔は
第１トーションバー上での電極間隔の約２０倍を確保し
得る。
側（外側）第２層導電コイル外端部及び接続電極との接
続面積を維持するため、外側に４５°屈曲させた形状と
する。この形状により、絶縁層縁部での引出電極間隔は
第１トーションバー上での電極間隔の約２０倍を確保し
得る。
【００２２】本発明の製造方法は、前述した従来の製造
方法とほぼ同様で、各工程順序も同様である。図１５
は、引出電極を形成するために用いるフォトマスクであ
る。図中の斜線部はマスクパターンであり、引出電極が
形成されるパターンと同形状のものである。このマスク
を用いた製造方法をとることで、露光の際、絶縁層段差
部においても引出電極パターン間に光が十分に入り込
み、電極パターン間が抜けることでショートを防ぐこと
ができる。
方法とほぼ同様で、各工程順序も同様である。図１５
は、引出電極を形成するために用いるフォトマスクであ
る。図中の斜線部はマスクパターンであり、引出電極が
形成されるパターンと同形状のものである。このマスク
を用いた製造方法をとることで、露光の際、絶縁層段差
部においても引出電極パターン間に光が十分に入り込
み、電極パターン間が抜けることでショートを防ぐこと
ができる。
【００２３】
【発明の効果】コイル、絶縁膜が積層されることにより
生じる段差部縁部に引出電極パターンが配置される場合
にあっても、引出電極パターン間に光が十分に入り込
み、電極パターン繋がりが起こらず、ショートを未然に
防ぐことができる。
生じる段差部縁部に引出電極パターンが配置される場合
にあっても、引出電極パターン間に光が十分に入り込
み、電極パターン繋がりが起こらず、ショートを未然に
防ぐことができる。
【００２４】絶縁層縁部において引出電極パターン間隔
を広げた形状にしても、内側（外側）第２層導電コイル
外端部及び接続電極との接続面積は維持されるため、導
通が損なわれる危険はない。
を広げた形状にしても、内側（外側）第２層導電コイル
外端部及び接続電極との接続面積は維持されるため、導
通が損なわれる危険はない。
【図１】プレーナー型２次元ガルバノミラーを示す図
で、上面図（ａ）と側面断面図（ｂ）。
で、上面図（ａ）と側面断面図（ｂ）。
【図２】プレーナー型２次元ガルバノミラーのシリコン
基板を台座基板に配置した状態を示す図で、上面図
（ａ）と側面断面図（ｂ）。
基板を台座基板に配置した状態を示す図で、上面図
（ａ）と側面断面図（ｂ）。
【図３】プレーナー型２次元ガルバノミラーの反射ミラ
ー側からの斜視図。
ー側からの斜視図。
【図４】本発明に係わるプレーナー型２次元ガルバノミ
ラーチップの導電コイルパターン形成を説明するための
図で、平面図（ａ）と断面図（ｂ）。
ラーチップの導電コイルパターン形成を説明するための
図で、平面図（ａ）と断面図（ｂ）。
【図５】本発明に係わるプレーナー型２次元ガルバノミ
ラーチップの導電コイルパターン形成を説明するための
図で、平面図。
ラーチップの導電コイルパターン形成を説明するための
図で、平面図。
【図６】本発明に係わるプレーナー型２次元ガルバノミ
ラーチップの引出電極パターン形成を説明するための図
で、平面図。
ラーチップの引出電極パターン形成を説明するための図
で、平面図。
【図７】プレーナー型２次元ガルバノミラーチップの内
側駆動用コイル引出電極パターン形成を説明するための
図で、一部斜視図。
側駆動用コイル引出電極パターン形成を説明するための
図で、一部斜視図。
【図８】プレーナー型２次元ガルバノミラーチップの外
側駆動用コイル引出電極パターン形成を説明するための
図で、一部斜視図。
側駆動用コイル引出電極パターン形成を説明するための
図で、一部斜視図。
【図９】完成したガルバノミラーチップの平面図（ａ）
とＡ−Ａ側面断面図（ｂ）
とＡ−Ａ側面断面図（ｂ）
【図１０】内側駆動用導電コイル引出電極を形成するた
めのフォトマスクを配置したシリコン基板の一部断面図
めのフォトマスクを配置したシリコン基板の一部断面図
【図１１】外側駆動用導電コイル引出電極を形成するた
めのフォトマスクを配置したシリコン基板の一部断面図
めのフォトマスクを配置したシリコン基板の一部断面図
【図１２】本発明のガルバノミラーチップの平面図
（ａ）とＡ−Ａ側面断面図（ｂ）
（ａ）とＡ−Ａ側面断面図（ｂ）
【図１３】本発明のガルバノミラーチップの内側駆動用
コイル引出電極の一部斜視図
コイル引出電極の一部斜視図
【図１４】本発明のガルバノミラーチップの外側駆動用
コイル引出電極の一部斜視図
コイル引出電極の一部斜視図
【図１５】引出電極を形成するために用いるフォトマス
ク
ク
【符号の説明】 １ シリコン基板 １ａ パターン ２ 外側可動板 ３ 内側可動板 ４ 第１トーションバー ５ 第２トーションバー ６ 平面コイル ７ 反射ミラー ８ 台座基板 ８ａ 配線パターン ８ｂ サイドスルーホール ９ ワイヤー １０ 窓 １１ ベース基板 １１ａ 配線パターン １２ コネクター １３ 永久磁石 １４ ヨーク １５ 丸穴 １６ 半導体基板 １７ 外側可動板 １８ 内側可動板 １９ 第１トーションバー ２０ 第２トーションバー ２１ 平面コイル ２２ 反射ミラー ２３ ベース基板 ２４ａ 配線パターン ２５ コネクター ２６ 穴 ２７ 穴 ２８ 穴 ２９ ネジ穴 ３０ 位置出し穴 ３１ 永久磁石 ３２ ヨーク ３３ 基板 ３４ 内側可動板 ３５ 外側可動板 ３６ 外側可動板第１層導電コイル ３６ａ 内側可動板第１層導電コイル内端部 ３６ｂ 内側可動板第１層導電コイル外端部 ３７ 内側可動板第１層導電コイル補助電極 ３８ 第２層接続用電極 ３９ 外側可動板第１層導電コイル ３９ａ 外側可動板第１層導電コイル内端部 ３９ｂ 外側可動板第１層導電コイル外端部 ４０ 外側可動板第１層導電コイル第２層接続用電極 ４１ 内側可動板第２層導電コイル ４１ａ 内側可動板第２層導電コイル内端部 ４１ｂ 内側可動板第２層導電コイル外端部 ４２ 内側可動板第２層導電コイル補助電極 ４３ 第１層接続用電極 ４４ 外側可動板第２層導電コイル ４４ａ 外側可動板第２層導電コイル内端部 ４４ｂ 外側可動板第２層導電コイル外端部 ４５ 外側可動板第２層導電コイル第２１接続用電極 ４６ 内側可動板駆動用導電コイル引出電極 ４６ａ ボンディングパッド ４７ 内側可動板駆動用導電コイル引出電極 ４７ａ ボンディングパッド ４８ 外側可動板駆動用導電コイル引出電極 ４８ａ ボンディングパッド ４９ 外側可動板駆動用導電コイル引出電極 ４９ａ ボンディングパッド ５０ 絶縁膜 ５１ 第３層膜 ５２ レジスト層 ５３ フォトマスク ５４ 内側可動板駆動用導電コイル引出電極 ５５ 内側可動板駆動用導電コイル引出電極 ５６ 内側可動板駆動用導電コイル引出電極 ５７ 外側可動板駆動用導電コイル引出電極
Claims (2)
- 【請求項１】半導体基板に、枠状の外側可動板と該外側
可動板の内側に配置される内側可動板とからなる可動部
と、前記外側可動板を揺動可能に軸支する第１トーショ
ンバーと該第１トーションバーと軸方向が直交し前記内
側可動板を揺動可能に軸支する第２トーションバーとか
らなる軸支部とを一体に形成し、外側可動板及び内側可
動板の上面には絶縁層を介して平面コイルを設け、内側
可動板の下面には反射ミラーを設けたガルバノミラーチ
ップにおいて、前記平面電極コイルより第１トーション
バー上を経由してボンディングパッドに接続される引出
電極の絶縁層縁部における電極間隔が、第１トーション
バー上での電極間隔より広く形成されていることを特徴
とするガルバノミラーチップ。 - 【請求項２】半導体基板上に金属薄膜を形成し、フォト
マスクを用いて露光を繰り返して多層の平面電極コイル
及び絶縁層を形成するガルバノミラーチップの製造方法
において、前記平面電極コイルより第１トーションバー
を経由してボンディングパッドに接続される引出電極の
絶縁層縁部における電極間隔が、第１トーションバー上
での電極間隔より広く形成されたフォトマスクを用いる
ことを特徴とするガルバノミラーチップの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001096588A JP2002296518A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | ガルバノミラーチップおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001096588A JP2002296518A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | ガルバノミラーチップおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002296518A true JP2002296518A (ja) | 2002-10-09 |
Family
ID=18950489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001096588A Pending JP2002296518A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | ガルバノミラーチップおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002296518A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007148664A1 (ja) | 2006-06-23 | 2007-12-27 | Alps Electric Co., Ltd. | アクチュエータ |
| CN108726466A (zh) * | 2017-04-18 | 2018-11-02 | 北京纳米能源与***研究所 | 新型的电极结构和多功能传感器阵列及使用他们的多功能传感装置 |
-
2001
- 2001-03-29 JP JP2001096588A patent/JP2002296518A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007148664A1 (ja) | 2006-06-23 | 2007-12-27 | Alps Electric Co., Ltd. | アクチュエータ |
| CN108726466A (zh) * | 2017-04-18 | 2018-11-02 | 北京纳米能源与***研究所 | 新型的电极结构和多功能传感器阵列及使用他们的多功能传感装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100908120B1 (ko) | 전자기 마이크로 액츄에이터 | |
| US6122089A (en) | Optical deflector comprising a movable member having a high rigidity and a reduced moment of inertia and a method for producing the same | |
| US6473221B2 (en) | Galvano-mirror and method of making the same | |
| JP4536462B2 (ja) | プレーナ型アクチュエータ及びその製造方法 | |
| JP2004198648A (ja) | プレーナ型アクチュエータ | |
| JP4458704B2 (ja) | プレーナー型ガルバノ装置及びその製造方法 | |
| JP6180074B2 (ja) | プレーナ型電磁アクチュエータ | |
| JP2002296518A (ja) | ガルバノミラーチップおよびその製造方法 | |
| JP2001250914A (ja) | ガルバノミラーチップおよびその製造方法 | |
| JP3893374B2 (ja) | マイクロミラーアクチュエータ及びその製造方法 | |
| JP4376679B2 (ja) | プレーナ型アクチュエータの製造方法 | |
| JP2006293325A (ja) | 光スキャナの配線構造及び製造方法 | |
| JP4963864B2 (ja) | 電磁アクチュエータ | |
| JP4969136B2 (ja) | アクチュエータ製造方法 | |
| JP2005295646A (ja) | プレーナ型電磁アクチュエータ | |
| JP4526676B2 (ja) | 光偏向素子及びその製造方法 | |
| JP2007252124A (ja) | 電磁アクチュエータ | |
| JP2006187060A (ja) | マイクロアクチュエータ及びその製造方法、並びに、光学装置及び光スイッチ | |
| JP3920714B2 (ja) | プレーナ型電磁アクチュエータ及びその製造方法 | |
| JP2011203561A (ja) | Ｍｅｍｓ素子とその製造方法 | |
| JP5520566B2 (ja) | プレーナ型アクチュエータおよびその製造方法 | |
| KR100450790B1 (ko) | 마이크로 미러 스캐너 및 그 제조방법 | |
| JP6253889B2 (ja) | プレーナ型アクチュエータ | |
| JP2024001983A (ja) | 光モジュール | |
| KR100261772B1 (ko) | 개선된 비어 컨택을 갖는 박막형광로 조절장치 및 그 제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040319 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040602 |