JP2002296214A - ガスセンサの検査方法及び製造方法 - Google Patents

ガスセンサの検査方法及び製造方法

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JP2002296214A
JP2002296214A JP2001096593A JP2001096593A JP2002296214A JP 2002296214 A JP2002296214 A JP 2002296214A JP 2001096593 A JP2001096593 A JP 2001096593A JP 2001096593 A JP2001096593 A JP 2001096593A JP 2002296214 A JP2002296214 A JP 2002296214A
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Taiji Kawamura
泰司 川村
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Denso Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 検出素子に潜在クラックを有するガスセンサ
が市場へ流出することを防ぐ,ガスセンサの検査方法及
び製造方法を提供すること。 【解決手段】 検出素子11を有するガスセンサ1の品
質を検査する方法。検出素子11に衝撃力を与え,検出
素子11に存在していた潜在クラックを大きくして,顕
在クラックとする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は,検出素子を有するガスセンサの
品質を検査する方法に関する。
【0002】
【従来技術】従来より,検出素子を有するガスセンサの
品質の検査は,上記検出素子のクラックの有無を目視等
により確認したり,ガスセンサの出力特性を測定した
り,検出素子の気密性を確認したりすることにより行っ
ている。
【0003】
【解決しようとする課題】しかしながら,上記従来のガ
スセンサの検査方法によると,上記検出素子に存在す
る,微小なクラックや未貫通のクラック等の潜在クラッ
クを発見することは困難である。即ち,上記潜在クラッ
クのある検出素子を有するガスセンサは,良品と判断さ
れて市場に流出するおそれがある。かかる潜在クラック
は,例えば,上記ガスセンサの使用により大きくなり,
ガスセンサの出力特性が低下するなどの不具合を生ずる
原因となる。即ち,上記潜在クラックの存在は,ガスセ
ンサの耐久性を低下させる原因となる。
【0004】本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので,検出素子に潜在クラックを有するガスセ
ンサが市場へ流出することを防ぐ,ガスセンサの検査方
法及び製造方法を提供しようとするものである。
【0005】
【課題の解決手段】第1の発明は,検出素子を有するガ
スセンサの品質を検査する方法において,上記検出素子
に衝撃力を与えることにより,該検出素子に潜在クラッ
クが存在していた場合に,該潜在クラックを大きくして
顕在クラックとすることを特徴とするガスセンサの検査
方法にある(請求項1)。
【0006】上記ガスセンサの検査方法によると,上記
検出素子に潜在クラックが生じていた場合に,該潜在ク
ラックを,発見が容易な顕在クラックとすることができ
る。即ち,上記検出素子に上記潜在クラックが生じてい
ても,これを発見することは困難であるが,上記潜在ク
ラックを顕在クラックとすることにより発見が容易とな
る。そのため,潜在クラックの生じていた上記検出素子
を,容易に検出することができる。それ故,検出素子に
潜在クラックを有するガスセンサが市場に流出すること
を防ぐことができる。
【0007】以上のごとく,上記第1の発明によれば,
検出素子に潜在クラックを有するガスセンサが市場へ流
出することを防ぐ,ガスセンサの検査方法を提供するこ
とができる。
【0008】第2の発明は,筒状のハウジングと,該ハ
ウジング内に挿入配置された検出素子とからなるガスセ
ンサの品質を検査する方法において,略鉛直平面内で回
動可能なシャフトに固定したホルダーに,上記ガスセン
サのハウジングを嵌入保持させ,上記ホルダーを,上記
シャフトの回動に伴って重力により振り下ろして,上記
ホルダーの軌道上に配置された打撃プレートに,上記ホ
ルダーを衝突させることにより,上記検出素子に衝撃力
を与え,上記ホルダーの上記打撃プレートへの衝突は,
上記ガスセンサを基準とする衝突方向が互いに略直交す
る2方向となるように複数回行うことにより,上記検出
素子に潜在クラックが存在していた場合に,該潜在クラ
ックを大きくして顕在クラックとすることを特徴とする
ガスセンサの検査方法にある(請求項7)。
【0009】上記第2の発明によれば,検出素子に潜在
クラックを有するガスセンサが市場へ流出することをよ
り確実に防ぐ,ガスセンサの検査方法を提供することが
できる。
【0010】第3の発明は,筒状のハウジングに検出素
子を挿入すると共に固定して,ガスセンサを製造するに
当り,上記ハウジングに上記検出素子を固定した後,該
検出素子に衝撃力を与え,顕在クラックが生じないこと
を確認することを特徴とするガスセンサの製造方法にあ
る(請求項9)。
【0011】本製造方法によれば,仮に上記検出素子に
潜在クラックが生じていた場合に,該潜在クラックが,
上記衝撃力により,発見が容易な顕在クラックとなる。
即ち,上記検出素子に潜在クラックが生じていても,こ
れを発見することは困難であるが,上記潜在クラックを
顕在クラックとすることにより発見が容易となる。
【0012】そのため,上記のごとく上記検出素子に衝
撃力を与えた後に,上記顕在クラックが生じていないこ
とを確認することにより,潜在クラックがないことをも
確認することができる。従って,第3の発明によれば,
検出素子に潜在クラックのないガスセンサを得ることが
できる,ガスセンサの製造方法を提供することができ
る。
【0013】
【発明の実施の形態】上記第1の発明(請求項1)にお
いて,上記ガスセンサとしては,例えば,内燃機関の空
燃比制御のために酸素濃度を測定するガスセンサ等があ
る。また,上記ガスセンサの品質とは,例えば,上記検
出素子の強度,耐久性,気密性や,ガスセンサの出力特
性等をいう。また,上記検出素子は,例えば,セラミッ
クからなる。
【0014】また,上記潜在クラックとは,例えば,上
記検出素子に生じた微小なクラックや,未貫通のクラッ
ク等,発見が困難なクラックであって,かつガスセンサ
の使用時に不具合を生ずる原因となるおそれがあるクラ
ックをいう。また,上記顕在クラックとは,例えば,上
記潜在クラックよりも大きいクラックや,貫通したクラ
ック等,比較的発見が容易なクラックをいう。
【0015】また,上記検出素子に衝撃力を与えるに当
っては,略鉛直平面内で回動可能なシャフトに固定した
ホルダーに,上記ガスセンサを嵌入保持させ,上記ホル
ダーを,上記シャフトの回動に伴って重力により振り下
ろして,上記ホルダーの軌道上に配置された打撃プレー
トに,上記ホルダーを衝突させることが好ましい(請求
項2)。この場合には,上記検出素子に,容易に衝撃力
を与えることができる。また,上記検出素子に,所望の
衝撃力を正確に与えることができる。
【0016】また,上記ホルダーは,上記ガスセンサを
固定する固定手段を有することが好ましい(請求項
3)。この場合には,上記ガスセンサを上記ホルダーに
安定して固定することができ,より正確な衝撃力を上記
検出素子に与えることができる。
【0017】また,上記衝撃力とは,ホルダーを介して
検出素子に間接的に付与される力であるが,その大きさ
は,次の範囲であることが好ましい。即ち,上記潜在ク
ラックを確実に上記顕在クラックとすることができる最
低限の衝撃力を定め,これを保証レベル(1)とする。
一方,上記潜在クラックが生じていない検出素子にクラ
ックを生じさせることがなく,本来良品とすべきであっ
たガスセンサを不良品としてしまうことを確実に防止で
きる最大限の衝撃力を定め,これを保証レベル(2)と
する。そして,上記検出素子に付与する衝撃力の大きさ
は,上記保証レベル(1)〜保証レベル(2)の範囲と
することが好ましい。なお,具体的な数値は,検出素子
の種類によって異なり,実験的に定めることができる。
また,その大きさは,例えば,重力加速度Gを用いて表
すことができる。
【0018】また,上記衝撃力の付与は,一つのガスセ
ンサについて複数回行うことが好ましい(請求項4)。
この場合には,仮に,上記衝撃力にばらつきが生じたと
しても,上記潜在クラックを確実に上記顕在クラックに
することができる。
【0019】上記複数回の衝撃力の付与は,上記検出素
子に対して異なる方向から行うことが好ましい(請求項
5)。この場合には,上記検出素子における潜在クラッ
クの存在部分によらず,該潜在クラックの顕在化を確実
に行うことができる。
【0020】上記複数回の衝撃力の付与は,上記検出素
子に対して,少なくとも互いに略直交する2方向から行
うことが好ましい(請求項6)。この場合には,上記検
出素子における潜在クラックの存在部分によらず,該潜
在クラックの顕在化を一層確実に行うことができる。
【0021】また,上記検出素子への衝撃力の付与の
後,ガスセンサの出力特性及び検出素子の気密性の少な
くとも一方を検査することが好ましい(請求項8)。こ
の場合には,上記ガスセンサの出力特性や,上記検出素
子の気密性を通じて,上記検出素子の顕在クラックの有
無を確認することができ,容易にガスセンサの検査を行
うことができる。
【0022】次に,上記第2の発明(請求項7)におい
て,上記検出素子への衝撃力の付与の後,ガスセンサの
出力特性及び検出素子の気密性の少なくとも一方を検査
することが好ましい(請求項8)。この場合には,上記
ガスセンサの出力特性や,上記検出素子の気密性を通じ
て,上記検出素子の顕在クラックの有無を確認すること
ができ,容易にガスセンサの検査を行うことができる。
【0023】第3の発明(請求項9)において,上記検
出素子への衝撃力の付与に当っては,例えば,上記第1
の発明或いは第2の発明において好ましい実施の形態
を,適用することもできる。この場合には,より確実
に,検出素子に潜在クラックのないガスセンサを得るこ
とができる,ガスセンサの製造方法を提供することがで
きる。
【0024】
【実施例】(実施例1)本発明の実施例にかかるガスセ
ンサの検査方法につき,図1〜図7を用いて説明する。
本例は,図4,図5(A)に示すごとく,筒状のハウジ
ング12と,該ハウジング12内に挿入配置された検出
素子11とからなるガスセンサ1の品質を検査する方法
の例である。本例のガスセンサ1の検査方法において
は,図1,図2に示すごとく,上記検出素子11に衝撃
力を与える。これにより,該検出素子11に潜在クラッ
ク21(図3(A))が存在していた場合に,該潜在ク
ラック21を大きくして顕在クラック22(図3
(B))とする。
【0025】上記ガスセンサ1は,内燃機関の空燃比制
御のために酸素濃度を測定するガスセンサである。ま
た,上記検出素子11は,セラミックからなる。また,
上記ガスセンサ1の品質とは,例えば,上記検出素子1
1の強度,耐久性,気密性や,ガスセンサ1の出力特性
等をいう。
【0026】また,上記潜在クラック21とは,例え
ば,図3(A)に示すごとく,上記検出素子11に生じ
た微小なクラックや,未貫通のクラック等,発見が困難
なクラックであって,かつガスセンサの使用時に不具合
を生ずる原因となるおそれがあるクラックをいう。ま
た,上記顕在クラック22とは,例えば,図3(B)に
示すごとく,上記潜在クラック21よりも大きいクラッ
クや,貫通したクラック等,比較的発見が容易なクラッ
クをいう。
【0027】上記検出素子11に衝撃力を与えるに当っ
ては,図1,図2,図6に示すごとく,まず,略鉛直平
面内で回動可能なシャフト31に固定したホルダー32
に,上記ガスセンサ1のハウジング12を嵌入保持させ
る。上記シャフト31は,その上端を支点311として
回動可能になっている。
【0028】次いで,図1,図2の矢印Rに示すごと
く,上記ホルダー32を,上記シャフト31の回動に伴
って重力により振り下ろして,上記ホルダー32の軌道
上に配置された打撃プレート4に,上記ホルダー32を
衝突させる。これにより,上記検出素子11に保証レベ
ル(1)〜保証レベル(2)の衝撃力を与える。この衝
撃力によって,図3(A),(B)に示すごとく,上記
検出素子11に存在していた潜在クラック21を大きく
して,顕在クラック22とする。
【0029】なお,上記保証レベル(1)とは,上記潜
在クラックを確実に上記顕在クラックとすることができ
る最低限の衝撃力のレベルであり,上記保証レベル
(2)とは,上記潜在クラックが生じていない検出素子
にクラックを生じさせることがなく,本来良品とすべき
であったガスセンサを不良品としてしまうことを確実に
防止できる最大限の衝撃力のレベルである。
【0030】上記検出素子11への衝撃力の付与は,上
記シャフト31を,鉛直方向に対して一定の角度θだけ
振り上げた状態(図1)から,重力による振り子運動
(矢印R)をさせて,上記ホルダー32を打撃プレート
4に衝突させる(図2)ことにより行なう。該打撃プレ
ート4は,上記ホルダー32が最下点(θ=0)のとき
に衝突するような位置に配置されている。なお,図2に
おける破線は,上記ホルダー32を振り下ろす前の上記
シャフト31の位置を示す。
【0031】上記衝撃力は,振り上げられたときの上記
ホルダー32の高さと,打撃プレート4へ衝突したとき
の上記ホルダー32の高さとの差により決定される。従
って,上記シャフト31の長さ(支点311からホルダ
ー32までの距離)L,及び振り上げ角度θにより決定
される。また,上記シャフト31の長さLが一定であれ
ば,振り上げ角度θにより,上記衝撃力が決定される。
【0032】上記ガスセンサ1は,図4,図5(A)に
示すごとく,筒状のハウジング12と,該ハウジング1
2内に挿入配置された検出素子11とを有する。また,
上記検出素子11のツバ部111は,上記ハウジング1
2の内壁に当接しており,その当接部に,粉体13が,
パッド14及びサポータ15を共に加圧充填されてい
る。
【0033】また,上記ハウジング12の先端側には,
排気カバー161,162が配設され,これらの内側に
排気室160が形成されている。一方,上記ハウジング
12の後端側には,大気カバー168が設けられてい
る。また,符号191はマイナスリードであり,符号1
92はマイナス端子である。また,符号193はプラス
リードであり,符号194はプラス端子である。また,
上記ハウジング12は,略中央に,外側へ突出した六角
部121を有し,その先端側には円筒部122を有す
る。
【0034】また,図5(B)に示すごとく,上記ホル
ダー32は,上記ガスセンサ1のハウジング12を嵌入
させる開口部33を有している。該開口部33は,上記
ハウジング12の六角部121を嵌入させる六角形状凹
部331と,上記ハウジング12の円筒部122を嵌入
させる円形状開口部332とからなる(図5(B),図
6)。上記ホルダー32及び上記打撃プレート4は,共
に高強度炭素鋼からなる。また,上記シャフト31は炭
素鋼からなる。
【0035】上記ホルダー32の上記打撃プレート4へ
の衝突は,図7に示すごとく,上記ガスセンサ1を基準
とする衝突方向が互いに略直交する2方向となるように
複数回行う。具体的には,上記図7(A)の状態で,上
記ホルダー32の側面321を上記打撃プレート4へ6
回衝突させた後,図7(B)に示すごとく,上記ホルダ
ー32の側面321に対して略直角な側面322を,上
記打撃プレート4へ6回衝突させる(矢印R)。
【0036】上記ガスセンサ1(図4)は,筒状のハウ
ジング12に検出素子11を挿入すると共に固定して製
造する。そして,上記ハウジング12に上記検出素子1
1を固定した後,上述のごとく,該検出素子11に衝撃
力を与え,顕在クラック22が生じないことを確認す
る。
【0037】具体的には,上記ガスセンサ1を製造する
に当り,上記ハウジング12に排気カバー162,16
1を組付け,かしめる。次いで,上記ハウジング12に
上記検出素子11を挿入する。次いで,検出素子11の
ツバ部111と上記ハウジング12の内壁との当接部
に,粉体13,パッド14,サポータ15を加圧充填す
る。次いで,上記ハウジング12に上記大気カバー16
8を組付け,かしめる。
【0038】これにより上記ガスセンサ1(図4)を得
た後,上記検出素子11に衝撃力を与える。そして,そ
の後,ガスセンサ1の出力特性,検出素子11の気密性
等について,検査を行なう。これらの検査において,基
準値を満たすものを良品として出荷する。
【0039】次に,本例の作用効果につき説明する。上
記ガスセンサの検査方法によると,上記検出素子11に
潜在クラック21が生じていた場合に,該潜在クラック
21を,発見が容易な顕在クラック22とすることがで
きる。即ち,上記検出素子11に上記潜在クラック21
が生じていても,これを発見することは困難であるが,
上記潜在クラック21を顕在クラック22とすることに
より発見が容易となる。そのため,潜在クラック21の
生じていた上記検出素子11を,容易に検出することが
できる。それ故,検出素子11に潜在クラック21を有
するガスセンサ1が市場に流出することを防ぐことがで
きる。
【0040】また,上記検出素子11に衝撃力を与える
に当っては,上記シャフト31に固定したホルダー32
に上記ガスセンサ1を嵌入保持させ,上記ホルダー32
を,重力により振り下ろして上記打撃プレート4に衝突
させる(図1,図2)。そのため,上記検出素子11
に,容易に衝撃力を与えることができる。また,上記検
出素子11に,所望の衝撃力を正確に与えることができ
る。即ち,上記シャフト31の振り上げ角度θを調整す
ることにより,上記検出素子11に対して,容易に所望
の衝撃力を正確に与えることができる。
【0041】また,上記衝撃力は,上記保証レベル
(1)〜保証レベル(2)とするため,上記潜在クラッ
ク21を確実に上記顕在クラック22とすることができ
る。また,上記衝撃力の付与は,一つのガスセンサ1に
ついて複数回行うため,仮に,上記衝撃力にばらつきが
生じたとしても,上記潜在クラック21を確実に上記顕
在クラック22にすることができる。しかも,上記衝撃
力の付与は,上記検出素子11に対して,互いに略直交
する2方向から各6回行うため,上記検出素子11にお
ける潜在クラック21の存在部分によらず,該潜在クラ
ック21の顕在化を一層確実に行うことができる。
【0042】また,上記検出素子11への衝撃力の付与
の後,ガスセンサ1の出力特性及び検出素子11の気密
性を検査する。そのため,上記ガスセンサ1の出力特性
や,上記検出素子11の気密性を通じて,上記検出素子
11の顕在クラック22の有無を確認することができ,
容易にガスセンサ1の検査を行うことができる。
【0043】また,ガスセンサ1を製造するに当って
は,ハウジング12に検出素子11を固定した後,該検
出素子11に衝撃力を与え,顕在クラック22が生じな
いことを確認する。そのため,仮に上記検出素子11に
潜在クラック21が生じていた場合に,該潜在クラック
21が,上記衝撃力により,発見が容易な顕在クラック
22となる。即ち,上記検出素子11に潜在クラック2
1が生じていても,これを発見することは困難である
が,上記潜在クラック21を顕在クラック22とするこ
とにより発見が容易となる。
【0044】それ故,上記のごとく上記検出素子11に
衝撃力を与えた後に,上記顕在クラック22が生じてい
ないことを確認することにより,潜在クラック21がな
いことをも確認することができる。従って,検出素子1
1に潜在クラック21のないガスセンサ1を得ることが
できる。
【0045】以上のごとく,本例によれば,検出素子に
潜在クラックを有するガスセンサが市場へ流出すること
を防ぐ,ガスセンサの検査方法及び製造方法を提供する
ことができる。
【0046】(実施例2)本例は,図8に示すごとく,
ホルダー32に,ガスセンサ1を固定する固定手段を設
けた例である。例えば,図8(A)に示すごとく,上記
ホルダー32に,開口部33へ向かって付勢されたバネ
34を内蔵する。該バネ34の先端には,上記開口部3
3に嵌入させたガスセンサ1のハウジング12に当接さ
せる当接パッド341が取り付けてある。これにより,
上記ホルダー32に嵌入させたガスセンサ1を,側方か
ら固定する。
【0047】また,図8(B)に示すごとく,上記ホル
ダー32の上方に,上記ガスセンサ1を大気カバー16
8の上方から押える押え治具35を配設する。該押え治
具35は,シャフト31に組込まれたバネ34により,
下方へ付勢されている。これにより,上記ホルダー32
に嵌入させたガスセンサ1を,上方から固定する。その
他は,実施例1と同様である。
【0048】これらの場合には,上記ガスセンサ1を上
記ホルダー32に安定して固定することができ,より正
確な衝撃力を上記検出素子11に与えることができる。
その他,実施例1と同様の作用効果を有する。
【0049】(実施例3)本例は,図9に示すごとく,
ホルダー320の形状を変化させた例である。即ち,図
9(B),(C)に示すごとく,上記ホルダー320
は,上部327を幅広く形成し,下部328を細く形成
してある。また,上記ホルダー320の上部327は,
複数の曲面を組合せた側面329を有している。その他
は,実施例1と同様である。
【0050】本例によれば,ホルダー重量の軽量化を図
ることができる。その他,実施例1と同様の作用効果を
有する。なお,実施例1や実施例3で示した以外にも,
上記ホルダーの形状としては,例えば,楕円形状,円形
状等,種々の形状とすることができる。
【0051】(実施例4)本例は,図10に示すごと
く,ホルダー32の振り上げ角度θ(図2)と衝撃力と
の関係を測定した例である。即ち,上記ホルダー32の
振り上げ角度θを,θ1,θ2,θ3,θ4としたとき
の,ホルダー32に保持させたガスセンサ1の検出素子
11に加わる衝撃力を,それぞれ測定した。なお,θ1
<θ2<θ3<θ4である。測定に用いたガスセンサ1
やホルダー32,打撃プレート4等は,実施例1で示し
たものを用いた。また,シャフト31の長さLは540
mmとした。また,測定は,各振り上げ角度θに対して
20回ずつ行ない,その最小値,最大値,平均値を,図
10に示した。
【0052】図10より分かるように,振り上げ角度θ
がθ2以上あれば,保証レベル(1)の衝撃力を確保す
ることができる。一方,振り上げ角度θがθ4のとき,
保証レベル(2)を超えるおそれがあることも分かる。
そして,振り上げ角度θをθ2〜θ3とすることによ
り,所望の衝撃力を保証することができることが分か
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1における,検出素子へ衝撃を与えるに
当り,ガスセンサを保持したホルダーを振り上げた状態
を表す説明図。
【図2】実施例1における,ガスセンサを保持したホル
ダーを打撃プレートに衝突させ,検出素子へ衝撃を与え
た状態を表す説明図。
【図3】実施例1における,(A)検出素子に生じてい
る潜在クラックの説明図,(B)顕在クラックの説明
図。
【図4】実施例1における,ガスセンサの断面図。
【図5】実施例1における,(A)ガスセンサの斜視
図,(B)ホルダーの斜視図。
【図6】実施例1における,ガスセンサを保持したホル
ダーの斜視図。
【図7】実施例1における,(A)最初に衝撃力を与え
る際のガスセンサを保持したホルダーの上面図,(B)
向きを変えて衝撃力を与える際のガスセンサを保持した
ホルダーの上面図。
【図8】実施例2における,(A)ホルダーに嵌入させ
たガスセンサを側方から固定した状態を表す断面説明
図,(B)ホルダーに嵌入させたガスセンサを上方から
固定した状態を表す断面説明図。
【図9】実施例3における,ホルダーの(A)上面図,
(B)側面図,(C)(A)のA−A線矢視断面図。
【図10】実施例4における,振り上げ角度θと衝撃力
との関係の測定結果を表す線図。
【符号の説明】
1...ガスセンサ, 11...検出素子, 12...ハウジング, 21...潜在クラック, 22...顕在クラック, 31...シャフト, 32,320...ホルダー, 4...打撃プレート,

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検出素子を有するガスセンサの品質を検
    査する方法において,上記検出素子に衝撃力を与えるこ
    とにより,該検出素子に潜在クラックが存在していた場
    合に,該潜在クラックを大きくして顕在クラックとする
    ことを特徴とするガスセンサの検査方法。
  2. 【請求項2】 請求項1において,上記検出素子に衝撃
    力を与えるに当っては,略鉛直平面内で回動可能なシャ
    フトに固定したホルダーに,上記ガスセンサを嵌入保持
    させ,上記ホルダーを,上記シャフトの回動に伴って重
    力により振り下ろして,上記ホルダーの軌道上に配置さ
    れた打撃プレートに,上記ホルダーを衝突させることを
    特徴とするガスセンサの検査方法。
  3. 【請求項3】 請求項2において,上記ホルダーは,上
    記ガスセンサを固定する固定手段を有することを特徴と
    するガスセンサの検査方法。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか一項において,
    上記衝撃力の付与は,一つのガスセンサについて複数回
    行うことを特徴とするガスセンサの検査方法。
  5. 【請求項5】 請求項4において,上記複数回の衝撃力
    の付与は,上記検出素子に対して異なる方向から行うこ
    とを特徴とするガスセンサの検査方法。
  6. 【請求項6】 請求項5において,上記複数回の衝撃力
    の付与は,上記検出素子に対して,少なくとも互いに略
    直交する2方向から行うことを特徴とするガスセンサの
    検査方法。
  7. 【請求項7】 筒状のハウジングと,該ハウジング内に
    挿入配置された検出素子とからなるガスセンサの品質を
    検査する方法において,略鉛直平面内で回動可能なシャ
    フトに固定したホルダーに,上記ガスセンサのハウジン
    グを嵌入保持させ,上記ホルダーを,上記シャフトの回
    動に伴って重力により振り下ろして,上記ホルダーの軌
    道上に配置された打撃プレートに,上記ホルダーを衝突
    させることにより,上記検出素子に衝撃力を与え,上記
    ホルダーの上記打撃プレートへの衝突は,上記ガスセン
    サを基準とする衝突方向が互いに略直交する2方向とな
    るように複数回行うことにより,上記検出素子に潜在ク
    ラックが存在していた場合に,該潜在クラックを大きく
    して顕在クラックとすることを特徴とするガスセンサの
    検査方法。
  8. 【請求項8】 請求項1〜7のいずれか一項において,
    上記検出素子への衝撃力の付与の後,ガスセンサの出力
    特性及び検出素子の気密性の少なくとも一方を検査する
    ことを特徴とするガスセンサの検査方法。
  9. 【請求項9】 筒状のハウジングに検出素子を挿入する
    と共に固定して,ガスセンサを製造するに当り,上記ハ
    ウジングに上記検出素子を固定した後,該検出素子に衝
    撃力を与え,顕在クラックが生じないことを確認するこ
    とを特徴とするガスセンサの製造方法。
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