JP2002289150A - 誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置 - Google Patents
誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置Info
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- JP2002289150A JP2002289150A JP2001088641A JP2001088641A JP2002289150A JP 2002289150 A JP2002289150 A JP 2002289150A JP 2001088641 A JP2001088641 A JP 2001088641A JP 2001088641 A JP2001088641 A JP 2001088641A JP 2002289150 A JP2002289150 A JP 2002289150A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】管状の放電容器にゲッターを配設した構成が簡
素な誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置を提
供する。 【解決手段】細長い管状の気密容器2内の両端に管軸に
沿って設けられた軸部7および軸部7に連続して設けら
れ、気密容器2の内面に近接する中間部8を有する内部
電極3と、内部電極3の中間部8に対向するように、気
密容器2の外面に沿って配設された外部電極4とを備
え、不純ガスを吸収するゲッター6を外部電極4との間
で放電が形成されないように軸部7に配設する。
素な誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置を提
供する。 【解決手段】細長い管状の気密容器2内の両端に管軸に
沿って設けられた軸部7および軸部7に連続して設けら
れ、気密容器2の内面に近接する中間部8を有する内部
電極3と、内部電極3の中間部8に対向するように、気
密容器2の外面に沿って配設された外部電極4とを備
え、不純ガスを吸収するゲッター6を外部電極4との間
で放電が形成されないように軸部7に配設する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ゲッターを備えた
誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置に関す
る。
誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子
を形成し、このエキシマ分子から放射光を得る誘電バリ
ヤ放電ランプは、例えば光化学反応用の紫外線光源な
ど、種々の分野で使用されている。しかし、この誘電体
バリヤ放電ランプは、点灯中に気密容器内に不純ガスが
発生し、紫外線の出力低下を引き起こすという問題があ
った。そこで、気密容器内に不純ガスを吸収するゲッタ
ーを備えた誘電バリヤ放電ランプが、例えば特開平6−
338302号公報、特開平7−142037号公報、
特許第3125606号公報(従来技術1)または特開
平10−283994号公報(従来技術2)に開示され
ている。
を形成し、このエキシマ分子から放射光を得る誘電バリ
ヤ放電ランプは、例えば光化学反応用の紫外線光源な
ど、種々の分野で使用されている。しかし、この誘電体
バリヤ放電ランプは、点灯中に気密容器内に不純ガスが
発生し、紫外線の出力低下を引き起こすという問題があ
った。そこで、気密容器内に不純ガスを吸収するゲッタ
ーを備えた誘電バリヤ放電ランプが、例えば特開平6−
338302号公報、特開平7−142037号公報、
特許第3125606号公報(従来技術1)または特開
平10−283994号公報(従来技術2)に開示され
ている。
【0003】従来技術1の誘電体バリヤ放電ランプは、
放電空間内に連通するゲッター収納室を設け、このゲッ
ター収納室にゲッターを配設したものである。また、従
来技術2の誘電体バリヤ放電ランプ50は、図5に示す
ように、放電容器51内に配置されたゲッター52と、
放電容器51の壁部53の外面に固定されたゲッター保
持用部材54とを備えてなり、ゲッター52およびゲッ
ター保持用部材54の少なくとも一方が磁力を有し、こ
の磁力によって、ゲッター保持用部材54が固定された
放電容器51の壁部53の内面にゲッター52が固定さ
れているものである。
放電空間内に連通するゲッター収納室を設け、このゲッ
ター収納室にゲッターを配設したものである。また、従
来技術2の誘電体バリヤ放電ランプ50は、図5に示す
ように、放電容器51内に配置されたゲッター52と、
放電容器51の壁部53の外面に固定されたゲッター保
持用部材54とを備えてなり、ゲッター52およびゲッ
ター保持用部材54の少なくとも一方が磁力を有し、こ
の磁力によって、ゲッター保持用部材54が固定された
放電容器51の壁部53の内面にゲッター52が固定さ
れているものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来技術1はゲッター
収納室を設けるので、放電容器の全長が大きくなるとい
う欠点を有する。また、従来技術2の誘電体バリヤ放電
ランプ50は、ゲッター保持用部材54を備える空間を
要するので、従来技術1と同様に、放電容器51の全長
が大きくなるとともに、ゲッター52およびゲッター保
持用部材54の少なくとも一方が磁力を有するので、誘
電体バリヤ放電ランプ50の構成が複雑になり、かつ、
高価になるという欠点を有する。
収納室を設けるので、放電容器の全長が大きくなるとい
う欠点を有する。また、従来技術2の誘電体バリヤ放電
ランプ50は、ゲッター保持用部材54を備える空間を
要するので、従来技術1と同様に、放電容器51の全長
が大きくなるとともに、ゲッター52およびゲッター保
持用部材54の少なくとも一方が磁力を有するので、誘
電体バリヤ放電ランプ50の構成が複雑になり、かつ、
高価になるという欠点を有する。
【0005】また、従来技術1および従来技術2の放電
容器は、外形が円筒状である外側管と内側管とを同軸に
配置して、両管の間に両端が封じられた中空筒状の放電
空間を形成したものであり、1個の管状の放電容器にゲ
ッターを配設したものではない。
容器は、外形が円筒状である外側管と内側管とを同軸に
配置して、両管の間に両端が封じられた中空筒状の放電
空間を形成したものであり、1個の管状の放電容器にゲ
ッターを配設したものではない。
【0006】本発明は上記問題点に鑑みなされたもの
で、管状の放電容器にゲッターを配設した構成が簡素な
誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置を提供す
ることを目的とする。
で、管状の放電容器にゲッターを配設した構成が簡素な
誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置を提供す
ることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の誘電体
バリヤ放電ランプの発明は、紫外線を透過させる細長い
管状の気密容器と;気密容器内の両端に管軸に沿って設
けられた軸部および軸部に連続して設けられ、気密容器
の内面に近接する中間部を有する内部電極と;内部電極
の中間部に対向するように、気密容器の外面に沿って配
設された外部電極と;気密容器内に封入されたエキシマ
生成ガスと;外部電極との間で放電が形成されないよう
に、軸部に配設された不純ガスを吸着するゲッターと;
を具備していることを特徴とする。
バリヤ放電ランプの発明は、紫外線を透過させる細長い
管状の気密容器と;気密容器内の両端に管軸に沿って設
けられた軸部および軸部に連続して設けられ、気密容器
の内面に近接する中間部を有する内部電極と;内部電極
の中間部に対向するように、気密容器の外面に沿って配
設された外部電極と;気密容器内に封入されたエキシマ
生成ガスと;外部電極との間で放電が形成されないよう
に、軸部に配設された不純ガスを吸着するゲッターと;
を具備していることを特徴とする。
【0008】管軸とは、気密容器の縦断面における中心
軸をいい、この中心軸の長手方向に軸部が配設される。
軸をいい、この中心軸の長手方向に軸部が配設される。
【0009】軸部は、金属線例えばタングステン線から
なり、両端側がそれぞれ気密容器の両端に封装される。
なり、両端側がそれぞれ気密容器の両端に封装される。
【0010】ゲッターが外部電極との間で放電すると、
気密容器の長手方向における光出力の均一性が損なわれ
るとともに、ゲッターが温められ、ゲッターが不純ガス
を放出する。したがって、ゲッターを外部電極との間で
放電が形成されないように、軸部に配設することによ
り、放電容器からの光出力の均一性と放電容器内の不純
ガスの吸着がなされる。
気密容器の長手方向における光出力の均一性が損なわれ
るとともに、ゲッターが温められ、ゲッターが不純ガス
を放出する。したがって、ゲッターを外部電極との間で
放電が形成されないように、軸部に配設することによ
り、放電容器からの光出力の均一性と放電容器内の不純
ガスの吸着がなされる。
【0011】本発明によれば、ゲッターは、外部電極と
の間で放電が形成されないように、軸部に配設されてい
るので、放電容器内の不純ガスを吸着することができ、
放電容器からの紫外線の出力低下が防止される。
の間で放電が形成されないように、軸部に配設されてい
るので、放電容器内の不純ガスを吸着することができ、
放電容器からの紫外線の出力低下が防止される。
【0012】請求項2に記載の誘電体バリヤ放電ランプ
の発明は、請求項1記載の誘電体バリヤ放電ランプにお
いて、ゲッターは、内部電極の中間部から10mm以上
離間した放電容器の端部に配設されていることを特徴と
する。
の発明は、請求項1記載の誘電体バリヤ放電ランプにお
いて、ゲッターは、内部電極の中間部から10mm以上
離間した放電容器の端部に配設されていることを特徴と
する。
【0013】本発明によれば、ゲッターは、内部電極の
中間部から10mm以上離間した放電容器の端部に配設
されているので、外部電極は、内部電極の中間部との間
で放電が形成され、ゲッターとの間では確実に放電が防
止される。
中間部から10mm以上離間した放電容器の端部に配設
されているので、外部電極は、内部電極の中間部との間
で放電が形成され、ゲッターとの間では確実に放電が防
止される。
【0014】請求項3に記載の紫外線照射装置の発明
は、請求項1または2記載の誘電体バリヤ放電ランプ
と;誘電体バリヤ放電ランプを内包している紫外線を透
過可能な管状の外管と;外管と誘電体バリヤ放電ランプ
との間に窒素ガスを供給させる窒素ガス供給手段と;誘
電体バリヤ放電ランプの内部電極および外部電極の間に
高周波電圧を印加する高周波発生装置と;少なくとも誘
電体バリヤ放電ランプを内包した外管を収容している紫
外線照射装置本体と;を具備していることを特徴とす
る。
は、請求項1または2記載の誘電体バリヤ放電ランプ
と;誘電体バリヤ放電ランプを内包している紫外線を透
過可能な管状の外管と;外管と誘電体バリヤ放電ランプ
との間に窒素ガスを供給させる窒素ガス供給手段と;誘
電体バリヤ放電ランプの内部電極および外部電極の間に
高周波電圧を印加する高周波発生装置と;少なくとも誘
電体バリヤ放電ランプを内包した外管を収容している紫
外線照射装置本体と;を具備していることを特徴とす
る。
【0015】誘電体バリヤ放電ランプは、ランプ自体が
外管を備えた放電ランプであってもよい。
外管を備えた放電ランプであってもよい。
【0016】窒素ガスは、外管と誘電体バリヤ放電ラン
プとの間に酸素を介在させなくするものであり、酸素に
よる紫外線の吸収を防止する。
プとの間に酸素を介在させなくするものであり、酸素に
よる紫外線の吸収を防止する。
【0017】本発明によれば、外部電極との間で放電が
形成されないように内部電極の軸部に配設されたゲッタ
ーを備えた誘電体バリア放電ランプを具備し、この放電
ランプと外管との間に窒素ガスを供給しているので、紫
外線の出力低下が防止され、放電ランプの長手方向に亘
って均一な紫外線照射が行える。
形成されないように内部電極の軸部に配設されたゲッタ
ーを備えた誘電体バリア放電ランプを具備し、この放電
ランプと外管との間に窒素ガスを供給しているので、紫
外線の出力低下が防止され、放電ランプの長手方向に亘
って均一な紫外線照射が行える。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて、図面を参照して説明する。
いて、図面を参照して説明する。
【0019】まず、本発明の第1の実施形態について説
明する。
明する。
【0020】図1は、本発明の第1の実施形態を示す誘
電体バリヤ放電ランプの概略断面図である。誘電体バリ
ヤ放電ランプ1は、気密容器2、内部電極3、外部電極
4、エキシマ生成ガス5およびゲッター6を有して形成
されている。
電体バリヤ放電ランプの概略断面図である。誘電体バリ
ヤ放電ランプ1は、気密容器2、内部電極3、外部電極
4、エキシマ生成ガス5およびゲッター6を有して形成
されている。
【0021】気密容器2は、紫外線を透過させる細長い
管状の合成石英からなり、両端が封止されており、例え
ば全長650mm、管外径11.5mmに形成されてい
る。
管状の合成石英からなり、両端が封止されており、例え
ば全長650mm、管外径11.5mmに形成されてい
る。
【0022】内部電極3は、気密容器2内の両端に管軸
に沿って設けられた軸部7およびこの軸部7に連続して
設けられた中間部8を有して形成されている。軸部7
は、例えば線径0.26mmのタングステン線を外径
1.2mmのコイル状に巻回して気密容器2内の長手方
向に配設し、両端はそれぞれ気密容器2の両端部におい
て金属箔9,9に封着されている。そして、この金属箔
9,9には外部導体10,10が封着されている。すな
わち、軸部7,7は、気密容器2の両端にそれぞれ封装
され、気密容器2の両端に封装された外部導体10,1
0に電気的に接続されている。
に沿って設けられた軸部7およびこの軸部7に連続して
設けられた中間部8を有して形成されている。軸部7
は、例えば線径0.26mmのタングステン線を外径
1.2mmのコイル状に巻回して気密容器2内の長手方
向に配設し、両端はそれぞれ気密容器2の両端部におい
て金属箔9,9に封着されている。そして、この金属箔
9,9には外部導体10,10が封着されている。すな
わち、軸部7,7は、気密容器2の両端にそれぞれ封装
され、気密容器2の両端に封装された外部導体10,1
0に電気的に接続されている。
【0023】中間部8は、気密容器2の内面に近接する
アンカー9,…を有し、気密容器2の両端側に設けられ
たアンカー9,9内に形成されている。アンカー9,…
は、線径0.26mmのタングステン線を用いて形成さ
れ、環径9mmに形成された環状部9aおよびこの環状
部9aを軸部7に支持している支持部9bよりなる。環
状部9aは、例えば12mmピッチに軸部7に配設され
ている。この結果、有効発光長は約575mmに形成さ
れる。また、環状部9aは、支持部9bと導通してい
る。そして、アンカー9,…は、内部電極3の主体部を
形成している。
アンカー9,…を有し、気密容器2の両端側に設けられ
たアンカー9,9内に形成されている。アンカー9,…
は、線径0.26mmのタングステン線を用いて形成さ
れ、環径9mmに形成された環状部9aおよびこの環状
部9aを軸部7に支持している支持部9bよりなる。環
状部9aは、例えば12mmピッチに軸部7に配設され
ている。この結果、有効発光長は約575mmに形成さ
れる。また、環状部9aは、支持部9bと導通してい
る。そして、アンカー9,…は、内部電極3の主体部を
形成している。
【0024】外部電極4は、例えば線径0.26mmの
タングステン線を、内部電極3の中間部8に対向するよ
うにして、気密容器2の外面に沿い、長手方向に螺旋状
に配設したものである。外部電極4は、最も近い内部電
極3、すなわちアンカー9,…の環状部9a,…との間
で気密容器2を介して放電する。
タングステン線を、内部電極3の中間部8に対向するよ
うにして、気密容器2の外面に沿い、長手方向に螺旋状
に配設したものである。外部電極4は、最も近い内部電
極3、すなわちアンカー9,…の環状部9a,…との間
で気密容器2を介して放電する。
【0025】エキシマ生成ガス5は、エキシマ分子を形
成し得るものであればよく、例えばキセノン、アルゴ
ン、ヘリウムなどの希ガスや塩化キセノン(XeCl)
や塩化クリプトン(XeCl)などの希ガスハロゲン化
物が放電容器2内に封入されている。
成し得るものであればよく、例えばキセノン、アルゴ
ン、ヘリウムなどの希ガスや塩化キセノン(XeCl)
や塩化クリプトン(XeCl)などの希ガスハロゲン化
物が放電容器2内に封入されている。
【0026】ゲッター6は、アンカー9との距離L1が
10mm以上となるように、内部電極3の軸部7の一端
側に配設されている。ゲッター6は、放電ランプ1の点
灯中に発生する不純ガス、例えば炭素、水素、酸素など
の単体原子およびその化合物を吸収するものであり、タ
ンタルまたはバリウムなどからなっている。そして、ゲ
ッター6は、コイル状の軸部7に挟持されるようにして
固定されている。
10mm以上となるように、内部電極3の軸部7の一端
側に配設されている。ゲッター6は、放電ランプ1の点
灯中に発生する不純ガス、例えば炭素、水素、酸素など
の単体原子およびその化合物を吸収するものであり、タ
ンタルまたはバリウムなどからなっている。そして、ゲ
ッター6は、コイル状の軸部7に挟持されるようにして
固定されている。
【0027】ゲッター6をアンカー9より10mm以上
離間させることにより、外部電極4はゲッター6と放電
するよりも直近のアンカー9と放電しやすくなる。した
がって、外部電極4とゲッター6との放電を防止するこ
とができる。
離間させることにより、外部電極4はゲッター6と放電
するよりも直近のアンカー9と放電しやすくなる。した
がって、外部電極4とゲッター6との放電を防止するこ
とができる。
【0028】そして、外部電極4と外部導体10の間、
すなわち外部電極4と内部電極3の間には、図1に示す
ように、高周波発生装置12が接続される。高周波発生
装置12は、例えば2〜2.5kV、100〜130k
Hzの高周波電圧を発生して、内部電極3および外部電
極4の間に印加する。
すなわち外部電極4と内部電極3の間には、図1に示す
ように、高周波発生装置12が接続される。高周波発生
装置12は、例えば2〜2.5kV、100〜130k
Hzの高周波電圧を発生して、内部電極3および外部電
極4の間に印加する。
【0029】次に、第1の実施形態の作用について述べ
る。
る。
【0030】内部電極3および外部電極4の間に高周波
発生装置12から高周波電圧が印加されると、放電容器
2を介して、外部電極4と内部電極3である外部電極4
に直近のアンカー9の環状体9aとの間に放電が形成さ
れる。放電が形成されると、すなわち放電ランプ1が点
灯するとエキシマ生成ガス5に励起ガスが形成され、紫
外線例えば172nmが放電容器2から出射される。
発生装置12から高周波電圧が印加されると、放電容器
2を介して、外部電極4と内部電極3である外部電極4
に直近のアンカー9の環状体9aとの間に放電が形成さ
れる。放電が形成されると、すなわち放電ランプ1が点
灯するとエキシマ生成ガス5に励起ガスが形成され、紫
外線例えば172nmが放電容器2から出射される。
【0031】そして、放電ランプ1の点灯中に発生した
不純ガスは、ゲッター6に吸収される。この結果、不純
ガスが放電容器2の内面などに付着しなくなるので、紫
外線の出力低下が防止され、ランプ寿命が向上する。
不純ガスは、ゲッター6に吸収される。この結果、不純
ガスが放電容器2の内面などに付着しなくなるので、紫
外線の出力低下が防止され、ランプ寿命が向上する。
【0032】ゲッター6は、内部電極3の中間部8であ
るアンカー9の環状部9aとの距離L1が10mm以上
となるようにしており、また、外部電極4は内部電極3
の中間部8に対向して配設しているので、外部電極4は
ゲッター6と放電するよりも直近のアンカー9と放電し
やすい。したがって、外部電極4とゲッター6との放電
を防止することができる。
るアンカー9の環状部9aとの距離L1が10mm以上
となるようにしており、また、外部電極4は内部電極3
の中間部8に対向して配設しているので、外部電極4は
ゲッター6と放電するよりも直近のアンカー9と放電し
やすい。したがって、外部電極4とゲッター6との放電
を防止することができる。
【0033】仮に、ゲッター6と外部電極4の距離L1
が近く、ゲッター6と外部電極4との間で放電すると、
ゲッター6の配設位置、すなわち気密容器2の端部側か
ら紫外線が出射されるので、放電容器2の長手方向にお
ける紫外線出力の均一性が損なわれる。また、ゲッター
6が温められるので、ゲッター6から不純ガスが放出さ
れ、紫外線出力の低下、ランプ寿命が短縮化されるおそ
れがある。
が近く、ゲッター6と外部電極4との間で放電すると、
ゲッター6の配設位置、すなわち気密容器2の端部側か
ら紫外線が出射されるので、放電容器2の長手方向にお
ける紫外線出力の均一性が損なわれる。また、ゲッター
6が温められるので、ゲッター6から不純ガスが放出さ
れ、紫外線出力の低下、ランプ寿命が短縮化されるおそ
れがある。
【0034】なお、ゲッター6は、内部電極3の距離L
1が10mm以上である必要はなく、外部電極4との間
で放電が形成されないように、軸部7に配設されていれ
ばよいものである。
1が10mm以上である必要はなく、外部電極4との間
で放電が形成されないように、軸部7に配設されていれ
ばよいものである。
【0035】次に、本発明の第2の実施形態について説
明する。
明する。
【0036】図2は、本発明の第2の実施形態を示す別
の誘電体バリヤ放電ランプの一部切り欠き正面図であ
る。なお、図1と同一部分には同一符号を付して説明は
省略する。
の誘電体バリヤ放電ランプの一部切り欠き正面図であ
る。なお、図1と同一部分には同一符号を付して説明は
省略する。
【0037】図2に示す誘電体バリヤ放電ランプ13
は、図1に示す誘電体バリヤ放電ランプ1を内包した外
管14を具備したものである。そして、放電容器2の両
端にそれぞれ口金15,15を配設するとともに、口金
15,15に内部電極3に電気的に接続されたリード線
16、外部電極4に電気的に接続された給電端子17が
設けられたものである。そして、外管14は、紫外線を
透過可能な管状の合成石英で形成されている。
は、図1に示す誘電体バリヤ放電ランプ1を内包した外
管14を具備したものである。そして、放電容器2の両
端にそれぞれ口金15,15を配設するとともに、口金
15,15に内部電極3に電気的に接続されたリード線
16、外部電極4に電気的に接続された給電端子17が
設けられたものである。そして、外管14は、紫外線を
透過可能な管状の合成石英で形成されている。
【0038】そして、図3に示すように、口金15,1
5および外管14との間にそれぞれ窒素ガスの流入口1
8および排出口19が設けられたものである。窒素ガス
は、流入口18から誘電体バリヤ放電ランプ1の放電容
器2および外管14の間に流入し、排出口19から排出
される。これにより、放電容器2および外管14の間に
窒素ガスが介在し酸素がほとんどなくなる。したがっ
て、誘電体バリヤ放電ランプ1から出射された紫外線
は、酸素に吸収されて減少することなく、外管14から
出射される。また、外管14は、誘電体バリヤ放電ラン
プ1の保護も兼ねるものである。
5および外管14との間にそれぞれ窒素ガスの流入口1
8および排出口19が設けられたものである。窒素ガス
は、流入口18から誘電体バリヤ放電ランプ1の放電容
器2および外管14の間に流入し、排出口19から排出
される。これにより、放電容器2および外管14の間に
窒素ガスが介在し酸素がほとんどなくなる。したがっ
て、誘電体バリヤ放電ランプ1から出射された紫外線
は、酸素に吸収されて減少することなく、外管14から
出射される。また、外管14は、誘電体バリヤ放電ラン
プ1の保護も兼ねるものである。
【0039】次に、本発明の第3の実施形態について説
明する。
明する。
【0040】図3は、本発明の第3の実施形態を示す紫
外線照射装置の概略正面図である。なお、図2と同一部
分には同一符号を付して説明は省略する。
外線照射装置の概略正面図である。なお、図2と同一部
分には同一符号を付して説明は省略する。
【0041】図3に示す紫外線照射装置20は、紫外線
照射装置本体21の下面側に複数の誘電体バリヤ放電ラ
ンプ13,…が設置され、誘電体バリヤ放電ランプ1
3,…下面に被照射物である液晶基板22が搬送される
ものである。そして、誘電体バリヤ放電ランプ13,…
と液晶基板22との距離L2は、約3mmである。ま
た、紫外線照射装置本体21には、図1に示す高周波発
生装置12が収容されている。高周波発生装置12は、
誘電体バリヤ放電ランプ13,…の内部電極3および外
部電極4の間に高周波電圧を印加して、誘電体バリヤ放
電ランプ13,…を点灯させる。
照射装置本体21の下面側に複数の誘電体バリヤ放電ラ
ンプ13,…が設置され、誘電体バリヤ放電ランプ1
3,…下面に被照射物である液晶基板22が搬送される
ものである。そして、誘電体バリヤ放電ランプ13,…
と液晶基板22との距離L2は、約3mmである。ま
た、紫外線照射装置本体21には、図1に示す高周波発
生装置12が収容されている。高周波発生装置12は、
誘電体バリヤ放電ランプ13,…の内部電極3および外
部電極4の間に高周波電圧を印加して、誘電体バリヤ放
電ランプ13,…を点灯させる。
【0042】そして、誘電体バリヤ放電ランプ13,…
の放電容器2および外管14の間には、紫外線照射装置
本体21に併設している窒素ガス供給手段としての窒素
ガス供給装置23から窒素ガスが供給されている。
の放電容器2および外管14の間には、紫外線照射装置
本体21に併設している窒素ガス供給手段としての窒素
ガス供給装置23から窒素ガスが供給されている。
【0043】紫外線照射装置20は、紫外線を液晶基板
22に照射して液晶基板22の改質や洗浄などを行う。
そして、誘電体バリヤ放電ランプ13,…は、放電容器
2および外管14の間に窒素ガスが供給され、また、誘
電体バリヤ放電ランプ13,…と液晶基板22との距離
L2が約3mmと短いので、酸素による紫外線の出力低
下が防止され、誘電体バリヤ放電ランプ13,…の長手
方向に亘って均一な紫外線照射を行うことができる。
22に照射して液晶基板22の改質や洗浄などを行う。
そして、誘電体バリヤ放電ランプ13,…は、放電容器
2および外管14の間に窒素ガスが供給され、また、誘
電体バリヤ放電ランプ13,…と液晶基板22との距離
L2が約3mmと短いので、酸素による紫外線の出力低
下が防止され、誘電体バリヤ放電ランプ13,…の長手
方向に亘って均一な紫外線照射を行うことができる。
【0044】なお、誘電体バリヤ放電ランプ13,…に
代え、図1に示す誘電体バリヤ放電ランプ1に別の外管
を配設するように構成してもよい。
代え、図1に示す誘電体バリヤ放電ランプ1に別の外管
を配設するように構成してもよい。
【0045】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、ゲッターは、
外部電極との間で放電が形成されないように、軸部に配
設されているので、ゲッターから不純ガスが放出される
ことはなく、放電容器内の不純ガスを吸着することがで
きて、放電容器からの紫外線の出力低下を防止すること
ができる。
外部電極との間で放電が形成されないように、軸部に配
設されているので、ゲッターから不純ガスが放出される
ことはなく、放電容器内の不純ガスを吸着することがで
きて、放電容器からの紫外線の出力低下を防止すること
ができる。
【0046】請求項2の発明によれば、ゲッターは、内
部電極の中間部から10mm以上離間した放電容器の端
部に配設されているので、外部電極は、ゲッターよりも
内部電極の中間部との間で放電が形成され、ゲッターと
の間で確実に放電を防止することができる。
部電極の中間部から10mm以上離間した放電容器の端
部に配設されているので、外部電極は、ゲッターよりも
内部電極の中間部との間で放電が形成され、ゲッターと
の間で確実に放電を防止することができる。
【0047】請求項3の発明によれば、外部電極との間
で放電が形成されないように、内部電極の軸部に配設さ
れたゲッターを備えた誘電体バリヤ放電ランプを具備
し、また、誘電体バリヤ放電ランプと外管との間に窒素
ガスが供給されているので、紫外線の出力低下が防止さ
れ、放電ランプの長手方向に亘って均一な紫外線照射が
行える紫外線照射装置を提供することができる。
で放電が形成されないように、内部電極の軸部に配設さ
れたゲッターを備えた誘電体バリヤ放電ランプを具備
し、また、誘電体バリヤ放電ランプと外管との間に窒素
ガスが供給されているので、紫外線の出力低下が防止さ
れ、放電ランプの長手方向に亘って均一な紫外線照射が
行える紫外線照射装置を提供することができる。
【図1】本発明の第1の実施形態を示す誘電体バリヤ放
電ランプの概略断面図。
電ランプの概略断面図。
【図2】本発明の第2の実施形態を示す別の誘電体バリ
ヤ放電ランプの一部切り欠き正面図。
ヤ放電ランプの一部切り欠き正面図。
【図3】同じく、誘電体バリヤ放電ランプの概略断面
図。
図。
【図4】本発明の第3の実施形態を示す紫外線照射装置
の概略正面図。
の概略正面図。
【図5】従来技術の誘電体バリヤ放電ランプの概略断面
図。
図。
【符号の説明】 1,13……誘電体バリヤ放電ランプ 2……………気密容器 3……………内部電極 4……………外部電極 5……………エキシマ生成ガス 6……………ゲッター 12…………高周波電圧発生装置 14……………外管 20…………紫外線照射装置 21…………紫外線照射装置本体 23……窒素ガス供給手段としての窒素ガス供給装置
Claims (3)
- 【請求項1】 紫外線を透過させる細長い管状の気密容
器と;気密容器内の両端に管軸に沿って設けられた軸部
および軸部に連続して設けられ、気密容器の内面に近接
する中間部を有する内部電極と;内部電極の中間部に対
向するように、気密容器の外面に沿って配設された外部
電極と;気密容器内に封入されたエキシマ生成ガスと;
外部電極との間で放電が形成されないように、軸部に配
設された不純ガスを吸着するゲッターと;を具備してい
ることを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ。 - 【請求項2】 ゲッターは、内部電極の中間部から10
mm以上離間した放電容器の端部に配設されていること
を特徴とする請求項1記載の誘電体バリヤ放電ランプ。 - 【請求項3】 請求項1または2記載の誘電体バリヤ放
電ランプと;誘電体バリヤ放電ランプを内包している紫
外線を透過可能な管状の外管と;外管と誘電体バリヤ放
電ランプとの間に窒素ガスを供給させる窒素ガス供給手
段と;誘電体バリヤ放電ランプの内部電極および外部電
極の間に高周波電圧を印加する高周波発生装置と;少な
くとも誘電体バリヤ放電ランプを内包した外管を収容し
ている紫外線照射装置本体と;を具備していることを特
徴とする紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001088641A JP2002289150A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | 誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001088641A JP2002289150A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | 誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002289150A true JP2002289150A (ja) | 2002-10-04 |
Family
ID=18943706
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001088641A Pending JP2002289150A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | 誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002289150A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005100934A (ja) * | 2003-09-04 | 2005-04-14 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2005276640A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Ushio Inc | エキシマランプ |
EP2106918A1 (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-07 | FUJIFILM Corporation | Ink-jet recording method and device |
JP2012212576A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-01 | Ushio Inc | 光照射装置 |
WO2014119105A1 (ja) * | 2013-01-30 | 2014-08-07 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
CN112442676A (zh) * | 2019-08-28 | 2021-03-05 | 铠侠股份有限公司 | 排气管装置 |
-
2001
- 2001-03-26 JP JP2001088641A patent/JP2002289150A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005100934A (ja) * | 2003-09-04 | 2005-04-14 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2005276640A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Ushio Inc | エキシマランプ |
EP2106918A1 (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-07 | FUJIFILM Corporation | Ink-jet recording method and device |
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WO2014119105A1 (ja) * | 2013-01-30 | 2014-08-07 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP2014146527A (ja) * | 2013-01-30 | 2014-08-14 | Ushio Inc | エキシマランプ |
CN112442676A (zh) * | 2019-08-28 | 2021-03-05 | 铠侠股份有限公司 | 排气管装置 |
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