JP2002276828A - 真空ゲート弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 弁板３４と弁板支持体１５との間に平行リン
ク機構４４，４４，…を有する真空ゲート弁について、
シール部材３５の圧縮量を容易に調節できるようしかつ
平行リンク機構４４，４４，…や弁板３４に設けられて
いる弁板前ローラ３９に加わる負荷を可及的に小さくし
て長寿命化を図る。 【解決手段】 弁箱６内で真空容器１，２の開口３，４
と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移
動可能な弁板支持体１５に平行リンク機構４４，４４，
…を介して接離可能に支持され、弁板支持体１５の閉弁
位置で弁板支持体１５に対し接離して真空容器１の開口
３を開閉する弁板３４が真空容器１の開口３を閉じたと
きに弁板３４と弁箱６内壁面との間で圧縮されて弁板３
４及び弁箱６内壁面間をシールするリング状のシール部
材３５の圧縮量を、弁板支持体１５の閉弁位置の調節に
よって調整する調整手段１３を備えるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器の開口を
開閉するための真空ゲート弁に関し、特に、その開口部
のシール性能を向上させるための技術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種の真空ゲート弁とし
て、例えば実開昭６４―７７０号公報等に開示されるよ
うに、隣接する１対の真空容器に連通する弁箱内に弁板
支持体を、その背面に軸支したガイドローラで案内しな
がら昇降可能に配置し、この弁板支持体の一方の真空容
器側の側面に、弁箱と一方の真空容器との間の連通部を
開閉する弁板を平行リンク機構を介して接離可能に支持
し、弁箱内の下部に、弁板支持体の下降時に弁板に当接
して弁板を支持体に対し閉じ方向に相対移動させる弁板
ストッパを設け、弁箱上壁外面に、該上壁を上下方向に
気密状に貫通するピストンロッドを有するシリンダを取
り付けて、そのピストンロッドの下端部を弁箱内の弁板
支持体に連結し、シリンダの伸縮作動により弁板支持体
を弁箱内で昇降移動させて弁板を開閉させ、シリンダの
収縮作動により弁板支持体を上昇させたときには、その
弁板支持体と共に弁板を上昇させて弁箱の真空容器との
連通部を開き、両真空容器同士を連通させる一方、シリ
ンダの伸長動作により弁板支持体を下降させたときに
は、その途中で、弁板支持体と共に下降する弁板を弁板
ストッパに当接させて平行リンク機構により弁板支持体
から離隔させ、この離隔により弁板を弁箱と真空容器と
の連通部の周りに押し付けて両真空容器同士の連通を遮
断するようにしたものは知られている。

【０００３】ところで、このような真空ゲート弁は、弁
板と連通部周りの壁部との間に、閉弁時にその弁板及び
壁部間の隙間をシールするシール部材を備えている。そ
して、このシール部材に所定の圧縮量を付与して必要な
シール性能を発揮させる目的で、弁板支持体の移動を所
定の閉弁位置に規制する必要がある。

【０００４】そこで、一般に、ピストンロッドをそのス
トロークエンドまで伸張させたときに、そのピストンロ
ッド先端の弁板支持体が上記閉弁位置に位置付けるよう
にピストンロッドの長さを規定することが行われてい
る。また、例えば特開２０００−４６２０６号公報等に
開示されているように、弁板の上壁面に平行に対向する
壁面としてのクレビスを弁板支持体に形成して、閉弁時
にそのクレビスを弁板上壁に当接させることによって、
弁板支持体が上記閉弁位置に位置付けられるようにした
ものも知られている。

【０００５】ところで、真空ゲート弁は多数の部品から
構成されており、また溶接等の製造工程を経て製作され
るため、製品に歪み等の加工誤差が生じる虞れがある。
従って、同一の仕様に製作された真空ゲート弁であって
も、実際には、シール性能にばらつきが生じることは避
けられない。

【０００６】また、閉弁時に真空容器外部からその内部
へ向かう方向に圧力が作用する通常型の真空ゲート弁
と、真空容器内部からその外部へ圧力が作用する場合に
も対応できる、いわゆる逆圧対応型のものとでは、要求
されるシール性能が異なり、上記通常型の真空ゲート弁
を逆圧対応型のものとして使用できるようにすること
は、シール部材の変更を要するので、その実現が困難で
ある。

【０００７】しかし、上記従来のものでは、これらの問
題に対して何等効果的な対策はなされていない。すなわ
ち、上記クレビス及びピストンロッドは、連通部等から
外部に露出しない状態で弁箱内部に設けられているの
で、シール部材の圧縮量を調整するためには、その真空
ゲート弁を分解して、弁板及び弁板支持体を弁箱から取
り出した後、弁板支持体に形成されているクレビスの当
接面やピストンロッドの長さ等を調整した後、再び組み
立てる必要がある。すなわち、上記従来の真空ゲート弁
はシール性能の調整が極めて難しい。

【０００８】また、上記従来のものでは、弁板及び弁板
支持体に設けられている平行リンク機構や、閉弁時に弁
箱内下部のストッパに当接するように弁板の下端に設け
られているローラ等に大きな負荷が集中して加わるた
め、上記平行リンク機構やローラ等の摩耗が増大して、
真空ゲート弁の寿命が短くなってしまうという問題もあ
る。

【０００９】そこで、シール性能を容易に調整し得る真
空ゲート弁として、例えば特開平１１−３５１４１９号
公報等に開示されているように、弁板と一体に設けられ
た第１の支持部材に平行リンク機構を介して支持された
第２の支持部材を、この第１の支持部材から接離させて
ハウジングの壁面に当接させ、その反作用により弁板を
真空容器の開口へ押し付けるように構成されたものにつ
いて、閉弁時にその平行リンクのリンク軸を係合状態で
案内するカム溝と、このカム溝に設けられ、リンク軸に
当接してこのリンク軸の移動を規制する調節ねじとを備
えることにより、弁板の押し付け量を調整するようにし
たものが提案されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記提案例の
ものでは、閉弁時に平行リンク機構に加わる負荷がさら
に大きくなるため、平行リンク機構の摩耗の増大により
真空ゲート弁の寿命が短くなるという問題は解決できな
いばかりか、さらにその問題は顕著なものとなる。

【００１１】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、弁板と弁板支持体と
の間に平行リンク機構を有する真空ゲート弁について、
その装置構成に改良を加えることにより、シール部材の
圧縮量を容易に調節できるようにしかつ平行リンク機構
や弁板に設けられているローラに加わる負荷を可及的に
小さくして長寿命化を図ることにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１の発明では、真空ゲート弁として、ハウ
ジング内で真空容器の開口と略平行な方向に沿って開弁
位置及び閉弁位置の間を移動可能な弁板支持体と、上記
弁板支持体に対なるリンクを有する平行リンク機構を介
して接離可能に支持され、弁板支持体の閉弁位置で該弁
板支持体に対し接離して上記真空容器の開口を開閉する
弁板と、上記弁板が上記真空容器の開口を閉じたときに
弁板と開口周りの壁部との間で圧縮されて上記弁板及び
壁部間をシールするリング状のシール部材と、上記弁板
支持体の閉弁位置を調節して上記シール部材の圧縮量を
調整する調整手段とを備える。

【００１３】上記の構成により、弁板支持体の閉弁位置
が調節できるような構成とされているので、シール部材
の圧縮量を容易にかつ安定して調整することができる。
従って、加工誤差や経年劣化等によってシール性能にば
らつきや変化が生じても、それに対応してシール部材の
圧縮量を調整してシール性能を向上させることができ
る。また、シール性能を変更することにより、真空ゲー
ト弁を容易に逆圧対応型のものとすることができる。

【００１４】請求項２の発明では、上記ハウジングに、
弁板支持体の閉弁位置で該弁板支持体に当接するストッ
パ部が設けられ、上記調整手段は、上記弁板支持体のス
トッパ部との当接位置を変更するものであることを特徴
とする。

【００１５】上記の構成により、真空容器の開口から直
接的に弁板支持体とストッパとの当接位置を変更するこ
とができるので、シール部材の圧縮量を調整する目的で
真空ゲート弁を分解して弁板及び弁板支持体を弁箱から
取り出す必要がなく、シール性能の調整を極めて容易に
することができる。

【００１６】さらに、弁板支持体が閉弁位置にあるとき
にその弁板支持体をストッパにより支持することができ
るので、平行リンク機構や弁板の下端に設けられている
ローラ等に大きな負荷が集中して加わるのを防止するこ
とができる。従って、平行リンク機構やローラ等の摩耗
を抑制して、真空ゲート弁の長寿命化を図ることができ
る。

【００１７】請求項３の発明では、上記調整手段は、弁
板支持体又はストッパ部の少なくとも一方に固定されて
いることを特徴とする。このことにより、効果的に調整
手段を配設することができる。

【００１８】請求項４の発明では、上記調整手段は、複
数の板材を弁板支持体の移動方向に積層して一体化され
る積層部材からなる。このことにより、積層する板材の
枚数を変更して、積層部材における弁板支持体の移動方
向の厚さを調節することにより、弁板支持体の閉弁位置
を容易に調整することができる。換言すれば、その積層
する板材の枚数の調節によりシール部材の圧縮量を容易
に調整することができる。

【００１９】請求項５の発明では、上記調整手段は、弁
板支持体の移動方向の大きさが互いに異なる複数種類の
ブロック部材の中から選択される１つのブロック部材か
らなる。このことにより、ブロック部材を、弁板支持体
の移動方向の大きさが異なるその他のブロック部材に交
換することにより、弁板支持体の閉弁位置を変更してシ
ール部材の圧縮量を容易に調整することができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】図６及び図７は本発明の実施形態
を示し、１は前側に位置する第１真空容器、２は第１真
空容器１の後側に隣接する第２真空容器であって、各真
空容器１，２はそれぞれ互いに対向配置された略矩形状
の開口３，４を有する。この両真空容器１，２間には両
真空容器１，２の内部空間（真空空間）同士を連通又は
連通遮断するための真空ゲート弁５が配設されている。
この真空ゲート弁５は、両真空容器１，２間に気密状に
挟まれた薄厚矩形状の弁箱６を備え、この弁箱６の前壁
（図７で左側壁）の下部には上記第１真空容器１の開口
３に対応する前側連通口７が、また後壁（図７で右側
壁）の下部には第２真空容器２の開口４に対応する後側
連通口８がそれぞれ開口されており、この連通口７，８
を介して弁箱６内の真空空間が各真空容器１，２と連通
している。

【００２１】上記弁箱６内の上部には、アクチュエータ
としてのエアシリンダ３１が配設されている。すなわ
ち、弁箱６の上部壁面に締結固定されたシリンダ台１９
に載置された状態で配置固定されている。

【００２２】このエアシリンダ３１は、シリンダボディ
から下方に突出して直線運動をするピストンロッド３１
ａを有し、このピストンロッド３１ａの下端部には、底
面部とこの底面部から下方に延びる突出部１１ａとを有
するクレビス１１が鉛直面内で揺動可能に軸支されてい
る。そして、このクレビス１１の突出部１１ａに、上記
弁箱６下部の連通口７，８よりも若干大きくかつ弁箱６
内の後側（第２真空容器２側）にオフセット配置した弁
板支持体１５が連結されている。

【００２３】このようにして、シリンダ３１の伸縮作動
によりピストンロッド３１ａを昇降させることにより、
弁板支持体１５及び後述の弁板３４を昇降させる。すな
わち、シリンダ３１を収縮作動させたときには、弁板支
持体１５及び弁板３４を上昇させ、ゲート弁５を開弁状
態とする一方、シリンダ３１を伸長作動させたときに
は、弁板支持体１５及び弁板３４を下降させ、ゲート弁
５を閉弁状態とする。

【００２４】そして、上記弁板支持体１５を弁箱６内で
昇降案内する複数種類の案内用ローラ２２，２４，２６
が設けられている。すなわち、図５に示すように、弁板
支持体１５の左右側部にはそれぞれ水平左右方向の軸心
を持ったローラ軸２１，２１が突出して取付固定され、
この各ローラ軸２１には、弁箱６の前後壁内面間の間隔
よりも若干小さい外径を有しかつ弁箱６の連通孔７，８
の左右両側の前後壁内面上を転動する前後ガイドローラ
２２が回転可能に支持されている。

【００２５】また、図１、図２及び図４〜図６に示す如
く、上記弁板支持体１５の第２真空容器２側（図７で右
側）である後側面の上下端部にはそれぞれ切り欠き部５
０，５０，…が、例えば６つずつ設けられている。この
上端部の切り欠き部５０，５０は、上及び後方向に開口
する一方、下端部の切り欠き部５０，５０は、下及び後
方向に開口している。そして、これら切り欠き部５０，
５０，…には、それぞれ水平左右方向に延びるローラ軸
２３，２３，…が上下に略対応して左右方向に並んだ状
態で取付固定され、この各ローラ軸２３には弁箱６の後
壁内面上を転動可能な後側ガイドローラ２４が支持され
ている。

【００２６】さらに、図４及び図５に示す如く、弁板支
持体１５の左右側部の上下端部にはそれぞれ水平前後方
向の軸心を持つローラ軸２５，２５，…（一方のみを示
す）が取付固定され、この各ローラ軸２５に弁箱６の左
右側壁内面上を転動するサイドローラ２６が回転可能に
支持されている。そして、これらガイドローラ２２，２
４及びサイドローラ２６により弁板支持体１５が弁箱６
内で前後方向及び左右方向に殆ど位置ずれすることなく
昇降するようになっている。

【００２７】このようにして、弁板支持体１５は、弁箱
６内でガイド機構としての前後ガイドローラ２２、後側
ガイドローラ２４、及びサイドローラ２６により案内さ
れて、第１及び第２真空容器１，２の各開口と略平行な
方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能とさ
れている。

【００２８】上記弁板支持体１５の前側面（図７で左側
面）には弁板支持体１５と略同じ大きさ（弁箱６下部の
前側連通口７よりも若干大）の弁板３４が対なるリンク
を有する平行リンク機構４４，４４，…を介して接離可
能に支持されている。この弁板３４は、弁板支持体１５
の閉弁位置で弁板支持体１５に対し接離して、第１真空
容器１の開口３つまり弁箱６の前側連通口７を開閉して
第１及び第２真空容器１，２同士を連通又は連通遮断さ
せるものである。そして、その弁板３４の前側面外周部
には、例えばバイトン等からなるリング状のシール部材
３５が取付固定されており、弁板３４が第１真空容器１
の開口３を閉じたときに、弁板３４と、その開口３周り
の壁部、つまり、連通口７周りの弁箱６の前壁内面との
間で圧縮されて弁板３４及び壁部間をシールするように
なされている。

【００２９】上記平行リンク機構４４，４４，…は、弁
板３４及び弁板支持体１５の間に設けられて上記弁板支
持体１５の閉弁位置で弁板３４及び弁板支持体１５が互
いに接離するように支持しており、この弁板３４及び弁
板支持体１５が接触することによって真空ゲート弁が開
弁する一方、離隔することによって閉弁するように構成
されている。

【００３０】すなわち、図１〜図３にも示すように、弁
板支持体１５には、弁板支持体１５を前後方向に貫通す
る複数の開口部１６，１６，…がそれぞれ略左右方向に
並んだ状態で形成されている。そして、この各開口部１
６内に円筒状のリンク軸４７が弁板支持体１５の移動方
向と直交する水平左右方向が軸心方向となるように配設
されており、リンク４５の後端部（弁板支持体１５側の
端部）が、このリンク軸４７の軸心回りに揺動可能に軸
支されている。

【００３１】また、弁板３４の後側面には上記弁板支持
体１５の各開口部１６に略対応して凹部３６が形成され
ている。そして、この各凹部３６内に円筒状のリンク軸
４６が水平左右方向が軸心方向となるように配設されて
おり、上記各リンク４５の前端部（弁板３４側の端部）
がこのリンク軸４６の軸心周りに揺動可能に軸支されて
いる。そして、上記上下に対応する１対のリンク４５，
４５で平行リンク機構４４，４４，…が構成されてお
り、この平行リンク機構４４，４４，…を介して弁板３
４が弁板支持体１５の前側面（第１の真空容器１側の側
面）に接離可能に支持されている。

【００３２】また、図１，図２及び図４に示すように、
上記弁板３４の前側面における左右側部下端にはそれぞ
れ水平左右方向に延びるローラ軸３８，３８が取付固定
され、この各ローラ軸３８にはストッパローラとしての
弁板前ローラ３９が回転可能に支承されている。また、
弁箱６の前壁内面における左右側部の下端には、弁板３
４が弁箱６の前側連通口７を閉じた閉弁状態にあるとき
の上記各弁板前ローラ３９に対応して有底の凹部６ｂが
形成されており、弁板３４が前側連通口７を開いた状態
では、弁板前ローラ３９は前側連通口７の左右両側の前
壁内面上を転動するが、閉じた状態では、弁板前ローラ
３９が弁箱６の凹部６ｂ内にその底面から浮いた状態で
落ち込むようになっている。

【００３３】そして、上記弁箱６内の下部には上記各弁
板前ローラ３９の真下位置にそれぞれ当接部材４０，４
０が左右方向に並んだ状態で取り付けられている。この
各当接部材４０はブロック状のもので、弁板支持体１５
が下降端位置近傍まで下降したときに弁板３４詳しくは
弁板前ローラ３９に当接して弁板３４の下降移動を停止
させ、その後の弁板支持体１５の下降移動に伴い、弁板
３４を平行リンク機構４４，４４，…によって弁板支持
体１５から離隔する前方向つまり閉じ方向に相対移動さ
せるように案内する。尚、この弁板前ローラ３９に代
え、各当接部材４０に、弁板３４に当接して転動するス
トッパローラを軸支するようにしてもよい。

【００３４】そして、本発明の特徴として、図１及び図
５にも示すように、弁板支持体１５の閉弁位置を調節し
てシール部材３５の圧縮量を調整する調整手段１３を備
えている。具体的には、弁箱６内側底部に、ブロック状
の支持部材１２が固着して設けられており、この支持部
材１２の上面に複数の板材を弁板支持体１５の移動方向
に積層して一体化される積層部材としての調整手段１３
が載置されている。さらに、この調整部材１３の上面に
弁板支持体１５の閉弁位置でこの弁板支持体１５に当接
するストッパ１４が設けられていて、調整手段１３を介
して支持部材１２にボルト１０により締結固定されてい
る。つまり、調整手段１３は、ストッパ１４に固定され
ている。また、支持部材１２、調整手段１３及びストッ
パ１４は、それぞれ例えばステンレス鋼等からなる。

【００３５】このようにして、調整手段１３は、支持部
材１２とストッパ１４との間に挟まれる板材の枚数を変
更することにより、弁板支持体１５のストッパ１４との
当接位置を変更するようになされている。

【００３６】次に、上記実施形態の作動について説明す
る。図１，図６で実線及び図７に示す閉弁状態にある真
空ゲート弁５を開くときには、シリンダ３１の収縮作動
によりピストンロッド３１ａを上昇移動させる。このこ
とで、ピストンロッド３１ａ下端にクレビス１１を介し
て連結されている弁板支持体１５がガイドローラ２２，
２４により前後方向に、またサイドローラ２６により左
右方向にそれぞれ移動規制されて案内されながら弁箱６
内を上昇する。この弁板支持体１５の上昇により、弁箱
６と第１真空容器１との間の連通部つまり前側連通口７
を気密状に閉じていた弁板３４が平行リンク機構４４，
４４，…により引き上げられて、その前側連通口７が開
かれる。

【００３７】そして、上記シリンダ３１の収縮ストロー
クエンド近傍で、図２及び図６で仮想線に示すように弁
板支持体１５により弁板３４が下端部を弁箱６の連通口
７，８の上端位置に略一致させるように移動して、両真
空容器１，２の内部空間同士が弁箱６内を介して連通状
態となる。

【００３８】これに対し、上記開弁状態から逆にゲート
弁５を閉じるときには、シリンダ３１の伸長作動により
ピストンロッド３１ａを下降させる。このことで、弁板
支持体１５が、ガイドローラ２２，２４及びサイドロー
ラ２６により移動規制されて案内されながら弁板３４と
共に弁箱６内を下降する。そして、弁板支持体１５の下
降端位置近傍で弁板３４下端の上記各弁板前ローラ３９
がストッパ４０に当接すると、弁板３４のそれ以上の下
降移動が停止され、弁板支持体１５のさらなる下降移動
により弁板３４が今度は平行リンク機構４４，４４，…
における各リンク４５の立上がり動作により弁板支持体
１５から離隔するように前側に移動案内される。

【００３９】図６で実線及び図７に示すように、弁板支
持体１５の下端部がストッパ１４の上面近傍に達する
と、弁板に設けられているシール部材３５が、弁箱６と
第１真空容器１との間の連通部つまり弁箱６の前側連通
口７の周りの壁面に接触する。そして、ガイドローラ２
２，２４により後側面を移動規制されている弁板支持体
１５がさらに下降することにより、弁板３４は弁板支持
体１５によりリンク４５，４５，…を介して前側に押さ
れる。そして、シール部材３５の圧縮量が増大される。

【００４０】そして、弁板支持体１５の下端部がストッ
パ１４の上面に当接して弁板支持体１５が閉弁位置に達
することによりこの弁板支持体１５の下降が止まって、
シール部材３５に所定の圧縮量を付与した状態で、両真
空容器１，２の内部空間同士の連通が弁板３４によって
気密シール状態で遮断される。

【００４１】尚、この弁板支持体１５とストッパ１４と
が当接しているとき、クレビス１１の底面部と弁板３４
の上端部とは所定の間隔をあけて位置付けられている。
すなわち、本実施形態に係る真空ゲート弁５の弁板支持
体１５の下降は、クレビス１１の底面部と弁板３４の上
端部との当接ではなくて、弁板支持体１５の下端部とス
トッパ１４の上面との当接によって停止される。

【００４２】そのとき、第２真空容器２の開口４、つま
り弁箱６の後壁の開口８から直接的に弁板支持体１５と
ストッパ１４との当接位置を変更することができるの
で、シール部材３５の圧縮量を調整する目的で真空ゲー
ト弁５を分解して弁板３４及び弁板支持体１５を弁箱６
から取り出す必要がなく、シール性能の調整を極めて容
易にすることができる。

【００４３】さらに、弁板支持体１５が閉弁位置にある
ときにその弁板支持体１５をストッパ１４により支持す
ることができるので、平行リンク機構４４，４４，…や
弁板３４の下端に設けられている弁板前ローラ３９等に
大きな負荷が集中して加わるのを防止することができ
る。従って、平行リンク機構４４，４４，…や弁板前ロ
ーラ３９等の摩耗を抑制して、真空ゲート弁５の長寿命
化を図ることができる。

【００４４】そして、積層する板材の枚数を変更して、
調整手段１３たる積層部材における弁板支持体１５の移
動方向の厚さを調節することにより、弁板支持体１５の
閉弁位置を容易に調整することができる。換言すれば、
その積層する板材の枚数の調節によりシール部材３５の
圧縮量を容易に調整することができる。

【００４５】すなわち、調整手段１３は、弁板支持体１
５の閉弁位置を調節できるような構成とされているの
で、リンク４５の揺動量を変更して、シール部材３５の
圧縮量を容易にかつ安定して調整することができる。従
って、製作時の加工誤差や経年劣化等によってシール性
能にばらつきや変化が生じても、それに対応してシール
部材３５の圧縮量を調整してシール性能を向上させるこ
とができる。また、シール性能を変更することにより、
真空ゲート弁を容易に逆圧対応型のものとすることもで
きる。

【００４６】−変形例−次に、上記実施形態の変形例に
ついて説明する。本変形例は、上記実施形態では調整手
段１３を、複数の板材を弁板支持体１５の移動方向に積
層して一体化される積層部材からなるようにしたのに対
して、その調整手段１３の構成を変更したものである。

【００４７】すなわち、この変形例では、調整手段１３
は、弁板支持体１５の移動方向の大きさが互いに異なる
複数種類のブロック部材（図示省略）の中から選択され
る１つのブロック部材からなる。このブロック部材は、
例えばステンレス鋼等の剛体からなり、上記実施形態と
同様に、弁箱６の底面に固着されている支持部材１２
と、弁板支持体１５の閉弁位置でその弁板支持体１５の
下端部に当接するストッパ１４との間に配設されて、ボ
ルトにより締結固定される。

【００４８】そのとき、ブロック部材を、弁板支持体１
５の移動方向の大きさが異なるその他のブロック部材に
交換することにより、弁板支持体１５の閉弁位置を変更
してシール部材３５の圧縮量を容易に調整することがで
きる。

【００４９】尚、上記実施形態及びその変形例では、調
整手段を、ストッパ１４に固定するようにしたが、本発
明はこれに限らず、弁板支持体又はストッパの少なくと
も一方に固定されるようにすればよい。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よると、真空ゲート弁として、ハウジング内で真空容器
の開口と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の
間を移動可能な弁板支持体と、弁板支持体に平行リンク
機構を介して接離可能に支持され、弁板支持体の閉弁位
置で弁板支持体に対し接離して真空容器の開口を開閉す
る弁板と、弁板が真空容器の開口を閉じたときに弁板と
開口周りの壁部との間で圧縮されて弁板及び壁部間をシ
ールするリング状のシール部材と、弁板支持体の閉弁位
置を調節してシール部材の圧縮量を調整する調整手段と
を備えることにより、加工誤差や経年劣化等によってシ
ール性能にばらつきや変化が生じても、それに対応して
シール部材の圧縮量を調整してシール性能を向上させる
ことができる。

【００５１】請求項２の発明によると、ハウジングに、
弁板支持体の閉弁位置で弁板支持体に当接するストッパ
部を設け、調整手段を、弁板支持体のストッパ部との当
接位置を変更するものとする。ことにより、シール性能
の調整を極めて容易にすることができる。さらに、平行
リンク機構やローラ等の摩耗を抑制して、真空ゲート弁
の長寿命化を図ることができる。

【００５２】請求項３の発明によると、調整手段を、弁
板支持体又はストッパ部の少なくとも一方に固定するこ
とにより、効果的に調整手段を配設することができる。

【００５３】請求項４の発明によると、調整手段が、複
数の板材を弁板支持体の移動方向に積層して一体化され
る積層部材からなることにより、積層する板材の枚数の
調節によってシール部材の圧縮量を容易に調整すること
ができる。

【００５４】請求項５の発明によると、調整手段が、弁
板支持体の移動方向の大きさが互いに異なる複数種類の
ブロック部材の中から選択される１つのブロック部材か
らなることにより、ブロック部材の交換によって弁板支
持体の閉弁位置を変更してシール部材の圧縮量を容易に
調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】閉弁状態の真空ゲート弁の要部を拡大して示す
断面図である。

【図２】開弁状態の真空ゲート弁の要部を拡大して示す
図１相当図である。

【図３】図５におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。

【図４】図５におけるＩＶ−ＩＶ線断面図である。

【図５】閉弁状態の真空ゲート弁の要部を示す一部断面
図である。

【図６】閉弁状態の真空ゲート弁の概観を示す正面図で
ある。

【図７】閉弁状態の真空ゲート弁の概観を示す側面図で
ある。

【符号の説明】

１，２ 真空容器 ３，４ 開口 ５ 真空ゲート弁 ６ 弁箱（ハウジング） １３調整手段 １４ ストッパ（ストッパ部） １５ 弁板支持体と、 ３４ 弁板 ３５ シール部材 ４４ 平行リンク機構 ４５ リンク

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ハウジング内で真空容器の開口と略平行
   な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能な
   弁板支持体と、 上記弁板支持体に対なるリンクを有する平行リンク機構
   を介して接離可能に支持され、弁板支持体の閉弁位置で
   該弁板支持体に対し接離して上記真空容器の開口を開閉
   する弁板と、 上記弁板が上記真空容器の開口を閉じたときに弁板と開
   口周りの壁部との間で圧縮されて上記弁板及び壁部間を
   シールするリング状のシール部材と、 上記弁板支持体の閉弁位置を調節して上記シール部材の
   圧縮量を調整する調整手段とを備えることを特徴とする
   真空ゲート弁。
2. 【請求項２】 請求項１の真空ゲート弁において、 ハウジングに、弁板支持体の閉弁位置で該弁板支持体に
   当接するストッパ部が設けられ、 調整手段は、上記弁板支持体のストッパ部との当接位置
   を変更するものであることを特徴とする真空ゲート弁。
3. 【請求項３】 請求項２の真空ゲート弁において、 調整手段は、弁板支持体又はストッパ部の少なくとも一
   方に固定されていることを特徴とする真空ゲート弁。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１つの真空ゲー
   ト弁において、 調整手段は、複数の板材を弁板支持体の移動方向に積層
   して一体化される積層部材からなることを特徴とする真
   空ゲート弁。
5. 【請求項５】 請求項１〜３のいずれか１つの真空ゲー
   ト弁において、 調整手段は、弁板支持体の移動方向の大きさが互いに異
   なる複数種類のブロック部材の中から選択される１つの
   ブロック部材からなることを特徴とする真空ゲート弁。