JP2002265873A - Polishing paint and method for producing the same - Google Patents
Polishing paint and method for producing the sameInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明が属する技術分野】本発明は、金属、セラミック
ス、プラスチックス、ガラス等の表面の研磨に用いられ
る研磨フィルムの製造技術に関するものであり、特に、
通信用光ファイバコネクタ、液晶表示用カラーフィルタ
ー、光学レンズ、磁気ディスク基板、半導体ウエハ等の
ように、表面に高い平滑性と精度が要求される精密部品
の表面仕上げ研磨に適した研磨フィルムを製造するため
の研磨塗料及びその製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for producing a polishing film used for polishing a surface of metal, ceramics, plastics, glass, and the like.
Manufactures polishing films suitable for surface finish polishing of precision components that require high smoothness and precision on the surface, such as optical fiber connectors for communications, color filters for liquid crystal displays, optical lenses, magnetic disk substrates, and semiconductor wafers. And a method for producing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】表面に
高い平滑性が要求される通信用光ファイバ、液晶表示用
カラーフィルター、光学レンズ、磁気ディスク基板、半
導体ウエハ等の精密部品は、その表面に不要の傷や突起
などがあると、精密部品の設計形状から予定される機能
及び性能を発揮し得なくなるため、最終的に行われる表
面仕上げ研磨が、精密部品の機能等を左右する重要な工
程となっている。2. Description of the Related Art Precision parts such as communication optical fibers, liquid crystal display color filters, optical lenses, magnetic disk substrates, semiconductor wafers, etc., which require high smoothness on the surface, are required to have high surface quality. If there are unnecessary scratches or protrusions on the surface, the functions and performance expected from the design shape of the precision part will not be able to be exhibited, so the final surface finish polishing It is a process.
【０００３】例えば、通信用光ファイバは、銅線に代わ
る通信用線路として多用されるようになり、通信システ
ムを構成する際に、コネクタによる接続が一般的に行わ
れている。For example, communication optical fibers have come to be frequently used as communication lines in place of copper wires, and connectors are generally used when configuring communication systems.
【０００４】この光ファイバコネクタは、イットリアに
アルミニウムを添加した部分安定化ジルコニアからなる
フェルールのほぼ中央部分を貫通するように単数又は複
数の光ファイバを樹脂接着剤を用いてフェルールに接着
固定されたものであり、光ファイバコネクタの端面が所
定の形状、すなわち光ファイバの端部が、コネクタ端面
から０．１μｍ以上突出したり、０．０５μｍ以上凹ん
だりしないように表面仕上げ研磨が施されなければなら
ない。In this optical fiber connector, one or a plurality of optical fibers are adhesively fixed to a ferrule using a resin adhesive so as to penetrate a substantially central portion of a ferrule made of partially stabilized zirconia in which aluminum is added to yttria. The end face of the optical fiber connector must have a predetermined shape, that is, a surface finish polishing must be performed so that the end portion of the optical fiber does not protrude from the connector end face by 0.1 μm or more or is recessed by 0.05 μm or more. .
【０００５】また、この光ファイバの端部に傷やフェル
ールとの間からはみ出した樹脂接着剤が残っていたり、
光ファイバの端部が過度に研磨されて変形していると、
この光ファイバの端部で光散乱等が発生し、通信システ
ム全体の伝送特性が設計どおりのものとならなくなる。[0005] In addition, the end of the optical fiber may have a flaw or a resin adhesive protruding from between the ferrule and the ferrule.
If the end of the optical fiber is excessively polished and deformed,
Light scattering or the like occurs at the end of the optical fiber, and the transmission characteristics of the entire communication system are not as designed.
【０００６】これらのことから、光ファイバの端部に
は、高い平滑性と精度が要求される。For these reasons, the end of the optical fiber is required to have high smoothness and precision.
【０００７】このように表面に高い平滑性と精度が要求
される通信用光ファイバの端部や他の精密部品の表面の
仕上げ研磨は、プラスチックフィルム等のベースフィル
ム表面に研磨粒子を固定した研磨層を形成した研磨フィ
ルムをテープ状又はその他の形状に切断加工したものを
使用して行われ、研磨粒子として、金属酸化物、金属窒
化物、ダイヤモンドなどからなる粒子が使用され、特に
平均粒径１ｎｍ〜１０μｍのシリカ粒子が広く使用され
ている。As described above, the finish polishing of the surface of the end portion of a communication optical fiber and other precision parts requiring high smoothness and precision on the surface is performed by polishing with abrasive particles fixed on the surface of a base film such as a plastic film. It is performed using a polishing film having a layer formed by cutting it into a tape or other shape, and as the polishing particles, particles composed of metal oxides, metal nitrides, diamonds, etc. are used. Silica particles of 1 nm to 10 μm are widely used.
【０００８】従来、研磨フィルムの製造は、まず、ポリ
エステル系、ポリウレタン系などの合成樹脂からなる結
合剤（以下、樹脂結合剤）をメチルエチルケトン等の適
当な溶剤で溶解した樹脂溶液を製造し、この樹脂溶液中
に研磨粒子を分散して研磨塗料を製造する。ここで、樹
脂溶液中における研磨粒子の分散は、樹脂溶液を攪拌し
ながら研磨粒子を加え、さらに超音波を用いて凝集粒子
（二次粒子）を一次粒子の状態に分解して行われる。Conventionally, in the production of a polishing film, first, a resin solution in which a binder made of a synthetic resin such as a polyester-based or polyurethane-based resin (hereinafter referred to as a resin binder) is dissolved in a suitable solvent such as methyl ethyl ketone is produced. Abrasive paint is manufactured by dispersing abrasive particles in a resin solution. Here, the dispersion of the abrasive particles in the resin solution is performed by adding the abrasive particles while stirring the resin solution, and further decomposing the aggregated particles (secondary particles) into primary particles using ultrasonic waves.
【０００９】次に、この研磨塗料をベースフィルム表面
に塗布し、乾燥させて研磨塗料中の溶剤を蒸発させる。
ここで、溶剤を蒸発させると、樹脂結合剤が三次元的に
結合して三次元網目構造を形成し、研磨粒子がこの三次
元網目構造に固定され、研磨粒子を固定した研磨層がプ
ラスチックフィルムの表面に形成される。Next, this polishing paint is applied to the surface of the base film and dried to evaporate the solvent in the polishing paint.
Here, when the solvent is evaporated, the resin binder is three-dimensionally bonded to form a three-dimensional network structure, the abrasive particles are fixed to the three-dimensional network structure, and the polishing layer on which the abrasive particles are fixed is formed of a plastic film. Formed on the surface.
【００１０】しかし、このような従来の研磨フィルムの
製造では、研磨粒子として平均粒径１μｍ（特に、平均
粒径１００ｎｍ）以下の研磨粒子を使用すると、このよ
うなサイズの研磨粒子は、上述したように攪拌し、超音
波を用いさらにフィルターによる濾過を行っても、樹脂
溶液中に研磨粒子が凝集した状態で残り、凝集粒子のみ
られない状態で均一に分散できないのが現状であり、こ
のようなサイズの研磨粒子を使用して製造した研磨フィ
ルムを使用して研磨を行うと、研磨層中に固定される凝
集粒子が精密部品表面に作用し、精密部品表面を平滑か
つ高精度に研磨できない、という問題が生じる。However, in the production of such a conventional abrasive film, if abrasive particles having an average particle diameter of 1 μm or less (especially, an average particle diameter of 100 nm) or less are used as abrasive particles, the abrasive particles having such a size will be described above. As such, even if filtration is further performed by a filter using ultrasonic waves, the abrasive particles remain in the resin solution in a state where they are aggregated, and at present it is impossible to disperse uniformly in a state where only aggregated particles are not present. When using a polishing film manufactured using abrasive particles of various sizes, the agglomerated particles fixed in the polishing layer act on the precision component surface, and the precision component surface cannot be polished smoothly and with high precision Problem arises.
【００１１】このため、研磨フィルムの製造において、
研磨粒子として使用される平均粒径１μｍ以下の研磨粒
子を一次粒子の状態で均一に分散した研磨塗料を製造す
ることが技術的課題となっている。For this reason, in the production of a polishing film,
It is a technical problem to produce an abrasive paint in which abrasive particles having an average particle size of 1 μm or less used as abrasive particles are uniformly dispersed in a state of primary particles.
【００１２】そこで、本発明者は、このような技術的課
題を解決するため、鋭意研究をかさねた結果、このよう
に小さいサイズの研磨粒子は、水中に凝集粒子のみられ
ない状態で均一に分散できることに着目し、樹脂溶液を
使用する従来の研磨塗料の製造に代わる新規な研磨塗料
の製造技術を開発した。The inventor of the present invention has conducted intensive studies in order to solve such a technical problem. As a result, the abrasive particles having such a small size are uniformly dispersed in water without forming only agglomerated particles. Focusing on what can be done, we have developed a new polishing paint manufacturing technology that replaces the conventional polishing paint manufacturing that uses a resin solution.
【００１３】したがって、本発明は、樹脂溶液を使用す
る研磨塗料の製造に代わる新規な研磨塗料の製造技術を
提供するものであり、平均粒径１μｍ以下、特に平均粒
径１００ｎｍ以下の研磨粒子を一次粒子の状態で均一に
分散した研磨塗料及びその製造方法を提供することを目
的とする。また、本発明は、この研磨塗料を使用した研
磨フィルム及びその製造方法を提供することを他の目的
とする。[0013] Accordingly, the present invention provides a novel polishing paint production technique which replaces the production of a polishing paint using a resin solution, and provides abrasive particles having an average particle diameter of 1 µm or less, particularly an average particle diameter of 100 nm or less. An object of the present invention is to provide an abrasive paint uniformly dispersed in a state of primary particles and a method for producing the same. It is another object of the present invention to provide a polishing film using the polishing paint and a method for producing the same.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の研磨塗料は、水に研磨粒子を分散したスラリー、及
びこのスラリーと混合される、ゲル化すると三次元的に
結合して三次元網目構造を形成するゾル、から構成され
るものであり、このゾルがゲル化すると、研磨粒子がこ
の三次元網目構造で固定されるものである。この本発明
の研磨塗料は、上記のスラリーと、上記のゾルとを混合
することによって製造される。SUMMARY OF THE INVENTION The above-mentioned object of the present invention is to provide a polishing composition of the present invention which comprises a slurry in which abrasive particles are dispersed in water, and a slurry which is mixed with the slurry. And a sol that forms a network structure. When the sol gels, abrasive particles are fixed in the three-dimensional network structure. The polishing paint of the present invention is produced by mixing the above slurry and the above sol.
【００１５】研磨粒子として、平均粒径１μｍ以下の金
属酸化物、金属窒化物又はダイヤモンドから選択される
一種又は二種以上の粒子が使用され、好適に、平均粒径
１００ｎｍ以下のシリカ粒子が使用される。As the abrasive particles, one or two or more particles selected from metal oxides, metal nitrides and diamonds having an average particle size of 1 μm or less, and preferably silica particles having an average particle size of 100 nm or less are used. Is done.
【００１６】ゾルとして、金属酸化物系のゾルが使用さ
れ、好適に、シリカ系のゾルが使用される。シリカ系の
ゾルとして、テトラアルコキシシランを加水分解したも
の又はメチルトリアルコキシシランを加水分解したもの
が使用される。As the sol, a metal oxide sol is used, and preferably, a silica sol is used. As a silica-based sol, one obtained by hydrolyzing tetraalkoxysilane or one obtained by hydrolyzing methyltrialkoxysilane is used.
【００１７】本発明の研磨フィルムは、ベースフィルム
表面に上記の研磨塗料を塗布し、研磨塗料中のゾルをゲ
ル化し、乾燥（水分を蒸発）させることによって製造さ
れる。The abrasive film of the present invention is produced by applying the above-mentioned abrasive paint on the surface of the base film, gelling the sol in the abrasive paint, and drying (evaporating water).
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】本発明の研磨塗料は、水に研磨粒
子を分散したスラリーと、ゲル化すると三次元的に結合
して三次元網目構造を形成するゾルとを混合したものか
らなり、このゾルがゲル化すると、研磨粒子は、この三
次元網目構造で固定される。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The polishing paint of the present invention comprises a mixture of a slurry in which abrasive particles are dispersed in water and a sol which forms a three-dimensional network structure by being three-dimensionally bonded when gelled. When the sol gels, the abrasive particles are fixed in the three-dimensional network.
【００１９】本発明の研磨塗料は、水に研磨粒子を分散
したスラリーと、上記のゾルとを混合することによって
製造される。The polishing paint of the present invention is produced by mixing a slurry in which abrasive particles are dispersed in water with the above sol.
【００２０】研磨粒子は、スラリー中、及びゾルとの混
合液中に、攪拌、超音波などの既知の手段によって、凝
集粒子のみられない状態で均一に分散できる。The abrasive particles can be uniformly dispersed in the slurry and the mixed solution with the sol by a known means such as stirring, ultrasonic waves or the like without leaving only the aggregated particles.
【００２１】研磨粒子として、平均粒径１μｍ以下の金
属酸化物、金属窒化物又はダイヤモンドから選択される
一種又は二種以上の粒子が使用され、好適に、平均粒径
１ｎｍ以下のシリカ粒子が使用される。As the abrasive particles, one or two or more particles selected from metal oxides, metal nitrides and diamonds having an average particle size of 1 μm or less are used, and preferably, silica particles having an average particle size of 1 nm or less are used. Is done.
【００２２】ゾルとして、金属酸化物系のゾルが使用さ
れ、好適に、シリカ系のゾルが使用される。シリカ系の
ゾルとして、テトラアルコキシシランを加水分解したも
の（テトラヒドロキシシリカ）又はメチルトリアルコキ
シシランを加水分解したもの（メチルトリヒドロキシシ
リカ）が使用される。As the sol, a metal oxide sol is used, and preferably, a silica sol is used. As the silica-based sol, one obtained by hydrolyzing tetraalkoxysilane (tetrahydroxysilica) or one obtained by hydrolyzing methyltrialkoxysilane (methyltrihydroxysilica) is used.
【００２３】本発明の実施の形態は、上記本発明の研磨
塗料を用いて製造される研磨フィルムである。An embodiment of the present invention is a polishing film manufactured using the above-mentioned polishing paint of the present invention.
【００２４】本発明に従った研磨フィルムは、金属、セ
ラミックス、プラスチックス、ガラス等の表面の研磨に
用いられるものであり、特に、通信用光ファイバコネク
タ、液晶表示用カラーフィルター、光学レンズ、磁気デ
ィスク基板、半導体ウエハ等のように、表面に高い平滑
性と精度が要求される精密部品の表面仕上げ研磨に適し
たものであり、テープ状又はその他の形状に適宜切断加
工して使用されるものである。The polishing film according to the present invention is used for polishing the surface of metals, ceramics, plastics, glass, etc., and particularly, an optical fiber connector for communication, a color filter for liquid crystal display, an optical lens, Suitable for surface finishing polishing of precision parts requiring high smoothness and precision on the surface, such as disk substrates and semiconductor wafers, and used by appropriately cutting and processing into tape or other shapes It is.
【００２５】本発明に従った研磨フィルムは、既知のプ
ラスチックフィルム又はプラスチック繊維からなる織
布、不織布又は植毛布からなるベースフィルムの表面に
上記本発明の研磨塗料を塗布し、この研磨塗料を乾燥し
て水分を蒸発させることによって製造される。The abrasive film according to the present invention is obtained by applying the above-mentioned abrasive paint of the present invention to the surface of a known plastic film or a base film made of a woven fabric, nonwoven fabric or flocking cloth made of plastic fibers, and drying the abrasive paint. It is manufactured by evaporating water.
【００２６】本発明に従った研磨フィルムでは、ベース
フィルムの表面に塗布した上記本発明の研磨塗料の乾燥
時に、この研磨塗料がゲル化し、三次元的に結合して三
次元網目構造を形成し、研磨粒子がこの三次元網目構造
で固定され、研磨粒子を固定した研磨層がベースフィル
ムの表面に形成される。研磨塗料の乾燥に要する時間は
数秒から数十秒程度である。In the abrasive film according to the present invention, when the above-mentioned abrasive paint of the present invention applied to the surface of the base film is dried, the abrasive paint gels and bonds three-dimensionally to form a three-dimensional network structure. The abrasive particles are fixed in this three-dimensional network structure, and a polishing layer to which the abrasive particles are fixed is formed on the surface of the base film. The time required for drying the polishing paint is about several seconds to several tens of seconds.
【００２７】ここで、研磨粒子として、平均粒径１００
ｎｍ以下のシリカ粒子を使用し、ゾルとして、メチルト
リアルコキシシランを加水分解したものを使用すると、
ゾル中のシリカ粒子濃度を、乾燥後の研磨層重量の７０
％としても、ベースフィルムに対する研磨層の接着性が
確保される。Here, the abrasive particles have an average particle size of 100
Using silica particles of nm or less and using a sol obtained by hydrolyzing methyl trialkoxysilane,
The concentration of the silica particles in the sol was adjusted to 70% of the weight of the polishing layer after drying.
%, The adhesiveness of the polishing layer to the base film is ensured.
【００２８】また、本発明に従った研磨フィルムの研磨
層の表面は、ポーラス（多孔質）であり、研磨中、研磨
クズがこの孔に取り込まれるので、研磨クズによる研磨
対象物表面の傷付けが防止され、また、研磨層表面が平
坦ではなく多孔質の粗い表面であることから、平均粒径
１００ｎｍ以下の球状粒子（シリカ粒子）を使用して
も、高い研磨力が得られる。Further, the surface of the polishing layer of the polishing film according to the present invention is porous, and polishing scraps are taken into the holes during polishing, so that the polishing scraps may damage the surface of the object to be polished. In addition, since the surface of the polishing layer is not flat and has a porous rough surface, high polishing power can be obtained even when spherical particles (silica particles) having an average particle diameter of 100 nm or less are used.
【００２９】＜実施例＞ 本発明の研磨塗料を製造し、
研磨フィルムを製造した。<Example> A polishing paint of the present invention was produced.
An abrasive film was manufactured.
【００３０】本発明の研磨塗料は、弱酸性のイオン交換
水１３０ｇにメチルトリメトキシシラン３０ｇを加え、
加水分解し、これに、平均粒径１５ｎｍのシリカ粒子を
１０重量％含有した水溶液３６０ｇを加え、約２分間攪
拌した後、メタノール５００ｇを加えて製造した。The polishing paint of the present invention is obtained by adding 30 g of methyltrimethoxysilane to 130 g of weakly acidic ion-exchanged water,
After hydrolysis, 360 g of an aqueous solution containing 10% by weight of silica particles having an average particle size of 15 nm was added, and the mixture was stirred for about 2 minutes, and then 500 g of methanol was added.
【００３１】本発明に従った研磨フィルムは、この研磨
塗料を厚さ７５μｍのポリエステルフィルムの表面にリ
バースコート法にて塗布し、これを１００℃で２０秒間
乾燥させることによって製造した。研磨層の表面は、図
１の電子顕微鏡写真（１００００倍）に示すとおりであ
り、その平均表面粗さは４０ｎｍであった。The abrasive film according to the present invention was produced by applying the abrasive paint to the surface of a polyester film having a thickness of 75 μm by a reverse coating method and drying it at 100 ° C. for 20 seconds. The surface of the polishing layer was as shown in the electron micrograph (× 10000) of FIG. 1, and the average surface roughness was 40 nm.
【００３２】＜研磨試験＞ 上記実施例の研磨フィルム
を使用し、図３に示す研磨装置を使用して、通信用光フ
ァイバ（ガラス）１１を貫通接着固定したフェルール
（ジルコニウム）１２から構成される光ファイバコネク
タ１０の端面の仕上げ研磨を行った。ここで、光ファイ
バコネクタ１０としては、ダイヤモンド粒子を含有する
研磨液と不織布パッドとを使用して、その端面に予め粗
研磨を施したものを使用した。<Polishing Test> A ferrule (zirconium) 12 having a communication optical fiber (glass) 11 penetrated and fixed thereto using the polishing film of the above embodiment and the polishing apparatus shown in FIG. Finish polishing of the end face of the optical fiber connector 10 was performed. Here, as the optical fiber connector 10, a polishing liquid containing diamond particles and a nonwoven fabric pad were used, and the end face thereof was subjected to rough polishing in advance.
【００３３】研磨試験の仕上げ研磨は、図３に示すよう
に、弾性パッド１３を貼り付けた回転盤１４上に上記実
施例の研磨フィルム１５を貼り付け、光ファイバコネク
タ１０の端面を所定の押付圧力にて研磨フィルム１５の
表面に押し付け、回転盤１４を回転させることによって
行われた。In the final polishing in the polishing test, as shown in FIG. 3, the polishing film 15 of the above embodiment is pasted on the rotating disk 14 on which the elastic pad 13 is pasted, and the end face of the optical fiber connector 10 is pressed by a predetermined force. This was performed by pressing the surface of the polishing film 15 with pressure and rotating the turntable 14.
【００３４】光ファイバコネクタ端面の仕上げ研磨は、
下記の表１に示す研磨条件で行った。Finish polishing of the end face of the optical fiber connector is as follows.
The polishing was performed under the polishing conditions shown in Table 1 below.
【表１】 [Table 1]
【００３５】＜研磨試験結果＞ 実施例の研磨フィルム
を使用すると、図２（ａ）及び（ｂ）の電子顕微鏡写真
からわかるように、仕上げ研磨前にみられた粗研磨によ
り形成された研磨痕や光ファイバとフェルールとの間か
らはみ出した樹脂が除去され、滑らかに仕上げ研磨さ
れ、高精度の仕上げ研磨ができた。<Polishing Test Results> As shown in the electron micrographs of FIGS. 2A and 2B, when the polishing films of the examples were used, polishing marks formed by the coarse polishing observed before the final polishing were obtained. The resin protruding from the gap between the optical fiber and the ferrule was removed, and the finish was polished smoothly.
【００３６】[0036]
【発明の効果】本発明が以上のように構成されるので、
樹脂溶液を使用する研磨塗料の製造に代わる新規な研磨
塗料の製造技術が提供され、研磨塗料の製造において、
平均粒径１μｍ以下、特に平均粒径１００ｎｍ以下の研
磨粒子を一次粒子の状態で均一に分散することができ、
また、この研磨塗料を使用した研磨フィルムを用いて精
密部品表面を滑らかに高精度に仕上げ研磨できる、とい
う効果を奏する。As the present invention is configured as described above,
A new polishing paint manufacturing technology that replaces the production of polishing paint using a resin solution is provided.
Abrasive particles having an average particle size of 1 μm or less, particularly an average particle size of 100 nm or less, can be uniformly dispersed in a state of primary particles,
Also, there is an effect that the surface of a precision component can be finished and polished smoothly and with high precision by using a polishing film using this polishing paint.
【図１】図１は、実施例の研磨フィルムの表面の電子顕
微鏡写真（１００００倍）である。FIG. 1 is an electron micrograph (× 10000) of the surface of a polishing film of an example.
【図２】図２（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、研磨試験
において、実施例の研磨フィルムを使用して光ファイバ
コネクタ端面を研磨する前及び後の光ファイバコネクタ
端面の状態を示す。FIGS. 2 (a) and (b) show the state of the optical fiber connector end surface before and after polishing the optical fiber connector end surface using the polishing film of the example in a polishing test, respectively.
【図３】図３は、研磨試験に使用する研磨装置の略図で
ある。FIG. 3 is a schematic view of a polishing apparatus used for a polishing test.
１０・・・光ファイバコネクタ １１・・・通信用光ファイバ １２・・・フェルール １３・・・弾性パッド １４・・・回転盤 １５・・・研磨フィルム DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Optical fiber connector 11 ... Communication optical fiber 12 ... Ferrule 13 ... Elastic pad 14 ... Rotating disk 15 ... Polishing film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０８Ｊ 5/18 ＣＦＨ Ｃ０８Ｊ 5/18 ＣＦＨ Ｃ０９Ｄ 5/00 Ｃ０９Ｄ 5/00 Ｚ 183/02 183/02 183/04 183/04 Ｃ０９Ｋ 3/14 ５５０ Ｃ０９Ｋ 3/14 ５５０Ｄ ５５０Ｊ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２Ｄ // Ｃ０８Ｌ 83:00 Ｃ０８Ｌ 83:00 Ｆターム(参考） 3C058 AA07 DA02 DA17 3C063 AA03 AB07 BB01 BB02 BG08 BG22 EE01 EE02 EE10 4F071 AA66 AA67 AB26 AE13 DA06 DA09 DA18 4J038 DL021 DL031 HA036 HA216 HA446 KA20 KA22 MA08 MA10 NA11 PA19 PB08 PB09 PB11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C08J 5/18 CFH C08J 5/18 CFH C09D 5/00 C09D 5/00 Z 183/02 183/02 183 / 04 183/04 C09K 3/14 550 C09K 3/14 550D 550J H01L 21/304 622 H01L 21/304 622D // C08L 83:00 C08L 83:00 F-term (reference) 3C058 AA07 DA02 DA17 3C063 AA03 AB07 BB01 BB02 BG08 BG22 EE01 EE02 EE10 4F071 AA66 AA67 AB26 AE13 DA06 DA09 DA18 4J038 DL021 DL031 HA036 HA216 HA446 KA20 KA22 MA08 MA10 NA11 PA19 PB08 PB09 PB11
Claims (7)
のスラリーと混合される、ゲル化すると三次元的に結合
して三次元網目構造を形成するゾルからなり、前記ゾル
がゲル化すると、前記研磨粒子が前記三次元網目構造で
固定される、研磨塗料。1. A slurry comprising abrasive particles dispersed in water, and a sol which is mixed with the slurry and which forms a three-dimensional network structure by gelling to form a three-dimensional network when gelled. An abrasive paint, wherein the abrasive particles are fixed in the three-dimensional network structure.
る、請求項１の研磨塗料。2. The polishing paint according to claim 1, wherein a silica-based sol is used as said sol.
シランを加水分解したもの又はメチルトリアルコキシシ
ランを加水分解したものである、請求項２の研磨塗料。3. The polishing paint according to claim 2, wherein said silica-based sol is obtained by hydrolyzing tetraalkoxysilane or hydrolyzing methyltrialkoxysilane.
シリカ粒子であり、前記ゾルが、テトラアルコキシシラ
ンを加水分解したもの又はメチルトリアルコキシシラン
を加水分解したものである、請求項１の研磨塗料。4. The polishing method according to claim 1, wherein said abrasive particles are silica particles having an average particle diameter of 100 nm or less, and said sol is obtained by hydrolyzing tetraalkoxysilane or hydrolyzing methyltrialkoxysilane. paint.
化すると三次元的に結合して三次元網目構造を形成する
ゾルとを混合する、研磨塗料の製造方法。5. A method for producing a polishing paint, comprising mixing a slurry in which abrasive particles are dispersed in water and a sol which, when gelled, three-dimensionally bonds to form a three-dimensional network structure.
の表面で請求項１〜４のいずれか１に記載の研磨塗料を
ゲル化して研磨粒子を前記三次元網目構造で固定した研
磨層、から成る研磨フィルム。6. A polishing method comprising: a base film; and a polishing layer in which the polishing composition according to claim 1 is gelled on the surface of the base film to fix abrasive particles in the three-dimensional network structure. the film.
料をベースフィルムの表面に塗布し、この研磨塗料を乾
燥させることによって、前記ベースフィルムの表面で前
記研磨塗料をゲル化して研磨粒子を前記三次元網目構造
で固定し、前記ベースフィルムの表面に研磨層を形成す
る、研磨フィルムの製造方法。7. The polishing paint according to any one of claims 1 to 4, which is applied to the surface of the base film, and the polishing paint is dried to gel the polishing paint on the surface of the base film. A method for producing a polishing film, comprising fixing abrasive particles with the three-dimensional network structure and forming a polishing layer on a surface of the base film.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015193077A (en) * | 2002-10-28 | 2015-11-05 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | transparent porous materials for chemical mechanical polishing |
| JPWO2017098579A1 (en) * | 2015-12-08 | 2018-11-01 | Ｍｉｐｏｘ株式会社 | Polishing sheet provided with nano silica abrasive particles, and optical fiber connector polishing method and manufacturing method using the polishing sheet |
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2001
- 2001-03-08 JP JP2001064237A patent/JP2002265873A/en not_active Withdrawn
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