JP2002261340A - Laminated piezoelectric element and injection device - Google Patents
Laminated piezoelectric element and injection deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、自動車用燃料噴射
弁、光学装置等の精密位置決め装置や振動防止用の駆動
素子等に用いられる積層型圧電素子および噴射装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated piezoelectric element and an injection apparatus used for a precision positioning device such as a fuel injection valve for an automobile, an optical device, and a driving element for preventing vibration.
【０００２】[0002]
【従来技術】従来より、電歪効果を利用して大きな変位
量を得るために、圧電体と内部電極を交互に積層した積
層型圧電アクチュエータが提案されている。積層型圧電
アクチュエータには、同時焼成タイプと圧電磁器と内部
電極板を交互に積層したスタックタイプの２種類に分類
されており、低電圧化、製造コスト低減の面から考慮す
ると、同時焼成タイプの積層型圧電アクチュエータが薄
層化に対して有利であるために、その優位性を示しつつ
ある。2. Description of the Related Art Hitherto, in order to obtain a large displacement using an electrostriction effect, a laminated piezoelectric actuator in which piezoelectric bodies and internal electrodes are alternately laminated has been proposed. Multi-layer piezoelectric actuators are classified into two types: co-firing type and stack type in which piezoelectric ceramics and internal electrode plates are alternately laminated. Considering lower voltage and lower manufacturing cost, co-firing type Since the multilayer piezoelectric actuator is advantageous for thinning, it is showing its superiority.
【０００３】同時焼成タイプの積層型圧電アクチュエー
タとして、例えば、特開平４−２３７１７２号公報に
は、アクチュエータ本体の側面に露出した内部電極の端
部に一層おきにガラスからなる絶縁層を被覆し、外部電
極には、絶縁層と同じピッチで、かつ絶縁層の断面より
やや大きい凹部を形成し、この凹部内に絶縁層を収容す
るようにして、かつ、凹部間の凸部に、絶縁層が形成さ
れていない内部電極の端部を導電性接着剤で接着するこ
とにより、外部電極と一方の内部電極との電気的接続を
確保し、他方の内部電極との絶縁性を確保した積層型圧
電アクチュエータが開示されている。[0003] As a co-firing type laminated piezoelectric actuator, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 4-237172 discloses that an insulating layer made of glass is coated on every other end of an internal electrode exposed on a side surface of an actuator body. In the external electrode, a concave portion is formed at the same pitch as the insulating layer and slightly larger than the cross section of the insulating layer, and the insulating layer is accommodated in the concave portion, and the insulating layer is formed on the convex portion between the concave portions. By bonding the end of the unformed internal electrode with a conductive adhesive, electrical connection between the external electrode and one of the internal electrodes is ensured, and insulation of the other internal electrode is ensured. An actuator is disclosed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年におい
ては、小型の圧電アクチュエータで大きな圧力下におい
て大きな変位量を確保するため、より高い電界を印加
し、長期間連続駆動させることが行われているが、高電
界、高圧力下で長期間連続駆動させた場合、圧電体間に
形成された内部電極と正極、負極用の外部電極との間で
剥離が発生し、一部の圧電体に電圧供給されなくなり、
駆動中に変位特性が変化するという問題があった。By the way, in recent years, in order to secure a large displacement under a large pressure with a small piezoelectric actuator, a higher electric field is applied and the piezoelectric actuator is driven continuously for a long period of time. However, when driven continuously for a long time under a high electric field and high pressure, separation occurs between the internal electrodes formed between the piezoelectric bodies and the external electrodes for the positive electrode and the negative electrode, and voltage is applied to some piezoelectric bodies. No longer supplied,
There is a problem that the displacement characteristics change during driving.
【０００５】即ち、特開平４−２３７１７２号公報に開
示された積層型圧電アクチュエータでは、アクチュエー
タ本体の側面に露出した内部電極の端部には一層おきに
ガラスからなる絶縁層が被覆され、内部電極とその両側
の圧電体が強固に接合されており、この絶縁層が外部電
極の凹部内に収容されて、外部電極と内部電極との絶縁
性を確保するとともに、絶縁層が形成されていない内部
電極の端部と外部電極と電気的接続を確保していたた
め、高電界、高圧力下で長期間連続駆動させた場合、内
部電極と外部電極が断線するという問題があった。That is, in the laminated piezoelectric actuator disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 4-237172, an insulating layer made of glass is coated on every other end of the internal electrode exposed on the side surface of the actuator body. And the piezoelectric bodies on both sides thereof are firmly joined, and this insulating layer is housed in the concave portion of the external electrode to ensure the insulation between the external electrode and the internal electrode, and to prevent the internal layer where the insulating layer is formed from being formed. Since the electrical connection between the end of the electrode and the external electrode is ensured, there is a problem that the internal electrode and the external electrode are disconnected when driven continuously for a long time under a high electric field and high pressure.
【０００６】また、特開平５−２１８５１９号公報に開
示された積層型圧電アクチュエータでは、電歪効果素子
を複数個の素子に分割し、それらの個々の外部電極を金
属板、スチールウール、導電性ゴムなどの導電性部材
（側面電極）で接続し、これを熱収縮チューブなどによ
って当接させる構造としているが、自動車用燃料噴射弁
等、長期間連続駆動させた場合においては、外部電極と
側面電極との間で剪断応力、摩擦および摩耗が生じ、同
時に側面電極に応力が生じて導通不良となり、性能低下
や不作動が生じるという問題があった。In the multilayer piezoelectric actuator disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-218519, the electrostrictive effect element is divided into a plurality of elements, and each of the external electrodes is made of a metal plate, steel wool, or a conductive material. It is connected by a conductive member (side electrode) such as rubber, and this is brought into contact with a heat-shrinkable tube. However, when it is driven continuously for a long period of time such as a fuel injection valve for automobiles, it is connected to the external electrode and the side. There has been a problem that shear stress, friction and abrasion occur between the electrodes, and at the same time, stress is generated in the side electrodes, resulting in poor conduction, resulting in performance degradation and non-operation.
【０００７】また、高電界下で長期間連続駆動させた場
合、外部電極と側面電極が当接されており、完全に密着
されていないため、外部電極と側面電極との隙間で局所
的に同極間によるスパークが発生し、圧電板を破損する
という問題があった。また、導電性ゴムは、金属板より
比抵抗が非常に高いため、圧電板に電圧が印加しにく
く、また、発熱しやすいという問題があった。Further, when the electrode is continuously driven under a high electric field for a long period of time, the external electrode and the side electrode are in contact with each other and are not completely adhered to each other. There has been a problem that sparks are generated between the poles and the piezoelectric plate is damaged. Further, since the conductive rubber has a much higher specific resistance than the metal plate, there is a problem that it is difficult to apply a voltage to the piezoelectric plate and heat is easily generated.
【０００８】本発明の積層型圧電素子は、外部電極が高
い伸縮性を有するとともに、断線を防止でき、外部電極
の一部における電流の集中を防止できる積層型圧電素子
および噴射装置を提供する。The multilayer piezoelectric element according to the present invention provides a multilayer piezoelectric element and an injection device in which an external electrode has high elasticity, can prevent disconnection, and can prevent concentration of current in a part of the external electrode.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の積層型圧電素子
は、複数の圧電体と複数の内部電極とを交互に積層して
なる素子本体と、該素子本体の側面に設けられ、前記内
部電極が交互に接続された外部電極とを具備する積層型
圧電素子であって、前記外部電極が、前記素子本体の側
面に導電性接着剤により固着された導電性繊維集合体か
らなるとともに、前記導電性繊維集合体の密度が２０〜
２０００ｇ／ｍ2のものである。According to the present invention, there is provided a multi-layer piezoelectric element comprising: an element body formed by alternately laminating a plurality of piezoelectric bodies and a plurality of internal electrodes; A multi-layer piezoelectric element comprising an external electrode having electrodes alternately connected thereto, wherein the external electrode is made of a conductive fiber aggregate fixed to a side surface of the element body by a conductive adhesive, and The density of the conductive fiber aggregate is 20 to
2000 g / m 2 .
【００１０】このように導電性繊維集合体の密度を２０
〜２０００ｇ／ｍ2とすることで、外部電極が高い伸縮
性を有するとともに、外部電極の比抵抗を低下させるこ
とができ、高い印加電界で高速で連続駆動させる場合に
おいても、外部電極が素子本体の積層方向への伸縮に対
応して伸縮し、外部電極と内部電極が断線することなく
高耐久性を備えた積層型圧電素子を提供することができ
る。As described above, the density of the conductive fiber aggregate is set to 20
With ~2000g / m 2, and has a high stretch external electrodes, it is possible to lower the specific resistance of the external electrodes, even when made continuous driving at high speed with high applied electric field, an external electrode device body Can expand and contract in response to expansion and contraction in the stacking direction, and can provide a laminated piezoelectric element having high durability without disconnection between the external electrode and the internal electrode.
【００１１】また、素子本体の側面に導電性繊維集合体
を導電性接着剤により固着したので、素子本体が積層方
向に伸縮しても、導電性繊維集合体が素子本体を摺動す
ることがなく、外部電極の磨耗を防止でき、外部電極の
一部に電流が集中することを防止できる。Further, since the conductive fiber assembly is fixed to the side surface of the element body with a conductive adhesive, the conductive fiber assembly can slide on the element body even if the element body expands and contracts in the laminating direction. In addition, wear of the external electrodes can be prevented, and current can be prevented from being concentrated on a part of the external electrodes.
【００１２】また、本発明では、導電性繊維集合体の導
電性繊維の直径が、圧電体の厚みの０．０５〜１倍であ
ることが望ましい。このような構成を採用することによ
り、さらに外部電極の伸縮性を向上することが可能とな
る。In the present invention, the diameter of the conductive fibers of the conductive fiber assembly is preferably 0.05 to 1 times the thickness of the piezoelectric body. By employing such a configuration, it is possible to further improve the elasticity of the external electrode.
【００１３】さらに、本発明では、外部電極に板状金属
からなるリード取付部材が固着され、このリード取付部
材にリード線が接合されていることが望ましい。このよ
うな構成を採用することにより、即ち、板状金属からな
るリード取付部材を固着することで、導電性繊維集合体
を導電性接着剤により素子本体の側面に固着している外
部電極と、リード線の接続強度を向上することができ
る。Further, in the present invention, it is preferable that a lead mounting member made of a plate-like metal is fixed to the external electrode, and a lead wire is joined to the lead mounting member. By adopting such a configuration, that is, by fixing the lead mounting member made of a plate-shaped metal, an external electrode that fixes the conductive fiber aggregate to the side surface of the element body with a conductive adhesive, The connection strength of the lead wire can be improved.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】図１（ａ）は本発明の積層型圧電
アクチュエータからなる積層型圧電素子の一実施例を示
す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’に沿った縦
断面図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1A is a perspective view showing an embodiment of a laminated piezoelectric element comprising a laminated piezoelectric actuator according to the present invention, and FIG. 1B is a sectional view taken along line AA 'of FIG. It is a longitudinal cross-sectional view along.
【００１５】本発明の積層型圧電アクチュエータは、図
１に示すように複数の圧電体１と複数の内部電極２とを
交互に積層して四角柱状の素子本体３が形成され、この
素子本体３の対向する２つの側面には、それぞれ外部電
極４が設けられている。これらの外部電極４には、内部
電極２の端部が交互に電気的に接続され、また、内部電
極２の端部に１層おきに絶縁体５を設けることにより絶
縁されている。In the laminated piezoelectric actuator of the present invention, as shown in FIG. 1, a plurality of piezoelectric bodies 1 and a plurality of internal electrodes 2 are alternately laminated to form a quadrangular prism-shaped element body 3. The external electrodes 4 are provided on the two opposing side surfaces. These external electrodes 4 are electrically connected alternately to the ends of the internal electrodes 2, and are insulated by providing insulators 5 at every other layer at the ends of the internal electrodes 2.
【００１６】そして、外部電極４は、素子本体３の側面
に導電性接着剤により固着された、図２に示すような導
電性繊維集合体７から構成され、導電性繊維集合体７が
導電性接着剤中に埋設されている。この導電性接着剤に
より導電性繊維集合体７が素子本体３の側面に固着され
ている。導電性接着剤の厚みは、導電性繊維集合体７が
埋設できる程度の厚みがあればよい。The external electrode 4 is composed of a conductive fiber assembly 7 as shown in FIG. 2, which is fixed to the side surface of the element body 3 by a conductive adhesive. Embedded in the adhesive. The conductive fiber assembly 7 is fixed to the side surface of the element body 3 by the conductive adhesive. The thickness of the conductive adhesive only needs to be large enough to embed the conductive fiber assembly 7.
【００１７】外部電極の厚みは、電流に耐えるという点
から、０．２〜１．５ｍｍであることが望ましい。The thickness of the external electrode is desirably 0.2 to 1.5 mm from the viewpoint of withstanding a current.
【００１８】尚、導電性繊維集合体７を導電性接着剤中
に埋設して外部電極４を構成したが、導電性繊維集合体
７は完全に埋設されていなくてもよく、一部が露出して
いてもよいが、導電性繊維の酸化防止、比抵抗の低下と
いう点から完全に埋設されていることが望ましい。ま
た、導電性繊維集合体７は、素子本体３に必ずしも当接
している必要はない。Although the external electrode 4 is formed by embedding the conductive fiber assembly 7 in a conductive adhesive, the conductive fiber assembly 7 does not have to be completely embedded, and a part thereof is exposed. However, it is desirable that the conductive fiber is completely buried from the viewpoint of preventing oxidation of the conductive fiber and lowering the specific resistance. Further, the conductive fiber aggregate 7 does not necessarily need to be in contact with the element body 3.
【００１９】本発明では、導電性繊維集合体７の密度は
２０〜２０００ｇ／ｍ2であることが重要である。導電
性繊維集合体７とは、複数本の導電性線材が複雑に編み
合わさったウール状のものをいう。In the present invention, it is important that the conductive fiber aggregate 7 has a density of 20 to 2000 g / m 2 . The conductive fiber aggregate 7 refers to a wool-like one in which a plurality of conductive wires are intricately knitted.
【００２０】導電性繊維集合体７の密度を２０〜２００
０ｇ／ｍ2としたのは、２０ｇ／ｍ2未満の場合には密度
が低すぎるため、外部電極４の比抵抗が高くなり、局所
的に発熱し、同極間でスパークを起こし断線するからで
ある。一方、密度を２０００ｇ／ｍ2より大きくした場合
には、導電性繊維集合体７の伸縮性が損なわれ、積層型
圧電素子の伸縮動作に耐えきれずに内部電極２と外部電
極４が断線する恐れがあるからである。The conductive fiber assembly 7 has a density of 20 to 200.
The reason for setting it to 0 g / m 2 is that if the density is less than 20 g / m 2 , the density is too low, the specific resistance of the external electrode 4 becomes high, local heat is generated, a spark is generated between the same electrodes, and the wire is disconnected. It is. On the other hand, if the density is greater than 2000 g / m 2, the elasticity of the conductive fiber assembly 7 is impaired, and the internal electrode 2 and the external electrode 4 are disconnected without being able to withstand the expansion / contraction operation of the laminated piezoelectric element. This is because there is fear.
【００２１】導電性繊維集合体７の密度は、外部電極４
としての伸縮性を確保し、導電性繊維集合体７の断線を
防止するという点から１００〜１５００ｇ／ｍ2とする
ことが望ましい。The density of the conductive fiber assembly 7 depends on the external electrode 4
From 100 to 1500 g / m 2 from the viewpoint that the elasticity of the conductive fiber assembly 7 is secured and the disconnection of the conductive fiber assembly 7 is prevented.
【００２２】また、本発明では、図２に示すように、導
電性繊維集合体７の導電性繊維６の直径Ｒが、圧電体１
の厚みｔの０．０５〜１倍とされていることが望まし
い。これは、導電性繊維６の直径Ｒを、圧電体１の厚み
ｔに対して０．０５〜１倍にすることにより、さらに外
部電極４の伸縮性を向上できるからである。In the present invention, as shown in FIG. 2, the diameter R of the conductive fiber 6 of the conductive fiber aggregate 7 is
Is preferably 0.05 to 1 times the thickness t. This is because the elasticity of the external electrode 4 can be further improved by making the diameter R of the conductive fiber 6 0.05 to 1 times the thickness t of the piezoelectric body 1.
【００２３】逆に、導電性繊維６の直径Ｒが、圧電体１
の厚みｔの０．０５倍よりも小さい場合には、直径Ｒが
細すぎて素子駆動時に導電性繊維６が断線する恐れがあ
るからであり、直径Ｒが圧電体１の厚みｔの１倍より大
きい場合には、直径Ｒが大きすぎて導電性繊維集合体７
の伸縮性が損なわれ、積層型圧電素子の伸縮動作に耐え
きれずに内部電極２と外部電極４が断線する恐れがある
からである。導電性繊維６の直径Ｒは、伸縮性を確保
し、断線を防止するという理由から圧電体１の厚みｔの
０．１〜０．５倍であることが望ましい。Conversely, the diameter R of the conductive fiber 6 is
If the thickness R is smaller than 0.05 times the thickness t of the piezoelectric element 1, the diameter R is too small and the conductive fiber 6 may be disconnected when the element is driven. If it is larger, the diameter R is too large and the conductive fiber aggregate 7
This is because the internal electrode 2 and the external electrode 4 may be disconnected without being able to withstand the expansion / contraction operation of the multilayer piezoelectric element. The diameter R of the conductive fiber 6 is desirably 0.1 to 0.5 times the thickness t of the piezoelectric body 1 from the viewpoint of securing elasticity and preventing disconnection.
【００２４】導電性繊維集合体７の導電性繊維６は、低
温で酸化しない金属という理由から、ステンレス、コバ
ールであることが望ましい。The conductive fibers 6 of the conductive fiber assembly 7 are desirably stainless steel or Kovar because they are metals that do not oxidize at low temperatures.
【００２５】導電性接着剤としては、例えば、ニッケ
ル、銀、白金、金等と、ガラス、エポキシ樹脂、ポリイ
ミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂等の接着剤で形成する
ことができるが、低ヤング率という理由から、銀とポリ
イミド樹脂からなることが望ましい。The conductive adhesive can be formed of, for example, nickel, silver, platinum, gold or the like and an adhesive such as glass, epoxy resin, polyimide resin or polyamide-imide resin. For this reason, it is desirable to use silver and a polyimide resin.
【００２６】圧電体１は、例えば、チタン酸ジルコン酸
鉛Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3（以下ＰＺＴと略す）或い
は、チタン酸バリウムＢａＴｉＯ3を主成分とする圧電
セラミック材料などが使用されるが、これらに限定され
るものではなく、圧電性を有するセラミックスであれば
何れでも良い。なお、この圧電体材料としては、圧電歪
み定数ｄ33が高いものが望ましい。また、圧電体１の厚
みｔ、つまり内部電極２間の距離は、小型化および高い
電界を印加するという点から０．０５〜０．２５ｍｍで
あることが望ましい。The piezoelectric body 1 is made of, for example, lead zirconate titanate Pb (Zr, Ti) O 3 (hereinafter abbreviated as PZT) or a piezoelectric ceramic material containing barium titanate BaTiO 3 as a main component. However, the present invention is not limited to these, and any ceramic having piezoelectricity may be used. As the piezoelectric material, as the piezoelectric strain constant d 33 it is high is preferable. The thickness t of the piezoelectric body 1, that is, the distance between the internal electrodes 2 is desirably 0.05 to 0.25 mm from the viewpoint of miniaturization and application of a high electric field.
【００２７】内部電極２は、素子本体３の全ての側面に
露出しているが、そのうち２つの対向する側面におい
て、溝を形成して、内部電極２端部及び圧電体１の一部
を除去し、この溝に、ガラス、エポキシ樹脂、ポリイミ
ド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコーンゴム等の絶
縁体５が充填され、内部電極２が交互に絶縁されてい
る。尚、絶縁体５は低ヤング率の材質、例えばシリコー
ンゴムが好ましい。The internal electrodes 2 are exposed on all side surfaces of the element body 3, and grooves are formed on two opposing side surfaces to remove the end of the internal electrodes 2 and a part of the piezoelectric body 1. The groove is filled with an insulator 5 such as glass, epoxy resin, polyimide resin, polyamide-imide resin, or silicone rubber, and the internal electrodes 2 are alternately insulated. The insulator 5 is preferably made of a material having a low Young's modulus, for example, silicone rubber.
【００２８】このように、内部電極２は互い違いに1層
おきに絶縁され、絶縁されていない内部電極２の他方の
端面は、予め塗布しておいた導電性接着剤に、導電性繊
維集合体７を埋め込んだ状態で、導電性接着剤を加熱硬
化して形成された外部電極４に接続されている。As described above, the internal electrodes 2 are alternately insulated every other layer, and the other end face of the non-insulated internal electrodes 2 is attached to a conductive adhesive previously applied by a conductive fiber assembly. In a state in which the conductive adhesive 7 is embedded, the conductive adhesive is connected to an external electrode 4 formed by heat curing.
【００２９】また、素子本体３の積層方向の両端面に
は、素子本体３を機械的に保持し、発生する力を外部へ
伝達するための不活性体２１が積層一体化されている。
さらに、本発明の積層型圧電アクチュエータでは、図示
しないが、外周面がシリコーンゴムによって被覆されて
おり、これにより、内部電極２間の沿面放電を防止し、
大きな電圧を印加することで、高変位量を確保すること
が可能となる。An inactive body 21 for mechanically holding the element body 3 and transmitting the generated force to the outside is integrally laminated on both end faces in the stacking direction of the element body 3.
Further, in the laminated piezoelectric actuator of the present invention, although not shown, the outer peripheral surface is covered with silicone rubber, thereby preventing creeping discharge between the internal electrodes 2,
By applying a large voltage, it is possible to secure a high displacement amount.
【００３０】以上のように構成された積層型圧電アクチ
ュエータは、以下のプロセスにより製造される。先ず、
ＰＺＴなどの圧電体セラミックスの仮焼粉末と、有機高
分子からなるバインダと、可塑剤とを混合したスラリを
作製し、スリップキャスティング法により、厚み５０〜
２５０μｍのセラミックグリーンシートを作製する。The multilayer piezoelectric actuator configured as described above is manufactured by the following process. First,
A slurry is prepared by mixing a calcined powder of a piezoelectric ceramic such as PZT, a binder made of an organic polymer, and a plasticizer, and has a thickness of 50 to 50 mm by a slip casting method.
A ceramic green sheet of 250 μm is prepared.
【００３１】このグリーンシートの片面に内部電極２と
なる銀−パラジウムを主成分とする導電性ペーストを、
スクリーン印刷法により１〜１０μｍの厚みに印刷す
る。この導電性ペーストを乾燥させた後、導電性ペース
トが塗布されたグリーンシートを所定の枚数だけ積層
し、この積層体の積層方向の両端部に、導電性ペースト
が塗布されていないグリーンシートを積層する。On one surface of the green sheet, a conductive paste containing silver-palladium as a main component to be the internal electrode 2 is applied.
Printing is performed to a thickness of 1 to 10 μm by a screen printing method. After the conductive paste is dried, a predetermined number of green sheets coated with the conductive paste are laminated, and green sheets not coated with the conductive paste are laminated on both ends in the laminating direction of the laminate. I do.
【００３２】次に、この積層体を加熱しながら加圧し、
積層体を一体化し、これを所定の大きさに切断した後、
脱バインダ処理し、９００〜１２００℃で２〜５時間焼
成し、素子本体３を形成する。素子本体３の全側面に
は、内部電極２の端部が露出している。Next, the laminate is pressurized while being heated,
After integrating the laminate and cutting it to a predetermined size,
A binder removal treatment is performed, followed by firing at 900 to 1200 ° C. for 2 to 5 hours to form the element body 3. The end of the internal electrode 2 is exposed on all side surfaces of the element body 3.
【００３３】その後、該素子本体３の側面において、内
部電極２端部を含む圧電体１の端面に該２側面において
互い違いになるように、1層おきに深さ５０〜５００μ
ｍ、積層方向の幅５０〜３００μｍの溝を形成し、該溝
にシリコーンゴム等の絶縁体５を充填する。Then, on the side surface of the element body 3, the end surface of the piezoelectric body 1 including the end of the internal electrode 2 is alternately formed on the two side surfaces so as to have a depth of 50 to 500 μm every other layer.
m, a groove having a width of 50 to 300 μm in the laminating direction is formed, and the groove is filled with an insulator 5 such as silicone rubber.
【００３４】つぎに、素子本体３の２側面に熱硬化性の
導電性接着剤を塗布し、この導電性接着剤に導電性繊維
集合体７を埋め込み、導電性接着剤を加熱硬化させるこ
とにより、外部電極４を形成する。これにより、内部電
極２は互い違いに1層おきに絶縁され、また、１層おき
に外部電極４にそれぞれ接続される。Next, a thermosetting conductive adhesive is applied to the two side surfaces of the element body 3, the conductive fiber assembly 7 is embedded in the conductive adhesive, and the conductive adhesive is cured by heating. The external electrodes 4 are formed. Thereby, the internal electrodes 2 are alternately insulated every other layer, and are connected to the external electrodes 4 every other layer.
【００３５】この後、正極用及び負極用の外部電極４に
リード線１３をハンダ１５で接続し、外周面にディッピ
ング等の方法により、シリコーンゴムを被覆した後、
０．１〜３ｋＶの分極電圧を印加し、分極処理すること
で、本発明の積層型圧電アクチュエータが得られる。Thereafter, a lead wire 13 is connected to the external electrodes 4 for the positive electrode and the negative electrode by solder 15, and the outer peripheral surface is coated with silicone rubber by a method such as dipping.
By applying a polarization voltage of 0.1 to 3 kV and performing a polarization process, the multilayer piezoelectric actuator of the present invention can be obtained.
【００３６】なお、上記例では、積層型圧電アクチュエ
ータの形状を四角柱状としたが、本発明では、六角柱、
円柱等、どのような柱体であっても構わないが、切断の
容易性から四角柱状が望ましい。In the above example, the shape of the laminated piezoelectric actuator is a quadrangular prism, but in the present invention, a hexagonal prism,
Any column, such as a cylinder, may be used, but a quadrangular column is desirable from the viewpoint of ease of cutting.
【００３７】また、本発明では、図３に示すように、外
部電極４にＬ字形状の板状金属からなるリード取付部材
１７を固着し、このリード取付部材１７にリード線１３
をハンダ１５により接合することが、リード線１３の外
部電極４への接合強度向上という点から望ましい。In the present invention, as shown in FIG. 3, a lead mounting member 17 made of an L-shaped plate-like metal is fixed to the external electrode 4, and the lead wire 13 is connected to the lead mounting member 17.
Is desirably joined by solder 15 from the viewpoint of improving the joining strength of the lead wire 13 to the external electrode 4.
【００３８】以上のように構成された積層型圧電アクチ
ュエータでは、導電性繊維集合体７の密度を２０〜２０
００ｇ／ｍ2とすることにより、外部電極４が高い伸縮
性を有するとともに、外部電極４の比抵抗を低下させる
ことができ、高い印加電界で高速で連続駆動させる場合
においても、外部電極４が素子本体３の積層方向への伸
縮に対応して伸縮し、外部電極４と内部電極２が断線す
ることがなく、高耐久性を有することができる。In the multilayer piezoelectric actuator configured as described above, the density of the conductive fiber assembly 7 is set to 20 to 20.
By setting the external electrode 4 to 00 g / m 2 , the external electrode 4 has a high elasticity and the specific resistance of the external electrode 4 can be reduced. It expands and contracts in response to expansion and contraction of the element body 3 in the laminating direction, so that the external electrodes 4 and the internal electrodes 2 do not break and have high durability.
【００３９】図４は、本発明の噴射装置を示すもので、
図において符号３１は収納容器を示している。この収納
容器３１の一端には噴射孔３３が設けられ、また収納容
器３１内には、噴射孔３３を開閉することができるニー
ドルバルブ３５が収容されている。FIG. 4 shows the injection device of the present invention.
In the figure, reference numeral 31 indicates a storage container. An injection hole 33 is provided at one end of the storage container 31, and a needle valve 35 that can open and close the injection hole 33 is stored in the storage container 31.
【００４０】噴射孔３３には燃料通路３７が連通可能に
設けられ、この燃料通路３７は外部の燃料供給源に連結
され、燃料通路３７に常時一定の高圧で燃料が供給され
ている。従って、ニードルバルブ３５が噴射孔３３を開
放すると、燃料通路３７に供給されていた燃料が一定の
高圧で内燃機関の図示しない燃料室内に噴出されるよう
に形成されている。A fuel passage 37 is provided in the injection hole 33 so as to communicate therewith. The fuel passage 37 is connected to an external fuel supply source, and the fuel is constantly supplied to the fuel passage 37 at a constant high pressure. Therefore, when the needle valve 35 opens the injection hole 33, the fuel supplied to the fuel passage 37 is jetted at a constant high pressure into a fuel chamber (not shown) of the internal combustion engine.
【００４１】また、ニードルバルブ３５の上端部は直径
が大きくなっており、収納容器３１に形成されたシリン
ダ３９と摺動可能なピストン４１となっている。そし
て、収納容器３１内には、上記した圧電アクチュエータ
４３が収納されている。The upper end of the needle valve 35 has a large diameter, and serves as a piston 41 slidable with a cylinder 39 formed in the storage container 31. The above-mentioned piezoelectric actuator 43 is stored in the storage container 31.
【００４２】このような噴射装置では、圧電アクチュエ
ータ４３が電圧を印加されて伸長すると、ピストン４１
が押圧され、ニードルバルブ３５が噴射孔３３を閉塞
し、燃料の供給が停止される。また、電圧の印加が停止
されると圧電アクチュエータ４３が収縮し、皿バネ４５
がピストン４１を押し返し、噴射孔３３が燃料通路３７
と連通して燃料の噴射が行われるようになっている。In such an injection device, when the piezoelectric actuator 43 expands by applying a voltage, the piston 41
Is pressed, the needle valve 35 closes the injection hole 33, and the supply of fuel is stopped. When the application of the voltage is stopped, the piezoelectric actuator 43 contracts, and the disc spring 45
Pushes the piston 41 back, and the injection hole 33
And the fuel is injected.
【００４３】[0043]
【実施例】実施例１ 先ず、ＰＺＴ主成分の圧電体セラミックスの仮焼粉末
と、有機高分子からなるバインダと、可塑剤とを混合し
たスラリを作製し、スリップキャステイング法により、
厚み１５０μｍのセラミックグリーンシートを作製し
た。EXAMPLE 1 First, a slurry was prepared by mixing a calcined powder of a piezoelectric ceramic containing PZT as a main component, a binder made of an organic polymer, and a plasticizer.
A ceramic green sheet having a thickness of 150 μm was produced.
【００４４】このグリーンシートの片面に内部電極２と
なる銀−パラジウムを主成分とする導電性ペーストをス
クリーン印刷法により５μｍの厚みに印刷し、導電性ペ
ーストを乾燥させた後、該導電性ペーストが塗布された
複数の該グリーンシートを１００枚積層し、さらに、こ
の積層体の積層方向の両端部に、導電性ペーストが塗布
されていないグリーンシートを各々１０枚ずつ積層し
た。On one surface of the green sheet, a conductive paste mainly composed of silver-palladium which is to be the internal electrode 2 is printed to a thickness of 5 μm by a screen printing method, and the conductive paste is dried. A plurality of the green sheets to which the conductive paste was applied were laminated on both ends of the laminate in the laminating direction, and ten green sheets to which the conductive paste was not applied were laminated.
【００４５】次に、この積層体を１００℃で加熱を行い
ながら加圧し、積層体を一体化し、１０ｍｍ×１０ｍｍ
の大きさの四角柱状に切断した後、８００℃で１０時間
の脱バインダを行い、１１３０℃で２時間で焼成するこ
とにより素子本体３を得た。圧電体１の厚みｔは１２０
μｍであった。Next, the laminate was pressurized while being heated at 100 ° C., and the laminate was integrated into a 10 mm × 10 mm
Was cut into a rectangular column having a size of, binder removal was performed at 800 ° C. for 10 hours, and firing was performed at 1130 ° C. for 2 hours to obtain an element body 3. The thickness t of the piezoelectric body 1 is 120
μm.
【００４６】その後、素子本体３の２つの側面におい
て、内部電極２端部を含む圧電体１の端面に、２側面に
おいて互い違いになるように、１層おきに深さ１００μ
ｍ、積層方向の幅５０μｍの溝を形成し、これらの溝に
シリコーンゴムを充填して絶縁体５を形成し、内部電極
２の端部を１層おきに素子本体３の側面に露出させた。Thereafter, on two side surfaces of the element body 3, the end surface of the piezoelectric body 1 including the end portions of the internal electrodes 2 is alternately formed on the two side surfaces so that every other layer has a depth of 100 μm.
m, grooves having a width of 50 μm in the stacking direction were formed, and these grooves were filled with silicone rubber to form an insulator 5, and the end portions of the internal electrodes 2 were exposed to the side surfaces of the element body 3 every other layer. .
【００４７】この後、素子本体３の側面に、銀とポリイ
ミド樹脂からなる導電性接着剤を塗布し、この導電性接
着剤中に、直径Ｒが圧電体１の厚みｔの０．１倍（１２
μｍ）で、表１に示すような密度の導電性繊維集合体７
を埋め込み、この状態で２００℃に加熱して硬化させる
ことにより、外部電極４を形成した。Thereafter, a conductive adhesive made of silver and a polyimide resin is applied to the side surface of the element body 3, and the diameter R is 0.1 times the thickness t of the piezoelectric body 1 in the conductive adhesive. 12
μm), the conductive fiber aggregate 7 having a density as shown in Table 1.
Was embedded and heated to 200 ° C. in this state to be cured, whereby the external electrode 4 was formed.
【００４８】この後、正極用、負極用外部電極４にリー
ド線１３をハンダ１５で接続し、外周面にディッピング
等の方法により、シリコーンゴムを被覆した後、１ｋＶ
の分極電圧を印加し、アクチュエータ全体を分極処理し
て、図１及び図２に示す本発明の積層型圧電アクチュエ
ータを得た。After that, the lead wire 13 is connected to the positive electrode and negative electrode external electrodes 4 by solder 15, and the outer peripheral surface is coated with silicone rubber by a method such as dipping.
And a polarization treatment was applied to the entire actuator to obtain a laminated piezoelectric actuator of the present invention shown in FIGS. 1 and 2.
【００４９】得られた積層型圧電アクチュエータに２０
０Ｖの直流電圧を印加した結果、各アクチュエータとも
１０μｍの変位が得られた。さらに、これら積層型圧電
アクチュエータに０〜＋２００Ｖの交流電界を５０Ｈｚ
の周波数にて印加し、駆動試験を行った。In the obtained laminated piezoelectric actuator, 20
As a result of applying a DC voltage of 0 V, a displacement of 10 μm was obtained for each actuator. Further, an AC electric field of 0 to +200 V is applied to these laminated piezoelectric actuators at 50 Hz.
And a driving test was performed.
【００５０】駆動試験は１×１０9サイクルまで積層型
圧電アクチュエータを駆動させ、変位を測定し、初期の
変位からの変動を調べた。尚、変位量の測定は、試料を
防振台上に固定し、試料上面にアルミニウム箔を張り付
けて、レーザー変位計により、素子の中心部及び周囲部
の３箇所で測定した値の平均値で評価した。この結果を
表１に記載する。In the driving test, the laminated piezoelectric actuator was driven up to 1 × 10 9 cycles, the displacement was measured, and the variation from the initial displacement was examined. The displacement was measured by fixing the sample on a vibration isolator, attaching aluminum foil to the top of the sample, and measuring the average value of the values measured at the center and the periphery of the element using a laser displacement meter. evaluated. Table 1 shows the results.
【００５１】[0051]
【表１】 [Table 1]
【００５２】この表１から、導電性繊維集合体７の密度
が本発明の範囲外の試料Ｎｏ．１、７では、外部電極で
局所的に発熱し、これにより内部電極と外部電極とが断
線し変位量が５μｍ以下に低下した。一方、本発明の範
囲内の試料Ｎｏ．２〜６では１×１０9サイクル後にお
ける変位量の低下は見られなかった。From Table 1, it can be seen that the density of the conductive fiber aggregate 7 is out of the range of the present invention. In Nos. 1 and 7, heat was locally generated at the external electrode, thereby disconnecting the internal electrode and the external electrode and reducing the displacement to 5 μm or less. On the other hand, the sample Nos. In Nos. 2 to 6, no decrease in the displacement amount after 1 × 10 9 cycles was observed.
【００５３】実施例２ 次に、導電性繊維集合体の密度を５００ｇ／ｍ2にし、
導電性繊維６の直径Ｒを、圧電体１の厚みｔ（１２０μ
ｍ）に対して表２に示す比率とする以外は、上記実施例
１と同様にして積層型圧電アクチュエータを作製し、得
られた積層型圧電アクチュエータに２００Ｖの直流電圧
を印加した結果、各アクチュエータとも１０μｍの変位
が得られた。Example 2 Next, the density of the conductive fiber aggregate was set to 500 g / m 2 ,
The diameter R of the conductive fiber 6 is set to the thickness t (120 μm) of the piezoelectric body 1.
m), a laminated piezoelectric actuator was produced in the same manner as in Example 1 except that the ratio shown in Table 2 was applied, and a DC voltage of 200 V was applied to the obtained laminated piezoelectric actuator. In both cases, a displacement of 10 μm was obtained.
【００５４】さらに、これら積層型圧電のアクチュエー
タに０〜＋２００Ｖの交流電界を５０Ｈｚの周波数にて
印加し、駆動試験を行った。駆動試験は２×１０9サイ
クルまで積層型圧電アクチュエータを駆動させ、変位を
測定し、初期の変位からの変動を調べた。また、その時
の外部電極と内部電極との接続状況を観察した。この結
果を、表２に記載する。Further, an AC electric field of 0 to +200 V was applied to these laminated piezoelectric actuators at a frequency of 50 Hz, and a driving test was performed. In the driving test, the laminated piezoelectric actuator was driven up to 2 × 10 9 cycles, the displacement was measured, and the variation from the initial displacement was examined. Further, the connection state between the external electrode and the internal electrode at that time was observed. Table 2 shows the results.
【００５５】[0055]
【表２】 [Table 2]
【００５６】この表２から、すべての試料は２×１０9
サイクル試験後においても変位量の変化は見られなかっ
たが、導電性繊維の直径Ｒを圧電体の厚みｔに対して
０．０１倍とした試料Ｎｏ．８は、変位量の変化は殆ど
ないが、導電性繊維集合体中に一部断線が見られた。ま
た、圧電体の厚みｔに対して２倍とした試料Ｎｏ．１３
では、変位量の変化は殆どないが、外部電極で局所的に
発熱しており、内部電極と外部電極との間で一部スパー
ク発生の跡が見られた。From Table 2, all the samples were 2 × 10 9
No change in the displacement was observed even after the cycle test. In No. 8, although there was almost no change in the amount of displacement, partial disconnection was observed in the conductive fiber aggregate. Sample No. 2 was twice as large as the thickness t of the piezoelectric body. 13
Although there was almost no change in the displacement amount, heat was locally generated at the external electrodes, and traces of spark generation were observed between the internal electrodes and the external electrodes.
【００５７】一方、導電性繊維の直径Ｒを圧電体の厚み
ｔに対して０．０５〜１倍にした本発明の試料Ｎｏ．９
〜１２では、サイクル試験後において、導電性繊維集合
体中の断線もなく、外部電極と内部電極との接続状況は
良好であり、その接続部分にはスパークの発生は見られ
なかった。On the other hand, the sample No. of the present invention in which the diameter R of the conductive fiber was 0.05 to 1 times the thickness t of the piezoelectric body. 9
In Nos. To 12, after the cycle test, there was no disconnection in the conductive fiber aggregate, the connection condition between the external electrode and the internal electrode was good, and no spark was observed at the connection portion.
【００５８】[0058]
【発明の効果】以上のように、本発明の積層型圧電素子
では、外部電極が、素子本体の側面に導電性接着剤によ
り固着された導電性繊維集合体からなるとともに、導電
性繊維集合体の密度を２０〜２０００ｇ／ｍ2としたの
で、外部電極が高い伸縮性を有し、高い印加電界で高速
で連続駆動させる場合においても、外部電極と内部電極
が断線することなく、さらに、導電性繊維集合体が素子
本体を摺動することがなく、外部電極の磨耗を防止で
き、外部電極におけるスパークの発生を防止できる。As described above, in the multi-layer piezoelectric element of the present invention, the external electrode is formed of the conductive fiber aggregate fixed to the side surface of the element body by the conductive adhesive, and the conductive fiber aggregate is formed. Is set to 20 to 2000 g / m 2 , the external electrode has high elasticity, and even if the external electrode and the internal electrode are continuously driven at a high speed with a high applied electric field, the external electrode and the internal electrode are not disconnected. Since the conductive fiber aggregate does not slide on the element body, wear of the external electrodes can be prevented, and generation of sparks in the external electrodes can be prevented.
【図１】（ａ）は本発明の積層型圧電アクチュエータを
示す斜視図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線に沿った縦断
面図である。FIG. 1A is a perspective view showing a laminated piezoelectric actuator of the present invention, and FIG. 1B is a longitudinal sectional view taken along line AA ′ of FIG.
【図２】導電性繊維集合体を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory view showing a conductive fiber assembly.
【図３】外部電極に板状金属からなるリード取付部材を
接合した積層型圧電アクチュエータを示すもので、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のB−B’線に沿った縦
断面図である。FIG. 3 shows a laminated piezoelectric actuator in which a lead mounting member made of a sheet metal is joined to an external electrode.
(A) is a perspective view, (b) is a longitudinal sectional view along the BB 'line of (a).
【図４】本発明の噴射装置を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory view showing an injection device of the present invention.
１・・・圧電体 ２・・・内部電極 ３・・・素子本体 ４・・・外部電極 ６・・・導電性繊維 ７・・・導電繊維集合体 １３・・・リード線 １７・・・リード取付部材 ｔ・・・圧電体の厚み Ｒ・・・導電性繊維の直径 ３１・・・収納容器 ３３・・・噴射孔 ３５・・・バルブ ４３・・・圧電アクチュエータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Piezoelectric body 2 ... Internal electrode 3 ... Element main body 4 ... External electrode 6 ... Conductive fiber 7 ... Conductive fiber aggregate 13 ... Lead wire 17 ... Lead Mounting member t: thickness of piezoelectric body R: diameter of conductive fiber 31: storage container 33: injection hole 35: valve 43: piezoelectric actuator
Claims (4)
積層してなる素子本体と、該素子本体の側面に設けら
れ、前記内部電極が交互に接続された外部電極とを具備
する積層型圧電素子であって、前記外部電極が、前記素
子本体の側面に導電性接着剤により固着された導電性繊
維集合体からなるとともに、前記導電性繊維集合体の密
度が２０〜２０００ｇ／ｍ2であることを特徴とする積
層型圧電素子。1. An element main body comprising a plurality of piezoelectric bodies and a plurality of internal electrodes alternately laminated, and an external electrode provided on a side surface of the element main body, wherein the internal electrodes are connected alternately. A multilayer piezoelectric element, wherein the external electrode is made of a conductive fiber aggregate fixed to a side surface of the element body with a conductive adhesive, and the density of the conductive fiber aggregate is 20 to 2000 g / m. 2. A multi-layer piezoelectric element according to item 2 .
圧電体の厚みの０．０５〜１倍であることを特徴とする
請求項１記載の積層型圧電素子。2. The conductive fiber assembly according to claim 2, wherein the diameter of the conductive fiber is
2. The multilayer piezoelectric element according to claim 1, wherein the thickness of the piezoelectric body is 0.05 to 1 times the thickness of the piezoelectric body.
材が固着され、このリード取付部材にリード線が接合さ
れていることを特徴とする請求項１または２記載の積層
型圧電素子。3. The multilayer piezoelectric element according to claim 1, wherein a lead mounting member made of a sheet metal is fixed to the external electrode, and a lead wire is joined to the lead mounting member.
に収容された請求項１乃至３のうちいずれかに記載の積
層型圧電素子と、該積層型圧電素子の駆動により前記噴
射孔から液体を噴出させるバルブとを具備してなること
を特徴とする噴射装置。4. A storage container having an injection hole, the multilayer piezoelectric element according to any one of claims 1 to 3 stored in the storage container, and the injection hole by driving the multilayer piezoelectric element. And a valve for ejecting a liquid from the device.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001052411A JP2002261340A (en) | 2001-02-27 | 2001-02-27 | Laminated piezoelectric element and injection device |
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| JP (1) | JP2002261340A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006013437A (en) * | 2004-05-27 | 2006-01-12 | Kyocera Corp | Laminated piezoelectric element, its manufacturing method, and injection device using it |
| JP2007173320A (en) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Denso Corp | Laminate piezoelectric element and its manufacturing method |
| JP2012509582A (en) * | 2008-11-20 | 2012-04-19 | セラムテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Multilayer actuator with external electrodes as a porous stretchable metal conductive layer |
| JP2020205370A (en) * | 2019-06-18 | 2020-12-24 | Tdk株式会社 | Piezoelectric element |
| CN115148892A (en) * | 2022-05-25 | 2022-10-04 | 珠海多创科技有限公司 | Signal isolator and preparation method thereof |
-
2001
- 2001-02-27 JP JP2001052411A patent/JP2002261340A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006013437A (en) * | 2004-05-27 | 2006-01-12 | Kyocera Corp | Laminated piezoelectric element, its manufacturing method, and injection device using it |
| JP2007173320A (en) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Denso Corp | Laminate piezoelectric element and its manufacturing method |
| JP2012509582A (en) * | 2008-11-20 | 2012-04-19 | セラムテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Multilayer actuator with external electrodes as a porous stretchable metal conductive layer |
| JP2020205370A (en) * | 2019-06-18 | 2020-12-24 | Tdk株式会社 | Piezoelectric element |
| JP7293898B2 (en) | 2019-06-18 | 2023-06-20 | Tdk株式会社 | Piezoelectric element |
| CN115148892A (en) * | 2022-05-25 | 2022-10-04 | 珠海多创科技有限公司 | Signal isolator and preparation method thereof |
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