JP2002258171A - Optical modulation element - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress a pressure rise inside a vibration chamber and to improve the drive and the response at a low-voltage of the optical modulation element of an electrostatic actuator system by reducing an air damper effect. SOLUTION: The optical modulation element has a light reflector 1, an electrode substrate 3 which has a supporting part 12, a counter electrode 2 and a gap 8. Notches 10 are provided in the opposing supporting part 12 so as to be under cuts. The notches 10 increase the volume of the gap 8. Accordingly, the rise of pressure inside the gap is suppressed when the light reflector 1 is displaced, the air damper effect is reduced, and a driving voltage is lowered.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光変調素子に係り、
電子写真プロセスにおける光書き込みデバイスに適用さ
れる光変調素子に関する。The present invention relates to an optical modulation device,
The present invention relates to a light modulation element applied to an optical writing device in an electrophotographic process.

【０００２】[0002]

【従来の技術】静電力を利用した光スイッチデバイスで
は片持ち梁を静電力で撓ませて光の反射方向を変えてス
イッチするデバイス、及びそれを用いた光変調システム
がK.E.Petersenにより1977年に発表されている（Applie
d Physics Letters,Vol.31, No.8, pp521〜pp523）。2. Description of the Related Art In an optical switch device using an electrostatic force, a device that changes the direction of light reflection by bending a cantilever with an electrostatic force and an optical modulation system using the device were announced by KEPetersen in 1977. (Applie
d Physics Letters, Vol. 31, No. 8, pp 521-pp 523).

【０００３】特公平7−56531号公報には、片持ち梁で構
成した反射板を静電気力で撓ませて、光の反射方向を変
え、且つ、空気逃がし穴を持つ導電性素子で反射板を構
成している構造が示されている。[0003] Japanese Patent Publication No. 7-56531 discloses that a reflecting plate formed of a cantilever is bent by an electrostatic force to change the direction of light reflection, and the reflecting plate is formed by a conductive element having an air escape hole. The constituent structures are shown.

【０００４】特開平7−49460公報には、円形な薄膜ダイ
アフラムで反射板を構成し、静電気力でダイアフラムを
変形させ、焦点を変える構造が示されている。Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-49460 discloses a structure in which a reflector is formed by a circular thin film diaphragm, and the diaphragm is deformed by electrostatic force to change the focus.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本出願人は先に、両端
固定梁で光の反射板を構成する光変調装置を提案した。The present applicant has previously proposed an optical modulator in which a light reflecting plate is constituted by beams fixed at both ends.

【０００６】光を反射する反射板を変形させて、光の反
射方向を変えることで入射光の方向を変える光変調素子
を備えた光変調装置は、ディスプレイやプロジェクタな
どに使用されている。反射板は数十〜数百μmといった
微小な大きさに形成し、表示する画像の画素1つ1つに対
応させている。Light modulators having a light modulation element that changes the direction of incident light by changing the direction of light reflection by deforming a reflector that reflects light are used in displays and projectors. The reflection plate is formed in a minute size such as several tens to several hundreds μm, and corresponds to each pixel of an image to be displayed.

【０００７】反射板の駆動方法には種々の方式がある
が、反射板を変形させる以外の力は必要なく、変位量を
比較的大きく取れ、低消費電力の観点から、静電気力が
用いられることが多い。反射板を導電性部材で形成して
電極とし、反射板の対向位置にさらに電極を設けて、電
極間に電圧を印加(ON)することで静電気力が作用し、反
射板が対向電極側に撓む。印加する電圧を解除(OFF)す
ると、反射板は自身のバネ性で復帰する。従って、電圧
のON/OFFを切り替えることで反射板を駆動でき、すなわ
ち光のスイッチングができることになる。There are various driving methods of the reflector, but no force other than deformation of the reflector is required, a relatively large displacement can be obtained, and electrostatic force is used from the viewpoint of low power consumption. There are many. The reflector is made of a conductive material to serve as an electrode.An additional electrode is provided at a position facing the reflector, and a voltage is applied (ON) between the electrodes to apply an electrostatic force. Bend. When the applied voltage is released (OFF), the reflector returns to its own spring property. Therefore, the reflection plate can be driven by switching ON / OFF of the voltage, that is, light can be switched.

【０００８】即ち、反射板と対向電極とで静電アクチュ
エータを構成している。That is, the reflection plate and the counter electrode constitute an electrostatic actuator.

【０００９】この種の静電アクチュエータを用いた光変
調装置が、特公平7-56531号公報等で開示されており、
その他、種々提案されている。An optical modulator using this type of electrostatic actuator is disclosed in Japanese Patent Publication No. Hei 7-56531 or the like.
Various other proposals have been made.

【００１０】ところが、反射板と対向電極との間（以
下、ギャップと記す）が形成されている空間＝振動室内
部の空気が、反射板の変位に伴って圧縮されて圧力が上
昇するために、空気がない場合に静的に計算して求めた
反射板の変位量よりも小さくなってしまい、必要な変位
量を得るための駆動電圧が上昇してしまうという問題が
ある。ここではこれをエアダンパ効果と呼ぶ。However, a space in which a space is formed between the reflector and the counter electrode (hereinafter, referred to as a gap) = air in the vibration chamber is compressed due to displacement of the reflector and the pressure rises. However, when there is no air, the displacement becomes smaller than the displacement of the reflector calculated statically, and there is a problem that the driving voltage for obtaining the required displacement increases. Here, this is called an air damper effect.

【００１１】特開平7-49460号公報では、円形ダイアフ
ラムを静電気で変形させるが、ダイアフラムと対向電極
間で構成されたギャップ内の空気の圧縮による影響につ
いての記載はない。In Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-49460, a circular diaphragm is deformed by static electricity, but there is no description about the effect of compression of air in a gap formed between the diaphragm and a counter electrode.

【００１２】特公平7-56531号公報では、光変調装置と
しての基本構造を提案し、空気逃がし穴を持つ導電性素
子で反射板を構成するとの記載があるが、具体的手段に
は一切触れていない。Japanese Patent Publication No. 7-56531 proposes a basic structure as an optical modulator, and describes that a reflective plate is constituted by a conductive element having an air escape hole. Not.

【００１３】さらにエアダンパ効果は、反射板の応答特
性を損ねる原因にもなる。Further, the air damper effect is a cause of impairing the response characteristics of the reflector.

【００１４】また、反射板の変位量は反射板の厚さの3
乗に反比例するため、反射板の変位量を確保しつつ駆動
電圧を下げるためには、反射板の厚さも薄くする必要が
ある。しかし、反射板の薄さにも限界があり、均一な薄
さに形成することは精度上困難であることから特性を揃
えるのが難しくなり、光変調装置としての性能低下を引
き起こしてしまう。The amount of displacement of the reflector is three times the thickness of the reflector.
Since it is inversely proportional to the power, the thickness of the reflector needs to be reduced in order to lower the driving voltage while securing the displacement of the reflector. However, there is a limit to the thickness of the reflection plate, and it is difficult to form a uniform thickness, which makes it difficult to make the characteristics uniform, thereby causing a deterioration in performance as an optical modulator.

【００１５】そこで、本発明は上記問題点に鑑み、エア
ダンパ効果を低減することで、振動室内部の圧力上昇を
抑えて低電圧で駆動可能な、応答性の良い静電アクチュ
エータ方式の光変調素子を提供することを目的とする。In view of the above problems, the present invention reduces the air damper effect, suppresses the pressure rise in the vibration chamber, and can be driven at a low voltage. The purpose is to provide.

【００１６】[0016]

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、光を
反射する反射板として作用する第1の電極を形成した反
射板と、前記反射板に対向して設けられた第2の電極を
形成した電極基板とからなり、前記反射板と第2の電極
の間に電圧を印加して、前記反射板を変位させることで
光の反射方向を変化させ、入射光の変調を行う光変調素
子において、前記反射板と前記第2の電極を含んで前記
反射板が変位駆動する空間を構成するギャップ内で、隣
接する前記ギャップを隔てる壁に切り欠きを設けた構成
としたものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a reflector provided with a first electrode acting as a reflector for reflecting light, and a second electrode provided opposite to the reflector. A voltage modulation is performed by applying a voltage between the reflector and the second electrode, displacing the reflector to change the direction of light reflection, and modulating incident light. In the element, a notch is provided on a wall separating the adjacent gap in a gap including the reflector and the second electrode to form a space in which the reflector is driven to be displaced.

【００１７】隣接する前記ギャップを隔てる壁に設けら
れた切り欠きは、ギャップ容積を大きくする。ギャップ
容積が大きくなると、エアダンパ効果が低減され、低電
圧駆動が可能となり、且つ、アクチュエータの応答性は
良くなる。The notch provided in the wall separating the adjacent gap increases the gap volume. When the gap volume is increased, the air damper effect is reduced, low-voltage driving is possible, and the response of the actuator is improved.

【００１８】請求項２の発明は、光を反射する反射板と
して作用する第1の電極を形成した反射板と、前記反射
板に対向して設けられた第2の電極を形成した電極基板
とからなり、前記反射板と第2の電極の間に電圧を印加
して、前記反射板を変位させることで光の反射方向を変
化させ、入射光の変調を行う光変調素子において、前記
反射板と前記第2の電極を含んで前記反射板が変形駆動
する空間を構成するギャップ内で、隣接する前記ギャッ
プを隔てる壁に、隣接する前記ギャップと連通する貫通
穴を設けた構成としたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a light emitting device, comprising: a reflector having a first electrode acting as a reflector for reflecting light; and an electrode substrate having a second electrode provided to face the reflector. A light modulating element that modulates incident light by applying a voltage between the reflector and the second electrode to change the direction of light reflection by displacing the reflector, In the gap including the second electrode and the space constituting the space in which the reflection plate is deformed and driven, a wall separating the adjacent gap is provided with a through hole communicating with the adjacent gap. is there.

【００１９】隣接するギャップに連通する貫通穴は、隣
接するギャップを連通させてギャップ容積をさらに大き
くする。The through holes communicating with the adjacent gaps connect the adjacent gaps to further increase the gap volume.

【００２０】請求項３の発明は、光を反射する反射板と
して作用する第1の電極を形成した反射板と、前記反射
板に対向して設けられた第2の電極を形成した電極基板
とからなり、前記反射板と第2の電極の間に電圧を印加
して、前記反射板を変位させることで光の反射方向を変
化させ、入射光の変調を行う光変調素子において、前記
反射板と前記第2の電極を含んで前記反射板が変形駆動
する空間を構成するギャップ内で、前記反射板を固定す
る箇所の直下に、前記反射板と前記電極基板とを接合す
る支持部材を有しない構成としたものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device comprising: a reflector having a first electrode acting as a reflector for reflecting light; and an electrode substrate having a second electrode provided to face the reflector. A light modulating element that modulates incident light by applying a voltage between the reflector and the second electrode to change the direction of light reflection by displacing the reflector, A support member for joining the reflector and the electrode substrate is provided immediately below a location where the reflector is fixed in a gap including the second electrode and the space in which the reflector is deformed and driven. This is a configuration not to perform.

【００２１】反射板と第2の電極を含んで反射板が変形
駆動する空間を構成するギャップ内で、反射板を固定す
る箇所の直下に、反射板と電極基板とを接合する支持部
材を有しない構成は、ギャップ容積を大きくする。A support member for joining the reflector and the electrode substrate is provided immediately below the location where the reflector is fixed in the gap forming the space where the reflector is deformed and driven, including the reflector and the second electrode. A configuration that does not increase the gap volume.

【００２２】請求項４の発明は、光を反射する反射板と
して作用する第1の電極を形成した反射板と、前記反射
板に対向して設けられた第2の電極を形成した電極基板
とからなり、前記反射板と第2の電極の間に電圧を印加
して、前記反射板を変位させることで光の反射方向を変
化させ、入射光の変調を行う光変調素子において、前記
反射板と前記第2の電極を含んで前記反射板が変形駆動
する空間を構成するギャップ内で、前記反射板を固定す
る箇所の直下にあって、前記反射板と前記電極基板とを
接合する支持部材を、所定の数の隣接する前記反射板ご
とに設けた構成としたものである。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a reflector having a first electrode acting as a reflector for reflecting light, and an electrode substrate having a second electrode provided opposed to the reflector. A light modulating element that modulates incident light by applying a voltage between the reflector and the second electrode to change the direction of light reflection by displacing the reflector, And a support member that joins the reflector and the electrode substrate in a gap including the second electrode and forming a space in which the reflector is deformed and driven, directly below a location where the reflector is fixed. Is provided for each of a predetermined number of adjacent reflection plates.

【００２３】ギャップの直上には、所定の数の反射板を
含むため、反射板の固定支持部の強度が適度に保たれ
る。Since a predetermined number of reflectors are included immediately above the gap, the strength of the fixed support portion of the reflector is maintained at an appropriate level.

【００２４】請求項５の発明は、請求項4記載の光変調
素子において、前記支持部材を含んで構成されている振
動室の直上に含まれる前記反射板の数は、2個以上10個
以下である構成としたものである。According to a fifth aspect of the present invention, in the light modulating element according to the fourth aspect, the number of the reflecting plates included immediately above the vibration chamber including the supporting member is two or more and ten or less. The configuration is as follows.

【００２５】所定の数を2個以上10個以下としたため、
より信頼性の高い光変調素子を実現可能となる。Since the predetermined number is set to 2 or more and 10 or less,
A more reliable light modulation element can be realized.

【００２６】請求項６の発明は、光を反射する反射板と
して作用する第1の電極を形成した反射板と、前記反射
板に対向して設けられた第2の電極を形成した電極基板
とからなり、前記反射板と第2の電極の間に電圧を印加
して、前記反射板を変位させることで光の反射方向を変
化させ、入射光の変調を行う光変調素子において、前記
反射板は梁構造であり、固定端の対向は支持端である構
成としたものである。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device comprising: a reflector having a first electrode acting as a reflector for reflecting light; and an electrode substrate having a second electrode provided opposite to the reflector. A light modulating element that modulates incident light by applying a voltage between the reflector and the second electrode to change the direction of light reflection by displacing the reflector, Is a beam structure, and the fixed end is opposed to the support end.

【００２７】反射板を梁構造とし、固定端の対向は支持
端とした構成とすることによって、梁の剛性が小さくな
る。The rigidity of the beam is reduced by adopting a structure in which the reflecting plate has a beam structure and the fixed end faces the supporting end.

【００２８】[0028]

【発明の実施の形態】説明の便宜上、最初に、静電アク
チュエータを用いた光反射板の駆動例について説明す
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS For convenience of explanation, first, an example of driving a light reflection plate using an electrostatic actuator will be described.

【００２９】光変調素子において光の反射方向を変える
には、光を反射させる反射板に対応して、アクチュエー
タを備え、そのアクチュエータに駆動信号を与える必要
があるのは周知のことである。It is well known that in order to change the direction of light reflection in a light modulation element, it is necessary to provide an actuator corresponding to a reflector for reflecting light and to supply a drive signal to the actuator.

【００３０】このアクチュエータとして、反射板を電極
とし、対向してさらに設けた電極との間に電圧を加え
て、生じる静電気力で反射板を駆動させる静電アクチュ
エータを用いたものがある。As this actuator, there is an actuator using an electrostatic actuator in which a reflector is used as an electrode, a voltage is applied between the electrode and a further electrode provided opposite to the electrode, and the reflector is driven by generated electrostatic force.

【００３１】図1は静電アクチュエータを用いた光反射
板の駆動例を示す。FIG. 1 shows an example of driving a light reflection plate using an electrostatic actuator.

【００３２】図示しない電極を設けた反射板1を、対向
電極2を設けた電極基板3に接合する。反射板1と対向電
極2の間に、図示しない駆動回路から電圧を与えること
で両者間に静電気による吸引力が作用する。反射板1は
薄く形成されているので、生じた静電力によって反射板
1が対向電極2側に変形する（図1(Ｂ)）。すると、電圧
を印加していなかった場合（図1(Ａ)）には入射光4は反
射板1で反射光5のような方向に反射されていたのに対
し、電圧を印加すると、入射光6は変形した反射板1で反
射光7のように反射される（図1(Ｂ)）。このように、電
圧のONとOFFによって光の反射方向を切り替えることが
でき、光を変調することができる。光の反射方向に、図
示しない色フィルタやレンズなどを設けることで表示装
置を構成でき、ディスプレイやプロジェクタなどに応用
することができる。また、電子写真装置の光書込み系へ
の応用も可能である。The reflector 1 provided with electrodes (not shown) is joined to the electrode substrate 3 provided with the counter electrode 2. By applying a voltage from a drive circuit (not shown) between the reflection plate 1 and the counter electrode 2, an attractive force due to static electricity acts between the two. Since the reflector 1 is formed to be thin, the reflector
1 is deformed to the counter electrode 2 side (FIG. 1B). Then, when no voltage was applied (FIG. 1 (A)), the incident light 4 was reflected by the reflector 1 in a direction like the reflected light 5, whereas when the voltage was applied, the incident light 4 was reflected. 6 is reflected by the deformed reflector 1 like reflected light 7 (FIG. 1B). As described above, the light reflection direction can be switched by turning on and off the voltage, and the light can be modulated. A display device can be configured by providing a color filter, a lens, and the like (not shown) in the light reflection direction, and can be applied to a display, a projector, and the like. Further, application to an optical writing system of an electrophotographic apparatus is also possible.

【００３３】対向電極2は、電極基板3に設けた凹部に作
製し、反射板1と対向電極2との間にギャップ8を形成す
る。電極基板3に形成した凹部によって、それぞれの対
向電極2は分離され、残された部分が固定支持部9とな
り、反射板1と電極基板3とを接合する接合面として作用
する。The counter electrode 2 is formed in a recess provided in the electrode substrate 3, and a gap 8 is formed between the reflector 1 and the counter electrode 2. The opposing electrodes 2 are separated from each other by the recesses formed in the electrode substrate 3, and the remaining portions become fixed support portions 9, which function as bonding surfaces for bonding the reflection plate 1 and the electrode substrate 3.

【００３４】独立に構成した反射板と電極基板3とを接
合せずに、電極基板3に製膜プロセスや犠牲層プロセス
等によって反射板1を積層して作ってもよい。The reflecting plate 1 may be laminated on the electrode substrate 3 by a film forming process, a sacrifice layer process, or the like without joining the independently formed reflecting plate and the electrode substrate 3.

【００３５】図1には図示していないが、対向電極2また
は電極として作用する反射板1の電極側表面には、誘電
体である保護膜を形成して、反射板1が対向電極2に接触
した場合の電気的ショートを防ぐ。Although not shown in FIG. 1, a protective film, which is a dielectric, is formed on the electrode side surface of the counter electrode 2 or the reflector 1 acting as an electrode, and the reflector 1 is Prevents electrical shorts in case of contact.

【００３６】しかしながら、反射板1を変位駆動する場
合、ギャップ8内部の空気が、反射板1の変位に伴って圧
縮されて圧力が上昇するため、反射板1がギャップ内部
の圧力で押し戻されるので、空気がない場合に静的に計
算して求めた反射板1の変位量よりも小さくなってしま
う。ここで、圧力の上昇ΔＰは、次式（１）で示され
る。However, when the reflecting plate 1 is driven to be displaced, the air inside the gap 8 is compressed with the displacement of the reflecting plate 1 and the pressure rises, so that the reflecting plate 1 is pushed back by the pressure inside the gap. However, when there is no air, the amount of displacement of the reflection plate 1 calculated statically becomes smaller. Here, the pressure increase ΔP is expressed by the following equation (1).

【００３７】[0037]

【数１】 ここで、Ｐ_０はギャップ内の初期圧力、Ｖはギャップの
初期容積、ΔＶは反射板の変位による容積変化量であ
る。反射板の変位に伴うギャップ内の圧力上昇のこと
を、ここではエアダンパ効果と呼ぶ。このエアダンパ効
果を低減し、ギャップ内部の上昇圧力ΔＰを減少させ、
駆動の低電圧化と応答性の向上を達成するためには、ギ
ャップの初期容量を増加させることが効果的である。(Equation 1) Here, P ₀ is the initial pressure in the gap, V is the initial volume of the gap, and ΔV is the volume change due to the displacement of the reflector. The pressure increase in the gap due to the displacement of the reflector is referred to herein as an air damper effect. This air damper effect is reduced, the rising pressure ΔP inside the gap is reduced,
In order to achieve lower driving voltage and improved responsiveness, it is effective to increase the initial capacity of the gap.

【００３８】次に、光変調素子に用いる静電アクチュエ
ータにおいて、反射板と対向電極とで構成される振動室
のエアダンパ効果を低減し、低電圧での駆動を実現する
ことを目的とした本発明について説明する。Next, in the electrostatic actuator used for the light modulation element, the present invention aims at realizing low-voltage driving by reducing the air damper effect of the vibration chamber formed by the reflection plate and the counter electrode. Will be described.

【００３９】実施例に基づいて、以下、本発明を説明す
る。Hereinafter, the present invention will be described based on examples.

【００４０】図2は本発明の第１実施例になる光変調素
子を示す。FIG. 2 shows an optical modulator according to a first embodiment of the present invention.

【００４１】反射板1を電極基板3の支持部１２に接合
し、電極基板3には対向電極2を設ける。反射板1は、電
気伝導体で形成するか、導電性部材を表面または内部に
形成する。電極基板3にギャップ8を設け、ギャップ8の
底面に、反射板1に対応した対向電極2を形成しておく。The reflector 1 is joined to the support 12 of the electrode substrate 3, and the electrode substrate 3 is provided with the counter electrode 2. The reflection plate 1 is formed of an electric conductor, or a conductive member is formed on the surface or inside. A gap 8 is provided in the electrode substrate 3, and a counter electrode 2 corresponding to the reflection plate 1 is formed on the bottom of the gap 8.

【００４２】ギャップ8は、内部を高誘電率の物質、例
えばグリセリンや強誘電性液晶などで充填されている
と、静電アクチュエータの低電圧化には好ましいが、体
積圧縮率が極めて大きいのでダンパ効果が顕著になるた
め、ここでは体積圧縮率の小さな物質、例えば空気や不
活性ガスなどの気体を充填する。図2には図示していな
いが、反射板1の電極（図示せず）や対向電極2の表面に
は、誘電体である保護膜を形成して、反射板1が対向電
極2に接触した場合の電気的ショートを防ぐ。When the gap 8 is filled with a substance having a high dielectric constant, for example, glycerin or ferroelectric liquid crystal, the gap 8 is preferable for lowering the voltage of the electrostatic actuator. Since the effect is remarkable, a substance having a small volume compressibility, for example, a gas such as air or an inert gas is filled here. Although not shown in FIG. 2, a protective film, which is a dielectric, is formed on the surface of the electrode (not shown) of the reflector 1 and the surface of the counter electrode 2, and the reflector 1 comes into contact with the counter electrode 2. Prevent electrical shorts in case.

【００４３】ここで、電極基板3に設けたギャップ8に、
隣接するギャップを隔てる壁である支持部１２をアンダ
ーカットするように切り欠き10を設ける。この切り欠き
10は、ギャップ8の容積を増加させ、式(1)で示したギャ
ップの初期容積Ｖが増やすことになる。従って、反射板
1が変位したときのギャップ内部の圧力の上昇ΔＰを低
く抑えることができるので、エアダンパ効果を低減で
き、従って、駆動電圧の上昇を抑えることができる。こ
の切り欠き10は、上下（深さ）方向でも、左右方向で
も、手前/奥方向でも、反射板1の変位駆動に支障がない
程度まで大きくすることができる。反射板と電極の組が
光変調素子を形成する。Here, in the gap 8 provided in the electrode substrate 3,
A notch 10 is provided so as to undercut a support portion 12 which is a wall separating an adjacent gap. This notch
10 increases the volume of the gap 8 and increases the initial volume V of the gap represented by the equation (1). Therefore, the reflector
Since the increase ΔP in the pressure inside the gap when 1 is displaced can be suppressed low, the air damper effect can be reduced, and therefore, the increase in drive voltage can be suppressed. The notch 10 can be enlarged in the vertical (depth) direction, the horizontal direction, and the front / rear direction to the extent that the displacement driving of the reflector 1 is not hindered. The combination of the reflector and the electrode forms a light modulation element.

【００４４】図３は本発明の第２実施例になる光変調素
子を示す。FIG. 3 shows an optical modulator according to a second embodiment of the present invention.

【００４５】図３中、図２に示す構成部分と対応する部
分には同一符号を付す。In FIG. 3, portions corresponding to the components shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals.

【００４６】固定支持部9の強度が十分な場合は、隣接
するギャップを隔てる壁、すなわち支持部12に、これを
貫通する貫通穴11を設ける。貫通穴11は隣接するギャッ
プ間を連通する。こうすることで、ギャップの容積がよ
り大きくなるので、反射板1が変位したときのギャップ
内部の圧力の上昇ΔＰを低く抑えることから、エアダン
パ効果を低減でき、従って、駆動電圧の上昇を抑えるこ
とができる。ただし、固定支持部9は完全に電極基板3か
ら離れているのではなく、図３の紙面垂直方向のいずれ
かの部分（図示せず）で接しているものとする。If the strength of the fixed support portion 9 is sufficient, a through hole 11 penetrating the wall separating the adjacent gaps, that is, the support portion 12, is provided. The through holes 11 communicate between adjacent gaps. By doing so, since the volume of the gap becomes larger, the rise ΔP of the pressure inside the gap when the reflecting plate 1 is displaced is suppressed low, so that the air damper effect can be reduced, and therefore, the rise of the driving voltage can be suppressed. Can be. However, it is assumed that the fixed support portion 9 is not completely separated from the electrode substrate 3 but is in contact with any part (not shown) in the direction perpendicular to the paper surface of FIG.

【００４７】特に、光変調素子を2次元配置している場
合は、図2及び図３の紙面手前や後方にも他の変調素子
（＝反射板）が設けられているので、分離するための隔
壁が存在する。従って、この隔壁を支持部材とすること
で、図2及び図３の左右方向に隣接する反射板間の固定
支持部材の直下に、電極基板と接合する支持部材を設け
ないこともできる。すなわち、基板電極3に形成してい
るギャップ8を、対向電極2ごとの個別の掘り込みではな
く、連通する貫通穴11を増やして、複数の反射板1を一
括して形成するようなギャップ8としたものでもよい。
これが、請求項3記載の発明である。In particular, when the light modulating elements are two-dimensionally arranged, another modulating element (= reflector) is provided in front of and behind the plane of FIG. 2 and FIG. There are partitions. Therefore, by using this partition as a support member, it is not necessary to provide a support member to be joined to the electrode substrate immediately below the fixed support member between the adjacent reflectors in the left-right direction in FIGS. That is, the gap 8 formed in the substrate electrode 3 is not formed individually for each counter electrode 2, but is formed by increasing the number of through holes 11 communicating with each other and forming a plurality of reflectors 1 collectively. May be used.
This is the invention of claim 3.

【００４８】図３で示した第2の実施例では連通してい
るギャップの数＝2であるが、一方、いくつかの要因は
あるものの、ギャップに面している（＝露出している）
反射板の総面積が大きすぎると、複数の静電アクチュエ
ータを同時に駆動した場合に反射板や固定支持部が対向
電極側に撓んでしまうことがある。反射板や固定支持部
が撓まなくても、ギャップ内の圧力が大きく上昇して、
非駆動の反射板を対向電極とは逆向きに変位させてしま
うおそれもある。In the second embodiment shown in FIG. 3, the number of communicating gaps = 2. On the other hand, although there are some factors, the gaps are facing (= exposed).
If the total area of the reflector is too large, the reflector and the fixed support may bend toward the counter electrode when a plurality of electrostatic actuators are simultaneously driven. Even if the reflector and the fixed support are not bent, the pressure in the gap increases greatly,
There is also a possibility that the non-driven reflector is displaced in the opposite direction to the counter electrode.

【００４９】従って、光変調装置として必要な反射板全
てが、1つのギャップの直上に設けられるのではなく、
ギャップの容積、反射板の剛性、固定支持部の剛性など
に応じて、適宜、所定の数の反射板を1つのギャップに
対応させることが望ましい。すなわち、隣接する反射板
を隔てる固定支持部の直下に、反射板と電極基板を接合
する支持部材を設ける場合、すべての固定支持部の直下
に設けるのではなく、所定の数の隣接する反射板ごとに
支持部材を設ける。これが請求項4記載の発明である。Therefore, not all the reflectors required as the light modulator are provided directly above one gap,
It is desirable that a predetermined number of reflectors correspond to one gap as appropriate according to the volume of the gap, the rigidity of the reflector, the rigidity of the fixed support, and the like. That is, when a support member for joining a reflector and an electrode substrate is provided immediately below a fixed support that separates adjacent reflectors, a predetermined number of adjacent reflectors are provided instead of directly below all the fixed supports. A support member is provided for each. This is the invention of claim 4.

【００５０】ギャップに含まれる反射板の数についてさ
らに詳細に検討した結果、次の事が分かった。As a result of further detailed examination of the number of reflectors included in the gap, the following was found.

【００５１】反射板のピッチが150dpi相当の光変調素子
の場合、反射板の短辺幅＝130μm、反射板の長辺長＝25
0μm、固定支持部の厚さ＝39μm、ギャップ長＝0.25μ
m、1つのギャップの直上にある反射板の数をN、同時に
駆動するアクチュエータの数をnとしたとき、反射板の
板厚をh、駆動しない反射板の最大変位をδh、固定支持
部の最大変位をδHとすると、図４に示す表のようにな
った。In the case of a light modulation element having a reflector pitch of 150 dpi, the short side width of the reflector is 130 μm and the long side length of the reflector is 25.
0 μm, fixed support thickness = 39 μm, gap length = 0.25 μ
m, the number of reflectors immediately above one gap is N, and the number of actuators driven simultaneously is n, where h is the thickness of the reflector, δh is the maximum displacement of the reflector not driven, Assuming that the maximum displacement is δH, the table shown in FIG. 4 is obtained.

【００５２】図４の表から、反射板の板厚が2.5μmの場
合には、10個の反射板のうち9個が駆動し、その結果生
じたギャップ内の圧力によって、駆動しない反射板が最
大0.12μm変位することを表わす。これはギャップ長の
約半分に相当し、駆動させない反射板への不要な圧力印
加となり、変調に影響を与えてしまう。From the table shown in FIG. 4, when the thickness of the reflector is 2.5 μm, nine of the ten reflectors are driven, and the resulting pressure in the gap causes the reflector not to be driven to operate. It represents a displacement of 0.12 μm at the maximum. This corresponds to about half of the gap length, and unnecessary pressure is applied to the reflector that is not driven, which affects modulation.

【００５３】通常の光変調素子の想定範囲においては、
従って、1つのギャップの直上に含まれる反射板の数
は、10個以下であることが望ましい。1つのギャップの
直上に含まれる反射板の数が1つの場合は、隣接する反
射板間の固定支持部の直下に電極基板と接合している支
持部材があることになり、エアダンパ効果の低減には役
立たない。従って、1つのギャップの直上に含まれる反
射板の数は、2個以上10個以下にすることで、特性の良
い光変調素子を実現することができる。これが、請求項
5記載の発明である。In an assumed range of a normal light modulation element,
Therefore, it is desirable that the number of reflectors included immediately above one gap is 10 or less. If the number of reflectors included immediately above one gap is one, there is a support member that is joined to the electrode substrate immediately below the fixed support between adjacent reflectors, which reduces the air damper effect. Is useless. Therefore, by setting the number of reflectors included immediately above one gap to be 2 or more and 10 or less, it is possible to realize a light modulation element having good characteristics. This is the claim
An invention according to claim 5.

【００５４】さらに、電極基板とは接合していない支持
部の直下に、電極基板に掘り込みを設けることで、さら
にギャップ空間の容積を拡大でき、さらなる駆動電圧の
低電圧化を達成することができる。Further, by digging the electrode substrate directly below the supporting portion not joined to the electrode substrate, the volume of the gap space can be further increased, and the driving voltage can be further reduced. it can.

【００５５】上述した光を反射する反射板の構成として
は、周囲固定のダイアフラムや両端固定梁でもよい。し
かし、周囲固定のダイアフラムは剛性が大きくなり、駆
動電圧を下げることは困難である。また、両端固定梁
は、周囲固定の長方形板よりも剛性は小さくなるが、高
々半分程度である。As the structure of the above-mentioned reflecting plate for reflecting light, a diaphragm fixed at the periphery or a beam fixed at both ends may be used. However, the rigidity of the peripherally fixed diaphragm is increased, and it is difficult to reduce the driving voltage. The rigidity of the beam fixed at both ends is smaller than that of the rectangular plate fixed at the periphery, but is at most about half.

【００５６】図５は、さらに駆動電圧の低下を目的とし
て反射板の剛性を下げる構造である請求項６に対応する
第3の実施例を示す。FIG. 5 shows a third embodiment corresponding to claim 6, which has a structure in which the rigidity of the reflector is further reduced for the purpose of further reducing the drive voltage.

【００５７】図５（Ａ）に示すように、電極基板23にギ
ャップ28を形成し、ギャップ28には電極22を形成する。
導電性部材を有する反射板21は梁構造とし、1端は固定
支持部29に固定した固定端とし、他端は単純支持部30に
接触している支持端である。すなわち反射板21は、1つ
の固定端以外は自由端となっている単純片持ち梁ではな
く、自由端の1つは単純支持部30で支持されている。従
って、電圧を印加した場合には図５（Ｂ）のように、反
射板21の変形に伴って、単純支持部30側の端は電極基板
23よりも上に変位する。電圧のONとOFFによって反射板2
1の状態が変わり、それによって入射光24または26の反
射方向が反射光25や27のように変化することは、今まで
述べてきたことと同様であり、光変調素子として機能す
る。As shown in FIG. 5A, a gap 28 is formed in the electrode substrate 23, and the electrode 22 is formed in the gap 28.
The reflecting plate 21 having a conductive member has a beam structure, one end is a fixed end fixed to the fixed supporting portion 29, and the other end is a supporting end in contact with the simple supporting portion 30. That is, the reflection plate 21 is not a simple cantilever having a free end except for one fixed end, and one of the free ends is supported by the simple support 30. Accordingly, when a voltage is applied, as shown in FIG.
Displaces above 23. Reflector 2 by voltage ON and OFF
The state of 1 changes and the reflection direction of the incident light 24 or 26 changes like the reflected light 25 or 27, as in the case described above, and functions as a light modulation element.

【００５８】反射板を単純片持ち梁で構成した場合は、
図１に示す両端が固定支持の構成に比べるとより低い電
圧での駆動が可能であるが、電圧をONにした後にOFFに
すると、反射板が原位置に復帰しようとするために振動
する。図５の単純支持部30がないと、この振動は周期が
長く、また、減衰も少ないので持続時間も長くなってし
まい、安定性に乏しい光変調素子となってしまう。ある
いは、安定した位置までの復帰・静止に時間がかかるこ
とから、高速な応答性を持たせることができない。When the reflecting plate is constituted by a simple cantilever,
Although driving at a lower voltage is possible as compared with the configuration in which both ends shown in FIG. 1 are fixedly supported, if the voltage is turned on after the voltage is turned on, the reflector vibrates to return to the original position. Without the simple support portion 30 shown in FIG. 5, this vibration has a long period and a small attenuation, so that its duration is also long, resulting in an optical modulator having poor stability. Alternatively, since it takes time to return to a stable position and stop, a high-speed response cannot be provided.

【００５９】本実施例による反射板は、両端固定梁や周
囲固定のダイアフラムに比較して、低電圧での駆動が可
能であり、単純片持ち梁に比較して、高速応答と高安定
性が確保できる特徴を有する。The reflector according to this embodiment can be driven at a lower voltage as compared with a beam fixed at both ends and a diaphragm fixed at the periphery, and has higher speed response and higher stability than a simple cantilever. Features that can be secured.

【００６０】図５（Ｂ）では上述してきたように、反射
板21は、電極基板23に形成したギャップ28側に変位する
とき、ギャップ28内の気体を圧縮するため、エアダンパ
効果が起きる。この効果を低減するには、これまで説明
してきたような方法で、ギャップ28の容積を増加させる
ことで対処できる。As described above with reference to FIG. 5B, when the reflecting plate 21 is displaced toward the gap 28 formed on the electrode substrate 23, the gas in the gap 28 is compressed, so that an air damper effect occurs. This effect can be reduced by increasing the volume of the gap 28 in the manner described above.

【００６１】本実施例のような単純支持部を有する場合
には、さらに図６に示すような方法で、エアダンパ効果
を低減できる。In the case where a simple support portion is provided as in this embodiment, the air damper effect can be further reduced by the method shown in FIG.

【００６２】図６は第4の実施例になる光変調素子の斜
視図であり、反射板21の単純支持部30側の電極基板23
に、切り欠き部31を備えている。これは電極基板23に掘
り込みを設けたもので、ギャップ28と連通している。す
ると、図4のように反射板21が電極22側に撓み変形し、
ギャップ28の容積を小さくしたとすると、ギャップ28内
の気体は切り欠き部31を通じてギャップ28外に排出され
るので、ギャップ28内の圧力上昇を抑えることができ、
従って、エアダンパ効果を低減することができる。この
ことによって、駆動電圧を更に低くすることができる。FIG. 6 is a perspective view of a light modulation element according to a fourth embodiment.
In addition, a notch 31 is provided. This is one in which the electrode substrate 23 is dug, and communicates with the gap 28. Then, as shown in FIG. 4, the reflection plate 21 bends and deforms toward the electrode 22 side,
If the volume of the gap 28 is reduced, the gas in the gap 28 is discharged out of the gap 28 through the notch 31, so that the pressure increase in the gap 28 can be suppressed,
Therefore, the air damper effect can be reduced. As a result, the drive voltage can be further reduced.

【００６３】図７は第５の実施例になる光変調素子の斜
視図である。上記の第4の実施例では切り欠き31は4つで
あるが、数は任意で良く、単純支持部30が形成できれば
図７に示すように幅の広い切り欠き31が1つで良い。FIG. 7 is a perspective view of a light modulation device according to a fifth embodiment. In the fourth embodiment, the number of the notches 31 is four. However, the number of the notches 31 may be arbitrary, and if the simple support portion 30 can be formed, one wide notch 31 may be used as shown in FIG.

【００６４】なお、図1、図２、図３、図５、図６、図７の
固定支持部または単純支持部以外の反射板の辺が解放さ
れている場合、すなわちギャップが完全に封止されてい
ない状態であってもエアダンパ効果は存在し、本発明に
よるエアダンパ効果の低減は有効である。When the sides of the reflector other than the fixed support portion or the simple support portion in FIGS. 1, 2, 3, 5, 6, and 7 are open, that is, the gap is completely sealed. The air damper effect exists even in the state where it is not performed, and the reduction of the air damper effect according to the invention is effective.

【００６５】[0065]

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明
は、静電アクチュエータが構成する空間（＝ギャップ）
内で、反射板を隔てる支持部に切り欠きを設けたので、
ギャップ容積を大きくでき、エアダンパ効果を低減する
ことができるので、低電圧駆動が可能であり、応答性の
良いアクチュエータを備えた光変調素子を実現すること
ができる。As described above, according to the first aspect of the present invention, the space (= gap) defined by the electrostatic actuator is provided.
Inside, a notch was provided in the support part separating the reflector,
Since the gap volume can be increased and the air damper effect can be reduced, low-voltage driving is possible, and a light modulation element including an actuator with good responsiveness can be realized.

【００６６】請求項２の発明は、静電アクチュエータが
構成する空間（＝ギャップ）内で、反射板を隔てる支持
部に、隣接するギャップに連通する貫通穴を設けたの
で、ギャップ容積をさらに大きくでき、エアダンパ効果
を低減することができるので、低電圧駆動が可能であ
り、応答性の良いアクチュエータを備えた光変調素子を
実現することができる。According to the second aspect of the present invention, in the space (= gap) defined by the electrostatic actuator, a through-hole communicating with the adjacent gap is provided in the supporting portion separating the reflection plate, so that the gap volume is further increased. As a result, the air damper effect can be reduced, so that a low-voltage drive is possible, and a light modulation element including an actuator with good responsiveness can be realized.

【００６７】請求項３の発明は、静電アクチュエータが
構成する空間（＝ギャップ）内で、反射板を隔てる固定
支持部の直下に、電極基板と接合する支持部材を設けな
いので、ギャップ容積をより大きくでき、エアダンパ効
果を低減することができるので、低電圧駆動が可能であ
り、応答性の良いアクチュエータを備えた光変調素子を
実現することができる。According to the third aspect of the present invention, in the space (= gap) formed by the electrostatic actuator, a support member for joining to the electrode substrate is not provided immediately below the fixed support section separating the reflector, so that the gap volume is reduced. Since the size can be increased and the air damper effect can be reduced, low-voltage driving is possible, and an optical modulation element including an actuator with good responsiveness can be realized.

【００６８】請求項４の発明は、ギャップの直上には、
所定の数の反射板を含むため、反射板の固定支持部の強
度が適度に保てるので、信頼性の高いアクチュエータを
備えた光変調素子を実現できる。According to a fourth aspect of the present invention, immediately above the gap,
Since a predetermined number of reflectors are included, the strength of the fixed support portion of the reflector can be maintained at an appropriate level, so that a light modulation element including a highly reliable actuator can be realized.

【００６９】請求項５の発明は、請求項4で示した所定
の数を2個以上10個以下としたため、より信頼性の高い
光変調素子を実現できる。According to the fifth aspect of the present invention, the predetermined number described in the fourth aspect is set to two or more and ten or less, so that a more reliable light modulation element can be realized.

【００７０】請求項６の発明は、反射板を梁構造とし、
固定端の対向は支持端としたので、梁の剛性が小さくな
り、アクチュエータの低電圧駆動が可能な光変調素子を
実現できる。According to a sixth aspect of the present invention, the reflector has a beam structure,
Since the fixed end is opposed to the support end, the rigidity of the beam is reduced, and an optical modulator capable of driving the actuator at a low voltage can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】静電アクチュエータを用いた光反射板の駆動例
を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating an example of driving a light reflection plate using an electrostatic actuator.

【図２】本発明の第１実施例になる光変調素子を示す図
である。FIG. 2 is a diagram showing a light modulation device according to a first embodiment of the present invention.

【図３】本発明の第２実施例になる光変調素子を示す図
である。FIG. 3 is a diagram showing a light modulation device according to a second embodiment of the present invention.

【図４】1つのギャップの直上にある反射板の数及び同
時に駆動するアクチュエータの数と、駆動しない反射板
の最大変位及び固定支持部の最大変位との関係を示す表
である。FIG. 4 is a table showing the relationship between the number of reflectors immediately above one gap and the number of actuators that are simultaneously driven, and the maximum displacement of a non-driven reflector and the maximum displacement of a fixed support.

【図５】本発明の第３実施例になる光変調素子を示す図
である。FIG. 5 is a diagram showing a light modulation device according to a third embodiment of the present invention.

【図６】本発明の第4の実施例になる光変調素子の斜視
図である。FIG. 6 is a perspective view of a light modulation device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図７】本発明の第５の実施例になる光変調素子の斜視
図である。FIG. 7 is a perspective view of a light modulation device according to a fifth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１、２１ 反射板 ２、２２ 対向電極 ３、２３ 電極基板 ４、２４、２６ 入射光 ５、２５、２７ 出射光 ９、２９ 固定支持部 １０ 切り欠き １１ 貫通穴 １２ 支持部 ３０ 単純支持部 ３１ 切り欠き部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 21 Reflection plate 2, 22 Counter electrode 3, 23 Electrode substrate 4, 24, 26 Incident light 5, 25, 27 Outgoing light 9, 29 Fixed support part 10 Notch 11 Through hole 12 Support part 30 Simple support part 31 Cut Notch

Claims (6)

【特許請求の範囲】[The claims] 【請求項１】 光を反射する反射板として作用する第1
の電極を形成した反射板と、前記反射板に対向して設け
られた第2の電極を形成した電極基板とからなり、前記
反射板と第2の電極の間に電圧を印加して、前記反射板
を変位させることで光の反射方向を変化させ、入射光の
変調を行う光変調素子において、 前記反射板と前記第2の電極を含んで前記反射板が変位
駆動する空間を構成するギャップ内で、隣接する前記ギ
ャップを隔てる壁に切り欠きを設けた構成としたことを
特徴とする光変調素子。1. A first element which acts as a reflector for reflecting light.
A reflector having an electrode formed thereon, and an electrode substrate having a second electrode provided opposed to the reflector, comprising applying a voltage between the reflector and the second electrode, In a light modulation element that modulates incident light by changing the direction of light reflection by displacing a reflector, a gap that includes the reflector and the second electrode and forms a space in which the reflector is driven to be displaced is included. Wherein a notch is provided in a wall separating the adjacent gap. 【請求項２】 光を反射する反射板として作用する第1
の電極を形成した反射板と、前記反射板に対向して設け
られた第2の電極を形成した電極基板とからなり、前記
反射板と第2の電極の間に電圧を印加して、前記反射板
を変位させることで光の反射方向を変化させ、入射光の
変調を行う光変調素子において、 前記反射板と前記第2の電極を含んで前記反射板が変形
駆動する空間を構成するギャップ内で、隣接する前記ギ
ャップを隔てる壁に、隣接する前記ギャップと連通する
貫通穴を設けた構成としたことを特徴とする光変調素
子。2. A first element which acts as a reflector for reflecting light.
A reflector having an electrode formed thereon, and an electrode substrate having a second electrode provided opposed to the reflector, comprising applying a voltage between the reflector and the second electrode, In a light modulation element that modulates incident light by changing a light reflection direction by displacing a reflector, a gap that includes the reflector and the second electrode and that forms a space in which the reflector is driven to deform is included. The light modulation element, wherein a through hole communicating with the adjacent gap is provided in a wall separating the adjacent gap. 【請求項３】 光を反射する反射板として作用する第1
の電極を形成した反射板と、前記反射板に対向して設け
られた第2の電極を形成した電極基板とからなり、前記
反射板と第2の電極の間に電圧を印加して、前記反射板
を変位させることで光の反射方向を変化させ、入射光の
変調を行う光変調素子において、 前記反射板と前記第2の電極を含んで前記反射板が変形
駆動する空間を構成するギャップ内で、前記反射板を固
定する箇所の直下に、前記反射板と前記電極基板とを接
合する支持部材を有しない構成としたことを特徴とする
光変調素子。3. A first element which acts as a reflector for reflecting light.
A reflector having an electrode formed thereon, and an electrode substrate having a second electrode provided opposed to the reflector, comprising applying a voltage between the reflector and the second electrode, In a light modulation element that modulates incident light by changing a light reflection direction by displacing a reflector, a gap that includes the reflector and the second electrode and that forms a space in which the reflector is driven to deform is included. A light modulation element, wherein a support member for joining the reflection plate and the electrode substrate is not provided immediately below a portion where the reflection plate is fixed. 【請求項４】 光を反射する反射板として作用する第1
の電極を形成した反射板と、前記反射板に対向して設け
られた第2の電極を形成した電極基板とからなり、前記
反射板と第2の電極の間に電圧を印加して、前記反射板
を変位させることで光の反射方向を変化させ、入射光の
変調を行う光変調素子において、 前記反射板と前記第2の電極を含んで前記反射板が変形
駆動する空間を構成するギャップ内で、前記反射板を固
定する箇所の直下にあって、前記反射板と前記電極基板
とを接合する支持部材を、所定の数の隣接する前記反射
板ごとに設けた構成としたことを特徴とする光変調素
子。4. A first element which acts as a reflector for reflecting light.
A reflector having an electrode formed thereon, and an electrode substrate having a second electrode provided opposed to the reflector, comprising applying a voltage between the reflector and the second electrode, In a light modulation element that modulates incident light by changing a light reflection direction by displacing a reflector, a gap that includes the reflector and the second electrode and that forms a space in which the reflector is driven to deform is included. Within, a configuration is provided in which a support member that is located immediately below a place where the reflector is fixed and that joins the reflector and the electrode substrate is provided for each of a predetermined number of adjacent reflectors. An optical modulation element. 【請求項５】 請求項4記載の光変調素子において、前
記支持部材を含んで構成されている振動室の直上に含ま
れる前記反射板の数は、2個以上10個以下である構成と
したことを特徴とする光変調素子。5. The light modulation device according to claim 4, wherein the number of the reflection plates included immediately above the vibration chamber including the support member is two or more and ten or less. A light modulation element, characterized by being characterized in that 【請求項６】 光を反射する反射板として作用する第1
の電極を形成した反射板と、前記反射板に対向して設け
られた第2の電極を形成した電極基板とからなり、前記
反射板と第2の電極の間に電圧を印加して、前記反射板
を変位させることで光の反射方向を変化させ、入射光の
変調を行う光変調素子において、 前記反射板は梁構造であり、固定端の対向は支持端であ
る構成としたことを特徴とする光変調素子。6. A first element which acts as a reflector for reflecting light.
A reflector having an electrode formed thereon, and an electrode substrate having a second electrode provided opposed to the reflector, comprising applying a voltage between the reflector and the second electrode, In a light modulation element that modulates incident light by changing a light reflection direction by displacing a reflection plate, the reflection plate has a beam structure, and a fixed end is opposed to a support end. An optical modulation element.