JP2002243988A

JP2002243988A - ライトガイド

Info

Publication number: JP2002243988A
Application number: JP2001035828A
Authority: JP
Inventors: Koichiro Kijima; 公一朗木島
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2001-02-13
Filing date: 2001-02-13
Publication date: 2002-08-28

Abstract

(57)【要約】【課題】光ファイバーと光源との結合効率を高めること
が可能なライトガイドを提供する。【解決手段】複数の光ファイバーよりなり光を伝送する
ライトガイドであって、端面が光入射部である複数本の
配列された光ファイバー（４ａ〜４ｄ）と、複数の光学
レンズ部（１１ａ〜１１ｄ）が光学材料よりなるレンズ
基板１０に光入射部に対応するように配列して形成され
た無機材料などからなる光学レンズアレイ１とを有し、
光学レンズアレイ１により、光源２から出射された光Ｌ
を光ファイバー（４ａ〜４ｄ）の光入射部に結合する構
成とする。光学レンズアレイ１は、レンズ基板上に所定
のパターンの複数個のマスク層を形成し、各マスク層と
レンズ基板をエッチングにより同時に除去して各マスク
層の形状をレンズ基板に転写し、複数個の光学レンズ部
の形状として形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ライトガイドに関
し、特に複数の光ファイバーよりなり光を伝送するライ
トガイドに関する。

【０００２】

【従来の技術】光ファイバーは、レーザ光などを用いた
データ通信分野とは別に、光を伝送するライトガイドと
しての用途も存在する。ライトガイドとしては、例え
ば、顕微鏡などに使用されている照明、あるいは、紫外
線の照射により硬化する接着剤を硬化させるための紫外
線の伝送などの工業的利用に加えて、最近では太陽光を
屋内に伝送するなど、省エネルギを目的とした利用ある
いは農業分野における利用なども増えてきている。

【０００３】また、医療分野においても、赤外光を用い
たレーザメスの手術への利用、あるいは歯科業界におい
てもレーザ照射による虫歯治療などが行われるようにな
ってきている。これら医療用途への適用においては、光
源を作業者（医師）の近くに設置せず、光ファイバーを
介して作業者（医師）の手元までレーザ光を伝送する方
式が採用されており、光ファイバーはさまざまな波長の
光に対してライトガイドとしての利用がなされている。

【０００４】図１１は、光源と光ファイバーとを光学的
に結合させたライトガイドの概略構成を示す模式図であ
る。コア部４０の外周部にクラッド部４１を有する構成
である束ねられた複数本の光ファイバー（４ａ，４ｂ，
４ｃ，４ｄ）（バンドルドファイバーともいう）が、そ
の端面である光入射部を光源２に向けて配置されてお
り、光源２から発光される光Ｌが光ファイバー（４ａ，
４ｂ，４ｃ，４ｄ）の入射部に入射するようになされて
いる。

【０００５】図１１は、ＵＶランプやハロゲンランプな
どのランプを光源として用いた場合のライトガイドの例
であり、光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）から
みて光源２の反対側にミラー３が配置されているので、
光源２から光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）の
反対側に出射された光を光ファイバー（４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ）の入射部に取り込むことができる。

【０００６】図１２に光源から出射された光の光ファイ
バーに結合する効率の説明図を示す。図１２（ａ）に示
すように、光ファイバー４はコア部４０とクラッド部４
１の２つの部分から主に構成されている。ここで、コア
部４０はクラッド部４１に比較して屈折率が高くなって
いることにより、光ファイバーの内部を光が伝送（導
波）するような構成となっている。そして、導波する光
（導波モード）の電界強度分布としては、図１２（ｂ）
に示すように、コア部４０のみでなく、ある程度クラッ
ド部４１にもその電界強度分布が存在するような構成と
なっている。

【０００７】光源から出射された光が光ファイバーを導
波するようになる効率は、図１２（ｃ）に示す光ファイ
バー端面における光源から出射した光の電界強度分布
と、前述の導波モードの電界強度分布との重畳積分によ
り定義される。つまり、１つの光ファイバーを対象とし
て、その光ファイバーの端面に最適化された光学レンズ
により光を集光してその集光された光の光ファイバーの
端面における電界強度分布を、光ファイバーの導波モー
ドの電界強度分布に合わせこむという作業を行えば、端
面に照射された光をほとんどロスすることなく、光ファ
イバーに導波させることができることとなる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１１
に示す従来のライトガイドにおいて、以下に説明するよ
うに、光ファイバーと光源との結合効率を高めることが
困難となっている。即ち、光源からの光が照射される位
置にバンドルドファイバーを配置した場合において、入
射光（光源から出射され光ファイバーの端面に集光され
ることなく照射された光）の電界強度分布は、図１２
（ｃ）に示すようにほぼフラットな電界強度分布となっ
ているので、光ファイバーにおける導波モードの電界強
度分布との重畳積分の結果を高めることは困難であり、
損失（光ファイバーの端面には照射されるが、光ファイ
バーを導波する光とならない光）が発生してしまうので
ある。

【０００９】ライトガイドに用いられる光ファイバーの
構成は、コア部が大きく形成されているが、クラッド部
をなくしてしまうと伝送の際の損失が増えてしまうの
で、導波モードの電界強度分布をクラッド部も含めてフ
ラットにすることは不可能であるので、光ファイバーと
光源との結合効率を例えば８０％以上に高めることは非
常に困難となっている。

【００１０】また、近年ＣＣＤカメラの結合効率を高め
る手段として、樹脂材料により凸レンズを形成して集光
効率を高める方法が存在するが、ライトガイドにおける
光ファイバーの入射側端面の環境は、高光パワーおよび
高温になる場合がおおく、樹脂材料よりなる凸レンズを
配置することは不可能である。

【００１１】本発明は上述の状況に鑑みてなされたもの
であり、従って本発明は、光ファイバーと光源との結合
効率を高めることが可能なライトガイドを提供すること
を目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のライトガイドは、複数の光ファイバーより
なり光を伝送するライトガイドであって、端面が光入射
部である複数本の配列された光ファイバーと、複数の光
学レンズ部が光学材料よりなるレンズ基板に上記光入射
部に対応するように配列して形成された光学レンズアレ
イとを有し、上記光学レンズアレイにより、光源から出
射された光を上記光ファイバーの光入射部に結合する。

【００１３】上記の本発明のライトガイドは、好適に
は、上記光学レンズアレイは、無機材料よりなる。

【００１４】上記の本発明のライトガイドは、好適に
は、上記光ファイバーの配列は、その外径が互いに接す
るような配列である。また、好適には、上記光ファイバ
ーの配列は、最密配列である。また、好適には、上記光
学レンズアレイの上記各光学レンズ部は、上記レンズ基
板に対して凸形状に形成された凸レンズであり、さらに
好適には、上記光学レンズアレイは、上記凸形状の上記
各光学レンズ部と上記レンズ基板との境界が円形でない
形状である。またさらに好適には、上記光学レンズアレ
イは、上記凸形状の上記各光学レンズ部と上記レンズ基
板との境界が多角形である。

【００１５】上記の本発明のライトガイドは、好適に
は、上記光学レンズアレイは１枚のレンズ基板を有し、
上記各光学レンズ部は上記レンズ基板の両面に形成され
ている。さらに好適には、隣り合う上記光ファイバーへ
の光の結合を行う上記光学レンズ部は、上記レンズ基板
において異なる面に形成されている。

【００１６】上記の本発明のライトガイドは、好適に
は、上記光学レンズアレイは複数内のレンズ基板を有
し、上記各光学レンズ部は上記複数枚のレンズ基板の複
数の面に形成されている。さらに好適には、隣り合う上
記光ファイバーへの光の結合を行う上記光学レンズ部
は、上記レンズ基板において異なる面に形成されてい
る。

【００１７】上記の本発明のライトガイドは、好適に
は、上記光学レンズアレイは、上記レンズ基板の平坦な
面上に上記各光学レンズ部が配列して形成されている。
さらに好適には、上記光学レンズアレイは、上記凸形状
の上記各光学レンズ部と上記レンズ基板の上記平坦な面
との境界部に溝が形成されている。

【００１８】上記の本発明のライトガイドは、好適に
は、上記光学レンズアレイは、光学材料よりなるレンズ
基板上に、所定の光学レンズ部のパターンを有する複数
個の光学レンズ部の形状に対応する複数個のマスク層を
形成し、上記各マスク層と上記レンズ基板をエッチング
により同時に除去することで、上記各マスク層の形状を
上記レンズ基板に転写し、複数個の光学レンズ部の形状
とした光学レンズアレイである。

【００１９】上記の本発明のライトガイドは、さらに好
適には、上記光学レンズアレイは、上記複数個のマスク
層を形成した後、上記各マスク層の形状を表面積が小さ
くなるように変形させて形成した光学レンズアレイであ
る。また、さらに好適には、上記光学レンズアレイは、
熱処理を行うことにより上記各マスク層の形状を表面積
が小さくなるように変形させて形成した光学レンズアレ
イである。また、さらに好適には、上記光学レンズアレ
イは、上記マスク層材料として感熱性材料を露光および
現像することで上記所定の光学レンズ部のパターンを有
する複数個の光学レンズ部の形状に対応するように形成
して得た光学レンズアレイである。また、さらに好適に
は、上記光学レンズアレイは、上記マスク層の材料のガ
ラス転移温度よりも高い温度の熱処理により上記各マス
ク層の形状を表面積が小さくなるように変形させて得た
光学レンズアレイである。また、さらに好適には、上記
光学レンズアレイは、上記マスク層の材料の炭化温度よ
りも低い温度の熱処理により上記各マスク層の形状を表
面積が小さくなるように変形させて得た光学レンズアレ
イである。また、さらに好適には、上記光学レンズアレ
イは、上記マスク層の材料の室温よりも高い温度の熱処
理により上記各マスク層の形状を表面積が小さくなるよ
うに変形させて得た光学レンズアレイである。また、さ
らに好適には、上記光学レンズアレイは、上記各マスク
層と上記レンズ基板をドライエッチングにより同時に除
去して得た光学レンズアレイである。

【００２０】上記の本発明のライトガイドは、端面が光
入射部である複数本の配列された光ファイバーに対し
て、光源から出射された光が光ファイバーの光入射部に
結合するように、複数の光学レンズ部が光学材料よりな
るレンズ基板に光入射部に対応するように配列して形成
された無機材料などよりなる光学レンズアレイが配置さ
れている。従って、複数本の各光ファイバーについて、
入射光の電界強度分布を導波モードの電界強度分布に近
づけることができ、光ファイバーと光源との結合効率を
高めることが可能である。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るライトガイド
の実施の形態について、図面を参照して説明する。

【００２２】第１実施形態図１は、本実施形態に係るライトガイドの概略構成を示
す模式図である。ＵＶランプやハロゲンランプなどの光
源２、複数個（図面上４個）の光学レンズを構成する凸
部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）が光学材料より
なるレンズ基板１０の一方の面１０ａに配列して形成さ
れた光学レンズアレイ１、コア部４０の外周部にクラッ
ド部４１を有する構成である束ねられた複数本（図面上
４本）の光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）（バ
ンドルドファイバーともいう）および、ミラー３が、そ
れぞれ所定の位置に配置されている。

【００２３】光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）
の端面である光入射部は光源２に向けて配置されてお
り、光学レンズとして機能する光学レンズアレイ１の各
凸部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）により、光源
２から出射された各光Ｌが各凸部に対応する光ファイバ
ー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）の端面である光入射部に
結合される。

【００２４】さらに、ミラー３が光ファイバー（４ａ，
４ｂ，４ｃ，４ｄ）からみて光源２の反対側に配置され
ているので、光源２から光ファイバー（４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ）の反対側に出射された光を光ファイバー（４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）の入射部に取り込むことができ
る。

【００２５】上記のライトガイドにおいて、光源２から
出射された光Ｌの光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４
ｄ）の端面における電界強度分布は、光学レンズアレイ
１の各凸部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）により
集光されていることから、図１２（ｃ）に示すようなフ
ラット形状ではなく、光ファイバーの導波モードの電界
強度分布に近づけられている。従って、光源２から出射
された光Ｌを高効率で光ファイバー（４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ）に導波させることができる。

【００２６】図２（ａ）は、上記のライトガイドにおけ
る光学レンズアレイ１の平面図であり、図２（ｂ）は図
２（ａ）中のＡ−Ａ’における断面図であり、図２
（ｃ）は図２（ｂ）中のＢ部の拡大断面図である。溶融
石英や等方性の酸化シリコンなどの光学材料からなり、
平坦な表面を有するレンズ基板１０の一方の面１０ａ
に、複数個の光学レンズとして機能する凸部（１１ａ，
１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）がレンズ基板１０と一体にそ
れぞれ設けられ、光学レンズアレイ１を構成している。

【００２７】上記の光学レンズアレイ１において、各光
学レンズとして機能する凸部（１１ａ，１１ｂ，１１
ｃ，１１ｄ）は、例えば曲率が１５０μｍ程度、高さが
例えば２０〜２５μｍ程度であり、各凸部（１１ａ，１
１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）とレンズ基板１０の境界は略円
形状であって、その直径は例えば２００μｍ程度であ
り、各凸部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）のピッ
チは例えば２３０μｍ程度である。

【００２８】上記の光学レンズアレイ１において、図２
（ｃ）に示すように、レンズ基板１０と光学レンズとな
る各凸部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）の略円形
状の境界に沿って溝Ｔが形成されている。上記の光学レ
ンズアレイ１は、上記の溝Ｔが形成されているので、各
光学レンズとなる凸部の位置確認が非常に容易となって
いる。平坦な表面を有するレンズ基板１０上に各光学レ
ンズとなる凸部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）が
設けられていることも、ライトガイドなどの組み立て時
における位置合わせを容易にしている。

【００２９】上記のライトガイドにおいて用いられる光
学レンズアレイの製造方法について説明する。まず、図
３（ａ）に示すように、溶融石英や等方性の酸化シリコ
ンなどの光学材料からなるレンズ基板１０の平坦な表面
上に、例えばスピン塗布などにより、感光性材料である
フォトレジスト膜からなるマスク層ＭＳを、例えば２０
μｍなどの所定の膜厚で成膜する。

【００３０】次に、図３（ｂ）に示すように、フォトリ
ソグラフィー工程により、露光および現像を行って、１
か所のレンズ形成領域あたり、例えば直径が２００μｍ
程度の円形状の範囲のレジスト膜を２３０μｍ程度のピ
ッチで残すようにパターン化して、図面上４つのマスク
層（ＭＳａ，ＭＳｂ，ＭＳｃ，ＭＳｄ）とする。

【００３１】次に、図４（ｃ）に示すように、例えば１
２０℃で３０分の熱処理を施し、マスク層の形状を表面
積が小さくなるように変形させ、表面が曲面となってい
るマスク層（ＭＳａ’，ＭＳｂ’，ＭＳｃ’，ＭＳ
ｄ’）とする。

【００３２】次に、図４（ｄ）に示すように、例えばレ
ンズ基板１０とマスク層（ＭＳａ’，ＭＳｂ’，ＭＳ
ｃ’，ＭＳｄ’）に対する選択比が略同等となる条件
の、例えば、ＮＬＤ(Magnetic Neutral Loop Discharge
Plasma)装置（参考文献：H.Tsuboi, M.Itoh, M.Tanab
e, T.Hayashi and T.Uchida: Jpn. J. Appl. Phys.34(1
995),2476）という高密度プラズマ源を用いたプラズマ
エッチング処理を用いたリアクティブエッチング（ＲＩ
Ｅ）などのドライエッチング処理などにより、マスク層
（ＭＳａ’，ＭＳｂ’，ＭＳｃ’，ＭＳｄ’）とレンズ
基板１０を同時にエッチング除去して、マスク層（ＭＳ
ａ’，ＭＳｂ’，ＭＳｃ’，ＭＳｄ’）の形状をレンズ
基板１０に転写し、４個の光学レンズとなる凸部（１１
ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）とする。

【００３３】上記のようにして形成された４個の光学レ
ンズとなる凸部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）
は、曲率が１５０μｍ程度、高さが例えば２０〜２５μ
ｍ程度であり、各凸部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１
ｄ）とレンズ基板１０の境界は略円形状であって、その
直径は例えば２００μｍ程度とすることができる。ま
た、各凸部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）のピッ
チを例えば２３０μｍ程度とすることができる。

【００３４】また、上記の光学レンズアレイの製造方法
によれば、金型が不要であり、光学レンズを一度に大量
に作製することができる。上述した図４（ｄ）の加工工
程においては、高密度プラズマ源を用いたプラズマエッ
チング装置としてＮＬＤ装置を用いた例を示したが、本
発明においては、ＮＬＤ装置のほかＩＣＰ(Inductively
Coupled Plasma)装置（参考文献：J.Hopwood, Plasma
Source Sci. & Technol.1(1992)109. およびT.Fukasaw
a, A.Nakamura, H.Shindo and Y.Horiike: Jpn. J. App
l. Phys.33(1994)2139 ）を用いた高密度プラズマ源を
用いたプラズマエッチング装置などを用いることも可能
である。

【００３５】上記の熱処理温度とマスク層材料（レジス
ト膜）のガラス転移点との関係について、以下に説明す
る。上記の工程において、フォトレジスト膜などからな
るマスク層の表面を、熱処理により光学的になめらかな
面となる程度に丸くさせるには、熱処理温度をマスク層
材料のガラス転移点よりも高くすることが好ましい。例
えば、熱処理温度をガラス転移温度よりも４０℃以上高
く設定することで、１時間以内にマスク材料を丸く変形
させることができるので、高効率の製造を行うことがで
きる。

【００３６】さらには、ドライエッチングなどの製法に
よりマスクの形状を光学レンズに形成しようとする場合
には、上述したように熱処理後のマスク層材料が変質し
ていないことが必要であることから、熱処理温度をマス
ク層材料の炭化温度よりも低くするなど、熱処理温度が
マスク層材料が変質しない温度であるという条件が必要
となる。変質が生じると、マスク材料のエッチングレー
トが不均一になってしまうので、マスク材料の形状に対
応する形状を基板に転写させるときに、形状が乱れてし
まうことになる。例えば、２００℃以上の熱処理を行う
とマスク材料が変質してしまう（いわゆる焼けつき）を
起こしてしまうが、例えば１１０〜１５０℃の範囲の熱
処理を行うことにより上記の変質を回避することができ
る。

【００３７】また、マスク層が形成された状態で基板を
保持している間にマスク層が変形してしまうと、プロセ
スの再現性が容易でなくなるので、マスク層材料のガラ
ス転移点は、保存温度（室温）よりも高いことが好まし
い。さらに、ドライエッチング工程中にマスク層が変形
してしまうとプロセスの再現性が容易でなくなるので、
マスク層材料のガラス転移点は、加工プロセス温度（室
温付近）よりも高いことが好ましい。

【００３８】ここで、上記の熱処理において、図３
（ｂ）および図４（ｃ）に示すように、熱処理前後での
レンズ基板１０とマスク層（ＭＳａ〜ＭＳｄ，ＭＳａ’
〜ＭＳｄ’）の境界Ｍの位置は変動しておらず、従っ
て、境界Ｍの位置は感光性材料であるマスク層を露光す
る際に用いるフォトマスクにより規定される。露光用フ
ォトマスクは光学レンズのサイズに対して非常に高精細
に制御されて形成されており、従って光学レンズの位置
をきわめて高精度な位置に形成することができる。

【００３９】また、上記のようにして形成される本実施
形態に用いられる光学レンズアレイの光学レンズとなる
凸部の高さは、マスク層材料（レジスト膜）の膜厚によ
り規定することができ、光学レンズの曲率はマスク層材
料（レジスト膜）の径や膜厚などから規定することがで
きる。従って、従来の配列が可能な光学レンズに比較し
て、集光性能が高く、ＮＡの高いレンズとすることがで
きる。

【００４０】また、光学レンズアレイとしては、個々の
光学レンズとなる凸部の間隔（ピッチ）が設計上重要と
なるが、本実施形態においては、図３（ｂ）に示すマス
ク層（ＭＳａ〜ＭＳｄ）のパターン形成におけるマスク
層の間隔（ピッチ）が、そのまま、図４（ｃ）における
熱処理後の表面が曲面となったマスク層（ＭＳａ’〜Ｍ
Ｓｄ’）の間隔（ピッチ）として、さらに図４（ｄ）に
おけるエッチング処理後に得られる光学レンズとなる凸
部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）の間隔（ピッ
チ）として保存される。即ち、個々の光学レンズの間隔
（ピッチ）を露光用フォトマスクにより規定することが
でき、光学レンズ同士の相互の位置を高精度に制御して
形成することができる。

【００４１】上記のドライエッチング処理において、レ
ンズ基板１０と光学レンズとなる凸部（１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ，１１ｄ）の境界に沿って溝Ｔが形成される
ことになる。以下に、溝Ｔが形成される原理を簡単に説
明する。熱処理工程において基板とマスク層との境界が
移動せず、マスク層材料はその表面積が少なくなるよう
に変形することから、図４（ｃ）に示すように、その断
面が略半円形状となる。即ち、マスク層（ＭＳａ’，Ｍ
Ｓｂ’，ＭＳｃ’，ＭＳｄ’）とレンズ基板１０の接触
位置においては、加工される材質が異なることに加え
て、マスク層（ＭＳａ’，ＭＳｂ’，ＭＳｃ’，ＭＳ
ｄ’）表面の傾斜角度が最大となる。このため、ドライ
エッチング工程において、加工に寄与するプラズマ密度
の不連続が生じ、境界Ｍ近傍におけるレンズ基板１０に
対して上記の溝Ｔが形成されることになる。上記の本実
施形態により作製した光学レンズは、上記の溝Ｔが形成
されているので、光学レンズの位置確認が非常に容易と
なっている。

【００４２】また、上述の方法により作製された光学レ
ンズアレイは、レジスト膜であるマスク層のフォトマス
クを用いた露光現像工程がレンズ基板上における光学レ
ンズの形状や位置を決定する工程となり、光学レンズの
形状や配列を高精度に制御して作製することが可能であ
る。さらには、マスク層の形状に応じて光学材料の加工
を行い、光学材料に凸部を有する形成していることか
ら、従来の配列が可能な光学レンズに比較して、ＮＡの
高い、すなわち、集光性能の高いレンズを作製すること
ができ、また、ボールレンズを配置する方法に比較し
て、部品点数を減らし、かつ、小さいピッチにて配列を
行うことができる。

【００４３】本実施形態に係るライトガイドは、上述し
た方法により作製された光学レンズを用いていることか
ら、レンズ基板上に配列された微小な光学レンズを用い
ているにも関わらず、光学レンズ形成材質において吸収
されることなく、高い集光特性にて光源から出射される
光を光ファイバーと結合させることができる。

【００４４】またボールレンズを基板上に形成された孔
に配列し、光ファイバーを基板上に形成された溝に配列
する場合には、接着剤の塗布などを行うための作業空
間、およびボールレンズなどをクランプするための作業
空間が必要であったが、本実施形態のライトガイドにお
いては、レンズ基板状に配列された光学レンズは、フォ
トマスクを用いた露光現像工程を用いて配列されている
ので、従来必要であった作業空間をもうける必要がな
く、より狭いピッチでの配列が可能となる。さらには、
光学的に高いＮＡの光学レンズであるので、狭いピッチ
にて配列を行っても、近接する光ファイバーの信号のク
ロストークを増加させることはない。

【００４５】図５は、本実施形態のライトガイドにおけ
る光学レンズおよび光ファイバーの配列の構成例を示す
模式図である。図５に示す光学レンズおよび光ファイバ
ーの配列の構成例においては、コア部４０の外周部にク
ラッド部４１を有する構成である光ファイバー４は最密
充填の配列とされ、規則的に配置されている。光学レン
ズとなる凸部１１の形状は、図５に示すように、最密充
填の配列に対応し、光学レンズが形成される基板におい
てより広い面積を凸レンズとなり、光の集光特性が高め
られるように、円形ではなく、６角形のレンズ形状とさ
れている。

【００４６】本発明のライトガイドを構成る光学レンズ
アレイは、上述のようにレジスト膜であるマスク層のフ
ォトマスクを用いた露光現像工程がレンズ基板上におけ
る光学レンズの形状や位置を決定する工程となってお
り、光学レンズの形状を図５に示すように６角形とする
ことは容易に可能である。光学レンズアレイの製造工程
におけるレジスト膜のパターニングを行うことのできる
間隔が保たれれば、複数の光ファイバーに対応する個々
の光学レンズを安定に凸形状とすることができるので、
光学レンズの形状は図５に示すように円形でなくすこと
により凸部分となる面積を広くすることができることと
なる。

【００４７】このように光学レンズとなる凸部となる面
積を広くすることにより、円形の形状の光学レンズを配
置する場合に比較して、光の結合効率を高くすることが
できる。なお、この図５に示した場合においては、光学
レンズとなる凸部１１の形状が６角形である場合を示し
たが、これに限らず、例えば光ファイバーの配列が図８
に示すように２次元配列である場合には４角形の形状が
望ましい。

【００４８】第２実施形態図６は、本実施形態に係るライトガイドの概略構成を示
す模式図である。実質的に第１実施形態に係るライトガ
イドと同様であるが、光学レンズアレイの形状が異なっ
ている。ＵＶランプやハロゲンランプなどの光源２、光
学材料よりなるレンズ基板１０の一方の面１０ａに形成
された凸部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）と他方
の面１０ｂに形成された凸部（１２ａ，１２ｂ，１２
ｃ，１２ｄ）から構成される複数個（図面上４個）の光
学レンズが、配列して形成された光学レンズアレイ１、
コア部４０の外周部にクラッド部４１を有する構成であ
る束ねられた複数本（図面上４本）の光ファイバー（４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）および、ミラー３が、それぞれ
所定の位置に配置されている。

【００４９】光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）
の端面である光入射部は光源２に向けて配置されてお
り、レンズ基板１０の一方の面１０ａに形成された凸部
（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）と他方の面１０ｂ
に形成された凸部（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ）
から構成される光学レンズアレイ１の各光学レンズによ
り、光源２から出射された各光Ｌが各凸部に対応する光
ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）の端面である光
入射部に結合される。

【００５０】さらに、ミラー３が光ファイバー（４ａ，
４ｂ，４ｃ，４ｄ）からみて光源２の反対側に配置され
ているので、光源２から光ファイバー（４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ）の反対側に出射された光を光ファイバー（４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）の入射部に取り込むことができ
る。

【００５１】上記のライトガイドにおいて、光源２から
出射された光Ｌの光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４
ｄ）の端面における電界強度分布は、光学レンズアレイ
１の一方の面１０ａに形成された各凸部（１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ，１１ｄ）および他方の面１０ｂに形成され
た凸部（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ）から構成さ
れる光学レンズアレイ１の各光学レンズにより集光され
ていることから、図１２（ｃ）に示すようなフラット形
状ではなく、光ファイバーの導波モードの電界強度分布
に近づけられている。従って、光源２から出射された光
Ｌを高効率で光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）
に導波させることができる。

【００５２】上記の光学レンズアレイ１は、図２に示す
光学レンズアレイにおいて、レンズ基板１０の一方の面
１０ａに形成された凸部（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１
１ｄ）の他に、これに位置合わせをして他方の面１０ｂ
にさらなる凸部（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ）が
形成されている形状である。第１実施形態に係るライト
ガイドに用いている光学レンズアレイの光学レンズと同
様に高精度に形成されており、かつ、第１実施形態に係
るライトガイドに用いている光学レンズアレイの光学レ
ンズよりもさらに集光特性が高められて、高ＮＡとなっ
ている。

【００５３】上記の光学レンズアレイを用いると、光学
レンズの焦点距離を第１実施形態に係る光学レンズアレ
イより近い距離とすることができる。即ち、光学レンズ
が形成されたレンズ基板と光ファイバーの端面との距離
を短くすることができる。これにより、ライトガイドの
厚さ方向を薄くすることができるという利点を有する。

【００５４】本実施形態に係る光学レンズアレイは、上
述した第１実施形態に係る光学レンズアレイの形成方法
におけるレンズ基板の片面に光学レンズを構成する凸部
を形成する工程をレンズ基板に両面に対して２回繰り返
すことにより形成することができる。

【００５５】本実施形態のライトガイドにおける光学レ
ンズおよび光ファイバーの配列は、第１実施形態と同様
に、光ファイバーの配列を最密充填の配列とし、光学レ
ンズとなる凸部の形状を円形ではなく６角形あるいは４
角形の形状とすることができる。

【００５６】第３実施形態図７は、本実施形態に係るライトガイドの概略構成を示
す模式図である。実質的に第１実施形態に係るライトガ
イドと同様であるが、光学レンズアレイの形状が異なっ
ている。ＵＶランプやハロゲンランプなどの光源２、光
学材料よりなるレンズ基板１０の一方の面１０ａに形成
された凸部（１１ａ，１１ｃ）と他方の面１０ｂに形成
された凸部（１２ｂ，１２ｄ）から構成される複数個
（図面上４個）の光学レンズが、配列して形成された光
学レンズアレイ１、コア部４０の外周部にクラッド部４
１を有する構成である束ねられた複数本（図面上４本）
の光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）および、ミ
ラー３が、それぞれ所定の位置に配置されている。

【００５７】光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）
の端面である光入射部は光源２に向けて配置されてお
り、レンズ基板１０の一方の面１０ａに形成された凸部
（１１ａ，１１ｃ）と他方の面１０ｂに形成された凸部
（１２ｂ，１２ｄ）から構成される光学レンズアレイ１
の各光学レンズにより、光源２から出射された各光Ｌが
各凸部に対応する光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４
ｄ）の端面である光入射部に結合される。

【００５８】さらに、ミラー３が光ファイバー（４ａ，
４ｂ，４ｃ，４ｄ）からみて光源２の反対側に配置され
ているので、光源２から光ファイバー（４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ）の反対側に出射された光を光ファイバー（４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）の入射部に取り込むことができ
る。

【００５９】上記のライトガイドにおいて、光源２から
出射された光Ｌの光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４
ｄ）の端面における電界強度分布は、光学レンズアレイ
１の一方の面１０ａに形成された各凸部（１１ａ，１１
ｃ）および他方の面１０ｂに形成された凸部（１２ｂ，
１２ｄ）から構成される光学レンズアレイ１の各光学レ
ンズにより集光されていることから、図１２（ｃ）に示
すようなフラット形状ではなく、光ファイバーの導波モ
ードの電界強度分布に近づけられている。従って、光源
２から出射された光Ｌを高効率で光ファイバー（４ａ，
４ｂ，４ｃ，４ｄ）に導波させることができる。

【００６０】上記の光学レンズアレイ１は、第２実施形
態に係る光学レンズアレイと同様に、レンズ基板１０の
一方の面１０ａに所定の配列で凸部（１１ａ，１１ｃ）
を形成し、この後他方の面１０ｂに凸部（１１ａ，１１
ｃ）と重ならない所定の配列で凸部（１２ｂ，１２ｄ）
を形成して得ることができる。

【００６１】図８は、本実施形態のライトガイドにおけ
る光学レンズおよび光ファイバーの配列の構成例を示す
模式図である。図８に示す光学レンズおよび光ファイバ
ーの配列の構成例においては、コア部４０の外周部にク
ラッド部４１を有する構成である光ファイバー４は２次
元に配列とされ、規則的に配置されている。一方、光学
レンズとしては、一方の面１０ａ上の凸部１１と他方の
面１０ｂ上に凸部１２が交互に配置されており、隣り合
う光ファイバーに対応する光学レンズは、レンズ基板の
異なる面に設けられている構成となる。光学レンズとな
る各凸部（１１，１２）の径は、光ファイバー４の径よ
りも大きく設定されており、これは、一方の面１０ａ上
の凸部１１と他方の面１０ｂ上に凸部１２が交互に配置
したことにより可能となったものである。

【００６２】凸部分の外周の平面部分に照射した光は光
ファイバーのコア部分に集光することができないので、
光ファイバーに導波させることができなかったが、本実
施形態のライトガイドにおいては、図８からも理解でき
るように、図７中の光学レンズ基板１０の一方の面１０
ａにおいて凸部が形成されていない部分に入射した光
も、レンズ基板１０の他方の面１０ｂにおいて形成され
ている凸部により、光ファイバーのコア部分に集光する
ことができる。従って、光源からの光Ｌをより高効率に
光ファイバーと結合させることができる。

【００６３】また、図７においては、１枚のレンズ基板
１０の両面（１０ａ，１０ｂ）に光学レンズとなる凸部
（１１ａ，１２ｂ，１１ｃ，１２ｄ）を形成している
が、凸部が２面に形成されていれば、上記の理由による
高効率の結合効率をもたらす光学レンズの形状（光ファ
イバーの径よりも大きい径の光学レンズ）を干渉するこ
となく作製することができるので、レンズ基板の一方の
面に光学レンズとなる凸部を形成した光学レンズアレイ
を２枚用いることによっても同様の効果を得ることがで
きる。

【００６４】第４実施形態図９は、本実施形態に係るライトガイドの概略構成を示
す模式図である。実質的に第１実施形態に係るライトガ
イドと同様であるが、光学レンズアレイの形状が異なっ
ている。ＵＶランプやハロゲンランプなどの光源２、一
方の面１０ａに凸部１１ａが形成され、他方の面１０ｂ
に凸部１１ｂが形成された第１レンズ基板１０と、一方
の面１３ａに凸部１４ｃが形成され、他方の面１３ｂに
凸部１５ｄが形成された第２レンズ基板１３とから構成
される複数個（図面上４個）の光学レンズを有する光学
レンズアレイ１、コア部４０の外周部にクラッド部４１
を有する構成である束ねられた複数本（図面上４本）の
光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）および、ミラ
ー３が、それぞれ所定の位置に配置されている。

【００６５】光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）
の端面である光入射部は光源２に向けて配置されてお
り、第１レンズ基板１０の一方の面１０ａに形成された
凸部１１ａと他方の面１０ｂに形成された凸部１２ｂお
よび第２レンズ基板１３の一方の面１３ａに形成された
凸部１４ｃと他方の面１３ｂに形成された凸部１５ｄか
ら構成される光学レンズアレイ１の各光学レンズによ
り、光源２から出射された各光Ｌが各凸部に対応する光
ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）の端面である光
入射部に結合される。

【００６６】さらに、ミラー３が光ファイバー（４ａ，
４ｂ，４ｃ，４ｄ）からみて光源２の反対側に配置され
ているので、光源２から光ファイバー（４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ）の反対側に出射された光を光ファイバー（４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）の入射部に取り込むことができ
る。

【００６７】上記のライトガイドにおいて、光源２から
出射された光Ｌの光ファイバー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４
ｄ）の端面における電界強度分布は、光学レンズアレイ
１の第１レンズ基板１０の一方の面１０ａに形成された
凸部１１ａと他方の面１０ｂに形成された凸部１２ｂお
よび第２レンズ基板１３の一方の面１３ａに形成された
凸部１４ｃと他方の面１３ｂに形成された凸部１５ｄの
各光学レンズにより集光されていることから、図１２
（ｃ）に示すようなフラット形状ではなく、光ファイバ
ーの導波モードの電界強度分布に近づけられている。従
って、光源２から出射された光Ｌを高効率で光ファイバ
ー（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）に導波させることができ
る。

【００６８】上記の光学レンズアレイ１は、第４実施形
態に係る光学レンズアレイと同様に、第１レンズ基板１
０の一方の面１０ａに所定の配列で凸部１１ａを形成
し、この後他方の面１０ｂに凸部１１ａと重ならない所
定の配列で凸部１２ｂを形成し、さらに、第２レンズ基
板１３の一方の面１３ａに所定の配列で凸部（１１ａ，
１２ｂ）と重ならないように凸部１４ｃを形成し、この
後他方の面１３ｂに凸部（１１ａ，１２ｂ，１４ｃ）と
重ならない所定の配列で凸部１５ｄを形成し、２枚のレ
ンズ基板を組み合わせて得ることができる。

【００６９】図１０は、本実施形態のライトガイドにお
ける光学レンズおよび光ファイバーの配列の構成例を示
す模式図である。図８に示す光学レンズおよび光ファイ
バーの配列の構成例においては、コア部４０の外周部に
クラッド部４１を有する構成である光ファイバー４は最
密充填に配列とされ、規則的に配置されている。一方、
光学レンズとしては、第１レンズ基板１０の一方の面１
０ａおよび他方の面１０ｂと、第２レンズ基板１３の一
方の面１３ａおよび他方の面１３ｂの計４つの面に、そ
れぞれ所定のパターンの繰り返しとなるように、凸部
（１１，１２，１４，１５）が配列して設けられてお
り、最密充填配列の隣り合う光ファイバーに対応する光
学レンズがそれぞれ異なる面に設けられている構成とな
る。光学レンズとなる各凸部（１１，１２，１４，１
５）の径は、光ファイバー４の径よりも大きく設定され
ており、これは、隣り合う光ファイバーに対応する光学
レンズは、レンズ基板の異なる面に設けられている構成
としたことにより可能となったものである。このよう
に、最密充填配列の光ファイバーに対しても、光源から
照射される光を高効率に光ファイバーに結合させること
ができる。

【００７０】上記の第１〜第４実施形態においては、光
ファイバーの配列を２次元配列の場合と最密充填配列の
場合について説明しているが、本発明のライトガイドに
おいては、光ファイバーの配列に対応した位置に光学レ
ンズを形成することが望ましいので、光ファイバーは、
規則性を持った配列であることが望ましい。すなわち、
その外径が互いに接するような配列、即ち、２次元構造
の配列あるいは最密充填配列であることが望ましい。さ
らに、最密充填配列は、光ファイバーの外周面を互いに
融着することにより、光ファイバー自体の配列密度を高
めながら、安定して得られることができ、特に好まし
い。

【００７１】なお、上記の実施形態においては、光学レ
ンズを形成する基板として溶融石英などを例に挙げてい
るが、本発明におけるライトガイドにおいては、図３お
よび図４に示した製造方法を適用可能な材料であれば、
例えばより高屈折率の材料およびガラス材料などのその
他の材料を採用することが可能であり、特に無機材料を
選択することにより、高光パワーおよび高温となる環境
下にも用いることが可能となっている。ただし、溶融石
英は波長透過性が高いことから、光学材料に溶融石英を
採用することにより、ライトガイドにより伝送する光の
波長に対する制限が広がり、例えば、ＣＯ₂ レーザなど
の赤外線のライトガイドとしての使用とＵＶ光のライト
ガイドとしての使用などの両方に使用が可能なライトガ
イドを構成することができる。

【００７２】以上、本発明を４実施形態により説明した
が、本発明はこれらの実施形態に何ら限定されるもので
はない。例えば、上記の光学レンズを構成する材料や、
マスク層の材料も上記に限定されない。特にマスク層材
料としては、熱処理により、基板との境界が動くことな
く、表面が丸く加工される材料であれば、本発明におい
て用いることが可能である。また、各実施形態において
は、ＵＶランプなどの光源を用いているが、太陽光など
の光源に対するライトガイドとすることも可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を
行うことが可能である。

【００７３】

【発明の効果】本発明のライトガイドは、以下の効果を
有する。（１）少ない部品点数の構成可能であり、光源から出射
される光を高効率で伝送することができる。（２）高効率であることから、光学部品の温度上昇など
も発生させにくい。（３）吸収の少ない光学レンズを用いていることによ
り、光学レンズ部における吸収が少ない。（４）高効率のライトガイドであるので、所定のパワー
が必要な場合において光源のパワーを小さく設定できる
こととなる。（５）従来、光ファイバーに照射していても光ファイバ
ーの導波モードとならなかった光はバンドルファイバー
の内部にて吸収されて熱となっていたが、本発明のライ
トガイドにおいては、光ファイバーに照射された光を有
効に光ファイバーの導波モードとすることができるの
で、従来のライトガイドにおいては伝送することができ
なかったパワーもガイドさせることができるようにな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本実施形態に係るライトガイドの概略
構成を示す模式図である。

【図２】図２（ａ）は、図１のライトガイドにおける光
学レンズアレイの平面図であり、図２（ｂ）は図２
（ａ）中のＡ−Ａ’における断面図であり、図２（ｃ）
は図２（ｂ）中のＢ部の拡大断面図である。

【図３】図３は第１実施形態に係る光学レンズの製造方
法の製造工程を示す断面図であり、（ａ）はマスク層の
形成工程まで、（ｂ）はマスク層のパターン加工工程ま
でを示す。

【図４】図４は図３の続きの工程を示し、（ｃ）は熱処
理工程まで、（ｄ）は基板のレンズ形状の加工工程まで
を示す。

【図５】図５は、第１実施形態に係る光ファイバーおよ
び光学レンズの配列を説明する模式図である。

【図６】図６は、第２実施形態に係るライトガイドの概
略構成を示す模式図である。

【図７】図７は、第３実施形態に係るライトガイドの概
略構成を示す模式図である。

【図８】図８は、第３実施形態に係る光ファイバーおよ
び光学レンズの配列を説明する模式図である。

【図９】図９は、第４実施形態に係るライトガイドの概
略構成を示す模式図である。

【図１０】図１０は、第４実施形態に係る光ファイバー
および光学レンズの配列を説明する模式図である。

【図１１】図１１は、従来例に係るライトガイドの概略
構成を示す模式図である。

【図１２】図１２は光源から出射された光の光ファイバ
ーに結合する効率の説明図であり、（ａ）は光ファイバ
ーの構成図、（ｂ）は導波モードの電界強度分布、
（ｃ）は光ファイバー端面における光源から出射した光
の電界強度分布である。

【符号の説明】

１…光学レンズアレイ、２…光源、３…ミラー、４ａ，
４ｂ，４ｃ，４ｄ，４…光ファイバー、１０…（第１）
レンズ基板、１０ａ，１３ａ…一方の面、１０ｂ，１３
ｂ…他方の面、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１２
ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１４ｃ，１５ｄ，１１，
１２，１４，１５…凸部、１３…第２レンズ基板、４０
…コア部、４１…クラッド部、ＭＳ，ＭＳａ，ＭＳｂ，
ＭＳｃ，ＭＳｄ，ＭＳａ’，ＭＳｂ’，ＭＳｃ’，ＭＳ
ｄ’…マスク層、Ｔ…溝、Ｌ…光、Ｍ…境界。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の光ファイバーよりなり光を伝送する
ライトガイドであって、端面が光入射部である複数本の配列された光ファイバー
と、複数の光学レンズ部が光学材料よりなるレンズ基板に上
記光入射部に対応するように配列して形成された光学レ
ンズアレイとを有し、上記光学レンズアレイにより、光源から出射された光を
上記光ファイバーの光入射部に結合するライトガイド。
【請求項２】上記光学レンズアレイは、無機材料よりな
る請求項１に記載のライトガイド。
【請求項３】上記光ファイバーの配列は、その外径が互
いに接するような配列である請求項１に記載のライトガ
イド。
【請求項４】上記光ファイバーの配列は、最密配列であ
る請求項１に記載のライトガイド。
【請求項５】上記光学レンズアレイの上記各光学レンズ
部は、上記レンズ基板に対して凸形状に形成された凸レ
ンズである請求項１に記載のライトガイド。
【請求項６】上記光学レンズアレイは、上記凸形状の上
記各光学レンズ部と上記レンズ基板との境界が円形でな
い形状である請求項５に記載のライトガイド。
【請求項７】上記光学レンズアレイは、上記凸形状の上
記各光学レンズ部と上記レンズ基板との境界が多角形で
ある請求項６に記載のライトガイド。
【請求項８】上記光学レンズアレイは１枚のレンズ基板
を有し、上記各光学レンズ部は上記レンズ基板の両面に
形成されている請求項１に記載のライトガイド。
【請求項９】隣り合う上記光ファイバーへの光の結合を
行う上記光学レンズ部は、上記レンズ基板において異な
る面に形成されている請求項８に記載のライトガイド。
【請求項１０】上記光学レンズアレイは複数内のレンズ
基板を有し、上記各光学レンズ部は上記複数枚のレンズ
基板の複数の面に形成されている請求項１に記載のライ
トガイド。
【請求項１１】隣り合う上記光ファイバーへの光の結合
を行う上記光学レンズ部は、上記レンズ基板において異
なる面に形成されている請求項１０に記載のライトガイ
ド。
【請求項１２】上記光学レンズアレイは、上記レンズ基
板の平坦な面上に上記各光学レンズ部が配列して形成さ
れている請求項１に記載のライトガイド。
【請求項１３】上記光学レンズアレイは、上記凸形状の
上記各光学レンズ部と上記レンズ基板の上記平坦な面と
の境界部に溝が形成されている請求項１２に記載のライ
トガイド。
【請求項１４】上記光学レンズアレイは、光学材料より
なるレンズ基板上に、所定の光学レンズ部のパターンを
有する複数個の光学レンズ部の形状に対応する複数個の
マスク層を形成し、上記各マスク層と上記レンズ基板を
エッチングにより同時に除去することで、上記各マスク
層の形状を上記レンズ基板に転写し、複数個の光学レン
ズ部の形状とした光学レンズアレイである請求項１に記
載のライトガイド。
【請求項１５】上記光学レンズアレイは、上記複数個の
マスク層を形成した後、上記各マスク層の形状を表面積
が小さくなるように変形させて形成した光学レンズアレ
イである請求項１４に記載のライトガイド。
【請求項１６】上記光学レンズアレイは、熱処理を行う
ことにより上記各マスク層の形状を表面積が小さくなる
ように変形させて形成した光学レンズアレイである請求
項１５に記載のライトガイド。
【請求項１７】上記光学レンズアレイは、上記マスク層
材料として感熱性材料を露光および現像することで上記
所定の光学レンズ部のパターンを有する複数個の光学レ
ンズ部の形状に対応するように形成して得た光学レンズ
アレイである請求項１４に記載のライトガイド。
【請求項１８】上記光学レンズアレイは、上記マスク層
の材料のガラス転移温度よりも高い温度の熱処理により
上記各マスク層の形状を表面積が小さくなるように変形
させて得た光学レンズアレイである請求項１６に記載の
ライトガイド。
【請求項１９】上記光学レンズアレイは、上記マスク層
の材料の炭化温度よりも低い温度の熱処理により上記各
マスク層の形状を表面積が小さくなるように変形させて
得た光学レンズアレイである請求項１６に記載のライト
ガイド。
【請求項２０】上記光学レンズアレイは、上記マスク層
の材料の室温よりも高い温度の熱処理により上記各マス
ク層の形状を表面積が小さくなるように変形させて得た
光学レンズアレイである請求項１６に記載のライトガイ
ド。
【請求項２１】上記光学レンズアレイは、上記各マスク
層と上記レンズ基板をドライエッチングにより同時に除
去して得た光学レンズアレイである請求項１４に記載の
ライトガイド。