JP2002241446A

JP2002241446A - 硬化性組成物、硬化被膜および被覆基材

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Publication number: JP2002241446A
Application number: JP2001327644A
Authority: JP
Inventors: Kenji Ishizeki; 健二石関; Hirotsugu Yamamoto; 博嗣山本; Yuichi Yamamoto; 雄一山本
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 2000-12-11
Filing date: 2001-10-25
Publication date: 2002-08-28
Anticipated expiration: 2021-10-25
Also published as: US20020111391A1; KR100901094B1; TWI237649B; KR20020059228A; KR20080075063A; US6833393B2; JP4401049B2

Abstract

(57)【要約】【課題】防汚性、剥離性、耐摩耗性に優れ、該性能が長
期間劣化しない硬化被膜を、一度の塗布工程で形成でき
る硬化性組成物、該組成物より形成される硬化被膜及び
該被膜を有する被覆基材の提供。【解決手段】活性エネルギ線硬化性の重合性官能基を１
個以上有する化合物（Ａ）と、ポリフルオロアルキル
基含有重合性モノマー（ａ）と光硬化性官能基含有重合
性モノマー（ｂ）とを共重合するか、又は前記重合性
モノマー（ａ）と光硬化性官能基を導入しうる官能基含
有重合性モノマー（ｄ）とを共重合して得られた含フッ
素共重合体（Ｄ）に光硬化性官能基を導入して得られた
含フッ素共重合体（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含
有する硬化性組成物。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、耐摩耗性、透明
性、防汚性、非粘着性（剥離性）に優れた硬化被膜を形
成しうる硬化性組成物、該硬化性組成物を用いて形成さ
れる硬化被膜、および該硬化被膜を有する被覆基材に関
する。

【０００２】

【従来の技術】レンズ、ディスプレー、フォトマスクな
どの基材の表面に形成される保護膜には、ハードコート
性、防汚性、非粘着性などが求められる。

【０００３】しかし、従来、基材の表面に上記複数の性
能を有する保護膜を形成するためには、硬質の被膜を形
成するためのハードコート加工と、撥水性または撥油性
などの低表面張力性を有する被膜を形成するための防汚
非粘着加工とを、別々に行なう必要があった。そのた
め、工程が増え、コストの増加につながっていた。

【０００４】したがって、コストを下げるために、上記
複数の性能を満足させる被膜を一度の工程で形成する様
々な試みが提案されている。たとえば、特開平１０−１
０４４０３号公報には、紫外線硬化型樹脂とフッ素原子
含有アルキルアルコキシシランとを含むオリゴマーから
なる硬化膜を有するシート、特開平６−２１１９４５号
公報には、アルキルフルオロアクリレートと相溶性のな
いアクリレートとアルキルフルオロアクリレートからな
る硬化膜を有するシート、特開平１１−３０５４２０号
公報には、レジストとの剥離性を改良したフォトマスク
用保護層、が開示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平１０−
１０４４０３号公報では、紫外線硬化型樹脂とフッ素原
子含有のオリゴマーとの反応性が乏しいため、経時的に
フッ素原子含有のオリゴマーがブリードアウトする問題
があった。また、特開平６−２１１９４５号公報では、
両者の相溶性が乏しいために、均一な被膜が得られず、
透明性のあるきれいな外観の被膜が得られにくい問題が
あった。そして、特開平１１−３０５４２０号公報で
は、加熱硬化工程が必要であるため生産性が低い問題が
あった。

【０００６】本発明は、防汚性および剥離性を有し、か
つ耐摩耗性に優れ、さらに長期間の使用においても該性
能が劣化しない硬化被膜を、一度の塗布工程で形成でき
る硬化性組成物、該硬化性組成物を用いて形成される硬
化被膜および該硬化皮膜を有する被覆基材の提供を目的
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、活性エネルギ
線硬化性の重合性官能基を１個以上有する化合物（Ａ）
と、ポリフルオロアルキル基を有する重合性モノマー
（ａ）と光硬化性官能基を有する重合性モノマー（ｂ）
とを共重合するか、または、ポリフルオロアルキル基
を有する重合性モノマー（ａ）と光硬化性官能基を導入
しうる官能基を有する重合性モノマー（ｄ）とを共重合
して得られた含フッ素共重合体（Ｄ）に光硬化性官能基
を導入することにより得られた含フッ素共重合体（Ｂ）
と、光重合開始剤（Ｃ）とを含有することを特徴とする
硬化性組成物を提供する。

【０００８】上記発明においては、前記化合物（Ａ）の
１００質量部に対して、前記含フッ素共重合体（Ｂ）を
０．０１〜２０質量部、前記光重合開始剤（Ｃ）を０．
０１〜２０質量部含むことが好ましい。

【０００９】また、本発明は、前記硬化性組成物を用い
て形成される硬化被膜を提供する。さらに、本発明は、
基材の少なくとも一方の面に前記硬化被膜を有すること
を特徴とする被覆基材を提供する。上記発明において
は、前記基材がフォトマスクであることが好ましい。

【００１０】本発明によれば、防汚性および剥離性を有
し、かつ耐摩耗性に優れ、さらに長期間の使用において
も該性能が劣化しない硬化被膜を、一度の塗布工程で形
成できる硬化性組成物、該硬化性組成物を用いて形成さ
れる上記性能を有する硬化被膜、および該硬化被膜を有
する被覆基材を提供できる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の硬化性組成物の各
成分について説明する。なお、以下の説明において、ア
クリロイル基およびメタクリロイル基を総称して（メ
タ）アクリロイル基といい、（メタ）アクリロイルオキ
シ基、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリレートなど
の表現も同様とする。

【００１２】まず、活性エネルギ線硬化性の重合性官能
１個以上有する化合物（Ａ）（以下、単に化合物（Ａ）
という。）について説明する。

【００１３】化合物（Ａ）のうち、活性エネルギ線によ
って重合しうる重合性官能基を１個有する化合物（以
下、単に単官能性化合物という。）としては、（メタ）
アクリロイル基を有する化合物が好ましく、特にアクリ
ロイル基を有する化合物が好ましい。また、その他に水
酸基、エポキシ基などの官能基を有していてもよい。上
記単官能性化合物としては、たとえば以下のものが挙げ
られる。

【００１４】アルキル（メタ）アクリレート（アルキル
基の炭素数は１〜１３）、アリル（メタ）アクリレー
ト、ベンジル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル
（メタ）アクリレート、ブタンジオール（メタ）アクリ
レート、ブトキシトリエチレングリコールモノ（メタ）
アクリレート、ｔ−ブチルアミノエチル（メタ）アクリ
レート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）
アクリレート、２−シアノエチル（メタ）アクリレー
ト、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ジシクロペ
ンタニル（メタ）アクリレート、２，３−ジブロモプロ
ピル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メ
タ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル
（メタ）アクリレート、

【００１５】Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチル（メタ）ア
クリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）ア
クリレート、２−エトキシエチル（メタ）アクリレー
ト、２（２−エトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリ
レート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、グ
リセロール（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）
アクリレート、ヘプタデカフルオロデシル（メタ）アク
リレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレー
ト、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイルオキシ
プロピルトリメチルアンモニウムクロリド、２−ヒドロ
キシプロピル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メ
タ）アクリレート、３−（メタ）アクリロイルオキシプ
ロピルトリメトキシシラン、２−メトキシエチル（メ
タ）アクリレート、メトキシジエチレングリコール（メ
タ）アクリレート、メトキシトリエチレングリコール
（メタ）アクリレート、メトキシテトラエチレングリコ
ール（メタ）アクリレート、メトキシジプロピレングリ
コール（メタ）アクリレート、メトキシ化シクロデカト
リエン（メタ）アクリレート、

【００１６】モルホリン（メタ）アクリレート、ノニル
フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレー
ト、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール（メ
タ）アクリレート、オクタフルオロペンチル（メタ）ア
クリレート、フェノキシヒドロキシプロピル（メタ）ア
クリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、
フェノキシジエチレングリコール（メタ）アクリレー
ト、フェノキシテトラエチレングリコール（メタ）アク
リレート、フェノキシヘキサエチレングリコール（メ
タ）アクリレート、フェノキシ（メタ）アクリレート、
ポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、スル
ホン酸ソーダエトキシ（メタ）アクリレート、テトラフ
ルオロプロピル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフ
ルフリル（メタ）アクリレート、トリフルオロエチル
（メタ）アクリレート、ビニルアセテート、Ｎ−ビニル
カプロラクタム、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルホ
ルムアミド、モルホリノ（メタ）アクリレート、２−モ
ルホリノエチル（メタ）アクリレート。

【００１７】また、活性エネルギ線硬化性の重合性官能
基を２個以上有する化合物（以下、単に多官能性化合物
という。）としては、特開平１１−２４０１０３号公報
の段落番号００１６〜００２０、００２３〜００４７に
記載された化合物が好ましく挙げられる。

【００１８】好ましい多官能性化合物としては、（メ
タ）アクリロイル基から選ばれる１種以上の重合性官能
基を２個以上（２〜５０個が好ましく、より好ましくは
３〜３０個）有する化合物が挙げられる。その中でも
（メタ）アクリロイルオキシ基を２個以上有する化合
物、すなわち多価アルコールなどの２個以上の水酸基を
有する化合物と（メタ）アクリル酸とのポリエステルが
好ましい。また、上記重合性官能基以外に種々の官能基
または結合を有する化合物であってもよい。特に、ウレ
タン結合を有する（メタ）アクリロイル基含有化合物
（以下、アクリルウレタンという。）と、ウレタン結合
を有しない（メタ）アクリル酸エステル化合物が好まし
い。

【００１９】上記アクリルウレタンとしては、１）ペン
タエリスリトールまたはその多量体であるポリペンタエ
リスリトールとポリイソシアネートとヒドロキシアルキ
ル（メタ）アクリレートとの反応生成物であるアクリル
ウレタンであり、かつ、活性エネルギ線硬化性の重合性
官能基を３個以上（より好ましくは４〜２０個）有する
多官能性化合物、または、２）ペンタエリスリトールま
たはポリペンタエリスリトールの水酸基含有ポリ（メ
タ）アクリレートとポリイソシアネートとの反応生成物
であるアクリルウレタンであり、かつ、活性エネルギ線
硬化性の重合性官能基を３個以上（より好ましくは４〜
２０個）有する多官能性化合物、が挙げられる。

【００２０】また、ウレタン結合を有しない（メタ）ア
クリル酸エステル化合物としては、ペンタエリスリトー
ル系ポリ（メタ）アクリレート、またはイソシアヌレー
ト系ポリ（メタ）アクリレートが挙げられる。なお、ペ
ンタエリスリトール系ポリ（メタ）アクリレートとは、
ペンタエリスリトールまたはポリペンタエリスリトール
と（メタ）アクリル酸とのポリエステル（好ましくは活
性エネルギ線硬化性の重合性官能基を４〜２０個有す
る。）をいう。また、イソシアヌレート系ポリ（メタ）
アクリレートとは、トリス（ヒドロキシアルキル）イソ
シアヌレート、またはトリス（ヒドロキシアルキル）イ
ソシアヌレートの１モルに１〜６モルのカプロラクトン
またはアルキレンオキシドを付加して得られる化合物
と、（メタ）アクリル酸とのポリエステル（好ましくは
活性エネルギ線硬化性の重合性官能基を２〜３個有す
る。）をいう。

【００２１】本発明においては、上記の好ましい多官能
性化合物と、他の活性エネルギ線硬化性の重合性官能基
を２個以上有する多官能性化合物（特に多価アルコール
のポリ（メタ）アクリレート）とを併用してもよい。

【００２２】化合物（Ａ）において、上記単官能性化合
物または上記多官能性化合物の割合は特に制限されな
い。

【００２３】次に、含フッ素共重合体（Ｂ）について説
明する。本発明における含フッ素共重合体（Ｂ）は、
ポリフルオロアルキル基を有する重合性モノマー（ａ）
（以下、単に重合性モノマー（ａ）という。）と光硬化
性官能基を有する重合性モノマー（ｂ）（以下、単に重
合性モノマー（ｂ）という。）とを共重合するか、また
は、重合性モノマー（ａ）と光硬化性官能基を導入し
うる官能基を有する重合性モノマー（ｄ）（以下、単に
重合性モノマー（ｄ）という。）とを共重合して得られ
た含フッ素共重合体（Ｄ）に光硬化性官能基を導入する
ことにより得られた化合物である。

【００２４】重合性モノマー（ａ）としては、下式１で
表される化合物が好ましい。

【化１】ＣＨ₂＝ＣＲ（ＣＨ₂）_b−Ｚ−Ｒ^f・・・式１ただし、式１中の記号は以下の意味を示す。Ｒ：水素原子または炭素数１〜４のアルキル基。ｂ：０〜６の整数。Ｚ：単結合、−ＣＨ₂−、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯ
ＮＨ−、−ＮＨＣＯ−および−ＯＣＯ−からなる群より
選ばれる基。Ｒ^f：炭素数２〜４０のポリフルオロアルキル基または
炭素数２〜４０のポリフルオロアルケニル基。ただし、
基中の水素原子の１個以上が水酸基またはハロゲン原子
に置換されていてもよく、炭素−炭素結合間にエーテル
性酸素原子またはチオエーテル性硫黄原子が挿入されて
いてもよい。

【００２５】Ｒとしては、水素原子またはメチル基が好
ましい。Ｒ^fとしては、炭素数２〜２２のポリフルオロ
アルキル基が好ましく、炭素数４〜１８のポリフルオロ
アルキル基がより好ましく、炭素数６〜１４のポリフル
オロアルキル基がさらに好ましい。特にアルキル基の水
素原子の全てがフッ素原子に置換された、炭素数６〜１
４の直鎖のペルフルオロアルキル基が好ましい。

【００２６】重合性モノマー（ａ）としては、具体的に
は下記の化合物が好ましく挙げられる。

【００２７】ＣＨ₂＝ＣＨ（ＣＦ₂）₈ＦＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯＯＲ¹ ＣＨ₂＝Ｃ（ＣＨ₃）−ＣＯＯＲ¹ ＣＨ₂＝ＣＨ−ＯＲ¹ ＣＨ₂＝ＣＨＣＨ₂−ＯＲ¹ ＣＨ₂＝ＣＨ−ＯＣＯＲ¹ ただし、Ｒ¹は以下の基を示す（ｍ：４〜１２の偶数、
ｑ：２〜６の整数）。Ｆ（ＣＦ₂）_m−、（ＣＦ₃）₂ＣＦ
（ＣＦ₂）_m−、Ｈ（ＣＦ₂）_m−、Ｆ（ＣＦ₂）_m（Ｃ
Ｈ₂）_q−、（ＣＦ₃）₂ＣＦ（ＣＦ₂）_m（ＣＦ₂）_q−、
（ＣＦ₃）₂Ｃ（ＣＨ₃）（ＣＨ₂）_q−、ＣＦ₃ＣＨＦＣＦ
₂（ＣＨ₂）_q−、Ｈ（ＣＦ₂）_m（ＣＨ₂）_q−、（ＣＦ₃）
₂Ｃ＝ＣＦ−、Ｆ（ＣＦ₂）_mＣＨ＝ＣＨ（ＣＨ₂）_q−、
Ｆ（ＣＦ₂）_mＣＨ₂ＣＨＩ（ＣＨ₂）_q−、（ＣＦ₃）₂Ｃ
Ｆ（ＣＦ₂）_mＣＨ₂ＣＨＩ（ＣＨ₂）_q−、Ｆ（ＣＦ₂）_m
ＣＨ₂ＣＨ（ＯＨ）（ＣＨ₂）_q−、（ＣＦ₃）₂ＣＦ（Ｃ
Ｆ₂）_mＣＨ₂ＣＨ（ＯＨ）（ＣＨ₂）_q−、ＣＦ₃Ｏ［ＣＦ
（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ］_mＣＦ（ＣＦ₃）−、ＣＦ₃ＣＨＦＯ
（ＣＦ₂）₃−、Ｆ（ＣＦ₂）₃ＯＣＦ₂（ＣＦ₃）（Ｃ
Ｈ₂）_q−、（ＣＦ₃）₂ＣＨ−、Ｆ（ＣＦ₂）_m（ＣＨ₂）_q
Ｏ（ＣＨ₂）_q−。

【００２８】また、重合性モノマー（ａ）としては上記
以外に、Ｆ（ＣＦ₂）_mＣＨ₂ＮＨＣＯＣＲ’＝ＣＨ
₂（Ｒ’は水素原子またはメチル基を示す。）などの
（メタ）アクリル酸アミドも好ましく挙げられる。

【００２９】含フッ素共重合体（Ｂ）において、全重合
性モノマーに対する上記重合性モノマー（ａ）の割合
は、２０モル％以上が好ましく、より好ましくは２０〜
９５モル％、特に３０〜９０モル％が好ましい。上記の
割合が２０モル％未満では、充分な表面耐汚染性が発揮
されず、長期間の使用において汚れなどが著しくなるこ
とがある。

【００３０】また、重合性モノマー（ｂ）としては、下
式２で表される化合物が好ましい。

【化２】ＣＨ₂＝ＣＲ²（ＣＨ₂）_c−Ｚ−（ＣＨ₂）_d−Ｌ・・・式２ただし、式２中の記号は以下の意味を示す。Ｒ²：水素原子または炭素数１〜４のアルキル基。ｃ、ｄ：それぞれ独立に、０〜６の整数。Ｚ：上記と同じ。Ｌ：光硬化性官能基のうち熱重合性を有しない基。

【００３１】Ｌとしては、シンナモイル基が好ましい。
たとえば、Ｌがシンナモイルオキシ基である重合性モノ
マー（ｂ）は、式２においてＬの代わりに水酸基を有す
る不飽和化合物とシンナモイルクロリドとを反応させて
得られる。

【００３２】重合性モノマー（ｂ）としては、具体的に
は、アリルアルコール−アルキレンオキシド付加物の桂
皮酸エステル、アクリル酸（２−ヒドロキシエチル）エ
ステルの桂皮酸エステル、アリルシンナメートなどが挙
げられる。

【００３３】含フッ素共重合体（Ｂ）において、全重合
性モノマーに対する上記重合性モノマー（ｂ）の割合
は、５モル％以上が好ましく、より好ましくは５〜８０
モル％、さらに好ましくは１０〜７０モル％、特に１０
〜５０モル％が好ましい。上記の割合が５モル％未満で
は、充分な硬度を有する光硬化被膜が形成されず、長期
間の使用において汚れなどが著しくなることがある。

【００３４】さらに、含フッ素共重合体（Ｂ）は、上記
重合性モノマー（ａ）および（ｂ）に加えて、他の重合
性モノマー（ｃ）を共重合して得られるものであっても
よい。

【００３５】重合性モノマー（ｃ）は、ポリフルオロア
ルキル基および光硬化性官能基を有さない重合性モノマ
ーが好ましい。具体的には、分子量１００〜３，０００
のポリオキシプロピレングリコールモノアルキルエーテ
ル（メタ）アクリレートなどのポリオキシアルキレン鎖
を有する重合性モノマーが挙げられる。

【００３６】また、その他に下記の化合物が挙げられ
る。メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、ブ
チルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、シク
ロヘキシルビニルエーテル、クロロエチルビニルエーテ
ル、エチレン、プロピレン、１−ブテン、イソブチレ
ン、シクロヘキセン、スチレン、α−メチルスチレン、
メチルアリルエーテル、エチルアリルエーテル、ブチル
アリルエーテル、シクロヘキシルアリルエーテル、酢酸
ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、イソ酪酸ビ
ニル、吉草酸ビニル、カプロン酸ビニル、カプリル酸ビ
ニル、ベオバ９およびベオバ１０（商品名、シェル化学
社製）（炭素数９または炭素数１０の分岐脂肪酸のビニ
ルエステル）、バーサティック酸ビニル、酢酸アリル、
（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチ
ル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸シ
クロヘキシル、クロトン酸エチル、クロトン酸ブチル、
クロトン酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸アミ
ド、アクリロニトリル、２，４−ジシアノブテン−１、
イソプレン、ブタジエン、塩化ビニル、塩化ビニリデ
ン、トリフルオロクロロエチレン、テトラフルオロエチ
レン、フッ化ビニリデンなど。

【００３７】上記のなかでも炭素数１〜１５程度の直鎖
状、分岐状または脂環状のアルキル基を有する化合物が
好ましい。

【００３８】重合性モノマー（ｃ）を用いることによ
り、含フッ素共重合体（Ｂ）の造膜性の改良、含フッ素
共重合体（Ｂ）の上記化合物（Ａ）に対する相溶性およ
び分散性の改善、硬化性組成物における表面移行性など
の改善のほか、硬化性組成物の貯蔵安定性を向上させる
効果もある。

【００３９】含フッ素共重合体（Ｂ）において、全重合
性モノマーに対する上記重合性モノマー（ｃ）の割合は
７５モル％以下が好ましい。すなわち、全重合性モノマ
ーに対する上記重合性モノマー（ａ）および（ｂ）の合
計割合が２５モル％以上が好ましい。上記合計割合が２
５モル％未満では、充分な耐候性、表面耐汚染性を発揮
できない。

【００４０】重合性モノマー（ｄ）としては、たとえば
下式３で表される化合物が挙げられる。

【００４１】

【化３】ＣＨ₂＝ＣＲ¹（ＣＨ₂）_c−Ｚ−（ＣＨ₂）_d−Ｙ・・・式３ただし、式３中の記号は以下の意味を示す。Ｒ¹、Ｚ、ｃ、ｄ：上記と同じ。Ｙ：光硬化性官能基を導入しうる基を有する基。Ｙとしては、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシア
ネート基またはカルボキシル基を有する炭素数１〜２０
の置換または非置換の有機基が好ましく、特に水酸基ま
たはエポキシ基を有する有機基が好ましい。

【００４２】重合性モノマー（ｄ）としては、下記の化
合物が挙げられる。ただし、下式において、Ｙは上記と
同じ意味を表す。（メタ）アクリル酸エステルなどの重合性カルボン酸ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯＯＹＣＨ₂＝Ｃ（ＣＨ₃）−ＣＯＯＹＣＨ₂＝ＣＨ−ＯＹＣＨ₂＝ＣＨＣＨ₂−ＯＹＣＨ₂＝ＣＨ−ＯＣＯＹＹＮＨＣＯＣＨ＝ＣＨ₂またはＹＮＨＣＯＣ（ＣＨ₃）
＝ＣＨ₂

【００４３】重合性モノマー（ｄ）としては、具体的に
は以下の化合物が好ましく挙げられる。（メタ）アクリ
ル酸、（メタ）アクリル酸（２−ヒドロキシエチル）エ
ステル、（メタ）アクリル酸（３−ヒドロキシプロピ
ル）エステル、（メタ）アクリル酸（３−フェノキシ−
２−ヒドロキシプロピル）エステル、（メタ）アクリル
酸（３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル）エステル、
（２−ヒドロキシエチル）アリルエーテル、Ｎ−メチロ
ールアクリルアミド、コハク酸モノ（２−メタクリロイ
ルオキシエチル）エステル、フタル酸モノ（２−メタク
リロイルオキシエチル）エステル、グリシジル（メタ）
アクリレート、（メタ）アリルグリシジルエーテル、Ｃ
Ｈ₂＝ＣＨ−ＣＯＯＣＨ₂ＣＨ₂ＰＯ（ＯＨ）₂、ＣＨ₂＝
Ｃ（ＣＨ₃）−ＣＯＯＣＨ₂ＣＨ₂ＰＯ（ＯＨ）₂など。

【００４４】含フッ素共重合体（Ｂ）が、上記重合性モ
ノマー（ａ）と上記重合性モノマー（ｄ）とを共重合し
て得られる含フッ素共重合体（Ｄ）に、光硬化性官能基
を導入して得られる化合物である場合、光硬化性官能基
としては（メタ）アクリロイル基、シンナモイル基また
はアジド基が好ましい。

【００４５】上記含フッ素共重合体（Ｄ）に光硬化性官
能基を導入する方法としては、たとえば水酸基を有する
含フッ素共重合体（Ｄ）に、アクリルクロリドまたはシ
ンナモイルクロリドを反応させることにより、アクリロ
イルオキシ基またはシンナモイルオキシ基を導入でき
る。なお、含フッ素共重合体（Ｄ）に光硬化性官能基を
導入して得られる含フッ素共重合体（Ｂ）には光硬化性
官能基を導入しうる基が残っていてもよい。この場合、
含フッ素共重合体（Ｂ）の上記化合物（Ａ）に対する分
散性が向上し、含フッ素共重合体（Ｂ）の造膜性が向上
する。

【００４６】本発明で用いられる含フッ素共重合体
（Ｂ）は、例えば以下の方法により得られる。（１）上記重合性モノマー（ａ）と上記重合性モノマー
（ｂ）とを共重合する。なお、必要に応じて上記重合性
モノマー（ｃ）を共重合してもよい。（２）上記重合性モノマー（ａ）と上記重合性モノマー
（ｄ）とを共重合して含フッ素共重合体（Ｄ）を得た
後、該含フッ素共重合体（Ｄ）の光硬化性官能基を導入
しうる官能基の少なくとも一部に光硬化性官能基を導入
する。なお、含フッ素共重合体（Ｄ）を得る際に、必要
に応じて上記重合性モノマー（ｃ）を共重合してもよ
い。

【００４７】重合方法は、特に制限されず、溶液重合、
乳化重合、懸濁重合、バルク重合などの方法が採用で
き、所定量の上記各重合性モノマーに、重合開始剤、電
離性放射線などの重合開始源を作用させることにより重
合できる。また、適当な連鎖移動剤を添加して分子量を
調節したり、上記化合物（Ａ）の存在下で重合を行うこ
ともできる。その他の諸条件は、通常の溶液重合、乳化
重合、懸濁重合、バルク重合などを行う際と同様の条件
で行うことができる。

【００４８】含フッ素共重合体（Ｂ）の分子量は、３０
０〜１００，０００が好ましく、１，０００〜５０，０
００がより好ましい。特に本発明の硬化性組成物を無溶
剤で用いる場合（たとえばシーリング材など）には、含
フッ素共重合体（Ｂ）の分子量が大きいと作業性が極め
て悪くなるため、分子量は１５，０００以下が好まし
く、特に１０，０００以下が好ましい。

【００４９】本発明の硬化性組成物における含フッ素共
重合体（Ｂ）の量は、前記化合物（Ａ）の１００質量部
に対して０．０１〜２０質量部が好ましく、特に０．３
〜７質量部が好ましい。

【００５０】次に、光重合開始剤（Ｃ）について説明す
る光重合開始剤としては、アリールケトン系光重合開始
剤（たとえばアセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ア
ルキルアミノベンゾフェノン類、ベンジル類、ベンゾイ
ン類、ベンゾインエーテル類、ベンジルジメチルケター
ル類、ベンゾイルベンゾエート類、α−アシロキシムエ
ステル類など）、含硫黄系光重合開始剤（たとえばスル
フィド類、チオキサントン類など）、アシルホスフィン
オキシド系光重合開始剤、ジアシルホスフィンオキシド
系光重合開始剤などの公知のものが好ましく使用でき
る。また、複数の光重合開始剤を使用してもよい。

【００５１】なお、本発明の硬化性組成物の硬化被膜を
フォトマスクの保護膜として用いる場合は、３６５ｎｍ
におけるモル当たりの吸光係数（ｅ）が１００（リット
ル／ｍｏｌ／ｃｍ）以下の光重合開始剤を使用するのが
好ましい。吸光係数とは、物質が光を吸収する度合いを
表す係数で、物質固有の定数であり、厚さｓの物質層を
光が通過する間に強さがＩ₀からＩになったとすれば、
下記式で表されるｅを吸光係数（単位：リットル／ｍｏ
ｌ／ｃｍ）という。

【００５２】

【数１】Ｉ＝Ｉ₀×１０^(-es) したがって、上記の場合、波長３６５ｎｍの透過性の点
から、アセトフェノン系、ベンゾイン系、ベンゾフェノ
ン系光重合開始剤が好ましい。特に、アセトフェノン系
光重合開始剤が好ましい。具体的には、特開平１１−２
６８１９６号公報の段落番号００６３〜００６５に記載
された化合物が挙げられる。

【００５３】本発明の硬化性組成物における光重合開始
剤（Ｃ）の量は、前記化合物（Ａ）の１００質量部に対
して０．０１〜２０質量部が好ましく、特に０．１〜１
０質量部が好ましい。

【００５４】本発明の硬化性組成物は、上記の基本的成
分のほかに、下記の溶剤および種々の配合剤を含むこと
ができる。

【００５５】［溶剤］本発明の硬化性組成物は、該組成
物の粘度の調整、保存安定性向上を目的として、溶剤を
含むことができる。溶剤としては、脂肪族炭化水素類、
芳香族炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類、アルコール
類、ケトン類、エステル類、エーテル類、エステルアル
コール類、ケトンアルコール類、エーテルアルコール
類、ケトンエーテル類、ケトンエステル類、エステルエ
ーテル類が挙げられる。特に、アルコール類を用いた場
合、保存安定性が向上するので好ましい。アルコール類
としては、炭素数１〜１０のアルキルアルコールが好ま
しく、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコー
ル、イソアミルアルコール、ヘキシルアルコールなどが
挙げられる。

【００５６】溶剤の使用量は、上記化合物（Ａ）と上記
含フッ素共重合体（Ｂ）の合計量を１００質量部とした
ときに、５００質量部以下が好ましい。

【００５７】［密着性向上剤］本発明の硬化性組成物
は、硬化被膜と基材との密着性を向上させるために、シ
ランカップリング剤、ポリシラザンなどの密着性向上剤
を含んでいてもよい。

【００５８】シランカップリング剤としては、公知の化
合物を用いることができる。本発明においては、（メ
タ）アクリロイルオキシ基、アミノ基、メルカプト基、
エポキシ基、イソシアネート基などの官能基を有する化
合物が好ましい。具体的には、特開平１１−２４０１０
４号公報の段落番号００６８〜００７２に記載されたシ
ラン類が挙げられる。

【００５９】使用方法としては硬化性組成物へ添加する
方法、または、基材の表面にあらかじめ密着性向上剤を
薄層コートした後、硬化性組成物を塗工する方法が挙げ
られる。

【００６０】［脱水剤］本発明の硬化性組成物には、そ
の貯蔵安定性をさらに改良するために脱水剤を添加して
もよい。

【００６１】脱水剤としては、オルトギ酸メチル、オ
ルトギ酸エチルなどのオルトギ酸アルキル、オルト酢
酸メチル、オルト酢酸エチルなどのオルト酢酸アルキ
ル、メチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシ
シラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン
などの加水分解性有機シリコン化合物、加水分解性有
機チタン化合物などが挙げられる。本発明においては、
コストおよび効果の点からビニルトリメトキシシランま
たはテトラエトキシシランが特に好ましい。

【００６２】脱水剤の使用量は、化合物（Ａ）と含フッ
素共重合体（Ｂ）の合計量を１００質量部としたとき
に、３０質量部以下が好ましい。脱水剤の使用量が上記
より多いと、硬化性組成物の硬化性および柔軟性に悪影
響を及ぼすことがある。

【００６３】［老化防止剤］老化防止剤としては、一般
に用いられている酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤
を用いることができる。

【００６４】紫外線吸収剤としては、公知の紫外線吸収
剤が使用できる。たとえばベンゾトリアゾール系、ベン
ゾフェノン系、サリチル酸系、フェニルトリアジン系な
どの紫外線吸収剤が挙げられる。具体的には、特開平１
１−２６８１９６号公報の段落番号００７８に記載され
た化合物のほか、２−ヒドロキシ−３−メタクリロイル
オキシプロピル−３−（３−（ベンゾトリアゾール−２
−イル）−４−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニル）
プロピオネート、２−［４−（２−ヒドロキシ−３−ド
デシルオキシプロピルオキシ）−２−ヒドロキシフェニ
ル］−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−
１，３，５−トリアジン、２−［４−（２−ヒドロキシ
−３−トリデシルオキシプロピルオキシ）−２−ヒドロ
キシフェニル］−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェ
ニル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−ヘキシル
オキシ−２−ヒドロキシフェニル）−４，６−ジフェニ
ル−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。

【００６５】本発明においては、２−｛２−ヒドロキシ
−５−（２−アクリロイルオキシエチル）フェニル｝ベ
ンゾトリアゾール、２−ヒドロキシ−３−メタクリロイ
ルオキシプロピル３−（３−（ベンゾトリアゾール−２
−イル）−４−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニル）
プロピオネートなど分子内に重合性官能基を持つものが
特に好ましい。

【００６６】光安定剤としては、合成樹脂用光安定剤と
して使用されているヒンダードアミン系光安定剤が好ま
しく挙げられる。具体的には、特開平１１−２６８１９
６号公報の段落番号００８０に記載された化合物が挙げ
られる。

【００６７】酸化防止剤としては、２，６−ジ−ｔ−ブ
チル−ｐ−クレゾールなどのヒンダードフェノール系酸
化防止剤、トリフェニルホスファイトなどのリン系酸化
防止剤などが挙げられる。

【００６８】［その他］その他の配合剤として、シリコ
ーン樹脂系レベリング剤、アクリル樹脂系レベリング剤
などレベリング剤や、ポリジメチルシロキサンなどのシ
リコーン樹脂系消泡剤などが使用できる。

【００６９】次に、基材について説明する。本発明で用
いられる基材としては、特に制限はなく、芳香族ポリカ
ーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレ
ン、ポリエチレンテレフタレートなどの芳香族ポリエス
テル、ポリアリレート、ポリイミド、ポリエーテルサル
フォン、ポリサルフォン、ポリアミド、セルローストリ
アセテート、フッ素樹脂、アクリル樹脂、ジエチレング
リコールビスアリルカーボネート樹脂（たとえばＣＲ−
３９）、核ハロゲン置換芳香環を有するジメタクリレー
トと芳香環を有する１官能性単量体との共重合体、ポリ
イソシアネートとポリチオールとの共重合体、メタクリ
ル酸メチル／スチレン樹脂、メタクリル酸トリシクロ
〔５．２．１．０^2, ⁶〕デカ−８−イル／スチレン樹
脂、メタクリル酸トリシクロ〔５．２．１．０² ^,6〕デ
カ−８−イル／スチレン／架橋性多官能モノマーの共重
合体、芳香環含有ジ（メタ）アクリレート／芳香環含有
単量体／水酸基含有単量体の共重合体、芳香環含有ジ
（メタ）アクリレート／芳香環含有単量体／エポキシ基
含有単量体の共重合体、核ハロゲン置換芳香環とアルキ
レングリコール基を含有するジ（メタ）アクリレート／
芳香環含有単量体／芳香環とエポキシ基を含有する化合
物の共重合体、およびスチレン誘導体／エチレングリコ
ールジメタクリレート／特定のジアクリレート化合物／
特定のエポキシ変成ジ（メタ）アクリレートの共重合体
などの各種合成樹脂を用いることができる。

【００７０】本発明においては、ポリエチレンテレフタ
レートなどのポリエステル、アクリル樹脂、ポリカーボ
ネートなどの透明樹脂やガラスなどの基板に、硝酸銀系
やハロゲン化銀系の感光剤をゼラチンに分散させた感光
乳剤を塗布したエマルジョン乾板を用いて作製されるフ
ォトマスク（エマルジョンマスク）が好ましい。

【００７１】本発明の硬化性組成物を用いて形成される
硬化被膜を有する被覆基材（たとえばフォトマスク）
は、以下のようにして得られる。

【００７２】エマルジョン乾板に、露光装置（フォトプ
ロッターなど）により所定のパターンを描画記録し、そ
の描画されたエマルジョン乾板を現像処理（現像、定
着、水洗、乾燥）した後、修正・検査の工程を経て得ら
れるフォトマスク原版の乳剤層の膜面の表面に、上記硬
化性組成物を均一に塗布し、乾燥させて硬化性組成物に
含まれる溶剤を除いた後、活性エネルギ線を照射して該
硬化性組成物を硬化させて硬化被膜（保護層）を形成す
る。

【００７３】本発明の硬化性組成物を基材の表面に塗布
する方法としては、特に制限されず、ダイコート法、ス
ピンコート法、ディップコート法、フローコート法、ロ
ールコート法、スプレーコート法などを採用できる。本
発明においては、生産性および表面外観の点からスプレ
ーコート法またはダイコート法が好ましく採用される。

【００７４】また、本発明の硬化性組成物を硬化させる
活性エネルギ線としては、特に制限されず、紫外線、電
子線またはその他の活性エネルギ線を使用できるが、装
置が簡単で生産性にも優れる紫外線が特に好ましい。紫
外線源としては、キセノンランプ、パルスキセノンラン
プ、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハ
ライドランプ、カーボンアーク灯、タングステンランプ
などが使用できる。

【００７５】本発明の硬化性組成物を用いて形成される
硬化被膜の厚さは０．１〜５０μｍが好ましく、０．３
〜３０μｍがより好ましい。硬化被膜の厚さが５０μｍ
超では活性エネルギ線による硬化が不充分になり基材と
の密着性が損なわれやすく、０．１μｍ未満では硬化被
膜の耐摩耗性および耐擦傷性が不充分となるおそれがあ
る。

【００７６】

【実施例】以下、本発明について例を挙げて説明する
が、本発明はこれらに限定されない。なお、基材とし
て、例１〜８では透明な芳香族ポリカーボネート樹脂板
（厚さ３ｍｍ）を用い、例９、１０では通常のエマルジ
ョン乾板に常法により所定のパターンを描画した後、現
像処理して作製されたフォトマスク原版を用いた。ま
た、各例で得られたサンプルについての各種物性の測定
および評価は以下に示す方法で行い、その結果を表１、
２に示した。

【００７７】［耐摩耗性］ＪＩＳ−Ｒ３２１２における
耐磨耗試験法により、２つのＣＳ−１０Ｆ磨耗輪にそれ
ぞれ５００ｇの重りを組み合わせ１００回転させたとき
の曇価（ヘーズ）をヘーズメータにて測定し、摩耗試験
前後のヘーズの変化量で示した。

【００７８】［耐傷つき性（鉛筆硬度）］ＪＩＳ−Ｋ５
４００に準拠して、鉛筆引っかき試験機を用いて行っ
た。

【００７９】［密着性］ＪＩＳ−Ｋ５４００の碁盤目法
に準拠して行った。被膜が剥離せずに残存した碁盤目の
数（ｍ）をｍ／１００で表す。

【００８０】［接触角（表面張力）］２５℃において、
基材表面に直径１ｍｍに滴下した蒸留水の水滴の接触角
を測定した。基材表面上の異なる５ヶ所で測定を行い、
その平均値を算出した。

【００８１】［防汚性（指紋ふき取り性）］基材表面に
指を押し当てて指紋を付着させた後、ティッシュペーパ
ーにて拭き取り、皮脂の取れ具合を目視で判断した。

【００８２】［非粘着性（セロテープ（登録商標）剥
離）］基材表面に市販のセロテープをよく密着させた後
の剥がれ性を定性的に判断した。

【００８３】［耐候性］サンシャインウエザーメータを
用いて、ブラックパネル温度６３℃、降雨１２分間、乾
燥４８分間のサイクルで５００時間暴露後の接触角を測
定した。

【００８４】（合成例１）ｎ−ブタノールを開始剤とし
て亜鉛ヘキサシアノコバルテート触媒にてプロピレンオ
キシドの重合を行い、ポリプロピレンオキシドモノブチ
ルエーテル（平均分子量２，０００）を得た。この化合
物を２Ｌのフラスコに３００ｇ（０．１５モル）計り取
り、さらにアセトン５００ｇ、トリエチルアミン１７．
７ｇ（０．１７モル）およびハイドロキノンモノメチル
エーテル１５０ｍｇを加え、窒素気流の下において４０
℃で１０分間撹拌した。

【００８５】続いて、アクリル酸クロリド１４．５ｇ
（０．１６モル）をアセトン１００ｇに溶かした溶液を
３０分間かけて滴下した後、５７℃に昇温し、１時間半
撹拌して反応を完結させた。そして、アンモニウム塩を
濾別し、濾液を撹拌されている水３Ｌに滴下し、化合物
を再沈殿させた後、析出した化合物を２回水で洗浄した
後乾燥し、アクリロイル基およびポリエーテル鎖を有す
る重合性モノマー（ｃ１）を得た。

【００８６】（合成例２）合成例１と同様の手順でポリ
プロピレンオキシドモノブチルエーテル（平均分子量４
００）を得た。そして、これにアクリル酸クロリドを加
えて末端の水酸基をアクリロイル基に変換して、アクリ
ロイル基およびポリエーテル鎖を有する重合性モノマー
（ｃ２）を得た。

【００８７】（合成例３）５００ｍＬのフラスコに、ア
リルアルコール８．７ｇ（０．１５モル）を計り取り、
さらにアセトン１００ｇ、トリエチルアミン１７．７ｇ
（０．１７モル）およびハイドロキノンモノメチルエー
テル１５ｍｇを加え、窒素気流の下において４０℃で１
０分間撹拌した。続いて、シンナモイルクロリド２６．
６ｇ（０．１６モル）をアセトン１００ｇに溶かした溶
液を３０分間かけて滴下した後、５７℃に昇温し、１時
間半撹拌して反応を完結させた。そして、アンモニウム
塩を濾別し、濾液を撹拌されている水３Ｌに滴下し、化
合物を再沈殿させた後、析出した化合物を２回水で洗浄
した後、乾燥して、シンナモイル基とアリル基を有する
重合性モノマー（ｂ１）を得た。

【００８８】（合成例４）５００ｍＬのフラスコに、上
記重合性モノマー（ｃ１）４６．１６ｇと、Ｃ_tＦ_2t+1
ＣＨ₂ＣＨ₂ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ₂（ｔの平均値９）（以
下、重合性モノマー（ａ１）とする。）２３．９１ｇ
と、アクリル酸（２−ヒドロキシエチル）エステル５．
３６ｇとを、クロロホルム１５０ｇおよびイソプロピル
アルコール１５０ｇの混合溶媒に溶解させ、開始剤とし
てアゾイソブチロニトリル１．５ｇを加え、７０℃で１
０時間加熱重合させた。その後、いったん溶媒を除去し
て光硬化性官能基を有さない含フッ素重合体（Ｄ１）を
得た。次いで、合成例２と同様の手法で含フッ素重合体
（Ｄ１）にアクリロイル基を導入し、含フッ素共重合体
（Ｂ１）（アクリロイル基含量２０モル％、質量平均分
子量２５，０００）を得た。

【００８９】［例１］撹拌機および冷却管を装着した２
００ｍＬの４つ口フラスコに、酢酸ブチル６０ｇ、イソ
プロピルアルコール２０ｇ、ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート１０ｇ、トリス（アクリロキシエチ
ル）イソシアヌレート１０ｇ、２−メチル−１−｛４−
（メチルチオ）フェニル｝−２−モルホリノプロパン−
１−オン０．６ｇ、２−｛２−ヒドロキシ−５−（２−
アクリロイルオキシエチル）フェニル｝ベンゾトリアゾ
ール０．５ｇ、シリコーン系レベリング剤「ＢＹＫ３０
６」（商品名、ビックケミー社製、以下同じ。）０．１
ｇを加えて溶解させ、さらにＮ−（２−アミノエチル）
−３−アミノプロピルトリメトキシシラン０．２ｇ、含
フッ素共重合体（Ｂ１）０．２ｇを加えて常温で１時間
撹拌して塗工液１を得た。

【００９０】そして、基材にダイコート法により塗工液
１を塗工し（ウェット厚さ１０μｍ）、９０℃のオーブ
ンで５分間乾燥した後、空気雰囲気中、高圧水銀灯を用
いて５００ｍＪ／ｃｍ²（波長３００〜３９０ｎｍ領域
の紫外線積算エネルギ量、以下同じ。）の紫外線を照射
し、厚さ２μｍの硬化被膜を形成したサンプルを得た。

【００９１】［例２〜６］含フッ素共重合体（Ｂ１）の
代わりに、下記の含フッ素共重合体（Ｂ２）〜（Ｂ６）
をそれぞれ用いたこと以外は、例１と全く同様にして各
サンプルを得た。

【００９２】例２：上記重合性モノマー（ａ１）、重合
性モノマー（ｃ２）、およびアクリル酸（２−ヒドロキ
シエチル）エステルを４０／３０／３０（モル比）で共
重合した後、分子内の水酸基をアクリル酸クロリドを用
いてアクリロイル化した含フッ素共重合体（Ｂ２）（ア
クリロイル基含量２７モル％、質量平均分子量３０，０
００）を用いて塗工液２を調製した。

【００９３】例３：上記重合性モノマー（ａ１）、アク
リル酸ステアリルエステル、およびアクリル酸（２−ヒ
ドロキシエチル）エステルを３５／２５／４０（モル
比）で共重合した後、分子内の水酸基をアクリル酸クロ
リドによりアクリロイル化した含フッ素共重合体（Ｂ
３）（アクリロイル基含量３６モル％、質量平均分子量
９，０００）を用いて塗工液３を調製した。

【００９４】例４：上記重合性モノマー（ａ１）、アク
リル酸ブチルエステル、およびアクリル酸（２−ヒドロ
キシエチル）エステルを３５／５０／１５（モル比）で
共重合した後、分子内の水酸基をアクリル酸クロリドに
よりアクリロイル化した含フッ素共重合体（Ｂ４）（ア
クリロイル基含量１４モル％、質量平均分子量９，００
０）を用いて塗工液４を調製した。

【００９５】例５：上記重合性モノマー（ａ１）、重合
性モノマー（ｂ１）、およびアクリル酸ステアリルエス
テルを４０／２０／４０（モル比）で共重合して得た含
フッ素共重合体（Ｂ５）（アクリロイル基含量２０モル
％、質量平均分子量１２，０００）を用いて塗工液５を
調製した。

【００９６】例６：上記重合性モノマー（ａ１）、重合
性モノマー（ｂ１）、およびアクリル酸ブチルエステル
を４０／２０／４０（モル比）で共重合して得た含フッ
素共重合体（Ｂ６）（アクリロイル基含量２０モル％、
質量平均分子量８，０００）を用いて塗工液６を調製し
た。

【００９７】［例７］含フッ素共重合体（Ｂ１）を含ま
ないこと以外は例１と全く同様にして塗工液７を調製
し、これを用いてサンプルを得た。

【００９８】［例８］含フッ素共重合体（Ｂ１）の代わ
りに、含フッ素重合体（Ｄ１）を用いたこと以外は、例
１と全く同様にして塗工液８を調製し、これを用いてサ
ンプルを得た。

【００９９】

【表１】

【０１００】［例９］撹拌機および冷却管を装着した２
００ｍＬの４つ口フラスコに、２−ブタノン８０ｇ、ジ
ペンタエリスリトールヘキサアクリレート１０ｇ、トリ
ス（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート１０
ｇ、２−メチル−１−｛４−（メチルチオ）フェニル｝
−２−モルホリノプロパン−１−オン０．６ｇ、シリコ
ーン系レベリング剤「ＢＹＫ３０６」０．１ｇを加えて
溶解させ、さらにＮ−（２−アミノエチル）−３−アミ
ノプロピルトリメトキシシラン０．２ｇ、含フッ素共重
合体（Ｂ１）を０．２ｇ加えて常温で１時間撹拌して塗
工液９を得た。

【０１０１】そして、基材にダイコート法により塗工液
９を塗工し（ウェット厚さ１０μｍ）、９０℃のオーブ
ンで５分間乾燥した後、空気雰囲気中、高圧水銀灯を用
いて５００ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射し、厚さ２μｍ
の硬化被膜を形成したサンプルを得た。

【０１０２】［例１０］硬化被膜を形成していない基材
をそのままサンプルとした。

【０１０３】

【表２】

【０１０４】

【発明の効果】本発明によれば、防汚性および剥離性を
有し、かつ耐摩耗性に優れ、さらに長期間の使用におい
ても該性能が劣化しない硬化被膜を、一度の塗布工程で
形成できる硬化性組成物、該硬化性組成物を用いて形成
される上記性能を有する硬化被膜、および該硬化被膜を
有する被覆基材を提供できる。該硬化被膜は、フォトマ
スクの保護層として最適である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山本雄一神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150番地旭硝子株式会社内Ｆターム(参考） 2K009 BB02 BB11 CC24 CC26 CC35 DD02 DD05 DD06 DD08 EE00 EE05 4J002 BD121 BE041 BG081 EE037 EH076 EH106 EH127 EV047 EV117 FD147 GH02 4J027 AA04 AC04 AC06 BA07 CB10 CC05 CD08 4J038 CD092 CD102 FA121 FA131 FA141 FA151 FA161 FA171 GA01 GA02 GA03 GA09 GA10 GA12 KA03 NA05 NA10 NA11 PA17 PB08 PC03 PC08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】活性エネルギ線硬化性の重合性官能基を
１個以上有する化合物（Ａ）と、ポリフルオロアルキ
ル基を有する重合性モノマー（ａ）と光硬化性官能基を
有する重合性モノマー（ｂ）とを共重合するか、また
は、ポリフルオロアルキル基を有する重合性モノマー
（ａ）と光硬化性官能基を導入しうる官能基を有する重
合性モノマー（ｄ）とを共重合して得られた含フッ素共
重合体（Ｄ）に光硬化性官能基を導入することにより得
られた含フッ素共重合体（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）
とを含有することを特徴とする硬化性組成物。
【請求項２】前記化合物（Ａ）の１００質量部に対し
て、前記含フッ素共重合体（Ｂ）を０．０１〜２０質量
部、前記光重合開始剤（Ｃ）を０．０１〜２０質量部含
有する請求項１に記載の硬化性組成物。
【請求項３】請求項１または２に記載の硬化性組成物
を用いて形成される硬化被膜。
【請求項４】基材の少なくとも一方の面に、請求項３
に記載の硬化被膜を有することを特徴とする被覆基材。
【請求項５】前記基材がフォトマスクである請求項４
に記載の被覆基材。