JP2002226608A - Method for manufacturing polyurethane foam for abrasive pad and polyurethane foam - Google Patents
Method for manufacturing polyurethane foam for abrasive pad and polyurethane foamInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨パッド用ポリ
ウレタン発泡体の製造方法及びこの製造方法により製造
されたポリウレタン発泡体に関する。The present invention relates to a method for producing a polyurethane foam for a polishing pad and a polyurethane foam produced by the method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体基板上の配線形成面を効率よく、
かつ、高精度に平滑化する研磨方法としてＣＭＰ（Ｃｈ
ｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉ
ｎｇ）法が採用されている。これは、化学的な作用と機
械的な作用を組み合わせた研磨方法であり、半導体基板
（ウェハ表面）を広い範囲にわたって平坦化することが
可能である。2. Description of the Related Art A wiring forming surface on a semiconductor substrate can be efficiently formed.
In addition, as a polishing method for smoothing with high precision, CMP (Ch
electrical Mechanical Polish
ng) method. This is a polishing method that combines a chemical action and a mechanical action, and can planarize a semiconductor substrate (wafer surface) over a wide range.
【０００３】このＣＭＰ法で用いられる研磨パッドには
ポリウレタン発泡体により形成されるものがあり、表面
に細かな凹部を形成し研磨スラリーを保持することがで
きるようになっている。Some polishing pads used in this CMP method are formed of polyurethane foam, and fine recesses are formed on the surface to hold a polishing slurry.
【０００４】かかる研磨パッド用のポリウレタン発泡体
の製造方法の公知技術として、特開平１１−３２２８７
７号公報に開示される製造方法がある。この製造方法
は、イソシアネート末端プレポリマーと活性水素含有化
合物の２液を混合撹拌するに際し、未発泡の加熱膨張性
微小中空球体（中空バルーン）を前記プレポリマー又は
活性水素含有化合物の一方に添加混合しておき、２液反
応硬化の際に放出される反応熱及び外部からの加熱によ
って、未発泡の加熱膨張性微小中空球体をウレタン成形
物中で微発泡させ、成形物中に加熱膨張した微笑中空球
体を含有させるようにしたものである。As a known technique for producing a polyurethane foam for a polishing pad, Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-32287 discloses a technique.
No. 7 discloses a manufacturing method. In this production method, when two liquids of an isocyanate-terminated prepolymer and an active hydrogen-containing compound are mixed and stirred, an unfoamed heat-expandable fine hollow sphere (hollow balloon) is added to one of the prepolymer or the active hydrogen-containing compound. In addition, the unheated heat-expandable micro hollow spheres are micro-foamed in the urethane molding by the heat of reaction released during the two-component reaction curing and external heating, and the heat-expanded smile in the molding. A hollow sphere is contained.
【０００５】また、別の公知技術として、特表平８−５
００６２２号公報に開示される製造方法がある。この製
造方法は、イソシアネート末端プレポリマーと活性水素
含有化合物（ＭＢＯＣＡ）と同時に、既膨張の微小中空
体を特殊なミキサーで短い反応時間で微小中空体をなじ
ませ、均一に分散混合するものである。As another known technique, Japanese Patent Application Laid-Open No.
There is a manufacturing method disclosed in Japanese Patent No. 00622. In this production method, a pre-expanded micro hollow body is mixed with an isocyanate-terminated prepolymer and an active hydrogen-containing compound (MBOCA) at the same time with a special mixer in a short reaction time, and uniformly dispersed and mixed. .
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
既膨張タイプの中空バルーンは、比重が０．０４ｇ／ｃ
ｍ3 程度の粉体であり、この状態でウレタン液となじま
せて均一に混合させることは困難である。その理由は、
反応液と中空バルーンの密度差が大きいため、硬化中に
中空バルーンが浮き上がり、 均一なものを作ることが
難しいからである。このような膨張タイプの中空バルー
ンは、膨張前の段階で孔のあいたス抜けバルーンが含ま
れ、更に膨張行程で配管等に付着して堆積し熱により焼
けて硬く異物化したゴミが含まれる。このような硬くな
った異物がウレタン中に残ると、研磨工程でスクラッチ
の原因となり大きな問題となっている。このように、中
空バルーンを用いてポリウレタン発泡体を製造すると、
弊害が生じる。However, such an inflatable hollow balloon has a specific gravity of 0.04 g / c.
It is a powder of about m 3 , and it is difficult to mix with the urethane liquid in this state to mix it uniformly. The reason is,
Because the density difference between the reaction solution and the hollow balloon is large, the hollow balloon rises during curing, making it difficult to produce a uniform product. Such an inflatable hollow balloon includes a through-hole balloon having a hole at a stage before inflation, and further includes dust which is attached to pipes and the like during the inflation process, is deposited, is burned by heat, and is hardened as foreign matter. If such hardened foreign matter remains in the urethane, it causes a scratch in the polishing process, which is a serious problem. Thus, when polyurethane foam is manufactured using a hollow balloon,
Evils occur.
【０００７】本発明は上記実情に鑑みてなされたもので
あり、その課題は、中空バルーンを用いない方法で均一
で比重のばらつきの小さなポリウレタン発泡体を製造す
ることのできる研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造
方法を提供することである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a polyurethane foam for a polishing pad capable of producing a uniform polyurethane foam having a small specific gravity by a method without using a hollow balloon. Is to provide a method of manufacturing the same.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明に係る研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造方
法は、所定量の第１成分と製泡剤と前記第１成分と反応
してポリウレタンを形成する第２成分とをタンクに投入
し、所定時間ミキサーにより泡立て混合するステップ
と、前記ステップの後に、混合液を金型に流し込んで反
応硬化させるステップを有することを特徴とするもので
ある。According to the present invention, there is provided a method for producing a polyurethane foam for a polishing pad according to the present invention, comprising reacting a predetermined amount of a first component, a foaming agent, and the first component with a polyurethane. And a step of pouring and mixing the mixture with a second component to form a mixture into a tank, and whipping and mixing the mixture with a mixer for a predetermined time, and after the step, pouring the mixed solution into a mold to cause reaction hardening. .
【０００９】この構成によれば、タンク内に第１成分
（例えば、 プレポリマー）と製泡剤と第２成分を投入
し、所定時間ミキサーにより泡立て混合する。これによ
り、空気等の気体を強制的に巻き込ませて微細化し、発
泡させることができる。つまり、公知技術のような中空
バルーンを用いない方法により発泡を行うことができ
る。本発明者らは、タンク内に投入する第１成分、製泡
剤、第２成分（例えば、活性水素含有化合物）の量や撹
拌時間を適切に制御することにより、均一で比重ばらつ
きの少ないポリウレタン発泡体を得ることができること
を見出したものである。According to this configuration, the first component (for example, a prepolymer), the foaming agent, and the second component are charged into the tank, and are foamed and mixed by the mixer for a predetermined time. Thereby, a gas such as air can be forcibly entrained to be miniaturized and foamed. That is, foaming can be performed by a method that does not use a hollow balloon as in a known technique. By appropriately controlling the amounts and stirring times of the first component, the foaming agent, and the second component (for example, the active hydrogen-containing compound) to be charged into the tank, the present inventors can obtain a uniform polyurethane with a small specific gravity variation. It has been found that a foam can be obtained.
【００１０】上記の混合ステップにおいて、第１成分・
製泡剤・第２成分のタンクへの投入は、これらを同時に
投入してもよいし、これらの各要素のうちのいくつかを
最初にタンクに投入して撹拌混合した所定時間経過後
に、残りの要素を投入して撹拌するように構成しても良
い。In the mixing step, the first component
The foaming agent and the second component may be charged into the tank at the same time, or some of these components may be charged into the tank first, and after a predetermined period of stirring and mixing, the remaining components may be charged. May be configured to be charged and stirred.
【００１１】なお、本発明の製造方法を使用して微細気
泡ポリウレタン発泡体を製造する方法としては次の２つ
があげられる。The following two methods can be used to produce a microcellular polyurethane foam using the production method of the present invention.
【００１２】（１）プレポリマー法 イソシアネート基含有化合物を含む第１成分と活性水素
基含有化合物を含む第２成分を混合させて微細気泡ポリ
ウレタン発泡体を製造する方法であって、前記第１成分
もしくは前記第２成分の少なくとも一方に水酸基を有し
ないシリコン系ノニオン界面活性剤を添加し、前記界面
活性剤を添加した成分を非反応性気体と攪拌して前記非
反応性気体、好ましくは空気を微細気泡として分散させ
て気泡分散液とし、前記気泡分散液に残りの成分を混合
して硬化させる製造方法である。(1) Prepolymer method A method for producing a microcellular polyurethane foam by mixing a first component containing an isocyanate group-containing compound and a second component containing an active hydrogen group-containing compound, wherein the first component is Alternatively, a silicon-based nonionic surfactant having no hydroxyl group is added to at least one of the second components, and the component added with the surfactant is stirred with a non-reactive gas to remove the non-reactive gas, preferably air. This is a production method in which fine bubbles are dispersed to form a foam dispersion, and the remaining components are mixed with the foam dispersion and cured.
【００１３】この方法は、具体的には、第１成分として
イソシアネート基末端のイソシアネートプレポリマーを
使用し、これを気泡分散液とした後に第２成分としてＭ
ＢＯＣＡ等の鎖延長剤で架橋させる方法、又は第２成分
として水酸基末端のプレポリマーを使用し、これを気泡
分散液とした後に第１成分として、ジフェニルメタンジ
イソシアネート等のイソシアネート化合物で架橋させる
方法である。In this method, specifically, an isocyanate group-terminated isocyanate prepolymer is used as the first component, and this is converted into a foam dispersion, and then the second component is treated with M
A method of crosslinking with a chain extender such as BOCA, or a method of using a hydroxyl group-terminated prepolymer as the second component, forming a foam dispersion liquid, and then crosslinking with an isocyanate compound such as diphenylmethane diisocyanate as the first component. .
【００１４】（２）ワンショット法 イソシアネート基含有化合物を含む第１成分と活性水素
基含有化合物を含む第２成分を混合させて微細気泡ポリ
ウレタン発泡体を製造する方法であって、前記第１成分
もしくは前記第２成分の少なくとも一方に水酸基を有し
ないシリコン系ノニオン界面活性剤を添加し、前記第１
成分と第２成分を非反応性気体、好ましくは空気と混
合、攪拌し、前記非反応性気体を微細気泡として分散さ
せて気泡分散液とし、前記気泡分散液を硬化させる製造
方法である。(2) One-shot method A method for producing a microcellular polyurethane foam by mixing a first component containing an isocyanate group-containing compound and a second component containing an active hydrogen group-containing compound, wherein the first component Alternatively, a silicon-based nonionic surfactant having no hydroxyl group is added to at least one of the second components,
This is a production method in which the component and the second component are mixed and stirred with a non-reactive gas, preferably air, and the non-reactive gas is dispersed as fine bubbles to form a bubble dispersion, and the bubble dispersion is cured.
【００１５】ポリウレタンを構成するポリオール化合物
と鎖延長剤、及びポリイソシアネート化合物を混合して
気泡分散液とし、そのまま反応、硬化させる方法であ
る。This is a method in which a polyol compound constituting a polyurethane, a chain extender, and a polyisocyanate compound are mixed to form a foam dispersion, and the mixture is reacted and cured as it is.
【００１６】界面活性剤の添加量は、第１成分と第２成
分の合計量に対して１〜２０重量％であることが好まし
い。The amount of the surfactant added is preferably 1 to 20% by weight based on the total amount of the first and second components.
【００１７】本発明の好適な実施形態として、 前記ミ
キサーは、垂直方向に軸芯を有する第１ミキサー羽根と
第２ミキサー羽根とを備え、前記第１・第２ミキサー羽
根とは互いにかみ合うように逆方向に回転し、かつ、互
いの羽根が干渉しないように構成され、前記ミキサーの
回転により気体を液中に巻き込むようにしたものがあげ
られる。As a preferred embodiment of the present invention, the mixer includes a first mixer blade and a second mixer blade having a vertical axis, and the first and second mixer blades are engaged with each other. There is a configuration in which the blades are rotated in opposite directions so that the blades do not interfere with each other, and the gas is entrained in the liquid by the rotation of the mixer.
【００１８】かかる構成を備えたミキサーにより泡立て
混合を行うことができる。また、ミキサー羽根の回転に
より空気等の気体を液中に巻き込むことにより、微細気
泡を形成することができる。[0021] Foaming and mixing can be performed by a mixer having such a configuration. Further, fine bubbles can be formed by entraining a gas such as air into the liquid by rotating the mixer blade.
【００１９】本発明の別の好適な実施形態として、 前
記第２ステップの後に、前記第１・第２ミキサー羽根を
液面から引き上げるステップを有し、この引き上げ時に
おいて、前記第１・第２ミキサー羽根に付着した液が羽
根部分に沿って下方に流れ落ちるようにしたものがあげ
られる。As another preferred embodiment of the present invention, after the second step, there is a step of pulling up the first and second mixer blades from the liquid surface, and at this time, the first and second mixer blades are pulled up. One in which the liquid adhering to the mixer blade flows down along the blade portion.
【００２０】ミキサー羽根の引き上げ時にミキサー羽根
に付着している液体が、液面上にぼた落ちするとエアー
ボイドが発生し品質不良の原因となる。そこで、羽根部
分に沿って液が下方に流れ落ちるようにすれば、液はス
ムーズに液面へと流れていくために、エアーボイドの発
生を防ぐことができる。If the liquid adhering to the mixer blades when the mixer blades are pulled up falls on the liquid surface, air voids are generated and cause poor quality. Therefore, if the liquid flows down along the blade portion, the liquid flows smoothly to the liquid surface, so that the generation of air voids can be prevented.
【００２１】本発明による製造方法により製造されたポ
リウレタン発泡体は、平均セル径が３０〜４０μm 、セ
ル個数が２００〜５００個／ｍｍ2 でありＣＭＰ研磨用
パッドやガラス研磨用パッドとして利用することができ
るものである。The polyurethane foam produced by the production method of the present invention has an average cell diameter of 30 to 40 μm, the number of cells is 200 to 500 / mm 2 , and is used as a CMP polishing pad or a glass polishing pad. Can be done.
【００２２】[0022]
【発明の実施の形態】本発明による研磨パッド用ポリウ
レタン発泡体の製造装置の好適な実施形態を図面を用い
て説明する。図１は、製造装置の外観構成を示す側面図
である。図２は、製造装置の構成を示す平面図である。
この製造装置は、プレポリマーと製泡剤と溶解した活性
水素含有化合物ををタンクに投入して泡立て混合するこ
とによりポリウレタン発泡体を得ようとするものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of an apparatus for producing a polyurethane foam for a polishing pad according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view showing an external configuration of the manufacturing apparatus. FIG. 2 is a plan view showing the configuration of the manufacturing apparatus.
This production apparatus is intended to obtain a polyurethane foam by charging a prepolymer, a foaming agent, and a dissolved active hydrogen-containing compound into a tank and foaming and mixing.
【００２３】この装置は、混合液を作るためのタンク１
と、タンク内の液体を泡立て混合するためのミキサー２
と、混合工程の終了した液体を注入する金型３とを備え
ている。This apparatus comprises a tank 1 for making a mixed solution.
And a mixer 2 for whipping and mixing the liquid in the tank
And a mold 3 for injecting the liquid after the mixing step.
【００２４】ミキサー２を上下動させるためのガイド支
柱５が設けられており、ミキサー２を吊り下げるチェー
ン４とバランサー６が設けられている。ハンドル（不図
示）を操作することにより、ミキサー２を上下動させる
ことができる。タンク１も別の支柱に平面視で略Ｃ字形
の支持腕８により取り付け支持されている。金型３は、
支持台１０の上に搭載される形で支持されており、図１
の紙面に垂直な方向にスライド移動可能である。A guide column 5 for vertically moving the mixer 2 is provided, and a chain 4 for suspending the mixer 2 and a balancer 6 are provided. By operating a handle (not shown), the mixer 2 can be moved up and down. The tank 1 is also mounted and supported on another support column by a support arm 8 which is substantially C-shaped in plan view. Mold 3
It is supported by being mounted on a support base 10, and FIG.
Is slidable in a direction perpendicular to the plane of the drawing.
【００２５】次にミキサー２の構成について詳細に説明
する。図３は、ミキサーの構成を示す側面図、図４はミ
キサーの構成を示す平面図である。このミキサー２は２
軸タイプのミキサーであり、第１ミキサー羽根１１と第
２ミキサー羽根２１とを備えている。第１・第２ミキサ
ー羽根１１，２１は、それぞれ回転軸１２，２２を有し
ており、図４に示すように、平面視で第１ミキサー羽根
１１は反時計方向に回転し、第２ミキサー羽根２１は時
計方向に回転する。各ミキサー羽根１１，２１は、円周
方向に沿って等間隔（９０゜ピッチ）で配置された羽根
部分を備えており。第１ミキサー羽根１１の羽根部分と
第２ミキサー羽根２１の羽根部分とはかみ合うように回
転し、また、図４に示すように位相が４５゜ずれた状態
で回転するのでお互いに干渉しないように回転すること
ができる。なお、図例では羽根部分は４つあるが、少な
くとも２つあれば撹拌することが可能である。Next, the configuration of the mixer 2 will be described in detail. FIG. 3 is a side view showing the configuration of the mixer, and FIG. 4 is a plan view showing the configuration of the mixer. This mixer 2 is 2
This is a shaft type mixer, and includes a first mixer blade 11 and a second mixer blade 21. The first and second mixer blades 11 and 21 have rotating shafts 12 and 22, respectively. As shown in FIG. 4, the first mixer blade 11 rotates counterclockwise in plan view, and The blade 21 rotates clockwise. Each of the mixer blades 11 and 21 has blade portions arranged at equal intervals (90 ° pitch) along the circumferential direction. The first mixer blade 11 and the second mixer blade 21 rotate so as to mesh with each other, and rotate with a phase shift of 45 ° as shown in FIG. 4 so that they do not interfere with each other. Can rotate. In the illustrated example, there are four blade portions, but if at least two blade portions are provided, stirring can be performed.
【００２６】各羽根部分の形状は同じであり、図３に示
すように、円弧状、又は、楕円弧状、又は、任意のなめ
らかな曲面形状を有している。The shape of each blade portion is the same, and as shown in FIG. 3, has a circular arc shape, an elliptical arc shape, or an arbitrary smooth curved surface shape.
【００２７】タンク１の形状としては、各ミキサー羽根
１１，２１の外径の数倍程度の直径とするのが好まし
く、高さはミキサーによる混合時に液がオーバーフロー
しない程度とするのが好ましい。成形するブロックの大
きさが７００（ｍｍ）×１５００（ｍｍ）×３０（ｍ
ｍ）とすれば、必要なタンク１の体積（容量）は３１．
５Ｌ（リットル）となる。The shape of the tank 1 is preferably several times the outer diameter of each of the mixer blades 11 and 21, and the height is preferably such that the liquid does not overflow during mixing by the mixer. The size of the block to be molded is 700 (mm) x 1500 (mm) x 30 (m
m), the required volume (capacity) of the tank 1 is 31.
It becomes 5 L (liter).
【００２８】ミキサー２による撹拌混合が終了すると、
混合液の中にあるミキサー羽根１１，２１を混合液から
引き上げる必要があるが、このときにミキサー羽根１
１，２１に付着している液が液面にぼた落ちせず、羽根
部分の形状を伝わって流れ落ちるようにしている。When the stirring and mixing by the mixer 2 is completed,
It is necessary to lift the mixer blades 11 and 21 in the mixed liquid from the mixed liquid.
The liquid adhering to 1 and 21 does not drip onto the liquid surface, but flows down along the shape of the blade portion.
【００２９】＜製造工程について＞次に、上記製造装置
によるポリウレタン発泡体の製造工程について説明す
る。このポリウレタン発泡体は、ＣＭＰ研磨パッド用に
用いられるものであり、均一な材質と成形品の比重差の
ばらつきの少ないことが要求される。<Manufacturing Process> Next, the manufacturing process of the polyurethane foam by the above manufacturing apparatus will be described. This polyurethane foam is used for a CMP polishing pad, and is required to have a uniform material and a small variation in specific gravity difference between molded products.
【００３０】基準配合は、イソシアネート末端プレポリ
マーとしてアジプレンＬ−３２５（ユニロイヤル製）を
１００部（７０℃）に対して、製泡剤（界面活性剤）と
してＳＨ−１９２（東レ・ダウコーニング・シリコン社
製）を１〜２０部、活性水素含有化合物としてメチレン
・ビス（Ｏ−クロルアニリン）（ＭＢＯＣＡ）（イハラ
ケミカル社製）を２６部（１２０℃）である。The standard formulation is as follows: 100 parts (70 ° C.) of adiprene L-325 (manufactured by Uniroyal) as an isocyanate-terminated prepolymer, and SH-192 (Dow Corning Toray Co., Ltd.) as a foaming agent (surfactant). 1 to 20 parts of silicon (manufactured by Silicon Corporation) and 26 parts (120 ° C.) of methylene bis (O-chloroaniline) (MBOCA) (manufactured by Ihara Chemical Co.) as an active hydrogen-containing compound.
【００３１】所定量のアジプレンＬ−３２５とＳＨ−１
９２と溶解したＭＢＯＣＡをタンク１に投入し、ミキサ
ー２により撹拌混合（泡立て混合）する。各ミキサー羽
根１１，２１の回転数は、５００〜３０００ｒｐｍが好
ましい。混合時間は、数分程度が好ましい。この撹拌に
より、空気を混合液内部に巻き込むことができる。A predetermined amount of adiprene L-325 and SH-1
92 and the dissolved MBOCA are put into the tank 1, and the mixture is stirred and mixed (foamed and mixed) by the mixer 2. The rotation speed of each mixer blade 11, 21 is preferably 500 to 3000 rpm. The mixing time is preferably about several minutes. By this stirring, air can be drawn into the mixed liquid.
【００３２】なお、アジプレンＬ−３２５とＳＨ−１９
２とＭＢＯＣＡをタンク１に投入する順序であるが、こ
れらを同時に投入してもよいし、これらのうちのいくつ
かを最初に投入して撹拌混合し、所定時間経過後に残り
を投入して撹拌混合するようにしてもよい。Adiprene L-325 and SH-19
2 and MBOCA are put into the tank 1 in the same order. They may be put in at the same time, or some of them may be put in first and mixed by stirring, and after a predetermined time, the rest may be put in and mixed. You may mix.
【００３３】撹拌が終了すると、ミキサー羽根１１，２
１を液から引き上げる。このとき、ミキサー羽根１１，
２１に付着している液は、羽根部分の形状を伝わって下
に流れ落ちる。したがって、液のぼた落ちによるエアー
ボイドの発生を防ぐことができる。ミキサー羽根１１，
２１の引き上げ完了後、増粘開始直前に金型３に混合液
を流し込む。When the stirring is completed, the mixer blades 11 and 12
Withdraw 1 from the liquid. At this time, the mixer blade 11,
The liquid adhering to 21 flows down along the shape of the blade portion. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of air voids due to the dripping of the liquid. Mixer blade 11,
After the completion of the lifting of 21, the mixed solution is poured into the mold 3 immediately before the start of thickening.
【００３４】金型３に流し込むときの一般的な方法は、
タンク１を傾斜させて金型３に流し込む方法である。好
ましい方法は、タンク１の底部に弁（不図示）を設けて
おき、底部から金型３へと混合液を流し込む方法であ
る。後者の方が、エアーボイドが発生する可能性が少な
いので好ましい。A general method for pouring into the mold 3 is as follows.
This is a method in which the tank 1 is inclined and poured into the mold 3. A preferred method is to provide a valve (not shown) at the bottom of the tank 1 and to flow the mixed liquid from the bottom into the mold 3. The latter is preferable because the possibility of generating air voids is small.
【００３５】ポリウレタン発泡体を製造するときの比重
調整方法は次のように行う。タンク１内にセットしてあ
るミキサー羽根１１，２１の最上部の位置までのタンク
１の容積を１００としたときに、容積８０の位置まで液
を投入すれば、液比重１のときに、約０．８（ｇ／ｃｍ
3 ）のブロックを得ることができる。The method for adjusting the specific gravity when producing a polyurethane foam is performed as follows. If the volume of the tank 1 up to the uppermost position of the mixer blades 11 and 21 set in the tank 1 is set to 100, and if the liquid is poured up to the position of the volume 80, when the liquid specific gravity is 1, 0.8 (g / cm
3 ) You can get the block.
【００３６】以上のようにして得られるポリウレタン発
泡体の性状は、 比重・・・０．４〜０．９ｇ／ｃｍ3 硬度（ショアＤ）・・・３０〜６０ 平均セル径・・・３０〜 4０μｍ セル個数・・・・２００〜５００個／ｍｍ2 ＜実施例１＞アジプレンＬ−３２５を２４．１ｋｇ、製
泡剤ＳＨ−１９２を０．７３ｋｇ（約３部）、ＭＢＯＣ
Ａを６．３２ｋｇとした場合、比重０．８４５のブロッ
クを得ることができた。またこのとき、ショアＤ硬度は
５４であった。The properties of the polyurethane foam obtained as described above are as follows: specific gravity: 0.4 to 0.9 g / cm 3 hardness (Shore D): 30 to 60 average cell diameter: 30 to 40μm cell number ... 200-500 pieces / mm 2 <example 1> Adiprene L-325 to 24.1 kg, the Seiawazai SH-192 0.73 kg (about 3 parts), MBOC
When A was 6.32 kg, a block having a specific gravity of 0.845 could be obtained. At this time, the Shore D hardness was 54.
【００３７】＜実施例２＞アジプレンＬ−３２５を２
１．４ｋｇ、ＳＨ−１９２を０．８１ｋｇ（約４部）、
ＭＢＯＣＡを５．６ｋｇとした場合、比重０．７８１の
ブロックを得ることができた。このとき、ショアＤ硬度
は５１であった。<Example 2> Adiprene L-325 was added to 2
1.4 kg, SH-192 0.81 kg (about 4 parts),
When the MBOCA was 5.6 kg, a block having a specific gravity of 0.781 could be obtained. At this time, the Shore D hardness was 51.
【００３８】＜別実施形態＞ミキサー羽根の形状につい
ては、本実施形態の形状に限定されるものではなく、本
発明の枠内で種々の変更が可能である。<Another Embodiment> The shape of the mixer blade is not limited to the shape of this embodiment, and various changes can be made within the scope of the present invention.
【００３９】製造されたポリウレタン発泡体はＣＭＰ研
磨パッドだけでなく、ガラス研磨用にも用いることがで
きる。The produced polyurethane foam can be used not only for CMP polishing pads but also for glass polishing.
【図１】研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置の
構成を示す側面図FIG. 1 is a side view showing a configuration of an apparatus for producing a polyurethane foam for a polishing pad.
【図２】研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置の
構成を示す平面図FIG. 2 is a plan view showing a configuration of an apparatus for producing a polyurethane foam for a polishing pad.
【図３】ミキサーの構成を示す側面図FIG. 3 is a side view showing a configuration of a mixer.
【図４】ミキサーの構成を示す平面図FIG. 4 is a plan view showing a configuration of a mixer.
１ タンク ２ ミキサー ３ 金型 １１ 第１ミキサー羽根 ２１ 第２ミキサー羽根 Reference Signs List 1 tank 2 mixer 3 mold 11 first mixer blade 21 second mixer blade
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２９Ｌ 31:58 Ｂ２９Ｌ 31:58 Ｃ０８Ｌ 75:04 Ｃ０８Ｌ 75:04 Ｆターム(参考） 4F071 AA53 AG21 AH19 BB01 BC10 BC13 DA20 4F204 AA31 AG20 EA01 EA04 EB01 EF27 EK08 EK17 EK24 EL04 EL11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) B29L 31:58 B29L 31:58 C08L 75:04 C08L 75:04 F term (Reference) 4F071 AA53 AG21 AH19 BB01 BC10 BC13 DA20 4F204 AA31 AG20 EA01 EA04 EB01 EF27 EK08 EK17 EK24 EL04 EL11
Claims (4)
分と反応してポリウレタンを形成する第２成分とをタン
クに投入し、所定時間ミキサーにより泡立て混合するス
テップと、 前記ステップの後に、混合液を金型に流し込んで反応硬
化させるステップを有することを特徴とする研磨パッド
用ポリウレタン発泡体の製造方法。1. A predetermined amount of a first component, a foaming agent, and a second component which reacts with the first component to form a polyurethane, are charged into a tank, and are foamed and mixed by a mixer for a predetermined time. After the step (a), a step of pouring the mixture into a mold and curing the mixture by reaction, comprising the steps of: (a) producing a polyurethane foam for a polishing pad;
る第１ミキサー羽根と第２ミキサー羽根とを備え、前記
第１・第２ミキサー羽根とは互いにかみ合うように逆方
向に回転し、かつ、互いの羽根が干渉しないように構成
され、前記ミキサーの回転により気体を液中に巻き込む
ようにしたことを特徴とする請求項１に記載の研磨パッ
ド用ポリウレタン発泡体の製造方法。2. The mixer comprises a first mixer blade and a second mixer blade having a vertical axis, wherein the first and second mixer blades rotate in opposite directions so as to mesh with each other, and The method for producing a polyurethane foam for a polishing pad according to claim 1, wherein the blades are configured so as not to interfere with each other, and a gas is entrained in the liquid by rotation of the mixer.
２ミキサー羽根を液面から引き上げるステップを有し、
この引き上げ時において、前記第１・第２ミキサー羽根
に付着した液が羽根部分に沿って下方に流れ落ちるよう
にしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨パ
ッド用ポリウレタン発泡体の製造方法。3. The method according to claim 2, further comprising, after the second step, lifting the first and second mixer blades from a liquid level.
3. The polyurethane foam for a polishing pad according to claim 1, wherein the liquid adhering to the first and second mixer blades flows downward along the blade portion during the lifting. 4. Method.
造方法により製造されたポリウレタン発泡体であって、 平均セル径が３０〜４０μm 、セル個数が２００〜５０
０個／ｍｍ2 であることを特徴とするポリウレタン発泡
体。4. A polyurethane foam produced by the production method according to claim 1, wherein the average cell diameter is 30 to 40 μm, and the number of cells is 200 to 50.
Polyurethane foam, characterized in that the number is 0 / mm 2 .
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| US8318298B2 (en) | 2005-07-15 | 2012-11-27 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd. | Layered sheets and processes for producing the same |
| US8476328B2 (en) | 2008-03-12 | 2013-07-02 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd | Polishing pad |
| US9126303B2 (en) | 2005-08-30 | 2015-09-08 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd. | Method for production of a laminate polishing pad |
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2001
- 2001-02-01 JP JP2001025325A patent/JP2002226608A/en active Pending
-
2002
- 2002-05-08 TW TW91109620A patent/TWI252857B/en not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI252857B (en) | 2006-04-11 |
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