JP2002218680A - エネルギー送受信システム及び方法並びにそれに用いられる受信機 - Google Patents
エネルギー送受信システム及び方法並びにそれに用いられる受信機Info
- Publication number
- JP2002218680A JP2002218680A JP2001008357A JP2001008357A JP2002218680A JP 2002218680 A JP2002218680 A JP 2002218680A JP 2001008357 A JP2001008357 A JP 2001008357A JP 2001008357 A JP2001008357 A JP 2001008357A JP 2002218680 A JP2002218680 A JP 2002218680A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- energy
- actuator
- receiving
- electromagnetic waves
- frequencies
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Transmitters (AREA)
- Circuits Of Receivers In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 エネルギー送受信システムの設計を容易にす
るとともに、システム全体を比較的小さくする。 【解決手段】 送信機１は、所定のエネルギーを有する
Ｎ個（Ｎを整数とする。）の周波数の電磁波を発生させ
る。受信機２は、Ｎ個の周波数のうちの対応する周波数
の電磁波をそれぞれ受信して、エネルギーに変換するＮ
個の受信及び変換部２−１，２−２，．．．，２−Ｎを
有する。
るとともに、システム全体を比較的小さくする。 【解決手段】 送信機１は、所定のエネルギーを有する
Ｎ個（Ｎを整数とする。）の周波数の電磁波を発生させ
る。受信機２は、Ｎ個の周波数のうちの対応する周波数
の電磁波をそれぞれ受信して、エネルギーに変換するＮ
個の受信及び変換部２−１，２−２，．．．，２−Ｎを
有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばアクチュエ
ータアレイを有するデバイスに利用され、無線によって
エネルギーのやりとりを選択的に行うエネルギー送受信
システム及び方法並びにそれに用いられる受信機に関す
るものである。
ータアレイを有するデバイスに利用され、無線によって
エネルギーのやりとりを選択的に行うエネルギー送受信
システム及び方法並びにそれに用いられる受信機に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、デバイス上のアクチュエータアレ
イのように複数のパーツにエネルギーを供給するに当た
り、個々のアクチューエータにそれぞれ電源からの配線
をお粉っている。
イのように複数のパーツにエネルギーを供給するに当た
り、個々のアクチューエータにそれぞれ電源からの配線
をお粉っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、パーツ
の個数が多くなるに従って配線の数も多くなり、その結
果、これらの配線が交差しないように配置することは、
設計上極めて困難である。
の個数が多くなるに従って配線の数も多くなり、その結
果、これらの配線が交差しないように配置することは、
設計上極めて困難である。
【０００４】また、これらの配線に接続される電源は、
アクチュエータに比べて大きく、結果的にシステム全体
が比較的大きくなっているのが現状である。
アクチュエータに比べて大きく、結果的にシステム全体
が比較的大きくなっているのが現状である。
【０００５】本発明の目的は、設計が容易であるととも
にシステム全体を比較的小さくすることができるエネル
ギー送受信システム及び方法並びにそれに用いられる受
信機を提供することである。
にシステム全体を比較的小さくすることができるエネル
ギー送受信システム及び方法並びにそれに用いられる受
信機を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によるエネルギー
送受信システムは、所定のエネルギーを有する複数の周
波数の電磁波を発生させる送信機と、前記複数の周波数
のうちの対応する周波数の電磁波をそれぞれ受信して、
エネルギーに変換する複数の受信及び変換部を有する受
信機とを具え、これら受信及び変換部がそれぞれ、前記
対応する周波数の共振周波数を有し、前記エネルギーを
出力する回路と、その回路から出力されるエネルギーに
よって駆動されるパーツとを有することを特徴とするも
のである。
送受信システムは、所定のエネルギーを有する複数の周
波数の電磁波を発生させる送信機と、前記複数の周波数
のうちの対応する周波数の電磁波をそれぞれ受信して、
エネルギーに変換する複数の受信及び変換部を有する受
信機とを具え、これら受信及び変換部がそれぞれ、前記
対応する周波数の共振周波数を有し、前記エネルギーを
出力する回路と、その回路から出力されるエネルギーに
よって駆動されるパーツとを有することを特徴とするも
のである。
【０００７】本発明によれば、エネルギーを電磁波すな
わち無線によってやりとりしているので、パーツに配線
を行う必要がなくなり、システムの設計の自由度が向上
する。また、配線を通じて電源をパーツに接続する必要
がないので、システム全体を比較的小さくすることがで
きる。
わち無線によってやりとりしているので、パーツに配線
を行う必要がなくなり、システムの設計の自由度が向上
する。また、配線を通じて電源をパーツに接続する必要
がないので、システム全体を比較的小さくすることがで
きる。
【０００８】例えば、前記回路は、平面コイル又は立体
コイルを有する。これらのコイルを、半導体加工技術、
特にフォトリソグラフィー技術を用いて形成することが
できる。なお、めっき技術を用いることによって、低抵
抗かつ高インダクタンスのコイルを構成することができ
る。
コイルを有する。これらのコイルを、半導体加工技術、
特にフォトリソグラフィー技術を用いて形成することが
できる。なお、めっき技術を用いることによって、低抵
抗かつ高インダクタンスのコイルを構成することができ
る。
【０００９】前記パーツをアクチュエータとすることが
でき、前記アクチュエータを、静電アクチュエータ（例
えば櫛型アクチュエータ）、ピエゾアクチュエータ又は
形状記憶合金アクチュエータとする。
でき、前記アクチュエータを、静電アクチュエータ（例
えば櫛型アクチュエータ）、ピエゾアクチュエータ又は
形状記憶合金アクチュエータとする。
【００１０】前記アクチュエータがミラーを有してもよ
い。この場合、配線なしでミラーを動かす、すなわち、
ミラーの角度を変えて光の反射を制御することができる
ので、本発明を画像表示装置に適用することができる。
い。この場合、配線なしでミラーを動かす、すなわち、
ミラーの角度を変えて光の反射を制御することができる
ので、本発明を画像表示装置に適用することができる。
【００１１】前記パーツを、ＮｉＦｅのような渦電流を
発生させる材料を含むヒータとすることもできる。この
場合、電磁誘導加熱を選択的に行うことができ、すなわ
ち、ヒータを選択的に発熱させることができる。
発生させる材料を含むヒータとすることもできる。この
場合、電磁誘導加熱を選択的に行うことができ、すなわ
ち、ヒータを選択的に発熱させることができる。
【００１２】前記パーツを、静電マイクロモータのよう
なモータとすることもできる。この場合、各ステータに
選択的にエネルギーを供給することによって、モータを
駆動させる。
なモータとすることもできる。この場合、各ステータに
選択的にエネルギーを供給することによって、モータを
駆動させる。
【００１３】本発明によるエネルギー送受信方法は、所
定のエネルギーを有する複数の周波数の電磁波を発生さ
せるステップと、前記複数の周波数のうちの対応する周
波数の電磁波をそれぞれ受信するステップと、前記電磁
波をそれぞれエネルギーに変換し、対応するパーツをそ
れぞれ駆動させるステップとを具えることを特徴とする
ものである。
定のエネルギーを有する複数の周波数の電磁波を発生さ
せるステップと、前記複数の周波数のうちの対応する周
波数の電磁波をそれぞれ受信するステップと、前記電磁
波をそれぞれエネルギーに変換し、対応するパーツをそ
れぞれ駆動させるステップとを具えることを特徴とする
ものである。
【００１４】本発明によれば、システムの設計の自由度
が向上するとともに、システム全体を比較的小さくする
ことができる。
が向上するとともに、システム全体を比較的小さくする
ことができる。
【００１５】本発明による受信機は、所定のエネルギー
を有する複数の周波数のうちの対応する周波数の電磁波
をそれぞれ受信して、エネルギーに変換する複数の受信
及び変換部を具え、これら受信及び変換部がそれぞれ、
前記対応する周波数の共振周波数を有し、前記エネルギ
ーを出力する回路と、その回路から出力されるエネルギ
ーによって駆動されるパーツとを有することを特徴とす
るものである。
を有する複数の周波数のうちの対応する周波数の電磁波
をそれぞれ受信して、エネルギーに変換する複数の受信
及び変換部を具え、これら受信及び変換部がそれぞれ、
前記対応する周波数の共振周波数を有し、前記エネルギ
ーを出力する回路と、その回路から出力されるエネルギ
ーによって駆動されるパーツとを有することを特徴とす
るものである。
【００１６】本発明によれば、システムの設計の自由度
が向上するとともに、システム全体を比較的小さくする
ことができる。
が向上するとともに、システム全体を比較的小さくする
ことができる。
【００１７】例えば、前記回路は、平面コイル又は立体
コイルを有する。これらのコイルを、半導体加工技術、
特にフォトリソグラフィー技術を用いて形成することが
できる。なお、めっき技術を用いることによって、低抵
抗かつ高インダクタンスのコイルを構成することができ
る。
コイルを有する。これらのコイルを、半導体加工技術、
特にフォトリソグラフィー技術を用いて形成することが
できる。なお、めっき技術を用いることによって、低抵
抗かつ高インダクタンスのコイルを構成することができ
る。
【００１８】前記パーツをアクチュエータとすることが
でき、前記アクチュエータを、静電アクチュエータ（例
えば櫛型アクチュエータ）、ピエゾアクチュエータ又は
形状記憶合金アクチュエータとする。
でき、前記アクチュエータを、静電アクチュエータ（例
えば櫛型アクチュエータ）、ピエゾアクチュエータ又は
形状記憶合金アクチュエータとする。
【００１９】前記アクチュエータがミラーを有してもよ
い。この場合、配線なしでミラーを動かす、すなわち、
ミラーの角度を変えて光の反射を制御することができる
ので、本発明を画像表示装置に適用することができる。
い。この場合、配線なしでミラーを動かす、すなわち、
ミラーの角度を変えて光の反射を制御することができる
ので、本発明を画像表示装置に適用することができる。
【００２０】前記パーツを、ＮｉＦｅのような渦電流を
発生させる材料を含むヒータとすることもできる。この
場合、電磁誘導加熱を選択的に行うことができ、すなわ
ち、ヒータを選択的に発熱させることができる。
発生させる材料を含むヒータとすることもできる。この
場合、電磁誘導加熱を選択的に行うことができ、すなわ
ち、ヒータを選択的に発熱させることができる。
【００２１】前記パーツを、静電マイクロモータのよう
なモータとすることもできる。この場合、各ステータに
選択的にエネルギーを供給することによって、モータを
駆動させる。
なモータとすることもできる。この場合、各ステータに
選択的にエネルギーを供給することによって、モータを
駆動させる。
【００２２】
【発明の実施の形態】本発明によるエネルギー送受信シ
ステム及び方法並びにそれに用いられる受信機の実施の
形態を、図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発
明によるエネルギー送受信システムを示す図である。こ
のエネルギー送受信システムは、所定のエネルギーを有
するＮ個（Ｎを整数とする。）の周波数の電磁波を発生
させる送信機１と、Ｎ個の周波数のうちの対応する周波
数の電磁波をそれぞれ受信して、エネルギーに変換する
Ｎ個の受信及び変換部２−１，２−２，．．．，２−Ｎ
を有する受信機２とを具える。
ステム及び方法並びにそれに用いられる受信機の実施の
形態を、図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発
明によるエネルギー送受信システムを示す図である。こ
のエネルギー送受信システムは、所定のエネルギーを有
するＮ個（Ｎを整数とする。）の周波数の電磁波を発生
させる送信機１と、Ｎ個の周波数のうちの対応する周波
数の電磁波をそれぞれ受信して、エネルギーに変換する
Ｎ個の受信及び変換部２−１，２−２，．．．，２−Ｎ
を有する受信機２とを具える。
【００２３】送信機１は、交流電源１１と、その一端に
接続された可変コンデンサ１２と、これら交流電源１１
及び可変コンデンサ１２に並列接続したコイル１３とを
有する。本実施の形態では、可変コンデンサ１２の可変
容量をＣｔとするとともに、コイル１３のインダクタン
スをＬｔとする。
接続された可変コンデンサ１２と、これら交流電源１１
及び可変コンデンサ１２に並列接続したコイル１３とを
有する。本実施の形態では、可変コンデンサ１２の可変
容量をＣｔとするとともに、コイル１３のインダクタン
スをＬｔとする。
【００２４】受信及び変換部２−１，２−２，．．．，
２−Ｎは、コイル２１ａ−１，２１ａ−２，．．．２１
ａ−Ｎ及びそれに並列に接続したコンデンサ２１ｂ−
１，２１ｂ−２，．．．２１ｂ−Ｎを有するＬＣ回路２
１−１，２１−２，．．．２１−Ｎと、アクチュエータ
２２−１，２２−２，．．．２２−Ｎと、ダイオード２
３−１，２３−２，．．．２３−Ｎとを有する。これら
ＬＣ回路２１−１，２１−２，．．．２１−Ｎ、アクチ
ュエータ２２−１，２２−２，．．．２２−Ｎ及びダイ
オード２３−１，２３−２，．．．２３−Ｎを、後に説
明するように従来の半導体技術でシリコンウェファ上に
形成することができる。
２−Ｎは、コイル２１ａ−１，２１ａ−２，．．．２１
ａ−Ｎ及びそれに並列に接続したコンデンサ２１ｂ−
１，２１ｂ−２，．．．２１ｂ−Ｎを有するＬＣ回路２
１−１，２１−２，．．．２１−Ｎと、アクチュエータ
２２−１，２２−２，．．．２２−Ｎと、ダイオード２
３−１，２３−２，．．．２３−Ｎとを有する。これら
ＬＣ回路２１−１，２１−２，．．．２１−Ｎ、アクチ
ュエータ２２−１，２２−２，．．．２２−Ｎ及びダイ
オード２３−１，２３−２，．．．２３−Ｎを、後に説
明するように従来の半導体技術でシリコンウェファ上に
形成することができる。
【００２５】本実施の形態では、コイル２１ａ−１，２
１ａ−２，．．．２１ａ−Ｎのインダクタンスをそれぞ
れ、Ｌｒ１，Ｌｒ２，．．．ＬｒＮとする。なお、これ
らインダクタンスは、Ｌｒ１＜Ｌｒ２＜．．．＜ＬｒＮ
の関係を有する。また、コンデンサ２１ｂ−１，２１ｂ
−２，．．．２１ｂ−Ｎの容量をそれぞれＣｒ１，Ｃｒ
２，．．．ＣｒＮとする。これらの容量は、Ｃｒ１＜Ｃ
ｒ２＜．．．＜ＣｒＮの関係を有する。
１ａ−２，．．．２１ａ−Ｎのインダクタンスをそれぞ
れ、Ｌｒ１，Ｌｒ２，．．．ＬｒＮとする。なお、これ
らインダクタンスは、Ｌｒ１＜Ｌｒ２＜．．．＜ＬｒＮ
の関係を有する。また、コンデンサ２１ｂ−１，２１ｂ
−２，．．．２１ｂ−Ｎの容量をそれぞれＣｒ１，Ｃｒ
２，．．．ＣｒＮとする。これらの容量は、Ｃｒ１＜Ｃ
ｒ２＜．．．＜ＣｒＮの関係を有する。
【００２６】その結果、送信機１から発生した電磁波の
周波数をＬＣ回路２１−１，２１−２，．．．２１−Ｎ
の共振周波数にそれぞれ一致させるために、可変容量Ｃ
ｔは、Ｃｒ１・Ｌｒ１／ＬｔとＣｒＮ・ＬｒＮ／Ｌｔと
の間で変化する。
周波数をＬＣ回路２１−１，２１−２，．．．２１−Ｎ
の共振周波数にそれぞれ一致させるために、可変容量Ｃ
ｔは、Ｃｒ１・Ｌｒ１／ＬｔとＣｒＮ・ＬｒＮ／Ｌｔと
の間で変化する。
【００２７】コイル２１ａ−１，２１ａ−２，．．．２
１ａ−Ｎとして、図２に示すような立体コイル又は図３
に示すような平面コイルを使用する。これらのコイル
を、半導体加工技術、特にフォトリソグラフィー技術を
用いて形成することができる。なお、めっき技術を用い
ることによって、低抵抗かつ高インダクタンスのコイル
を構成することができる。
１ａ−Ｎとして、図２に示すような立体コイル又は図３
に示すような平面コイルを使用する。これらのコイル
を、半導体加工技術、特にフォトリソグラフィー技術を
用いて形成することができる。なお、めっき技術を用い
ることによって、低抵抗かつ高インダクタンスのコイル
を構成することができる。
【００２８】立体コイルの場合、コイルの展開図を平面
状にパターニングし（図２Ａ）、立体にしたときにコイ
ルになるように折り曲げることによって（図２Ｂ）、立
体コイルを形成することができる。このように、平面か
らの折り曲げ技術を用いることによって、微小かつ高イ
ンダクタンスのコイルを形成することができる。
状にパターニングし（図２Ａ）、立体にしたときにコイ
ルになるように折り曲げることによって（図２Ｂ）、立
体コイルを形成することができる。このように、平面か
らの折り曲げ技術を用いることによって、微小かつ高イ
ンダクタンスのコイルを形成することができる。
【００２９】平面コイルの場合、図３に示すように、平
面コイル３１を、折り曲げ機構３２を用いて基板３３上
に形成する。これによって、コイルのＱ値（quality fa
ctor）を高めるとともに、各アクチュエータへのエネル
ギー供給の選択性を高めることができる。折り曲げ機構
３２として、ポリイミドを用いたヒンジ構造などが有効
である。組立に当たり、折り曲げ機構３２のヒンジ部に
半田のような低温で溶融する材料をパターニングし、こ
れを溶融させることによって発生する表面張力を利用し
て、自己組立的に平面コイル３１を基板３３から離す。
面コイル３１を、折り曲げ機構３２を用いて基板３３上
に形成する。これによって、コイルのＱ値（quality fa
ctor）を高めるとともに、各アクチュエータへのエネル
ギー供給の選択性を高めることができる。折り曲げ機構
３２として、ポリイミドを用いたヒンジ構造などが有効
である。組立に当たり、折り曲げ機構３２のヒンジ部に
半田のような低温で溶融する材料をパターニングし、こ
れを溶融させることによって発生する表面張力を利用し
て、自己組立的に平面コイル３１を基板３３から離す。
【００３０】アクチュエータ２２−１，２２−
２，．．．２２−Ｎを、静電アクチュエータ（例えば櫛
型アクチュエータ）、ピエゾアクチュエータ又は形状記
憶合金アクチュエータとする。
２，．．．２２−Ｎを、静電アクチュエータ（例えば櫛
型アクチュエータ）、ピエゾアクチュエータ又は形状記
憶合金アクチュエータとする。
【００３１】本実施の形態の動作を説明する。送信機１
は、可変コンデンサ１２の可変容量を調整することによ
って、ＬＣ回路２１−１，２１−２，．．．２１−Ｎの
うちの対応する共振周波数を有するとともに所定のエネ
ルギーを有する電磁波を発生させる。なお、電磁波が有
するエネルギーの量は、コイル１３に供給される電流の
大きさ、周波数、送信機１と受信機２との間の距離等に
よって決定される。
は、可変コンデンサ１２の可変容量を調整することによ
って、ＬＣ回路２１−１，２１−２，．．．２１−Ｎの
うちの対応する共振周波数を有するとともに所定のエネ
ルギーを有する電磁波を発生させる。なお、電磁波が有
するエネルギーの量は、コイル１３に供給される電流の
大きさ、周波数、送信機１と受信機２との間の距離等に
よって決定される。
【００３２】発生した電磁波は、対応する共振周波数を
有するＬＣ回路２１−１，２１−２，．．．２１−Ｎに
供給され、対応するアクチュエータ２２−１，２２−
２，．．．２２−Ｎは、ＬＣ回路２１−１，２１−
２，．．．２１−Ｎから出力されるエネルギーによって
駆動される。
有するＬＣ回路２１−１，２１−２，．．．２１−Ｎに
供給され、対応するアクチュエータ２２−１，２２−
２，．．．２２−Ｎは、ＬＣ回路２１−１，２１−
２，．．．２１−Ｎから出力されるエネルギーによって
駆動される。
【００３３】本実施の形態によれば、コイル１３とコイ
ル２１ａ−１，２１ａ−２，．．．２１ａ−Ｎとの間の
誘導結合を利用してエネルギーをやりとりしているの
で、アクチュエータ２２−１，２２−２，．．．２２−
Ｎに配線を行う必要がなくなり、システムの設計の自由
度が向上する。また、配線を通じて交流電源１１をパー
ツに接続する必要がないので、システム全体を比較的小
さくすることができる。
ル２１ａ−１，２１ａ−２，．．．２１ａ−Ｎとの間の
誘導結合を利用してエネルギーをやりとりしているの
で、アクチュエータ２２−１，２２−２，．．．２２−
Ｎに配線を行う必要がなくなり、システムの設計の自由
度が向上する。また、配線を通じて交流電源１１をパー
ツに接続する必要がないので、システム全体を比較的小
さくすることができる。
【００３４】図４は、本発明によるエネルギー送受信シ
ステムの受信機の製造工程を説明するための図である。
エネルギー送受信システムを製造するに当たり、先ず、
厚さが５５０μｍの基板４１ａ、その上に堆積された厚
さが３．０μｍのＳｉＯ２層４１ｂ及びその上に堆積さ
れた厚さが５．５μｍの単結晶層４１ｃからなるＳＯＩ
４１を用意する（図４Ａ）。
ステムの受信機の製造工程を説明するための図である。
エネルギー送受信システムを製造するに当たり、先ず、
厚さが５５０μｍの基板４１ａ、その上に堆積された厚
さが３．０μｍのＳｉＯ２層４１ｂ及びその上に堆積さ
れた厚さが５．５μｍの単結晶層４１ｃからなるＳＯＩ
４１を用意する（図４Ａ）。
【００３５】次に、静電アクチュエータ４２を形成する
ために反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）を行い（図４
Ｂ）、ポリイミド４３のスピンコーティング及びパター
ニングを行う（図４Ｃ）。最後に、厚さが５μｍのＣｕ
をスパッタリング及びパターニングすることによって受
信コイル４４を形成し（図４Ｄ）、アクチュエータ４２
をＳＯＩ４１から分離する（図４Ｅ）。
ために反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）を行い（図４
Ｂ）、ポリイミド４３のスピンコーティング及びパター
ニングを行う（図４Ｃ）。最後に、厚さが５μｍのＣｕ
をスパッタリング及びパターニングすることによって受
信コイル４４を形成し（図４Ｄ）、アクチュエータ４２
をＳＯＩ４１から分離する（図４Ｅ）。
【００３６】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例え
ば、アクチュエータとして、基板と絶縁層を介した薄膜
に曲率を与え、基板とこの薄膜に電圧をかけることによ
って薄膜が基板に密着し又は離れる静電フラップアクチ
ュエータアレイとすることができる。また、静電マイク
ロアクチュエータ、ピエゾマイクロアクチュエータ、形
状記憶合金マイクロアクチュエータ等のマイクロアクチ
ュエータをパーツとして使用することもできる。
のではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例え
ば、アクチュエータとして、基板と絶縁層を介した薄膜
に曲率を与え、基板とこの薄膜に電圧をかけることによ
って薄膜が基板に密着し又は離れる静電フラップアクチ
ュエータアレイとすることができる。また、静電マイク
ロアクチュエータ、ピエゾマイクロアクチュエータ、形
状記憶合金マイクロアクチュエータ等のマイクロアクチ
ュエータをパーツとして使用することもできる。
【００３７】上記実施の形態において設定した容量及び
インダクタンスを、所望に応じて任意に変更することが
できる。
インダクタンスを、所望に応じて任意に変更することが
できる。
【００３８】また、アクチュエータがミラーを有しても
よい。この場合、配線なしでミラーを動かす、すなわ
ち、ミラーの角度を変えて光の反射を制御することがで
きるので、本発明を画像表示装置に適用することができ
る。
よい。この場合、配線なしでミラーを動かす、すなわ
ち、ミラーの角度を変えて光の反射を制御することがで
きるので、本発明を画像表示装置に適用することができ
る。
【００３９】アクチュエータの代わりに、ＮｉＦｅのよ
うな渦電流を発生させる材料を含むヒータとすることも
できる。この場合、電磁誘導加熱を選択的に行うことが
でき、すなわち、ヒータを選択的に発熱させることがで
きる。
うな渦電流を発生させる材料を含むヒータとすることも
できる。この場合、電磁誘導加熱を選択的に行うことが
でき、すなわち、ヒータを選択的に発熱させることがで
きる。
【００４０】アクチュエータを、静電マイクロモータの
ようなモータとすることもできる。この場合、各ステー
タに選択的にエネルギーを供給することによって、モー
タを駆動させる。
ようなモータとすることもできる。この場合、各ステー
タに選択的にエネルギーを供給することによって、モー
タを駆動させる。
【図１】 本発明によるエネルギー送受信システムを示
す図である。
す図である。
【図２】 立面コイルを示す図である。
【図３】 平体コイルを示す図である。
【図４】 本発明によるエネルギー送受信システムの受
信機の製造工程を説明するための図である。
信機の製造工程を説明するための図である。
１ 送信機 ２ 受信機 ２−１，２−２，．．．，２−Ｎ 受信及び変換部 １１ 交流電源 １２ 可変コンデンサ １３，２１ａ−１，２１ａ−２，．．．２１ａ−Ｎ コ
イル ２１−１，２１−２，．．．２１−Ｎ ＬＣ回路 ２１ｂ−１，２１ｂ−２，．．．２１ｂ−Ｎ コンデン
サ ２２−１，２２−２，．．．２２−Ｎ アクチュエータ ２３−１，２３−２，．．．２３−Ｎ ダイオード ３１ 平面コイル ３２ 折り曲げ機構 ３３，４１ａ 基板 ４１ ＳＯＩ ４１ｂ ＳｉＯ２層 ４１ｃ 単結晶層 ４２ 静電アクチュエータ ４３ ポリイミド ４４ 受信コイル
イル ２１−１，２１−２，．．．２１−Ｎ ＬＣ回路 ２１ｂ−１，２１ｂ−２，．．．２１ｂ−Ｎ コンデン
サ ２２−１，２２−２，．．．２２−Ｎ アクチュエータ ２３−１，２３−２，．．．２３−Ｎ ダイオード ３１ 平面コイル ３２ 折り曲げ機構 ３３，４１ａ 基板 ４１ ＳＯＩ ４１ｂ ＳｉＯ２層 ４１ｃ 単結晶層 ４２ 静電アクチュエータ ４３ ポリイミド ４４ 受信コイル
Claims (15)
- 【請求項１】 所定のエネルギーを有する複数の周波数
の電磁波を発生させる送信機と、 前記複数の周波数のうちの対応する周波数の電磁波をそ
れぞれ受信して、エネルギーに変換する複数の受信及び
変換部を有する受信機とを具え、 これら受信及び変換部がそれぞれ、 前記対応する周波数の共振周波数を有し、前記エネルギ
ーを出力する回路と、 その回路から出力されるエネルギーによって駆動される
パーツとを有することを特徴とするエネルギー送受信シ
ステム。 - 【請求項２】 前記回路が平面コイル又は立体コイルを
有することを特徴とする請求項１記載のエネルギー送受
信システム。 - 【請求項３】 前記パーツをアクチュエータとしたこと
を特徴とする請求項１又は２記載のエネルギー送受信シ
ステム。 - 【請求項４】 前記アクチュエータを、静電アクチュエ
ータ、ピエゾアクチュエータ又は形状記憶合金アクチュ
エータとしたことを特徴とする請求項３記載のエネルギ
ー送受信システム。 - 【請求項５】 前記アクチュエータがミラーを有するこ
とを特徴とする請求項３又は４記載のエネルギー送受信
システム。 - 【請求項６】 前記パーツを、渦電流を発生させる材料
を含むヒータとしたことを特徴とする請求項１又は２記
載のエネルギー送受信システム。 - 【請求項７】 前記パーツをモータとしたことを特徴と
する請求項１又は２記載のエネルギー送受信システム。 - 【請求項８】 所定のエネルギーを有する複数の周波数
の電磁波を発生させるステップと、 前記複数の周波数のうちの対応する周波数の電磁波をそ
れぞれ受信するステップと、 前記電磁波をそれぞれエネルギーに変換し、対応するパ
ーツをそれぞれ駆動させるステップとを具えることを特
徴とするエネルギー送受信方法。 - 【請求項９】 所定のエネルギーを有する複数の周波数
のうちの対応する周波数の電磁波をそれぞれ受信して、
エネルギーに変換する複数の受信及び変換部を具え、 これら受信及び変換部がそれぞれ、 前記対応する周波数の共振周波数を有し、前記エネルギ
ーを出力する回路と、 その回路から出力されるエネルギーによって駆動される
パーツとを有することを特徴とする受信機。 - 【請求項１０】 前記回路が平面コイル又は立体コイル
を有することを特徴とする請求項９記載の受信機。 - 【請求項１１】 前記パーツをアクチュエータとしたこ
とを特徴とする請求項９又は１０記載の受信機。 - 【請求項１２】 前記アクチュエータを、静電アクチュ
エータ、ピエゾアクチュエータ又は形状記憶合金アクチ
ュエータとしたことを特徴とする請求項１１記載の受信
機。 - 【請求項１３】 前記パーツがミラーを有することを特
徴とする請求項１１又は１２記載の受信機。 - 【請求項１４】 前記パーツを、渦電流を発生させる材
料を含むヒータとしたことを特徴とする請求項９又は１
０記載の受信機。 - 【請求項１５】 前記パーツをモータとしたことを特徴
とする請求項９又は１０記載の受信機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001008357A JP3472825B2 (ja) | 2001-01-17 | 2001-01-17 | エネルギー送受信システム及びそれに用いられる受信機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001008357A JP3472825B2 (ja) | 2001-01-17 | 2001-01-17 | エネルギー送受信システム及びそれに用いられる受信機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002218680A true JP2002218680A (ja) | 2002-08-02 |
| JP3472825B2 JP3472825B2 (ja) | 2003-12-02 |
Family
ID=18875989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001008357A Expired - Lifetime JP3472825B2 (ja) | 2001-01-17 | 2001-01-17 | エネルギー送受信システム及びそれに用いられる受信機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3472825B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008043125A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Wakayama Univ | 磁場を用いた機械の遠隔制御方法 |
| JP2009268181A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Olympus Corp | エネルギー供給装置 |
| WO2012164844A1 (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-06 | 株式会社アドバンテスト | ワイヤレス給電装置およびワイヤレス給電システム |
| KR101251436B1 (ko) * | 2009-03-30 | 2013-04-05 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 무선 전력 공급 시스템, 무선 송전 장치, 및 무선 수전 장치 |
| US8896170B2 (en) | 2009-05-25 | 2014-11-25 | Spal Automotive S.R.L. | Electric machine and method for manufacturing it |
| KR101757298B1 (ko) * | 2010-08-19 | 2017-07-12 | 엘지전자 주식회사 | 무선 전력 전송 방법 및 장치 |
| JP2022000191A (ja) * | 2016-07-22 | 2022-01-04 | 大塚製薬株式会社 | 摂取可能なイベント・マーカの電磁気的感知および検出 |
-
2001
- 2001-01-17 JP JP2001008357A patent/JP3472825B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008043125A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Wakayama Univ | 磁場を用いた機械の遠隔制御方法 |
| JP2009268181A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Olympus Corp | エネルギー供給装置 |
| KR101251436B1 (ko) * | 2009-03-30 | 2013-04-05 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 무선 전력 공급 시스템, 무선 송전 장치, 및 무선 수전 장치 |
| US8933583B2 (en) | 2009-03-30 | 2015-01-13 | Fujitsu Limited | Wireless power supply system, wireless power transmitting device, and wireless power receiving device |
| US9837828B2 (en) | 2009-03-30 | 2017-12-05 | Fujitsu Limited | Wireless power supply system, wireless power transmitting device, and wireless power receiving device |
| US8896170B2 (en) | 2009-05-25 | 2014-11-25 | Spal Automotive S.R.L. | Electric machine and method for manufacturing it |
| KR101757298B1 (ko) * | 2010-08-19 | 2017-07-12 | 엘지전자 주식회사 | 무선 전력 전송 방법 및 장치 |
| WO2012164844A1 (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-06 | 株式会社アドバンテスト | ワイヤレス給電装置およびワイヤレス給電システム |
| JP2022000191A (ja) * | 2016-07-22 | 2022-01-04 | 大塚製薬株式会社 | 摂取可能なイベント・マーカの電磁気的感知および検出 |
| JP7331055B2 (ja) | 2016-07-22 | 2023-08-22 | 大塚製薬株式会社 | 摂取可能なイベント・マーカの電磁気的感知および検出 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3472825B2 (ja) | 2003-12-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6989921B2 (en) | Magnetically actuated micro-electro-mechanical apparatus and method of manufacture | |
| US7215061B2 (en) | Micromechanical electrostatic resonator | |
| US6388789B1 (en) | Multi-axis magnetically actuated device | |
| US6781279B2 (en) | Micro-actuator with interdigitated combs perpendicular to a base | |
| JP5705857B2 (ja) | 微小コイル装置およびその製作方法 | |
| JP2004320784A (ja) | 基板接合を利用して製造されたエアギャップ型ｆｂａｒおよびデュプレクサとその製造方法 | |
| EP1139553A2 (en) | Electrostatic actuator and method of driving the same | |
| WO2009005157A1 (en) | Oscillator device and method of manufacturing the same | |
| CN102859862B (zh) | 振动发电器件 | |
| JP2004111452A (ja) | 可変インダクタおよびそのインダクタンス調整方法 | |
| CN103282819B (zh) | 可磁驱动的微镜 | |
| JP3472825B2 (ja) | エネルギー送受信システム及びそれに用いられる受信機 | |
| JP2009219342A (ja) | 振動電流変換装置 | |
| US20170141668A1 (en) | Chip-scale electromagnetic vibrational energy harvester | |
| CN102118095A (zh) | 一种能量采集装置、以及用于能量采集的振动装置和制造方法 | |
| CN111847374A (zh) | 用于生成甚低频信号的信号发射元及制作方法 | |
| US20240130240A1 (en) | Micro electro mechanical system and manufacturing method thereof | |
| Han et al. | Energy scavenging from low frequency vibrations through a multi-pole thin magnet and a high-aspect-ratio array coil | |
| JPH0990249A (ja) | 光偏向子及びその製造方法 | |
| JP3003670B2 (ja) | マイクロアクチュエータとその製造方法 | |
| KR100828846B1 (ko) | 압전 트랜스 및 그 제조 방법 | |
| JP2005099063A (ja) | 偏向アクチュエータ、光走査素子、及び受光走査素子 | |
| US20040257672A1 (en) | Micro actuator for controlling focal depth | |
| KR100492772B1 (ko) | ２ 자유도 스캐닝 미러 및 그 제조 방법 | |
| JP7481821B2 (ja) | 光学デバイス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3472825 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313114 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080919 Year of fee payment: 5 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090919 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100919 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100919 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110919 Year of fee payment: 8 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110919 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120919 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120919 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130919 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |