JP2002197646A - Disk surface inspection apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、浮上スライダーが
ディスク面の突起又はディスク面上の潤滑膜に接触した
ことを検出するディスク表面検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disk surface inspection apparatus for detecting that a flying slider has contacted a protrusion on a disk surface or a lubricating film on the disk surface.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図７は、特公平６−８０５５７号公報に
開示されている従来のディスク表面検査装置の概略を示
す。2. Description of the Related Art FIG. 7 schematically shows a conventional disk surface inspection apparatus disclosed in Japanese Patent Publication No. 6-80557.
【０００３】磁気ディスク１０は、軸１１を介してスピ
ンドルモータ１２により回転駆動される。磁気ディスク
１０の上方には、スライダー１３が対向して配置されて
いる。このスライダー１３は、板ばね１４の先端部に固
定され、板ばね１４の基端部は、アーム１５の先端部に
固定されている。アーム１５はアクチュエータ１６によ
り、磁気ディスク１０の半径方向及び法線方向に駆動可
能となっている。The magnetic disk 10 is driven to rotate by a spindle motor 12 via a shaft 11. A slider 13 is arranged above the magnetic disk 10 so as to face each other. The slider 13 is fixed to a distal end of a leaf spring 14, and a base end of the leaf spring 14 is fixed to a distal end of an arm 15. The arm 15 can be driven by an actuator 16 in the radial direction and the normal direction of the magnetic disk 10.
【０００４】スライダー１３又は板ばね１４には、圧電
素子を用いた振動センサ２０が固着されている。振動セ
ンサ２０の出力は、増幅回路２１で増幅される。[0004] A vibration sensor 20 using a piezoelectric element is fixed to the slider 13 or the leaf spring 14. The output of the vibration sensor 20 is amplified by the amplifier circuit 21.
【０００５】回転している磁気ディスク１０に対し、板
ばね１４の弾性力に抗してスライダー１３を磁気ディス
ク１０側へ所定高さまで接近させる。この時、板ばね１
４の弾性力と、空気流による揚力とが釣り合っている。
記録密度を高くするためには、スライダー１３の浮上高
さを低くする必要があり、スライダー１３が磁気ディス
ク１０の面の突起と接触（衝突）することがある。この
接触により、スライダー１３が弾性変形して共振し、弾
性波が生ずる。その振動数は、スライダー１３の形状及
び材質により定まり、通常、２００〜８００ｋＨｚ程度
である。The slider 13 is moved closer to the magnetic disk 10 to a predetermined height against the rotating magnetic disk 10 against the elastic force of the leaf spring 14. At this time, the leaf spring 1
4 and the lift by the air flow are balanced.
In order to increase the recording density, the flying height of the slider 13 needs to be reduced, and the slider 13 may come into contact with (collide with) a projection on the surface of the magnetic disk 10. This contact causes the slider 13 to elastically deform and resonate, generating an elastic wave. The frequency is determined by the shape and the material of the slider 13, and is usually about 200 to 800 kHz.
【０００６】しかし、浮上しているスライダー１３は、
空気膜の振動によって微小振動しているため、増幅回路
２１の出力には、この振動がノイズとして含まれ、突起
検出精度が低くなる原因となる。However, the slider 13 that is floating is
Since the minute vibration is caused by the vibration of the air film, the vibration is included in the output of the amplifier circuit 21 as noise, which causes a reduction in the protrusion detection accuracy.
【０００７】そこで、増幅回路２１の出力をバンドパス
フィルタ２２に通すことにより、機械的振動ノイズを除
去した信号Ｓ１を取得し、突起接触判定回路２３によ
り、信号Ｓ１の振幅が所定値以上の時、スライダー１３
が磁気ディスク１０の面の突起と接触したと判定してい
た。Therefore, the output of the amplifier circuit 21 is passed through a band-pass filter 22 to obtain a signal S1 from which mechanical vibration noise has been removed. The protrusion contact determination circuit 23 determines when the amplitude of the signal S1 is greater than or equal to a predetermined value. , Slider 13
Was determined to have contacted the protrusion on the surface of the magnetic disk 10.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】磁気ディスク１０上に
は、スライダー１３との接触によるクラッシュを防止す
るために、潤滑膜が塗布されている。しかし、磁気ディ
スク１０の記録密度向上のためにスライダー１３の浮上
高さを低くすると、スライダー１３が磁気ディスク１０
の面の突起に接触しなくても、突起上又は異物上の潤滑
膜に接触し易くなる。接触によりスライダー１３に潤滑
剤が付着すると、スライダー１３に異物が付着し易くな
り、スライダー１３の浮上力が低下して磁気ディスク１
０の面の突起と接触し易くなる。A lubricating film is applied on the magnetic disk 10 in order to prevent a crash caused by contact with the slider 13. However, if the flying height of the slider 13 is reduced in order to improve the recording density of the magnetic disk 10,
Even if the lubrication film does not contact the protrusion on the surface, the lubricating film on the protrusion or on the foreign matter is easily contacted. When the lubricant adheres to the slider 13 due to the contact, foreign matter easily adheres to the slider 13, the levitation force of the slider 13 decreases, and the magnetic disk 1
It is easy to come into contact with the protrusion on the 0 plane.
【０００９】このようなことから、記録密度のさらなる
向上に伴い、スライダー１３が磁気ディスク１０上の潤
滑膜のみと接触するのも検出して、磁気ディスク１０の
品質を管理することが重要になってくる。Therefore, it is important to control the quality of the magnetic disk 10 by detecting that the slider 13 contacts only the lubricating film on the magnetic disk 10 with the further improvement of the recording density. Come.
【００１０】しかしながら、スライダー１３が潤滑膜の
みと接触した場合には、スライダー１３の弾性変形が殆
どないため、従来では、潤滑膜のみとの接触を検出する
ことができなかった。However, when the slider 13 comes into contact with only the lubricating film, since the slider 13 hardly undergoes elastic deformation, the contact with only the lubricating film cannot be detected conventionally.
【００１１】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、ディスク面の突起のみならずディスク面上の潤滑膜
のみとの接触も検出することが可能なディスク表面検査
装置を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a disk surface inspection apparatus capable of detecting not only protrusions on a disk surface but also contact with only a lubricating film on the disk surface in view of such problems. is there.
【００１２】本発明の他の目的は、スライダーがディス
ク面の突起に接触したのかディスク面上の潤滑膜のみに
接触したのかを識別することが可能なディスク表面検査
装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a disk surface inspection apparatus capable of discriminating whether a slider has contacted a protrusion on a disk surface or only a lubricating film on the disk surface.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段及びその作用効果】本発明
のディスク表面検査装置の一態様では、振動センサをス
ライダー又はその支持部材に取り付け、振動センサの出
力に含まれる機械振動信号及び弾性波信号をそれぞれ第
１及び第２バンドパスフィルタでカットして信号Ｓ１及
びＳ２を取得する。According to one aspect of the disk surface inspection apparatus of the present invention, a vibration sensor is attached to a slider or a support member thereof, and a mechanical vibration signal and an elastic wave signal included in an output of the vibration sensor. Is cut by the first and second bandpass filters, respectively, to obtain signals S1 and S2.
【００１４】スライダーがディスク面の突起に接触（衝
突）すると、スライダーが弾性変形して共振し、Ｓ１＞
ＳＬ１（ＳＬ１は所定値）となる。一方、スライダーが
剛体として支持部材と一体的に振動し、Ｓ２＞ＳＬ２
（ＳＬ２は所定値）となる。When the slider contacts (collides) with the protrusion on the disk surface, the slider elastically deforms and resonates, and S1>
SL1 (SL1 is a predetermined value). On the other hand, the slider vibrates integrally with the support member as a rigid body, and S2> SL2
(SL2 is a predetermined value).
【００１５】スライダーが潤滑膜のみと接触した場合に
は、スライダーが殆ど弾性変形しないので、Ｓ１＜ＳＬ
１である。これに対し、スライダーが剛体として支持部
材と一体的に振動するので、Ｓ２＞ＳＬ２となる。When the slider contacts only the lubricating film, the slider is hardly elastically deformed, so that S1 <SL
It is one. On the other hand, since the slider vibrates integrally with the support member as a rigid body, S2> SL2.
【００１６】そこで、判別手段により、Ｓ１＞ＳＬ１か
つＳ２＞ＳＬ２であればスライダーがディスク面の突起
に接触したと判別し、Ｓ１＜ＳＬ１かつＳ２＞ＳＬ２で
あれば該スライダーがディスク面上の潤滑膜のみに接触
したと判別する。この判別手段は、比較回路と論理回路
とで構成しても、コンピュータのソフトウエアで構成し
てもよい。Therefore, if S1> SL1 and S2> SL2, it is determined by the determining means that the slider has contacted the protrusion on the disk surface, and if S1 <SL1 and S2> SL2, the slider is lubricated on the disk surface. It is determined that only the film has been contacted. This determination means may be configured by a comparison circuit and a logic circuit, or may be configured by computer software.
【００１７】このディスク表面検査装置によれば、スラ
イダーとディスクの面の突起との接触と、スライダーと
潤滑膜のみとの接触とを識別して検出することができる
ので、高記録密度化されたディスク表面の品質管理向上
に寄与するところが大きい。According to the disk surface inspection apparatus, since the contact between the slider and the protrusion on the surface of the disk and the contact between the slider and the lubricating film alone can be identified and detected, the recording density is increased. It greatly contributes to improving the quality control of the disk surface.
【００１８】本発明の他の態様では、上記振動センサと
して、弾性波及び機械振動をそれぞれ検出するための第
１及び第２振動センサを用い、これらの出力をそれぞれ
直接又は増幅回路を介して上記第１及び第２バンドパス
フィルタに供給する。In another aspect of the present invention, first and second vibration sensors for detecting elastic waves and mechanical vibrations, respectively, are used as the vibration sensors, and their outputs are directly or via an amplifier circuit. It is supplied to the first and second band pass filters.
【００１９】このディスク表面検査装置によれば、弾性
共振及び機械共振のそれぞれの検出に適した振動センサ
を用いることができるので、接触検出の正確さ及び接触
対象がディスクの面の突起であるか潤滑膜のみであるか
の識別の正確さが向上する。According to this disk surface inspection apparatus, it is possible to use vibration sensors suitable for the respective detections of elastic resonance and mechanical resonance. Therefore, the accuracy of the contact detection and whether the contact target is a protrusion on the surface of the disk Accuracy of discriminating only the lubricating film is improved.
【００２０】本発明のさらに他の態様では、振動センサ
の出力に含まれる弾性波信号をバンドパスフィルタでカ
ットし、判定手段により該バンドパスフィルタの出力が
所定値以上であるとき該スライダーがディスク面の突起
又はディスク面上の潤滑膜に接触したと判定する。According to still another aspect of the present invention, the elastic wave signal included in the output of the vibration sensor is cut by a band-pass filter, and when the output of the band-pass filter is equal to or more than a predetermined value, the slider is moved to the disk. It is determined that the contact has been made with the surface protrusion or the lubricating film on the disk surface.
【００２１】このディスク表面検査装置によれば、簡単
な構成で、スライダーとディスクの面の突起のみなら
ず、スライダーと潤滑膜のみとの接触をも検出可能とな
り、高記録密度化された磁気ディスクの品質管理向上に
寄与する。According to this disk surface inspection apparatus, it is possible to detect not only the slider and the protrusion on the disk surface but also the contact between the slider and the lubricating film with a simple configuration, and the magnetic disk with a high recording density can be detected. Contributes to quality control improvement.
【００２２】本発明の他の目的、構成及び効果は以下の
説明から明らかになる。Other objects, configurations and effects of the present invention will become apparent from the following description.
【００２３】[0023]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２４】［第１実施形態］図１は、本発明の第１実
施形態のディスク表面検査装置の概略を示す。図７と同
一構成要素には、同一符号を付してその説明を省略す
る。FIG. 1 schematically shows a disk surface inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention. The same components as those in FIG. 7 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
【００２５】浮上スライダー１３が磁気ディスク１０の
面の突起と直接接触してクラッシュが生ずるのを防止す
るために、磁気ディスク１０上には潤滑膜１７が被着さ
れている。A lubricating film 17 is provided on the magnetic disk 10 in order to prevent the flying slider 13 from directly contacting a projection on the surface of the magnetic disk 10 to cause a crash.
【００２６】一方、増幅回路２１の出力は、分配回路２
４を介してバンドパスフィルタ２２及び２５に分配され
る。分配回路２４は、増幅回路２１とバンドパスフィル
タ２２の間のインピーダンス及び増幅回路２１とバンド
パスフィルタ２５の間のインピーダンスを整合させると
共に、増幅回路２１の出力をバンドパスフィルタ２２と
２５に所定の比率で分配するためのものである。分配比
は好ましくは、接触検出精度が最大になるように、すな
わち、最終的に得られるディスク面突起との接触の検出
精度と潤滑膜１７との接触の検出精度とがほぼ同じにな
るように定められ、振動センサ２０の弾性波検出感度と
機械振動検出感度とに依存する。On the other hand, the output of the amplifier circuit 21 is
4 and distributed to bandpass filters 22 and 25. The distribution circuit 24 matches the impedance between the amplifier circuit 21 and the bandpass filter 22 and the impedance between the amplifier circuit 21 and the bandpass filter 25, and outputs the output of the amplifier circuit 21 to the bandpass filters 22 and 25. It is for distribution in a ratio. The distribution ratio is preferably set such that the contact detection accuracy is maximized, that is, the detection accuracy of the finally obtained contact with the disk surface projection and the detection accuracy of the contact with the lubricating film 17 are substantially the same. It depends on the sensitivity of the vibration sensor 20 for detecting elastic waves and the sensitivity of detecting mechanical vibration.
【００２７】バンドパスフィルタ２２は、弾性波信号を
通し機械振動信号をカットするためのものであり、バン
ドパスフィルタ２５は、弾性波信号をカットし機械振動
信号を通すためのものであり、これらの通過帯域は、ス
ライダー１３自体の弾性共振周波数（衝突時に生ずる弾
性波の周波数）及びスライダー１３を包む空気膜の微小
振動周波数（空気流と板ばね１４の系の機械振動の共振
周波数）に依存する。通常、バンドパスフィルタ２２及
び２５の通過帯域はそれぞれ２００〜８００ｋＨｚの範
囲内及び２００ｋＨｚ以下の範囲内である。The band-pass filter 22 is for cutting a mechanical vibration signal through an elastic wave signal, and the band-pass filter 25 is for cutting a mechanical vibration signal through an elastic wave signal. Is dependent on the elastic resonance frequency of the slider 13 itself (the frequency of the elastic wave generated at the time of collision) and the minute vibration frequency of the air film surrounding the slider 13 (the resonance frequency of the mechanical vibration of the air flow and the system of the leaf spring 14). I do. Typically, the passbands of bandpass filters 22 and 25 are in the range of 200-800 kHz and in the range of 200 kHz or less, respectively.
【００２８】バンドパスフィルタ２２及び２５の出力信
号Ｓ１及びＳ２はそれぞれ、比較回路２３Ａ及び２６に
供給されてスライスレベルＳＬ１及びＳＬ２と比較され
る。比較回路２３Ａ及び２６の比較結果の信号Ｓ３及び
Ｓ４は、判別回路２７に供給される。信号Ｓ３はＳ１＞
ＳＬ１のとき活性になり、信号Ｓ４はＳ２＞ＳＬ２のと
き活性になる。The output signals S1 and S2 of the bandpass filters 22 and 25 are supplied to comparison circuits 23A and 26, respectively, and are compared with slice levels SL1 and SL2. The comparison result signals S3 and S4 of the comparison circuits 23A and 26 are supplied to the discrimination circuit 27. The signal S3 is S1>
It becomes active when SL1 and the signal S4 becomes active when S2> SL2.
【００２９】比較回路２３Ａ及び２６はいずれも、入力
信号が参照値以上であることを検出できればよく、通常
の比較器のみ、比較器とその前段に接続された包絡線検
波回路若しくはピークホールド回路、又は、さらに比較
器の後段にモノマルチバイブレータを接続した構成であ
ってもよい。Each of the comparators 23A and 23A only needs to be able to detect that the input signal is equal to or higher than the reference value. Only the ordinary comparator, the comparator and the envelope detection circuit or the peak hold circuit connected to the preceding stage, Alternatively, a configuration in which a mono-multivibrator is further connected to the subsequent stage of the comparator may be used.
【００３０】判別回路２７は、信号Ｓ３及びＳ４が共に
活性であるとき、スライダー１３が磁気ディスク１０の
面の突起に接触したと判別して信号Ｓ５を活性にし、信
号Ｓ３が不活性で信号Ｓ４が活性のとき、スライダー１
３が潤滑膜１７のみに接触したと判別して信号Ｓ６を活
性にする。When the signals S3 and S4 are both active, the determination circuit 27 determines that the slider 13 has contacted the protrusion on the surface of the magnetic disk 10, activates the signal S5, and activates the signal S3 when the signal S3 is inactive. Is active, slider 1
3 is determined to be in contact with only the lubricating film 17, and the signal S6 is activated.
【００３１】図２は、判別回路２７の構成例を示す。FIG. 2 shows an example of the configuration of the determination circuit 27.
【００３２】この回路では、信号Ｓ３及びＳ４がアンド
ゲート２７１に供給され、その出力が信号Ｓ５として取
り出される。また、信号Ｓ３をインバータ２７２に通し
た信号及び信号Ｓ４がアンドゲート２７３に供給され、
その出力が信号Ｓ６として取り出される。In this circuit, the signals S3 and S4 are supplied to an AND gate 271, and the output is taken out as a signal S5. Further, a signal obtained by passing the signal S3 through the inverter 272 and a signal S4 are supplied to the AND gate 273,
The output is taken out as a signal S6.
【００３３】次に、上記の如く構成された本実施例の動
作を説明する。Next, the operation of the present embodiment configured as described above will be described.
【００３４】ディスク面の検査においては、不図示の制
御回路により、磁気ディスク１０を回転させ、スライダ
ー１３を降下させてスライダー１３の浮上高さＨを所定
値にし、スライダー１３を磁気ディスク１０の中心から
外周方向へ移動させる。磁気ディスク１０の回転速度は
ＣＬＶ（Constant Linear Velocity）であり、スライダ
ー１３の位置に応じて周速Ｖが設定値になるように制御
する。これら浮上高さＨ及び周速Ｖは、検出しようとす
る突起の最小高さに応じて検査前に予め求めておく。In the inspection of the disk surface, the magnetic disk 10 is rotated by a control circuit (not shown), the slider 13 is lowered to set the flying height H of the slider 13 to a predetermined value, and the slider 13 is moved to the center of the magnetic disk 10. From the outer periphery. The rotational speed of the magnetic disk 10 is CLV (Constant Linear Velocity), and the peripheral speed V is controlled according to the position of the slider 13 so that the peripheral speed V becomes a set value. The flying height H and the peripheral speed V are obtained in advance before the inspection according to the minimum height of the projection to be detected.
【００３５】スライダー１３が磁気ディスク１０の面の
突起に接触（衝突）すると、スライダー１３が弾性変形
して共振し、図３（Ｂ）に示すようにＳ１＞ＳＬ１とな
り、このとき信号Ｓ３が活性になる。一方、スライダー
１３が剛体として板ばね１４と一体的に振動し、図３
（Ａ）に示すようにＳ２＞ＳＬ２となり、信号Ｓ４も活
性になる。したがって、信号Ｓ６が不活性の状態で信号
Ｓ５が活性になり、スライダー１３が磁気ディスク１０
の突起に接触したことを検知することができる。When the slider 13 contacts (collides) with the projection on the surface of the magnetic disk 10, the slider 13 elastically deforms and resonates, and S1> SL1 as shown in FIG. 3B, and at this time, the signal S3 becomes active. become. On the other hand, the slider 13 vibrates integrally with the leaf spring 14 as a rigid body,
As shown in (A), S2> SL2, and the signal S4 becomes active. Therefore, the signal S5 becomes active while the signal S6 is inactive, and the slider 13
It can be detected that the projection has come into contact with the projection.
【００３６】スライダー１３が潤滑膜１７のみと接触し
た場合には、スライダー１３が殆ど弾性変形しないの
で、図４（Ｂ）に示すようにＳ１＜ＳＬ１であり、信号
Ｓ３は不活性である。これに対し、スライダー１３が剛
体として板ばね１４と一体的に振動するので、図４
（Ａ）に示すようにＳ２＞ＳＬ２となり、信号Ｓ４が活
性になる。したがって、信号Ｓ５が不活性の状態で信号
Ｓ６が活性になり、スライダー１３が潤滑膜１７のみに
接触したことを検知することができる。When the slider 13 contacts only the lubricating film 17, the slider 13 is hardly elastically deformed, so that S1 <SL1 as shown in FIG. 4B and the signal S3 is inactive. On the other hand, since the slider 13 vibrates integrally with the leaf spring 14 as a rigid body,
As shown in (A), S2> SL2, and the signal S4 becomes active. Therefore, the signal S6 becomes active while the signal S5 is inactive, and it can be detected that the slider 13 has contacted only the lubricating film 17.
【００３７】本実施形態によれば、スライダー１３と磁
気ディスク１０の面の突起との接触と、スライダー１３
と潤滑膜１７のみとの接触とを識別して検出することが
できるので、高記録密度化されたディスク表面の品質管
理向上に寄与するところが大きい。According to the present embodiment, the contact between the slider 13 and the projection on the surface of the magnetic disk 10
And the contact with only the lubricating film 17 can be identified and detected, which greatly contributes to improving the quality control of the disk surface with a higher recording density.
【００３８】［第２実施形態］図５は、本発明の第２実
施形態のディスク表面検査装置の概略を示す。図５中、
スライダー１３及び板ばね１４については平面図が示さ
れている。[Second Embodiment] FIG. 5 schematically shows a disk surface inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention. In FIG.
The plan view of the slider 13 and the leaf spring 14 is shown.
【００３９】この装置では、スライダー１３上の一端部
及び他端部にそれぞれ振動センサ２０Ａ及び２０Ｂが固
着されている。振動センサ２０Ａは振動センサ２０Ｂよ
りもスライダー１３自体の弾性共振の検出感度が高く、
振動センサ２０Ｂは振動センサ２０Ａよりも上記機械共
振の検出感度が高い。振動センサ２０Ａ及び２０Ｂの出
力はそれぞれ増幅回路２１Ａ及び２１Ｂを介してバンド
パスフィルタ２２及び２５に供給される。In this device, vibration sensors 20A and 20B are fixed to one end and the other end on the slider 13, respectively. The vibration sensor 20A has a higher sensitivity of detecting the elastic resonance of the slider 13 itself than the vibration sensor 20B,
The vibration sensor 20B has a higher sensitivity for detecting the mechanical resonance than the vibration sensor 20A. Outputs of the vibration sensors 20A and 20B are supplied to bandpass filters 22 and 25 via amplifier circuits 21A and 21B, respectively.
【００４０】他の点は、上記第１実施形態と同一であ
る。The other points are the same as the first embodiment.
【００４１】本第２実施形態では、第１実施形態よりも
弾性共振及び機械共振のそれぞれの検出に適した振動セ
ンサ２０Ａ及び２０Ｂを用いているので、接触検出の正
確さ及び接触対象が磁気ディスク１０の面の突起である
か潤滑膜１７のみであるかの識別の正確さが上記第１実
施形態よりも向上する。In the second embodiment, the vibration sensors 20A and 20B more suitable for the respective detections of the elastic resonance and the mechanical resonance are used than in the first embodiment. Accuracy of discrimination as to whether it is the protrusion on the surface of No. 10 or only the lubricating film 17 is improved as compared with the first embodiment.
【００４２】［第３実施形態］図６は、本発明の第３実
施形態のディスク表面検査装置の概略を示す。[Third Embodiment] FIG. 6 schematically shows a disk surface inspection apparatus according to a third embodiment of the present invention.
【００４３】スライダー１３が磁気ディスク１０の面の
突起に接触した場合も、スライダー１３が潤滑膜１７の
みに接触した場合も、図３及び図４に示すようにＳ２＞
ＳＬ２となって、信号Ｓ４が活性になる。In both the case where the slider 13 contacts the protrusion on the surface of the magnetic disk 10 and the case where the slider 13 contacts only the lubricating film 17, as shown in FIG. 3 and FIG.
As SL2, the signal S4 becomes active.
【００４４】そこで、本第３実施形態のディスク表面検
査装置では、図５中の振動センサ２０Ａ、増幅回路２１
Ａ、バンドパスフィルタ２２、比較回路２３Ａ及び判別
回路２７を省略した構成となっている。比較回路２６
は、接触判定回路として機能する。Therefore, in the disk surface inspection apparatus according to the third embodiment, the vibration sensor 20A and the amplification circuit 21 shown in FIG.
A, the bandpass filter 22, the comparison circuit 23A, and the determination circuit 27 are omitted. Comparison circuit 26
Functions as a contact determination circuit.
【００４５】図６の構成は主に、バンドパスフィルタ２
５の通過帯域が図７のバンドパスフィルタ２２のそれと
異なる点で従来と相違する。この構成差により、スライ
ダー１３と磁気ディスク１０の面の突起のみならず、ス
ライダー１３と潤滑膜１７のみとの接触をも検出可能と
なり、高記録密度化された磁気ディスクの品質管理向上
に寄与する。The configuration shown in FIG.
5 is different from that of the band pass filter 22 of FIG. This configuration difference makes it possible to detect not only the protrusions on the slider 13 and the surface of the magnetic disk 10 but also the contact between the slider 13 and the lubricating film 17 only, contributing to an improvement in quality control of the magnetic disk with a higher recording density. .
【００４６】なお、本発明には外にも種々の変形例が含
まれる。The present invention also includes various modifications.
【００４７】例えば図１において、分配回路２４を省略
し、増幅回路２１の出力を直接バンドパスフィルタ２２
及び２５に供給する構成であってもよい。For example, in FIG. 1, the distribution circuit 24 is omitted, and the output of the amplification circuit 21 is directly
And 25.
【００４８】また、比較回路２３Ａ、２６及び判別回路
２７をコンピュータのソフトウエアで構成し、信号Ｓ１
及びＳ２をこのコンピュータのアナログ入力端子に供給
する構成であってもよい。The comparison circuits 23A and 26 and the discrimination circuit 27 are constituted by computer software, and the signals S1
And S2 may be supplied to an analog input terminal of the computer.
【００４９】さらに、本発明のディスク表面検査装置
は、磁気ディスクのみならず光ディスクの検査にも適用
することができる。Further, the disk surface inspection apparatus of the present invention can be applied to inspection of not only magnetic disks but also optical disks.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明の第１実施形態のディスク表面検査装置
の概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of a disk surface inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１中の判別回路の構成例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of a determination circuit in FIG. 1;
【図３】（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ、ディスク１回転
中にスライダがディスク面突起と接触した時の信号Ｓ２
及びＳ１の実測グラフである。FIGS. 3A and 3B respectively show a signal S2 when the slider comes into contact with a disk surface protrusion during one rotation of the disk.
6 is an actual measurement graph of S1 and S1.
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ、ディスク１回転
中にスライダがディスク面上の潤滑膜のみと接触した時
の信号Ｓ２及びＳ１の実測グラフである。FIGS. 4A and 4B are measured graphs of signals S2 and S1, respectively, when the slider contacts only the lubricating film on the disk surface during one rotation of the disk.
【図５】本発明の第２実施形態のディスク表面検査装置
の概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram of a disk surface inspection device according to a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第３実施形態のディスク表面検査装置
の概略図である。FIG. 6 is a schematic view of a disk surface inspection device according to a third embodiment of the present invention.
【図７】従来のディスク表面検査装置の概略図である。FIG. 7 is a schematic view of a conventional disk surface inspection apparatus.
１０ 磁気ディスク １３ スライダー １４ 板ばね １５ アーム １６ アクチュエータ １７ 潤滑膜 ２０、２０Ａ、２０Ｂ 振動センサ ２１、２１Ａ、２１Ｂ 増幅回路 ２２、２５ バンドパスフィルタ ２３Ａ、２６ 比較回路 ２７ 判別回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Magnetic disk 13 Slider 14 Leaf spring 15 Arm 16 Actuator 17 Lubricant film 20, 20A, 20B Vibration sensor 21, 21A, 21B Amplification circuit 22, 25 Bandpass filter 23A, 26 Comparison circuit 27 Discrimination circuit
フロントページの続き (72)発明者 西山 陽二 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 高橋 文之 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 布施 貴史 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 2F063 AA43 BA30 DA02 DA05 EB02 JA01 LA06 5D112 AA24 JJ05 JJ09 Continued on the front page (72) Inventor Yoji Nishiyama 4-1-1, Kamidadanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Inside Fujitsu Limited (72) Inventor Fumiyuki Takahashi 4-1-1, Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture No. Fujitsu Limited (72) Inventor Takashi Fuse 4-1-1, Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa F-term within Fujitsu Limited (reference) 2F063 AA43 BA30 DA02 DA05 EB02 JA01 LA06 5D112 AA24 JJ05 JJ09
Claims (4)
られ、取付部の振動を検出する振動センサと、 該振動センサの出力に含まれる機械振動信号及び弾性波
信号をそれぞれカットするための第１及び第２バンドパ
スフィルタと、 該第１及び第２バンドパスフィルタの出力Ｓ１及びＳ２
について、Ｓ１＞ＳＬ１（ＳＬ１は第１所定値）かつＳ
２＞ＳＬ２（ＳＬ２は第２所定値）であれば該スライダ
ーがディスク面の突起に接触したと判別し、Ｓ１＜ＳＬ
１かつＳ２＞ＳＬ２であれば該スライダーがディスク面
上の潤滑膜のみに接触したと判別する判別手段と、 を有することを特徴とするディスク表面検査装置。1. A vibration sensor attached to a slider or a supporting member thereof for detecting vibration of an attachment portion, and first and second signals for cutting a mechanical vibration signal and an elastic wave signal included in an output of the vibration sensor, respectively. Two bandpass filters; outputs S1 and S2 of the first and second bandpass filters
S1> SL1 (SL1 is a first predetermined value) and S1
If 2> SL2 (SL2 is a second predetermined value), it is determined that the slider has contacted the protrusion on the disk surface, and S1 <SL
Discriminating means for discriminating that the slider has contacted only the lubricating film on the disc surface if 1 and S2> SL2.
の第１振動センサと、機械振動を検出するための第２振
動センサとを有し、 上記第１及び第２バンドパスフィルタにはそれぞれ該第
１及び第２振動センサの出力が直接又は増幅回路を介し
て供給される、 ことを特徴とする請求項１記載のディスク表面検査装
置。2. The vibration sensor has a first vibration sensor for detecting an elastic wave, and a second vibration sensor for detecting a mechanical vibration. 2. The disk surface inspection apparatus according to claim 1, wherein outputs of the first and second vibration sensors are supplied directly or via an amplifier circuit.
値ＳＬ１とを比較する第１比較回路と、 上記第２バンドパスフィルタの出力Ｓ２と上記第２所定
値ＳＬ２とを比較する第２比較回路と、 該第１及び第２比較回路の比較結果に基づいて上記スラ
イダーがディスク面の突起に接触したかディスク面上の
潤滑膜に接触したかを判別する判別回路と、 を有することを特徴とする請求項１又は２記載のディス
ク表面検査装置。3. A first comparison circuit for comparing the output S1 of the first band-pass filter with the first predetermined value SL1, an output S2 of the second band-pass filter and a second predetermined value SL1. A second comparing circuit for comparing the value with the value SL2, and determining whether the slider has contacted a protrusion on the disk surface or a lubricating film on the disk surface based on a comparison result of the first and second comparing circuits. The disc surface inspection apparatus according to claim 1, further comprising: a determination circuit.
られ、取付部の振動を検出する振動センサと、 該振動センサの出力に含まれる弾性波信号をカットする
ためのバンドパスフィルタと、 該バンドパスフィルタの出力が所定値以上であるとき、
該スライダーがディスク面の突起又はディスク面上の潤
滑膜に接触したと判定する判定手段と、 を有することを特徴とするディスク表面検査装置。4. A vibration sensor attached to the slider or a supporting member thereof for detecting vibration of the attachment portion, a bandpass filter for cutting an elastic wave signal included in an output of the vibration sensor, and the bandpass filter. When the output of is more than a predetermined value,
Determining means for determining that the slider has come into contact with a protrusion on the disk surface or a lubricating film on the disk surface.
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- 2000-12-27 JP JP2000398302A patent/JP2002197646A/en active Pending
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