JP2002196039A - キャリア位置ずれ検出機構 - Google Patents

キャリア位置ずれ検出機構

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JP2002196039A
JP2002196039A JP2000391402A JP2000391402A JP2002196039A JP 2002196039 A JP2002196039 A JP 2002196039A JP 2000391402 A JP2000391402 A JP 2000391402A JP 2000391402 A JP2000391402 A JP 2000391402A JP 2002196039 A JP2002196039 A JP 2002196039A
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carrier
contact
displacement
shaft
detecting
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Seiji Kuninobu
誠治 國信
Osamu Arakawa
荒川  修
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Ando Electric Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H01L21/681Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 水平搬送式のオ−トハンドラにおいて、テス
トボードに対するキャリアの位置がずれていた場合に検
知し、キャリアの動作を停止させること。 【解決手段】 テストボード2上のガイドピン11の中
心にシャフト8を設け、位置がずれたキャリア4が下降
したとき、キャリア4によりシャフト8が押し下げら
れ、シャフト8の下降をセンサ9により検出し、キャリ
ア4の下降動作を停止させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、水平搬送方式のオ
ートハンドラにおいて、ICソケットが配設されたテス
トボードに対するキャリアの位置決め時に好適なキャリ
ア位置ずれ検出機構に関わる。
【0002】
【従来の技術】組立が完了したICを自動的にテストシ
ステムに供給し、そのテスト結果に基づいてICを自動
的に分類収納するオ−トハンドラには、ICを搭載する
キャリアを水平に搬送する水平搬送方式のオートハンド
ラがある。水平搬送方式のオートハンドラにおいて、従
来方式によるキャリアの位置ずれ検出を説明する。
【0003】図3はICソケット・キャリア・コンタク
トプッシャ等を示した図、図4は図3におけるガイドピ
ン部位での断面図である。図3及び図4に示すように、
テストボード2には複数のICソケット3が配設されて
おり、各ICソケットにはガイドピン3aが立設されて
いる。またテストボード2にはガイドピン1が立設され
ている。
【0004】キャリア4は図示しない搬送機構により図
3の矢印A方向に水平搬送され、キャリア4には個々の
IC7を保持するキャリアコマ5が複数設けられてい
る。テストボード2上に搬送されたキャリア4は、図示
しない昇降機構によりテストボード2に向けて図4の矢
印B方向に下降される。
【0005】キャリア4が下降されると、まずテストボ
ード2上のガイドピン1に対して、キャリア4に形成さ
れたガイド穴4aが挿嵌され、これによりキャリア4全
体がテストボード2に対して位置決めされ、その後、そ
れぞれのICソケット3上のガイドピン3aに対して、
対応するキャリアコマ5に形成されたキャリアコマガイ
ド穴5aが挿嵌され、個々のIC7がICソケット3に
位置決めされる。
【0006】位置決め後、キャリア4の上方からコンタ
クトプッシャ6が下降し、コンタクトプッシャ6により
キャリア4上のIC7をICソケット3に接触させて試
験される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記の構成だけ
では、例えばテストボード2上に搬送されてきたキャリ
ア4が、搬送機構の不良動作やオペレータの設定ミスな
どにより正常な位置にないまま下降されると、テストボ
ード2上のガイドピン1にガイド穴4aが挿嵌されず、
更にコンタクトプッシャ6が下降してくることにより、
コンタクトプッシャ6とガイドピン1との間でキャリア
4が挟まれる場合がある。
【0008】上記不具合を解決するため、例えば、あら
かじめ設けられたセンサによりキャリア4の位置を検出
してから、キャリア4をテストボード2に向けて下降さ
せる構成を考えることができる。しかしこれでは、セン
サによるキャリア4の位置検出のための時間が必要とな
り、インデックスタイムが長くなるという不都合が生じ
る。
【0009】そこで本発明は、上記事情に鑑み、テスト
ボードに対するキャリアの位置決め時に位置ずれを検出
することでキャリアの位置ずれ不都合を解消し、しか
も、位置検出時間を要さず好都合なキャリア位置ずれ検
出機構を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のうち請求項1は、図1に示すように、ICを
搭載するキャリア(4)と、キャリア(4)に搭載され
たICを測定する測定部(2・3)とをもち、キャリア
(4)に位置決め穴(4a)を形成し、測定部(2)に
突起(11)を形成し、位置決め穴(4a)を突起(1
1)に挿嵌することによりキャリア(4)を測定部
(2)に位置決めするオートハンドラにおいて、突起
(11)の先端側に突出配置され、位置決め用突起(1
1)と位置決め用穴(4a)とが対応している状態での
み、位置決め用穴(4a)を通過可能な位置ずれ時当接
手段(8)と、位置ずれ時当接手段(8)とキャリア
(4)との当接を検知して、キャリア位置ずれ検出信号
として出力する当接検知手段(9)とを備えることを特
徴とするキャリア位置ずれ検出機構にある。
【0011】また、本発明のうち請求項2は、位置ずれ
時当接手段(8)は、突起(11)から突出付勢される
シャフトであり、当接検知手段(9)は、シャフト
(8)の後端部(8b)を検知するセンサ(9)である
ことを特徴とする請求項1記載のキャリア位置ずれ検出
機構にある。
【0012】また、本発明のうち請求項3は、当接検知
手段(9)がキャリア位置ずれ検出信号を出力すると位
置決め動作を停止することを特徴とする請求項1記載の
キャリア位置ずれ検出機構にある。
【0013】なお、上記括弧内の符号は図面と対照する
ためのものであり、本発明の構成を何等限定するもので
はない。
【0014】
【発明の実施の形態】図1は本実施形態によるキャリア
位置ずれ検出機構においてキャリアの位置がずれている
状態を示す図であり、(a)はキャリア下降前の状態、
(b)はキャリア下降後の状態を示す図である。図2は
本実施形態によるキャリア位置ずれ検出機構においてキ
ャリアの位置が正常な状態を示す図であり、(a)はキ
ャリア下降前の状態、(b)はキャリア下降後の状態を
示す図である。
【0015】本実施形態における、テストボード、キャ
リア、コンタクトプッシャ等の基本的な構成は「従来の
技術」で説明したもの(図3及び図4参照)と略同一で
あり、本実施形態での改良点は、テストボードに設けら
れたガイドピン及びその近傍部分の構成である。従っ
て、本実施の形態の説明において、テストボード、キャ
リア等のうち「従来の技術」で説明したものと同様の構
成要素に対しは、同一の符号を付すことにより説明を省
略する。
【0016】テストボード2には、図1又は図2に示す
ように、キャリア4のガイド穴4a(位置決め穴)に挿
嵌されてキャリア4を位置決めするためのガイドピン1
1(位置決め用突起)が、「従来の技術」で説明したガ
イドピン1の代りに設けられている。ガイドピン11の
中心部には貫通孔11aが形成されており、貫通孔11
aにはシャフト8(位置ずれ時当接手段)が上下に移動
自在に貫通挿入されている。
【0017】貫通孔11aには圧縮コイルばね10(以
下、「ばね10」と略称する)が内装されており、ばね
10によりシャフト8を上方に突出付勢している。シャ
フト8の先端部8aはガイドピン11の先端よりも突出
しており、シャフト8の後端部8bはガイドピン11の
下端よりも下方(テストボード2の下側)に突出してい
る。シャフト8の上下移動により後端部8bが出入りす
る位置に光学式のセンサ9(当接検知手段)が設けられ
ている。キャリア位置ずれ検出機構が以上のように構成
されている。なお、当接検知手段は接触形、非接触形、
いずれの代替手段を用いてもよい。
【0018】通常の動作では、図2(a)のように、未
測定のIC7(図示せず)を搭載したキャリア4がテス
トボード2(測定部)上に搬送される。図2(a)の場
合はキャリア4がテストボード2上に正しく位置決めさ
れたので、キャリア4をテストボード2に向けて下降さ
せると、図2(b)に示すようにキャリア4のキャリア
ガイド穴4aはガイドピン11に挿嵌され、キャリア4
がテストボード2に適正に位置決めされる。
【0019】図2(a)及び図2(b)に示すように、
シャフト8の先端部8aはキャリア4等に当接しないの
で、シャフト8は上下移動せず、シャフト8の後端部8
bがセンサ9を遮断しない。つまり、この場合にはキャ
リアの位置ずれが検出されず、キャリア4の下降動作等
が中断されない。
【0020】次に、図1(a)に示すように、搬送され
たキャリア4の位置がテストボード2とずれている場
合、同様にキャリア4が下降されるが、キャリアガイド
穴4aがテストボード2上のガイドピン11に挿嵌され
ないので、図1(b)に示すように、キャリア4のうち
キャリアガイド穴4a以外の部位にシャフト8の先端部
8aが当接する。これによりシャフト8はばね10に抗
して下方に移動し、シャフト8の後端部8bがセンサ9
を遮断する。
【0021】センサ9が遮断されることにより、センサ
9はキャリア位置ずれ検出信号を出力する。この検出信
号に基づいて、オートハンドラの図示しない制御装置が
キャリア4の下降を中断する。これによりコンタクトプ
ッシャとガイドピンとの間でキャリア4が挟まれるとい
った不具合は解消される。その後、一旦、キャリア4を
搬送位置まで上昇させて位置調整した後、再び下降さ
せ、動作を再開する。
【0022】以上のように、本実施の形態のキャリア位
置ずれ検出機構を採用すると、キャリア4の下降前に予
めキャリア4の位置を検出しなくても、実際にキャリア
4が下降する際にキャリア4の位置がずれていた場合に
のみ、センサ9が検出信号を出力してキャリア4の下降
が中断される。即ち、別途に位置検出時間を要さずイン
デックスタイムが長くならないので好都合である。
【0023】
【発明の効果】本発明によると、実際にキャリアが下降
する際にキャリアの位置がずれていた場合にのみ、位置
ずれ時当接手段がキャリアに当接し、当接検知手段がキ
ャリア位置ずれ検出信号を出力する。このようにキャリ
アの位置ずれを検出する。位置ずれの検出により、キャ
リアの下降中断等の措置をとることができるので、キャ
リアの変形或いは破損を未然に防止できる。しかも、別
途に位置検出時間を要さず、作業時間が長くならないの
で好都合である。
【0024】また本発明によると、シャフトと、シャフ
トの後端部を検知するセンサとにより、簡単な構成でキ
ャリア位置ずれ検出機構が構築できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態によるキャリア位置ずれ検出機構に
おいてキャリアの位置がずれている状態を示す図。
【図2】本実施形態によるキャリア位置ずれ検出機構に
おいてキャリアの位置が正常な状態を示す図。
【図3】ICソケット・キャリア・コンタクトプッシャ
等を示した図。
【図4】図3におけるガイドピン部位での断面図。
【符号の説明】 2 測定部(テストボード) 3 測定部(ICソケット) 4 キャリア 4a 位置決め穴(キャリアガイド穴) 8 シャフト 9 センサ 11 突起(ガイドピン)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G003 AA07 AG01 AG08 AG11 AG12 AG13 AG16 AH01 AH04 AH05 2G011 AB07 AC06 AC14 AF02 3F022 EE05 MM02 MM61 NN13 PP06 QQ12

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ICを搭載するキャリアと、前記キャリ
    アに搭載された前記ICを測定する測定部とをもち、前
    記キャリアに位置決め穴を形成し、前記測定部に突起を
    形成し、前記位置決め穴を前記突起に挿嵌することによ
    り前記キャリアを前記測定部に位置決めするオートハン
    ドラにおいて、 前記突起の先端側に突出配置され、該突起と前記位置決
    め穴とが対応している状態でのみ、該位置決め穴を通過
    可能な位置ずれ時当接手段と、 前記位置ずれ時当接手段と前記キャリアとの当接を検知
    して、キャリア位置ずれ検出信号として出力する当接検
    知手段とを備えることを特徴とするキャリア位置ずれ検
    出機構。
  2. 【請求項2】 前記位置ずれ時当接手段は、前記突起か
    ら突出付勢されるシャフトであり、 前記当接検知手段は、前記シャフトの後端部を検知する
    センサであることを特徴とする請求項1記載のキャリア
    位置ずれ検出機構。
  3. 【請求項3】 前記当接検知手段がキャリア位置ずれ検
    出信号を出力すると位置決め動作を停止することを特徴
    とする請求項1記載のキャリア位置ずれ検出機構。
JP2000391402A 2000-12-22 2000-12-22 キャリア位置ずれ検出機構 Pending JP2002196039A (ja)

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