JP2002177824A - ノズル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明の目的は、液溜め室に対する処理液の導
入を停止したとき、液垂れを防止することのできるノズ
ル装置を提供することにある。 【解決手段】本発明のノズル装置１は、長尺のノズル体
２を備え、ノズル体２から処理液を被処理物Ｗに吐出す
るものである。このノズル装置１において、ノズル体２
は、処理液が導入される液溜め室９と、被処理物Ｗ上に
対峙して開口され、該開口端から液溜め室９より高い位
置まで延設された液吐出流路１０と、液溜め室９の上端
部と液吐出流路１０の上端部とを連通する液流路１２と
を備えてなるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被処理物上に処理
液を吐出、塗布するノズル装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、液晶基板を構成するＴＦＴ基板
（被処理物）は、種々の工程を経て製造される。各工程
では、レジスト膜や現像液の塗布、その剥離用の薬液、
或いは洗浄液の塗布など、ＴＦＴ基板に対して各種の処
理液が塗布される。

【０００３】かかるＴＦＴ基板に対する処理液の塗布
は、処理液吐出装置のノズル装置によって行われる。こ
のノズル装置の一例としては、図７及び図８に示すもの
がある。

【０００４】図７において、ノズル装置１０１は、ＴＦ
Ｔ基板Ｗの上方に対峙された長尺のノズル体１０２を備
えている。このノズル体１０２は、ＴＦＴ基板Ｗの幅方
向Ｈに延設されている。ノズル体１０２には、処理液供
給源１０７に配管１１１を通して接続されるポート１０
６が形成されている。このポート１０６は、ノズル体１
０２の長手方向Ｌの中央部に配設され、ノズル体１０２
の上端に開口している。

【０００５】また、ノズル体１０２の内部には、図８に
も示すように、処理液が導入されるマニホールド１０８
と、処理液を吐出する絞り溝１０９とが形成されてい
る。このマニホールド１０８は、ポート１０６に連通さ
れ、ノズル体１０２内を長手方向Ｌに延設されている。
絞り溝１０９は、マニホールド１０８よりＴＦＴ基板Ｗ
側に配設され、該ＴＦＴ基板Ｗ上に対峙して開口されて
いる。また、絞り溝１０９は、マニホールド１０８に連
通され、ノズル体１０２の長手方向Ｌに延設されてい
る。なお、マニホールド１０８の両端部、及び絞り溝１
０９の両端部は、ノズル体１０２の両端部に固設される
閉塞プレート１１２により閉鎖されている。

【０００６】そして、ノズル装置１０１は、ノズル体１
０２の支持部材１１０等により処理液吐出装置の駆動機
構に連結され、該駆動機構によりＴＦＴ基板Ｗの幅方向
Ｈに直交して走査される。

【０００７】ＴＦＴ基板Ｗに対する処理液の塗布は、処
理液供給源１０７から加圧した処理液をノズル装置１０
１に供給し、ノズル装置１０１を移動（走査）すること
により開始される。処理供給源１０７からの処理液は、
ポート１０６からマニホールド１０８に導入され、該マ
ニホールド１０８によってノズル体１０２の長手方向Ｌ
に分散するように流される。ついで、マニホールド１０
８に導入される処理液の圧力等によって、処理液は、絞
り溝１０９の全域からカーテン状に吐出される。これと
同時に、ノズル装置１０１は、ＴＦＴ基板Ｗの幅方向Ｈ
に直交して移動（走査）され、絞り溝１０９から吐出さ
れるカーテン状の処理液ＲによってＴＦＴ基板Ｗ上の全
域に処理液を塗布する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】従来のノズル装置１０
１では、ノズル体１０２の上端からＴＦＴ基板Ｗ側へポ
ート１０６、マニホールド１０８及び絞り溝１０９の順
に連続して形成している。従って、処理液Ｒの塗布を終
了するときに、ノズル装置１０１の移動（走査）を停止
し、及び処理液供給源１０７による処理液の供給を停止
しても、配管１１１から処理液がマニホールド１０８に
流れ込むことになり、該処理液の圧力によって絞り溝１
０９から処理液がＴＦＴ基板Ｗ上に垂れ落ちる。この液
垂れは、ＴＦＴ基板Ｗに塗布した処理液Ｒにムラを生じ
させ、後工程において悪影響を与える。

【０００９】また、ＴＦＴ基板Ｗに均一な処理液Ｒを塗
布するには、絞り溝１０９の全域から吐出するカーテン
状の処理液に切れ目がないように、多量の処理液をマニ
ホールド１０８に導入する必要がある。このように、多
量の処理液を使用することは、処理液の塗布に対する製
造コストの上昇を招くことになる。

【００１０】さらに、処理液は、ノズル体１０２の中央
部にあるポート１０６からマニホールド１０８に導入さ
れ、該マニホールド１０８によりノズル体１０２の長手
方向Ｌに分散するように流して絞り溝１０９の全域から
吐出するので、該絞り溝１０９から吐出する処理液の圧
力などに不均一が生じる。即ち、ノズル体１０２の長手
方向Ｌの中央部に位置する絞り溝１０９では、高圧，多
量の処理液を吐出し、該長手方向Ｌの両端部に位置する
絞り溝１０９では、低圧，少量の処理液を吐出すること
になる。従って、ＴＦＴ基板Ｗに塗布される処理液Ｒの
厚さに不均一が生じ、後工程において悪影響を与える。

【００１１】本発明の目的は、液溜め室に対する処理液
の導入を停止したとき、被処理物に対する液垂れを防止
することのできるノズル装置を提供することにある。

【００１２】また、本発明の目的は、少量の処理液によ
り、被処理物上に均一厚さの処理液を塗布することので
きるノズル装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段及びその効果】本発明の請
求項１に記載のノズル装置は、長尺のノズル体を備え、
ノズル体から処理液を被処理物に吐出するものである。
このノズル装置において、ノズル体は、処理液が導入さ
れる液溜め室と、被処理物上に対峙して開口され、該開
口端から液溜め室より高い位置まで延設された液吐出流
路と、液溜め室の上端部と液吐出流路の上端部とを連通
する液流路とを備えてなるものである。

【００１４】この請求項１に記載のノズル装置では、処
理液を液溜め室内に導入し、処理液を液流路から液吐出
流路に供給する。この処理液は、液吐出流路から被処理
物上に吐出、塗布される。これと同時に、ノズル体を被
処理物上方で走査することにより、該被処理物の全域に
わたって処理液を塗布する。そして、被処理物上の全域
に処理液を塗布すると、液溜め室内への処理液の導入を
停止する。このとき、処理液の導入を停止しても、ある
程度の処理液が液溜め室内に流れ込むことになり、液溜
め室内の処理液は、液流路を通して、液吐出流路に流れ
込もうとする。しかしながら、液吐出流路への処理液の
流れ込みは、液吐出流路を液溜め室より高くなる段差を
もって延設し、この段差間で液溜め室と液吐出流路とを
液流路により連通する構成により阻止される。また、液
流路内に残存する処理液の表面張力によっても、液吐出
流路への処理液の流れ込みが阻止される。さらに、液吐
出流路内に残存する処理液は、該液吐出流路開口側の処
理液の表面張力により支え、滞留される。

【００１５】このように、請求項１に記載のノズル装置
によれば、液溜め室内への処理液の導入を停止した後、
ある程度の作動液が液溜め室内に流れ込んでも、液吐出
流路への処理液の流れ込み等を阻止できるので、液吐出
流路から被処理物上に処理液が垂れるのを防止できる。
この結果、被処理物上に塗布した処理液にムラを生じさ
せることなく、後工程における被処理物に対する品質を
保証することが可能となる。

【００１６】本発明となる請求項２に記載のノズル装置
は、請求項１に記載のものに、液吐出流路を、被処理物
上に対峙して開口され、ノズル体の長手方向に整列され
た複数の吐出穴により構成し、各吐出穴を、開口端から
液溜め室より高い位置まで延設すると共に、各吐出穴の
上端部と液溜め室の上端部とを、液流路により連通して
なるものである。

【００１７】この請求項２に記載のノズル装置では、処
理液を液溜め室内に導入し、処理液を液流路から各吐出
穴に供給する。この処理液は、各吐出穴から被処理物上
に吐出、塗布される。これと同時に、ノズル体を被処理
物上で長手方向に直交して走査することにより、該被処
理物の全域にわたって処理液を塗布する。また、処理液
は、ノズル体の長手方向に整列された各吐出穴から被処
理物上に吐出され、該被処理物上には、ノズル体の長手
方向に直交して延び、長手方向に整列される複数の帯状
の処理液が塗布される。被処理物上で隣り合う帯状の処
理液は、互いの表面張力により均一な厚さの処理液とな
る。さらに、各吐出穴をノズル体の長手方向に整列する
と、処理液は液流路から略同圧として各吐出穴に導入さ
れ、各吐出穴から被処理物上に対して少量で均一な状態
で吐出される。そして、被処理物の全域に処理液を塗布
すると、液溜め室内への処理液の導入を停止する。この
とき、処理液の導入を停止しても、ある程度の処理液が
液溜め室内に流れ込むことになり、液溜め室内の処理液
は、液流路を通して、各吐出穴に流れ込もうとする。し
かしながら、各吐出穴への処理液の流れ込みは、各吐出
穴を液溜め室より高くなる段差をもって延設し、この段
差間で液溜め室と各吐出穴とを液流路にて連通する構成
により阻止される。また、液流路内に残存する処理液の
表面張力によっても、各吐出穴への処理液の流れ込みが
阻止される。さらに、各吐出穴内に残存する処理液は、
該各吐出穴開口側の処理液の表面張力により支え、滞留
される。

【００１８】このように、請求項２に記載のノズル装置
によれば、請求項１に記載と同様に、液溜め室への処理
液の導入を停止した後、被処理物上に処理液が垂れるの
を防止できる。また、請求項２に記載のノズル装置によ
れば、各吐出穴から少量で均一な処理液を被処理物上に
吐出できるので、被処理物上の全域に塗布する処理液
を、少量で、均一な厚さにすることができ、処理液塗布
に対する製造コストを低減することが可能となる。

【００１９】本発明となる請求項３に記載のノズル装置
は、請求項１に記載のものに、液吐出流路を、被処理物
上に対峙して開口され、ノズル体の長手方向に整列され
た複数の吐出穴と、各吐出穴に連通され、各吐出穴から
液溜め室より高い位置まで延設された液供給室とにより
構成し、液供給室の上端部と液溜め室の上端部とを、液
流路により連通してなるものである。

【００２０】この請求項３に記載のノズル装置では、処
理液を液溜め室内に導入し、処理液を液流路から液供給
室に供給する。この処理液は、液供給室を通して各吐出
穴から被処理物上に吐出、塗布される。これと同時に、
ノズル体を被処理物上で長手方向に直交して走査するこ
とにより、該被処理物の全域にわたって処理液を塗布す
る。また、処理液は、ノズル体の長手方向に整列された
各吐出穴から被処理物上に吐出され、該被処理物上に
は、ノズル体の長手方向に直交して延び、長手方向に整
列される複数の帯状の処理液が塗布される。被処理物上
で隣り合う帯状の処理液は、互いの表面張力により均一
な厚さの処理液となる。さらに、各吐出穴をノズル体の
長手方向に整列すると、処理液は液供給室から略同圧と
して各吐出穴に導入され、各吐出穴から被処理物上に対
して少量で均一な状態で吐出される。そして、被処理物
の全域に処理液を塗布すると、液溜め室内への処理液の
導入を停止する。このとき、処理液の導入を停止して
も、ある程度の処理液が液溜め室内に流れ込むことにな
り、液溜め室の作動液は、液流路を通して、液供給室、
各吐出穴に流れ込もうとする。しかしながら、各吐出穴
への処理液の流れ込みは、液供給室を液溜め室より高く
なる段差をもって延設し、この段差間で液溜め室と液供
給室とを液流路にて連通する構成により阻止される。ま
た、液流路内に残存する処理液の表面張力によっても、
液供給室への処理液の流れ込みが阻止される。さらに、
液供給室内、及び各吐出穴内に残存する処理液は、各吐
出穴開口側の処理液の表面張力により支え、滞留され
る。

【００２１】このように、請求項３に記載のノズル装置
によれば、請求項１に記載と同様に、液溜め室への処理
液の導入を停止した後、被処理物上に処理液が垂れるの
を防止できる。また、請求項３に記載のノズル装置によ
れば、各吐出穴から少量で均一な処理液を被処理物に吐
出できるので、被処理物上の全域に塗布する処理液を、
少量で、均一な厚さにすることができ、処理液塗布に対
する製造コストを低減することが可能となる。

【００２２】本発明となる請求項４に記載のノズル装置
は、請求項１〜請求項３のいずれかに記載のものに、液
流路内の高さ寸法を、調整可能としたものである。

【００２３】この請求項４に記載のノズル装置では、液
流路内の高さ寸法を調整することにより、該液流路内に
残存する処理液の表面張力を変更できる。

【００２４】請求項４に記載のノズル装置によれば、請
求項１〜請求項３に記載の効果に加えて、液流路内に残
存する処理液の表面張力を変更できるので、各吐出穴か
ら吐出する吐出流量に応じた表面張力を得ることが可能
となる。

【００２５】本発明となる請求項５に記載のノズル装置
は、請求項１〜請求項４のいずれかに記載のものに、液
流路内の高さ寸法を、０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲
内としたものである。

【００２６】請求項５に記載のノズル装置によれば、請
求項１〜請求項４に記載の効果に加えて、液流路内の高
さ寸法を０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍにすることにより、
各吐出穴から吐出する吐出流量に対する、液流路内での
処理液の表面張力を最適なものにできる。また、液流路
内の高さ寸法を０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍにすること
で、ノズル体の組み立て誤差を吸収でき、組み立てによ
る性能のバラツキを抑制することが可能となる。

【００２７】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態におけるノズル
装置について、図１〜図６を参照して説明する。図１
は、ノズル装置の正面図であり、図２は、図１において
矢示Ａ―Ａ方向から見た断面図である。また、図３は、
図２において矢示Ｂ―Ｂ方向から見た平面図である。

【００２８】図１において、ノズル装置１は、水平支持
された被処理物Ｗ上に処理液を吐出して、該被処理物Ｗ
に処理液Ｒを塗布するものである。このノズル装置１
は、水平支持された被処理物Ｗの上方に対峙され、該被
処理物Ｗの幅方向Ｈに延設された長尺のノズル体２を備
えている。また、ノズル装置１は、ノズル体２上に固設
された支持部材３などにより駆動手段に連結されてい
る。この駆動手段は、ノズル装置１をノズル体２の長手
方向Ｌ（被処理物Ｗの幅方向Ｈ）に直交して走査させ
る。なお、ノズル体２の長手方向Ｌと被処理物Ｗの幅方
向とは同じ方向を意味している。

【００２９】図２に示すように、ノズル体２は、２つの
ブロック部材４，５からなる。ブロック部材４は、断面
略Ｌ字状に形成され、ブロック部材５は断面略逆Ｌ字状
に形成されている。このノズル体２は、２つのブロック
部材４，５を重ねあわせて、複数のボルト６で締結する
ことによって構成される。各ボルト６は、図２に示すよ
うに、各ブロック４，５の一方に形成された段付ボルト
穴２１に隙間Ｅをもって挿入され、各ブロック４，５の
他方に形成されたねじ穴２２に螺合されている。

【００３０】図１及び図２に示すように、ノズル体２
は、処理液供給手段５３に接続されるポート８を有して
いる。このポート８は、ノズル体２の長手方向Ｌの中央
部に配設されている。また、ポート８は、図２に示すよ
うに、ブロック部材５に形成され、ノズル体２の上端に
開口している。処理液供給手段５３は、配管６４を通し
て加圧した処理液をポート８に供給する。

【００３１】図１及び図２に示すように、ノズル体２の
内部には、液溜め室（マニホールド）９と、液吐出流路
１０と、液流路１２とを備えている。

【００３２】図１及び図２に示すように、液溜め室９
は、２つのブロック部材４，５にわたって形成されてい
る。また、液溜め室９は、ポート８に連通され、ノズル
体２内を長手方向Ｌに延設されている。この液溜め室９
内には、ポート８から加圧した処理液が導入され、該処
理液をノズル体２の長手方向Ｌに分散するように流す。

【００３３】図１及び図２に示すように、液吐出流路１
０は、複数の吐出穴１１により構成され、該各吐出穴１
１はブロック部材４に形成されている。各吐出穴１１
は、被処理物Ｗ上に対峙して開口され、図３に示すよう
に、ノズル体２の長手方向Ｌであって、等しいピッチＰ
をもって直線状に整列されている。これらの各吐出穴１
１は、処理液を被処理物Ｗの幅方向Ｈにわたって吐出す
る。また、各吐出穴１１は、開口端から液溜め室９より
高い位置まで延設されている。これにより、各吐出穴１
１は、液溜め室９に対して高くなる段差を有している。

【００３４】図２に示すように、液流路１２は、各ブロ
ック部材４，５間に形成され、液溜め室９の上端部と各
吐出穴１１の上端部を連通している。この液流路１２
は、液溜め室９の上端部から斜め上に延設され、各吐出
室１１の上端部内に開口している。即ち、液流路１２
は、上記段差を有して液溜め室９と各吐出室１１とを連
通する。また、液流路１２は、ノズル体２の長手方向Ｌ
に延設されている。この液流路１２は、処理液を液溜め
室９から各吐出穴１１に導入する。なお、液溜め室９の
両端部、及び液流路１２の両端部とは、図１に示すよう
に、ノズル体２の両端部に夫々固設された閉塞プレート
１５により閉鎖されている。

【００３５】次に、ノズル装置１による処理液の吐出に
ついて、図１〜図５により説明する。なお、図４は、各
吐出穴１１から処理液Ｒを被処理物Ｗ上に吐出した状態
を示す正面図であり、図５は、被処理物Ｗ上の全域に処
理液Ｒを塗布した状態を示す正面図である。

【００３６】図１に示すように、ノズル装置１は、被処
理物Ｗの上方に対峙され、該被処理物Ｗの幅方向Ｈに延
設される。そして、処理液供給手段５３を作動し、配管
６４を通して加圧した処理液をポート８に供給する。処
理液は、ポート８から液溜め室９に導入され、該液溜め
室９によりノズル体２の長手方向Ｌに分散するように流
れる。

【００３７】液溜め室９が処理液で満たされると、処理
液は、図２に示すように、液流路１２から各吐出穴１１
内に流れ込む。そして、各吐出穴１１が処理液で満たさ
れると、処理液供給手段５３から連続して導入される処
理液の圧力により、各吐出穴１１から処理液を被処理物
Ｗに吐出する。このとき、処理液供給手段５３による処
理液の量、圧力を制御することにより、各吐出穴１１か
らは，少量、均一な処理液が吐出される。

【００３８】この処理液の吐出と同時に、ノズル装置１
を駆動手段によりノズル体２の長手方向Ｌ（被処理物Ｗ
の幅方向Ｈ）に直交して移動（走査）させる。この移動
により、被処理物Ｗ上には、図４に示すように、被処理
物Ｗの幅方向Ｈに直交して延び、該幅方向Ｈに整列され
る複数の帯状の処理液Ｒが吐出される。ついで、被処理
物Ｗ上に吐出された帯状の処理液Ｒは，図５に示すよう
に、互いに隣り合う処理液Ｒの表面張力により、均一な
厚さの処理液Ｒになる。このように、均一な厚さの処理
液Ｒの塗布は、ノズル体２の長手方向Ｌ（被処理物Ｗの
幅方向Ｈ）に整列された各吐出穴１１から少量で均一な
処理液を吐出させると共に、被処理物Ｗ上に吐出された
帯状の処理液Ｒが互いに接触するようにさせる。この意
味で、図３に示すように、各吐出穴１１のピッチＰを適
宜変更して、被処理物Ｗ上に吐出する帯状の処理液Ｒの
間隔を調整する。

【００３９】そして、被処理物Ｗ上の全域に処理液Ｒを
塗布すると、ノズル装置１の走査を停止し、処理液供給
手段５３を停止する。このとき、処理液供給手段５３を
停止しても、直ちに、液溜め室９に対する処理液の導入
が停止されるものでなく、配管６４から処理液が液溜め
室９に流れ込む。従って、処理液の塗布を終了しても、
配管６４から流れ込む処理液の圧力によって、各吐出穴
１１から処理液が吐出され得る状態となる。しかしなが
ら、ノズル装置１では、図２に示すように、各吐出穴１
１を液溜め室９より高くなる段差をもたせて延設し、こ
の段差間で液溜め室９の上端部と各吐出穴１１の上端部
とを液流路１２により連通している。これにより、配管
６４から処理液が液溜め室９に流れ込んでも、該処理液
が液流路１２を通って各吐出穴１１に流れることを阻止
でき、液溜め室９に流れ込む処理液の圧力が各吐出穴１
１に残留する処理液に作用することをなくすことができ
る。また、液流路１２内に残存する処理液の表面張力に
よっても、各吐出穴１１への処理液の流れ込みが阻止さ
れる。この結果、液溜め室９に対する処理液の導入を停
止した後、例え、配管６４から処理液が流れ込んでも、
該処理液の影響を阻止できるので、各吐出穴１１から処
理液が垂れることを防止できる。そして、この液垂れを
防止することで、被処理物Ｗ上の全域に塗布した処理液
にムラが生じることなく、後工程における被処理物Ｗの
品質を保証することが可能となる。

【００４０】また、液溜め室９内への処理液の導入を停
止した後、各吐出穴１１内に残存する処理液は、各吐出
穴１１の開口側に作用する処理液の表面張力により支
え、滞留される。これにより、各吐出穴１１から処理液
が被処理物Ｗに垂れることを阻止できる。さらに、各吐
出穴１１をノズル体２の長手方向Ｌに整列させると、各
吐出穴１１に導入する処理液を略同圧にでき、被処理物
Ｗの幅方向Ｈに少量で均一厚さの処理液を吐出できる。

【００４１】そして、液垂れを防止する観点から、図２
に示すように、液流路１２内の高さ寸法Ｓを適宜調整す
ることが好ましい。この高さ寸法Ｓは、図２に示すよう
に、ノズル体２の各ブロック４，５を組み合わせた後、
該各ブロック４，５を隙間Ｅの範囲内で、高さ方向にず
らすことにより調整する。そして、各ボルト６を各段付
ボルト穴２１に挿入し、各ブロック４，５を締結する。
このように、液流路１２の高さ寸法Ｓを調整すると、液
流路１２内に残存する処理液の表面張力を変更できる。
これにより、各吐出穴１１から吐出する吐出流量に応じ
た表面張力を得ることができ、該表面張力により液垂れ
を防止することが可能となる。そして、液流路１２の高
さ寸法Ｓを、０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲内とする
ことが好ましい。これにより、各吐出穴１１から吐出す
る吐出流量に対する、液流路１２内での処理液の表面張
力を最適なものにできる。また、液流路１２内の高さ寸
法を０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍにすることで、ノズル体
２の組み立て誤差を吸収でき、組み立てによる性能のバ
ラツキを抑制することが可能となる。さらに、液流路１
２の高さ寸法Ｓにより処理液が流通する断面面積を小さ
くできるため、各吐出穴１１から少量の処理液を吐出で
きる。

【００４２】また、ノズル装置１では、各吐出穴１１
を、ブロック部材４のみに形成したので、各ブロック部
材４、５の加工、組み立て（締結）誤差による、各吐出
穴１１から吐出する処理液の不均一を低減することがで
きる。即ち、各吐出穴１１を２つのブロック部材４，５
にわたって形成するとき、各吐出穴１１の加工誤差の他
に、各ブロック部材４，５の組み立て誤差により、各吐
出穴１１の径を略同径にできないことになる。この観点
から、ノズル装置１では、各吐出穴１１をブロック部材
４に集中して形成し、該各吐出穴１１の径を略同径にし
た。これにより、各吐出穴１１からは、少量で均一な処
理液を吐出でき、被処理物Ｗ上に塗布した処理液Ｒにム
ラが生じることを防止できる。

【００４３】なお、本発明の実施形態におけるノズル装
置１では、図１〜図５に示したものに限定されるもので
なく、例えば、次のような態様も採用できる。

【００４４】（１）図１及び図２に示すように、各吐出
穴１１は、必ずしも段付穴にすることを要しない。段付
穴とするのは、各吐出穴１１を加工する便宜のためであ
り、好ましくは、同一細径の吐出穴１１とする。このよ
うに、同一細径の吐出穴１１とすると、該吐出穴１１内
に残存する処理液を少なくでき、液垂れを確実に防止で
きる。

【００４５】（２）図６に示すように、液吐出流路１０
を、複数の吐出穴１１と、液供給室１７とで構成するこ
ともできる。各吐出穴１１は、開口端から液溜め室９近
傍まで延設する。液供給室１７は、ブロック部材４に形
成され、各吐出穴１１に連通する。また、液供給室１７
は、ノズル体２内を長手方向Ｌに延設すると共に、各吐
出穴１１から液溜め室９より高い位置まで延設する。こ
れにより、液供給室１７は、液溜め室９に対して高くな
る段差を有して、処理液を各吐出穴１１に導入する。そ
して、液溜め室９の上端部と液供給室１１の上端部とを
液流路１２により連通することで、被処理物Ｗへの処理
液の吐出、及び液垂れ防止を、図１〜図５と同様に実施
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のノズル装置の正面図である。

【図２】図１において矢示Ａ―Ａ方向から見た断面図で
ある。

【図３】図２において矢示Ｂ―Ｂ方向から見た平面図で
ある。

【図４】図１のノズル装置の各吐出穴から処理液を被処
理物上に吐出した状態を示す正面図である。

【図５】図１のノズル装置から被処理物上の全域に処理
液を塗布した状態を示す正面図である。

【図６】本発明のノズル装置の変形例を示す正面図であ
る。

【図７】従来のノズル装置の正面図である。

【図８】図７において矢示Ｃ―Ｃ方向から見た断面図で
ある。

【符号の説明】

１ ノズル装置 ２ ノズル体 ９ 液溜め室 １０ 液吐出流路 １１ 吐出穴 １２ 液流路 １７ 液供給室

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中田 勝利 兵庫県尼崎市扶桑町１番10号 住友精密工 業株式会社内 (72)発明者 松元 俊二 兵庫県尼崎市扶桑町１番10号 住友精密工 業株式会社内 (72)発明者 原田 和彦 兵庫県多可郡中町安坂７−１ Ｆターム(参考） 4F033 AA14 BA03 CA04 DA01 EA06 GA03 LA13 NA01 4F041 AA06 AB02 BA13 BA36 BA53 CA03 CA17 5F043 BB27 DD06 DD13 EE07 EE28 GG10 5F046 JA02 JA27 LA11 LA19

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 長尺のノズル体を備え、前記ノズル体か
   ら処理液を被処理物に吐出するノズル装置であって、 前記ノズル体は、 前記処理液が導入される液溜め室と、 前記被処理物上に対峙して開口され、該開口端から前記
   液溜め室より高い位置まで延設された液吐出流路と、 前記液溜め室の上端部と前記液吐出流路の上端部とを連
   通する液流路とを備えてなることを特徴とするノズル装
   置。
2. 【請求項２】 前記液吐出流路を、前記被処理物上に対
   峙して開口され、前記ノズル体の長手方向に整列された
   複数の吐出穴により構成し、 前記各吐出穴を、該開口端から前記液溜め室より高い位
   置まで延設すると共に、該各吐出穴の上端部と前記液溜
   め室の上端部とを、前記液流路により連通してなること
   を特徴とする請求項１に記載のノズル装置。
3. 【請求項３】 前記液吐出流路を、前記被処理物上に対
   峙して開口され、前記ノズル体の長手方向に整列された
   複数の吐出穴と、前記各吐出穴に連通され、該各吐出穴
   から前記液溜め室より高い位置まで延設された液供給室
   とにより構成し、 前記液供給室の上端部と前記液溜め室の上端部とを、前
   記液流路により連通してなることを特徴とする請求項１
   に記載のノズル装置。
4. 【請求項４】 前記液流路内の高さ寸法を、調整可能と
   したことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに
   記載のノズル装置。
5. 【請求項５】 前記液流路内の高さ寸法を、０．０５ｍ
   ｍ〜０．５ｍｍの範囲内としたことを特徴とする請求項
   １〜請求項４のいずれかに記載のノズル装置。