JP2002168736A

JP2002168736A - サンプリング用マイクロヘラ及びその操作方法、マイクロサンプリングシステム及び装置、並びにマイクロサンプルの分析法

Info

Publication number: JP2002168736A
Application number: JP2000368131A
Authority: JP
Inventors: Akira Maruyama; 昭丸山
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 2000-12-04
Filing date: 2000-12-04
Publication date: 2002-06-14

Abstract

(57)【要約】【目的】ブレード部分の湾曲（撓り）を利用したサンプ
ルの切除・剥離が可能であるマイクロヘラを明らかにす
る。【構成】被験物から大きさ１μｍ〜１００μｍのサンプ
ルの切除・剥離が可能である工業目的サンプリング用の
マイクロヘラにおいて、５０μｍ以下のサンプルの切除
・剥離が可能であるブレードを備えており、かかるブレ
ードが金属素材から成り、特定のサイズのナイフ状又は
ヘラ状の構成を有することを特徴とする工業目的サンプ
リング用のマイクロヘラである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フィルム、プラス
チックス、塗料膜などに混入した異物を原因究明用のサ
ンプルとして切除或いは剥離などにより採取して分析測
定するマイクロサンプリングシステムにおいて、サンプ
ルの切除或いは剥離などに利用されるマイクロヘラ（マ
イクロナイフともいう、以下同じ）及びその操作方法、
マイクロサンプリングシステム及び装置、並びにマイク
ロサンプルの分析法に関する。

【０００２】

【従来技術】工業用マイクロサンプリングを行うマイク
ロマニピュレーターシステムとしては、例えば島津製作
所社製のＭＭＳ−７７（同社製品名）が知られている
が、このシステムで利用される顕微鏡は光学顕微鏡であ
り、マイクロマニピュレーターで操作されるのは、ガラ
ス製キャピラリー（Ｃａｐｉｌｌａｒｙ）、金属（刃物
用鋼鉄）製ブレードないし針、ダイヤモンド針である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のシステムにより
マイクロサンプリングを行うと、第１に光学顕微鏡が利
用されるために、例えば５０μｍ以下のサイズのサンプ
リングを行おうとすると、レンズの焦点距離（被写界深
度）が浅く、焦点ずれのために観察範囲外にずれてしま
いやすく操作が非常に困難を極める。

【０００４】そこで、本願出願人は、従来の光学顕微鏡
に代えて実体顕微鏡を利用すると共に、サンプルの切除
或いは剥離などに利用されるマイクロヘラとして、モー
ス硬度６以上の硬度を有する材料で形成され、且つ、５
０μｍ以下のサンプルの切除・剥離が可能であるブレー
ドを備えているマイクロナイフを特願２０００−２０９
７５１号として提案した。

【０００５】また、モース硬度６以上の硬度を有する材
料として、例えば、黄石（例えばＴｏｐａｚ、モース硬
度８）、鋼玉（例えばルビー、モース硬度９）などを主
として実験を継続してきた。５０μｍ以下のサイズのサ
ンプルを切除・剥離しようとすると、モース硬度だけを
基準にして選定した材料により形成したマイクロナイフ
では、例えばプラスチックス樹脂などが被験物である場
合、ブレードが直線的に被験物中に鋭く突き刺さってし
まう結果、サンプルを損傷させて分析測定の目的に適さ
ないものとしてしまうという事態が発生することがあっ
た。

【０００６】上記の事態の発生原因を追求した。５０μ
ｍ以下のサイズのサンプルの採取作業においても、サン
プルの切除・剥離がマイクロヘラの直線的な動きだけで
可能である場合には、マイクロヘラがモース硬度６以上
の硬度を有することは、従来知られているマイクロナイ
フに比較して有利さが認められた。然しながら、５０μ
ｍ以下という微少なサンプルでは、また、サンプルが被
験物中に種々の姿勢（角度）で存在するために、弾力性
のないマイクロヘラの直線的な動きだけでサンプルを切
除・剥離することに困難性のあることが判明した。

【０００７】特に、被験物に存在する異物（サンプル）
は、図４の４−１及び図５の５−１に示すように、サン
プル１１は被験物１０の中に埋設されている状態で存在
するのが常態であり、サンプル１１を被覆する層が存在
するので、マイクロヘラ６０を従来の操作方法のように
直線状に動かすだけでは、採取可能にするために上面に
浮き上げることができず、サンプル１１を破壊してしま
う事態が発生する。

【０００８】そこで、種々に実験を重ねた結果、弾力性
のないマイクロナイフを直線的に動かすのではなく、弾
力性を持たせたマイクロヘラを、例えば、ブレードの先
端に撓みを生じさせた状態で平行往復運動させるといっ
たマイクロマニピュレーターの特殊操作を行うことで、
ブレード部分の湾曲（撓り）を利用すれば、サンプルを
損傷させることなく採取できるとの知見が得られた。

【０００９】本発明は、上記の知見に基づき、ブレード
部分の湾曲（撓り）を利用したサンプルの切除・剥離が
可能であるマイクロヘラを明らかにすることを課題とす
る。

【００１０】尚、本明細書においては、従来の弾力性の
ないマイクロナイフのようなブレードの直線的な動きに
よる切除・剥離ではなく、掬い取る感じを強調するため
にマイクロヘラの表現を用いているが、マイクロナイフ
とマイクロヘラとの間に用語以上の基本的な差があるも
のではない。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に係るサンプリン
グ用マイクロヘラ及びその操作方法、マイクロサンプリ
ングシステム及び装置、並びにマイクロサンプルの分析
法は、下記構成であることを特徴とする。（１）被験物から大きさ１μｍ〜１００μｍのサンプル
の切除・剥離が可能である工業目的サンプリング用のマ
イクロヘラにおいて、５０μｍ以下のサンプルの切除・
剥離が可能であるブレードを備えており、かかるブレー
ドが下記構成を有することを特徴とする工業目的サンプ
リング用のマイクロヘラ。

【００１２】［ブレードの構成］Ａ．材質：ステンレス鋼、鋼鉄、ニクロム、ニッケル、
チタン、ピアノ線、炭素鋼などの弾力性を発揮できる金
属棒或いは金属板。Ｂ．素材及びサイズ：直径０．２〜２ｍｍの丸棒、好ま
しくは直径０．５〜１ｍｍの丸棒、或いは、一辺０．２
〜２ｍｍの金属板、好ましくは０．５〜１ｍｍの金属
板。Ｃ．形状：ナイフ状又はヘラ状。

【００１３】（２）顕微鏡、ＣＣＤカメラ、モニター、
マイクロマニピュレーターから成り、被験物から大きさ
１μｍ〜１００μｍのサンプルの切除・剥離が可能であ
る工業目的マイクロサンプリングシステムであり、該顕
微鏡が実体顕微鏡であり、また、該マイクロマニピュレ
ーターにより操作されるマイクロヘラが下記構成のブレ
ードを備えていることを特徴とするマイクロサンプリン
グシステム。

【００１４】［ブレードの構成］Ａ．材質：ステンレス鋼、鋼鉄、ニクロム、ニッケル、
チタン、ピアノ線、炭素鋼などの弾力性を発揮できる金
属棒或いは金属板。Ｂ．素材及びサイズ：直径０．２〜２ｍｍの丸棒、好ま
しくは直径０．５〜１ｍｍの丸棒、或いは、一辺０．２
〜２ｍｍの金属板、好ましくは０．５〜１ｍｍの金属
板。Ｃ．形状：ナイフ状又はヘラ状娃。

【００１５】（３）顕微鏡、ＣＣＤカメラ、モニター、
マイクロマニピュレーターから成り、被験物から大きさ
１μｍ〜１００μｍのサンプルの切除・剥離が可能であ
る工業目的マイクロサンプリング装置であり、該顕微鏡
が実体顕微鏡であり、また、該マイクロマニピュレータ
ーにより操作されるマイクロヘラが、下記構成のブレー
ドを備えていることを特徴とするマイクロサンプリング
装置。

【００１６】［ブレードの構成］Ａ．材質：ステンレス鋼、鋼鉄、ニクロム、ニッケル、
チタン、ピアノ線、炭素鋼などの弾力性を発揮できる金
属棒或いは金属板。Ｂ．素材及びサイズ：直径０．２〜２ｍｍの丸棒、好ま
しくは直径０．５〜１ｍｍの丸棒、或いは、一辺０．２
〜２ｍｍの金属板、好ましくは０．５〜１ｍｍの金属
板。Ｃ．形状：ナイフ状又はヘラ状

【００１７】（４）実体顕微鏡、ＣＣＤカメラ、モニタ
ー、下記構成のブレードを備えているマイクロヘラを操
作するマイクロマニピュレーターから成る工業目的マイ
クロサンプリングを装置により、被験物から大きさ１μ
ｍ〜１００μｍのサンプルの切除・剥離を行い、該サン
プルの化学的ないし物性的分析を行うことを特徴とする
マイクロサンプルの分析法。

【００１８】［ブレードの構成］Ａ．材質：ステンレス鋼、鋼鉄、ニクロム、ニッケル、
チタン、ピアノ線、炭素鋼などの弾力性を発揮できる金
属棒或いは金属板。Ｂ．素材及びサイズ：直径０．２〜２ｍｍの丸棒、好ま
しくは直径０．５〜１ｍｍの丸棒、或いは、一辺０．２
〜２ｍｍの金属板、好ましくは０．５〜１ｍｍの金属
板。Ｃ．形状：ナイフ状又はヘラ状。

【００１９】（５）少なくとも二つのアームを備えてい
るマイクロマニピュレーターの一方のアームに装着され
たマイクロヘラを、採取しようとするサンプルの上方に
移動させて、その傾斜角度を約１０度〜３０度程度に設
定した後に、ブレード先端が被験物の上面を被覆する層
の上面に当接する位置まで下降させ、次いで、上記姿勢
を保ったまま更に下降させて、ブレードの先端側に撓み
を生じさせ、この状態でブレードを平行往復運動させて
サンプルの上面を被覆する層の削り出しを行ってサンプ
ルの上面を露出させ、次いで、マイクロヘラをサンプル
の厚みに対応する深さだけ下降させた上でサンプルの下
面側へ平行移動させることによりサンプルの下側に滑り
込ませて、サンプルをマイクロヘラの上面側に掬い上
げ、このサンプルを、他方のアームに取り付けられてい
るキャピラリーなどにより採取することを特徴とするマ
イクロマニピュレーターにおけるマイクロヘラの操作方
法。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳述する。
本発明に係るマイクロヘラの説明に先立って、図３に従
って、本発明に係るマイクロヘラを用いたマイクロサン
プリングシステムを説明する。

【００２１】先ず、サンプルとして被採取物（異物）を
採取する被験物１０は、実体顕微鏡２０の下に配置され
る基台２１上に配置され、接眼レンズ２２により位置決
めが行われる。実体顕微鏡２０を通して得られる拡大映
像は、ＣＣＤカメラ３０により撮像されてモニター４０
に映し出される。

【００２２】被験物１０からのサンプルの採取は、一対
で構成されるマイクロマニピュレーター５０操作によっ
て駆動されるアーム５１の先端に取り付けられているマ
イクロヘラ６０により行われる。

【００２３】実体顕微鏡２０としては、ニコン社製、オ
リンパス社製、カールツアイス社製などの市販品が利用
できるが、観察総合倍率が５０〜２００倍でリング照明
及びグラスファイバーなどのような集光照明による反射
と透過の観察機能を持ち、ＣＣＤカメラ２４が取り付け
可能であり、三眼鏡筒を備えた機種を選択する。

【００２４】実体顕微鏡２０の観察倍率と観察サイズの
相関は以下の数値となるが、観察サイズが１ｍｍを超え
ると、取り扱いが十分に容易である。

【００２５】物質実体観察倍率観察サイズ２μｍ２００倍０．４ｍｍ５μｍ２００倍１ｍｍ１０μｍ１００倍１ｍｍ２０μｍ５０倍１ｍｍ

【００２６】マイクロマニピュレーター５０としては、
前述の島津社製の工業用マイクロマニピュレータ（ＭＭ
Ｓ−７７）或いはナリシダ社製のバイオ研究用マニピュ
レーターが利用できる。但し、両装置は光学顕微鏡を利
用するシステムとして構成されているので、本発明に利
用するには、実体顕微鏡２１が組み込みできるよう、付
属装置・備品などが改良される。

【００２７】次に、図１及び図２に従って、本発明に係
るマイクロヘラを詳細に説明する。本発明に係るマイク
ロヘラ６０は、図３に示したマイクロマニピュレーター
５０のアーム５１に取り付けて利用される。

【００２８】マイクロヘラ６０は、先端にブレード６１
が形成されているブレード軸６２と、このブレード軸６
２を固定すると共に、マイクロマニピュレーター５０の
アーム５１に接続させる保持部６３とで構成されてい
る。

【００２９】尚、ブレード６１、ブレード軸６２、保持
部６３の全体が、単一の材料で形成される態様と、ブレ
ード６１とブレード軸６２が単一材料で、保持部６３だ
けが他の材質を異にする他の材料で形成される態様とが
ある。

【００３０】図１に示す態様では、ブレード軸１２を形
成する材料の形状として丸棒が用いられ、図２に示す態
様では、断面長方形の板状物が用いられている。ブレー
ド軸６２として用いる材料の断面形状は、正方形、楕円
形、半円形、円弧状など種々であるが、その形状及びサ
イズは、後述するブレードの撓り（弾力性）に関係す
る。

【００３１】ブレード軸６２の先端を研削（研磨）する
ことによりブレード６１を形成する。図１に示す態様で
は、直径（Ｄ１）が０．２〜２ｍｍ、好ましくは０．５
〜１ｍｍである丸棒の先端を、上面及び下面を正確に対
応させて、夫々斜状に研削（研磨）する。

【００３２】上面の研削面が二段に形成されているが、
ブレードのすくい角を調整するもので、二段に形成しな
くとも段のない態様であってもよい。

【００３３】次に、側面の研削（研磨）すると共に、先
端部を、先端曲率半径（Ｒ１）＝０．０５〜０．２ｍ
ｍ、先端曲率幅（Ｗ１）＝０．００５〜０．１ｍｍに形
成する。

【００３４】尚、ブレード６１を含めたブレード軸６２
の長さ（Ｌ１）は２〜１０ｍｍであり、保持部６３の長
さ（Ｌ２）は５０〜２００ｍｍ、直径（Ｄ２）は３〜５
ｍｍである。

【００３５】図２に示す態様では、ブレード軸６２とし
て断面長方形の材料が用いられ、その先端に所謂（西
洋）ナイフ形状のブレード６１が形成される。ブレード
６１は、２Ｂ−２Ｂ線拡大断面図に示すように、二段に
形成される。

【００３６】尚、ブレード軸６２の高さ（Ｈ１）及び幅
（Ｈ２）は、０．２〜２ｍｍ、好ましくは０．５〜１ｍ
ｍの範囲とする。また、ブレード６１を含めたブレード
軸６２の長さ、保持部６３の長さ（Ｌ２）及び直径（Ｄ
２）は、図１に示した実施例と同様である。先端曲率幅
（Ｗ２）＝０．００５〜０．１ｍｍ、先端刃先厚み（Ｗ
４）は０．００１ｍｍ以下とする。

【００３７】本発明に係るマイクロヘラ６０のブレード
６１及びブレード軸６２は、ステンレス鋼、鋼鉄、ニク
ロム、ニッケル、チタン、ピアノ線、炭素鋼などで形成
する。特に好ましくは、ステンレス鋼及び鋼鉄である。
アルミニウムや銅などは硬さ不足のため好ましくない。

【００３８】以下、図４及び図５に従って、マイクロヘ
ラ６０の実際の動かし方について説明する。

【００３９】本発明に係るマイクロマニピュレーター５
０におけるマイクロヘラ６０の操作方法は、少なくとも
二つのアーム５１・５１を備えているマイクロマニピュ
レーター５０の一方のアーム５１に装着されたマイクロ
ヘラ６０を、採取しようとするサンプル１１の上方に移
動させて、その傾斜角度を約１０度〜３０度程度に設定
した後に、ブレード６１先端が被験物１０の上面を被覆
する層の上面に当接する位置まで下降させ、次いで、上
記姿勢を保ったまま更に下降させて、ブレード６１の先
端側に撓みを生じさせ、この状態でマイクロヘラ６０を
平行往復運動させてサンプル１１の上面を被覆する層の
削り出しを行ってサンプル１１の上面を露出させ、次い
で、マイクロヘラ６０をサンプル１１の厚みに対応する
深さだけ下降させた上でサンプル１１の下面側へ平行移
動させることによりサンプル１１の下側に滑り込ませ
て、サンプル１１をマイクロヘラ６０の上面側に掬い上
げ、このサンプル１１を、他方のアーム５１に取り付け
られているキャピラリー６４などによりサンプルを採取
することを特徴とする。

【００４０】マイクロヘラ６０は、既に図３に従って説
明したように、マイクロマニピュレーター５０のアーム
５１の先端に固定されて用意されている。アーム５１の
傾斜角度θは約１０度〜３０度である。

【００４１】被験物１０中に異物が発見されると、サン
プル１１として採取が行われる。尚、サンプル１１は被
験物１０の表面上に突出せず、埋まった状態にあるのが
常態である。

【００４２】サンプル１１の採取作業は、先ず採取しよ
うとするサンプル１１の上方或いはやや斜め上方にマイ
クロヘラ５０を移動し、傾斜角度を約１０度〜３０度程
度に設定する。この状態からマイクロヘラ６０を下降さ
せ、サンプル１１に近接した位置で、ブレード６１の先
端を被験物１０の上面に当接し、そのままの傾斜角度を
保った状態で更に下降させる。すると、ブレード６１の
部分は薄層であり、また、弾力性のある素材で形成され
ているので、ブレード６１の先端側に撓みが生じること
になる。ブレード６１に撓みが生じている状態を保った
まま、サンプル１１の上面で平行往復運動を行って、サ
ンプル１１の上面を被覆している層の削り出しを行う。
サンプル１１の露出が完了したら、マイクロヘラ６０を
サンプル１１の厚みに対応する深さだけ下降させて、次
いで、平行運動させ、サンプル１１の下側に滑り込ませ
る動作を行う。この動作によりサンプル１１は、図４−
３に示すように、被験物１０の上方に掬い上げられるこ
とになり、他方のアーム５１に取り付けられているキャ
ピラリー６４を、例えば矢符Ａ又はＢの方向に操作する
ことにより、サンプル１１を採取することができる。

【００４３】尚、キャピラリー６４に代えて、本発明に
係るマイクロヘラ６０或いは一般的なマイクロナイフを
利用する構成とすることもできる。

【００４４】以上の説明は、マイクロヘラ６０として、
図１に示したヘラ状の形状のもの（ブレード６１が先端
部に存在する）を利用する場合である。マイクロヘラ６
０として、図２に示したナイフ状の形状のもの（ブレー
ド６１が側面方向に沿って存在する）を利用する場合
は、ブレード６１を側面の側から撓ませる必要があり、
また、撓んだブレード６１をサンプル１１の方向に正確
に滑り込ませるために、図４に示したマイクロヘラ６０
の操作とは異なった操作となる。即ち、図４の操作は、
突き鑿のように前方に突き出す動作、図５の操作は、ス
プーンで側面方向に掬い上げる動作をイメージすれば容
易に理解できる。

【００４５】尚、ブレード６１が撓むのは、ブレードの
先端から、１／２〜１／５程度である。

【００４６】

【発明の効果】本発明に係るマイクロヘラを用いたサン
プリングによれば、マイクロヘラが備えている弾力性に
よって、サンプルに対して直線的に突き刺さるのではな
く、先端が弓状に湾曲するので、サンプルに損傷させる
ことなく切除・剥離を行うことができ、この効果は、特
にサンプルの大きさが５０μｍ以下の大きさである場合
に顕著であり、頭記した課題が解決される。

【図面の簡単な説明】

【図１】マイクロヘラの１実施例を示す平面図、正面
図、断面図

【図２】マイクロヘラの他の実施例を示す正面図、底面
図、断面図

【図３】サンプリングシステムの概念図

【図４】マイクロヘラの操作を示す作用図

【図５】マイクロヘラの操作を示す作用図

【符号の説明】

１０−被験物１１−サンプル２０−実体顕微鏡２１−基台２２−接眼レンズ３０−ＣＣＤカメラ４０−モニター５０−マイクロマニピュレーター５１−アーム６０−マイクロヘラ６１−ブレード６２−ブレード軸６３−保持部６４−キャピラリー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被験物から大きさ１μｍ〜１００μｍのサ
ンプルの切除・剥離が可能である工業目的サンプリング
用のマイクロヘラにおいて、５０μｍ以下のサンプルの
切除・剥離が可能であるブレードを備えており、かかる
ブレードが下記構成を有することを特徴とする工業目的
サンプリング用のマイクロヘラ。［ブレードの構成］Ａ．材質：ステンレス鋼、鋼鉄、ニクロム、ニッケル、
チタン、ピアノ線、炭素鋼などの弾力性を発揮できる金
属棒或いは金属板。Ｂ．素材及びサイズ：直径０．２〜２ｍｍの丸棒、好ま
しくは直径０．５〜１ｍｍの丸棒、或いは、一辺０．２
〜２ｍｍの金属板、好ましくは０．５〜１ｍｍの金属
板。Ｃ．形状：ナイフ状又はヘラ状。
【請求項２】顕微鏡、ＣＣＤカメラ、モニター、マイク
ロマニピュレーターから成り、被験物から大きさ１μｍ
〜１００μｍのサンプルの切除・剥離が可能である工業
目的マイクロサンプリングシステムであり、該顕微鏡が
実体顕微鏡であり、また、該マイクロマニピュレーター
により操作されるマイクロヘラが下記構成のブレードを
備えていることを特徴とするマイクロサンプリングシス
テム。［ブレードの構成］Ａ．材質：ステンレス鋼、鋼鉄、ニクロム、ニッケル、
チタン、ピアノ線、炭素鋼などの弾力性を発揮できる金
属棒或いは金属板。Ｂ．素材及びサイズ：直径０．２〜２ｍｍの丸棒、好ま
しくは直径０．５〜１ｍｍの丸棒、或いは、一辺０．２
〜２ｍｍの金属板、好ましくは０．５〜１ｍｍの金属
板。Ｃ．形状：ナイフ状又はヘラ状。
【請求項３】顕微鏡、ＣＣＤカメラ、モニター、マイク
ロマニピュレーターから成り、被験物から大きさ１μｍ
〜１００μｍのサンプルの切除・剥離が可能である工業
目的マイクロサンプリング装置であり、該顕微鏡が実体
顕微鏡であり、また、該マイクロマニピュレーターによ
り操作されるマイクロヘラが、下記構成のブレードを備
えていることを特徴とするマイクロサンプリング装置。［ブレードの構成］Ａ．材質：ステンレス鋼、鋼鉄、ニクロム、ニッケル、
チタン、ピアノ線、炭素鋼などの弾力性を発揮できる金
属棒或いは金属板。Ｂ．素材及びサイズ：直径０．２〜２ｍｍの丸棒、好ま
しくは直径０．５〜１ｍｍの丸棒、或いは、一辺０．２
〜２ｍｍの金属板、好ましくは０．５〜１ｍｍの金属
板。Ｃ．形状：ナイフ状又はヘラ状。
【請求項４】実体顕微鏡、ＣＣＤカメラ、モニター、下
記構成のブレードを備えているマイクロヘラを操作する
マイクロマニピュレーターから成る工業目的マイクロサ
ンプリングを装置により、被験物から大きさ１μｍ〜１
００μｍのサンプルの切除・剥離を行い、該サンプルの
化学的ないし物性的分析を行うことを特徴とするマイク
ロサンプルの分析法。［ブレードの構成］Ａ．材質：ステンレス鋼、鋼鉄、ニクロム、ニッケル、
チタン、ピアノ線、炭素鋼などの弾力性を発揮できる金
属棒或いは金属板。Ｂ．素材及びサイズ：直径０．２〜２ｍｍの丸棒、好ま
しくは直径０．５〜１ｍｍの丸棒、或いは、一辺０．２
〜２ｍｍの金属板、好ましくは０．５〜１ｍｍの金属
板。Ｃ．形状：ナイフ状又はヘラ状。
【請求項５】少なくとも二つのアームを備えているマイ
クロマニピュレーターの一方のアームに装着されたマイ
クロヘラを、採取しようとするサンプルの上方に移動さ
せて、その傾斜角度を約１０度〜３０度程度に設定した
後に、ブレード先端が被験物の上面を被覆する層の上面
に当接する位置まで下降させ、次いで、上記姿勢を保っ
たまま更に下降させて、ブレードの先端側に撓みを生じ
させ、この状態でブレードを平行往復運動させてサンプ
ルの上面を被覆する層の削り出しを行ってサンプルの上
面を露出させ、次いで、マイクロヘラをサンプルの厚み
に対応する深さだけ下降させた上でサンプルの下面側へ
平行移動させることによりサンプルの下側に滑り込ませ
て、サンプルをマイクロヘラの上面側に掬い上げ、この
サンプルを、他方のアームに取り付けられているキャピ
ラリーなどにより採取することを特徴とするマイクロマ
ニピュレーターにおけるマイクロヘラの操作方法。