JP2002156207A - 変位センサ - Google Patents
変位センサInfo
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- JP2002156207A JP2002156207A JP2000352009A JP2000352009A JP2002156207A JP 2002156207 A JP2002156207 A JP 2002156207A JP 2000352009 A JP2000352009 A JP 2000352009A JP 2000352009 A JP2000352009 A JP 2000352009A JP 2002156207 A JP2002156207 A JP 2002156207A
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
は、検査対象物が不良品と判定されたときに、その原因
が真に検査対象物の側にあるのか、或いは、計測ホール
ド処理が検査対象物の予定された部位に対して正しく実
行されなかった結果であるのかを容易に判断できるよう
にした変位センサを提供すること。 【解決手段】 センサヘッドと検査対象物との相対移動
に連れて時系列的に得られる一連の変位データの中で、
予め設定された計測対象範囲指定データで規定される計
測対象範囲内にある変位データに対してのみ、予め設定
されたホールド態様に基づく計測ホールド処理を実行
し、これにより得られた計測ホールド結果を出力する変
位センサであって、時系列的に得られる一連の変位デー
タと設定された計測対象範囲指定データとに基づいて、
一連の変位データを示すトレンドグラフ上に、計測対象
範囲を示す図形が重ねて描かれた、計測対象変位データ
確認用の表示情報を編集して出力する表示情報編集手段
を有する。
Description
流れる検査対象物の形状検査等に好適な変位センサに係
り、特に、センサヘッドと検査対象物との相対移動に連
れて時系列的に得られる一連の変位データの中で、予め
設定された計測対象範囲指定データで規定される計測対
象範囲内にある変位データに対してのみ、予め設定され
たホールド態様に基づく計測ホールド処理を実行し、こ
れにより得られた計測ホールド結果を出力する機能を有
する変位センサに関する。
検査等に好適な変位センサとしては、接触式、静電容量
式、光学式等の様々な方式のものが知られている。
検査対象物との相対移動に連れて時系列的に得られる一
連の変位データの中で、予め設定された計測対象範囲指
定データで規定される計測対象範囲内にある変位データ
に対してのみ、予め設定されたホールド態様に基づく計
測ホールド処理を実行し、これにより得られた計測ホー
ルド結果を出力する機能を有する。ホールド態様として
代表的なものとしては、検査対象物の頂部高さを計測す
るピークホールド態様や底部深さを計測するボトムホー
ルド態様等が挙げられる。
定にも利用される。この場合、計測ホールド結果は良品
相当の基準範囲と比較され、基準範囲に収まる場合には
良品と、基準範囲から外れる場合には不良品と判定され
る。
えば、特定時間帯に存在する変位データ)又は変位量的
(例えば、特定の変位幅に収まる変位データ等)に行う
ことができる。
対象物の特定部位を検査するような場合、個々の検査対
象物の到来を外部の同期用センサで検出してトリガ信号
をオンさせると共に、トリガ信号のオンタイミングを基
準として一定時間後に計測開始、その後、一定時間後に
計測終了すると言ったように、計測対象範囲を任意に設
定することができる。また、計測期間中に得られる高さ
相当のピークホールド値を基準値と比較することで、検
査対象物の良否を判定することができる。
量データと基準値との大小比較によりセルフ方式にて行
うことも可能である。
おける計測対象範囲の設定精度は、トリガ信号のオンタ
イミングの精度に大きく依存する。トリガ信号のオンオ
フ制御には、前述のように、同期用センサによる外部方
式と変位量データと基準値との大小比較によるセルフ方
式が存在するが、いずれの方式にあっても、検査対象物
自身の形状誤差や同期用センサの検出誤差等に起因し
て、微妙な狂いの発生は避けがたい。
が生ずれば、計測対象範囲の設定にも狂いが生ずるた
め、計測対象物の意図しない部位に関して、計測ホール
ド処理が実行されて、計測ホールド結果が誤って異常値
を示したり、その検査対象物が不良品と誤判定される虞
もある。
いは、検査対象物が不良品と判定されたときに、その原
因が真に検査対象物の側にあるのか、或いは、計測ホー
ルド処理が検査対象物の予定された部位に対して正しく
実行されなかった結果であるのかが不明であれば非常に
不便である。
れたものであり、その目的とするところは、計測ホール
ド結果が異常値を示したり、或いは、検査対象物が不良
品と判定されたときに、その原因が真に検査対象物の側
にあるのか、或いは、計測ホールド処理が検査対象物の
予定された部位に対して正しく実行されなかった結果で
あるのかを容易に判断できるようにした変位センサを提
供することにある。
センサヘッドと検査対象物との相対移動に連れて時系列
的に得られる一連の変位データの中で、予め設定された
計測対象範囲指定データで規定される計測対象範囲内に
ある変位データに対してのみ、予め設定されたホールド
態様に基づく計測ホールド処理を実行し、これにより得
られた計測ホールド結果を出力するものである。
一連の変位データと設定された計測対象範囲指定データ
とに基づいて、一連の変位データを示すトレンドグラフ
上に、計測対象範囲を示す図形が重ねて描かれた、計測
対象変位データ確認用の表示情報を編集して出力する表
示情報編集手段が設けられる。
果を予め設定された基準値と比較して良否判定処理を実
行し、これにより得られた良否判定結果を出力するよう
に構成してもよい。
変位データの時間的範囲は、同期用センサを介して外部
生成されるトリガ信号、又は時系列的に得られる一連の
変位データと基準値との比較に基づいて自己生成される
トリガ信号、を基準として決定するようにしてもよい。
ータ確認用の表示情報により表示されるトレンドグラフ
においては、モニタ画面上の時間軸方向の表示基準位置
とトリガ信号のオンタイミングとが常に整合するよう
に、時間軸方向の画像シフト制御が行われるようにして
もよい。
上の各変位データと計測対象範囲との関係を視覚的に観
察することにより、計測対象物の予定された部位が正し
く計測対象範囲に収まっているかを確認できるから、計
測ホールド結果が異常値を示したり、或いは、検査対象
物が不良品と判定されたときに、その原因が真に検査対
象物の側にあるのか、或いは、計測ホールド処理が検査
対象物の予定された部位に対して正しく実行されなかっ
た結果であるのかを容易に判断することができる。
理に採用されるホールド態様がサンプリングホールド態
様であり、かつ一連の変位データを示すトレンドグラフ
上に重ねられる計測対象範囲を示す図形が、時間軸上に
おける計測開始位置に描かれたタイミング表示マークを
含む、ようにしてもよい。
は、計測開始時の変位データの値をホールドするように
したホールド態様のことである。
は、タイミング表示マークを、時間軸上の計測開始位置
を通りかつ変位軸に平行な直線としてもよい。
所定位置をサンプリングできているかを容易に確認する
ことができる。
理に採用されるホールド態様がピークホールド態様、ボ
トムホールド態様、ピークtoピークホールド態様、ア
ベレージホールド態様のいずれかであり、かつ一連の変
位データを示すトレンドグラフ上に重ねられる計測対象
範囲を示す図形が、時間軸上における計測開始位置及び
計測終了位置にそれぞれ描かれたタイミング表示マーク
を含む、ようにしてもよい。
定開始から終了までの最大値をホールドするようにした
ホールド態様のことである。
開始から終了までの最小値をホールドするようにしたホ
ールド態様のことである。
とは、測定開始から終了までの最大値と最小値との差を
ホールドするようにしたホールド態様のことである。
は、測定開始から終了までの平均値をホールドするよう
にしたホールド態様のことである。
ド態様、ピークtoピークホールド態様、アベレージホ
ールド態様にあっては、タイミング表示マークを、時間
軸上の計測開始位置及び計測終了位置をそれぞれ通りか
つ変位軸に平行な2本の平行直線としてもよい。
所定位置をホールド期間に設定できているかを容易に確
認することができる。
理に採用されるホールド態様がレングスホールド態様、
極大ホールド態様、極小ホールド態様のいずれかであ
り、かつ一連の変位データを示すトレンドグラフ上に重
ねられる計測対象範囲を示す図形が、時間軸上における
計測開始位置及び計測終了位置にそれぞれ描かれたタイ
ミング表示マークと、変位軸上における計測対象変位下
限位置及び計測対象変位上限位置にそれぞれ描かれた変
位値表示マークを有する二次元領域特定図形を含む、よ
うにしてもよい。
測定範囲に入っている間の距離を出力するようにしたホ
ールド態様のことである。
囲内における最大の極大値をホールドするようにしたホ
ールド態様のことである。
範囲内における最小の極小値をホールドするようにした
ホールド態様のことである。
ド態様、極小ホールド態様にあっては、二次元領域特定
図形を、時間軸上の計測開始位置及び計測終了位置をそ
れぞれ通りかつ変位軸に平行な2本の平行線分と、変位
軸上の計測対象変位下限位置をそれぞれ通りかつ時間軸
に平行な2本の平行線分とからなる矩形図形としてもよ
い。
所定位置を計測対象領域で囲めているかを容易に確認す
ることができる。
理に採用されるホールド態様がエッジホールド態様又は
ピッチホールド態様であり、かつ一連の変位データを示
すトレンドグラフ上に重ねられる計測対象範囲を示す図
形が、時間軸上における計測開始位置及び計測終了位置
にそれぞれ描かれたタイミング表示マークと、変位軸上
におけるスレッシュ値位置に描かれた変位値表示マーク
とを含む、ようにしてもよい。
定範囲内において、スレッシュ値を最初に越えた位置を
ホールドするようにしたホールド態様のことである。
範囲内において、相隣接するエッジ中心間の距離をホー
ルドするようにしたホールド態様のことであり、MAX
ピッチホールド態様とMINピッチホールド態様とを含
む。ここで、MAXピッチホールド態様とは、相隣接す
るエッジ中心間の最大距離をホールドするホールド態様
(例えばICのリードピッチの最大値のイメージ)を示
し、また、MINピッチホールド態様とは、相隣接する
エッジ中心間の最小距離をホールドするホールド態様
(例えばICのリードピッチの最小値のイメージ)をそ
れぞれ示している。尚、エッジ中心は、‘(スレッシュ
値を上回った位置+次に下回った位置)/2’で求めら
れる。
ド態様にあっては、タイミング表示マークを、時間軸上
の計測開始位置及び計測終了位置をそれぞれ通りかつ変
位軸に平行な2本の平行直線であり、かつ変位値表示マ
ークが変位軸上のスレッシュ値位置を通りかつ時間軸に
平行な直線としてもよい。
所定位置がスレッシュ値として設定されているか、並び
に、検査対象物上の所定位置を計測期間に設定できてい
るかを容易に確認することができる。
変位センサは、好ましい実施の形態にあっては、それぞ
れ撮像素子を内蔵しかつ光切断法により測定対象変位に
対応するラインビーム画像を出力するセンサヘッドと、
センサヘッドが電気コードで接続される本体装置と、本
体装置に対する各種の指令を与えるための操作器と、本
体装置から得られるモニタ出力で駆動される画像モニタ
と、を具備するものとして実現することができる。
上の各変位データと計測対象範囲との関係を視覚的に観
察することにより、計測対象物の予定された部位が正し
く計測対象範囲に収まっているかを確認できるから、計
測ホールド結果が異常値を示したり、或いは、検査対象
物が不良品と判定されたときに、その原因が真に検査対
象物の側にあるのか、或いは、計測ホールド処理が検査
対象物の予定された部位に対して正しく実行されなかっ
た結果であるのかを容易に判断することができる光学式
の変位センサを実現することができる。
一形態を添付図面を参照しながら詳細に説明する。
は、センサヘッドと検査対象物との相対移動につれて時
系列的に得られる一連の変位データの中で、予め設定さ
れた計測対象範囲指定データで規定される計測対象範囲
内にある変位データに対してのみ、予め設定されたホー
ルド態様に基づく計測ホールド処理を実行し、これによ
り得られた計測ホールド結果を出力する変位センサであ
って、時系列的に得られる一連の変位データと設定され
た計測対象範囲指定データとに基づいて、一連の変位デ
ータを示すトレンドグラフ上に、計測対象範囲を示す図
形が重ねて描かれた、計測対象変位データ確認用の表示
情報を編集して出力する表示情報編集手段を有するもの
である。
ステム構成の一例を示すブロック図が図1に示されてい
る。
は、本体装置10と、センサヘッド20と、画像モニタ
30と、操作器40とを含んでいる。尚、符号50で示
されるのは、PLC等の外部機器であり、符号60で示
されるのは検査対象物の到来を検出する同期用センサで
ある。
すものであり、マイクロプロセッサを主体として構成さ
れている。この本体装置10の内部には、後に図4を参
照して説明するように、各種の処理機能がソフトウェア
的に実現されている。
受光画面上の位置情報に変換して検出する装置である。
センサヘッド20の一例が図2に示されている。同図に
示されるように、センサヘッド20は、レーザ光を発光
するレーザダイオード21と、レーザダイオード21の
前面側に配置されたスリット板22と、スリット板22
を通ったレーザ光を検査対象物(ワーク)W上に集束す
るレンズ系23と、検査対象物Wからの光を集束するレ
ンズ系24と、レンズ系24を介して得られた光像が受
光面に結ばれるように配置した撮像素子25とを含んで
いる。
固定されており、一方ワークWは搬送路に載せられて順
次センサヘッド20の下を通過するように描かれてい
る。
っているため、被検査対象物W上に照射される光線は、
ラインビーム(断面が直線状のビーム)とされている。
この例では、ラインビームの軸方向(ラインビームの光
軸と垂直なビーム断面における長手方向)は紙面と直交
する方向とされている。そのため、検査対象物Wの紙面
に直交する方向が平坦であれば、検査対象物W上のライ
ンビーム照射点26には、直線状の輝線が現れる。
CCD素子が採用されている。特にこの2次元CCD素
子は、細長い長方形状の視野を有する。一例としては、
このCCD素子の受光面上には、長辺方向1077個及
びそれに直交する短辺方向68個のピクセルが配列され
ている。又、受光面上に結像されるラインビームの方向
はCCD素子の受光面の長手方向と直交する方向となっ
ている。
プのもので、その表面には図示を省略するが、エスケー
プキー「ESC」、トリガキー「TRG」、エンターキ
ー「ENT」、上下左右の矢印キー、シフトキー「SH
IFT」が設けられている。この操作器40は、所定の
電気コードを介して本体装置10に接続される。
されるモニタ出力を受けて、対応する画像を画面上に表
示するものである。この画像モニタ30としては、CR
T表示器、液晶表示器などの任意の市販の表示器が採用
可能となされている。
れる変位量データ出力D1や判定出力D2を受け取るも
のであり、例えばプログラマブルコントローラ(PL
C)などがこれに相当する。
であり、センサヘッド20から取得した画像に対して、
ユーザ指定の計測アルゴリズムを用いて測定点座標を自
動的に抽出し、この自動的に抽出された測定点座標か
ら、例えば三角測量演算によって実際の変位量を算出
し、また変位量の変動許容値(しきい値)が設定されて
いる場合には、さらに、許容値判定処理を行い、対象製
品の良否判定結果である二値信号を生成する。そして、
これら生成された変位量データ出力D1並びに二値出力
である判定出力D2を外部機器50に送出する。
詳細に説明するように、センサヘッド20と検査対象物
Wとの相対移動につれて時系列的に得られる一連の変位
データの中で、予め設定された計測対象範囲指定データ
で規定される計測対象範囲内にある変位データに対して
のみ、予め設定されたホールド態様に基づく計測ホール
ド処理を実行し、これにより得られた計測ホールド結果
を出力する機能が具備されている。
て、更にこの実施の形態では、時系列的に得られる一連
の変位データと設定された計測対象範囲指定データとに
基づいて、一連の変位データを示すトレンドグラフ上
に、計測対象範囲を示す図形が重ねて描かれた、計測対
象変位データ確認用の表示情報を編集しこれをモニタ出
力として画像モニタ30へと送出する表示情報編集手段
が新たに設けられている。
が図3に示されている。同図に示されるように、この本
体装置10は、計測部110と制御部120とから概略
構成されている。
ンタフェース部111と、インタフェース部111を介
してセンサヘッド20から取り込まれた画像データを処
理する画像演算部112とが含まれている。
0並びに操作器40とのインタフェースとして機能する
GUI部121と、計測部110から送られてくる画像
データに対して適当な処理を加えてGUI部121へと
送り出す画像処理部122と、先ほど説明した変位量デ
ータ出力D1並びに判定出力D2を外部機器へと送り出
すための外部出力インタフェース部124と、装置全体
を統括制御するための制御処理部123とが含まれてい
る。
て説明する。インタフェース部111に含まれるセンサ
ヘッド制御部111Bは、センサヘッド20に内蔵され
たCCDの受光量が適切となるようにレーザダイオード
21の光量制御を行う。この状態で、センサヘッド20
内のCCDが撮影した画像データD3は、画像取込部1
11Aの作用で、計測部110内に取り込まれる。
データは、画像演算部112内の画像転送部112A並
びに計測処理部112Bへと送られる。画像転送部11
2Aは、画像取込部111Aから到来する画像データD
3を、制御部120内の画像処理部122へと送出す
る。又、計測処理部122Bでは、画像データD3に基
づいて様々な計測処理を行う。この計測処理には、セン
サヘッド20から取り込まれた画像データD3に基づい
て各時点の変位量を求める第1の計測処理と、時系列的
に得られる一連の変位データの中で、予め設定された計
測対象範囲指定データで規定される計測対象範囲内にあ
る変位データに対してのみ、予め設定されたホールド態
様に基づく計測ホールド処理を実行し、これにより得ら
れた計測ホールド結果を出力する第2の計測処理が含ま
れている。
出力される変位量データD1には、上述した第1並びに
第2の計測処理により得られた変位量データ並びに計測
ホールド結果の双方が含まれている。
に第2の計測処理で得られた変位量データ又は計測ホー
ルド結果を予め設定された基準値と比較して検査対象物
Wの良否判定を行い、その判定結果を判定出力D2とし
て出力する機能も含まれている。
理については、後に図4以下の図面を参照して詳細に説
明することとする。
測処理部112Bから送られてきたデータD7に基づ
き、ライン方向測定点座標データD8を求め、これを画
像処理部122へと送出する。画像処理部122は、画
像データ並びにラインブライトを含むデータD4をGU
I部121へと送出する。GUI部121は操作器40
からの各種指令を受け付けると共に、表示用データを編
集し、これをモニタ出力D5として画像モニタ30へと
送出する。
位量測定動作並びに計測ホールド処理動作の内容を図4
のフローチャートを参照しながら詳細に説明する。
先ほど説明した第1の計測処理に相当する変位量測定処
理が実行される(ステップ401)。
ャートが図5に示されている。同図において、まず最初
のステップでは、センサヘッド内のCCDで撮影された
画像を装置本体へと取り込む(ステップ501)。
画像の説明図が図7に示されている。同図に示されるよ
うに、センサヘッドに内蔵されたCCDは、細長い長方
形状の視野71を有する。この視野の長辺に沿うX方向
は変位方向とされており、また短辺に沿うY方向はライ
ンビーム方向とされている。又、センサの視野71内に
は、この例ではジグザグ状の直線としてラインビームの
像72が描かれている。又、変位方向において、図中左
側がセンサヘッドに近い方向、逆に右側がセンサヘッド
に遠い方向とされている。
範囲内の特徴点抽出処理を実行する(ステップ50
2)。測定範囲内における測定点決定処理の説明図が図
8に示されている。同図に示されるように、センサの視
野71内には、図中左右方向へ延びる2本の互いに平行
な点線74,75によって測定範囲73が示されてい
る。そして、この特徴点抽出処理では、この測定範囲7
3内において、所定の特徴点抽出アルゴリズムを使用す
ることにより、ピーク位置(Px,Py)並びにボトム
位置(Bx,By)が抽出される。尚、後述するよう
に、測定範囲73を特定する始点直線74及び終点直線
75は予めユーザにより設定されたものである。
含むラインのラインブライトを抽出する(ステップ50
3)。CCDによる撮像画像とラインブライト波形との
関係を示す説明図が図9に示されている。同図に示され
るように、このラインブライト抽出処理では、図中一点
鎖線で示されるピーク位置を含むライン上において、各
ピクセルの受光輝度が抽出され、これが変位方向に配列
されることによって、図に示されるラインブライト波形
76が生成される。図9に示されるように、このライン
ブライト波形76は、横軸を変位方向及び縦軸を階調と
する直交座標上において描かれている。
式に従って、ラインブライト上の測定点座標が抽出され
る(ステップ504)。この測定点座標の抽出は、しき
い値決定処理と測定点座標抽出処理を経て行われる。し
きい値決定方法の一例を示す説明図が図10に示されて
いる。同図に示されるように、しきい値THの決定はピ
ーク値を示すピクセルPPの輝度Vpに対してa%とし
て決定される。すなわち、TH=Vp×a%として自動
的に決定される。又、測定点座標抽出処理の説明図が図
11に示されている。測定点座標抽出方法には、この例
では重心モードとエッジ中心モードと片側エッジモード
との3種類のモードが用意されている。重心モードにお
いては、図9(a)に示されるように、図中ハッチング
で示されるしきい値THを越える部分の濃淡重心として
測定点が求められる。又、エッジ中心モードにおいて
は、ラインブライト波形としきい値THとの交点である
2つのエッジの中心として測定点が求められる。更に、
片側エッジモードにおいては、ラインブライト波形とし
きい値THとの片側エッジとして測定点が求められる。
座標から変位量が算出される(ステップ505)。この
変位量算出処理は例えば光学系が三角測距である場合、
変位量Z=A×B/(C×X)として求められる。ここ
で、Xは変位方向座標、A,B,Cはそれぞれ光学系に
より決定される定数である。
理(ステップ401)は、所定のトリガ信号の内容がO
FF状態からON状態へと反転するまでの間、繰り返し
継続される(ステップ402NO)。
えば、次々と搬送路上を流れてくる検査対象物の特定部
位を検査するような場合、個々の検査対象物の到来を外
部の同期用センサで検出してトリガ信号をONさせると
共に、トリガ信号のONタイミングを基準として一定時
間後に計測開始し、その後、一定時間後に計測終了する
といったように、計測対象範囲を任意に設定することが
できる。又、トリガ信号のON/OFF制御は、変位量
データと基準値との大小比較によりセルフ方式にて行う
ことも可能である。
が図16に示されている。同図に示されるように、トリ
ガ種類としては、『外部』方式と『セルフ』方式とが用
意されている。『外部』方式は同期用センサ60を使用
するときに選定されるもので、この『外部』方式を選定
した場合、トリガ信号の内容は端子台のTRIGGER
端子に供給される同期用センサのON/OFF出力に同
期する。これに対して、『セルフ』方式を選定した場
合、変位量測定値を基準にトリガONが決定される。す
なわち、変位量測定値がトリガレベル以上(以下)にな
るとトリガONと認識される。この『セルフ』方式に
は、アップトリガとダウントリガが存在する。アップト
リガの場合、変位量測定値がトリガレベル以上になると
トリガONと見なされる。ダウントリガの場合測定値が
トリガレベル以下になるとトリガONと見なされる。
トリガON判定処理では、上述の約束事に基づき、トリ
ガONの判定を行う。
ると(ステップ402YES)、その後トリガOFFと
判定されるまでの間(ステップ405NO)、データ保
持処理(ステップ403)及び変位量測定処理(ステッ
プ404)が繰り返し実行される。その結果、図3に示
される計測処理部112Bの内蔵メモリには、トリガO
NからトリガOFFまでの間に測定された変位量が時系
列的に保持されることとなる。
テップ405YES)、内蔵メモリに記憶保持された保
持データに対して各種の計測ホールド処理が実行される
(ステップ406)。尚、トリガOFFの生成について
も、図示しないが、『外部』方式、『セルフ』方式、そ
の他任意の方式が採用される。
明する。この実施の形態における計測ホールド処理に
は、選択可能な複数のホールド態様が用意されている。
すなわち、これらのホールド態様は、サンプリングホー
ルド態様、ピークホールド態様、ボトムホールド態様、
ピークtoピークホールド態様、アベレージホールド態
様、レングスホールド態様、極大ホールド態様、極小ホ
ールド態様、エッジホールド態様、ピッチホールド態様
の10種類である。
ールド処理の説明図が図12(a)に示されている。同
図に示されるように、サンプリングホールド態様による
計測ホールド処理が実行されると、測定開始時の値がホ
ールドされる。尚、図中破線A1により示される計測開
始タイミングは、トリガONタイミングと計測対象範囲
指定データである時刻データt1とにより決定される。
理の説明図が図12(b)に示されている。同図に示さ
れるように、ピークホールド態様に基づく計測ホールド
処理が実行されると、測定開始から終了までの最大値が
ホールドされる。尚、図中破線A1で示される測定開始
タイミングは、トリガONタイミングと計測対象範囲指
定データである時刻データt1とにより決定される。
又、破線A2で示される測定終了タイミングは、トリガ
ONタイミングと計測対象範囲指定データである時刻デ
ータt2とにより決定される。
処理の説明図が図12(c)に示されている。同図に示
されるように、ボトムホールド態様に基づく計測ホール
ド処理が実行されると、測定開始から終了までの最小値
がホールドされる。尚、図中破線A1で示される測定開
始タイミングは、トリガONタイミングと計測対象範囲
指定データである時刻データt1とにより決定される。
破線A2で示される測定終了タイミングは、トリガON
タイミングと計測対象範囲指定データである時刻データ
t2とにより決定される。
測ホールド処理の説明図が図13(a)に示されてい
る。同図に示されるように、ピークtoピークホールド
態様に基づく計測ホールド処理が実行されると、測定開
始から終了までの最大値と最小値との差がホールドされ
る。尚、図中破線A1で示される測定開始タイミング
は、トリガONタイミングと計測対象範囲指定データで
ある時刻データt1とに基づいて決定される。破線A2
で示される計測終了タイミングは、トリガONタイミン
グと計測対象範囲指定データである時刻データt2とに
より決定される。
ルド処理の説明図が図13(b)に示されている。同図
に示されるように、アベレージホールド態様に基づく計
測ホールド処理が実行されると、測定開始から終了まで
の平均値がホールドされる。尚、図中破線A1で示され
る計測開始タイミングは、トリガONタイミングと計測
対象範囲指定データである時刻データt1とにより決定
される。破線A2で示される測定終了タイミングは、ト
リガONタイミングと計測対象範囲指定データである時
刻データt2とにより決定される。
ド処理の説明図が図13(c)に示されている。同図に
示されるように、レングスホールド態様に基づく計測ホ
ールド処理が実行されると、頂点abcdを有する矩形
の測定範囲内において変位量が一定である時間長Lがホ
ールドされる。尚、辺abで示される測定開始タイミン
グは、トリガONタイミングと計測対象範囲指定データ
である時刻データt1とにより決定される。辺dcで示
される測定終了タイミングは、トリガONタイミングと
計測対象範囲指定データである時刻データt2とにより
決定される。辺bcで示される変位量下限値は、計測対
象範囲指定データである変位量下限値データy1により
決定される。辺adで示される変位量上限値は、計測対
象範囲指定データである変位量上限値データy2により
決定される。
理の説明図が図14(a)に示されている。同図に示さ
れるように、極大ホールド態様に基づく計測ホールド処
理が実行されると、頂点abcdで示される矩形の測定
範囲内に存在する最大の極大値がホールドされる。尚、
図において、辺abで示される測定開始タイミングは、
トリガONタイミングと計測対象範囲指定データである
時刻データt1とにより決定される。辺dcにより示さ
れる計測終了タイミングは、トリガONタイミングと計
測対象範囲指定データである時刻データt2とにより決
定される。辺bcで示される変位量最小値は、計測対象
範囲指定データである変位量下限値データy1により決
定される。辺adで示される変位量最大値は、計測対象
範囲指定データである変位量最大値データy2により決
定される。
理の説明図が図14(b)に示されている。同図に示さ
れるように、極小ホールド態様に基づく計測ホールド処
理が実行されると、頂点abcdで示される矩形の測定
範囲内に存在する最小の極小値がホールドされる。尚、
図において、辺abで示される測定開始タイミングは、
トリガONタイミングと計測対象範囲指定データである
時刻データt1とにより決定される。辺dcで示される
測定終了タイミングは、トリガONタイミングと計測対
象範囲指定データである時刻データt2とにより決定さ
れる。辺bcで示される変位量下限値は、計測対象範囲
指定データである変位量下限値データy1により決定さ
れる。辺adで示される変位量上限値は、計測対象範囲
指定データである変位量上限値データy2により決定さ
れる。
処理の説明図が図15(a)に示されている。同図に示
されるように、エッジホールド態様に基づく計測ホール
ド処理が実行されると、測定開始から終了までの時間に
おいて、最初にスレッシュ値THを越えた点Yのタイミ
ングがホールドされる。尚、図中破線A1で示される測
定開始タイミングは、トリガONタイミングと計測対象
範囲指定データである時刻データt1とにより決定され
る。破線A2で示される測定終了タイミングは、トリガ
ONタイミングと計測対象範囲指定データである時刻デ
ータt2により決定される。
処理の説明図が図15(b)に示されている。同図に示
されるように、ピッチホールド態様に基づく計測ホール
ド処理が実行されると、測定開始から終了までの間にお
いて存在する相隣接する極大値の間の時間長がピッチP
として出力される。尚、図において破線A1で示される
測定開始タイミングは、トリガONタイミングと計測対
象範囲指定データである時刻データt1とにより決定さ
れる。破線A2で示される測定終了タイミングは、トリ
ガONタイミングと計測対象範囲指定データである時刻
データt2とにより決定される。
おいては、センサヘッド20と検査対象物Wとの相対移
動につれて時系列的に得られる一連の変位データの中
で、予め設定された計測対象範囲指定データで規定され
る計測対象範囲内にある変位データに対してのみ、予め
設定されたホールド態様に基づく計測ホールド処理が実
行され、これにより得られた計測ホールド結果が出力さ
れる。
プ406)が終了すると、続いて、判定処理(ステップ
407)が実行される。この判定処理(ステップ40
7)では、計測ホールド処理(ステップ406)におい
て得られた各種のホールド値を予め設定された基準値と
比較することにより、当該検査対象物の良否を判定し、
その判定結果を生成記憶する。すなわち、先の例によれ
ば、サンプリング値、ピーク値、ボトム値、ピークto
ピーク値、アベレージ値、レングス値、極大値、極小
値、エッジポイント、ピッチがそれぞれ正常範囲に入っ
ているか否かを判定するのである。
と、続いて出力処理が実行される(ステップ408)。
この出力処理では、計測ホールド処理(ステップ40
6)で得られたホールド値及び判定処理(ステップ40
7)で得られた判定値を、それぞれ変位量データ出力D
1並びに判定出力D2として、外部機器(PLCなど)
50へと出力する処理が実行される。
と、続いて、画面表示処理が実行される(ステップ40
9)。この画面表示処理(ステップ409)において
は、本体装置10と画像モニタ30との協動により、画
像モニタ30の画面上に、後述するように、一連の変位
データを示すトレンドグラフ上に計測対象範囲を示す図
形が重ねて描かれた画像が表示される。
が図6に示されている。同図において処理が開始される
と、まず最初のステップでは、変位データ列をトレンド
グラフに編集する処理(ステップ601)が実行され
る。この編集処理(ステップ601)では、計測処理部
112Bの内部メモリに格納された一連の変位データ列
を、横軸に時間を、縦軸に変位量をそれぞれとった直交
座標上に時系列的に配列する処理が実行される。
用データに編集する処理(ステップ602)が実行され
る。この編集処理(ステップ602)では、先に説明し
た計測ホールド処理(ステップ406)で得られたホー
ルド値(変位量データや時間長データなど)を該当する
数字に変換したり、判定処理(ステップ407)で得ら
れた判定結果を文字や記号に変換する処理が実行され
る。例えば、変位量についてはmm単位で表示され、時
間長についてはms単位で表示される。
2)が実行されると、後に画面表示例により詳細に説明
するように、画像モニタ30の画面上には、トレンドグ
ラフと、計測・判定結果とが表示されることとなる。
器や液晶表示器に任意の図形や曲線並びに数字や文字な
どを表示するための画像処理については、ビデオRAM
やCRTコントローラなどを制御して通常通りに行うも
のであり、当業者においては周知であるから詳細説明は
省略する。
用されたホールド態様の種別が判定される(ステップ6
03)。この実施の形態においては、先に説明した10
種類のホールド態様は4つの区分に分類される。すなわ
ち、第1の区分には、サンプリングホールド態様が含ま
れる。第2の区分には、ピークホールド態様、ボトムホ
ールド態様、ピークtoピークホールド態様、アベレー
ジホールド態様が含まれる。第3の区分には、レングス
ホールド態様、極大ホールド態様、極小ホールド態様が
含まれる。第4の区分には、エッジホールド態様とピッ
チホールド態様とが含まれる。
れると(ステップ603A)、トレンドグラフ上のサン
プリング位置にはグラフィックの線が表示される(ステ
ップ604)。
面表示例が図20に示されている。同図において、20
1はトレンドグラフ表示領域、202はトリガ信号表示
領域、203はサンプリング時間表示、204はX軸
(時間軸)の刻み幅表示、205はY軸(変位軸)の刻
み幅表示、206は変位軸、207は時間軸、208は
トレンドグラフ曲線、209は判定結果表示、210は
出力番号表示、211はサンプリングホールド結果表
示、212は判定値上限変更ボタン、213は判定値下
限変更ボタン、Z1はサンプリングタイミングを示す直
線状表示(グラフィック線)である。
おいては、変位軸206と時間軸207とで構成される
直交座標上において、時系列的に得られる一連の変位デ
ータを時間軸207に沿って並べることにより、トレン
ドグラフ曲線208が描かれている。そして、このトレ
ンドグラフ上において、サンプリングタイミングに相当
する位置には、サンプリングタイミングを示す直線状表
示Z1が重ねて描かれている。そのため、このようなト
レンドグラフによれば、オペレータは、サンプリングホ
ールドモードを実行させつつ、直線状表示Z1の位置に
基づいて、トレンドグラフ曲線208上のどのタイミン
グのデータがサンプリングホールドされたかを確認する
ことができる。これにより、サンプリングホールドされ
た値が異常値を示したり、あるいは判定結果が不良品と
されたような場合、その原因が、真に検査対象物の側に
あるのか、あるいは計測ホールド処理が検査対象物の予
定された部位に対して正しく実行されなかった結果であ
るかを容易に判断することができる。
の区分に属するものと判定されると(ステップ603
B)、トレンドグラフ上において、ホールド期間の開始
と終了のタイミングにグラフィックの線を表示する処理
が実行される(ステップ605)。
oピーク、アベレージ)における画面表示例が図21に
示されている。同図において、201はトレンドグラフ
表示領域、202はトリガ信号表示領域、203はサン
プリング時間表示、204はX軸(時間軸)の刻み幅表
示、205はY軸(変位軸)の刻み幅表示、206は変
位軸、207は時間軸、208はトレンドグラフ曲線、
209は判定結果表示、210は出力番号表示、211
はピーク、ボトム、ピークtoピーク、又はアベレージ
ホールド結果表示、212は判定値上限変更ボタン、2
13は判定値下限変更ボタンである。
面上には、変位軸206と時間軸207とで構成される
直交座標上に、時間軸207に沿って変位データを配列
することにより、トレンドグラフ曲線208が描かれて
いる。そして、このトレンドグラフにおける測定開始タ
イミングに相当する位置には、直線状の測定開始タイミ
ング表示Z2(グラフィック線)が、また終了タイミン
グに相当する位置には直線状の終了タイミング表示Z3
(グラフィック線)がそれぞれ描かれている。そのた
め、このようなモニタ表示によれば、オペレータは、ピ
ーク、ボトム、ピークtoピーク、アベレージホールド
態様における計測ホールド処理を実行させながら、その
対象となる計測期間を、直線状表示Z2とZ3とに基づ
いて、視覚的に確認することができる。
ドグラフ上の各変位データと直線状表示Z2,Z3とで
特定される計測対象範囲との関係を視覚的に観察するこ
とにより、計測対象物の予定された部位が正しく計測対
象範囲に収まっているかを確認できるから、計測ホール
ド結果が異常値を示したり、あるいは検査対象物が不良
品と判定されたときに、その原因が真に検査対象物の側
にあるのか、あるいは、計測ホールド結果処理が検査対
象物の予定された部位に対して正しく実行されなかった
結果であるのかを容易に判断することができる。
3の区分に属すると判定された場合には(ステップ60
3C)、トレンドグラフ上における計測対象領域をグラ
フィックの矩形で囲む処理が実行される(ステップ60
6)。
おける画面表示例が図22に示されている。同図におい
て、201はトレンドグラフ表示領域、202はトリガ
信号表示領域、203はサンプリング時間表示、204
はX軸(時間軸)の刻み幅表示、205はY軸(変位
軸)の刻み幅表示、206は変位軸、207は時間軸、
208はトレンドグラフ曲線、209は判定結果表示、
210は出力番号表示、211はレングス、極大、又は
極小ホールド結果表示、212は判定値上限変更ボタ
ン、213は判定値下限変更ボタン、Z4は計測対象領
域を示す矩形状表示(グラフィック)である。
(レングス、極大、極小)に基づく計測ホールド処理を
実行させた場合、画像モニタの画面上には、変位軸20
6と時間軸207とからなる直交座標上に、時間軸20
7に沿って変位データを配列することにより、トレンド
グラフ曲線208が描かれる。そして、このトレンドグ
ラフ上において、計測対象領域に相当する部分には、矩
形状表示Z4が重ねて描かれる。そのため、このような
モニタ画面によれば、矩形状表示Z4とトレンドグラフ
曲線208との関係に基づき、計測ホールド処理が、ト
レンドグラフ上のどの部分について実施されたかを視覚
的に確認することができる。
ンドグラフ上のトレンドグラフ曲線208と矩形状表示
Z4との関係を視覚的に観察することにより、計測対象
物の予定された部位が正しく計測対象範囲に収まってい
るかを確認できるから、計測ホールド結果が異常値を示
したり、あるいは、検査対象物が不良品と判定されたと
きに、その原因が真に検査対象物の側にあるのか、ある
いは、計測ホールド処理が検査対象物の予定された部位
に対して正しく実行されなかった結果であるのかを容易
に判断することができる。
の区分に属すると判定されると(ステップ603D)、
トレンドグラフ上において、スレッシュTHと計測期間
の開始と終了タイミングとにそれぞれグラフィックの線
を表示する処理が実行される(ステップ607)。
画面表示例が図23に示されている。同図において、2
01はトレンドグラフ表示領域、202はトリガ信号表
示領域、203はサンプリング時間表示、206は変位
軸、207は時間軸、208はトレンドグラフ曲線、2
09は判定結果表示、210は出力番号表示、211は
エッジ又はピッチホールド結果表示、212は判定値上
限変更ボタン、213は判定値下限変更ボタン、Z5は
計測開始タイミングを示す直線状表示(グラフィック
線)、Z6は計測終了タイミングを示す直線状表示(グ
ラフィック線)、Z7はスレッシュ値を示す直線状表示
(グラフィック線)である。
(相隣接するエッジ中心間距離)として、‘000.5
012’なる数値が示されている。当該エッジ中心間距
離は、‘レングス時間(s)×移動速度(mm/s)’
で求められる。この例では、レングス時間=0.05
s、移動速度=10.024mm/sが求められ、エッ
ジ中心間距離=000.5012が算出されている。
(エッジ、ピッチ)における画面表示例によれば、トレ
ンドグラフに重ねるようにして、計測開始タイミングを
示す直線状表示Z5、計測終了タイミングを示す直線状
表示Z6、スレッシュ値THを示す直線状表示Z7とが
それぞれ描かれる。そのため、これらの表示Z5〜Z7
とトレンドグラフ曲線208との関係を視覚的に観察す
ることにより、エッジホールド態様並びにピッチホール
ド態様が、トレンドグラフ上におけるどの期間に対して
実施されているかを確認することができる。
レンドグラフ上の各変位データを示すトレンドグラフ曲
線208と計測対象範囲を示す直線状表示Z5,Z6,
Z7との関係を視覚的に観察することにより、計測対象
物の予定された部位が正しく計測対象範囲に収まってい
るかを確認できるから、計測ホールド結果が異常値を示
したり、あるいは、検査対象物が不良品と判定されたと
きに、その原因が真に検査対象物の側にあるのか、ある
いは、計測ホールド処理が検査対象物の予定された部位
に対して正しく実行されなかった結果であるのかを容易
に判断することができる。特にこの実施形態において
は、時間的な計測範囲のみならず、スレッシュ値THが
適切に設定されているかまでをも確実に判定できるか
ら、エッジホールド態様並びにピッチホールド態様にお
いては一層好ましい結果がもたらされる。
においては、一連の変位データを示すトレンドグラフ上
に計測対象範囲を示す図形が重ねて描かれるため、計測
ホールド結果が異常値を示したり、あるいは、検査対象
物が不良品と判定されたときに、その原因が真に検査対
象物の側にあるのか、あるいは、計測ホールド処理が検
査対象物の予定された部位に対して正しく実行されなか
った結果であるのかを容易に判断することができる。
象範囲を示す図形は常に表示画面上の一定位置に固定さ
れて表示される。そのため、トリガONタイミングに狂
いが生じて、変位データが計測対象範囲内に収まらない
ような場合には、計測対象範囲を示す図形は固定された
まま、トレンドグラフ曲線208の方が左右へとずれて
表示される結果となり、このような計測対象範囲からの
ずれを明瞭に理解させることができる。
示基準位置の設定とトリガON位置との整合制御により
実現される。すなわち、図17に示されるように、この
実施形態の変位センサにおいては、表示基準位置設定操
作を通じて、トレンドグラフ上の特定位置を、希望する
表示位置に表示させることができる。すなわち、図18
(a)に示されるように、表示基準位置を画面中央とし
た場合、トリガON前後の波形を容易に確認することが
でき、同図(b)に示されるように、表示基準位置を画
面左端とした場合には、トリガON後の波形を重点的に
観察することができる。
図19に示す4枚の画像メモリ(0)〜(3)を用いる
ことにより、図20〜図23に示した画面表示を実現す
ることができる。この場合、画像メモリ(0)にはトレ
ンドグラフが、画像メモリ(1)には画面枠判定値など
の固定描画部品が、画像メモリ(2)には計測判定結果
が、画像メモリ(3)には計測対象範囲表示図形(Z1
〜Z7)が書き込まれる。そして、これらの画像メモリ
(0)〜(3)の格納データは、公知のCRTコントロ
ーラの作用により、順次並列に読み出されて合成された
後、画像モニタ30へ送られて表示されることとなる。
れば、トレンドグラフ上の各変位データと計測対象範囲
との関係を視覚的に観察することにより、計測対象物の
予定された部位が正しく計測対象範囲に収まっているか
を確認できるから、計測ホールド結果が異常値を示した
り、あるいは、検査対象物が不良品と判定されたとき
に、その原因が真に検査対象物の側にあるのか、あるい
は、計測ホールド処理が検査対象物の予定された部位に
対して正しく実行されなかった結果であるのかを容易に
判断することができる。
よれば、トレンドグラフ上の各変位データと計測対象範
囲との関係を視覚的に観察することにより、計測対象物
の予定された部位が正しく計測対象範囲に収まっている
かを確認できるから、計測ホールド結果が異常値を示し
たり、或いは、検査対象物が不良品と判定されたとき
に、その原因が真に検査対象物の側にあるのか、或い
は、計測ホールド処理が検査対象物の予定された部位に
対して正しく実行されなかった結果であるのかを容易に
判断することができる。
の一例を示すブロック図である。
である。
る。
である。
ある。
る。
明図である。
ある。
の関係を示す説明図である。
る。
る。
る。
る。
ある。
す説明図である。
表示例を示す図である。
ピーク、アベレージ)における画面表示例を示す図であ
る。
ける画面表示例を示す図である。
面表示例を示す図である。
ータ y1,y2 計測対象範囲指定データを構成する変位量
データ Z1 サンプリングタイミングを示す直線状表示 Z2 計測開始タイミングを示す直線状表示 Z3 計測終了タイミングを示す直線状表示 Z4 計測対象範囲を示す矩形状表示 Z5 計測対象範囲を示す直線状表示 Z6 計測終了タイミングを示す直線状表示 Z7 スレッシュ値(TH)を示す直線状表示 201 トレンドグラフ表示領域 202 トリガ信号表示領域 203 サンプリング時間表示 204 X軸(時間軸)の刻み幅表示 205 Y軸(変位軸)の刻み幅表示 206 変位軸 207 時間軸 208 トレンドグラフ曲線 209 判定結果表示 210 出力番号表示 211 レングス、極大、又は極小ホールド結果表示 212 判定値上限変更ボタン 213 判定値下限変更ボタン
Claims (13)
- 【請求項1】 センサヘッドと検査対象物との相対移動
に連れて時系列的に得られる一連の変位データの中で、
予め設定された計測対象範囲指定データで規定される計
測対象範囲内にある変位データに対してのみ、予め設定
されたホールド態様に基づく計測ホールド処理を実行
し、これにより得られた計測ホールド結果を出力する変
位センサであって、 時系列的に得られる一連の変位データと設定された計測
対象範囲指定データとに基づいて、一連の変位データを
示すトレンドグラフ上に、計測対象範囲を示す図形が重
ねて描かれた、計測対象変位データ確認用の表示情報を
編集して出力する表示情報編集手段を有する、変位セン
サ。 - 【請求項2】 計測ホールド結果を予め設定された基準
値と比較して良否判定処理を実行し、これにより得られ
た良否判定結果を出力する、請求項1に記載の変位セン
サ。 - 【請求項3】 計測対象となる変位データの時間的範囲
は、同期用センサを介して外部生成されるトリガ信号、
又は時系列的に得られる一連の変位データと基準値との
比較に基づいて自己生成されるトリガ信号、を基準とし
て決定される、請求項1又は2に記載の変位センサ。 - 【請求項4】 計測対象変位データ確認用の表示情報に
より表示されるトレンドグラフにおいては、モニタ画面
上の時間軸方向の表示基準位置とトリガ信号のオンタイ
ミングとが常に整合するように、時間軸方向の画像シフ
ト制御が行われる、請求項1〜3のいずれかに記載の変
位センサ。 - 【請求項5】 計測ホールド処理に採用されるホールド
態様がサンプリングホールド態様であり、かつ一連の変
位データを示すトレンドグラフ上に重ねられる計測対象
範囲を示す図形が、時間軸上における計測開始位置に描
かれたタイミング表示マークを含む、請求項1〜4のい
ずれかに記載の変位センサ。 - 【請求項6】 タイミング表示マークが、時間軸上の計
測開始位置を通りかつ変位軸に平行な直線である、請求
項5に記載の変位センサ。 - 【請求項7】 計測ホールド処理に採用されるホールド
態様がピークホールド態様、ボトムホールド態様、ピー
クtoピークホールド態様、アベレージホールド態様の
いずれかであり、かつ一連の変位データを示すトレンド
グラフ上に重ねられる計測対象範囲を示す図形が、時間
軸上における計測開始位置及び計測終了位置にそれぞれ
描かれたタイミング表示マークを含む、請求項1〜4の
いずれかに記載の変位センサ。 - 【請求項8】 タイミング表示マークが、時間軸上の計
測開始位置及び計測終了位置をそれぞれ通りかつ変位軸
に平行な2本の平行直線である、請求項7に記載の変位
センサ。 - 【請求項9】 計測ホールド処理に採用されるホールド
態様がレングスホールド態様、極大ホールド態様、極小
ホールド態様のいずれかであり、かつ一連の変位データ
を示すトレンドグラフ上に重ねられる計測対象範囲を示
す図形が、時間軸上における計測開始位置及び計測終了
位置にそれぞれ描かれたタイミング表示マークと、変位
軸上における計測対象変位下限位置及び計測対象変位上
限位置にそれぞれ描かれた変位値表示マークを有する二
次元領域特定図形を含む、請求項1〜4のいずれかに記
載の変位センサ。 - 【請求項10】 二次元領域特定図形が、時間軸上の計
測開始位置及び計測終了位置をそれぞれ通りかつ変位軸
に平行な2本の平行線分と、変位軸上の計測対象変位下
限位置をそれぞれ通りかつ時間軸に平行な2本の平行線
分とからなる矩形図形である、請求項9に記載の変位セ
ンサ。 - 【請求項11】 計測ホールド処理に採用されるホール
ド態様がエッジホールド態様又はピッチホールド態様で
あり、かつ一連の変位データを示すトレンドグラフ上に
重ねられる計測対象範囲を示す図形が、時間軸上におけ
る計測開始位置及び計測終了位置にそれぞれ描かれたタ
イミング表示マークと、変位軸上におけるスレッシュ値
位置に描かれた変位値表示マークとを含む、請求項1〜
4のいずれかに記載の変位センサ。 - 【請求項12】 タイミング表示マークが、時間軸上の
計測開始位置及び計測終了位置をそれぞれ通りかつ変位
軸に平行な2本の平行直線であり、かつ変位値表示マー
クが変位軸上のスレッシュ値位置を通りかつ時間軸に平
行な直線である、請求項11に記載の変位センサ。 - 【請求項13】 請求項1〜12のいずれかに記載の変
位センサであって、 それぞれ撮像素子を内蔵しかつ光切断法により測定対象
変位に対応するラインビーム画像を出力するセンサヘッ
ドと、 センサヘッドが電気コードで接続される本体装置と、 本体装置に対する各種の指令を与えるための操作器と、 本体装置から得られるモニタ出力で駆動される画像モニ
タと、 を具備する変位センサ。
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