JP2002136912A - 溶液の供給装置 - Google Patents
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Abstract
入を防ぎつつ、タンク内の溶液を従来よりも無駄なく使
用できる供給装置を提供する。 【解決手段】 複数の加圧タンク2,2のいずれかから
着色感剤7を所定の流路を経て塗布装置20へ導くため
の溶液の供給装置1A,1Bにおいて、複数の加圧タン
ク2,2のそれぞれと塗布装置20とを結ぶ流路9の途
中に各加圧タンク2毎に中間タンク3,3を設ける。各
中間タンク3,3に溜められた溶液の量が予め設定され
た下限値以上か否かをセンサ15で検出し、その検出結
果に対応した信号をシステム制御装置16に出力する。
その出力信号に基づいて中間タンク3の溶液の量が下限
値以上か否かを判別し、下限値未満と判断したときに加
圧タンク2の切り替えに関連付けられた所定の処理を行
なう。
Description
の着色樹脂組成物、黒色樹脂組成物、透明樹脂組成物、
レジスト材等の現像液、洗浄液、エッチング液、剥離液
等の溶液を供給する装置に関する。
フィルタ用の着色感剤は例えば10kgを単位としてボ
トル詰めされて提供され、加圧タンク方式で塗布装置に
供給される。加圧タンク方式とは、着色感剤を収容した
ボトルをタンク内に設置し、そのタンク内に加圧された
エアを供給してその圧力で着色感剤をタンク外に吐出さ
せる方式である。
給するため、従来は一つの塗布装置に対して二つのタン
クを設置し、各タンク内の着色感剤の消費度に応じてタ
ンクを切り替えて使用している。各タンクの着色感剤の
残量は、重量センサによりタンクの重量を検出して特定
される。使用中のタンクの重量が所定の下限値を下回る
とそのタンク内の着色感剤の残量が不足すると見なされ
て別のタンクが選択される。
タの着色感剤の塗布工程では、着色感剤に僅かでも気泡
が混入すると塗布不良として扱われる。例えば、対角線
方向の寸法が1000mmを越える基板の表面に直径3
0μm程度の気泡(マイクロバブル)が一つ混入しただ
けでも塗布不良になる程である。そこで、従来は万が一
にも気泡が混入しないように、各タンクの重量の下限値
に十分な余裕を設定している。しかも、装置の振動で液
面が揺れる等の理由により重量センサの検出値が実際の
重量よりも小さい値を示す場合も少なくない。そして、
重量センサの検出値が一旦残量不足の状態を示したなら
ば、以降そのタンクは新たに着色感剤を充填しない限り
使用ができないように安全策が採られている。こうした
事情から、残量不足と見なされたボトルに実際に残され
る着色感剤の量が比較的大きくなり、相当量の感剤が無
駄に捨てられていた。例えば一つのボトルにつき300
〜500cc、ときとして1kgを越える着色感剤が無
駄に捨てられていた。一般的なカラーフィルタの基材の
場合、1kgの着色感剤でおよそ300〜500シー
ト、場合によっては1000シートを越える着色が可能
であり、その改善が強く望まれていた。
溶液に対する気泡の混入を防ぎつつ、タンク内の溶液を
従来よりも無駄なく使用できる溶液の供給装置を提供す
ることを目的とする。
明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図
面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本
発明が図示の形態に限定されるものではない。
れかから溶液を所定の流路を経て塗布装置(20)へ導
くための溶液の供給装置(1A,1B)において、前記
複数の供給源のそれぞれと前記塗布装置とを結ぶ流路
(6,9)の途中に各供給源毎に設けられた中間タンク
(3,3)と、各中間タンクに溜められた溶液の量が予
め設定された下限値以上か否かを検出し、その検出結果
に対応した信号を出力するセンサ(15)と、前記セン
サからの出力信号に基づいて前記中間タンクの溶液の量
が前記下限値以上か否かを判別し、下限値未満と判断し
たときに前記供給源の切り替えに関連付けられた所定の
処理を行なう制御手段(16)とを備えることにより、
上述した課題を解決する。
を結ぶ流路の途中に中間タンクが設けられているので、
供給源から中間タンクに至る流路に気泡が混入しても、
その気泡は中間タンクに一旦捕捉されて塗布装置側へは
直ちに混入しない。従って、供給源からは気泡が混じる
ほどに残量が減少するまで溶液を取り出すことができ
る。供給源の溶液の残量が殆どなくなって中間タンクへ
溶液が供給されない状態になると、中間タンクの溶液が
下限値を下回ってその状態がセンサからの出力信号に基
づいて制御手段により検出され、供給源の切り替えに関
連付けられた所定の処理が実行される。所定の処理とし
ては、例えば供給源の切り替えをオペレータに指示する
ものでもよいし、供給源の切り替え作業の一部又は全部
を自動的に行なうものでもよい。このようにして塗布装
置側への気泡の混入を防ぎつつ、タンク内の溶液を無駄
なく使用することができる。なお、供給源は種々の構成
のものが使用できるが、好適にはタンク内に加圧して溶
液を取り出す加圧タンク式の供給源を使用することがで
きる。
べき溶液の下限値は、塗布装置側への気泡の混入が制限
されるレベルに応じて適宜設定することができる。塗布
装置が一定量ずつ溶液を吐出する構成の場合、好適には
その一回の吐出量以上、好ましくは一回の吐出量の10
0〜150%の量を下限値として設定するとよい。中間
タンクに溶液が下限値以上溜められているか否かは、溶
液の量に相関した各種の物理量に基づいて検出すること
ができるが、好適には溶液の液面の位置を検出するとよ
い。中間タンクは下限値以上の容量を備えていればよい
が、下限値に対してある程度の余裕量だけ大きく設定す
ることが望ましく、より具体的には下限値に対して中間
タンクの容量を200〜300%の範囲に設定するとよ
い。
置は、流路を閉じる開閉弁(22)を所定時間ずつ繰り
返し開放することにより、供給源(2)から供給された
溶液を所定量ずつ吐出するよう構成されたものとするこ
とができる。この場合には、開閉弁を開く時間に依存し
て吐出量が変化する。
その取り込んだ溶液を吐出する工程とを繰り返すポンプ
(25)を塗布装置に設けてもよい。その場合、中間タ
ンクとポンプとの間でかつ各中間タンクからの流路が合
流する位置よりも下流側には、ポンプに供給する溶液を
蓄えるためのポンプ前タンク(40)を設け、そのポン
プ前タンクには、当該ポンプ前タンクに溜められた溶液
の量が予め設定された下限値以上か否かを検出し、その
検出結果に対応した信号を出力するポンプ用センサ(4
2)を付設し、前記制御手段(16)は、前記ポンプ用
センサからの出力信号に基づいて前記ポンプ前タンクの
溶液の量が前記下限値以上か否かを判別し、下限値未満
と判断したときに前記中間タンクから前記ポンプ前タン
クへの溶液の充填に関連付けられた所定の処理を行なう
ようにすることが望ましい。この場合には、供給源を加
圧して溶液を取り出すようにしても、その圧力をポンプ
前タンクで吸収してポンプ側への圧力の影響を避けるこ
とができる。従って、スピンコート装置等の塗布厚を調
整する手段を利用せずに均一な厚さで溶液を塗布したい
場合のように、一回当たりの吐出量の許容範囲が極めて
小さく制限されるような場合に好適な供給装置を提供で
きる。なお、溶液の充填に関連付けられた処理として
は、中間タンクとポンプ前タンクとを結ぶ流路の開閉弁
を開閉する操作等がある。ポンプの作動中はその溶液の
充填を禁止することが望ましい。ポンプ前タンクへの溶
液の充填によって気泡が発生し、それがポンプ側に流れ
るおそれを確実に排除するためである。
ィスプレイ用のカラーフィルタの基板に着色感剤、着色
・黒色・透明樹脂組成物、レジスト材等を塗布する装置
と組み合わせて使用することができる。着色感剤は一般
に有機溶剤を含んでいるから、中間タンクは有機溶剤に
侵されない材質で構成することが望ましく、PP、ガラ
ス、PE、テフロン(登録商標)等の材質で中間タンク
を構成する。また、中間タンクはチューブ、容器など、
液を溜めることができる形状であればよく、好適にはテ
フロンチューブが用いられる。また、着色感剤は有色で
あり、かつ感光性を有していることから、中間タンクに
おける着色感剤の検出には静電容量型の近接センサを用
いることが好ましい。このような近接センサであれば、
着色感剤が感光するおそれもないし、着色感剤の色の影
響を受けることなく検出が行える。しかも、テフロンチ
ューブで中間タンクを構成した場合には、近接センサの
周辺の金属による影響を極力減らすことができて都合が
よい。
る。この供給装置1Aは、カラーフィルタ用の着色感剤
を塗布装置20に供給するためのものであり、供給源と
しての二基の加圧タンク2,2と、各加圧タンク2と
1:1に対応させて設けられた中間タンク3,3とを備
えている。各加圧タンク2の内部には着色感剤のボトル
4が設けられる。加圧タンク2の内部は各加圧ライン5
から供給されるエアにより所定圧(例えば0.1〜0.
5MP)に加圧される。各加圧タンク2と各中間タンク
3とを結ぶ一次ライン6の一端は加圧タンク2内に設置
されたボトル4の底部付近まで挿入され、タンク2の加
圧によりボトル4内の着色感剤7は一次ライン6を介し
て中間タンク3へ供給される。
すため、一次ライン6の入口は可能な限りボトル4の底
面4aに近付けることが望ましい。図2に示すように、
ボトル4の底面4aが中央に向かって盛り上がる球面状
に形成されている場合には、一次ライン6の少なくとも
端部を柔軟なチューブ(例えばテフロンチューブ)6a
にて構成し、ボトル4の底面4aの最も低い箇所まで一
次ライン6が届くようにすることが望ましい。底面4a
の中央が最も低くなる場合も同様である。
には電磁制御式の開閉弁8,8が取り付けられている。
中間タンク3と塗布装置20とを結ぶ二次ライン9はそ
れら開閉弁8の下流で合流して塗布装置20へ通じてい
る。開閉弁8が閉じると中間タンク3内から塗布装置2
0への着色感剤7の供給が不可能となり、その結果とし
て中間タンク3に着色感剤7が蓄えられる。かくして、
中間タンク3と開閉弁8との組み合わせによって中間タ
ンクが構成される。開閉弁8が開かれると中間タンク3
から塗布装置20への着色感剤7の供給が可能となる。
なお、各中間タンク3の上端にはエア抜きライン11が
接続され、下端にはドレンライン12が接続される。各
ライン11,12にも同様に開閉弁13,14が装着さ
れる。
た着色感剤7をカラーフィルタの基板30に塗布するノ
ズル(ヘッドと呼ぶこともある。)21と、そのノズル
21に対する着色感剤7の供給及び供給停止を切り替え
る電磁制御式の開閉弁22と、開閉弁22の開閉を制御
するバルブ制御器23とを備えている。また、開閉弁2
2の上流側には二次ライン9に混入したエアを逃がすた
めのバッファとして機能するエアベントタンク24が設
置される。
か一方が開かれ、他方が閉じられた状態で塗布装置20
の開閉弁22が開かれることにより、いずれか一方の加
圧タンク2から中間タンク3を経てノズル21に至る流
路が連通し、開閉弁22を開けている時間に比例した流
量の着色感剤7がノズル21から吐出される。基板30
は着色感剤7を塗布すべき面と平行に一定速度で送られ
ており、バルブ制御器23はその送り速度に同期した所
定の周期で開閉弁22を繰り返し開閉させる。開閉弁2
2を開いている時間は毎回一定であり、従って、ノズル
21からは毎回一定量の着色感剤7が吐出する。なお、
図1ではノズル21を上向きに描いているが、これは下
向きでも、横向きでも構わない。
た着色感剤7の液面の位置(液位)を監視するためのセ
ンサ15が付設されている。センサ15は、検出対象の
物体とセンサ15との距離の変化に相関した静電容量の
変化を利用して、検出対象物体までの距離を非接触状態
で検出する静電容量型近接センサである。ここでは、セ
ンサ15が設置された位置(センサの検出位置を基準と
する。)よりも着色感剤7の液面が高いか否かに応じて
センサ15と中間タンク3との間の静電容量が変化する
ことに着目し、センサ15からの出力信号をシステム制
御装置16に導いて中間タンク3内の着色感剤7の液面
が所定の下限位置以上か否かを制御装置16にて判別し
ている。このような静電容量型近接センサとしては、例
えばオムロン株式会社が製造販売する近接センサE2K
−F型が利用できる。
の液面の下限位置は、塗布装置20の開閉弁22が一回
開いたときの吐出量に等しい量だけ着色感剤7を中間タ
ンク3に蓄えたときの液面と同一位置か又はそれよりも
高く設定される。つまり、中間タンク3に蓄えておく着
色感剤7の下限値は塗布装置20による一回の吐出量以
上に設定される。この下限値は塗布する溶液の種類に応
じて適宜設定してよいが、粘度範囲にして3.7±1〜
24±1.5cpの着色感剤7を使用する場合、一回の
吐出量に対して100〜150%を中間タンク3に蓄え
るべき着色感剤7の下限値として設定すると好適であ
る。塗布装置20の一回の吐出量は典型的には30〜5
0ccであるが、その値は基板30の大きさや種類、要
求される気泡の制限レベルに応じて異なることがある。
なお、中間タンク3とライン9との接続部分の都合等に
より、中間タンク3からライン9へと取出不可能な液量
が存在する場合には、その液量を除外した量を中間タン
ク3内に蓄えられた着色感剤7の量として扱うものとす
る。
値以上の着色感剤7を受け入れることができればよい
が、下限値として設定された容量のさらに200〜30
0%以上の容量を中間タンク3として確保することが好
ましい。中間タンク3は種々の材料にて構成してよい
が、オペレータが目視で着色感剤7の有無を確認できる
ものが望ましい。この点からも、透明性を有するテフロ
ンチューブにて中間タンク3を構成することが好適であ
る。
能に設けることが好ましい。この場合の位置調整機構は
例えば上下方向にレールを設け、そのレール上の任意の
位置でセンサ15を固定する等の構造が考えられる。そ
の他にも各種の構造でセンサ15の高さを調整可能とし
てよい。
プロセッサとその動作に必要なメモリ、クロック回路そ
の他の周辺回路を組み合わせたコンピュータとして構成
することができる。システム制御装置16はセンサ15
からの出力信号に基づいて各中間タンク3の液面を監視
する処理を実行し、液面の低下が検出された場合に加圧
タンク2の切替に関連付けられた所定の処理を行なう。
図3はその液面の監視処理の手順を示すフローチャート
である。以下、図3を参照しつつ、供給装置1により着
色感剤7を供給する手順を説明する。
圧タンク2に新品のボトル4、つまり着色感剤7で満た
されたボトル4が設置され、各加圧タンク2と接続され
た中間タンク3の下端の開閉弁8が閉じられて各中間タ
ンク3のほぼ上端まで着色感剤7が充填される。この
後、いずれか一方の開閉弁8が開、他方の開閉弁8が閉
じられた状態で開閉弁22の開閉を利用した塗布が開始
される。作業が開始されるとシステム制御装置16は所
定の周期で図3の液面監視処理を繰り返し実行する。
現在、着色感剤7を供給する対象として選択されている
中間タンク3側のものとする。)が着色感剤7を検出し
ているか否かが判断される(ステップS1)。着色感剤
7が検出されていればタイマーをリセットして(ステッ
プS6)、一回の監視処理を終える。着色感剤7の塗布
が進んでボトル4内の着色感剤7が無くなりかけると、
一次ライン6がエアーを吸い込むようになり、そのエア
ーが中間タンク3に流れ込んで中間タンク3内における
着色感剤7の液面が低下する。そして、着色感剤7の液
面が下限位置よりも低下するとセンサ15の出力信号が
変化し、着色感剤7を検出できないものとしてステップ
S1が否定判断される。この場合、システム制御装置1
6では、前回の監視処理でもセンサ15が着色感剤7を
検出できなかったか否か判断され(ステップS2)、前
回が検出のときはタイマーが起動されて非検出状態の継
続時間の計時が開始され(ステップS3)、前回が非検
出のときはステップS3がスキップされる。その後、タ
イマーによる計時が所定秒時(例えば0.1〜0.5
秒)に達したか否か判断され(ステップS4)、所定秒
時に達していないときは今回の監視処理を終える。
がある期間継続することを条件としたのは、中間タンク
3における液面の揺れや気泡の一時的な混入に起因し
て、着色感剤7の液面が下限位置以上であってもセンサ
15が着色感剤7の非検出を示す信号を瞬間的に出力す
る場合があり得るので、そのような一時的要因により無
駄に着色感剤7を捨てることがないよう配慮したもので
ある。但し、その期間は装置の運転状態等に応じて適宜
定めてよい。
(タイムアップ)と判断された場合には、加圧タンク2
を切り替えるべき時期に達したと見なされ、その加圧タ
ンク2の切り替えに関連付けられた所定の制御処理が行
なわれ、それにより監視処理を終える。
理としては、例えば、液面低下が検出された開閉弁8を
閉じ、反対側の開閉弁8を開ける処理がある。図1のア
ラーム17によりオペレータに加圧タンク2の切り替え
指示してもよい。バルブ制御器23に対してタンク切替
時期を示す信号を出力して、中間タンク3には塗布量よ
り余裕がある為、タンク2の切り替えを塗布作業が終る
まで中断させてもよい。
ては、開閉弁8の切り替えの他に、液面低下が検出され
た中間タンク3を再び使用できるように使用済のボトル
4を廃棄し、新たなボトル4をセットして中間タンク3
を着色感剤7で満たす作業がある。この作業は装置1の
オペレータが手作業で行なうようにしてもよいし、その
一部又は全部をシステム制御装置16の制御の下に自動
化してもよい。また、液面低下が検出された中間タンク
3を再び着色感剤7で満たすにはエア抜きライン11の
開閉弁13を開く必要があるが、その開閉はオペレータ
が手動で行なうようにしてもよいし、システム制御装置
16が自動制御してもよい。開閉弁8等の切り替えを全
て手作業で行なうものとし、ステップS5において、タ
ンクの切り替え時期が来たことをアラーム17等により
オペレータに指示するだけでもよい。
が検出される毎に加圧タンク2の切り替えを行なうこと
により、二基の加圧タンク2から塗布装置20に対して
交互に着色感剤7を供給することができる。しかも、中
間タンク3の液面低下がセンサ15にて検出された段階
では、中間タンク3に一回の吐出量以上の着色感剤7が
残されているので、ボトル4から気泡が混入するまで着
色感剤7を取り出してもその気泡は中間タンク3にて捕
捉され、塗布装置20には混入しない。従って、加圧タ
ンク2に設置される各ボトル4内の着色感剤7を従来よ
りも無駄なく使用できる。
示している。なお、図4において図1と共通する部分に
は同一符号を付し、以下では相違点を中心として説明す
る。図4の供給装置1Bは、ポンプ25を備えた塗布装
置20を対象とする点、及びそのポンプ25の設置に対
応して、中間タンク3,3と塗布装置20とを結ぶ二次
ライン9の途中にポンプ前タンク40が配置されている
点で図1の供給装置1Aと異なっている。
閉弁26a,26bと、それらに挟まれたポンプ室27
aを有するポンプチューブ27と、ポンプチューブ27
の外周に配置された加圧チューブ28とを備えている。
ポンプチューブ27は二次ライン9を介してポンプ前タ
ンク40に接続される。加圧チューブ28はポンプチュ
ーブ27のポンプ室27aを気密に囲むように設けら
れ、その外側には流体の圧力が加えられる。従って、加
圧チューブ28の外側から加える圧力を増減することに
より、ポンプ室27aに加わる圧力が変動してポンプ室
27aが収縮する。その収縮に合わせて開閉弁26a,
26bが開閉されてポンプ室27aへの着色感剤7の取
り込みと、ポンプ室27aからの着色感剤7の吐出とが
行われる。
態でポンプ室27aが収縮した場合にはポンプ室27a
に着色感剤7が取り込まれ、開閉弁26aが閉、開閉弁
26bが開の状態でポンプ室27aが収縮した場合には
ポンプ室27aの着色感剤7が不図示のノズルに送られ
る。このように、ポンプ25は一定容量の着色感剤7を
取り込む工程と、その取り込まれた着色感剤7を吐出す
る工程とを繰り返すものである。これらの動作は、基板
30の搬送動作に同期してポンプ制御器29により制御
される。上述した図1の塗布装置20では、加圧タンク
2から送られる圧力を利用してノズル21から着色感剤
7を吐出させているので、圧力変動の影響で吐出量が微
妙に変化するが、図5のポンプ25を利用した場合には
定量の着色感剤7をポンプ室27aに蓄えてからこれを
吐き出すようにしているので、加圧タンク2の圧力変動
の影響を受けることなく一定量の着色感剤7を基板30
に繰り返し塗布できる。従って、スピンコートを利用せ
ずに基板30を着色する用途に適している。
ンプ室27aに送るための着色感剤7を蓄えるために設
けられている。ポンプ前タンク40も中間タンク3と同
様に例えばテフロンチューブにて構成することができ
る。なお、中間タンク3は加圧タンク2に対して1:1
に設けられているが、ポンプ前タンク40は複数の中間
タンク3に対して一つあればよい。ポンプ前タンク40
に蓄えられた着色感剤7の量を監視するため、ポンプ前
タンク40にもセンサ41,42が付設される。センサ
41はポンプ前タンク40の液面の上限を検出し、セン
サ42はポンプ前タンク40の液面の下限を検出する。
これらのセンサ41,42には、中間タンク3のセンサ
15と同様に静電容量型の近接センサを好適に用いるこ
とができる。
ンク3のセンサ15が検出する液面の下限と同様であ
る。すなわち、センサ42が液面低下を示す信号を出力
したとき、ポンプ前タンク40にはポンプ25による一
回の吐出量以上の着色感剤7が残っているようにセンサ
42の検出位置が設定されている。
3と同様にドレン用の開閉弁43と、エア抜き用の開閉
弁44とがそれぞれ接続される。また、開閉弁8,8の
下流側における流路の合流位置とポンプ前タンク40と
の間には、さらに一つの開閉弁45が設けられる。この
開閉弁45は、開閉弁8とは別に中間タンク3からポン
プ前タンク40へ通じる流路を閉じる手段として設けら
れている。
間タンク3のセンサ15により着色感剤7の液面低下が
検出されると、図1の供給装置1Aと同様にしてタンク
2の切り替えに関連付けられた処理がシステム制御装置
16にて行なわれる。なお、中間タンク3の液面低下が
センサ15で検出されたとき、その中間タンク3に対応
する開閉弁8が閉じられるが、その閉動作に先行して
(時間にして1秒未満)開閉弁45がシステム制御装置
16によって閉じられる。これにより、ポンプ前タンク
40への気泡の混入を確実に防止できる。また、開閉弁
45は、開閉弁8が故障したときに、それに代えて中間
タンク3とポンプ前タンク40とを結ぶ流路を閉じる手
段としても利用できる。さらに、加圧タンク2や中間タ
ンク3の洗浄等のメンテナンス時に開閉弁8が開放され
る場合には、ポンプ前タンク40側を中間タンク3側と
を切り離す手段として、開閉弁45を使用することもで
きる。
う制御と並行して、システム制御装置16は図6に示す
ポンプ前タンク充填処理を所定の周期で繰り返し実行す
る。図16の処理では、まずセンサ42の出力信号に基
づいてタンク40内の着色感剤7が下限に達しているか
否か判断される(ステップS11)。下限と判別された
ときはポンプ25が作動中か否かが判断される(ステッ
プS12)。例えばポンプ制御器29からポンプ25が
作動中か否かを判別するための信号をシステム制御装置
16に対して出力させればよい。
一方の中間タンク3の開閉弁8が開かれてポンプ前タン
ク40に着色感剤7が充填される(ステップS13)。
このとき開かれる開閉弁8は、現在使用中の加圧タンク
2に対応するものである。着色感剤7の充填はセンサ4
1が液面の上限を検出するまで続けられ(ステップS1
4)、その上限が検出されると開閉弁8が閉じられて充
填が完了する(ステップS15)。なお、着色感剤7の
充填に連動してエア抜き開閉弁44も開くようにすれ
ば、着色感剤7を円滑に充填できる。また、着色感剤7
の充填時にエア抜き開閉弁44を開けることにより、加
圧タンク2の圧力をポンプ前タンク40から逃がすこと
ができ、ポンプ25側への圧力の影響を回避して安定し
た吐出量を得ることができる。
判別された場合、及びステップS12にてポンプ25が
作動中と判別された場合には着色感剤7の充填は行なわ
れない。ポンプ25の作動中に充填を行なわないように
したのは、ポンプ前タンク40への着色感剤7の供給に
よりタンク40内にて気泡が発生することがあり、それ
がポンプ25へと取り込まれるおそれを確実に排除する
ためである。そのようなおそれがない程度まで液面の下
限位置に余裕を設定して、ポンプ25が作動中か否かに
関わりなく着色感剤7を充填するようにしてもよい。
く、様々な形態にて実施してよい。例えば、センサは静
電容量型の近接センサに限らず、光電センサ等を用いて
液面の変化を監視してもよい。また、中間タンクに蓄え
られる溶液の量をその液位によって判断する例に限ら
ず、溶液の体積に関連する各種の物理量(例えば質量)
により中間タンクの溶液が下限値以上か否かを判断して
よい。
ば、各供給源と塗布装置とを結ぶ流路の途中に中間タン
クを設け、各中間タンクを使用中にその液量が所定の下
限値を下回るとセンサでそれを検出して供給源の切り替
えに関連付けられた処理を行なうようにしたので、塗布
装置へ供給される溶液に対する気泡の混入を防ぎつつ、
タンク内の溶液を従来よりも無駄なく使用できる。
成を示す図。
子を示す図。
理の手順を示すフローチャート。
成を示す図。
す図。
ンク充填処理の手順を示すフローチャート。
Claims (8)
- 【請求項1】 複数の供給源のいずれかから溶液を所定
の流路を経て塗布装置へ導くための溶液の供給装置にお
いて、 前記複数の供給源のそれぞれと前記塗布装置とを結ぶ流
路の途中に各供給源毎に設けられた中間タンクと、 各中間タンクに溜められた溶液の量が予め設定された下
限値以上か否かを検出し、その検出結果に対応した信号
を出力するセンサと、 前記センサからの出力信号に基づいて前記中間タンクの
溶液の量が前記下限値以上か否かを判別し、下限値未満
と判断したときに前記供給源の切り替えに関連付けられ
た所定の処理を行なう制御手段、を備えたことを特徴と
する溶液の供給装置。 - 【請求項2】 前記塗布装置が前記溶液を所定量ずつ吐
出するよう構成され、前記下限値は、前記塗布装置から
の一回の吐出量以上に設定されていることを特徴とする
請求項1に記載の溶液の供給装置。 - 【請求項3】 前記下限値が前記一回の吐出量の100
〜150%の範囲に設定されていることを特徴とする請
求項2に記載の溶液の供給装置。 - 【請求項4】 前記中間タンクに蓄えられる溶液の最大
量が、前記下限値に対して所定の余裕量だけ大きいこと
を特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の溶液の供
給装置。 - 【請求項5】 前記センサは、前記中間タンクに溜めら
れた溶液の液面の位置が所定位置以上か否かに応じて異
なる信号を出力することを特徴とする請求項1〜4のい
ずれかに記載の溶液の供給装置。 - 【請求項6】 前記塗布装置は、前記流路を閉じる開閉
弁を所定時間ずつ繰り返し開放することにより、前記供
給源から供給された溶液を所定量ずつ吐出するよう構成
されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに
記載の溶液の供給装置。 - 【請求項7】 前記溶液を一定量だけ取り込む工程と、
その取り込んだ溶液を吐出する工程とを繰り返すポンプ
が前記塗布装置に設けられ、前記中間タンクと前記ポン
プとの間でかつ各中間タンクからの流路が合流する位置
よりも下流側には前記ポンプに供給する溶液を蓄えるた
めのポンプ前タンクが設けられ、そのポンプ前タンクに
は、当該ポンプ前タンクに溜められた溶液の量が予め設
定された下限値以上か否かを検出し、その検出結果に対
応した信号を出力するポンプ用センサが付設され、前記
制御手段は、前記ポンプ用センサからの出力信号に基づ
いて前記ポンプ前タンクの溶液の量が前記下限値以上か
否かを判別し、下限値未満と判断したときに前記中間タ
ンクから前記ポンプ前タンクへの溶液の充填に関連付け
られた所定の処理を行なうことを特徴とする請求項1〜
5のいずれかに記載の溶液の供給装置。 - 【請求項8】 前記制御手段は、前記ポンプの作動中は
前記中間タンクから前記ポンプ前タンクへの溶液の充填
を禁止することを特徴とする請求項7に記載の溶液の供
給装置。
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