JP2002134021A - プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネルInfo
- Publication number
- JP2002134021A JP2002134021A JP2000330213A JP2000330213A JP2002134021A JP 2002134021 A JP2002134021 A JP 2002134021A JP 2000330213 A JP2000330213 A JP 2000330213A JP 2000330213 A JP2000330213 A JP 2000330213A JP 2002134021 A JP2002134021 A JP 2002134021A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- display panel
- plasma display
- gas
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プラズマディスプレイパネルのエージング工
程において放電特性の安定化に時間がかかる。 【解決手段】 プラズマディスプレイパネルに少なくと
も一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した放
電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、前記放電時に導入した放電
ガスに、少なくとも酸素を含ませる。
程において放電特性の安定化に時間がかかる。 【解決手段】 プラズマディスプレイパネルに少なくと
も一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した放
電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、前記放電時に導入した放電
ガスに、少なくとも酸素を含ませる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの製造方法に関する。
レイパネルの製造方法に関する。
【０００２】プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰ
と称する）は、ブラウン管にかわる表示デバイスとして
注目されており、ハイビジョンテレビ等の大型ディスプ
レイの用途で有望視されている。
と称する）は、ブラウン管にかわる表示デバイスとして
注目されており、ハイビジョンテレビ等の大型ディスプ
レイの用途で有望視されている。
【０００３】
【従来の技術】一般的なＡＣ型ＰＤＰの構造を図２に示
す。互いに相対して対をなす表示電極１０１、表示スキ
ャン電極１０２群がガラス基板１０３上に形成される。
これらの電極は透明電極と、透明電極の電気抵抗による
電圧低下を防ぐためのバス電極からなる。これらの表示
電極１０１、表示スキャン電極１０２群は誘電体層１０
４で被覆され、さらにＭｇＯ保護膜１０５で被覆され
る。これに対し、一方のガラス基板１０６にはストライ
ブ状のアドレス電極１０７が形成される。アドレス電極
１０７は誘電体層１０８に被覆されさらに、アドレス電
極１０７に隣接するようにリブ１０９が形成される。リ
ブ１０９はアドレス放電時の隣接セルへの影響を断ち、
光のクロストークを防ぐ働きがある。次にそれぞれのリ
ブに赤、青、緑の蛍光体１１０がアドレス電極１０７を
被覆するように塗り分けられる。ガラス基板１０３とガ
ラス基板１０６は表示電極ギャップを保ちながら組み合
わされ、封止ガラスにより周囲を密閉する。その後、ガ
ラス基板に設けられた放電ガス通気口を通して、加熱し
ながらパネル内を排気し（排気工程）、排気完了後エー
ジング用ガスを封入する。パネル電極端子にエージング
用電力を供給できるようにエージング回路を接続した上
でエージングを実行する（エージング工程）。この排気
工程、エージング工程を複数回繰り返すことによりパネ
ル内の残留不純物ガスの量が所望のレベル以下になれ
ば、表示放電用ガスを封入し（ガス封入工程）、放電ガ
ス通気口を塞いだ（封止工程）構造となっている。
す。互いに相対して対をなす表示電極１０１、表示スキ
ャン電極１０２群がガラス基板１０３上に形成される。
これらの電極は透明電極と、透明電極の電気抵抗による
電圧低下を防ぐためのバス電極からなる。これらの表示
電極１０１、表示スキャン電極１０２群は誘電体層１０
４で被覆され、さらにＭｇＯ保護膜１０５で被覆され
る。これに対し、一方のガラス基板１０６にはストライ
ブ状のアドレス電極１０７が形成される。アドレス電極
１０７は誘電体層１０８に被覆されさらに、アドレス電
極１０７に隣接するようにリブ１０９が形成される。リ
ブ１０９はアドレス放電時の隣接セルへの影響を断ち、
光のクロストークを防ぐ働きがある。次にそれぞれのリ
ブに赤、青、緑の蛍光体１１０がアドレス電極１０７を
被覆するように塗り分けられる。ガラス基板１０３とガ
ラス基板１０６は表示電極ギャップを保ちながら組み合
わされ、封止ガラスにより周囲を密閉する。その後、ガ
ラス基板に設けられた放電ガス通気口を通して、加熱し
ながらパネル内を排気し（排気工程）、排気完了後エー
ジング用ガスを封入する。パネル電極端子にエージング
用電力を供給できるようにエージング回路を接続した上
でエージングを実行する（エージング工程）。この排気
工程、エージング工程を複数回繰り返すことによりパネ
ル内の残留不純物ガスの量が所望のレベル以下になれ
ば、表示放電用ガスを封入し（ガス封入工程）、放電ガ
ス通気口を塞いだ（封止工程）構造となっている。
【０００４】前記エージング工程においてはエージング
用ガスが封入もしくはエージング用ガスが流されたパネ
ルに対して電力を供給し、パネルの点灯をおこなう。通
常、パネル点灯の初期段階においては大きな放電特性の
経時変化が現れる。前記点灯初期段階での大きな放電特
性の経時変化はパネル内の排気後の不純物ガスの残留に
起因すると考えられている。パネル内に残留した不純物
ガスのうち特に放電空間に残留した不純物ガスはセルの
放電に大きな影響を与える。エージング工程ではそれら
不純物ガスを放電プラズマの作用で脱離させた上で排気
工程、エージング工程を複数回繰り返すことにより、放
電空間を浄化する。従って、パネル内の不純物ガスを減
らすことによって、あらかじめ放電特性を安定化させる
目的でエージングが行われる。
用ガスが封入もしくはエージング用ガスが流されたパネ
ルに対して電力を供給し、パネルの点灯をおこなう。通
常、パネル点灯の初期段階においては大きな放電特性の
経時変化が現れる。前記点灯初期段階での大きな放電特
性の経時変化はパネル内の排気後の不純物ガスの残留に
起因すると考えられている。パネル内に残留した不純物
ガスのうち特に放電空間に残留した不純物ガスはセルの
放電に大きな影響を与える。エージング工程ではそれら
不純物ガスを放電プラズマの作用で脱離させた上で排気
工程、エージング工程を複数回繰り返すことにより、放
電空間を浄化する。従って、パネル内の不純物ガスを減
らすことによって、あらかじめ放電特性を安定化させる
目的でエージングが行われる。
【０００５】同時にパネル点灯初期段階においては大き
な発光特性の経時変化が現れる。前記点灯初期段階での
大きな発光特性の経時変化は蛍光体の色種や材料組成に
もよるが、点灯初期には輝度や色度の変化の大きいもの
がありそれが収束するまでエージングを続けることで発
光特性を安定化させる目的でエージングが行われる。エ
ージング工程はこのような放電特性の安定化と発光特性
の安定化という目的で行われる。
な発光特性の経時変化が現れる。前記点灯初期段階での
大きな発光特性の経時変化は蛍光体の色種や材料組成に
もよるが、点灯初期には輝度や色度の変化の大きいもの
がありそれが収束するまでエージングを続けることで発
光特性を安定化させる目的でエージングが行われる。エ
ージング工程はこのような放電特性の安定化と発光特性
の安定化という目的で行われる。
【０００６】図３に一般的なＰＤＰ用エージング装置の
構成を模式的に示す。エージング装置は前記工程で作製
されたパネルの内部空間１１２にエージング用ガス１１
３を封入したパネル１１１と放電電圧を印加するための
駆動回路１１４から構成される。パネル１１１はエージ
ング用ガスを導入できるように放電ガス通気口１１５を
有しており放電ガス通気口を通してガスの封入、排気が
行われる。エージング用ガス１１３には通常表示放電用
ガスと同一のものが用いられる。このガスは蛍光体発光
特性として効率良く蛍光体を励起するものであり、かつ
放電特性として低電圧で放電するものが選ばれる。ま
た、パネル寿命の観点から気体自身が化学的に不安定な
分子ガスを用いると放電によりガスが解離し、イオンが
電極をたたき出すスパッタリングが増加してしまうこと
から、化学的に安定な希ガスを用いる。
構成を模式的に示す。エージング装置は前記工程で作製
されたパネルの内部空間１１２にエージング用ガス１１
３を封入したパネル１１１と放電電圧を印加するための
駆動回路１１４から構成される。パネル１１１はエージ
ング用ガスを導入できるように放電ガス通気口１１５を
有しており放電ガス通気口を通してガスの封入、排気が
行われる。エージング用ガス１１３には通常表示放電用
ガスと同一のものが用いられる。このガスは蛍光体発光
特性として効率良く蛍光体を励起するものであり、かつ
放電特性として低電圧で放電するものが選ばれる。ま
た、パネル寿命の観点から気体自身が化学的に不安定な
分子ガスを用いると放電によりガスが解離し、イオンが
電極をたたき出すスパッタリングが増加してしまうこと
から、化学的に安定な希ガスを用いる。
【０００７】エージング工程では前記条件を満たすエー
ジングガスを封入もしくはエージング用ガスが流された
状態で、表示電極、表示スキャン電極間に駆動回路１１
４から電圧パルスを一定時間だけ印加することにより発
光特性と放電特性を安定させている。
ジングガスを封入もしくはエージング用ガスが流された
状態で、表示電極、表示スキャン電極間に駆動回路１１
４から電圧パルスを一定時間だけ印加することにより発
光特性と放電特性を安定させている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来のエージングにお
いては、放電特性の安定化する時間と発光特性の安定化
する時間のうち長い方の時間に合わせてエージング時間
が決定される。ここで、発光特性の安定化する時間は、
蛍光体の色種や材料組成により、例えば、材料組成に改
善を加えることにより、点灯初期段階での輝度や色度の
変化を少なく、もしくは発光特性の安定化する時間を短
くすることができ、より、放電特性を短時間で安定化さ
せることがエージング時間を短縮するためには重要とな
ってきている。
いては、放電特性の安定化する時間と発光特性の安定化
する時間のうち長い方の時間に合わせてエージング時間
が決定される。ここで、発光特性の安定化する時間は、
蛍光体の色種や材料組成により、例えば、材料組成に改
善を加えることにより、点灯初期段階での輝度や色度の
変化を少なく、もしくは発光特性の安定化する時間を短
くすることができ、より、放電特性を短時間で安定化さ
せることがエージング時間を短縮するためには重要とな
ってきている。
【０００９】本発明は上述の問題に鑑み、エージング工
程での放電特性の安定化時間を短縮し、プラズマディス
プレイパネルを短時間で製造する手法を提供することを
目的としている。
程での放電特性の安定化時間を短縮し、プラズマディス
プレイパネルを短時間で製造する手法を提供することを
目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、プラズマディスプレイパネルに少なく
とも一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した
放電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレ
イパネルの製造方法であって、前記放電時に導入した放
電ガスが、少なくとも酸素を含むガスである手段を用い
る。
に、本発明では、プラズマディスプレイパネルに少なく
とも一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した
放電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレ
イパネルの製造方法であって、前記放電時に導入した放
電ガスが、少なくとも酸素を含むガスである手段を用い
る。
【００１１】また、前記放電時に導入した放電ガスが、
少なくとも酸素と放電時に真空紫外線を発生するガスを
含むガスである手段を用いる。
少なくとも酸素と放電時に真空紫外線を発生するガスを
含むガスである手段を用いる。
【００１２】また、前記放電時に導入した放電ガスが、
少なくともオゾンを含むガスである手段を用いる。
少なくともオゾンを含むガスである手段を用いる。
【００１３】また、前記放電時に導入した放電ガスが、
少なくともオゾンと放電時に真空紫外線を発生するガス
を含むガスである手段を用いる。
少なくともオゾンと放電時に真空紫外線を発生するガス
を含むガスである手段を用いる。
【００１４】また、前記放電時に導入した放電ガスが、
加熱されており、放電が行われる手段を用いる。
加熱されており、放電が行われる手段を用いる。
【００１５】また、プラズマディスプレイパネルが加熱
された状態で放電ガスがプラズマディスプレイパネルに
導入され、放電が行われる手段を用いる。
された状態で放電ガスがプラズマディスプレイパネルに
導入され、放電が行われる手段を用いる。
【００１６】放電ガスに少なくとも酸素を含むガスを用
いて放電をおこなうと、プラズマディスプレイパネル内
には放電時に酸素から生成されるオゾンや活性酸素が含
まれることとなる。このオゾンや活性酸素には、プラズ
マディスプレイパネル内の蛍光体の表面や酸化マグネシ
ウム（ＭｇＯ）膜などの保護酸化膜の表面に対して大気
中やプラズマディスプレイパネル外周封止用の部材から
混入し付着した有機物を除去する効果がある。放電によ
る放電空間の浄化作用に加えて、オゾンや活性酸素の浄
化作用を付加することにより、エージング時に放電特性
はより早く安定化されることとなる。
いて放電をおこなうと、プラズマディスプレイパネル内
には放電時に酸素から生成されるオゾンや活性酸素が含
まれることとなる。このオゾンや活性酸素には、プラズ
マディスプレイパネル内の蛍光体の表面や酸化マグネシ
ウム（ＭｇＯ）膜などの保護酸化膜の表面に対して大気
中やプラズマディスプレイパネル外周封止用の部材から
混入し付着した有機物を除去する効果がある。放電によ
る放電空間の浄化作用に加えて、オゾンや活性酸素の浄
化作用を付加することにより、エージング時に放電特性
はより早く安定化されることとなる。
【００１７】同様に、放電ガスに酸素だけでなく、放電
時に真空紫外線を発生するガスを含ませると、酸素から
より効率よくオゾンや活性酸素が生成されることとな
る。よって、エージング時の放電特性はより早く安定化
されることとなる。
時に真空紫外線を発生するガスを含ませると、酸素から
より効率よくオゾンや活性酸素が生成されることとな
る。よって、エージング時の放電特性はより早く安定化
されることとなる。
【００１８】放電ガスにオゾンを含むガスを用いても同
様の効果を得ることができ、エージング時の放電特性は
より早く安定化されることとなる。
様の効果を得ることができ、エージング時の放電特性は
より早く安定化されることとなる。
【００１９】また、放電ガスを加熱してプラズマディス
プレイパネルに導入した場合、もしくは、プラズマディ
スプレイパネルが加熱された状態で放電ガスを導入した
場合、熱による吸着ガスの脱離が促進され、エージング
時の放電特性はより早く安定化されることとなる。
プレイパネルに導入した場合、もしくは、プラズマディ
スプレイパネルが加熱された状態で放電ガスを導入した
場合、熱による吸着ガスの脱離が促進され、エージング
時の放電特性はより早く安定化されることとなる。
【００２０】上記効果以外にも、プラズマディスプレイ
パネル完成時のプラズマディスプレイパネル内の不純物
ガスの量をより減らすことが期待でき、その際には残留
不純物ガスに起因すると考えられている、ライフ特性の
向上が期待される。
パネル完成時のプラズマディスプレイパネル内の不純物
ガスの量をより減らすことが期待でき、その際には残留
不純物ガスに起因すると考えられている、ライフ特性の
向上が期待される。
【００２１】これにより、本手法を用いるとエージング
工程での放電特性の安定化時間を短縮し、プラズマディ
スプレイパネルを短時間で製造する手法を提供すること
ができる。また、ライフ特性を向上したプラズマディス
プレイパネルを製造する手法を提供することができる。
工程での放電特性の安定化時間を短縮し、プラズマディ
スプレイパネルを短時間で製造する手法を提供すること
ができる。また、ライフ特性を向上したプラズマディス
プレイパネルを製造する手法を提供することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る実施の形態に
ついて図を用いて説明する。
ついて図を用いて説明する。
【００２３】図１は本発明の実施の形態におけるエージ
ング時の装置の構成を模式的に示したものである。プラ
ズマディスプレイパネル１には図２に示す一般的な構造
のＡＣ型プラズマディスプレイパネルを用いており、図
２に示す表示電極１０１、表示スキャン電極１０２、誘
電体層１０４、ＭｇＯ保護膜１０５から構成されたガラ
ス基板１０３とアドレス電極１０７、誘電体層１０８、
リブ１０９、蛍光体１１０から構成されたガラス基板１
０６を組み合わせ封止ガラスにより周囲を密閉した上
で、図１に示すような装置に接続されている。
ング時の装置の構成を模式的に示したものである。プラ
ズマディスプレイパネル１には図２に示す一般的な構造
のＡＣ型プラズマディスプレイパネルを用いており、図
２に示す表示電極１０１、表示スキャン電極１０２、誘
電体層１０４、ＭｇＯ保護膜１０５から構成されたガラ
ス基板１０３とアドレス電極１０７、誘電体層１０８、
リブ１０９、蛍光体１１０から構成されたガラス基板１
０６を組み合わせ封止ガラスにより周囲を密閉した上
で、図１に示すような装置に接続されている。
【００２４】ガラス基板１０６には表示領域をさけて一
ヶ所以上の放電ガス通気口２が設けられており、これら
にはガラス管３が取り付けられている。ガラス管３と放
電ガスを流すための配管４を接続する。配管４はバルブ
５ａ、５ｂ、５ｃを介してそれぞれ真空排気系６、エー
ジングガス導入系７、表示放電ガス導入系８と接続され
ている。接続後、パネル１を加熱しながらその内部空間
９を真空排気系６を通して真空にした（排気工程）後
に、エージングガス導入系７よりエージング用ガスを導
入した。
ヶ所以上の放電ガス通気口２が設けられており、これら
にはガラス管３が取り付けられている。ガラス管３と放
電ガスを流すための配管４を接続する。配管４はバルブ
５ａ、５ｂ、５ｃを介してそれぞれ真空排気系６、エー
ジングガス導入系７、表示放電ガス導入系８と接続され
ている。接続後、パネル１を加熱しながらその内部空間
９を真空排気系６を通して真空にした（排気工程）後
に、エージングガス導入系７よりエージング用ガスを導
入した。
【００２５】本実施の形態では、内部空間９に流すエー
ジング用ガスとしてキセノンと酸素の混合ガスを用い、
放電ガス圧力を１００〜７６０Ｔｏｒｒ（１３．３〜１
０１．０８ｋＰａ）程度に設定した。
ジング用ガスとしてキセノンと酸素の混合ガスを用い、
放電ガス圧力を１００〜７６０Ｔｏｒｒ（１３．３〜１
０１．０８ｋＰａ）程度に設定した。
【００２６】ガス圧力の調整後、駆動回路１０を用いて
前面板ガラス基板１０３に形成された表示電極、表示ス
キャン電極間に電圧パルスを印加し、パネル１の内部空
間９で放電を発生させる（エージング工程）。
前面板ガラス基板１０３に形成された表示電極、表示ス
キャン電極間に電圧パルスを印加し、パネル１の内部空
間９で放電を発生させる（エージング工程）。
【００２７】エージング用ガスとして用いたキセノンと
酸素の混合ガスは放電電圧が高いため通常表示放電用ガ
スには用いられない。しかしながら、本ガスをエージン
グ用ガスとして用いることにより、エージング時の放電
特性の経時変化はより早く安定化することとなった。こ
れは、本混合ガスをエージング用ガスとして用いること
により、放電時にキセノンの励起により発生した真空紫
外線が酸素に吸収され、酸素がオゾンもしくは活性酸素
となることによりパネル内の洗浄効果が高まり、パネル
内の不純物が除去される時間が早くなったためと考えら
れる。同時にライフ特性の向上につながった。これは、
排気後のパネル内の残留不純物の量が減少したためと考
えられる。
酸素の混合ガスは放電電圧が高いため通常表示放電用ガ
スには用いられない。しかしながら、本ガスをエージン
グ用ガスとして用いることにより、エージング時の放電
特性の経時変化はより早く安定化することとなった。こ
れは、本混合ガスをエージング用ガスとして用いること
により、放電時にキセノンの励起により発生した真空紫
外線が酸素に吸収され、酸素がオゾンもしくは活性酸素
となることによりパネル内の洗浄効果が高まり、パネル
内の不純物が除去される時間が早くなったためと考えら
れる。同時にライフ特性の向上につながった。これは、
排気後のパネル内の残留不純物の量が減少したためと考
えられる。
【００２８】エージング工程の後にエージングによって
パネル内にたたき出された不純物ガスを除去するために
再度排気工程を行い、表示放電ガス導入系８より表示放
電用ガスを導入し（ガス封入工程）、放電ガス通気口２
を塞ぎ（封止工程）プラズマディスプレイパネルを作製
した。本パネルの特性を評価した結果、従来のエージン
グ手法を用いた場合と同等の特性を示すことが確認でき
た。
パネル内にたたき出された不純物ガスを除去するために
再度排気工程を行い、表示放電ガス導入系８より表示放
電用ガスを導入し（ガス封入工程）、放電ガス通気口２
を塞ぎ（封止工程）プラズマディスプレイパネルを作製
した。本パネルの特性を評価した結果、従来のエージン
グ手法を用いた場合と同等の特性を示すことが確認でき
た。
【００２９】本エージング工程において導入したエージ
ング用ガスを加熱して導入すると、エージング時の放電
特性はより早く安定化した。これは、熱によるパネル内
の不純物ガスの脱離が促進されたためと考えられる。特
にその加熱温度が１７０℃以上においてＭｇＯ保護膜お
よび蛍光体から不純物ガスが多量に放出されるという実
験結果により効果が大きいことが推測される。また、エ
ージング時にプラズマディスプレイパネルを１７０℃以
上に加熱しておいても同様の結果が得られることは容易
に推測される。
ング用ガスを加熱して導入すると、エージング時の放電
特性はより早く安定化した。これは、熱によるパネル内
の不純物ガスの脱離が促進されたためと考えられる。特
にその加熱温度が１７０℃以上においてＭｇＯ保護膜お
よび蛍光体から不純物ガスが多量に放出されるという実
験結果により効果が大きいことが推測される。また、エ
ージング時にプラズマディスプレイパネルを１７０℃以
上に加熱しておいても同様の結果が得られることは容易
に推測される。
【００３０】また、エージング用ガスはキセノンと酸素
の混合ガスを用いたが放電時に真空紫外線を発生し、酸
素をオゾンもしくは活性酸素にする効果のあるガスであ
れば同様の効果を得られることは言うまでもない。例え
ば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン等、もし
くは、これらの複数の組み合わせと酸素との混合ガスが
考えられる。ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプト
ン、キセノン等の希ガスとフッ素、塩素、臭素等のハロ
ゲンガスと酸素とを混合しても同様の効果が期待でき
る。
の混合ガスを用いたが放電時に真空紫外線を発生し、酸
素をオゾンもしくは活性酸素にする効果のあるガスであ
れば同様の効果を得られることは言うまでもない。例え
ば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン等、もし
くは、これらの複数の組み合わせと酸素との混合ガスが
考えられる。ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプト
ン、キセノン等の希ガスとフッ素、塩素、臭素等のハロ
ゲンガスと酸素とを混合しても同様の効果が期待でき
る。
【００３１】また、酸素のかわりにオゾンを用いても同
様の効果が期待できる。
様の効果が期待できる。
【００３２】本実施の形態では、エージング工程を、パ
ネルへの放電ガスの導入、放電、排気の一連の動作を繰
り返すことにより行ったが、パネルに放電ガス導入口と
放電ガス排出口を設けることによりエージング用ガスを
流しながら行っても問題はない。
ネルへの放電ガスの導入、放電、排気の一連の動作を繰
り返すことにより行ったが、パネルに放電ガス導入口と
放電ガス排出口を設けることによりエージング用ガスを
流しながら行っても問題はない。
【００３３】本実施の形態を用いることにより、エージ
ング工程での放電特性の安定化時間を短縮し、プラズマ
ディスプレイパネルを短時間で製造することができる。
ング工程での放電特性の安定化時間を短縮し、プラズマ
ディスプレイパネルを短時間で製造することができる。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、プラズマディスプレイ
パネルのエージング工程での放電特性の安定化する時間
を短縮し、プラズマディスプレイパネルをより短時間で
製造する手法を提供することができる。
パネルのエージング工程での放電特性の安定化する時間
を短縮し、プラズマディスプレイパネルをより短時間で
製造する手法を提供することができる。
【図１】本発明に係るＰＤＰ用エージング時の装置構成
模式図
模式図
【図２】ＰＤＰパネルを示す斜視図
【図３】ＰＤＰ用エージング装置構成模式図
１ パネル ２ 放電ガス通気口 ３ ガラス管 ４ 配管 ５ａ，５ｂ，５ｃ バルブ ６ 真空排気系 ７ エージングガス導入系 ８ 表示放電ガス導入系 ９ 内部空間 １０ 駆動回路 １０１ 表示電極 １０２ 表示スキャン電極 １０３ ガラス基板 １０４ 誘電体層 １０５ ＭｇＯ保護膜 １０６ ガラス基板 １０７ アドレス電極 １０８ 誘電体層 １０９ リブ １１０ 蛍光体 １１１ パネル １１２ 内部空間 １１３ エージング用ガス １１４ 駆動回路 １１５ 放電ガス通気口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安井 秀明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5C012 AA09 BD01 BD02 BD03 BD04 PP08 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 HA04 JA23 JA24
Claims (11)
- 【請求項１】 プラズマディスプレイパネルに少なくと
も一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した放
電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、 前記放電時に導入した放電ガスが、少なくとも酸素を含
むガスであることを特徴とするプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法。 - 【請求項２】 プラズマディスプレイパネルに少なくと
も一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した放
電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、 前記放電時に導入した放電ガスが、少なくとも酸素と放
電時に真空紫外線を発生するガスを含むガスであること
を特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法。 - 【請求項３】 プラズマディスプレイパネルに少なくと
も一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した放
電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、 前記放電時に導入した放電ガスが、少なくとも酸素とキ
セノンを含むガスであることを特徴とする請求項１また
は２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項４】 プラズマディスプレイパネルに少なくと
も一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した放
電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、 前記放電時に導入した放電ガスが、少なくともオゾンを
含むガスであることを特徴とするプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。 - 【請求項５】 プラズマディスプレイパネルに少なくと
も一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した放
電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、 前記放電時に導入した放電ガスが、少なくともオゾンと
放電時に真空紫外線を発生するガスを含むガスであるこ
とを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。 - 【請求項６】 プラズマディスプレイパネルに少なくと
も一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した放
電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、 前記放電時に導入した放電ガスが、少なくともオゾンと
キセノンを含むガスであることを特徴とする請求項４ま
たは５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方
法。 - 【請求項７】 プラズマディスプレイパネルに少なくと
も一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した放
電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、 前記放電時に導入した放電ガスが加熱されており、放電
が行われることを特徴とする請求項１から６のいずれか
に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項８】 プラズマディスプレイパネルに少なくと
も一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した放
電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、 前記放電時に導入した放電ガスが１７０℃以上に加熱さ
れており、放電が行われることを特徴とする請求項７に
記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項９】 プラズマディスプレイパネルに少なくと
も一回以上放電を行った後に、前記放電時に導入した放
電ガスを入れ替える工程を有するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、 プラズマディスプレイパネルが加熱された状態で放電ガ
スがプラズマディスプレイパネルに導入され、放電が行
われることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記
載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項１０】 プラズマディスプレイパネルに所定の
時間だけ放電を行い、発光特性または放電特性を安定化
させるエージング工程を少なくとも一回以上行った後
に、エージング用ガスを表示放電用ガスに入れ替える工
程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であ
って、 プラズマディスプレイパネルが１７０℃以上に加熱され
た状態で放電ガスがプラズマディスプレイパネルに導入
され、放電が行われることを特徴とする請求項９に記載
のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項１１】 請求項１から１０のいずれかに記載の
製造方法を用いて製造されたプラズマディスプレイパネ
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000330213A JP2002134021A (ja) | 2000-10-30 | 2000-10-30 | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000330213A JP2002134021A (ja) | 2000-10-30 | 2000-10-30 | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002134021A true JP2002134021A (ja) | 2002-05-10 |
Family
ID=18806773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000330213A Pending JP2002134021A (ja) | 2000-10-30 | 2000-10-30 | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002134021A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100646148B1 (ko) * | 2003-11-20 | 2006-11-15 | 파이오니아 가부시키가이샤 | 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법, 플라즈마 표시장치의 제조 방법 및 플라즈마 디스플레이 패널 |
-
2000
- 2000-10-30 JP JP2000330213A patent/JP2002134021A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100646148B1 (ko) * | 2003-11-20 | 2006-11-15 | 파이오니아 가부시키가이샤 | 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법, 플라즈마 표시장치의 제조 방법 및 플라즈마 디스플레이 패널 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2004220968A (ja) | ディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
| US6744208B2 (en) | Discharge light-emitting device and method manufacture thereof | |
| JPH0992161A (ja) | プラズマ・ディスプレイ・パネル | |
| JP2002134021A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル | |
| JP2002367520A (ja) | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
| JP2002075209A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル | |
| JP3553903B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| JP2005005259A (ja) | プラズマディスプレイパネル | |
| JP2002075202A (ja) | 表示パネルおよびその製造方法 | |
| JP2002134019A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル | |
| US7140939B2 (en) | Method of manufacturing display panel | |
| JP2001043802A (ja) | ガス放電パネルの製造方法 | |
| JP3199069B1 (ja) | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
| JP3183290B1 (ja) | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
| JP2002117768A (ja) | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法と製造装置 | |
| JP2002140988A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル | |
| WO2000072351A1 (fr) | Procede de production d'un panneau a decharge | |
| JP2003151436A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| JP3564418B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法及び製造装置 | |
| JP2004146231A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| KR100323510B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 프론트/리어 패널 결합방법 | |
| JP2003123647A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| JP2002117764A (ja) | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法と製造装置 | |
| JP2002134026A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造装置および製造方法およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル | |
| JPH03257739A (ja) | ガス放電パネルの製造方法 |