JP2002127429A - インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッドInfo
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- JP2002127429A JP2002127429A JP2000321214A JP2000321214A JP2002127429A JP 2002127429 A JP2002127429 A JP 2002127429A JP 2000321214 A JP2000321214 A JP 2000321214A JP 2000321214 A JP2000321214 A JP 2000321214A JP 2002127429 A JP2002127429 A JP 2002127429A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ノズル板表面に形成された撥水膜を損傷する危
険性が少なく、インク吐出口の目詰まりのないインクジ
ェット記録ヘッドを簡易に製造し得る方法を提供する。 【解決手段】インク吐出口が形成されていないノズル板
の表面に撥水膜を形成する第1工程と、前記撥水膜の表
面に保護部材を形成する第2工程と、前記保護部材の形
成されたノズル板にインク吐出口を形成する第3工程
と、前記保護部材の形成されたノズル板の裏面に親水化
処理を行う第4工程と、前記保護部材を除去する第5工
程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法。
険性が少なく、インク吐出口の目詰まりのないインクジ
ェット記録ヘッドを簡易に製造し得る方法を提供する。 【解決手段】インク吐出口が形成されていないノズル板
の表面に撥水膜を形成する第1工程と、前記撥水膜の表
面に保護部材を形成する第2工程と、前記保護部材の形
成されたノズル板にインク吐出口を形成する第3工程
と、前記保護部材の形成されたノズル板の裏面に親水化
処理を行う第4工程と、前記保護部材を除去する第5工
程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッドに関
し、詳しくは、ノズル板表面に撥水膜を形成したインク
ジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッドに関
し、詳しくは、ノズル板表面に撥水膜を形成したインク
ジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】インクジェット記録ヘッドは、インク吐
出口からインクをインク滴として吐出させ、記録媒体上
に所定の画像を記録していく。高品質の画像記録を行う
ためには、インク吐出口から記録媒体上に向けてインク
滴が直進性良く吐出される必要があり、このためにはイ
ンク吐出口が形成されたノズル板の該インク吐出口周囲
に十分な撥水性が付与されていることが重要である。
出口からインクをインク滴として吐出させ、記録媒体上
に所定の画像を記録していく。高品質の画像記録を行う
ためには、インク吐出口から記録媒体上に向けてインク
滴が直進性良く吐出される必要があり、このためにはイ
ンク吐出口が形成されたノズル板の該インク吐出口周囲
に十分な撥水性が付与されていることが重要である。
【0003】そこで、従来、特開平7−101068号
に記載のように、ノズル板の表面(インクが吐出する側
の面)に撥水膜をコーティングすることにより、ノズル
板表面に撥水性を付与するようにしている。
に記載のように、ノズル板の表面(インクが吐出する側
の面)に撥水膜をコーティングすることにより、ノズル
板表面に撥水性を付与するようにしている。
【0004】また、ノズル板の表面には撥水性が求めら
れる一方で、ノズル板の裏面側には親水性が求められ
る。これはノズル板の裏面側に位置するインク流路内の
濡れ性を良くすることにより、該流路内にインクが供給
される際にインク中に気泡が混入することを防止し、円
滑なインク供給を可能にするためである。このノズル板
の裏面側のインク流路に親水性を付与する際、ノズル板
の表面にも親水性が付与されてしまうことがないように
するため、ノズル板の表面に保護膜を形成するようにし
ている。
れる一方で、ノズル板の裏面側には親水性が求められ
る。これはノズル板の裏面側に位置するインク流路内の
濡れ性を良くすることにより、該流路内にインクが供給
される際にインク中に気泡が混入することを防止し、円
滑なインク供給を可能にするためである。このノズル板
の裏面側のインク流路に親水性を付与する際、ノズル板
の表面にも親水性が付与されてしまうことがないように
するため、ノズル板の表面に保護膜を形成するようにし
ている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記特開平7−101
068号に記載の技術では、既にインク吐出口が形成さ
れたノズル板表面に撥水膜を形成することにより、ノズ
ル板表面に撥水性を付与するようにしている。このた
め、撥水膜の形成時にインク吐出口に撥水膜が侵入して
しまい、インク吐出口が目詰まりを起こし、インク吐出
時の直進性を損なう問題がある。
068号に記載の技術では、既にインク吐出口が形成さ
れたノズル板表面に撥水膜を形成することにより、ノズ
ル板表面に撥水性を付与するようにしている。このた
め、撥水膜の形成時にインク吐出口に撥水膜が侵入して
しまい、インク吐出口が目詰まりを起こし、インク吐出
時の直進性を損なう問題がある。
【0006】また、特開平6−87216号は、ノズル
板の表面に撥水膜を形成し、その撥水膜の表面に更に保
護膜を形成した後、ノズル板にインク吐出口を形成する
技術を提案しているが、インク吐出口形成後に保護膜を
除去してしまうものであり、かかるノズル板の裏面側に
親水性を付与するべく親水化処理する際には、撥水膜の
表面に別途新たに保護膜を形成しなくてはならない。撥
水膜の表面に対して保護膜の張り替えを繰り返すこと
は、それだけ撥水膜の損傷や汚れの発生の危険性を高く
するばかりでなく、製造工程を煩雑なものとする問題が
ある。
板の表面に撥水膜を形成し、その撥水膜の表面に更に保
護膜を形成した後、ノズル板にインク吐出口を形成する
技術を提案しているが、インク吐出口形成後に保護膜を
除去してしまうものであり、かかるノズル板の裏面側に
親水性を付与するべく親水化処理する際には、撥水膜の
表面に別途新たに保護膜を形成しなくてはならない。撥
水膜の表面に対して保護膜の張り替えを繰り返すこと
は、それだけ撥水膜の損傷や汚れの発生の危険性を高く
するばかりでなく、製造工程を煩雑なものとする問題が
ある。
【0007】本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑み
てなされたものであり、その課題は、ノズル板表面に形
成された撥水膜を損傷する危険性が少なく、インク吐出
口の目詰まりのないインクジェット記録ヘッドを簡易に
製造し得る方法を提供することにある。
てなされたものであり、その課題は、ノズル板表面に形
成された撥水膜を損傷する危険性が少なく、インク吐出
口の目詰まりのないインクジェット記録ヘッドを簡易に
製造し得る方法を提供することにある。
【0008】また、他の課題は、ノズル板表面の撥水膜
の損傷が少なく、インク吐出口の目詰まりもなく、簡易
に製造し得るインクジェット記録ヘッドを提供すること
にある。
の損傷が少なく、インク吐出口の目詰まりもなく、簡易
に製造し得るインクジェット記録ヘッドを提供すること
にある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項1記載の発明は、インク吐出口が形成されていないノ
ズル板の表面に撥水膜を形成する第1工程と、前記撥水
膜の表面に保護部材を形成する第2工程と、前記保護部
材の形成されたノズル板にインク吐出口を形成する第3
工程と、前記保護部材の形成されたノズル板の裏面に親
水化処理を行う第4工程と、前記保護部材を除去する第
5工程と、を有することを特徴とするインクジェット記
録ヘッドの製造方法である。
項1記載の発明は、インク吐出口が形成されていないノ
ズル板の表面に撥水膜を形成する第1工程と、前記撥水
膜の表面に保護部材を形成する第2工程と、前記保護部
材の形成されたノズル板にインク吐出口を形成する第3
工程と、前記保護部材の形成されたノズル板の裏面に親
水化処理を行う第4工程と、前記保護部材を除去する第
5工程と、を有することを特徴とするインクジェット記
録ヘッドの製造方法である。
【0010】このように、本発明では、ノズル板の表面
に撥水膜を形成し、更にその表面に保護部材を形成して
からノズル吐出口を形成しているため、撥水膜によるイ
ンク吐出口の目詰まりの問題は解消し、且つ保護部材に
よりその撥水膜の損傷や汚れを防ぐことができる。そし
て、撥水膜表面の保護部材をそのまま利用してノズル板
の裏面に親水化処理することで、インク吐出口の形成時
と親水化処理時の撥水膜の保護を共用できるため、保護
部材の張り替えの必要がなく、製造工程の簡略化を図る
ことができる。
に撥水膜を形成し、更にその表面に保護部材を形成して
からノズル吐出口を形成しているため、撥水膜によるイ
ンク吐出口の目詰まりの問題は解消し、且つ保護部材に
よりその撥水膜の損傷や汚れを防ぐことができる。そし
て、撥水膜表面の保護部材をそのまま利用してノズル板
の裏面に親水化処理することで、インク吐出口の形成時
と親水化処理時の撥水膜の保護を共用できるため、保護
部材の張り替えの必要がなく、製造工程の簡略化を図る
ことができる。
【0011】請求項2記載の発明は、前記インク吐出口
を形成する工程がレーザー光を照射することにより行わ
れることを特徴とする請求項1記載のインクジェット記
録ヘッドの製造方法である。
を形成する工程がレーザー光を照射することにより行わ
れることを特徴とする請求項1記載のインクジェット記
録ヘッドの製造方法である。
【0012】レーザー光を用いることで、インク吐出口
の孔開けが容易となる。しかも、保護部材の存在によ
り、バリや欠けや加工時の除去残留物等のないきれいな
孔を開けることができるので、保護部材の効果が一層高
まり好ましい。
の孔開けが容易となる。しかも、保護部材の存在によ
り、バリや欠けや加工時の除去残留物等のないきれいな
孔を開けることができるので、保護部材の効果が一層高
まり好ましい。
【0013】請求項3記載の発明は、前記親水化処理が
プラズマ処理であることを特徴とする請求項1又は2記
載のインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
プラズマ処理であることを特徴とする請求項1又は2記
載のインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
【0014】プラズマ処理は親水化能力が高く、撥水膜
の保護が不可欠である。従って、撥水膜の表面に保護部
材が形成されたノズル板に対して親水化処理を行うこと
は、親水化処理がこのプラズマ処理である場合に特に効
果を発揮するため好ましい。
の保護が不可欠である。従って、撥水膜の表面に保護部
材が形成されたノズル板に対して親水化処理を行うこと
は、親水化処理がこのプラズマ処理である場合に特に効
果を発揮するため好ましい。
【0015】請求項4記載の発明は、前記親水化処理
は、前記保護部材の形成されたノズル板を流路形成部材
に接合した後に行われることを特徴とする請求項1、2
又は3記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法であ
る。
は、前記保護部材の形成されたノズル板を流路形成部材
に接合した後に行われることを特徴とする請求項1、2
又は3記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法であ
る。
【0016】これにより、ノズル板の裏面の親水化処理
とインク流路内の親水化処理とを同時に行うことがで
き、工程の簡略化を図ることができる。
とインク流路内の親水化処理とを同時に行うことがで
き、工程の簡略化を図ることができる。
【0017】請求項5記載の発明は、請求項1〜4のい
ずれかに記載の製造方法を用いて製造されたことを特徴
とするインクジェット記録ヘッドである。
ずれかに記載の製造方法を用いて製造されたことを特徴
とするインクジェット記録ヘッドである。
【0018】これにより、ノズル板表面の撥水膜の損傷
が少なく、インク吐出口の目詰まりもなく、インクジェ
ット記録ヘッドを簡易に製造することができる。
が少なく、インク吐出口の目詰まりもなく、インクジェ
ット記録ヘッドを簡易に製造することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に基づいて説明する。
て図面に基づいて説明する。
【0020】図1〜図5は本発明に係るインクジェット
記録ヘッドを製造するための工程を示す説明図である。
記録ヘッドを製造するための工程を示す説明図である。
【0021】1はノズル板である。ノズル板1として
は、後述するようにインク吐出口を後加工するために、
容易に加工形成できるプラスチックが好ましく、具体的
には、ポリカーボネート、ポリサルフォン、ポリイミ
ド、ポリエーテルイミド、ポリベンズイミダゾール、ポ
リアセタール、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリスチレン、ポリフェニレンオキサイド、その
他、フェノール樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、A
BS樹脂等を用いることができる。
は、後述するようにインク吐出口を後加工するために、
容易に加工形成できるプラスチックが好ましく、具体的
には、ポリカーボネート、ポリサルフォン、ポリイミ
ド、ポリエーテルイミド、ポリベンズイミダゾール、ポ
リアセタール、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリスチレン、ポリフェニレンオキサイド、その
他、フェノール樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、A
BS樹脂等を用いることができる。
【0022】ここで、このインク吐出口が形成されてな
いノズル板1において表面側(インクを吐出する側)の
みに撥水膜2を形成し、ノズル板1の表面のみに撥水性
を付与する(第1工程)。
いノズル板1において表面側(インクを吐出する側)の
みに撥水膜2を形成し、ノズル板1の表面のみに撥水性
を付与する(第1工程)。
【0023】撥水膜2は、例えば、撥水剤としてサイト
ップ105P(旭硝子社製商品名)40重量%、CT−
solv.100(旭硝子社製商品名)60重量%より
なる含フッ素重合体の溶液にノズル板1の表面を浸して
静置した後、0.1μm/分の速度で溶液中より引き上
げ、これをオーブン内で約1時間、120℃で加熱して
溶媒を蒸発除去させ、ノズル板1の表面に膜厚が0.2
〜0.7μmの撥水膜2を形成する。
ップ105P(旭硝子社製商品名)40重量%、CT−
solv.100(旭硝子社製商品名)60重量%より
なる含フッ素重合体の溶液にノズル板1の表面を浸して
静置した後、0.1μm/分の速度で溶液中より引き上
げ、これをオーブン内で約1時間、120℃で加熱して
溶媒を蒸発除去させ、ノズル板1の表面に膜厚が0.2
〜0.7μmの撥水膜2を形成する。
【0024】撥水膜2に使用される上記含フッ素重合体
は、非晶質含フッ素重合体が好ましく、具体的には、上
記した組成以外に、ポリジパーフルオロアルキルフマレ
ート、テフロンAF(Du pont社商標)のような
含フッ素重合体、あるいはジパーフルオロアルキルフマ
レートとスチレンの交互共重合体、三フッ化塩化エチレ
ンとビニルエーテルとの交互共重合体、四フッ化塩化エ
チレンとビニルエステルとの交互共重合体などの含フッ
素エチレンと炭化水素系エチレンとの交互共重合体もし
くはその類似体乃至誘導体、フマライト(日本油脂社商
標)が用いられる。
は、非晶質含フッ素重合体が好ましく、具体的には、上
記した組成以外に、ポリジパーフルオロアルキルフマレ
ート、テフロンAF(Du pont社商標)のような
含フッ素重合体、あるいはジパーフルオロアルキルフマ
レートとスチレンの交互共重合体、三フッ化塩化エチレ
ンとビニルエーテルとの交互共重合体、四フッ化塩化エ
チレンとビニルエステルとの交互共重合体などの含フッ
素エチレンと炭化水素系エチレンとの交互共重合体もし
くはその類似体乃至誘導体、フマライト(日本油脂社商
標)が用いられる。
【0025】これら非晶質含フッ素重合体はフッ素系の
有機溶媒に溶解するから、溶媒に任意の濃度で溶解して
コーティングすることにより、ノズル板1を構成するプ
ラスチックに対する密着性が高く、且つ均一なコーティ
ングが可能である。
有機溶媒に溶解するから、溶媒に任意の濃度で溶解して
コーティングすることにより、ノズル板1を構成するプ
ラスチックに対する密着性が高く、且つ均一なコーティ
ングが可能である。
【0026】また、この非晶質含フッ素重合体のコーテ
ィング方法としては、上述したディッピング法以外に、
例えばスプレーを用いて噴霧するスプレーコート法、ノ
ズル板1の表面に1乃至数滴滴下した後に高速で回転さ
せてコーティングするスピンコート法、ゴムなどの支持
体に予め溶液を塗り、これをノズル板1の表面に押し付
けてコーティングする転写法などを採用することもでき
る。
ィング方法としては、上述したディッピング法以外に、
例えばスプレーを用いて噴霧するスプレーコート法、ノ
ズル板1の表面に1乃至数滴滴下した後に高速で回転さ
せてコーティングするスピンコート法、ゴムなどの支持
体に予め溶液を塗り、これをノズル板1の表面に押し付
けてコーティングする転写法などを採用することもでき
る。
【0027】更に、撥水膜2を形成するノズル板1の表
面をオゾン雰囲気に曝して表面洗浄処理し、その後にコ
ーティングすることもできる。オゾンを用いた表面洗浄
処理を行うことにより、ノズル板1表面の汚れを除去し
て撥水膜2の密着性を高めることができる。オゾン雰囲
気は酸素プラズマや紫外線照射により得ることができ
る。
面をオゾン雰囲気に曝して表面洗浄処理し、その後にコ
ーティングすることもできる。オゾンを用いた表面洗浄
処理を行うことにより、ノズル板1表面の汚れを除去し
て撥水膜2の密着性を高めることができる。オゾン雰囲
気は酸素プラズマや紫外線照射により得ることができ
る。
【0028】また更に、ノズル板1表面と撥水膜2との
密着性を高めるために、カップリング化合物層を介して
撥水膜2を形成することができ、それは上記オゾンを用
いて表面洗浄処理と共に行うようにしても単独で行うよ
うにしてもよい。
密着性を高めるために、カップリング化合物層を介して
撥水膜2を形成することができ、それは上記オゾンを用
いて表面洗浄処理と共に行うようにしても単独で行うよ
うにしてもよい。
【0029】次に、ノズル板1表面に形成された撥水膜
2の表面に、図2に示すように更に保護部材3を形成し
て撥水膜2の表面を保護する(第2工程)。
2の表面に、図2に示すように更に保護部材3を形成し
て撥水膜2の表面を保護する(第2工程)。
【0030】この保護部材3としては、剥離等により除
去可能なものなら何でもよいが、ポリカーボネート、ポ
リサルフォン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリ
ベンズイミダゾール、ポリアセタール、ポリエチレン、
ポリエチレンテレフタレート、ポリスチレン、ポリフェ
ニレンオキサイド、その他、フェノール樹脂、アクリル
樹脂、エポキシ樹脂、ABS樹脂等を用いることができ
る。
去可能なものなら何でもよいが、ポリカーボネート、ポ
リサルフォン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリ
ベンズイミダゾール、ポリアセタール、ポリエチレン、
ポリエチレンテレフタレート、ポリスチレン、ポリフェ
ニレンオキサイド、その他、フェノール樹脂、アクリル
樹脂、エポキシ樹脂、ABS樹脂等を用いることができ
る。
【0031】保護部材3を撥水膜2の表面に形成する方
法としては、塗布、シート接着、蒸着等が考えられる
が、除去の容易性から考えると、シート状のものを接着
することが好ましい。
法としては、塗布、シート接着、蒸着等が考えられる
が、除去の容易性から考えると、シート状のものを接着
することが好ましい。
【0032】次に、撥水膜2及び保護部材3を表面に積
層形成したノズル板1に対して所定間隔で複数のインク
吐出口4を開口形成する(第3工程)。
層形成したノズル板1に対して所定間隔で複数のインク
吐出口4を開口形成する(第3工程)。
【0033】インク吐出口4を形成する方法としては、
図3に示すように、ノズル板1の裏面側からレーザー光
を照射することにより行うことが好ましい。使用できる
レーザー光としては、エキシマレーザー光等が挙げられ
る。
図3に示すように、ノズル板1の裏面側からレーザー光
を照射することにより行うことが好ましい。使用できる
レーザー光としては、エキシマレーザー光等が挙げられ
る。
【0034】このレーザー光をノズル板1の裏面側から
照射することにより、レーザー光の照射を受けたノズル
板1の部分が光化学反応により高濃度の励起種を生成
し、これが分解、飛散し、当該部分をエッチングしてイ
ンク吐出口4を削成する。このとき、レーザー光がノズ
ル板1を貫通することによりノズル板1の表面に形成さ
れている撥水膜2も開口し、その表面の保護部材3の一
部も除去される。
照射することにより、レーザー光の照射を受けたノズル
板1の部分が光化学反応により高濃度の励起種を生成
し、これが分解、飛散し、当該部分をエッチングしてイ
ンク吐出口4を削成する。このとき、レーザー光がノズ
ル板1を貫通することによりノズル板1の表面に形成さ
れている撥水膜2も開口し、その表面の保護部材3の一
部も除去される。
【0035】なお、このインク吐出口4の開口形成にお
いて、図3に示すものでは、保護部材3まで開口が貫通
しているが、ノズル板1と撥水膜2に亘って開口が貫通
していればよく、必ずしも保護部材3まで貫通している
必要はない。
いて、図3に示すものでは、保護部材3まで開口が貫通
しているが、ノズル板1と撥水膜2に亘って開口が貫通
していればよく、必ずしも保護部材3まで貫通している
必要はない。
【0036】本発明では、このようにノズル板1表面に
撥水膜2を形成した後にインク吐出口4を形成している
ため、撥水膜2の形成によってインク吐出口4が目詰ま
りを起こす問題は生じない。また、撥水膜2の表面に保
護部材3を形成し、その後にインク吐出口4を形成して
いるため、インク吐出口4の形成時に撥水膜2の損傷や
汚れを防止できる。また、レーザー光によりインク吐出
口4を形成する場合には、バリや欠けや加工時の除去残
留物等のないきれいな孔開けが可能となる。
撥水膜2を形成した後にインク吐出口4を形成している
ため、撥水膜2の形成によってインク吐出口4が目詰ま
りを起こす問題は生じない。また、撥水膜2の表面に保
護部材3を形成し、その後にインク吐出口4を形成して
いるため、インク吐出口4の形成時に撥水膜2の損傷や
汚れを防止できる。また、レーザー光によりインク吐出
口4を形成する場合には、バリや欠けや加工時の除去残
留物等のないきれいな孔開けが可能となる。
【0037】次に、インク吐出口4が形成されたノズル
板1の裏面に親水化処理を行う(第4工程)。
板1の裏面に親水化処理を行う(第4工程)。
【0038】この親水化処理は、ノズル板1裏面に親水
性を付与してインクとの濡れ性を良好にする。撥水膜2
及び保護部材3が形成されているノズル板1単体に対し
てこの親水化処理を直接行うようにしてもよいが、図4
に示すように、撥水膜2及び保護部材3が形成されてい
るノズル板1の裏面側を、インクが供給されるインク流
路6を形成するための流路形成部材5に接合して一体化
した後に行うことが好ましい。
性を付与してインクとの濡れ性を良好にする。撥水膜2
及び保護部材3が形成されているノズル板1単体に対し
てこの親水化処理を直接行うようにしてもよいが、図4
に示すように、撥水膜2及び保護部材3が形成されてい
るノズル板1の裏面側を、インクが供給されるインク流
路6を形成するための流路形成部材5に接合して一体化
した後に行うことが好ましい。
【0039】この実施形態において、流路形成部材5と
しては、図6に示すように、圧電材料51にダイシング
ブレード等の研削機を用いて所定ピッチで互いに平行な
複数列の溝を加工することにより、インクが供給及び貯
留されるインク流路6を形成し、その上面にカバー部材
52を接合して構成している。
しては、図6に示すように、圧電材料51にダイシング
ブレード等の研削機を用いて所定ピッチで互いに平行な
複数列の溝を加工することにより、インクが供給及び貯
留されるインク流路6を形成し、その上面にカバー部材
52を接合して構成している。
【0040】各インク流路6の両側壁には圧電材料51
をせん断変形させるために電界を印加するための電極7
が、蒸着法やメッキにより形成されている。電極7を形
成する金属としては、Ni(ニッケル)、Co(コバル
ト)、Cu(銅)、Al(アルミニウム)等があるが、
NiやCuが好ましく、特に好ましくはNiである。更
に、電極7の表面にパリレン膜等の有機物からなる絶縁
膜を形成する。絶縁膜を形成することにより、水系イン
ク、溶剤系インクを問わずに吐出可能となる。
をせん断変形させるために電界を印加するための電極7
が、蒸着法やメッキにより形成されている。電極7を形
成する金属としては、Ni(ニッケル)、Co(コバル
ト)、Cu(銅)、Al(アルミニウム)等があるが、
NiやCuが好ましく、特に好ましくはNiである。更
に、電極7の表面にパリレン膜等の有機物からなる絶縁
膜を形成する。絶縁膜を形成することにより、水系イン
ク、溶剤系インクを問わずに吐出可能となる。
【0041】撥水膜2及び保護部材3が形成されたノズ
ル板1は、かかる流路形成部材5の端面5aに、ノズル
板1のインク吐出口4がインク流路6に対応するように
位置させてエポキシ系接着剤等の接着剤を用いて接合す
る。
ル板1は、かかる流路形成部材5の端面5aに、ノズル
板1のインク吐出口4がインク流路6に対応するように
位置させてエポキシ系接着剤等の接着剤を用いて接合す
る。
【0042】このように撥水膜2及び保護部材3が形成
されているノズル板1の裏面側を流路形成部材5に接合
して一体化した後に親水化処理を行うことで、ノズル板
1の裏面側の親水化処理とインク流路6内の親水化処理
とを同時に行うことができ、工程の簡略化を図ることが
できる。
されているノズル板1の裏面側を流路形成部材5に接合
して一体化した後に親水化処理を行うことで、ノズル板
1の裏面側の親水化処理とインク流路6内の親水化処理
とを同時に行うことができ、工程の簡略化を図ることが
できる。
【0043】本発明において用いられる親水化処理とし
ては、プラズマ処理が好ましい。プラズマ処理として
は、例えば次の処理を具体例として挙げることができ
る。
ては、プラズマ処理が好ましい。プラズマ処理として
は、例えば次の処理を具体例として挙げることができ
る。
【0044】(処理条件) 装置:平行平板型反応装置 原料ガス:酸素 ガス流量:50sccm 圧力:10Pa 放電方法:高周波(13.56MHz、出力200W) 処理時間:2分間
【0045】この処理により、ノズル板1の裏面を含む
インクに接するインク流路6全面が活性化される。その
結果、処理前の水の接触角85°が、処理後10°とな
り、ノズル板1の裏面を含むインクに接する流路6全面
の濡れ性及び気泡排出性が大きく向上する。
インクに接するインク流路6全面が活性化される。その
結果、処理前の水の接触角85°が、処理後10°とな
り、ノズル板1の裏面を含むインクに接する流路6全面
の濡れ性及び気泡排出性が大きく向上する。
【0046】他に有効なプラズマ処理として、マイクロ
波を用いた方法等が挙げられ、採用するガスも酸素に限
らず、窒素や他のガスまたは酸素と不活性ガスの混合ガ
ス等が挙げられる。
波を用いた方法等が挙げられ、採用するガスも酸素に限
らず、窒素や他のガスまたは酸素と不活性ガスの混合ガ
ス等が挙げられる。
【0047】次に、図5に示すように、ノズル板1の表
面に形成された保護部材3を剥離して除去する(第5工
程)。これによりインク吐出口4が形成されたノズル板
1の表面は撥水膜2によって撥水性が付与される一方
で、ノズル板1の裏面側は親水化処理されることで親水
性が付与されたインクジェット記録ヘッドが得られる。
面に形成された保護部材3を剥離して除去する(第5工
程)。これによりインク吐出口4が形成されたノズル板
1の表面は撥水膜2によって撥水性が付与される一方
で、ノズル板1の裏面側は親水化処理されることで親水
性が付与されたインクジェット記録ヘッドが得られる。
【0048】本発明では、このようにノズル板1の表面
に撥水膜2を形成した後に、更にその表面に保護部材3
を形成して撥水膜2を保護し、その保護部材3をインク
吐出口4の形成工程及び親水化処理工程において共通の
ものとしているため、最終工程まで保護部材3を除去す
る必要がない。従って、製造工程中で保護部材の形成及
び除去の各工程を繰り返し行う必要がなく、製造工程の
簡略化を図ることができると共に、工程中に撥水膜2が
損傷したり汚れたりする危険性も低減する。
に撥水膜2を形成した後に、更にその表面に保護部材3
を形成して撥水膜2を保護し、その保護部材3をインク
吐出口4の形成工程及び親水化処理工程において共通の
ものとしているため、最終工程まで保護部材3を除去す
る必要がない。従って、製造工程中で保護部材の形成及
び除去の各工程を繰り返し行う必要がなく、製造工程の
簡略化を図ることができると共に、工程中に撥水膜2が
損傷したり汚れたりする危険性も低減する。
【0049】また、上記製造方法によって製造されたイ
ンクジェット記録ヘッドは、ノズル板1表面の撥水膜2
の損傷が少なく、インク吐出口4の目詰まりもなく、簡
易に製造することが可能となる。
ンクジェット記録ヘッドは、ノズル板1表面の撥水膜2
の損傷が少なく、インク吐出口4の目詰まりもなく、簡
易に製造することが可能となる。
【0050】
【発明の効果】本発明によれば、ノズル板表面に形成さ
れた撥水膜を損傷する危険性が少なく、インク吐出口の
目詰まりのないインクジェット記録ヘッドを簡易に製造
し得る方法を提供することができる。
れた撥水膜を損傷する危険性が少なく、インク吐出口の
目詰まりのないインクジェット記録ヘッドを簡易に製造
し得る方法を提供することができる。
【0051】また、本発明によれば、ノズル板表面の撥
水膜の損傷が少なく、インク吐出口の目詰まりもなく、
簡易に製造し得るインクジェット記録ヘッドを提供する
ことができる。
水膜の損傷が少なく、インク吐出口の目詰まりもなく、
簡易に製造し得るインクジェット記録ヘッドを提供する
ことができる。
【図1】インクジェット記録ヘッドの製造工程を示す説
明図
明図
【図2】インクジェット記録ヘッドの製造工程を示す説
明図
明図
【図3】インクジェット記録ヘッドの製造工程を示す説
明図
明図
【図4】インクジェット記録ヘッドの製造工程を示す説
明図
明図
【図5】インクジェット記録ヘッドの製造工程を示す説
明図
明図
【図6】インクジェット記録ヘッドを示す部分破断斜視
図
図
1:ノズル板 2:撥水膜 3:保護部材 4:インク吐出口 5:流路形成部材 5a:端面 51:圧電材料 52:カバー部材 6:流路 7:電極
Claims (5)
- 【請求項1】インク吐出口が形成されていないノズル板
の表面に撥水膜を形成する第1工程と、 前記撥水膜の表面に保護部材を形成する第2工程と、 前記保護部材の形成されたノズル板にインク吐出口を形
成する第3工程と、 前記保護部材の形成されたノズル板の裏面に親水化処理
を行う第4工程と、 前記保護部材を除去する第5工程と、を有することを特
徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項2】前記インク吐出口を形成する工程がレーザ
ー光を照射することにより行われることを特徴とする請
求項1記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項3】前記親水化処理がプラズマ処理であること
を特徴とする請求項1又は2記載のインクジェット記録
ヘッドの製造方法。 - 【請求項4】前記親水化処理は、前記保護部材の形成さ
れたノズル板を流路形成部材に接合した後に行われるこ
とを特徴とする請求項1、2又は3記載のインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項5】請求項1〜4のいずれかに記載の製造方法
を用いて製造されたことを特徴とするインクジェット記
録ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000321214A JP2002127429A (ja) | 2000-10-20 | 2000-10-20 | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000321214A JP2002127429A (ja) | 2000-10-20 | 2000-10-20 | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002127429A true JP2002127429A (ja) | 2002-05-08 |
Family
ID=18799381
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000321214A Pending JP2002127429A (ja) | 2000-10-20 | 2000-10-20 | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002127429A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006334903A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Brother Ind Ltd | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
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-
2000
- 2000-10-20 JP JP2000321214A patent/JP2002127429A/ja active Pending
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A02 | Decision of refusal |
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