JP2002107914A - ペリクルおよびペリクルの装着方法 - Google Patents
ペリクルおよびペリクルの装着方法Info
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
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- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ペリクル板を損傷することなくフォトマスク
に確実かつ容易に装着可能なペリクルおよびペリクルの
装着方法を提供する。 【解決手段】 ペリクル１１は、ペリクルフレーム１５
の一方の端部にペリクル板３が接着されてなり、ペリク
ルフレーム１５の他方の端部にフォトマスク７が装着さ
れる。ペリクルフレーム１５の一方の端部には、ペリク
ル板３が接着されるペリクル板接着部と、ペリクル板３
の外周縁より外側に位置する被押圧部１５ａとが設けら
れている。
に確実かつ容易に装着可能なペリクルおよびペリクルの
装着方法を提供する。 【解決手段】 ペリクル１１は、ペリクルフレーム１５
の一方の端部にペリクル板３が接着されてなり、ペリク
ルフレーム１５の他方の端部にフォトマスク７が装着さ
れる。ペリクルフレーム１５の一方の端部には、ペリク
ル板３が接着されるペリクル板接着部と、ペリクル板３
の外周縁より外側に位置する被押圧部１５ａとが設けら
れている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ、超ＬＳＩ
などの半導体素子あるいは液晶表示装置などの製造に用
いられ、とりわけ実質的に波長２２０ｎｍ以下の光を用
いる露光法に好適なペリクルおよびペリクルの装着方法
に関する。
などの半導体素子あるいは液晶表示装置などの製造に用
いられ、とりわけ実質的に波長２２０ｎｍ以下の光を用
いる露光法に好適なペリクルおよびペリクルの装着方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩや超ＬＳＩなどの半導体素子ある
いは液晶表示装置の製造においては、パターニングの際
にフォトマスクのパターン形成面にゴミが付着するのを
防止するために、ペリクルをフォトマスク上に載置して
露光作業を行うのが一般的である。また、これらの素子
や装置の製造に用いられる露光光は、微細化の要求に対
して波長は益々短くなってきており、今日ではＦ2レー
ザーなど波長２２０ｎｍ以下の露光光を使用する技術が
考案されている。
いは液晶表示装置の製造においては、パターニングの際
にフォトマスクのパターン形成面にゴミが付着するのを
防止するために、ペリクルをフォトマスク上に載置して
露光作業を行うのが一般的である。また、これらの素子
や装置の製造に用いられる露光光は、微細化の要求に対
して波長は益々短くなってきており、今日ではＦ2レー
ザーなど波長２２０ｎｍ以下の露光光を使用する技術が
考案されている。
【０００３】図５は従来のペリクルをフォトマスクに装
着した状態を示す斜視図であり、図６は図５のＡＡ断面
図である。ペリクル１は、露光光を透過させるペリクル
膜２を接着剤４によりペリクルフレーム５に接着して構
成されている。露光作業に際してこのペリクル１は、ペ
リクルフレーム５を粘着剤６によりフォトマスク７に装
着される。具体的には、フォトマスク７上に粘着剤６を
介してペリクルフレーム５を載置した後、ペリクル膜２
の上から図中矢印Ｆで示すように図示は省略される装着
装置（ペリクルマウンタ）によって、ペリクルフレーム
５をフォトマスク７に向けて押圧し、その状態を維持し
てペリクルフレーム５をフォトマスク７に装着する。
着した状態を示す斜視図であり、図６は図５のＡＡ断面
図である。ペリクル１は、露光光を透過させるペリクル
膜２を接着剤４によりペリクルフレーム５に接着して構
成されている。露光作業に際してこのペリクル１は、ペ
リクルフレーム５を粘着剤６によりフォトマスク７に装
着される。具体的には、フォトマスク７上に粘着剤６を
介してペリクルフレーム５を載置した後、ペリクル膜２
の上から図中矢印Ｆで示すように図示は省略される装着
装置（ペリクルマウンタ）によって、ペリクルフレーム
５をフォトマスク７に向けて押圧し、その状態を維持し
てペリクルフレーム５をフォトマスク７に装着する。
【０００４】従来ではペリクル膜２として、厚さ１μｍ
以下の合成樹脂製の薄膜が使用されている。しかし、従
来のペリクル膜２では、上記したような短波長の光が照
射されると合成樹脂が容易に分解して実用に耐えられな
いため、上記したような短波長の露光光を用いる露光系
では、合成石英ガラスを薄い平板に加工したペリクル板
を使用することが検討されている。尚、この合成石英ガ
ラスは、例えば珪素源と酸素源とを気相で反応させてス
ートと呼ばれる酸化珪素からなる多孔質を成長させ、焼
結して得られる実質的に酸化珪素のみからなるガラスで
ある。
以下の合成樹脂製の薄膜が使用されている。しかし、従
来のペリクル膜２では、上記したような短波長の光が照
射されると合成樹脂が容易に分解して実用に耐えられな
いため、上記したような短波長の露光光を用いる露光系
では、合成石英ガラスを薄い平板に加工したペリクル板
を使用することが検討されている。尚、この合成石英ガ
ラスは、例えば珪素源と酸素源とを気相で反応させてス
ートと呼ばれる酸化珪素からなる多孔質を成長させ、焼
結して得られる実質的に酸化珪素のみからなるガラスで
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ペリクル板を用いたペ
リクルをフォトマスクに装着する際に、ペリクル膜２を
用いたペリクル１のときと同様に、ペリクル板の上から
ペリクルフレームをフォトマスクに向けて押圧すると、
ペリクル板が割れるおそれが生じる。
リクルをフォトマスクに装着する際に、ペリクル膜２を
用いたペリクル１のときと同様に、ペリクル板の上から
ペリクルフレームをフォトマスクに向けて押圧すると、
ペリクル板が割れるおそれが生じる。
【０００６】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たものであり、その目的は、ペリクル板を損傷すること
なくフォトマスクに確実かつ容易に装着可能なペリクル
およびペリクルの装着方法を提供することにある。
たものであり、その目的は、ペリクル板を損傷すること
なくフォトマスクに確実かつ容易に装着可能なペリクル
およびペリクルの装着方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、ペリクルフレームの一方の端部にペ
リクル板が接着されてなり、前記ペリクルフレームの他
方の端部にフォトマスクが装着されるペリクルにおい
て、前記ペリクルフレームの一方の端部は、ペリクル板
が接着されるペリクル板接着部と前記ペリクル板の外周
縁より外側に位置する被押圧部とを備えていることを特
徴とするペリクルを提供する。また、前述した目的を達
成するために、本発明は、ペリクルフレームの一方の端
部にペリクル板が接着されてなるペリクルの、前記ペリ
クルフレームの他方の端部をフォトマスクに装着するペ
リクルの装着方法において、前記ペリクルフレームの一
方の端部は前記ペリクル板の外周縁より外側に位置する
被押圧部を備えており、前記ペリクルフレームの他方の
端部をフォトマスクに当接した状態で、前記被押圧部を
ペリクルマウンタで押圧して、前記ペリクルを前記フォ
トマスク上に装着することを特徴とするペリクルの装着
方法を提供する。
ために、本発明は、ペリクルフレームの一方の端部にペ
リクル板が接着されてなり、前記ペリクルフレームの他
方の端部にフォトマスクが装着されるペリクルにおい
て、前記ペリクルフレームの一方の端部は、ペリクル板
が接着されるペリクル板接着部と前記ペリクル板の外周
縁より外側に位置する被押圧部とを備えていることを特
徴とするペリクルを提供する。また、前述した目的を達
成するために、本発明は、ペリクルフレームの一方の端
部にペリクル板が接着されてなるペリクルの、前記ペリ
クルフレームの他方の端部をフォトマスクに装着するペ
リクルの装着方法において、前記ペリクルフレームの一
方の端部は前記ペリクル板の外周縁より外側に位置する
被押圧部を備えており、前記ペリクルフレームの他方の
端部をフォトマスクに当接した状態で、前記被押圧部を
ペリクルマウンタで押圧して、前記ペリクルを前記フォ
トマスク上に装着することを特徴とするペリクルの装着
方法を提供する。
【０００８】以上のような構成のペリクルおよびペリク
ルの装着方法によれば、ペリクル板を損傷することなく
ペリクルをフォトマスクに確実かつ容易に装着できる。
本明細書において「ペリクル板」とは、ペリクルフレー
ムの一方の端部のペリクル板接着部に接着される厚さ
０．０１〜２ｍｍ程度の合成石英ガラスからなる板材を
いう。接着のためには、従来と同様に、ポリブテン樹
脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン系、フッ
素樹脂系接着剤等の接着剤を用いることができる。
ルの装着方法によれば、ペリクル板を損傷することなく
ペリクルをフォトマスクに確実かつ容易に装着できる。
本明細書において「ペリクル板」とは、ペリクルフレー
ムの一方の端部のペリクル板接着部に接着される厚さ
０．０１〜２ｍｍ程度の合成石英ガラスからなる板材を
いう。接着のためには、従来と同様に、ポリブテン樹
脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン系、フッ
素樹脂系接着剤等の接着剤を用いることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に関して図面を参照
して説明する。図１は本発明の第１実施形態であるペリ
クルをフォトマスクに装着した状態で示す斜視図であ
り、図２は図１のＡＡ面図である。
して説明する。図１は本発明の第１実施形態であるペリ
クルをフォトマスクに装着した状態で示す斜視図であ
り、図２は図１のＡＡ面図である。
【００１０】図１に示すように、ペリクル１１は、露光
光を透過させるペリクル板３をペリクルフレーム１５の
上端部（一方の端部）のペリクル板接着部に接着して構
成されている。ペリクルフレーム１５は、前記ペリクル
板接着部と、ペリクル板３の外周縁より外側に位置する
被押圧部１５ａとを備えている。
光を透過させるペリクル板３をペリクルフレーム１５の
上端部（一方の端部）のペリクル板接着部に接着して構
成されている。ペリクルフレーム１５は、前記ペリクル
板接着部と、ペリクル板３の外周縁より外側に位置する
被押圧部１５ａとを備えている。
【００１１】図２に示すように、本実施形態では、縦断
面形状が長方形状であるペリクルフレーム１５の上端面
の内周側を段階的に凹ませることで外周側の部分を上方
に突出させ、その外周側の部分を被押圧部１５ａとして
いる。ペリクルフレーム１５上端面の内周側の凹んだ部
分がペリクル板接着部であり、この上に接着剤４を塗布
し、その接着剤４の上にペリクル板３の周縁部を載置し
て、ペリクル板３とペリクルフレーム１５とを接着して
いる。ここでは、被押圧部１５ａの上端面がペリクル板
３の上面より突出している。
面形状が長方形状であるペリクルフレーム１５の上端面
の内周側を段階的に凹ませることで外周側の部分を上方
に突出させ、その外周側の部分を被押圧部１５ａとして
いる。ペリクルフレーム１５上端面の内周側の凹んだ部
分がペリクル板接着部であり、この上に接着剤４を塗布
し、その接着剤４の上にペリクル板３の周縁部を載置し
て、ペリクル板３とペリクルフレーム１５とを接着して
いる。ここでは、被押圧部１５ａの上端面がペリクル板
３の上面より突出している。
【００１２】被押圧部１５ａの幅Ｗ１および内周側の凹
んだ部分（ペリクル板接着部）の幅Ｗ２は限定されない
が、例えば、ペリクルフレーム１５の外寸が１４９．０
×１２２．０ｍｍで内寸が１４５．０×１１８．０ｍｍ
のとき、Ｗ１を０．１〜１．９ｍｍ、Ｗ２を０．１〜
１．９ｍｍとすることができる。
んだ部分（ペリクル板接着部）の幅Ｗ２は限定されない
が、例えば、ペリクルフレーム１５の外寸が１４９．０
×１２２．０ｍｍで内寸が１４５．０×１１８．０ｍｍ
のとき、Ｗ１を０．１〜１．９ｍｍ、Ｗ２を０．１〜
１．９ｍｍとすることができる。
【００１３】図２に基づいてペリクル１１をフォトマス
ク７に装着する方法を説明する。先ず、粘着剤６を介し
てペリクルフレーム１５の下端部（他方の端部）をフォ
トマスク７に当接する。次に、ペリクルマウンタ（装着
装置）の可動部２０により、ペリクルフレーム１５の被
押圧部１５ａをフォトマスク７に向けて押圧する。可動
部２０は、ペリクル膜２を用いた従来のペリクル１（図
６参照）の装着に用いられていたものと同様の、平板部
の下面周縁に押圧枠部２１を備えた構成である。押圧枠
部２１によって、図中矢印Ｆで示すようにペリクルフレ
ーム１５の被押圧部１５ａを押圧した状態を維持しつ
つ、粘着剤６にて、ペリクル１１をフォトマスク７に固
定する。このとき、押圧枠部２１はペリクル板３を押圧
しない。こうしてペリクル１１をフォトマスク７に装着
できる。
ク７に装着する方法を説明する。先ず、粘着剤６を介し
てペリクルフレーム１５の下端部（他方の端部）をフォ
トマスク７に当接する。次に、ペリクルマウンタ（装着
装置）の可動部２０により、ペリクルフレーム１５の被
押圧部１５ａをフォトマスク７に向けて押圧する。可動
部２０は、ペリクル膜２を用いた従来のペリクル１（図
６参照）の装着に用いられていたものと同様の、平板部
の下面周縁に押圧枠部２１を備えた構成である。押圧枠
部２１によって、図中矢印Ｆで示すようにペリクルフレ
ーム１５の被押圧部１５ａを押圧した状態を維持しつ
つ、粘着剤６にて、ペリクル１１をフォトマスク７に固
定する。このとき、押圧枠部２１はペリクル板３を押圧
しない。こうしてペリクル１１をフォトマスク７に装着
できる。
【００１４】以上のようなペリクル１１およびペリクル
の装着方法によれば、ペリクル板３を損傷することなく
ペリクル１１をフォトマスク７に確実かつ容易に装着で
きる。
の装着方法によれば、ペリクル板３を損傷することなく
ペリクル１１をフォトマスク７に確実かつ容易に装着で
きる。
【００１５】図３に、本発明の第２実施形態であるペリ
クル３１を示す。本実施形態では、縦断面形状が長方形
状であるペリクルフレーム３５の上端部の外周側を段階
的に凹ませ、その外周側の部分を被押圧部３５ａとして
いる。ペリクルフレーム３５上端部の内周側の部分（ペ
リクル板接着部）の上に接着剤４を塗布し、その接着剤
４の上にペリクル板３の周縁部を載置して、ペリクル板
３とペリクルフレーム３５とを接着している。
クル３１を示す。本実施形態では、縦断面形状が長方形
状であるペリクルフレーム３５の上端部の外周側を段階
的に凹ませ、その外周側の部分を被押圧部３５ａとして
いる。ペリクルフレーム３５上端部の内周側の部分（ペ
リクル板接着部）の上に接着剤４を塗布し、その接着剤
４の上にペリクル板３の周縁部を載置して、ペリクル板
３とペリクルフレーム３５とを接着している。
【００１６】このペリクル３１をフォトマスク７に装着
するには、先ず、粘着剤６を介してペリクルフレーム３
５の下端部をフォトマスク７に当接する。次に、ペリク
ルマウンタの可動部４０により、ペリクルフレーム３５
の被押圧部３５ａをフォトマスク７に向けて押圧する。
可動部４０は、平板部の下面周縁に押圧枠部４１を備え
た構成であるが、この押圧枠部４１は、第１実施形態で
用いた可動部の押圧枠部２１（図２参照）より高さを延
長したものである。押圧枠部４１によって、図中矢印Ｆ
で示すようにペリクルフレーム３５の被押圧部３５ａを
押圧した状態を維持しつつ、粘着剤６にてペリクル３１
をフォトマスク７に固定する。このとき、押圧枠部４１
はペリクル板３を押圧しない。こうしてペリクル３１を
フォトマスク７に装着できる。
するには、先ず、粘着剤６を介してペリクルフレーム３
５の下端部をフォトマスク７に当接する。次に、ペリク
ルマウンタの可動部４０により、ペリクルフレーム３５
の被押圧部３５ａをフォトマスク７に向けて押圧する。
可動部４０は、平板部の下面周縁に押圧枠部４１を備え
た構成であるが、この押圧枠部４１は、第１実施形態で
用いた可動部の押圧枠部２１（図２参照）より高さを延
長したものである。押圧枠部４１によって、図中矢印Ｆ
で示すようにペリクルフレーム３５の被押圧部３５ａを
押圧した状態を維持しつつ、粘着剤６にてペリクル３１
をフォトマスク７に固定する。このとき、押圧枠部４１
はペリクル板３を押圧しない。こうしてペリクル３１を
フォトマスク７に装着できる。
【００１７】以上のようなペリクル３１は、ペリクル板
３を損傷することなくフォトマスク７に確実かつ容易に
装着できるとともに、ペリクルフレーム３５に接着剤４
を塗布してペリクル板３を接着するのが容易である。
３を損傷することなくフォトマスク７に確実かつ容易に
装着できるとともに、ペリクルフレーム３５に接着剤４
を塗布してペリクル板３を接着するのが容易である。
【００１８】図４は、第２実施形態のペリクル３１をフ
ォトマスク７に装着する方法の他の例を説明する図であ
る。図４に示すように、先ず、粘着剤６を介してペリク
ルフレーム３５の下端部をフォトマスク７に当接すると
ともに、被押圧部３５ａの上に押圧治具２５を設置す
る。このとき、押圧治具２５の上端面はペリクル板３の
上面より突出する。押圧治具２５としては、枠状部材を
用いることができる。次に、第１実施形態で用いたもの
と同様のペリクルマウンタの可動部２０の押圧枠部２１
によって、図中矢印Ｆで示すように押圧治具２５を介し
てペリクルフレーム３５の被押圧部３５ａを押圧した状
態を維持しつつ、粘着剤６にてペリクル３１をフォトマ
スク７に固定する。このとき、押圧枠部２１はペリクル
板３を押圧しない。こうしてペリクル３１をフォトマス
ク７に装着できる。ペリクル３１をフォトマスク７に装
着した後、押圧治具２５をペリクル３１から取り外す。
ォトマスク７に装着する方法の他の例を説明する図であ
る。図４に示すように、先ず、粘着剤６を介してペリク
ルフレーム３５の下端部をフォトマスク７に当接すると
ともに、被押圧部３５ａの上に押圧治具２５を設置す
る。このとき、押圧治具２５の上端面はペリクル板３の
上面より突出する。押圧治具２５としては、枠状部材を
用いることができる。次に、第１実施形態で用いたもの
と同様のペリクルマウンタの可動部２０の押圧枠部２１
によって、図中矢印Ｆで示すように押圧治具２５を介し
てペリクルフレーム３５の被押圧部３５ａを押圧した状
態を維持しつつ、粘着剤６にてペリクル３１をフォトマ
スク７に固定する。このとき、押圧枠部２１はペリクル
板３を押圧しない。こうしてペリクル３１をフォトマス
ク７に装着できる。ペリクル３１をフォトマスク７に装
着した後、押圧治具２５をペリクル３１から取り外す。
【００１９】以上のようなペリクル３１の装着方法によ
れば、従来のものと同様のマウンタを使用できる。
れば、従来のものと同様のマウンタを使用できる。
【００２０】なお、本発明は前述した実施形態に限定さ
れるものではなく、適宜な変形、改良等が可能である。
例えば、ペリクルフレーム外周側の被押圧部が、ペリク
ルフレーム内周側の部分（ペリクル板接着部）と面一で
あってもよい。例えば、ペリクルフレームの外周面に、
周方向に間隔を隔てて複数の被押圧部を設けてもよい。
れるものではなく、適宜な変形、改良等が可能である。
例えば、ペリクルフレーム外周側の被押圧部が、ペリク
ルフレーム内周側の部分（ペリクル板接着部）と面一で
あってもよい。例えば、ペリクルフレームの外周面に、
周方向に間隔を隔てて複数の被押圧部を設けてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ペリクル板を損傷することなくペリクルをフォトマスク
に確実かつ容易に装着できる。
ペリクル板を損傷することなくペリクルをフォトマスク
に確実かつ容易に装着できる。
【図１】本発明の第１実施形態であるペリクルをフォト
マスクに装着した状態で示す斜視図である。
マスクに装着した状態で示す斜視図である。
【図２】図１におけるＡＡ断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態であるペリクルをフォト
マスクに装着した状態で示す断面図である。
マスクに装着した状態で示す断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態であるペリクルの装着方
法の第２例を説明する図である。
法の第２例を説明する図である。
【図５】従来のペリクルをフォトマスクに装着した状態
で示す斜視図である。
で示す斜視図である。
【図６】図５におけるＡＡ断面図である。
３ ペリクル板 ４ 接着剤 ６ 粘着剤 ７ フォトマスク １１，３１ ペリクル １５，３５ ペリクルフレーム １５ａ，３５ａ 被押圧部
フロントページの続き (72)発明者 岡田 要 神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150番地 旭硝子株式会社内 (72)発明者 菊川 信也 神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150番地 旭硝子株式会社内 (72)発明者 有島 浩 東京都千代田区有楽町一丁目12番１号 旭 硝子株式会社内 (72)発明者 森田 寛 東京都千代田区有楽町一丁目12番１号 旭 硝子株式会社内 (72)発明者 重松 茂人 山口県玖珂郡和木町和木六丁目１番２号 三井化学株式会社内 (72)発明者 中川 広秋 山口県玖珂郡和木町和木六丁目１番２号 三井化学株式会社内 Ｆターム(参考） 2H095 BC38 BC39 5F046 AA28 CB17 CB27 DA06
Claims (5)
- 【請求項１】ペリクルフレームの一方の端部にペリクル
板が接着されてなり、前記ペリクルフレームの他方の端
部にフォトマスクが装着されるペリクルにおいて、前記
ペリクルフレームの一方の端部は、ペリクル板が接着さ
れるペリクル板接着部と前記ペリクル板の外周縁より外
側に位置する被押圧部とを備えていることを特徴とする
ペリクル。 - 【請求項２】前記被押圧部の上端面は、ペリクル板の上
面より突出している請求項１記載のペリクル。 - 【請求項３】ペリクルフレームの一方の端部にペリクル
板が接着されてなるペリクルの、前記ペリクルフレーム
の他方の端部をフォトマスクに装着するペリクルの装着
方法において、前記ペリクルフレームの一方の端部は前
記ペリクル板の外周縁より外側に位置する被押圧部を備
えており、前記ペリクルフレームの他方の端部をフォト
マスクに当接した状態で、前記被押圧部をペリクルマウ
ンタで押圧して、前記ペリクルを前記フォトマスク上に
装着することを特徴とするペリクルの装着方法。 - 【請求項４】ペリクルマウンタによる押圧は、ペリクル
板の上面より突出した前記被押圧部の上端面を押圧する
ことにより行われる請求項３記載のペリクルの装着方
法。 - 【請求項５】ペリクルマウンタによる押圧は、ペリクル
板の上面より後退した前記被押圧部の上端面を、押圧治
具またはマウンタに備えられた押圧枠部を介して押圧す
ることにより行われる請求項３記載のペリクルの装着方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000302305A JP2002107914A (ja) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | ペリクルおよびペリクルの装着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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