JP2002095231A - 2相励磁式リニアモータ - Google Patents
2相励磁式リニアモータInfo
- Publication number
- JP2002095231A JP2002095231A JP2000276060A JP2000276060A JP2002095231A JP 2002095231 A JP2002095231 A JP 2002095231A JP 2000276060 A JP2000276060 A JP 2000276060A JP 2000276060 A JP2000276060 A JP 2000276060A JP 2002095231 A JP2002095231 A JP 2002095231A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- pair
- phase excitation
- unit
- conductors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K3/00—Details of windings
- H02K3/46—Fastening of windings on the stator or rotor structure
- H02K3/47—Air-gap windings, i.e. iron-free windings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
磁式リニアモータを得る。 【解決手段】 2つの単体コイル12A、12Bのぞれ
ぞれを、対向する2辺が一対の有効導体部14Aa、1
4Ab、14Ba、14Bbとして、他の対向する2辺
が該有効導体部を結ぶ一対の連結導体部16Aa、16
Ab、16Ba、16Bbとしてそれぞれ機能する、ほ
ぼ矩形のリング状に形成するとと共に、連結導体部をほ
ぼ直角にオフセットし、各単体コイルの連結導体部のオ
フセット方向が、進行方向と直角な方向において互いに
逆になるように組み合わせながら、一方の単体コイルの
一対の有効導体部14Aa、14Abの間に、他方の単
体コイルの一対の有効導体部のひとつ14Baを介在さ
せるようにして、2つの単体コイルを一体化した。
Description
モータに関する。
が少なく、可動体を直線的に駆動できる上に、その駆動
が正確かつ迅速である。そのため、例えば半導体製造用
の露光装置や高精度な工作機械等、あらゆる分野の直線
駆動装置、或いは位置決め装置として広く利用されてい
る。
に、対向する磁石列(この例の場合固定体)Mgの間に
配置したコイルユニット(この例の場合可動体)Ciに
電流を流し、これによって生じるローレンツ力によりコ
イルユニットCiを駆動する。図9に示すように、磁石
列Mgとしては対向するN/S極を交互に逆向きに並べ
る。最も近い同じ向きのN/S局の距離を磁極ピッチと
呼ぶ。磁石列Mgの間には磁極ピッチを一周期とする正
弦波の磁束密度分布が発生する。正規化した磁極ピッチ
の距離は2πで表される。
コイル2は、図10に示すように、全体がほぼ矩形のリ
ング状(レーストラック型)とされている。この矩形の
4つの辺のうち、移動方向に対して直交する形で対向す
る2辺がリニアモータの可動体の推力発生に寄与する一
対の有効導体部4a、4bとして機能する。他の対向す
る2辺は有効導体部4a、4bを連結する一対の連結導
体部6a、6bを形成しており、この部分はリニアモー
タの推力発生には特に寄与しない。
4aと4bとでは電流の方向が逆になるUとUバー)。
従って、磁束密度の符号も逆になるため、有効導体部4
a、4bの距離T1をπに相当する距離だけ離すと推力
としては1つの有効導体部4a又は4bの2倍になる。
体コイル2が磁石列Mgのどの位置にあっても一定の推
力が得られるようにする必要がある。磁束密度は正弦波
分布を持つため、1個の単体コイルでは電流をどのよう
に調節しても一定の推力を得ることはできない。位置を
ずらした複数個の単体コイルを1極として連結する必要
がある。
の単体コイル2U、2V、2Wを図11に示すように各
々の位置位相を(2/3)π相当分だけずらして配置
し、1極として用いる。その上で図12に示すように、
任意の位置において、各単体コイル2U、2V、2Wの
有効導体部4a、4bの磁束密度の位相と合致した位相
を持つ電流を流すと、3個の単体コイル2U、2V、2
W(全体としてのコイルユニットCi3)の位置が動い
ても一定の推力が得られる。
は、図13に示すように、位置の位相をπ/2相当分だ
けずらして配置した2個の単体コイル2A、2Bで1極
を形成する。2つの単体コイル2の距離はπに相当し、
単体コイル自体としては3相励磁モータのそれと同じで
ある。この配置とした上で、図14に示すように、各単
体コイル2A,2Bに有効導体部4a、4bの磁束密度
の位相と合致した位相を持つ電流を流すと、2個の単体
コイル2A、2B(全体としてのコイルユニットCi
2)の位置が動いても一定の推力が得られる。
(N/√W:同じ電流を流したときに得られる推力)を
高く維持できるため、一般的には2相励磁モータより3
相励磁モータの方が用いられる。
な要求に対応できないような用途に2相励磁モータの活
用の領域が存在する。
ータでも、図9、或いは図11に示すように、各相の複
数個の単体コイルを単に積み重ねた構造にすると、対向
する磁石列間の距離M2,M3が大きくなって磁束密度
が低下する。効率の良いリニアモータを構成するために
は、各相の有効導体部を1列に並べて磁石列Mg間の距
離M2,M3をできるだけ小さくする必要がある。しか
し、図10のような単純なレーストラック型では、連結
導体部6a,6bの存在により有効導体部4a、4bを
一列に並べることができない。そのため連結導体部6
a、6b相互の干渉をできるだけ避けるようにして並べ
るために、従来種々の提案がなされている。
に小型化が何よりも求められるという事情から、特に磁
石間距離を短く維持する目的でレーストラック型のコイ
ルのままで、図15に示すように、A、B相に相当する
2つの単体コイル2A、2Bを同じ列に分離して並べて
用いる方法が一般に採用されている。
位相を同じに保ったまま、距離的に離して結合しても2
相励磁モータとしての機能を果たすことができる。この
ように単体コイルが分離して配置される形態を、本明細
書では便宜上、「分離型」の2相励磁モータと呼ぶこと
にする。図は(2k+1/2)πだけ離した場合(k=
1、2、3、…)であるが、(2k−1/2)π離した
ときは図16に示すように、各単体コイル2A、2Bの
位相を逆位相とすれば良い。分離型の場合には、個々の
単体コイル2A、2Bがレーストラック型でも積み重ね
る必要がないため、低コストで磁石間距離を最小限に抑
えることができる。
従来、事実上分離型としての用途に用いられてきた事例
が多い。
り、通常の3相励磁モータによって構成されている。一
般に、メインモータ12のコイルユニット12Ciは多
極化した状態で用いられるため、その配線のためのワイ
ヤリングハーネス14も太く且つ重くなってしまい、こ
れがメインモータ12のコイルユニット12Ciが移動
するときの抵抗となる。そこで、このワイヤリングハー
ネス14をメインモータ12と同期して駆動するため
に、図17(B)に示されるように、分離型2相励磁モ
ータ16がメインモータ12を跨ぐようにして分離状態
で配置される。メインモータ12と2相励磁モータ16
とのケース12a、16aの間には移動ばらつきがあっ
ても衝突しない程度の隙間が設けられており、従って2
相励磁モータ16は(メインモータ12の動きと同期し
て動くにも拘わらず)メインモータ12の移動に一切影
響しない。ワイヤリングハーネス14は2相励磁モータ
16の2つのケース16aに取り付けられており、従っ
てワイヤリングハーネス14も(メインモータ12の動
きと同期して動くにも拘わらず)メインモータ12の移
動に一切影響しない。
励磁モータであって単体コイルが離れて存在していても
特に問題がなく、むしろ分離して存在していることを利
用することができる。
方として2つの単体コイルを分離した状態で配置する方
法があるといっても、その間隔については所定の寸法が
定められており、場合によってはその配置が非常に困難
なときもある。又、推力が弱いというのも、2相励磁モ
ータの大きな欠点の1つとなっている。
てなされたものであって、所定の形状的な条件を満足す
る単体コイルを用いて2相励磁モータを「一体型」とし
て磁石列によって発生される磁束密度をできるだけ高め
るようにして(推力をより強める態様で)使用すること
を可能とする2相励磁モータを製造することをその目的
としている。
分離型モータを構成し、極数を多くした分、推力を増強
することのできる2相励磁モータを提供することをその
目的とし、更に、同様に外観上は一見従来の「分離型」
の2相励磁モータの態様を取りながら、従来以上の推力
を得ることができる2相励磁モータを提供することをそ
の目的としている。
は、一極を形成する2つの単体コイルに所定の時間的ず
れを伴って連続的に磁力を発生させ、この磁力により移
動体を直線方向に駆動する2相励磁式リニアモータにお
いて、前記2つの単体コイルのぞれぞれを、対向する2
辺がリニアモータの可動体の推力発生に寄与する一対の
有効導体部として、他の対向する2辺が該有効導体部を
結ぶ一対の連結導体部としてそれぞれ機能するほぼ矩形
のリング状に形成し、前記一対の有効導体部のそれぞれ
の中心を含む平面をコイル平面と定義したときに、この
コイル平面に対して、前記有効導体部の端部付近がほぼ
直角に曲折されることによって、前記一対の連結導体部
がコイル平面からオフセットされた状態で該コイル平面
と平行に延在された状態とし、各単体コイルの連結導体
部のオフセット方向が、進行方向と直角な方向において
互いに逆になるように組み合わせながら、一方の単体コ
イルの一対の有効導体部の間に、他方の単体コイルの一
対の有効導体部のひとつを介在させるようにして、2つ
の単体コイルを一体化したことにより、上記課題を解決
したものである。
純なレーストラック型であった場合には複数の単体コイ
ルを連結してコイルユニットを形成する場合の各単体コ
イルの収まりが問題となる。そのため、2相励磁モータ
の場合は、元々モータ定数が3相励磁に比べて低く、従
って低コスト化、或いは小型化が実現できなければ、2
相励磁モータを採用する意味がないため、前述したよう
に、従来は、2相励磁モータが採用されるときは、専ら
レーストラック型の単体コイル用いて「分離型」とする
駆動構成を採用されていた。
工夫することによって2相励磁モータを「分離型」とせ
ずに、「一体型」で1極を形成することを意図してなさ
れた。
の端部付近がコイル平面からほぼ直角に曲折され、この
ほぼ直角の曲折によってコイル平面から連結導体部がオ
フセットされている(平行に外されている)。その上
で、各単体コイルの連結導体部のオフセット方向が、進
行方向と直角な方向において互いに逆になるように組み
合わせながら、一方の単体コイルの一対の有効導体部の
間に、他方の単体コイルの一対の有効導体部のひとつを
介在させるようにして、2つの単体コイルを一体化して
いる。
部を1列に並べることができるようになると共に、連結
導体部のオフセット長さをより短くすることができるよ
うになる。そのため、一体型でありながら、当該単体コ
イルを用いてコイルユニットを形成した場合に連結導体
部の走行方向横断面における投影面積を一層小さくする
ことができるようになる。又、当然に、一体型で「1
極」が形成されているため、この部分のみでモータを形
成することができ、コイルユニット全体としての大きさ
を格段に小さくすることができる。
の横断面の形状が、前記延在状態において、前記コイル
平面とほぼ直角の平行辺と、該コイル平面に対向し、且
つ連結導体部がオフセットされた方向と逆の方向に傾斜
した傾斜辺と、と有するほぼ台形の形状とされたことを
特徴とする。これにより、いっそうコンパクトなコイル
ユニットを製作することができる。
一体化された2相(2つ)の単体コイルを、離れた位置
に2以上設置することにより多極化したことを特徴とす
る。
モータと同様になるが、本発明が「分離型」と大きく異
なるところは、実はそのひとつひとつが「1極」を構成
しているため、装置全体が2相−多極化されているとい
うことである。これによって2倍の推力が得られる。
れることによって1極を形成する2つの単体コイルに、
所定の時間的ずれを伴って連続的に磁力を発生させ、こ
の磁力により移動体を直線方向に駆動する2相励磁式リ
ニアモータにおいて、前記単体コイルのぞれぞれが、対
向する2辺がリニアモータの可動体の推力発生に寄与す
る一対の有効導体部として、他の対向する2辺が該有効
導体部を結ぶ一対の連結導体部としてそれぞれ機能す
る、ほぼ矩形のリング状に形成した2つのサブ単体コイ
ルから構成され、且つ、一方のサブ単体コイルの一対の
有効導体部の間に、他方のサブ単体コイルの一対の有効
導体部のひとつを介在させるようにして該2つのサブ単
体コイルが一体化させ、且つ2つのサブ単体コイルが直
列に結線されることによって単一の連結単体コイルが形
成されており、この連結単体コイルを、前記単体コイル
として2個分離して配置することによって1極が形成さ
れていることを特徴とする。
モータと同様になる。しかしながら、本発明が従来の
「分離型」と異なるところは、1カ所1カ所における単
体コイルが、単純なレーストラック型のものではなく、
(請求項1〜3の発明を応用した)単体コイルを「サブ
単体コイル」とし用い、これらを合体させることによっ
て「連結単体コイル」を形成すると共に、この連結単体
コイルを、2個分離して配置することにより、分離型で
1極を構成しているという点にある。
するには、もう1個同様に直列に合体させた(連結)単
体コイルが必要である。そのため、形態としては、やは
り「分離型」の2相励磁モータの範疇に属することにな
る。
体コイルが直列に接続されて「一相」の(連結)単体コ
イルが形成されていることから、各相当たりの巻き数n
は従来、或いは請求項1〜3の単体コイルに比べて2倍
となる。一般に大きな推力を得るために巻き数nを大き
くすると、有効導体部のみならず連結導体部の横断面も
その面積が大きくなるため、収まりが悪くなるだけでな
く、どうしても単体コイルとしての厚さ方向の寸法も大
きくなる。従って磁石列の距離もその分大きくせざるを
得なくなる。しかしながら、本発明によれば、1個1個
のサブ単体コイルは従来と同程度の巻き数であるため厚
さ方向の大きさはほぼ個々のサブ単体コイル1個分でし
かなく、それほど大きくはならない。何よりも、同じサ
ブ単体コイルを用いて、これを単体として用いるか、連
結させて用いるかを適宜選択できるため、推力の異なる
モータを簡単な設計変更で実現できるという利点が得ら
れる。
施形態の例を詳細に説明する。
のリニアモータのコイルユニットの単体コイルを示すも
ので、(A)はその斜視図、(B)は(A)の矢示IB
に沿う断面図である。
リング状とされており、この矩形の対向する2辺がリニ
アモータの可動体の推力発生に寄与する一対の有効導体
部14として機能し、他の対向する2辺が該有効導体部
14を結ぶ一対の連結導体部16として機能する。
れの中心を含む平面をコイル平面CPと定義する。
14の端部付近がほぼ直角に曲折されている。それによ
り一対の連結導体部16は、コイル平面CPからオフセ
ットされた状態で該コイル平面CPと平行に延在された
状態とされている。
は、この延在状態において、コイル平面CPとほぼ直角
の平行辺16a、16bと、コイル平面CPに対向し且
つ連結導体部16が曲折された(オフセットされた)方
向と逆の方向に傾斜した傾斜辺16cと、反コイル平面
側の辺16dを有するほぼ台形の形状とされている。
cが位置し、一方、連結導体部16の外周は、(この台
形の2つの平行辺16a、16bのうちの1つである)
平行辺16aと辺16Ddとがそれぞれ位置することに
なるため、コイル平面CPと直角又は平行な平面が現れ
ることになる。
斜角度θは、この実施形態では約15度に設定されてい
る。
され、前記コイル平面と平行な側面14a、14Bb及
びこれと直角な外側面14c、14dを有する。傾斜辺
16cは、このうち曲折した側の側面14aを含む平面
EPと、コイル平面CPとの間に位置している。
「台形」は、必ずしも幾何学上の正確な台形である必要
はなく、角を丸めたり或いは各辺16a〜16dが若干
湾曲していても構わない。
ニアモータに適用する場合の構成・作用を説明しなが
ら、該単体コイル12の形状に基づく作用について説明
する。
2はこれ1個で2相励磁モータの「1相」を形成する。
従って、2相励磁モータを構成するには、この単体コイ
ルが2つ必要になるが、本実施形態では、図2に示され
るように、先ず各単体コイル12A、12Bの連結導体
部16Aa、16Ab、16Ba、16Bbのオフセッ
ト方向が、進行方向と直角の方向において互いに逆にな
るように組み合わせる。そして一方の単体コイル12A
の1対の有効導体部14Aa、14Abの間に、他方の
単体コイル12Bの1対の有効導体部14Ba、14B
bの1つ14Baを介在させるようにして、2つの単体
コイル12A、12Bを一体化する。
して、ここで、傾斜辺の作用を説明すると、図3はこの
一体化状態を示したものであり、図3の(A)はその場
合に前記傾斜θを形成しなかったもの、同図(B)は形
成したものをそれぞれ示している。この図3(A)のコ
イルユニットCi10は、これ自体従来のレーストラッ
ク形の単体ユニットを合体させたものと比べるとかなり
コンパクトになって折り、本発明の効果を有し得る構成
である。しかしながら、連結導体部16の走行方向に対
する左右幅(連結導体部6の組付状態でのトータルのオ
フセット幅)W1をかなり大きくしないと隣接する単体
コイル12の連結導体部16同士の干渉が避けられな
い。
イルCi12は、傾斜辺16cがコイル平面CPに対し
て連結導体部16が曲折された(オフセットされた)方
向と逆の方向に傾斜角度θを有し、しかもその位置が有
効導体部14の側面14aを含む平面EP(図1参照)
の内側(コイル平面側)に設定されている。その結果、
この傾斜角度θの存在により連結導体部16の横断面は
コイル平面CP側に大きくシフトすることが可能にな
り、それにも拘わらず隣接する連結導体部の曲折部分の
外周Gと傾斜辺16cとの干渉は生じない。
る左右幅(連結導体部16の組付状態でのトータルのオ
フセット幅)W2を前記W1より短縮でき、無駄な領域
(空間)Rをなくして一層コンパクトな収まりとするこ
とができる。この短縮は、リニアモータLMの走行方向
に対する左右幅方向の短縮に寄与し、同じ幅を確保でき
る場合にはより厚みのあるケーシングとすることができ
るため、より安定した走行を実現でき、また、設計によ
ってはより強い推力を発生させるようにすることもでき
る。
体部16の横断面が台形とされていることから、コイル
平面CPと直角又は平行になるため、取り付け部材側或
いは磁極ユニット側に対する収まりも良好である。
具体的にどのような製造方法によって製造しても構わな
い。要は、最終的な形状が結果として本発明に係る形状
を有していれば、本発明所定の効果を得ることができ
る。
コイルユニットCi12(Ci10でも可)は、図4に
示されるように配置される。
イル12A、12Bのそれぞれの1対の有効導体部14
Aa、14Ab、14Ba、14Bbの間隔もπであ
る。一方の単体コイル12Aの一対の有効導体部14A
a、14Abの間にはもう一方の単体コイル12Bの一
対の有効導体部14Ba、14Bbの一つ14Baが丁
度π/2の間隔に位置するように介在させられる。
は15を用いて説明した従来例と位相的に等価の1極2
相励磁式のリニアモータを構成することができる。しか
も、各有効導体部14Aa、14Ab、14Ba、14
Bbは完全に1列のラインL1上に並び、磁極ピッチM
12を小さくできるため、それだけ磁束密度を高めるこ
とができ、効率の高い1極2相励磁モータを得ることが
できる。2つの単体コイル12A、12Bはコイルユニ
ットCi12として合体されて1カ所に塊まっているた
め、従来大半を占めていた分離型の1極2相励磁モータ
に比べ非常にコンパクトにコイルユニットを収めること
ができる。
をラインL1上に2つを並べたのが図5に示す2極−2
相励磁モータである。このモータは、一見従来の分離型
1極2相励磁モータと同様であるが、1つひとつが1極
を構成しているため、極数を2倍にした分、図4の一体
型1極2相励磁モータに比べほぼ2倍の推力を得ること
ができる。
i12をP個並べた場合には、P極の多極2相励磁モー
タとすることができ、ほぼP倍の推力を得ることができ
る。
おいて、「単体コイル」と称していたものを、(サブ
の)単体コイルとして把握し、これを2個連結すること
によって1相の1個の(連結された)単体コイルを形成
するようにしている。
の実施形態とは共通している面と異なる面とがある。
2Bの連結導体部26Aa、26Abと、26Ba、2
6Bbのオフセット方向が、進行方向と直角な方向にお
いて互いに逆になるように組み合わせている点と、一方
のコイル体22Aの一対の有効導体部24Aa、24A
bの間に、他のコイル体22Bの一対の有効導体部24
Ba、24Bbのひとつ24Baが介在させるようにし
て該2つのコイル体22A、22Bを一体化させている
点である。即ち、基本的な組み合わせ方自体は先の実施
形態と同様である。
者の間隔はπではなく、有効導体部24Aa、24Ba
同士、或いは24Ab、24Bb同士が互いに接触させ
られている。そして両コイル体22A、22Bは直列に
連結され、接触された有効導体部24Aa、24Ba同
士、或いは24Ab、24Bb同士で同じ方向に電流が
流れるように配慮されている。なお、有効導体部24A
a、24Baと24Ab、24Bbとの中心間距離はπ
であり不変である。
によって恰もそれぞれのコイル体22A或いは22Bの
2倍の巻き数の1個の単体コイル32が形成されること
になる。この単体コイル32は1個のコイル体22A、
22Bの2倍の巻き数持ちながら、その厚さ方向の長さ
の増大が最小に抑えられ、従って磁石列Mgの間隔M2
2もそれほど大きくする必要がない。
相の単体コイルを形成するものであるため、2相励磁コ
イルを構成するにはもう1個全く同様の単体コイル32
を備える必要がある。図6に示されるように所定の間隔
2kπをおいてもう1個の単体コイル32を配置するこ
とにより、分離型の1極2相励磁式のリニアモータを得
ることができる。
磁モータのシステムの長さと推力定数とモータ定数の比
を従来のレーストラック型の1極分離2相励磁モータと
比較した表を示している。なお、表の数値は磁極ピッチ
が72mm、コイル直線部の長さが12mmの場合の例
である。推力定数やモータ定数は、対向する磁石の距
離、磁石高さなどにより違ってくるため、表の数値は一
例にすぎないが、大小の相対的な傾向は変わらない。
図15に示した分離型1極2相励磁モータとほぼ等価の
特性を持ちながら、一方側のみで完結した1極構成する
ことができるため、コイルユニットの長さをあまり大き
くすることなく、また、効率もかなり高めることができ
る。
により、一層推力を増大させることができる。
分離してもう1個の(連結)単体コイルを設けなければ
ならないという事情はそのままではあるものの、1相当
たりの巻き数が増えた分、より大きな推力を得ることが
できる。
効導体部の中心間距離は、基本的に不変であるため、磁
石列の間隔を変えることなく、即ち固定体側を変更する
ことなく、移動体側の合体させる(サブ)単体コイルの
数の調整のみによって推力を調整・変更できる。そのた
め、設計変更の容易性という点においても有効な効果を
得ることできる。
クトで、より高効率、或いは高推力の2相励磁モータを
得ることができるようになる。
ユニットの単体コイルを示すもので、(A)はその斜視
図、(B)は(A)の矢示1B線に沿う断面図
化状態を示す斜視図
化状態を示す図2の矢示III−III線に沿う縦断面相当の
断面図で、(A)は傾斜辺θを持たないもの、(B)は
傾斜辺θを持つもの
面図
す平面図
フ
ルの斜視図
を模式的に示す平面図
生態様を示すグラフ
を模式的に示す平面図
生態様を示すグラフ
配置例を模式的に示す平面図
他の配置例を模式的に示す平面図
Claims (4)
- 【請求項1】一極を形成する2つの単体コイルに所定の
時間的ずれを伴って連続的に磁力を発生させ、この磁力
により移動体を直線方向に駆動する2相励磁式リニアモ
ータにおいて、 前記2つの単体コイルのぞれぞれを、対向する2辺がリ
ニアモータの可動体の推力発生に寄与する一対の有効導
体部として、他の対向する2辺が該有効導体部を結ぶ一
対の連結導体部としてそれぞれ機能する、ほぼ矩形のリ
ング状に形成し、 前記一対の有効導体部のそれぞれの中心を含む平面をコ
イル平面と定義したときに、 このコイル平面に対して、前記有効導体部の端部付近が
ほぼ直角に曲折されることによって、前記一対の連結導
体部がコイル平面からオフセットされた状態で該コイル
平面と平行に延在された状態とし、 各単体コイルの連結導体部のオフセット方向が、進行方
向と直角な方向において互いに逆になるように組み合わ
せながら、一方の単体コイルの一対の有効導体部の間
に、他方の単体コイルの一対の有効導体部のひとつを介
在させるようにして、2つの単体コイルを一体化したこ
とを特徴とする2相励磁式のリニアモータ。 - 【請求項2】請求項1において、 前記連結導体部の横断面の形状が、前記延在状態におい
て、前記コイル平面とほぼ直角の平行辺と、該コイル平
面に対向し、且つ連結導体部がオフセットされた方向と
逆の方向に傾斜した傾斜辺と、を有するほぼ台形の形状
とされたことを特徴とする2相励磁式リニアモータ。 - 【請求項3】請求項1又は2に記載の、一体化された2
相の単体コイルを、離れた位置に2以上設置することに
より多極化したことを特徴とする2相励磁式リニアモー
タ。 - 【請求項4】分離して配置されることによって1極を形
成する2つの単体コイルに、所定の時間的ずれを伴って
連続的に磁力を発生させ、この磁力により移動体を直線
方向に駆動する2相励磁式リニアモータにおいて、 前記単体コイルのぞれぞれが、対向する2辺がリニアモ
ータの可動体の推力発生に寄与する一対の有効導体部と
して、他の対向する2辺が該有効導体部を結ぶ一対の連
結導体部としてそれぞれ機能する、ほぼ矩形のリング状
に形成した2つのサブ単体コイルから構成され、且つ、 各サブ単体コイルの連結導体部のオフセット方向が、進
行方向と直角な方向において互いに逆になるように組み
合わせながら、一方のサブ単体コイルの一対の有効導体
部の間に、他方のサブ単体コイルの一対の有効導体部の
ひとつが重なって介在させるようにして該2つのサブ単
体コイルが一体化され、且つ2つのサブ単体コイルが直
列に結線されることによって単一の連結単体コイルが形
成されており、 この連結単体コイルを前記単体コイルとして2個分離し
て配置することによって1極が形成されていることを特
徴とする2相励磁式のリニアモータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000276060A JP3484152B2 (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 2相励磁式リニアモータ |
US10/067,969 US6661128B2 (en) | 2000-09-12 | 2002-02-08 | Two-phase excitation linear motor |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000276060A JP3484152B2 (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 2相励磁式リニアモータ |
US10/067,969 US6661128B2 (en) | 2000-09-12 | 2002-02-08 | Two-phase excitation linear motor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002095231A true JP2002095231A (ja) | 2002-03-29 |
JP3484152B2 JP3484152B2 (ja) | 2004-01-06 |
Family
ID=29272248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000276060A Expired - Fee Related JP3484152B2 (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 2相励磁式リニアモータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6661128B2 (ja) |
JP (1) | JP3484152B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005080415A (ja) * | 2003-09-01 | 2005-03-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ボイスコイルモータ及び3相リニアモータ |
JP2011155826A (ja) * | 2010-01-25 | 2011-08-11 | Chokutoku Kagi Kofun Yugenkoshi | リニアモータコイルアセンブリ構造 |
CN102201713A (zh) * | 2010-03-22 | 2011-09-28 | 直得科技股份有限公司 | 线性马达线圈组合件构造 |
JP2012157183A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Chokutoku Kagi Kofun Yugenkoshi | ユニットコイル、コイルアセンブリ及びコイルレスタイプリニアモーター |
US11340515B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-05-24 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Linear motor, and lens barrel and imaging device equipped with same |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2005112230A1 (ja) * | 2004-05-18 | 2008-05-15 | セイコーエプソン株式会社 | 電動機 |
US8154156B2 (en) * | 2010-03-16 | 2012-04-10 | Chieftek Precision Co., Ltd. | Coil assembly for linear motor |
KR101769717B1 (ko) * | 2016-09-19 | 2017-08-21 | 한양대학교 산학협력단 | 슬롯리스 전동기 및 이의 코일부 |
-
2000
- 2000-09-12 JP JP2000276060A patent/JP3484152B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-02-08 US US10/067,969 patent/US6661128B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005080415A (ja) * | 2003-09-01 | 2005-03-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ボイスコイルモータ及び3相リニアモータ |
KR100585184B1 (ko) | 2003-09-01 | 2006-05-30 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 보이스 코일 모터 및 3상 리니어 모터 |
JP4532864B2 (ja) * | 2003-09-01 | 2010-08-25 | 住友重機械工業株式会社 | 3相リニアモータ |
JP2011155826A (ja) * | 2010-01-25 | 2011-08-11 | Chokutoku Kagi Kofun Yugenkoshi | リニアモータコイルアセンブリ構造 |
CN102201713A (zh) * | 2010-03-22 | 2011-09-28 | 直得科技股份有限公司 | 线性马达线圈组合件构造 |
JP2012157183A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Chokutoku Kagi Kofun Yugenkoshi | ユニットコイル、コイルアセンブリ及びコイルレスタイプリニアモーター |
US11340515B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-05-24 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Linear motor, and lens barrel and imaging device equipped with same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030151314A1 (en) | 2003-08-14 |
JP3484152B2 (ja) | 2004-01-06 |
US6661128B2 (en) | 2003-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10541596B2 (en) | Displacement device | |
JP5510338B2 (ja) | リニアモータ | |
JP2000166214A (ja) | 同軸リニアモ―タ | |
JP5015316B2 (ja) | リラクタンスモータ | |
JP2002095231A (ja) | 2相励磁式リニアモータ | |
US9018822B2 (en) | Stator for rotary electric machine | |
JPS61187603A (ja) | リニアレゾルバ | |
JP2000278931A (ja) | リニアモータ | |
JPH06189520A (ja) | リニアパルスモータ | |
JP2002209371A (ja) | リニアモータ | |
US6800968B1 (en) | Linear motor | |
JPH10164820A (ja) | 永久磁石界磁同期機 | |
KR100258533B1 (ko) | 다상전자변환기 | |
WO2001065671A1 (fr) | Moteur linéaire | |
JPH09308218A (ja) | リニアモータ及びこれを用いたステージ装置や露光装置 | |
JP3941314B2 (ja) | コアレスリニアモータ | |
US20020117905A1 (en) | Linear actuator | |
JPS62193543A (ja) | 可動コイル形リニアモ−タ | |
KR20230161343A (ko) | 선형 전동기 및 이송 시스템 | |
JP3052205B1 (ja) | リニアモ―タ用可動コイル及びその製造方法 | |
JPH1023735A (ja) | リニアモータ | |
JP2002010616A (ja) | リニアモータ用コイルユニットの単体コイル及びその巻き型 | |
JP2006180690A (ja) | リニアモータ | |
JP3855873B2 (ja) | 直線駆動装置及びそれを用いた製造装置 | |
JPS6115556A (ja) | 多相式リニアモ−タの可動子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081017 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081017 Year of fee payment: 5 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091017 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091017 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101017 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111017 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121017 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131017 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |