JP2002082217A - Method for removing foreign matter in color filter - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for removing a foreign matter in a color filter such that the foreign matter can be removed without problems even when the filter is irradiated with laser light at specified intensity regardless of the material or the like in the part where the foreign matter intrudes and that unnecessary holes due to the removal of the foreign matter can not be formed even when the irradiation position is misaligned. SOLUTION: The method to remove a foreign matter 3 in a color filter having a color filter layer containing at least a color layer 2 on a transparent substrate 1 includes at least a process of detecting the foreign matter 3 present in the color filter layer or on the layer, a process of forming a laser absorbing part 4 from a material having better absorptivity for laser light than that of the color filter on the surface of the color filter layer in the position where the detected foreign matter is present, and a process of irradiating the laser absorbing part with laser light to remove the foreign matter together with the material constituting the color filter layer near the foreign matter.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置等に
用いられるカラーフィルタの着色部等に異物が付着もし
くは混入した場合、この異物を除去するために用いられ
るカラーフィルタ異物除去方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for removing foreign matter from a color filter used for removing foreign matter when the foreign matter adheres or mixes into a colored portion of a color filter used in a liquid crystal display device or the like. is there.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、パーソナルコンピューターの発
達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴
い、液晶表示装置、とりわけカラー液晶表示装置の需要
が増加する傾向にある。このカラー液晶表示装置には、
通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着
色パターンを備えたカラーフィルタが設けられており、
このカラーフィルタのＲ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画
素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシ
ャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画
素を光が通過してカラー表示が行われる。2. Description of the Related Art In recent years, with the development of personal computers, especially portable personal computers, the demand for liquid crystal display devices, especially color liquid crystal display devices, has been increasing. In this color liquid crystal display device,
Usually, a color filter having three primary color patterns of red (R), green (G), and blue (B) is provided.
The liquid crystal operates as a shutter by turning on and off the electrodes corresponding to the R, G, and B pixels of the color filter, and light passes through the R, G, and B pixels to perform color display. Is performed.

【０００３】このようなカラーフィルタは、通常透明基
板上に上記Ｒ、Ｇ、およびＢからなる画素部が所定のパ
ターンで形成された着色層が形成され、この着色層上に
液晶を駆動させるための透明電極が形成されている。In such a color filter, a color layer is usually formed on a transparent substrate, in which a pixel portion composed of R, G, and B is formed in a predetermined pattern, and a liquid crystal is driven on the color layer. Are formed.

【０００４】しかしながら、例えばこの着色層中に数μ
ｍ〜数十μｍのゴミ等の異物が混入し、さらにこの異物
が導電性のものであったり、高い誘電率を有するもので
あったりした場合は、液晶駆動用の電極の短絡や液晶の
表示品質の低下等の不具合が生じる可能性がある。した
がって、このような異物を製造時に混入させないように
することが望ましいが、現実問題としてクリーンルーム
等の異物の少ない環境で製造した場合でも、完全に異物
の付着や内包のないカラーフィルタを製造することは不
可能である。[0004] However, for example, several μm
If foreign matter such as dust having a size of m to several tens of μm is mixed and the foreign matter is conductive or has a high dielectric constant, a short circuit of a liquid crystal driving electrode or display of a liquid crystal may occur. There is a possibility that defects such as deterioration of quality may occur. Therefore, it is desirable to prevent such foreign matter from being mixed in during the production. However, as a practical problem, even when the color filter is manufactured in an environment with a small amount of foreign matter, such as a clean room, it is necessary to manufacture a color filter completely free of foreign matter and inclusion. Is impossible.

【０００５】また、近年、カラーフィルタの多面取りが
行われるようになってきている。したがって、異物の混
入したカラーフィルタを廃棄処分とした場合は、コスト
面での問題が大きくなってしまう。In recent years, multiple color filters have been obtained. Therefore, in the case where the color filter mixed with the foreign matter is disposed of, the problem in terms of cost increases.

【０００６】このような観点から、カラーフィルタに付
着もしくは内包した異物を除去する方法が提案されてい
る（特開平２−９２４７６号公報）。この方法において
は、１μｍ以下の波長を有するレーザ光を用いて、カラ
ーフィルタに付着もしくは内包される異物をその周囲の
カラーフィルタ構成物質と共に取り除くようにしてい
る。From such a viewpoint, there has been proposed a method of removing foreign substances adhered or included in a color filter (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-92476). In this method, foreign matter attached to or included in the color filter is removed together with the surrounding color filter constituent material using a laser beam having a wavelength of 1 μm or less.

【０００７】しかしながら、この方法では、異物が混入
した部位によって、その部位を構成する材料のレーザ光
の吸収度合いが異なることから、レーザ光を一律の強度
で除去しようとした場合は、異物がうまく除去できなか
ったり、必要以上に深く異物を除去するための孔（以
下、異物除去孔とする場合がある。）を形成してしまう
可能性がある。また、レーザ光照射の位置精度に問題が
ある場合は、異物が無い場所であっても異物除去孔を形
成してしまう可能性があるといった問題を有する。However, in this method, the degree of absorption of laser light by the material constituting the part differs depending on the part where the foreign matter is mixed. Therefore, when the laser light is to be removed with a uniform intensity, the foreign matter can be successfully removed. There is a possibility that a hole cannot be removed or a hole for removing a foreign substance deeper than necessary (hereinafter, sometimes referred to as a foreign substance removing hole) may be formed. Further, when there is a problem in the positional accuracy of the laser beam irradiation, there is a problem that a foreign matter removing hole may be formed even in a place where there is no foreign matter.

【０００８】[0008]

【本発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題
点に鑑みてなされたものであり、異物が混入している部
位の材質等に関係なく、一律の強度でレーザ照射した場
合でも不具合なく異物を除去することが可能であり、ま
た照射位置がずれてしまった場合でも、不要な異物除去
孔を形成することがないカラーフィルタ異物除去方法を
提供することを主目的とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and has a problem even when laser irradiation is performed at a uniform intensity regardless of the material of a portion where foreign matter is mixed. It is a main object of the present invention to provide a color filter foreign matter removing method capable of removing foreign matter without causing unnecessary foreign matter removing holes even when the irradiation position is shifted. .

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、請求項１に記載するように、透明基板上
に少なくとも着色層を含むカラーフィルタ層を有するカ
ラーフィルタの異物除去方法であって、上記カラーフィ
ルタ層中もしくはその表面に存在する異物を検出する工
程と、上記検出された異物の位置に相当するカラーフィ
ルタ層表面上にレーザ光の吸収性がカラーフィルタ層よ
りも良好な材料で形成したレーザ光吸収部を設ける工程
と、上記レーザ光吸収部にレーザ光を照射して上記異物
の近傍にあるカラーフィルタ層構成物と共に異物を除去
する工程とを少なくとも有することを特徴とするカラー
フィルタ異物除去方法を提供する。In order to achieve the above object, the present invention provides a method for removing foreign matter from a color filter having a color filter layer including at least a colored layer on a transparent substrate. Detecting the foreign matter present in or on the surface of the color filter layer, and the laser light absorption on the color filter layer surface corresponding to the position of the detected foreign matter is better than that of the color filter layer. Providing at least a step of providing a laser light absorbing portion formed of a suitable material, and a step of irradiating the laser light absorbing portion with laser light to remove foreign matter together with a color filter layer component near the foreign matter. And a color filter foreign matter removal method.

【００１０】このように異物をレーザ光により除去する
前に、レーザ光を照射する部位に予めレーザ光の吸収が
カラーフィルタ層よりも良好な材料で形成したレーザ光
吸収部を形成することにより、レーザ光を照射する部位
の材質に関係なく一律の強度でレーザ光を照射すること
ができる。したがって、異物の除去に際してレーザ光の
強度の調整等の手間がなく、効率的に異物の除去を行う
ことができる。さらに、本発明においては、レーザ光吸
収部で所定の深さの異物除去孔が形成されるようにレー
ザ光の強度を調節してあるので、例えレーザ光の照***
度が悪く、異物の無いところにレーザを照射した場合で
も、レーザ光吸収部が形成されていない部位であれば、
大きな孔が形成されることがなく、その後の修復が不要
もしくは容易であるという利点を有する。As described above, before the foreign matter is removed by the laser beam, a laser beam absorbing portion made of a material having a better absorption of the laser beam than the color filter layer is formed in a portion to be irradiated with the laser beam in advance. Irradiation with laser light can be performed at a uniform intensity irrespective of the material of the portion to be irradiated with laser light. Therefore, there is no need to adjust the intensity of the laser beam when removing the foreign matter, and the foreign matter can be efficiently removed. Further, in the present invention, the intensity of the laser light is adjusted so that a foreign matter removing hole having a predetermined depth is formed in the laser light absorbing part. Even if the laser is irradiated, if the laser light absorbing part is not formed,
There is an advantage that a large hole is not formed and subsequent repair is unnecessary or easy.

【００１１】上記請求項１に記載された発明において
は、請求項２に記載するように、前記レーザ光吸収部
は、その熱伝導性がカラーフィルタ層よりも良好な材質
で形成されていることが好ましい。According to the first aspect of the present invention, as described in the second aspect, the laser light absorbing portion is formed of a material having better thermal conductivity than the color filter layer. Is preferred.

【００１２】このように、レーザ光の吸収がカラーフィ
ルタ層よりも良好な材質であって、かつその熱伝導性も
カラーフィルタ層よりも良好である材質を用いて本発明
の方法におけるレーザ吸収部を形成することにより、吸
収したレーザ光を当該レーザ吸収部の下層に相当するカ
ラーフィルタ層へ無駄なく熱として伝えることができ、
これにより除去すべきカラーフィルタ層の除去をスムー
ズにすることができる。As described above, by using a material that absorbs laser light better than the color filter layer and has a thermal conductivity better than that of the color filter layer, the laser absorbing portion of the method of the present invention can be used. By forming, the absorbed laser light can be transmitted as heat to the color filter layer corresponding to the lower layer of the laser absorbing portion without waste,
This makes it possible to smoothly remove the color filter layer to be removed.

【００１３】また、本発明においては、請求項３に記載
するように、透明基板上に少なくとも着色層を含むカラ
ーフィルタ層を有するカラーフィルタの異物除去方法で
あって、前記カラーフィルタ層中もしくはその表面に存
在する異物を検出する工程と、前記検出された異物の位
置に相当するカラーフィルタ層表面上に金属又は金属酸
化物からなる膜で形成したレーザ光吸収部を設ける工程
と、前記レーザ光吸収部にレーザ光を照射して前記異物
の近傍にあるカラーフィルタ層構成物と共に前記異物を
除去する工程とを少なくとも有することを特徴とするカ
ラーフィルタ異物除去方法を提供する。According to a third aspect of the present invention, there is provided a method for removing foreign matter from a color filter having a color filter layer including at least a color layer on a transparent substrate, wherein the method includes the steps of: Detecting a foreign substance present on the surface; providing a laser light absorbing portion formed of a film made of metal or metal oxide on the color filter layer surface corresponding to the position of the detected foreign substance; Irradiating the absorbing portion with laser light to remove the foreign matter together with the color filter layer component near the foreign matter.

【００１４】このようにレーザ光吸収部を金属または金
属酸化物からなる膜で形成することによってもカラーフ
ィルタ層を除去しやすくすることができるからである。The reason for this is that the color filter layer can be easily removed by forming the laser beam absorbing portion with a film made of metal or metal oxide.

【００１５】上記請求項１から請求項３までのいずれか
の請求項に記載された発明においては、請求項４に記載
するように、上記異物が、着色層中もしくはその表面、
またはブラックマトリックス中もしくはその表面に存在
する異物であるとすることができる。着色層およびブラ
ックマトリックスが、透明基板上に形成されたカラーフ
ィルタ層の中では主たるものであり、これらの表面もし
くは内部に存在する異物を除去する必要性が最も高いか
らである。In the invention described in any one of the first to third aspects, as described in the fourth aspect, the foreign matter is contained in the colored layer or on the surface thereof.
Alternatively, it can be a foreign substance present in or on the surface of the black matrix. This is because the coloring layer and the black matrix are the main ones of the color filter layers formed on the transparent substrate, and it is most necessary to remove foreign substances present on the surface or inside thereof.

【００１６】上記請求項１から請求項４までのいずれか
の請求項に記載された発明においては、請求項５に記載
するように、上記レーザ光の波長が、１μｍを越える波
長であることが好ましい。この範囲のレーザ光であれ
ば、一般に着色層等に対する吸収度が低いことから、誤
ってレーザ光吸収部以外のところにレーザ光を照射した
場合でも、着色層等に損傷を負わせる度合いが少なく、
その後の補修等の手間が少なくてすむからである。ま
た、一般に、この範囲の波長を発するレーザ装置の方が
安価であり、かつ高出力を得ることができるからであ
る。In the invention described in any one of the first to fourth aspects, as described in the fifth aspect, the wavelength of the laser light may be a wavelength exceeding 1 μm. preferable. If the laser light is in this range, the degree of absorption of the colored layer or the like is generally low, so that even if the laser light is erroneously applied to a portion other than the laser light absorbing portion, the degree of damage to the colored layer or the like is small. ,
This is because subsequent repairs and the like are less troublesome. In addition, a laser device that emits a wavelength in this range is generally inexpensive and can provide high output.

【００１７】上記請求項１から請求項５までのいずれか
の請求項に記載された発明においては、請求項６に記載
するように、上記レーザ光吸収部が、異物の位置を中心
として、半径１μｍ〜５０μｍの領域の範囲内で形成さ
れることが好ましい。上記範囲より狭い範囲とした場合
は、レーザの照射に際して高い位置精度が要求されるた
め、異物の除去が困難になる可能性があるからであり、
上記範囲より広い場合は、異物除去に際して不要な部分
まで除去してしまう可能性が生じ、その後の修復等に手
間がかかる可能性が高くなるからである。In the invention described in any one of the first to fifth aspects, as described in the sixth aspect, the laser light absorbing portion has a radius centered on the position of the foreign matter. Preferably, it is formed in the range of 1 μm to 50 μm. If the range is narrower than the above range, since high positional accuracy is required at the time of laser irradiation, it may be difficult to remove foreign matter,
If the width is larger than the above range, there is a possibility that an unnecessary portion may be removed when removing the foreign matter, and it is more likely that the subsequent restoration or the like takes time and effort.

【００１８】本発明においては、請求項７に記載するよ
うに、請求項１から請求項６までのいずれかの請求項に
記載のカラーフィルタ異物除去方法により異物が除去さ
れて形成されたことを特徴とするカラーフィルタを提供
する。このようなカラーフィルタは、たとえ異物がカラ
ーフィルタ層の内部もしくは表面に付着したものであっ
ても、効率的に異物が除去されたものであるので、製造
に際しての歩留まりが良好であることから、結果的に安
価なカラーフィルタとすることができる。According to the present invention, as described in claim 7, the foreign matter is formed by removing the foreign matter by the color filter foreign matter removing method according to any one of claims 1 to 6. A characteristic color filter is provided. Such a color filter, even if foreign matter adheres to the inside or the surface of the color filter layer, is one from which the foreign matter is efficiently removed, so that the production yield is good, As a result, an inexpensive color filter can be obtained.

【００１９】[0019]

【発明の実施の形態】本発明のカラーフィルタ異物除去
方法は、透明基板上に少なくとも着色層を含むカラーフ
ィルタ層を有するカラーフィルタの異物除去方法であっ
て、上記カラーフィルタ層中もしくはその表面に付着し
た異物を検出する工程と、上記検出された異物の位置に
相当するカラーフィルタ層表面上にレーザ光の吸収性が
カラーフィルタ層よりも良好な材料で形成したレーザ光
吸収部を設ける工程と、上記レーザ光吸収部にレーザ光
を照射して上記異物の近傍にあるカラーフィルタ層構成
物と共に上記異物を除去する工程とを少なくとも有する
ことを特徴とするものである。以下、このような本発明
のカラーフィルタ異物除去方法の各工程について詳細に
説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The foreign matter removing method for a color filter according to the present invention is a method for removing foreign matter from a color filter having a color filter layer including at least a colored layer on a transparent substrate. A step of detecting the adhered foreign matter, and a step of providing a laser light absorbing portion formed of a material whose laser light absorbency is better than that of the color filter layer on the color filter layer surface corresponding to the position of the detected foreign matter. Irradiating the laser light absorbing portion with laser light to remove the foreign matter together with the color filter layer component near the foreign matter. Hereinafter, each step of the color filter foreign matter removing method of the present invention will be described in detail.

【００２０】まず、本発明のカラーフィルタ異物除去方
法が適用されるのは、上述したように透明基板上に少な
くとも着色層を含むカラーフィルタ層を有するカラーフ
ィルタである。First, the color filter foreign matter removing method of the present invention is applied to a color filter having a color filter layer including at least a colored layer on a transparent substrate as described above.

【００２１】ここで用いられる透明基板は、通常カラー
フィルタに用いられているものであれば特に限定される
ものではなく、例えば石英ガラス、パイレックス（登録
商標）ガラス、合成石英板等の可とう性のない透明なリ
ジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等
の可とう性を有する透明なフレキシブル材等を挙げるこ
とができる。The transparent substrate used here is not particularly limited as long as it is generally used for a color filter. For example, a flexible substrate such as quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass, or a synthetic quartz plate is used. And a transparent flexible material having flexibility such as a transparent resin film, an optical resin plate and the like.

【００２２】本発明は、このような透明基板上に形成さ
れたカラーフィルタ層中に内包される、もしくはその表
面に付着した異物を除去する際に用いられるものであ
る。ここで、本発明でいうカラーフィルタ層とは、少な
くとも着色層を有するものであれば特に限定されるもの
ではなく、その他、ブラックマトリックス、透明電極、
保護層、配向層等が含まれていてもよい。The present invention is used to remove foreign substances contained in or adhered to the color filter layer formed on such a transparent substrate. Here, the color filter layer in the present invention is not particularly limited as long as it has at least a colored layer, and in addition, a black matrix, a transparent electrode,
A protective layer, an orientation layer and the like may be included.

【００２３】また、本発明のカラーフィルタ異物除去方
法においては、透明基板上に最終的に形成される全ての
層が形成される前に異物を除去する場合も含むものであ
る。すなわち、例えば着色層とブラックマトリックス層
のみが形成された段階で本発明の異物除去方法により異
物が除去されるようにしてもよいのである。よって、こ
の場合のカラーフィルタ層は、その段階で透明基板上に
形成されている層、すなわち、上述した例では、着色層
とブラックマトリックス層が本発明でいうカラーフィル
タ層に該当することになる。The method for removing foreign matter of a color filter of the present invention also includes a case where foreign matter is removed before all layers finally formed on a transparent substrate are formed. That is, for example, the foreign matter may be removed by the foreign matter removing method of the present invention when only the colored layer and the black matrix layer are formed. Therefore, in this case, the color filter layer is a layer formed on the transparent substrate at that stage, that is, in the above-described example, the coloring layer and the black matrix layer correspond to the color filter layer according to the present invention. .

【００２４】したがって、本発明でいうカラーフィルタ
層とは、少なくとも着色層を含む層であり、かつ本発明
のカラーフィルタ異物除去方法が適用される際に透明基
板上に形成されている層を示すものである。Therefore, the color filter layer referred to in the present invention is a layer containing at least a colored layer, and is a layer formed on a transparent substrate when the color filter foreign matter removing method of the present invention is applied. Things.

【００２５】本発明のカラーフィルタ異物除去方法が適
用される異物としては、一般的には上記カラーフィルタ
層の内、特に着色層もしくはブラックマトリックスの内
部もしくはその表面に存在する異物である。カラーフィ
ルタ層中に占める割合としては、着色層およびブラック
マトリックスが主たるものであり、これらの層に異物が
混入する可能性が高く、異物除去の必要性が大きいから
である。このような観点から、特に着色層内の異物の除
去に本発明が好適に用いられる。The foreign matter to which the color filter foreign matter removing method of the present invention is applied is generally a foreign matter present in the above-mentioned color filter layer, in particular, inside or on the surface of the colored layer or the black matrix. This is because the color filter layer and the black matrix mainly occupy the ratio in the color filter layer, and there is a high possibility that foreign matter is mixed into these layers, and there is a great need to remove the foreign matter. From such a viewpoint, the present invention is suitably used particularly for removing foreign matter in the colored layer.

【００２６】なお、本発明でいう着色層とは、複数色の
画素部、通常は赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の
３色の画素部からなり、種々のパターン、例えば、モザ
イク状、トライアングル状、ストライプ状等のパターン
で形成されるものである。また、ブラックマトリックス
とは、上記着色層を形成する画素部間に配置され、光を
遮るために形成されたものである。The colored layer in the present invention is composed of pixel portions of a plurality of colors, usually three color portions of red (R), green (G) and blue (B). For example, it is formed in a mosaic, triangle, stripe, or other pattern. The black matrix is arranged between the pixel portions forming the colored layer and formed to block light.

【００２７】本発明においては、このようなカラーフィ
ルタ層に対して、このカラーフィルタ層の内部に内包さ
れた、もしくはその表面に付着した異物を検出する工程
を行う。この工程において、異物の存在が確認された場
合は、その異物の位置が測定される。In the present invention, such a color filter layer is subjected to a step of detecting a foreign substance contained inside or attached to the surface of the color filter layer. In this step, if the presence of a foreign substance is confirmed, the position of the foreign substance is measured.

【００２８】このような異物を検出する際に用いられる
方法としては、例えば、ハロゲンランプ光を照射し、そ
の反射光もしくは透過光をＣＣＤラインセンサにて受光
し、受光した結果を画像処理して欠陥部分を抽出するよ
うな検査装置を用いる方法等を挙げることができる。As a method used for detecting such a foreign substance, for example, a halogen lamp light is irradiated, the reflected light or the transmitted light is received by a CCD line sensor, and the received light is image-processed. A method using an inspection device that extracts a defective portion can be used.

【００２９】このようにして、カラーフィルタ層内に混
入したもしくはその表面に付着した異物の存在およびそ
の位置が確認された場合は、この検出された異物の位置
に相当するカラーフィルタ層表面上にレーザ光の吸収性
が良好な材料で形成されたレーザ光吸収部が形成され
る。In this way, when the presence and the position of the foreign matter mixed in the color filter layer or adhered to the surface thereof are confirmed, the presence of the foreign matter on the surface of the color filter layer corresponding to the detected position of the foreign matter is confirmed. A laser light absorbing portion formed of a material having good laser light absorbability is formed.

【００３０】ここで、レーザ光の吸収性がカラーフィル
タ層よりも良好な材料とは、レーザ光吸収部として形成
された際に、対応するレーザ光の吸収率が、２５％〜１
００％の範囲内、好ましくは７０％〜１００％の範囲内
である材料をいう。Here, a material having better laser light absorption than the color filter layer means that when formed as a laser light absorbing portion, the corresponding laser light absorption is 25% to 1%.
Materials that are in the range of 00%, preferably in the range of 70% to 100%.

【００３１】このレーザ光の吸収性が良好な材料の具体
例は、照射するレーザ光の波長により大きく異なるもの
であるが、例えば、グラビア印刷用黒色インキ、近赤外
線吸収材、色料を混ぜたゼラチン、ガゼイン、グリュ
ー、セルロース等の天然樹脂、色料を混ぜたアクリル系
樹脂、フェノール系樹脂、ポリウレタン系樹脂等の合成
樹脂等を挙げることができる。このような材料は、レー
ザ光吸収部の形成方法によって例えば溶媒に溶解もしく
は分散された塗工液等の種々の形態とされ、レーザ光吸
収部の形成方法にしたがって用いられる。Specific examples of the material having good absorption of the laser light vary greatly depending on the wavelength of the laser light to be irradiated. For example, a material obtained by mixing a black ink for gravure printing, a near-infrared absorbing material, and a colorant is used. Examples include natural resins such as gelatin, casein, glue, and cellulose; and synthetic resins such as acrylic resins mixed with colorants, phenolic resins, and polyurethane resins. Such a material is formed into various forms, for example, a coating liquid dissolved or dispersed in a solvent, depending on the method of forming the laser light absorbing portion, and is used according to the method of forming the laser light absorbing portion.

【００３２】また、本発明の方法おいては、レーザ光の
吸収性が良好であるのに加え、熱伝導性もが良好である
材料を用いてレーザ光吸収部を形成することが好まし
い。Further, in the method of the present invention, it is preferable to form the laser light absorbing portion using a material having good heat conductivity in addition to good laser light absorption.

【００３３】このレーザ光の吸収性が良好であって、熱
伝導性も良好である材料の具体例としては、金属ペース
トを挙げることができ、この金属ペーストの中でも金ペ
ーストまたは銀ペーストが好適である。この他にも、任
意の金属ペーストにレーザ光の吸収率を高めるため色料
を混ぜたものや、レーザ光の高い色料にアルミナ等の熱
伝導率が高い金属粉を混ぜたものも使用可能である。Specific examples of the material having good laser light absorption and good thermal conductivity include a metal paste. Among these metal pastes, a gold paste or a silver paste is preferable. is there. In addition, any metal paste mixed with a colorant to increase the absorption rate of laser light, or a mixture of a high laser light colorant and a metal powder with high thermal conductivity such as alumina can be used. It is.

【００３４】本発明において好ましい熱伝導性の範囲
は、その熱伝導率で１０〜４５０Ｗ／ｍ・Ｋが好まし
く、２０〜１００Ｗ／ｍ・Ｋが最も好ましい。熱伝導率
が１０Ｗ／ｍ・Ｋより小さいと、吸収したレーザ光をカ
ラーフィルタ層に熱として効率よく伝えること困難とな
る場合が考えられ、一方、熱伝導率が４５０Ｗ／ｍ・Ｋ
より大きい場合には特に問題となることはないが、本発
明の方法におけるレーザ吸収部に用いられる材質におい
ては熱伝導率が４５０Ｗ／ｍ・Ｋを越えることはないか
らである。In the present invention, a preferable range of the thermal conductivity is 10 to 450 W / m · K, and most preferably 20 to 100 W / m · K in terms of the thermal conductivity. If the thermal conductivity is less than 10 W / m · K, it may be difficult to efficiently transmit the absorbed laser light to the color filter layer as heat, while the thermal conductivity may be 450 W / m · K.
If it is larger, there is no particular problem, but the thermal conductivity does not exceed 450 W / m · K in the material used for the laser absorbing part in the method of the present invention.

【００３５】なお、本発明における上記の熱伝導率は、
２３℃で測定した値である。The above thermal conductivity in the present invention is:
This is a value measured at 23 ° C.

【００３６】このレーザ光吸収部の形成方法は、塗布、
熱転写、昇華転写等の異物が存在する部位に相当するカ
ラーフィルタの表面の部位にレーザ光吸収部を形成でき
る方法であれば特にその方法は限定されるものではな
い。しかしながら、中でも塗布による方法が最も好まし
い。これは、通常カラーフィルタの製造装置には、着色
層等を修正する修正装置が設けられており、この修正装
置は一般的にインク塗布機能を有する。したがって、塗
布によりレーザ光吸収部を形成する場合は、既存の設備
をそのまま適用することが可能であり、コスト面で有利
であるからである。The method of forming the laser light absorbing portion includes coating,
The method is not particularly limited as long as it is a method capable of forming a laser light absorbing portion on a portion of the surface of the color filter corresponding to a portion where a foreign substance such as thermal transfer or sublimation transfer exists. However, among them, the method by coating is most preferable. In general, a color filter manufacturing apparatus is provided with a correction device for correcting a coloring layer or the like, and the correction device generally has an ink application function. Therefore, when the laser light absorbing portion is formed by coating, existing equipment can be applied as it is, which is advantageous in terms of cost.

【００３７】上記塗布方法としては、特に限定されるも
のではなく、マイクロシリンジ、ディスペンサー、イン
クジェット、針先よりレーザ光吸収部形成用塗料を電界
などの外部刺激により飛ばす方法等のノズル吐出方法、
ロールコータによる方法等を挙げることができる。The above-mentioned coating method is not particularly limited, and a nozzle discharging method such as a micro syringe, a dispenser, an ink jet, or a method in which a coating material for forming a laser beam absorbing portion is spattered from a needle tip by an external stimulus such as an electric field,
A method using a roll coater can be used.

【００３８】さらに、本発明の方法においては、金属ま
たは金属膜酸化物からなる膜を形成し、これをレーザ光
吸収部としてもよい。金属または金属酸化物からなる膜
をレーザ光吸収部とすることにより、上述したレーザ光
の吸収性が良好な材料で形成されたレーザ光吸収部や、
さらに熱伝導性も良好な材質で形成されたレーザ光吸収
部と同様の効果、つまり異物を含むカラーフィルタ層の
除去が容易となるからである。Further, in the method of the present invention, a film made of a metal or a metal film oxide may be formed and used as a laser beam absorbing portion. By using a film made of a metal or a metal oxide as the laser light absorbing portion, the laser light absorbing portion formed of a material having good laser light absorbency,
Further, the effect is the same as that of the laser light absorbing portion formed of a material having good thermal conductivity, that is, it is easy to remove the color filter layer containing foreign matter.

【００３９】ここで、レーザ光吸収部を金属または金属
酸化物からなる膜で形成することにより異物を含むカラ
ーフィルタ層が除去しやすくなる理由については未だ明
確ではないが、以下のように推測することができる。Here, it is not yet clear why the color filter layer containing foreign matter is easily removed by forming the laser light absorbing portion with a film made of a metal or a metal oxide, but it is presumed as follows. be able to.

【００４０】第１の理由としては、膜としてレーザ光吸
収部を形成することにより、当該レーザ光吸収部とカラ
ーフィルタ層との密着性が向上するため、当該膜部分を
除去することで、異物を含むカラーフィルタ層も一緒に
除去することができ、これにより除去が容易となってい
ると考えられる。The first reason is that, by forming the laser light absorbing portion as a film, the adhesion between the laser light absorbing portion and the color filter layer is improved. It can be considered that the color filter layer containing the same can be removed together, thereby facilitating the removal.

【００４１】第２の理由としては、金属または金属酸化
物からなる膜を形成することにより、レーザ光の吸収性
及び熱伝導性が向上し、これにより照射したレーザ光を
他の部分（異物を含まないカラーフィルタ層）よりも多
く吸収することができ、かつ吸収したレーザ光を無駄な
く異物を含むカラーフィルタ層に伝えることができるた
め除去が容易になっていると考えられる。The second reason is that, by forming a film made of a metal or a metal oxide, the absorption of laser light and the thermal conductivity are improved, so that the irradiated laser light can be applied to other parts (foreign substances). It is considered that the laser beam can be absorbed more easily than the color filter layer containing no foreign matter, and the absorbed laser beam can be transmitted to the color filter layer containing foreign matter without waste, thereby facilitating the removal.

【００４２】本発明においては、金属または金属酸化物
からなる膜の形成方法については特に限定するものでは
なく、従来から公知のいかなる成膜法をも用いることが
できる。中でも、本発明の方法においては、金属または
金属酸化物からなる膜を蒸着させることによりレーザ光
吸収部を形成するのが好ましい。蒸着によりレーザ光吸
収部を形成することで、検出された異物の位置に相当す
るカラーフィルタ層、つまり除去すべきカラーフィルタ
層とレーザ光吸収部との密着性を向上することができ、
またレーザ光により生じる熱は除去すべきカラーフィル
タへ無駄なく伝わり当該部分を効率よく除去することが
できるからである。In the present invention, the method for forming a film made of a metal or a metal oxide is not particularly limited, and any conventionally known film forming method can be used. In particular, in the method of the present invention, it is preferable to form the laser light absorbing portion by depositing a film made of a metal or a metal oxide. By forming the laser light absorbing portion by vapor deposition, it is possible to improve the adhesion between the color filter layer corresponding to the position of the detected foreign matter, that is, the color filter layer to be removed and the laser light absorbing portion,
Further, heat generated by the laser light is transmitted to the color filter to be removed without waste, and the portion can be efficiently removed.

【００４３】ここで、本発明においては、金属または金
属酸化物からなる膜を蒸着する方法は、特に限定される
ものではなく、従来公知のいかなる方法をも用いること
ができる。具体的には、物理蒸着法、化学蒸着法のどち
らをも用いることができ、物理蒸着法としては、真空蒸
着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法等を挙げること
ができ、化学蒸着法としては、熱ＣＶＤ法、ＭＯＣＶＤ
法、ＲＦプラズマＣＶＤ法、ＥＣＲプラズマＣＶＤ法、
レーザＣＶＤ法等を用いることができる。上記の中でも
レーザＣＶＤ法は、局所的に蒸着を行うことができるた
め本発明の方法には好適に用いることができる。Here, in the present invention, the method of depositing a film made of metal or metal oxide is not particularly limited, and any conventionally known method can be used. Specifically, either a physical vapor deposition method or a chemical vapor deposition method can be used. Examples of the physical vapor deposition method include a vacuum vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, and a reactive vapor deposition method. As thermal CVD, MOCVD
Method, RF plasma CVD method, ECR plasma CVD method,
Laser CVD or the like can be used. Among them, the laser CVD method can be suitably used for the method of the present invention because the deposition can be performed locally.

【００４４】上記蒸着法により金属または金属酸化物か
らなる膜を蒸着により形成する際の原料としては、金、
銀、クロム、インジウム、ＩＴＯ（インジウム＋スズの
酸化物）、アルミニウム等を挙げることができる。Raw materials for forming a metal or metal oxide film by vapor deposition by the above vapor deposition method include gold and gold.
Silver, chromium, indium, ITO (indium + tin oxide), aluminum, and the like can be given.

【００４５】本発明の方法において、レーザ光吸収部の
大きさは、異物の大きさ、レーザ光照射の際の位置精度
等により異なるものではあるが、通常半径１μｍ〜５０
μｍの範囲内、好ましくは２５μｍ〜３５μｍの範囲内
で形成される。上記範囲よりレーザ光吸収部が小さい場
合は、異物の大きさによっては異物の除去ができない可
能性がある点、およびレーザ光照射の際の位置精度との
関係でその部位に照射ができない可能性がある点等の理
由から好ましくない。一方、上記範囲より大きい場合
は、異物除去孔が大きくなりすぎてその後の修復に問題
が生じる可能性がある点、レーザ光吸収部がカラーフィ
ルタ層表面に残存する可能性が生じる点等の理由から好
ましくない。In the method of the present invention, the size of the laser light absorbing portion varies depending on the size of the foreign matter, the positional accuracy when irradiating the laser light, and the like.
It is formed in the range of μm, preferably in the range of 25 μm to 35 μm. If the laser light absorbing part is smaller than the above range, it may not be possible to remove the foreign matter depending on the size of the foreign matter, and it may not be possible to irradiate that part due to the positional accuracy when irradiating the laser light This is not preferable because there are certain points. On the other hand, if it is larger than the above range, the reason is that the foreign matter removal hole becomes too large, which may cause a problem in subsequent restoration, and that the laser light absorbing portion may remain on the color filter layer surface. Is not preferred.

【００４６】また、このレーザ光吸収部の膜厚は、レー
ザ光を十分に吸収することができる膜厚であれば特に限
定されるものではないが、金属または金属酸化物により
形成される膜でレーザ光吸収部を形成する場合を除いて
は、通常０．１μｍ〜１０μｍの範囲内、好ましくは１
μｍ〜５μｍの範囲内とされる。上記範囲より膜厚が薄
い場合は、レーザ光の吸収が不充分となり、異物の除去
が困難となる可能性がある点で好ましくなく、上記範囲
より膜厚が厚い場合は、不必要にレーザ光の吸収性の良
好な材料を使用することになり、コスト面で問題となる
可能性があるからである。The thickness of the laser light absorbing portion is not particularly limited as long as it can sufficiently absorb the laser light, but it is a film formed of metal or metal oxide. Except for the case where the laser light absorbing portion is formed, it is usually in the range of 0.1 μm to 10 μm, preferably 1 μm to 10 μm.
The range is from μm to 5 μm. When the film thickness is smaller than the above range, it is not preferable because the absorption of the laser beam becomes insufficient, and there is a possibility that the removal of the foreign matter becomes difficult. This is because a material having good absorptivity is used, which may cause a problem in cost.

【００４７】一方、金属または金属酸化物により形成さ
れる膜でレーザ光吸収部を形成する場合においては、こ
の膜厚は０．０１〜１μｍの範囲内、好ましくは０．１
μｍ〜０．２μｍの範囲内とされる。なお、レーザ光吸
収部の形状は、特に限定されるものではないが、円形と
することが好ましい。On the other hand, when the laser light absorbing portion is formed of a film formed of a metal or a metal oxide, the thickness is in the range of 0.01 to 1 μm, preferably 0.1 to 1 μm.
The range is from μm to 0.2 μm. The shape of the laser light absorbing portion is not particularly limited, but is preferably circular.

【００４８】このように、レーザ光吸収部を形成した後
に、この形成されたレーザ光吸収部にレーザを照射して
上記異物をその近傍にあるカラーフィルタ層構成物と共
に除去する工程が行われる。After the laser light absorbing portion is formed as described above, a step of irradiating the formed laser light absorbing portion with a laser to remove the foreign matter together with the color filter layer components in the vicinity is performed.

【００４９】本発明において用いられるレーザ光は、形
成したレーザ光吸収部に吸収され、カラーフィルタ層構
成物と共に異物を除去することができるレーザ光であれ
ば特に限定されるものではない。しかしながら、本発明
においては、レーザ光の波長が１μｍを越える波長を有
するレーザ光であることが好ましい。これは、一般に着
色層等のカラーフィルタ層においては、長波長側、特に
１μｍ以上の波長のレーザ光の吸収が低い。したがっ
て、誤ってレーザ光を照射した場合、もしくはレーザ光
の照***度が悪く、レーザ光吸収部以外の部位にレーザ
を照射した場合でも、カラーフィルタ層を損傷する度合
いが低く、その後の補修が不要、もしくは簡単となるか
らである。また、１μｍを越える波長を有するレーザ光
の方が高出力が得やすいといった利点があり、さらには
紫外領域等の短波長側のレーザ装置等は高価である等の
デメリットがあるからである。The laser light used in the present invention is not particularly limited as long as it is absorbed by the formed laser light absorbing portion and can remove foreign substances together with the color filter layer constituents. However, in the present invention, it is preferable that the laser light has a wavelength exceeding 1 μm. This is because a color filter layer such as a colored layer generally has low absorption of laser light having a longer wavelength, particularly a wavelength of 1 μm or more. Therefore, even if the laser light is erroneously irradiated or the irradiation accuracy of the laser light is poor, and the laser is irradiated to a portion other than the laser light absorbing portion, the degree of damage to the color filter layer is low, and subsequent repair is unnecessary. Or it will be easier. Further, a laser beam having a wavelength exceeding 1 μm has an advantage that a higher output can be easily obtained, and further, a laser device or the like on a shorter wavelength side such as an ultraviolet region has disadvantages such as being expensive.

【００５０】このような波長が１μｍを越えるレーザ光
としては、例えば赤外線ＹＡＧレーザ、ダイオードレー
ザ、半導体レーザ、Ｈｅ−Ｎｅレーザ、炭酸ガスレーザ
等を挙げることができる。Examples of such a laser beam having a wavelength exceeding 1 μm include an infrared YAG laser, a diode laser, a semiconductor laser, a He—Ne laser, a carbon dioxide gas laser and the like.

【００５１】本発明におけるレーザ光の照射は、レーザ
光吸収部が残存するとカラーフィルタにおける光の透過
性に影響を及ぼす可能性が高いことから、一般には上記
レーザ光吸収部全体を除去するように照射されるが、本
発明はこれに限定されるものではない。In the laser light irradiation according to the present invention, if the laser light absorbing portion remains, it is highly likely that the laser light absorption will affect the light transmittance of the color filter. Irradiation, but the invention is not so limited.

【００５２】このようにして、レーザ光より異物が除去
されたカラーフィルタは、必要に応じて、異物が除去さ
れた異物除去孔を、既存の修正装置等を用いて修正して
もよい。この修正方法は、従来より行われている方法を
用いることが可能である。また、上述したように、レー
ザ光吸収部の形成が、塗布による形成である場合は、こ
のレーザ光吸収部の塗布を行う装置と、この修正を行う
装置とを共用するようにしてもよい。As described above, in the color filter from which the foreign matter has been removed by the laser beam, the foreign matter removing hole from which the foreign matter has been removed may be corrected by using an existing correction device or the like, if necessary. As this correction method, a conventionally used method can be used. Further, as described above, when the formation of the laser light absorbing portion is performed by coating, the device for performing the coating of the laser light absorbing portion and the device for performing the correction may be shared.

【００５３】このようにして異物が除去されて得られた
カラーフィルタは、製造に際して廃棄処理されるものが
少ないことから収率が高く、かつ異物が検査され除去さ
れているので高品質なものである。The color filter obtained by removing the foreign matter in this manner has a high yield because there are few wastes to be discarded at the time of manufacture, and has a high quality because the foreign matter is inspected and removed. is there.

【００５４】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。The present invention is not limited to the above embodiment. The above embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and has the same effect. Within the technical scope of

【００５５】[0055]

【実施例】以下に実施例を示し、本発明をさらに説明す
る。The present invention will be further described with reference to the following examples.

【００５６】（実施例１）図１に示すように、ガラス基
板１上にフォトリソグラフィー法を用いてアクリル系の
着色層２を形成してなるカラーフィルタを製造した。次
いで、このカラーフィルタ表面上に内包された異物３
を、ハロゲンランプを光源とし、その反射光により欠陥
として検出した。検出された異物３の直径は７０μｍで
あった。Example 1 As shown in FIG. 1, a color filter was produced by forming an acrylic colored layer 2 on a glass substrate 1 by photolithography. Next, the foreign matter 3 contained on the surface of the color filter
Was detected as a defect by a reflected light from a halogen lamp as a light source. The diameter of the foreign substance 3 detected was 70 μm.

【００５７】図２に示すように、この異物３上の着色層
２表面に、グラビア印刷用黒色インキ４を直径５０μｍ
のニードルを用いて塗布し、レーザ光吸収部とした。塗
布した部分は直径７０μｍ程度に広がり、黒色インキの
膜厚は４μｍとなった。As shown in FIG. 2, a black ink 4 for gravure printing was applied to the surface of the coloring layer 2 on the foreign substance 3 with a diameter of 50 μm.
Was applied using a needle of No. 1 to form a laser beam absorbing portion. The applied portion spread to about 70 μm in diameter, and the thickness of the black ink became 4 μm.

【００５８】黒色インキ３が硬化した後、ＹＡＧ基本波
レーザ（波長：１０６４ｎｍ、出力：４０ｍＪ）をスポ
ット径１００μｍに集光し、パルス幅１０ｎｓにて３パ
ルス照射したところ、図３に示すように異物が着色層２
の着色レジストと共に除去されていることが確認され
た。After the black ink 3 was cured, a YAG fundamental wave laser (wavelength: 1064 nm, output: 40 mJ) was condensed to a spot diameter of 100 μm and irradiated with 3 pulses at a pulse width of 10 ns, as shown in FIG. Foreign matter is colored layer 2
It was confirmed that the resist was removed together with the colored resist.

【００５９】（実施例２）上記実施例１における黒色イ
ンキを金ペーストに変え、その他の条件は全て実施例１
と同様にして異物を除去したところ、異物は着色層の着
色レジストと共に除去されていることが確認された。(Example 2) The black ink in Example 1 was changed to gold paste, and all other conditions were the same as in Example 1.
As a result, it was confirmed that the foreign matter was removed together with the colored resist of the colored layer.

【００６０】（実施例３）上記実施例１における黒色イ
ンキに変えて金属膜をレーザ光吸収部とし、その他の条
件は全て実施例１と同様にして異物を除去したところ、
異物は着色層の着色レジストと共に除去されていること
が確認された。(Example 3) When a metal film was used as a laser beam absorbing portion in place of the black ink in Example 1 above, and all other conditions were the same as in Example 1 to remove foreign matter,
It was confirmed that the foreign matter was removed together with the colored resist of the colored layer.

【００６１】なお金属膜の形成方法としては、表面にク
ロムを蒸着させたガラス基板を用いたレーザＣＶＤ法に
より異物が検出された着色層上にクロム膜を形成した。As a method of forming a metal film, a chromium film was formed on a colored layer in which foreign matter was detected by a laser CVD method using a glass substrate having chromium deposited on the surface.

【００６２】[0062]

【発明の効果】本発明によれば、異物をレーザ光により
除去する前に、レーザ光を照射する部位に予めレーザ光
の吸収が良好な材料で形成したレーザ光吸収部を形成す
ることにより、レーザ光を照射する部位の材質に関係な
く一律の強度でレーザ光を照射することができる。した
がって、異物の除去に際してレーザ光の強度の調整等の
手間がなく、効率的に異物の除去を行うことができる。
さらに、本発明においては、レーザ光吸収部で所定の深
さの異物除去孔が形成されるようにレーザ光の強度を調
節してあるので、例えレーザ光の照***度が悪く、異物
の無いところにレーザを照射した場合でも、レーザ光吸
収部が形成されていない部位であれば、大きな孔が形成
されることがなく、その後の修復が不要もしくは容易で
あるという利点を有する。According to the present invention, before a foreign substance is removed by a laser beam, a laser beam absorbing portion made of a material having good laser beam absorption is formed in a portion to be irradiated with the laser beam in advance. Irradiation with laser light can be performed at a uniform intensity irrespective of the material of the portion to be irradiated with laser light. Therefore, there is no need to adjust the intensity of the laser beam when removing the foreign matter, and the foreign matter can be efficiently removed.
Further, in the present invention, the intensity of the laser light is adjusted so that a foreign matter removing hole having a predetermined depth is formed in the laser light absorbing part. Even when the laser beam is applied to a portion where the laser light absorbing portion is not formed, there is an advantage that a large hole is not formed and subsequent repair is unnecessary or easy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】実施例において、異物が混入された状態のカラ
ーフィルタを示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a color filter in a state in which foreign matter is mixed in an embodiment.

【図２】実施例において、異物が存在する部位の着色層
表面上にレーザ吸収部を形成した状態を示す概略断面図
である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a laser absorbing portion is formed on the surface of a coloring layer at a portion where a foreign substance exists in the example.

【図３】実施例において、異物が除去された状態を示す
概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a state in which foreign matter has been removed in the example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ … ガラス基板 ２ … 着色層 ３ … 異物 ４ … 黒色インキ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Glass substrate 2 ... Colored layer 3 ... Foreign matter 4 ... Black ink

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中西 祐幾 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 日下部 充 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 2H048 BA11 BA57 BB07 BB42 2H091 FA02Y LA07  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yuki Nakanishi 1-1-1, Ichigaya-Kagacho, Shinjuku-ku, Tokyo Inside Dai Nippon Printing Co., Ltd. No. 1-1 Dai Nippon Printing Co., Ltd. F-term (reference) 2H048 BA11 BA57 BB07 BB42 2H091 FA02Y LA07

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 透明基板上に少なくとも着色層を含むカ
ラーフィルタ層を有するカラーフィルタの異物除去方法
であって、前記カラーフィルタ層中もしくはその表面に
存在する異物を検出する工程と、前記検出された異物の
位置に相当するカラーフィルタ層表面上にレーザ光の吸
収性がカラーフィルタ層よりも良好な材料で形成したレ
ーザ光吸収部を設ける工程と、前記レーザ光吸収部にレ
ーザ光を照射して前記異物の近傍にあるカラーフィルタ
層構成物と共に前記異物を除去する工程とを少なくとも
有することを特徴とするカラーフィルタ異物除去方法。1. A method for removing foreign matter from a color filter having a color filter layer including at least a colored layer on a transparent substrate, the method comprising: detecting foreign matter present in or on the surface of the color filter layer; Providing a laser light absorbing portion formed of a material whose laser light absorbing property is better than that of the color filter layer on the surface of the color filter layer corresponding to the position of the foreign matter, and irradiating the laser light absorbing portion with laser light. Removing the foreign matter together with the color filter layer constituents in the vicinity of the foreign matter. 【請求項２】 前記レーザ光吸収部は、その熱伝導性が
カラーフィルタ層よりも良好な材料で形成されることを
特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ異物除去方
法。2. The color filter foreign matter removing method according to claim 1, wherein the laser light absorbing portion is formed of a material having a better thermal conductivity than a color filter layer. 【請求項３】 透明基板上に少なくとも着色層を含むカ
ラーフィルタ層を有するカラーフィルタの異物除去方法
であって、前記カラーフィルタ層中もしくはその表面に
存在する異物を検出する工程と、前記検出された異物の
位置に相当するカラーフィルタ層表面上に金属又は金属
酸化物からなる膜で形成したレーザ光吸収部を設ける工
程と、前記レーザ光吸収部にレーザ光を照射して前記異
物の近傍にあるカラーフィルタ層構成物と共に前記異物
を除去する工程とを少なくとも有することを特徴とする
カラーフィルタ異物除去方法。3. A method for removing foreign matter from a color filter having a color filter layer including at least a colored layer on a transparent substrate, the method comprising: detecting foreign matter present in or on the surface of the color filter layer; Providing a laser light absorbing portion formed of a film made of metal or metal oxide on the surface of the color filter layer corresponding to the position of the foreign matter, and irradiating the laser light absorbing portion with laser light to the vicinity of the foreign matter. Removing the foreign matter together with a certain color filter layer constituent. 【請求項４】 前記異物が、着色層中もしくはその表
面、またはブラックマトリックス中もしくはその表面に
存在する異物であることを特徴とする請求項１から請求
項３までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタ異
物除去方法。4. The method according to claim 1, wherein the foreign matter is a foreign matter present in or on the colored layer, or in or on the black matrix. Color filter foreign matter removal method. 【請求項５】 前記レーザ光の波長が、１μｍを越える
波長であることを特徴とする請求項１から請求項４のま
でのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタ異物除去
方法。5. The color filter foreign matter removing method according to claim 1, wherein the wavelength of the laser light is a wavelength exceeding 1 μm. 【請求項６】 前記レーザ光吸収部が、異物の位置を中
心として、半径１μｍ〜５０μｍの領域の範囲内で形成
されることを特徴とする請求項１から請求項５までのい
ずれかの請求項に記載のカラーフィルタ異物除去方法。6. The laser light absorbing portion according to claim 1, wherein the laser light absorbing portion is formed within a range of a radius of 1 μm to 50 μm around the position of the foreign matter. 3. The method for removing foreign matter from a color filter according to the above item. 【請求項７】 請求項１から請求項６までのいずれかの
請求項に記載されたカラーフィルタ異物除去方法により
異物が除去されて形成されたことを特徴とするカラーフ
ィルタ。7. A color filter formed by removing foreign matter by the color filter foreign matter removing method according to any one of claims 1 to 6.