JP2002082085A - ガスセンサ - Google Patents

ガスセンサ

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JP2002082085A
JP2002082085A JP2001049086A JP2001049086A JP2002082085A JP 2002082085 A JP2002082085 A JP 2002082085A JP 2001049086 A JP2001049086 A JP 2001049086A JP 2001049086 A JP2001049086 A JP 2001049086A JP 2002082085 A JP2002082085 A JP 2002082085A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガスセンサ中の大気側雰囲気−被測定ガス側
雰囲気が十分に分離されると共に,腐食による気密喪失
が生じ難く,製造容易でコストが安価なガスセンサを提
供すること。 【解決手段】 ハウジング10の内側面には,上記絶縁
碍子21の外周面に設けたテーパー部211を金属パッ
キン11を介して支承するよう構成された受け面103
が設けてあると共に,金属パッキン11による支承によ
り,ガスセンサ基端側の大気側雰囲気142とガスセン
サ先端側の被測定ガス側雰囲気141とが気密的に分離
されるよう構成されている。そして上記金属パッキン
は,ニッケル,ニッケル合金,チタン,ステンレス鋼の
いずれか一種以上よりなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は,内燃機関の排気系に設置して燃
焼制御等に利用されるガスセンサに関する。
【0002】
【従来技術】センサ素子を絶縁碍子に挿通した後,該絶
縁碍子をハウジングに挿入固定し,ハウジングの先端側
に被測定ガス側カバーを,基端側に大気側カバーを設
け,絶縁碍子とハウジングとの間が気密封止された構成
を持つガスセンサが知られている。この気密封止によ
り,ガスセンサ内部を大気側雰囲気と被測定ガス側雰囲
気とに分離することができる。
【0003】ところでセンサ素子は被測定ガスに接する
被測定ガス側電極と基準ガスとなる大気と接する基準電
極とを有し,両者間に生じるイオン電流や電位差を基に
被測定ガス中のガス濃度を測定するよう構成されてい
る。そのため,大気側雰囲気と被測定ガス側雰囲気との
分離が不充分であると,正確なガス濃度の測定が難しく
なる。そのため,従来はセンサ素子とハウジングとの間
にタルク等の粉体材料を密度高く充填することで両雰囲
気の気密的な分離を実現していた。
【0004】
【解決しようとする課題】しかしながら,タルク等の粉
体材料の充填による気密性確保は,粉体の充填圧力,充
填量等の管理すべき内容が多く,コスト的にも不利であ
る。そこでバルク体の材料で構成されたパッキンを配置
し,該パッキンによって,気密性を確保することが考え
られている。例えば,特表平8−511098号の従来
技術には,低温度で焼結させたセラミックリングを挿入
して,センサ素子とハウジングとの間を気密封止するこ
とが述べられている。しかしながら,組付け時に高圧力
を加えても上記セラミックリング内の残留多孔性が維持
されるため,大気側と被測定ガス側との気密的な分離が
不充分となるおそれがある。
【0005】同じく,特表平8−511098号の従来
技術には,多孔性を下げた金属シールリング(パッキ
ン)をセラミックリング(グラファイトも含む)と併用
して気密封止を実現する方法についても記載されてい
る。しかし,この場合は,パッキンを2種類用いる方法
であるため,製造工数の増大や製造コストの増大が生じ
るため,あまり好ましくない。
【0006】また,金属シールリングの場合,ガスセン
サを設置する雰囲気によっては被測定ガスによって腐食
が生じ,時間経過と共に大気側と被測定ガス側の気密分
離が低下するおそれもある。
【0007】また,特表平8−511098号の従来技
術には,金属パッキンの表面にニッケルまたは銅よりな
る塗着された延性積層部を備えたメタルシール構造が示
されているが,これは金属パッキン表面全体にメッキや
クラッドを施す必要がありコスト高である。
【0008】本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので,ガスセンサ中の大気側雰囲気−被測定ガ
ス側雰囲気が十分に分離されると共に,腐食による気密
喪失が生じ難く,製造容易でコストが安価なガスセンサ
を提供しようとするものである。
【0009】
【課題の解決手段】請求項1に記載の発明は,筒状の絶
縁碍子と該絶縁碍子内に封止固定されたセンサ素子と,
上記絶縁碍子が挿入配置された筒状のハウジングとより
なり,上記ハウジングの基端側には内部に大気側雰囲気
が形成された大気側カバーが設けてあり,上記ハウジン
グの内側面には,上記絶縁碍子の外周面に設けたテーパ
ー部を金属パッキンのみを介して支承するよう構成され
た受け面が設けてあると共に,上記金属パッキンによる
支承により,ガスセンサ基端側の大気側雰囲気とガスセ
ンサ先端側の被測定ガス側雰囲気とが気密的に分離され
るよう構成されているガスセンサにおいて,上記金属パ
ッキンは,ニッケル,ニッケル合金,チタン,ステンレ
ス鋼のいずれか一種以上よりなることを特徴とするガス
センサにある。
【0010】本発明において最も注目すべきことは,ニ
ッケル,ニッケル合金,チタン,ステンレス鋼のいずれ
か一種以上よりなる金属パッキンを用いて,センサ素子
を封止固定した絶縁碍子とハウジングとの間の気密性を
確保することである。
【0011】本発明にて使用する材料について説明す
る。上記ニッケルとはいわゆる純ニッケルのことで,ニ
ッケルが99%程度含まれ,他に微量のコバルト等が不
純物として含まれる材料である。また,ニッケル合金と
しては,ニッケル−鉄,ニッケル−銅,ニッケル−クロ
ム,ニッケル−クロム−鉄,ニッケル−モリブデン,ニ
ッケル基超耐熱合金等の各種材料を使用することができ
る。ただし,本発明の目的から,ガスセンサの使用環境
に対応した耐腐食性に優れた材料を使用することでより
大きな効果を得ることができる。
【0012】また,上記チタンとはいわゆる純チタンの
ことで,不純物量が1%以下の材料を示している。具体
的には,日本では純Ti材料としてJIS1種〜3種
が,アメリカではASTMG1〜G4が規定されている
が,例えばこれらを使用することができる。
【0013】また,ステンレス鋼としては,通常知られ
たマルテンサイト系,フェライト系,オーステナイト
系,オーステナイト‐フェライト2相系等,各種組成の
材料を使用できる。ただし,本発明の目的から,ガスセ
ンサの使用環境に応じた耐腐食性に優れた材料を使用す
ることでより大きな効果を得ることができる。
【0014】なお,特に後述する実施形態例に示すごと
き,自動車エンジン排気系に設置して,排ガス中のガス
濃度測定等に利用する場合には,高温で硫黄存在下とい
う腐食作用に耐えることができるニッケルまたはニッケ
ル合金を使用することが好ましい。
【0015】次に,本発明の作用につき説明する。本発
明は金属パッキンを絶縁碍子とハウジングとの間に配置
することで気密性が確保できるため,製造工程において
特に管理すべき項目も少なく,造り易い構成である。ま
た,金属パッキンは表面が緻密であるため,これを通じ
て気体が行き来することも殆どなく,充分高い気密性を
確保することができる。更に,上述したような材料は耐
腐食性に優れており,腐食作用の強いガス中で使用した
際も劣化し難く,長期間に渡って気密性を確保すること
ができる。更に,貴金属などと比較して安価であるた
め,材料コストを安価とすることができる。
【0016】以上,本発明によれば,ガスセンサ中の大
気側雰囲気−被測定ガス側雰囲気が十分に分離されると
共に,腐食による気密洩れが生じ難く,製造容易でコス
トが安価なガスセンサを提供することができる。
【0017】本発明は,後述する図1に示すごとく,積
層板状のセンサ素子を組付けたものの他,有底円筒状の
コップ型固体電解質体よりなるセンサ素子を組付けたも
のに対し適用できる。また,本発明にかかる構成は車両
用内燃機関搭載用の酸素センサ,空燃比センサの他,特
に積層型の場合はNOxセンサ,COセンサ等に適用す
ることができる。
【0018】次に,請求項2に記載の発明のように,上
記金属パッキンはビッカース硬さ(Hv)が200以下
であることが好ましい。これにより,金属パッキンと絶
縁碍子,ハウジングとの間に高い密着性が得られ,より
一層確実な気密性の確保ができる。ビッカース硬さが2
00より大である場合は,金属パッキンと絶縁碍子,ハ
ウジングとを気密洩れが生じないよう押圧して密着させ
るにあたり,大きな押圧力が必要となってしまう。この
場合,押圧力により絶縁碍子等の損傷が生じるおそれが
ある。また,押圧力に耐えうるよう絶縁碍子等の材料を
変更した際には材料コストが増大するおそれもある。な
お,ビッカース硬度は150以下であることがさらに好
ましい。
【0019】次に,請求項3に記載の発明のように,上
記金属パッキンは厚み0.1mm以上であることが好ま
しい。これにより,絶縁碍子とハウジングの表面の凹凸
を効果的に吸収することができ,気密性が保持できる。
また,過酷な腐食環境下では金属パッキンの厚みにより
寿命が決まる。金属パッキンの厚みが0.1mm未満の
場合には気密を保持できる期間が短くなる。厚みが0.
1mm未満の金属パッキンは加工が困難であり,金属パ
ッキンの製造コストが増大するおそれがある。
【0020】次に,請求項4に記載の発明のように,上
記金属パッキンは多層構造を有し,より柔らかい材料よ
りなる層が絶縁碍子の側となるよう配置されていること
が好ましい(図3参照)。金属パッキンとハウジングと
の密着性,金属パッキンと絶縁碍子との密着性について
考察すると,通常ハウジングに使用する材料としては切
削加工可能な金属材料を用いているため,この材料は硬
度があまり高くなく,金属パッキンとの間はハウジング
側が変形することで両者は強く密着することができ,気
密性は充分に保たれている。そのため,より密着し難い
絶縁碍子側をより柔らかい材料で構成することで,確実
に絶縁碍子との間を密着させて,より高い気密性を実現
することができる。
【0021】なお,金属パッキンにおいてより硬い材料
としては,純チタン,純ニッケル等を使用することがで
き,より柔らかい材料としてはステンレス鋼等が挙げら
れる。
【0022】次に,請求項5に記載の発明のように,上
記のより柔かい材料はビッカース硬さ(Hv)が200
以下であることが好ましい。この場合には,金属パッキ
ンと絶縁碍子の間の密着性が一層向上し,気密性が一層
確実となる。ビッカース硬さ(Hv)を200以下とす
る理由は,前記したとおりである。
【0023】次に,請求項6に記載の発明のように,筒
状の絶縁碍子と該絶縁碍子内に封止固定されたセンサ素
子と,上記絶縁碍子が挿入配置された筒状のハウジング
とよりなり,上記ハウジングの基端側には内部に大気側
雰囲気が形成された大気側カバーが設けてあり,上記ハ
ウジングの内側面には,上記絶縁碍子の外周面に設けた
テーパー部を金属パッキンのみを介して支承するよう構
成された受け面が設けてあると共に,上記金属パッキン
による支承により,ガスセンサ基端側の大気側雰囲気と
ガスセンサ先端側の被測定ガス側雰囲気とが気密的に分
離されるよう構成されているガスセンサにおいて,上記
金属パッキンは上記絶縁碍子側に直接当接しており,ま
た,上記金属パッキンは,ニッケル,ニッケル合金,チ
タン,ステンレス鋼のいずれか一種以上よりなり,かつ
上記金属パッキンのビッカース硬さ(Hv)は200以
下であることを特徴とするガスセンサがある。
【0024】この場合には,上記金属パッキンが上記絶
縁碍子側に直接に当接しており,また金属パッキンは上
記金属を用いると共に上記ビッカース硬さ(Hv)を有
するので,金属パッキンと絶縁碍子との間の密着性が一
層向上し,上記大気側雰囲気と被測定ガス側雰囲気との
間の気密性が一層向上する。また,金属パッキンの材
質,金属パッキンのビッカース硬さ(Hv)については
前記したとおりである。
【0025】次に,請求項7に記載の発明のように,筒
状の絶縁碍子と該絶縁碍子内に封止固定されたセンサ素
子と,上記絶縁碍子が挿入配置された筒状のハウジング
とよりなり,上記ハウジングの基端側には内部に大気側
雰囲気が形成された大気側カバーが設けてあり,上記ハ
ウジングの内側面には,上記絶縁碍子の外周面に設けた
テーパー部を金属パッキンのみを介して支承するよう構
成された受け面が設けてあると共に,上記金属パッキン
による支承により,ガスセンサ基端側の大気側雰囲気と
ガスセンサ先端側の被測定ガス側雰囲気とが気密的に分
離されるよう構成されているガスセンサにおいて,上記
金属パッキンは,ビッカース硬さ(Hv)が200以下
であることを特徴とするガスセンサがある。
【0026】この場合には,ハウジングの内側面と,絶
縁碍子の上記テーパー部との間に金属パッキンを配設す
ると共に,該金属パッキンとしてビッカース硬さ(H
v)が200以下のものを用いているのみで,上記ハウ
ジングと金属パッキンの間,金属パッキンと上記テーパ
ー部との間の密着性が高く,上記大気側雰囲気と被測定
ガス側雰囲気との間の気密性が一層向上する。上記のビ
ッカース硬さ(Hv)などについては,前記のとおりで
ある。
【0027】次に,請求項8に記載の発明のように,筒
状の絶縁碍子と該絶縁碍子内に封止固定されたセンサ素
子と,上記絶縁碍子が挿入配置された筒状のハウジング
とよりなり,上記ハウジングの基端側には内部に大気側
雰囲気が形成された大気側カバーが設けてあり,上記ハ
ウジングの内側面には,上記絶縁碍子の外周面に設けた
テーパー部を金属パッキンのみを介して支承するよう構
成された受け面が設けてあると共に,上記金属パッキン
による支承により,ガスセンサ基端側の大気側雰囲気と
ガスセンサ先端側の被測定ガス側雰囲気とが気密的に分
離されるよう構成されているガスセンサにおいて,上記
金属パッキンは上記絶縁碍子側に直接当接しており,ま
た,上記金属パッキンは,ニッケル,ニッケル合金,チ
タン,ステンレス鋼のいずれか一種以上よりなることを
特徴とするガスセンサがある。
【0028】この場合には,金属パッキンが絶縁碍子側
に直接当接していると共に金属パッキンとして上記金属
のものを用いているので,絶縁碍子と金属パッキンとの
間の密着性が一層向上し,上記大気側雰囲気と被測定ガ
ス側雰囲気との間の気密性が一層向上する。上記金属パ
ッキンの材質等については前記のとおりである。
【0029】次に,請求項9に記載の発明のように,上
記金属パッキンはビッカース硬さ(Hv)が200以下
であることが好ましい。この場合には,金属パッキンが
上記ビッカース硬さ(Hv)を有するので,絶縁碍子と
金属パッキンとの間の密着性が向上し,上記大気側雰囲
気と被測定ガス側雰囲気との間の気密性が一層向上す
る。
【0030】次に,請求項10に記載の発明のように,
筒状の絶縁碍子と該絶縁碍子内に封止固定されたセンサ
素子と,上記絶縁碍子が挿入配置された筒状のハウジン
グとよりなり,上記ハウジングの基端側には内部に大気
側雰囲気が形成された大気側カバーが設けてあり,上記
ハウジングの内側面には,上記絶縁碍子の外周面に設け
たテーパー部を金属パッキンのみを介して支承するよう
構成された受け面が設けてあると共に,上記金属パッキ
ンによる支承により,ガスセンサ基端側の大気側雰囲気
とガスセンサ先端側の被測定ガス側雰囲気とが気密的に
分離されるよう構成されているガスセンサにおいて,上
記金属パッキンは上記絶縁碍子側に直接当接しており,
かつ上記金属パッキンのビッカース硬さ(Hv)は20
0以下であることを特徴とするガスセンサがある。
【0031】この場合には,金属パッキンが絶縁碍子側
に直接当接していると共に金属パッキンは上記ビッカー
ス硬さ(Hv)を有しているので,絶縁碍子と金属パッ
キンとの間の密着性が向上し,上記大気側雰囲気と被測
定ガス側雰囲気との間の気密性が一層向上する。金属パ
ッキンのビッカース硬さ(Hv)などについては,前記
のとおりである。
【0032】
【発明の実施の形態】実施形態例1 本発明にかかる実施形態例について説明する。本例にか
かるガスセンサ1は,図1に示すごとく,筒状の絶縁碍
子21と該絶縁碍子21内に封止固定されたセンサ素子
15と,上記絶縁碍子21が挿入配置された筒状のハウ
ジング10とよりなり,上記ハウジング10の基端側に
は内部に大気側雰囲気142が形成された大気側カバー
12が設けてあり,上記ハウジング10の先端側には内
部に被測定ガス側雰囲気141が形成される被測定ガス
側カバー13が設けてある。
【0033】上記ハウジング10の内側面には,図2に
示すごとく,上記絶縁碍子21の外周面に設けたテーパ
ー部211を金属パッキン11を介して支承するよう構
成された受け面103が設けてあると共に,上記金属パ
ッキン11による支承により,ガスセンサ1の基端側の
大気側雰囲気142とガスセンサ1の先端側の被測定ガ
ス側雰囲気141とが気密的に分離されるよう構成され
ている。そして,上記金属パッキン11は,後述するご
とく純ニッケルよりなる。
【0034】以下,詳細に説明する。本例にかかるガス
センサ1は自動車内燃機関の排気系に取付けて,内燃機
関の空燃比制御に利用されるものである。図1に示すご
とく,ガスセンサ1において,ハウジング10の先端側
には外側カバー131,内側カバー132よりなる二重
構造の被測定ガス側カバー13が設けてある。両カバー
131,132は被測定ガスが導入される被測定ガス導
入穴130が設けてあり,ここから被測定ガスが導入さ
れて,内側カバー132の内部に被測定ガス側雰囲気1
41が形成される。
【0035】また,ハウジング10の基端側には大気側
カバー12が設けてある。大気側カバー12の基端側の
外周面には撥水フィルタ122を介して外側カバー12
1が設けてある。また,大気側カバー12,外側カバー
121は共に撥水フィルタ122と対面する位置に大気
導入穴120が設けてある。また,大気側カバー12は
基端側がより小径に,先端側がより大径に構成され,径
の切り替わり部分に段部129が形成されている。そし
て,ガスセンサ1の大気側カバー12内には上記大気導
入穴120と連通し,大気が導入されて大気側雰囲気1
42が形成される。
【0036】図1,図2に示すごとく,上記ハウジング
10は略筒状で,内側面には径方向内側に向かう二ヶ所
の突出部101,102が設けてある。基端側の突出部
101における受け面103は絶縁碍子21の外側面に
設けられたテーパー部211を支承するよう構成されて
いる。
【0037】上記受け面103においては,環状の金属
パッキン11を介してテーパー部211が支承される。
上記金属パッキン11は純度99%,厚み0.4mmの
純ニッケルよりなり,ビッカース硬さは約70である。
そして,上記金属パッキン11の配置された部分で,ガ
スセンサ1内の大気側雰囲気142と被測定ガス側雰囲
気141とが気密的に分離される。
【0038】上記絶縁碍子21の基端側の端面には大気
側絶縁碍子22が配置され,該大気側絶縁碍子22と大
気側カバー12の段部129との間には皿バネ220が
設けてある。また,大気側絶縁碍子22の内部には4本
のリード部16が配置され,センサ素子15と電気的導
通が取れるように両者は接触している。なお,センサ素
子15は積層型の酸素濃度測定用のヒータ内蔵素子で,
センサ出力取出し用の電極を2つ,内蔵されたヒータ通
電用の電極を2つ,合計4つの外部導出用の電極端子を
有する(図示略)。上記4本のリード部16はこれらの
電極端子とそれぞれ導通するよう接触している。
【0039】上記リード部16の基端側は大気側絶縁碍
子22の外部において,コネクタ部17を介してリード
線18と接続されている。リード線18は大気側カバー
12の基端側に設けた弾性絶縁部材23を通じてガスセ
ンサ1外部へ通じている。
【0040】また,本例にかかるガスセンサ1の組み立
ては次のように行われる。予めリード線8とセンサ素子
5の電極端子に導通するよう接触したリード部16を配
置した大気側絶縁碍子22を皿バネと共に大気側カバー
12に挿入する。この時,大気側カバー12の段部12
9を押圧しながら,ハウジング10の側面を溶接により
固定して組み立てられる。図2に示すごとく,組立時に
は上記金属パッキン11が絶縁碍子21の当接面213
に押しつけられることにより,絶縁碍子21の当接面2
13の形状に合わせて金属パッキン11が変形して密着
し,また,ハウジングの受け面103が金属パッキン1
1の形状に合わせて密着し,気密性が確保されるのであ
る。
【0041】本例は金属パッキン11を絶縁碍子21と
ハウジング10との間に配置することで気密性が確保で
きるため,製造工程において特に管理すべき項目も少な
く,造り易い構成である。また,金属パッキン11は表
面が緻密であるため,これを通じて気体が行き来するこ
とも殆どなく,充分高い気密性を確保することができ
る。更に,金属パッキン11は純ニッケルという耐腐食
性に優れた材料よりなるため,自動車エンジンの高温の
排ガスよりなる被測定ガス側雰囲気に曝されても,劣化
し難く,長期間に渡って気密性を確保することができ
る。更に,貴金属などと比較して安価であるため,材料
コストを安価とすることができる。
【0042】以上,本例によれば,ガスセンサ中の大気
側雰囲気−被測定ガス側雰囲気が十分に分離されると共
に,腐食による気密洩れが生じ難く,製造容易でコスト
が安価なガスセンサを提供することができる。
【0043】また,本例の金属パッキン11はビッカー
ス硬さが200以下,厚みも0.1mm以下であるた
め,金属パッキン11と絶縁碍子21,ハウジング10
とを気密洩れが生じないよう押圧して密着さても,押圧
力による絶縁碍子21等の損傷が生じ難いという効果を
得ることもできる。
【0044】また,図3に示すごとく,上記金属パッキ
ン11として2層構造を有し,より柔らかい材料よりな
る層が絶縁碍子の側となるよう配置されるものを用いる
ことができる。ここに図3の金属パッキン11は,より
硬いニッケルよりなる第1層111とより柔らかい銅よ
りなる第2層112とよりなり,第2層112が絶縁碍
子21側,第1層111がハウジング10側と当接し
て,配置されている。この構成にかかる金属パッキン1
1を用いても,本例と同様の作用効果を得ることができ
る。
【0045】実施形態例2 本例は,図4に示すごとく,実施形態例1において,ハ
ウジング10の先端側の受け面104と絶縁碍子21の
先端側のテーパー部214との間に金属パッキン11を
介設した例である。即ち,ハウジング10の内側面に
は,その先端側に絶縁碍子21の外周面に設けたテーパ
ー部214を金属パッキン11のみを介して支承するよ
う構成した受け面104を有する。
【0046】上記金属パッキン11は,上記テーパー部
214と受け面104との間に挟持される。その他は,
実施形態例1と同様である。本例によれば,実施形態例
1と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態例1における,ガスセンサの断面説明
図。
【図2】実施形態例1における,ガスセンサの要部説明
図。
【図3】実施形態例1における,2層構造の金属パッキ
ンの説明図。
【図4】実施形態例2における,ガスセンサの要部説明
図。
【符号の説明】
1...ガスセンサ, 10...ハウジング, 103...受け面, 11...金属パッキン, 12...大気側カバー, 141...被測定ガス側雰囲気, 142...大気側雰囲気, 15...センサ素子, 21...絶縁碍子, 211...テーパー部, 213...当接面,

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 筒状の絶縁碍子と該絶縁碍子内に封止固
    定されたセンサ素子と,上記絶縁碍子が挿入配置された
    筒状のハウジングとよりなり,上記ハウジングの基端側
    には内部に大気側雰囲気が形成された大気側カバーが設
    けてあり,上記ハウジングの内側面には,上記絶縁碍子
    の外周面に設けたテーパー部を金属パッキンのみを介し
    て支承するよう構成された受け面が設けてあると共に,
    上記金属パッキンによる支承により,ガスセンサ基端側
    の大気側雰囲気とガスセンサ先端側の被測定ガス側雰囲
    気とが気密的に分離されるよう構成されているガスセン
    サにおいて,上記金属パッキンは,ニッケル,ニッケル
    合金,チタン,ステンレス鋼のいずれか一種以上よりな
    ることを特徴とするガスセンサ。
  2. 【請求項2】 請求項1において,上記金属パッキンは
    ビッカース硬さ(Hv)が200以下であることを特徴
    とするガスセンサ。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2において,上記金属パッ
    キンは厚み0.1mm以上であることを特徴とするガス
    センサ。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか一項において,
    上記金属パッキンは多層構造を有し,より柔らかい材料
    よりなる層が絶縁碍子の側となるよう配置されているこ
    とを特徴とするガスセンサ。
  5. 【請求項5】 請求項4において,上記のより柔かい材
    料はビッカース硬さ(Hv)が200以下であることを
    特徴とするガスセンサ。
  6. 【請求項6】 筒状の絶縁碍子と該絶縁碍子内に封止固
    定されたセンサ素子と,上記絶縁碍子が挿入配置された
    筒状のハウジングとよりなり,上記ハウジングの基端側
    には内部に大気側雰囲気が形成された大気側カバーが設
    けてあり,上記ハウジングの内側面には,上記絶縁碍子
    の外周面に設けたテーパー部を金属パッキンのみを介し
    て支承するよう構成された受け面が設けてあると共に,
    上記金属パッキンによる支承により,ガスセンサ基端側
    の大気側雰囲気とガスセンサ先端側の被測定ガス側雰囲
    気とが気密的に分離されるよう構成されているガスセン
    サにおいて,上記金属パッキンは上記絶縁碍子側に直接
    当接しており,また,上記金属パッキンは,ニッケル,
    ニッケル合金,チタン,ステンレス鋼のいずれか一種以
    上よりなり,かつ上記金属パッキンのビッカース硬さ
    (Hv)は200以下であることを特徴とするガスセン
    サ。
  7. 【請求項7】 筒状の絶縁碍子と該絶縁碍子内に封止固
    定されたセンサ素子と,上記絶縁碍子が挿入配置された
    筒状のハウジングとよりなり,上記ハウジングの基端側
    には内部に大気側雰囲気が形成された大気側カバーが設
    けてあり,上記ハウジングの内側面には,上記絶縁碍子
    の外周面に設けたテーパー部を金属パッキンのみを介し
    て支承するよう構成された受け面が設けてあると共に,
    上記金属パッキンによる支承により,ガスセンサ基端側
    の大気側雰囲気とガスセンサ先端側の被測定ガス側雰囲
    気とが気密的に分離されるよう構成されているガスセン
    サにおいて,上記金属パッキンは,ビッカース硬さ(H
    v)が200以下であることを特徴とするガスセンサ。
  8. 【請求項8】 筒状の絶縁碍子と該絶縁碍子内に封止固
    定されたセンサ素子と,上記絶縁碍子が挿入配置された
    筒状のハウジングとよりなり,上記ハウジングの基端側
    には内部に大気側雰囲気が形成された大気側カバーが設
    けてあり,上記ハウジングの内側面には,上記絶縁碍子
    の外周面に設けたテーパー部を金属パッキンのみを介し
    て支承するよう構成された受け面が設けてあると共に,
    上記金属パッキンによる支承により,ガスセンサ基端側
    の大気側雰囲気とガスセンサ先端側の被測定ガス側雰囲
    気とが気密的に分離されるよう構成されているガスセン
    サにおいて,上記金属パッキンは上記絶縁碍子側に直接
    当接しており,また,上記金属パッキンは,ニッケル,
    ニッケル合金,チタン,ステンレス鋼のいずれか一種以
    上よりなることを特徴とするガスセンサ。
  9. 【請求項9】 請求項8において,上記金属パッキンは
    ビッカース硬さ(Hv)が200以下であることを特徴
    とするガスセンサ。
  10. 【請求項10】 筒状の絶縁碍子と該絶縁碍子内に封止
    固定されたセンサ素子と,上記絶縁碍子が挿入配置され
    た筒状のハウジングとよりなり,上記ハウジングの基端
    側には内部に大気側雰囲気が形成された大気側カバーが
    設けてあり,上記ハウジングの内側面には,上記絶縁碍
    子の外周面に設けたテーパー部を金属パッキンのみを介
    して支承するよう構成された受け面が設けてあると共
    に,上記金属パッキンによる支承により,ガスセンサ基
    端側の大気側雰囲気とガスセンサ先端側の被測定ガス側
    雰囲気とが気密的に分離されるよう構成されているガス
    センサにおいて,上記金属パッキンは上記絶縁碍子側に
    直接当接しており,かつ上記金属パッキンのビッカース
    硬さ(Hv)は200以下であることを特徴とするガス
    センサ。
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