JP2002082066A

JP2002082066A - 傷検査方法および傷検査装置

Info

Publication number: JP2002082066A
Application number: JP2000272631A
Authority: JP
Inventors: Satoru Kobayashi; 了小林; Yuichi Sato; 雄一佐藤; Noboru Takahashi; 昇高橋
Original assignee: Nippi Inc
Current assignee: Nippi Inc
Priority date: 2000-09-08
Filing date: 2000-09-08
Publication date: 2002-03-22
Also published as: KR20020020211A

Abstract

(57)【要約】【課題】ケミカルエッチング前でラッピング加工後の
水晶ブランクを検査するに際して、暗視野観察法では検
出できないクラックを検出できるようにする。【解決手段】水晶ブランクＢの表面に対してほぼ平行
な低い角度からの光をブランクの全周方向から照射する
暗視野用光源２１に加えて、水晶ブランク表面に対して
斜めからの光を一方向から照射する斜光用光源２２を設
ける。斜光用光源２２から水晶ブランクＢの表面に斜か
ら照射すると、クラック画像が浮き出て暗視野観察法で
検出できなかったクラックを検査することができるよう
になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は水晶基板の傷を検査
するための傷検査方法および傷検査装置に係り、特に水
晶ブランク表面のクラックを検出するのに好適な傷検査
方法および傷検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、カット水晶振動子を製造する場
合、図８に示すように、人工水晶をカットして水晶ブラ
ンクを切出し（ステップ８１）、切出された水晶ブラン
クの表面を研削材砥粒によりラッピング加工する（ステ
ップ８２）。これにより表面に加工変質層と二次割れ層
（以下、加工層という）が発生する。この加工層を取り
除くために、さらに粒度の小さい研削砥粒を用いてラッ
ピング加工をする場合もある。ラッピング加工後、水晶
ブランク表面での音響損失を少なくするために、最終仕
上げ加工であるポリッシュ仕上げ（ケミカルエッチン
グ）を施す（ステップ８３）。そして、電極を蒸着して
（ステップ８４）、パッケージングして水晶振動子を作
る（ステップ８５）。

【０００３】ところで、水晶振動子用の水晶ブランク
は、小型で薄く軽量で、しかも透明であるため取扱いが
難しい。このため、特に水晶ブランクに付いた微小な傷
を検査するのが困難であった。そこで、表面に乱反射
（散乱）を生じさせる暗視野観察法を用いて、水晶ブラ
ンクに生じた傷を浮び上がらせ、これを画像検出して、
全数検査できる技術が開発された（例えば、特許第２８
２１４６０号）。暗視野観察法を適用することにより、
今まで目視検査できなかった微小な傷を検出でき、しか
も自動で全数検査できるという大きなメリットがあり、
これにより水晶基板の傷検査技術は飛躍的に向上した。

【０００４】しかし、暗視野観察法にも盲点があること
が分った。ヒキ傷やクラックが暗視野観察法では検出で
きない点である。ここでヒキ傷は、水晶ブランクのポリ
ッシュ仕上げによる研磨、酸洗浄などにより生じる引っ
掻き傷であり、通常、水晶ブランク表面にすじ状の浅い
溝として現れる。クラックは、ラッピング加工による研
磨などにより生じる割れ目であり、通常、表面から或る
深さに達し、表面に沿ってすじ状に現われる。クラック
は水晶ブランク表面では、ポリッシュ仕上げ前で、閉じ
ているのが普通である。

【０００５】ここでは引っ掻き傷ではなく、特にクラッ
クを問題にする。表面に止まる傷の浅い引っ掻き傷と違
って、クラックは表面から内部の深いところにわたって
形成され、しかも発振により経時的に成長していくの
で、厚さと相関のある水晶振動子の周波数に重大な影響
を与えるからである。暗視野観察法ではクラックを検出
できない理由は次のように推察される。水晶ブランク
は、ラッピング加工後、０．７μｍ〜２．０μｍ程度の
表面粗さになる。すなわち、表面がざらついているた
め、暗視野観察法では、そのざらついた表面からの乱反
射により、表面に現われるべきすじ状のクラック像が埋
もれてしまい、クラックを検出することが困難となるか
らである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】通常、暗視野観察法に
よる傷検査は、ポリッシュ仕上げ後に行うことが多い。
その理由は、ポリッシュ仕上げ時のケミカルエッチング
で、エッチング液がクラック内に浸透してクラックがブ
ランク表面で開口することが多く、このように表面に開
口したクラックであれば暗視野観察法によっても検出す
ることが可能だからである。しかし、ラッピング加工後
ポリッシュ仕上げ前では、暗視野観察法によるクラック
検出が困難であることは前述した通りである。また、傷
口が閉じて表面に凹みが生じていないクラックでは、表
面に凹みが形成される引っ掻き傷と異なり、同軸落射法
によっても検出できない。

【０００７】ところで、ラッピング加工後ポリッシュ仕
上げ前に、クラック検査が可能であると仮定しよう。ク
ラックの場合、その検査でＮＧとなるものは、ポリッシ
ュ仕上げしても絶対良品とはならない。このため、ラッ
ピング加工段階でクラックのＮＧ検出ができれば、不良
ブランクについての無駄なポリッシュ仕上げ、電極蒸
着、パッケージングをしなくても済むので、製造効率が
格段に向上することが期待できる。そこで、ポリッシュ
仕上げ前のラッピング加工した段階で、クラックを検出
できることが要請されている。

【０００８】本発明の課題は、斜光観察法を導入するこ
とによって、上述した従来技術の問題点を解消して、暗
視野観察法によっては検出できない、クラックを検査す
ることが可能な傷検査方法および傷検査装置を提供する
ものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ポリッシュ加工前でラッピング加工後の水晶基板の
表面に対し、斜め方向からの光（以下、斜光という）を
前記水晶基板の一方向から照射して、その反射光で前記
水晶基板表面を撮像し、撮像した水晶基板表面の画像か
ら前記水晶基板に存在するクラックを検査するようにし
た傷検査方法である。水晶基板の表面と斜光線とのなす
角は４５°±３０°、好ましくは４５°±１０°、理想
的には４５°である。

【００１０】一方向からの斜光を使用するので、光が水
晶基板内に入り込み、すじ状に延びたクラックに対して
側面から光を当てるので、クラックからの有効な反射光
を取り出すことができる。したがって、暗視野観察法に
比べて、撮像された水晶基板の表面画像にクラックを鮮
明に浮き出すことができ、クラック検査が容易になる。

【００１１】請求項２に記載の発明は、水晶基板の表面
に対し、前記斜光に加えて、ほぼ水平方向からの光（以
下、暗視野光という）を前記水晶基板の全周方向から照
射するようにした請求項１に記載の傷検査方法である。
ほぼ水平方向とは、水晶基板の表面と暗視野光線とのな
す角が０〜±１５°の範囲である。

【００１２】水晶基板表面とほぼ平行な方向から照射す
る暗視野光だけでも、水晶基板表面の仕上り具合やクラ
ックの状態によっては、不鮮明ながらクラックを検出で
きる場合もある。しかし、請求項２の発明では、暗視野
光に斜光を加えるだけの簡単な操作で、暗視野画像中で
あってもクラック画像を鮮明に浮き出させることがで
き、クラックを容易に検出することができる。

【００１３】請求項３に記載の発明は、水晶基板表面に
傷検査用の光源以外の光が入射しないように、周囲を暗
くして検査するようにした請求項１または２に記載の傷
検査方法である。周囲を暗くして、光源以外の光（環境
光）が入らないようにすると、クラック画像をより鮮明
に浮き出すことができるので、クラック傷検出率が飛躍
的に向上する。

【００１４】請求項４に記載の発明は、水晶基板の表面
に対し斜め方向から光を前記水晶基板の一方向から照射
する斜光用光源と、前記斜光用光源から水晶基板の表面
に照射されて反射した光のうち、前記水晶基板表面に対
しほぼ垂直方向に沿って反射した反射光を撮像する撮像
手段と、撮像した画像信号から水晶基板に存在するクラ
ックの特徴を抽出し、抽出した信号に基づいてクラック
の検査を行う画像処理手段とを備えた傷検査装置であ
る。

【００１５】斜光用光源を備えることで、ポリッシュ仕
上げ前で、ラッピング加工後であっても、暗視野用光源
では検出が難しかった水晶基板のクラック検査を容易か
つ有効に行うことができる。

【００１６】請求項５に記載の発明は、水晶基板の表面
に対しほぼ水平方向からの光を前記水晶基板の全周方向
から照射する暗視野用光源と、前記水晶基板の表面に対
し、前記暗視野用光源からの光に加えて、斜め方向から
光を前記水晶基板の一方向から照射する斜光用光源と、
前記暗視野用光源または斜光用光源から水晶基板の表面
に照射されて反射した光のうち、前記水晶基板表面に対
しほぼ垂直方向に沿って反射した反射光を撮像する撮像
手段と、撮像した画像信号から水晶基板に存在するクラ
ックの特徴を抽出し、抽出した信号に基づいてクラック
の検査を行う画像処理手段とを備えた傷検査装置であ
る。

【００１７】既存の暗視野用光源に斜光用光源を加える
だけで、ポリッシュ仕上げ前で、ラッピング加工後であ
っても、暗視野用光源だけでは検出が難しかった水晶基
板のクラック検査を、暗視野用光源の電源を落とすこと
なく、容易かつ有効に行うことができる。

【００１８】請求項６に記載の発明は、前記水晶基板の
一方向から照射する斜光用光源に、前記水晶基板の一方
向に対し９０°ずれた他方向から照射する第２の斜光用
光源を加え、これらの斜光用光源を切替えて使用する請
求項４に記載の傷検査装置である。照射は、一方向から
でも良いが、好ましくは９０°ずれた二方向から行うと
良い。より好ましくは互いに１２０°ずれた三方向から
行うとさらに良い。二方向または三方向からの斜光を使
用する場合、反射光が互いに打ち消しあわないようにす
るために、これらは同時に使用するのではなく、切替え
て使用する。

【００１９】請求項７に記載の発明は、前記斜光用光源
が４５５〜４９２ｎｍの波長領域の単色光を出力する青
色光源である請求項４または５に記載の傷検査装置であ
る。波長が短くなるので、より検出精度が向上する。

【００２０】クラックは、短冊状の水晶ブランクの場
合、その結晶の角度から、長辺のエッジに対して左右４
５度近辺の方向に成長する確率が高い。そこでクラック
を有効に検出するに斜光の照射方向は、長辺方向に対し
て直角の方向から照射するのが最も検出効率がよくな
る。本発明は、ケミカルエッチング前のブランクか、ケ
ミカルエッチングでも軽い（浅い）エッチング処理の施
されたブランクに対して特に有効になる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。図１はクラックを含む傷を検査する
ことが可能な傷検査装置の構成図である。

【００２２】傷検査装置は、水晶振動子となる水晶ブラ
ンクＢに光を照射して撮像した水晶ブランクＢの画像信
号に基づいて傷の検出を行う。水晶ブランクＢは、ここ
では短冊状のものを用いる。大きさは、数ｍｍオーダで
ある。この傷検査装置は、水晶ブランクＢを載置する透
明部材からなる載置台２０と、水晶ブランクＢの表面に
光を照射する２つの傷検査用光源２１、２２と、水晶ブ
ランクＢの表面に対して垂直な方向から水晶ブランクＢ
の表面を撮像する撮像手段２５とを備える。撮像手段２
５は、水晶ブランクＢを拡大して観察する顕微鏡２３
と、観察像を電気信号に変換するＣＣＤカメラ２４とか
ら構成される。

【００２３】撮像手段２５で撮像された水晶ブランクＢ
表面の画像信号は画像処理装置２６に加えられる。画像
処理装置２６は、撮像した画像信号から水晶基板に存在
するクラック等の傷の特徴を抽出し、抽出した信号に基
づいてクラック等の傷の検査を行う。前述した載置台２
０は、例えば水晶よりも硬く傷がつきにくいサファイア
や硬質ガラスで構成する。２つの傷検査用光源２１、２
２は、暗視野用光源２１と斜光用光源２２とから構成さ
れ、これらの光源２１、２２は１台の傷検査装置に組み
込まれる。

【００２４】一方の暗視野用光源２１は、複数のＬＥＤ
をリング状に配列して構成され、載置台２０の全周を囲
むようにしてこの載置台２０の中心と同軸的に配設され
ている。ＬＥＤとしては最も輝度の高い波長６００ｎｍ
クラスの赤色ＬＥＤが好ましい。なお、青色ＬＥＤとし
てもよい。暗視野用光源２１は、載置台２０の上下に配
置した２段構成になっており、その上下２段のちょうど
中間に載置台２０が来るように配置する。上段部２１ａ
は水平方向ないし浅い斜め上方から載置台２０上の水晶
ブランクＢの表面を０〜＋１５°の角度で照射するよう
になっている。下段部２１ｂは水平方向ないし浅い斜め
下方から載置台２０を透過して水晶ブランクＢの裏面を
０〜−１５°の角度で照射するようになっている。暗視
野用光源２１の光量は通電制御によって調光が可能にな
っている。

【００２５】他方の斜光用光源２２は、複数のＬＥＤを
直線状に配列して構成され、その直線状の配列方向を水
晶ブランクＢの長辺に対して平行で、水晶ブランクＢの
表面に対して出射面が斜め下方を向くように配置され
る。これにより斜光用光源２２は斜め上方から、載置台
２０上の水晶ブランクＢの表面に対して、４５°±３０
°、好ましくは４５°±１０°、理想的には４５°の角
度で斜光照明するようになっている。光源に赤色ＬＥＤ
ないし青色ＬＥＤを使用して、光源波長を暗視野用光源
２１と同じか（６００ｎｍ）短くして（４５５〜４９２
ｎｍ）、かつ調光を可能としている。図示例の斜光用光
源２２は暗視野用光源２１の上方に配置したが、これは
クラックを乱反射により有効に検出するためである。ま
た、光源自体を図示位置に配置してもよいが、検査部の
スペースの関係から、実際は検査部２７の下方に斜光用
光源を配置して、その斜光用光源からの光を光ファイバ
２８で導き、必要に応じて光学レンズ２９から水晶ブラ
ンクＢ上に照射するようにしたほうがよい。

【００２６】実際の検査では、まず暗視野観察で微小な
傷を検査し、つぎに暗視野観察に斜光観察を加えてクラ
ック検査をすることになる。光源は図示しない切替え装
置で切替えて、この二段階検査を実施する。なお、本発
明は、短冊状水晶ブランクの他に、他の形状、例えば円
形状の水晶ブランクにも適用できる。

【００２７】図２に示すように、短冊状の水晶ブランク
Ｂは、パーツフィーダ３０から、表裏面を上下に向けた
水平姿勢で、かつ短辺を移載方向（白抜き矢印）と直交
する方向に向け、長辺を移載方向に向けて、検査部２７
上に送り出される。上記斜光用光源２２は、そのＬＥＤ
直列配列方向が、検査部２７上の水晶ブランクＢの長辺
と平行になるように配置される。

【００２８】暗視野用光源２１と斜光用光源２２とは、
同時に点灯してもよいが、クラックをより有効に検出す
るためには、前述したように斜光用光源２２に切替えて
斜光を単独で水晶ブランクに照射するようにする。予
め、ロットに応じて暗視野用光源２１および斜光用光源
２２の調光を行ない、暗視野用光源２１からの照射でよ
り有効に微小な傷を、また斜光用光源２２からの照射で
より有効にクラックをそれぞれ検査できるように各光源
の最適な光量を設定する。

【００２９】さて、上述したような構成において、ケミ
カルエッチング前で、ラッピング加工後の水晶ブランク
Ｂのクラックを含む傷を検査するには、調光した暗視野
光、および斜光による切替え照射を行う。予め設定して
おいた調光電流を暗視野用光源２１に流して、調光した
光を水晶ブランクＢに浅い角度から照射する。これによ
りエッジのシャープな傷の大半を暗視野に浮かび上がら
せることができる。

【００３０】また、斜光用光源２２からは、調光した光
を水晶ブランクＢに深い角度から斜め方向に照射する。
これにより暗視野用光源２１では有効に検出し得なかっ
たクラックを明視野上にくっきりと浮かび上がらせるこ
とができる。

【００３１】このようにして暗視野光と斜光の切替え照
射で水晶ブランクの表面画像にくっきりと浮かび上がっ
た傷を、画像信号として画像処理装置２６に加えて処理
し、抽出し、総合判定にかける。

【００３２】次に、図１の傷検査装置を使用して実際に
検査した実験結果を説明する。寸法４．０ｍｍ×１．５
ｍｍ、厚さ４０μｍの短冊状の３つの水晶ブランクサン
プルについて、暗視野用光源および斜光用光源を、とも
に波長６６０ｎｍの赤色ＬＥＤを用い、光の強さが最適
になるように調光して切替え照射したときの画像例であ
る。

【００３３】図３から図５に、暗視野用光源からの光だ
けを照射したときと、斜光用光源からの光だけを照射し
ときとで比較した水晶ブランク表面の撮像写真を示す。
図３では、暗視野では左下に不鮮明に映しだされて総合
判定でＯＫと出たクラック画像（図３（ｂ））が、斜光
で強調されて鮮明になり、不良検出の閾値を超えて総合
判定でＮＧとなっているのがわかる。同様に、図４で
は、暗視野観察法ではクラックが検出されなかったため
に総合判定でＯＫとなった水晶ブランクが（図４
（ｂ））、斜光観察法ではクラックを中央で見事に検出
して総合判定でＮＧとしている（図４（ａ））。更に、
図５では、暗視野観察ではクラックが僅かに検出された
ために総合判定でＯＫと出たクラック画像（図５
（ｂ））が、斜光観察では、すじ状のクラックを中央よ
りやや右側上方に鮮明に映し出しているのがわかる（図
５（ａ））。

【００３４】上述した実施の形態によれば、暗視野観察
法による一定光量の光検査では検出できず、またはでき
ても不鮮明な検出しかできなかったクラックを確実に検
査できるようになる。特に斜光用光源に青色光源を用い
た場合には、赤色光源を用いたものに比してクラック不
良率の検出率が向上する。これは指向性が強く、反射に
対してシビアに振る舞うからであると考えられるからで
ある。斜光角度が４５°のとき最も有効になる。

【００３５】上述した実施の形態では、斜光を一方向か
ら照射するようにしている。一方向からだけの照射でも
９７％〜９８％のクラックの有効検出が可能である。残
りの２％〜３％の検出も可能とするためには、二方向あ
るいは三方向から斜光を切替えて順次照射すればよい。
図６は二方向の斜光について説明した概略図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は要部正面図である。短冊状の
水晶ブランクＢは、パーツフィーダ３０から、表裏面を
上下に向けた水平姿勢で、かつ短辺を移載方向に向け、
長辺を移載方向と直交する方向に向けて、検査部２７上
に送り出される。第１の斜光用光源２２は、その直列配
列方向が、既述したように検査部２７上の水晶ブランク
Ｂの長辺と平行になるように配置され、水晶ブランクＢ
の長辺に対して直交する方向から水晶ブランクＢの表面
を照射するようになっている。これに対して第２の斜光
用光源３１は、その直列配列方向が、検査部２７上の水
晶ブランクＢの短辺と平行になるように配置され、水晶
ブランクＢの短辺に対して直交する方向から水晶ブラン
クＢの表面を照射するようになっている。この第２の斜
光用光源３１も、第１の斜光用光源２２と同様に、光フ
ァイバ３２、必要に応じて光学レンズ３３を用いて構成
するとよい。

【００３６】矢印に示すように、斜光は９０°ずれた二
方向から水晶ブランクＢの表面に照射される。これによ
り、短辺のエッジに対して左右４５度近辺の方向に成長
するクラックをも有効に検出することができるようにな
る。なお、１２０°づつずれた三方向にしても、二方向
とほとんど変らないと考えられる。なお図６（ｂ）に示
す符号３４は水晶ブランクＢのピック＆プレイスを行う
吸着パッドを示す。

【００３７】なお、上述した実施の形態では、斜光用光
源を水晶ブランク表面に対して斜め上方に設けて上から
照射するようにしたが、水晶ブランク表面に対して斜め
下方に設けて下から照射するようにしてもよい。更に、
暗視野用光源と同様に、上方と下方の両方に設けて、水
晶ブランクＢの上下から同時に照射するようにしてもよ
い。

【００３８】また、実施の形態では、クラック検出時に
は、暗視野用光源を斜光用光源に切替えて、斜光用光源
からの光だけを水晶ブランクに照射するようにしてクラ
ック検査の精度を向上させているが、暗視野用光源から
の光に加えて斜光用光源の光を照射するようにしても、
斜光の単独照射による場合に比して検査精度は落ちるも
のの、暗視野光単独照射の場合に比べて、クラックの検
出精度は向上する。しかも、この場合、光源の切替え操
作を必要としないので作業が容易であるうえ、暗視野用
光源によるエッジ計測も同時に可能になるから、エッジ
からのクラック位置の割り出しも容易になる。

【００３９】また、検査装置をすっぽり暗幕で覆って、
環境光が装置内部に入るのを遮れば、外乱がなくなるの
で、図７に示すように、クラック検出率が飛躍的に向上
することがわかった。２０％〜３０％近く、不良率の検
出が向上する。ＣＣＤの積分的な要素、Ｓ／Ｎ比が向上
するためと推測される。

【００４０】

【発明の効果】本発明によれば、暗視野観察法で検出で
きなかったクラックを検査できるようになる。暗視野観
測法に斜光観察法を加えて検査してもよいが、特に斜光
観察法単独で観察すると、より有効にクラック検査を行
なうことができる。また、構造的には斜光用光源を加え
るという簡単な構成で、ケミカルエッチング前にクラッ
クを有効検出できるので、水晶基板を用いた最終製品の
歩留まりを飛躍的に向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態による傷検査装置の主要部分の構成
図である。

【図２】実施の形態による傷検査装置の主要部の平面図
である。

【図３】実施の形態によるサンプル１のクラックの検出
画像を示し、（ａ）は暗視野用光源のみで、（ｂ）は暗
視野用光源のみでそれぞれ照射したときの撮像画像図で
ある。

【図４】実施の形態によるサンプル２のクラックの検出
画像を示し、（ａ）は暗視野用光源のみで、（ｂ）は暗
視野用光源のみでそれぞれ照射したときの撮像画像図で
ある。

【図５】実施の形態によるサンプル３のクラックの検出
画像を示し、（ａ）は暗視野用光源のみで、（ｂ）は暗
視野用光源のみでそれぞれ照射したときの撮像画像図で
ある。

【図６】他の実施の形態による傷検査装置の主要部の説
明図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は要部の正面図で
ある。

【図７】光源を消したときに測定した傷検査装置内の暗
さに対するクラック不良検出率の推移特性図である。

【図８】水晶振動子の一般的な製造工程図である。

【符号の説明】

２０載置台２１暗視野用光源２２斜光用光源２５撮像手段２６画像処理装置Ｂ水晶ブランク

フロントページの続き (72)発明者高橋昇東京都新宿区高田馬場１丁目10番15号株式会社日本マクシス内Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB02 AC01 BA01 BA20 BB05 BB17 BC01 CA03 CA04 CA11 CB01 DA01 DA07 EB01 EB02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ポリッシュ加工前でラッピング加工後の水
晶基板の表面に対し、斜め方向からの光を前記水晶基板
の一方向から照射して、その反射光で前記水晶基板表面
を撮像し、撮像した水晶基板表面の画像から前記水晶基板に存在す
るクラックを検査するようにした傷検査方法。
【請求項２】前記水晶基板の表面に対し、前記斜め方向
からの光に加えて、ほぼ水平方向からの光を前記水晶基
板の全周方向から照射するようにした請求項１に記載の
傷検査方法。
【請求項３】周囲を暗くして検査するようにした請求項
１または２に記載の傷検査方法。
【請求項４】水晶基板の表面に対し斜め方向から光を前
記水晶基板の一方向から照射する斜光用光源と、前記斜光用光源から水晶基板の表面に照射されて反射し
た光のうち、前記水晶基板表面に対しほぼ垂直方向に沿
って反射した反射光を撮像する撮像手段と、撮像した画像信号から水晶基板に存在するクラックの特
徴を抽出し、抽出した信号に基づいてクラックの検査を
行う画像処理手段とを備えた傷検査装置。
【請求項５】水晶基板の表面に対しほぼ水平方向からの
光を前記水晶基板の全周方向から照射する暗視野用光源
と、前記水晶基板の表面に対し、前記暗視野用光源からの光
に加えて、斜め方向から光を前記水晶基板の一方向から
照射する斜光用光源と、前記暗視野用光源及び斜光用光源から水晶基板の表面に
照射されて反射した光のうち、前記水晶基板表面に対し
ほぼ垂直方向に沿って反射した反射光を撮像する撮像手
段と、撮像した画像信号から水晶基板に存在するクラックの特
徴を抽出し、抽出した信号に基づいてクラックの検査を
行う画像処理手段とを備えた傷検査装置。
【請求項６】前記水晶基板の一方向から照射する斜光用
光源に、前記水晶基板の一方向に対し９０°ずれた他方
向から照射する第２の斜光用光源を加え、これらの斜光
用光源を切替えて使用する請求項４または５に記載の傷
検査装置。
【請求項７】前記斜光用光源が４５５〜４９２ｎｍの波
長領域の単色光を出力する青色光源である請求項４ない
し６のいずかに記載の傷検査装置。