JP2002075193A

JP2002075193A - プラズマディスプレイパネルおよびその製造装置

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Publication number: JP2002075193A
Application number: JP2000258657A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Kado; 博行加道; Masafumi Okawa; 政文大河
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-08-29
Filing date: 2000-08-29
Publication date: 2002-03-15

Abstract

(57)【要約】【課題】青色劣化がなく、放電安定性の高いプラズマ
ディスプレイパネルを生産性高く製造する製造装置を提
供する。【解決手段】パネルを移動させながら連続的に加熱し
封着を行う封着炉であり、加熱経路の一部に真空排気手
段を備えたチャンバーを設置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、文字または画像表
示用のカラーテレビジョン受像機やディスプレイ等に使
用するガス放電発光を利用したプラズマディスプレイパ
ネル（ＰＤＰ）およびその製造装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】以下では、従来のプラズマディスプレイ
パネルについて図面を参照しながら説明する。図８は交
流型（ＡＣ型）のプラズマディスプレイパネルの概略を
示す断面図である。

【０００３】図８において、５１は前面ガラス基板であ
り、この前面ガラス基板５１上に表示電極５２が形成さ
れている。さらに、表示電極５２は、誘電体ガラス層５
３及び酸化マグネシウム（ＭｇＯ）誘電体保護層５４に
より覆われている。

【０００４】また、５５は背面ガラス基板であり、この
背面ガラス基板５５上には、アドレス電極５６および隔
壁５７、蛍光体層（６０〜６２）が設けられており、５
９が放電ガスを封入する放電空間となっている。前記蛍
光体層はカラー表示のために、赤６０、緑６１、青６２
の３色の蛍光体層が順に配置されている。上記の各蛍光
体層（６０〜６２）は、放電によって発生する波長の短
い真空紫外線（波長１４７ｎｍ）により励起発光する。

【０００５】蛍光体層６０〜６２を構成する蛍光体とし
ては、一般的に以下の材料が用いられている。

【０００６】「青色蛍光体」：ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ「緑色蛍光体」：Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：ＭｎまたはＢａＡｌ₁₂
Ｏ₁₉：Ｍｎ「赤色蛍光体」：Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕまたは（ＹｘＧｄ１−
ｘ）ＢＯ₃：Ｅｕ各色蛍光体は以下のようにして作製できる。

【０００７】青色蛍光体（ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ）
は、まず炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）、炭酸マグネシウ
ム（ＭｇＣＯ₃）、酸化アルミニウム（α−Ａｌ₂Ｏ₃）
をＢａ、Ｍｇ、Ａｌの原子比で１対１対１０になるよう
に配合する。次にこの混合物に対して所定量の酸化ユー
ロピウム（Ｅｕ₂Ｏ₃）を添加する。

【０００８】そして、適量のフラックス（ＡｌＦ₂、Ｂ
ａＣｌ₂）と共にボールミルで混合し、１４００℃〜１
６５０℃で所定時間（例えば、０．５時間）、還元雰囲
気（Ｈ ₂、Ｎ₂中）で焼成して得る。

【０００９】赤色蛍光体（Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ）は、原料とし
て水酸化イットリウムＹ₂（ＯＨ）₃と硼酸（Ｈ₃ＢＯ₃）
とＹ、Ｂの原子比１対１になるように配合する。次に、
この混合物に対して所定量の酸化ユーロピウム（Ｅｕ₂
Ｏ₃）を添加し、適量のフラックスと共にボールミルで
混合し、空気中１２００℃〜１４５０℃で所定時間（例
えば１時間）焼成して得る。

【００１０】緑色蛍光体（Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ）は、原
料として酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化珪素（ＳｉＯ₂）を
Ｚｎ、Ｓｉの原子比２対１になるように配合する。次に
この混合物に所定量の酸化マンガン（Ｍｎ₂Ｏ₃）を添加
し、ボールミルで混合後、空気中１２００℃〜１３５０
℃で所定時間（例えば０．５時間）して得る。

【００１１】上記製法で作製された蛍光体粒子を粉砕後
ふるい分けすることにより、所定の粒径分布を有する蛍
光体材料を得る。

【００１２】以下従来のＰＤＰの製造方法について説明
する。

【００１３】背面ガラス基板上に、銀からなるアドレス
電極を形成し、その上に誘電体ガラスからなる可視光反
射層と、ガラス製の隔壁を所定のピッチで作成する。

【００１４】これらの隔壁に挟まれた各空間内に、赤色
蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体を含む各色蛍光体ペー
ストをそれぞれ配設することによって蛍光体層を形成
し、形成後５００℃程度で蛍光体層を焼成し、ペースト
内の樹脂成分等を除去する（蛍光体焼成工程）。

【００１５】蛍光体焼成後、背面板の周囲に前面板との
封着用シール材として低融点ガラスペーストを塗布し、
低融点ガラスペースト内の樹脂成分等を除去するために
３５０℃程度で仮焼する（低融点ガラスペースト仮焼工
程）。

【００１６】その後、表示電極、誘電体ガラス層および
保護層を順次形成した前面板と、前記背面板を隔壁を介
して表示電極とアドレス電極が直交するよう対向配置
し、４５０℃程度で焼成し、低融点ガラスによって、周
囲を密封する（封着工程）。

【００１７】その後、３５０℃程度まで加熱しながらパ
ネル内を排気し（排気工程）、終了後に放電ガスを所定
の圧力だけ導入する。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】従来プラズマディスプ
レイパネルの製造方法においては、前記のように基板加
熱を要する工程がいくつか存在する。

【００１９】しかし、これらの加熱工程において、使用
している蛍光体が熱劣化するという問題があり、特に封
着工程において、青色蛍光体の劣化が大きかった。これ
は青色蛍光体として使用しているＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：
Ｅｕが封着工程で熱劣化し、発光強度低下および発光色
度の劣化を起こす原因となっていると考えられている。

【００２０】また、排気工程までにパネル内部に残留す
るＨ₂ＯやＣＯ₂などの不純物ガスが、排気工程で十分に
排気できない場合に、放電特性を劣化させるという問題
があった。

【００２１】これを解決するために封着時にパネル内部
に乾燥ガスを導入し、青色劣化を抑える封着方法（特願
平１１−１６８９９５号）ならびに排気工程までにパネ
ル内部に残留する不純物ガスを低減する封着排気方法が
考えられている（特願平４−３３８３７号）。

【００２２】しかし、これらの方法では、パネル内部に
ガスを導入あるいは排気するための装置をパネルと接続
するために、生産性を向上させるためパネルを移動させ
ながら加熱する連続式の加熱炉を使用することができ
ず、バッチ式の加熱炉を用いて生産を行っていた。

【００２３】これを解決する方式として真空排気装置を
内蔵したカート上にパネルを設置し、カートごと連続式
加熱炉内を移動させる設備も提案されている（Ｅｌｅｃ
ｔｒｏｎｉｃＪｏｕｒｎａｌ１９９９年６月号ｐ９
０）が、カート数が増えるに従って装置が高価になると
いう課題があった。

【００２４】そこで本願発明は、このような問題に鑑
み、生産性が高く、蛍光体の熱劣化がほとんど発生せ
ず、また、排気工程までの工程で不純物ガスを低減させ
ることにより、比較的高い発光効率で動作し、色温度が
高く、かつ色再現性の良好なプラズマディスプレイパネ
ルを製造する製造装置を比較的安価で提供することを目
的とするものである。

【００２５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造装置
は、少なくとも一方に蛍光体層が形成され且つ少なくと
も一方に封着シール材層が形成された前面板及び背面板
を重ね合わせ、前記重ね合わせた両基板を移動させなが
ら、前記封着シール材が軟化する温度（軟化点）以上の
封着温度まで連続的に加熱し、前記前面板及び背面板を
封着するプラズマディスプレイパネルの製造装置であ
り、少なくとも連続的な加熱経路の一部に真空排気手段
を備えたチャンバーを有することを特徴とする。

【００２６】前記構成において、少なくとも連続的な加
熱経路の一部にガス導入手段を備えたチャンバーを有す
ることが好ましい。

【００２７】また、少なくとも一方に蛍光体層が形成さ
れ且つ少なくとも一方に封着シール材層が形成された前
面板及び背面板を重ね合わせ、前記重ね合わせた両基板
を移動させながら、前記封着シール材が軟化する温度
（軟化点）以上の封着温度まで連続的に加熱し、前記前
面板及び背面板を封着するプラズマディスプレイパネル
の製造装置であり、少なくとも連続的な加熱経路の一部
に、前記両基板の間に形成された内部空間からガス排気
する手段を備えたことを特徴とする。

【００２８】さらに、少なくとも一方に蛍光体層が形成
され且つ少なくとも一方に封着シール材層が形成された
前面板及び背面板を重ね合わせ、前記重ね合わせた両基
板を移動させながら、前記封着シール材が軟化する温度
（軟化点）以上の封着温度まで連続的に加熱し、前記前
面板及び背面板を封着するプラズマディスプレイパネル
の製造装置であり、少なくとも連続的な加熱経路の一部
に、前記両基板の間に形成された内部空間にガスを導入
する手段を備えたことを特徴とする。

【００２９】前記構成において、少なくとも連続的な加
熱経路の一部に、前記両基板の間に形成された内部空間
を差動排気する手段を備えたことが好ましい。

【００３０】また、少なくとも連続的な加熱経路の一部
に、前面板あるいは背面板のいずれかに形成されたガラ
ス管に、ガス導入装置あるいはガス排気装置を接続する
手段を備えたことが好ましい。

【００３１】また、前面板あるいは背面板に設けられた
第１のガラス管にガス排気装置を接続する手段を有し、
前記前面板あるいは背面板に設けられた第２のガラス管
近傍に、ガスを導入する手段を有することが好ましい。

【００３２】さらに、前面板あるいは背面板のいずれか
に形成されたガラス管を加熱封止する手段を備えたこと
が好ましい。

【００３３】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）以下、本発明の
実施の形態１におけるプラズマディスプレイパネルの製
造方法について説明する。図３は、本発明の一実施の形
態における交流面放電型プラズマディスプレイパネルの
概略を示す断面図である。図３では、セルが１つだけ示
されているが、赤、緑、青の各色を発光するセルが多数
配列されてＰＤＰが構成されている。

【００３４】このＰＤＰは、前面ガラス基板２１上に表
示電極２２と誘電体ガラス層２３、保護層（ＭｇＯ）２
４が配された前面板と、背面ガラス基板２５上にアドレ
ス電極２６、可視光反射層２７、隔壁２８および蛍光体
層２９が配された背面板とを張り合わせ、前面板と背面
板間に形成される放電空間内に放電ガスが封入された構
成となっている。

【００３５】蛍光体層を構成する蛍光体材料の組成とし
ては、一般的にＰＤＰの蛍光体層に使用されているもの
を用いることができる。その具体例としては、「青色蛍光体」：ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ「緑色蛍光体」：Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ「赤色蛍光体」：（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕを挙げることができる。

【００３６】図４に、使用した青色蛍光体（ＢａＭｇＡ
ｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ）を、空気中でピーク温度が４５０℃、
２０分で焼成した場合の、空気の水蒸気分圧を変えた時
の、相対発光強度水蒸気分圧依存性の測定結果をそれぞ
れ示す。相対発光強度は、焼成前の青色蛍光体の発光強
度を１００とする。

【００３７】水蒸気分圧が０Ｔｏｒｒ（Ｐａ）付近で
は、加熱による発光強度の熱劣化は全く見られず、相対
発光強度は水蒸気分圧の増加とともに弱くなった。すな
わち、雰囲気中の水蒸気分圧を減少させることによっ
て、青色蛍光体（ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ）の加熱に
よる熱劣化を防止することが可能であることが判明し
た。

【００３８】実際のＰＤＰ製造プロセスでは、パネル内
部に部材から発生した水蒸気が閉じ込められ水蒸気分圧
の高くなる封着工程での劣化が大きくなる。

【００３９】また一方で、水蒸気加熱で劣化した蛍光体
は、乾燥雰囲気中で、再加熱すれば発光強度が回復する
ことも確認することができた。

【００４０】すなわち、蛍光体の発光強度劣化の少ない
パネルを作製するには、封着中に乾燥ガスをパネル内に
流し続ける以外にも、封着時の比較的高温部でのみパネ
ル内に乾燥ガスを流すだけでも、それまでに劣化した蛍
光体が回復し効果がでることが判明した。

【００４１】以下封着時に生産性良く、各部材（特にＭ
ｇＯ）から放出される水蒸気を含む不純物ガスの影響を
除くための本実施の形態における封着炉および封着工程
について説明する。

【００４２】図１に本実施の形態の封着炉とその温度プ
ロファイルを示す。封着炉は複数の加熱室１からなり、
昇温ゾーン、封着ゾーン、冷却ゾーンに別れている。パ
ネルはローラ２により各加熱室１を搬送される。パネル
３は各加熱室で所定の時間だけ停止し、次の加熱室へ進
むことで順次加熱される。封着ゾーンの最後部には前後
を真空バルブ４で仕切られた真空排気可能なチャンバー
５が設置されている。チャンバー５には真空排気装置６
とガス導入装置７が接続されている。ガス導入装置７か
らは所定の温度に加熱されたガスがチャンバー５内に導
入できる。

【００４３】なお、封着炉のチャンバー５以外の各加熱
室は大気雰囲気中で加熱される。

【００４４】封着前の前面板８および背面板９を張り合
わせたパネルを図２に示す。前面板８と背面板９の間に
は、封着用シール材１０が設けられ、背面板９にはガラ
ス管１１が形成されている。ガラス管にも封着用シール
材１０が設けられている。なお、本実施の形態では封着
用シール材として低融点ガラスを用いた。

【００４５】このパネルを、図１の温度プロファイルで
低融点ガラスの軟化点温度以上まで加熱することにより
封着した。

【００４６】この封着工程において、封着ゾーンの最後
部にあるチャンバー５内にパネルを搬送後、真空バルブ
４を閉じ、チャンバー５内を真空排気装置６により真空
排気した。この排気時に、パネル内部の空間のガスもガ
ラス管１１を通して排気される。その後、ガス導入装置
７によりチャンバー５内に高温の乾燥ガスを導入し、パ
ネル内も乾燥ガスで満たした。その後、真空バルブ４を
開け、冷却ゾーンにパネルを搬送し、封着を完了した。

【００４７】この工程では、パネルはチャンバーへ搬送
されるまでは、大気中で加熱されるために、パネル内部
にはパネル部材から発生した水蒸気により、蛍光体は劣
化する。しかし、チャンバー内でパネルの水蒸気が排除
され、さらに乾燥ガスが導入されることにより、劣化し
た蛍光体は回復する。チャンバーから出た後は、冷却ゾ
ーンとなり、パネル部材から発生する不純物ガスは低減
されるために、パネル内部の残留不純物ガスを低減する
ことができ、さらに、蛍光体と不純物ガスとの反応も小
さくなるために、蛍光体の大きな劣化は生じない。した
がって、封着炉すべてを真空排気可能なチャンバー構成
にしなくても、一部分のみを真空排気可能なチャンバー
構成にすることで十分な効果が得られ、比較的安価な装
置となる。

【００４８】また、この封着炉では、バッチ炉とは異な
り、パネルを連続的に搬入することができるために、生
産性も向上する。

【００４９】乾燥ガスの水蒸気分圧としては、水蒸気分
圧が低いほど青色蛍光体の劣化が押さえられるが、従来
の封着工程と比較すると１０Ｔｏｒｒ（１３３０Ｐａ）
付近から顕著な効果が現れた。

【００５０】また、ＰＤＰで多く用いられているＢａＭ
ｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ、Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎや（Ｙ、Ｇ
ｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ等の酸化物系の蛍光体は、無酸素の雰
囲気中で加熱すると多少酸素欠陥が形成され発光効率が
低下する場合がある。

【００５１】したがって本封着過程で用いる乾燥ガス
は、少なくとも酸素が含まれていることが望ましい。

【００５２】本実施の形態では、１つのチャンバーで真
空排気、ガス導入を行ったが、さらに生産性をあげるた
めに、真空バルブを介して複数個のチャンバーを連続し
て設置し、各チャンバー内で真空排気とガス導入を分担
させることも可能である。

【００５３】また、真空排気、ガス導入は封着ピーク温
度で行うのが最も効果的であったが、それ以外の温度部
分で行ってもある程度の効果は得られる。

【００５４】さらに、冷却ゾーンに別のチャンバーを設
置し、そのチャンバー内で真空排気、放電ガス導入を行
えば、封着工程と排気工程が本製造装置を用いて行うこ
とが可能となる。

【００５５】この場合、放電ガス導入後、放電ガス雰囲
気のチャンバー内で電熱ヒータ等によりガラス管を溶融
し封止する必要がある。

【００５６】なお、加熱室の数は、本実施の形態に固定
されるものではなく、封着温度プロファイルおよびパネ
ル搬入速度に応じて変更することが好ましい。

【００５７】さらに、ＰＤＰの駆動時には、図５に示す
ように、ＰＤＰに各ドライバ及びパネル駆動回路１００
を接続して、点灯させようとするセルの走査電極１０１
ａとアドレス電極１０２間に印加してアドレス放電を行
った後に、表示電極１０１ａ、１０１ｂ間にパルス電圧
を印加して維持放電を行う。そして、当該セルで放電に
伴って紫外線を発光し、蛍光体層で可視光に変換する。
このようにしてセルが点灯することによって、画像が表
示される。

【００５８】（実施の形態２）以下、本発明の実施の形
態１におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法に
ついて説明する。図６に本実施の形態の封着炉とその温
度プロファイルを示す。封着炉は複数の加熱室３０から
なり、昇温ゾーン、封着ゾーン、冷却ゾーンに別れてい
る。パネル３１はローラ３２により各加熱室３０を搬送
される。パネル３１は各加熱室で所定の時間だけ停止
し、次の加熱室へ進むことで順次加熱される。封着ゾー
ンの最後部には、パネル３１のガラス管３３、３４をガ
ス排気装置３５およびガス導入装置３６に接続する接続
部３７、３８が設けられ、この接続部３７，３８は上下
に可動な機構となっている。ガス導入装置３６からは所
定の温度に加熱されたガスがパネル内に導入できる。接
続部３７、３８は配管とガラス管との密封性を持たせる
ために、ゴムリングとそれを水冷するための冷却部を有
している。

【００５９】なお、封着炉の各加熱室ではパネルは大気
雰囲気中で加熱される。

【００６０】封着ゾーンの最後部の加熱室において前面
板３９および背面板４０を張り合わせたパネルの状態を
図７に示す。前面板３９と背面板４０の間には、封着用
シール材４１が設けられ、背面板４０には排気装置３５
に接続された第１のガラス管３３およびガス導入装置３
６に接続された第２のガラス管３４が形成されている。
なお、本実施の形態では封着用シール材として低融点ガ
ラスを用いた。

【００６１】このパネルを、図６の温度プロファイルで
低融点ガラスの軟化点温度以上まで加熱することにより
封着した。

【００６２】この封着工程において、封着ゾーンの最後
部にある加熱室にパネルを搬送後、接続部３７および３
８を下降させ、ガラス管３３、３４と接続した。接続
後、パネル内をガス排気および高温乾燥ガス導入した。
その後、接続部３７および３８を上昇させ、冷却ゾーン
にパネルを搬送し、封着を完了した。

【００６３】この工程では、パネルは封着ゾーンの最後
部にある加熱室へ搬送されるまでは、大気中で加熱され
るために、パネル内部にはパネル部材から発生した水蒸
気により、蛍光体は劣化する。しかし、前記操作でパネ
ルの水蒸気が排除され、さらに乾燥ガスが導入されるこ
とにより、劣化した蛍光体は回復する。冷却ゾーンに入
ってからは、パネル部材から発生する不純物ガスは低減
するために、パネル内部の残留不純物ガスを低減するこ
とができ、さらに、蛍光体と不純物ガスとの反応も小さ
くなるために、蛍光体の大きな劣化は生じない。

【００６４】また、この封着炉では、バッチ炉とは異な
り、パネルを連続的に搬入することができるために、生
産性も向上する。

【００６５】乾燥ガスの水蒸気分圧としては、水蒸気分
圧が低いほど青色蛍光体の劣化が押さえられるが、従来
の封着工程と比較すると１０Ｔｏｒｒ（１３３０Ｐａ）
付近から顕著な効果が現れた。

【００６６】また、ＰＤＰで多く用いられているＢａＭ
ｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ、Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎや（Ｙ、Ｇ
ｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ等の酸化物系の蛍光体は、無酸素の雰
囲気中で加熱すると多少酸素欠陥が形成され発光効率が
低下する場合がある。

【００６７】したがって本封着過程で用いる乾燥ガス
は、少なくとも酸素が含まれていることが望ましい。

【００６８】本実施の形態では、１つの加熱室でのみガ
ス排気、ガス導入を行ったが、各加熱室に同様の接続部
を設けることで、パネル内から確実に不純物ガスを排除
することが可能となる。

【００６９】また、ガス排気、ガス導入は少なくとも封
着ピーク温度で行うのが効果が大きいが、それ以外の温
度部分で行ってもある程度の効果は得られる。

【００７０】また、接続部をガス排気側（接続部３７）
だけにして、乾燥ガス導入は、第２のガラス管３４近傍
に乾燥ガス導入口を固定して設けておき、第２のガラス
管３４近傍を乾燥雰囲気にするだけでも十分な効果が得
られた。

【００７１】さらに、接続部をガス排気側（接続部３
７）だけにして、第２のガラス管３４から炉内雰囲気ガ
スを導入するだけでもある程度の効果が得られた。

【００７２】また、接続部をガス導入側（接続部３８）
だけにして、乾燥ガスを第２のガラス管３４からパネル
内部に導入し、第１のガラス管３３から炉内に排出する
だけでも十分な効果が得られた。

【００７３】さらに、乾燥ガス導入側（接続部３８）と
ガス排気側（接続部３７）を各ガラス管に接続し、パネ
ル内を差動排気することにより、封着を安定して行うこ
とが可能となる。これは、差動排気によりパネル内部を
大気圧より低い圧力にすることで、前面板と背面板がパ
ネル内外の圧力差で押さえつけられることによる。

【００７４】さらに、接続部３７と接続部３８をそれぞ
れ封着ゾーン以降に別途設けて、封着完了パネル内を排
気し、希ガス等の放電ガスを導入することで、封着工程
と排気工程を連続して行うことも可能となる。この場
合、放電ガス導入後、放電ガス雰囲気のチャンバー内で
電熱ヒータ等によりガラス管を溶融し封止する必要があ
る。これは例えば、接続部３７、３８にリング状の電熱
ヒータを備えた構成にすることで、放電ガス導入後、ガ
ラス管周囲から加熱することで、ガラス管を溶融し封止
できる。

【００７５】

【実施例】本発明の効果を検証するために、前記実施の
形態に基づいてＰＤＰを作製し、従来のＰＤＰと比較し
た。パネルは４２”サイズである。

【００７６】本実施例のパネルは、実施の形態１および
実施の形態２の装置で作製し、シール材として軟化点３
９０℃のガラスフリットを使用した。パネルは各加熱室
で１５分停止し、封着ゾーン（４５０℃）の後半でチャ
ンバーの排気・ガス導入あるいはパネル内部の排気・ガ
ス導入を行った。

【００７７】実施の形態２のパネルでは乾燥ガス流量は
３００×１０^-6ｍ³／ｍｉｎとした。

【００７８】なお、乾燥ガスとしては乾燥空気を用い
た。

【００７９】比較例に係わるＰＤＰは、従来の封着工程
通り、パネル内に乾燥ガスを流すことなく封着したパネ
ルである。

【００８０】前記各ＰＤＰにおいて、封着ゾーンは加熱
室２つからなり、ピーク温度４５０℃を３０分保持する
温度プロファイルとした。また、パネル構成も同じ構成
とし、蛍光体膜厚は３０μｍ、放電ガスはＮｅ（９５
％）−Ｘｅ（５％）を５００Ｔｏｒｒ（６６．５ｋＰ
ａ）で封入した。

【００８１】パネルを点灯させて評価した発光特性とし
ては、青色セルのみを点灯させたときの発光強度（輝度
を色度座標ｙで割った値）、色度座標ｙ、発光スペクト
ルのピーク波長及び青色、赤色、緑色のすべてを同一電
力条件で点灯した時の白色表示の色温度（色温度補正な
し）を測定した。

【００８２】パネル比較の結果、本実施例のパネルで
は、実施の形態１および実施の形態２のいずれのパネル
においても青色発光強度が比較例に比べ３０％増加し、
青色の色度座標ｙも、０．０６まで低減した（比較例は
０．０９）。それに伴い、白色色温度も１１０００Ｋま
で向上した（比較例は５８００Ｋ）。さらに、封着時に
パネル内不純物が排除され、パネル内の放電特性の向上
や均一性が向上した。

【００８３】また、実施例では示さなかったが、封着用
装置内に流す乾燥空気の水蒸気分圧に関しては、水蒸気
分圧が下がるに従って発光特性が向上した。

【００８４】なお、以上の実施例においては、面放電型
のＰＤＰを例示したが、対向放電型のＰＤＰなど、封着
するための熱工程が必要なＰＤＰすべてに適用すること
ができる。

【００８５】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、生産性が
高く、比較的安価な装置を用いて、従来封着工程で発生
した蛍光体の発光特性劣化を抑えることが可能となり、
その結果、発光強度および発光効率が高く、色再現域の
広いプラズマディスプレイパネルが実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係わる封着炉およびその
温度プロファイルを示した図

【図２】本発明の実施の形態に係わる封着時の前面板と
背面板を張り合わせたパネル構成を示す図

【図３】本実施の形態に係わる交流面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルの概略断面図

【図４】青色蛍光体を焼成した時の相対発光強度の水蒸
気分圧依存性を示す図

【図５】本実施の形態のＰＤＰに駆動回路を接続したＰ
ＤＰ表示装置を示す図

【図６】本発明の実施の形態に係わる封着炉およびその
温度プロファイルを示した図

【図７】本発明の実施の形態に係わる封着ゾーンでの前
面板と背面板を張り合わせたパネルおよび装置構成を示
す図

【図８】従来の交流面放電型プラズマディスプレイパネ
ルの概略断面図

【符号の説明】

１加熱室２ローラ３パネル４真空バルブ５チャンバー６真空排気装置７ガス導入装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも一方に蛍光体層が形成され且
つ少なくとも一方に封着シール材層が形成された前面板
及び背面板を重ね合わせ、前記重ね合わせた両基板を移
動させながら、前記封着シール材が軟化する温度（軟化
点）以上の封着温度まで連続的に加熱し、前記前面板及
び背面板を封着するプラズマディスプレイパネルの製造
装置であり、少なくとも連続的な加熱経路の一部に真空排気手段を備
えたチャンバーを有することを特徴とするプラズマディ
スプレイパネルの製造装置。
【請求項２】少なくとも連続的な加熱経路の一部にガ
ス導入手段を備えたチャンバーを有することを特徴とす
る請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造装
置。
【請求項３】少なくとも連続的な加熱経路の一部に真
空排気手段およびガス導入手段を備えたチャンバーを有
することを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプ
レイパネルの製造装置。
【請求項４】真空排気手段あるいはガス導入手段を備
えたチャンバーが、加熱ピーク温度部分に設置されてい
ることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のプ
ラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項５】少なくとも一方に蛍光体層が形成され且
つ少なくとも一方に封着シール材層が形成された前面板
及び背面板を重ね合わせ、前記重ね合わせた両基板を移
動させながら、前記封着シール材が軟化する温度（軟化
点）以上の封着温度まで連続的に加熱し、前記前面板及
び背面板を封着するプラズマディスプレイパネルの製造
装置であり、少なくとも連続的な加熱経路の一部に、前記両基板の間
に形成された内部空間からガス排気する手段を備えたこ
とを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装
置。
【請求項６】少なくとも一方に蛍光体層が形成され且
つ少なくとも一方に封着シール材層が形成された前面板
及び背面板を重ね合わせ、前記重ね合わせた両基板を移
動させながら、前記封着シール材が軟化する温度（軟化
点）以上の封着温度まで連続的に加熱し、前記前面板及
び背面板を封着するプラズマディスプレイパネルの製造
装置であり、少なくとも連続的な加熱経路の一部に、前記両基板の間
に形成された内部空間にガスを導入する手段を備えたこ
とを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装
置。
【請求項７】少なくとも連続的な加熱経路の一部に、
前記両基板の間に形成された内部空間にガスを導入する
手段およびガスを排気する手段を備えたことを特徴とす
る請求項５または６記載のプラズマディスプレイパネル
の製造装置。
【請求項８】少なくとも連続的な加熱経路の一部に、
前記両基板の間に形成された内部空間を差動排気する手
段を備えたことを特徴とする請求項７記載のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造装置。
【請求項９】前記両基板の間に形成された内部空間に
ガスを導入する手段あるいはガスを排気する手段が、加
熱ピーク温度部分に設置されていることを特徴とする請
求項５〜８のいずれかに記載のプラズマディスプレイパ
ネルの製造装置。
【請求項１０】少なくとも連続的な加熱経路の一部
に、前面板あるいは背面板のいずれかに形成されたガラ
ス管に、ガス導入装置あるいはガス排気装置を接続する
手段を備えたことを特徴とする請求項５〜９のいずれか
に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１１】前面板あるいは背面板に設けられた第
１のガラス管にガス排気装置を接続する手段を有し、前
記前面板あるいは背面板に設けられた第２のガラス管近
傍に、ガスを導入する手段を有することを特徴とする請
求項１０記載のプラズマディスプレイパネルの製造装
置。
【請求項１２】チャンバー内に導入するガスあるいは
両基板の間に形成された内部空間に導入するガスが乾燥
ガスであることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか
に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１３】乾燥ガスが、少なくとも酸素を含んで
いることを特徴とする請求項１２記載のプラズマディス
プレイパネルの製造方法。
【請求項１４】乾燥ガスが、乾燥空気からなることを
特徴とする請求項１２記載のプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法。
【請求項１５】乾燥ガスの水蒸気分圧が１３３Ｐａ以
下であることを特徴とする請求項１２記載のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】チャンバー内に導入するガスあるいは
両基板の間に形成された内部空間に導入するガスが放電
ガスであることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか
に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１７】放電ガスが希ガスあるいは希ガスを含
む混合ガスであることを特徴とする請求項１６記載のプ
ラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１８】前面板あるいは背面板のいずれかに形
成されたガラス管を加熱封止する手段を備えたことを特
徴とする請求項１〜１７のいずれかに記載のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造装置。
【請求項１９】一対の平行に配されたプレートの間
に、電極および複数色の蛍光体層とが配設され、ガス媒
体が封入されたプラズマディスプレイパネルであって、
請求項１から１８のいずれかの製造装置で製造したこと
を特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２０】青色セルのみを発光させたときのＣＩ
Ｅ色度座標ｙが０．０７以下であることを特徴とする請
求項１９記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２１】プラズマディスプレイパネルと前記プ
ラズマディスプレイパネルを駆動する駆動回路とを備え
たプラズマディスプレイパネル表示装置であって、前記プラズマディスプレイパネルが請求項１９または２
０のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルであ
ることを特徴とするプラズマディスプレイパネル表示装
置。