JP2002074633A - 磁気ヘッド装置及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド装置及びその製造方法Info
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
ッド装置では、洗浄又は搬送時に再生素子が損傷しやす
かった。 【解決手段】 制御用導電パターンPと導電性板ばね3
1aとが半田32によって電気的に接続され、導電性板
ばね31aはアースに接続された状態で、超音波洗浄を
行う。圧電素子12及び13における電荷の蓄積を防止
することができるので、サージ電流の発生を防止または
低減することができ、スライダ21に設けられた前記再
生素子及び前記記録素子の損傷を低減することが可能に
なる。
Description
用ヘッド)を有する再生素子を搭載し、前記MRヘッド
を支持する支持部材に圧電素子が搭載された磁気ヘッド
装置及びその製造方法に係り、特に前記MRヘッドの破
損を防止できるようにした磁気ヘッド装置及びその製造
方法に関する。
である。円盤状の磁気ディスク1は、スピンドルモータ
2によって回転駆動される。
3aに支持部材であるロードビーム4が連結されてお
り、ロードビーム4の先端部4aにて、フレキシャ(図
示せず)を介して取付けられたスライダ5を有してい
る。
されている。ロードビーム4は、その基端部4bがキャ
リッジ3上に固定される固定基端部であり、ロードビー
ム4の先端部4aが、スライダ5を支持している。
れた磁気信号を磁気抵抗効果により検出する再生素子及
び磁気ディスク1に磁気信号を記録する記録素子が設け
られている。磁気ディスク1が回転したときに生じる空
気流を受けて、スライダ5が磁気ディスク1上で浮上
し、浮上状態で記録及び再生を行う。
ルモータ6が取りつけられている。ボイスコイルモータ
6によって、キャリッジ3及びロードビーム4が、磁気
ディスク1の半径方向に駆動され、スライダ5に搭載さ
れた再生素子及び記録素子を任意の記録トラック上に移
動させるシーク動作、並びに前記再生素子及び記録素子
を記録トラックの中心線上に保たせるトラッキング動作
を行う。
につれて、トラッキング動作の精度も向上させる必要が
ある。従来は、ボイスコイルモータ6によってキャリッ
ジ3を駆動させることのみで、前記シーク動作及びトラ
ッキング動作を行っていた。
には、ボイスコイルモータ6を含むサーボ系のサーボ帯
域を高くする必要がある。しかし、前記サーボ帯域は、
キャリッジ3とキャリッジ3を回転自在に支持するベア
リング(図示せず)の機械的共振点によって制限され
る。キャリッジ3の機械的共振点は、キャリッジ3のサ
イズによって決まるが、キャリッジ3のサイズは、規格
によって決められた磁気ディスク1の直径によって決め
られる。例えば、磁気ディスク1の直径が3.5インチ
のときキャリッジ3と前記ベアリングの共振点は、約
3.5kHzとなる。
が、約3.5kHzであるとき、ボイスコイルモータ6
によってキャリッジ3を駆動させることのみでトラッキ
ング動作を行わせるサーボ系のサーボ帯域は、700H
z程度がほぼ上限である。
ュエータを搭載して、ロードビームの先端部のみを動か
して、トラッキング動作を行わせる方法が提案されてい
る。
子を搭載したロードビームの斜視図である。このロード
ビーム11は、ステンレスの板ばね材によって形成され
ており、キャリッジによって保持される固定基端部11
aと固定基端部11aに対して揺動可能な揺動部11b
とを有している。固定基端部11aの前端部両脇には、
固定基端部11aの長手方向に延びる腕部11c,11
cが形成されている。また、揺動部11bは弾性支持部
11d,11dを介して、腕部11c,11cに連結さ
れている。
上に、圧電素子12及び13が空隙部11e上に架け渡
されて設置されている。圧電素子12及び13は、圧電
材料からなる圧電層12b及び13bの上下層に電極層
12a1及び12a2並びに13a1及び13a2が成
膜されたものである。
されている。圧電素子12及び13の電極層12a1及
び13a1は、ロードビーム11に電気的に接続される
ことによりアースと接続される。圧電素子12及び13
の圧電層12b及び13bは、膜厚方向に分極するが、
その分極方向は圧電素子12及び13とで逆方向となっ
ている。従って、電極層12a2及び13a2に同じ電
位をかけたときに、一方の圧電素子は長手方向に伸長
し、他方の圧電素子は長手方向に収縮する。
み、揺動部11bの先端部に取りつけられたスライダ2
1の姿勢が変化する。すなわち、揺動部11bの先端部
に取りつけられるスライダをトラック幅方向に動かし
て、トラッキング動作を行わせることが可能となる。圧
電素子を搭載したロードビームを用いてサーボ系を構成
すると、サーボ帯域を2kHz以上にすることができ
る。
は、電極層12a1及び12a2並びに13a1及び1
3a2に電圧が加えられたときに歪みを発生させる素子
である。また、逆に圧電素子12及び13に応力が加え
られて、圧電素子12及び13が歪むと電極層12a1
及び12a2間、並びに13a1及び13a2間に電圧
が発生する。
る工程や搬送時には圧電素子12及び13に大きな振動
が加わり、圧電素子12及び13に非常に高い電圧が発
生するため何らかの導電体と接触したときに、サージ電
流が流れることがある。この電流は周波数が数百〜数千
MHz、大きさが数Aというものに達することがある。
この様な大きな高周波電流は、隣接する導電パターンに
誘導電流を発生する。また、高周波の電圧変化は隣接す
る導電パターンに容量結合し、電流を輸送する。特に、
洗浄時には、誘電率が空気の数十倍である水が介在する
容量結合による電流輸送も発生する。特に、再生素子は
電流に対する耐性が低いために、超音波洗浄時や搬送時
にこの電流によって破壊されることが多かった。
のものであり、磁気ヘッド装置の検査終了後に、圧電素
子の電極を短絡させることにより、前記圧電素子におけ
る電荷の蓄積を防止し、再生素子及び記録素子の損傷を
低減することのできる磁気ヘッド装置及びその製造方法
を提供することを目的とする。
録された磁気信号を磁気抵抗効果により検出する再生素
子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録素子が設
けられたスライダ、前記再生素子に接続される再生用導
電パターン及び前記記録素子に接続される記録用導電パ
ターンを有する配線部材、前記スライダ及び前記配線部
材を支持する弾性支持部材、を有している磁気ヘッド装
置において、前記弾性支持部材上には、この弾性支持部
材に歪みを与えて前記スライダの姿勢を変化させる圧電
素子が搭載されており、前記圧電素子の電極間の電位が
等しくされていることを特徴とするものである。
にかける工程や搬送時に大きな振動が加わると、非常に
高い電圧を発生し、再生素子及び記録素子に大きな電流
を流すことがある。
各電極間の電位が等しくされていると、前記磁気ヘッド
装置を超音波洗浄にかける工程や搬送時に、前記圧電素
子における電荷の蓄積を防止することができるので、サ
ージ電流の発生を防止または低減することができ、前記
再生素子及び前記記録素子の損傷を低減することが可能
になる。
れた電極のうち、少なくとも一つの電極はアースに接続
されるアース用電極であり、前記配線部材には前記圧電
素子の前記アース用電極以外の電極に接続され、制御用
信号を供給する制御用導電パターンが設けられ、この制
御用導電パターンがアースに接続されているものであ
る。
が全てアースに接続されるので、容易に前記電極間の電
位を等しくすることができる。
磁気ディスク装置が完成した状態のときに、前記制御用
導電パターンのアースとの接続が解除されていることが
必要である。しかも、制御用導電パターンがアースに接
続され、また接続を解除されることによって磁気ヘッド
装置の信頼性が悪化しないことが望ましい。
び前記記録素子が接続される端部とは反対側の端部で、
前記再生用導電パターン、前記記録用導電パターン、及
び前記制御用導電パターンに接続され、前記再生素子及
び前記記録媒体の性能検査の後に除去されるテスト用パ
ッドが形成されており、前記テスト用パッドとともに除
去される前記配線部材上の領域において、前記制御用導
電パターンが前記アースに接続されることが好ましい。
るために、例えば以下のようにしてもよい。
導電性板材上に絶縁層を介して、前記再生用導電パター
ン、前記記録用導電パターン、及び前記制御用導電パタ
ーンが形成されたものとし、前記制御用導電パターン近
傍の前記絶縁層に前記導電性板材が露出する開口部を形
成し、この開口部を介して前記制御用導電パターンと前
記導電性板材とを電気的に接続する。
前記アース用電極に接続されるアース用パターンを形成
し、前記アース用パターンと前記制御用導電パターンを
電気的に接続してもよい。
は、(a)記録媒体に記録された磁気信号を磁気抵抗効
果により検出する再生素子に接続される再生用導電パタ
ーン、及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録素子
に接続される記録用導電パターンを有する配線部材を形
成する工程と、(b)前記再生素子及び前記記録素子が
設けられたスライダ、並びに前記配線部材を弾性支持部
材に取り付ける工程と、(c)前記弾性支持部材上に、
この弾性支持部材に歪みを与えて前記スライダの姿勢を
変化させる圧電素子を搭載する工程と、(d)前記圧電
素子の電極を全て電気的に接続して、前記電極間の電位
を等しくする工程と、(e)前記圧電素子の前記電極間
の電位が等しくされた状態で、前記スライダ及び前記配
線部材が取り付けられた前記弾性支持部材を洗浄する工
程とを有することを特徴とするものである。
の電極の全てをアースに接続すると、容易に前記電極間
の電位を等しくすることができる。
ースに接続する方法として、例えば以下に示すステップ
を用いることができる。
に制御用信号を供給する制御用導電パターンを、前記配
線部材に設け、前記(c)の工程において、前記圧電素
子の電極のうち、少なくとも一つの電極をアースに接続
し、残りの電極を前記制御用導電パターンに接続し、前
記(d)の工程において前記制御用導電パターンをアー
スに接続する。
するより具体的な方法を以下に示す。
接続された導電性板材上に絶縁層を介して、前記再生用
導電パターン、前記記録用導電パターン、及び前記制御
用導電パターンを形成することによって前記配線部材を
形成し、さらに、前記制御用導電パターン近傍の前記絶
縁層に前記導電性板材が露出する開口部を形成し、前記
(d)の工程において、前記開口部を介して前記制御用
導電パターンと前記導電性板材とを電気的に接続する。
配線部材にアース用パターンを形成し、前記(d)の工
程において、前記アース用パターンと前記制御用導電パ
ターンを電気的に接続する。
線部材の、前記再生素子及び前記記録素子に接続される
端部とは反対側の端部に、前記再生用導電パターン、前
記記録用導電パターン、及び前記制御用導電パターンに
接続されるテスト用パッドを形成し、前記(e)の工程
後に前記テスト用パッドを除去することが好ましい。
スト用パッドとともに除去される前記配線部材上の領域
において、制御用導電パターンを前記アースに接続する
ことがより好ましい。
態の磁気ヘッド装置を記録媒体との対向面側から見た平
面図である。
の薄い板ばね上にポリイミドなどの絶縁性材料からなる
絶縁層を介して、Cu等の導電性材料からなる再生用導
電パターンR1,R2及び記録用導電パターンW1,W
2、並びに制御用導電パターンPが形成されたものであ
る。
体に記録された磁気信号を磁気抵抗効果により検出する
再生素子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録素
子が設けられたスライダ21が設けられる。また、配線
部材31の先端部31Aは、フレキシャとしての機能も
有している。
に、スライダ21が設けられた配線部材31が取付けら
れる。さらに、スライダ21及び配線部材31を支持す
る弾性支持部材であるロードビーム11上に、圧電素子
が搭載される。ロードビーム11は、図11に示された
ロードビームと同じものである。
テンレスの板ばね材によって形成されており、キャリッ
ジによって保持される固定基端部11aと固定基端部1
1aにと揺動部11bとを有している。固定基端部11
aの前端部両脇には、固定基端部11aの長手方向に延
びる腕部11c,11cが形成されている。また、揺動
部11bは弾性支持部11d,11dを介して、腕部1
1c,11cに連結されている。
電素子12及び13が空隙部11e上に架け渡されて設
置される。圧電素子12及び13は、圧電材料からなる
圧電層12b及び13bの上下層に電極層12a1及び
12a2並びに13a1及び13a2が成膜されたもの
である。
される。圧電素子12及び13の電極層12a1及び1
3a1は、ロードビーム11に電気的に接続されること
によりアースと接続される。すなわち、電極層12a1
及び13a1は、アース用電極である。
金線ワイヤ14が接続されており、金線ワイヤ14は端
子14aにおいて図1に示される配線部材31に設けら
れている制御用導電パターンPに接続される。
13bは、膜厚方向に分極するが、その分極方向は圧電
素子12及び13とで逆方向となっている。従って、電
極層12a2及び13a2に、金線ワイヤ14を介して
同じ電位をかけたときに、一方の圧電素子は長手方向に
伸長し、他方の圧電素子は長手方向に収縮する。
み、揺動部11bの先端部に取りつけられたスライダ2
1の姿勢が変化する。すなわち、揺動部11bの先端部
に取りつけられるスライダをトラック幅方向に動かし
て、トラッキング動作を行わせることが可能となる。圧
電素子を搭載したロードビームを用いてサーボ系を構成
すると、サーボ帯域を2kHz以上にすることができ
る。
に示されるようなハードディスク装置において、剛性支
持部材であるキャリッジ3によって支持される。
成されており、スライダ21のトレーリング側T端面に
は、図11に示されるごとく薄膜素子21aが設けられ
ている。またスライダ21の記録媒体との対向面側に
は、ABS面(浮上面)が形成されている。
磁気記録信号を再生する再生素子(MRヘッド)と、記
録媒体に磁気信号を記録する記録素子(インダクティブ
ヘッド)との双方を含む、いわゆる複合型薄膜素子であ
る。前記再生素子は、例えばスピンバルブ膜に代表され
る磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果素子と、磁性材
料のシールド層とを有して構成され、また記録素子は、
磁性材料のコアと、コイルとがパターン形成された構成
となっている。
省略している。また、配線部材31に設けられている再
生用導電パターンR1,R2及び記録用導電パターンW
1,W2は、先端部31A側でそれぞれ前記再生素子及
び前記記録素子に接続され、基端部31B側に形成され
たテスト用パッドTR1,TR2及びTw1,Tw2に接続され
る。また、圧電素子12,13に制御用信号を供給する
制御用導電パターンPは、端子14aにおいて圧電素子
12,13に接続され、基端部31B側に形成されたテ
スト用パッドTPに接続される。
テスト用パッドTW1,TW2周辺の部分斜視図である。図
4は、図3を4−4線からみた断面図である。
レスなどの導電性板ばね31a上にポリイミドなどの絶
縁性材料からなる絶縁層31bを介して、再生用導電パ
ターンR1,R2及び記録用導電パターンW1,W2及
び制御用導電パターンPが形成されたものとなる。図2
に示されるように、絶縁層31bの制御用導電パターン
Pに隣接する部位には、導電性板ばね31aが露出する
開口部31b1が形成される。この状態でスライダ21
に設けられた再生素子及び記録素子の検査が行われる。
口部31b1を介して制御用導電パターンPと導電性板
ばね31aが半田32によって電気的に接続される。
13の電極層12a1及び13a1は、ロードビーム1
1に電気的に接続されることによりアースと接続され
る。また、電極層12a2及び13a2には、金線ワイ
ヤ14が接続されており、金線ワイヤ14は端子14a
において図1に示される配線部材31に設けられた制御
用導電パターンPに接続される。
aとが半田32によって電気的に接続され、導電性板ば
ね31aはアースに接続される。従って、圧電素子12
及び13の電極層12a1及び13a1並びに電極層1
2a2及び13a2は、全てアースに接続される。すな
わち、圧電素子12及び13の電極層12a1及び13
a1並びに電極層12a2及び13a2間の電位が等し
くなる。圧電素子12及び13の各電極層間の電位が等
しくされた状態で、スライダ21及び配線部材31が取
り付けられたロードビームを洗浄する。
が等しくされた状態で、超音波洗浄を行うと、圧電素子
12及び13における電荷の発生及び蓄積を防止するこ
とができるので、サージ電流の発生を防止または低減す
ることができ、スライダ21に設けられた前記再生素子
及び前記記録素子の損傷を低減することが可能になる。
または、搬送時にも、圧電素子12及び13おける電荷
の蓄積を防止することができるので、サージ電流の発生
を防止または低減することができ、前記再生素子及び前
記記録素子の損傷を低減することが可能になる。本実施
の形態の磁気ヘッド装置では、制御用導電パターンPを
アースに接続しない従来の磁気ヘッド装置と比較して、
歩留まりが40〜60%向上した。
パターンPと導電性板ばね31aとを電気的に接続する
方法は、半田以外の方法、例えばボールボンディングや
導電性接着剤を用いた方法でもよい。また、制御用導電
パターンPと導電性板ばね31aとを導電性クリップに
よって電気的に接続してもよい。
なハードディスク装置に実装した後、圧電素子12及び
13の電極層12a2及び13a2とアースとの電気的
な接続を解除する。
1,R2及び記録用導電パターンW1,W2は、配線部
材31の基端部31B側に形成されたテスト用パッドT
R1,TR2及びTw1,Tw2に接続されている。また、制御
用導電パターンPは、基端部31B側に形成されたテス
ト用パッドTPに接続されている。磁気ヘッド装置を、
ハードディスク装置に実装した後、図1のC−C線で配
線部材31を切断し、テスト用パッドTR1,TR2、
Tw1,Tw2、TPを除去する。
aが半田32によって電気的に接続される部位である配
線部材31の絶縁層31bに設けられた開口部31b1
は、テスト用パッドTR1,TR2、Tw1,Tw2、TPとと
もに除去される領域に形成される。
切断した時、同時に、圧電素子12及び13の電極層1
2a2及び13a2とアースとの電気的な接続が解除さ
れる。本実施の形態では、制御用導電パターンPがアー
スに接続され、また接続を解除されることによって磁気
ヘッド装置の信頼性が悪化することがない。
導電性板ばね31aとを電気的に接続する他の方法を示
す部分断面図である。図5及び図6は、制御用導電パタ
ーンPの縦方向(配線部材31の先端部31Aから基端
部31Bに向う方向)に沿った断面を示している。制御
用導電パターンPはテスト用パッドTPと端子14bの
間で断辺Paと断辺Pbとに分断されている。さらに、
断辺Paの先端部Pa1の下層の絶縁層31b及び導電
性板ばね31aには開口部31b2及び開口部31a2
が形成されている。
接続されている。この図5の状態で、スライダ21に設
けられた再生素子及び記録素子の検査を行う。検査終了
後、断辺Paの先端部Pa1が折り曲げられ、導電性板
ばね31aの開口部31a1において先端部Pa1と導
電性板ばね31aとが電気的に接続される。
発生した電荷は、制御用導電パターンPの断辺Paの先
端部Pa1と導電性板ばね31aを通じて、アースに流
れるので蓄積されない。従って、サージ電流の発生を防
止または低減することができ、スライダ21に設けられ
た前記再生素子及び前記記録素子の損傷を低減すること
が可能になる。
C線で切断すると、同時に、圧電素子12及び13の電
極層12a2及び13a2とアースとの電気的な接続が
解除される。
ッド装置を示す平面図である。また、図8及び図9は、
図7の磁気ヘッド装置のテスト用パッドTW1,TW2周辺
の部分斜視図である。
ス用パターンEが形成される。アース用パターンEは、
圧電素子12,13のアース用電極(図11の電極層1
2a1及び電極層13a1)に、端子14bを介して、
接続される。また、圧電素子12,13のアース用電極
以外の電極(図11の電極層12a2及び電極層13a
2)は、端子14aを介して制御用導電パターンPに接
続される。アース用パターンEはアースに接続されてい
る。また、制御用導電パターンPは圧電素子に制御信号
を供給するためのものである。
電パターンPは、電気的に絶縁されている。この状態で
スライダ21に設けられた再生素子及び記録素子の検査
が行われる。
ターンEと制御用導電パターンPとが半田42によって
電気的に接続され、制御用導電パターンPがアースに接
続される。従って、圧電素子12及び13の電極層12
a1及び13a1並びに電極層12a2及び13a2
は、全てアースに接続される。すなわち、圧電素子12
及び13の電極層12a1及び13a1並びに電極層1
2a2及び13a2間の電位が等しくなっている。圧電
素子12及び13の各電極層間の電位が等しくされた状
態で、スライダ21及び配線部材41が取り付けられた
ロードビームを洗浄する。
が等しくされた状態で、超音波洗浄を行うと、圧電素子
12及び13における電荷の蓄積を防止することができ
るので、サージ電流の発生を防止または低減することが
でき、スライダ21に設けられた前記再生素子及び前記
記録素子の損傷を低減することが可能になる。または、
搬送時にも、圧電素子12及び13おける電荷の蓄積を
防止することができるので、サージ電流の発生を防止ま
たは低減することができ、前記再生素子及び前記記録素
子の損傷を低減することが可能になる。
ーンEを電気的に接続する方法は、半田以外の方法、例
えばボールボンディングや導電性接着剤を用いた方法で
もよい。または、導電性クリップを用いて制御用導電パ
ターンPとアースパターンEを電気的に接続してもよ
い。
アース用パターンEとを電気的に接続する半田42を適
切な部位に適切な量だけ供給することを容易にするた
め、配線部材41の導電性板ばね41a上に積層された
ポリイミドなどからなる絶縁層41bに、導電性板ばね
41aを露出させない凹部41b1を設けている。ただ
し、必ずしも凹部41b1が形成される必要はない。
なハードディスク装置に実装した後、圧電素子12及び
13の電極層12a2及び13a2とアースとの電気的
な接続を解除する。
1,R2及び記録用導電パターンW1,W2は、配線部
材41の基端部41B側に形成されたテスト用パッドT
R1,TR2及びTw1,Tw2に接続される。また、アース用
パターンE及び制御用導電パターンPは、それぞれ、配
線部材41の基端部41B側に形成されたテスト用パッ
ドTE及びTPに接続される。
実装した後、図7のC−C線で配線部材41を切断し、
テスト用パッドTR1,TR2、Tw1,Tw2、TE及びTPを
除去する。制御用導電パターンPとアース用パターンE
が半田42によって電気的に接続される部位は、テスト
用パッドTR1,TR2、Tw1,Tw2、TPとともに除去さ
れる領域に形成される。
切断した時、同時に、圧電素子12及び13の電極層1
2a2及び13a2とアースとの電気的な接続が解除さ
れる。本実施の形態では、制御用導電パターンPがアー
スに接続され、また接続を解除されることによって磁気
ヘッド装置の信頼性が悪化することがない。
記圧電素子の各電極間の電位が等しくされることによ
り、前記磁気ヘッド装置を超音波洗浄にかける工程や搬
送時に、前記圧電素子における電荷の蓄積を防止するこ
とができるので、サージ電流の発生を防止または低減す
ることができ、前記再生素子及び前記記録素子の損傷を
低減することが可能になる。
を全てアースに接続することにより、容易に前記電極間
の電位を等しくすることができる。
を示す平面図、
の部分斜視図、
の部分斜視図、
面図、
の縦断面図、
の縦断面図、
を示す平面図、
の部分斜視図、
の部分斜視図、
斜視図、
Claims (12)
- 【請求項1】 記録媒体に記録された磁気信号を磁気抵
抗効果により検出する再生素子及び前記記録媒体に磁気
信号を記録する記録素子が設けられたスライダ、前記再
生素子に接続される再生用導電パターン及び前記記録素
子に接続される記録用導電パターンを有する配線部材、
前記スライダ及び前記配線部材を支持する弾性支持部
材、を有している磁気ヘッド装置において、 前記弾性支持部材上には、この弾性支持部材に歪みを与
えて前記スライダの姿勢を変化させる圧電素子が搭載さ
れており、 前記圧電素子の電極間の電位が等しくされていることを
特徴とする磁気ヘッド装置。 - 【請求項2】 前記圧電素子に設けられた電極のうち、
少なくとも一つの電極はアースに接続されるアース用電
極であり、前記配線部材には前記圧電素子の前記アース
用電極以外の電極に接続され、制御用信号を供給する制
御用導電パターンが設けられ、この制御用導電パターン
がアースに接続されている請求項1記載の磁気ヘッド装
置。 - 【請求項3】 前記配線部材の、前記再生素子及び前記
記録素子が接続される端部とは反対側の端部で、前記再
生用導電パターン、前記記録用導電パターン、及び前記
制御用導電パターンに接続され、前記再生素子及び前記
記録素子の性能検査の後に除去されるテスト用パッドが
形成されており、前記テスト用パッドとともに除去され
る前記配線部材上の領域において、前記制御用導電パタ
ーンが前記アースに接続される請求項2に記載の磁気ヘ
ッド装置。 - 【請求項4】 前記配線部材は、前記アースに接続され
た導電性板材上に絶縁層を介して、前記再生用導電パタ
ーン、前記記録用導電パターン、及び前記制御用導電パ
ターンが形成されたものであり、前記制御用導電パター
ン近傍の前記絶縁層に前記導電性板材が露出する開口部
が形成され、この開口部を介して前記制御用導電パター
ンと前記導電性板材とが電気的に接続される請求項2ま
たは3に記載の磁気ヘッド装置。 - 【請求項5】 前記配線部材には前記圧電素子の前記ア
ース用電極に接続されるアース用パターンが形成されて
おり、前記アース用パターンと前記制御用導電パターン
が電気的に接続されている請求項2または3に記載の磁
気ヘッド装置。 - 【請求項6】 (a)記録媒体に記録された磁気信号を
磁気抵抗効果により検出する再生素子に接続される再生
用導電パターン、及び前記記録媒体に磁気信号を記録す
る前記記録素子に接続される記録用導電パターンを有す
る配線部材を形成する工程と、 (b)前記再生素子及び前記記録素子が設けられたスラ
イダ、並びに前記配線部材を弾性支持部材に取り付ける
工程と、 (c)前記弾性支持部材上に、この弾性支持部材に歪み
を与えて前記スライダの姿勢を変化させる圧電素子を搭
載する工程と、 (d)前記圧電素子の電極を全て電気的に接続して、前
記電極間の電位を等しくする工程と、 (e)前記圧電素子の前記電極間の電位が等しくされた
状態で、前記スライダ及び前記配線部材が取り付けられ
た前記弾性支持部材を洗浄する工程とを有する磁気ヘッ
ド装置の製造方法。 - 【請求項7】 前記(d)の工程において、前記圧電素
子の電極の全てをアースに接続する請求項6記載の磁気
ヘッド装置の製造方法。 - 【請求項8】 前記(a)の工程において、前記圧電素
子に制御用信号を供給する制御用導電パターンを、前記
配線部材に設け、 前記(c)の工程において、前記圧電素子に設けられた
電極のうち、少なくとも一つの電極をアースに接続し、
残りの電極を前記制御用導電パターンに接続し、 前記(d)の工程において前記制御用導電パターンをア
ースに接続する請求項7記載の磁気ヘッド装置の製造方
法。 - 【請求項9】 前記(a)の工程において、前記アース
に接続された導電性板材上に絶縁層を介して、前記再生
用導電パターン、前記記録用導電パターン、及び前記制
御用導電パターンを形成することによって前記配線部材
を形成し、さらに、前記制御用導電パターン近傍の前記
絶縁層に前記導電性板材が露出する開口部を形成し、 前記(d)の工程において、前記開口部を介して前記制
御用導電パターンと前記導電性板材とを電気的に接続す
る請求項8記載の磁気ヘッド装置の製造方法。 - 【請求項10】 前記(a)の工程において、前記配線
部材にアース用パターンを形成し、前記(d)の工程に
おいて、前記アース用パターンと前記制御用導電パター
ンを電気的に接続する請求項8記載の磁気ヘッド装置の
製造方法。 - 【請求項11】 前記(a)の工程において、前記配線
部材の、前記再生素子及び前記記録素子が接続される端
部とは反対側の端部に、前記再生用導電パターン、前記
記録用導電パターン、及び前記制御用導電パターンに接
続されるテスト用パッドを形成し、 前記(e)の工程後に前記テスト用パッドを除去する請
求項8ないし10のいずれかに記載の磁気ヘッド装置の
製造方法。 - 【請求項12】 前記(d)の工程において、前記テス
ト用パッドとともに除去される前記配線部材上の領域に
おいて、制御用導電パターンを前記アースに接続する請
求項11に記載の磁気ヘッド装置の製造方法。
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